JP2020079445A - めっき方法 - Google Patents
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- 238000007747 plating Methods 0.000 title claims abstract description 277
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 62
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 claims abstract description 148
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 145
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 130
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 130
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 84
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims abstract description 67
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 52
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 claims abstract description 43
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims abstract description 41
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims abstract description 31
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims abstract description 31
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 claims abstract description 29
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 26
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 claims abstract description 26
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 claims abstract description 20
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims abstract description 18
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 13
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims abstract description 13
- 150000003863 ammonium salts Chemical class 0.000 claims abstract description 11
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 67
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 claims description 61
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 claims description 60
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 45
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims description 34
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 26
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 claims description 20
- 230000004913 activation Effects 0.000 claims description 18
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 229910021645 metal ion Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims description 6
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- LDDQLRUQCUTJBB-UHFFFAOYSA-O azanium;hydrofluoride Chemical compound [NH4+].F LDDQLRUQCUTJBB-UHFFFAOYSA-O 0.000 claims description 4
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000000243 solution Substances 0.000 abstract description 22
- CWYNVVGOOAEACU-UHFFFAOYSA-N Fe2+ Chemical compound [Fe+2] CWYNVVGOOAEACU-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 6
- KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N citric acid Chemical compound OC(=O)CC(O)(C(O)=O)CC(O)=O KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 183
- 239000010408 film Substances 0.000 description 117
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 61
- 235000015165 citric acid Nutrition 0.000 description 61
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 60
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 58
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N palladium Substances [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 35
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 22
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 18
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 18
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 16
- 229910001096 P alloy Inorganic materials 0.000 description 15
- -1 aliphatic monocarboxylic acids Chemical class 0.000 description 15
- FEWJPZIEWOKRBE-JCYAYHJZSA-N Dextrotartaric acid Chemical compound OC(=O)[C@H](O)[C@@H](O)C(O)=O FEWJPZIEWOKRBE-JCYAYHJZSA-N 0.000 description 14
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 14
- 229940124024 weight reducing agent Drugs 0.000 description 14
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 13
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 12
- BJEPYKJPYRNKOW-REOHCLBHSA-N (S)-malic acid Chemical compound OC(=O)[C@@H](O)CC(O)=O BJEPYKJPYRNKOW-REOHCLBHSA-N 0.000 description 11
- BJEPYKJPYRNKOW-UHFFFAOYSA-N alpha-hydroxysuccinic acid Natural products OC(=O)C(O)CC(O)=O BJEPYKJPYRNKOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 11
- 239000001630 malic acid Substances 0.000 description 11
