JP2020082348A - スラリーチューブ構造 - Google Patents

Abstract

【課題】ダイヤモンドワイヤによるウェーハ切断の際の冷却に使用される取り外し可能なスラリーチューブを提供する。【解決手段】本体１００と、カバー１１０と複数のノズルとを含むスラリーチューブ構造１であって、本体１００は、チューブ壁と、２つの端壁、供給口１８０及び複数の排出口１６０を含み、チューブ壁及び２つの端壁により長溝及び開口部１２４を形成し、複数の排出口１６０は本体１００の長さ方向に沿ってチューブ壁に設けられ、供給口１８０がチューブ壁に設けられ、長溝を介して複数の排出口１６０に接続されている。カバー１１０が本体１００に取り外し可能に接続され、対応して開口部１２４を覆う。複数のノズルがチューブ壁に配置され、複数の排出口１６０とそれぞれ対応している。【選択図】図２

Description

本発明は、スラリーチューブ構造に関し、特に取り外し可能なスラリーチューブ構造に関する。

一般的なウェーハ製造プロセスでは、シリコンインゴットは、後続の電子ウェーハ製造プロセス及びソラーウェーハ製造プロセスに利用するために、ダイヤモンドワイヤを使用してウェーハに切断される。ダイヤモンドワイヤを使用してシリコンインゴットを切断すると、ダイヤモンドワイヤがウェーハを摩擦して熱を発生させ、ウェーハの温度が上昇するため、ウェーハを冷却するために水柱をスプレーする必要がある。しかし、冷却に使用される従来のスラリーチューブは、ほとんどが一体成形で作られており、チューブ本体の内部を洗浄する必要がある場合、不純物や汚れを完全に除去することは困難である。

一方、ダイヤモンドワイヤを使用してシリコンインゴットを切断する場合、ダイヤモンドワイヤはメインホイールに巻き付けられ、メインホイールと一緒に移動する。長期間の使用では、ダイヤモンドワイヤがメインホイールの表面を磨耗させ、継続的使用のためメインホイールの表面を研磨する必要がある。したがって、メインホイールの直径は、摩耗によりますます小さくなり、ダイヤモンドワイヤとシリコンインゴットとの接触位置が下がる。しかし、従来のスラリーチューブのブラケットは、シリコンインゴット切断機に溶接で固定されており、スラリーチューブの位置調整ができないため、メインホイールの直径が摩耗してダイヤモンドワイヤーとシリコンインゴットとの接触位置が下がるとき、スラリーチューブの位置はそれに応じて調整できないため、従来のスラリーチューブではシリコンインゴットの切断プロセスの冷却効果を高めることができない。

これにより、従来のスラリーチューブ構造やスラリーチューブのブラケットに存在する問題を解決するための解決方策を必要としている。

これに鑑みて、本発明の目的は、カバーを取り外すことによりスラリーチューブ構造の本体を洗浄することができるスラリーチューブ構造を提供することである。

上記の目的を達成するために、本発明によって提供されるスラリーチューブ構造は、本体と、カバーと複数のノズルとを含むスラリーチューブ構造であって、前記本体は、チューブ壁と、２つの端壁、供給口及び複数の排出口を含み、前記チューブ壁及び前記２つの端壁により長溝及び開口部を形成し、前記複数の排出口は前記本体の長さ方向に沿って前記チューブ壁に設けられ、前記供給口が前記チューブ壁に設けられ、前記長溝を介して前記複数の排出口に接続されている。前記カバーが前記本体に取り外し可能に接続され、対応して開口部を覆う。前記複数のノズルが前記チューブ壁に配置され、前記複数の排出口とそれぞれ対応している。

本発明の別の目的は、スラリーチューブ本体の位置及び傾斜角を調整することによってシリコンインゴットの切断プロセスにおいてより良い冷却効果を提供することができる、スラリーチューブのブラケットを提供することである。

