JP2020075854A - 表面修飾金属酸化物微粒子の製造方法、改質金属酸化物微粒子の製造方法、表面修飾金属酸化物微粒子、及び金属酸化物微粒子分散液 - Google Patents
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Abstract
Description
で表されるカルボン酸化合物及び/又は式(1)で表されるカルボン酸化合物由来のカルボキシレートで被覆することを含む、表面修飾金属酸化物微粒子の製造方法である。
で表されるカルボン酸化合物及び/又は式(1)で表されるカルボン酸化合物由来のカルボキシレートで被覆された、表面修飾金属酸化物微粒子である。
表面修飾金属酸化物微粒子の製造方法は、
金属酸化物微粒子の表面の少なくとも一部を、下記式(1):
で表されるカルボン酸化合物及び/又は式(1)で表されるカルボン酸化合物由来のカルボキシレートで被覆することを含む、方法である。
式(1)で表されるカルボン酸化合物の塩において、カルボン酸アニオンに対する対カチオンは、無機カチオンであっても有機カチオンであってもよく、無機カチオンが好ましい。対カチオンは、1価のカチオンであっても、2価以上の多価カチオンであってもよい。
金属酸化物微粒子に含まれ得る、好ましい金属元素については後述する。
金属酸化物微粒子としては、従来より種々の目的で使用されている種々の金属酸化物微粒子を特に限定なく用いることができる。例えば、ZrO2微粒子のような金属酸化物は、高屈折材料において、高屈折率を達成させるためのフィラーとして使用されている。
また、式(1)で表されるカルボン酸化合物等による被覆処理には、1種の金属酸化物微粒子を単独で用いてもよく、2種以上の金属酸化物微粒子を組み合わせて用いてもよい。
金属酸化物微粒子を構成する金属酸化物の好適な例としては、酸化アルミニウム(Al2O3)、酸化チタン(TiO2)、酸化ハフニウム(HfO2)、酸化ジルコニウム(ZrO2)、酸化インジウム(In2O3)、酸化亜鉛(ZnO)、酸化スズ(SnO2)、酸化ランタン(La2O3)、酸化イットリウム(Y2O3)、酸化セリウム(CeO2)、及び酸化マグネシウム(MgO)等の単一金属酸化物;ITO、及びATO等の金属酸化物の固溶体;チタン酸バリウム(BaTiO3)、灰チタン石(CaTiO3)、及びスピネル(MgAl2O4)等の複合金属酸化物が挙げられる。
金属酸化物微粒子の平均粒子径は、動的光散乱法を用いて測定される体積平均粒子径である。
金属酸化物微粒子の、累積粒度体積分布において、累積値99.99%における粒子径は、高屈折率化の点で、例えば50nm以下が好ましく、30nm以下がより好ましく、20nm以下がさらに好ましい。下限値は特にないが、例えば5nm以上である。金属酸化物微粒子の粒度分布(累積粒度体積分布)も動的光散乱法を用いて測定される。
前述の金属酸化物微粒子の表面の被覆には、下記式(1)で表されるカルボン酸化合物及び/又は式(1)で表されるカルボン酸化合物由来のカルボキシレートが使用される。
なお、式(1)で表されるカルボン酸化合物、又は当該カルボン酸化合物に由来するカルボキシレートに、2以上の複数の光学異性体が存在する場合、いずれの光学異性体も、金属酸化物微粒子の表面の被覆に用いることができる。また、複数の光学異性体の混合物を金属酸化物微粒子の表面の被覆に用いることができる。
R1及びR2が1価の有機基である場合、当該有機基の炭素原子数は、1以上40以下が好ましく、1以上30以下がより好ましく、1以上20以下がさらにより好ましく、1以上10以下が特に好ましい。
また、R1とR2とは、互いに結合して環を形成してもよい。
R1及びR2としてのアルキル基の炭素原子数は1以上40以下が好ましく、1以上30以下がより好ましく、1以上20以下がさらにより好ましく、1以上10以下が特に好ましく、1以上5以下が最も好ましい。
当該含窒素環は、単環でも多環でもよく、単環が好ましい。また、当該含窒素複素環は、脂肪族環であっても、芳香族環であっても、1以上の脂肪族単環と1以上の芳香族単環とが縮合した縮合多環であってもよい。
つまり、式(1)において、R1とR2とが結合してイミダゾール環を形成するのが好ましい。R1とR2とが結合して形成されたイミダゾール環を有するカルボン酸化合物は、金属酸化物微粒子を被覆する際の、被覆による効果に優れる。
含窒素複素環上に複数の置換基が存在する場合、複数の置換基は、それぞれ同一であっても異なっていてもよい。
R3が1価の有機基である場合、当該有機基の炭素原子数は、1以上40以下が好ましく、1以上30以下がより好ましく、1以上20以下がさらにより好ましく、1以上10以下が特に好ましい。
R3としての置換基を有してもよい芳香族基は、R1及びR2としての置換基を有してもよい芳香族基と同様である。
アミノ酸の好ましい例としては、アラニン、アルギニン、アスパラギン、アスパラギン酸、システイン、グルタミン、グルタミン酸、ヒスチジン、イソロイシン、ロイシン、リシン、メチオニン、フェニルアラニン、セリン、トレオニン、トリプトファン、チロシン、バリン、オルニチン、シトルリン、及びテアニンが挙げられる。
また、アミノ酸が有するカルボニル基に隣接する炭素原子上のアミノ基は、炭素原子数1以上4以下のアルキル基、フェニル基、及びアセチル基等の有機基で置換されていてもよい。このような置換アミノ基を有するカルボン酸化合物は、N−モノ置換カルボン酸化合物であっても、N,N−ジ置換カルボン酸化合物であってもよい。
また、式(1−1)中のR5が有機基である場合、当該有機基は、R1及びR2が置換基を有してもよい芳香族基である場合の、置換基としての有機基と同様である。nが2又は3である場合、複数のR5は、同一であっても異なっていてもよい。
−O−R11
(R11は水素原子又は有機基である。)
表面修飾方法は、金属酸化物微粒子と、前述の式(1)で表されるカルボン酸化合物、及び/又は式(1)で表されるカルボン酸化合物由来のカルボキシレートとを接触させることができる方法であれば特に限定されない。
通常、分散媒中で、金属酸化物微粒子と、被覆材である前述の式(1)で表されるカルボン酸化合物、及び/又は式(1)で表されるカルボン酸化合物由来のカルボキシレートとを撹拌、混合することにより、表面修飾が行われる。
また、表面修飾時の撹拌、混合時間も特に限定されない。
分散媒は、水であっても、有機溶媒であっても、有機溶媒の水溶液であってもよく、有機溶媒が好ましい。
アミド構造を有する化合物の使用量は特に限定されず、典型的には、製造される金属酸化物微粒子、又は分散される金属酸化物微粒子100質量部に対して、10質量部以上5000質量部以下が好ましく、20質量部以上1000質量部以下がより好ましく、50質量部以上500質量部以下がさらに好ましい。
アミド構造を有する化合物の好ましい例としては、下式(S01)で表される化合物が挙げられる。
式(S01−1)中、Rs04は、水素原子又は水酸基であり、Rs05及びRs06は、それぞれ独立に炭素原子数1以上3以下のアルキル基である。式(S01−2)中、Rs07及びRs08は、それぞれ独立に水素原子、又は炭素原子数1以上3以下のアルキル基である。)
アミド構造を有する化合物は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
・炭素原子数4以上20以下の直鎖状カルボン酸(直鎖状脂肪族カルボン酸、好ましくは直鎖状飽和脂肪族カルボン酸等)、分枝鎖状カルボン酸(分岐鎖状脂肪族カルボン酸)、環状カルボン酸(脂環式カルボン酸、好ましくは不飽和二重結合を有さない脂環式カルボン酸等)のカルボン酸基を有する炭化水素類が好ましく採用される。例えば酪酸、吉草酸、ヘキサン酸、ヘプタン酸、オクタン酸、ノナン酸、デカン酸、ドデカン酸、テトラデカン酸、ステアリン酸等の直鎖状カルボン酸;ピバリン酸、2,2−ジメチル酪酸、3,3−ジメチル酪酸、2,2−ジメチル吉草酸、2,2−ジエチル酪酸、3,3−ジエチル酪酸、2−エチルヘキサン酸、2−メチルヘプタン酸、4−メチルオクタン酸、ネオデカン酸等の分枝鎖状カルボン酸;ナフテン酸、シクロヘキサンジカルボン酸等の環状カルボン酸等
・フルオレン構造、アントラセン構造、ジベンゾチオフェン構造、カルバゾール構造、スチルベン構造、ビフェニル構造、ビスフェノール構造及びナフタレン構造からなる群より選ばれる少なくとも1つの構造を有する芳香族構造を有するカルボン酸化合物
・さらに(メタ)アクリロイル構造を有する上記芳香族構造を有するカルボン酸化合物
・後述のシラン化合物(i)〜(iii)で挙げた化合物;ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、アリルトリメトキシシラン等のモノビニルトリアルコキシシラン;3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルメチルジエトキシシラン等の(メタ)アクリロキシアルキルモノアルキルジアルコキシシラン;3−アクリロキシプロピルトリメトキシシラン等の(メタ)アクリロキシアルキルトリアルコキシシラン;3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン等の非脂環式エポキシフルオレニリデン基含有アルキルトリ(又はジ)アルコキシシラン;3−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン等の非脂環式エポキシ基含有アルキルモノアルキルジアルコキシシラン;2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリエトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)メチルジメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)メチルジエトキシシラン等の脂環式エポキシ基含有アルキルトリ(又はジ)アルコキシシラン;2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルメチルジエトキシシラン等の脂環式エポキシ基含有アルキルモノアルキルジアルコキシシラン;〔(3−エチル−3−オキセタニル)メトキシ〕プロピルトリメトキシシラン、〔(3−エチル−3−オキセタニル)メトキシ〕プロピルトリエトキシシラン等のオキセタニル基含有アルキルトリアルコキシシラン;3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン等のメルカプトアルキルトリアルコキシシラン;3−メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン等のメルカプトアルキルモノアルキルジアルコキシシラン;n−オクチルトリエトキシシラン、n−ドデシルトリメトキシシラン、n−ドデシルトリエトキシシラン、n−ヘキサデシルトリメトキシシラン、オクタデシルトリメトキシシラン、2−[メトキシ(ポリエチレンオキシ)プロピル]−トリメトキシシラン、メトキシトリ(エチレンオキシ)プロピルトリメトキシシラン、1−ヘキセニルトリメトキシシラン、1−オクテニルトリメトキシシラン等その他の鎖状トリアルコキシシラン;等の加水分解縮合性ケイ素化合物;
等が挙げられ、1種でも2種以上を組み合わせて用いてもよい。
改質金属酸化物微粒子の製造方法は、アミド構造を有する化合物を含有する溶液又は懸濁液中で金属酸化物微粒子を調製するか、アミド構造を有する化合物を含む分散媒の存在下で金属酸化物微粒子を分散させることを含む方法である。なお、改質の対象となる(原料の)金属酸化物微粒子は、式(1)で表されるカルボン酸化合物、及び/又は式(1)で表されるカルボン酸化合物由来のカルボキシレート以外の他の被覆剤を含む被覆型金属酸化物微粒子であってもよい。被覆型金属酸化物微粒子は、市販品(被覆型金属酸化物微粒子又はその被覆型金属酸化物微粒子を含む分散液)を用いてもよいし、公知の方法を用いて得てもよい。
このため、上記の改質金属酸化物微粒子の製造方法は、前述の表面修飾金属酸化物微粒子の製造方法における、表面修飾の対象である金属酸化物微粒子の製造方法として好ましい。
また、上記方法により製造された改質金属酸化物微粒子は、表面修飾されていない状態でも、有機溶媒等への分散安定性が向上する傾向にある。
金属酸化物微粒子分散液は、金属酸化物(A)を含む。金属酸化物(A)は、微粒子状である。金属酸化物微粒子分散液は、金属酸化物(A)として、前述の表面修飾金属酸化物微粒子を含む。
金属酸化物(A)における、前述の表面修飾金属酸化物微粒子の含有量は、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されない。表面修飾金属酸化物微粒子の含有量は、金属酸化物(A)の質量に対して、50質量%以上が好ましく、70質量%以上がより好ましく、90質量%以上がさらに好ましく、100質量%が特に好ましい。
かかる金属酸化物微粒子分散液が、金属酸化物(A)として、前述の表面修飾金属酸化物微粒子を含むことによって、金属酸化物微粒子分散液は、分散安定性に優れる。このため、金属酸化物微粒子分散液は、種々の用途において好適に使用される。
金属酸化物微粒子分散液を封止用途や、成膜用途等に用いる場合には、金属酸化物微粒子分散液が基材成分(B)を含有するのが好ましい。
金属酸化物微粒子分散液が基材成分(B)を含む場合、金属酸化物(A)の量は、金属酸化物微粒子分散液中の基材成分(B)100質量部に対して、0.1質量部以上200質量部以下が好ましく、1質量部以上150質量部以下がより好ましく、3質量部以上100質量部以下が特に好ましい。
金属酸化物(A)の量の上限は、基材成分(B)100質量部に対して、80質量部以下であっても、50質量部以下であっても、30質量部以下であってもよい。
金属酸化物(A)の量の下限は、基材成分(B)100質量部に対して、5質量部以上であっても、10質量部以上であっても、20質量部以上であってもよい。
基材成分(B)は、金属酸化物微粒子分散液に、そのままで溶融加工法等の周知の方法で所望する形状の物品を製造可能な賦形性か、露光、加熱、水との反応等の処理により所望する形状の物品を製造可能な賦形性を付与する成分である。
基材成分(B)は、金属酸化物微粒子分散液に所望する賦形性を与えることができる材料であれば特に限定されない。
基材成分(B)としては、典型的には高分子化合物からなる樹脂材料、加熱により架橋して高分子化合物を生じたり、加熱により分子内環化等の化学変性が生じたりすることにより硬化する熱硬化性材料、露光により硬化し得る光重合性の化合物、組成物中や雰囲気中の水分により加水分縮合する加水分解縮合性のシラン化合物等が用いられる。
加水分解縮合性のシラン化合物としては、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、メチルトリメトキシシラン、エチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシラン、エチルトリエトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン、ジメチルジメトキシシラン、ジエチルジメトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、ジエチルジエトキシシラン、ジフェニルジメトキシシラン、ジフェニルジエトキシシラン等のアルコキシシラン化合物等が挙げられる。加水分解縮合性シラン化合物は、これらのシラン化合物の部分加水分解縮合物であってもよい。
式(b−02)中、環Z01は芳香族炭化水素環を示し、X01は単結合又は−S−で示される基を示し、R01は単結合、炭素原子数1以上4以下のアルキレン基、又は炭素原子数が1以上4以下であるアルキレンオキシ基を示し、R01がアルキレンオキシ基である場合、アルキレンオキシ基中の酸素原子が環Z01と結合し、R01は1価炭化水素基、水酸基、−OR4Aで示される基、−SR4Bで示される基、アシル基、アルコキシカルボニル基、ハロゲン原子、ニトロ基、シアノ基、メルカプト基、カルボキシ基、アミノ基、カルバモイル基、−NHR4Cで示される基、−N(R4D)2で示される基、スルホ基、又は1価炭化水素基、−OR4Aで示される基、−SR4Bで示される基、アシル基、アルコキシカルボニル基、−NHR4Cで示される基、若しくは−N(R4D)2で示される基に含まれる炭素原子に結合した水素原子の少なくとも一部が1価炭化水素基、水酸基、−OR4aで示される基、−SR4Bで示される基、アシル基、アルコキシカルボニル基、ハロゲン原子、ニトロ基、シアノ基、メルカプト基、カルボキシル基、アミノ基、カルバモイル基、−NHR4Cで示される基、−N(R4D)2で示される基、メシルオキシ基、若しくはスルホ基で置換された基を示し、R4A〜R4Dは独立に1価炭化水素基を示し、Mは0以上の整数を示し、R03は、水素原子、ビニル基、チイラン−2−イルメチル基、グリシジル基、又は(メタ)アクリロイル基であり、
W01とW02との双方がR03として水素原子を有することはなく、
環Y01及び環Y02は同一の又は異なる芳香族炭化水素環を示し、R00は単結合、置換基を有してもよいメチレン基、置換基を有してもよく、2個の炭素原子間にヘテロ原子を含んでもよいエチレン基、−O−で示される基、−NH−で示される基、又は−S−で示される基を示し、R3A及びR3Bは独立にシアノ基、ハロゲン原子、又は1価炭化水素基を示し、N1及びN2は独立に0〜4の整数を示す。)
で表される化合物を含むのも好ましい。
上記式(b−01)で表される化合物は、必要に応じて硬化剤と組み合わせて使用されることによって、熱硬化又は光硬化し得る。
ビニルオキシ基、チイラン−2−イルメチル基、及びグリシジル基は、いずれもカチオン重合性の官能基である。従って、式(b−01)で表される化合物であって、R03として、ビニル基、チイラン−2−イルメチル基、又はグリシジル基を有する化合物はカチオン重合性の化合物である。
他方、式(b−01)で表される化合物であって、R03として、(メタ)アクリロイル基を有する化合物はラジカル重合性の化合物である。
また、W01に含まれるR03とW02に含まれるR03とは、双方が、(メタ)アクリロイル基であるのも好ましい。
なお、成分の種類を少なくしつつ、硬化性の金属酸化物微粒子分散液を調製できることから、式(b−01)で表される化合物は、ビニル基、チイラン−2−イルメチル基、及びグリシジル基から選択される基のみを反応性基として有するか、(メタ)アクリロイル基のみを反応性基として有するのが好ましい。
さらに、上記式(b−01)で表される化合物は、高い硬度を有する硬化物を与え、金属酸化物微粒子分散液中の基材成分(B)として好ましい。
