JP2018088777A - 振動発電デバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】外部から印加される機械的な振動エネルギーにより所定の振動方向に振動することが可能であって、振動方向に沿う第1の面を備える可動側部と、可動側部の第1の面と所定の間隔を隔てて対向する第2の面を備え、振動エネルギーに対しても位置固定するように構成されている固定側部とを備える。可動側部の第1の面及び固定側部の第2の面のそれぞれには、振動方向に直交する方向に突出する複数個の突部が振動の方向に櫛歯状に配列されて形成されている。固定側部の少なくとも第1の面、または、可動側部の少なくとも第2の面の少なくとも一方の面にはエレクトレット膜が形成される。可動側部のバネ定数が、可動側部と固定側部との間に働く静電力により、振動方向の位置の関数として変調されているように構成されている。
【選択図】図1
Description
外部から印加される振動エネルギーにより所定の振動方向に振動することが可能なように構成されており、前記振動方向に沿う第1の面を備える可動側部と、
前記可動側部が前記振動方向に振動することが可能なように、前記可動側部の前記第1の面と所定の間隔を隔てて対向する第2の面を備え、前記振動エネルギーに対しても位置固定するように構成されている固定側部と、
を備え、
前記可動側部の前記第1の面及び前記固定側部の前記第2の面のそれぞれには、前記振動方向に直交する方向に突出する複数個の突部が前記振動方向に櫛歯状に配列されて形成されていると共に、
前記固定側部の少なくとも前記第1の面、または、前記可動側部の少なくとも前記第2の面の少なくとも一方の面には、所定のエレクトレット電位とされたエレクトレット膜が形成され、
前記可動部側のバネ定数が、前記可動側部と前記固定側部との間に働く静電力により、前記振動方向の位置の関数として変調されているように構成されている
ことを特徴とする振動発電デバイスを提供する。
前記エレクトレット電位の値と、前記固定側部の前記複数個の突部及び前記可動側部の前記複数個の突部の配列周期と、前記可動側部の振動移動により前記固定側部と前記可動側部との間に生じる静電容量の最大値と最小値との差の値とが、前記可動側部の自由振動時のバネ定数に対して、前記可動側部と前記固定側部との間で生じる静電力による前記可動側部自身が備えるバネ定数の低下効果を有するように選定されている
ことを特徴とする振動発電デバイスを提供する。
前記固定側部と前記可動側部とが半導体基板から形成されたMEMSデバイスである
ことを特徴とする振動発電デバイスを提供する。
f∝k/m ・・・ (式1)
である。
先ず、この発明による振動発電デバイスの原理的な構成例を、第1の実施形態として示す。以下に示す実施形態の振動発電デバイスは、半導体製造プロセスにより製造されるMEMESデバイスとして構成される場合の例である。
この第1の実施形態の振動発電デバイス10は、前述したように、半導体基板1に対して施される半導体プロセスにより形成されるMEMSデバイスである。半導体基板の例としては、単結晶のシリコン基板、多結晶のシリコン基板、SOI(Silicon on Insulator)基板、セラミック基板、金属基板、ガラス基板、ポリマー基板等を用いることができる。以下に説明するこの実施形態の振動発電デバイス10についての半導体製造プロセスの例においては、半導体基板としてSOI基板を用いている。
なお、上述の第1の実施形態の振動発電デバイス10では、可動側部2の振動方向に直交する方向の両側の振動方向に沿う方向の面21,22のそれぞれに突部23,24を櫛歯状に配設すると共に、面21,22に対向する面31A,31Bを有する2個の固定側部3A,3Bを設け、面21,22のそれぞれに突部32A,32Bを櫛歯状に配設する構成とした。しかし、可動側部2の振動方向に直交する方向の両側を利用せずに、その片側の可動側部2と固定側部3Aとの組み合わせ、あるいは、可動側部2と固定側部3Bとの組み合わせの構成とするようにしてもよい。
上述の実施形態の振動発電デバイス10では、可動側部と固定側部とで、櫛歯状に配列された突部が対向する組み合わせは1対としたが、複数対設けることにより、より高出力の振動発電デバイスを提供することができる。以下に説明する第2の実施形態の振動発電デバイスは、そのように構成した場合の一例である。
上述の第2の実施形態の例においても、固定側部3BM側を省略して、可動側部2Mと、固定側部3AMとの組み合わせからなるものとしてもよい。
上述の実施形態の振動発電デバイスは、半導体製造プロセスにより製造されるMEMSデバイスの場合であったが、この発明による振動発電デバイスは、MEMSデバイスに限られるものではない。
外部から印加される振動エネルギーにより所定の振動方向に振動することが可能なように構成されており、前記振動方向に沿う第1の面を備える可動側部と、
前記可動側部が前記振動方向に振動することが可能なように、前記可動側部の前記第1の面と所定の間隔を隔てて対向する第2の面を備え、前記振動エネルギーに対しても位置固定するように構成されている固定側部と、
を備え、
前記固定側部と前記可動側部との少なくとも一方には、エレクトレット膜が形成されていると共に、