上記の目的を達成するために、本発明によって提供されるスラリーチューブのブラケットは、第１フレームと第２フレームとを含む。前記第１フレームは、スラリーチューブの第１端部に対応して接続され、第１固定座、第１移動部材、第２移動部材、及び位置決め部を含む。前記第１移動部材が前記第１固定座に着脱可能に接続され、前記第１固定座に対して第１方向に変位することができる。前記第２移動部材は前記第１移動部材に着脱可能に接続され、前記第１移動部材に対して第２方向に変位することができる。前記位置決め部は、前記第２移動部材に対して回転可能に該第２移動部材に接続されている。前記スラリーチューブの前記第１端部は、前記位置決め部に配置される。前記第２フレームは、前記スラリーチューブの第２端部に対応して接続され、第２固定座、第３可動部材、及び第４可動部材を含む。前記第３移動部材は、前記第２固定座に着脱可能に接続され、前記第２固定座に対して前記第１方向又は前記第２方向に沿って変位することができる。前記第４移動部材は、前記第３移動部材に着脱可能に接続され、第３移動部材に対して第１方向又は第２方向に沿って変位することができる。前記第４可動部材は前記スラリーチューブの前記第２端部が配置される支持台を含む。

本発明では、従来のスラリーチューブ構造を比較して、スラリーチューブ構造は、取り外し可能なカバーを含むスラリーチューブ構造のデッドコーナーを完全に洗浄することができる。さらに、本発明の実施形態に係わるスラリーチューブのブラケットは、複数の調整手段を有するため、スラリーチューブのブラケットは、ダイヤモンドワイヤとシリコンインゴットとの接触位置に応じてスラリーチューブ構造の位置及び傾斜角を調整して、シリコンインゴットを切断するプロセスの冷却効果を高める。

本発明の一実施形態に係るスラリーチューブ構造を示す上面図であり、長溝及び供給口の位置が破線で示されている。 本発明の一実施形態に係るスラリーチューブ構造の側面図であり、長溝、排出口及び洗浄孔の位置が点線で示され、カバーが本体から分離されている。 本発明の一実施形態に係るスラリーチューブ構造の底面図であり、供給口の位置が点線で示され、カバーが取り外されている。 本発明の実施形態に係るスラリーチューブ構造の別の底面図であり、長溝、排出口及び供給口の位置が点線で示され、カバーが本体に結合されている。 本発明の実施形態に係るスラリーチューブ構造の別の側面図であり、第１端部から第２端部を見た角度を示す。 本発明の実施形態に係るスラリーチューブ構造の他の側面図であり、第２端部から第１端部を見た角度を示す。 本発明の一実施形態に係るスラリーチューブ構造の断面図である。 本発明の一実施形態に係るスラリーチューブ構造の別の断面図である。 本発明の一実施形態によるスラリーチューブ構造とスラリーチューブブラケットの組み合わせの平面図である。 図８の断面図であり、切断線９−９に従って示す。 図８の断面図であり、切断線１０−１０に従って示す。

本発明をより明確に説明するために、好ましい実施形態を図面を参照して以下に詳細に説明する。図１から図６を参照すると、本発明の好ましい実施形態によるスラリーチューブ構造１は、本体１００、カバー１１０、及び複数のノズル１７０を含む。本体１００は、チューブ壁１２０、２つの端壁１４０、複数の排出口１６０、及び２つの供給口１８０を含む。チューブ壁１２０は、本体１００の長手方向ＡＸに沿って延び、２つの端壁１４０はそれぞれチューブ壁１２０の両端に位置する。チューブ壁１２０と２つの端壁１４０は、長溝１２２と開口部１２４を形成する。

排出口１６０は、本体１００の長手方向ＡＸに沿ってチューブ壁１２０に配置され、各排出口１６０は、チューブ壁１２０を貫通し、長溝１２２と連通する。２つの供給口１８０は、本体１００の長手方向ＡＸに沿ってチューブ壁１２０に配置され、各供給口１８０は、チューブ壁１２０を貫通し、長溝１２２と連通する。長溝１２２を介して、供給口１８０及び排出口１６０は互いに連通している。図２及び図７ａを参照すると、チューブ壁１２０は、第１エリア１２３と、第１エリア１２３に隣接する第２エリア１２５とを含む。排出口１６０は第１エリア１２３に配置されており、供給口１８０は第２エリア１２５に配置されている。供給口１８０は、第１エリア１２３に投影する投影位置は、隣接する２つの排出口１６０の間に位置する。この実施形態では、各排出口１６０の圧力を等しくするために、２つの供給口１８０は対称的に配置されているが、これに限定されない。実際には、供給口１８０の数は、排出口１６０の圧力平衡要求に応じて１つ以上であり得る。言い換えれば、各排出口１６０の圧力均等化が必要でない場合、単一の供給口１８０を使用することができるが、各排出口１６０の圧力を等しくする必要がある場合、この実施形態のように、複数の供給口１８０から供給することができる。本発明の実施形態では、供給口１８０毎に供給管Ｐと接続されている。

