KR102154706B1 - 증착장치, 이를 이용한 유기발광 디스플레이 장치 제조 방법 및 유기발광 디스플레이 장치 - Google Patents

증착장치, 이를 이용한 유기발광 디스플레이 장치 제조 방법 및 유기발광 디스플레이 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 이동부 이송 시 증착중인 기판이 오염되는 것을 방지하고 유지보수가 용이한 형태를 갖는 증착장치, 이를 이용한 유기발광 디스플레이 장치 제조방법 및 유기발광 디스플레이 장치를 위하여, 제1이송부가 기판이 고정된 이동부를 기판이 고정되는 면이 제1평면에 속한 상태에서 제1방향으로 이송할 시 기판에 물질을 증착하는 증착부와, 기판이 분리된 이동부를 기판이 고정되는 면이 상기 제1평면과 교차하는 제2평면에 속한 상태에서 상기 제1방향의 반대방향으로 이송하는 회송부와, 상기 증착부와 상기 회송부의 일측에 위치하고 제1플립이송부를 갖는 제1플립부와, 상기 증착부와 상기 회송부의 타측에 위치하고 제2플립이송부를 갖는 제2플립부를 구비하며, 상기 제1플립이송부 및/또는 상기 제2플립이송부는 이동부의 기판이 고정되는 면이 제1평면에 속하거나 제2평면에 속하도록 회전될 수 있는, 증착장치, 이를 이용한 유기발광 디스플레이 장치 제조방법 및 유기발광 디스플레이 장치를 제공한다.

Description

증착장치, 이를 이용한 유기발광 디스플레이 장치 제조 방법 및 유기발광 디스플레이 장치{Deposition apparatus, method for manufacturing organic light emitting display apparatus using the same, and organic light emitting display apparatus manufactured by the same}
본 발명은 증착장치, 이를 이용한 유기발광 디스플레이 장치 제조방법 및 유기발광 디스플레이 장치에 관한 것으로서, 더 상세하게는 이동부 이송 시 증착중인 기판이 오염되는 것을 방지하고 유지보수가 용이한 형태를 갖는 증착장치, 이를 이용한 유기발광 디스플레이 장치 제조방법 및 유기발광 디스플레이 장치에 관한 것이다.
디스플레이 장치들 중, 유기 발광 디스플레이 장치는 시야각이 넓고 컨트라스트가 우수할 뿐만 아니라 응답속도가 빠르다는 장점을 가지고 있어 차세대 디스플레이 장치로서 주목을 받고 있다.
유기 발광 디스플레이 장치는 서로 대향된 제1전극과 제2전극 사이에 발광층을 포함하는 중간층이 개재된 구성을 갖는다. 이때 제1전극, 제2전극 및 중간층은 여러 방법으로 형성될 수 있는데, 그 중 한 방법이 독립 증착 방식이다. 증착 방법을 이용하여 유기 발광 디스플레이 장치를 제작하기 위해서는, 중간층 등이 형성될 기판에 형성될 중간층 등의 패턴과 동일/유사한 패턴의 개구를 갖는 파인 메탈 마스크(FMM; fine metal mask)를 밀착시키고 중간층 등의 재료를 증착하여 소정 패턴의 중간층 등을 형성한다.
그러나 이러한 파인 메탈 마스크를 이용하는 종래의 증착방법에는, 대면적의 기판을 이용해 대면적의 유기발광 디스플레이 장치를 제조하거나 대면적의 마더기판(mother-substrate)을 이용해 복수개의 유기 발광 디스플레이 장치들을 동시에 제조할 시, 대면적의 파인 메탈 마스크(FMM; fine metal mask)를 사용할 수밖에 없으며 이 경우 자중에 의해 마스크의 처짐 현상이 발생하기에 사전설정된 정확한 패턴의 중간층 등을 형성할 수 없다는 문제점이 있었다. 더욱이, 대면적의 기판과 대면적의 파인 메탈 마스크를 얼라인하여 밀착시키고, 증착을 한 후 다시 기판과 파인 메탈 마스크를 분리시키는 과정에서 상당한 시간이 소요되어, 제조 시간이 길어지고 생산 효율이 저하된다는 문제점이 존재하였다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 포함하여 여러 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, 이동부 이송 시 증착중인 기판이 오염되는 것을 방지하고 유지보수가 용이한 형태를 갖는 증착장치, 이를 이용한 유기발광 디스플레이 장치 제조방법 및 유기발광 디스플레이 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 그러나 이러한 과제는 예시적인 것으로, 이에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
본 발명의 일 관점에 따르면, (i) 탈착가능하도록 기판이 고정된 이동부를 기판이 고정되는 면이 제1평면 내에 위치하도록 하며 제1방향으로 이송하는 제1이송부와, 상기 제1이송부가 기판이 고정된 이동부를 이송하는 동안 기판과 소정 정도 이격되어 기판에 물질을 증착하는 하나 이상의 증착 어셈블리를 포함하는, 증착부와, (ii) 기판이 분리된 이동부를 기판이 고정되는 면이 상기 제1평면과 교차하는 제2평면 내에 위치하도록 하며 상기 제1방향의 반대방향으로 이송하는 제2이송부를 포함하는 회송부와, (iii) 상기 증착부와 상기 회송부의 일측에 위치하고, 이동부를 이송할 수 있는 제1플립이송부를 포함하며, 상기 제1플립이송부는, 상기 제2이송부에 의해 이송된 기판이 분리된 이동부가 기판이 고정되는 면이 상기 제2평면 내에 위치한 상태에서 안착되면 제1회전방향으로 제1각도만큼 회전되고, 기판이 이동부에 고정되면 상기 제1회전방향의 반대방향인 제2회전방향으로 180도 회전되어 이동부의 기판이 고정되는 면이 상기 제1평면 내에 위치하도록 하는, 제1플립부와, (iv) 상기 증착부와 상기 회송부의 타측에 위치하고, 이동부를 이송할 수 있는 제2플립이송부를 포함하며, 상기 제2플립이송부는, 상기 제1이송부에 의해 이송된 기판이 고정된 이동부가 기판이 고정되는 면이 상기 제1평면 내에 위치한 상태에서 안착되면 상기 제1회전방향으로 180도 회전되고, 기판이 이동부에서 분리되면 상기 제2회전방향으로 상기 제1각도만큼 회전되어 이동부의 기판이 고정되는 면이 상기 제2평면 내에 위치하도록 하는, 제2플립부를 구비하는, 증착장치가 제공된다.
이러한 본 발명의 다른 일 관점에 따르면, (i) 탈착가능하도록 기판이 고정된 이동부를 기판이 고정되는 면이 제1평면 내에 위치하도록 하며 제1방향으로 이송하는 제1이송부와, 상기 제1이송부가 기판이 고정된 이동부를 이송하는 동안 기판과 소정 정도 이격되어 기판에 물질을 증착하는 하나 이상의 증착 어셈블리를 포함하는, 증착부와, (ii) 기판이 분리된 이동부를 기판이 고정되는 면이 상기 제1평면과 교차하는 제2평면 내에 위치하도록 하며 상기 제1방향의 반대방향으로 이송하는 제2이송부를 포함하는 회송부와, (iii) 상기 증착부와 상기 회송부의 일측에 위치하고, 이동부를 이송할 수 있는 제1플립이송부를 포함하며, 상기 제1플립이송부는, 상기 제2이송부에 의해 이송된 기판이 분리된 이동부가 기판이 고정되는 면이 상기 제2평면 내에 위치한 상태에서 안착되면 제2회전방향으로 제1각도만큼 회전되고, 기판이 이동부에 고정되면 상기 제2회전방향으로 180도 회전되어 이동부의 기판이 고정되는 면이 상기 제1평면 내에 위치하도록 하는, 제1플립부와, (iv) 상기 증착부와 상기 회송부의 타측에 위치하고, 이동부를 이송할 수 있는 제2플립이송부를 포함하며, 상기 제2플립이송부는, 상기 제1이송부에 의해 이송된 기판이 고정된 이동부가 기판이 고정되는 면이 상기 제1평면 내에 위치한 상태에서 안착되면 상기 제2방향의 반대방향인 제1회전방향으로 180도 회전되고, 기판이 이동부에서 분리되면 상기 제1회전방향으로 상기 제1각도만큼 회전되어 이동부의 기판이 고정되는 면이 상기 제2평면 내에 위치하도록 하는, 제2플립부를 구비하는, 증착장치가 제공된다.
상기 제1플립이송부 및 상기 제2플립이송부는, 상기 제1평면과 상기 제2평면이 교차하는 부분으로 정의되는 축과 평행한 축을 중심으로 회전되도록 할 수 있다.
상기 제1평면과 상기 제2평면은 수직으로 교차하도록 할 수 있다. 이 경우, 상기 제1각도는 90도가 되도록 할 수 있다.
상기 제1플립부는 상기 제1플립이송부를 회전시킬 수 있는 제1액츄에이터를 구비하고, 상기 제2플립부는 상기 제2플립이송부를 회전시킬 수 있는 제2액츄에이터를 구비할 수 있다.
상기 제1이송부는 상기 제1방향으로 연장된 한 쌍의 제1가이드레일들을 포함하고, 상기 제2이송부는 상기 제1방향으로 연장된 한 쌍의 제2가이드레일들을 포함하며, 상기 제1플립이송부는 상기 제1방향으로 연장된 한 쌍의 제1플립가이드레일들을 포함하고, 상기 제2플립이송부는 상기 제1방향으로 연장된 한 쌍의 제2플립가이드레일들을 포함할 수 있다.
이때, 상기 제1가이드레일들, 상기 제2가이드레일들, 상기 제1플립가이드레일들 및 상기 제2플립가이드레일들은, 이동부의 가이드블럭의 절곡부에 맞물리는 절곡부를 가져 이동부의 이탈을 방지하도록 할 수 있다.
