JP2020112048A - アクチュエータ - Google Patents

Abstract

【課題】複合ギヤの樹脂ギヤと金属ギヤとのすべりやガタツキを抑制する。【解決手段】アクチュエータ１０は、モータ３６と、出力シャフト２６と、前記モータの回転を減速して前記出力シャフトに伝達する減速部３７と、を備え、前記減速部は、前記出力シャフトに接続される出力ギヤ５４を含む複数のギヤ５１〜５４を含み、前記複数のギヤは、前記複数のギヤは、大歯６２ｔを有する大径のギヤ６２と小歯６３ｔを有する小径のギヤ６３とをする複合ギヤ５３を有し、軸６１の回りを回転する複合ギヤ５３を含み、前記大径のギヤと前記小径のギヤのうちの一方のギヤは、金属部材で形成された金属ギヤであり、他方のギヤは、樹脂部材で前記金属ギヤに一体成形された樹脂ギヤである。【選択図】図８

Description

本開示は、アクチュエータに関する。

特許文献１には、ブレーキ機構部を作動させる駐車ブレーキ用のアクチュエータが開示されている。このアクチュエータに用いられている複合ギヤは、金属製の小歯と、樹脂製の大歯と、金属プレートを備えている。この複合ギヤでは、金属プレートの外周部が樹脂製の大歯と連結し、金属プレートの内周部で金属製の小歯と連結し、樹脂製の大歯は、金属製の小歯と金属プレートにより挟まれている。

特開２００４−３０８６９４号公報

しかし、特許文献１のアクチュエータでは、樹脂と金属の連結部における寸法精度・組み付け精度、あるいは、温度変化・トルク・振動によるストレスによって、樹脂ギヤと金属ギヤとの間の連結部において、隙間が空いてガタつく、あるいは破損するおそれがあった。こうした不具合は、駐車ブレーキ用のアクチュエータに限られず、高負荷のアクチュエータ、例えば、過給機における過給圧を制御するアクチュエータに関しても同様の課題を生じ得る。

本開示の一形態によれば、アクチュエータ（１０）が提供される。このアクチュエータは、モータ（３６）と、出力シャフト（２６）と、前記モータの回転を減速して前記出力シャフトに伝達する減速部（３７）と、を備え、前記減速部は、前記出力シャフトに接続される出力ギヤ（５４）を含む複数のギヤ（５１〜５４）を含み、前記複数のギヤは、前記複数のギヤは、大歯（６２ｔ）を有する大径のギヤ（６２）と小歯（６３ｔ）を有する小径のギヤ（６３）とをする複合ギヤ（５３）とを有し、軸（６１）の回りを回転する複合ギヤ（５３）を含み、前記大径のギヤと前記小径のギヤのうちの一方のギヤは、金属部材で形成された金属ギヤであり、他方のギヤは、樹脂部材で前記金属ギヤに一体成形された樹脂ギヤである。この形態によれば、複合ギヤの樹脂ギヤは、樹脂部材で金属ギヤに一体成形されているので、金属ギヤと樹脂ギヤとの間は隙間を空けること無く結合されている。その結果、温度変化やギヤトルク、振動の少なくとも一つに対する耐久性を向上できる。

第１実施形態のアクチュエータが適用されたエンジンの吸排気部の概略図である。 過給機の説明図である。 アクチュエータの上面図である。 減速部の各ギヤを示す説明図である。 図３のＶ−Ｖ線断面図である。 図３のＶＩ−ＶＩ線断面図である。 第２大径外歯部を軸方向から見た平面図である。 第２中間ギヤの断面図である。 突起部に括れがある場合の第２小径外歯部樹脂の変化を示す説明図である。 第２中間ギヤをその回転の中心となる中心軸と垂直な方向から見た正面図である。 第２中間ギヤを第２ハウジング部側から見た上面図である。 第２中間ギヤを第１ハウジング部側から見た下面図である。 突起部の厚さを説明する説明図である。 樹脂製の第２小径外歯部を形成するときの第２大径外歯部と、成形型、の一部を拡大して示す説明図である。 突起部がテーパ形状を有している場合の説明図である。 第２大径外歯部の断面から見た第２中間ギヤを示す説明図である。 小歯の根元の形状の説明図である。 位置決め部の位置の説明図である。 位置決め部が突起部の外縁にある場合の突起部近傍の拡大図である。 位置決め部が突起部の外縁にある場合の突起部近傍の断面図である。 位置決め部が突起部の内部にある場合の突起部近傍の拡大図である。 位置決め部が突起部の内部にある場合の突起部近傍の断面図である。 ゲート跡の位置の説明図である。 他の実施形態におけるゲート跡の位置の説明図である。 他の実施形態におけるゲート跡の位置の説明図である。 第２実施形態における第２大径外歯部を示す説明図である。 第３実施形態における第２大径外歯部を示す説明図である。 第４実施形態における第２大径外歯部を示す説明図である。 第４実施形態における第２大径外歯部の平面図である。 第４実施形態における第２大径外歯部を示す説明図である。 第５実施形態における第２小径外歯部を軸に沿った方向から見た平面図である。 第５実施形態における第２中間ギヤの断面図である。 第５実施形態における第２中間ギヤを示す側面図である。 第５実施形態における第２中間ギヤを示す上面図である。 突起部の厚さを説明する説明図である。 突起部がテーパ形状を有している場合の説明図である。 位置決め部とゲート跡を示す説明図である。

・第１実施形態：
図１に示すように、第１実施形態によるアクチュエータ１０は、車両走行用の動力源であるエンジン１１に適用されている。

エンジン１１には、吸気をエンジン１１の気筒内へ導く吸気通路１２と、気筒内で発生した排ガスを大気中に排出する排気通路１３とが設けられている。吸気通路１２の途中には、過給機２４の吸気コンプレッサ１４のコンプレッサホイール１４ａと、スロットルバルブ１５とが設けられている。コンプレッサホイール１４ａは、エンジン１１への吸気を過給する。スロットルバルブ１５は、車両のアクセルペダル（図示せず）の踏み込み量に応じてエンジン１１に供給される吸気量の調整を行う。

排気通路１３の途中には、過給機２４の排気タービン１６のタービンホイール１６ａと、排ガスの浄化を行う触媒１７とが設けられている。タービンホイール１６ａは、回転軸３０によりコンプレッサホイール１４ａに接続されている。すなわち、エンジン１１の排気エネルギーでタービンホイール１６ａを回転させ、コンプレッサホイール１４ａを回転させる。触媒１７はモノリス構造を採用する周知な三元触媒であり、排ガスにより活性化温度に昇温されることで排ガス中に含まれる有害物質を酸化作用と還元作用により浄化する。

排気通路１３には、タービンホイール１６ａと並列に、タービンホイール１６ａを迂回して排ガスを流すバイパス通路１８が設けられている。このバイパス通路１８には、過給圧制御用バルブであるウェイストゲートバルブ１９が設けられている。ウェイストゲートバルブ１９が開弁すると、エンジン１１からの排ガスの一部は、バイパス通路１８を通って触媒１７へ直接導かれる。ウェイストゲートバルブ１９は、エンジン１１からの排ガスの圧力がウェイストゲートバルブ１９の開弁圧力を超えたときに開弁する。また、ウェイストゲートバルブ１９の開閉は、ＥＣＵ（エンジン・コントロール・ユニット）２２によっても制御される。すなわち、ＥＣＵ２２は、アクチュエータ１０を駆動し、アクチュエータ１０とウェイストゲートバルブ１９との間に設けられたリンク機構２５によってウェイストゲートバルブ１９の開閉を実行する。

図２に示すように、過給機２４は、排気タービン１６と、吸気コンプレッサ１４と、アクチュエータ１０と、を備える。排気タービン１６は、エンジン１１から排出された排ガスによって回転駆動されるタービンホイール１６ａ（図１）と、このタービンホイール１６ａを収容する渦巻形状のタービンハウジング１６ｂと、を備えている。吸気コンプレッサ１４は、タービンホイール１６ａの回転力を受けて回転するコンプレッサホイール１４ａ（図１）と、このコンプレッサホイール１４ａを収容する渦巻形状のコンプレッサハウジング１４ｂとを備えている。タービンホイール１６ａとコンプレッサホイール１４ａとは、回転軸３０（図１）により接続されている。

タービンハウジング１６ｂには、タービンホイール１６ａの他、バイパス通路１８が設けられている。バイパス通路１８は、タービンハウジング１６ｂに流入した排ガスをタービンホイール１６ａに供給せずにタービンハウジング１６ｂの排気出口へ直接導く。このバイパス通路１８は、ウェイストゲートバルブ１９により開閉される。ウェイストゲートバルブ１９は、タービンハウジング１６ｂの内部でバルブ軸２０により回動可能に支持されているスイングバルブである。ウェイストゲートバルブ１９は、排ガスの圧力がウェイストゲートバルブ１９の開弁圧力を超えると開弁するが、アクチュエータ１０によっても駆動され、開閉する。

アクチュエータ１０を格納するハウジング３５は、過給機２４の排気タービン１６から離れた吸気コンプレッサ１４側に取り付けられている。こうすれば、排ガスの熱の影響を回避できる。過給機２４には、アクチュエータ１０の出力をウェイストゲートバルブ１９に伝達するためのリンク機構２５（図１）が設けられている。本実施形態では、リンク機構２５として、アクチュエータレバー２７と、ロッド２８と、バルブレバー２９と、を備える４節リンク機構を採用している。アクチュエータレバー２７は、アクチュエータ１０の出力シャフト２６に接続され、アクチュエータ１０によって回動操作される。バルブレバー２９は、バルブ軸２０に結合される。ロッド２８は、アクチュエータレバー２７に付与される回動トルクをバルブレバー２９に伝える。

アクチュエータ１０は、マイクロコンピュータを搭載するＥＣＵ２２により動作が制御される。具体的に、ＥＣＵ２２は、エンジン１１の高回転時などにウェイストゲートバルブ１９の開度を調整するようにアクチュエータ１０を制御して過給機２４による過給圧を制御する。また、ＥＣＵ２２は、例えば冷間始動直後など、触媒１７の温度が活性化温度に達していない時には、ウェイストゲートバルブ１９を全開になるようにアクチュエータ１０を制御して触媒１７の暖機を行う。これにより、タービンホイール１６ａに熱を奪われていない高温の排ガスを触媒１７へ直接導くことができ、触媒１７を短時間で暖機できる。

次に、アクチュエータ１０について、図３〜図６を参照して説明する。アクチュエータ１０は、吸気コンプレッサ１４に取り付けられるハウジング３５に格納されている。図３に示すように、ハウジング３５は、第１ハウジング部４１および第２ハウジング部４２を有している。第２ハウジング部４２は、「ケース４２」とも呼ぶ。第１ハウジング部４１及び第２ハウジング部４２は、例えばアルミニウム、アルミニウム合金、鉄鋼等の金属材料で形成されている。なお、第１ハウジング部４１及び第２ハウジング部４２は、樹脂で形成されていてもよい。また、第１ハウジング部４１及び第２ハウジング部４２は、ダイキャスト、重力鋳造、射出成形、プレスのいずれの製法で形成されてもよい。第２ハウジング部４２は、締結部材４３により第１ハウジング部４１に締結されている。第２ハウジング部４２からは、出力シャフト２６が突き出ており、アクチュエータレバー２７に接続されている。

図４、図５に示すように、第１ハウジング部４１は、第２ハウジング部４２と共に収容空間４４を形成している。モータ３６は、収容空間４４に収容されている。具体的に、モータ３６は、第１ハウジング部４１に形成されたモータ挿入穴４６に挿入され、スクリュ４７により第１ハウジング部４１に固定されている。モータ３６とモータ挿入穴４６の底面との間にはウェーブワッシャ４５が設置されている。ウェーブワッシャ４５は、備えられなくても良い。モータ３６は、形式を問わず、例えば周知の直流モータであっても良いし、周知のステッピングモータ等であっても良い。

図４、図６に示すように、アクチュエータ１０は、減速部３７を有する。減速部３７は、モータ３６の回転を減速して出力シャフト２６に伝達する平行軸式の減速機であり、複数のギヤを有している。本実施形態では、複数のギヤとして、ピニオンギヤ５１、第１中間ギヤ５２、第２中間ギヤ５３および出力ギヤ５４を有している。

ピニオンギヤ５１は、モータ３６のモータ軸５５に固定されている。ピニオンギヤ５１は、金属で形成された金属ギヤである。金属としては、例えば鉄系焼結金属が用いられる。

第１中間ギヤ５２は、第１大径外歯部５７と第１小径外歯部５８とを有する複合ギヤであり、第１金属シャフト５６により回転自在に支持されている。第１中間ギヤ５２は軸である第１金属シャフト５６の回りを回転する。第１大径外歯部５７は、大径ギヤであり、モータ３６のモータ軸５５に固定されたピニオンギヤ５１に噛み合っている。第１小径外歯部５８は、第１大径外歯部５７と比べて小径な小径ギヤである。第１大径外歯部５７と第１小径外歯部５８は、いずれも金属で形成された金属ギヤである。同様に、金属としては、例えば鉄系焼結金属が用いられる。第１大径外歯部５７は、イナーシャを低減するために、複数の開口５７ｏを有する。

第２中間ギヤ５３は、第２大径外歯部６２と第２小径外歯部６３とを有する複合ギヤであり、第２金属シャフト６１により回転自在に支持されている。第２中間ギヤ５３は軸である第２金属シャフト６１の回りを回転する。第２大径外歯部６２は、大径ギヤであり第１中間ギヤ５２の第１小径外歯部５８に噛み合っている。第２大径外歯部６２は、金属で形成されている金属ギヤである。同様に、金属としては、例えば鉄系焼結金属が用いられる。第２小径外歯部６３は、第２大径外歯部６２と比べて小径な小径ギヤであり、樹脂で形成されている樹脂ギヤである。樹脂としては、例えばポリアミド樹脂、ナイロン樹脂、ポリアセタール樹脂が使用可能である。樹脂ギヤは、金属ギヤに比べて、イナーシャが小さい。そのため、エンジン１１の排気圧の脈動からウェイストゲートバルブ１９、バルブレバー２９、ロッド２８、アクチュエータレバー２７、出力シャフト２６、出力ギヤ５４を介して第２中間ギヤ５３に大きな衝撃荷重が掛かった場合、第２中間ギヤ５３を含め、その上流側（モータ側）のギヤ、例えば、第１中間ギヤ５２やピニオンギヤ５１にもその衝撃を伝達され難くできる。さらに出力ギヤ５４を樹脂ギヤとしているので、出力ギヤ５４に大きな衝撃荷重が掛かった場合、出力ギヤを含めその上流側（モータ側）のギヤ、例えば、第２中間ギヤ５３、第１中間ギヤ５２やピニオンギヤ５１にもその衝撃を伝達され難くできる。

出力ギヤ５４は、第２小径外歯部６３に噛み合っており、出力ギヤ５４の中心軸ＡＸ３に沿って、出力シャフト２６が接続され、固定されている。中心軸ＡＸ３を、単に「軸ＡＸ３」とも呼ぶ。他の中心軸ＡＸ１、ＡＸ２についても同様に「軸ＡＸ１」「軸ＡＸ２」とも呼ぶ。出力ギヤ５４は、樹脂で形成された樹脂ギヤである。従って、第１実施形態においては、上流側のピニオンギヤ５１から第２大径外歯部６２までが金属ギヤであり、下流側の第２小径外歯部６３から出力ギヤ５４までが樹脂ギヤである。すなわち、減速部３７が備えるギヤは、出力ギヤ５４と、出力ギヤ５４に噛み合う複合ギヤである第２中間ギヤ５３の第２小径外歯部６３と、を除いたギヤが金属ギヤである。そのため、各ギヤの噛み合いは、樹脂ギヤ同士、金属ギヤ同士の噛合となり、樹脂ギヤと金属ギヤの噛み合いがない。その結果、樹脂ギヤの摩耗を抑制できる。

図５、図６に示すように、アクチュエータ１０は、モータ３６と出力シャフト２６と減速部３７とを格納する第１ハウジング部４１と、第１ハウジング部４１に蓋をするケースである第２ハウジング部４２と、を備えており、第２金属シャフト６１の一方の端部は第１ハウジング部４１に固定され、他方の端部は第２ハウジング部４２で支持されている。そのため、第２金属シャフト６１の一方の端部を第１ハウジング部４１に固定し、他方の端部を支持しない場合に比べて、モータ３６の駆動や、ウェイストゲートバルブ１９からの脈動に起因する振動・トルクに対する第２金属シャフト６１の変形を低減できる。

出力ギヤ５４には、磁束発生部である磁石６６、６７と、磁束伝達部であるヨーク６８、６９が設けられている。磁石６６、６７およびヨーク６８、６９は、出力シャフト２６の軸方向視において弧状の閉磁気回路を形成する磁気回路部６４を構成している。磁気回路部６４は、出力ギヤ５４および出力シャフト２６と一体に回動する。

出力ギヤ５４の磁気回路部６４の閉磁気回路の内側には、磁石６６、６７の磁束を検出する磁束検出部６５が配置されている。磁束検出部６５は、例えばホールＩＣを用いて構成されている。磁気回路部６４および磁束検出部６５は、出力シャフト２６の回転角度を検出する回転角センサ３９として機能する。磁気回路部６４および磁束検出部６５の基本的な用途や機能は、特開２０１４−１２６５４８号に開示されているものと同様である。回転角センサ３９により検出される出力シャフト２６の回転角は、ＥＣＵ２２（図１参照）に出力される。なお、図６に示す磁気回路部６４および磁束検出部６５の構成は一例であり、他の構成であってもよい。

図６に示すように、出力シャフト２６は、第１ハウジング部４１に設けられた軸受４８と、第２ハウジング部４２に設けられた軸受４９とにより回転自在に支持されている。出力シャフト２６の一端部は、ハウジング３５の第２ハウジング部４２から外に延び出ている。アクチュエータレバー２７は、第２ハウジング部４２の外で出力シャフト２６に固定されている。

図７は、第２大径外歯部６２を軸ＡＸ２に沿った方向から見た平面図である。図８は、図７に示す第２大径外歯部６２に第２小径外歯部６３を一体成形した後の第２中間ギヤ５３のＣ８−Ｃ８線断面を示す説明図である。第２大径外歯部６２は、外周に形成された大歯６２ｔと、中央に開けられた開口６２ｋと、開口６２ｋに突き出る３つの突起部６２ｃを備える。開口６２ｋには、図８に示すように第２小径外歯部６３を構成する樹脂が侵入する。この構造については、後述する。図７の３つの突起部６２ｃは、それぞれ作用面６２ｓを有する。作用面６２ｓとは、第２小径外歯部６３に摩擦力以外の回転方向の力を与え、あるいは、第２小径外歯部６３から摩擦力以外の回転方向の力を受ける面である。作用面６２ｓは、第２大径外歯部６２の回転方向に対し、平行でない面を有している。作用面６２ｓを有することで、力を受けたときに、第２大径外歯部６２と第２小径外歯部６３との間の相対的な動きを抑制し、摩耗を抑制できる。なお、作用面６２ｓは有った方がより好ましいが、無くても良い。例えば、突起部６２ｃの形状を内フランジ形状のような円盤形状とした場合、第２大径外歯部６２と第２小径外歯部６３との間の境界が、第２大径外歯部６２の回転方向に対し、平行となり、作用面は存在しなくなる。しかし、この場合、第２大径外歯部６２と第２小径外歯部６３との間は、密着しているので、静止摩擦力が働く。そのため、静止摩擦力により、第２大径外歯部６２と第２小径外歯部６３との間の相対的な動きを抑制できるからである。