図２から図４を参照すると、カバー１１０は、本体１００に取り外し可能に接続されており、開口部１２４を覆っている。カバー１１０は、複数の洗浄孔１１２を有している。各洗浄孔１１２は、それぞれ排出口１６０に対応しており、各洗浄孔１１２は、長溝１２２を介して対応する排出口１６０と連通している。図４及び図７ｂに示されるように、第１エリア１２３における洗浄孔１１２の投影は少なくとも一部が、排出口１６０と重なり、これにより、洗浄孔１１２を介して洗浄装置Ｃ（注射器など）が伸び、排出口１６０を完全に洗浄することができる。本発明の実施形態では、カバー１１０と本体１００との間のシール効果を高め、カバー１１０と本体１００との間の液体の流れを防ぐために、カバー１１０と本体１００との間にシールリング（図示せず）を含めることができる。

また、カバー１１０は、複数のプラグ１１６を有しており、各プラグ１１６は、それぞれ洗浄孔１１２に着脱可能に配置されている。カバー１１０は複数の洗浄孔１１２を有するので、排出口１６０でそれぞれの洗浄を行う際にカバー１１０を取り外す必要はなく、出口１６０に対応するホールプラグ１１６を取り外すだけであれば、洗浄装置Ｃを使用して、指定され排出口１６０を完全に洗浄することができる。

図５から図７ｂを参照すると、ノズル１７０はチューブ壁１２０に配置され、各ノズル１７０はそれぞれ排出口１６０に対応する。この実施形態では、ノズル１７０は、チューブ壁１２０上の対応する排出口１６０に取り外し可能に接続される。ノズル１７０は、通路１７２とスプレー端１７４とを有する。通路１７２の一端は排出口１６０に接続され、他端はスプレー端１７４の溝１７５に接続されている。なお、通路１７２の延在方向は、溝１７５の延在方向と平行ではない。この実施形態では、通路１７２の延在方向は、溝１７５の延在方向に対して垂直である。この実施形態では、ノズル１７０の通路１７２及びスプレー端１７４の溝１７５も洗浄装置Ｃによって洗浄することができる。さらに、ノズル１７０を本体１００から取り外すことができるので、ノズル１７０を超音波振動子に配置して通路１７２などのデッドコーナーの洗浄をすることができる。

図８〜図１０を参照すると、本発明の実施形態に係わるスラリーチューブのブラケットは、第１フレーム２２０と第２フレーム２４０とを含み、第１フレーム２２０は、スラリーチューブ本体１００の第１端部１３０に対応して接続され、第２フレーム２４０は、スラリーチューブ本体１００の第２端部１５０に対応して接続される。

第１フレーム２２０は、第１固定座２２２、第１移動部材２２４、第２移動部材２２６、及び位置決め部２２８を含む。第１移動部材２２４は、第１固定座２２２に着脱可能に接続され、第１移動部材２２４は、第１方向Ｄ１に第１固定座２２２に対して変位可能である。本発明の実施形態において、第１固定座２２２と第１移動部材２２４は、第１調整手段２２３により互いの相対位置が調整され、第１調整手段２２３は、例えば、ロックレバーと長孔の組み合わせや、ねじまたはナットの組み合わせであっても良いが、これらに限定されない。