한편, 상기 제1플립이송부에 기판이 고정된 이동부가 위치한 상태에서 이동부의 기판이 고정되는 면이 상기 제1평면 내에 위치할 시, 상기 제1플립이송부의 상기 제1플립가이드레일들은 상기 제1이송부의 상기 제1가이드레일들과 동일선상에 위치하도록 할 수 있다.
유사하게, 상기 제2플립이송부에 기판이 분리된 이동부가 위치한 상태에서 이동부의 기판이 고정되는 면이 상기 제2평면 내에 위치할 시, 상기 제2플립이송부의 상기 제2플립가이드레일들은 상기 제2이송부의 상기 제2가이드레일들과 동일선상에 위치하도록 할 수 있다.
상기 증착 어셈블리는, 증착물질을 방사할 수 있는 증착원과, 상기 증착원의 상기 제1이송부 방향에 배치되며 증착원 노즐이 형성된 증착원 노즐부와, 상기 증착원 노즐부와 대향되게 배치되고 일 방향을 따라 복수개의 패터닝 슬릿들이 배치되는 패터닝 슬릿 시트를 구비할 수 있다.
본 발명의 또 다른 일 관점에 따르면, 제1플립이송부에 위치한 이동부의 기판이 탈착가능하도록 고정될 수 있는 면 상에 기판을 고정하는 단계와, 이동부에 기판이 고정된 상태에서 제1플립이송부를 제2회전방향으로 180도 회전시켜 이동부의 기판이 고정되는 면을 제1평면 내에 위치시키는 단계와, 이동부의 기판이 고정되는 면을 제1평면 내에 위치시킨 상태에서 제1플립이송부에서 제1이송부로 이동부를 이송하는 단계와, 이동부의 기판이 고정되는 면을 제1평면 내에 위치시킨 상태로 증착 어셈블리와 기판이 소정 정도 이격된 상태에서 제1이송부를 통해 기판을 증착 어셈블리에 대해 제1방향으로 상대적으로 이송하면서 증착 어셈블리로부터 발산된 증착물질이 기판에 증착되도록 하여 층을 형성하는 단계와, 이동부의 기판이 고정되는 면을 제1평면 내에 위치시킨 상태에서 제1이송부에서 제2플립이송부로 이동부를 이송하는 단계와, 이동부의 기판이 고정되는 면을 제1평면 내에 위치시킨 상태로 기판이 고정된 이동부가 제2플립이송부 상에 위치한 상태에서 제2플립이송부를 제2회전방향의 반대방향인 제1회전방향으로 180도 회전시키는 단계와, 기판을 이동부로부터 분리하여 배출하는 단계와, 기판이 분리된 이동부가 제2플립이송부 상에 위치한 상태에서 제2플립이송부를 상기 제2회전방향으로 제1각도만큼 회전시켜 이동부의 기판의 고정되는 면을 제2평면 내에 위치시키는 단계와, 이동부의 기판이 고정되는 면을 제2평면 내에 위치시킨 상태에서 제2플립이송부에서 제2이송부로 이동부를 이송하는 단계와, 이동부의 기판이 고정되는 면을 제2평면 내에 위치시킨 상태로 제2이송부를 통해 이동부를 상기 제1방향의 반대방향으로 이송하여 제1플립이송부로 이송하는 단계와, 이동부의 기판이 고정되는 면을 제2평면 내에 위치시킨 상태로 이동부가 제1플립이송부 상에 위치한 상태에서 제1플립이송부를 상기 제1회전방향으로 제1각도만큼 회전시키는 단계를 포함하는, 유기발광 디스플레이 장치 제조방법이 제공된다.
본 발명의 또 다른 일 관점에 따르면, 제1플립이송부에 위치한 이동부의 기판이 탈착가능하도록 고정될 수 있는 면 상에 기판을 고정하는 단계와, 이동부에 기판이 고정된 상태에서 제1플립이송부를 제2회전방향으로 180도 회전시켜 이동부의 기판이 고정되는 면을 제1평면 내에 위치시키는 단계와, 이동부의 기판이 고정되는 면을 제1평면 내에 위치시킨 상태에서 제1플립이송부에서 제1이송부로 이동부를 이송하는 단계와, 이동부의 기판이 고정되는 면을 제1평면 내에 위치시킨 상태로 증착 어셈블리와 기판이 소정 정도 이격된 상태에서 제1이송부를 통해 기판을 증착 어셈블리에 대해 제1방향으로 상대적으로 이송하면서 증착 어셈블리로부터 발산된 증착물질이 기판에 증착되도록 하여 층을 형성하는 단계와, 이동부의 기판이 고정되는 면을 제1평면 내에 위치시킨 상태에서 제1이송부에서 제2플립이송부로 이동부를 이송하는 단계와, 이동부의 기판이 고정되는 면을 제1평면 내에 위치시킨 상태로 기판이 고정된 이동부가 제2플립이송부 상에 위치한 상태에서 제2플립이송부를 제2회전방향의 반대방향인 제1회전방향으로 180도 회전시키는 단계와, 기판을 이동부로부터 분리하여 배출하는 단계와, 기판이 분리된 이동부가 제2플립이송부 상에 위치한 상태에서 제2플립이송부를 상기 제1회전방향으로 제1각도만큼 회전시켜 이동부의 기판의 고정되는 면을 제2평면 내에 위치시키는 단계와, 이동부의 기판이 고정되는 면을 제2평면 내에 위치시킨 상태에서 제2플립이송부에서 제2이송부로 이동부를 이송하는 단계와, 이동부의 기판이 고정되는 면을 제2평면 내에 위치시킨 상태로 제2이송부를 통해 이동부를 상기 제1방향의 반대방향으로 이송하여 제1플립이송부로 이송하는 단계와, 이동부의 기판이 고정되는 면을 제2평면 내에 위치시킨 상태로 이동부가 제1플립이송부 상에 위치한 상태에서 제1플립이송부를 상기 제2회전방향으로 제1각도만큼 회전시키는 단계를 포함하는, 유기발광 디스플레이 장치 제조방법이 제공된다.
제1플립이송부를 회전시키거나 제2플립이송부를 회전시킬 시, 상기 제1평면과 상기 제2평면이 교차하는 부분으로 정의되는 축과 평행한 축을 중심으로 회전시킬 수 있다.
상기 제1평면과 상기 제2평면은 수직으로 교차하도록 할 수 있으며, 이 경우 상기 제1각도는 90도가 되도록 할 수 있다.
한편, 상기 제1플립이송부를 제2회전방향으로 180도 회전시켜 이동부의 기판이 고정되는 면을 제1평면 내에 위치시키는 단계는, 제1플립이송부의 제1플립가이드레일들을 제1이송부의 제1가이드레일들과 동일선상에 위치시키는 단계일 수 있다.
유사하게, 상기 제2플립이송부를 제1각도만큼 회전시켜 이동부의 기판의 고정되는 면을 제2평면 내에 위치시키는 단계는, 제2플립이송부의 제2플립가이드레일들을 제2이송부의 제2가이드레일들과 동일선상에 위치시키는 단계일 수 있다.
본 발명의 또 다른 일 관점에 따르면, 기판과, 상기 기판 상에 배치된 복수개의 박막 트랜지스터들과, 상기 박막 트랜지스터에 전기적으로 연결된 복수개의 화소전극들과, 상기 화소전극들 상에 배치된 증착층들과, 상기 증착층들 상에 배치된 대향전극을 포함하고, 상기 증착층들 중 적어도 하나는 전술한 증착장치들 중 적어도 어느 하나를 이용하여 형성된 선형 패턴(linear pattern)인, 유기발광 디스플레이 장치가 제공된다.
상기 기판은 40인치(inch) 이상의 크기를 가질 수 있다.
본 발명의 또 다른 일 관점에 따르면, 제1이송부가 기판이 고정된 이동부를 기판이 고정되는 면이 제1평면에 속한 상태에서 제1방향으로 이송할 시 기판에 물질을 증착하는 증착부와, 기판이 분리된 이동부를 기판이 고정되는 면이 상기 제1평면과 교차하는 제2평면에 속한 상태에서 상기 제1방향의 반대방향으로 이송하는 회송부와, 상기 증착부와 상기 회송부의 일측에 위치하고 이동부의 기판이 고정되는 면이 상기 제1평면에 속하거나 상기 제2평면에 속하도록 회전될 수 있는 제1플립이송부를 갖는 제1플립부와, 상기 증착부와 상기 회송부의 타측에 위치하고 이동부의 기판이 고정되는 면이 상기 제1평면에 속하거나 상기 제2평면에 속하도록 회전될 수 있는 제2플립이송부를 갖는 제2플립부를 구비하는, 증착장치가 제공된다.
상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 일 실시예에 따르면, 이동부 이송 시 증착중인 기판이 오염되는 것을 방지하고 유지보수가 용이한 형태를 갖는 증착장치, 이를 이용한 유기발광 디스플레이 장치 제조방법 및 유기발광 디스플레이 장치를 구현할 수 있다. 물론 이러한 효과에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 관한 증착장치를 개략적으로 도시하는 평면 개념도이다.
도 2는 도 1의 증착장치의 일부를 개략적으로 도시하는 측면 개념도이다.
도 3은 도 1의 증착장치의 증착부 중 일부를 개략적으로 도시하는 사시도이다.
도 4는 도 1의 증착장치의 증착부 중 일부를 개략적으로 도시하는 정면도이다.
도 5는 도 3에 도시된 증착장치의 제1이송부와 이동부재의 일부를 개략적으로 도시하는 사시도이다.
도 6은 도 1의 증착장치의 제1플립부 중 일부를 개략적으로 도시하는 사시도이다.
도 7은 도 1 등의 증착장치를 이용하여 제조된 유기발광 디스플레이 장치를 개략적으로 도시하는 단면도이다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하면 다음과 같다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있는 것으로, 이하의 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 또한 설명의 편의를 위하여 도면에서는 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
이하의 실시예에서, x축, y축 및 z축은 직교 좌표계 상의 세 축으로 한정되지 않고, 이를 포함하는 넓은 의미로 해석될 수 있다. 예를 들어, x축, y축 및 z축은 서로 직교할 수도 있지만, 서로 직교하지 않는 서로 다른 방향을 지칭할 수도 있다.
