JP6499545B2 - 金属セラミック接合基板及び、その製造方法 - Google Patents
金属セラミック接合基板及び、その製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6499545B2 JP6499545B2 JP2015157363A JP2015157363A JP6499545B2 JP 6499545 B2 JP6499545 B2 JP 6499545B2 JP 2015157363 A JP2015157363 A JP 2015157363A JP 2015157363 A JP2015157363 A JP 2015157363A JP 6499545 B2 JP6499545 B2 JP 6499545B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- metal
- conductor layer
- bonding
- silicon nitride
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 212
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims description 92
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 16
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 102
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims description 100
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 100
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 51
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 51
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 46
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 45
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 44
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 41
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 38
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 37
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 36
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 35
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 31
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 31
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 31
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 claims description 31
- GPPXJZIENCGNKB-UHFFFAOYSA-N vanadium Chemical compound [V]#[V] GPPXJZIENCGNKB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 31
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 claims description 31
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 23
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 claims description 19
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 18
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 17
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 14
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 14
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 14
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 13
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 12
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 12
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 12
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims description 11
- SKKMWRVAJNPLFY-UHFFFAOYSA-N azanylidynevanadium Chemical compound [V]#N SKKMWRVAJNPLFY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims description 10
- ZVWKZXLXHLZXLS-UHFFFAOYSA-N zirconium nitride Chemical compound [Zr]#N ZVWKZXLXHLZXLS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 9
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 9
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 8
- 238000005304 joining Methods 0.000 claims description 7
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 claims description 5
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 4
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 4
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 3
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims description 3
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims description 3
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 19
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 10
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 8
- 238000001513 hot isostatic pressing Methods 0.000 description 7
- 238000007731 hot pressing Methods 0.000 description 6
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 5
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 5
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 5
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 5
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 4
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 3
- 238000001004 secondary ion mass spectrometry Methods 0.000 description 3
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 2
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 2
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 238000007719 peel strength test Methods 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 2
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001128 Sn alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001093 Zr alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N hafnium atom Chemical compound [Hf] VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- -1 hafnium nitride Chemical class 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010955 niobium Substances 0.000 description 1
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005121 nitriding Methods 0.000 description 1
- QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N nitrogen group Chemical group [N] QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 238000004445 quantitative analysis Methods 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 239000010944 silver (metal) Substances 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Laminated Bodies (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
Description
