JP2020096066A - 固体電解コンデンサおよびその製造方法 - Google Patents

固体電解コンデンサおよびその製造方法 Download PDF

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Abstract

【課題】良好な電気特性を維持しつつ高い信頼性を有する固体電解コンデンサおよびその製造方法を提供すること。【解決手段】固体電解コンデンサは、陽極体2と、陽極体2の表面に設けられた誘電体酸化被膜層3と、誘電体酸化被膜層3の表面に設けられた固体電解質層5と、固体電解質層5の表面に設けられた陰極体6と、陽極側と陰極側とを絶縁分離する絶縁層4と、を備えた複数のコンデンサ素子1を有する。また、固体電解コンデンサは、複数のコンデンサ素子1を被覆する外装体10と、陽極体2の端部である陽極端子部と金属結合されたコンタクト層11と、コンタクト層11を被覆して設けられた陽極側電極層12aと、陰極体6と電気的に接続された陰極側電極層12bと、陽極側電極層12aの表面に設けられた陽極側外部電極13aと、陰極側電極層12bの表面に設けられた陰極側外部電極13bと、を有する。【選択図】図1B

Description

本開示は、固体電解コンデンサおよびその製造方法に関する。
電子機器の高周波化に伴って、高周波領域でのインピーダンス特性に優れたコンデンサが求められている。この要求に応えるために、電気伝導度の高い導電性高分子を固体電解質に用いた固体電解コンデンサが種々検討されている(例えば、特許文献1参照)。
また、近年、パーソナルコンピュータのCPU(Centaral Processing Unit)周り等に使用される固体電解コンデンサには、小型かつ大容量化が強く望まれている。さらに、高周波化に対応した低ESR(Equivalent Series Resistance:等価直列抵抗)化が要求されたり、ノイズ除去や過渡応答性に優れた低ESL(等価直列インダクタンス)化が要求されたりしている。そして、これらの要求に応えるために種々の検討がなされている。
ここで、図3A、図3Bを用いて、特許文献1に開示されている積層型固体電解コンデンサについて、説明する。図3Aは、特許文献1に開示されている固体電解コンデンサの正面断面図である。図3Bは、図3AのB−B’断面図(側面断面図)である。
図3Aに示すように、コンデンサ素子101は、陽極体102、誘電体酸化被膜層103、レジスト部104、固体電解質層105、陰極層106、および陽極電極部102aを有する。
陽極体102は、Al(アルミニウム)箔からなる。
誘電体酸化被膜層103は、陽極体102のAl箔表面を粗面化して形成されている。
レジスト部104は、絶縁性材料からなり、陽極電極部102aと、陰極層106からなる陰極電極部(図示せず)とを電気的に絶縁分離している。
固体電解質層105は、高分子材料からなり、誘電体酸化被膜103上に形成されている。
陰極層106は、固体電解質層105上に形成され、カーボン層およびAg(銀)ペースト層を順次積層して形成されている。
図3Bに示すように、陽極コム端子107のインナー側107aは、その上に積層して載置された陽極電極部102aを包み込むように曲げ加工されている。陽極コム端子107の先端部107bと、陽極電極部102aとは、レーザ溶接で接合されている。
陰極コム端子108のインナー側108a上には、複数のコンデンサ素子101が積層して載置されている。インナー側108aは、導電性接着剤109を介して、インナー側108aに最も近い位置にあるコンデンサ素子101(図3Aにおいて一番下に図示されているコンデンサ素子101)の陰極層106と接合されている。
絶縁性の外装樹脂110は、複数のコンデンサ素子101を被覆している。この外装樹脂110から表出した陽極コム端子107の一部および陰極コム端子108の一部は、それぞれ、図3Aに示すように、外装樹脂110の外表面に沿って設けられる。このとき、折り曲げられた陽極コム端子107の一部および陰極コム端子108の一部の各端部は、外装樹脂101の底面に配置される。よって、特許文献1の固体電解コンデンサは、底面部に陽極端子部107cおよび陰極端子部108bが形成された、面実装型の固体電解コンデンサである。
このように構成された特許文献1の固体電解コンデンサでは、図3A、図3Bに示した各陽極電極部102aの上面側からレーザ光を照射することにより、陽極コム端子107の先端部107bと、積層された複数の陽極電極部102aとを溶接する。これにより、安定した接合を実現している。
しかしながら、特許文献1の固体電解コンデンサでは、陽極コム端子107の先端部107bと、積層された複数の陽極電極部102aとを溶接するための領域が必要となり、小型化が難しい。
また、特許文献1の固体電解コンデンサは、複雑な曲げ加工等を行う陽極コム端子107および陰極コム端子108を有する。そのため、部品点数および組み立て工数が増加して、コストアップを招く。
さらに、特許文献1の固体電解コンデンサでは、コンデンサ素子101から陽極端子部107cまでの引き出し距離、および、コンデンサ素子101から陰極端子部108bまでの引き出し距離が長くなる。よって、ESLの低減に自ずと限界がある。
上述した課題を解決するために、特許文献1では、陽極端面を外部電極と直接接続する、いわゆる端面集電構造が提案されている。
