JP2020107762A - プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 - Google Patents
プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2020107762A JP2020107762A JP2018246076A JP2018246076A JP2020107762A JP 2020107762 A JP2020107762 A JP 2020107762A JP 2018246076 A JP2018246076 A JP 2018246076A JP 2018246076 A JP2018246076 A JP 2018246076A JP 2020107762 A JP2020107762 A JP 2020107762A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cover member
- upper electrode
- plasma
- gas
- plasma processing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims abstract description 148
- 238000003672 processing method Methods 0.000 title claims description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 35
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims abstract description 20
- 230000006870 function Effects 0.000 claims abstract description 16
- 230000008569 process Effects 0.000 claims abstract description 11
- 239000002826 coolant Substances 0.000 claims abstract description 8
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 95
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 claims description 26
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 17
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims description 3
- 238000009833 condensation Methods 0.000 abstract description 36
- 230000005494 condensation Effects 0.000 abstract description 36
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 15
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 14
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 10
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 10
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 description 9
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 7
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 6
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 6
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 4
- -1 PolyPropylene Polymers 0.000 description 3
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 3
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004734 Polyphenylene sulfide Substances 0.000 description 2
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 2
- XECAHXYUAAWDEL-UHFFFAOYSA-N acrylonitrile butadiene styrene Chemical compound C=CC=C.C=CC#N.C=CC1=CC=CC=C1 XECAHXYUAAWDEL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004676 acrylonitrile butadiene styrene Substances 0.000 description 2
- 229920000122 acrylonitrile butadiene styrene Polymers 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 description 2
- 229920001707 polybutylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 229920000069 polyphenylene sulfide Polymers 0.000 description 2
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- BSYNRYMUTXBXSQ-UHFFFAOYSA-N Aspirin Chemical compound CC(=O)OC1=CC=CC=C1C(O)=O BSYNRYMUTXBXSQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000049 Carbon (fiber) Polymers 0.000 description 1
- 239000004677 Nylon Substances 0.000 description 1
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000006227 byproduct Substances 0.000 description 1
- 239000004917 carbon fiber Substances 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009616 inductively coupled plasma Methods 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 230000009545 invasion Effects 0.000 description 1
- 238000011068 loading method Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229920001778 nylon Polymers 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 239000012994 photoredox catalyst Substances 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920005668 polycarbonate resin Polymers 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
