JP6381957B2 - 蒸着用基板移動部、これを備える有機層蒸着装置及び有機発光ディスプレイ装置 - Google Patents
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Description
本発明の一実施形態において、前記キャリアには、CPS(Contactless power supply)モジュールが形成され、前記第2移送部で前記CPSモジュールと対応する位置には、チャージングトラックが形成され、前記キャリアが前記第2移送部内で移送される時、前記チャージングトラックと前記CPSモジュールとの間に磁場が形成されて、前記CPSモジュールに非接触式で電力が供給され、前記パターニングスリットシートは、前記第1方向または前記第2方向のうち少なくとも一方向において、前記基板より小さく形成される。
以下では、全体的な蒸着部100の構成について説明する。
蒸着源110の一側、詳細には、蒸着源110から基板2に向かう側には蒸着源ノズル部120が配される。そして、蒸着源ノズル部120には、その中心部に一つ以上の蒸着源ノズル121が形成される。そして、蒸着源110内で気化した蒸着物質115は、蒸着源ノズル部120の蒸着源ノズル121を通過して被蒸着体である基板2側に向かう。ここで、本発明による有機層蒸着アセンブリは、共通層及びパターン層の蒸着時に蒸着源ノズルが互いに異なって形成される。
先ず、上部ハウジング104の底部分には、前述した蒸着源110及び蒸着源ノズル部120が配される。そして、蒸着源110及び蒸着源ノズル部120の両側には載置部104−1が突設され、載置部104−1上には、第1ステージ150、第2ステージ160及び前述したパターニングスリットシート130が順次に形成される。
図11を参照すれば、前記アクティブマットレス型の有機発光ディスプレイ装置は、基板2上に形成される。前記基板2は、透明な素材、例えば、ガラス材、プラスチック材、または金属材で形成される。前記基板2上には、全体的にバッファ層のような絶縁膜51が形成されている。
100 蒸着部
200 ローディング部
300 アンローディング部
400 移送部
500 蒸着用基板移動部
Claims (8)
- 一面上に基板を固定できる静電チャックと、
前記静電チャックの他面と結合して前記静電チャックを第1方向に移動させ、内部に形成された複数の収容部、及び前記各収容部の一面に形成された補強リブを備えるキャリアと、を備え、
前記補強リブは、前記静電チャックが結合する面の内側面に形成され、
前記補強リブのそれぞれは、X字型に形成され、
前記キャリアで前記静電チャックが結合する面には、前記第1方向に延設された複数の研磨部がさらに形成され、
前記静電チャックは、一体型に形成されることを特徴とする蒸着用基板移動部。 - 前記複数の研磨部は、前記静電チャックが結合する面から突設され、一定量研磨されることを特徴とする請求項1に記載の蒸着用基板移動部。
- 前記キャリアは、
前記キャリアの温度を測定してその熱変形を確認するキャリア温度センサーと、
前記静電チャックの温度を測定してその熱変形を確認する静電チャック温度センサーと、
前記静電チャックに前記基板が取り付けられているかどうかを検出する基板検出センサーと、
前記蒸着用基板移動部の消費電流またはバッテリーの残留電源を測定する電源測定部と、
前記静電チャックのオン/オフを検出する静電チャック駆動検出部のうち一つ以上と、を備え、
前記キャリア温度センサー、前記静電チャック温度センサー、前記基板検出センサー、前記電源測定部、及び前記静電チャック駆動検出部のうち一つ以上で測定された情報を伝送する通信部をさらに備えることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の蒸着用基板移動部。 - 一面上に基板を脱着自在に固定できる静電チャックと、前記静電チャックの他面と結合し、内部に形成された複数の収容部及び前記各収容部の一面に形成された補強リブを備えるキャリアと、を備える蒸着用基板移動部と、
前記基板が固定された前記蒸着用基板移動部を第1方向に移送する第1移送部と、前記基板が分離された前記蒸着用基板移動部を前記第1方向の逆方向である第2方向に移送する第2移送部と、を備え、前記蒸着用基板移動部を、前記第1移送部及び前記第2移送部によって循環移送させる移送部と、
前記第1移送部が前記蒸着用基板移動部に固定された前記基板を移送する間に、前記基板と所定距離ほど離隔して前記基板に物質を蒸着する一つ以上の有機層蒸着アセンブリと、チャンバとを備える蒸着部と、を備え、
前記有機層蒸着アセンブリは、
蒸着物質を放射できる蒸着源と、
前記蒸着源の一側に配され、蒸着源ノズルが形成された蒸着源ノズル部と、
前記蒸着源ノズル部と対向して配され、一方向に沿って複数のパターニングスリットが配されるパターニングスリットシートと、を備え、
前記補強リブは、前記静電チャックが結合する面の内側面に形成され、
前記補強リブのそれぞれは、X字型に形成され、
前記蒸着用基板移動部は、
前記キャリアの温度を測定してその熱変形を確認するキャリア温度センサーと、
前記静電チャックの温度を測定してその熱変形を確認する静電チャック温度センサーと、
前記静電チャックに前記基板が取り付けられているかどうかを検出する基板検出センサーと、
前記蒸着用基板移動部の消費電流またはバッテリーの残留電源を測定する電源測定部と、
前記静電チャックのオン/オフを検出する静電チャック駆動検出部のうち一つ以上と、を備え、
前記静電チャックは、一体型に形成されることを特徴とする有機層蒸着装置。 - 前記キャリア温度センサー、前記静電チャック温度センサー、前記基板検出センサー、前記電源測定部、または前記静電チャック駆動検出部で測定された情報は、前記有機層蒸着装置の制御部に伝送され、前記有機層蒸着装置の前記制御部への伝送は、近距離無線通信を用いて行われることを特徴とする請求項4に記載の有機層蒸着装置。
- 前記キャリアの一面にはマグネチックレールが形成され、
前記第1移送部及び前記第2移送部それぞれには複数のコイルが形成され、
前記マグネチックレールと前記コイルとが結合して前記蒸着用基板移動部を移動させるように、駆動力を発生させる駆動部が形成され、
前記第1移送部は、
前記蒸着用基板移動部の前記第1方向への移動をガイドするために、前記蒸着用基板移動部の両側を収容する収容溝が形成されたガイド部と、
前記蒸着用基板移動部が前記収容溝と非接触で移動できるように、前記収容溝から前記蒸着用基板移動部を浮上させる磁気浮上軸受と、を備え、
前記磁気浮上軸受は、前記キャリアの両側面に配される側面磁気浮上軸受、及び前記キャリアの上部に配される上部磁気浮上軸受を備える請求項4または請求項5に記載の有機層蒸着装置。 - 前記キャリアの両側面には、一つ以上のカムフォロワーが形成され、
前記第2移送部には、前記カムフォロワーを支えるようにローラガイドが形成され、
前記キャリアの前記カムフォロワーが、前記ローラガイドに沿って移動することを特徴とする請求項4〜6のいずれか1項に記載の有機層蒸着装置。 - 前記キャリアには、CPSモジュールが形成され、
前記第2移送部で前記CPSモジュールと対応する位置には、チャージングトラックが形成され、
前記キャリアが前記第2移送部内で移送される時、前記チャージングトラックと前記CPSモジュールとの間に磁場が形成されて、前記CPSモジュールに非接触式で電力が供給され、
前記パターニングスリットシートは、前記第1方向または前記第2方向のうち少なくとも一方向において、前記基板より小さく形成されることを特徴とする請求項4〜7のいずれか1項に記載の有機層蒸着装置。
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