JP2020097000A - スリットコーター - Google Patents
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Abstract
Description
ことが好ましい。
図1は、本発明の実施の形態に係るスリットコーター1の全体構成を示す斜視図である。なお、以降に説明する各図は、図1の図示奥行方向をX方向、X方向に直交する方向をY方向又は左右方向、X−Y平面に対して直交する方向をZ方向又は上下方向と記載して説明する。また、以降説明する各図は、適宜縮尺及び拡大率を変えている。スリットコーター1は、液体を吐出する吐出ヘッド機構部2と、ワークである基板3を吸着してX方向に移動するステージ駆動機構部4と、液供給タンク5から液体を吸引して吐出ヘッド機構部2(具体的にはスリットダイ20、図2、図4参照)に供給するポンプ6と、を有している。X方向は、基板3が吐出ヘッド機構部2に対して相対的に移動する方向であって、塗膜を形成していく方向である。
以降に説明する吐出ヘッド機構部2は、基準線P(図9参照)に対して左右対称に振り分け塗布が可能な構成(吐出ヘッド機構部2A)と、基準位置に対して左右任意形状に塗布が可能な構成(吐出ヘッド機構部2B)とがある。まず、吐出ヘッド機構部2Aの構成について、図2〜図5を参照して説明する。
次に、スリットダイ20の構成について図6〜図8を参照して説明する。
図9は、塗膜形成時の動作を模式的に示す説明図であり、図10は、円形の塗膜を形成するときの動作を模式的に示す説明図である。図9(a)は、塗布前の初期状態を示す図であり、可動ダイプレート21及びスリットダイ20が移動しない状態を示している。この状態においては、スリット状ノズル81のスリット長は最少塗布幅(最少スリット長)となっている。スリット長の中心を通る直線を基準線Pと表す。マニホールド79,80は、スリット状ノズル81の形成範囲において交差している。なお、最少スリット長を「0」とすることもある。
図2〜図5に記載の吐出ヘッド機構部2Aが、基準線Pに対して左右対称にセンター振り分け塗布が可能な構成であることに対して、吐出ヘッド機構部2Bは基準線Pに対して左右任意形状に塗膜Sを形成することが可能な構成であることに特徴を有している。具体的には、スリットダイスライド機構専用のモータ91を有していることが吐出ヘッド既往部Aとの相違点であり、スリットダイ20及び可動ダイプレートスライド機構23の構成は吐出ヘッド機構部2Aと同じである。
Claims (10)
- スリットコート法によってワーク上に液体を吐出して塗膜を形成するスリットコーターであって、
固定ダイプレート、前記固定ダイプレートに対して長さ方向にスライド移動可能な可動ダイプレート及び前記固定ダイプレートと前記可動ダイプレートとの接合面に形成されるスリット状ノズルとを有してメインフレームに取付けられるスリットダイと、
前記可動ダイプレートをスライド移動させて前記スリット状ノズルのスリット長を変更する可動ダイプレートスライド機構と、
前記スリットダイを前記メインフレームに沿ってスライド移動させるスリットダイスライド機構と、
前記ワークをステージに吸着して搬送するステージ駆動機構と、
を有し、
前記固定ダイプレート及び前記可動ダイプレートには、それぞれ前記スリット状ノズルのスリットギャップの大きさを規定するシムプレートが着脱可能に固定されている、
ことを特徴とするスリットコーター。 - 請求項1に記載のスリットコーターにおいて、
前記可動ダイプレートスライド機構と前記スリットダイスライド機構とは、複数の歯車によって1個のモータに連結されており、
前記スリットダイの移動距離は、前記可動ダイプレートの移動距離の1/2であり、
前記スリットダイの移動方向は前記可動ダイプレートの移動方向に対して逆方向である、
ことを特徴とするスリットコーター。 - 請求項1に記載のスリットコーターにおいて、
前記スリットダイスライド機構及び前記可動ダイプレートスライド機構は、それぞれを独立して駆動するモータを有している、
ことを特徴とするスリットコーター。 - 請求項1から請求項3のいずれか1項に記載のスリットコーターにおいて、
前記可動ダイプレート及び前記固定ダイプレートはそれぞれ、スリット状ノズルに前記液体を供給するためのマニホールド部を備えており、
各前記マニホールド部は連通して1個のマニホールドを形成し、
前記可動ダイプレートの移動位置に関わらず前記マニホールドの容積は一定である、
ことを特徴とするスリットコーター。 - 請求項1から請求項4のいずれか1項に記載のスリットコーターにおいて、
前記可動ダイプレートと前記固定ダイプレートとは、前記可動ダイプレートの移動方向に延長された平行キーによって案内されている、
ことを特徴とするスリットコーター。 - 請求項1から請求項5のいずれか1項に記載のスリットコーターにおいて、
前記ワーク上に前記液体を吐出して塗膜を形成する際に、前記スリット状ノズルのスリット長の変化及び前記ワークの移動速度に応じて前記マニホールドへの前記液体の供給量を制御する液量コントローラをさらに有している、
ことを特徴とするスリットコーター。 - 請求項1から請求項5のいずれか1項に記載のスリットコーターにおいて、
前記液体の供給量を一定にして前記スリット長の変化に同期して前記ワークの移動速度を制御する送り速度コントローラをさらに有している、
ことを特徴とするスリットコーター。 - 請求項1から請求項7のいずれか1項に記載のスリットコーターにおいて、
前記可動ダイプレートと前記固定ダイプレートとの摺動面に塗布対象の前記液体が塗布されている、
ことを特徴とするスリットコーター。 - 請求項1から請求項8のいずれか1項に記載のスリットコーターにおいて、
前記可動ダイプレートを前記固定ダイプレートに押圧するローラ及び前記ローラを支持するカムフォロアベースとから構成される押圧手段をさらに有している、
ことを特徴とするスリットコーター。 - 請求項1から請求項9のいずれか1項に記載のスリットコーターにおいて、
前記ワークが厚み方向に曲面を有しているときに、前記スリット状ノズルが前記曲面の法線延長上に配置されるよう前記スリットダイを傾斜させるスリットダイ回動機構部をさらに有している、
ことを特徴とするスリットコーター。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018235964A JP6904583B2 (ja) | 2018-12-18 | 2018-12-18 | スリットコーター |
PCT/JP2019/049660 WO2020130045A1 (ja) | 2018-12-18 | 2019-12-18 | スリットコーター |
EP19899183.8A EP3900843A4 (en) | 2018-12-18 | 2019-12-18 | SLOT COATER |
CN201980015331.3A CN111819008B (zh) | 2018-12-18 | 2019-12-18 | 狭缝涂布机 |
KR1020207031584A KR102394822B1 (ko) | 2018-12-18 | 2019-12-18 | 슬릿 코터 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018235964A JP6904583B2 (ja) | 2018-12-18 | 2018-12-18 | スリットコーター |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020097000A true JP2020097000A (ja) | 2020-06-25 |
JP6904583B2 JP6904583B2 (ja) | 2021-07-21 |
Family
ID=71100862
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018235964A Active JP6904583B2 (ja) | 2018-12-18 | 2018-12-18 | スリットコーター |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP3900843A4 (ja) |
JP (1) | JP6904583B2 (ja) |
KR (1) | KR102394822B1 (ja) |
CN (1) | CN111819008B (ja) |
WO (1) | WO2020130045A1 (ja) |
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2018
- 2018-12-18 JP JP2018235964A patent/JP6904583B2/ja active Active
-
2019
- 2019-12-18 WO PCT/JP2019/049660 patent/WO2020130045A1/ja unknown
- 2019-12-18 CN CN201980015331.3A patent/CN111819008B/zh active Active
- 2019-12-18 EP EP19899183.8A patent/EP3900843A4/en active Pending
- 2019-12-18 KR KR1020207031584A patent/KR102394822B1/ko active IP Right Grant
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EP3900843A4 (en) | 2022-10-12 |
JP6904583B2 (ja) | 2021-07-21 |
KR20200138812A (ko) | 2020-12-10 |
EP3900843A1 (en) | 2021-10-27 |
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Date | Code | Title | Description |
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