JP2020056789A - 硬x線光電子分光装置及びシステム - Google Patents
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Abstract
Description
光子ビームを提供するX線管であって、光子ビームは、X線モノクロメータを介して、照射される試料から電子を励起させるように、システムを通るように方向付けられる、X線管を備え、
X線管は、モノクロメータ真空チャンバに接続され、モノクロメータ真空チャンバにおいて、結晶が、ビームを単色化してビームを試料上に集束させるように構成され、
モノクロメータ真空チャンバは、可撓性真空蛇腹を介して分析真空チャンバに接続され、可撓性真空蛇腹は、両方の真空チャンバに固定され、可撓性真空蛇腹の可撓性が、単色化し集束させたビームの正確な位置合わせを可能にし、
照射される試料は、分析真空チャンバの内部で、異なる試料角度での測定を可能にするように少なくとも1つの方向に動くことができるマニピュレータにマウントされ、
分析真空チャンバは、電子エネルギー分析器に接続され、電子エネルギー分析器は、分析真空チャンバに装着されるシステムにおいて、
間隙が、X線源とモノクロメータ真空チャンバとの間に設けられ、間隙には、間隙がX線管からのX線で照射される場合に放射から周囲を遮蔽するように、第1放射トラップが設けられている、硬X線光電子分光(HAXPES)システム、特に実験室ベースのシステムによって達成される。
8 テーブル
10 X線管
20 X線モノクロメータ
30 ロードロック
35 マニピュレータ
40 カメラシステム
45 分析真空チャンバ
50 電子エネルギー分析器
60 第1放射トラップ壁部品
62 第2放射トラップ壁部品
64 第3放射トラップ壁部品
66 空気間隙
68 カプトン窓
70 モノクロメータ真空チャンバ、モノクロメータ本体
80 ねじ
82 ねじ
84 タングステン合金部
86 溝
90 第2放射トラップの放射壁部品
92 蛇腹フランジ
94 可撓性真空蛇腹
96 カプトン窓
98 溝
100 ベース、硬X線光電子分光(HAXPES)システム
Claims (19)
- 硬X線光電子分光(HAXPES)システム(100)、特に実験室ベースのシステムであって、
光子ビームを提供するX線管(10)であって、前記光子ビームは、X線モノクロメータ(20)を介して、照射される試料から電子を励起させるように、前記システムを通るように方向付けられる、X線管(10)を備え、
前記X線管は、モノクロメータ真空チャンバ(70)に接続され、前記モノクロメータ真空チャンバ(70)において、結晶が、前記光子ビームを単色化して前記光子ビームを前記試料上に集束させるように構成され、
前記モノクロメータ真空チャンバ(70)は、可撓性真空蛇腹(94)を介して分析真空チャンバ(45)に接続され、前記可撓性真空蛇腹(94)は、両方の真空チャンバ(45、70)に固定され、前記可撓性真空蛇腹の可撓性が、前記単色化し集束させたビームの正確な位置合わせを可能にし、
前記照射される試料は、前記分析真空チャンバの内部で、異なる試料角度での測定を可能にするように少なくとも1つの方向に動くことができるマニピュレータ(35)にマウントされ、
前記分析真空チャンバは、電子エネルギー分析器(50)に接続され、前記電子エネルギー分析器(50)は、前記分析真空チャンバに装着され、
間隙(66)が、X線源と前記モノクロメータ真空チャンバとの間に設けられ、前記間隙には、前記間隙が前記X線管からのX線で照射される場合に放射から周囲を遮蔽するように、第1放射トラップ(60)が設けられている、硬X線光電子分光(HAXPES)システム(100)、特に実験室ベースのシステム。 - 前記単色化し集束させたビームの正確な位置合わせを可能にする前記可撓性真空蛇腹には、前記可撓性真空蛇腹又は前記可撓性真空蛇腹を囲む材料が前記X線源からのX線で照射されるときに、前記放射から周囲を遮蔽するように、第2放射トラップ(90)が設けられている、請求項1に記載のシステム。
- 前記第1放射トラップ及び前記第2放射トラップは、3次元のすべての次元で独立に、3mm〜20mm、特に少なくとも10mmの動きが可能であるように配置されている、請求項1又は2に記載のシステム。
- 前記第1放射トラップ(60)及び前記第2放射トラップ(90)は、前記X線源の3次放射場により照射される部分が前記放射トラップをのぞき込む観察者の視線の中にないように配置されている、請求項1又は2に記載のシステム。