図７に示すように、突起部６２ｃは、作用面６２ｓに、先端６２ｃｔ側に比べて根元６２ｃｂ側が括れた形状を有している。先端６２ｃｔ側に比べて根元６２ｃｂ側が括れた形状とは、軸ＡＸ２から突起部６２ｃを見た時に、根元６２ｃｂ側の中心角θｂが、先端６２ｃｔにおける中心角θｔよりも小さいことを意味する。なお、突起部６２ｃの根元６２ｃｂにおける周方向の幅が、先端６２ｃｔにおける周方向の幅よりも狭いとしてもよい。根元６２ｃｂ側が括れていると、図９に示すように、樹脂を硬化したときに、収縮した樹脂が突起部６２ｃに、より密着するため、作用面６２ｓにおいて、第２大径外歯部６２と第２小径外歯部６３との間の隙間の発生を抑制できる。また、温度変化・トルク・振動によるストレスによって、樹脂ギヤと金属ギヤとの間の連結部において、隙間が空いてガタつく、あるいは破損することを抑制できる。例えば、樹脂を金属ギヤに一体成形すると、樹脂と金属の線膨張差による、樹脂と金属の連結部に応力の発生や、高温と低温とが繰り返されることで生じる応力振幅による、樹脂冷熱クラックの発生を抑制できる。また高温で長時間放置された場合、応力発生部において樹脂が高温クリープ変形し、樹脂と金属の間に隙間の発生も抑制できる。また、ギヤにトルクが加わった場合、樹脂と金属の接触部における応力集中部において疲労破壊による破損を抑制できる。さらに、ギヤに加わるトルク・振動により、樹脂と金属の連結部に相対すべりが発生し、樹脂あるいは金属が摩耗し、隙間ができることも抑制できる。なお、突起部６２ｃは、作用面６２ｓに、先端６２ｃｔ側に比べて根元６２ｃｂ側が括れた形状を有していなくてもよい。また、３つの突起部６２ｃのうちの１つは、位置決め部６２ｈを有するが、位置決め部６２ｈについては、後で説明する。開口６２ｋと突起部６２ｃとの境界には、開口６２ｋの内周に沿って角６２ｃｃ、隅６２ｃｓが形成されている。角６２ｃｃ、隅６２ｃｓについては、後述する。

図８に示すように、樹脂ギヤである第２小径外歯部６３は、金属ギヤである第２大径外歯部６２と一体成形されており、軸ＡＸ２に沿った方向から突起部６２ｃを挟んでいる。ここで、樹脂ギヤが金属ギヤに一体成形されているとは、樹脂ギヤである第２小径外歯部６３は、樹脂の射出成形により、破壊すること無く分解できない１個のかたまりとして形成され、金属ギヤである第２大径外歯部６２と隙間をあけることなく結合されていることを意味する。樹脂成形としては、射出成形の他、積層成形、粉末成形など、種々の樹脂成形の方法を採用してもよい。突起部６２ｃは、軸ＡＸ２に沿った方向に第２小径外歯部６３と接触する接触面６２ｄを有し、第２小径外歯部６３は、接触面６２ｄと接触する接触面６３ｄを有し、接触面６２ｄと接触面６３ｄとは、隙間無く接触している。一般に、金属ギヤと樹脂ギヤとを別個に製造し、両者を組み付ける場合、それぞれの製造精度により、金属ギヤと樹脂ギヤとの間に隙間が生じる。しかし、本実施形態の第２中間ギヤ５３は、このような一体成形された樹脂ギヤである第２小径外歯部６３を備えるので、金属ギヤである第２大径外歯部６２の製造精度に関わりなく、第２大径外歯部６２と第２小径外歯部６３とを隙間無く結合できる。また、樹脂が金属に密着しているので、第２中間ギヤ５３の温度が変化し、あるいは、第２中間ギヤ５３に掛かるギヤトルクや振動が変化しても、第２大径外歯部６２と第２小径外歯部６３との間に隙間が生じにくく、第２中間ギヤ５３の耐久性を向上できる。また、第２小径外歯部６３の成形後、低温時など、第２小径外歯部６３を形成する樹脂が収縮した際に、第２大径外歯部６２の突起部６２ｃと樹脂との間の隙間が減少する方向に収縮する。

図８に示すように、突起部６２ｃは、軸ＡＸ２に沿った方向から樹脂に挟まれている。そのため、第２大径外歯部６２と第２小径外歯部６３とが、スラスト方向、すなわち、軸ＡＸ２に沿った方向に抜けることを抑制できる。その結果、軸ＡＸ２に沿った方向の荷重や振動に対する信頼性を向上できる。なお、突起部６２ｃは、軸ＡＸ２に沿った方向から樹脂に挟む構成を採用した方が好ましい。突起部６２ｃが軸ＡＸ２に沿った方向から樹脂に挟まれている場合、第２小径外歯部６３の成形後、低温時など、第２小径外歯部６３を形成する樹脂が収縮した際に、第２大径外歯部６２の突起部６２ｃと突起部６２ｃを挟む樹脂との間の隙間が減少する方向に収縮する。ただし、突起部６２ｃが軸ＡＸ２に沿った方向から樹脂に挟む構成を採用しなくても良い。すなわち、突起部６２ｃの一方の面にのみ樹脂が存在する構成であってもよい。また、ある断面では、突起部６２ｃの小歯６３ｔ側に樹脂が存在し、別の断面では、突起部６２ｃの小歯６３ｔと反対側に樹脂が存在するように、断面の位置を周方向に移動したときに、突起部６２ｃが軸ＡＸ２方向に対してジグザグに位置するように突起部６２ｃを設けても良い。

図１０は、第２中間ギヤ５３をその回転の中心となる中心軸ＡＸ２と垂直な方向から見た正面図である。図１１は、第２中間ギヤ５３を中心軸ＡＸ２に沿った方向第２ハウジング部４２側から見た平面図であり、図１２は、第２中間ギヤ５３を中心軸ＡＸ２に沿った方向第２ハウジング部４２側から見た下面図である。第２中間ギヤ５３は、外側に金属ギヤである第２大径外歯部６２を備え、内側に樹脂ギヤである第２小径外歯部６３を備える。第２小径外歯部６３は、第２大径外歯部６２から第１ハウジング部４１側に突き出ている。第２大径外歯部６２は、上述したように、外周に大歯６２ｔを備える。ここで、大歯とは、部材の材質によらず、大径のギヤの歯、すなわち、第２大径外歯部６２の歯、を意味する。第２小径外歯部６３は、図１０、１２に示すように、第２大径外歯部６２から第１ハウジング部４１側に突き出た部分に小歯６３ｔを有する。小歯とは、部材の材質にかかわらず、小径のギヤの歯、第２小径外歯部６３の歯を意味する。

第２小径外歯部６３は、第２金属シャフト６１が貫通する軸穴５３ｈを備える。樹脂ギヤである第２小径外歯部６３が軸穴５３ｈを備えることで、アクチュエータ１０の構成部品の数を低減し、組み付けるときの工数も低減できる。第２小径外歯部６３は、図１１に示すように軸ＡＸ２に沿った方向の第１ハウジング４１側の端部に大歯６２ｔの歯底円直径Ｄ１より内側に端面６３ｅを備え、図１２に示すように第２ハウジング４２側の端部に小歯６３ｔの歯底円直径ｄ１より内側に端面６３ｆを備える。第２小径外歯部６３が端面６３ｅ、６３ｆを備えることで、第２大径外歯部６２の歯６２ｔが第１ハウジング４１に接触し、第２小径外歯部６３の歯６３ｔが第２ハウジング４２に接触することを抑制できる。

図１３を用いて、突起部６２ｃの厚さについて説明する。第２大径外歯部６２の大歯６２ｔにおける軸ＡＸ２に沿った方向の厚さをｔ１とし、樹脂と結合する部位である突起部６２ｃにおける軸方向に沿った厚さをｔ２、樹脂部材と突起部６２ｃの嵌合部における軸にＡＸ２に沿った方向の厚さをｔ３とすると、第２中間ギヤ５３では、ｔ１、ｔ２、ｔ３の間にｔ１＞ｔ２、かつ、ｔ１≧ｔ３の関係を満たしている。また、嵌合部においては、第２大径外歯部６２の軸ＡＸ２の軸ＡＸ２と垂直な２つの端面６２ｓ１から軸の方向にはみ出ていない。なお、図１３では、図示の都合上、ｔ２を示す位置とｔ３を示す位置を異ならせているが、同一の位置である。また、この構成は、第２大径外歯部６２の軸ＡＸ２に沿った方向の２つの端面６２ｓ１の間で、第２小径外歯部６３を構成する樹脂部材が突起部６２ｃを挟む構成である。このような構成とすれば、樹脂ギヤである第２小径外歯部６３と、第２小径外歯部６３に噛み合いの相手ギヤである出力ギヤ５４との干渉を抑制できる。また、第２大径外歯部６２や、第２小径外歯部６３に噛み合う出力ギヤ５４の歯の幅を大きくでき、ギヤの歯の強度を大きくできる。なお、ｔ１＞ｔ２、かつ、ｔ１≧ｔ３の関係を満たした方が好ましいが、この関係は、必ずしも満たさなくても良い。

図１３において、突起部６２ｃにおいて、角６２ｃｃ、隅６２ｃｓは、面取がされている。角６２ｃｃとは、突起部６２ｃを外側から見た時に尖って突き出た部分を意味し、隅６２ｃｓとは、突起部６２ｃを内側から見た時に尖って突き出た部分を意味する。なお、角６２ｃｃや隅６２ｃｓは、図７に示すように、開口６２ｋの内周に沿って一周するように存在している。したがって、図７の突起部６２ｃの先端６２ｃｔや根元６２ｃｂには、角６２ｃｃあるいは隅６２ｃｓが形成されており、同様に面取がされている。面取とは、Ｒ面取、Ｃ面取、あるいは、他の角度で角６２ｃｃや隅６２ｃｓを落とすことを意味する。Ｒ面取とは、角６２ｃｃや隅６２ｃｓを曲面で角を落とすことを意味する。Ｃ面取は、４５度の角度で角を落とすことを意味する。角６２ｃｃ、隅６２ｃｓは、応力が集中するので、面取をすることで、応力を緩和できる。また、角６２ｃｃや隅６２ｃｓに接する樹脂の割れや疲労破壊を抑制できる。なお、面取は、されていなくても良い。

図１３に示すように、第２大径外歯部６２は、軸ＡＸ２に沿った方向の端面６２ｓ１、６２ｓ２を有し、第２小径外歯部６３は、突起部６２ｃを挟む部分において軸ＡＸ２に沿った方向の端面６３ｓを有している。端面６２ｓ１、６２ｓ２は、階段形状を形成しており、端面６２ｓ２は、端面６２ｓ１よりも突起部６２ｃ側にΔｔだけ低く凹んでいる。端面６３ｓは、端面６２ｓ２と同一の平面を形成している。