この端面集電構造について、図4A、図4Bを用いて説明する。図4Aは、特許文献1に開示されている端面集電構造の固体電解コンデンサを示す斜視図である。図4Bは、図4AのC−C’断面図である。
図4Bに示すように、コンデンサ素子201は、陽極体202、誘電体酸化被膜203、固体電解質層205、陰極層206、および陽極端子部202aを有する。
陽極体202は、Al箔からなる。誘電体酸化被膜層203は、陽極体202のAl箔表面を粗面化して形成されている。
固体電解質層205は、高分子材料からなり、誘電体酸化被膜203上に形成されている。
陰極体206は、固体電解質層205上に形成され、カーボン層およびAgペースト層を順次積層して形成されている。
外装体210は、エポキシ樹脂からなり、陽極側端面210aを有する。陽極側端面210aは、陽極体202の一端面である陽極端子部202aが露呈するように形成された面である。
中間電極212は、Agペーストからなる。外部電極213は、Ni(ニッケル)めっきおよびSn(スズ)めっきからなる。
下地電極211は、高速粒子衝突技術を用いて、陽極端子部202aおよび外装体210の陽極側端面210aにZn粒子を衝突させることで形成されている。
高速粒子衝突技術により形成されたZn層は、陽極電極部202aのAl表面に形成されたAl酸化皮膜層を突き破り、陽極体202を構成するAlと高い強度で接合される。
このように構成された端面集電構造の固体電解コンデンサは、高いコンタクト性および接続抵抗の低減を図ることができる。よって、低ESL化を実現できるとともに、大幅な小型化を実現できる。
特開2009−76872号公報
図4A、図4Bに示した特許文献1の構成では、高速粒子衝突技術を用いて形成された下地電極211が、硬化後の樹脂からなる外装体210の陽極側端面210aと直接接している。
一般に、硬化後の樹脂と金属とは、アンカー効果による機械的な接合となる。よって、特許文献1の構成では、下地電極211と、外装体210の陽極側端面210aとの密着力が極めて低くなる。したがって、固体電解コンデンサをプリント基板に実装した後の応力等により、下地電極211と、外装体210の陽極側端面210aとの間で、剥離または破壊が生じるおそれがある。
本開示の一態様の目的は、良好な電気特性を維持しながら、高い信頼性を有する固体電解コンデンサおよびその製造方法を提供することである。
本開示の一態様に係る固体電解コンデンサは、陽極体と、前記陽極体の表面に設けられた誘電体酸化被膜層と、前記誘電体酸化被膜層の表面に設けられた固体電解質層と、前記固体電解質層の表面に設けられた陰極体と、陽極側と陰極側とを絶縁分離する絶縁層と、を備えた複数のコンデンサ素子と、前記複数のコンデンサ素子を被覆する外装体と、前記陽極体の端部である陽極端子部と金属結合されたコンタクト層と、前記コンタクト層を被覆して設けられた陽極側電極層と、前記陰極体と電気的に接続された陰極側電極層と、前記陽極側電極層の表面に設けられた陽極側外部電極と、前記陰極側電極層の表面に設けられた陰極側外部電極と、を有する。
本開示の一態様に係る固体電解コンデンサの製造方法は、陽極体と、陰極体と、を備えた複数のコンデンサ素子を形成する素子形成工程と、支持基材上に、導電材を介して、前記複数のコンデンサ素子を積層する積層工程と、前記複数のコンデンサ素子を被覆する外装体を形成する封止工程と、前記陽極体の端部である陽極端子部が露呈した陽極端面を形成する露呈工程と、前記陽極端子部に金属粒子を高速で衝突させてコンタクト層を形成するコンタクト層形成工程と、前記コンタクト層を含む前記陽極端面を被覆する陽極側電極層を形成し、かつ、前記陰極体と電気的に接続された陰極側電極層を形成する第1の電極形成工程と、前記陽極側電極層を被覆する陽極側外部電極を形成し、かつ、前記陰極側電極層を被覆する陰極側外部電極を形成する第2の電極形成工程と、を含む。
本開示によれば、良好な電気特性を維持しながら、高い信頼性を有する固体電解コンデンサを提供できる。
本開示の実施の形態に係る固体電解コンデンサの構成を示す斜視図 図1AのA−A’断面図 本開示の実施の形態に係る積層工程時の固体電解コンデンサを示す断面図 本開示の実施の形態に係る封止工程時の固体電解コンデンサを示す断面図 本開示の実施の形態に係る露呈工程時の固体電解コンデンサを示す断面図 本開示の実施の形態に係るコンタクト層形成工程時の固体電解コンデンサを示す断面図 本開示の実施の形態に係る第1の電極形成工程時の固体電解コンデンサを示す断面図 本開示の実施の形態に係る第2の電極形成工程時の固体電解コンデンサを示す断面図 特許文献1の固体電解コンデンサの構成を示す正面断面図 図3AのB−B’断面図 特許文献1の固体電解コンデンサの構成を示す斜視図 図4AのC−C’断面図
以下、本開示の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。なお、各図において共通する構成要素については同一の符号を付し、それらの説明は適宜省略する。
<全体の構成>
本開示の実施の形態に係る固体電解コンデンサの構成について、図1A、図1Bを用いて説明する。図1Aは、本実施の形態に係る固体電解コンデンサを示す斜視図である。図1Bは、図1AのA−A’断面図である。