- 229940099690 malic acid Drugs 0.000 description 11
- 235000011090 malic acid Nutrition 0.000 description 11
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- FEWJPZIEWOKRBE-UHFFFAOYSA-N Tartaric acid Natural products [H+].[H+].[O-]C(=O)C(O)C(O)C([O-])=O FEWJPZIEWOKRBE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 10
- 239000011975 tartaric acid Substances 0.000 description 10
- 235000002906 tartaric acid Nutrition 0.000 description 10
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N Oxalic acid Chemical compound OC(=O)C(O)=O MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 239000008139 complexing agent Substances 0.000 description 9
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 9
- 229910018104 Ni-P Inorganic materials 0.000 description 8
- 229910018536 Ni—P Inorganic materials 0.000 description 8
- FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M Sodium chloride Chemical compound [Na+].[Cl-] FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 8
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 8
- 150000001261 hydroxy acids Chemical class 0.000 description 8
- BDAGIHXWWSANSR-UHFFFAOYSA-N methanoic acid Natural products OC=O BDAGIHXWWSANSR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 8
- KDYFGRWQOYBRFD-UHFFFAOYSA-N Succinic acid Natural products OC(=O)CCC(O)=O KDYFGRWQOYBRFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 6
- WPYMKLBDIGXBTP-UHFFFAOYSA-N benzoic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC=C1 WPYMKLBDIGXBTP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 6
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 6
- 238000005238 degreasing Methods 0.000 description 5
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 5
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 5
- 150000002815 nickel Chemical class 0.000 description 5
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 5
- OSWFIVFLDKOXQC-UHFFFAOYSA-N 4-(3-methoxyphenyl)aniline Chemical compound COC1=CC=CC(C=2C=CC(N)=CC=2)=C1 OSWFIVFLDKOXQC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M Chloride anion Chemical compound [Cl-] VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 4
- AEMRFAOFKBGASW-UHFFFAOYSA-N Glycolic acid Chemical compound OCC(O)=O AEMRFAOFKBGASW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000009471 action Effects 0.000 description 4
- 150000001450 anions Chemical class 0.000 description 4
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 4
- 235000019253 formic acid Nutrition 0.000 description 4
- LNTHITQWFMADLM-UHFFFAOYSA-N gallic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC(O)=C(O)C(O)=C1 LNTHITQWFMADLM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 4
- 229940116298 l- malic acid Drugs 0.000 description 4
- JVTAAEKCZFNVCJ-UHFFFAOYSA-N lactic acid Chemical compound CC(O)C(O)=O JVTAAEKCZFNVCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 150000002940 palladium Chemical class 0.000 description 4
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 4
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 4
- YGSDEFSMJLZEOE-UHFFFAOYSA-N salicylic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC=C1O YGSDEFSMJLZEOE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000011780 sodium chloride Substances 0.000 description 4
- 239000003381 stabilizer Substances 0.000 description 4
- 239000001384 succinic acid Substances 0.000 description 4
- 229910001316 Ag alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000005711 Benzoic acid Substances 0.000 description 3
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N N-Butanol Chemical compound CCCCO LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910021586 Nickel(II) chloride Inorganic materials 0.000 description 3
- DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N Propylene glycol Chemical compound CC(O)CO DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 235000011054 acetic acid Nutrition 0.000 description 3
- BFNBIHQBYMNNAN-UHFFFAOYSA-N ammonium sulfate Chemical compound N.N.OS(O)(=O)=O BFNBIHQBYMNNAN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052921 ammonium sulfate Inorganic materials 0.000 description 3
- 235000011130 ammonium sulphate Nutrition 0.000 description 3
- 235000010233 benzoic acid Nutrition 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 3
- 239000013527 degreasing agent Substances 0.000 description 3