第２移動部材２２６は、第１移動部材２２４に着脱可能に接続され、第２移動部材２２６は、第１移動部材２２４に対して第２方向Ｄ２に変位することができる。本発明の実施形態では、第１方向Ｄ１と第２方向Ｄ２とは互いに垂直である。詳細には、第１方向Ｄ１は横方向であり、第２方向Ｄ２は縦方向であり、第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２は、スラリーチューブ本体１００の長手方向ＡＸに垂直である。実際には、第１移動部材２２４は、第１固定座２２２に対して第２方向Ｄ２に変位し、第２移動部材２２６は、第１移動部材２２４に対して第１方向Ｄ１に変位することができる。本発明の実施形態において、第２移動部材２２６と第１移動部材２２４は、第２調整手段２２５によって互いの相対位置が調整され、第２調整手段２２５は、例えば、ロックレバーと長孔の組み合わせや、ねじまたはナットの組み合わせであっても良いが、これらに限定されない。

位置決め部２２８は、第２移動部材２２６に対して回動可能に該第２移動部材２２６に接続されている。スラリーチューブ本体１００の第１端部１３０は、位置決め部２２８に配置されている。本発明の実施形態では、第５調整手段２２７により、位置決め部２２８
を第２移動部２２６に対して回転方向Ｒに沿って回転させて、第２移動部材２２６に位置決めベース２２８の傾斜角を調整する。第５調整機構２２７は、例えば、ロックレバーと長穴の組み合わせ、またはボルトとナットの組み合わせであってもよいが、これに限定されない。

位置決め部２２８は非円形の収納ベースを有し、第１端部１３０は非円形の輪郭を有し、非円形の輪郭と非円形の収納ベースが合わせることでよって、前記二者が互いに対して回動できないようにする。本発明の実施形態では、位置決め部２２８はＶ字状のベースであり、第１端部１３０は長方形の輪郭を有し、かつ長方形の輪郭がＶ字状のベースと合わせる。また、第１フレーム２２０は、係止部２２９を備える。第１端部１３０が位置決め部２２８に載置されると、係止部２２９は第１端部１３０に当接して該第１端部１３０を係止部２２９と位置決め部２２８の間に固定する。係止部２２９は、枢軸２２９１及びロック部２２９２を含む。枢軸２２９１が係止部２２９を第２移動部材２２６に枢結することによって、係止部２２９は上方に持ち上げることができる。ロック部２２９２は、第１端部１３０を係止部２２９と位置決め部２２８との間に固定することで、係止部２２９を第２移動部材２２６にロックすることができる。本発明の別の実施形態では、位置決め部２２８は溝を有し、第１端部１３０は丸棒であり、丸棒は溝内に配置されロック手段（図示せず）によって接続される。これにより、丸棒と溝を互いに固定し、又は互いに対して回転する可能である。

第２フレーム２４０は、第２固定座２４２、第３移動部材２４４、及び第４移動部材２４６を含む。第３移動部材２４４は、第２固定座２４２に着脱可能に接続され、第２固定座２４２に対して第１方向Ｄ１に沿って変位することができる。本発明の実施形態において、第２固定座２４２と第３移動部材２４４は、第３調整手段２４３によって互いの相対位置が調整され、第３調整手段２４３は、例えば、ロックレバーと長孔の組み合わせや、ねじまたはナットの組み合わせであっても良いが、これらに限定されない。

第４移動部材２４６は、第３移動部材２４４に取り外し可能に接続され、第４移動部材２４６は、第３移動部材２４４に対して第２方向Ｄ２に変位することができる。実際には、第３移動部材２４４は第２固定座２４２に対して第２方向Ｄ２に変位し、第４移動部材２４６は第３移動部材２４４に対して第１方向Ｄ１に変位することができる。本発明の実施形態において、第３移動部材２４４及び第４移動部材２４６は、第４調整手段２４５によって互いの相対位置が調整され、第４調整手段２４５は、例えば、ロックレバーと長孔の組み合わせや、ねじまたはナットの組み合わせであっても良いが、これらに限定されない。

