JP2020075501A - 回路基板用積層体およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
最初に本開示の実施態様を列記して説明する。
以下、本開示の一実施形態(以下「本実施形態」と記す。)について説明する。ただし、本実施形態はこれに限定されるものではない。なお以下の実施形態の説明に用いられる図面において、同一の参照符号は、同一部分又は相当部分を表わす。本明細書において「A〜B」という形式の表記は、範囲の上限下限(すなわちA以上B以下)を意味し、Aにおいて単位の記載がなく、Bにおいてのみ単位が記載されている場合、Aの単位とBの単位とは同じである。
本実施形態に係る回路基板用積層体の理解を容易とするために、まず、回路基板用積層体の製造方法の一実施形態について、図1〜図6を用いながら説明する。図1は、本開示の一実施形態に係る回路基板用積層体の製造方法の手順を示すフローチャートである。図2〜図6は、本開示の一実施形態に係る回路基板用積層体の製造方法の一部を図解する模式的な断面図である。
図1および図2を参照し、本工程は、主面1aに保護層2が設けられた基板1を準備する工程である(ステップS10)。
図1および図3を参照し、本工程は、保護層2上に銅層3を形成する工程である(ステップS11)。
図1および図4を参照し、本工程は、銅層3上にポリイミド前駆体液を塗布して硬化処理することにより、銅層3上にポリイミド層4を形成する工程である(ステップS12)。これにより、基板1、保護層2、銅層3およびポリイミド層4を含む中間積層体5が形成される(図5参照)。
本実施形態の一側面において、硬化処理の時間は3時間以上8時間以下であってもよいし、3時間以上6時間以下であってもよい。このようにすることで、銅層とポリイミド層との界面におけるCu−N結合の数が増加しやすい傾向があると考えられる。
図1、図5および図6を参照し、本工程は、基板1、保護層2、銅層3およびポリイミド層4を含む中間積層体5から、基板1および保護層2を除去する工程(ステップS13)である。なお、本工程の理解が容易となるように、図4に対して中間積層体5の上下方向を反転させてなる図5を示す。
本実施形態に係る回路基板用積層体の製造方法(以下、「本製造方法」とも言う)によれば、ポリイミド層と銅層との密着性に優れた回路基板用積層体を製造することができる。この理由について、従来技術と比較しながら以下に詳述する。
本実施形態に係る回路基板用積層体は、ポリイミド層と、ポリイミド層上に積層された銅層と、を備え、TOF−SIMS(Time-of-Flight Secondary Ion Mass Spectrometry)分析を行った場合に、ポリイミド層と銅層との界面を含む第1領域(後述する)におけるCu3Oフラグメントのカウント数が5000以下である。この回路基板用積層体は、上述の製造方法によって製造することができる。
ポリイミド層はポリイミドからなる層である。ただし、上述のステップS12において重合しなかった低分子化合物等の不純物、不可避不純物を含み得ることはいうまでもない。
銅層は、回路基板の回路として動作する層である。本実施形態の一側面において、上記銅層は、回路基板の回路として機能する層と把握することもできる。したがって、上記銅層は銅のみから構成されてもよく、銅を主成分とする合金であってもよい。合金としては、銅−アルミニウム合金、銅−クロム合金等が挙げられる。なかでも、銅層は銅のみから構成されることが好ましい。この場合、銅酸化物の低減に伴う密着性の向上が顕著となる。
本実施形態に係る回路基板用積層体は、TOF−SIMS分析を行った場合に、ポリイミド層と銅層との界面を含む第1領域におけるCu3Oフラグメントのカウント数が5000以下である。上記第1領域におけるCu3Oフラグメントのカウント数の下限値は、特に制限されないが例えば、0以上であってもよい。TOF−SIMS分析は次のようにして実施される。
一次イオン源 :ビスマス(Bi)
スパッタイオン源 :セシウム(Cs)
深さ方向ピッチ :1nm
一次イオン加速電圧 :30kV
スパッタイオン加速電圧:1kV
測定対象面領域 :500nm×500nm