- 238000005237 degreasing agent Methods 0.000 description 3
- 238000010828 elution Methods 0.000 description 3
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 3
- QMMRZOWCJAIUJA-UHFFFAOYSA-L nickel dichloride Chemical compound Cl[Ni]Cl QMMRZOWCJAIUJA-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 3
- LGQLOGILCSXPEA-UHFFFAOYSA-L nickel sulfate Chemical compound [Ni+2].[O-]S([O-])(=O)=O LGQLOGILCSXPEA-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 3
- 229910000363 nickel(II) sulfate Inorganic materials 0.000 description 3
- 235000006408 oxalic acid Nutrition 0.000 description 3
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 3
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 3
- ACVYVLVWPXVTIT-UHFFFAOYSA-M phosphinate Chemical compound [O-][PH2]=O ACVYVLVWPXVTIT-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 238000005554 pickling Methods 0.000 description 3
- BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N propan-1-ol Chemical compound CCCO BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 229910052702 rhenium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000001509 sodium citrate Substances 0.000 description 3
- NLJMYIDDQXHKNR-UHFFFAOYSA-K sodium citrate Chemical compound O.O.[Na+].[Na+].[Na+].[O-]C(=O)CC(O)(CC([O-])=O)C([O-])=O NLJMYIDDQXHKNR-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 3
- 235000011083 sodium citrates Nutrition 0.000 description 3
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 3
- 239000008399 tap water Substances 0.000 description 3
- 235000020679 tap water Nutrition 0.000 description 3
- RBNPOMFGQQGHHO-UHFFFAOYSA-N -2,3-Dihydroxypropanoic acid Natural products OCC(O)C(O)=O RBNPOMFGQQGHHO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000851 Alloy steel Inorganic materials 0.000 description 2
- CPELXLSAUQHCOX-UHFFFAOYSA-M Bromide Chemical compound [Br-] CPELXLSAUQHCOX-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- FERIUCNNQQJTOY-UHFFFAOYSA-N Butyric acid Chemical compound CCCC(O)=O FERIUCNNQQJTOY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XFTRTWQBIOMVPK-YFKPBYRVSA-N Citramalic acid Natural products OC(=O)[C@](O)(C)CC(O)=O XFTRTWQBIOMVPK-YFKPBYRVSA-N 0.000 description 2
- RBNPOMFGQQGHHO-UWTATZPHSA-N D-glyceric acid Chemical compound OC[C@@H](O)C(O)=O RBNPOMFGQQGHHO-UWTATZPHSA-N 0.000 description 2
- KCXVZYZYPLLWCC-UHFFFAOYSA-N EDTA Chemical compound OC(=O)CN(CC(O)=O)CCN(CC(O)=O)CC(O)=O KCXVZYZYPLLWCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M Fluoride anion Chemical compound [F-] KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N Glycerine Chemical compound OCC(O)CO PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- TWRXJAOTZQYOKJ-UHFFFAOYSA-L Magnesium chloride Chemical compound [Mg+2].[Cl-].[Cl-] TWRXJAOTZQYOKJ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N Malonic acid Chemical compound OC(=O)CC(O)=O OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910017709 Ni Co Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910003267 Ni-Co Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910018054 Ni-Cu Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910003271 Ni-Fe Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910003262 Ni‐Co Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910018481 Ni—Cu Inorganic materials 0.000 description 2
- WCUXLLCKKVVCTQ-UHFFFAOYSA-M Potassium chloride Chemical compound [Cl-].[K+] WCUXLLCKKVVCTQ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- KKEYFWRCBNTPAC-UHFFFAOYSA-N Terephthalic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=C(C(O)=O)C=C1 KKEYFWRCBNTPAC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MQRWBMAEBQOWAF-UHFFFAOYSA-N acetic acid;nickel Chemical compound [Ni].CC(O)=O.CC(O)=O MQRWBMAEBQOWAF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 2
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 description 2
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 2
- WNLRTRBMVRJNCN-UHFFFAOYSA-N adipic acid Chemical compound OC(=O)CCCCC(O)=O WNLRTRBMVRJNCN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000007933 aliphatic carboxylic acids Chemical class 0.000 description 2
- 229910052790 beryllium Inorganic materials 0.000 description 2
- ATBAMAFKBVZNFJ-UHFFFAOYSA-N beryllium atom Chemical compound [Be] ATBAMAFKBVZNFJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 description 2