図１４は、第２中間ギヤ５３の樹脂製の第２小径外歯部６３を形成するときの第２大径外歯部６２と、成形型８０、８２と、の一部を拡大して示す説明図である。成形型８０、８２の間のスペースが、キャビティ８１である。キャビティ８１に樹脂が充填され、硬化されることで、第２小径外歯部６３が形成される。図１４から分かるように、成形型８０、８２の外縁側の端部８０ｅ、８２ｅは、端面６２ｓ２に接している。そのため、キャビティ８１に射出された樹脂は、端面６２ｓ２を越えて端面６２ｓ１までは流れない。また、樹脂が流れ込むキャビティの大きさを小さくできるので、樹脂の封止性を向上させることができる。また、樹脂封止の際に、平面度が必要な範囲、具体的には、端面６３ｓの範囲を小さくできるので、製造性を向上できる。なお、第２大径外歯部６２は、２つの端面６２ｓ１、６２ｓ２を持たず、１つの端面６２ｓ１のみを有し、端面６３ｓを端面６２ｓ１と同一平面となるようにしてもよい。

図１５に示すように、突起部６２ｃは、突起部６２ｃの先端６２ｃｔ側における軸ＡＸ２に沿った方向の厚さｗｔに比べて突起部６２ｃの根元６２ｃｂ側における軸ＡＸ２に沿った方向の厚さｗｂが薄い。厚さｗｔが厚さｗｂより薄くするためには、例えば、突起部６２ｃの接触面６２ｄの形状を、軸ＡＸ２と垂直な面に対する傾斜がφとなるように形成すれば良い。樹脂が収縮したときに、収縮した樹脂が突起部６２ｃにより密着するため、第２大径外歯部６２と第２小径外歯部６３との間の隙間の発生を抑制できる。テーパ形状は、図１５に示すような直線形状に限られず、凹面、凸面であってもよい。また、テーパ形状の代わりに、階段形状であってもよい。また、テーパ形状は、２つの接触面６２ｄのうち、一方、あるいは両方に形成されていても良い。なお、突起部６２ｃは、突起部６２ｃの先端６２ｃｔ側における軸ＡＸ２に沿った方向の厚さｗｔと、突起部６２ｃの根元６２ｃｂ側における軸ＡＸ２に沿った方向の厚さｗｂと、が等しい形状、あるいは、厚さｗｔが厚さｗｂよりも薄い形状を有していても良い。厚さｗｔと厚さｗｂとが等しいと、突起部６２ｃをプレスにより形成し易い。また、厚さｗｔが厚さｗｂよりも薄いと、後述する位置決め部を突起部６２ｃの先端６２ｃｔに形成し易い。

図１６、図１７を用いて、樹脂ギヤである第２小径外歯部６３の小歯６３ｔの根元の形状について説明する。図１７は、図１６のＣ１７−Ｃ１７線断面を示す説明図である。Ｃ１７−Ｃ１７線断面の左側は、小歯６３ｔの歯先を通り、右側は、小歯６３ｔの歯底、すなわち根元を通っている。小歯６３ｔの根本の半径ｒ２の曲面の小歯６３ｔの端部６３ｂｓが、端面６２ｔｓ１よりも小歯６３ｔ側に来ると、小歯６３ｔの他の歯と噛み合い可能な歯幅が減少する。そのため、端部６３ｂｓの位置を端面６２ｔｓ１よりも小歯６３ｔと反対側にしたい。一方、第２外径外歯部６２との結合強度を大きくするには、樹脂の厚さとしてｔａを確保したい。また、小歯６３ｔの根元側の強度を大きくするには、ｒ２を大きくしたい。これらを満たすため、本実施形態では、図１７に示すように、樹脂ギヤである第２小径外歯部６３は、小歯６３ｔの第２大径外歯部６２側の端面にテーパ形状部６３ｔｐを有する。

図１７に示すように、テーパ形状部６３ｔｐを備えることで、小歯６３ｔの他の歯と噛み合い可能な歯幅を減少させず、第２外径外歯部６２との結合強度を大きくし、小歯６３ｔの根元側の強度を大きくできる。

次に、図１８を用いて、位置決め部６２ｈとゲート跡６３ｇについて説明する。金属ギヤである第２大径外歯部６２を成形型８０、８２（図１４）に設置するときに、成形型８０、８２のピン（図示せず）に位置決め穴６２ｈを位置決めする。樹脂は、成形型８０、８２に設けられたゲート（図示せず）からキャビティ８１に樹脂が充填される。ゲートの部分は成形型の面が存在しないため、樹脂上に跡が残る。この跡がゲート跡６３ｇである。金属ギヤである第２大径外歯部６２が位置決め部６２ｈを備えることで、成形型８０、８２に第２大径外歯部６２の回転方向の位置決めを容易にできる。このとき、第２大径外歯部６２の位置決めに、位置決め部６２ｈを用いると、第２大径外歯部６２の位置決めに、大歯６２ｔを用いなくて済むので、大歯６２ｔをピンとの接触によるキズから保護できる。また、第２大径外歯部６２の大歯６２ｔと、第２小径外歯部６３の小歯６３ｔと、ゲート（ゲート跡６３ｇ）と、の間の相対的な位置を規定し、その位置精度を向上できる。

図１８に示すように、位置決め部６２ｈは、樹脂ギヤである第２小径外歯部６３の隣接する２つの歯底６３ｔｂの中間と、回転の中心の軸ＡＸ２とを結ぶ線６３ｌ上に設けられている。図１４で説明したように、第２小径外歯部６は、成形型８０、８０に設けられたゲートからキャビティ８１に樹脂が充填されることで、形成される。このとき、例えば、ゲートが２個以上有る場合、２つのゲートの略中間の位置は、２つのゲートからそれぞれ射出された樹脂が合流する位置となる。このような樹脂が合流する位置では、合流した樹脂の密着不足によりウェルドと呼ばれる脆弱部分が形成される。ウェルドは、ウェルドでない場所に比べて樹脂の強度が高くないので、力が掛かりにくい部分にウェルドが形成されるように、射出成形のゲートの位置が決められる。本実施形態では、位置決め部６２ｈは、樹脂ギヤである第２小径外歯部６３の隣接する２つの歯底６３ｔｂの中間と、回転の中心の軸ＡＸ２とを結ぶ線６３ｌ上に設けることで、ウェルドを第２小径外歯部６３の歯底６３ｔｂに形成させないようなゲートの位置を容易に設定できる。

位置決め部６２ｈは、図１９、図２０に示すように、突起部６２ｃの先端側の外縁部に設けられても良い。この場合、位置決め部６２ｈの形状は、穴の一部が開放された切り欠き形状となる。位置決め部６２ｈは、プレスによる打ち抜きによって第２大径外歯部６２を形成するときに、同時に形成される。位置決め部６２ｈの大きさは、突起部６２ｃにおける厚さｔ２と、幅Ｌ１で決まり、厚さｔ２が薄く、円周に沿った方向の幅Ｌ１が大きいほど小さくすることができる。また、位置決め部６２ｈの形状を切り欠き形状とすると、ピンの形状の全てを打ち抜かなくてもよいので、プレス性を向上させることができる。また、位置決め部６２ｈを切り欠き形状として突起部６２ｃの先端側の外縁部に設けると、突起部６２ｃの形状の自由度が増す。

第２大径外歯部６２の軸ＡＸ２に沿った方向の厚さをｔ１、樹脂と結合する部位である突起部６２ｃにおける軸ＡＸ２に沿った方向の厚さをｔ２、とするときに、突起部６２ｃの厚さｔ２がｔ１＞ｔ２を満たす位置は、板の厚さが薄く、位置決め部６２ｈを開けやすい位置なので、プレス性が向上する。なお、位置決め部６２ｈの形状は、図１８、図１９に示すように、円形であるが、楕円形や、長方形、多角形形状、あるいは、それらの形状から一部を切り取った切り欠き形状であってもよい。

位置決め部６２ｈは、図２１、図２２に示すように、突起部６２ｃの先端６２ｃｔからＬ２だけ内部に設けられても良い。この場合、位置決め部６２ｈの形状は、ピンの形状と同じ形状であってもよい。位置決め部６２ｈが突起部６２ｃの内部に設けられていれば、切り欠きの開放方向にピンがずれないので、成形型８０、８２に第２大径外歯部６２を、より高精度に設置できる。

図２３を用いて、ゲート跡６３ｇと、小歯６３ｔの位置関係について説明する。樹脂ギヤである第２小径外歯部６３は、９個の小歯６３ｔと、３つのゲート跡６３ｇと、を有している。３つのゲート跡６３ｇは、軸ＡＸ２を中心とする同心円上にある。そして、３つのゲート跡６３ｇのうち隣接する２つのゲート跡を結ぶ垂直二等分線５３ｌは、軸ＡＸ２よりも隣接する２つのゲート跡６３ｇ側において、小歯６３ｔの隣接する２つの歯底６３ｔｂの間を通っている。一般にウェルドは、隣接する２つのゲート跡から等距離、すなわち垂直二等分線５３ｌ上に生じやすい。本実施形態によれば、垂直二等分線５３ｌは、隣接する２つの歯底６３ｔｂの間、すなわち歯先６３ｔｔを通り、歯底６３ｔｂを通らない。すなわち、垂直二等分線５３ｌ上に生じやすいウェルドは、力のかかる歯底６３ｔｂ上に形成されない。その結果、第２小径外歯部６３の強度を低下させず、耐久性を向上できる。したがって、このようなゲート跡６３ｇを生じさせる位置に成形型８０、８０のゲートを設けて、第２小径外歯部６３を形成することが好ましい。

図２３において、ゲート跡６３ｇは、小歯６３ｔの歯底円６３ｔｂｃと、第２小径外歯部６３の樹脂の最外周６３ｏｔとの中間線６３ｃｅよりも外縁側に存在している。このような位置にゲート跡を残すゲートを用いると、樹脂を射出したときにおける円周方向の樹脂の流れを均一化できる。