基材成分(B)のうち、樹脂材料の例としては、ポリアセタール樹脂、ポリアミド樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエステル樹脂(ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリアリレート等)、FR−AS樹脂、FR−ABS樹脂、AS樹脂、ABS樹脂、ポリフェニレンオキサイド樹脂、ポリフェニレンサルファイド樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、フッ素系樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリアミドビスマレイミド樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、ポリベンゾオキサゾール樹脂、ポリベンゾチアゾール樹脂、ポリベンゾイミダゾール樹脂、シリコーン樹脂、BT樹脂、ポリメチルペンテン、超高分子量ポリエチレン、FR−ポリプロピレン、(メタ)アクリル樹脂(例えば、ポリメチルメタクリレート等)、及びポリスチレン等が挙げられる。
なお、金属酸化物微粒子分散液は、融液であっても、溶液であってもよい。
キャスト法、インクジェット法、スピンコート法では、樹脂材料と金属酸化物(A)とを含む液を基板上に塗布又は流涎して膜を形成した後、必要に応じて、当該膜から加熱等の方法により溶媒を除去することにより金属酸化物含有膜が形成される。
金属酸化物微粒子分散液を用いて得られた金属酸化物含有膜には、必要に応じて一軸延伸や二軸延伸等の延伸処理が施されてもよい。
また、金属酸化物微粒子分散液がキャスト用の組成物である場合、金属酸化物微粒子分散液は溶剤を含んでいてもよい。溶剤の種類は、樹脂材料の種類に応じて、適宜選択される。
熱硬化性材料としては、従来から広く用いられている種々の熱硬化性樹脂の前駆体材料が挙げられる。熱硬化性樹脂の具体例としては、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、オキセタン樹脂、メラミン樹脂、尿素樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、アルキド樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリイミド樹脂、ポリベンゾオキサゾール樹脂、ポリベンゾイミダゾール樹脂等が挙げられる。
以下、熱硬化性材料について、基材成分(B)として特に好適な前駆体材料について説明する。
エポキシ樹脂前駆体としては、従来から広く知られる種々のエポキシ化合物を用いることができる。金属酸化物微粒子分散液において、必要に応じて、硬化剤や硬化促進剤と、エポキシ樹脂前駆体とを組み合わせて用いることにより、金属酸化物微粒子分散液を熱硬化性の組成物とすることができる。なお、金属酸化物微粒子分散液において、感光性の硬化剤と、エポキシ樹脂前駆体とを組み合わせて用いることにより、金属酸化物微粒子分散液を光硬化し得る感光性組成物とすることもできる。
エポキシ樹脂前駆体としてのエポキシ化合物の分子量は特に限定されない。エポキシ化合物の中では、耐熱性、耐化学薬品性、機械的特性等に優れる金属酸化物含有膜を形成しやすいことから、分子内に2以上のエポキシ基を有する多官能エポキシ化合物が好ましい。エポキシ樹脂前駆体は、単独又は2種以上組み合わせて用いることができる。
−L−Ca (a1−IIa)
(式(a1−IIa)中、Lは直鎖状、分岐鎖状又は環状のアルキレン基、アリーレン基、−O−、−C(=O)−、−NH−及びこれらの組み合わせからなる基であり、Caはエポキシ基である。式(a1−IIa)中、LとCaとが結合して環状構造を形成していてもよい。)
シロキサン化合物におけるシロキサン骨格としては、例えば、環状シロキサン骨格やかご型やラダー型のポリシルセスキオキサン骨格を挙げることができる。
上記アルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基等の炭素原子数が1以上18以下である(好ましくは炭素原子数1以上6以下、特に好ましくは炭素原子数1以上3以下)直鎖状又は分岐鎖状のアルキル基を挙げることができる。
基材成分(B)としては、加熱により、分子内での芳香環形成反応、及び/又は分子間での架橋反応を生じさせる樹脂である前駆体樹脂が好ましい。また、焼成により硬化物を与える前駆体樹脂も基材成分(B)として好ましい。
分子間での架橋反応によれば、樹脂を構成する分子鎖が相互に架橋され、三次元架橋構造が形成される。このため、加熱により架橋反応を生じさせる、分子中に、水酸基、カルボン酸無水物基、カルボキシ基、及びエポキシ基から選択される基を有する樹脂を基材成分(B)として用いると、耐熱性及び機械的特性に優れる金属酸化物含有膜が得られる。
ポリイミド樹脂前駆体としては、ポリアミック酸が挙げられ、基材成分(B)としてポリアミック酸を含む金属酸化物微粒子分散液を製膜した後、必要に応じてイミド化剤の存在下に形成された膜を加熱すると、ポリイミド樹脂を含む耐熱性に優れる金属酸化物含有膜が形成される。
好適なポリアミック酸としては、例えば、下式(A1)で表される構成単位からなるポリアミック酸が挙げられる。
ポリアミック酸の合成原料となるテトラカルボン酸二無水物成分は、ジアミン成分と反応することによりポリアミック酸を形成可能なものであれば特に限定されない。テトラカルボン酸二無水物成分は、従来からポリアミック酸の合成原料として使用されているテトラカルボン酸二無水物から適宜選択することができる。テトラカルボン酸二無水物成分は、芳香族テトラカルボン酸二無水物であっても、脂肪族テトラカルボン酸二無水物であってもよく、例えば、下記式(a1−01)で表されるテトラカルボン酸二無水物が挙げられ、芳香族テトラカルボン酸二無水物が好ましい。テトラカルボン酸二無水物成分は、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
ポリアミック酸の合成原料となるジアミン成分は、テトラカルボン酸二無水物成分と反応することによりポリアミック酸を形成可能なものであれば特に限定されない。ジアミン成分は、従来からポリアミック酸の合成原料として使用されているジアミンから適宜選択することができ、例えば、下記式(a1−02)で表されるジアミン成分や、後述のYdを与えるジアミンが挙げられる。ジアミン成分は、芳香族ジアミンであっても、脂肪族ジアミンであってもよいが、芳香族ジアミンが好ましい。ジアミン成分は、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
以上説明した、テトラカルボン酸二無水物成分と、ジアミン成分とを、両者を溶解させることができる溶媒中で反応させることにより、ポリアミック酸が得られる。ポリアミック酸を合成する際の、テトラカルボン酸二無水物成分及びジアミン成分の使用量は特に限定されない。テトラカルボン酸二無水物成分1モルに対して、ジアミン成分を0.50モル以上1.50モル以下用いるのが好ましく、0.60モル以上1.30モル以下用いるのがより好ましく、0.70モル以上1.20モル以下用いるのが特に好ましい。
ポリベンゾオキサゾール前駆体は、典型的には、芳香族ジアミンジオールと、特定の構造のジカルボニル化合物とを反応させて製造される。以下、芳香族ジアミンジオールと、ジカルボニル化合物と、ポリベンゾオキサゾール前駆体の合成に用いられる溶剤と、ポリベンゾオキサゾール前駆体の製造方法とについて説明する。
芳香族ジアミンジオールとしては、従来よりポリベンゾオキサゾールの合成に使用されているものを特に制限なく使用することができる。芳香族ジアミンジオールとしては、下式(a02)で表される化合物を用いるのが好ましい。芳香族ジアミンジオールは、1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
ポリベンゾオキサゾール前駆体の合成原料としては、以上説明した芳香族ジアミンジオールとともに、下式(a03)で表されるジカルボニル化合物を用いる。前述の芳香族ジアミンジオールと、下式(a03)で表されるジカルボニル化合物とを縮合させることにより、ポリベンゾオキサゾール前駆体が得られる。
ポリベンゾオキサゾール前駆体の原料として用いるジアルデヒド化合物は、下式(a02−I)で表される化合物である。ジアルデヒド化合物は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
ピラジンジアルデヒド類の具体例としては、ピラジン−2,3−ジアルデヒド、ピラジン−2,5−ジアルデヒド、及びピラジン−2,6−ジアルデヒド等が挙げられる。
ピリミジンジアルデヒド類の具体例としては、ピリミジン−2,4−ジアルデヒド、ピリミジン−4,5−ジアルデヒド、及びピリミジン−4,6−ジアルデヒド等が挙げられる。
ポリベンゾオキサゾール前駆体の原料として用いるジカルボン酸ジハライドは、下式(a2−II)で表される化合物である。ジカルボン酸ジハライドは、1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
ポリイミド樹脂前駆体又はポリベンゾオキサゾール前駆体の調製に用いる溶剤は特に限定されず、従来からポリイミド樹脂前駆体又はポリベンゾオキサゾール前駆体の調製に使用されていた溶剤から適宜選択できる。ポリイミド樹脂前駆体又はポリベンゾオキサゾール前駆体の調製に用いる溶剤としては、前述の式(S01)で表される化合物を含む溶剤を用いるのが好ましい。
ポリベンゾオキサゾール前駆体は、前述の芳香族ジアミンジオールと、ジカルボニル化合物とを、溶剤中で、周知の方法に従って反応させることによって製造される。以下ポリベンゾオキサゾール前駆体の製造方法の代表的な例として、ジカルボニル化合物がジアルデヒド化合物である場合の製造方法と、ジカルボニル化合物がジカルボン酸ハライドである場合の製造方法とについて説明する。
芳香族ジアミンジオールとジアルデヒド化合物との反応はシッフ塩基の形成反応であり、周知の方法に従って行うことができる。反応温度は特に限定されないが、通常、20℃以上200℃以下が好ましく、20℃以上160℃以下がより好ましく、100℃以上160℃以下が特に好ましい。
芳香族ジアミンジオールとジカルボン酸ジハライドとを反応させる反応温度は特に限定されないが、通常、−20℃以上150℃以下が好ましく、−10℃以上150℃以下がより好ましく、−5℃以上70℃以下が特に好ましい。芳香族ジアミンジオールとジカルボン酸ジハライドとの反応ではハロゲン化水素が副生する。かかるハロゲン化水素を中和するために、トリエチルアミン、ピリジン、及びN,N−ジメチル−4−アミノピリジン等の有機塩基や、水酸化ナトリウム及び水酸化カリウム等のアルカリ金属水酸化物を、反応液中に少量加えてもよい。
ポリベンゾチアゾール前駆体は、典型的には、芳香族ジアミンジチオールと、特定の構造のジカルボニル化合物とを反応させて製造される。芳香族ジアミンジチオールとしては、ポリベンゾオキサール前駆体の合成に使用される芳香族ジアミンジオールの水酸基がメルカプト基に置換された化合物を用いることができる。ジカルボニル化合物としては、ポリベンゾオキサゾール前駆体の合成に使用されるものと同様のものを使用することができる。
ポリベンゾイミダゾール前駆体は、典型的には、芳香族テトラアミンと、ジカルボン酸ジハライドとを反応させて製造される。芳香族テトラアミンとしては、ポリベンゾオキサゾール前駆体の合成に使用される芳香族ジアミンジオールの水酸基がアミノ基に置換された化合物を用いることができる。ジカルボン酸ジハライドとしては、ポリベンゾオキサゾール前駆体の合成に使用されるものと同様のものを使用することができる。
スチレン−マレイン酸共重合体の種類は、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されない。スチレン−マレイン酸共重合体における、スチレン/マレイン酸の共重合比率(質量比)は、1/9以上9/1以下が好ましく、2/8以上8/1以下がより好ましく、1/1以上8/1以下が特に好ましい。スチレン−マレイン酸共重合体の分子量は特に限定されないが、ポリスチレン換算の質量平均分子量として、1000以上100000以下であるのが好ましく、5000以上12000以下であるのがより好ましい。
エポキシ基含有樹脂を基材成分(B)として用いると、必要に応じて硬化剤や硬化促進剤の存在下に、所望する形状に成形された金属酸化物微粒子分散液を加熱することで、エポキシ基含有樹脂が有するエポキシ基同士が架橋される。その結果、耐熱性や機械的特性に優れる硬化物が得られる。エポキシ基含有樹脂は、エポキシ基を有する分子から構成される樹脂であれば特に限定されない。
前述の通り、焼成により硬化膜を生成させる樹脂も、基材成分(B)としての前駆体樹脂として好ましい。焼成により硬化膜を生成させる樹脂としては、例えば、ケイ素含有樹脂が挙げられる。ケイ素含有樹脂の好ましい例としては、シロキサン樹脂、及びポリシランから選択される1種以上が挙げられる。これらのケイ素含有樹脂を含む金属酸化物微粒子分散液を塗布することでケイ素含有樹脂を含む金属酸化物含有膜が得られる。
ケイ素含有樹脂組成物である金属酸化物微粒子分散液については、詳細に後述する。
また、製膜を容易にするため、金属酸化物微粒子分散液は溶剤を含むのが好ましい。溶剤の種類は、熱硬化性材料の種類に応じて、適宜選択される。
良好に分散された金属酸化物(A)を含み、且つ、耐熱性や耐薬品性に優れた金属酸化物(A)を含む膜等の物品を形成しやすいことから、金属酸化物微粒子分散液は、感熱性、及び/又は感光性を備える感エネルギー性組成物であるのが好ましい。
従来知られる感エネルギー性組成物には、種々の熱硬化性又は光硬化性の化合物や、アルカリ可溶性樹脂、露光されることでアルカリに対する溶解性が高まる樹脂等が基材成分(B)として含まれる。
感光性の金属酸化物微粒子分散液は、露光により現像液に対して不溶化するネガ型の感光性組成物であってもよく、露光により現像液に対して可溶化するポジ型の感光性組成物であってもよい。
以下、好適な感エネルギー性組成物と、焼成により硬化膜を生成させる樹脂を含む組成物の好適な例であるケイ素含有樹脂組成物と、について説明する。
第1の態様の感エネルギー性組成物は、アルカリ可溶性樹脂、光重合性化合物、及び光重合開始剤とともに、金属酸化物(A)、及び有機溶剤を含有するネガ型感光性組成物である。
第1の態様の感エネルギー性組成物では、アルカリ可溶性樹脂と、光重合性化合物とが基材成分(B)に該当する。
例えば、特許文献1に記載されるような被覆処理を施された金属酸化物微粒子を(メタ)アクリル樹脂を含む組成物に配合する場合、金属酸化物微粒子が良好に分散しない場合がある。
しかし、前述の、表面の少なくとも一部が式(1)で表されるカルボン酸化合物及び/又は当該カルボン酸化合物に由来するカルボキシレートにより被覆された表面修飾金属酸化物微粒子は、(メタ)アクリル樹脂を含む組成物中でも安定に分散しやすい。
なお、本明細書においてアルカリ可溶性樹脂とは、樹脂濃度20質量%の樹脂溶液(溶媒:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)により、膜厚1μmの樹脂膜を基板上に形成し、2.38質量%のテトラメチルアンモニウムヒドロキシド(TMAH)水溶液に1分間浸漬した際に、膜厚0.01μm以上溶解する樹脂をいう。
上記式(a−1)中、mは、0以上20以下の整数を示す。
本明細書において、「(メタ)アクリル酸」は、アクリル酸とメタクリル酸との両方を意味する。同様に、「(メタ)アクリレート」は、アクリレートとメタクリレートとの両方を意味する。
脂環式基を有するエポキシ基含有不飽和化合物としては、前述の式(a05−1)〜(a05−15)で表される化合物が挙げられる。
脂環式基を有さないエポキシ基含有不飽和化合物としては、グリシジル(メタ)アクリレート、2−メチルグリシジル(メタ)アクリレート、3,4−エポキシブチル(メタ)アクリレート、6,7−エポキシヘプチル(メタ)アクリレート等のエポキシアルキル(メタ)アクリレート;2−グリシジルオキシエチル(メタ)アクリレート、3−グリシジルオキシ−n−プロピル(メタ)アクリレート、4−グリシジルオキシ−n−ブチル(メタ)アクリレート、5−グリシジルオキシ−n−ペンチル(メタ)アクリレート、6−グリシジルオキシ−n−ヘキシル(メタ)アクリレート等のエポキシアルキルオキシアルキル(メタ)アクリレート;α−エチルアクリル酸グリシジル、α−n−プロピルアクリル酸グリシジル、α−n−ブチルアクリル酸グリシジル、α−エチルアクリル酸6,7−エポキシヘプチル等のα−アルキルアクリル酸エポキシアルキルエステル類;o−ビニルベンジルグリシジルエーテル、m−ビニルベンジルグリシジルエーテル、p−ビニルベンジルグリシジルエーテル等のグリシジルエーテル類;等が挙げられる。これらの中でも、共重合反応性、硬化後の樹脂の強度等の点から、グリシジル(メタ)アクリレート、2−メチルグリシジル(メタ)アクリレート、6,7−エポキシヘプチル(メタ)アクリレート、o−ビニルベンジルグリシジルエーテル、m−ビニルベンジルグリシジルエーテル、及びp−ビニルベンジルグリシジルエーテルが好ましい。
これらのエポキシ基含有不飽和化合物は、単独又は2種以上組み合わせて用いることができる。
これらのアルカリ可溶性樹脂を用いる場合、機械的に強度に優れ、基板への密着性に優れる金属酸化物含有膜を形成することができる。
また、不飽和カルボン酸に由来する構成単位と、エポキシ基含有不飽和化合物に由来する構成単位とを有する共重合体におけるエポキシ基の少なくとも一部と、不飽和カルボン酸とを反応させることでも、光重合性化合物との重合可能部位を有する構成単位を有する共重合体を調製することができる。
単官能モノマーとしては、(メタ)アクリルアミド、メチロール(メタ)アクリルアミド、メトキシメチル(メタ)アクリルアミド、エトキシメチル(メタ)アクリルアミド、プロポキシメチル(メタ)アクリルアミド、ブトキシメトキシメチル(メタ)アクリルアミド、N−メチロール(メタ)アクリルアミド、N−ヒドロキシメチル(メタ)アクリルアミド、(メタ)アクリル酸、フマル酸、マレイン酸、無水マレイン酸、イタコン酸、無水イタコン酸、シトラコン酸、無水シトラコン酸、クロトン酸、2−アクリルアミド−2−メチルプロパンスルホン酸、tert−ブチルアクリルアミドスルホン酸、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、2−フェノキシ−2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2−(メタ)アクリロイルオキシ−2−ヒドロキシプロピルフタレート、グリセリンモノ(メタ)アクリレート、テトラヒドロフルフリル(メタ)アクリレート、ジメチルアミノ(メタ)アクリレート、グリシジル(メタ)アクリレート、2,2,2−トリフルオロエチル(メタ)アクリレート、2,2,3,3−テトラフルオロプロピル(メタ)アクリレート、フタル酸誘導体のハーフ(メタ)アクリレート等が挙げられる。これらの単官能モノマーは、単独又は2種以上組み合わせて用いることができる。
n1は0以上4以下の整数であり、
n2は0、又は1であり、
Rc2は、置換基を有してもよいフェニル基、又は置換基を有してもよいカルバゾリル基であり、
Rc3は、水素原子、又は炭素原子数1以上6以下のアルキル基である。)
また、Rc7が水素原子であると、透明性が良好となる傾向があり好ましい。なお、Rc7が水素原子であり且つRc10が後述の式(c4a)又は(c4b)で表される基であると透明性はより良好となる傾向がある。