- 229940006460 bromide ion Drugs 0.000 description 2
- 150000001732 carboxylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- XFTRTWQBIOMVPK-UHFFFAOYSA-N citramalic acid Chemical compound OC(=O)C(O)(C)CC(O)=O XFTRTWQBIOMVPK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-N dimethylselenoniopropionate Natural products CCC(O)=O XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005323 electroforming Methods 0.000 description 2
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 2
- 229940074391 gallic acid Drugs 0.000 description 2
- 235000004515 gallic acid Nutrition 0.000 description 2
- 229910001385 heavy metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000009616 inductively coupled plasma Methods 0.000 description 2
- QQVIHTHCMHWDBS-UHFFFAOYSA-N isophthalic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC(C(O)=O)=C1 QQVIHTHCMHWDBS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004310 lactic acid Substances 0.000 description 2
- 235000014655 lactic acid Nutrition 0.000 description 2
- 229910052745 lead Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052752 metalloid Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000002738 metalloids Chemical class 0.000 description 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 2
- 229940078494 nickel acetate Drugs 0.000 description 2
- KBJMLQFLOWQJNF-UHFFFAOYSA-N nickel(ii) nitrate Chemical compound [Ni+2].[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O KBJMLQFLOWQJNF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FJKROLUGYXJWQN-UHFFFAOYSA-N papa-hydroxy-benzoic acid Natural products OC(=O)C1=CC=C(O)C=C1 FJKROLUGYXJWQN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OFNHPGDEEMZPFG-UHFFFAOYSA-N phosphanylidynenickel Chemical compound [P].[Ni] OFNHPGDEEMZPFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IOLCXVTUBQKXJR-UHFFFAOYSA-M potassium bromide Chemical compound [K+].[Br-] IOLCXVTUBQKXJR-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 229960004889 salicylic acid Drugs 0.000 description 2
- JHJLBTNAGRQEKS-UHFFFAOYSA-M sodium bromide Chemical compound [Na+].[Br-] JHJLBTNAGRQEKS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 229910052716 thallium Inorganic materials 0.000 description 2
- NQPDZGIKBAWPEJ-UHFFFAOYSA-N valeric acid Chemical compound CCCCC(O)=O NQPDZGIKBAWPEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000013585 weight reducing agent Substances 0.000 description 2
- PUPZLCDOIYMWBV-UHFFFAOYSA-N (+/-)-1,3-Butanediol Chemical compound CC(O)CCO PUPZLCDOIYMWBV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTBFRGCFXZNCOE-UHFFFAOYSA-N 1-methylsulfonylpiperidin-4-one Chemical compound CS(=O)(=O)N1CCC(=O)CC1 RTBFRGCFXZNCOE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KWSLGOVYXMQPPX-UHFFFAOYSA-N 5-[3-(trifluoromethyl)phenyl]-2h-tetrazole Chemical compound FC(F)(F)C1=CC=CC(C2=NNN=N2)=C1 KWSLGOVYXMQPPX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O Ammonium Chemical compound [NH4+] QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O 0.000 description 1
- 229910000521 B alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000906 Bronze Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000975 Carbon steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001018 Cast iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000531 Co alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000599 Cr alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- ODBLHEXUDAPZAU-ZAFYKAAXSA-N D-threo-isocitric acid Chemical compound OC(=O)[C@H](O)[C@@H](C(O)=O)CC(O)=O ODBLHEXUDAPZAU-ZAFYKAAXSA-N 0.000 description 1
- QXNVGIXVLWOKEQ-UHFFFAOYSA-N Disodium Chemical class [Na][Na] QXNVGIXVLWOKEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZGTMUACCHSMWAC-UHFFFAOYSA-L EDTA disodium salt (anhydrous) Chemical compound [Na+].[Na+].OC(=O)CN(CC([O-])=O)CCN(CC(O)=O)CC([O-])=O ZGTMUACCHSMWAC-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 1
- 229910001030 Iron–nickel alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- ODBLHEXUDAPZAU-FONMRSAGSA-N Isocitric acid Natural products OC(=O)[C@@H](O)[C@H](C(O)=O)CC(O)=O ODBLHEXUDAPZAU-FONMRSAGSA-N 0.000 description 1
- 229910001182 Mo alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001252 Pd alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- ALQSHHUCVQOPAS-UHFFFAOYSA-N Pentane-1,5-diol Chemical compound OCCCCCO ALQSHHUCVQOPAS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003723 Smelting Methods 0.000 description 1
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-L Sulfate Chemical compound [O-]S([O-])(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910001297 Zn alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- QXZUUHYBWMWJHK-UHFFFAOYSA-N [Co].[Ni] Chemical compound [Co].[Ni] QXZUUHYBWMWJHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NEIHULKJZQTQKJ-UHFFFAOYSA-N [Cu].[Ag] Chemical compound [Cu].[Ag] NEIHULKJZQTQKJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001361 adipic acid Substances 0.000 description 1
- 235000011037 adipic acid Nutrition 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- JFCQEDHGNNZCLN-UHFFFAOYSA-N anhydrous glutaric acid Natural products OC(=O)CCCC(O)=O JFCQEDHGNNZCLN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 1
- 229910000963 austenitic stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- QDWJUBJKEHXSMT-UHFFFAOYSA-N boranylidynenickel Chemical compound [Ni]#B QDWJUBJKEHXSMT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010951 brass Substances 0.000 description 1
- 239000010974 bronze Substances 0.000 description 1
- KDYFGRWQOYBRFD-NUQCWPJISA-N butanedioic acid Chemical compound O[14C](=O)CC[14C](O)=O KDYFGRWQOYBRFD-NUQCWPJISA-N 0.000 description 1
- 159000000007 calcium salts Chemical class 0.000 description 1
- 239000010962 carbon steel Substances 0.000 description 1
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 1
- 150000001805 chlorine compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 150000001879 copper Chemical class 0.000 description 1
- YOCUPQPZWBBYIX-UHFFFAOYSA-N copper nickel Chemical compound [Ni].[Cu] YOCUPQPZWBBYIX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YCKOAAUKSGOOJH-UHFFFAOYSA-N copper silver Chemical compound [Cu].[Ag].[Ag] YCKOAAUKSGOOJH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N copper tin Chemical compound [Cu].[Sn] KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WPUMTJGUQUYPIV-JIZZDEOASA-L disodium (S)-malate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C(=O)[C@@H](O)CC([O-])=O WPUMTJGUQUYPIV-JIZZDEOASA-L 0.000 description 1
- 235000011187 glycerol Nutrition 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- XXMIOPMDWAUFGU-UHFFFAOYSA-N hexane-1,6-diol Chemical compound OCCCCCCO XXMIOPMDWAUFGU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FDVKPDVESAUTEE-UHFFFAOYSA-N hexane-1,6-diol;2-methylpentane-2,4-diol Chemical compound CC(O)CC(C)(C)O.OCCCCCCO FDVKPDVESAUTEE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 229910003002 lithium salt Inorganic materials 0.000 description 1
- 159000000002 lithium salts Chemical class 0.000 description 1
- OTCKOJUMXQWKQG-UHFFFAOYSA-L magnesium bromide Chemical compound [Mg+2].[Br-].[Br-] OTCKOJUMXQWKQG-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910001623 magnesium bromide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001629 magnesium chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- 159000000003 magnesium salts Chemical class 0.000 description 1
- 229910000734 martensite Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- DDTIGTPWGISMKL-UHFFFAOYSA-N molybdenum nickel Chemical compound [Ni].[Mo] DDTIGTPWGISMKL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000623 nickel–chromium alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000007524 organic acids Chemical class 0.000 description 1
- 239000007800 oxidant agent Substances 0.000 description 1
- PIBWKRNGBLPSSY-UHFFFAOYSA-L palladium(II) chloride Chemical compound Cl[Pd]Cl PIBWKRNGBLPSSY-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- OJMIONKXNSYLSR-UHFFFAOYSA-N phosphorous acid Chemical compound OP(O)O OJMIONKXNSYLSR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XAEFZNCEHLXOMS-UHFFFAOYSA-M potassium benzoate Chemical compound [K+].[O-]C(=O)C1=CC=CC=C1 XAEFZNCEHLXOMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000001103 potassium chloride Substances 0.000 description 1
- 235000011164 potassium chloride Nutrition 0.000 description 1
- 235000019260 propionic acid Nutrition 0.000 description 1
- 125000001453 quaternary ammonium group Chemical group 0.000 description 1
- IUVKMZGDUIUOCP-BTNSXGMBSA-N quinbolone Chemical compound O([C@H]1CC[C@H]2[C@H]3[C@@H]([C@]4(C=CC(=O)C=C4CC3)C)CC[C@@]21C)C1=CCCC1 IUVKMZGDUIUOCP-BTNSXGMBSA-N 0.000 description 1
- 238000002791 soaking Methods 0.000 description 1
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000019265 sodium DL-malate Nutrition 0.000 description 1
- HELHAJAZNSDZJO-OLXYHTOASA-L sodium L-tartrate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C(=O)[C@H](O)[C@@H](O)C([O-])=O HELHAJAZNSDZJO-OLXYHTOASA-L 0.000 description 1
- 229910001379 sodium hypophosphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001394 sodium malate Substances 0.000 description 1
- 159000000000 sodium salts Chemical class 0.000 description 1
- 239000001433 sodium tartrate Substances 0.000 description 1
- 229960002167 sodium tartrate Drugs 0.000 description 1
- 235000011004 sodium tartrates Nutrition 0.000 description 1
- 150000005846 sugar alcohols Polymers 0.000 description 1
- DZLFLBLQUQXARW-UHFFFAOYSA-N tetrabutylammonium Chemical compound CCCC[N+](CCCC)(CCCC)CCCC DZLFLBLQUQXARW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CBXCPBUEXACCNR-UHFFFAOYSA-N tetraethylammonium Chemical compound CC[N+](CC)(CC)CC CBXCPBUEXACCNR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QEMXHQIAXOOASZ-UHFFFAOYSA-N tetramethylammonium Chemical compound C[N+](C)(C)C QEMXHQIAXOOASZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- UVZICZIVKIMRNE-UHFFFAOYSA-N thiodiacetic acid Chemical compound OC(=O)CSCC(O)=O UVZICZIVKIMRNE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ODBLHEXUDAPZAU-UHFFFAOYSA-N threo-D-isocitric acid Natural products OC(=O)C(O)C(C(O)=O)CC(O)=O ODBLHEXUDAPZAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940005605 valeric acid Drugs 0.000 description 1
Landscapes
- Chemically Coating (AREA)
Abstract
Description
ヒドロキシル基含有有機化合物、カルボキシル基含有有機化合物、カルボキシル基含有有機化合物の塩、アンモニウム塩、およびハロゲン化塩から選択される少なくとも1種を含有する水溶液を用いて、前記金属基材の表面を水洗する水洗工程と、
水洗を行った前記金属基材の表面に、めっきを行うめっき工程とを備え、
前記金属基材が、鉄系金属基材、ニッケル系金属基材、銅系金属基材、および銀系金属基材から選択されるいずれかであるめっき方法が提供される。
本発明のめっき方法において、前記無電解めっきを行う際における無電解めっき浴中の金属イオン濃度が1.0〜7.0g/Lであることが好ましい。
本発明のめっき方法において、前記金属基材が、鉄系金属基材であることが好ましい。
本発明のめっき方法において、前記鉄系金属基材が、ステンレス鋼であることが好ましい。
本発明のめっき方法において、前記金属基材を、硫酸水溶液、硝酸水溶液、硫酸を主とする混酸の水溶液、フッ酸水溶液、およびフッ化水素アンモニウム水溶液から選ばれる水溶液中に浸漬させることで、前記金属基材の表面活性化処理を行う表面活性化処理工程をさらに備え、前記水洗工程が、前記表面活性化処理を行った前記金属基材に対し、前記水溶液を用いた水洗を行う工程であることが好ましい。
金属基材の表面をめっきする方法であって、
ヒドロキシル基含有有機化合物、カルボキシル基含有有機化合物、カルボキシル基含有有機化合物の塩、アンモニウム塩、およびハロゲン化塩から選択される少なくとも1種を含有する水溶液を用いて、前記金属基材の表面を水洗する水洗工程と、
水洗を行った前記金属基材の表面に、めっきを行うめっき工程とを備え、
前記金属基材が、鉄系金属基材、ニッケル系金属基材、銅系金属基材、および銀系金属基材から選択されるいずれかであるものである。
まず、本発明のめっき方法において用いられる、めっきの対象となる金属基材について、説明する。
本発明のめっき方法で用いる金属基材としては、鉄系金属基材、ニッケル系金属基材、銅系金属基材、および銀系金属基材のいずれかであれば特に限定されないが、これらのなかでも、本発明の作用効果がより一層顕著になるという点より、鉄系金属基材が好ましい。また、金属基材としては、鉄、ニッケル、銅、あるいは銀などの各金属基材を構成する金属単体からなるものであっても、これらの金属を含む合金からなるものであってもよい。さらに、金属基材としては、基材となる材料の表面に、鉄、ニッケル、銅、または銀、あるいはこれらの合金をめっきすることにより得られたものであってもよい。
次いで、本発明のめっき方法について説明する。
本発明のめっき方法の水洗工程は、ヒドロキシル基含有有機化合物、カルボキシル基含有有機化合物、カルボキシル基含有有機化合物の塩、アンモニウム塩、およびハロゲン化塩から選択される少なくとも1種を含有する水溶液を用いて、金属基材の表面を水洗する工程である。
本発明のめっき方法のめっき工程は、上記水洗工程において、水洗を行った金属基材の表面に、めっきを行うことで、金属基材の表面にめっき膜を形成する方法である。
まず、鉄系金属基材として、ステンレス鋼材(SUS316L)を準備した。次いで、ステンレス鋼材を、温度50℃に調整したアルカリ脱脂剤(商品名「フォーミュラー618−TK2」、日本クエーカーケミカル社製)の水溶液中に、2分間の条件にて浸漬させることで、脱脂を行った。次いで、脱脂を行ったステンレス鋼材を水道水で水洗した後、温度50℃に調整した25体積%の塩酸水溶液中に、30秒間浸漬させることで、酸洗処理を行った。次いで、酸洗処理を行ったステンレス鋼材を水道水で水洗した後、温度70℃に調整した25体積%の硫酸水溶液中に、30秒間浸漬させることで、表面活性化処理を行った。
次いで、クエン酸含有水溶液を用いた水洗を行ったステンレス鋼材について、下記に示すパラジウムめっき浴と、ニッケルめっき浴とを、パラジウムめっき浴:ニッケルめっき浴=3:1(体積比)の割合で混合した無電解めっき浴を用いて、温度37℃、4分間の条件で、無電解めっき処理を施すことにより、クエン酸含有水溶液を用いた水洗を行ったステンレス鋼材の表面(表面および裏面)に、厚さ40nmのNi−Pd−P合金めっき膜を形成することで、めっき膜形成ステンレス鋼材を得た。なお、めっき浴中におけるパラジウム塩、還元剤、および錯化剤については、従来公知の化合物を用いた。また、パラジウムめっき浴と、ニッケルめっき浴とを混合しためっき浴中におけるNi:Pd(モル比)は、0.88:1.0であった(無電解合金めっき浴中に含まれる合計の金属イオンの濃度:2.5g/L)。
<パラジウムめっき浴>
パラジウム塩:パラジウムめっき浴中におけるPd量が0.2重量%となる量
還元剤:1.8重量%
錯化剤:0.63重量%
水:97.2重量%
pH:5.5
<ニッケルめっき浴>
ニッケル塩:ニッケルめっき浴中におけるNi量が0.6重量%となる量
還元剤(次亜燐酸ソーダ):2.4重量%
錯化剤:2.4重量%
水:93.2重量%
pH:5.2
得られためっき膜形成ステンレス鋼材について、めっき膜の表面に粘着テープ(ニチバン株式会社製 ナイスタック強力タイプ)を貼付した後、勢いよく基板に対して垂直方向に引きはがすことによりテープ剥離試験を実施した。そして、テープ剥離試験前、およびテープ剥離試験後のめっき膜形成ステンレス鋼材のめっき膜形成面に対し、蛍光X線測定(株式会社リガク製 蛍光X線分析装置 型式ZSX)を行い、蛍光X線測定の結果に基づいて、下記式にしたがって、めっき膜の残存率を求めた。めっき膜の残存率が高いほど、めっき膜の密着性が高いと判断できる。
めっき膜の残存率(%)={(テープ剥離試験後の、蛍光X線測定によるPd強度)/(テープ剥離試験前の、蛍光X線測定によるPd強度)}×100
得られためっき膜形成ステンレス鋼材を、pH=2の硫酸水溶液中に、温度90℃、100時間の条件で浸漬させ、100時間浸漬させた後における、基材となるステンレス鋼材からの鉄(Fe)の溶出量を、誘導結合プラズマ発光分光分析装置(ICP−AES)(株式会社島津製作所製 型式ICPE―9820)により測定した。鉄(Fe)の溶出量が少ないほど、耐食性に優れると判断できる。