한편, 층, 막, 영역, 판 등의 각종 구성요소가 다른 구성요소 "상에" 있다고 할 때, 이는 다른 구성요소 "바로 상에" 있는 경우뿐 아니라 그 사이에 다른 구성요소가 개재된 경우도 포함한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 관한 증착장치를 개략적으로 도시하는 평면 개념도이고, 도 2는 도 1의 증착장치의 일부를 개략적으로 도시하는 측면 개념도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 증착장치는 로딩부(210), 제1플립부(220), 증착부(230), 제2플립부(240), 회송부(250) 및 언로딩부(260)를 포함한다.
로딩부(210)는 제1랙(212, rack)과 도입로봇(214)을 포함할 수 있다. 제1플립부(220)는 증착부(230)와 회송부(250)의 (-Y 방향인) 일측에 위치하며, 이동부(300)를 이송할 수 있는 제1플립이송부(224, 도 6 참조)를 포함할 수 있다.
제1랙(212)에는 증착이 이루어지기 전의 복수개의 기판(400)들이 적재될 수 있다. 도입로봇(214)은 제1랙(212)으로부터 기판(400)을 홀딩하며, 회송부(250)의 제2이송부(254)가 이송해와 제1플립부(220) 내에 위치한 이동부(300)에 기판(400)을 안착시킨다. 기판(400)은 이동부(300)가 포함하는 정전척에 정전기력 등으로 고정되거나, 이동부(300)에 클램프 등으로 고정될 수 있다. 물론 기판(400)을 이동부(300)에 고정하기에 앞서 기판(400)을 이동부(300)에 대해 얼라인하는 과정을 필요에 따라 거칠 수도 있다.
제1플립부(220) 내에 위치한 이동부(300)에 기판(400)이 안착될 시, 기판(400)은 이동부(300)의 +Z 방향의 면(기판이 고정되는 면) 상에 안착된다. 이후, 기판(400)이 고정된 이동부(300)는 Y축을 중심으로 제1회전방향(R1)으로 180도 회전되어, 이동부(300)에 고정된 기판(400)이 이동부(300)를 기준으로 -Z 방향을 향하도록 한다.
이때, 이동부(300)는 제1플립부(220) 내에서 제1플립이송부(224, 도 6 참조)에 이동가능하도록 결합되어 있는바, 따라서 이동부(300)가 회전될 때 제1플립이송부(224)도 함께 회전된다. 구체적으로는, 제1플립이송부(224)가 회전되기에 이동부(300)가 회전될 수 있다. 제1플립이송부(224)는 한 쌍의 제1플립가이드레일들을 포함할 수 있는데, 이 경우 제1플립부(220) 내에는 한 쌍의 제1플립가이드레일들이 포함될 수 있다. 도 1에서는 제1플립부(220) 내에 세 쌍의 제1플립가이드레일들이 포함되는 것과 같이 도시되어 있는바, 이는 한 쌍의 제1플립가이드레일들이 회전함에 따라 위치할 수 있는 경우를 표시하기 위해 편의상 그와 같이 도시한 것이다.
즉, 회송부(250)로부터 이동부(300)가 제1플립부(220)로 이송될 시, 이동부(300)는 기판이 고정되는 면이 XY 평면에 수직인 상태로 이송된다. 따라서 제1플립이송부는 참조번호 224'로 표시한 것과 같이 한 쌍의 제1플립가이드레일들에 있어서 하나가 다른 하나의 +Z 방향 상부에 위치한 상태에서 이동부(300)가 이송되어와 결합된다.
이와 같은 상태에서, 제1플립이송부와 이동부(300)가 Y축을 중심으로 제1회전방향(-X 방향, R1)으로 90도 회전되어, 이동부(300)의 기판이 고정되는 면이 XY 평면과 평행한 상태가 되고 제1플립이송부는 참조번호 224"로 표시한 것과 같이 이동부(300)의 상부에 위치하게 된다. 이 상태에서 이동부(300)의 +Z 방향 면인 기판이 고정되는 면 상에 기판(400)이 안착되어 고정되고, 이후 제1플립이송부와 이동부(300)가 Y축을 중심으로 제1회전방향(R1)의 반대방향인 제2회전방향(R2)으로 180도 회전되어, 기판(400)이 이동부(300)를 중심으로 -Z 방향에 위치하게 되고 제1플립이송부는 참조번호 224'"로 표시한 것과 같이 이동부(300)의 하부에 위치하게 된다. 이러한 상태에서 제1플립이송부는 기판(400)이 고정된 이동부(300)를 증착부(230)로 이송한다.
증착부(230)는 도 1 및 도 2에 도시된 것과 같이 챔버(232)를 구비하며, 이 챔버(232) 내에 복수의 증착 어셈블리들(235, 236, 237, 238)과 제1이송부(234)가 배치된 구성을 가질 수 있다. 도면에서는 챔버(232) 내에 4개의 증착 어셈블리들(235, 236, 237, 238)이 배치된 것으로 도시되어 있으나, 그 개수는 증착물질 및 증착 조건에 따라 가변될 수 있다.
증착부(230)의 챔버(232)는 증착이 진행되는 동안 진공 또는 진공에 가까운 상태로 유지될 수 있다. 따라서 제1플립부(220)의 챔버(222)와 증착부(230)의 챔버(232) 사이에는 게이트밸브가 위치할 수도 있고, 필요에 따라서는 제1플립부(220)의 챔버(222)와 증착부(230)의 챔버(232) 사이에 버퍼챔버가 개재될 수도 있다.
제1이송부(234)는 탈착가능하도록 기판(400)이 고정된 이동부(300)를 기판(400)이 고정되는 면이 제1평면 내에 위치하도록 하며 제1방향(+Y 방향)으로 이송한다. 이와 같이 제1이송부(234)가 기판(400)이 고정된 이동부(300)를 이송하는 동안, 증착 어셈블리들(235, 236, 237, 238) 각각이 기판(400)과 소정 정도 이격되어 기판(400)에 물질을 증착한다. 제1이송부(234)는 제1방향(+Y 방향)으로 연장된 한 쌍의 제1가이드레일들을 포함할 수 있다.
제1플립이송부가 기판(400)이 고정된 이동부(300)를 증착부(230)로 이송할 시, 제1플립이송부의 제1플립가이드레일들은 증착부(230)의 제1이송부(234)의 제1가이드레일(234d)들과 동일선상에 위치할 수 있다.
제2플립부(240)는 증착부(230)와 회송부(250)의 (+Y 방향인) 타측에 위치하며, 이동부(300)를 이송할 수 있는 제2플립이송부를 포함할 수 있다. 제2플립부(240)의 챔버(242)와 증착부(230)의 챔버(232) 사이에는 게이트밸브가 위치할 수도 있고, 필요에 따라서는 제2플립부(240)의 챔버(242)와 증착부(230)의 챔버(232) 사이에 버퍼챔버가 개재될 수도 있다. 언로딩부(260)는 제2랙(262, rack)과 반출로봇(264)을 포함할 수 있다.
증착부(230)에서 기판(400) 상에의 증착이 완료되어 증착부(230)의 제1이송부(234)로부터 제2플립부(240)의 제2플립이송부로 증착이 완료된 기판(400')이 고정된 이동부(300)가 전달되면, 이동부(300)를 기준으로 기판(400')이 -Z 방향에 위치한 상태이고 제2플립이송부가 참조번호 244'로 표시한 것과 같이 이동부(300)의 하부에 위치한 상태가 된다. 이후, 기판(400')이 고정된 이동부(300)는 Y축을 중심으로 제1회전방향(R1)으로 180도 회전되어, 이동부(300)에 고정된 기판(400')이 이동부(300)를 기준으로 +Z 방향을 향하도록 한다.
이때, 이동부(300)는 제2플립부(240) 내에서 제2플립이송부에 이동가능하도록 결합되어 있는바, 따라서 이동부(300)가 회전될 때 제2플립이송부도 함께 회전된다. 구체적으로는, 제2플립이송부가 회전되기에 이동부(300)가 회전될 수 있다. 제2플립이송부는 한 쌍의 제2플립가이드레일들을 포함할 수 있는데, 이 경우 제2플립부(240) 내에는 한 쌍의 제2플립가이드레일들이 포함될 수 있다. 도 1에서는 제2플립부(240) 내에 세 쌍의 제2플립가이드레일들이 포함되는 것과 같이 도시되어 있는바, 이는 한 쌍의 제2플립가이드레일들이 회전함에 따라 위치할 수 있는 경우를 표시하기 위해 편의상 그와 같이 도시한 것이다.
즉, 이동부(300)를 기준으로 증착이 완료된 기판(400')이 -Z 방향에 위치한 상태이고 제2플립이송부가 참조번호 244'로 표시한 것과 같이 이동부(300)의 하부에 위치한 상태에서, 제2플립이송부와 이동부(300)가 Y축을 중심으로 제1회전방향(-X 방향, R1)으로 180도 회전되어, 이동부(300)를 기준으로 증착이 완료된 기판(400')이 +Z 방향에 위치한 상태이고 제2플립이송부가 참조번호 244"로 표시한 것과 같이 이동부(300)의 상부에 위치하게 된다. 이 상태에서 반출로봇(264)이 이동부(300)의 +Z 방향에 위치하며 이동부(300)로부터 분리된 증착이 완료된 기판(400')을 반출하여 제2랙(262)에 적재한다.
이후, 증착이 완료된 기판(400')이 분리된 이동부(300)를 Y축을 중심으로 제2회전방향(R2)으로 90도 회전되어, 이동부(300)가 이동부(300)의 기판이 고정되는 면이 XY 평면에 대해 수직인 상태가 되고 이동부(300)가 이동가능하게 결합된 제2플립이송부 역시 참조번호 244"'로 표시한 것과 같이 위치하게 된다. 만일 제2플립이송부가 한 쌍의 제2플립가이드레일들을 포함한다면, 이 한 쌍의 제2플립가이드레일들 중 어느 하나가 다른 하나보다 +Z 방향으로 상부에 위치하게 된다. 제2플립이송부는 이와 같은 상태에서 이동부(300)를 회송부(250)로 이송한다.