そのため、金属セラミック接合基板のセラミック基板として、窒化珪素基板を用いる場合は、窒化珪素基板と導体層との間に、銀等の活性金属を含むろう材を介在させることで、それらの接合を実現している。
また、このようにろう材の厚みを厚くすると、使用に際し、厚みのあるろう材が、半導体素子で生じる熱の放散を阻害し、金属セラミック接合基板による所要の放熱性能を確保できないことがあった。
またここでは、前記導体層から接合層への銅の拡散距離が、該導体層と接合層との界面から厚み方向に沿って測って500nm以上であることが好ましい。
そしてまた、前記窒化珪素基板を、曲げ強度が400MPa以上であり、表面粗さRaが0.1μm以上かつ1.0μm以下であるものとすることが好ましい。
また、この製造方法で好ましくは、前記スパッタリング法又は蒸着法による成膜の際に用いられるチタン、ジルコニウムおよびバナジウム及びアルミニウム原料中の酸素濃度が、100wtppm以上である。
この発明の金属セラミック接合基板1は、図1に概略的に示すように、窒化珪素基板2の少なくとも一方の表面側に、銅又は銅合金からなる導体層3を積層して構成されるものであって、前記窒化珪素基板2と導体層3との間に、窒化チタン、窒化ジルコニウム、窒化バナジウム及び窒化アルミニウムからなる群から選択される少なくとも一種の化合物を含む接合層4が介在し、かかる接合層4の介在下で、前記窒化珪素基板2と導体層3とが接合されたものである。
なお、図示の実施形態では、窒化珪素基板2の一方の表面だけに、導体層3を積層させているが、図示は省略するが、窒化珪素基板の両面のそれぞれに導体層を積層させたものとすることも可能である。
導体層3を純銅で構成する場合、タフピッチ銅、脱酸銅又は、無酸素銅等を用いることができる。
一方、導体層3を銅合金からなるものとする場合、この銅合金は、銅の他、銀、錫及びジルコニウムから選択される少なくとも一種を、二種以上の場合は合計で0.05重量%以上かつ0.3重量%以下で含有するものとすることができる。好ましくは、上記の銅合金はCu−0.1重量%Zr合金またはCu−0.12重量%Sn合金とする。
それ故に、この発明の金属セラミック接合基板1では、窒化珪素基板2と導体層3との間に、窒化チタン、窒化ジルコニウム、窒化バナジウム及び窒化アルミニウムからなる群から選択される少なくとも一種の化合物を含む接合層4を介在させることとし、この接合層4が、窒化珪素基板2と導体層3とを強固に接合するべく機能する。
この図2は、厚み0.32mmの窒化珪素基板2と、タフピッチ銅からなる厚み30μmの導体層3との間に、窒化チタンを含む厚み2200nmの接合層4を介在させた金属セラミック接合基板1で、その厚み方向に沿う断面で、電子線マイクロアナライザ(EPMA:Electron Probe Micro Analyser)を用いて、各元素の厚み方向の相対的な量の大小を調べ、厚み方向に沿う各元素の存在プロファイルを示したものであり、ここでは、横軸に厚み方向の位置を示し、縦軸に各元素のEPMAでのカウント数を示している。
またここでは、製造された金属セラミック接合基板中の不純物濃度の定量分析は、二次イオン質量分析法(SIMS:Secondary Ion Mass Spectrometry)を用いた。SIMS分析用のサンプルは、窒化珪素基板側から窒化珪素基板の厚みが10μm程度の薄さになるまで研削加工し、その後、研磨で数ミクロンになるまで加工した。SIMS分析は、その窒化珪素基板側から接合層側への深さ方向として酸素と窒素の含有量を定量した。
この場合、接合層4の銅が存在する領域では、チタン等と銅との化合物が形成されていると解され、これが、窒化珪素基板2と導体層3との接合に有効に寄与すると考えられる。
より詳細には、窒素は、金属セラミック接合基板1の厚み方向で、窒化珪素基板2と接合層4との界面から導体層側に向かって、500nm離れた位置における窒素の濃度が5×1021atoms/cm3以上であることが好ましい。
そのため、この発明の金属セラミック接合基板1では、接合層4中の、チタン、ジルコニウム、バナジウム及び/又はアルミニウムの含有量は、接合層4の厚み方向の中間領域にピークを有し、該中間領域から厚み方向で導体層側及び窒化珪素基板側のそれぞれに向かうに従い減少していることが好ましい。
ここでいう中間領域は、窒化珪素基板2と接合層4との界面および、導体層3と接合層4との界面を含まない接合層4の厚み方向の領域であり、たとえば、窒化珪素基板2側のチタン濃度が5×1020atoms/cm3以上となる位置と、導体層3側のチタン濃度が5×1020atoms/cm3以上となる位置との間の領域を意味するものとすることができる。ジルコニウム、バナジウム、アルミニウムも同様の値で中間領域を決定できる。
言い換えれば、接合層4の厚みが500nmより薄く、銅の拡散距離が200nmより小さい場合は、回路基板として要求される所要のピール強度が得られない可能性があり、使用時の熱サイクルによって導体層3が剥離することが懸念される。
接合層4中の酸素濃度が低いと上記のピール強度が低下することがあるので、この酸素濃度は、3×1019atoms/cm3以上とすることが好ましい。一方、酸素の上限は1×1022atoms/cm3とすることが好適である。
このピール強度は、JIS C6481に定義される引き剥がし強さを意味する。
また、金属セラミック接合基板1は、その使用時に、導体層3上に搭載される図示しない半導体素子から繰り返し熱が伝導することによる熱サイクルの影響を受けることになり、この際に剥離が生じる場合もある。
一方、導体層3の厚みが薄すぎると、接合層4の影響によって配線の導電率が低下する可能性がある。このため、導体層3の厚みは、10μm以上とすることが好ましい。なお、導体層3を構成する銅または銅合金の導電率は、IACS80%以上であれば導体層として有効に機能することができる。この導電率は、JIS H0505に基いて測定することができる。