図1A、図1Bに示すように、本実施の形態の固体電解コンデンサは、コンデンサ素子1、支持部材7、導電材8、陽極端子部9、外装体10、コンタクト層11、陽極側電極層12a、陰極側電極層12b、陽極側外部電極13a、陰極側外部電極13b、陽極端面14、陰極端面15を有する。
図1Bに示すように、コンデンサ素子1は、陽極体(陽電体ともいう)2、誘電体酸化被膜層3、絶縁層4、固体電解質層5、および陰極体6を有する。
コンタクト層11は、陽極端子部9の表面に形成されている。陽極側電極層12aは、少なくともコンタクト層11を被覆して形成されている。
陽極側外部電極13aおよび陰極側外部電極13bは、それぞれ、陽極側電極層12aおよび陰極側電極層12bの表面に形成されている。
なお、以下では、陽極側外部電極13aおよび陰極側外部電極13bを、それぞれ、「外部電極13a」および「外部電極13b」という。また、陽極側電極層12aおよび陰極側電極層12bを、それぞれ、「電極層12a」および「電極層12b」という。
陽極端面14および陰極端面15の詳細については、後述する。
<コンデンサ素子1>
誘電体酸化被膜層3は、例えば弁金属であるAl箔両面に化学エッチングなどの方法で多孔質層を形成し、その多孔質層上に誘電体被膜を形成して得られる。
陽極体2は、多孔質化されずに残っているAl箔芯材部である。この陽極体2は、誘電体酸化被膜層3により包み込まれている。すなわち、陽極体2の両面(上面および下面)には、誘電体酸化被膜層3が配置されている。
陽極体2の厚みおよび誘電体酸化被膜層3の厚みは、それぞれ、20〜80μmである。なお、陽極体2および誘電体酸化被膜層3の材料としては、Al箔に限定されず、例えば、コンデンサ材料として一般的に使用されるTa(タンタル)等であってもよい。
陽極体2の端部である陽極端子部9には、絶縁層4が形成されている。これにより、陽極側と陰極側(図示せず)とを電気的に絶縁分離している。
絶縁層4の形成方法としては、特に限定はないが、例えば、誘電体酸化被膜層3の一部をレーザや化学エッチングで完全に除去した後に、陽極体2上に絶縁性の樹脂であるポリイミドなどをコーティングする方法が挙げられる。または、例えば、誘電体酸化被膜層3に圧縮応力を与えて緻密な層にして絶縁性を持たす方法や、孔質状の誘電体酸化被膜層3の一部に絶縁性の樹脂を含侵させる方法等を用いて、絶縁層4を形成してもよい。
また、図1では絶縁層4が単構造である場合を例示しているが、絶縁層4は、異種材料を組み合わせた複合構造であってもよい。例えば、絶縁層4は、緻密なAl酸化膜とポリイミド樹脂との積層構造であってもよい。
絶縁層4で絶縁分離され、陰極側となる誘電酸化被膜層3上には、固体電解質層5が形成されている。固体電解質層5は、例えば、ポリピロール、ポリチオフェンなどの導電性高分子材料からなる。一般に、固体電解質層5は、化学重合または電解重合などの方法によって形成される。
固体電解質層5上には、陰極体6が形成されている。陰極体6は、例えば印刷法または転写法などにより、カーボン層とAgペースト層とが順次積層されたものである。
なお、陰極体6は、カーボン層およびAgペースト層の積層構造に限定されない。例えば、陰極体6は、Agペーストの代わりに、Ag以外のフィラーを用いた導電ペーストまたはシンタリング材等を含むものであってもよい。上記導電ペーストとしては、例えばCu(銅)ペーストが挙げられる。
<コンデンサ素子1の積層>
コンデンサ素子1は、支持部材7上に導電材8を介して複数積層される。また、コンデンサ素子1は、陽極体2の端部が露呈した陽極端子部9が構成されるように、外装体10で封止されている。なお、図1では、コンデンサ素子1の積層数が3層である場合を例示しているが、コンデンサ素子1の積層数は、3層に限定されない。
支持部材7としては、例えば、ガラスエポキシ基板のほか、BTレジン、ポリイミド樹脂基板などの耐熱性に優れた基板や、Cu製のリードフレーム等を用いることができる。ただし、リードフレームなどの導電材料を用いる場合では、陽極側と陰極側とを絶縁できるように分離する必要があることは言うまでもない。
導電材8としては、例えば、Agペースト等の導電ペーストを用いる。導電材8は、コンデンサ素子1の陰極体と電気的に接続している。
なお、図1では、隣り合うコンデンサ素子1間には導電材8のみが設けられる場合を例示しているが、例えば、導電材8のほかに、Al、Cu、またはIn(インジウム)などの金属箔を介在させてもよい。
<陽極端子部9の構造>
陽極端子部9には、陽極体2よりもイオン化傾向の小さい金属からなるコンタクト層11が形成されている。このコンタクト層11は、樹脂系材料である外装体10および絶縁層4には形成されておらず、金属材料からなる陽極端子部9の表面のみに選択的に形成されている。
ここで、陽極体2がAlである場合、コンタクト層11の材料としては、Alよりもイオン化傾向の小さい金属を用いることが好ましい。このような金属としては、例えば、Zn(亜鉛)、Ni、Sn、Cu、Ag等が挙げられる。このような金属により、コンタクト層11の表面において強固な酸化膜の形成が抑制され、コンタクト層11と電極層12aとの電気的接続をより確実にすることができる。