회송부(250)는 제2이송부(254)를 포함하는데, 제2이송부(254)는 증착이 완료된 기판(400')이 분리된 이동부(300)를 제1방향(+Y 방향)의 반대방향으로, 즉 제2플립부(240)에서 제1플립부(220)로 이송한다. 결국, 이동부(300)는 제1이송부(234)와 제2이송부(254)에 의해 순환이송될 수 있다. 제2이송부(254)는 이동부(300)의 기판이 고정되는 면이 XY 평면에 수직인 상태로 제1플립부(220)로 이송한다. 즉, 제2이송부(254)는 제1방향(+Y 방향)으로 연장된 한 쌍의 제2가이드레일들을 포함할 수 있는데, 이 경우 어느 하나가 다른 하나의 (+Z 방향) 상부에 위치할 수 있다.
제2플립이송부가 기판(400')이 분리된 이동부(300)를 제2플립부(240)에서 회송부(250)로 이송할 시, 제2플립이송부의 제2플립가이드레일들은 회송부(250)의 제2이송부(254)의 제2가이드레일들과 동일선상에 위치할 수 있다.
제1플립부(220)의 챔버(222), 제2플립부(240)의 챔버(242) 및 회송부(250)의 챔버(252)는 모두 증착이 진행되지 않는 챔버들로서 이동부(300)를 이송하거나 회전시키기 위한 챔버들이다. 따라서 이들 챔버들 사이에는 게이트밸브나 버퍼챔버가 개재되지 않도록 하여 구성을 단순화할 수 있으며, 필요하다면 이들 챔버들은 일체인 형태를 갖도록 할 수도 있다.
이와 같은 본 실시예에 따른 증착장치의 경우, 증착이 완료된 기판(400')이 이동부(300)에서 분리된 후 이동부(300)가 제2플립부(240)에서 제1플립부(220)로 회송부(250)에 의해 회송될 시, 이동부(300)의 기판이 고정되는 면이 XY 평면에 수직인 상태로 회송된다. 따라서 이동부(300)의 기판이 고정되는 면이 XY 평면에 평행한 상태로 회송하는 경우에 비해 증착장치가 차지하는 면적을 획기적으로 줄일 수 있다.
물론 증착이 완료된 기판(400')이 이동부(300)에서 분리된 후 이동부(300)가 증착부(230) 상부에서 이동부(300)의 기판이 고정되는 면이 XY 평면에 평행한 상태로 회송되도록 하여, 증착장치가 차지하는 면적을 줄이는 것을 고려할 수도 있다. 하지만 증착부(230)에서 기판(400) 상에 물질을 증착하는 과정에서 물질이 이동부(300)에도 부착될 수 있으며, 따라서 증착부(230) 상부에서 이동부(300)의 기판이 고정되는 면이 XY 평면에 평행한 상태로 이동부(300)가 회송되도록 하는 과정에서 이동부(300)에 기 부착된 물질이 증착부(230)로 낙하하여 불량을 초래할 수도 있다.
하지만 상술한 것과 같은 본 실시예에 따른 증착장치의 경우에는 이동부(300)의 기판이 고정되는 면이 XY 평면에 수직인 상태로 회송됨에 따라, 증착부(230) 상부가 아닌 증착부(230)의 (-X 방향) 옆에서 회송된다. 따라서 이동부(300)가 회송되는 과정에서 이동부(300)에 기 부착된 물질이 낙하한다 하더라도 증착부(230)에 영향을 주는 것을 효과적으로 방지할 수 있다.
도 3은 도 1의 증착장치의 증착부 중 일부를 개략적으로 도시하는 사시도이고, 도 4는 도 1의 증착장치의 증착부 중 일부를 개략적으로 도시하는 정면도이다. 도 3 및 도 4를 참조하면, 본 실시예에 따른 증착장치의 증착부(230)는 상술한 바와 같이, 제1이송부(234)와 하나 이상의 증착 어셈블리를 포함한다. 증착 어셈블리는, 제1이송부(234)가 기판(400)이 고정된 이동부(300)를 제1방향(+Y 방향)으로 이송하는 동안 기판(400)과 소정 정도 이격되어 기판(400)에 물질을 증착한다.
이러한 증착 어셈블리는, 증착원(110), 증착원 노즐부(120), 패터닝 슬릿 시트(130) 등을 포함할 수 있다. 물론 필요에 따라 패터닝 슬릿 시트(130)의 위치를 조정하기 위한 스테이지, 패터닝 슬릿 시트(130)와 기판(400)의 얼라인 여부를 확인하기 위한 카메라, 패터닝 슬릿 시트(130)와 기판(400) 사이의 간격을 측정하기 위한 센서 등을 더 구비할 수도 있다.
증착원(110)은 증착물질을 방사할 수 있다. 일 증착 어셈블리는 하나 이상의 증착원(110)을 구비할 수 있다. 이러한 증착원(110)은 하부에 배치되어, 내부에 수납되어 있는 증착물질(115)이 승화/기화됨에 따라 기판(400)이 위치한 방향(예컨대 +Z 방향인 상방)으로 증착물질을 방사할 수 있다. 구체적으로, 증착원(110)은 그 내부에 증착물질(115)이 채워지는 도가니(111)와, 도가니(111)를 가열시켜 도가니(111) 내부에 채워진 증착물질(115)을 증발시키기 위한 히터(112)를 포함할 수 있다.
증착원(110)의 제1이송부(234) 방향(+Z 방향), 즉 기판(400) 방향에는, 증착원 노즐(121)이 형성된 증착원 노즐부(120)가 배치된다. 도면에서는 증착원 노즐부(120)가 복수개의 증착원 노즐(121)들을 갖는 경우를 도시하고 있다. 이러한 증착원 노즐(121)은 도시된 것과 같이 증착원(110)에서 기판(400) 방향으로 돌출된 형상을 가질 수도 있고, 단순히 평판 형태의 증착원 노즐부(120)에 형성된 구멍 형상을 가질 수도 있다.
도면에서는 증착원 노즐부(120)가 제1방향(+Y 방향)을 따라 배열된 복수개의 증착원 노즐(121)들을 갖는 것으로 도시하고 있으나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 예컨대 증착원 노즐부(120)는 제1방향(+Y 방향)과 교차하며 기판(400)에 대략 평행한 방향(X 방향)을 따라 배열된 복수개의 증착원 노즐들을 가질 수도 있다.
패터닝 슬릿 시트(130)는 증착원 노즐부(120)와 대향되게 배치될 수 있는데, 일 방향(X축 방향)을 따라 복수개의 패터닝 슬릿들이 형성된 구조를 가질 수 있다. 이러한 패터닝 슬릿 시트(130)는 증착원(110)과 기판(400) 사이에 위치하게 된다. 증착원(110)에서 기화된 증착물질(115)은 증착원 노즐부(120) 및 패터닝 슬릿 시트(130)를 통과하여 피 증착체인 기판(400) 상에 증착될 수 있다. 물론 기판(400)의 전면(全面)에 균일한 증착층을 형성할 경우라면, 패터닝 슬릿 시트(130)는 복수개의 패터닝 슬릿들이 아닌 X축을 따라 연장된 개구를 가질 수 있다.
패터닝 슬릿 시트(130)는 종래의 파인 메탈 마스크(FMM), 특히 스트라이프 타입(stripe type)의 마스크의 제조 방법에 사용되는 에칭 등을 통해 제작될 수 있다. 이와 같은 패터닝 슬릿 시트(130)는 증착원(110)(및 이와 결합된 증착원 노즐부(120))으로부터 일정 정도 이격되어 배치될 수 있다.
증착원(110)에서 방출된 증착물질(115)이 증착원 노즐부(120) 및 패터닝 슬릿 시트(130)를 통과하여 기판(400)에 원하는 패턴으로 증착되게 하려면, 기본적으로 증착부(230)의 챔버 내부는 FMM 증착의 경우와 동일/유사하게 고진공 상태를 유지할 필요가 있다. 또한 패터닝 슬릿 시트(130)의 온도가 증착원(110)의 온도보다 충분히 낮을 필요가 있다(약 100ㅀ이하). 패터닝 슬릿 시트(130)의 온도가 충분히 낮아야만 온도에 의한 패터닝 슬릿 시트(130)의 열팽창 문제를 최소화할 수 있기 때문이다. 즉, 패터닝 슬릿 시트(130)의 온도가 높아지면 열팽창으로 인하여 패터닝 슬릿 시트(130)의 패터닝 슬릿의 크기나 위치 등이 변형되어, 기판(400) 상에 사전설정된 패턴과 상이한 패턴으로 증착될 수 있기 때문이다.
기판(400)은 이동부(300)가 고정되어, 제1이송부(234)에 의해 제1방향(+Y 방향)으로 이송된다. 기판(400)은 평판 디스플레이 장치용 기판이 될 수 있는데, 복수개의 평판 디스플레이 장치들을 형성할 수 있는 마더 글라스(mother glass)와 같은 대면적 기판일 수 있다.
전술한 바와 같이 FMM을 이용하는 종래의 증착방법의 경우, FMM의 면적이 기판의 면적과 동일해야만 했다. 따라서 기판 사이즈가 증가할수록 FMM도 대형화되어야 하며, 이로 인해 FMM의 제작이 용이하지 않고, FMM의 자중에 의해 마스크의 처짐 현상이 발생하기에 사전설정된 정확한 패턴의 중간층 등을 형성할 수 없다는 문제점이 있었다.