第４移動部材２４６は、支持台２４６１を含み、スラリーチューブ本体１００の第２端部１５０は、支持台２４６１に配置される。本実施形態では、位置決め部２２８と支持台２４６１は対応して配置されている。支持台２４６１は溝を有し、第２端部１５０は丸棒であり、丸棒は溝内に配置され溝に対して回動できるようにする。これにより、位置決め部２２８が回動して第１端部１３０の傾斜角が調整されると、第２端部１５０は支持台２４６１に対して同期して回転することができる。

本発明の実施形態では、スラリーチューブ構造は、取り外し可能なカバーを含むスラリーチューブ構造の洗浄効率を改善して、デッドコーナーも完全に洗浄することができる。さらに、本発明の実施形態に係わるスラリーチューブのブラケットは、複数の調整手段を有するため、スラリーチューブのブラケットは、ダイヤモンドワイヤとシリコンインゴットとの接触位置に応じてスラリーチューブ構造の位置及び傾斜角を調整して、シリコンインゴットを切断するプロセスの冷却効果を高める。

上記の説明は、本発明の好ましい実施形態に過ぎず、本発明の説明及び特許請求の範囲に行われる同等の変化は、本発明の範囲に含まれるべきである。

［本発明］
１スラリーチューブ構造
１００本体
１２０チューブ壁 １４０端壁 １６０排出口
１８０供給口 １２２長溝 １２４開口部
１２３第１エリア １２５第２エリア １３０第１端部
１５０第２端部
１１０カバー
１１２洗浄孔 １１６プラグ
１７０ノズル
１７２通路 １７４スプレー端 １７５溝
２２０第１フレーム
２２２第１固定座 ２２４第１移動部材 ２２６第２移動部材
２２８位置決め部 ２２３第１調整手段 ２２５第２調整手段
２２７第５調整手段 ２２９係止部 ２２９１枢軸２２９２ロック部
２４０第２フレーム
２４２第２固定座 ２４４第３移動部材 ２４６第４移動部材
２４３第３調整手段 ２４５第４調整手段 ２４６１支持台
ＡＸ長さ方向 Ｃ洗浄装置 Ｄ１第１方向
Ｄ２第２方向 Ｐ供給管 Ｒ回動方向

Claims (8)

1. チューブ壁と、２つの端壁、供給口及び複数の排出口を含み、前記チューブ壁及び前記２つの端壁により長溝及び開口部を形成し、前記複数の排出口は前記本体の長さ方向に沿って前記チューブ壁に設けられ、前記供給口が前記チューブ壁に設けられ、前記長溝を介して前記複数の排出口に接続されている、本体と、
   前記本体に取り外し可能に接続され、対応して前記開口部を覆うカバーと、
   前記チューブ壁に配置され、前記複数の排出口とそれぞれ対応している複数のノズルとを含むスラリーチューブ構造。
2. 前記ノズルは、前記チューブ壁に取り外し可能に接続されている、請求項１に記載のスラリーチューブ構造。
3. 前記ノズルは、通路及びスプレー端を有し、前記通路の一端が前記排出口に接続され、他端が前記スプレー端の溝に接続されているとともに、前記通路の延在方向は、前記溝の延在方向と平行していない、請求項１に記載のスラリーチューブ構造。
4. 前記通路の延在方向は、前記溝の延在方向と垂直している、請求項３に記載のスラリーチューブ構造。
5. 前記カバーは、複数の洗浄孔及び複数のプラグを有し、前記洗浄孔は、それぞれに前記排出口の１つと対応し、前記長溝を介して前記対応する排出口と連通しており、前記プラグのそれぞれは、離脱可能に前記洗浄孔の１つと対応して配置されている、請求項１に記載のスラリーチューブ構造。
6. 前記洗浄孔、前記洗浄孔に対応する前記排出口、及び前記排出口に対応する前記ノズルの通路はそれぞれ直線状になる、請求項５に記載のスラリーチューブ構造。
7. 前記チューブ壁は、第１エリアと、前記第１領域に隣接する第２エリアとを含み、前記複数の排出口は前記第１エリアに配置されており、前記供給口は前記第２エリアに配置されている、請求項１に記載のスラリーチューブ構造。
8. 前記供給口は、前記第１エリアに投影する投影位置は、隣接する２つの前記排出口の間に位置する、請求項７に記載のスラリーチューブ構造。