前記可動側部の前記第1の面及び前記固定側部の前記第2の面のそれぞれには、前記振動方向に直交する方向に突出する複数個の突部が前記振動方向に櫛歯状に配列されて形成されていると共に、
前記固定側部の少なくとも前記第1の面、または、前記可動側部の少なくとも前記第2の面の少なくとも一方の面には、所定のエレクトレット電位とされたエレクトレット膜が形成され、
前記可動側部のバネ定数が、前記可動側部と前記固定側部との間に働く静電力により、前記振動方向の位置の関数として変調されているように構成されており、更に、
前記エレクトレット電位の値と、前記固定側部の前記複数個の突部及び前記可動側部の前記複数個の突部の配列周期と、前記可動側部の振動移動により前記固定側部と前記可動側部との間に生じる静電容量の最大値と最小値との差の値とが、前記可動側部の自由振動時のバネ定数に対して、前記可動側部と前記固定側部との間で生じる静電力による前記可動側部自身が備えるバネ定数の低下効果を有するように選定されている
ことを特徴とする振動発電デバイスを提供する。
前記固定側部と前記可動側部とが半導体基板から形成されたMEMSデバイスである
ことを特徴とする振動発電デバイスを提供する。
Claims (10)
- 外部から印加される振動エネルギーにより所定の振動方向に振動することが可能なように構成されており、前記振動方向に沿う第1の面を備える可動側部と、
前記可動側部が前記振動方向に振動することが可能なように、前記可動側部の前記第1の面と所定の間隔を隔てて対向する第2の面を備え、前記振動エネルギーに対しても位置固定するように構成されている固定側部と、
を備え、
前記固定側部と前記可動側部との少なくとも一方には、エレクトレット膜が形成されていると共に、
前記可動側部の前記第1の面及び前記固定側部の前記第2の面のそれぞれには、前記振動方向に直交する方向に突出する複数個の突部が前記振動方向に櫛歯状に配列されて形成されていると共に、
前記固定側部の少なくとも前記第1の面、または、前記可動側部の少なくとも前記第2の面の少なくとも一方の面には、所定のエレクトレット電位とされたエレクトレット膜が形成され、
前記可動側部のバネ定数が、前記可動側部と前記固定側部との間に働く静電力により、前記振動方向の位置の関数として変調されているように構成されている
ことを特徴とする振動発電デバイス。 - 前記エレクトレット電位の値と、前記固定側部の前記複数個の突部及び前記可動側部の前記複数個の突部の配列周期と、前記可動側部の振動移動により前記固定側部と前記可動側部との間に生じる静電容量の最大値と最小値との差の値とが、前記可動側部の自由振動時のバネ定数に対して、前記可動側部と前記固定側部との間で生じる静電力による前記可動側部自身が備えるバネ定数の低下効果を有するように選定されている
ことを特徴とする請求項1に記載の振動発電デバイス。 - 前記固定側部と前記可動側部とが半導体基板から形成されたMEMS(Micro Electro Mechanical System)デバイスである
ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の振動発電デバイス。 - 前記可動側部の前記第1の面と前記固定側部の前記第2の面とは、それぞれ前記半導体基板の基板面に直交する方向の面であり、前記可動側部の前記振動方向の両端は、前記半導体基板から形成された支持梁により支持されて、前記可動側部が振動移動可能とされている
ことを特徴とする請求項3に記載の振動発電デバイス。 - 前記可動側部の前記前記振動方向に沿う前記第1の面は複数個であり、
前記固定側部は、前記可動側部の複数個の前記第1の面のそれぞれに対向する複数個の前記第2の面を有する
ことを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれかに記載の振動発電デバイス。 - 前記可動側部には、前記振動方向に対して交差する方向に重さが加わるように錘が配置されている
ことを特徴とする請求項1〜請求項5のいずれかに記載の振動発電デバイス。 - 前記振動方向に直交する方向に複数個の前記可動側部を備えると共に、前記固定側部材は、複数個の前記可動側部の前記第1の面のそれぞれに対向する複数個の前記第2の面を有する
ことを特徴とする請求項1〜請求項6のいずれかに記載の振動発電デバイス。 - 前記可動側部の前記第1の面及び前記固定側部の前記第2の面に形成されている前記複数個の突部同士の対向位相が異なる第1のグループと第2のグループとを備え、
前記第1のグループの前記可動側部と前記固定側部との間に働く静電力と、前記第2のグループの前記可動側部と前記固定側部との間に働く静電力とは、互いに逆方向に働くように構成されている
ことを特徴とする請求項1〜請求項7のいずれかに記載の振動発電デバイス。 - 前記第1のグループと前記第2のグループは、前記可動側部の振動方向に設けられている
ことを特徴とする請求項8に記載の振動発電デバイス。 - 前記第1のグループと前記第2のグループは、前記可動側部の振動方向に直交する方向に設けられている
ことを特徴とする請求項8に記載の振動発電デバイス。
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