하지만 본 실시예에 따른 증착장치의 경우, 증착 어셈블리와 기판(400)이 서로 상대적으로 이동하면서 증착이 이루어진다. 구체적으로, 제1이송부(234)가 이동부(300)에 고정된 기판(400)을 제1방향(+Y 방향)으로 이송하는 동안, 기판(400)과 소정 정도 이격된 증착 어셈블리가 기판(400)에 물질을 증착한다. 다시 말하면, 증착 어셈블리와 마주보도록 배치된 기판(400)이 제1방향(+Y 방향)으로 이송되면서 스캐닝(scanning) 방식으로 증착이 수행된다. 도면에서는 기판(400)이 +Y 방향으로 이동하면서 증착이 이루어지는 것으로 도시되어 있으나, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 예컨대 기판(400)은 위치가 고정되어 있고 증착 어셈블리가 -Y 방향으로 이동하면서 증착을 수행할 수도 있는 등, 다양한 변형이 가능하다.
따라서 본 실시예에 따른 증착장치의 경우, 패터닝 슬릿 시트(130)의 사이즈가 종래의 FMM의 사이즈에 비하여 훨씬 작도록 할 수 있다. 즉, 본 실시예에 따른 증착장치의 경우, 기판(400)이 Y축 방향을 따라 이동하면서 연속적으로, 즉 스캐닝(scanning) 방식으로 증착이 이루어지기에, 패터닝 슬릿 시트(130)의 Y축 방향의 길이는 기판(400)의 Y축 방향의 길이보다 훨씬 작아도 증착이 기판(400)의 전면(全面) 대부분에 대해 충분히 수행될 수 있다.
이와 같이 종래의 FMM의 사이즈에 비하여 패터닝 슬릿 시트(130)의 사이즈가 훨씬 작도록 할 수 있기 때문에, 패터닝 슬릿 시트(130)의 제조가 매우 용이하게 된다. 즉, 패터닝 슬릿 시트(130)를 만들 시의 에칭 작업이나 그 이후의 정밀 인장 및 용접 작업, 이동 및 세정 작업 등 모든 공정에서, 작은 크기의 패터닝 슬릿 시트(130)가 대면적의 FMM와 관련된 공정에 비해 유리하다. 이러한 장점은 제조하고자 하는 디스플레이 장치가 대형화될수록 더욱 커지게 된다.
한편, 전술한 바와 같이 증착 어셈블리는 제1이송부(234)가 이동부(300)에 고정된 기판(400)을 제1방향(+Y 방향)으로 이송하는 동안, 기판(400)과 소정 정도 이격되어 기판(400)에 물질을 증착한다. 이는 패터닝 슬릿 시트(130)가 기판(400)으로부터 일정 정도 이격되도록 배치된다는 것을 의미한다. FMM을 이용한 종래의 증착장치의 경우 FMM과 기판이 접촉하여 불량이 발생한다는 문제점이 있었으나 본 실시예에 따른 증착장치의 경우 그러한 문제점을 효과적으로 방지할 수 있으며, 또한, 공정에서 기판과 마스크를 밀착시키는 것과 같은 시간이 불필요해지기 때문에, 제조 속도를 획기적으로 높일 수 있다.
증착부(230)의 제1이송부(234)와 증착 어셈블리는 도시된 것과 같이 프레임에 의해 지지될 수 있다. 프레임은 하부프레임(233a)과 상부프레임(233b)을 포함할 수 있다. 하부프레임(233a)에는 증착원(110)이 배치될 수 있고 상부프레임(233b)에는 제1이송부(234)가 배치될 수 있다. 하부프레임(233a)과 상부프레임(233b)은 별도의 부재로 형성되어 결합될 수도 있고, 처음부터 일체형으로 형성될 수도 있다.
하부프레임(233a)에는 패터닝 슬릿 시트(130)를 지지하기 위한 시트지지부(233c)가 배치될 수 있다. 물론 패터닝 슬릿 시트(130)의 위치를 제어하기 위한 스테이지가 시트지지부(233c)를 대체할 수도 있고, 시트지지부(233c)와 패터닝 슬릿 시트(130) 사이에 개재될 수도 있는 등 다양한 변형이 가능하다. 아울러 증착원(110)에서 증발된 물질이 패터닝 슬릿 시트(130)를 통과하여 기판(400)에 증착될 수 있도록 상부프레임(233b)에는 개구부(233b')가 형성될 수 있다.
상부프레임(233b)에는 제1이송부(234)가 배치될 수 있고, 이동부(300)는 이러한 제1이송부(234)에 의해 제1방향(+Y 방향)으로 이송될 수 있다.
이동부(300)는 도시된 것과 같이 정전척(310), 정전척(310)을 지지하는 척지지부(320), 척지지부(320)에 배치된 제1자력발생부(322) 및 가이드블록(324)을 포함할 수 있다. 정전척(310)은 세라믹으로 구비된 본체와 그 내부에 매립되며 전원이 인가되는 전극을 가질 수 있으며, 전극에 고전압이 인가됨으로써 본체의 표면에 정전기력을 발생시켜 기판(400)이 부착되도록 할 수 있다. 척지지부(320)에는 제1자력발생부(322)가 배치될 수 있는데, 이 제1자력발생부(322)와 제1이송부(234)의 제2자력발생부(234c)에서 형성되는 자기력에 의해 이동부(300)가 제1이송부(234)의 제1가이드레일(234d)을 따라 이송되도록 할 수 있다. 가이드블록(324)은 제1가이드레일(234d)에 이동가능하게 결합되어, 이동부(300)가 제1가이드레일(234d)로부터 이탈하는 것을 방지할 수 있다.
도 5는 도 3에 도시된 증착장치의 제1이송부(234)와 이동부(300)의 일부를 개략적으로 도시하는 사시도이다. 도시된 것과 같이 제1이송부(234)는 샤프트(234a), 샤프트(234a)를 상부프레임(233b)에 고정하기 위한 샤프트고정부(234b), 샤프트(234a)에 배치되는 복수개의 마그넷롤러들인 제2자력발생부(234c) 및 제1가이드레일(234d)을 포함할 수 있고, 이동부(300)는 도시된 것과 같이 척지지부(320)에 배치된 제1자력발생부(322)를 포함할 수 있다.
제2자력발생부(234c)인 마그넷롤러는 나선형으로 꼬인 복수개의 마그넷들(234c', 234c")을 포함한다. 마그넷들(234c', 234c")은 이동부(300)의 이송방향(+Y 방향)과 평행한 축을 중심으로 상호 꼬이게 된다. 서로 인접한 마그넷들(234c', 234c")은 서로 다른 극성을 가질 수 있다. 즉, 마그넷(234c')이 외측을 향하여 N극을 갖는다면, 마그넷(234c')에 인접한 마그넷(234c")은 외측을 향하여 S극을 가질 수 있다.
샤프트(234a)는 제2자력발생부(234c)인 복수개의 마그넷롤러들을 연결한다. 즉, 복수개의 마그넷롤러들은 이동부(300)의 이동 방향(+Y 방향)으로 이격되어 배열되며, 샤프트(234a)는 복수개의 마그넷롤러들을 연결한다. 샤프트(234a)는 구동부(미도시)의 구동력을 마그넷롤러들에 전달한다.
샤프트고정부(234b)는 샤프트(234a)가 상부프레임(233b)에 고정되도록 한다. 샤프트고정부(234b)에는 관통공이 형성되는데, 샤프트(234a)는 이 관통공을 관통하여 배치되어 관통공 내에서 회전될 수 있다.
이동부(300)의 척지지부(320)에 배치된 제1자력발생부(322)는 제1이송부(234)의 제2자력발생부(234c)인 복수개의 마그넷롤러들 중 적어도 어느 하나에 대응하도록 배치될 수 있는데, 제1자력발생부(322)는 이동부(300)가 이송되는 제1방향(+Y 방향)을 따라 일렬로 배열된 복수개의 마그넷들(322a, 322b, 322c)을 포함할 수 있다. 복수개의 마그넷들(322a, 322b, 322c)은 서로 인접한 것들이 상호 상이한 극성을 갖도록 배열된다. 즉, 마그넷(322a)이 제2자력발생부(234c)를 향하여 N극을 갖는다면, 마그넷(322a)에 인접한 마그넷(322b)은 제2자력발생부(234c)를 향하여 S극을 갖는다. 또한, 마그넷(322b)에 인접한 마그넷(322c)은 제2자력발생부(234c)를 향하여 N극을 갖는다. 이와 같이 제1자력발생부(322)는 N극과 S극이 교대로 배열된 일련의 복수개의 마그넷들(322a, 322b, 322c)을 포함할 수 있다. 이러한 복수개의 마그넷들(322a, 322b, 322c)은 전자석, 영구 자석, 또는 초전도 자석을 포함할 수 있다.
이와 같이 이동부(300)의 척지지부(320)에 배치된 제1자력발생부(322)와 이에 인접하여 위치하는 제1이송부(234)의 제2자력발생부(234c)에서 형성되는 자기력에 의해 이동부(300)가 제1이송부(234)의 제1가이드레일(234d)을 따라 이송되도록 할 수 있다. 구체적으로, 제1이송부(234)의 샤프트(234a)가 회전함에 따라 마그넷들(234c', 234c")이 꼬인 구성을 갖는 제2자력발생부(234c)가 회전하게 되며, 그 회전에 따라 제2자력발생부(234c)와 제1자력발생부(322) 사이에 계속해서 척력 등이 발생하여, 이동부(300)가 제1방향(+Y 방향)으로 이송되게 된다.
물론 이러한 제1이송부(234)의 구조는 예시적인 것으로 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 예컨대 제1이송부(234)가 제1방향(+Y 방향)으로 연장된 레일을 갖고, 이 레일이 사이에 개재되도록 레일의 양측에 위치하며 능동 회전이 가능한 롤러들을 이동부(300)가 가짐으로써 이동부(300)가 레일 상에서 이동한 구성을 구현할 수도 있는 등, 다양한 변형이 가능함은 물론이다.