- 前記間隙は筐体によって取り囲まれ、前記筐体は前記間隙を囲む気体を封止するように構成され、前記気体は空気、窒素、アルゴン、又はヘリウムのいずれかであり、前記気体の圧力は、
真空ポンプによって得ることができる、周囲の気圧より低い圧力となるように、
前記気体がフィルタ処理される加圧ポンプによって得ることができる、周囲の気圧より高い圧力となるように、又は
周囲の気圧とほぼ等しい圧力となるように、
制御可能である、請求項1に記載のシステム。 - ロードロックチャンバが設けられ、最小限のベントのみで前記分析真空チャンバへの手動アクセスが可能になるように、前記ロードロックチャンバから前記分析真空チャンバ(30)中の前記試料への入口が提供される、請求項1に記載のシステム。
- 前記第1放射トラップは、
好ましくは真鍮から作られ、前記X線管から放出される最もエネルギーの高い放射をブロックするのに十分な厚さを有し、前記X線管の真空容器壁(10)の一部に取り付け可能な、第1放射壁部品(60)と、
好ましくはCuから作られ、前記X線管から放出される最もエネルギーの高い放射をブロックするのに十分な厚さを有し、モノクロメータ本体(70)に固定される、第2放射壁部品(62)と、
好ましくはステンレス鋼から作られ、前記X線管から放出される最もエネルギーの高い放射をブロックするのに十分な厚さを有し、前記第2部品が前記モノクロメータ本体(70)に固定される、第3放射壁部品(64)と
を備える、請求項1に記載のシステム。 - 前記第3放射壁部品は、インターロックシステム(図示せず)に接続され、前記インターロックシステムは、前記第3放射壁部品が正しい位置にあることを監視するように構成され、前記第3放射壁部品が定位置から動いた場合、前記インターロックシステムが前記X線源をオフにする、請求項7に記載のシステム。
- 前記インターロックシステムは、少なくとも1つのマイクロスイッチを使用して、前記X線源をオンオフするように構成されている、請求項8に記載のシステム。
- 前記第2放射壁部品は、前記モノクロメータ真空チャンバと一体化して配置され、前記モノクロメータ真空チャンバは、インターロックシステムに接続され、これにより、前記モノクロメータ真空チャンバのベントが行われると、前記インターロックシステムが作動する結果、前記X線源がオフになる、請求項7に記載のシステム。
- 前記第2放射トラップには、
好ましくは真鍮から作られ、前記X線源から放出される最もエネルギーの高い放射をブロックするのに十分な厚さを有する、出口放射壁部品(90)が設けられており、
前記出口放射壁部品は、前記分析真空チャンバの壁に取り付け可能であり、前記出口放射壁部品が対合する前記放射トラップの入口放射壁部品は、前記モノクロメータ真空チャンバの壁に一体化されている、請求項2に記載のシステム。 - 前記入口放射壁部品及び前記出口放射壁部品の少なくとも一方における溝が、平面間の狭い間隙から逃れる放射をブロックするように設けられている、請求項11に記載のシステム。
- 前記出口放射壁部品は、モノクロメータ出口ポートに嵌合されている、請求項12に記載のシステム。
- 前記結晶は、300mm〜700mm、好ましくは550mmのローランド円をなす半径を有する、湾曲したSi結晶である、請求項1に記載のシステム。
- 前記電子エネルギー分析器は、半球型電子エネルギー分析器タイプのものである、請求項1に記載のシステム。
- 半球型の前記電子エネルギー分析器は、半球型の前記電子エネルギー分析器の入射スリットが前記試料上のX線のフットプリントに対して本質的に水平に位置合わせされるように、前記分析真空チャンバに装着されている、請求項15に記載のシステム。
- 前記X線源の光子エネルギーが9.25keVであり、Ga合金からの特性Kα放射から生じる、請求項1に記載のシステム。
- 前記可撓性真空蛇腹は、前記X線モノクロメータと前記分析真空チャンバの間の相対的な動きを可能にするほど十分な可撓性を有するPbゴムシートを使用して設計されている、請求項1から17のいずれか一項に記載のシステム。
- 前記X線管は、60kV超、好ましくは少なくとも70kVのエネルギーレベルに、液体ガリウムを励起する電子銃を備える、請求項1から18のいずれか一項に記載のシステム。
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