そのため、窒化珪素基板2の表面における1μm以上の欠陥は、10個/mm2以下であることが好ましい。ここで、欠陥とは、ポア(pore)またはボイド(void)、脱粒のことをいい、形状は、鏡面研磨した窒化珪素基板の表面上に、大きさが長辺1μm以上であり、微小な凹み形状をした空隙である。また欠陥密度は、1000倍の視野でSEM観察して、欠陥の個数をカウントし、SEMの視野面積から、1mm2当たりの欠陥数に換算して求めることができる。
ここでは、スパッタリング、イオンプレーティング又は真空蒸着等の公知の方法を用いて、窒化珪素基板の表面上に、チタン、ジルコニウム、バナジウム及び/又はアルミニウムの薄膜層を生成することができる。
スパッタリング法又は蒸着法は、窒化珪素基板の表面上のこの薄膜層の膜厚が300nm以上となるまで実施する。
この圧着は、真空又は不活性ガスの雰囲気の下、薄膜層がチタン、ジルコニウム、バナジウムの場合は750℃〜950℃の温度で、または薄膜層がアルミニウムの場合は400℃〜600℃の温度で行うものとして、5MPa〜150MPaの加圧力を作用させる。特にここでは、重ね合せた窒化珪素基板と導体層に対し、全方向から均等圧を作用させて加圧する熱間等方圧加圧法(Hot Isostatic Pressing)を用いることが好ましい。それにより、セラミック基板全体が等しく加圧されるからである。
あるいは、成膜された材料がアルミニウムである場合は、前記窒化珪素基板と導体層とを接合する際の温度を、400℃以上かつ600℃以下とする。これは、接合層材料が十分にセラミック基板側へ熱拡散するためからである。言い換えれば、この接合時の温度が400℃未満とすると、接合層材料の熱拡散が不十分となり、密着性が十分に得られないという不都合があり、この一方で、600℃より高くすると、アルミニウムの融点に近い温度となり、リメルトして積層体構造を壊す可能性がある。このため、成膜材料がアルミニウムである場合の接合温度は、400〜600℃とする。
それにより、導体層側では銅とチタン、ジルコニウム、バナジウム及び/又はアルミニウムとの化合物が、また窒化珪素基板側では窒化チタン、窒化ジルコニウム、窒化バナジウム及び/又は窒化アルミニウムがそれぞれ存在する接合層が形成される。
それ故に、この発明の金属セラミック接合基板は、セラミック基板をベース板上に固定配置するとともに、導体層上にパワートランジスタ等の半導体素子が搭載されて使用されるパワーモジュール用基板として用いることが好適である。
なお、回路パターンの形成方法は特に限定されるものではないが、たとえば、フォトレジスト工程を利用し、マスクパターンを形成して、不要金属箔部分をエッチングで除去して作製すること等により、回路パターンを形成することが可能である。
このパワー半導体モジュールとしては、たとえば、IGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor)、MOS−FET(metal-oxide-semiconductor field-effect transistor)モジュール等を挙げることができる。
また、この発明の金属セラミック接合基板は、複数の演算装置(CPU)を搭載し、たとえばパワートレイン・システムその他の車両システム等で使用され得るマルチコアMCU(Micro Control Unit)に用いることもできる。
なおここで、表1〜4から、接合層中の銅の拡散距離は、熱間等方圧加圧(HIP)時の温度によって変化することが解かる。
これらの試験結果も表2及び表4に示す。表2及び表4中、熱サイクル後の基板の反りおよび割れもしくは剥がれの項目における「○」は、上述した熱サイクル後に基板の反りないし割れ、剥がれが生じなかったことを示し、また、同項目における「×」は、熱サイクル後に反りないし割れ、剥がれが生じたことを示す。
比較例2は、ホットプレス時の加圧力が低く、接合界面の密着が不十分となって、ピール強度が低くなった。
比較例6〜8は、ホットプレス時の温度が高すぎたことにより、銅体層がリメルトしてピール強度が低くなったと考えられ、またホットプレス時に基板の割れ又は剥がれが生じたものもあった。
2 窒化珪素基板
3 導体層
4 接合層
Claims (16)
- 窒化珪素基板の少なくとも一方の表面側に、銅又は銅合金からなる導体層を積層してなる金属セラミック接合基板であって、
前記窒化珪素基板と導体層との間に、窒化チタン、窒化ジルコニウム、窒化バナジウム、及び、窒化アルミニウムからなる群から選択される少なくとも一種の化合物を含み且つ銀を含まない接合層が介在し、該接合層の介在下で、前記窒化珪素基板と導体層とが接合されてなり、
前記接合層中の酸素濃度が3×10 19 atoms/cm 3 以上である金属セラミック接合基板。 - 前記接合層の厚みが、500nm以上かつ5000nm以下である請求項1に記載の金属セラミック接合基板。
- 前記接合層の厚みが、2000nm以上かつ4000nm以下である請求項2に記載の金属セラミック接合基板。
- 前記導体層から接合層への銅の拡散距離が、該導体層と接合層との界面から厚み方向に沿って測って500nm以上である請求項1〜3のいずれか一項に記載の金属セラミック接合基板。
- 前記窒化珪素基板と導体層とのピール強度が、0.4kN/m以上である請求項1〜4のいずれか一項に記載の金属セラミック接合基板。
- 前記窒化珪素基板を、曲げ強度が400MPa以上であり、表面粗さRaが0.1μm以上かつ1.0μm以下であるものとしてなる請求項1〜5のいずれか一項に記載の金属セラミック接合基板。
- 前記導体層を構成する銅又は銅合金の導電率がIACS80%以上であり、該導体層の厚みが10μm以上かつ200μm以下である請求項1〜6のいずれか一項に記載の金属セラミック接合基板。
- 厚み方向で、窒化珪素基板と接合層との界面から導体層側に向かって、500nm離れた位置における窒素の濃度が、5×1021atoms/cm3以上である請求項1〜7のいずれか一項に記載の金属セラミック接合基板。
- 前記接合層中のチタン、ジルコニウム、バナジウム、及び/又は、アルミニウムの含有量が、該接合層の厚み方向の中間領域にピークを有するとともに、該中間領域から、厚み方向で導体層側及び窒化珪素基板側のそれぞれに向かうに従い減少してなる請求項1〜8のいずれか一項に記載の金属セラミック接合基板。
