JP2020096291A - 弾性波共振器、フィルタおよびマルチプレクサ - Google Patents
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Abstract
Description
実施例1および比較例に係る弾性波共振器を並列共振器に用いたときの通過特性のシミュレーションを行った。シュミュレーション条件は以下である。
圧電基板10:42°YカットX伝搬タンタル酸リチウム基板
金属膜12:圧電基板10側から膜厚が50nmのチタン膜、膜厚が180nmのアルミニウム膜
IDT24のピッチ 2×P1:2.3μm
IDT24の対数:100
IDT24のデュティ比:50%
IDT24の開口長:30μm
反射器20の対数:15対
IDT24の対数は、電極指14が2本を1対としたときの対の数である。IDT24のデュティ比は、電極指14の太さ/ピッチP1である。IDT24の開口長はY方向において電極指14の重なる交差領域の長さである。反射器20の対数は、格子電極16が2本を1対としたときの対の数である。
12 金属膜
14、14a 電極指
16,16a、16b 格子電極
18 櫛型電極
20 反射器
24 IDT
40 送信フィルタ
42 受信フィルタ
Claims (10)
- 圧電基板と、
前記圧電基板上に設けられ、P1の平均ピッチを有する複数の電極指を有する一対の櫛型電極と、
前記複数の電極指の配列方向における前記一対の櫛型電極の両側に設けられ、P2の平均ピッチを有する複数の格子電極を有し、前記複数の電極指のうち最も前記複数の格子電極に近い電極指と前記複数の格子電極のうち最も前記複数の電極指に近い格子電極とのピッチをP3とし、前記最も前記複数の電極指に近い格子電極と次に前記複数の電極指に近い格子電極とのピッチをP4とすると、P3<0.5(P1+P2)であり、P2>P1であり、かつP2>P4である一対の反射器と、
を備える弾性波共振器。 - P4≧P3である請求項1に記載の弾性波共振器。
- 前記一対の反射器は、前記最も前記複数の電極指に近い格子電極を含み前記複数の電極指に向かうにしたがい格子電極のピッチが小さくなる第1領域を有する請求項1または2に記載の弾性波共振器。
- 前記一対の反射器内の前記第1領域以外の第2領域における複数の格子電極のピッチは略一定である請求項3に記載の弾性波共振器。
- 前記第1領域における格子電極の本数は10本以下である請求項3または4に記載の弾性波共振器。
- (P2−P1)/P1<0.05である請求項1から5のいずれか一項に記載の弾性波共振器。
- (P2−P4)/P1<0.05である請求項1から6のいずれか一項に記載の弾性波共振器。
- 請求項1から7のいずれか一項記載の弾性波共振器を含むフィルタ。
- 入力端子と出力端子との間に直列に接続された1または複数の直列共振器と、
前記入力端子と前記出力端子との間に並列に接続され、少なくとも1つの並列共振器が前記弾性波共振器である1または複数の並列共振器と、
を備える請求項8記載のフィルタ。 - 請求項8または9記載のフィルタを含むマルチプレクサ。
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