- H01J37/32082—Radio frequency generated discharge
- H01J37/32174—Circuits specially adapted for controlling the RF discharge
- H01J37/32183—Matching circuits
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32431—Constructional details of the reactor
- H01J37/32715—Workpiece holder
- H01J37/32724—Temperature
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32431—Constructional details of the reactor
- H01J37/32458—Vessel
- H01J37/32522—Temperature
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32431—Constructional details of the reactor
- H01J37/3244—Gas supply means
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32431—Constructional details of the reactor
- H01J37/3244—Gas supply means
- H01J37/32449—Gas control, e.g. control of the gas flow
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32431—Constructional details of the reactor
- H01J37/32532—Electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32431—Constructional details of the reactor
- H01J37/32532—Electrodes
- H01J37/32559—Protection means, e.g. coatings
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32431—Constructional details of the reactor
- H01J37/32798—Further details of plasma apparatus not provided for in groups H01J37/3244 - H01J37/32788; special provisions for cleaning or maintenance of the apparatus
- H01J37/32816—Pressure
- H01J37/32834—Exhausting
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/302—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to change their surface-physical characteristics or shape, e.g. etching, polishing, cutting
- H01L21/306—Chemical or electrical treatment, e.g. electrolytic etching
- H01L21/3065—Plasma etching; Reactive-ion etching
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
- H01L21/67063—Apparatus for fluid treatment for etching
- H01L21/67069—Apparatus for fluid treatment for etching for drying etching
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67098—Apparatus for thermal treatment
- H01L21/67109—Apparatus for thermal treatment mainly by convection
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67248—Temperature monitoring
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/6831—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using electrostatic chucks
- H01L21/6833—Details of electrostatic chucks
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/002—Cooling arrangements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/32—Processing objects by plasma generation
- H01J2237/33—Processing objects by plasma generation characterised by the type of processing
- H01J2237/334—Etching
- H01J2237/3343—Problems associated with etching
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Plasma Technology (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
Abstract
Description
[プラズマ処理装置1の構成]
図1は、本開示の第1の実施形態におけるプラズマ処理装置1の一例を示す概略断面図である。プラズマ処理装置1は、被処理体の一例である半導体ウエハ(以下、ウエハと記載する)に対してエッチングや成膜等のプラズマ処理を行う装置である。プラズマ処理装置1は、装置本体10および制御装置100を備える。プラズマ処理装置1は、空気の温度および湿度が所定範囲に制御されたクリーンルーム内等に配置されている。
図2は、アンテナ室内の圧力変化の一例を示す図である。初期状態において、アンテナ室内は、処理容器11の外気と同じ空気で満たされており、アンテナ室内の圧力は、処理容器11の外気の圧力と同じ圧力P0(例えば1気圧)である。処理容器11の外気の温度は、例えば25℃であり、湿度は、例えば50%である。
ここで、カバー部材11aに冷媒が流れる配管93を直接固定してしまうと、冷媒により冷却された配管93によりカバー部材11aの熱が奪われ、カバー部材11aの温度が低下してしまう場合がある。アンテナ室内は低露点ガスで満たされるため、カバー部材11aの内側の結露は抑制されるが、カバー部材11aの外側はカバー部材11aの外気に触れているため、結露が発生する場合がある。カバー部材11aの外側に結露が発生した場合、結露により生じた水分により、装置本体10の外側に配置された電気部品が故障する場合がある。
図7は、本開示の第1の実施形態におけるプラズマ処理方法の一例を示すフローチャートである。図7に例示された処理は、制御装置100が装置本体10の各部を制御することにより実現される。
第1の実施形態におけるプラズマ処理装置1では、アンテナ室内に低露点ガスが供給され、水分を含む空気がアンテナ室内から押し出されることにより、アンテナ室内が低露点ガスで満たされる。ところで、アンテナ室の気密性を低くしてしまうと、アンテナ室内を陽圧にしてもアンテナ室内への外気の侵入を抑制することが難しい。そのため、アンテナ室にはある程度の気密性が要求される。しかし、アンテナ室の気密性を高めると、アンテナ室内のガスの置換に時間がかかる。
図10は、本開示の第2の実施形態におけるプラズマ処理方法の一例を示すフローチャートである。図10に例示された処理は、制御装置100が装置本体10の各部を制御することにより実現される。
給電棒44は、中空の筒状の部材であるため、給電棒44の内部の空間には空気が存在する。給電棒44の内部の空間とアンテナ室とが連通していない場合、アンテナ室が低露点ガスで満たされたとしても、給電棒44内の空間には空気が存在する。シャワーヘッド34が冷却されると、シャワーヘッド34に高周波電力を供給している給電棒44の熱がシャワーヘッド34に奪われ、給電棒44の温度が下がる。給電棒44の温度が下がると、給電棒44の内部の空間に存在する空気の水分によって給電棒44の内壁が結露する場合がある。
シャワーヘッド34が冷却されると、シャワーヘッド34に接続されている給電棒44の熱がシャワーヘッド34に奪われる。これにより、カバー部材11aの外部に位置する給電棒44の部分や、給電棒44に接続している整合器46も冷却される場合がある。カバー部材11aの外部に位置する給電棒44の部分や整合器46は、カバー部材11aの外気に触れているため、冷却されると結露する場合がある。カバー部材11aの外部に位置する給電棒44の部分を断熱材で覆うことも考えられるが、断熱材を配置するスペースを確保することが難しい場合がある。また、整合器46内の電気部品を全て断熱材で覆うことは難しいため、整合器46内の電気部品の結露を防ぐことは難しい。
第4の実施形態では、ヒータ電源512から供給された電力によってヒータ510が発した熱により給電棒44の一部が加熱された。これに対し、本実施形態では、給電棒44の周囲に加熱された流体を循環させることにより、給電棒44の一部が加熱される。
第4および第5の実施形態では、給電棒44の外側から給電棒44の一部が加熱された。これに対し、本実施形態では、中空の給電棒44の内部に加熱された流体を循環させることにより、給電棒44が加熱される。
なお、本願に開示された技術は、上記した実施形態に限定されるものではなく、その要旨の範囲内で数々の変形が可能である。
1 プラズマ処理装置
10 装置本体
100 制御装置
11 処理容器
11a カバー部材
16 載置台
18 静電チャック
34 シャワーヘッド
36 天板
38 ベース部材
40 拡散室
44 給電棒
46 整合器
48 高周波電源
64 配管
66 ガス供給源
83 APCバルブ
84 排気装置
89 配管
90 バルブ
92 流路
93 配管
93a フランジ
94 チラーユニット
95 配管
96 バルブ
98 ガス供給源
99 圧力計
500 貫通穴
510 ヒータ
511 配線
512 ヒータ電源
520 加熱ジャケット
521 流路
522 配管
523 温度制御装置
530 配管
531 温度制御装置
900 断熱部材
Claims (10)
- 処理容器と、
前記処理容器内に配置され、下部電極として機能する載置台と、
前記載置台の対向電極として機能する上部電極と、
前記載置台および前記上部電極の少なくともいずれかに高周波電力を供給することにより、前記処理容器内のガスをプラズマ化し、プラズマにより前記載置台上の被処理体を処理するプラズマ処理部と、
前記上部電極を上方から覆うカバー部材と、
前記カバー部材内に設けられ、前記処理容器の外気の露点温度よりも低い温度の冷媒を用いて前記上部電極を冷却する冷却部と、
前記カバー部材と前記上部電極とで覆われた空間内に、前記外気よりも露点温度が低い低露点ガスを供給するガス供給部と
を備えるプラズマ処理装置。 - 前記低露点ガスは、不活性ガスまたはドライエアである請求項1に記載のプラズマ処理装置。
- 前記ガス供給部は、
前記カバー部材と前記上部電極とで覆われた空間内の圧力が陽圧となるように、前記低露点ガスの流量を制御する請求項1または2に記載のプラズマ処理装置。 - 前記カバー部材と前記上部電極とで覆われた空間内のガスを排気する排気装置を備え、
前記ガス供給部は、
前記カバー部材と前記上部電極とで覆われた空間内の圧力が所定の圧力以下になった後に、前記低露点ガスの供給を開始する請求項1から3のいずれか一項に記載のプラズマ処理装置。 - 処理容器と、
前記処理容器内に配置され、下部電極として機能する載置台と、
前記載置台の対向電極として機能する上部電極と、
前記載置台および前記上部電極の少なくともいずれかに高周波電力を供給することにより、前記処理容器内のガスのプラズマを生成し、前記プラズマにより前記載置台上の被処理体を処理するプラズマ処理部と、
前記上部電極を上方から覆うカバー部材と、
前記カバー部材内に設けられ、前記処理容器の外気の露点温度よりも低い温度の冷媒を用いて前記上部電極を冷却する冷却部と、
前記カバー部材と前記上部電極とで覆われた空間内のガスを排気する排気装置と、
前記カバー部材と前記上部電極とで覆われた空間内の圧力が所定の圧力以下となるように前記排気装置によるガスの排気量を制御する圧力調整部と
を備えるプラズマ処理装置。 - 前記カバー部材内に配置され、前記プラズマ処理部から供給される高周波電力を前記上部電極に導く中空の導電部材を備え、
前記導電部材の側壁には、貫通穴が形成されており、
前記カバー部材内の空間と、前記導電部材内の空間とは、前記貫通穴を介して連通している請求項1から5のいずれか一項に記載のプラズマ処理装置。 - 前記カバー部材内に配置され、前記プラズマ処理部から供給される高周波電力を前記上部電極に導く導電部材と、
前記導電部材の一部を覆い、前記導電部材を加熱するヒータと
を備える請求項1から5のいずれか一項に記載のプラズマ処理装置。 - 前記カバー部材内に配置され、前記プラズマ処理部から供給される高周波電力を前記上部電極に導く中空の導電部材と、
前記導電部材内の空間に、前記冷媒よりも温度が高い流体を循環させる流体供給部と
を備える請求項1から5のいずれか一項に記載のプラズマ処理装置。 - 前記カバー部材の外部に設けられ、前記冷媒の温度を制御する温度制御部と、
一部が前記カバー部材内に配置され、一部が前記カバー部材の外部に配置され、前記温度制御部によって温度が制御された前記冷媒を前記冷却部に供給する配管と
を備え、
前記配管は、電磁波遮蔽性および断熱性を有する部材を介して前記カバー部材の側壁に固定されている請求項1から8のいずれか一項に記載のプラズマ処理装置。 - 処理容器内に配置され、下部電極として機能する載置台の対向電極として機能する上部電極と、前記上部電極を上方から覆うカバー部材との間の空間内に、前記処理容器の外気よりも露点温度が低い低露点ガスを供給する供給工程と、
前記カバー部材内に設けられ、前記外気の露点温度よりも低い温度の冷媒を用いて前記上部電極を冷却する冷却工程と、
前記載置台および前記上部電極の少なくともいずれかに高周波電力を供給することにより、前記処理容器内のガスをプラズマ化し、プラズマにより前記載置台上の被処理体を処理するプラズマ処理工程と
を含むプラズマ処理方法。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018246076A JP7134863B2 (ja) | 2018-12-27 | 2018-12-27 | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 |
TW108146145A TWI821482B (zh) | 2018-12-27 | 2019-12-17 | 電漿處理裝置及電漿處理方法 |
US16/724,757 US11183371B2 (en) | 2018-12-27 | 2019-12-23 | Plasma processing apparatus and plasma processing method |
KR1020190173021A KR20200081273A (ko) | 2018-12-27 | 2019-12-23 | 플라즈마 처리 장치 및 플라즈마 처리 방법 |
CN201911378065.9A CN111383899A (zh) | 2018-12-27 | 2019-12-27 | 等离子体处理装置和等离子体处理方法 |