図２４にゲート跡の数を増加させた例について説明する。図２４に示す例では、樹脂ギヤである第２小径外歯部６３は、９個の小歯６３ｔと、９つのゲート跡６３ｇ、を有している。９つのゲート跡６３ｇは、軸ＡＸ２を中心とする同心円上にある。そして、９つのゲート跡６３ｇのうち隣接する２つのゲート跡を結ぶ垂直二等分線５３ｌは、軸ＡＸ２よりも隣接する２つのゲート跡６３ｇ側において、小歯６３ｔの隣接する２つの歯底６３ｔｂの間、すなわち歯先６３ｔｔを通っている。従って、図２３で説明した実施形態と同様に、垂直二等分線５３ｌ上に生じやすいウェルドは、歯底６３ｔｂ上に形成されない。その結果、第２小径外歯部６３の強度を低下させない。したがって、このようなゲート跡６３ｇを生じさせる位置に成形型８０、８０のゲートを設けて、第２小径外歯部６３を形成することが好ましい。

以上説明した図２３、図２４に示す例では、小歯６３ｔの数は、ゲート跡６３ｇの数の整数倍となっている。すなわち、小歯６３ｔの数を、ゲート跡６３ｇの数の整数倍となるように、逆に言えば、ゲート跡６３ｇの数を小歯６３ｔの数の整数分の１とすれば、垂直二等分線５３ｌが歯先６３ｔｔを通るように、すなわちウェルドが歯先６３ｔｔの生じ、歯底６３ｔｂに生じないように成形型８０、８０のゲートの位置を設定できる。その結果、第２小径外歯部６３に大きな力がかかっても、破壊され難くできる。したがって、小歯６３ｔの数を、ゲート跡６３ｇの数の整数倍となるようにし、このようなゲート跡６３ｇを生じさせる位置に成形型８０、８０のゲートを設けて、第２小径外歯部６３を形成することが好ましい。

なお、図２５に示す例では、小歯６３ｔの数は９であり、ゲート跡６３ｇの数は６であり、小歯６３ｔの数は、ゲート跡６３ｇの数の整数倍となっていない。このような、小歯６３ｔの数がゲート跡６３ｇの数の整数倍となっていない場合であっても、図２５に示すように、垂直二等分線５３ｌが歯底６３ｔｂを通らないようにできる。したがって、小歯６３ｔの数をゲート跡６３ｇの数の整数倍とした方が好ましいが、小歯６３ｔの数をゲート跡６３ｇの数の整数倍としなくても良い。この場合、例えば、小歯６３ｔの数をＭ、ゲート跡６３ｇの数をＮとするとき、Ｍ／Ｎが奇数のとき、小歯６３ｔの歯底６３ｔｂにゲート跡６３ｇが位置するようにし、Ｍ／Ｎが偶数のとき、小歯６３ｔの歯先６３ｔｔにゲート跡６３ｇが位置するようにし、Ｍ／Ｎが割り切れない場合には、小歯６３ｔの歯底６３ｔｂにゲート跡６３ｇの一つが位置するようにすれば、ウェルドが歯底６３ｔｂ上に形成されないようにできる。

また、図２３に示すように、ゲート跡６３ｇは、軸ＡＸ２に沿った方向から見た時に、突起部６２ｃと重ならない位置、すなわち、ゲート跡６３ｇを通り軸ＡＸ２に沿った方向に突起部６２ｃが存在しない位置に、ゲート跡６３ｇを有することが好ましい。すなわち、ゲートから射出された樹脂の射出先に、突起部６２ｃが存在しない。このように、樹脂の射出先に突起部６２ｃが存在しないようにすれば、突起部６２ｃのゲートと反対側に樹脂を流れやすくできる。また、射出された樹脂が第２大径外歯部６２に直接当たらないので、第２大径外歯部６２が樹脂の射出圧により動いたり振動したりすることがなく、第２小径外歯部６３の成形性を向上できる。但し、ゲート跡６３ｇは、ゲート跡６３ｇを通り軸ＡＸ２に沿った方向に突起部６２ｃが存在する位置にゲート跡６３ｇがあってもよい。例えば、３つの突起部６３にゲートから射出された樹脂がバランスよく当たれば第２大径外歯部６２が樹脂の射出圧により動いたり振動したりすることが起こり難い。

ゲート跡６３ｇは、第２小径外歯部６３に形状等の痕跡として残っていなくてもよい。例えば、やすりなどでゲート跡６３ｇを消去しても、消去した位置は、依然としてゲート跡６３ｇである。

・第２実施形態：
図２６に、第２実施形態における第２大径外歯部６２ｘを示す。第２実施形態の第２大径外歯部６２ｘでは、第２大径外歯部６２ｘの内側に内フランジ６２ｃｘが形成されている。内フランジ６２ｃｘは、第１実施形態の突起部６２ｃに対応する部材である。突起部６２ｃが第２大径外歯部６２ｘの内側の全周に渡って形成されているとも言える。内フランジ６２ｃｘの内側には、大きな開口６２ｋｘが形成されている。また、内フランジ６２ｃｘには、複数の開口６２ｍｘが形成されている。第２小径外歯部が形成されると、第２小径外歯部を形成する樹脂は、内フランジ６２ｃｘの上面と下面に形成され、内フランジ６２ｃｘを挟む。上面の樹脂と下面の樹脂は、開口６２ｍｘおよび開口６２ｋｘを介して繋がり、一体となっている。すなわち、第２実施形態においても、第１実施形態と同様に、樹脂ギヤである第２小径外歯部は、金属ギヤである第２大径外歯部６２ｘに一体成形されたギヤとなる。

また、第２実施形態においても、第２小径外歯部を構成する樹脂は、金属部材の一部である内フランジ６２ｃｘを、第２中間ギヤの軸ＡＸ２に沿った方向から挟んでいる。なお、内フランジ６２ｃｘの一方の面にのみ樹脂を有する構成であってもよい。

第２実施形態においても、第２大径外歯部６２ｘの軸ＡＸ２に沿った方向の厚さをｔ１、金属部材の一部である内フランジ６２ｃｘにおける軸ＡＸ２に沿った方向の厚さをｔ２、ｔ２を測る位置における樹脂部材の内フランジ６２ｃｘを含む軸ＡＸ２に沿った方向の厚さをｔ３、とすると、ｔ１＞ｔ２、かつ、ｔ１≧ｔ３を満たしていてもよい。

第２実施形態において、内フランジ６２ｃｘの樹脂部材との境界となる角や隅は、面取がされていてもよい。

第２実施形態において内フランジ６２ｃｘに形成された複数の開口６２ｍｘの内周面は、樹脂ギヤである第２小径外歯部に摩擦力以外の回転方向の力を与え、あるいは、第２小径外歯部から摩擦力以外の回転方向の力を受ける作用面として機能してもよい。

第２実施形態においても、内フランジ６２ｃｘは、先端側における軸ＡＸ２に沿った方向の厚さに比べて根元側における軸ＡＸ２に沿った方向の厚さが薄いテーパ形状を有していてもよい。

・第３実施形態：
図２７に第３実施形態における第２大径外歯部６２ｙを示す。第３実施形態の第２大径外歯部６２ｙは、第２実施形態の第２大径外歯部６２ｘと同様に内フランジ６３ｃｚを備える点は共通する。第２実施形態の第２大径外歯部６２ｘでは、内フランジ６２ｃｘの内側に大きな開口６２ｋｘが形成され、内フランジ６２ｃｘに複数の開口６２ｍｘを備えている。これに対し、第３実施形態の第２大径外歯部６２ｙでは、大きな開口６２ｋｙと内フランジ６２ｃｙとの境界の円周面６２ｃｙｒに凹凸形状を有する点が異なる。

第３施形態においても、第１実施形態、第２実施形態と同様に、樹脂ギヤである第２小径外歯部は、金属ギヤである第２大径外歯部６２ｙに一体成形されたギヤとなる。また、第２小径外歯部を構成する樹脂は、金属部材の一部である内フランジ６２ｃｙを、第２中間ギヤの軸ＡＸ２に沿った方向から挟んでいてもよい。また、第２実施形態で説明した厚さｔ１、ｔ２、ｔ３の間にｔ１＞ｔ２、かつ、ｔ１≧ｔ３の関係を満たしていてもよい。内フランジ６２ｃｙの樹脂部材との境界となる角や隅は、面取がされていてもよい。また、円周面６２ｃｙｒに凹凸形状は、作用面として機能しても良い。円周面６２ｃｙｒに凹凸形状は、先端側における軸ＡＸ２に沿った方向の厚さに比べて根元側における軸ＡＸ２に沿った方向の厚さが薄いテーパ形状を有していてもよい。

第３実施形態の第２大径外歯部６２ｙにおいて、第２実施形態の第２大径外歯部６２ｘと同様の複数の開口６２ｍｘをさらに備えても良い。同様の効果を得ることができる。

・第４実施形態：
図２８、図２９、図３０に第４実施形態における第２大径外歯部６２ｚを示す。第４実施形態における第２大径外歯部６２ｚは、第２実施形態、第３実施形態と同様に内フランジ６３ｃｚを備える点は共通する。第２実施形態では、内フランジ６２ｃｘに、複数の開口６２ｍｘを備えているが、第４実施形態における第２大径外歯部６２ｚは、内フランジ６２ｃｚの上面６２ｃｚｕが凹凸を有する面である点で異なる。第３施形態においても、第１実施形態、第２実施形態、第３実施形態と同様に、樹脂ギヤである第２小径外歯部は、金属ギヤである第２大径外歯部６２ｚに一体成形されたギヤとなる。第４実施形態では、内フランジ６２ｃｘの上面６２ｃｚｕの凹凸は、作用面として機能する。第４実施形態では、図３０に示すように、内フランジ６２ｃｚの下面６２ｃｚｄは、凹凸のない平坦な面であるが、上面６２ｃｚｕと同様に凹凸のある面であってもよい。また、内フランジ６２ｃｚの下面６２ｃｚｄが凹凸のある面、上面６２ｃｚｕが平坦な面であってもよい。

第４実施形態においても、第２実施形態と第３形態で説明した構成、例えば、複数の開口６２ｍｘや、円周面６２ｃｙｒの凹凸形状のうち一方または両方を採用しても良い。第２実施形態、第３実施形態と同様の効果を奏する。

・第５実施形態：
上記、第１実施形態から第４実施形態では、第２中間ギヤ５３の第２大径外歯部６２が金属ギヤ、第２小径外歯部６３が樹脂ギヤであった。これに対し、第５実施形態では、第２中間ギヤ１５３の第２大径外歯部１６２が樹脂ギヤ、第２小径外歯部１６３が金属ギヤである点が異なる。なお、第５実施形態の第１実施形態と対応する構成要素については、第１実施形態の符号に１００を加えた符号を付し、以後の説明では、簡単な説明に留め、または説明を省略する。

図３１は、第２小径外歯部１６３を軸ＡＸ２に沿った方向から見た平面図である。第２小径外歯部１６３は、外縁側に突出する３つの突起部１６３ｃを備える。３つの突起部１６３ｃは、第１実施形態の突起部６２ｃと同様に、それぞれ作用面１６３ｓを有する。作用面１６３ｓは、第２小径外歯部１６３の回転方向に対し、平行でない面である。作用面１６３ｓを有することで、第２大径外歯部１６２と第２小径外歯部１６３との間の相対的な動きを抑制し、摩耗を抑制できる。なお、作用面１６３ｓは有った方がより好ましいが、無くても良い。例えば、第２大径外歯部１６２と第２小径外歯部１６３との間の境界が、第２小径外歯部１６３の回転方向に対し、平行な円筒面の場合、作用面は存在しないが、第２大径外歯部１６２と第２小径外歯部１６３との間には、摩擦力が働く。そのため、摩擦力により、第２大径外歯部１６２と第２小径外歯部１６３との間の相対的な動きを抑制できるからである。

図３２は、図３１に第２大径外歯部１６２を一体成形した後の第２中間ギヤ１５３のＣ３２−Ｃ３２線断面を示す説明図である。図３２に示すように、金属ギヤである第２小径外歯部１６３は、外周側に突出する突起部１６３ｃを備える。樹脂ギヤである第２大径外歯部１６２は、金属ギヤである第２小径外歯部１６３と一体成形されており、軸ＡＸ２に沿った方向から突起１６３ｃを挟んでいる。突起１６３ｃは、軸ＡＸ２に沿った方向に第２大径外歯部１６２と接触する接触面１６３ｄを有し、第２大径外歯部１６２は、接触面１６３ｄと接触する接触面１６２ｄを有し、接触面１６３ｄと接触面１６２ｄとは、隙間無く接触している。第２中間ギヤ１５３は、このような一体成形された樹脂ギヤである第２大径外歯部１６２を備えるので、金属ギヤである第２小径外歯部１６３の製造精度に関わりなく、第２大径外歯部１６２と第２小径外歯部１６３とを隙間無く結合できる。また、第２中間ギヤ１５３の温度が変化し、あるいは、第２中間ギヤ１５３に掛かるギヤトルクや振動が変化しても、第２大径外歯部１６２と第２小径外歯部１６３との間に隙間が生じにくく、第２中間ギヤ１５３の耐久性を向上できる。

図３２に示すように、突起部１６３ｃは、軸ＡＸ２に沿った方向から樹脂に挟まれている。そのため、第２大径外歯部１６２と第２小径外歯部１６３とが、スラスト方向、すなわち、軸ＡＸ２に沿った方向に抜けることを抑制できる。その結果、軸ＡＸ２に沿った方向の荷重や振動に対する信頼性を向上できる。なお、突起部１６３ｃは、軸ＡＸ２に沿った方向から樹脂に挟まれている構成を採用した方が好ましいが、採用しなくても良い。すなわち、突起部１６３ｃの一方の面にのみ樹脂が存在する構成であってもよい。

図３３は、第２中間ギヤ１５３をその回転の中心となる中心軸ＡＸ２と垂直な方向から見た正面図である。図３４は、第２中間ギヤ１５３を中心軸ＡＸ２に沿った方向第２ハウジング部４２側から見た平面図である。第２中間ギヤ１５３は、外側に樹脂である第２大径外歯部１６２を備え、内側に金属ギヤである第２小径外歯部１６３を備える。第２小径外歯部１６３は、第２大径外歯部１６２から第１ハウジング部４１側に突き出ている。第２大径外歯部１６２は、外周に大歯１６２ｔを備える。

図３５を用いて、突起部１６３ｃの厚さについて説明する。第２中間ギヤ１５３は、第２大径外歯部１６２の軸ＡＸ２に沿った方向の厚さをｔ１とし、突起部１６３ｃの軸方向に沿った厚さをｔ２、ｔ２を測る位置における樹脂部材の突起部１６３ｃを含む軸にＡＸ２に沿った方向の厚さをｔ３とすると、ｔ１＞ｔ２、かつ、ｔ１≧ｔ３を満たしている。なお、図３５では、図示の都合上、ｔ２を示す位置とｔ３を示す位置を異ならせているが、同一の位置である。また、この構成は、第２大径外歯部１６２の軸ＡＸ２に沿った方向の２つの端面の間で、樹脂部材が突起部１６３ｃを挟む構成である。このような構成とすれば、樹脂ギヤである第２大径外歯部１６２の樹脂と、第２大径外歯部１６２に噛み合うギヤである第１中間ギヤ５２との干渉を抑制できる。なお、ｔ１＞ｔ２、かつ、ｔ１≧ｔ３を満たした方が好ましいが、必ずしも満たさなくても良い。

図３１、図３５において、突起部１６３ｃと、樹脂部材との境界となる角１６３ｃｃや隅１６３ｃｓは、面取がされていてもよい。面取をすることで、応力を緩和できる。また、角１６３ｃｃや隅１６３ｃｓに接する樹脂の割れや疲労破壊を抑制できる。なお、面取は、されていなくても良い。図３５に示すように、第２小径外歯部１６３は、軸ＡＸ２に沿った方向の端面１６３ｓ１、１６３ｓ２を有し、第２大径外歯部１６２は、突起部６２ｃを挟む部分において軸ＡＸ２に沿った方向の端面１６２ｓを有している。端面１６３ｓ１、１６３ｓ２は、階段形状を形成しており、端面１６３ｓ２は、端面１６３ｓ１よりも突起部１６３ｃ側にΔｔだけ低く凹んでいる。端面１６２ｓは、端面１６３ｓ２と同一の平面を形成している。こうすれば、樹脂ギヤである第２大径外歯部１６２の成形における樹脂の射出時に、樹脂が端面１６３ｓ２を越えて端面１６３ｓ１までは流れないように、樹脂切りできる。

図３６に示すように、突起部１６３ｃは、突起部１６３ｃの先端１６３ｃｔ側における軸ＡＸ２に沿った方向の厚さｗｔに比べて突起部１６３ｃの根元１６３ｃｂ側における軸ＡＸ２に沿った方向の厚さｗｂが薄いテーパ形状を有していても良い。樹脂を硬化したときに、収縮した樹脂が突起部１６３ｃにより密着するため、作用面１６３ｓにおいて、第２大径外歯部１６２と第２小径外歯部１６３との間の隙間の発生を抑制できる。厚さｗｔに対して厚さｗｂを薄くするには、図３６に示すように、接触面１６３ｄを軸ＡＸ２と垂直な面に対して傾斜がφのテーパ形状とすればよい。テーパ形状は、図１５に示すような直線形状に限られず、凹面、凸面であってもよい。また、テーパ形状の代わりに、階段形状であってもよい。また、テーパ形状は、２つの接触面１６３ｄのうち、一方、あるいは両方に形成されていても良い。なお、突起部１６３ｃは、突起部１６３ｃの先端１６３ｃｔ側における軸ＡＸ２に沿った方向の厚さｗｔに比べて突起部６２ｃの根元６２ｃｂ側における軸ＡＸ２に沿った方向の厚さｗｂが薄くない形状を有していても良い。

図３６に示すように、突起部１６３ｃは、作用面１６３ｓに、先端１６３ｃｔ側に比べて根元１６３ｃｂ側が括れた形状を有してもよい。根元１６３ｃｂ側が括れていると、図示は省略するが、図９で説明したのと同様に、樹脂を硬化させるときに、収縮した樹脂が突起部１６３ｃに、より密着するため、作用面１６３ｓにおいて、第２大径外歯部１６２と第２小径外歯部１６３との間の隙間の発生を抑制できる。すなわち、樹脂ギヤを成形する時の樹脂収縮による樹脂ギヤと金属ギヤとの間の隙間の発生を抑制できる。

図３７に示すように、位置決め部１６３ｈは、樹脂ギヤである第２小径外歯部６３の隣接する２つの歯底１６３ｔｂの中間、すなわち歯先１６３ｔｔと、回転の中心の軸ＡＸ２とを結ぶ線上に設けられている。この位置であれば、ウェルドを第２大径外歯部１６２の隣接する２つの歯底１６２ｔｂに形成させないようなゲートの位置を容易に設定できる。図３７では、ゲートの位置をゲート跡１６２ｇとして図示している。ゲート跡１６２ｇは、例えば、軸ＡＸ２を中心とする同心円上で、かつ、大歯１６２の歯底１６２ｔｂに対応する位置である。ウェルドが歯底１６２ｔｂに生じ難くできる。

第５実施形態において、内フランジでは無く、外フランジとなるが、突起部１６３ｃを第２実施形態から第５実施形態の同様のフランジ形状としてもよい。

上記各実施形態では、アクチュエータ１０の第２中間ギヤ５３を例にとり説明したが、第１中間ギヤ５２においても採用できる。また、アクチュエータ１０は、過給機における過給圧を制御するウェイストゲートバルブ１９の開閉を駆動するアクチュエータ１０を例に挙げて説明したが、他の用途に用いられるアクチュエータ１０であってもよい。例えば、各実施形態で説明したアクチュエータは、過給機２４のタービンに当たる排気の向きを変えるノズルを駆動するアクチュエータ、タービンを２つ備えるツインターボや２ステージターボのタービンの切り替え用のアクチュエータ、可変容量ターボのタービンの切り替え用のアクチュエータなど、過給機における過給圧を制御する弁を駆動するアクチュエータとしても利用できる。

本開示は、上述の実施形態に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の構成で実現することができる。例えば、発明の概要の欄に記載した各形態中の技術的特徴に対応する実施形態の技術的特徴は、上述の課題の一部又は全部を解決するために、あるいは、上述の効果の一部又は全部を達成するために、適宜、差し替えや、組み合わせを行うことが可能である。また、その技術的特徴が本明細書中に必須なものとして説明されていなければ、適宜、削除することが可能である。

本開示は、以下の形態として実現することが可能である。

（１）本開示の一形態によれば、アクチュエータ（１０）が提供される。このアクチュエータは、モータ（３６）と、出力シャフト（２６）と、前記モータの回転を減速して前記出力シャフトに伝達する減速部（３７）と、を備え、前記減速部は、前記出力シャフトに接続される出力ギヤ（５４）を含む複数のギヤ（５１〜５４）を含み、前記複数のギヤは、大歯（６２ｔ）を有する大径のギヤ（６２）と小歯（６３ｔ）を有する小径のギヤ（６３）とをする複合ギヤ（５３）を含み、前記大径のギヤと前記小径のギヤのうちの一方のギヤは、金属部材で形成された金属ギヤであり、他方のギヤは、樹脂部材で前記金属ギヤに一体成形された樹脂ギヤである。

（２）上記形態において、前記樹脂ギヤを形成する樹脂部材は、前記金属ギヤを構成する金属部材の一部を前記複合ギヤの軸（ＡＸ２）に沿った方向から挟んでいてもよい。この形態によれば、樹脂部材が属部材の一部を軸に沿った方向から挟んでいるので、樹脂ギヤと金属ギヤとが、スラスト方向、すなわち、軸に沿った方向に抜けることを抑制できる。

（３）上記形態において、前記大径のギヤの前記大歯の前記複合ギヤの軸に沿った方向の厚さをｔ１、前記金属部材の一部であって前記金属部材の樹脂と結合する部位における前記複合ギヤの軸に沿った方向の厚さをｔ２、前記樹脂部材と前記金属部材の嵌合部における前記複合ギヤの軸に沿った方向の厚さをｔ３、とすると、ｔ１＞ｔ２、かつ、ｔ１≧ｔ３を満たし、前記嵌合部は、前記大径のギヤの前記複合ギヤの軸に垂直な２つの端面から前記複合ギヤの軸に沿った方向に、はみ出ていなくてもよい。この形態によれば、樹脂ギヤの樹脂と、樹脂ギヤの噛み合いの相手のギヤとの干渉を抑制できる。

（４）上記形態において、前記金属部材の一部と、前記樹脂部材との境界となる角（６２ｃｃ、６２ｃｔ）または隅（６２ｃｓ、６２ｃｂ）は、面取がされていてもよい。この形態によれば、面取をすることで、応力を緩和できる。また、角や隅に接する樹脂の割れや疲労破壊を抑制できる。

（５）上記形態において、前記金属ギヤの前記複合ギヤの軸に沿った方向の端面（６２ｓ１）に対し、前記樹脂部材の前記複合ギヤの軸に沿った方向の端面（６３ｓ）が前記金属部材の一部の方向に凹んでいてもよい。この形態によれば、樹脂ギヤの成形における樹脂の射出時に、樹脂が大径のギヤの軸に沿った方向の端面までは流れないように、樹脂切りできる。

（６）上記形態において、前記金属部材の一部は、前記樹脂部材と接触する面であって、前記樹脂ギヤに摩擦力以外の回転方向の力を与え、あるいは、前記樹脂ギヤから摩擦力以外の回転方向の力を受ける作用面（６２ｓ）を有していてもよい。この形態によれば、樹脂ギヤと金属ギヤとの間の相対的な動きを抑制し、摩耗を抑制できる。

（７）上記形態において、前記金属部材の一部は、前記作用面を有する突起部（６２ｃ）を有し、前記作用面は、前記突起部の先端（６２ｃｔ）側に比べて根元（６２ｃｂ）側が括れた形状を有してもよい。この形態によれば、樹脂ギヤを成形する時の樹脂収縮による樹脂ギヤと金属ギヤの金属部材の一部との間の隙間の発生を抑制できる。

（８）上記形態において、前記金属部材の一部は、先端６３ｃｔ側における前記複合ギヤの軸に沿った方向の厚さ（ｗｔ）に比べて根元６３ｃｂ側における前記複合ギヤの軸に沿った方向の厚さ（ｗｂ）が薄いテーパ形状を有していてもよい。この形態によれば、樹脂の硬化時に収縮した樹脂が金属部材の一部により密着するため、樹脂ギヤと金属ギヤとの間の隙間の発生を抑制できる。

（９）上記形態において、前記金属ギヤは、前記樹脂ギヤを一体成形するときに用いられる位置決め部（６２ｈ）を備えてもよい。この形態によれば、樹脂ギヤを成形するときに金属ギヤの位置合わせをするときに、歯を用いずに位置決め部を用いるので、金属ギヤの歯を保護できる。

（１０）上記形態において、位置決め部は、穴の一部が開放した切り欠き形状を有してもよい。位置決め部は、例えばプレスにより形成される。この形態によれば、穴の一部が開放した切り欠き形状であるので、位置決め部の位置は金属部材の端部の穴の開けやすい位置となるので、位置決め部を形成し易い。

（１１）上記形態において、前記位置決め部は、前記樹脂ギヤの隣接する２つの歯底（６３ｔｂ）の中間と、前記複合ギヤの回転の中心とを結ぶ線上に設けられていてもよい。この形態によれば、樹脂の注入により生じるウェルドを樹脂ギヤの歯底６３に形成させないようなゲートの位置を容易に設定できる。

（１２）上記形態において、前記大径のギヤの前記複合ギヤの軸に沿った方向の厚さをｔ１、前記金属部材の一部であって前記金属部材の樹脂と結合する部位における前記複合ギヤの軸に沿った方向の厚さをｔ２、とするときに、前記金属部材の一部における厚さｔ２がｔ１＞ｔ２を満たす前記金属部材の一部に前記位置決め部が設けられていてもよい。この形態によれば、金属部材の一部の厚さが薄部分に位置決め部を形成できるので、位置決め部を形成し易い。

（１３）上記形態において、前記樹脂ギヤは、樹脂が射出された跡である複数のゲート跡を有し、前記複数のゲート跡のうち隣接する２つのゲート跡を結ぶ線の垂直二等分線は、前記複合ギヤの軸よりも前記隣接する２つのゲート跡側において、前記樹脂ギヤの隣接する２つの歯底の間を通ってもよい。この形態によれば、このようなゲート跡を生じさせるように充填された樹脂のウェルドは、樹脂ギヤの隣接する２つの歯底の間を通り、最も力の掛かる歯底を通らない。その結果、樹脂ギヤを破壊され難くできる。

（１４）上記形態において、前記樹脂ギヤの歯の数は、前記ゲート跡の数の整数倍であり、前記ゲート跡は、前記複合ギヤの回転の中心を中心とする同心円上に均等に存在していてもよい。この形態によれば、樹脂ギヤの歯の数は、ゲート跡の数の整数倍となっているので、垂直二等分線が隣接する２つの歯底の間を通るように、すなわちウェルドが歯底に生じないようにゲートの位置を設定し易い。

（１５）上記形態において、前記ゲート跡を通り前記複合ギヤの軸に沿った方向は、前記金属部材の一部を通らなくてもよい。この形態によれば、ゲートから射出された樹脂の射出先に、金属部材の一部が存在しないので、金属部材の一部のゲートと反対側に樹脂を流れやすくできる。

（１６）上記形態において、前記大径のギヤが前記金属ギヤであり、前記小径のギヤが前記樹脂ギヤであってもよい。この形態によれば、小径のギヤに噛み合う出力ギヤが樹脂ギヤである場合に、樹脂ギヤ同士の噛み合いになるため、樹脂ギヤの摩耗を抑制できる。

（１７）上記形態において、前記樹脂ギヤは、前記複合ギヤのシャフト（６１）が挿入される軸穴（５３ｈ）を有してもよい。

（１８）上記形態において、前記樹脂ギヤは、前記小径のギヤの歯の前記大歯側の根元にテーパ形状部（６３ｔｐ）を有してもよい。この形態によれば、樹脂ギヤにおける樹脂の厚さを確保した上で、小径のギヤの歯の大径のギヤ側の端面を大径のギヤ側に移動させることができ、る。その結果、小径のギヤの歯の根元側のＲ形状の半径大きくでき、小径のギヤの歯の根元側の強度を大きくできる。

（１９）上記形態において、前記小径のギヤの歯は、前記大径のギヤ側の端面にＲ形状部を有し、前記Ｒ形状部は、前記大径のギヤの歯の前記小径のギヤの歯側の端面（６２ｔｓ１）よりも前記大径のギヤの歯の前記小径のギヤの歯と反対側の端面（６２ｔｓ２）側に存在していてもよい。この形態によれば、小径のギヤの歯の噛み合いの長さを長く設定することが可能となる。

（２０）上記形態において、前記樹脂ギヤは、複数のゲート跡を有し、前記ゲート跡は、前記小径のギヤの歯の歯底円（６３ｔｂｃ）と、前記樹脂部材の最外周（６３ｏｔ）との中間線（６３ｃｅ）よりも外縁側に存在していてもよい。この形態によれば、樹脂を射出したときにおける円周方向の樹脂の流れを均一化できる。

（２１）上記形態において、過給機（２４）の過給圧制御用バルブ（１９）を駆動してもよい。

なお、本開示は、種々の形態で実現することが可能であり、例えば、ターボチャージャーのウェイストゲートバルブの開閉に用いられるアクチュエータの他、タービンを２つ備えるツインターボのタービンの切り替え用のアクチュエータや、可変容量ターボのタービンの切り替え用のアクチュエータなど過給機における過給圧を制御するアクチュエータとしても実現することができる。また、過給機における過給圧を制御すること以外の他の用途に用いられるアクチュエータであってもよい。また、金属ギヤに樹脂ギヤが一体成形された複合ギヤの製造法等としても実現できる。