도 6은 도 1의 증착장치의 제1플립부(220) 중 일부를 개략적으로 도시하는 사시도이다. 도시된 것과 같이 제1플립부(220)는 플립프레임(223) 및 이 플립프레임(223)에 배치된 제1플립이송부(224)를 갖는다. 제1플립이송부(224)는 제1액츄에이터(227)에 의해 회전될 수 있는데, 도시된 것과 같이 플립프레임(223)에 연결된 회전지지부(227b)가 제1방향(+Y 방향)으로 연장된 회전축(227a)을 중심으로 회전함으로써 제1플립이송부(224)가 회전될 수 있다.
여기서 회전축(227a)은, 증착부(230)의 제1이송부(234)가 이동부(300)를 이송할 시 이동부(300)의 기판(400)이 고정되는 면이 속하는 평면을 제1평면이라 하고, 회송부(250)의 제2이송부(254)가 이동부(300)를 이송할 시 이동부(300)의 기판이 고정되는 면이 속하는 평면을 제2평면이라 하면, 이 제1평면과 제2평면이 교차하는 부분으로 정의되는 축과 평행할 수 있다.
제1플립이송부(224)는 증착부(230)의 제1이송부(234)와 동일/유사한 구성을 가질 수 있다. 즉, 제1플립이송부(224)는 샤프트(224a), 샤프트(224a)를 플립프레임(223)에 고정하기 위한 샤프트고정부(224b), 샤프트(224a)에 배치되는 복수개의 마그넷롤러(224c)들 및 제1플립가이드레일(224d)을 포함할 수 있다.
제1플립가이드레일(224d)에는 이동부(300)의 가이드블록(324)이 이동가능하게 결합될 수 있다. 이때, 제1플립이송부(224)가 회전될 시 이동부(300)가 제1플립이송부(224)로부터 이탈되는 것을 방지하기 위해, 가이드블록(324)은 도시된 것과 같이 절곡부를 갖고, 제1플립가이드레일(224d)은 도시된 것과 같이 가이드블록(324)의 절곡부에 맞물리는 절곡부를 가져 이동부(300)의 이탈이 방지되도록 할 수 있다.
제1플립가이드레일(224d)의 절곡부는 예컨대 도시된 것과 같이 제1방향(+Y 방향)을 따라 제1플립가이드레일(224d)의 양 측면들 각각에 홈이 형성됨에 따라 형성되는 것일 수 있으며, 가이드블록(324)은 그러한 홈에 삽입되는 돌출부를 가짐에 따라 절곡부가 형성되는 것일 수 있다. 물론 제1플립가이드레일(224d)뿐만 아니라 제1이송부(234)의 제1가이드레일, 제2이송부(254)의 제2가이드레일, 제2플립이송부의 제2플립가이드레일 역시 그러한 절곡부를 가질 수 있다.
제2플립부(240)의 제2플립이송부는 이와 같은 제1플립이송부(224)와 유사한 구성을 가질 수 있다. 즉, 제2플립부(240)는 제2플립이송부를 회전시킬 수 있는 제2액츄에이터를 구비할 수 있다.
한편, 지금까지는 이동부(300)가 회송부(250)에서 제1플립부(220)로 이송될 시 이동부(300)가 기판이 고정되는 면이 XY 평면에 수직인 상태로 이송되는 것으로 설명하였다. 즉, 증착부(230)의 제1이송부(234)가 이동부(300)를 이송할 시 이동부(300)의 기판(400)이 고정되는 면이 속하는 평면인 제1평면과, 회송부(250)의 제2이송부(254)가 이동부(300)를 이송할 시 이동부(300)의 기판이 고정되는 면이 속하는 평면인 제2평면이, 수직으로 교차하는 경우에 대해 설명하였다. 하지만 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 즉, 이동부(300)가 회송부(250)에서 제1플립부(220)로 이송될 시 이동부(300)가 기판이 고정되는 면이 XY 평면에 수직이 아닌 사전설정된 각도(제1각도)를 가진 채 이송될 수도 있다.
이 경우, 제1플립이송부와 이동부(300)가 Y축을 중심으로 제1회전방향(-X 방향, R1)으로 제1각도만큼 회전되어, 이동부(300)의 기판이 고정되는 면이 XY 평면과 평행한 상태가 되고 아울러 이동부(300)를 기준으로 기판이 고정되는 면이 +Z 방향에 위치하도록 할 수 있다.
유사하게, 증착부(230)에서 기판(400) 상에의 증착이 완료된 후 제1이송부(234)에 의해 이동부(300)가 제2플립부(240)의 제2플립이송부로 이송되면, 제2플립이송부는 이동부(300)와 함께 제1회전방향(R1)으로 180도 회전되고, 기판(400')이 이동부(300)에서 분리되면 제2회전방향(R2)으로 90도가 아닌 제1각도만큼 회전되도록 할 수도 있다.
한편, 지금까지는 증착부(230)에서 기판(400) 상에 증착이 완료된 후, 제2플립부(240)에서 이동부(300)를 제1회전방향(R1)으로 180도 회전시키고 증착이 완료된 기판(400')을 이동부(300)에서 분리하여 배출한 후 이동부(300)를 제1회전방향(R1)의 반대방향인 제2회전방향(R2)으로 제1각도만큼 회전시키는 것으로 설명하였으나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 예컨대 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 증착장치의 경우, 증착이 완료된 기판(400')을 이동부(300)에서 분리하여 배출한 후 이동부(300)를 제2회전방향(R2)이 아닌 제1회전방향(R1)으로 제1각도만큼 회전시킬 수도 있다.
제1각도가 90도라면 전자의 경우나 후자의 경우 모두 이동부(300)는 XY 평면에 수직인 상태가 되어 회송부(250)로 전달되게 된다. 한편 전자의 경우 도 2에 도시된 것과 같이 회송부(250)에서 이송될 시의 이동부(300)의 위치가 증착부(230)에서 이송될 시의 이동부(300)의 위치보다 높게 되지만, 후자의 경우 회송부(250)에서 이송될 시의 이동부(300)의 위치가 증착부(230)에서 이송될 시의 이동부(300)의 위치보다 낮게 된다. 따라서 후자의 경우 증착장치의 전반적인 높이를 낮춤으로써, 증착장치의 설치 및 그 유지관리가 더 용이하도록 할 수 있다.
후자의 경우라면, 제1플립이송부는 회송부(250)의 제2이송부(254)로부터 이동부(300)가 이송된 후 이동부(300)와 함께 제2회전방향(R2)으로 제1각도만큼 회전되고, 기판(400)이 이동부(300)에 고정되면 제2회전방향으로 180도 회전되어 이동부(300)의 기판이 고정되는 면이 제1평면(XY 평면) 내에 위치하게 할 수 있다.
지금까지는 증착장치에 대해서만 주로 설명하였으나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 예컨대 이러한 증착장치를 이용한 유기발광 디스플레이 장치 제조방법 역시 본 발명의 범위에 속한다고 할 것이다.
본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 유기발광 디스플레이 장치 제조방법의 경우, 제1플립이송부(224)에 위치한 이동부(300)의 기판(400)이 탈착가능하도록 고정될 수 있는 면 상에 기판(400)을 고정하는 단계를 거치고, 이동부(300)에 기판(400)이 고정된 상태에서 제1플립이송부(224)를 제2회전방향(R2)으로 180도 회전시켜, 이동부(300)의 기판(400)이 고정되는 면을 (XY 평면과 평행한) 제1평면 내에 위치시키는 단계를 거친다. 이후, 이동부(300)의 기판(400)이 고정되는 면을 제1평면 내에 위치시킨 상태에서 제1플립이송부(224)에서 증착부(230)의 제1이송부(234)로 이동부(300)를 이송하는 단계를 거쳐, 증착 어셈블리와 기판(400)이 소정 정도 이격된 상태에서 제1이송부(234)를 통해 기판(400)을 증착 어셈블리에 대해 제1방향(+Y 방향)으로 상대적으로 이송하면서, 증착 어셈블리로부터 발산된 증착물질이 기판(400)에 증착되도록 하여 층을 형성하는 단계를 거친다.
증착이 완료된 후, 이동부(300)의 기판(400)이 고정되는 면을 제1평면 내에 위치시킨 상태에서 제1이송부(234)에서 제2플립이송부로 이동부(300)를 이송하는 단계를 거치고, 증착이 완료된 기판(400')이 고정된 이동부(300)가 제2플립이송부 상에 위치한 상태에서 제2플립이송부를 제2회전방향(R2)의 반대방향인 제1회전방향(R1)으로 180도 회전시키는 단계를 거친 후, 증착이 완료된 기판(400')을 이동부(300)로부터 분리하여 배출하는 단계를 거친다. 이어, 이동부(300)가 제2플립이송부 상에 위치한 상태에서 제2플립이송부를 제2회전방향(R2)으로 제1각도만큼 회전시켜, 이동부(300)의 기판의 고정되는 면을 제2평면 내에 위치시키는 단계를 거친다.
이후, 이동부(300)의 기판이 고정되는 면을 제2평면 내에 위치시킨 상태에서 제2플립이송부에서 제2이송부(254)로 이동부(300)를 이송하는 단계를 거쳐, 그 상태로 제2이송부(254)를 통해 이동부(300)를 제1방향(+Y 방향)의 반대방향으로 이송하여 제1플립이송부(224)로 이송한다. 물론 제1플립이송부(224)는 이동부(300)가 이송될 수 있도록, 그 전에 180도와 제1각도의 차이만큼 제1회전방향(R1)으로 회전한다.
이와 같은 과정을 거쳐 이동부(300)가 제1플립이송부(224) 상에 위치하게 되면, 제1플립이송부(224)를 제1회전방향(R1)으로 제1각도만큼 회전시켜, 새로이 기판(400)이 이동부(300) 상에 공급되어 고정될 수 있도록 한다.
본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 유기발광 디스플레이 장치 제조방법으로서, 전술한 실시예에 따른 유기발광 디스플레이 장치 제조방법에서의 회전방향과 상이하게 회전방향을 설정할 수 있다.