また、陽極体2がAlである場合、コンタクト層11の材料として、原子間距離の近いCu、Zn、またはAgを用いることで、Alとの金属間結合による合金層が形成される。よって、陽極体2間の接合強度をより強固にすることができる。なお、コンタクト層11は、単元素金属で構成される以外に、青銅や黄銅などの合金で構成されてもよいし、CuとAg等とが積層されて構成されてもよい。
<電極構造>
陽極端面14は、コンタクト層11、絶縁層4の陽極側端面4a、外装体10の陽極側端面10a、および支持部材7の陽極側端面7aで構成されている。
陰極端面15は、導電材8の陰極側端面である陰極端子部8b、外装体10の陰極側端面10b、および支持部材7の陰極側端面7bで構成されている。
陽極端面14および陰極端面15は、それぞれ、電極層12a、12bにより被覆されている。ここで、積層されたコンデンサ素子1の陽極端子部9同士の電気的な導通は、主に陽極側電極層12aを介して行われる。
また、電極層12aおよび電極層12bは、それぞれ、外部電極13a、13bにより被覆されている。
電極層12a、12bの材料は、バインダとなる樹脂材料中にAgまたはCuなどの金属フィラー(金属粒子)を混入させた導電ペースト材料(導電樹脂材料)であることが望ましい。これにより、例えば、絶縁層4、外装体10、支持部材7を構成する材料との接着に適したバインダ成分を樹脂中に添加することができ、化学結合または水素結合による結合が期待できる。
さらに、絶縁層4の陽極側端面4a、外装体10の陽極側端面10a、陰極側端面10b、および支持部材7の陽極側端面7a、陰極側端面7bそれぞれの表面粗さRaを、5マイクロメートル以上にすることが望ましい。これにより、各端面と電極層12aまたは電極層12bとの接触面積を増加させるとともに、アンカー効果による結合をさらに付与することができる。
外部電極13a、13bは、例えば、Ni層とSn層との積層構造である。なお、外部電極13a、13bの材料は、その外表面が、はんだとの濡れ性に優れた金属であればよい。このような金属としては、例えば、Sn、Au(金)、Ag、Pd(パラジウム)などが挙げられる。
<製造方法>
次に、本実施の形態の固体電解コンデンサの製造方法について、図2A〜図2Fを用いて説明する。図2A〜図2Fは、それぞれ、固体電解コンデンサの製造方法の各工程における固体電解コンデンサの断面図である。
<積層工程>
図2Aを用いて、最初の工程である積層工程について説明する。
まず、図2Aに示すコンデンサ素子1を複数準備する。ここでは、3つのコンデンサ素子1を積層する場合を例に挙げて説明する。
次に、支持部材7上に導電材8を適量塗布し、その上に1つ目のコンデンサ素子1を精度良く載置する。
次に、1つ目のコンデンサ素子1の上に導電材8を適量塗布し、その上に2つ目のコンデンサ素子1を載置する。
次に、2つ目のコンデンサ素子1の上に導電材8を適量塗布し、その上に3つ目のコンデンサ素子1を載置する。
導電材8としては、例えば、熱硬化性のAgペーストを用いることができる。また、導電材8の塗布方法としては、例えば、ディスペンス方式、印刷、インクジェット法、ディップ法、または転写法などを用いることができる。また、導電材8は、ペースト状ではなく、貼り付け可能なシート状であってもよい。
次に、高温炉などを用いて導電材8を熱硬化させ、各コンデンサ素子1の陰極体6同士を導通させる。なお、熱硬化の手段としては、高温炉に限定されず、例えば、ホットプレートまたはリフロー炉等を用いてもよい。
以上説明した積層工程により、固体電解コンデンサは、図2Aに示す状態となる。
なお、上記説明では、支持部材7上の一箇所において3つのコンデンサ素子1を順次積層する場合を例に挙げて説明したが、この積層は、支持部材7上の複数箇所において(例えば、複数列、複数行のマトリクス状に)同時に行われてもよい。
<封止工程>
図2Bを用いて、積層工程の次の工程である封止工程について説明する。
図2Bに示すように、積層された3つのコンデンサ素子1を覆うように外装体10で封止する。
外装体10としては、例えば、シリカなどの無機フィラーを含有したエポキシ樹脂を用いる。また、外装体10は、積層されたコンデンサ素子1間の隙間、および、支持部材7とコンデンサ素子1との隙間にも充填される。封止の方法としては、例えば、トランスファー封止、コンプレッション封止、液状樹脂を型に流し込んだ後に熱硬化させる方法等を用いることができる。
<露呈工程>
図2Cを用いて、封止工程の次の工程である露呈工程について説明する。
陰極端子部8bおよび陽極端子部9を露呈させるために、陽極端面14および陰極端面15を形成する。
この形成方法としては、例えば、ダイヤモンド粒子をボンド材で固定したダイシングブレードを高速回転させてカットする方法を用いる。この方法を用いて、図2Bに示した外装体10および支持部材7の一部(図中の両端部)が切除されると、図2Cに示すように陽極端面14および陰極端面15が形成される。
この時点での陽極端面14は、主に、陽極端子部9、絶縁層4の陽極側端面4a、外装体10の陽極側端面10a、および支持部材7の陽極側端面7aで構成されている。
また、この時点での陰極端面15は、主に、導電材8の陰極側端面である陰極端子部8b、外装体10の陰極側端面10b、および支持部材7の陰極側端面7bで構成されている。
<コンタクト層形成工程>
図2Dを用いて、露呈工程の次の工程であるコンタクト層形成工程について説明する。
図2Dに示すように、陽極端面14を構成する各端面(絶縁層4の陽極側端面4a、外装体10の陽極側端面10a、および支持部材7の陽極側端面7a)をそれぞれ粗化させる。また、図2Dに示すように、各陽極端子部9の表面にコンタクト層11を形成する。
このコンタクト層11は、例えば、Cuの粒子を高速で陽極端子部9に衝突させて形成される。Cuの粒子は、陽極端子部9の材料であるAlよりもイオン化傾向が小さく、かつ、Alと原子間距離が比較的近い金属である。
このコンタクト層11の形成技術は、コールドスプレー法と呼ばれる手法である。コールドスプレー法は、空気、窒素、ヘリウムなどの圧縮された気体により、数μmから数十μmオーダーの金属粒子を、亜音速から超音速に加速して、固相状態のまま基材に衝突させて金属皮膜を形成する技術である。
コールドスプレー法における金属粒子の付着メカニズムに関しては、解明されていない部分もあるが、一般的には、金属粒子の衝突エネルギーによって、金属粒子または金属基材が塑性変形し、金属表面に新生面が露出することによって、活性化するものと考えられている。
上記コールドスプレー法によれば、高速で陽極端子部9に衝突したCu粒子は、陽極端子部9のAl表面の酸化膜を突き破る。これにより、AlとCuとの金属結合が形成される。よって、コンタクト層11と陽極端子部9との界面には、AlとCuとの合金層が形成される。一方、コンタクト層11の表面には、非弁作用金属であるCuの層が形成される。よって、コンタクト層11は、陽極端子部9よりもイオン化傾向が小さい金属を含むことになる。
また、上記コールドスプレー法を行った場合、Cu粒子は、非金属材料で構成された各端面(絶縁層4の陽極側端面4a、外装体10の陽極側端面10a、および支持部材7の陽極側端面7a)にも衝突する。
金属粒子を衝突させる基材(例えば、絶縁層4、外装体10、支持部材7)が樹脂基材である場合、金属粒子と樹脂基材との結合は、樹脂基材の表面の凹凸に、塑性変形した金属粒子が食い込むことによる、機械的な接合が主となると考えられている。したがって、樹脂基材に金属を成膜するには、樹脂基材に十分な硬度を持たせて衝突のエネルギーを金属粒子の塑性変形に効率よく費やすこと、金属粒子の塑性変形が起こりやすい金属材料および加工条件を選定すること、衝突のエネルギーで樹脂基材が破壊されにくいこと、が条件となる。
ここで、外装体10として一般的に使用されるエポキシ樹脂は、シリカ等のフィラーの混入比率を高めることで、マクロで見た時の硬度を高められるが、バインダとなるエポキシ樹脂成分の比率が少なくなり、脆くなる。
すなわち、樹脂基材が破壊せずに、金属粒子が十分に塑性変形を引き起こして金属の成膜ができる部分と、金属粒子の衝突エネルギーによって樹脂基材が脆性破壊して削れる部分とが存在することとなる。
したがって、面全体に亘ってある規定以上の厚みの金属膜を安定して形成するためには、成膜加工時間を長くする方法や、金属粒子の噴霧量を増やす等の方法が必要となり、生産性が著しく悪化してしまう。
また、面全体に亘って金属膜を形成することはできるが、成膜し易いAlで構成される陽極端子部9と、樹脂基材といった削れやすい材料で構成される外装体10とでは、成膜される金属の厚みが大きく異なることになる。よって、固体電解コンデンサの外形の精度に影響が出る。
また、金属粒子のヤング率が、樹脂基材を構成する部材のヤング率よりも小さい場合、金属粒子の衝突時の塑性変形が促される傾向にある。よって、樹脂基材に金属膜を形成する際に、金属粒子が樹脂基材上に固着し易くなる。
一方、樹脂基材に金属粒子を完全に固着させない場合には、樹脂基材に弾性を持たせて衝突エネルギーを塑性変形のエネルギーに変換させないこと、樹脂基材の強度を下げて、塑性変形が起こる衝撃以下で基材を破壊させること、陽極端子部9にコンタクト層11が形成できる範囲内で、塑性変形の起こりにくい金属材料および加工条件を選定すること、が基本条件となる。
すなわち、金属粒子(コンタクト層11と言い換えてもよい)のヤング率を、樹脂基材を構成する部材のヤング率より大きくすることで、固着し難い状態を作ることができる。
例えば、樹脂基材にヤング率が94GPaのシリカが充填されている場合、それ以上のヤング率を持ち、かつ、Alとの接合がされ易い金属粒子(例えば、CuまたはNi)を用いることが好ましい。ただし、金属粒子の形状、サイズ、温度、および、樹脂材料に充填するシリカのサイズ、充填率等によっても、固着状態は変化するので、これに限定されるわけではない。
また、樹脂基材に金属粒子を固着させない場合では、樹脂基材に金属粒子を衝突させることにより、表面を粗化する効果を得ることができる。
なお、図2Dでは、陰極端面15を構成する各端面(陰極端子部8b、陰極側端面10b、および陰極側端面7b)に対して粗化処理を行っていない場合を例示しているが、サンドブラスト等によって陰極端面15を構成する各端面を粗化させてもよい。
<第1の電極形成工程>
図2Eを用いて、コンタクト層形成工程の次の工程である第1の電極形成工程について説明する。
図2Eに示すように、陽極端面14および陰極端面15のそれぞれに、電極層12a、12bを形成する。これにより、陽極体が陽極側電極層と電気的に接続され、陰極体が陰極側電極層と電気的に接続される。
具体的には、Agペーストを、ディップ法、転写法、印刷法、ディスペンス法などで各端面に塗布し、その後、高温で硬化させることにより、電極層12a、12bを形成する。
なお、電極層12aは、陽極端面14と直交する面(例えば、外装体10の上面、支持部材7の下面)の一部を被覆してもよい。同様に、電極層12bは、陰極端面15と直交する面(例えば、外装体10の上面、支持部材7の下面)の一部を被覆してもよい。
<第2の電極形成工程>
図2Fを用いて、第1の電極形成工程の次の工程である第2の電極形成工程について説明する。
図2Fに示すように、電極層12aの外表面に外部電極13aを形成し、また、電極層12bの外表面に外部電極13bを形成する。
具体的には、外部電極13a、13bは、電解めっき法の一つであるバレルめっき法で形成される。外部電極13a、13bは、NiとSnとの積層構造である。
なお、外部電極13a、13bは、上述したコールドスプレー法によりAgおよびSnを含む構造として形成されてもよい。または、外部電極13a、13bは、バレルめっき法と半田ディップ法との組み合わせで形成されてもよい。
または、外部電極13a、13bは、予めSn被膜を施したCu材のキャップを、Agペースト(接着剤として機能可能)である電極層12a、12bに接着させる方法で形成されてもよい。
<効果>
本実施の形態の固体電解コンデンサは、弁作用金属箔からなる陽極端子部9に金属結合されたコンタクト層11を備えることにより、外部電極13a、13bまでの低抵抗な電流経路を確保できる。したがって、良好な電気特性を維持することができる。
また、陽極端面14および陰極端面15のそれぞれには、樹脂基材との接合性に優れた導電性樹脂ペーストからなる電極層12a、12bが接合されるので、強固な接合を実現できる。したがって、固体電解コンデンサの信頼性を向上させることができる。
また、コンタクト層11の形成箇所を陽極端子部9のみに限定することで、金属成膜に要する時間を大幅に削減できる。よって、金属粒子の消費量を大幅に低減でき、工程時間を短縮できる。したがって、固体電解コンデンサの生産性を向上させることができる。
また、コンタクト層11の形成と同時に、陽極端面14を構成する端面(絶縁層4の陽極側端面4a、外装体10の陽極側端面10a、および支持部材7の陽極側端面7a)を粗化することにより、加工時間を増加することなく、より電極層12a、12bの密着性を高め、極めて高い信頼性を得ることができる。
なお、本開示は、上記実施の形態の説明に限定されず、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の変形が可能である。
本開示の固体電解コンデンサは、良好な電気特性を維持しながら、高い信頼性および生産性を有するため、電子機器(例えば、パソコン、携帯端末)、産業用装置、車載用装置など、あらゆる分野のコンデンサとして有用である。
1 コンデンサ素子
2 陽極体
3 誘電体酸化被膜層
4 絶縁層
4a 絶縁層4の陽極側端面
5 固体電解質層
6 陰極体
7 支持部材
7a 支持部材7の陽極側端面
7b 支持部材7の陰極側端面
8 導電材
8b 陰極端子部
9 陽極端子部
10 外装体
10a 外装体10の陽極側端面
10b 外装体10の陰極側端面
11 コンタクト層
12a 陽極側電極層
12b 陰極側電極層
13a 陽極側外部電極
13b 陰極側外部電極
14 陽極端面
15 陰極端面
101 コンデンサ素子
102 陽極体
102a 陽極電極部
103 誘電体酸化被膜層
104 レジスト部
105 固体電解質層
106 陰極層
107 陽極コム端子
107a 陽極コム端子107のインナー側
107b 陽極コム端子107の先端部
107c 陽極端子部
108 陰極コム端子
108a 陰極コム端子108のインナー側
108b 陰極端子部
109 導電性接着剤
110 外装樹脂
201 コンデンサ素子
202 陽極体
202a 陽極端子部
203 誘電体酸化被膜
205 固体電解質層
206 陰極層
210 外装体
210a 外装体210の陽極側端面
211 下地電極
212 中間電極
213 外部電極

Claims (8)

  1. 陽極体と、前記陽極体の表面に設けられた誘電体酸化被膜層と、前記誘電体酸化被膜層の表面に設けられた固体電解質層と、前記固体電解質層の表面に設けられた陰極体と、陽極側と陰極側とを絶縁分離する絶縁層と、を備えた複数のコンデンサ素子と、
    前記複数のコンデンサ素子を被覆する外装体と、
    前記陽極体の端部である陽極端子部と金属結合されたコンタクト層と、
    前記コンタクト層を被覆して設けられた陽極側電極層と、
    前記陰極体と電気的に接続された陰極側電極層と、
    前記陽極側電極層の表面に設けられた陽極側外部電極と、
    前記陰極側電極層の表面に設けられた陰極側外部電極と、を有する、
    固体電解コンデンサ。
  2. 前記コンタクト層は、前記陽極体よりもイオン化傾向の小さい金属を含む、
    請求項1に記載の固体電解コンデンサ。
  3. 前記コンタクト層のヤング率は、前記外装体および前記絶縁層を構成する部材のヤング率よりも大きい、
    請求項1または2に記載の固体電解コンデンサ。
  4. 前記コンタクト層と前記陽極電極部との界面に、合金層が形成されている、
    請求項1から3のいずれか1項に記載の固体電解コンデンサ。
  5. 前記陽極側電極層の材料は、樹脂材料中に金属粒子が混入された導電樹脂材料である、
    請求1から4のいずれか1項に記載の固体電解コンデンサ。
  6. 前記陽極側電極層により被覆される前記外装体および前記絶縁層それぞれの表面の粗さRaは、5マイクロメートル以上である、
    請求項1から5のいずれか1項に記載の固体電解コンデンサ。
  7. 陽極体と、陰極体と、を備えた複数のコンデンサ素子を形成する素子形成工程と、
    支持基材上に、導電材を介して、前記複数のコンデンサ素子を積層する積層工程と、
    前記複数のコンデンサ素子を被覆する外装体を形成する封止工程と、
    前記陽極体の端部である陽極端子部が露呈した陽極端面を形成する露呈工程と、
    前記陽極端子部に金属粒子を高速で衝突させてコンタクト層を形成するコンタクト層形成工程と、
    前記コンタクト層を含む前記陽極端面を被覆する陽極側電極層を形成し、かつ、前記陰極体と電気的に接続された陰極側電極層を形成する第1の電極形成工程と、
    前記陽極側電極層を被覆する陽極側外部電極を形成し、かつ、前記陰極側電極層を被覆する陰極側外部電極を形成する第2の電極形成工程と、を含む、
    固体電解コンデンサの製造方法。
  8. 前記コンタクト形成工程では、前記コンタクト層の形成と同時に、前記陽極端面を粗化する、
    請求項7に記載の固定電解コンデンサの製造方法。
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US16/710,694 US11227725B2 (en) 2018-12-12 2019-12-11 Solid electrolytic capacitor including a plurality of capacitor elements and method for producing the same
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2022059459A1 (ja) * 2020-09-17 2022-03-24 パナソニックIpマネジメント株式会社 固体電解コンデンサ
WO2023189736A1 (ja) * 2022-03-28 2023-10-05 株式会社村田製作所 電解コンデンサ
WO2023243662A1 (ja) * 2022-06-15 2023-12-21 株式会社村田製作所 固体電解コンデンサ及び固体電解コンデンサの製造方法

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111383844B (zh) * 2018-12-26 2022-04-08 株式会社村田制作所 电解电容器
CN112466667B (zh) * 2019-09-09 2022-09-27 株式会社村田制作所 固体电解电容器以及固体电解电容器的制造方法
TWI695395B (zh) * 2019-12-04 2020-06-01 鈺邦科技股份有限公司 電容器組件結構及其製作方法
JP7561344B2 (ja) * 2020-06-05 2024-10-04 パナソニックIpマネジメント株式会社 固体電解コンデンサ及びその製造方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02256222A (ja) * 1989-03-29 1990-10-17 Matsushita Electric Ind Co Ltd チップ状固体電解コンデンサの製造方法
JP2003086459A (ja) * 2001-07-02 2003-03-20 Matsushita Electric Ind Co Ltd 固体電解コンデンサ
JP2009076872A (ja) * 2007-08-29 2009-04-09 Panasonic Corp チップ形固体電解コンデンサ
JP2013515381A (ja) * 2009-12-22 2013-05-02 ケメット エレクトロニクス コーポレーション 固体電界キャパシタ及びその製造方法
WO2019087692A1 (ja) * 2017-10-31 2019-05-09 パナソニックIpマネジメント株式会社 電解コンデンサおよびその製造方法

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CA1077582A (en) * 1975-12-10 1980-05-13 Mallory Components Limited Termination means for an electrical device
DE2932294A1 (de) * 1979-08-09 1981-02-19 Standard Elektrik Lorenz Ag Trockenelektrolyt-kondensator
FR2590719B1 (fr) * 1985-11-25 1995-04-07 Sprague France Procede pour la fabrication d'un condensateur au tantale a electrolyte solide sans fil ni ruban de sortie, dispositif adapte a sa mise en oeuvre, et condensateur ainsi obtenu
US5390074A (en) * 1991-09-30 1995-02-14 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Chip-type solid electrolytic capacitor and method of manufacturing the same
JP3506733B2 (ja) * 1993-07-09 2004-03-15 ローム株式会社 安全ヒューズ付き面実装型電子部品の構造
TW516054B (en) * 2000-05-26 2003-01-01 Matsushita Electric Ind Co Ltd Solid electrolytic capacitor
US6541302B2 (en) * 2001-01-11 2003-04-01 Vishay Sprague, Inc. Method of forming termination on chip components
US6563693B2 (en) 2001-07-02 2003-05-13 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Solid electrolytic capacitor
JP4439848B2 (ja) * 2003-06-30 2010-03-24 パナソニック株式会社 固体電解コンデンサおよびその製造方法
US7085127B2 (en) * 2004-03-02 2006-08-01 Vishay Sprague, Inc. Surface mount chip capacitor
JP4995609B2 (ja) 2007-03-22 2012-08-08 イーメックス株式会社 蓄電素子
WO2009028183A1 (ja) 2007-08-29 2009-03-05 Panasonic Corporation 固体電解コンデンサ
JP2009094474A (ja) 2007-09-19 2009-04-30 Panasonic Corp チップ形固体電解コンデンサ
US8169774B2 (en) 2008-09-30 2012-05-01 Sanyo Electric Co., Ltd. Solid electrolytic capacitor and a method for manufacturing same
JP2010087241A (ja) 2008-09-30 2010-04-15 Sanyo Electric Co Ltd 固体電解コンデンサ
WO2010058534A1 (ja) 2008-11-19 2010-05-27 三洋電機株式会社 コンデンサ用電極体、コンデンサ、コンデンサ用電極体の製造方法、およびコンデンサの製造方法
US9934912B2 (en) 2015-08-20 2018-04-03 City University Of Hong Kong Repairable electrical component
JP6641915B2 (ja) 2015-11-18 2020-02-05 株式会社村田製作所 固体電解コンデンサ
CN107527740B (zh) * 2016-06-15 2019-12-13 株式会社村田制作所 固体电解电容器
JP6724881B2 (ja) * 2017-10-20 2020-07-15 株式会社村田製作所 固体電解コンデンサの製造方法、及び、固体電解コンデンサ

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02256222A (ja) * 1989-03-29 1990-10-17 Matsushita Electric Ind Co Ltd チップ状固体電解コンデンサの製造方法
JP2003086459A (ja) * 2001-07-02 2003-03-20 Matsushita Electric Ind Co Ltd 固体電解コンデンサ
JP2009076872A (ja) * 2007-08-29 2009-04-09 Panasonic Corp チップ形固体電解コンデンサ
JP2013515381A (ja) * 2009-12-22 2013-05-02 ケメット エレクトロニクス コーポレーション 固体電界キャパシタ及びその製造方法
WO2019087692A1 (ja) * 2017-10-31 2019-05-09 パナソニックIpマネジメント株式会社 電解コンデンサおよびその製造方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2022059459A1 (ja) * 2020-09-17 2022-03-24 パナソニックIpマネジメント株式会社 固体電解コンデンサ
WO2023189736A1 (ja) * 2022-03-28 2023-10-05 株式会社村田製作所 電解コンデンサ
WO2023243662A1 (ja) * 2022-06-15 2023-12-21 株式会社村田製作所 固体電解コンデンサ及び固体電解コンデンサの製造方法

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