得られためっき膜形成ステンレス鋼材について、抵抗測定を行った。具体的には、幅20mm、長さ20mmの大きさに加工した、めっき膜形成ステンレス鋼材について、電気接点シミュレータ(株式会社山崎精機研究所製 型式CRS―1)を用いて接触抵抗値を測定した。なお、鉄系金属基材であるステンレス鋼材の接触抵抗値を測定したところ、200mΩであった。
得られためっき膜形成ステンレス鋼材の、めっき膜形成面について、目視にてめっきムラの有無を確認し、以下の基準で評価した。
◎:めっき膜の表面は均一であり、めっきムラは確認できなかった。
〇:めっき膜の表面は均一であったが、僅かにめっきムラが確認された。
×:めっきムラが顕著に発生していた。
クエン酸含有水溶液を用いた水洗を、100g/Lのクエン酸含有水溶液に代えて、40g/Lのクエン酸含有水溶液(pH:1.98)を使用して行った以外は、実施例1と同様にして、めっき膜形成ステンレス鋼材を得て、同様に評価を行った。結果を表1に示す。
クエン酸含有水溶液を用いた水洗を、100g/Lのクエン酸含有水溶液に代えて、20g/Lのクエン酸含有水溶液を使用して行った以外は、実施例1と同様にして、めっき膜形成ステンレス鋼材を得て、同様に評価を行った。結果を表1に示す。
クエン酸含有水溶液を用いた水洗を、100g/Lのクエン酸含有水溶液に代えて、5g/Lのクエン酸含有水溶液を使用して行った以外は、実施例1と同様にして、めっき膜形成ステンレス鋼材を得て、同様に評価を行った。結果を表1に示す。
クエン酸含有水溶液を用いた水洗を、100g/Lのクエン酸含有水溶液に代えて、2g/Lのクエン酸含有水溶液を使用して行った以外は、実施例1と同様にして、めっき膜形成ステンレス鋼材を得て、同様に評価を行った。結果を表1に示す。
クエン酸含有水溶液を用いた水洗を、100g/Lのクエン酸含有水溶液に代えて、1g/Lのクエン酸含有水溶液を使用して行った以外は、実施例1と同様にして、めっき膜形成ステンレス鋼材を得て、同様に評価を行った。結果を表1に示す。
クエン酸含有水溶液に代えて、クエン酸ナトリウムを20g/Lの濃度で含有するクエン酸ナトリウム含有水溶液を使用して水洗を行った以外は、実施例1と同様にして、めっき膜形成ステンレス鋼材を得て、同様に評価を行った。結果を表1に示す。
クエン酸含有水溶液に代えて、リンゴ酸を20g/Lの濃度で含有するリンゴ酸含有水溶液を使用して水洗を行った以外は、実施例1と同様にして、めっき膜形成ステンレス鋼材を得て、同様に評価を行った。結果を表1に示す。
リンゴ酸含有水溶液を用いた水洗を、20g/Lのリンゴ酸含有水溶液に代えて、1g/Lのリンゴ酸含有水溶液を使用して行った以外は、実施例8と同様にして、めっき膜形成ステンレス鋼材を得て、同様に評価を行った。結果を表1に示す。
クエン酸含有水溶液に代えて、酒石酸を20g/Lの濃度で含有する酒石酸含有水溶液を使用して水洗を行った以外は、実施例1と同様にして、めっき膜形成ステンレス鋼材を得て、同様に評価を行った。結果を表1に示す。
酒石酸含有水溶液を用いた水洗を、20g/Lの酒石酸含有水溶液に代えて、1g/Lの酒石酸含有水溶液を使用して行った以外は、実施例10と同様にして、めっき膜形成ステンレス鋼材を得て、同様に評価を行った。結果を表1に示す。
クエン酸含有水溶液に代えて、ギ酸を20g/Lの濃度で含有するギ酸含有水溶液を使用して水洗を行った以外は、実施例1と同様にして、めっき膜形成ステンレス鋼材を得て、同様に評価を行った。結果を表1に示す。
クエン酸含有水溶液に代えて、酢酸を20g/Lの濃度で含有する酢酸含有水溶液を使用して水洗を行った以外は、実施例1と同様にして、めっき膜形成ステンレス鋼材を得て、同様に評価を行った。結果を表1に示す。
クエン酸含有水溶液に代えて、コハク酸を20g/Lの濃度で含有するコハク酸含有水溶液を使用して水洗を行った以外は、実施例1と同様にして、めっき膜形成ステンレス鋼材を得て、同様に評価を行った。結果を表1に示す。
クエン酸含有水溶液に代えて、シュウ酸を20g/Lの濃度で含有するシュウ酸含有水溶液を使用して水洗を行った以外は、実施例1と同様にして、めっき膜形成ステンレス鋼材を得て、同様に評価を行った。結果を表1に示す。
クエン酸含有水溶液に代えて、安息香酸を20g/Lの濃度で含有する安息香酸含有水溶液を使用して水洗を行った以外は、実施例1と同様にして、めっき膜形成ステンレス鋼材を得て、同様に評価を行った。結果を表1に示す。
クエン酸含有水溶液に代えて、エチレンジアミン四酢酸の2ナトリウム塩を20g/Lの濃度で含有するエチレンジアミン四酢酸の2ナトリウム塩含有水溶液を使用して水洗を行った以外は、実施例1と同様にして、めっき膜形成ステンレス鋼材を得て、同様に評価を行った。結果を表1に示す。
クエン酸含有水溶液に代えて、エタノールを20g/Lの濃度で含有するエタノール含有水溶液を使用して水洗を行った以外は、実施例1と同様にして、めっき膜形成ステンレス鋼材を得て、同様に評価を行った。結果を表1に示す。
クエン酸含有水溶液に代えて、塩化ナトリウムを20g/Lの濃度で含有する塩化ナトリウム含有水溶液を使用して水洗を行った以外は、実施例1と同様にして、めっき膜形成ステンレス鋼材を得て、同様に評価を行った。結果を表1に示す。
クエン酸含有水溶液に代えて、硫酸アンモニウムを20g/Lの濃度で含有する硫酸アンモニウム含有水溶液を使用して水洗を行った以外は、実施例1と同様にして、めっき膜形成ステンレス鋼材を得て、同様に評価を行った。結果を表1に示す。
クエン酸含有水溶液に代えて、特定処理剤を含有しないイオン交換水を使用して水洗を行った以外は、実施例1と同様にして、めっき膜形成ステンレス鋼材を得て、同様に評価を行った。結果を表1に示す。
表1に示すように、特定の金属基材の表面に、特定処理剤を含有する特定処理剤含有水溶液を用いて、金属基材の表面を水洗し、このような水洗を行った後に、めっきを行うことでめっき膜を形成した場合には、得られるめっき膜のめっきムラの発生を低減でき、かつ、形成されるめっき膜を、密着性に優れたものとすることが可能であった(実施例1〜20)。
特に、金属基材として、鉄系金属基材を用いた場合には、形成されるめっき膜を、密着性に優れたものとすることに加え、鉄系金属基材を耐食性にも優れたものとすることが可能であった(実施例1〜20)。
また、めっき膜として、Ni−Pd−P合金めっき膜を用いた場合には、形成されるめっき膜を、密着性に優れたものとすることに加え、接触抵抗値も低いものとすることが可能であった(実施例1〜20)。
一方、特定処理剤を含有する特定処理剤含有水溶液に代えて、特定処理剤を含有しないイオン交換水を使用した場合には、得られるめっき膜のめっきムラの発生が顕著となり、また、形成されるめっき膜は、密着性にも劣るものであった(比較例1)。
特に、金属基材として、鉄系金属基材を用いた場合には、形成されるめっき膜は、密着性に劣るものであることに加え、耐食性にも劣るものであった(比較例1)。
また、めっき膜として、Ni−Pd−P合金めっき膜を用いた場合には、形成されるめっき膜は、密着性に劣るものであることに加え、接触抵抗値も高いものであった(比較例1)。
ニッケル系金属基材として、電鋳法により形成されたニッケル板を準備した。次いで、ニッケル板を、温度50℃に調整したアルカリ脱脂剤(商品名「フォーミュラー618−TK2」、日本クエーカーケミカル社製)の水溶液中に、2分間の条件にて浸漬させることで、脱脂を行った。次いで、温度70℃に調整した25体積%の硫酸水溶液中に、30秒間浸漬させることで、表面活性化処理を行った。
ニッケル板に代えて、ニッケル系金属基材として、鋼板表面に電解ニッケルめっきにより形成されたニッケルめっき層を有するニッケルめっき鋼板を使用するとともに、クエン酸含有水溶液に代えて、特定処理剤を含有しないイオン交換水を使用して水洗を行った以外は、実施例21と同様にしてめっき膜形成ニッケルめっき鋼板を得た。しかしながら、得られためっき膜形成ニッケルめっき鋼板は、めっき膜が形成できていないものであったか、もしくは、形成しためっき膜が、形成後すぐにニッケルめっき鋼板から剥離してしまうものであった。そのため、得られためっき膜形成ニッケルめっき鋼板について、密着性試験およびめっきムラの確認の評価を行うことができなかった。
表2に示すように、特定の金属基材の表面に、特定処理剤を含有する特定処理剤含有水溶液を用いて、金属基材の表面を水洗し、このような水洗を行った後に、めっきを行うことでめっき膜を形成した場合には、得られるめっき膜のめっきムラの発生を低減でき、かつ、形成されるめっき膜を、密着性に優れたものとすることが可能であった(実施例21)。
一方、特定処理剤を含有する特定処理剤含有水溶液に代えて、特定処理剤を含有しないイオン交換水を使用した場合には、めっき膜の密着性が非常に劣るものであり、金属基材の表面にめっき膜が形成できないか、もしくは、形成しためっき膜が、形成後すぐに金属基材から剥離してしまい、そもそもめっき膜形成金属基材を得ることができなかった(比較例2)。
実施例1と同様にして得られたクエン酸含有水溶液を用いた水洗を行ったステンレス鋼材について、公知のリンゴ酸−コハク酸系高リンタイプの無電解ニッケルリンめっき浴を用いて、温度85度、120分間の条件で、無電解めっき処理を施すことにより、クエン酸含有水溶液を用いた水洗を行ったステンレス鋼材の表面(表面および裏面)に、厚さ10μmのNi−P合金めっき膜を形成することで、めっき膜形成ステンレス鋼材を得た。なお、めっき浴中におけるニッケル塩、還元剤、および酸化剤については、従来公知の化合物を用いた。
得られためっき膜形成ステンレス鋼材について、めっき膜の表面に粘着テープ(ニチバン株式会社製 ナイスタック強力タイプ)を貼付した後、勢いよく基板に対して垂直方向に引きはがすことによりテープ剥離試験を実施した。そして、テープ剥離試験前、およびテープ剥離試験後のめっき膜形成ステンレス鋼材のめっき膜形成面に対し、蛍光X線測定(株式会社リガク製 蛍光X線分析装置 型式ZSX)を行い、蛍光X線測定の結果に基づいて、下記式にしたがって、めっき膜の残存率を求めた。めっき膜の残存率が高いほど、めっき膜の密着性が高いと判断できる。結果を表3に示す。
めっき膜の残存率(%)={(テープ剥離試験後の、蛍光X線測定によるNi強度)/(テープ剥離試験前の、蛍光X線測定によるNi強度)}×100
得られためっき膜形成ステンレス鋼材について、実施例1と同様にして、抵抗測定の評価を行った。結果を表3に示す。
得られためっき膜形成ステンレス鋼材について、実施例1と同様にして、めっきムラの確認の評価を行った。結果を表3に示す。
クエン酸含有水溶液を用いた水洗を、100g/Lのクエン酸含有水溶液に代えて、20g/Lのクエン酸含有水溶液を使用して行った以外は、実施例22と同様にして、めっき膜形成ステンレス鋼材を得て、同様に評価を行った。結果を表3に示す。
得られためっき膜形成ステンレス鋼材を、5重量%の塩酸水溶液中に、温度30℃、72時間の条件で浸漬させ、72時間浸漬させた後における、基材となるステンレス鋼材からの鉄(Fe)の溶出量を、誘導結合プラズマ発光分光分析装置(ICP−AES)(株式会社島津製作所製 型式ICPE―9820)により測定した。鉄(Fe)の溶出量が少ないほど、耐食性に優れると判断できる。その結果、鉄の溶出量は、0.8重量ppmであった。
クエン酸含有水溶液を用いた水洗を、100g/Lのクエン酸含有水溶液に代えて、1g/Lのクエン酸含有水溶液を使用して行った以外は、実施例22と同様にして、めっき膜形成ステンレス鋼材を得て、同様に評価を行った。結果を表3に示す。また、耐食性試験について、実施例23と同様に評価を行ったところ、鉄の溶出量は、0.78重量ppmであった。
クエン酸含有水溶液に代えて、リンゴ酸を20g/Lの濃度で含有するリンゴ酸含有水溶液を使用して水洗を行った以外は、実施例22と同様にして、めっき膜形成ステンレス鋼材を得て、同様に評価を行った。結果を表3に示す。
リンゴ酸含有水溶液を用いた水洗を、20g/Lのリンゴ酸含有水溶液に代えて、1g/Lのリンゴ酸含有水溶液を使用して行った以外は、実施例25と同様にして、めっき膜形成ステンレス鋼材を得て、同様に評価を行った。結果を表3に示す。また、耐食性試験について、実施例23と同様に評価を行ったところ、鉄の溶出量は、0.75重量ppmであった。
クエン酸含有水溶液に代えて、酒石酸を20g/Lの濃度で含有する酒石酸含有水溶液を使用して水洗を行った以外は、実施例22と同様にして、めっき膜形成ステンレス鋼材を得て、同様に評価を行った。結果を表3に示す。
酒石酸含有水溶液を用いた水洗を、20g/Lの酒石酸含有水溶液に代えて、1g/Lの酒石酸含有水溶液を使用して行った以外は、実施例27と同様にして、めっき膜形成ステンレス鋼材を得て、同様に評価を行った。結果を表3に示す。また、耐食性試験について、実施例23と同様に評価を行ったところ、鉄の溶出量は、0.85重量ppmであった。
クエン酸含有水溶液に代えて、特定処理剤を含有しないイオン交換水を使用して水洗を行った以外は、実施例22と同様にして、めっき膜形成ステンレス鋼材を得て、密着性試験およびめっきムラの確認について、同様に評価を行った。結果を表3に示す。また、耐食性試験について、実施例23と同様に評価を行ったところ、鉄の溶出量は、3.8重量ppmであった。なお、形成されためっき膜は、密着性が悪く、指でこするだけで剥離してしまうものであったため、抵抗測定を行うことができなかった。
表3に示すように、特定の金属基材の表面に、特定処理剤を含有する特定処理剤含有水溶液を用いて、金属基材の表面を水洗し、このような水洗を行った後に、めっきを行うことでめっき膜を形成した場合には、得られるめっき膜のめっきムラの発生を低減でき、かつ、形成されるめっき膜を、密着性に優れたものとすることが可能であった(実施例22〜28)。
また、めっき膜として、Ni−P合金めっき膜を用いた場合には、形成されるめっき膜を、密着性に優れたものとすることに加え、Ni−P合金めっき膜を形成していない場合の接触抵抗値である200mΩと比較して、接触抵抗値も低いものとすることが可能であった(実施例22〜28)。
一方、特定処理剤を含有する特定処理剤含有水溶液に代えて、特定処理剤を含有しないイオン交換水を使用した場合には、得られるめっき膜のめっきムラの発生が顕著となり、また、形成されるめっき膜は、密着性にも劣るものであった(比較例3)。
また、金属基材として、鉄系金属基材を用いた場合には、形成されるめっき膜が密着性に劣ることにより、耐食性試験において塩酸水溶液に浸漬させた際、めっき膜が浮いてしまい、金属基材が露出してしまうことから、耐食性にも劣るものであった(比較例3)。
銅系金属基材として銅板を準備した。次いで、銅板を、温度50℃に調整したアルカリ脱脂剤(商品名「フォーミュラー618−TK2」、日本クエーカーケミカル社製)の水溶液中に、2分間の条件にて浸漬させることで、脱脂を行った。次いで、温度70℃に調整した25体積%の硫酸水溶液中に、30秒間浸漬させることで、表面活性化処理を行った。
実施例29と同様にして、脱脂および表面活性化処理を行った銅板を準備した。次いで、クエン酸含有水溶液に代えて、特定処理剤を含有しないイオン交換水を使用して水洗を行った以外は、実施例1と同様にして、めっき膜形成銅板を得た。しかしながら、得られためっき膜形成銅板は、めっき膜が形成できていないものであったか、もしくは、形成しためっき膜が、形成後すぐに銅板から剥離してしまうものであった。そのため、得られためっき膜形成銅板について、密着性試験およびめっきムラの確認の評価を行うことができなかった。
表4に示すように、特定の金属基材の表面に、特定処理剤を含有する特定処理剤含有水溶液を用いて、金属基材の表面を水洗し、このような水洗を行った後に、めっきを行うことでめっき膜を形成した場合には、得られるめっき膜のめっきムラの発生を低減でき、かつ、形成されるめっき膜を、密着性に優れたものとすることが可能であった(実施例29)。
一方、特定処理剤を含有する特定処理剤含有水溶液に代えて、特定処理剤を含有しないイオン交換水を使用した場合には、めっき膜の密着性が非常に劣るものであり、金属基材の表面にめっき膜が形成できないか、もしくは、形成しためっき膜が、形成後すぐに金属基材から剥離してしまい、そもそもめっき膜形成金属基材を得ることができなかった(比較例4)。
Claims (6)
- 金属基材の表面をめっきする方法であって、
ヒドロキシル基含有有機化合物、カルボキシル基含有有機化合物、カルボキシル基含有有機化合物の塩、アンモニウム塩、およびハロゲン化塩から選択される少なくとも1種を含有する水溶液を用いて、前記金属基材の表面を水洗する水洗工程と、
水洗を行った前記金属基材の表面に、めっきを行うめっき工程とを備え、
前記金属基材が、鉄系金属基材、ニッケル系金属基材、銅系金属基材、および銀系金属基材から選択されるいずれかであるめっき方法。 - 前記金属基材の表面のめっきを、無電解めっきにより行う請求項1に記載のめっき方法。
- 前記無電解めっきを行う際における無電解めっき浴中の金属イオン濃度が1.0〜7.0g/Lである請求項2に記載のめっき方法。
- 前記金属基材が、鉄系金属基材である請求項1〜3のいずれかに記載のめっき方法。
- 前記鉄系金属基材が、ステンレス鋼である請求項4に記載のめっき方法。
- 前記金属基材を、硫酸水溶液、硝酸水溶液、硫酸を主とする混酸の水溶液、フッ酸水溶液、およびフッ化水素アンモニウム水溶液から選ばれる水溶液中に浸漬させることで、前記金属基材の表面活性化処理を行う表面活性化処理工程をさらに備え、
前記水洗工程が、前記表面活性化処理を行った前記金属基材に対し、前記水溶液を用いた水洗を行う工程である請求項1〜5のいずれかに記載のめっき方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018211274 | 2018-11-09 | ||
JP2018211274 | 2018-11-09 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020079445A true JP2020079445A (ja) | 2020-05-28 |
JP7360903B2 JP7360903B2 (ja) | 2023-10-13 |
Family
ID=70801511
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019203491A Active JP7360903B2 (ja) | 2018-11-09 | 2019-11-08 | めっき方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7360903B2 (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1996020294A1 (fr) * | 1994-12-27 | 1996-07-04 | Ibiden Co., Ltd. | Solution de pre-traitement pour depot autocatalytique, bain et procede de depot autocatalytique |
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2019
- 2019-11-08 JP JP2019203491A patent/JP7360903B2/ja active Active
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JP7360903B2 (ja) | 2023-10-13 |
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A621 | Written request for application examination |
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|
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