즉, 증착이 완료된 기판(400')이 고정된 이동부(300)가 제2플립이송부 상에 위치한 상태에서 제2플립이송부를 제2회전방향(R2)의 반대방향인 제1회전방향(R1)으로 180도 회전시키는 단계를 거치고, 증착이 완료된 기판(400')을 이동부(300)로부터 분리하여 배출하는 단계를 거친 후, 이동부(300)가 제2플립이송부 상에 위치한 상태에서 제2플립이송부를 제2회전방향(R2)이 아닌 제1회전방향(R1)으로 제1각도만큼 회전시켜, 이동부(300)의 기판의 고정되는 면을 제2평면 내에 위치시키는 단계를 거칠 수 있다. 물론 이러한 경우, 제2이송부(254)를 통해 이동부(300)를 제1방향(+Y 방향)의 반대방향으로 이송하여 제1플립이송부(224)로 이송한 후, 이동부(300)가 제1플립이송부(224) 상에 위치한 상태에서 제1플립이송부(224)를 제1회전방향(R1)이 아닌 제2회전방향(R2)으로 제1각도만큼 회전시키는 단계를 거쳐, 새로이 기판(400)이 이동부(300) 상에 공급되어 고정될 수 있도록 한다.
도 7은 도 1 등의 증착장치를 이용하여 제조된 유기발광 디스플레이 장치를 개략적으로 도시하는 단면도이다.
도 7을 참조하면, 유기발광 디스플레이 장치의 각종 구성요소는 기판(50) 상에 형성된다. 여기서 기판(50)은 도 3 등에서 언급한 기판(400) 자체일 수도 있고, 그 기판(400)이 절단된 일부일 수도 있다. 기판(50)은 투명한 소재, 예컨대 글라스재, 플라스틱재, 또는 금속재로 형성될 수 있다.
기판(50) 상에는 버퍼층(51), 게이트절연막(53), 층간절연막(55) 등과 같은 공통층이 기판(50)의 전면(全面)에 형성될 수 있고, 채널영역(52a), 소스컨택영역(52b) 및 드레인컨택영역(52c)을 포함하는 패터닝된 반도체층(52)이 형성될 수도 있으며, 이러한 패터닝된 반도체층과 함께 박막트랜지스터(TFT)의 구성요소가 되는 게이트전극(54), 소스전극(56) 및 드레인전극(57)이 형성될 수 있다.
또한, 이러한 박막트랜지스터(TFT)를 덮는 보호막(58)과, 보호막(58) 상에 위치하며 그 상면이 대략 평탄한 평탄화막(59)이 기판(50)의 전면에 형성될 수 있다. 이러한 평탄화막(59) 상에는 패터닝된 화소전극(61), 기판(50)의 전면에 대략 대응하는 대향전극(63), 그리고 화소전극(61)과 대향전극(63) 사이에 개재되며 발광층을 포함하는 다층 구조의 중간층(62)을 포함하는, 유기발광소자(OLED)가 위치하도록 형성될 수 있다. 물론 중간층(62)은 도시된 것과 달리 일부 층은 기판(50)의 전면에 대략 대응하는 공통층일 수 있고, 다른 일부 층은 화소전극(61)에 대응하도록 패터닝된 패턴층일 수 있다. 화소전극(61)은 비아홀을 통해 박막트랜지스터(TFT)에 전기적으로 연결될 수 있다. 물론 화소전극(61)의 가장자리를 덮으며 각 화소영역을 정의하는 개구를 갖는 화소정의막(60)이 기판(50)의 전면에 대략 대응하도록 평탄화막(59) 상에 형성될 수 있다.
이와 같은 유기발광 디스플레이 장치의 경우, 전술한 실시예들에 따른 증착장치나 유기발광 디스플레이 장치 제조방법을 이용하여 각 구성요소들 중 적어도 일부가 형성될 수 있다.
예컨대 전술한 실시예들에 따른 증착장치나 유기발광 디스플레이 장치 제조방법을 이용하여 중간층(62)을 형성할 수 있다. 예컨대, 중간층(62)이 포함할 수 있는 홀 주입층(HIL: Hole Injection Layer), 홀 수송층(HTL: Hole Transport Layer), 발광층(EML: Emission Layer), 전자 수송층(ETL: Electron Transport Layer), 전자 주입층(EIL: Electron Injection Layer) 등을 전술한 실시예들에 따른 증착장치나 유기발광 디스플레이 장치 제조방법을 이용하여 형성할 수 있다.
즉, 중간층(62)의 각 층을 형성할 시, 증착원, 증착원 노즐부 및 패터닝 슬릿 시트를 갖는 증착 어셈블리가, 피증착용 기판, 구체적으로는 화소전극(61)까지 형성된 기판과 소정 간격 이격되도록 배치된 상태에서, 증착 어셈블리와 기판 중 어느 하나가 다른 하나에 대해 상대적으로 이동하면서 증착이 이루어지도록 할 수 있다.
만일 패터닝 슬릿 시트가 도 3에 도시된 것과 같이 X축 방향을 따라 복수개의 패터닝 슬릿(131)들이 배치된 경우라면, 이를 이용해 중간층(62)의 일 층을 형성할 시 그 층은 선형 패턴(linear pattern)을 가질 수 있다. 이러한 상기 일 층은 예컨대 발광층일 수 있다.
전술한 바와 같이 도 1 등의 증착장치는 대면적 기판에 증착할 시 증착이 사전설정된 영역에 정확하게 이루어지도록 할 수 있는바, 예컨대 40인치(inch) 이상의 크기의 기판을 갖는 유기발광 디스플레이 장치라 하더라도 정확하게 중간층(62)이 형성되도록 하여 고품질의 유기발광 디스플레이 장치를 구현할 수 있다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
110: 증착원 111: 도가니
112: 히터 120: 증착원 노즐부
121: 증착원 노즐 130: 패터닝 슬릿 시트
210: 로딩부 220: 제1플립부
224: 제1플립이송부 227: 제1액츄에이터
230: 증착부 234: 제1이송부
240: 제2플립부 250: 회송부
254: 제2이송부 260: 언로딩부
300: 이동부 400: 기판
235, 236, 237, 238: 증착 어셈블리들

Claims (21)

  1. 탈착가능하도록 기판이 고정된 이동부를 기판이 고정되는 면이 제1평면 내에 위치하도록 하며 제1방향으로 이송하는 제1이송부와, 상기 제1이송부가 기판이 고정된 이동부를 이송하는 동안 기판과 소정 정도 이격되어 기판에 물질을 증착하는 하나 이상의 증착 어셈블리를 포함하는, 증착부;
    기판이 분리된 이동부를 기판이 고정되는 면이 상기 제1평면과 교차하는 제2평면 내에 위치하도록 하며 상기 제1방향의 반대방향으로 이송하는 제2이송부를 포함하는 회송부;
    상기 증착부와 상기 회송부의 일측에 위치하고, 이동부를 이송할 수 있는 제1플립이송부를 포함하며, 상기 제1플립이송부는, 상기 제2이송부에 의해 이송된 기판이 분리된 이동부가 기판이 고정되는 면이 상기 제2평면 내에 위치한 상태에서 안착되면 제1회전방향으로 제1각도만큼 회전되고, 기판이 이동부에 고정되면 상기 제1회전방향의 반대방향인 제2회전방향으로 180도 회전되어 이동부의 기판이 고정되는 면이 상기 제1평면 내에 위치하도록 하는, 제1플립부; 및
    상기 증착부와 상기 회송부의 타측에 위치하고, 이동부를 이송할 수 있는 제2플립이송부를 포함하며, 상기 제2플립이송부는, 상기 제1이송부에 의해 이송된 기판이 고정된 이동부가 기판이 고정되는 면이 상기 제1평면 내에 위치한 상태에서 안착되면 상기 제1회전방향으로 180도 회전되고, 기판이 이동부에서 분리되면 상기 제2회전방향으로 상기 제1각도만큼 회전되어 이동부의 기판이 고정되는 면이 상기 제2평면 내에 위치하도록 하는, 제2플립부;
    를 구비하고,
    상기 제1평면과 상기 제2평면은 수직으로 교차하며,
    상기 제1각도는 90도인 증착장치.
  2. 탈착가능하도록 기판이 고정된 이동부를 기판이 고정되는 면이 제1평면 내에 위치하도록 하며 제1방향으로 이송하는 제1이송부와, 상기 제1이송부가 기판이 고정된 이동부를 이송하는 동안 기판과 소정 정도 이격되어 기판에 물질을 증착하는 하나 이상의 증착 어셈블리를 포함하는, 증착부;
    기판이 분리된 이동부를 기판이 고정되는 면이 상기 제1평면과 교차하는 제2평면 내에 위치하도록 하며 상기 제1방향의 반대방향으로 이송하는 제2이송부를 포함하는 회송부;
    상기 증착부와 상기 회송부의 일측에 위치하고, 이동부를 이송할 수 있는 제1플립이송부를 포함하며, 상기 제1플립이송부는, 상기 제2이송부에 의해 이송된 기판이 분리된 이동부가 기판이 고정되는 면이 상기 제2평면 내에 위치한 상태에서 안착되면 제2회전방향으로 제1각도만큼 회전되고, 기판이 이동부에 고정되면 상기 제2회전방향으로 180도 회전되어 이동부의 기판이 고정되는 면이 상기 제1평면 내에 위치하도록 하는, 제1플립부; 및
    상기 증착부와 상기 회송부의 타측에 위치하고, 이동부를 이송할 수 있는 제2플립이송부를 포함하며, 상기 제2플립이송부는, 상기 제1이송부에 의해 이송된 기판이 고정된 이동부가 기판이 고정되는 면이 상기 제1평면 내에 위치한 상태에서 안착되면 상기 제2회전방향의 반대방향인 제1회전방향으로 180도 회전되고, 기판이 이동부에서 분리되면 상기 제1회전방향으로 상기 제1각도만큼 회전되어 이동부의 기판이 고정되는 면이 상기 제2평면 내에 위치하도록 하는, 제2플립부;
    를 구비하고,
    상기 제1평면과 상기 제2평면은 수직으로 교차하며,
    상기 제1각도는 90도인 증착장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 제1플립이송부 및 상기 제2플립이송부는, 상기 제1평면과 상기 제2평면이 교차하는 부분으로 정의되는 축과 평행한 축을 중심으로 회전되는, 증착장치.