US17/505,944 US11862436B2 (en) | 2018-12-27 | 2021-10-20 | Plasma processing apparatus and plasma processing method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018246076A JP7134863B2 (ja) | 2018-12-27 | 2018-12-27 | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020107762A true JP2020107762A (ja) | 2020-07-09 |
JP7134863B2 JP7134863B2 (ja) | 2022-09-12 |
Family
ID=71123076
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018246076A Active JP7134863B2 (ja) | 2018-12-27 | 2018-12-27 | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US11183371B2 (ja) |
JP (1) | JP7134863B2 (ja) |
KR (1) | KR20200081273A (ja) |
CN (1) | CN111383899A (ja) |
TW (1) | TWI821482B (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI753631B (zh) * | 2020-10-28 | 2022-01-21 | 凌嘉科技股份有限公司 | 冷卻系統 |
KR20220103010A (ko) | 2021-01-14 | 2022-07-21 | 삼성전자주식회사 | 반도체 제조 장치 |
WO2023228763A1 (ja) * | 2022-05-25 | 2023-11-30 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置及び酸素混入抑制方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7114763B1 (ja) * | 2021-02-15 | 2022-08-08 | 株式会社Kokusai Electric | 半導体装置の製造方法、基板処理装置、プログラム、および基板処理方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH038428U (ja) * | 1989-06-12 | 1991-01-28 | ||
JPH03107484A (ja) * | 1989-09-20 | 1991-05-07 | Hitachi Ltd | プラズマ処理装置 |
JPH06236858A (ja) * | 1993-02-10 | 1994-08-23 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理装置 |
JPH06252101A (ja) * | 1993-02-24 | 1994-09-09 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理装置 |
JPH0737862A (ja) * | 1991-07-08 | 1995-02-07 | Fujitsu Ltd | 低温処理装置 |
JPH0974129A (ja) * | 1995-06-30 | 1997-03-18 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理方法 |
JP2003321774A (ja) * | 2002-02-28 | 2003-11-14 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理装置及び電極ユニット |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TW296534B (ja) * | 1993-12-17 | 1997-01-21 | Tokyo Electron Co Ltd | |
US6015465A (en) * | 1998-04-08 | 2000-01-18 | Applied Materials, Inc. | Temperature control system for semiconductor process chamber |
US6894245B2 (en) * | 2000-03-17 | 2005-05-17 | Applied Materials, Inc. | Merie plasma reactor with overhead RF electrode tuned to the plasma with arcing suppression |
KR100735932B1 (ko) * | 2001-02-09 | 2007-07-06 | 동경 엘렉트론 주식회사 | 성막 장치 |
US8854790B1 (en) * | 2002-04-22 | 2014-10-07 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd | Electrostatic chuck assembly |
EP1667217A1 (en) * | 2003-09-03 | 2006-06-07 | Tokyo Electron Limited | Gas treatment device and heat readiting method |
JP5323306B2 (ja) * | 2006-07-12 | 2013-10-23 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマエッチング方法およびコンピュータ読取可能な記憶媒体 |
JP5125024B2 (ja) * | 2006-08-10 | 2013-01-23 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置用の載置台及びプラズマ処理装置 |
JP5168907B2 (ja) * | 2007-01-15 | 2013-03-27 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置、プラズマ処理方法及び記憶媒体 |
JP4368932B2 (ja) * | 2007-08-31 | 2009-11-18 | パナソニック株式会社 | プラズマドーピング処理装置及び方法 |
JP5224855B2 (ja) * | 2008-03-05 | 2013-07-03 | 東京エレクトロン株式会社 | 電極ユニット、基板処理装置及び電極ユニットの温度制御方法 |
JP5295829B2 (ja) * | 2009-03-12 | 2013-09-18 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板洗浄方法 |
JP5503503B2 (ja) * | 2010-11-09 | 2014-05-28 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置 |
JP2015095551A (ja) * | 2013-11-12 | 2015-05-18 | 東京エレクトロン株式会社 | シャワーヘッドアセンブリ及びプラズマ処理装置 |
JP6877133B2 (ja) * | 2016-03-28 | 2021-05-26 | 株式会社日立ハイテク | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 |
-
2018
- 2018-12-27 JP JP2018246076A patent/JP7134863B2/ja active Active
-
2019
- 2019-12-17 TW TW108146145A patent/TWI821482B/zh active
- 2019-12-23 US US16/724,757 patent/US11183371B2/en active Active