アルキル基が有してもよい置換基は、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されない。置換基の好適な例としては、シアノ基、ハロゲン原子、環状有機基、及びアルコキシカルボニル基が挙げられる。ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子が挙げられる。これらの中では、フッ素原子、塩素原子、臭素原子が好ましい。環状有機基としては、シクロアルキル基、芳香族炭化水素基、ヘテロシクリル基が挙げられる。シクロアルキル基の具体例としては、Rc7がシクロアルキル基である場合の好適な例と同様である。芳香族炭化水素基の具体例としては、フェニル基、ナフチル基、ビフェニリル基、アントリル基、及びフェナントリル基等が挙げられる。ヘテロシクリル基の具体例としては、Rc7がヘテロシクリル基である場合の好適な例と同様である。Rc7がアルコキシカルボニル基である場合、アルコキシカルボニル基に含まれるアルコキシ基は、直鎖状でも分岐鎖状でもよく、直鎖状が好ましい。アルコキシカルボニル基に含まれるアルコキシ基の炭素原子数は、1以上10以下が好ましく、1以上6以下がより好ましい。
−CORc11で表されるアシル基を与えるアシル化剤としては、(Rc11CO)2Oで表される酸無水物や、Rc11COHal(Halはハロゲン原子)で表される酸ハライドが挙げられる。
着色剤としては、特に限定されないが、例えば、カラーインデックス(C.I.;The Society of Dyers and Colourists社発行)においてピグメント(Pigment)に分類されている化合物、具体的には、下記のようなカラーインデックス(C.I.)番号が付されている顔料を用いることが好ましい。
C.I.ピグメントオレンジ1(以下、「C.I.ピグメントオレンジ」は同様であり、番号のみを記載する。)、5、13、14、16、17、24、34、36、38、40、43、46、49、51、55、59、61、63、64、71、73;
C.I.ピグメントバイオレット1(以下、「C.I.ピグメントバイオレット」は同様であり、番号のみを記載する。)、19、23、29、30、32、36、37、38、39、40、50;
C.I.ピグメントレッド1(以下、「C.I.ピグメントレッド」は同様であり、番号のみを記載する。)、2、3、4、5、6、7、8、9、10、11、12、14、15、16、17、18、19、21、22、23、30、31、32、37、38、40、41、42、48:1、48:2、48:3、48:4、49:1、49:2、50:1、52:1、53:1、57、57:1、57:2、58:2、58:4、60:1、63:1、63:2、64:1、81:1、83、88、90:1、97、101、102、104、105、106、108、112、113、114、122、123、144、146、149、150、151、155、166、168、170、171、172、174、175、176、177、178、179、180、185、187、188、190、192、193、194、202、206、207、208、209、215、216、217、220、223、224、226、227、228、240、242、243、245、254、255、264、265;
C.I.ピグメントブルー1(以下、「C.I.ピグメントブルー」は同様であり、番号のみを記載する。)、2、15、15:3、15:4、15:6、16、22、60、64、66;
C.I.ピグメントグリーン7、C.I.ピグメントグリーン36、C.I.ピグメントグリーン37;
C.I.ピグメントブラウン23、C.I.ピグメントブラウン25、C.I.ピグメントブラウン26、C.I.ピグメントブラウン28;
C.I.ピグメントブラック1、C.I.ピグメントブラック7。
第2の態様の感エネルギー性組成物は、ポジ型感光性組成物である。第2の態様の感エネルギー性組成物が、化学増幅型ポジ型感光性組成物の場合、当該化学増幅型ポジ型感光性組成物は、金属酸化物(A)と、活性光線又は放射線の照射により酸を発生する酸発生剤(以下、光酸発生剤とも記す。)と、基材成分(B)である酸の作用によりアルカリに対する溶解性が増大する樹脂(以下、感光性樹脂とも記す。)とを含有する。ポジ型感光性樹脂組成物は、必要に応じて、アルカリ可溶性樹脂、酸拡散抑制剤、及び有機溶剤等の成分を含んでいてもよい。他の第2の態様の感エネルギー性組成物としては、キノンジアジド基含有化合物とノボラックフェノール樹脂等のフェノール性水酸基を有するアルカリ可溶性樹脂(例えば後述のノボラック樹脂(C1)又はポリヒドロキシスチレン樹脂(C2)若しくはフェノール性水酸基を有するアクリル樹脂(C3)等)を含むポジ型感光性組成物が挙げられる。
以下、第2の態様の感エネルギー性組成物において好適に使用される光酸発生剤の好適な例について説明する。
−R27a−(O)a−R28a−(O)b−Y1−R29a・・・(c−5a)
(式(c−5a)中、Y1は、単結合又は炭素原子数1以上4以下のアルカンジイル基である。R27a及びR28aは、それぞれ、ハロゲン原子で置換されてもよい炭素原子数2以上6以下のアルカンジイル基、又はハロゲン原子で置換されてもよい炭素原子数6以上20以下のアリーレン基である。R29aは、ハロゲン原子で置換されてもよい炭素原子数1以上18以下のアルキル基、炭素原子数3以上12以下の脂環式炭化水素基、ハロゲン原子で置換されてもよい炭素原子数6以上20以下のアリール基、ハロゲン原子で置換されてもよい炭素原子数7以上20以下のアラルキル基である。a及びbは、それぞれ0又は1であり、a及びbの少なくとも一方は1である。)
で表される基が挙げられる。
炭素原子数1以上18以下のアルキルチオ基としては、メチルチオ基、エチルチオ基、n−プロピルチオ基、イソプロピルチオ基、n−ブチルチオ基、sec−ブチルチオ基、tert−ブチルチオ基、イソブチルチオ基、n−ペンチルチオ基、イソペンチルチオ基、tert−ペンチルチオ基、n−ヘキシルチオ基、n−ヘプチルチオ基、イソヘプチルチオ基、tert−ヘプチルチオ基、n−オクチルチオ基、イソオクチルチオ基、tert−オクチルチオ基、2−エチルヘキシルチオ基、n−ノニルチオ基、n−デシルチオ基、n−ウンデシルチオ基、n−ドデシルチオ基、n−トリデシルチオ基、n−テトラデシルチオ基、n−ペンタデシルチオ基、n−ヘキサデシルチオ基、n−ヘプタデシルチオ基、及びn−オクタデシルチオ基が挙げられる。
また、当該脂肪族炭化水素基の構造は特に限定されず、直鎖状であっても、分岐鎖状であっても、環状であっても、これらの構造の組み合わせであってもよい。
式(c−5a)において、Y1で表される炭素原子数1以上4以下のアルカンジイル基としては、メチレン基、エタン−1,2−ジイル基、エタン−1,1−ジイル基、プロパン−1,3−ジイル基、プロパン−1,2−ジイル基、ブタン−1,4−ジイル基、ブタン−1,3−ジイル基、ブタン−2,3−ジイル基、ブタン−1,2−ジイル基が挙げられる。
式(c−5a)において、R27a又はR28aで表される炭素原子数2以上6以下のアルカンジイル基としては、エタン−1,2−ジイル基、プロパン−1,3−ジイル基、プロパン−1,2−ジイル基、ブタン−1,4−ジイル基、ブタン−1,3−ジイル基、ブタン−2,3−ジイル基、ブタン−1,2−ジイル基、ペンタン−1,5−ジイル基、ペンタン−1,3−ジイル基、ペンタン−1,4−ジイル基、ペンタン−2,3−ジイル基、ヘキサン−1,6−ジイル基、ヘキサン−1,2−ジイル基、ヘキサン−1,3−ジイル基、ヘキサン−1,4−ジイル基、ヘキサン−2,5−ジイル基、ヘキサン−2,4−ジイル基、ヘキサン−3,4−ジイル基が挙げられる。
また、当該アルコキシ基の酸素原子に隣接しない任意の位置のメチレン基が−CO−で置換された基も好ましい。
当該アルコキシ基が−O−CO−結合、又は−O−CO−NH−結合で中断された基も好ましい。なお、−O−CO−結合及び−O−CO−NH−結合の左端が、アルコキシ基中のナフタル酸母核に近い側である。
さらに、脂環式炭化水素基、複素環基、又はハロゲン原子で置換されてもよく、分岐を有してもよい炭素原子数4以上18以下のアルキルチオ基も、R23a〜R26aとして好ましい。
当該アルキルチオ基の硫黄原子に隣接しない任意の位置のメチレン基が−CO−で置換された基も好ましい。
当該アルキルチオ基が−O−CO−結合、又は−O−CO−NH−結合で中断された基も好ましい。なお、−O−CO−結合及び−O−CO−NH−結合の左端が、アルキルチオ基中のナフタル酸母核に近い側である。
アルコキシ基又はアルキルチオ基を置換する複素環基、又はヘテロシクリルオキシ基に含まれる複素環基としては、上記の複素環から水素原子を1つ除いた基が好ましい。
これらの光酸発生剤は、単独又は2種以上組み合わせて用いることができる。
ノボラック樹脂(B1)としては、下記式(b1)で表される構成単位を含む樹脂を使用することができる。
ポリヒドロキシスチレン樹脂(B2)としては、下記式(b4)で表される構成単位を含む樹脂を使用することができる。
アクリル樹脂(B3)としては、下記式(b5)〜(b7)で表される構成単位を含む樹脂を使用することができる。
脂肪族環式基の具体例としては、モノシクロアルカン、ビシクロアルカン、トリシクロアルカン、テトラシクロアルカン等のポリシクロアルカンから1個以上の水素原子を除いた基が挙げられる。具体的には、シクロペンタン、シクロヘキサン、シクロヘプタン、シクロオクタン等のモノシクロアルカンや、アダマンタン、ノルボルナン、イソボルナン、トリシクロデカン、テトラシクロドデカン等のポリシクロアルカンから1個の水素原子を除いた基が挙げられる。特に、シクロヘキサン、アダマンタンから1個の水素原子を除いた基(さらに置換基を有していてもよい)が好ましい。
アルカリ可溶性樹脂としては、ノボラック樹脂(C1)、ポリヒドロキシスチレン樹脂(C2)、及びアクリル樹脂(C3)からなる群より選ばれる少なくとも1種の樹脂であることが好ましい。
ノボラック樹脂は、例えばフェノール性水酸基を有する芳香族化合物(以下、単に「フェノール類」という。)とアルデヒド類とを酸触媒下で付加縮合させることにより得られる。
上記アルデヒド類としては、例えば、ホルムアルデヒド、フルフラール、ベンズアルデヒド、ニトロベンズアルデヒド、アセトアルデヒド等が挙げられる。
付加縮合反応時の触媒は、特に限定されないが、例えば酸触媒では、塩酸、硝酸、硫酸、蟻酸、シュウ酸、酢酸等が使用される。
ポリヒドロキシスチレン樹脂(C2)を構成するヒドロキシスチレン系化合物としては、p−ヒドロキシスチレン、α−メチルヒドロキシスチレン、α−エチルヒドロキシスチレン等が挙げられる。
さらに、ポリヒドロキシスチレン樹脂(C2)は、スチレン樹脂との共重合体とすることが好ましい。このようなスチレン樹脂を構成するスチレン系化合物としては、スチレン、クロロスチレン、クロロメチルスチレン、ビニルトルエン、α−メチルスチレン等が挙げられる。
アクリル樹脂(C3)としては、エーテル結合を有する重合性化合物から誘導された構成単位、及びカルボキシ基を有する重合性化合物から誘導された構成単位を含むこと、又は4−ヒドロキシフェニル(メタ)アクリレート等のフェノール性水酸基を有する重合性化合物から誘導された構成単位を含むことが好ましい。
含窒素化合物(D1)としては、トリメチルアミン、ジエチルアミン、トリエチルアミン、ジ−n−プロピルアミン、トリ−n−プロピルアミン、トリ−n−ペンチルアミン、トリベンジルアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、n−ヘキシルアミン、n−ヘプチルアミン、n−オクチルアミン、n−ノニルアミン、エチレンジアミン、N,N,N’,N’−テトラメチルエチレンジアミン、テトラメチレンジアミン、ヘキサメチレンジアミン、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、4,4’−ジアミノベンゾフェノン、4,4’−ジアミノジフェニルアミン、ホルムアミド、N−メチルホルムアミド、N,N−ジメチルホルムアミド、アセトアミド、N−メチルアセトアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、プロピオンアミド、ベンズアミド、ピロリドン、N−メチルピロリドン、メチルウレア、1,1−ジメチルウレア、1,3−ジメチルウレア、1,1,3,3,−テトラメチルウレア、1,3−ジフェニルウレア、イミダゾール、ベンズイミダゾール、4−メチルイミダゾール、8−オキシキノリン、アクリジン、プリン、ピロリジン、ピペリジン、2,4,6−トリ(2−ピリジル)−S−トリアジン、モルホリン、4−メチルモルホリン、ピペラジン、1,4−ジメチルピペラジン、1,4−ジアザビシクロ[2.2.2]オクタン、ピリジン等を挙げることができる。これらは単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
有機カルボン酸、又はリンのオキソ酸若しくはその誘導体(D2)のうち、有機カルボン酸としては、具体的には、マロン酸、クエン酸、リンゴ酸、コハク酸、安息香酸、サリチル酸等が好適であり、特にサリチル酸が好ましい。
第3の態様の感エネルギー性組成物は、ネガ型感光性組成物である。かかるネガ型感光性組成物は、金属酸化物(A)、基材成分(B)としてのフェノール性水酸基を有するアルカリ可溶性樹脂、酸架橋性物質、光酸発生剤、及び有機溶剤を含有する。
ポリヒドロキシスチレン系樹脂は、ヒドロキシスチレンに由来する構成単位を少なくとも有する。
ここで「ヒドロキシスチレン」とは、ヒドロキシスチレン、及びヒドロキシスチレンのα位に結合する水素原子がハロゲン原子、アルキル基、ハロゲン化アルキル基等の他の置換基に置換されたもの、並びにそれらの誘導体のヒドロキシスチレン誘導体(モノマー)を含む概念とする。
「ヒドロキシスチレン誘導体」は、少なくともベンゼン環とこれに結合する水酸基とが維持されており、例えば、ヒドロキシスチレンのα位に結合する水素原子が、ハロゲン原子、炭素原子数1以上5以下のアルキル基、ハロゲン化アルキル基等の他の置換基に置換されたもの、並びにヒドロキシスチレンの水酸基が結合したベンゼン環に、さらに炭素原子数1以上5以下のアルキル基が結合したものや、この水酸基が結合したベンゼン環に、さらに1個以上2個以下の水酸基が結合したもの(このとき、水酸基の数の合計は2以上3以下である。)等を包含するものとする。
ハロゲン原子としては、塩素原子、フッ素原子、臭素原子等が挙げられ、フッ素原子が好ましい。
なお、「ヒドロキシスチレンのα位」とは、特に断りがない限り、ベンゼン環が結合している炭素原子のことをいう。
ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子等が挙げられ、フッ素原子が好ましい。
ハロゲン化アルキル基としては、上述した炭素原子数1以上5以下のアルキル基の水素原子の一部又は全部がハロゲン原子で置換された基である。この中でも、水素原子の全部がフッ素原子で置換されたアルキル基が好ましい。また、直鎖状又は分岐鎖状のフッ素化アルキル基が好ましく、トリフルオロメチル基、ヘキサフルオロエチル基、ヘプタフルオロプロピル基、ノナフルオロブチル基等がより好ましく、トリフルオロメチル基(−CF3)が最も好ましい。
Rb1としては、水素原子又はメチル基が好ましく、水素原子がより好ましい。
qは0以上2以下の整数である。これらの中でも0又は1であることが好ましく、工業上は特に0であることが好ましい。
Rb2の置換位置は、qが1である場合にはオルト位、メタ位、パラ位のいずれでもよく、さらに、qが2の場合には任意の置換位置を組み合わせることができる。
pは1以上3以下の整数であり、好ましくは1である。
水酸基の置換位置は、pが1である場合にはオルト位、メタ位、パラ位のいずれでもよいが、容易に入手可能で低価格であることからパラ位が好ましい。さらに、pが2又は3の場合には任意の置換位置を組み合わせることができる。
ここで「スチレンに由来する構成単位」とは、スチレン及びスチレン誘導体(但し、ヒドロキシスチレンは含まない。)のエチレン性二重結合が開裂してなる構成単位を包含すると定義される。
「スチレン誘導体」は、スチレンのα位に結合する水素原子が、ハロゲン原子、アルキル基、ハロゲン化アルキル基等の他の置換基に置換された誘導体、並びにスチレンのフェニル基の水素原子が、炭素原子数1以上5以下のアルキル基等の置換基に置換されている誘導体等を包含すると定義される。
ハロゲン原子としては、塩素原子、フッ素原子、臭素原子等が挙げられ、フッ素原子が好ましい。
なお、「スチレンのα位」とは、特に断りがない限り、ベンゼン環が結合している炭素原子のことをいう。
qは0以上2以下の整数である。これらの中でも0又は1であることが好ましく、工業上は特に0であることが好ましい。
Rb2の置換位置は、qが1である場合にはオルト位、メタ位、パラ位のいずれでもよく、さらに、qが2の場合には任意の置換位置を組み合わせることができる。
これらのフェノール類の中でも、m−クレゾール、p−クレゾールが好ましく、m−クレゾールとp−クレゾールとを併用することがより好ましい。この場合、両者の配合割合を調整することにより、感度等の諸特性を調整することができる。
これらの酸架橋性物質は、単独又は2種以上組み合わせて用いることができる。
これらの化合物は、単独又は2種以上組み合わせて用いることができる。
有機溶剤の含有量は、第3の態様の感エネルギー性組成物の固形分濃度が1質量%以上50質量%以下である量が好ましく、5質量%以上30質量%以下である量がより好ましい。
第3の態様の感エネルギー性組成物は、第1の態様の感エネルギー性組成物と同様に、必要に応じて、上記の各種添加剤を含有してもよい。
第4の態様の感光性組成物は、金属酸化物(A)とともに、エポキシ基含有ポリカルボン酸樹脂、光酸発生剤、及び有機溶剤を含有するネガ型感光性組成物である。
光酸発生剤の含有量は、第4の態様の感エネルギー性組成物の固形分に対して0.5質量%以上30質量%以下であることが好ましく、1質量%以上20質量%以下であることがより好ましい。上記の範囲とすることにより、感光性組成物の硬化性が良好になる。
有機溶剤の含有量は、第4の態様の感エネルギー性組成物の固形分濃度が1質量%以上50質量%以下となる量が好ましく、5質量%以上30質量%以下となる量がより好ましい。
第5の態様の感エネルギー性組成物は、金属酸化物(A)と、基材成分(B)としての前述の式(b−01)で表される硬化性化合物と、硬化剤とを含む硬化性組成物である。
硬化性化合物は、式(b−01)で表される化合物であり、芳香環を含む縮合多環式骨格を主骨格として有し、且つ、重合性基を有する。
感エネルギー性組成物が式(b−01)で表される化合物のような芳香環を含む化合物を含有する場合、金属酸化物(A)が感エネルギー性組成物中で良好に分散しにくい場合がある。
感エネルギー性組成物中で金属酸化物(A)の凝集等の分散不良が生じる場合、硬化物にクラックが生じる場合がある。しかし、感エネルギー性組成物が、硬化性化合物として式(b−01)で表される化合物とともに、前述の表面修飾金属酸化物微粒子を含む金属酸化物(A)を含む場合、上記のクラックの問題が生じにくい。
以下、ビニルエーテル化合物、エポキシ化合物、エピスルフィド化合物、及びラジカル重合性化合物について説明する。
式(b−01)で表される化合物とともに用いることができるビニルエーテル化合物は、ビニルオキシ基を有し、カチオン重合可能な化合物であれば特に限定されない。
式(b−01)で表される化合物と併用されるビニルエーテル化合物は、芳香族基を含んでいてもよく、芳香族基を含んでいなくてもよい。
硬化物の透明性の点からは、式(b−01)で表される化合物と併用されるビニルエーテル化合物は、芳香族基を含まない脂肪族ビニルエーテル化合物であるのが好ましい。
硬化物の耐熱分解性が良好である点からは、式(b−01)で表される化合物と併用されるビニルエーテル化合物は、芳香族基に結合するビニルオキシ基を有する化合物であるのが好ましい。
これらの、ビニルエーテル化合物は、2種以上組み合わせて用いられてもよい。
式(b−01)で表される化合物とともに用いることができるエポキシ化合物の例としては、基材成分(B)について前述した、熱硬化性材料としてのエポキシ樹脂前駆体と同様のエポキシ化合物が挙げられる。
エピスルフィド化合物の種類は、本発明の目的を阻害しない限り、特に限定されない。好ましいエピスルフィド化合物としては、前述のエポキシ化合物について、エポキシ基中の酸素原子を硫黄原子に置換した化合物が挙げられる。
ラジカル重合性化合物としては、エチレン性不飽和基を有する化合物を用いることができる。このエチレン性不飽和基を有する化合物には、単官能化合物と多官能化合物とがある。
硬化性組成物は、硬化促進の観点から硬化剤を含む。硬化剤は単独で用いても複数種を混合して用いてもよい。
上記硬化剤としては、硬化性組成物がカチオン硬化型又はアニオン硬化型である観点から、カチオン重合開始剤、又はアニオン重合開始剤であることが好ましく、カチオン重合開始剤であることがより好ましい。
好ましいカチオン重合開始剤としては、下記式(bi)で表されるアニオン部を有する含ガリウムオニウム塩や、下記式(bii)で表されるアニオン部を有する含ホウ素オニウム塩が挙げられる。
下記式(bi)で表されるアニオン部を有する含ガリウムオニウム塩と、下記式(bii)で表されるアニオン部を有する含ホウ素オニウム塩との総称として、「オニウム塩(B01)」とも記す。
カチオン重合開始剤は、硬化性の観点から、下記式(ai)で表されるアニオン部を有する含ガリウムオニウム塩及び下記式(aii)で表されるアニオン部を有する含ホウ素オニウム塩の両者をを含むのも好ましい。
(Rb09)T+1−Rb010+・・・(biv)
(式(biv)中、Rb09は、1価の有機基である。Rb010は、元素周期律表(IUPAC表記法)の15族〜17族で原子価Tの元素である。Tは1以上3以下の整数である。複数のRb09は同一でも異なっていてもよく、複数のRb09が結合してRb010とともに環を形成してもよい。)
Rb01〜Rb04としての炭化水素基の具体例としては、直鎖状又は分岐鎖状のアルキル基、直鎖状又は分岐鎖状のアルケニル基、直鎖状又は分岐鎖状のアルキニル基、芳香族炭化水素基、脂環式炭化水素基、及びアラルキル基等が挙げられる。
前述の通り、Rb01〜Rb04のうちの少なくとも1つは置換基を有してもよい芳香族基であり、Rb01〜Rb04の3つ以上が置換基を有してもよい芳香族基であることがより好ましく、Rb01〜Rb04の全てが置換基を有してもよい芳香族基であることが特に好ましい。
Rb01〜Rb04としての炭化水素基が芳香族炭化水素基である場合、当該芳香族炭化水素基は、炭素原子数1以上18以下のアルキル基、炭素原子数2以上18以下のアルケニル基、及び炭素原子数2以上18以下のアルキニル基からなる群から選択される1以上の置換基で置換されていてもよい。
Rb09としての、芳香族炭化水素基、アラルキル基、アルキル基、アルケニル基、及びアルキニル基が有してもよい置換基としては、炭素原子数1以上18以下のアルキル基、炭素原子数2以上18以下のアルケニル基、炭素原子数2以上18以下のアルキニル基、炭素原子数6以上14以下のアリール基、ニトロ基、水酸基、シアノ基、炭素原子数1以上18以下のアルコキシ基、炭素原子数6以上14以下のアリールオキシ基、炭素原子数2以上19以下の脂肪族アシル基、炭素原子数7以上15以下の芳香族アシル基、炭素原子数2以上19以下の脂肪族アシルオキシ基、炭素原子数7以上15以下の芳香族アシルオキシ基、炭素原子数1以上18以下のアルキルチオ基、炭素原子数6以上14以下のアリールチオ基、窒素原子に結合する1又は2の水素原子が炭素原子数1以上18以下の炭化水素基で置換されていてもよいアミノ基、及びハロゲン原子が挙げられる。
これらの置換基の好適な例は、式(bi)中のRb01〜Rb04としての炭化水素基、又は複素環基が有していてもよい置換基の好適な例と同様である。
Rb010は、有機基Rb09と結合してオニウムイオン[Rb010+]を形成する。元素周期律表(IUPAC表記法)の15族〜17族の元素のうち、Ra10として好ましい元素は、O(酸素)、N(窒素)、P(リン)、S(硫黄)、又はI(ヨウ素)である。対応するオニウムイオンとしては、オキソニウムイオン、アンモニウムイオン、ホスホニウムイオン、スルホニウムイオン、及びヨードニウムイオンである。中でも、安定で取り扱いが容易な、アンモニウムイオン、ホスホニウムイオン、スルホニウムイオン、及びヨードニウムイオンが好ましく、カチオン重合性能や架橋反応性能に優れる点で、スルホニウムイオン、及びヨードニウムイオンがより好ましい。
テトラキス(4−ノナフルオロビフェニル)ガリウムアニオン、
テトラキス(1−ヘプタフルオロナフチル)ガリウムアニオン、
テトラキス(ペンタフルオロフェニル)ガリウムアニオン、
テトラキス(3,4,5−トリフルオロフェニル)ガリウムアニオン、
テトラキス(2−ノナフェニルビフェニル)ガリウムアニオン、
テトラキス(2−ヘプタフルオロナフチル)ガリウムアニオン、
テトラキス(7−ノナフルオロアントリル)ガリウムアニオン、
テトラキス(4’−(メトキシ)オクタフルオロビフェニル)ガリウムアニオン、
テトラキス(2,4,6−トリス(トリフルオロメチル)フェニル)ガリウムアニオン、
テトラキス(3,5−ビス(トリフルオロメチル)フェニル)ガリウムアニオン、
テトラキス(2,3−ビス(ペンタフルオロエチル)ナフチル)ガリウムアニオン、
テトラキス(2−イソプロポキシ−ヘキサフルオロナフチル)ガリウムアニオン、
テトラキス(9,10−ビス(ヘプタフルオロプロピル)ヘプタフルオロアントリル)ガリウムアニオン、
テトラキス(9−ノナフルオロフェナントリル)ガリウムアニオン、
テトラキス(4−[トリ(イソプロピル)シリル]−テトラフルオロフェニル)ガリウムアニオン、
テトラキス(9,10−ビス(p−トリル)−ヘプタフルオロフェナントリル)ガリウムアニオン、
テトラキス(4−[ジメチル(tert−ブチル)シリル]−テトラフルオロフェニル)ガリウムアニオン、
モノフェニルトリス(ペンタフルオロフェニル)ガリウムアニオン、及び
モノパーフルオロブチルトリス(ペンタフルオロフェニル)ガリウムアニオン等が挙げられ、より好ましくは、以下のアニオンが挙げられる。
テトラキス(4−ノナフルオロビフェニル)ホウ素アニオン、
テトラキス(1−ヘプタフルオロナフチル)ホウ素アニオン、
テトラキス(ペンタフルオロフェニル)ホウ素アニオン、
テトラキス(3,4,5−トリフルオロフェニル)ホウ素アニオン、
テトラキス(2−ノナフェニルビフェニル)ホウ素アニオン、
テトラキス(2−ヘプタフルオロナフチル)ホウ素アニオン、
テトラキス(7−ノナフルオロアントリル)ホウ素アニオン、
テトラキス(4’−(メトキシ)オクタフルオロビフェニル)ホウ素アニオン、
テトラキス(2,4,6−トリス(トリフルオロメチル)フェニル)ホウ素アニオン、
テトラキス(3,5−ビス(トリフルオロメチル)フェニル)ホウ素アニオン、
テトラキス(2,3−ビス(ペンタフルオロエチル)ナフチル)ホウ素アニオン、
テトラキス(2−イソプロポキシ−ヘキサフルオロナフチル)ホウ素アニオン、
テトラキス(9,10−ビス(ヘプタフルオロプロピル)ヘプタフルオロアントリル)ホウ素アニオン、
テトラキス(9−ノナフルオロフェナントリル)ホウ素アニオン、
テトラキス(4−[トリ(イソプロピル)シリル]−テトラフルオロフェニル)ホウ素アニオン、
テトラキス(9,10−ビス(p−トリル)−ヘプタフルオロフェナントリル)ホウ素アニオン、
テトラキス(4−[ジメチル(tert−ブチル)シリル]−テトラフルオロフェニル)ホウ素アニオン、
モノフェニルトリス(ペンタフルオロフェニル)ホウ素アニオン、及び
モノパーフルオロブチルトリス(ペンタフルオロフェニル)ホウ素アニオン等が挙げられ、より好ましくは、以下のアニオンが挙げられる。
4−イソプロピルフェニル(p−トリル)ヨードニウム、
4−イソブチルフェニル(p−トリル)ヨードニウム等のヨードニウムイオン;
[4−(2−チオキサントニルチオ)フェニル]ジフェニルスルホニウム、
2−[(ジ−p−トリル)スルホニオ]チオキサントン、
2−[(ジフェニル)スルホニオ]チオキサントン、
4−(9−オキソ−9H−チオキサンテン−2−イル)チオフェニル−9−オキソ−9H−チオキサンテン−2−イルフェニルスルホニウム等のチオキサントン骨格含有スルホニウムイオン;
後述の式(biii)で表されるカチオン部;
後述の式(c01)で表されるカチオン部;
その他、以下に示すスルホニウムイオン;が挙げられる。
Dは、有機基RB01、及びRB02で置換されてもよいベンジル基と結合してオニウムイオンを形成する。元素周期律表(IUPAC表記法)の15族〜17族の元素のうち好ましいのは、S(硫黄)、N(窒素)、I(ヨウ素)、P(リン)である。対応するオニウムイオンとしては、スルホニウムイオン、アンモニウムイオン、ヨードニウムイオン、及びホスホニウムイオンであり、これらは、安定で取り扱いが容易なため好ましい。カチオン重合性能や架橋反応性能に優れる点で、スルホニウムイオン、及びヨードニウムイオンがより好ましい。
かかる範囲内の量のカチオン重合開始剤を用いることにより、屈折率及び黄変耐性に優れ、耐熱性(耐熱分解性)及び基板への密着性も良好である金属酸化物含有膜を形成しやすい。
カチオン重合開始剤は、オニウム塩(B01)とは異なる他のカチオン重合開始剤(B02)(以下、単に「他のカチオン重合開始剤(B02)」ともいう。)を、オニウム塩(B01)とともに、又は単独で含んでいてもいなくてもよい。
硬化性組成物は、オニウム塩(B01)とともに、他のカチオン重合開始剤(B02)を含むことにより、屈折率及び黄変耐性に優れ、耐熱性(耐熱分解性)及び基板への密着性も良好である金属酸化物含有膜を形成しやすい。
熱カチオン重合開始剤(B02−1)としては、例えば、ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロアルセナート、ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロホスファート、ジフェニルヨードニウムトリフルオロメタンスルホナート、トリフェニルスルホニウムテトラフルオロボラート、トリ−p−トリルスルホニウムヘキサフルオロホスファート、トリ−p−トリルスルホニウムトリフルオロメタンスルホナート、ビス(シクロヘキシルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(tert−ブチルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(p−トルエンスルホニル)ジアゾメタン、トリフェニルスルホニウムトリフルオロメタンスルホナート、ジフェニル−4−メチルフェニルスルホニウムトリフルオロメタンスルホナート、ジフェニル−2,4,6−トリメチルフェニルスルホニウム−p−トルエンスルホナート、及びジフェニル−p−フェニルチオフェニルスルホニウムヘキサフルオロホスファート等が挙げられる。これらは2種以上組み合わせて使用されてもよい。
かかる範囲内の量の熱カチオン重合開始剤を用いることにより、耐熱性(耐熱分解性)と、基板等への密着性とが良好である金属酸化物含有膜を形成でき、硬化性が良好である硬化性組成物を得やすい。
光カチオン重合開始剤(B02−2)としては、カチオン重合性の硬化性組成物を光硬化させるために使用されているオニウム塩(B01)以外の重合開始剤を特に制限なく用いることができる。光カチオン重合開始剤(B02−2)の好適な例としては、ヨードニウム塩と、スルホニウム塩とが挙げられる。
硬化性組成物が、スルホニウム塩(Q)を含む場合、硬化性組成物の硬化を特に良好に進行させやすい。
以下、スルホニウム塩(Q)について説明する。スルホニウム塩(Q)は、上記式(c01)中のベンゼン環において、Ac1が結合する炭素原子に対してオルト位の炭素原子にメチル基が結合していることを特徴とする。スルホニウム塩(Q)は、上記の位置にメチル基を有するため、従来のスルホニウム塩と比較して、プロトンを発生しやすく、紫外線等の活性エネルギー線に対する感度が高い。
上記式(c01)において、Rc11及びRc12が相互に結合して式中の硫黄原子とともに環を形成する場合、形成される環の環構成原子数は、硫黄原子を含めて3以上10以下が好ましく、5以上7以下がより好ましい。形成される環は多環でもよく、5〜7員環が縮合したものであることが好ましい。
上記式(c01)において、Rc11及びRc12が、ともにフェニル基であるのが好ましい。
上記式(c01)において、Rc13は上記式(c03)で表される基であることが好ましい。
上記式(c01)において、Ac1は、S又はOであることが好ましく、Sであることがより好ましい。
上記式(c02)において、m1は、環Zc1の種類に応じて選択でき、例えば、0以上4以下の整数、好ましくは0以上3以下の整数、より好ましくは0以上2以下の整数であってもよい。
上記式(c03)において、Rc16は、アルキル基;ヒドロキシ基、置換されていてもよいアミノ基、若しくはニトロ基で置換されたアルキル基;又は上記式(c06)で表される基であることが好ましく、上記式(c06)で表される基であることがより好ましい。
上記式(c03)において、Ac2はS又はOであることが好ましく、Sであることがより好ましい。
上記式(c03)において、m2は0であることが好ましい。
上記式(c04)において、Rc19及びRc20のいずれもが上記式(c02)で表される基であることが好ましい。Rc19及びRc20は互いに同一でも異なっていてもよい。
上記式(c04)において、Rc19及びRc20が相互に結合して式中の硫黄原子とともに環を形成する場合、形成される環の環構成原子数は、硫黄原子を含めて3以上10以下が好ましく、5以上7以下がより好ましい。形成される環は多環でもよく、5〜7員環が縮合したものであることが好ましい。
上記式(c04)において、Ac3は、S又はOであることが好ましく、Sであることがより好ましい。
上記式(c04)において、m3は0であることが好ましい。
上記式(c05)において、m4は、環Zc2の種類に応じて選択でき、例えば、0以上4以下の整数、好ましくは0以上3以下の整数、より好ましくは0以上2以下の整数であってもよい。
上記式(c06)において、m5は、環Zc3の種類に応じて選択でき、例えば、0以上4以下の整数、好ましくは0以上3以下の整数、より好ましくは0以上2以下の整数であってもよい。
Yはハロゲン原子(フッ素原子が好ましい。)を表す。
また、Rx1で表されるアルキル基、フルオロアルキル基又はアリール基における炭素鎖は、酸素原子、窒素原子、硫黄原子等のヘテロ原子を有していてもよい。特に、Rx2で表されるアルキル基又はフルオロアルキル基における炭素鎖は、2価の官能基(例えば、エーテル結合、カルボニル結合、エステル結合、アミノ結合、アミド結合、イミド結合、スルホニル結合、スルホニルアミド結合、スルホニルイミド結合、ウレタン結合等)を有していてもよい。
Rx1で表されるアルキル基、フルオロアルキル基又はアリール基が上記置換基、ヘテロ原子、又は官能基を有する場合、上記置換基、ヘテロ原子、又は官能基の個数は、1個であっても2個以上であってもよい。
a0は4以上6以下の整数を表す。
b0は、1以上5以下の整数が好ましく、さらに好ましくは2以上4以下の整数、特に好ましくは2又は3である。
他のカチオン重合開始剤(B02)におけるスルホニウム塩(Q)の含有量は特に限定されないが、典型的には、70質量%以上が好ましく、80質量%以上がより好ましく、90質量%以上が特に好ましく、100質量%が最も好ましい。
前述のオニウム塩(B01)及びスルホニウム塩(Q)以外の光カチオン重合開始剤としては、従来からカチオン重合用に使用されている種々のカチオン重合開始剤を特に制限なく使用することができる。
前述のオニウム塩(B01)及びスルホニウム塩(Q)以外の光カチオン重合開始剤としては、前述の通り、ヨードニウム塩やスルホニウム塩等のオニウム塩が好ましく、スルホニウム塩(Q)以外のその他のスルホニウム塩がより好ましい。
第5の態様の感エネルギー性組成物において、硬化性化合物が不飽和二重結合を含むラジカル重合性化合物を含む場合、ラジカル重合開始剤としては、特に限定されず、不飽和二重結合を含むラジカル重合性化合物を重合させるために、従来から用いられている、従来公知の光重合開始剤を用いることができる。かかるラジカル重合開始剤としては、第1の態様の感エネルギー組成物について説明した光重合開始剤を好適に用いることができる。
これらの増感剤は、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
なお、上記の粘度は、E型粘度計を用いて25℃で測定される粘度である。
例えば、上記の硬化性組成物を用いる場合、屈折率が1.70以上、好ましくは1.72以上、さらに好ましく1.75以上、さらにより好ましくは1.80以上、最も好ましくは1.80以上の硬化物を形成することができる。
硬化性組成物は、タッチパネル等の表示素子における、金属配線等を被覆する透明被膜の形成用に特に好ましく使用される。
上記の硬化性組成物を用いて、透明被膜を形成すると、透明被膜が高屈折率であることによって、金属配線を視認しにくくできる。
例えば、上記の硬化性組成物の硬化物からなる厚さ50nmのフィルムを、半径6mm、好ましくは半径2mmの円柱状のステンレス棒に巻き付けた場合に、割れが生じにくい。
第6の態様の感エネルギー性組成物は、金属酸化物(A)及び基材成分(B)とともに融点140℃以下のイオン液体を含むカチオン硬化型又はアニオン硬化型の硬化性組成物である。
硬化性組成物が上記のイオン液体を含むことにより、硬化性組成物中において、カチオン重合であるかアニオン重合であるかの依存性低く、均一に硬化反応を促進することができ、その結果、屈折率及び黄変耐性(特に黄変耐性)に優れ、また、耐熱性及び基板への密着性も良好である金属酸化物含有膜を形成することができる。
以下、硬化性組成物が含む、必須、又は任意の成分について説明する。
硬化性組成物は、屈折率及び黄変耐性の観点、また、耐熱性及び基板への密着性の観点から、N、O、S及びSiよりなる群から選択される少なくとも1種の元素を含む官能基を有する硬化性化合物を含むことが好ましい。
硬化性化合物は、高屈折率の観点から、N、S及びOよりなる群から選択される少なくとも1種の元素を含む官能基を有することが好ましく、N及びSよりなる群から選択される少なくとも1種の元素を含む官能基を有することがより好ましい。
Oを含む官能基を有する硬化性化合物としては、前述の式(b−01)で表される化合物、エポキシ樹脂前駆体として前述のエポキシ化合物等が挙げられる。
Sを含む官能基を有する硬化性化合物としては、前述の式(b−01)で表される化合物、ポリエーテルスルホン(PES)、ポリスルホン、ポリフェニルスルホン等が挙げられる。
Siを含む官能基を有する硬化性化合物としては、シロキサン結合(Si−O−Si)により構成されたシロキサン骨格を有するシロキサン化合物等が挙げられる。シロキサン化合物におけるシロキサン骨格としては、例えば、環状シロキサン骨格やかご型やラダー型のポリシルセスキオキサン骨格を挙げることができる。
上記芳香族基としては、屈折率及び黄変耐性の観点、また、耐熱性及び基板への密着性の観点から、カルド構造を形成する芳香族基であることが好ましい。
エピスルフィド化合物の種類は、本発明の目的を阻害しない限り、特に限定されない。好ましいエピスルフィド化合物としては、前述のエポキシ化合物について、エポキシ基中の酸素原子を硫黄原子に置換した化合物が挙げられる。
硬化性化合物は、ビニルオキシ基を含むビニルエーテル化合物を含んでいても含んでいなくてもよい。
ビニルエーテル化合物は、ビニルオキシ基を有し、カチオン重合可能な化合物であれば特に限定されない。
ビニルエーテル化合物は、芳香族基を含んでいてもよく、芳香族基を含んでいなくてもよい。
硬化物の耐熱分解性が良好である点からは、ビニルエーテル化合物は、芳香族基に結合するビニルオキシ基を有する化合物であるのが好ましい。
これらの、ビニルエーテル化合物は、2種以上組み合わせて用いられてもよい。
トリアジン環構造を有する重合体は、以上説明した他の硬化性化合物と混合して用いることが好ましい。
上記したトリアジン環構造を有する重合体(以下単に「トリアジン環含有重合体」ともいう。)の例としては、下記式(t1)〜(t16)で示されるものが挙げられる。
重量平均分子量(Mw)は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(以下、GPCという)分析による標準ポリスチレン換算で得られる平均分子量である。
アルコキシカルボニル基の具体例としては、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、tert−ブトキシカルボニル基等が挙げられる。
アラルキルオキシカルボニル基の具体例としては、ベンジルオキシカルボニル基等が挙げられる。
アリールオキシカルボニル基の具体例としては、フェノキシカルボニル基等が挙げられる。
これらの中でも、末端封止基としてはアシル基が好ましく、試薬の入手容易性等を考慮するとアクリロイル基、メタクリロイル基、アセチル基がより好ましい。
この場合、末端封止剤の使用量は、重合反応に使われなかった余剰のジアミノ化合物由来のアミノ基1当量に対し、0.05当量以上10当量以下程度が好ましく、0.1当量以上5当量以下がより好ましく、0.5当量以上2当量以下がより一層好ましい。
硬化性組成物における硬化性化合物の含有量は、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されない。硬化性組成物における硬化性化合物の含有量は、硬化性組成物の固形分全体を100質量部としたときに、60質量部以上99.9質量部以下が好ましく、75質量部以上99.5質量部以下がより好ましく、90質量部以上99質量部以下が特に好ましい。
硬化性組成物は、硬化剤を含むのが好ましい。硬化剤としては、第5の態様の感エネルギー性組成物について説明した硬化剤と同様の硬化剤を用いることができる。
また、オニウム塩(B01)の含有量は、スルホニウム塩(B01)、及び後述する他のカチオン重合開始剤(B02)の総量に対して10質量%以上が好ましく、50質量%以上がより好ましく、70質量%以上がさらにより好ましく、90質量%以上が特に好ましく、100質量%が最も好ましい。
かかる範囲内の量のカチオン重合開始剤を用いることにより、屈折率及び黄変耐性に優れ、耐熱性(耐熱分解性)及び基板への密着性も良好である金属酸化物含有膜を形成しやすい。
例えば、前述のエポキシ化合物を、アニオン重合開始剤とともに硬化性組成物に配合する場合、アニオン硬化型の硬化性組成物が得られる。
光によるアニオン重合開始剤としては、特に限定されるものではないが、例えば、トリフェニルメタノール、ベンジルカルバメート及びベンゾインカルバメート等の光活性なカルバメート;O−カルバモイルヒドロキシルアミド、O−カルバモイルオキシム、アロマティックスルホンアミド、アルファーラクタム及びN−(2−アリルエチニル)アミド等のアミド並びにその他のアミド;オキシムエステル化合物、α−アミノアセトフェノン、コバルト錯体等を挙げることができる。このうち、2−ニトロベンジルシクロヘキシルカルバメート、トリフェニルメタノール、o−カルバモイルヒドロキシルアミド、o−カルバモイルオキシム、[[(2,6−ジニトロベンジル)オキシ]カルボニル]シクロヘキシルアミン、ビス[[(2−ニトロベンジル)オキシ]カルボニル]ヘキサン1,6−ジアミン、4−(メチルチオベンゾイル)−1−メチル−1−モルホリノエタン、(4−モルホリノベンゾイル)−1−ベンジル−1−ジメチルアミノプロパン、N−(2−ニトロベンジルオキシカルボニル)ピロリジン、ヘキサアンミンコバルト(III)トリス(トリフェニルメチルボレート)、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタノン等が好ましいものとして挙げられる。
上記以外の好適な例としては、式(d2)又は(d3)で表される化合物等の、光(及び/又は熱)の作用により分解してイミダゾール化合物を発生する化合物が挙げられる。
熱によるアニオン重合開始剤としては、従来から使用されている化合物を特に限定なく用いることができ、例えば、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1−オンその他、アミン−エポキシアダクト系熱アニオン重合開始剤、アミン−イソシアネート系化合物からなる熱塩基発生剤、又はジシアンジアミド類、ヒドラジン類、若しくは芳香族ジアミン類等のアニオン重合型硬化剤、又は異なる種類の硬化剤からなる複合系のアニオン重合型硬化剤等が挙げられる。アミン−エポキシアダクト系熱アニオン重合開始剤としては、例えば、「アミキュアPN−23」、「アミキュアPN−40」、アミキュアPN−50」、「アミキュアPN−H」(いずれも味の素ファインテクノ社の商品名)、「ハードナーX−3661S」(エー・シー・アール社の商品名)、「ハードナーX−3670S」(エー・シー・アール社の商品名)、「ノバキュアHX−3742」(旭化成社の商品名)、「ノバキュアHX−3721」(旭化成社の商品名)等が挙げられ、また、アミン−イソシアネート系化合物からなる熱塩基発生剤としては、例えば、「フジキュアFXE−1000」(富士化成社の商品名)、「フジキュアFXR−1030」(富士化成社の商品名)等が挙げられる。なお、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1−オンは光の作用によってもアニオン重合開始剤として機能し得る。
イオン液体は、140℃以下の温度領域で融解しうる塩であり、140℃以下で液体となる安定な塩であることが好ましい。
イオン液体の融点としては、本発明の効果をより確実に達成する観点及び塗工性の観点等から、120℃以下であることが好ましく、100℃以下であることがより好ましく、80℃以下であることがさらに好ましい。
硬化性組成物が溶剤を含む場合、本発明の効果をより確実に達成する観点、塗工性及び異物抑制の観点等から、室温(25℃)での当該硬化性組成物中に含まれている溶剤に対するイオン液体の溶解性が、70質量%以上であることが好ましく、より好ましくは80質量%以上であり、特に好ましくは90質量%以上である。
イオン液体は塩であることによりイオン導電性がよく、融点140℃以下で液体であることにより硬化性組成物中に均一に拡散し得る。また、熱分解温度も比較的高い。よって、硬化性組成物中において、カチオン重合であるかアニオン重合であるかの依存性低く、均一に硬化反応を促進することができ、その結果、屈折率及び黄変耐性(特に黄変耐性)に優れ、また、耐熱性及び基板への密着性も良好である金属酸化物含有膜を形成することができる。
イオン液体は、窒素含有有機カチオン、リン含有有機カチオン、又は硫黄含有有機カチオンと、対アニオンとからなるのが好ましく、窒素含有有機カチオン、又はリン含有有機カチオンと、対アニオンとからなるのがより好ましい。
上記ピペリジニウムカチオンの具体例としては下記式(L2)で表されるピペリジニウムカチオンが挙げられる。具体的には、例えば、1−プロピルピペリジニウムカチオン、1−ペンチルピペリジニウムカチオン、1,1−ジメチルピペリジニウムカチオン、1−メチル−1−エチルピペリジニウムカチオン、1−メチル−1−プロピルピペリジニウムカチオン、1−メチル−1−ブチルピペリジニウムカチオン、1−メチル−1−ペンチルピペリジニウムカチオン、1−メチル−1−ヘキシルピペリジニウムカチオン、1−メチル−1−ヘプチルピペリジニウムカチオン、1−エチル−1−プロピルピペリジニウムカチオン、1−エチル−1−ブチルピペリジニウムカチオン、1−エチル−1−ペンチルピペリジニウムカチオン、1−エチル−1−ヘキシルピペリジニウムカチオン、1−エチル−1−ヘプチルピペリジニウムカチオン、1,1−ジプロピルピペリジニウムカチオン、1−プロピル−1−ブチルピペリジニウムカチオン、1,1−ジブチルピペリジニウムカチオン等が挙げられる。
上記ピリミジニウムカチオンの具体例としては、例えば、1,3−ジメチル−1,4,5,6−テトラヒドロピリミジニウムカチオン、1,2,3−トリメチル−1,4,5,6−テトラヒドロピリミジニウムカチオン、1,2,3,4−テトラメチル−1,4,5,6−テトラヒドロピリミジニウムカチオン、1,2,3,5−テトラメチル−1,4,5,6−テトラヒドロピリミジニウムカチオン、1,3−ジメチル−1,4−ジヒドロピリミジニウムカチオン、1,3−ジメチル−1,6−ジヒドロピリミジニウムカチオン、1,2,3−トリメチル−1,4−ジヒドロピリミジニウムカチオン、1,2,3−トリメチル−1,6−ジヒドロピリミジニウムカチオン、1,2,3,4−テトラメチル−1,4−ジヒドロピリミジニウムカチオン、1,2,3,4−テトラメチル−1,6−ジヒドロピリミジニウムカチオン等が挙げられる。
上記イミダゾリウムカチオンの具体例としては下記式(L5)で表されるイミダゾリウムカチオンが挙げられ、より具体的には、例えば、1,3−ジメチルイミダゾリウムカチオン、1,3−ジエチルイミダゾリウムカチオン、1−エチル−3−メチルイミダゾリウムカチオン、1−プロピル−3−メチルイミダゾリウムカチオン、1−ブチル−3−メチルイミダゾリウムカチオン、1−ヘキシル−3−メチルイミダゾリウムカチオン、1−オクチル−3−メチルイミダゾリウムカチオン、1−デシル−3−メチルイミダゾリウムカチオン、1−ドデシル−3−メチルイミダゾリウムカチオン、1−テトラデシル−3−メチルイミダゾリウムカチオン、1,2−ジメチル−3−プロピルイミダゾリウムカチオン、1−エチル−2,3−ジメチルイミダゾリウムカチオン、1−ブチル−2,3−ジメチルイミダゾリウムカチオン、1−ヘキシル−2,3−ジメチルイミダゾリウムカチオン等が挙げられる。
上記ピリジニウムカチオンの具体例としては下記式(L6)で表されるピリジニウムカチオンが挙げられ、より具体的には、例えば、1−エチルピリジニウムカチオン、1−ブチルピリジニウムカチオン、1−ヘキシルピリジニウムカチオン、1−ブチル−3−メチルピリジニウムカチオン、1−ブチル−4−メチルピリジニウムカチオン、1−ヘキシル−3−メチルピリジニウムカチオン、1−ブチル−3,4−ジメチルピリジニウムカチオン等が挙げられる。
上記スルホニウムカチオンの具体例としては、トリエチルスルホニウムカチオン、ジメチルエチルスルホニウムカチオン、トリエチルスルホニウムカチオン、エチルメチルプロピルスルホニウムカチオン、ブチルジメチルスルホニウムカチオン、1‐メチルテトラヒドロチオフェニウムオン、1‐エチルテトラヒドロチオフェニウムカチオン、1−プロピルテトラヒドロチオフェニウムカチオン、1−ブチルテトラヒドロチオフェニウムカチオン、又は1−メチル−[1,4]‐チオキソニウムカチオン等が挙げられる。中でも、上記スルホニウムカチオンとしては、テトラヒドロチオフェニウム系又はヘキサヒドロチオピリリウム系の5員環又は6員環等の環状構造を有しているスルホニウムカチオンが好ましく、環状構造中に酸素原子等のヘテロ原子を有していてもよい。
式(L5)中、RL1〜RL4は、各々独立に、炭素原子数が1以上20以下のアルキル基、RL7−O−(CH2)Ln−で表わされるアルコキシアルキル基(RL7は、メチル基、又はエチル基を示し、Lnは1以上4以下の整数を表す。)、又は水素原子である。
式(L6)中、RL1〜RL6は、各々独立に、炭素原子数が1〜20のアルキル基、RL7−O−(CH2)Ln−で表わされるアルコキシアルキル基(RL7は、メチル基、又はエチル基を示し、Lnは1以上4以下の整数を表す)、水素原子である。
有機アニオンとして、カルボン酸系アニオン、N−アシルアミノ酸イオン、酸性アミノ酸アニオン、中性アミノ酸アニオン、アルキル硫酸系アニオン、含フッ素化合物系アニオン及びフェノール系アニオンからなる群より選択される少なくとも1種であることが好ましく、カルボン酸系アニオン又はN−アシルアミノ酸イオンであることがより好ましい。
上記N−アシルアミノ酸イオンの具体例としては、N−ベンゾイルアラニンイオン、N−アセチルフェニルアラニンイオン、アスパラギン酸イオン、グリシンイオン、N−アセチルグリシンイオン等が挙げられ、中でも、N−ベンゾイルアラニンイオン、N−アセチルフェニルアラニンイオン、N−アセチルグリシンイオンが好ましく、N−アセチルグリシンイオンがより好ましい。
上記アルキル硫酸系アニオンの具体例としては、メタンスルホン酸イオン等が挙げられ、上記含フッ素化合物系アニオンの具体例としては、トリフルオロメタンスルホン酸イオン、ヘキサフルオロホスホン酸イオン、トリフルオロトリス(ペンタフルオロエチル)ホスホン酸イオン、ビス(フルオロアルキルスルホニル)イミドイオン(例えば、ビス(トリフルオロメタンスルホニル)イミドイオン)、トリフルオロ酢酸イオン、テトラフルオロホウ酸イオン等が挙げられ、上記フェノール系アニオンの具体例としては、フェノールイオン、2−メトキシフェノールイオン、2,6−ジ−tert−ブチルフェノールイオン等が挙げられる。
イオン液体は単独で用いても2種以上混合して用いてもよい。
イオン液体の含有量としては、本発明の効果を達成し得る限り特に制限はないが、硬化性化合物100質量部に対して、0.0001質量部以上1質量部以下であることが好ましく、0.001質量部以上1質量部以下であることがより好ましく、0.002質量部以上0.1質量部以下であることがさらに好ましく、0.003質量部以上0.07質量部以下であることが特に好ましい。
硬化性組成物は、硬化促進剤を含んでいてもよい。硬化性組成物が硬化促進剤を含む場合、屈折率及び黄変耐性の両立とともに、硬化性組成物の硬化性を向上させ、耐熱性(耐熱分解性)と、基板への密着性とが特に良好である金属酸化物含有膜を形成できる。
硬化性組成物は、増感剤を含んでいてもよい。硬化性組成物がカチオン重合開始剤を含み、カチオン重合開始剤がスルホニウムカチオン及び/又はヨードニウムカチオンを含む場合、硬化性組成物が増感剤を含むのが好ましい。増感剤としては、従来より種々のカチオン重合開始剤と併用されている公知の増感剤を特に制限なく用いることができる。
増感剤の好適な例は、第5の態様の感エネルギー性組成物について説明した増感剤と同様である。増感剤は、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
硬化性組成物は、酸化防止剤を含んでいても含んでいなくてもよいが、黄変耐性の観点から、酸化防止剤を含んでいることが好ましい。
酸化防止剤としては、フェノール化合物、亜リン酸エステル化合物、チオエーテル化合物等が挙げられ、分子量500以上のフェノール化合物、分子量500以上の亜リン酸エステル化合物又は分子量500以上のチオエーテル化合物がより好ましい。また、酸化防止剤は、フェノール化合物が好ましく、分子量500以上のフェノール化合物がより好ましい。
硬化性組成物には、必要に応じて、界面活性剤、熱重合禁止剤、消泡剤、シランカップリング剤、着色剤(顔料、染料)、樹脂(熱可塑性樹脂、アルカリ可溶性樹脂等)、有機フィラー等の添加剤を含有させることができる。いずれの添加剤も、従来公知のものを用いることができる。
硬化性組成物は、塗布性や粘度の調整の目的で、溶剤を含むことが好ましい。溶剤としては、典型的には有機溶剤が用いられる。有機溶剤の種類は、硬化性組成物に含まれる成分を、均一に溶解又は分散させることができれば特に限定されない。
以上説明した第6の態様の感エネルギー性組成物としての硬化性組成物を硬化してなる金属酸化物含有膜は、屈折率及び黄変耐性に優れ、また、耐熱性及び基板への密着性も良好である。
硬化膜の厚さとしては、特に制限はないが、10nm以上50μm以下であることが好ましく、50nm以上30μm以下であることがより好ましく、100nm以上10μm以下であることがさらに好ましく、300nm以上5μm以下であることが特に好ましい。
該硬化膜は、例えば、OLED表示素子用封止材、OLED照明、ハードコート、絶縁膜、反射防止膜、層間絶縁膜、カーボンハードマスク、ディスプレイパネル材料(平坦化膜、カラーフィルタの画素、有機EL用隔壁、スペーサ)、光学部材(レンズ、マイクロレンズ、ウェハレベルレンズ、光ファイバー、光導波路、プリズムシート、ホログラム、高屈折フィルム、再帰反射フィルム)等の種々の用途に好適である。また、硬化膜は柔軟性に優れ割れにくいため、フレキシブル表示パネルやフレキシブル照明において好適に用いられる。
また、硬化膜は、タッチパネル等の表示素子において、金属配線等を被覆する透明被膜として特に好ましく使用される。
前述の通り、焼成により硬化膜を生成させる樹脂も、基材成分(B)としての前駆体樹脂として好ましい。焼成により硬化膜を生成させる樹脂としては、例えば、ケイ素含有樹脂が挙げられる。ケイ素含有樹脂の好ましい例としては、シロキサン樹脂、及びポリシランから選択される1種以上が挙げられる。これらのケイ素含有樹脂を含む金属酸化物微粒子分散液を塗布することでケイ素含有樹脂を含む金属酸化物含有膜が得られる。当該金属酸化物含有膜が焼成されることでシリカ系の金属酸化物含有膜が得られる。
以下、シロキサン樹脂、及びポリシランとについて説明する。
シロキサン樹脂について、後述する溶剤に可溶である樹脂であれば、特に制限はない。
シロキサン樹脂としては、例えば下式(C−a)で表されるシラン化合物から選択される少なくとも1種を加水分解縮合して得られるシロキサン樹脂が好適に使用される。
RY0 (4−n0)Si(OR’)n0・・・(C−a)
式(C−a)におけるn0が4の場合のシラン化合物(i)は下式(C−b)で表される。