- 車載用又は民生機器搭載用のパワー半導体素子が搭載されるパワーモジュール用基板としてなる請求項1〜9のいずれか一項に記載の金属セラミック接合基板。
- 前記導体層に回路パターンが形成された金属回路基板としてなる請求項1〜9のいずれか一項に記載の金属セラミック接合基板。
- LED用基板としてなる請求項1〜9のいずれか一項に記載の金属セラミック接合基板。
- MEMS用基板としてなる請求項1〜9のいずれか一項に記載の金属セラミック接合基板。
- マルチコアMCUに用いられる請求項1〜9のいずれか一項に記載の金属セラミック接合基板。
- 窒化珪素基板の少なくとも一方の表面側に、銅又は銅合金からなる導体層を積層してなる金属セラミック接合基板を製造する方法であって、
窒化珪素基板又は導体層の、少なくとも一方の表面上に、チタン、ジルコニウム、バナジウム、及びアルミニウムからなる群から選択される少なくとも一種を、スパッタリング法又は蒸着法により、膜厚が300nm以上になるまで成膜し、その後、成膜した薄膜層上に、導体層又は窒化珪素基板を、真空又は不活性ガス雰囲気の下、所定の温度条件で、5MPa以上かつ150MPa以下の加圧力の作用により圧着させて、前記窒化珪素基板と導体層とを接合し、
前記スパッタリング法又は蒸着法により成膜される材料が、チタン、ジルコニウム、及び、バナジウムからなる群から選択される少なくとも一種である場合、前記窒化珪素基板と導体層とを接合する際の温度を、750℃以上かつ950℃以下とし、または、前記スパッタリング法又は蒸着法により成膜される材料が、アルミニウムである場合、前記窒化珪素基板と導体層とを接合する際の温度を、400℃以上かつ600℃以下とする金属セラミック接合基板の製造方法。 - 前記スパッタリング法又は蒸着法による成膜の際に用いられるチタン、ジルコニウム、バナジウムおよびアルミニウム原料中の酸素濃度が、100wtppm以上である請求項15に記載の金属セラミック接合基板の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015157363A JP6499545B2 (ja) | 2015-08-07 | 2015-08-07 | 金属セラミック接合基板及び、その製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015157363A JP6499545B2 (ja) | 2015-08-07 | 2015-08-07 | 金属セラミック接合基板及び、その製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017035805A JP2017035805A (ja) | 2017-02-16 |
JP6499545B2 true JP6499545B2 (ja) | 2019-04-10 |
Family
ID=58047446
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015157363A Active JP6499545B2 (ja) | 2015-08-07 | 2015-08-07 | 金属セラミック接合基板及び、その製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6499545B2 (ja) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7230432B2 (ja) | 2017-11-02 | 2023-03-01 | 三菱マテリアル株式会社 | 接合体、及び、絶縁回路基板 |
WO2019088222A1 (ja) * | 2017-11-02 | 2019-05-09 | 三菱マテリアル株式会社 | 接合体、及び、絶縁回路基板 |
JPWO2020105160A1 (ja) * | 2018-11-22 | 2021-10-14 | 日本碍子株式会社 | 接合基板の製造方法 |
JP7289910B2 (ja) * | 2019-03-14 | 2023-06-12 | 日本碍子株式会社 | 接合基板及び接合基板の製造方法 |
WO2020183701A1 (ja) * | 2019-03-14 | 2020-09-17 | 日本碍子株式会社 | 接合基板 |
JP7197703B2 (ja) * | 2019-07-23 | 2022-12-27 | 日本碍子株式会社 | 接合基板および接合基板の製造方法 |
DE102020120189A1 (de) * | 2020-07-30 | 2022-02-03 | Rogers Germany Gmbh | Verfahren zur Herstellung eines Metall-Keramik-Substrats und ein Metall-Keramik-Substrat hergestellt mit einem solchen Verfahren |
JP7107591B2 (ja) * | 2020-09-29 | 2022-07-27 | 株式会社フェローテックホールディングス | 接合基板 |
CN116829352A (zh) | 2021-01-19 | 2023-09-29 | 佐佐木贝慈 | 基板及产品 |
WO2024166907A1 (ja) * | 2023-02-07 | 2024-08-15 | 三菱マテリアル株式会社 | 金属/窒化物積層体、および、絶縁回路基板 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09153567A (ja) * | 1995-09-28 | 1997-06-10 | Toshiba Corp | 高熱伝導性窒化珪素回路基板および半導体装置 |
JP3569093B2 (ja) * | 1996-12-04 | 2004-09-22 | 株式会社東芝 | 配線基板およびその製造方法 |
JP3539634B2 (ja) * | 2000-10-26 | 2004-07-07 | 日立金属株式会社 | 回路搭載用窒化ケイ素基板および回路基板 |