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 제1플립부는 상기 제1플립이송부를 회전시킬 수 있는 제1액츄에이터를 구비하고, 상기 제2플립부는 상기 제2플립이송부를 회전시킬 수 있는 제2액츄에이터를 구비하는, 증착장치.
  7. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 제1이송부는 상기 제1방향으로 연장된 한 쌍의 제1가이드레일들을 포함하고, 상기 제2이송부는 상기 제1방향으로 연장된 한 쌍의 제2가이드레일들을 포함하며, 상기 제1플립이송부는 상기 제1방향으로 연장된 한 쌍의 제1플립가이드레일들을 포함하고, 상기 제2플립이송부는 상기 제1방향으로 연장된 한 쌍의 제2플립가이드레일들을 포함하는, 증착장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 제1가이드레일들, 상기 제2가이드레일들, 상기 제1플립가이드레일들 및 상기 제2플립가이드레일들은, 이동부의 가이드블럭의 절곡부에 맞물리는 절곡부를 가져 이동부의 이탈을 방지할 수 있는, 증착장치.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 제1플립이송부에 기판이 고정된 이동부가 위치한 상태에서 이동부의 기판이 고정되는 면이 상기 제1평면 내에 위치할 시, 상기 제1플립이송부의 상기 제1플립가이드레일들은 상기 제1이송부의 상기 제1가이드레일들과 동일선상에 위치하는, 증착장치.
  10. 제7항에 있어서,
    상기 제2플립이송부에 기판이 분리된 이동부가 위치한 상태에서 이동부의 기판이 고정되는 면이 상기 제2평면 내에 위치할 시, 상기 제2플립이송부의 상기 제2플립가이드레일들은 상기 제2이송부의 상기 제2가이드레일들과 동일선상에 위치하는, 증착장치.
  11. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 증착 어셈블리는,
    증착물질을 방사할 수 있는 증착원;
    상기 증착원의 상기 제1이송부 방향에 배치되며 증착원 노즐이 형성된 증착원 노즐부; 및
    상기 증착원 노즐부와 대향되게 배치되고, 일 방향을 따라 복수개의 패터닝 슬릿들이 배치되는 패터닝 슬릿 시트;
    를 구비하는, 증착장치.
  12. 제1플립이송부에 위치한 이동부의 기판이 탈착가능하도록 고정될 수 있는 면 상에 기판을 고정하는 단계;
    제1플립이송부를 제2회전방향으로 180도 회전시켜, 이동부의 기판이 고정되는 면을 제1평면 내에 위치시키는 단계;
    제1플립이송부에서 제1이송부로 이동부를 이송하는 단계;
    증착 어셈블리와 기판이 소정 정도 이격된 상태에서 제1이송부를 통해 기판을 증착 어셈블리에 대해 제1방향으로 상대적으로 이송하면서, 증착 어셈블리로부터 발산된 증착물질이 기판에 증착되도록 하여 층을 형성하는 단계;
    제1이송부에서 제2플립이송부로 이동부를 이송하는 단계;
    기판이 고정된 이동부가 제2플립이송부 상에 위치한 상태에서 제2플립이송부를 제2회전방향의 반대방향인 제1회전방향으로 180도 회전시키는 단계;
    기판을 이동부로부터 분리하여 배출하는 단계;
    기판이 분리된 이동부가 제2플립이송부 상에 위치한 상태에서 제2플립이송부를 상기 제2회전방향으로 제1각도만큼 회전시켜, 이동부의 기판의 고정되는 면을 제2평면 내에 위치시키는 단계;
    제2플립이송부에서 제2이송부로 이동부를 이송하는 단계;
    제2이송부를 통해 이동부를 상기 제1방향의 반대방향으로 이송하여 제1플립이송부로 이송하는 단계; 및
    이동부가 제1플립이송부 상에 위치한 상태에서 제1플립이송부를 상기 제1회전방향으로 제1각도만큼 회전시키는 단계;
    를 포함하고,
    상기 제1평면과 상기 제2평면은 수직으로 교차하며,
    상기 제1각도는 90도인 유기발광 디스플레이 장치 제조방법.
  13. 제1플립이송부에 위치한 이동부의 기판이 탈착가능하도록 고정될 수 있는 면 상에 기판을 고정하는 단계;
    제1플립이송부를 제2회전방향으로 180도 회전시켜, 이동부의 기판이 고정되는 면을 제1평면 내에 위치시키는 단계;
    제1플립이송부에서 제1이송부로 이동부를 이송하는 단계;
    증착 어셈블리와 기판이 소정 정도 이격된 상태에서 제1이송부를 통해 기판을 증착 어셈블리에 대해 제1방향으로 상대적으로 이송하면서, 증착 어셈블리로부터 발산된 증착물질이 기판에 증착되도록 하여 층을 형성하는 단계;
    제1이송부에서 제2플립이송부로 이동부를 이송하는 단계;
    기판이 고정된 이동부가 제2플립이송부 상에 위치한 상태에서 제2플립이송부를 제2회전방향의 반대방향인 제1회전방향으로 180도 회전시키는 단계;
    기판을 이동부로부터 분리하여 배출하는 단계;
    기판이 분리된 이동부가 제2플립이송부 상에 위치한 상태에서 제2플립이송부를 상기 제1회전방향으로 제1각도만큼 회전시켜, 이동부의 기판의 고정되는 면을 제2평면 내에 위치시키는 단계;
    제2플립이송부에서 제2이송부로 이동부를 이송하는 단계;
    제2이송부를 통해 이동부를 상기 제1방향의 반대방향으로 이송하여 제1플립이송부로 이송하는 단계; 및
    이동부가 제1플립이송부 상에 위치한 상태에서 제1플립이송부를 상기 제2회전방향으로 제1각도만큼 회전시키는 단계;
    를 포함하고,
    상기 제1평면과 상기 제2평면은 수직으로 교차하며,
    상기 제1각도는 90도인 유기발광 디스플레이 장치 제조방법.
  14. 제12항 또는 제13항에 있어서,
    제1플립이송부를 회전시키거나 제2플립이송부를 회전시킬 시, 상기 제1평면과 상기 제2평면이 교차하는 부분으로 정의되는 축과 평행한 축을 중심으로 회전시키는, 유기발광 디스플레이 장치 제조방법.
  15. 삭제
  16. 삭제
  17. 제12항 또는 제13항에 있어서,
    상기 제1플립이송부를 제2회전방향으로 180도 회전시켜 이동부의 기판이 고정되는 면을 제1평면 내에 위치시키는 단계는, 제1플립이송부의 제1플립가이드레일들을 제1이송부의 제1가이드레일들과 동일선상에 위치시키는 단계인, 유기발광 디스플레이 장치 제조방법.
  18. 제12항 또는 제13항에 있어서,
    상기 제2플립이송부를 제1각도만큼 회전시켜 이동부의 기판의 고정되는 면을 제2평면 내에 위치시키는 단계는, 제2플립이송부의 제2플립가이드레일들을 제2이송부의 제2가이드레일들과 동일선상에 위치시키는 단계인, 유기발광 디스플레이 장치 제조방법.
  19. 삭제
  20. 삭제
  21. 제1이송부가 기판이 고정된 이동부를 기판이 고정되는 면이 제1평면에 속한 상태에서 제1방향으로 이송할 시 기판에 물질을 증착하는 증착부;
    기판이 분리된 이동부를 기판이 고정되는 면이 상기 제1평면과 교차하는 제2평면에 속한 상태에서 상기 제1방향의 반대방향으로 이송하는 회송부;
    상기 증착부와 상기 회송부의 일측에 위치하고, 이동부의 기판이 고정되는 면이 상기 제1평면에 속하거나 상기 제2평면에 속하도록 회전될 수 있는 제1플립이송부를 갖는, 제1플립부; 및
    상기 증착부와 상기 회송부의 타측에 위치하고, 이동부의 기판이 고정되는 면이 상기 제1평면에 속하거나 상기 제2평면에 속하도록 회전될 수 있는 제2플립이송부를 갖는, 제2플립부;
    를 구비하고,
    상기 제1평면과 상기 제2평면은 수직으로 교차하는, 증착장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9496524B2 (en) * 2012-07-10 2016-11-15 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display apparatus using the same, and organic light-emitting display apparatus manufactured using the method
US9959961B2 (en) 2014-06-02 2018-05-01 Applied Materials, Inc. Permanent magnetic chuck for OLED mask chucking
US9463543B2 (en) 2014-06-02 2016-10-11 Applied Materials, Inc. Electromagnetic chuck for OLED mask chucking
KR102399575B1 (ko) * 2014-09-26 2022-05-19 삼성디스플레이 주식회사 증착 위치 정밀도 검사장치 및 그것을 이용한 증착 위치 정밀도 검사방법
TWI682531B (zh) * 2019-06-04 2020-01-11 友達光電股份有限公司 顯示裝置及其製造方法

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20040197184A1 (en) * 2003-03-19 2004-10-07 Akira Sugiyama Workpiece transport apparatus

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6368040B1 (en) * 1998-02-18 2002-04-09 Tokyo Electron Limited Apparatus for and method of transporting substrates to be processed
JP5677785B2 (ja) * 2009-08-27 2015-02-25 三星ディスプレイ株式會社Ｓａｍｓｕｎｇ Ｄｉｓｐｌａｙ Ｃｏ．，Ｌｔｄ． 薄膜蒸着装置及びこれを利用した有機発光表示装置の製造方法
KR101174877B1 (ko) * 2009-08-27 2012-08-17 삼성디스플레이 주식회사 박막 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 표시장치의 제조 방법

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20040197184A1 (en) * 2003-03-19 2004-10-07 Akira Sugiyama Workpiece transport apparatus

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