なお、TOF−SIMS分析の深さ方向に関し、深さの値(nm)(グラフにおける横軸)は、Cu標準試料(99%以上のCu標準試料)の測定結果をもとに校正される。
本実施形態に係る回路基板用積層体は、TOF−SIMS分析を行った場合に、ポリイミド層と銅層との界面を含む第2領域におけるC3Nフラグメントのカウント数が15×105以下であることが好ましい。上記第2領域におけるC3Nフラグメントのカウント数の下限値は、特に制限されないが後述する理由から、13×105以上であってもよい。第2領域は、以下のように決定される。なお、TOF−SIMS分析の条件は、上記と同様である。
本実施形態に係る回路基板用積層体は、TOF−SIMS分析を行った場合に、ポリイミド層と銅層との界面を含む第3領域におけるCuNフラグメントのカウント数が9000以上であることが好ましい。上記第3領域におけるCuNフラグメントのカウント数の上限値は、特に制限されないが、18000以下であってもよい。第3領域は、以下のように決定される。なお、TOF−SIMS分析の条件は、上記と同様である。
本実施形態に係る回路基板用積層体は、TOF−SIMS分析を行った場合に、ポリイミド層と銅層との界面を含む第3領域におけるCu2Nフラグメントのカウント数が2000以上であることが好ましい。上記第3領域におけるCu2Nフラグメントのカウント数の上限値は、特に制限されないが4000以下であってもよい。第3領域は、上述のように決定される。なお、TOF−SIMS分析の条件は、上記と同様である。
本実施形態に係る回路基板用積層体は、TOF−SIMS分析を行った場合に、ポリイミド層と銅層との界面を含む第4領域におけるO2フラグメントのカウント数が10000以下であることが好ましい。上記第4領域におけるO2フラグメントのカウント数の下限値は、特に制限されないが5000以上であってもよい。第4領域は、以下のように決定される。なお、TOF−SIMS分析の条件は、上記と同様である。
本実施形態に係る回路基板用積層体(以下、「本積層体」とも言う。)によれば、ポリイミド層と銅層との密着性に優れることができる。ポリイミド層と銅層との間の銅酸化物の量が従来と比して十分に低いためである。銅酸化物の量が十分に低いことは、TOF−SIMS分析を行った場合に、第1領域におけるCu3Oフラグメントのカウント数が5000以下であることから確認される。Cu3Oフラグメントは、銅酸化物、具体的にはCuOに由来するフラグメントだからである。
《実施例1》
以下の手順により、ポリイミド層と、ポリイミド層上に積層された銅層とを備える回路基板用積層体を製造した。
4,4’−ジアミノジフェニルエーテル94.3gをN−メチル−2−ピロリドン803gに溶解させた後、ピロメリット酸二無水物102.7gを加えることにより、溶液を調製した。次に、窒素雰囲気下、25℃で上記溶液を1時間攪拌した後、60℃に昇温してさらに20時間攪拌した。攪拌後、溶液を室温まで冷却し、さらに1時間攪拌した。これにより、ポリアミック酸を含むポリイミド前駆体液が調製された。
銅層の露出する表面に、ドクターブレードを用いてポリイミド前駆体液を塗布し、銅層上に塗膜を形成した。次に、窒素雰囲気下において120℃で60分間塗膜を予備乾燥させた。次に、窒素雰囲気下において300℃で3時間の熱処理(硬化処理)を、上述の予備乾燥させた塗膜に対して実施した。これにより、10μmの厚さを有するポリイミド層が形成された。以上により、GaAs基板、SiO2層、銅層、およびポリイミド層を含む中間積層体が作製された。
従来のスパッタめっき法により、ポリイミド層と、ポリイミド層上に積層された銅層とを備える回路基板用積層体を製造した。具体的には、10μmの厚さを有するポリイミドフィルムの1つの表面上に、スパッタめっき法を用いて、20nmの厚さを有する銅層を形成した。
実施例1および比較例1の各回路基板用積層体に対し、上述のTOF−SIMS分析を実施した。TOF−SIMS質量分析計としては、IONTOF社製のTOF.SIMS 5を用いた。また、検証のために、比較例1で用いたポリイミドフィルムと同様のポリイミドフィルムに対しても、上述のTOF−SIMS分析を実施した。その結果を図7〜図11の各グラフに示す。