JP2003192462A (ja) * | 2001-12-25 | 2003-07-09 | Toshiba Corp | 窒化珪素回路基板およびその製造方法 |
-
2015
- 2015-08-07 JP JP2015157363A patent/JP6499545B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2017035805A (ja) | 2017-02-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6499545B2 (ja) | 金属セラミック接合基板及び、その製造方法 | |
US11570890B2 (en) | Ceramic circuit board and module using same | |
KR102272865B1 (ko) | 접합체, 히트 싱크가 부착된 파워 모듈용 기판, 히트 싱크, 접합체의 제조 방법, 히트 싱크가 부착된 파워 모듈용 기판의 제조 방법, 및 히트 싱크의 제조 방법 | |
WO2013094213A1 (ja) | セラミックス銅回路基板とそれを用いた半導体装置 | |
US7608485B2 (en) | Highly reliable, cost effective and thermally enhanced AuSn die-attach technology | |
US8609993B2 (en) | Power module substrate, power module, and method for manufacturing power module substrate | |
JP5991103B2 (ja) | ヒートシンク付パワーモジュール用基板、ヒートシンク付パワーモジュール、及びヒートシンク付パワーモジュール用基板の製造方法 | |
JP6432465B2 (ja) | 接合体、ヒートシンク付パワーモジュール用基板、ヒートシンク、接合体の製造方法、ヒートシンク付パワーモジュール用基板の製造方法、及び、ヒートシンクの製造方法 | |
JP6456676B2 (ja) | 金属セラミック接合基板及び、その製造方法 | |
JP7461506B2 (ja) | キャリア基板およびキャリア基板の製造方法 | |
US20230164913A1 (en) | Process for Producing a Metal-Ceramic Substrate, and a Metal-Ceramic Substrate Produced Using Such Method | |
JP6031784B2 (ja) | パワーモジュール用基板及びその製造方法 | |
JP6432373B2 (ja) | ヒートシンク付パワーモジュール用基板、パワーモジュール、及び、ヒートシンク付パワーモジュール用基板の製造方法 | |
JP2011082502A (ja) | パワーモジュール用基板、ヒートシンク付パワーモジュール用基板、パワーモジュール及びパワーモジュール用基板の製造方法 | |
JP6327058B2 (ja) | ヒートシンク付パワーモジュール用基板、接合体の製造方法、パワーモジュール用基板の製造方法、及び、ヒートシンク付パワーモジュール用基板の製造方法 | |
JP6614256B2 (ja) | 絶縁回路基板 | |
US20150289385A1 (en) | Manufacturing method of power-module substrate | |
JP2016143831A (ja) | ヒートシンク付パワーモジュール用基板、パワーモジュール、及び、ヒートシンク付パワーモジュール用基板の製造方法 | |
KR101878492B1 (ko) | 파워 모듈용 기판의 제조 방법, 파워 모듈용 기판, 히트싱크가 부착된 파워 모듈용 기판 및 파워 모듈 | |
JP5359943B2 (ja) | パワーモジュール用基板、パワーモジュール及びパワーモジュール用基板の製造方法 | |
JP5724244B2 (ja) | パワーモジュール用基板の製造方法、パワーモジュール用基板、ヒートシンク付パワーモジュール用基板及びパワーモジュール | |
KR101711217B1 (ko) | 파워 모듈용 기판, 히트 싱크 부착 파워 모듈용 기판, 파워 모듈 및 파워 모듈용 기판의 제조 방법 | |
KR20170047720A (ko) | 세라믹 회로기판 및 이의 제조방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180209 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20181005 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20181016 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20181214 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190219 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190315 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6499545 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R157 | Certificate of patent or utility model (correction) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R157 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |