JP2020094263A5 - - Google Patents

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Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019182260A1 (ko) * 2018-03-23 2019-09-26 홍잉 인라인 박막 프로세싱 장치
WO2021054550A1 (en) * 2019-09-19 2021-03-25 Lg Electronics Inc. Device for self-assembling semiconductor light-emitting diodes
JP7749925B2 (ja) * 2020-03-13 2025-10-07 大日本印刷株式会社 有機デバイスの製造装置の蒸着室の評価方法
KR102407507B1 (ko) * 2020-07-30 2022-06-13 주식회사 선익시스템 증착 시스템
JP7518711B2 (ja) * 2020-09-25 2024-07-18 キヤノン株式会社 搬送システム
JP7534923B2 (ja) * 2020-10-30 2024-08-15 キヤノン株式会社 搬送システム及び搬送システムの制御方法
KR102699844B1 (ko) * 2020-11-30 2024-08-27 캐논 톡키 가부시키가이샤 성막 장치 및 발판 유닛
JP7767007B2 (ja) * 2020-12-10 2025-11-11 キヤノン株式会社 成膜システム、成膜システムの制御方法、物品の製造方法
US20240057464A1 (en) * 2021-01-14 2024-02-15 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Manufacturing equipment for light-emitting device
JP7216752B2 (ja) * 2021-02-08 2023-02-01 キヤノントッキ株式会社 計測装置、インライン型蒸着装置および調整方法
CN113913792B (zh) * 2021-10-09 2024-03-15 上海骐碳复合材料科技有限公司 一种横向连续递进式气相沉积炉及其工作方法
KR102774528B1 (ko) * 2021-10-12 2025-03-04 세메스 주식회사 기판 이송 장치 및 방법
JP2023063977A (ja) * 2021-10-25 2023-05-10 吉林Ｏｌｅｄ日本研究所株式会社 蒸着装置
JP2023157719A (ja) * 2022-04-15 2023-10-26 キヤノントッキ株式会社 基板搬送装置、成膜装置及び計測方法
KR102774228B1 (ko) * 2022-12-30 2025-02-27 (주)브이에이디인스트루먼트 캐리어 정렬 시스템

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0624405B2 (ja) * 1985-07-03 1994-03-30 株式会社東芝 浮上式搬送装置
JPH0762252B2 (ja) 1988-06-13 1995-07-05 旭硝子株式会社 真空処理装置
EP0648698B1 (en) * 1992-07-07 1998-01-07 Ebara Corporation Magnetically levitated carrying apparatus
JP2008166348A (ja) * 2006-12-27 2008-07-17 Olympus Corp 基板搬送装置
KR101191691B1 (ko) 2008-11-14 2012-10-16 가부시키가이샤 알박 유기 박막 증착 장치, 유기 ｅｌ 소자 제조 장치 및 유기 박막 증착 방법
KR20130004830A (ko) 2011-07-04 2013-01-14 삼성디스플레이 주식회사 유기층 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법
KR102015872B1 (ko) * 2012-06-22 2019-10-22 삼성디스플레이 주식회사 유기층 증착 장치, 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법 및 이에 따라 제조된 유기 발광 디스플레이 장치
KR102048051B1 (ko) * 2012-09-04 2019-11-25 삼성디스플레이 주식회사 증착 환경 검사용 마스크 조립체 및 이를 포함하는 증착 설비
KR20140053625A (ko) * 2012-10-26 2014-05-08 삼성디스플레이 주식회사 유기물 증착 장치
JP6008731B2 (ja) * 2012-12-18 2016-10-19 キヤノントッキ株式会社 成膜装置
KR102154706B1 (ko) * 2013-03-20 2020-09-11 삼성디스플레이 주식회사 증착장치, 이를 이용한 유기발광 디스플레이 장치 제조 방법 및 유기발광 디스플레이 장치
KR102107104B1 (ko) * 2013-06-17 2020-05-07 삼성디스플레이 주식회사 유기층 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법
KR102120895B1 (ko) * 2013-08-09 2020-06-10 삼성디스플레이 주식회사 증착장치, 이를 이용한 유기발광 디스플레이 장치 제조 방법 및 유기발광 디스플레이 장치
EP3405973A1 (en) * 2016-01-18 2018-11-28 Applied Materials, Inc. Apparatus for transportation of a substrate carrier in a vacuum chamber, system for vacuum processing of a substrate, and method for transportation of a substrate carrier in a vacuum chamber
JP6585191B2 (ja) * 2016-05-18 2019-10-02 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ キャリア又は基板を搬送するための装置及び方法
CN107858650B (zh) 2017-11-22 2020-07-24 京东方科技集团股份有限公司 一种蒸镀设备和蒸镀方法
CN107919311A (zh) 2017-12-19 2018-04-17 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 太阳能电池共蒸镀生产线
JP7249142B2 (ja) * 2018-12-14 2023-03-30 キヤノントッキ株式会社 搬送キャリア、蒸着装置、および電子デバイスの製造装置
JP7224165B2 (ja) * 2018-12-14 2023-02-17 キヤノントッキ株式会社 アライメント装置、蒸着装置、および、電子デバイスの製造装置

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