- 2019-12-23 KR KR1020190173021A patent/KR20200081273A/ko active Search and Examination
- 2019-12-27 CN CN201911378065.9A patent/CN111383899A/zh active Pending
-
2021
- 2021-10-20 US US17/505,944 patent/US11862436B2/en active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH038428U (ja) * | 1989-06-12 | 1991-01-28 | ||
JPH03107484A (ja) * | 1989-09-20 | 1991-05-07 | Hitachi Ltd | プラズマ処理装置 |
JPH0737862A (ja) * | 1991-07-08 | 1995-02-07 | Fujitsu Ltd | 低温処理装置 |
JPH06236858A (ja) * | 1993-02-10 | 1994-08-23 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理装置 |
JPH06252101A (ja) * | 1993-02-24 | 1994-09-09 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理装置 |
JPH0974129A (ja) * | 1995-06-30 | 1997-03-18 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理方法 |
JP2003321774A (ja) * | 2002-02-28 | 2003-11-14 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理装置及び電極ユニット |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI753631B (zh) * | 2020-10-28 | 2022-01-21 | 凌嘉科技股份有限公司 | 冷卻系統 |
KR20220103010A (ko) | 2021-01-14 | 2022-07-21 | 삼성전자주식회사 | 반도체 제조 장치 |
WO2023228763A1 (ja) * | 2022-05-25 | 2023-11-30 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置及び酸素混入抑制方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI821482B (zh) | 2023-11-11 |
US11862436B2 (en) | 2024-01-02 |
TW202042302A (zh) | 2020-11-16 |
KR20200081273A (ko) | 2020-07-07 |
CN111383899A (zh) | 2020-07-07 |
JP7134863B2 (ja) | 2022-09-12 |
US11183371B2 (en) | 2021-11-23 |
US20220044914A1 (en) | 2022-02-10 |
US20200211826A1 (en) | 2020-07-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11264208B2 (en) | Plasma processing apparatus and method for controlling radio-frequency power supply of plasma processing apparatus | |
JP7134863B2 (ja) | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 | |
US7895970B2 (en) | Structure for plasma processing chamber, plasma processing chamber, plasma processing apparatus, and plasma processing chamber component | |
US7815740B2 (en) | Substrate mounting table, substrate processing apparatus and substrate processing method | |
US9275836B2 (en) | Plasma processing apparatus and plasma processing method | |
US9263298B2 (en) | Plasma etching apparatus and plasma etching method | |
US20150187542A1 (en) | Substrate processing apparatus, shutter device and plasma processing apparatus | |
US20120037314A1 (en) | Substrate processing apparatus and side wall component | |
JP4777790B2 (ja) | プラズマ処理室用構造物、プラズマ処理室、及びプラズマ処理装置 | |
EP1073779A1 (en) | Reduced impedance chamber | |
JP7110076B2 (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
KR20190025365A (ko) | 플라즈마 처리 장치 및 이를 이용한 반도체 소자의 제조 방법 | |
US20210313202A1 (en) | Substrate support | |
US20190237305A1 (en) | Method for applying dc voltage and plasma processing apparatus | |
US11417502B2 (en) | Plasma processing system and substrate processing method | |
KR102330281B1 (ko) | 정전 척 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 | |
JP7433164B2 (ja) | 基板処理システム | |
US11810769B2 (en) | Piping assembly and substrate processing apparatus | |
US20210332931A1 (en) | Piping system and processing apparatus | |
JP4115155B2 (ja) | プラズマ処理装置の真空処理室内部品の帯電抑制方法 | |
US11705309B2 (en) | Substrate processing method | |
JP7138550B2 (ja) | 基板処理装置 | |
CN112490102A (zh) | 热介质循环系统和基板处理装置 | |
KR102344256B1 (ko) | 기판 처리 장치 | |
JP2009152233A (ja) | 半導体製造装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210816 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20220711 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220802 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220831 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7134863 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |