JP7242092B1 - 塗布ヘッド - Google Patents

Abstract

【課題】塗布液の漏れを防止するとともに、固定ダイブロックと可動ダイブロックとの摺動面に傷がつくことを防止し、塗布厚みを安定させることが可能な塗布ヘッドを提供すること。【解決手段】塗布ヘッド１は、固定ダイブロック１０と、固定ダイブロック１０の摺動面に沿ってスライド移動可能な可動ダイブロック１１と、流体圧（空気圧）を使用して固定ダイブロック１０と可動ダイブロック１１とを密着させる第１加圧機構１６を有している。塗布ヘッド１は、固定ダイブロック１０と可動ダイブロック１１との間の摺動面に形成されるスリット状ノズル１２から塗布液を吐出する。【選択図】図７

Description

本発明は、塗布ヘッドに関する。

従前から、スリット状ノズルからワーク上にレジスト、特殊膜剤或いは接着剤などの液体を吐出し、ワークに塗膜を形成する装置として塗布ヘッドが使用されている。このような塗布ヘッドは、スピンコート法よりも塗布膜厚みの精度がよい、塗布速度が速い、並びに液体（液剤）の使用効率が良いなどの特長を有しており塗布膜形成装置として広く使用されてきている。

特許文献１には、２つのＬ字形状のリップ材（ダイブロックに相当する）を突き当てスリット状ノズルを形成する塗布ヘッドが開示されている。この塗布ヘッドは、２つ対面する一方のリップ材の短辺側面を他方のリップ材の長辺側面に突き当てることによって、スリット状ノズルの開口部の幅に相当するスリットギャップを形成している。スリット状ノズルの開口部に対して反対側は、天板部材によって封止されている。塗布ヘッドは、２つのリップ材を相対的に塗布幅方向に移動させて塗布幅を変更することが可能になるように構成されている。

特許文献２に記載される塗布ヘッドは、対面するチャンバプレート（一方のダイブロックに相当する）とブロッキングプレート（他方のダイブロックに相当する）との間に構成されるスリット状ノズルを有し、塗布幅方向に移動自在に配置される一対の板状のシール部材と、一対のシール部材を塗布幅方向に離間及び近接させて、スリット状ノズルの塗布幅方向の開閉動作をするシール部材移動手段をさらに有している。一対のシール部材は、スリットギャップを決定するスペーサシム（シムプレートの相当する）の開口部内を移動することが可能になっている。

特開２００４－３１３８７４号公報 特開２０１８－６９２３０号公報

上記特許文献１に記載の塗布ヘッドは、スリット状ノズルを天板部材で封止している。しかし、ダイブロックに天板部材を固定するために段付け加工をしなければならないが、このような加工を行う場合、平面部と立ち上がり部の交差位置には加工残り（コーナーアールということがある）ができるため、この位置から塗布液が漏れ出てしまうという課題がある。塗布ヘッドは、塗布幅を変更する際に、２つのダイブロックを加圧しながら相対的に塗布幅方向に移動させることから、接触面に傷がついたり、その傷によって摩擦負荷が大きくなったりすることがある。

また、２つのダイブロックは、塗布液の漏れを防ぐこと、摩擦負荷を減少させることのためにダイブロックの接触面を鏡面仕上げにすることが好ましいが、対面がＬ字形状を有しているため、相互の接触面を鏡面仕上げにすることは困難である。ダイブロックは、対面に段差があるため、加工ばらつきによって、スリットギャップがばらつき、このばらつきがあることによって塗布厚みが不安定になる。塗布厚みを安定させるためには、スリットギャップを一定にするために２つのダイブロックを強い力で接触面全体を加圧する必要があるが、この構造については何ら記載されていない。

上記特許文献２に記載の塗布ヘッドは、シムプレート及びシール部材がそれぞれ２枚で構成されており、これら４枚の部材の厚みを全て同一に加工することは困難である。例えば、シール部材がシムプレートより薄い場合には、塗布幅が設定値よりシール部材の長さ分広くなることがある。また、シール部材がシムプレートより厚い場合には、スリットギャップが設定値より大きくなるとともに、塗布液がシール部材を回り込んで流れ出し、そのことから塗布幅を制御することが困難になるという課題がある。

また、塗布幅を変更する際には、シール部材は２つのダイブロックの対面を摺動して移動するため、シール部材及びダイブロックの衝動面に傷がついたり、この傷によってシール部材の摩擦負荷が大きくなったりするという課題がある。

また、シール部材移動手段は、液溜り部（マニホールドという）の内外を連通している。従って、このような塗布ヘッドは、マニホールドに液漏れの可能性がある箇所を複数有していることになり、液漏れが発生する機会が増える可能性がある。

そこで、本発明は、このような課題の少なくとも一つを解決するためになされたものであり、塗布液の流路系の液漏れを防止し、固定ダイブロックと可動ダイブロックとの摺動面に傷がつくことを防止し、塗布厚みを安定させることが可能な塗布ヘッドを実現しようとするものである。

［１］本発明の塗布ヘッドは、固定ダイブロックと、前記固定ダイブロックの摺動面に沿ってスライド移動可能な摺動面を有する可動ダイブロックとを有し、前記固定ダイブロックと前記可動ダイブロックとの間に形成されるスリット状ノズルから塗布液を吐出することが可能な塗布ヘッドであって、前記固定ダイブロックと前記可動ダイブロックとを密着させる第１加圧機構を有し、前記固定ダイブロックは、塗布液を前記スリット状ノズルに供給するマニホールドの断面方向に分割した一方側の約半分が形成された第１マニホールドプレート、前記スリット状ノズルの長さ方向の一方側の端部位置を決める第１ブロック、前記第１ブロックの上方側に並設される第２ブロック、及び、前記第１マニホールドプレート、前記第１ブロック、前記第２ブロックを前記可動ダイブロックに対面する側の面に固定するための第１プレートを有し、前記可動ダイブロックは、前記マニホールドの前記断面方向に分割した他方側の約半分が形成された第２マニホールドプレート、前記スリット状ノズルの他方側の前記端部位置を決める第３ブロック、前記第３ブロックと前記第２マニホールドプレートの上方側に並設される第４ブロック、及び、前記第２マニホールドプレート、前記第３ブロック、前記第４ブロックを前記固定ダイブロックに対面する側の面に固定するための第２プレートを有している、ことを特徴とする。

［２］前記固定ダイブロックは、前記第１ブロックと前記第１プレートとの間に介在されスリットギャップを形成する第１シムプレートを有し、前記可動ダイブロックは、前記第３ブロックと前記第２プレートとの間に介在され、前記第１シムプレートと組み合わせて前記スリットギャップを形成する第２シムプレートを有していることが好ましい。

［３］本発明の塗布ヘッドにおいては、前記固定ダイブロックの前記摺動面を構成する構成部品、及び、前記可動ダイブロックの前記摺動面を構成する構成部品の一方は、他方より摩擦係数が小さい異種材質で形成されていることが好ましい。

［４］本発明の塗布ヘッドにおいては、前記固定ダイブロックの前記摺動面を構成する構成部品、及び、前記可動ダイブロックの前記摺動面を構成する構成部品の少なくとも一方が、樹脂材で形成されるか、又は、前記摺動面の少なくとも一方の面に樹脂被覆層が形成されていることが好ましい。

［５］本発明の塗布ヘッドにおいては、前記第１加圧機構は、前記固定ダイブロックと前記可動ダイブロックとを流体圧を使用して加圧し、塗布液を吐出するときと、前記可動ダイブロックをスライド移動させるときとで、前記流体圧を切り換えることが可能に構成されていることが好ましい。

［６］本発明の塗布ヘッドにおいては、前記第１加圧機構は、前記可動ダイブロックの移動方向に分割された第１加圧部と、分割された前記第１加圧部の各々が、流体圧を供給する流体圧供給部を有し、前記流体圧供給部は分割された前記第１加圧部のうち、前記可動ダイブロックと重なる前記第１加圧部には流体圧を加え、前記可動ダイブロックとの重なりが解除された前記第１加圧部には前記流体圧を減圧するよう切換えることが可能に構成されていることが好ましい。

［７］本発明の塗布ヘッドにおいては、前記固定ダイブロックと前記可動ダイブロックのどちらか一方に、前記可動ダイブロックの移動方向に平行な平行キー、又は前記平行キーが嵌合し摺動可能なキー溝が設けられていることが好ましい。

［８］本発明の塗布ヘッドにおいては、前記平行キー及び前記キー溝を構成する構成部品の一方は、他方より摩擦係数が小さい異種材質で形成されていることが好ましい。

［９］本発明の塗布ヘッドにおいては、前記平行キー又は前記キー溝を構成する構成部品の少なくとも一方が樹脂材で形成されるか、又は、前記平行キーと前記キー溝との前記摺動面の少なくとも一方に樹脂被覆層が形成されていることが好ましい。

［１０］本発明の塗布ヘッドにおいては、前記固定ダイブロック及び前記可動ダイブロックの上方端面側に配置され、前記固定ダイブロックを固定する上部プレート、及び、前記上部プレートに保持され、空気圧を使用して前記可動ダイブロックを下方側に加圧するための第２加圧部で構成される第２加圧機構をさらに有していることが好ましい。

［１１］本発明の塗布ヘッドにおいては、前記第２加圧機構は、塗布液を吐出するときと、前記可動ダイブロックをスライド移動させるときとで、前記流体圧を切り換えることが可能に構成されていることが好ましい。

本発明の塗布ヘッドは、固定ダイブロックと可動ダイブロックとが第１加圧機構の流体圧（例えば、空気圧）よって密着され、スリット状ノズルを形成している。固定ダイブロック及び可動ダイブロックは、それぞれが複数のプレート及び複数のブロックに分割された部材でスリット状ノズルを構成している。これらの各プレート及び各ブロックの接合部は、それぞれの平面及び端面を突き当てて組み立てられる。このように構成することによって、製造上に形成され易いコーナーアールや面取り部をなくすことが可能となり、コーナーアールや面取り部からの液漏れを減少させることが可能となる。また、塗布ヘッドは、固定ダイブロック及び可動ダイブロックの摺動面を摩擦係数の小さい異種材料を組合せて構成し、少なくとも摺動面の構成要素の一方に樹脂材を使用し、又は、樹脂被覆層を形成している。このことによって摺動面の摩擦負荷を低減し、可動ダイブロックを固定ダイブロックに対してスライド移動される際に摺動面に傷がつくことを防止することが可能となる。

また、塗布液の塗布厚みは、主としてスリットギャップの均一性によって決められる。本発明の塗布ヘッドは、固定ダイブロック及び可動ダイブロックの摺動面の全体を均一に第１加圧機構の流体圧で加圧している。そのことによって、スリットギャップのばらつきを抑え、塗布厚みを安定させることが可能となる。

以上のことから、塗布液の流路系の液漏れを防止するとともに、固定ダイブロックと可動ダイブロックとの摺動面に傷がつくことを防止し、塗布厚みを安定させることが可能な塗布ヘッドを実現することが可能となる。

塗布ヘッド１の概略構成を示す外観斜視図である。 図１の矢印方向から見た塗布ヘッド１の側面図である。 固定ダイブロック１０の構成を示す図である。 可動ダイブロック１１の構成を示す図である。 図２のＡ－Ａ切断線で切断した切断面を上方側から見たスリット状ノズル１２の構成を示す図である。 スリット長Ｌの切換え方法を説明する図である。 図１のＢ－Ｂ切断線で切断した塗布ヘッド１を構成示す縦断面図である。 図７の矢印Ｑ１方向から見た第１加圧機構１６の配置構成を説明する図である。 図７の矢印Ｑ２方向から見た第２加圧機構２４の配置構成を説明する図である。

以下、本発明の実施の形態に係る塗布ヘッド１について、図１～図９を参照しながら説明する。以下に説明する塗布ヘッド１は、スリットコート法によって塗布液をワーク上（例えば、基板など）に吐出し塗布膜を形成するものである。なお、以降に説明する各図は、縮尺や形状が実際とは異なる模式図である。

（塗布ヘッド１の概略構成）
図１は、塗布ヘッド１の概略構成を示す外観斜視図である。図２は、図１の矢印方向から見た塗布ヘッド１の側面図である。図１、図２を参照しながら塗布ヘッド１の概略構造について説明する。塗布ヘッド１は、固定ダイブロック１０と、固定ダイブロック１０に対してＹ方向に移動可能な可動ダイブロック１１とを有している。なお、以降に説明する各図においては、塗布液の塗布進行方向をＸ、塗布幅方向をＹ、Ｘ－Ｙ平面に対して垂直方向をＺ又は上下方向として説明する。固定ダイブロック１０と可動ダイブロック１１の合わせ面（摺動面）には、スリット状ノズル１２（図５参照）が形成される。固定ダイブロック１０、可動ダイブロック１１及びスリット状ノズル１２の構成については、図３～図５を参照して説明する。

固定ダイブロック１０及び可動ダイブロック１１の上方には、両者の厚み範囲を覆う大きさの上部プレート１３が配置されている。固定ダイブロック１０は、上部プレート１３のＹ方向３か所でボルト１５によって上部プレート１３に固定されている。また、上部プレート１３は、バックプレート１４に端面１３ａを突き当てて、Ｙ方向に配置される複数のボルト１５でバックプレート１４に固定されている。上部プレート１３には、バックプレート１４に対して反対側の端面１３ｂにおいて、Ｙ方向４か所でボルト１５によって第１加圧機構１６が固定されている。第１加圧機構１６は、可動ダイブロック１１との間に、可動ダイブロック１１を固定ダイブロック１０側に流体圧によって加圧することが可能な第１加圧部１７、及び第１加圧部１７を保持する加圧部保持ブロック１８によって構成される（図２、図７、図８参照）。なお、第１加圧機構１６の流体圧源としては、空気、窒素などの気体、又は油や水などの液体などを使用することが可能であるが、以降に説明する第１加圧機構１６においては、流体圧源を空気（圧空）とする例とし、流体圧を空気圧として説明する。

固定ダイブロック１０には、可動ダイブロック１１側に向かって平行キー１９が突設され、平行キー１９はＹ方向に延在されている。平行キー１９は、可動ダイブロック１１に形成されＹ方向に延在されるキー溝２０に嵌合するように構成される。可動ダイブロック１１は、平行キー１９に沿ってＹ方向に固定ダイブロック１０に対してスライド移動させることが可能となっている。可動ダイブロック１１の上部には、上部プレート１３の可動ダイブロック１１側に保持される第２加圧部２１が配置されている。第２加圧部２１は、流体圧（例えば、空気圧）によって可動ダイブロック１１を下方側に加圧し、キー溝２０を押し下げることによって、キー溝２０を平行キー１９に圧接させ固定ダイブロック１０に対する可動ダイブロック１１の上下方向のがたつきを「０」にしている。上部プレート１３と第２加圧部２１とで第２加圧機構２４が構成される（図７、図９参照）。

以上説明したように、塗布ヘッド１は、固定ダイブロック１０、可動ダイブロック１１、第１加圧機構１６及び第２加圧機構２４によって構成されている。可動ダイブロック１１は、キー溝２０を平行キー１９に嵌合させ、第１加圧機構１６で固定ダイブロック１０側に加圧されることによってＸ方向の位置が保持され、第２加圧機構２４によってＺ方向の位置が保持されている。固定ダイブロック１０と可動ダイブロック１１を接合した状態で、スリット状ノズル１２の吐出側先端に三角柱の稜線からなるノズル先端部２３が形成される。ノズル先端部２３は、固定ダイブロック１０及び可動ダイブロック１１の高さ方向の大きさに対して極めて小さく、塗布液吐出の際、第１加圧機構１６によって可動ダイブロック１１を加圧したときに変形することがないように構成されている。

上記のように構成される塗布ヘッド１は、スリットコーター本体（図示は省略）に水平に配置されているゲートフレーム２２にバックプレート１４を介してＹ方向に配置される複数のボルト１５によって固定される。可動ダイブロック１１には、可動ダイブロック１１を固定ダイブロック１０に対してＹ方向にスライド移動させ、さらに塗布ヘッド１全体をＹ方向にスライド移動させることが可能な塗布ヘッド駆動装置６０を有している（図５参照）。塗布ヘッド駆動装置６０は、可動ダイブロック１１を移動させてスリット状ノズル１２のスリット長Ｌを決め、被塗布材であるワーク（基板など）に対する塗布液の塗布幅方向の位置を決める役割を担う。このことについては、図５及び図６を参照して説明する。

（固定ダイブロック１０の構成）
続いて、固定ダイブロック１０の構成について図３を参照して説明する。

図３は、固定ダイブロック１０の構成を示す図である。図３（ａ）は、可動ダイブロック１１側から見た固定ダイブロック１０の構成を示す斜視図である。図３（ｂ）は、固定ダイブロック１０の組み立て分解図である。固定ダイブロック１０は、マニホールド３０の断面方向に分割された約半分（マニホールド３０Ａとする）が形成された第１マニホールドプレート３１、スリット長Ｌの一方の端部位置を決める第１ブロック３２、第１ブロック３２の上部に配置される第２ブロック３３、及び、ベースプレートとしての第１プレート３４を有している。第１ブロック３２と第１プレート３４との間には、第１シムプレート３５が介在されている。

第１マニホールドプレート３１、第２ブロック３３は、第１プレート３４に固定され、第１シムプレート３５は、第１ブロック３２に挟まれて第１プレート３４に固定される。第１マニホールドプレート３１と第１ブロック３２との接合部、第１ブロック３２と第２ブロック３３との接合部、及び第１マニホールドプレート３１と第２ブロック３３とが接合する各端面は密着されている。また、第１マニホールドプレート３１の表面３１ａと第２ブロック３３の表面３３ａの第１プレート３４からの高さは同じである。一方、第１ブロック３２の表面３２ａは、第１マニホールドプレート３１の表面３１ａ、及び第２ブロック３３の表面３３ａよりも第１シムプレート３５の厚み分高くなる。第１シムプレート３５はスリットギャップＧを決める機能を担う。

固定ダイブロック１０において、可動ダイブロック１１に対面する表面３１ａ，３２ａ及び３３ａは、可動ダイブロック１１が摺動する摺動面になるため鏡面仕上げが施されている。図３（ｂ）に示すように、第１ブロック３２の端面３２ｂは、第１マニホールドプレート３１の端面３１ｂに密着させることによってマニホールド３０Ａの端部位置を決める。

マニホールド３０Ａの長さ方向の中央部には、マニホールド３０内に塗布液を供給するための塗布液供給孔３６が設けられている。図示は省略するが、塗布液供給孔３６は第１マニホールドプレート３１を貫通し可撓性を有するチューブに接続され、このチューブは第１プレート３４の開口部３７を貫通し塗布液供給装置に接続される。マニホールド３０Ａには、塗布液に含まれる気泡を外部に排出するための気泡排出部３８が２か所に設けられており、気泡排出部３８には気泡排出孔３９が設けられている。気泡排出孔３９は、気泡排出部３８から第１マニホールドプレート３１の上部端面に達している。図示は省略するが、気泡排出孔３９には可撓性を有するチューブが接続され、このチューブは上部プレート１３に設けられた開口部４０（図１参照）を貫通し、マニホールド３０の上方に集まる気泡を多く含む塗布液を収容するための廃液タンクに接続される。

第１マニホールドプレート３１の表面３１ａには、２か所に平行キー１９が突設されている。平行キー１９は、可動ダイブロック１１に形成されたキー溝２０に嵌合し、可動ダイブロック１１の上下方向の位置を規制する。第１マニホールドプレート３１及び第２ブロック３３の上部端面には、上部プレート１３をボルト１５で固定するためのネジ穴４１が設けられている。また、第１マニホールドプレート３１及び第１ブロック３２の下端部には、ノズル先端部２３が下方側に突設されている。なお、第１プレート３４の第１シムプレート３５が配置される面を、第１シムプレート３５と同じ平面形状、同じ厚みで突設させる構成としてもよい。

（可動ダイブロック１１の構成）
続いて、可動ダイブロック１１の構成について図４を参照して説明する。

図４は、可動ダイブロック１１の構成を示す図である。なお、図４は、図３に示す固定ダイブロック１０の右側端部を基準とする直線Ｓを軸に左右に展開したときの可動ダイブロック１１を示している。図４（ａ）は、可動ダイブロック１１の構成を示す斜視図である。図４（ｂ）は、可動ダイブロック１１の組み立て分解図である。

可動ダイブロック１１は、マニホールド３０の断面方向に分割された約半分（マニホールド３０Ｂとする）が形成された第２マニホールドプレート５０、固定ダイブロック１０に対しスリット長Ｌの他方側となる端部位置を決める第３ブロック５１、第３ブロック５１及び第２マニホールドプレート５０の上部に配置される第４ブロック５２、及び、ベースプレートとしての第２プレート５３を有している。第３ブロック５１及び第４ブロック５２と、第２プレート５３との間には、Ｌ字形状の第２シムプレート５４が介在されている。固定ダイブロック１０と可動ダイブロック１１とを接合することによって、マニホールド３０Ａとマニホールド３０Ｂとが合成され断面が略円形のマニホールド３０が形成される（図７参照）。なお、第１ブロック３２、第２ブロック３３及び第１マニホールドプレート３１をさらに分割し、図３（ａ）に示すように組み立てて構成することも可能である。

第２マニホールドプレート５０は、第２シムプレート５４のＬ字形状の解放部位置において第２プレート５３に直接固定される。第２シムプレート５４は、第３ブロック５１及び第４ブロック５２に挟まれて第２プレート５３に固定される。第２マニホールドプレート５０と第３ブロック５１との接続部、第３ブロック５１と第４ブロック５２との接続部、及び第２マニホールドプレート５０と第４ブロック５２との接続部の各端面は密着される。また、第３ブロック５１の表面５１ａ及び第４ブロック５２の表面５２ａの第２プレート５３からの高さは同じである。

一方、第２マニホールドプレート５０は第２シムプレート５４を介さずに第２プレート５３に固定される。第２マニホールドプレート５０の表面５０ａは、第３ブロック５１の表面５１ａ及び第４ブロック５２の表面５２ａよりも第２シムプレート５４の厚さ分だけ低くなる。第２シムプレート５４と第１シムプレート３５の厚みは同じである。第２シムプレート５４は第１シムプレート３５と厚み方向に重ならないように配置することによって、第１シムプレート３５及び第２シムプレート５４の厚みに相当するスリットギャップＧを形成することが可能となる（図５参照）。なお、第２プレート５３の第２シムプレート５４が配置される面を、第２シムプレート５４と同じ平面形状、同じ厚みで突設させる構成としてもよい。

可動ダイブロック１１において、固定ダイブロック１０に対面する表面５０ａ，５１ａ及び５２ａは、固定ダイブロック１０に対して摺動する摺動面になるため鏡面仕上げが施されている。マニホールド３０Ｂは、第３ブロック５１の端面５１ｂを第２マニホールドプレート５０の端面５０ｂに密着させることによって端部位置が決められる。第４ブロック５２の表面５２ａには、平行キー１９（図３（ａ）参照）が嵌合可能なキー溝２０が形成されている。

なお、固定ダイブロック１０及び可動ダイブロック１１は、各々の摺動面を構成する部材が、どちらか一方より摩擦係数が小さい異種材質で形成されている。固定ダイブロック１０において、可動ダイブロック１１に対する摺動面を有する部材は、第１ブロック３２、第２ブロック３３及び第１マニホールドプレート３１である。また、可動ダイブロック１１においては、固定ダイブロック１０に対する摺動面を有する部材は、第２マニホールドプレート５０、第３ブロック５１及び第４ブロック５２である。

例えば、固定ダイブロック１０の上記各部材をＳＫ材とし、可動ダイブロック１１の上記各部材も同様にＳＫ材としたときの摩擦係数に対し、可動ダイブロック１１側の各部材を銅系金属にすれば、摩擦係数は約１／２になる。また、固定ダイブロック１０の上記各部材をＳＫ材とし、可動ダイブロック１１側の各部材を樹脂材、例えば、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）材にしたときには、ＳＫ材―ＳＫ材の組み合わせに対して摩擦係数を約１/１０以下にすることが可能となる。従って、可動ダイブロック１１がスライド移動する際の摩擦負荷を減らすることが可能となり耐摩耗性を向上させることができる。

なお、固定ダイブロック１０及び可動ダイブロック１１の各々の摺動面の少なくとも一方に樹脂被覆層を形成することが可能である。固定ダイブロック１０において、可動ダイブロック１１に対する摺動面は、第１マニホールドプレート３１の表面３１ａ、第１ブロック３２の表面３２ａ、及び第２ブロック３３の表面３３ａである。可動ダイブロック１１において、固定ダイブロック１０に対する摺動面は、第３ブロック５１の表面５１ａ、第４ブロック５２の表面５２ａ、及び第２マニホールドプレート５０の表面５０ａである。これら互いに摺動する各表面のいずれか、又は両方に樹脂被覆層、例えば、ＰＴＦＥメッキ層を形成することによって、ＳＫ材―ＳＫ材の組み合わせに対して摩擦係数を約１／１０以下にすることが可能となる。このことによって、可動ダイブロック１１がスライド移動する際の摩擦負荷を減らすることが可能となり耐摩耗性を向上させることができる。但し、塗布液の流路を形成する第１マニホールドプレート３１の表面３１ａ及び第２マニホールドプレート５０の表面５０ａは、樹脂被覆層によって塗布液との濡れ性が悪くなり、気泡が付着しやすい傾向があるため、第１マニホールドプレート３１及び第２マニホールドプレート５０には、樹脂被覆層を形成しないことが好ましい。

なお、平行キー１９とキー溝２０とは摺動する。そこで、平行キー１９とキー溝２０を有する第４ブロック５２の一方を他方より摩擦係数が小さい異種材料にすることが好ましい。例えば、平行キー１９をＳＫ材とし、第４ブロック５２を樹脂材、例えば、ＰＴＦＥ材などにする。又は、その逆にする。或いは、平行キー１９に樹脂被覆層、例えば、ＰＴＦＥメッキ層を形成する。或いは、平行キー１９及び第４ブロック５２の両方に樹脂被覆層、例えば、ＰＴＦＥメッキ層を形成することによって、摩擦係数を下げ、可動ダイブロック１１がスライド移動する際に平行キー１９及びキー溝２０の摩擦負荷を減らすることが可能となり耐摩耗性を向上させることができる。なお、平行キー１９を可動ダイブロック１１側に、キー溝２０を固定ダイブロック１０側に形成してもよい。次いで、スリット状ノズル１２の構成について図５及び図６を参照して説明する。

（スリット状ノズル１２の構成）
図５は、図２のＡ－Ａ切断線で切断した切断面を上方側から見たスリット状ノズル１２の構成を示す図である。図５に示すように、固定ダイブロック１０と可動ダイブロック１１とは、第１ブロック３２と第２マニホールドプレート５０とが当接し、第１マニホールドプレート３１と第３ブロック５１とが当接している。第１ブロック３２と第１プレート３４との間には、第１シムプレート３５が介在されている。また、第２プレート５３と第３ブロック５１との間には、第２シムプレート５４が介在されている。第１シムプレート３５と第２シムプレート５４の厚みは同じであることから、第１マニホールドプレート３１の表面３１ａと第２マニホールドプレート５０の表面５０ａとの間にスリット状ノズル１２が形成される。

スリット状ノズル１２において、スリットギャップＧは第１シムプレート３５及び第２シムプレート５４の厚みで決められる。従って、スリットギャップＧは、第１シムプレート３５及び第２シムプレート５４の厚みを変更することによって容易に変更することが可能となる。スリット長Ｌは、第１ブロック３２の端面３２ｂと第３ブロック５１の端面５１ｂとの距離で決められている。

なお、断面形状が半円のマニホールド３０Ａとマニホールド３０Ｂとが向かい合う範囲が断面形状円形のマニホールド３０となる。従って、スリット状ノズル１２は、マニホールド３０の範囲内に構成されることになる。図５に示すスリット長Ｌは一状態例を示しており、スリット長Ｌはマニホールド３０の範囲内において長くしたり、短くしたりすることが可能となっている。スリット長Ｌは、ワーク上に塗布する塗布液の塗布幅を規定する。スリット長Ｌは、塗布ヘッド駆動装置６０によって可動ダイブロック１１を移動させることによって任意に調整することが可能である。

図５に示すように、固定ダイブロック１０及び可動ダイブロック１１は、塗布ヘッド駆動装置６０に接続されている。図示は省略するが、塗布ヘッド駆動装置６０は、モータ及びギアヘッドを有している。可動ダイブロック１１は、ギアヘッドから延在される駆動軸６１によって塗布ヘッド駆動装置６０に接続されている。固定ダイブロック１０は、ギアヘッドから延在される駆動軸６２によって塗布ヘッド駆動装置６０に接続されている。駆動軸６１は、固定ダイブロック１０に対して可動ダイブロック１１をＹ方向に移動させる。駆動軸６２は、可動ダイブロック１１を含み塗布ヘッド１全体をＹ方向に移動させる。次いで、スリット長Ｌの切換え方法について図６を参照して説明する。

図６は、スリット長Ｌの切換え方法を説明する図である。図６（ａ）は、スリット長Ｌが最小のスリット長Ｌ０の例を示している。このときの塗布幅の中心位置を中心位置Ｐ０とする。図６（ｂ）は、図６（ａ）の状態から、固定ダイブロック１０を固定し、可動ダイブロック１１をＹ（＋）方向に距離Ｌ１だけ移動させた一状態例を表している。つまり、可動ダイブロック１１の端面５１ｂを距離Ｌ１だけ移動させる。このとき、塗布幅の中心位置は、中心位置Ｐ０から中心位置Ｐ１に移動する。なお、スリット長Ｌ０は、可動ダイブロック１１をＹ（－）方向に移動させることによって「０」に近づけることも可能である。

図６（ｃ）は、図６（ｂ）に示す状態から塗布幅の中心位置Ｐ１を移動前の中心位置Ｐ０に一致させた状態を示している。塗布ヘッド１は、ワークに対する塗布基準位置である中心位置Ｐ０を変えずに塗布幅だけ切換える場合には、可動ダイブロック１１をＬ１分移動し、固定ダイブロック１０、つまり、塗布ヘッド１全体をＹ（－）方向に距離Ｌ１の１／２を移動させる。このようにすることによって、塗布幅の中心位置Ｐ１を塗布基準位置である中心位置Ｐ０に一致させることができる。

なお、スリット長ＬをＬ０より小さくする場合には、可動ダイブロック１１をＹ（－）方向に移動させ、塗布ヘッド１全体をＹ（＋）方向に塗布幅の切換え分の距離Ｌ１の１／２だけ移動させればよい。このようにすれば、塗布幅の中心位置Ｐ０を変えずに塗布幅を任意に切換えることが可能となる。なお、塗布ヘッド１は、可動ダイブロック１１を移動させながら塗布ヘッド１をＹ方向に移動させてもよく、塗布ヘッド１をＹ方向に移動させた後に可動ダイブロック１１を移動させてもよい。

（第１加圧機構１６及び第２加圧機構２４の構成）
続いて、第１加圧機構１６及び第２加圧機構２４の構成について図１及び図７～図９を参照して説明する。まず、第１加圧機構１６の構成を説明する。

図７は、図１のＢ－Ｂ切断線で切断した塗布ヘッド１の構成を示す縦断面図である。図８は、図７の矢印Ｑ１方向から見た第１加圧機構１６の配置構成を説明する図である。なお、固定ダイブロック１０及び可動ダイブロック１１の構成は、図３～図５において説明しているため詳しい説明は省略する。また、図７及び図８において、固定ダイブロック１０及び可動ダイブロック１１には、図３及び図４と同じ符号を付している。塗布ヘッド１は、マニホールド３０から固定ダイブロック１０と可動ダイブロック１１との合わせ面に形成されるスリット状ノズル１２を通ってノズル開口部２５から塗布液が吐出されるように構成されている。第１加圧機構１６は、上部プレート１３に固定されており、可動ダイブロック１１の第２プレート５３の側面に沿って配設されている。

第１加圧機構１６は、可動ダイブロック１１との間に可動ダイブロック１１を固定ダイブロック１０側に向かって空気圧によって加圧することが可能な第１加圧部１７Ａ、及び、第１加圧部１７Ａを保持する加圧部保持ブロック１８を有している。図８に示すように、第１加圧機構１６は、第１加圧部１７Ａ及び第１加圧部１７Ｂで構成されているが、第１加圧部１７Ａ及び第１加圧部１７Ｂは平面サイズが異なるものの、同様な構成を有していることから第１加圧部１７Ａを代表例として説明する。

第１加圧部１７Ａは、加圧部保持ブロック１８の第２プレート５３側に設けられた凹部６５に収容される。第１加圧部１７Ａは、凹部６５内を機密に保持するためのＯリング６６、Ｏリング６６によって保持される可動プレート６７、及び可動プレート６７によって支持される加圧プレート６８によって構成されている。加圧プレート６８は、ＰＴＦＥ材などの樹脂材又はＰＴＦＥメッキ層などの樹脂被覆層が形成された材料などで形成されている。加圧部保持ブロック１８には、凹部６５と外部とを連通する圧空供給部６９が形成されている。図示は省略するが、流体圧供給部である圧空供給部６９は、可撓性を有するチューブを介して流体圧供給手段である空気圧供給手段に接続されている。

第１加圧機構１６は、塗布ヘッド１が塗布膜を形成する際には圧空を供給し、可動プレート６７、加圧プレート６８を介して可動ダイブロック１１を固定ダイブロック１０に圧接させ、固定ダイブロック１０と可動ダイブロック１１との摺動面を密着させる。これにより、スリットギャップＧを所定寸法に規定することが可能となり、さらに、スリット状ノズル１２以外の場所からの液漏れを防止することが可能となる。また、第１加圧機構１６は、可動ダイブロック１１を移動しスリット長Ｌを切換える際には、圧空の供給を停止し、可動ダイブロック１１が固定ダイブロック１０を加圧することを解除する。第２プレート５３と加圧部保持ブロック１８及び可動プレート６７との間には、隙間Ｔ１を有しているため、圧空の供給を停止すれば可動ダイブロック１１を容易に移動させることが可能となる。なお、可動ダイブロック１１の移動前（圧空の供給を停止する前）には、マニホールド３０への塗布液の供給を停止している。

なお、図７に示す例においては、マニホールド３０Ａとマニホールド３０Ａとが向かい合う範囲は、断面形状が略円形のマニホールド３０となる。但し、マニホールド３０の断面形状は略円形に限らず、楕円や四角形など直線を含む形状としてもよく、任意の形状とすることが可能である。マニホールド３０は気泡排出部３８に接続し、気泡排出部３８は気泡排出孔３９に連通されている。記述したように、気泡排出孔３９には可撓性を有するチューブが接続されており、このチューブは、上部プレート１３に設けられた開口部４０を貫通し廃液タンクに接続される（図示は省略）。また、既述したように、マニホールド３０は塗布液供給孔３６に連通し、塗布液供給孔３６は第１マニホールドプレート３１を貫通し可撓性を有するチューブに接続され、このチューブは第１プレート３４の開口部３７を貫通し塗布液供給装置に接続される。

なお、第１加圧機構１６は、可動ダイブロック１１の移動方向（Ｙ方向）に分割された第１加圧部１７Ａ，１７Ｂで構成されている。第１加圧部１７Ａ，１７Ｂの構成について図７及び図８を参照して説明する。

図８（ａ）は、可動ダイブロック１１が固定ダイブロック１０に対して移動していない初期状態を表している。第１加圧部１７Ａにおいて、圧空供給部６９は、可動プレート６７及び加圧プレート６８を偏りなく加圧するのに十分な面積を有する拡張部７０と、拡張部７０と空気圧供給手段とを接続する２か所に設けられる圧空供給路７１とによって構成されている。一方、第１加圧部１７Ｂにおいて、圧空供給部６９Ａは、可動プレート６７Ａ及び加圧プレート６８Ａを偏りなく加圧するのに十分な面積を有する拡張部７０Ａと、拡張部７０Ａと空気圧供給手段とを接続する１か所の圧空供給路７１Ａとによって構成されている。第１加圧機構１６は、固定ダイブロック１０に固定されていることから、スリット長Ｌを切換える際には、可動ダイブロック１１は第１加圧機構１６に対して移動することにもなるため、可動ダイブロック１１と第１加圧機構１６との相対位置が変化する。そのことについて図８（ｂ）を参照して説明する。

図８（ｂ）は、可動ダイブロック１１をＹ（＋）方向に移動させたときの一状態を示している。可動ダイブロック１１は、第１加圧部１７Ｂから外れる位置に移動している。例えば、第１加圧部１７Ａと第１加圧部１７Ｂとが一体で構成されているとき（第１加圧部１７とする）、第１加圧部１７全体に圧空が供給される。ここで、図８（ｂ）に示すような位置に可動ダイブロック１１を移動させて圧空を供給する。すると、可動ダイブロック１１が存在しない位置にある第１加圧部１７Ｂが変形してしまい、固定ダイブロック１０に可動ダイブロック１１を偏りなく圧接させることができないことが考えられる。そこで、第１加圧部１７を２分割し、可動ダイブロック１１が第１加圧部１７Ｂから外れる位置に移動する際には、第１加圧部１７Ａへ加える空気圧は維持しながら第１加圧部１７Ｂへ加える空気圧は減圧する。このことによって、第１加圧機構１６と重なる可動ダイブロック１１には、固定ダイブロック１０に圧接するのに必要な偏りのない加圧力を加えることが可能となる。

なお、第１加圧部１７の分割は、３分割又は４分割にとし、分割ごとに圧空の供給を切換える構成とすることが可能である。また、可動ダイブロック１１の端部が第１加圧部１７Ｂの途中位置で移動を停止する場合には、可動ダイブロック１１が第１加圧部１７Ｂの面積の約１／２より大きい位置では圧空を供給する。そして、第１加圧部１７Ｂの面積の約１／２より小さい位置では減圧するというように制御することが可能である。なお、第１加圧機構１６の加圧方式は圧空式に限らず、カム機構などを用いた機械方式を採用することが可能である。続いて、第２加圧機構２４について図７及び図９を参照して説明する。

図９は、図７の矢印Ｑ２方向から見た第２加圧機構２４の配置構成を説明する図である。図７及び図９に示すように、第２加圧機構２４は、上部プレート１３と第２加圧部２１によって構成されている。第２加圧部２１は、上部プレート１３の可動ダイブロック１１側に設けられた凹部７５に収容される。第２加圧機構２４は、凹部７５内を機密に保持するためのＯリング７６、Ｏリング７６によって保持される可動プレート７７、及び可動プレート７７によって支持される加圧プレート７８によって構成されている。なお、第２加圧機構２４の流体圧源としては、空気、窒素などの気体、又は油や水などの液体などを使用することが可能であるが、以降に説明する第２加圧機構２４においては、流体圧源を空気（圧空）とする例とし、流体圧を空気圧として説明する。加圧プレート７８には、ＰＴＦＥ材などの樹脂材又はＰＴＦＥメッキ層などの樹脂被覆層が形成された材料が使用される。

上部プレート１３には、凹部７５と外部とを連通する２か所の圧空供給路７９が形成されている（図９参照）。図示は省略するが、圧空供給路７９は、可撓性を有するチューブを介して空気圧供給手段に接続されている。図９に示すように、可動プレート７７及び加圧プレート７８は、平行キー１９、１９の上方から可動ダイブロック１１を下方側に加圧することができる十分な面積を有している。既述したように、可動ダイブロック１１は、固定ダイブロック１０に対して移動可能である。図９において、移動後の可動ダイブロック１１を二点鎖線で表している。第２加圧機構２４は、可動ダイブロック１１が移動前、移動後の両方の位置において、常に平行キー１９，１９の上方を加圧するように配置されている。そのため、固定ダイブロック１０に対する可動ダイブロック１１のＹ方向位置（すなわち、スリット長Ｌの大きさ）に関わらず、可動ダイブロック１１と固定ダイブロック１０の上下方向の位置ずれは発生しない。

第２加圧機構２４は、塗布ヘッド１が塗布膜を形成する際には圧空を供給して可動ダイブロック１１を下方側に押動する。すると、可動ダイブロック１１側のキー溝２０は、固定ダイブロック１０の平行キー１９に密着され、可動ダイブロック１１は固定ダイブロック１０に対して上下方向位置が規定される。このことによって、ノズル先端部２３は、固定ダイブロック１０と可動ダイブロック１１の上下方向の位置ずれを抑えることが可能となり、ノズル開口部２５（図７参照）の先端に位置ずれが生じないため、塗布膜厚みを安定させることが可能となる。第２加圧機構２４は、可動ダイブロック１１を移動しスリット長Ｌを切換える際には減圧する。上部プレート１３と可動ダイブロック１１との間には、隙間Ｔ２を有しているため、第１加圧機構１６とタイミングを合わせて減圧すれば可動ダイブロック１１を容易に移動させることが可能となる。

以上説明した塗布ヘッド１は、固定ダイブロック１０と、固定ダイブロック１０の摺動面に沿ってスライド移動可能な摺動面を有する可動ダイブロック１１とを有し、固定ダイブロック１０と可動ダイブロック１１との間に形成されるスリット状ノズル１２から塗布液を吐出しワークに塗布膜を形成する。塗布ヘッド１は、固定ダイブロック１０と可動ダイブロック１１とを密着させる第１加圧機構１６を有している。固定ダイブロック１０は、第１マニホールドプレート３１、第１ブロック３２、第２ブロック３３、及び第１マニホールドプレート３１、第１ブロック３２、第２ブロック３３を可動ダイブロック１１に対面する側の面に固定するための第１プレート３４を有している。可動ダイブロック１１は、第２マニホールドプレート５０、第３ブロック５１、第４ブロック５２、第２プレート５３、及び第２マニホールドプレート５０、第３ブロック５１、第４ブロック５２を固定ダイブロック１０に対面する側の面に固定するための第２プレート５３を有している。

このように構成される塗布ヘッド１は、構成要素である複数のプレートや複数のブロックを接合部で密着させることによってスリット状ノズル１２を構成している。例えば、図３（ｂ）を参照して説明すると、第１マニホールドプレート３１と第１ブロック３２とを一体で形成した場合、一般に製造上において、第１マニホールドプレート３１の表面３１ａと、第１ブロック３２の端面３２ｂとの交差位置には加工残り（コーナーアールということがある）ができ、第１ブロック３２の端面３２ｂと表面３２ａの交差部に面取り部が形成される。このように加工残りや面取り部があると、液漏れが発生することになる。しかし、固定ダイブロック１０及び可動ダイブロック１１において、各ブロックを分割構成として各ブロックを平面で突き当てて密着させることによって、加工残りや面取り部がなくなり、液漏れを減少させることが可能となる。

固定ダイブロック１０は、第１ブロック３２と第１プレート３４との間に介在されスリットギャップＧを形成する第１シムプレート３５を有し、可動ダイブロック１１は、第３ブロック５１と第２プレート５３との間に介在され、第１シムプレート３５と組み合わせてスリットギャップＧを形成する第２シムプレート５４を有している。第１シムプレート３５及び第２シムプレート５４は、単純な板部材で構成されるため、第１シムプレート３５及び第２シムプレート５４の厚みを変更することによって、スリットギャップＧを容易に変更することが可能となる。

また、固定ダイブロック１０は、摺動面を構成する構成部品である第１マニホールドプレート３１、第１ブロック３２、第２ブロック３３、第１プレート３４、第１シムプレート３５を有している。可動ダイブロック１１は、摺動面を構成する構成部品である第２マニホールドプレート５０、第３ブロック５１、第４ブロック５２、第２プレート５３、第２シムプレート５４を有している。固定ダイブロック１０及び可動ダイブロック１１の相互に摺動する構成部品の一方は、他方より摩擦係数が小さい異種材質で形成されている。このように構成することによって、固定ダイブロック１０と可動ダイブロック１１との摺動面に傷がつくことを防止し、耐摩耗性を向上することができる。

また、塗布ヘッド１は、固定ダイブロック１０の摺動面を構成する上記構成部品、及び、可動ダイブロック１１の摺動面を構成する上記構成部品の少なくとも一方をＰＴＦＥ材などの樹脂材で形成している。又は、摺動面の少なくとも一方の面にＰＴＦＥメッキ層などの樹脂被覆層が形成されている。ＰＴＦＥ材は、摩擦係数が小さく耐摩耗性に優れ、耐薬品性にも優れた材料である。このような材料を使用したり、表面処理を施したりすることによって、可動ダイブロック１１がスライド移動する際の摺動面の摩擦負荷を減らすることが可能となり、耐摩耗性を向上させることができる。また、摺動面となる構成部品にＰＴＦＥ材用いたり、層ＰＴＦＥ層を形成したりすることによって、様々な塗布液にも対応可能となる。

また、第１加圧機構１６は、固定ダイブロック１０と可動ダイブロック１１とを空気圧（流体圧）を使用して加圧する。第１加圧機構１６は、塗布液を吐出するときと、可動ダイブロック１１をスライド移動させるときとで、空気圧を切り換えることが可能に構成されている。このように、第１加圧機構１６は、可動ダイブロック１１を移動しスリット長Ｌを切換える際には、空気圧を減圧することによって、摩擦負荷を減じて可動ダイブロック１１を容易に移動させることが可能となる。また、第１加圧機構１６は、塗布膜を形成する際には固定ダイブロック１０と可動ダイブロック１１とを強く加圧し密着させることによって、所定のスリットギャップＧを形成し、塗布膜厚みを安定させ、スリット状ノズル１２以外の流路系からの液漏れを防ぐことが可能となる。

また、第１加圧機構１６は、可動ダイブロック１１の移動方向に分割された第１加圧部１７Ａ，１７Ｂと、分割された第１加圧部１７Ａ，１７Ｂの各々が、空気圧を供給する流体供給部である圧空供給部６９，６９Ａを有している。圧空供給部６９，６９Ａは分割された第１加圧部１７Ａ，１７Ｂのうち、可動ダイブロック１１と重なる第１加圧部１７Ａには空気圧で加圧し、可動ダイブロック１１との重なりが解除された第１加圧部１７Ｂには空気圧を減圧するよう切換えることが可能に構成されている。

第１加圧機構１６をこのように構成することによって、第１加圧部１７Ｂから外れた位置まで可動ダイブロック１１を移動させるときには減圧することによって、第１加圧部１７Ｂの変形を防止することが可能となる。そして、圧空供給部６９は可動ダイブロック１１と重なる第１加圧部１７Ａには圧空を供給することによって、固定ダイブロック１０と可動ダイブロック１１を十分な加圧力で密着させることが可能となる。

また、塗布ヘッド１は、固定ダイブロック１０と可動ダイブロック１１のどちらか一方に、可動ダイブロック１１の移動方向に平行な平行キー１９、又は平行キー１９が嵌合し摺動可能なキー溝２０が設けられている。このように構成することによって、固定ダイブロック１０に対して可動ダイブロック１１を平行移動させることが可能となり、固定ダイブロック１０と可動ダイブロック１１との上下方向の相対的な位置ずれを抑えることが可能となる。このことによって、固定ダイブロック１０と可動ダイブロック１１とのノズル先端部２３の位置ずれをなくし、塗布膜厚みのばらつきを抑えることが可能となる。

また、塗布ヘッド１においては、平行キー１９及びキー溝２０を構成する構成部品である第１マニホールドプレート３１又は第４ブロック５２の一方は、他方より摩擦係数が小さい異種材質で形成されている。このように構成することによって、可動ダイブロック１１がスライド移動する際の摺動面の摩擦負荷を減らすることが可能となり、耐摩耗性を向上させることができる。

また、塗布ヘッド１は、平行キー１９又はキー溝２０を構成する第４ブロック５２の少なくとも一方が、ＰＴＦＥ材などの樹脂材で形成されるか、又は、平行キー１９とキー溝２０との摺動面の少なくとも一方の面にＰＴＦＥメッキ層などの樹脂被覆層が形成されている。平行キー１９及び第４ブロック５２に、このような材料を使用したり、樹脂被覆層を形成したりすることによって、可動ダイブロック１１がスライド移動する際の摺動面の摩擦負荷を減らすることが可能となり、耐摩耗性を向上させることができる。

また、塗布ヘッド１は、固定ダイブロック１０及び可動ダイブロック１１の上方端面側に配置され、固定ダイブロック１０を固定する上部プレート１３、及び、上部プレート１３に保持され、空気圧（流体圧）を使用して可動ダイブロック１１を下方側に加圧するための第２加圧部２１で構成される第２加圧機構２４を有している。

第２加圧機構２４は、塗布ヘッド１が塗布膜を形成する際には圧空を供給して可動ダイブロック１１を下方側に押動する。すると、可動ダイブロック１１側のキー溝２０は、固定ダイブロック１０の平行キー１９に密着され、可動ダイブロック１１は固定ダイブロック１０に対する上下方向の位置が規定される。このことによって、ノズル先端部２３において、固定ダイブロック１０と可動ダイブロック１１の上下方向の位置ずれを抑えることが可能となる。

また、第２加圧機構２４は、塗布液を吐出するときと、可動ダイブロック１１をスライド移動させるときとで、空気圧（流体圧）を切り換えることが可能に構成されている。第２加圧機構２４は、可動ダイブロック１１を移動しスリット長Ｌを切換える際には減圧する。すなわち、第２加圧機構２４において、空気圧を減圧することによって可動ダイブロック１１を容易に移動させることが可能となる。また、所定の空気圧を加えることによって、平行キー１９とキー溝２０の上下方向のがたつきをなくし、ノズル先端部２３において、固定ダイブロック１０と可動ダイブロック１１の上下方向の位置ずれを抑えることが可能となる。

１…塗布ヘッド、１０…固定ダイブロック、１１…可動ダイブロック、１２…スリット状ノズル、１３…上部プレート、１３ａ，１３ｂ…端面、１６…第１加圧機構、１７，１７Ａ，１７Ｂ…第１加圧部、１８…加圧部保持ブロック、１９…平行キー、２０…キー溝、２１…第２加圧部、２３…ノズル先端部、２４…第２加圧機構、２５…ノズル開口部、３０，３０Ａ，３０Ｂ…マニホールド、３１…第１マニホールドプレート、３１ａ，３２ａ，３３ａ，５０ａ，５１ａ…表面（摺動面）、３２…第１ブロック、３３…第２ブロック、３４…第１プレート、３５…第１シムプレート、３６…塗布液供給孔、３８…気泡排出部、３９…気泡排出孔、５０…第２マニホールドプレート、５１…第３ブロック、５２…第４ブロック、５３…第２プレート、５４…第２シムプレート、６０…塗布ヘッド駆動装置、６１，６２…駆動軸、６６，７６…Ｏリング、６７，６７Ａ，７７…可動プレート、６８，６８Ａ，７８…加圧プレート、６９，６９Ａ…圧空供給部（流体圧供給部）、７０，７０Ａ…拡張部、７１，７１Ａ，７９…圧空供給路、Ｇ…スリットギャップ、Ｌ，Ｌ０，Ｌ２…スリット長、Ｌ１…距離、Ｐ０，Ｐ１…塗布幅の中心位置。

Claims (11)

1. 固定ダイブロックと、前記固定ダイブロックの摺動面に沿ってスライド移動可能な摺動面を有する可動ダイブロックとを有し、前記固定ダイブロックと前記可動ダイブロックとの間に形成されるスリット状ノズルから塗布液を吐出することが可能な塗布ヘッドであって、
   前記固定ダイブロックと前記可動ダイブロックとを密着させる第１加圧機構を有し、
   前記固定ダイブロックは、塗布液を前記スリット状ノズルに供給するマニホールドを断面方向に分割した一方側の約半分が形成された第１マニホールドプレート、前記スリット状ノズルの長さ方向の一方側の端部位置を決める第１ブロック、前記第１ブロックの上方側に並設される第２ブロック、及び、前記第１マニホールドプレート、前記第１ブロック、前記第２ブロックを前記可動ダイブロックに対面する側の面に固定するための第１プレートを有し、
   前記可動ダイブロックは、前記マニホールドの前記断面方向に分割した他方側の約半分が形成された第２マニホールドプレート、前記スリット状ノズルの他方側の前記端部位置を決める第３ブロック、前記第３ブロックと前記第２マニホールドプレートの上方側に並設される第４ブロック、及び、前記第２マニホールドプレート、前記第３ブロック、前記第４ブロックを前記固定ダイブロックに対面する側の面に固定するための第２プレートを有している、
   ことを特徴とする塗布ヘッド。
2. 請求項１に記載の塗布ヘッドにおいて、
   前記固定ダイブロックは、前記第１ブロックと前記第１プレートとの間に介在されスリットギャップを形成する第１シムプレートを有し、
   前記可動ダイブロックは、前記第３ブロックと前記第２プレートとの間に介在され、前記第１シムプレートと組み合わせて前記スリットギャップを形成する第２シムプレートを有している、
   ことを特徴とする塗布ヘッド。
3. 請求項１に記載の塗布ヘッドにおいて、
   前記固定ダイブロックの前記摺動面を構成する構成部品、及び、前記可動ダイブロックの前記摺動面を構成する構成部品の一方は、他方より摩擦係数が小さい異種材質で形成されている、
   ことを特徴とする塗布ヘッド。
4. 請求項１に記載の塗布ヘッドにおいて
   前記固定ダイブロックの前記摺動面を構成する構成部品、及び、前記可動ダイブロックの前記摺動面を構成する構成部品の少なくとも一方が、樹脂材で形成されるか、又は、前記摺動面の少なくとも一方の面に樹脂被覆層が形成されている、
   ことを特徴とする塗布ヘッド。
5. 請求項１に記載の塗布ヘッドにおいて、
   前記第１加圧機構は、前記固定ダイブロックと前記可動ダイブロックとを流体圧を使用して加圧し、塗布液を吐出するときと、前記可動ダイブロックをスライド移動させるときとで、前記流体圧を切り換えることが可能に構成されている、
   ことを特徴とする塗布ヘッド。
6. 請求項１に記載の塗布ヘッドにおいて、
   前記第１加圧機構は、前記可動ダイブロックの移動方向に分割された第１加圧部と、
   分割された前記第１加圧部の各々が、流体圧を供給する流体圧供給部を有し、
   前記流体圧供給部は分割された前記第１加圧部のうち、前記可動ダイブロックと重なる前記第１加圧部には前記流体圧を加え、前記可動ダイブロックとの重なりが解除された前記第１加圧部には前記流体圧を減圧するよう切換えることが可能に構成されている、
   ことを特徴とする塗布ヘッド。
7. 請求項１に記載の塗布ヘッドにおいて、
   前記固定ダイブロックと前記可動ダイブロックのどちらか一方に、前記可動ダイブロックの移動方向に平行な平行キー、又は前記平行キーが嵌合し摺動可能なキー溝が設けられている、
   ことを特徴とする塗布ヘッド。
8. 請求項７に記載の塗布ヘッドにおいて、
   前記平行キー及び前記キー溝を構成する構成部品の一方は、他方より摩擦係数が小さい異種材質で形成されている、
   ことを特徴とする塗布ヘッド。
9. 請求項７に記載の塗布ヘッドにおいて、
   前記平行キー又は前記キー溝を構成する構成部品の少なくとも一方が樹脂材で形成されるか、又は、前記平行キーと前記キー溝との前記摺動面の少なくとも一方に樹脂被覆層が形成されている、
   ことを特徴とする塗布ヘッド。
10. 請求項１に記載の塗布ヘッドにおいて、
    前記固定ダイブロック及び前記可動ダイブロックの上方端面側に配置され、前記固定ダイブロックを固定する上部プレート、及び、前記上部プレートに保持され、流体圧を使用して前記可動ダイブロックを下方側に加圧するための第２加圧部で構成される第２加圧機構をさらに有している、
    ことを特徴とする塗布ヘッド。
11. 請求項１０に記載の塗布ヘッドにおいて、
    前記第２加圧機構は、塗布液を吐出するときと、前記可動ダイブロックをスライド移動させるときとで、前記流体圧を切換えることが可能に構成されている、
    ことを特徴とする塗布ヘッド。

Images