JP2020092128A - 半導体レーザチップ実装サブマウントおよびその製造方法ならびに半導体レーザモジュール - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、実施形態に係るチップオンサブマウントを備えた半導体レーザモジュールの概略構成を示す模式図である。図1(a)は半導体レーザモジュールの平面図であり、図1(b)は半導体レーザモジュールの一部切欠側面図である。
つぎに、チップオンサブマウント16について説明する。図2は、チップオンサブマウント16の模式的な平面図である。上述したように、チップオンサブマウント16は、半導体レーザチップ4と、半導体レーザチップ4が実装されるサブマウント3とを備えている。
本実施形態では半導体レーザチップ4はシングルエミッタ型であるが、マルチエミッタ型のレーザバーチップでもよい。半導体レーザチップ4が、レーザバーチップとなる場合、基板3aは、Cuなどの金属としてもよい。本実施形態では、基板3aはAlNからなるものとする。また、基板3aの厚さはたとえば0.3〜1.0mm程度である。
つぎに、チップオンサブマウント16の製造方法の一例について、従来例と対比させて説明する。
半導体レーザチップ4とサブマウント3とを接合実装する工程中に、コレット210を半導体レーザチップ4から一時離す工程を含む場合がある。これは、コレット210を経由してヒータからの熱が放散されるのを防ぎ、より効率的に半田を溶かすことを意図している。このような場合でも、コレット210が半導体レーザチップ4を押圧しているいずれかの工程で、半導体レーザチップ4の長手方向における中央よりも出射端面4aa側を押圧していれば、本発明の効果を有する。
AlNからなる基板に、Ptからなるバリアメタル層を含み、Cuを主成分とする金属多層膜からなる上部被覆層と、AuSn半田からなるプリコート3cとが形成されたサブマウントを用意した。また、GaAs基板上にInGaAsを含む活性層が形成され、共振器長が4.5mmであり、厚さが0.1mm程度の半導体レーザチップを用意した。そして、平型コレットを用いて半導体レーザチップをチャックし、サブマウントに実装し、チップオンサブマウントを作製した。なお、平型コレットのコレット長さは2mmである。ここで、コレット長さとは、半導体レーザチップを保持した状態において、コレットの長手方向において半導体レーザチップに当接する両端間の距離である。したがって、半導体レーザチップに当接する両端間の間に、半導体レーザチップとコレットとが当接しない部分があったとしても、その当接しない部分の存在によってコレット長さが変化するものではない。
実施例2、3で、D1とD2の差が10μmより大きい場合には、注入電流を大きくした場合に半導体レーザチップが溶融するような激しい故障が観察された。
実施例2〜6で、距離D1が16μmよりも大きいチップオンサブマウントの集団を抽出すると、距離D1が16μm以下の集団よりも長期通電試験の故障率が高いことが試験結果の解析の結果分かった。距離D1が12μm以下では、更に故障率が低いことが分かった。実施例4、5では、98%以上のチップオンサブマウントの距離D1が12μm以下になるように、好適に製造できることが分かった。
また、実施例6では、濡れ性がやや低かった。その理由は、比率が大きいためコレットが大型であるので、加熱されたサブマウントからコレットを経由して熱が放散しやすくなり、半田の温度が低下したためであると考えられる。
1a 蓋
1b 底板部
2 LD高さ調整板
3 サブマウント
3a 基板
3b 上部被覆層
3c プリコート
4 半導体レーザチップ
4a 半導体部
4aa 出射端面
4ab 後端面
4b メタライズ層
5 リードピン
6 第1レンズ
7 第2レンズ
8 ミラー
9 第3レンズ
10 光フィルタ
11 第4レンズ
12 光ファイバ
13 支持部材
14 ブーツ
15 ルースチューブ
16 チップオンサブマウント
100 半導体レーザモジュール
210 コレット
211 本体部
212 先端部
220 載置台
A1、A2 領域
G 溝
Claims (11)
- 長手方向において出射端面と後端面とを有する半導体部を備え、前記出射端面からレーザ光を出射する半導体レーザチップと、
前記半導体レーザチップが実装されるサブマウントと、
を備え、前記サブマウントと前記半導体部の出射端面側との第1距離が、前記サブマウントと前記半導体部の後端面側との第2距離よりも小さいことを特徴とする半導体レーザチップ実装サブマウント。 - 前記第1距離と前記第2距離との差が1.5μm以上であることを特徴とする請求項1に記載の半導体レーザチップ実装サブマウント。
- 前記第1距離と前記第2距離との差が10μm以下であることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体レーザチップ実装サブマウント。
- 前記第1距離が16μm以下であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一つに記載の半導体レーザチップ実装サブマウント。
- 前記第1距離が12μm以下であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一つに記載の半導体レーザチップ実装サブマウント。
- 前記半導体レーザチップがレーザバーチップであることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一つに記載の半導体レーザチップ実装サブマウント。
- 請求項1〜6のいずれか一つに記載の半導体レーザチップ実装サブマウントの製造方法であって、
半導体レーザチップを、保持具にて長手方向における中央よりも前記出射端面側を中心として前記サブマウントに押圧し、該サブマウントに実装する工程を含むことを特徴とする半導体レーザチップ実装サブマウントの製造方法。 - 前記保持具はコレットであり、該コレットの長手方向において前記半導体レーザチップに当接する両端間の距離であるコレット長さは、前記半導体レーザチップの前記出射端面と前記後端面との距離である共振器長に対する比率が28.5%以上81.9%以下であることを特徴とする請求項7に記載の半導体レーザチップ実装サブマウントの製造方法。
- 前記コレット長さは、前記共振器長に対する比率が44.4%以上75.0%以下であることを特徴とする請求項8に記載の半導体レーザチップ実装サブマウントの製造方法。
- 前記半導体レーザチップがレーザバーチップであることを特徴とする請求項7〜9のいずれか一つに記載の半導体レーザチップ実装サブマウントの製造方法。
- 請求項1〜6のいずれか一つに記載の半導体レーザチップ実装サブマウントを備えていることを特徴とする半導体レーザモジュール。
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