実施例1および比較例1の各回路基板用積層体に対し、上述のTOF−SIMS分析1と同様の方法によってTOF−SIMS分析を実施した。このTOF−SIMS分析では、Cu3Oフラグメント、Cu4O4フラグメント、Cu2O3HフラグメントおよびC3Nフラグメントに加えて、CuNフラグメント、Cu2NフラグメントおよびO2フラグメントについても分析を行った。これら新たに分析した3種類のフラグメントの結果を図13〜図15の各グラフに示す。なお、Cu3Oフラグメント、Cu4O4フラグメント、Cu2O3HフラグメントおよびC3Nフラグメントについては、図7〜図10の各グラフと同様の傾向であったため、省略した。
《実施例2》
銅層の厚さを300nmとした以外は、実施例1と同様にして、回路基板用積層体を作製した。
銅層の厚さを500nmとした以外は、実施例1と同様にして、回路基板用積層体を作製した。
銅層の厚さを300nmとした以外は、比較例1と同様にして、回路基板用積層体を作製した。
銅層の厚さを500nmとした以外は、比較例1と同様にして、回路基板用積層体を作製した。
実施例2、3および比較例2、3で製造された各回路基板用積層体に対して、SAICAS(Surface And International Cutting Analysis System)装置を用いて、剥離試験を実施した。剥離試験の条件は以下のとおりである。
試験モード:定速度モード
切刃の材質:単結晶ダイヤモンド切刃
切刃の形状:刃幅0.3mm、刃角60度、すくい角20度、逃げ角10度
水平速度 :0.5μm/秒
垂直速度 :0.01μm/秒
N数 :3。
P=Fh/W(N/m)(ただし、Wは切刃の刃幅(m)であり、Fhは測定された水平力(N)である)。
2 保護層
3 銅層
4 ポリイミド層
5 中間積層体
6 回路基板用積層体
Claims (7)
- ポリイミド層と、前記ポリイミド層上に積層された銅層と、を備え、
TOF−SIMS分析を行った場合に、前記ポリイミド層と前記銅層との界面を含む第1領域におけるCu3Oフラグメントのカウント数が5000以下であり、
前記第1領域は、前記界面から前記銅層の厚さ方向に5nm離れた位置を一方端とし、前記界面から前記ポリイミド層の厚さ方向に20nm離れた位置を他方端とする領域である、回路基板用積層体。 - 前記TOF−SIMS分析を行った場合に、前記ポリイミド層と前記銅層との界面を含む第2領域におけるC3Nフラグメントのカウント数が15×105以下であり、
前記第2領域は、前記界面を一方端とし、前記界面から前記ポリイミド層の厚さ方向に30nm離れた位置を他方端とする領域である、請求項1に記載の回路基板用積層体。 - 前記TOF−SIMS分析を行った場合に、前記ポリイミド層と前記銅層との界面を含む第3領域におけるCuNフラグメントのカウント数が9000以上であり、
前記第3領域は、前記界面から前記銅層の厚さ方向に20nm離れた位置を一方端とし、前記界面から前記ポリイミド層の厚さ方向に40nm離れた位置を他方端とする領域である、請求項1又は請求項2に記載の回路基板用積層体。 - 前記TOF−SIMS分析を行った場合に、前記ポリイミド層と前記銅層との界面を含む第3領域におけるCu2Nフラグメントのカウント数が2000以上であり、
前記第3領域は、前記界面から前記銅層の厚さ方向に20nm離れた位置を一方端とし、前記界面から前記ポリイミド層の厚さ方向に40nm離れた位置を他方端とする領域である、請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の回路基板用積層体。 - 前記TOF−SIMS分析を行った場合に、前記ポリイミド層と前記銅層との界面を含む第4領域におけるO2フラグメントのカウント数が10000以下であり、
前記第4領域は、前記界面から前記銅層の厚さ方向に10nm離れた位置を一方端とし、前記界面から前記ポリイミド層の厚さ方向に40nm離れた位置を他方端とする領域である、請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の回路基板用積層体。 - 主面に保護層が設けられた基板を準備する工程と、
前記保護層上に銅層を形成する工程と、