１０ アクチュエータ １１ エンジン １２ 吸気通路 １３ 排気通路 １４ 吸気コンプレッサ １４ａ コンプレッサホイール １４ｂ コンプレッサハウジング １５ スロットルバルブ １６ 排気タービン １６ａ タービンホイール １６ｂ タービンハウジング １７ 触媒 １８ バイパス通路 １９ ウェイストゲートバルブ ２０ バルブ軸 ２２ エンジン・コントロール・ユニット ２４ 過給機 ２５ リンク機構 ２６ 出力シャフト ２７ アクチュエータレバー ２８ ロッド ２９ バルブレバー ３０ 回転軸 ３５ ハウジング ３６ モータ ３７ 減速部 ３９ 回転角センサ ４１ 第１ハウジング部 ４２ 第２ハウジング部（ケース） ４３ 締結部材 ４４ 収容空間 ４５ ウェーブワッシャ ４６ モータ挿入穴 ４７ スクリュ ４８、４９ 軸受 ５１ ピニオンギヤ ５２ 第１中間ギヤ ５３ 第２中間ギヤ ５３ｈ 軸穴 ５３ｌ 垂直二等分線 ５４ 出力ギヤ ５５ モータ軸 ５６ 第１金属シャフト ５７ 第１大径外歯部 ５７ｏ 開口 ５８ 第１小径外歯部 ６１ 第２金属シャフト ６２ 第２大径外歯部 ６２ｃ 突起部 ６２ｃｃ （突起部の）角 ６２ｃｂ 根元 ６２ｃｓ 隅 ６２ｃｔ 先端 ６２ｃｙｒ 円周面 ６２ｃｘ、６２ｃｙ、６２ｃｚ 内フランジ ６２ｃｚｄ （内フランジの）下面 ６２ｃｚｕ （内フランジの）上面 ６２ｄ 接触面 ６２ｈ、 位置決め部 ６２ｋｘ、６２ｋｙ、６２ｋｚ、６２ｍｘ 開口 ６２ｓ 作用面 ６２ｓ１ 端面 ６２ｓ２ 端面 ６２ｔ 大歯 ６２ｔｓ１、６２ｔｓ２ 端面 ６２ｘ、６２ｙ、６２ｚ 第２大径外歯部 ６３ 第２小径外歯部 ６３ｂｓ 端面 ６３ｃｅ 中心線 ６３ｄ 接触面 ６３ｅ、６３ｆ 端面 ６３ｇ ゲート跡 ６３ｌ 線 ６３ｏｔ 外周線 ６３ｒ Ｒ形状部 ６３ｓ 端面 ６３ｔ 小歯 ６３ｔｂ 歯底 ６３ｔｂｃ 歯底円 ６３ｔｐ テーパ形状部 ６３ｔｔ 歯先 ６４ 磁気回路部 ６５ 磁束検出部 ６６、６７ 磁石 ６８、６９ ヨーク ８０、８２ 成形型 ８０ｅ 端部 ８１ キャビティ １５３ 第２中間ギヤ １６２ 第２大径外歯部 １６２ｄ 接触面 １６２ｇ ゲート跡 １６２ｓ 端面 １６２ｔ 歯 １６２ｔｂ 歯底 １６３ 第２小径外歯部 １６３ｃ 突起部 １６３ｃｃ 角 １６３ｃｓ 隅 １６３ｄ 接触面 １６３ｌ 線 １６３ｓ 作用面 １６３ｓ１、１６３ｓ２ 端面 １６３ｔ 歯 １６３ｔｂ 歯底 １６３ｔｔ 歯先 ＡＸ１、ＡＸ２、ＡＸ３ 中心軸（軸）

Claims (21)

1. アクチュエータ（１０）であって、
   モータ（３６）と、
   出力シャフト（２６）と、
   前記モータの回転を減速して前記出力シャフトに伝達する減速部（３７）と、
   を備え、
   前記減速部は、前記出力シャフトに接続される出力ギヤ（５４）を含む複数のギヤ（５１〜５４）を含み、
   前記複数のギヤは、大歯（６２ｔ）を有する大径のギヤ（６２）と小歯（６３ｔ）を有する小径のギヤ（６３）とを有する複合ギヤ（５３）を含み、
   前記大径のギヤと前記小径のギヤのうちの一方のギヤは、金属部材で形成された金属ギヤであり、他方のギヤは、樹脂部材で前記金属ギヤに一体成形された樹脂ギヤである、
   アクチュエータ。
2. 請求項１に記載のアクチュエータであって、
   前記樹脂ギヤを形成する樹脂部材は、前記金属ギヤを構成する金属部材の一部を前記複合ギヤの軸（ＡＸ２）に沿った方向から挟んでいる、
   アクチュエータ。
3. 請求項２に記載のアクチュエータであって、
   前記大径のギヤの前記大歯の前記複合ギヤの軸に沿った方向の厚さをｔ１、
   前記金属部材の一部であって前記金属部材の樹脂と結合する部位における前記複合ギヤの軸に沿った方向の厚さをｔ２、
   前記樹脂部材と前記金属部材の嵌合部における前記複合ギヤの軸に沿った方向の厚さをｔ３、とすると、
   ｔ１＞ｔ２、かつ、ｔ１≧ｔ３を満たし、
   前記嵌合部は、前記大径のギヤの前記複合ギヤの軸に垂直な２つの端面から前記複合ギヤの軸に沿った方向に、はみ出ていない、
   アクチュエータ。
4. 請求項２または請求項３に記載のアクチュエータであって、
   前記金属部材の一部と、前記樹脂部材との境界となる角（６２ｃｃ、６２ｃｔ）または隅（６２ｃｓ、６２ｃｂ）は、面取がされている、アクチュエータ。
5. 請求項１から請求項４のいずれか一項に記載のアクチュエータであって、
   前記金属ギヤの前記複合ギヤの軸に沿った方向の端面（６２ｓ１）に対し、前記樹脂部材の前記複合ギヤの軸に沿った方向の端面（６３ｓ）が前記金属部材の一部の方向に凹んでいる、アクチュエータ。
6. 請求項１から請求項５のいずれか一項に記載のアクチュエータであって、
   前記金属部材の一部は、前記樹脂部材と接触する面であって、前記樹脂ギヤに摩擦力以外の回転方向の力を与え、あるいは、前記樹脂ギヤから摩擦力以外の回転方向の力を受ける作用面（６２ｓ）を有している、アクチュエータ。
7. 請求項６に記載のアクチュエータであって、
   前記金属部材の一部は、前記作用面を有する突起部（６２ｃ）を有し、
   前記作用面は、前記突起部の先端（６２ｃｔ）側に比べて根元（６２ｃｂ）側が括れた形状を有する、アクチュエータ。
8. 請求項１から請求項７のいずれか一項に記載のアクチュエータであって、
   前記金属部材の一部は、先端６３ｃｔ側における前記複合ギヤの軸に沿った方向の厚さ（ｗｔ）に比べて根元６３ｃｂ側における前記複合ギヤの軸に沿った方向の厚さ（ｗｂ）が薄いテーパ形状を有する、アクチュエータ。
9. 請求項１から請求項８のいずれか一項に記載のアクチュエータであって、
   前記金属ギヤは、前記樹脂ギヤを一体成形するときに用いられる位置決め部（６２ｈ）を備える、アクチュエータ。
10. 請求項９に記載のアクチュエータであって、
    前記位置決め部は、穴の一部が開放した切り欠き形状を有する、アクチュエータ。
11. 請求項９または請求項１０に記載のアクチュエータであって、
    前記位置決め部は、前記樹脂ギヤの隣接する２つの歯底（６３ｔｂ）の中間と、前記複合ギヤの回転の中心とを結ぶ線上に設けられている、
    アクチュエータ。
12. 請求項９から請求項１１のいずれか一項に記載のアクチュエータであって、
    前記大径のギヤの前記複合ギヤの軸に沿った方向の厚さをｔ１、
    前記金属部材の一部であって前記金属部材の樹脂と結合する部位における前記複合ギヤの軸に沿った方向の厚さをｔ２、
    とするときに、前記金属部材の一部における厚さｔ２がｔ１＞ｔ２を満たす前記金属部材の一部に前記位置決め部が設けられている、アクチュエータ。
13. 請求項１から請求項１２のいずれか一項に記載のアクチュエータであって、
    前記樹脂ギヤは、樹脂が射出された跡である複数のゲート跡（６３ｇ）を有し、
    前記複数のゲート跡のうち隣接する２つのゲート跡を結ぶ線の垂直二等分線（５３ｌ）は、前記複合ギヤの軸よりも前記隣接する２つのゲート跡側において、前記樹脂ギヤの隣接する２つの歯底の間を通る、
    アクチュエータ。
14. 請求項１３に記載のアクチュエータであって、
    前記樹脂ギヤの歯の数は、前記ゲート跡の数の整数倍であり、
    前記ゲート跡は、前記複合ギヤの回転の中心を中心とする同心円上に均等に存在している、
    アクチュエータ。
15. 請求項１３または１４に記載のアクチュエータであって、
    前記ゲート跡を通り前記複合ギヤの軸に沿った方向は、前記金属部材の一部を通らない、アクチュエータ。
16. 請求項１から請求項１５のいずれか一項に記載のアクチュエータであって、
    前記大径のギヤが前記金属ギヤであり、前記小径のギヤが前記樹脂ギヤである、
    アクチュエータ。
17. 請求項１６に記載のアクチュエータであって、
    前記樹脂ギヤは、前記複合ギヤのシャフト（６１）が挿入される軸穴（５３ｈ）を有する、
    アクチュエータ。
18. 請求項１６または請求項１７に記載のアクチュエータであって、
    前記樹脂ギヤは、前記小径のギヤの歯の前記大歯側の根元にテーパ形状部（６３ｔｐ）を有する、アクチュエータ。
19. 請求項１６から請求項１８のいずれか一項に記載のアクチュエータであって、
    前記小径のギヤの歯は、前記大径のギヤ側の端面にＲ形状部を有し、
    前記Ｒ形状部は、前記大径のギヤの歯の前記小径のギヤの歯側の端面（６２ｔｓ１）よりも前記大径のギヤの歯の前記小径のギヤの歯と反対側の端面（６２ｔｓ２）側に存在している、アクチュエータ。
20. 請求項１６から請求項１９のいずれか一項に記載のアクチュエータであって、
    前記樹脂ギヤは、複数のゲート跡を有し、
    前記ゲート跡は、前記小径のギヤの歯の歯底円（６３ｔｂｃ）と、前記樹脂部材の最外周（６３ｏｔ）との中間線（６３ｃｅ）よりも外縁側に存在している、アクチュエータ。
21. 請求項１から請求項２０のいずれか一項に記載のアクチュエータであって、
    過給機（２４）の過給圧制御用バルブ（１９）を駆動する、
    アクチュエータ。

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