Si(ORY1)a1(ORY2)b1(ORY3)c1(ORY4)d1・・・(C−b)
RY5Si(ORY6)e1(ORY7)f1(ORY8)g1・・・(C−c)
RY9RY10Si(ORY11)h1(ORY12)i1・・・(C−d)
トリメトキシシラン、トリエトキシシラン、トリプロポキシシラン、トリペンチルオキシシラン、トリフェニルオキシシラン、ジメトキシモノエトキシシラン、ジエトキシモノメトキシシラン、ジプロポキシモノメトキシシラン、ジプロポキシモノエトキシシラン、ジペンチルオキシルモノメトキシシラン、ジペンチルオキシモノエトキシシラン、ジペンチルオキシモノプロポキシシラン、ジフェニルオキシルモノメトキシシラン、ジフェニルオキシモノエトキシシラン、ジフェニルオキシモノプロポキシシラン、メトキシエトキシプロポキシシラン、モノプロポキシジメトキシシラン、モノプロポキシジエトキシシラン、モノブトキシジメトキシシラン、モノペンチルオキシジエトキシシラン、及びモノフェニルオキシジエトキシシラン等のヒドロシラン化合物;
メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、メチルトリプロポキシシラン、メチルトリペンチルオキシシラン、メチルトリフェニルオキシシラン、メチルモノメトキシジエトキシシラン、メチルモノメトキシジプロポキシシラン、メチルモノメトキシジペンチルオキシシラン、メチルモノメトキシジフェニルオキシシラン、メチルメトキシエトキシプロポキシシラン、及びメチルモノメトキシモノエトキシモノブトキシシラン等のメチルシラン化合物;
エチルトリメトキシシラン、エチルトリエトキシシラン、エチルトリプロポキシシラン、エチルトリペンチルオキシシラン、エチルトリフェニルオキシシラン、エチルモノメトキシジエトキシシラン、エチルモノメトキシジプロポキシシラン、エチルモノメトキシジペンチルオキシシラン、エチルモノメトキシジフェニルオキシシラン、エチルメトキシエトキシプロポキシシラン、及びエチルモノメトキシモノエトキシモノブトキシシラン等のエチルシラン化合物;
プロピルトリメトキシシラン、プロピルトリエトキシシラン、プロピルトリプロポキシシラン、プロピルトリペンチルオキシシラン、及びプロピルトリフェニルオキシシラン、プロピルモノメトキシジエトキシシラン、プロピルモノメトキシジプロポキシシラン、プロピルモノメトキシジペンチルオキシシラン、プロピルモノメトキシジフェニルオキシシラン、プロピルメトキシエトキシプロポキシシラン、及びプロピルモノメトキシモノエトキシモノブトキシシラン、等のプロピルシラン化合物;
ブチルトリメトキシシラン、ブチルトリエトキシシラン、ブチルトリプロポキシシラン、ブチルトリペンチルオキシシラン、ブチルトリフェニルオキシシラン、ブチルモノメトキシジエトキシシラン、ブチルモノメトキシジブロポキシシラン、ブチルモノメトキシジペンチルオキシシラン、ブチルモノメトキシジフェニルオキシシラン、ブチルメトキシエトキシプロポキシシラン、及びブチルモノメトキシモノエトキシモノブトキシシラン等のブチルシラン化合物;
フェニルトリメトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン、フェニルトリプロポキシシラン、フェニルトリペンチルオキシシラン、フェニルトリフェニルオキシシラン、フェニルモノメトキシジエトキシシラン、フェニルモノメトキシジプロポキシシラン、フェニルモノメトキシジペンチルオキシシラン、フェニルモノメトキシジフェニルオキシシラン、フェニルメトキシエトキシプロポキシシラン、トリメトキシ(2−フェニルエチル)シラン及びフェニルモノメトキシモノエトキシモノブトキシシラン等のフェニルシラン化合物;
ヒドロキシフェニルトリメトキシシラン、ヒドロキシフェニルトリエトキシシラン、ヒドロキシフェニルトリプロポキシシラン、ヒドロキシフェニルトリペンチルオキシシラン、ヒドロキシフェニルトリフェニルオキシシラン、ヒドロキシフェニルモノメトキシジエトキシシラン、ヒドロキシフェニルモノメトキシジプロポキシシラン、ヒドロキシフェニルモノメトキシジペンチルオキシシラン、ヒドロキシフェニルモノメトキシジフェニルオキシシラン、ヒドロキシフェニルメトキシエトキシプロポキシシラン、及びヒドロキシフェニルモノメトキシモノエトキシモノブトキシシラン等のヒドロキシフェニルシラン化合物;
ナフチルトリメトキシシラン、ナフチルトリエトキシシラン、ナフチルトリプロポキシシラン、ナフチルトリペンチルオキシシラン、ナフチルトリフェニルオキシシラン、ナフチルモノメトキシジエトキシシラン、ナフチルモノメトキシジプロポキシシラン、ナフチルモノメトキシジペンチルオキシシラン、ナフチルモノメトキシジフェニルオキシシラン、ナフチルメトキシエトキシプロポキシシラン、及びナフチルモノメトキシモノエトキシモノブトキシシラン等のナフチルシラン化合物;
ベンジルトリメトキシシラン、ベンジルトリエトキシシラン、ベンジルトリプロポキシシラン、ベンジルトリペンチルオキシシラン、ベンジルトリフェニルオキシシラン、ベンジルモノメトキシジエトキシシラン、ベンジルモノメトキシジプロポキシシラン、ベンジルモノメトキシジペンチルオキシシラン、ベンジルモノメトキシジフェニルオキシシラン、ベンジルメトキシエトキシプロポキシシラン、及びベンジルモノメトキシモノエトキシモノブトキシシラン等のベンジルシラン化合物;
ヒドロキシベンジルトリメトキシシラン、ヒドロキシベンジルトリエトキシシラン、ヒドロキシベンジルトリプロポキシシラン、ヒドロキシベンジルトリペンチルオキシシラン、ヒドロキシベンジルトリフェニルオキシシラン、ヒドロキシベンジルモノメトキシジエトキシシラン、ヒドロキシベンジルモノメトキシジプロポキシシラン、ヒドロキシベンジルモノメトキシジペンチルオキシシラン、ヒドロキシベンジルモノメトキシジフェニルオキシシラン、ヒドロキシベンジルメトキシエトキシプロポキシシラン、及びヒドロキシベンジルモノメトキシモノエトキシモノブトキシシラン等のヒドロキシベンジルシラン化合物;
が挙げられる。
ジメトキシシラン、ジエトキシシラン、ジプロポキシシラン、ジペンチルオキシシラン、ジフェニルオキシシラン、メトキシエトキシシラン、メトキシプロポキシシラン、メトキシペンチルオキシシラン、メトキシフェニルオキシシラン、エトキシプロポキシシラン、エトキシペンチルオキシシラン、及びエトキシフェニルオキシシラン等のヒドロシラン化合物;
メチルジメトキシシラン、メチルメトキシエトキシシラン、メチルジエトキシシラン、メチルメトキシプロポキシシラン、メチルメトキシペンチルオキシシラン、メチルエトキシプロポキシシラン、メチルジプロポキシシラン、メチルジペンチルオキシシラン、メチルジフェニルオキシシラン、メチルメトキシフェニルオキシシラン等のメチルヒドロシラン化合物;
エチルジメトキシシラン、エチルメトキシエトキシシラン、エチルジエトキシシラン、エチルメトキシプロポキシシラン、エチルメトキシペンチルオキシシラン、エチルエトキシプロポキシシラン、エチルジプロポキシシラン、エチルジペンチルオキシシラン、エチルジフェニルオキシシラン、エチルメトキシフェニルオキシシラン等のエチルヒドロシラン化合物;
プロピルジメトキシシラン、プロピルメトキシエトキシシラン、プロピルジエトキシシラン、プロピルメトキシプロポキシシラン、プロピルメトキシペンチルオキシシラン、プロピルエトキシプロポキシシラン、プロピルジプロポキシシラン、プロピルジペンチルオキシシラン、プロピルジフェニルオキシシラン、プロピルメトキシフェニルオキシシラン等のプロピルヒドロシラン化合物;
ブチルジメトキシシラン、ブチルメトキシエトキシシラン、ブチルジエトキシシラン、ブチルメトキシプロポキシシラン、ブチルメトキシペンチルオキシシラン、ブチルエトキシプロポキシシラン、ブチルジプロポキシシラン、ブチルジペンチルオキシシラン、ブチルジフェニルオキシシラン、ブチルメトキシフェニルオキシシラン等のブチルヒドロシラン化合物;
フェニルジメトキシシラン、フェニルメトキシエトキシシラン、フェニルジエトキシシラン、フェニルメトキシプロポキシシラン、フェニルメトキシペンチルオキシシラン、フェニルエトキシプロポキシシラン、フェニルジプロポキシシラン、フェニルジペンチルオキシシラン、フェニルジフェニルオキシシラン、フェニルメトキシフェニルオキシシラン等のフェニルヒドロシラン化合物;
ヒドロキシフェニルジメトキシシラン、ヒドロキシフェニルメトキシエトキシシラン、ヒドロキシフェニルジエトキシシラン、ヒドロキシフェニルメトキシプロポキシシラン、ヒドロキシフェニルメトキシペンチルオキシシラン、ヒドロキシフェニルエトキシプロポキシシラン、ヒドロキシフェニルジプロポキシシラン、ヒドロキシフェニルジペンチルオキシシラン、ヒドロキシフェニルジフェニルオキシシラン、ヒドロキシフェニルメトキシフェニルオキシシラン等のヒドロキシフェニルヒドロシラン化合物;
ナフチルジメトキシシラン、ナフチルメトキシエトキシシラン、ナフチルジエトキシシラン、ナフチルメトキシプロポキシシラン、ナフチルメトキシペンチルオキシシラン、ナフチルエトキシプロポキシシラン、ナフチルジプロポキシシラン、ナフチルジペンチルオキシシラン、ナフチルジフェニルオキシシラン、ナフチルメトキシフェニルオキシシラン等のナフチルヒドロシラン化合物;
ベンジルジメトキシシラン、ベンジルメトキシエトキシシラン、ベンジルジエトキシシラン、ベンジルメトキシプロポキシシラン、ベンジルメトキシペンチルオキシシラン、ベンジルエトキシプロポキシシラン、ベンジルジプロポキシシラン、ベンジルジペンチルオキシシラン、ベンジルジフェニルオキシシラン、ベンジルメトキシフェニルオキシシラン等のベンジルヒドロシラン化合物;
ヒドロキシベンジルジメトキシシラン、ヒドロキシベンジルメトキシエトキシシラン、ヒドロキシベンジルジエトキシシラン、ヒドロキシベンジルメトキシプロポキシシラン、ヒドロキシベンジルメトキシペンチルオキシシラン、ヒドロキシベンジルエトキシプロポキシシラン、ヒドロキシベンジルジプロポキシシラン、ヒドロキシベンジルジペンチルオキシシラン、ヒドロキシベンジルジフェニルオキシシラン、ヒドロキシベンジルメトキシフェニルオキシシラン等のヒドロキシベンジルヒドロシラン化合物;
ジメチルジメトキシシラン、ジメチルメトキシエトキシシラン、ジメチルメトキシプロポキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、ジメチルジペンチルオキシシラン、ジメチルジフェニルオキシシラン、ジメチルエトキシプロポキシシラン、ジメチルジプロポキシシラン等のジメチルシラン化合物;
ジエチルジメトキシシラン、ジエチルメトキシエトキシシラン、ジエチルメトキシプロポキシシラン、ジエチルジエトキシシラン、ジエチルジペンチルオキシシラン、ジエチルジフェニルオキシシラン、ジエチルエトキシプロポキシシラン、ジエチルジプロポキシシラン等のジエチルシラン化合物;
ジプロピルジメトキシシラン、ジプロピルメトキシエトキシシラン、ジプロピルメトキシプロポキシシラン、ジプロピルジエトキシシラン、ジプロピルジペンチルオキシシラン、ジプロピルジフェニルオキシシラン、ジプロピルエトキシプロポキシシラン、ジプロピルジプロポキシシラン等のジプロポキシシラン化合物;
ジブチルジメトキシシラン、ジブチルメトキシエトキシシラン、ジブチルメトキシプロポキシシラン、ジブチルジエトキシシラン、ジブチルジペンチルオキシシラン、ジブチルジフェニルオキシシラン、ジブチルエトキシプロポキシシラン、ジブチルジプロポキシシラン等のジブチルシラン化合物;
ジフェニルジメトキシシラン、ジフェニルメトキシエトキシシラン、ジフェニルメトキシプロポキシシラン、ジフェニルジエトキシシラン、ジフェニルジペンチルオキシシラン、ジフェニルジフェニルオキシシラン、ジフェニルエトキシプロポキシシラン、ジフェニルジプロポキシシラン等のジフェニルシラン化合物;
ジ(ヒドロキシフェニル)ジメトキシシラン、ジ(ヒドロキシフェニル)メトキシエトキシシラン、ジ(ヒドロキシフェニル)メトキシプロポキシシラン、ジ(ヒドロキシフェニル)ジエトキシシラン、ジ(ヒドロキシフェニル)ジペンチルオキシシラン、ジ(ヒドロキシフェニル)ジフェニルオキシシラン、ジ(ヒドロキシフェニル)エトキシプロポキシシラン、ジ(ヒドロキシフェニル)ジプロポキシシラン等のジ(ヒドロキシフェニル)シラン化合物;
ジナフチルジメトキシシラン、ジナフチルメトキシエトキシシラン、ジナフチルメトキシプロポキシシラン、ジナフチルジエトキシシラン、ジナフチルジペンチルオキシシラン、ジナフチルジフェニルオキシシラン、ジナフチルエトキシプロポキシシラン、ジナフチルジプロポキシシラン等のジナフチルシラン化合物;
ジベンジルジメトキシシラン、ジベンジルメトキシエトキシシラン、ジベンジルメトキシプロポキシシラン、ジベンジルジエトキシシラン、ジベンジルジペンチルオキシシラン、ジベンジルジフェニルオキシシラン、ジベンジルエトキシプロポキシシラン、ジベンジルジプロポキシシラン等のジベンジルシラン化合物;
ジ(ヒドロキシベンジル)ジメトキシシラン、ジ(ヒドロキシベンジル)メトキシエトキシシラン、ジ(ヒドロキシベンジル)メトキシプロポキシシラン、ジ(ヒドロキシベンジル)ジエトキシシラン、ジ(ヒドロキシベンジル)ジペンチルオキシシラン、ジ(ヒドロキシベンジル)ジフェニルオキシシラン、ジ(ヒドロキシベンジル)エトキシプロポキシシラン、ジ(ヒドロキシベンジル)ジプロポキシシラン等のジ(ヒドロキシベンジル)シラン化合物;
メチルエチルジメトキシシラン、メチルエチルメトキシエトキシシラン、メチルエチルメトキシプロポキシシラン、メチルエチルジエトキシシラン、メチルエチルジペンチルオキシシラン、メチルエチルジフェニルオキシシラン、メチルエチルエトキシプロポキシシラン、メチルエチルジプロポキシシラン等のメチルエチルシラン化合物;
メチルプロピルジメトキシシラン、メチルプロピルメトキシエトキシシラン、メチルプロピルメトキシプロポキシシラン、メチルプロピルジエトキシシラン、メチルプロピルジペンチルオキシシラン、メチルプロピルジフェニルオキシシラン、メチルプロピルエトキシプロポキシシラン、メチルプロピルジプロポキシシラン等のメチルプロピルシラン化合物;
メチルブチルジメトキシシラン、メチルブチルメトキシエトキシシラン、メチルブチルメトキシプロポキシシラン、メチルブチルジエトキシシラン、メチルブチルジペンチルオキシシラン、メチルブチルジフェニルオキシシラン、メチルブチルエトキシプロポキシシラン、メチルブチルジプロポキシシラン等のメチルブチルシラン化合物;
メチル(フェニル)ジメトキシシラン、メチル(フェニル)メトキシエトキシシラン、メチル(フェニル)メトキシプロポキシシラン、メチル(フェニル)ジエトキシシラン、メチル(フェニル)ジペンチルオキシシラン、メチル(フェニル)ジフェニルオキシシラン、メチル(フェニル)エトキシプロポキシシラン、メチル(フェニル)ジプロポキシシラン等のメチル(フェニル)シラン化合物;
メチル(ヒドロキシフェニル)ジメトキシシラン、メチル(ヒドロキシフェニル)メトキシエトキシシラン、メチル(ヒドロキシフェニル)メトキシプロポキシシラン、メチル(ヒドロキシフェニル)ジエトキシシラン、メチル(ヒドロキシフェニル)ジペンチルオキシシラン、メチル(ヒドロキシフェニル)ジフェニルオキシシラン、メチル(ヒドロキシフェニル)エトキシプロポキシシラン、メチル(ヒドロキシフェニル)ジプロポキシシラン等のメチル(ヒドロキシフェニル)シラン化合物;
メチル(ナフチル)ジメトキシシラン、メチル(ナフチル)メトキシエトキシシラン、メチル(ナフチル)メトキシプロポキシシラン、メチル(ナフチル)ジエトキシシラン、メチル(ナフチル)ジペンチルオキシシラン、メチル(ナフチル)ジフェニルオキシシラン、メチル(ナフチル)エトキシプロポキシシラン、メチル(ナフチル)ジプロポキシシラン等のメチル(ナフチル)シラン化合物;
メチル(ベンジル)ジメトキシシラン、メチル(ベンジル)メトキシエトキシシラン、メチル(ベンジル)メトキシプロポキシシラン、メチル(ベンジル)ジエトキシシラン、メチル(ベンジル)ジペンチルオキシシラン、メチル(ベンジル)ジフェニルオキシシラン、メチル(ベンジル)エトキシプロポキシシラン、メチル(ベンジル)ジプロポキシシラン等のメチル(ベンジル)シラン化合物;
メチル(ヒドロキシベンジル)ジメトキシシラン、メチル(ヒドロキシベンジル)メトキシエトキシシラン、メチル(ヒドロキシベンジル)メトキシプロポキシシラン、メチル(ヒドロキシベンジル)ジエトキシシラン、メチル(ヒドロキシベンジル)ジペンチルオキシシラン、メチル(ヒドロキシベンジル)ジフェニルオキシシラン、メチル(ヒドロキシベンジル)エトキシプロポキシシラン、メチル(ヒドロキシベンジル)ジプロポキシシラン等のメチル(ヒドロキシベンジル)シラン化合物;
エチルプロピルジメトキシシラン、エチルプロピルメトキシエトキシシラン、エチルプロピルメトキシプロポキシシラン、エチルプロピルジエトキシシラン、エチルプロピルジペンチルオキシシラン、エチルプロピルジフェニルオキシシラン、エチルプロピルエトキシプロポキシシラン、エチルプロピルジプロポキシシラン等のエチルプロピルシラン化合物;
エチルブチルジメトキシシラン、エチルブチルメトキシエトキシシラン、エチルブチルメトキシプロポキシシラン、エチルブチルジエトキシシラン、エチルブチルジペンチルオキシシラン、エチルブチルジフェニルオキシシラン、エチルブチルエトキシプロポキシシラン、エチルブチルジプロポキシシラン等のエチルブチルシラン化合物;
エチル(フェニル)ジメトキシシラン、エチル(フェニル)メトキシエトキシシラン、エチル(フェニル)メトキシプロポキシシラン、エチル(フェニル)ジエトキシシラン、エチル(フェニル)ジペンチルオキシシラン、エチル(フェニル)ジフェニルオキシシラン、エチル(フェニル)エトキシプロポキシシラン、エチル(フェニル)ジプロポキシシラン等のエチル(フェニル)シラン化合物;
エチル(ヒドロキシフェニル)ジメトキシシラン、エチル(ヒドロキシフェニル)メトキシエトキシシラン、エチル(ヒドロキシフェニル)メトキシプロポキシシラン、エチル(ヒドロキシフェニル)ジエトキシシラン、エチル(ヒドロキシフェニル)ジペンチルオキシシラン、エチル(ヒドロキシフェニル)ジフェニルオキシシラン、エチル(ヒドロキシフェニル)エトキシプロポキシシラン、エチル(ヒドロキシフェニル)ジプロポキシシラン等のエチル(ヒドロキシフェニル)シラン化合物;
エチル(ナフチル)ジメトキシシラン、エチル(ナフチル)メトキシエトキシシラン、エチル(ナフチル)メトキシプロポキシシラン、エチル(ナフチル)ジエトキシシラン、エチル(ナフチル)ジペンチルオキシシラン、エチル(ナフチル)ジフェニルオキシシラン、エチル(ナフチル)エトキシプロポキシシラン、エチル(ナフチル)ジプロポキシシラン等のエチル(ナフチル)シラン化合物;
エチル(ベンジル)ジメトキシシラン、エチル(ベンジル)メトキシエトキシシラン、エチル(ベンジル)メトキシプロポキシシラン、エチル(ベンジル)ジエトキシシラン、エチル(ベンジル)ジペンチルオキシシラン、エチル(ベンジル)ジフェニルオキシシラン、エチル(ベンジル)エトキシプロポキシシラン、エチル(ベンジル)ジプロポキシシラン等のエチル(ベンジル)シラン化合物;
エチル(ヒドロキシベンジル)ジメトキシシラン、エチル(ヒドロキシベンジル)メトキシエトキシシラン、エチル(ヒドロキシベンジル)メトキシプロポキシシラン、エチル(ヒドロキシベンジル)ジエトキシシラン、エチル(ヒドロキシベンジル)ジペンチルオキシシラン、エチル(ヒドロキシベンジル)ジフェニルオキシシラン、エチル(ヒドロキシベンジル)エトキシプロポキシシラン、エチル(ヒドロキシベンジル)ジプロポキシシラン等のエチル(ヒドロキシベンジル)シラン化合物;
プロピルブチルジメトキシシラン、プロピルブチルメトキシエトキシシラン、プロピルブチルメトキシプロポキシシラン、プロピルブチルジエトキシシラン、プロピルブチルジペンチルオキシシラン、プロピルブチルジフェニルオキシシラン、プロピルブチルエトキシプロポキシシラン、プロピルブチルジプロポキシシラン等のプロピルブチルシラン化合物;
プロピル(フェニル)ジメトキシシラン、プロピル(フェニル)メトキシエトキシシラン、プロピル(フェニル)メトキシプロポキシシラン、プロピル(フェニル)ジエトキシシラン、プロピル(フェニル)ジペンチルオキシシラン、プロピル(フェニル)ジフェニルオキシシラン、プロピル(フェニル)エトキシプロポキシシラン、プロピル(フェニル)ジプロポキシシラン等のプロピル(フェニル)シラン化合物;
プロピル(ヒドロキシフェニル)ジメトキシシラン、プロピル(ヒドロキシフェニル)メトキシエトキシシラン、プロピル(ヒドロキシフェニル)メトキシプロポキシシラン、プロピル(ヒドロキシフェニル)ジエトキシシラン、プロピル(ヒドロキシフェニル)ジペンチルオキシシラン、プロピル(ヒドロキシフェニル)ジフェニルオキシシラン、プロピル(ヒドロキシフェニル)エトキシプロポキシシラン、プロピル(ヒドロキシフェニル)ジプロポキシシラン等のプロピル(ヒドロキシフェニル)シラン化合物;
プロピル(ナフチル)ジメトキシシラン、プロピル(ナフチル)メトキシエトキシシラン、プロピル(ナフチル)メトキシプロポキシシラン、プロピル(ナフチル)ジエトキシシラン、プロピル(ナフチル)ジペンチルオキシシラン、プロピル(ナフチル)ジフェニルオキシシラン、プロピル(ナフチル)エトキシプロポキシシラン、プロピル(ナフチル)ジプロポキシシラン等のプロピル(ナフチル)シラン化合物;
プロピル(ベンジル)ジメトキシシラン、プロピル(ベンジル)メトキシエトキシシラン、プロピル(ベンジル)メトキシプロポキシシラン、プロピル(ベンジル)ジエトキシシラン、プロピル(ベンジル)ジペンチルオキシシラン、プロピル(ベンジル)ジフェニルオキシシラン、プロピル(ベンジル)エトキシプロポキシシラン、プロピル(ベンジル)ジプロポキシシラン等のプロピル(ベンジル)シラン化合物;
プロピル(ヒドロキシベンジル)ジメトキシシラン、プロピル(ヒドロキシベンジル)メトキシエトキシシラン、プロピル(ヒドロキシベンジル)メトキシプロポキシシラン、プロピル(ヒドロキシベンジル)ジエトキシシラン、プロピル(ヒドロキシベンジル)ジペンチルオキシシラン、プロピル(ヒドロキシベンジル)ジフェニルオキシシラン、プロピル(ヒドロキシベンジル)エトキシプロポキシシラン、プロピル(ヒドロキシベンジル)ジプロポキシシラン等のプロピル(ヒドロキシベンジル)シラン化合物;
が挙げられる。
シロキサン樹脂の質量平均分子量は、300以上30,000以下が好ましく、500以上10,000以下がより好ましい。異なる質量平均分子量のシロキサン樹脂を2種以上混合してもよい。シロキサン樹脂の質量平均分子量がかかる範囲内である場合、製膜性に優れ、平坦な金属酸化物含有膜を形成できる金属酸化物微粒子分散液を得やすい。
上記のように、アルキル基、アリール基、又はアラルキル基を有するシロキサン樹脂を用いることにより、耐久性に優れるシリカ系の金属酸化物含有膜を形成でき、微小な空間への充填が容易な金属酸化物微粒子分散液を得やすい。
アリール基及びアラルキル基としては、ベンジル基、フェネチル基、フェニル基、ナフチル基、アントラセニル基、フェナントリル基、ビフェニル基、フルオレニル基、及びピレニル基等が挙げられる。
式(C−1−a)で示される構造単位を2種類以上有するシロキサン樹脂としては、具体的には下記の構造式(C−1−1)〜(C−1−3)で表されるシロキサン樹脂が挙げられる。
連結基は、エーテル結合、アミノ結合、アミド結合、又はビニル結合を有していてもよく、アミド結合を有していることが好ましい。RY14は、例えば以下のものが挙げられるが、これらに限定されない。なお、下式中*は、式(C−1−5)中のSiと結合する、RY14の結合手の末端を意味する。
(i)硬化剤が光又は熱により塩基成分を発生する硬化剤を含む場合、
(ii)金属酸化物微粒子分散液が後述の光重合開始剤や塩基発生剤等を含む場合、又は、
(iii)後述する金属酸化物含有膜の製造方法において露光工程を有する場合、
シロキサン樹脂は式(C−1−4)で示される構成単位を含有することが好ましい。
同様にまた、(iv)後述のその他の成分である光重合開始剤、酸発生剤、若しくは塩基発生剤からなる群の少なくとも1つ(硬化剤に該当するものを除く)を含む場合、シロキサン樹脂は式(C−1−4)で示される構成単位を含有することが好ましい。シロキサン樹脂中の式(C−1−4)で示される構成単位の含有割合は、例えば、10モル%以上80モル%以下である。他の構成単位として、さらに式(C−1−a)で示される構造単位及び/又は(C−1−5)で示される構成単位を含んでいてもよい。また、各式に該当する構成単位を2種以上含んでいてもよい。
ポリシランの構造は特に限定されない。ポリシランは直鎖状であっても、分岐鎖状であっても、網目状であっても、環状であってもよいが、直鎖状又は分岐鎖状の鎖状構造が好ましい。
ポリシランは、シラノール基及び/又はアルコキシ基を含有していてもよい。
好適なポリシランとしては、例えば、下式(A5)及び(A6)で表される単位の少なくとも1つを必須に含み、下式(A7)、(A8)及び(A9)で表される単位から選択される少なくとも1つの単位を任意に含有するポリシランが挙げられる。かかるポリシランは、シラノール基、又はケイ素原子に結合するアルコキシ基を含有していてもよい。
これらの基の中では、アルキル基、アリール基、及びアラルキル基が好ましい。アルキル基、アリール基、及びアラルキル基の好適な例は、前述の式(C−a)中のRY0がアルキル基、アリール基、又はアラルキル基である場合の例と同様である。
ポリシランは、下記(A10)から(A13)のユニットを含むのが好ましい。
a0、b0、及びc0は、それぞれ、10以上500以下が好ましく、10以上100以下がより好ましい。各ユニット中の構成単位は、ユニット中に、ランダムに含まれていても、ブロック化された状態で含まれていてもよい。
ケイ素含有樹脂を基材成分(B)として含む金属酸化物微粒子分散液は、ケイ素含有樹脂用の硬化剤を含んでいてもよい。金属酸化物微粒子分散液としてのケイ素含有樹脂組成物が硬化剤を含む場合、N−メチル−2−ピロリドン等の有機溶剤により、溶解、膨潤、変形したりしにくい、有機溶剤耐性に優れる金属酸化物含有膜を形成しやすい。
熱により塩基成分を発生する硬化剤としては、従来から熱塩基発生剤として使用されている化合物を特に限定なく用いることができる。
例えば、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1−オンを、熱により塩基成分を発生する硬化剤として用いることができる。なお、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1−オンは光の作用によっても塩基を発生させる。
で表される化合物が挙げられる。
で表される化合物が好ましい。
オキシムエステル化合物は、光の作用により分解して塩基を発生する。オキシムエステル化合物の好適な例は、第1の態様の感エネルギー性組成物について説明したオキシムエステル化合物の好適な例と同様である。
ケイ素含有樹脂組成物の、硬化剤の含有量は、典型的には、ケイ素含有樹脂組成物の固形分の質量に対して、0.01質量%以上40質量%以下が好ましく、0.1質量%以上20質量%以下がより好ましく、1質量%以上10質量%以下が特に好ましい。
ケイ素含有樹脂組成物は、イオン液体を含んでいてもよい。ケイ素含有樹脂組成物がイオン液体を含むことにより、ケイ素含有樹脂組成物中での金属酸化物(A)の分散安定性がさらに向上し得る。
イオン液体としては、第6の態様の感エネルギー性組成物について説明したイオン液体を好適に用いることができる。イオン液体は単独で用いても2種以上混合して用いてもよい。
イオン液体の含有量としては、本発明の効果を達成し得る限り特に制限はない。
イオン液体の含有量は、ケイ素含有樹脂組成物において金属酸化物(A)100質量部に対して、10質量部以上500質量部以下が好ましく、90質量部以上400質量部以下がより好ましく、100質量部以上300質量部以下がさらに好ましい。
ケイ素含有樹脂組成物は、通常、溶剤を含む。溶剤は、環式骨格を有し、且つ水素原子及び炭素原子以外のヘテロ原子を含む化合物である溶剤(S1)を含むのが好ましい。つまり、溶剤(S1)は、非炭化水素溶媒である。溶剤(S1)が含んでいてもよいヘテロ原子としては、N、O、S、及びP等が挙げられる。
例えば、溶剤(S1)が有する環式骨格が、金属酸化物(A)に対する凝集阻害の効果を奏していると推測される。
理由は定かではないが、平面的な立体構造を有する芳香族環骨格よりも、脂環式骨格がある程度かさ高いことが、金属酸化物(A)の分散安定化に良好に寄与すると推測される。
本願明細書において、単にエステル結合、及びアミド結合と記載する場合、それぞれ「カルボン酸エステル結合」、及び「カルボン酸アミド結合」を意味する。
アミド結合、ウレイド結合、及びウレタン結合において、窒素原子には有機基が結合していてもよい。有機基の種類は特に限定されない。有機基としては、アルキル基が好ましく、炭素原子数1以上6以下のアルキル基がより好ましく、メチル基及びエチル基がさらに好ましい。
溶剤(S1)がこれらの結合を含む場合、ケイ素含有樹脂をケイ素含有樹脂組成物中に良好に溶解させやすい。
で表される、カルボン酸のシクロアルキルエステルが好ましい。
式(s1)中のRs2としては、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、イソブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、n−ペンチル基、及びn−ヘキシル基が挙げられる。Rs2としてのアルキル基としては、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、及びn−ブチル基が好ましく、メチル基、及びエチル基がより好ましい。
ケイ素含有樹脂組成物の水分は、溶剤に由来する場合が多い。このため、ケイ素含有樹脂組成物の水分量が上記の量となるように、溶剤が脱水されているのが好ましい。
ケイ素含有樹脂組成物は、本発明の目的を阻害しない範囲で、シリカ系の膜形成用のケイ素含有樹脂組成物に従来から添加されている種々の添加剤を含んでいてもよい。
かかる添加剤の例としては、塩基発生剤、触媒、増感剤、シランカップリング剤、密着増強剤、分散剤、界面活性剤、紫外線吸収剤、酸化防止剤、消泡剤、粘度調整剤、樹脂、ゴム粒子、及び着色剤等が挙げられる。
なお、ケイ素含有樹脂組成物が樹脂としてアルカリ可溶性樹脂を含む場合、ケイ素含有樹脂組成物にアルカリ現像性が付与される。
また、ケイ素含有樹脂組成物がゴム粒子を含む場合、形成される金属酸化物含有膜に弾性が付与され、金属酸化物含有膜の脆さを解消しやすい。
ケイ素含有樹脂組成物がニトロキシ化合物を含むと、シリカ系の金属酸化物含有膜を形成する際の焼成温度が、例えば250℃以下(例えば200℃以上250℃以下の範囲)の低い温度であっても、金属酸化物含有膜の残渣(焼成により生成するシリカ由来の不純物)を低減できるので好ましい。金属酸化物含有膜中の残渣が少ないと、金属酸化物含有膜が高温雰囲気や減圧雰囲気におかれる場合でも、金属酸化物含有膜からの、残渣そのものや残渣の分解物に由来するガス発生が抑制される。
下記式においてRN1は、それぞれ独立に、置換基を有してもよい炭素原子数1以上20以下のアルキル基、置換基を有してもよい芳香族基、又は置換基を有してもよい脂環式基を表す。
ニトロキシ化合物は、単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
また、ケイ素含有樹脂組成物中のニトロキシ化合物の含有量は、ケイ素含有樹脂組成物の溶剤以外の成分の質量の合計に対して、2質量%以下が好ましく、1質量%以下がより好ましい。
酸化防止剤は、リン系、硫黄系及びフェノール系酸化防止剤からなる群から選択される少なくとも1つを含むことが好ましい。
充填剤の含有量は、各組成物の固形分に対して60質量%以下であることが好ましく、5質量%以上40質量%以下であることがより好ましい。
また、第1〜第6の態様の感光性組成物、又はケイ素含有樹脂組成物は、任意の添加剤として、1−(N,N−ジ(2−エチルヘキシル)アミノ)メチル−1H−ベンゾトリアゾール、1−(N,N−ジ(2−エチルヘキシル)アミノ)メチル−1H−メチルベンゾトリアゾール、カルボキシベンゾトリアゾール、ベンゾトリアゾール、メチルベンゾトリアゾール、ジハイドロキシプロピルベンゾトリアゾール、ビスアミノメチルベンゾトリアゾール等のベンゾトリアゾール誘導体等を単独又は2種以上組み合わせて用いてもよい。
金属酸化物微粒子分散液は、上記の各成分を撹拌機で混合することにより調製される。金属酸化物(A)としての表面修飾金属酸化物微粒子は、分散媒に分散された状態で金属酸化物微粒子分散液に配合されてもよく、分散媒を含まないか殆ど含まない状態で金属酸化物微粒子分散液に配合されてもよい。
なお、調製された金属酸化物微粒子分散液が均一になるよう、メンブランフィルタ等を用いて濾過してもよい。
以上説明した、金属酸化物(A)を含む金属酸化物微粒子分散液を用いることにより、金属酸化物含有膜を形成することができる。
金属酸化物微粒子分散液を基板上に塗布して塗布膜を形成することと、
塗布膜を露光することと、を含む方法により金属酸化物含有膜が製造される。
乾燥方法は特に限定されず、例えば、(1)ホットプレートにて80℃以上120℃以下、好ましくは90℃以上100℃以下の温度にて60秒以上120秒以下の間、プリベークを行う方法、(2)室温にて数時間以上数日以下の間放置する方法、(3)温風ヒータや赤外線ヒータ中に数十分間以上数時間以下の間入れて溶剤を除去する方法等が挙げられる。
露光を位置選択的に行う場合、電磁波は、ポジ型又はネガ型のマスクを介して照射してもよく、直接照射してもよい。露光量は、金属酸化物微粒子分散の組成によっても異なるが、例えば5mJ/cm2以上500mJ/cm2以下程度が好ましい。
露光が位置選択的に行われた場合、露光後の塗布膜を、現像液により現像することによって所望の形状にパターニングされた金属酸化物含有膜が得られる。
現像方法は、特に限定されず、例えば、浸漬法、スプレー法等を用いることができる。現像液としては、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン等の有機系の現像液や、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、アンモニア、4級アンモニウム塩等の水溶液が挙げられる。
この場合、基板の材質は、焼成に耐えられる材質であれば特に限定されない。基板の材質の好適な例としては、金属、シリコン、ガラス等の無機材料や、ポリカーボネート、ポリエチレンテレフタレート、ポリエーテルスルフォン、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂等の耐熱性の材料が挙げられる。基板の厚さは特に限定されず、基板は、フィルムやシートであってもよい。
2−エチルヘキサン酸のジルコニウム塩のミネラルスピリット溶液(第一希元素化学工業社製、2−エチルヘキサン酸ジルコニウム塩濃度44質量%)782質量部と、純水268質量部とをを混合した。
得られた混合液を、オートクレーブ内に仕込んだ。オートクレーブ内を窒素ガス雰囲気とした後、撹拌しながら混合液を180℃まで加熱し、同温度で16時間撹拌し続けた。
撹拌終了後、オートクレーブ内の固形物を、ろ過により回収した。回収された固形物をアセトンで洗浄した後、乾燥させた。乾燥後の固形物100質量部を、トルエン800mL中に分散させた後、白濁した溶液が形成された。白濁した溶液を、ろ紙(No.5C)でろ過し、粗大な粒子を除去した。ロータリーエバポレータにより、ろ液からトルエンを十分に留去させて、乾燥した白色の酸化ジルコニウム微粒子を得た。
撹拌後の液から、ロータリーエバポレーターによりメチルエチルケトンを十分に留去させて、酸化ジルコニウムを回収した。回収された酸化ジルコニウムは、水あめ状の粘稠な液体であった。性状の変化から酸化ジルコニウムの表面に被覆剤が付着していることが分かる。また、XPSにより、窒素(N1s電子)について、原料(CA1)の観測結果、CA1被覆処理前の酸化ジルコニウム微粒子の観測結果、及びCA1被覆処理後の酸化ジルコニウム微粒子の観測結果をそれぞれ比較した場合に、被覆処理後の酸化ジルコニウム微粒子に原料CA1とは異なる窒素(N1s電子)由来のピークが観測されることによっても、酸化ジルコニウムの表面に被覆剤が付着していることが分かる。
水あめ状の表面修飾された酸化ジルコニウム50質量部を、100質量部のメチルエチルケトン(MEK)中に均一に分散させて、分散安定性評価用の金属酸化物微粒子分散液を得た。
得られた金属酸化物微粒子分散液を、30日間常温静置したところ、酸化ジルコニウム微粒子は安定に分散したままであった。引き続き60日間(計90日間)常温静置したところ、酸化ジルコニウム微粒子の凝集が目視にて観察された。
下記式の3元共重合体である(メタ)アクリル樹脂70質量部とい、下記式の2元共重合体であある(メタ)アクリル樹脂30質量部と、下記式で表される硬化剤(ナフタル酸誘導体)5質量部と、水あめ状の表面修飾された酸化ジルコニウム45質量部とを、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート700質量部中に溶解・分散させて、分散安定性評価用の金属酸化物微粒子分散液を得た。酸化ジルコニウムの使用量は、固形分中30質量%である。
なお、下記式中、各構成単位の右下の数字は、樹脂中の各構成単位の含有量(質量%)である。
得られた金属酸化物微粒子分散液を、30日常温静置したところ、酸化ジルコニウム微粒子は安定に分散したままであった。
メチルエチルケトンをプロピレングリコールモノメチルエーテルに変更することの他は、実施例1と同様に、カルボン酸化合物(CA1)を用いて酸化ジルコニウム微粒子の被覆処理を行った。実施例1と同様に、回収された酸化ジルコニウムは、水あめ状の粘稠な液体であった。性状の変化から酸化ジルコニウムの表面に被覆剤が付着していることが分かる。
有機溶媒中での分散安定性評価では、金属酸化物微粒子分散液を、30日間常温静置したところ、酸化ジルコニウム微粒子は安定に分散したままであったが、引き続き60日間(計90日間)常温静置したところ、酸化ジルコニウム微粒子の凝集が目視にて観察された。
(メタ)アクリル樹脂含有組成物中ので分散安定性評価と、硬化性の芳香族化合物を含有する組成物中での分散安定評価とでは、ともに、金属酸化物微粒子分散液を、30日間常温静置しても、酸化ジルコニウム微粒子は安定に分散したままであった。
乾燥した白色の酸化ジルコニウム微粒子50質量部を、濃度5質量%の水酸化ナトリウム水溶液50質量部と混合した後、得られた混合液と、カルボン酸化合物(CA1)10質量部とを、プロピレングリコールモノメチルエーテル50質量部に加えた。その後、プロピレングリコールモノメチルエーテル中の酸化ジルコニウム微粒子を10分間撹拌して、酸化ジルコニウム微粒子の表面を、カルボン酸化合物(CA1)で被覆した。
撹拌後の液から、ロータリーエバポレーターによりプロピレングリコールモノメチルエーテルと水とを十分に留去させて、酸化ジルコニウムを回収した。回収された酸化ジルコニウムは、水あめ状の粘稠な液体であった。性状の変化から酸化ジルコニウムの表面に被覆剤が付着していることが分かる。
有機溶媒中での分散安定性評価では、金属酸化物微粒子分散液を、30日間常温静置したところ、酸化ジルコニウム微粒子は安定に分散したままであったが、引き続き60日間(計90日間)常温静置したところ、酸化ジルコニウム微粒子の凝集が目視にて観察された。
(メタ)アクリル樹脂含有組成物中ので分散安定性評価と、硬化性の芳香族化合物を含有する組成物中での分散安定評価とでは、ともに、金属酸化物微粒子分散液を、30日間常温静置しても、酸化ジルコニウム微粒子は安定に分散したままであった。
乾燥した白色の酸化ジルコニウム微粒子50質量部を、プロピレングリコールモノメチルエーテル50質量部と混合した後、カルボン酸化合物(CA1)3質量部をN,N,N’,N’−テトラメチルウレア(TMU)30質量部に事前に溶解した混合液を加えた。酸化ジルコニウム微粒子を10分間撹拌して、酸化ジルコニウム微粒子の表面を、カルボン酸化合物(CA1)で被覆した。
撹拌後の液から、ロータリーエバポレーターによりプロピレングリコールモノメチルエーテルとN,N,N’,N’−テトラメチルウレアとを十分に留去させて、酸化ジルコニウムを回収した。回収された酸化ジルコニウムは、水あめ状の粘稠な液体であった。性状の変化から酸化ジルコニウムの表面に被覆剤が付着していることが分かる。
有機溶媒中での分散安定性評価では、金属酸化物微粒子分散液を90日間常温静置しても、酸化ジルコニウム微粒子は安定に分散したままであった。
(メタ)アクリル樹脂含有組成物中ので分散安定性評価と、硬化性の芳香族化合物を含有する組成物中での分散安定評価とのいずれでも、金属酸化物微粒子分散液を、30日間常温静置しても、酸化ジルコニウム微粒子は安定に分散したままであった。
実施例1〜3と、実施例4との比較から、アミド構造を有する化合物であるN,N,N’,N’−テトラメチルウレアの存在下に、カルボン酸化合物(CA1)による被覆を行うことにより有機溶媒中での酸化ジルコニウム微粒子の分散安定性が向上したことが分かる。
カルボン酸化合物(CA1)を、濃度5質量%のN,N,N’,N’−テトラメチルウレア溶液として用いることの他は、実施例2と同様に、カルボン酸化合物(CA1)を用いて酸化ジルコニウム微粒子の被覆処理を行った。実施例1と同様に、回収された酸化ジルコニウムは、水あめ状の粘稠な液体であった。性状の変化から酸化ジルコニウムの表面に被覆剤が付着していることが分かる。
有機溶媒中での分散安定性評価では、金属酸化物微粒子分散液を90日間常温静置しても、酸化ジルコニウム微粒子は安定に分散したままであった。
(メタ)アクリル樹脂含有組成物中ので分散安定性評価と、硬化性の芳香族化合物を含有する組成物中での分散安定評価とのいずれでも、金属酸化物微粒子分散液を、30日間常温静置しても、酸化ジルコニウム微粒子は安定に分散したままであった。
実施例1〜3と、実施例5との比較から、アミド構造を有する化合物であるN,N,N’,N’−テトラメチルウレアの存在下に、カルボン酸化合物(CA1)による被覆を行うことにより有機溶媒中での酸化ジルコニウム微粒子の分散安定性が向上したことが分かる。
カルボン酸化合物(CA1)を、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシランに変えることの他は、実施例1と同様に、酸化ジルコニウム微粒子の被覆処理を行った。
回収された被覆処理後の酸化ジルコニウムは、ウエット感のあるべたついた固体であった。性状の変化から酸化ジルコニウムの表面に被覆剤が付着していることが分かる。
その結果、硬化性の芳香族化合物を含有する組成物中での分散安定評価では、金属酸化物微粒子分散液を、2時間常温静置した段階で酸化ジルコニウム微粒子の凝集が観察され、(メタ)アクリル樹脂含有組成物中ので分散安定性評価では、金属酸化物微粒子分散液を、1日間常温静置した段階で酸化ジルコニウム微粒子の凝集が観察された。
カルボン酸化合物(CA1)を、フタル酸モノ2−アクリロイルオキシエチルエステルに変えることの他は、実施例1と同様に、酸化ジルコニウム微粒子の被覆処理を行った。
回収された被覆処理後の酸化ジルコニウムは、ウエット感のあるべたついた固体であった。性状の変化から酸化ジルコニウムの表面に被覆剤が付着していることが分かる。
その結果、硬化性の芳香族化合物を含有する組成物中での分散安定評価では、金属酸化物微粒子分散液を、6時間常温静置した段階で酸化ジルコニウム微粒子の凝集が観察され、(メタ)アクリル樹脂含有組成物中ので分散安定性評価では、金属酸化物微粒子分散液を、1日間常温静置した段階で酸化ジルコニウム微粒子の凝集が観察された。
カルボン酸化合物(CA1)を、コハク酸モノ2−アクリロイルオキシエチルエステルに変えることの他は、実施例1と同様に、酸化ジルコニウム微粒子の被覆処理を行った。その結果、被覆処理中の混合液がゲル化してしまい、被覆処理後の酸化ジルコニウムを回収することができなかった。
カルボン酸化合物(CA1)により被覆する酸化ジルコニウムを、比較例1で得られたウエット感のあるべたついた固体状の酸化ジルコニウムに変更することの他は、実施例2と同様に、酸化ジルコニウム微粒子の被覆処理を行った。実施例1と同様に、回収された酸化ジルコニウムは、水あめ状の粘稠な液体であった。性状の変化から酸化ジルコニウムの表面に被覆剤が付着していることが分かる。
有機溶媒中での分散安定性評価では、金属酸化物微粒子分散液を、30日間常温静置したところ、酸化ジルコニウム微粒子は安定に分散したままであったが、引き続き60日間(計90日間)常温静置したところ、酸化ジルコニウム微粒子の凝集が目視にて観察された。
(メタ)アクリル樹脂含有組成物中ので分散安定性評価と、硬化性の芳香族化合物を含有する組成物中での分散安定評価とでは、ともに、金属酸化物微粒子分散液を、30日間常温静置しても、酸化ジルコニウム微粒子は安定に分散したままであった。
カルボン酸化合物(CA1)により被覆する酸化ジルコニウムを、比較例1で得られたウエット感のあるべたついた固体状の酸化ジルコニウムに変更することの他は、実施例4と同様に、酸化ジルコニウム微粒子の被覆処理を行った。実施例1と同様に、回収された酸化ジルコニウムは、水あめ状の粘稠な液体であった。性状の変化から酸化ジルコニウムの表面に被覆剤が付着していることが分かる。
有機溶媒中での分散安定性評価では、金属酸化物微粒子分散液を90日間常温静置しても、酸化ジルコニウム微粒子は安定に分散したままであった。
(メタ)アクリル樹脂含有組成物中ので分散安定性評価と、硬化性の芳香族化合物を含有する組成物中での分散安定評価とのいずれでも、金属酸化物微粒子分散液を、30日間常温静置しても、酸化ジルコニウム微粒子は安定に分散したままであった。
実施例1〜3、及び実施例6と、実施例7との比較から、アミド構造を有する化合物であるN,N,N’,N’−テトラメチルウレアの存在下に、カルボン酸化合物(CA1)による被覆を行うことにより有機溶媒中での酸化ジルコニウム微粒子の分散安定性が向上したことが分かる。
カルボン酸化合物(CA1)を、カルボン酸化合物としてのL−アルギニン(CA2)に変更することの他は、実施例1と同様に、酸化ジルコニウム微粒子の被覆処理を行った。実施例1と同様に、回収された酸化ジルコニウムは、水あめ状の粘稠な液体であった。性状の変化から酸化ジルコニウムの表面に被覆剤が付着していることが分かる。
有機溶媒中での分散安定性評価では、金属酸化物微粒子分散液を、30日間常温静置したところ、酸化ジルコニウム微粒子は安定に分散したままであったが、引き続き60日間(計90日間)常温静置したところ、酸化ジルコニウム微粒子の凝集が目視にて観察された。
(メタ)アクリル樹脂含有組成物中ので分散安定性評価と、硬化性の芳香族化合物を含有する組成物中での分散安定評価とでは、ともに、金属酸化物微粒子分散液を、30日間常温静置しても、酸化ジルコニウム微粒子は安定に分散したままであった。
カルボン酸化合物(CA1)を、カルボン酸化合物としてのL−アルギニン(CA2)に変更することの他は、実施例2と同様に、酸化ジルコニウム微粒子の被覆処理を行った。実施例1と同様に、回収された酸化ジルコニウムは、水あめ状の粘稠な液体であった。性状の変化から酸化ジルコニウムの表面に被覆剤が付着していることが分かる。
有機溶媒中での分散安定性評価では、金属酸化物微粒子分散液を、30日間常温静置したところ、酸化ジルコニウム微粒子は安定に分散したままであったが、引き続き60日間(計90日間)常温静置したところ、酸化ジルコニウム微粒子の凝集が目視にて観察された。
(メタ)アクリル樹脂含有組成物中ので分散安定性評価と、硬化性の芳香族化合物を含有する組成物中での分散安定評価とでは、ともに、金属酸化物微粒子分散液を、30日間常温静置しても、酸化ジルコニウム微粒子は安定に分散したままであった。
カルボン酸化合物(CA1)を、カルボン酸化合物としてのL−アルギニン(CA2)に変更することの他は、実施例3と同様に、酸化ジルコニウム微粒子の被覆処理を行った。実施例1と同様に、回収された酸化ジルコニウムは、水あめ状の粘稠な液体であった。性状の変化から酸化ジルコニウムの表面に被覆剤が付着していることが分かる。
有機溶媒中での分散安定性評価では、金属酸化物微粒子分散液を、30日間静置したところ、酸化ジルコニウム微粒子は安定に分散したままであったが、引き続き60日間(計90日間)常温静置したところ、酸化ジルコニウム微粒子の凝集が目視にて観察された。
(メタ)アクリル樹脂含有組成物中ので分散安定性評価と、硬化性の芳香族化合物を含有する組成物中での分散安定評価とでは、ともに、金属酸化物微粒子分散液を、30日間常温静置しても、酸化ジルコニウム微粒子は安定に分散したままであった。
カルボン酸化合物(CA1)を、カルボン酸化合物としてのL−アルギニン(CA2)に変更することの他は、実施例4と同様に、酸化ジルコニウム微粒子の被覆処理を行った。実施例1と同様に、回収された酸化ジルコニウムは、水あめ状の粘稠な液体であった。性状の変化から酸化ジルコニウムの表面に被覆剤が付着していることが分かる。
有機溶媒中での分散安定性評価では、金属酸化物微粒子分散液を90日間常温静置しても、酸化ジルコニウム微粒子は安定に分散したままであった。
(メタ)アクリル樹脂含有組成物中ので分散安定性評価と、硬化性の芳香族化合物を含有する組成物中での分散安定評価とのいずれでも、金属酸化物微粒子分散液を、30日間常温静置しても、酸化ジルコニウム微粒子は安定に分散したままであった。
実施例1〜3、及び実施例10と、実施例11との比較から、アミド構造を有する化合物であるN,N,N’,N’−テトラメチルウレアの存在下に、カルボン酸化合物(CA2)による被覆を行うことにより有機溶媒中での酸化ジルコニウム微粒子の分散安定性が向上したことが分かる。
カルボン酸化合物(CA1)を、カルボン酸化合物としてのL−アルギニン(CA2)に変更することの他は、実施例5と同様に、酸化ジルコニウム微粒子の被覆処理を行った。実施例1と同様に、回収された酸化ジルコニウムは、水あめ状の粘稠な液体であった。性状の変化から酸化ジルコニウムの表面に被覆剤が付着していることが分かる。
有機溶媒中での分散安定性評価では、金属酸化物微粒子分散液を90日間常温静置しても、酸化ジルコニウム微粒子は安定に分散したままであった。
(メタ)アクリル樹脂含有組成物中ので分散安定性評価と、硬化性の芳香族化合物を含有する組成物中での分散安定評価とのいずれでも、金属酸化物微粒子分散液を、30日間常温静置しても、酸化ジルコニウム微粒子は安定に分散したままであった。
実施例1〜3、及び実施例10と、実施例12との比較から、アミド構造を有する化合物であるN,N,N’,N’−テトラメチルウレアの存在下に、カルボン酸化合物(CA2)による被覆を行うことにより有機溶媒中での酸化ジルコニウム微粒子の分散安定性が向上したことが分かる。
実施例5と同様に被覆処理して得られたカルボン酸化合物(CA1)が付着した酸化ジルコニウム50質量部と、4−ヒドロキシフェニルメタクリレート40質量%及びグリシジルメタクリレート60質量%の共重合体18質量部とを、メチルイソブチルケトン50質量部中に分散させて、金属酸化物微粒子分散液を得た。
上記の共重合体の重量平均分子量は、6000であった。
得られた金属酸化物微粒子分散液を、30日間常温静置したところ、酸化ジルコニウム微粒子は安定に分散したままであった。
共重合体を、4−オキサテトラシクロ−[6.2.1.02,703,5]ウンデカニルアクリレート72質量%と、メタクリル酸18質量%と、トリシクロデシルメタクリレート10質量%との共重合体に変更することの他は、実施例13と同様にして金属酸化物微粒子分散液を得た。
上記の共重合体の重量平均分子量は10000であった。
得られた金属酸化物微粒子分散液を、30日間常温静置したところ、酸化ジルコニウム微粒子は安定に分散したままであった。
さらに、感光剤である4−[2−[4−[1,1ビス(4−ヒドロキシフェニル)エチル]フェニル]プロパン−2−イル]フェノールの1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル(3モル体)2質量部を加えることと、メチルイソブチルケトンにより希釈して金属酸化物微粒子分散液の固形分濃度を20質量%に調整することとの他は、実施例13と同様にして金属酸化物微粒子分散液を得た。得られた金属酸化物微粒子分散液は、ポジ型感光性組成物として使用し得る。
得られた金属酸化物微粒子分散液を、30日間常温静置したところ、酸化ジルコニウム微粒子は安定に分散したままであった。
さらに、光重合性化合物である、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート9質量を加えることと、4−[2−[4−[1,1ビス(4−ヒドロキシフェニル)エチル]フェニル]プロパン−2−イル]フェノールの1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル(3モル体)2質量部を、光重合開始剤である下記構造の化合物2質量部に変えることとの他は、実施例15と同様にして金属酸化物微粒子分散液を得た。得られた金属酸化物微粒子分散液は、ネガ型感光性組成物として使用し得る。
得られた金属酸化物微粒子分散液を、30日間常温静置したところ、酸化ジルコニウム微粒子は安定に分散したままであった。
Claims (14)
- 前記カルボン酸化合物及び/又は前記カルボキシレートによる被覆が、アミド構造を有する化合物を含有する溶液又は懸濁液中で調製されたか、アミド構造を有する化合物を含む分散媒の存在下に分散された改質金属酸化物微粒子に対して行われる、請求項1に記載の表面修飾金属酸化物微粒子の製造方法。
- 前記式(1)において、前記R1と前記R2とが互いに結合してイミダゾール環を形成する、請求項1又は2に記載の表面修飾金属酸化物微粒子の製造方法。
- 前記金属酸化物微粒子が、Ag、Cu、In、Sn、Ti、Hf、Al、Zr、Zn、Sn、及びCeからなる群より選択される少なくとも1種の金属元素を含む、請求項1〜3のいずれか1項に記載の表面修飾金属酸化物微粒子の製造方法。
- アミド構造を有する化合物を含有する溶液又は懸濁液中で金属酸化物微粒子を調製するか、アミド構造を有する化合物を含む分散媒の存在下で金属酸化物微粒子を分散させることを含む、改質金属酸化物微粒子の製造方法。
- 前記金属酸化物微粒子が、Ag、Cu、In、Sn、Ti、Hf、Al、Zr、Zn、Sn、及びCeからなる群より選択される少なくとも1種の金属元素を含む、請求項5に記載の改質金属酸化物微粒子の製造方法。
- 前記式(1)において、前記R1と前記R2とが互いに結合してイミダゾール環を形成する、請求項7に記載の改質金属酸化物微粒子の製造方法。
- 前記式(1)において、前記R1と前記R2とが互いに結合してイミダゾール環を形成する、請求項9に記載の表面修飾金属酸化物微粒子。
- Ag、Cu、In、Sn、Ti、Hf、Al、Zr、Zn、Sn、及びCeからなる群より選択される少なくとも1種の金属元素を含む、請求項9又は10に記載の表面修飾金属酸化物微粒子。
- 金属酸化物(A)として、請求項9〜11のいずれか1項に記載の表面修飾金属酸化物微粒子を含む、金属酸化物微粒子分散液。
- 基材成分(B)を含有する、請求項12に記載の記載の金属酸化物微粒子分散液。
- 前記基材成分(B)として、下記式(b−01):
式(b−02)中、環Z01は芳香族炭化水素環を示し、X01は単結合又は−S−で示される基を示し、R01は単結合、炭素原子数1以上4以下のアルキレン基、又は炭素原子数が1以上4以下であるアルキレンオキシ基を示し、R01がアルキレンオキシ基である場合、アルキレンオキシ基中の酸素原子が環Z01と結合し、R01は1価炭化水素基、水酸基、−OR4Aで示される基、−SR4Bで示される基、アシル基、アルコキシカルボニル基、ハロゲン原子、ニトロ基、シアノ基、メルカプト基、カルボキシ基、アミノ基、カルバモイル基、−NHR4Cで示される基、−N(R4D)2で示される基、スルホ基、又は1価炭化水素基、−OR4Aで示される基、−SR4Bで示される基、アシル基、アルコキシカルボニル基、−NHR4Cで示される基、若しくは−N(R4D)2で示される基に含まれる炭素原子に結合した水素原子の少なくとも一部が1価炭化水素基、水酸基、−OR4aで示される基、−SR4Bで示される基、アシル基、アルコキシカルボニル基、ハロゲン原子、ニトロ基、シアノ基、メルカプト基、カルボキシル基、アミノ基、カルバモイル基、−NHR4Cで示される基、−N(R4D)2で示される基、メシルオキシ基、若しくはスルホ基で置換された基を示し、R4A〜R4Dは独立に1価炭化水素基を示し、Mは0以上の整数を示し、R03は、水素原子、ビニル基、チイラン−2−イルメチル基、グリシジル基、又は(メタ)アクリロイル基であり、
W01とW02との双方がR03として水素原子を有することはなく、
環Y01及び環Y02は同一の又は異なる芳香族炭化水素環を示し、R00は単結合、置換基を有してもよいメチレン基、置換基を有してもよく、2個の炭素原子間にヘテロ原子を含んでもよいエチレン基、−O−で示される基、−NH−で示される基、又は−S−で示される基を示し、R3A及びR3Bは独立にシアノ基、ハロゲン原子、又は1価炭化水素基を示し、N1及びN2は独立に0〜4の整数を示す。)
で表される化合物を含む、請求項13に記載の金属酸化物微粒子分散液。
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