前記銅層上にポリイミド前駆体液を塗布して硬化処理することにより、前記銅層上にポリイミド層を形成する工程と、
前記基板、前記保護層、前記銅層および前記ポリイミド層を含む中間積層体から、前記基板および前記保護層を除去する工程と、を備え、
前記硬化処理は、300℃以上かつ3時間以上の熱処理である、回路基板用積層体の製造方法。 - 前記ポリイミド前駆体液は、水を含む、請求項6に記載の回路基板用積層体の製造方法。
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Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05228418A (ja) * | 1991-12-27 | 1993-09-07 | Mitsui Toatsu Chem Inc | フレキシブル金属箔積層板の製造方法および製造装置 |
JPH0897525A (ja) * | 1994-07-13 | 1996-04-12 | Hitachi Ltd | 配線構造体とその製造法 |
JPH08157599A (ja) * | 1994-10-07 | 1996-06-18 | Unitika Ltd | ポリアミド酸溶液及びそれから得られるポリイミドフィルム又はポリイミド被覆物 |
US6563998B1 (en) * | 1999-04-15 | 2003-05-13 | John Farah | Polished polymide substrate |
KR20140041080A (ko) * | 2012-09-27 | 2014-04-04 | 엘에스엠트론 주식회사 | 연성회로 동장 적층판과 이를 이용한 인쇄회로 기판 및 그 제조 방법 |
JP2016159606A (ja) * | 2015-03-05 | 2016-09-05 | 住友電気工業株式会社 | 積層構造体 |
JP2017061093A (ja) * | 2015-09-25 | 2017-03-30 | 新日鉄住金化学株式会社 | フレキシブルデバイス用積層体及びフレキシブルデバイスの製造方法 |
JP2018031603A (ja) * | 2016-08-22 | 2018-03-01 | 住友電気工業株式会社 | 界面分析用試料の作製方法および界面の分析方法 |
-
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05228418A (ja) * | 1991-12-27 | 1993-09-07 | Mitsui Toatsu Chem Inc | フレキシブル金属箔積層板の製造方法および製造装置 |
JPH0897525A (ja) * | 1994-07-13 | 1996-04-12 | Hitachi Ltd | 配線構造体とその製造法 |
JPH08157599A (ja) * | 1994-10-07 | 1996-06-18 | Unitika Ltd | ポリアミド酸溶液及びそれから得られるポリイミドフィルム又はポリイミド被覆物 |
US6563998B1 (en) * | 1999-04-15 | 2003-05-13 | John Farah | Polished polymide substrate |
KR20140041080A (ko) * | 2012-09-27 | 2014-04-04 | 엘에스엠트론 주식회사 | 연성회로 동장 적층판과 이를 이용한 인쇄회로 기판 및 그 제조 방법 |
JP2016159606A (ja) * | 2015-03-05 | 2016-09-05 | 住友電気工業株式会社 | 積層構造体 |
JP2017061093A (ja) * | 2015-09-25 | 2017-03-30 | 新日鉄住金化学株式会社 | フレキシブルデバイス用積層体及びフレキシブルデバイスの製造方法 |
JP2018031603A (ja) * | 2016-08-22 | 2018-03-01 | 住友電気工業株式会社 | 界面分析用試料の作製方法および界面の分析方法 |
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