JP2020065322A - 振動発電素子および振動発電装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の第2の態様による振動発電装置は、前記振動発電素子と、前記振動発電素子を真空封止する筐体とを備える。
図9,10は、位置決め機構の変形例を示す図である。上述した実施の形態では、位置決めピンを錘10a,10bと可動電極部12に形成された貫通孔122に通すことにより、可動電極部12に対して錘10a,10bを位置決めした。一方、図9(a),(b)に示す変形例では、可動電極部12の固着面123に形成された貫通孔123aに錘10a,10bの固着面101に形成された凸部101aを係合させることにより、錘10a,10bの位置決めを行うようにした。
(1)振動発電素子1は、複数の櫛歯電極110を有する固定電極部111と、複数の櫛歯電極120を有する可動電極部12と、可動電極部12を弾性支持する弾性支持部13と、可動電極部12に固定される錘10a,10bと、錘10a,10bを可動電極部12に位置決めする位置決め機構としての貫通孔100、122とを備える。位置決め機構を設けることにより、可動電極部12とは別体で形成された錘10a,10bであっても、あらかじめ設定した位置に精度よく固定することができる。また、錘10a,10bを可動電極部12に固定する構成であるため、可動電極部12の形状や材料に制限されることなく比重および体積の大きな錘10a,10bを構成することができ、発電効率の向上を図ることができる。
Claims (8)
- 複数の櫛歯電極を有する固定電極部と、
複数の櫛歯電極を有する可動電極部と、
前記可動電極部を弾性支持する支持部と、
前記可動電極部に固定される錘と、
前記錘を前記可動電極部に位置決めする位置決め機構とを備える、振動発電素子。 - 請求項1に記載の振動発電素子において、
振動する前記可動電極部に当接して前記可動電極部の振動を制限する制限部を備え、
前記位置決め機構は、前記制限部の当接箇所を通って振動方向に平行なラインの上に前記錘の重心位置を位置決めする、振動発電素子。 - 請求項1または2に記載の振動発電素子において、
前記位置決め機構として、前記錘を前記可動電極部に位置決めするための位置決めピン用ピン孔が前記錘および前記可動電極部にそれぞれ形成されている、振動発電素子。 - 請求項1または2に記載の振動発電素子において、
前記位置決め機構は、前記可動電極部に形成された凹部と、前記錘に形成され前記凹部に係合する凸部とを備える、振動発電素子。 - 請求項4に記載の振動発電素子において、
前記凹部および凸部の横断面形状が多角形または楕円である、振動発電素子。 - 請求項1から請求項5までのいずれか一項に記載の振動発電素子において、
前記錘は前記可動電極部を構成する材料よりも比重の大きい材料で形成されている、振動発電素子。 - 請求項1から請求項6までのいずれか一項に記載の振動発電素子において、
前記錘は、前記可動電極部の表面側に装着される第1の錘と前記可動電極部の裏面側に装着される第2の錘とから成り、
前記第1の錘の重心位置と前記第2の錘の重心位置とが前記可動電極部に関して対称な位置にある、振動発電素子。 - 請求項1から請求項7までのいずれか一項に記載の振動発電素子と、
前記振動発電素子を真空封止する筐体とを備える、振動発電装置。
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---|---|---|---|---|
JP2006183535A (ja) * | 2004-12-27 | 2006-07-13 | Saginomiya Seisakusho Inc | 立軸形遠心ポンプおよびこれを用いた空気調和装置 |
JP2007163325A (ja) * | 2005-12-14 | 2007-06-28 | Saginomiya Seisakusho Inc | 渦流量計の製造方法、および、渦流量計 |
JP2010056764A (ja) * | 2008-08-27 | 2010-03-11 | Seiko Instruments Inc | Mems振動子 |
JP2010239813A (ja) * | 2009-03-31 | 2010-10-21 | Fujitsu General Ltd | 圧縮機用電動機の回転子 |
JP2012044747A (ja) * | 2010-08-17 | 2012-03-01 | Seiko Epson Corp | 静電誘導発電デバイス |
JP2014079125A (ja) * | 2012-10-11 | 2014-05-01 | Aichi Elec Co | 回転子、電動機および圧縮機 |
JP2016116247A (ja) * | 2013-04-05 | 2016-06-23 | パナソニック株式会社 | 発電装置 |
JP2017216848A (ja) * | 2016-06-02 | 2017-12-07 | スター精密株式会社 | 振動発電装置 |
JP2018088777A (ja) * | 2016-11-29 | 2018-06-07 | 国立大学法人 東京大学 | 振動発電デバイス |
-
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Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006183535A (ja) * | 2004-12-27 | 2006-07-13 | Saginomiya Seisakusho Inc | 立軸形遠心ポンプおよびこれを用いた空気調和装置 |
JP2007163325A (ja) * | 2005-12-14 | 2007-06-28 | Saginomiya Seisakusho Inc | 渦流量計の製造方法、および、渦流量計 |
JP2010056764A (ja) * | 2008-08-27 | 2010-03-11 | Seiko Instruments Inc | Mems振動子 |
JP2010239813A (ja) * | 2009-03-31 | 2010-10-21 | Fujitsu General Ltd | 圧縮機用電動機の回転子 |
JP2012044747A (ja) * | 2010-08-17 | 2012-03-01 | Seiko Epson Corp | 静電誘導発電デバイス |
JP2014079125A (ja) * | 2012-10-11 | 2014-05-01 | Aichi Elec Co | 回転子、電動機および圧縮機 |
JP2016116247A (ja) * | 2013-04-05 | 2016-06-23 | パナソニック株式会社 | 発電装置 |
JP2017216848A (ja) * | 2016-06-02 | 2017-12-07 | スター精密株式会社 | 振動発電装置 |
JP2018088777A (ja) * | 2016-11-29 | 2018-06-07 | 国立大学法人 東京大学 | 振動発電デバイス |
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