JPH06313757A

JPH06313757A - Ｅｘａｆｓ測定装置

Info

Publication number: JPH06313757A
Application number: JP5054853A
Authority: JP
Inventors: Noboru Osawa; 登大沢
Original assignee: Rigaku Denki Co Ltd; Rigaku Corp
Current assignee: Rigaku Denki Co Ltd; Rigaku Corp
Priority date: 1993-02-19
Filing date: 1993-02-19
Publication date: 1994-11-08
Anticipated expiration: 2017-01-15
Also published as: JP3245475B2

Abstract

(57)【要約】【目的】構造が簡単で、構成部品の動きが簡素化され
たＥＸＡＦＳ測定装置を提供する。【構成】互いに直交する２つのガイドレール６及び７
を固定設置する。モノクロメータ２及びローラ８から成
るユニット９並びに中心軸１０を、パルスモータ１１に
よって回転駆動される送りネジ１２によって駆動し、互
いに一定間隔を保持した状態でガイドレール６に沿って
垂直方向へ直進平行移動させる。Ｘ線源１及び受光スリ
ット３は、中心軸１０に連結されたリンク２２及び２３
の働きにより、ガイドレール７に沿って水平方向へ直進
移動する。このとき、常にローラ８に当接して傾動する
ガイドバー１７，２０の働きにより、Ｘ線源１及び受光
スリット３が常にモノクロメータ２の方向を向くように
軸線Ｌ１，Ｌ２を中心として回転する。直進駆動源はパ
ルスモータ１１及びネジ１２の一組だけである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、試料に関するＸ線吸収
スペクトルに現れるスペクトル振動構造、特にＥＸＡＦ
Ｓ（イグザフス）を測定することによって試料の構造解
析を行うＥＸＡＦＳ測定装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、試料に照射するＸ線のエネルギ
を徐々に変えてゆき、その各々のエネルギ値について、
試料に入射するＸ線強度（Ｉ0 CPS ）とその試料を透過
するＸ線強度(Ｉ CPS）との比（Ｉ0／Ｉ）を求め、μ＝
ｌｏｇ e （Ｉ0／Ｉ）を算出してそれをグラフ上にプロ
ットすると、図６に示すようなＸ線吸収スペクトルが得
られる。なお、CPS は単位時間あたりのＸ線カウント値
である。このＸ線吸収スペクトルにおいて、吸収端Ａよ
り高エネルギ側５０ｅＶ程度の狭い領域に現れる吸収端
微細構造は、通常、ザーネス（XANES: X-RAY Absorptio
n Near Edge Structure ）と呼ばれている。また、ザー
ネスよりも高エネルギー側へ１０００ｅＶ程度の広い領
域に現れるＸ線強度比、すなわち吸収係数の振動構造
は、イグザフス（EXAFS: Extended X-RAY Absorption F
ine Structure ）と呼ばれている。

【０００３】これらザーネス及びイグザフスには、吸収
原子とそのまわりの原子との間の化学結合、分子の立体
構造、原子間距離、あるいは配位等に関する情報が含ま
れている。よって、未知試料について図６に示すような
Ｘ線吸収スペクトルを求めれば、それに基づいてその未
知試料の構造解析を行うことができる。上記のＥＸＡＦ
Ｓ測定装置は、特にイグザフスに基づいて試料の構造解
析を行うものであり、例えば、試料を透過するＸ線のエ
ネルギすなわちＸ線の波長を変化させながら、試料を透
過する前のＸ線強度と透過した後のＸ線強度との比を、
個々のエネルギ値について求める。

【０００４】この種のＥＸＡＦＳ測定装置として、結晶
モノクロメータを図７に示すようなＸ線分光装置によっ
て移動させるようにしたものが知られている。この分光
装置は、Ｘ線源１と結晶モノクロメータ２と受光スリッ
ト３とを常に一定半径のローランド円Ｌ上に位置させな
がら、受光スリット３に到達するＸ線の波長すなわちエ
ネルギ値を変化させる。

【０００５】この分光装置では、直交する２つのガイド
ロッド５３及び５４にそれぞれスライダ５５及び５６を
滑り移動可能に取り付けてある。２つのスライダ５５、
５６には、長さ２Ｒの第１リンク５７の両端が回転自在
に接続されている。スライダ５６にはアーム５８が回転
自在に接続され、その回転中心は、スライダ５６と第１
リンク５７との回転中心と一致している。アーム５８に
固定したガイドロッド５９の上にスライダ６０が滑り移
動可能に設けてある。第１リンク５７の中点Ｏには長さ
Ｒ（すなわち、第１リンク５７の１／２の長さ）の第２
リンク６１の一端が回転自在に接続されており、この第
２リンク６１の他端にスライダ６０が回転可能に接続さ
れている。モノクロメータ側のスライダ５６は、パルス
モータ６２によって回転駆動される送りネジ６３に噛み
合っており、スリット側のスライダ６０はパルスモータ
６４によって回転駆動される送りネジ６５に噛み合って
いる。

【０００６】Ｘ線源１は、２つのガイドロッド５３及び
５４が交わる位置に固定配置されている。ガイドロッド
５３，５４及びＸ線源１は、空間的に静止した状態にあ
る。結晶モノクロメータ２は、その中心が第１リンク５
７とスライダ５６の接続点Ｐに一致するように配置さ
れ、そして第１リンク５７に固定されている。第１リン
ク５７の中点Ｏは、ローランド円Ｌの中心となる。結晶
モノクロメータ２のＸ線反射面はローランド円Ｌに沿う
ように湾曲している。受光スリット３は、その中心が第
２リンク６１とスライダ６０との接続点Ｑに一致するよ
うに配置され、そしてスライダ６０に固定されている。
受光スリット３の右側には、測定対象である試料４及び
Ｘ線カウンタ５が設けられている。これらはいずれもス
ライダ６０に固定されている。

【０００７】Ｘ線源１からモノクロメータ２の中心Ｐま
での距離はＲ１であり、モノクロメータ２の中心Ｐから
受光スリット３の中心Ｑまでの距離はＲ２である。この
分光装置は、Ｒ１とＲ２とが常に等しくなるようにパル
スモータ６２及び６４を連動制御する。そして、Ｒ１，
Ｒ２の値を変化させることによって、結晶モノクロメー
タ２に入射するＸ線の入射角が変化し、これによって受
光スリット３に到達するＸ線の波長すなわちエネルギが
変化する。Ｒ１，Ｒ２を変化させると、ローランド円Ｌ
の中心Ｏは空間上で移動するが、ローランド円Ｌの半径
Ｒは一定である。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】上記従来のＥＸＡＦＳ
測定装置は、直進駆動系が２つ必要であったため装置全
体の構造が複雑になり、製造コストが高かった。しか
も、各構成部材の動きが複雑に関連し合っているので、
Ｘ線光学系の位置精度を正確に維持するのが難しかっ
た。本発明は、この問題点を解消するためになされたも
のであって、構造が簡単で、構成部品の動きが簡素化さ
れたＥＸＡＦＳ測定装置を提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、請求項１のＥＸＡＦＳ測定装置は、モノクロメータ
及びリンク中心軸を直進平行移動するようにガイドする
第１ガイド手段と、Ｘ線源及び受光スリットをモノクロ
メータの直進移動方向に対して直角の方向へ直進移動す
るようにガイドすると共にそれらを回転自在に支持する
第２ガイド手段と、リンク中心軸とＸ線源とを連結する
と共にリンク中心軸及びＸ線源の両方に回転自在に接続
されたＸ線源用補助リンクと、リンク中心軸と受光スリ
ットとを連結すると共にリンク中心軸及び受光スリット
の両方に回転自在に接続されたスリット用補助リンク
と、モノクロメータ及びリンク中心軸を互いに一定間隔
を保持した状態で直進駆動するモノクロメータ駆動手段
と、Ｘ線源から出たＸ線が常にモノクロメータへ向かう
ようにモノクロメータの直進移動に応じてＸ線源を回転
させるＸ線源回転手段と、モノクロメータで回折したＸ
線が常に受光スリットに受け取られるように受光スリッ
トを回転させるスリット回転手段とを有することを特徴
としている。

【００１０】また、請求項４記載のＥＸＡＦＳ測定装置
は、モノクロメータ及びリンク中心軸を直進平行移動す
るようにガイドする第１ガイド手段と、Ｘ線源又は受光
スリットのいずれか一方をモノクロメータの直進移動方
向に対して直角の方向へ直進移動するようにガイドする
と共にそのＸ線源又は受光スリットを回転自在に支持す
る第２ガイド手段と、第１ガイド手段をモノクロメータ
の直進移動方向に対して直角の方向へ平行移動するよう
にガイドする第３ガイド手段と、リンク中心軸とＸ線源
とを連結していてリンク中心軸及びＸ線源の両方に回転
自在に接続されたＸ線源用補助リンクと、リンク中心軸
と受光スリットとを連結していてリンク中心軸及び受光
スリットの両方に回転自在に接続されたスリット用補助
リンクと、モノクロメータ及びリンク中心軸を互いに一
定間隔を保持した状態でを直進駆動するモノクロメータ
駆動手段と、Ｘ線源から出たＸ線が常にモノクロメータ
へ向かうようにモノクロメータの直進移動に応じてＸ線
源を回転させるＸ線源回転手段と、モノクロメータで回
折したＸ線が常に受光スリットに受け取られるように受
光スリットを回転させるスリット回転手段とを有するこ
とを特徴としている。

【００１１】

【作用】上記の各ＥＸＡＦＳ測定装置では、モノクロメ
ータを直進平行移動させるための駆動系が唯一の直進駆
動源として用いられるだけである。従って、装置全体の
構造が簡単になって組立製造が簡単にできる。また、互
いに直交する第１及び第２のガイド手段を強固に構築す
るだけで、Ｘ線源、モノクロメータ、受光スリット等の
Ｘ線光学要素を安定して移動させることができる。さら
に、それらのＸ線光学要素の動き自体も簡素化される。

【００１２】

【実施例】図１は、本発明に係るＥＸＡＦＳ測定装置の
一実施例を示している。このＥＸＡＦＳ測定装置は、垂
直上下方向に延びる第１ガイドレール６と、第１ガイド
レール６に直交して水平方向に設けられた第２ガイドレ
ール７とを有している。これらのガイドレール６，７
は、図示しない支持板によって位置不動に固定支持され
ている。

【００１３】第１ガイドレール６は、湾曲結晶モノクロ
メータ２及びそれと一体なローラ８から成るモノクロメ
ータユニット９並びにリンク中心軸１０をガイドする。
第１ガイドレール６の奥側には、パルスモータ１１によ
って回転駆動される送りネジ１２が配設されている。モ
ノクロメータユニット９及びリンク中心軸１０は、いず
れも送りネジ１２にネジ嵌合しており、その送りネジ１
２がパルスモータ１１によって駆動されて回転すると
き、互いに一定の間隔を維持した状態で第１ガイドレー
ル６によってガイドされながら矢印Ｂで示すように垂直
上下方向へ直進平行移動する。

【００１４】今、Ｘ線源１を通って紙面垂直方向に延び
る軸線を符号Ｌ１で示し、また、受光スリット３のＸ線
受光点を通って紙面垂直方向に延びる軸線を符号Ｌ２で
示すことにする。第２ガイドレール７は、その左側にお
いて、Ｘ線源１及び発散スリット１５を備えたＸ線管１
３を軸線Ｌ１のまわりに回転自在に支持している。ま
た、その右側において、受光スリット３を固定状態で支
持する受光ユニット台１４を軸線Ｌ２のまわりに回転自
在に支持している。また、第２ガイドレール７は、Ｘ線
管１３及び受光ユニット台１４を矢印Ｃで示すように、
水平方向すなわちモノクロメータ２の移動方向Ｂに対し
て直角の方向に往復直進移動するようにガイドする。

【００１５】受光スリット台１４の上には、受光スリッ
ト３以外に、測定対象である試料４、その試料４に入射
するＸ線の強度を測定するイオンチャンバ１６、そして
試料４を透過、実施例の場合は蛍光反射したＸ線の強度
を測定するＸ線カウンタ５がそれぞれ固定設置されてい
る。

【００１６】Ｘ線管１３の回転中心である軸線Ｌ１に
は、金属又は合成樹脂等の硬質材料によって形成された
真直で長い板状体であるＸ線入射ガイドバー１７が回転
自在に取り付けられている。このガイドバー１７とＸ線
管１３との間にはバネ等の弾性力付勢手段（図示せず）
が設けられていて、この弾性力付勢手段の働きによりガ
イドバー１７はＸ線管１３に対して反時計方向へ回転す
るよう弾性的に付勢され、そしてＸ線管１３から突出す
るブラケット１８にネジ止めされた止めネジ１９の先端
に圧力下で当接している。また、ガイドバー１７の下面
はモノクロメータユニット９内のローラ８の外周側面に
自重又はバネ力により圧力下で当接している。

【００１７】受光ユニット台１４の回転中心である軸線
Ｌ２には、入射Ｘ線ガイドバー１７と同一材質及び同一
形状の受光Ｘ線ガイドバー２０が回転自在に取り付けら
れている。このガイドバー２０も、入射Ｘ線ガイドバー
１７に関する構成と同じ構成により、モノクロメータユ
ニット９内のローラ８の外周表面に自重による圧力下で
当接している。

【００１８】送りネジ１２によって駆動されて直進平行
移動するリンク中心軸１０には、Ｘ線源用補助リンク２
２及びスリット用補助リンク２３の２本の直状リンクが
いずれもリンク中心軸１０に対して回転自在に接続され
ている。Ｘ線源用補助リンク２２の他端はＸ線管１３の
回転軸線Ｌ１に回転自在に接続され、スリット用補助リ
ンク２３の他端は受光ユニット台１４の回転軸線Ｌ２に
回転自在に接続されている。２本のリンク２２及び２３
の長さは等しく形成され、さらにその長さは、モノクロ
メータ２のＸ線回折点とリンク中心軸１０の中心点との
間の距離に等しく設定されている。この結果、Ｘ線源
１、モノクロメータ２のＸ線回折点、そして受光スリッ
ト３のＸ線受光点の各点は、１つのローランド円Ｌの上
に位置する。これらの各点がローランド円Ｌの上に位置
するという条件は、モノクロメータユニット９及びリン
ク中心軸１０が送りネジ１２によって駆動されて垂直上
下方向のどの位置へ直進移動する場合にも常に維持され
る。

【００１９】以下、上記構成より成るＥＸＡＦＳ測定装
置についてその動作を説明する。

【００２０】まず、個々の止めネジ１９を適宜回すこと
によってＸ線管１３及び受光ユニット台１４をそれぞれ
入射Ｘ線ガイドバー１７及び受光Ｘ線ガイドバー２０に
対して相対的に微回転させる。この微回転により、Ｘ線
源１から発生したＸ線ビームが正確にモノクロメータ２
に入射し、さらにモノクロメータ２で回折したＸ線ビー
ムが正確に受光スリット３に集束するように、いわゆる
Ｘ線の光軸調整を行う。

【００２１】光軸調整の完了後、制御装置２１からパル
スモータ１１へパルス信号が送られてそのパルスモータ
１１が作動し、送りネジ１２が回転する。この回転によ
り、モノクロメータ２及びリンク中心軸１０が一定間隔
を維持した状態で第１ガイドレール６に沿って垂直上下
方向へ平行移動する。そしてこのとき、リンク中心軸１
０の上下移動に応じて２本のリンク２２，２３がリンク
中心軸１０に対して回転揺動し、その結果、Ｘ線管１３
及び受光ユニット台１４が第２ガイドレール７によって
ガイドされながら水平方向に矢印Ｃのように平行移動す
る。

【００２２】以上の動作を、Ｘ線源１、モノクロメータ
２及び受光スリット３から成るＸ線光学系に関して見て
みると、図２に示すように、Ｘ線源１から放射されて発
散スリット１５（図１参照）で発散角を制限されてモノ
クロメータ２に入射するＸ線ビームの入射角が時々刻
々、変化する。図２では、入射角２θが３４゜、６０
゜、そして１２０゜に変化する状態を示してある。この
ようにモノクロメータ２に入射するＸ線の入射角が種々
に変化する場合、Ｘ線源１、モノクロメータ２及び受光
スリット３は常にローランド円Ｌ上に位置し、しかも入
射Ｘ線ガイドバー１７及び受光Ｘ線ガイドバー２０の傾
斜角度がモノクロメータユニット９内のローラ８の上下
移動に追従して変化する。各ガイドバー１７，２０の傾
斜角度変化により、それらと一体であるＸ線管１３及び
受光スリット３は常にモノクロメータ２の方向を向くよ
うにそれぞれ軸線Ｌ１及びＬ２を中心として回転する。

【００２３】以上の結果、モノクロメータ２に対するＸ
線の入射角が変化することにより、そのモノクロメータ
２から回折Ｘ線として取り出されるＸ線の波長すなわち
エネルギ値が希望する種々の値に変化し、それら個々の
Ｘ線が受光スリット３に集光し、そのスリットを通過し
て試料４に照射される。受光ユニット台１４上に置かれ
たイオンチャンバ１６は、上記のようにエネルギ値が変
化するＸ線に関して試料４に入射する前のＸ線強度値
（Ｉ0 ）を個々のエネルギ値に対して個別に測定し、そ
の測定結果を演算装置２４に電気信号として送る。一
方、試料４で蛍光反射、すなわち透過したＸ線はＸ線カ
ウンタ５に取り込まれてその透過後強度（Ｉ）が測定さ
れ、その測定結果が電気信号として演算装置２４へ送ら
れる。演算装置２４は試料４に入射するＸ線の各エネル
ギ値ごとにＩ0 ／Ｉを演算し、その演算結果をＣＲＴ等
の表示装置２５に向けて出力する。この結果、表示装置
２５に図６に示したような各Ｘ線エネルギ値に対するＸ
線吸収スペクトルが得られる。

【００２４】図３は、本発明に係るＥＸＡＦＳ測定装置
の他の実施例を示している。この実施例が図１に示した
先の実施例と異なる点は、モノクロメータ２の上下方向
直進移動に追従させてＸ線源１を回転させるＸ線源回転
手段としてパルスモータ２６を使用し、さらに受光スリ
ット台１４を回転させるスリット回転手段としてパルス
モータ２７を使用したことである。これらのパルスモー
タ２６，２７は、いずれも、制御装置２１からの指令に
基づいて作動するようになっている。Ｘ線源１側のパル
スモータ２６は、図１におけるローラ８及びそれに当接
する入射Ｘ線ガイドバー１７から成る回転駆動機構に代
えて用いられ、受光スリット３側のパルスモータ２７
は、ローラ８及びそれに当接する受光Ｘ線ガイドバー２
０から成る回転駆動機構に代えて用いられる。

【００２５】制御装置２１は、モノクロメータ２を上下
平行移動させるためのパルスモータ１１へ供給するパル
ス信号に基づいてモノクロメータ２の位置を判定し、そ
の位置情報に基づいてパルスモータ２６及び２７の作動
を適宜に制御して、Ｘ線源１及び受光スリット３が常に
その判定されたモノクロメータ位置を向くようにＸ線管
１３及び受光ユニット台１４を適宜の角度だけ回転させ
る。なお、パルスモータ２６及び２７は、回転角度制御
が可能な他の任意の形式のモータ、例えばサーボモータ
によって代替できる。

【００２６】図４は本発明に係るＥＸＡＦＳ測定装置の
さらに他の実施例を示している。図１に示した第１の実
施例では、モノクロメータ２が上下方向へ平行移動し、
それに追従してＸ線管１３及び受光スリット３の両方が
水平移動及び軸線Ｌ１又はＬ２のまわりに回転するよう
に構成した。しかしながら場合によっては、Ｘ線管１３
の重量がかなり大きくなることから、Ｘ線管１３は水平
移動させないようにしたいことがある。図４に示した実
施例は、そのような要求に応えるためのものであって、
Ｘ線管１３は軸線Ｌ１のまわりに回転するだけで水平方
向の直進移動はしないように固定されている。そして、
第２ガイドレール７は受光ユニット台１４を矢印Ｃのよ
うに水平移動するようにガイドし、さらに第２ガイドレ
ール７の上を自由に滑り移動できる第３ガイド手段とし
てのスライダ２８を設け、そのスライダ２８によって第
１ガイドレール６、送りネジ１２及びパルスモータ１１
を一体に支持している。

【００２７】本実施例によれば、Ｘ線管１３はモノクロ
メータ２の上下方向への平行移動に追従して軸線Ｌ１の
まわりに回転するだけであり、水平移動は行わない。よ
って、大重量のＸ線管１３を適用することが可能とな
る。

【００２８】図５は本発明に係るＥＸＡＦＳ測定装置の
さらに他の実施例を示している。この実施例が図１に示
した第１の実施例と異なる点は、モノクロメータ２を気
密に包囲する金属製又は硬質樹脂製の結晶室２９と、Ｘ
線源１から出て受光スリット３へ到るＸ線光路に沿って
設けられた真空用ベロー３０とを設けたことである。周
知の通りＸ線ビームのまわりに空気が存在するとＸ線が
空気散乱して信頼性の高い正確な測定ができない場合が
ある。本実施例のように真空用ベロー３０及び結晶室２
９によってＸ線光路を気密に保持し、その内部を真空引
きすれば、そのＸ線光路を真空に保持してＸ線の散乱を
防止することができる。

【００２９】図７に示した従来のＥＸＡＦＳ測定装置で
は、モノクロメータ２、受光スリット３等のＸ線光学系
の動きが複雑であったため、そのＸ線光学系のまわりを
真空用ベローで包囲することが難しかった。これに対
し、本実施例ではＸ線光学系の動きが簡素化されている
ので真空用ベロー３０及び結晶室２９を設けた場合で
も、何等の支障なくＸ線回折測定を行うことができる。

【００３０】以上、好ましいいくつかの実施例をあげて
本発明を説明したが、本発明はそれらの実施例に限定さ
れるものではない。

【００３１】例えば、図１その他に示したＥＸＡＦＳ測
定装置は、試料４からの蛍光Ｘ線を検出する形式のＥＸ
ＡＦＳ測定装置を例示した。この形式のＥＸＡＦＳ測定
装置は、試料４が液体等の流動体であって、それを水平
に置かなければならないといった事情があるときに特に
有用である。しかしながら、このような蛍光Ｘ線方式の
ＥＸＡＦＳ測定装置に限らず、通常広く知られている、
いわゆる透過方式のＥＸＡＦＳ測定装置に本発明を適用
できることはもちろんである。この透過方式のＥＸＡＦ
Ｓ測定装置というのは、モノクロメータ２で回折したＸ
線の進行経路に関して試料４の裏側にＸ線カウンタ５を
配置し、文字通り試料４を透過したＸ線の強度をそのＸ
線カウンタ５によって検出するものである。

【００３２】図４に示した実施例では、Ｘ線源１を有す
るＸ線管１３を平行移動不能に固定し、受光スリット３
を有する受光ユニット台１４を平行移動及び回転移動す
るように構成した。しかしながらこれとは別に、Ｘ線管
１３の方を平行移動及び回転移動させ、受光ユニット台
１４の方を平行移動不能に固定させることも可能であ
る。

【００３３】図１に示した実施例は、第１ガイドレール
６を垂直上下方向に固定設置し、第２ガイドレール７を
水平方向に固定設置した形式の、いわゆる縦型形式のＥ
ＸＡＦＳ測定装置である。しかしながら、第１ガイドレ
ール６及び第２ガイドレール７の両方を水平面内に設置
する形式の、いわゆる横型形式のＥＸＡＦＳ測定装置に
本発明を適用することも、もちろん、可能である。な
お、この横型形式のＥＸＡＦＳ測定装置においては、ガ
イドバー１７及び２０を自重によってモノクロメータユ
ニット９内のローラ８に圧力下で当接させることが難し
くなるので、この場合には、バネ等の弾性力付与手段を
ガイドバー１７，２０とローラ８との間に設けるのが好
都合である。

【００３４】

【発明の効果】本発明によれば、機構の全体を動かすた
めの直進駆動源、例えば送りネジが１個で済むので、装
置全体の構造が簡単になり、製造コストが低減できる。
しかも、Ｘ線光学系を構成する各部材の動きがきわめて
単純化されるので、ＥＸＡＦＳ測定の間、Ｘ線光学系の
位置精度を常に正確に維持できる。また、Ｘ線光学系の
動きが単純化されるので、Ｘ線経路に沿って真空用ベロ
ーを容易に設置できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るＥＸＡＦＳ測定装置の第１実施例
を示す正面図である。

【図２】同ＥＸＡＦＳ測定装置について、特にＸ線光学
系の動きを示す正面図である。

【図３】本発明に係るＥＸＡＦＳ測定装置の第２実施例
を示す正面図である。

【図４】本発明に係るＥＸＡＦＳ測定装置の第３実施例
を示す正面図である。

【図５】本発明に係るＥＸＡＦＳ測定装置の第４実施例
を示す正面図である。

【図６】上記の各ＥＸＡＦＳ測定装置によって求められ
る、異なるＸ線エネルギ値に対応するＸ線吸収スペクト
ルを示すグラフである。

【図７】従来のＥＸＡＦＳ測定装置の一例を示す平面図
である。

【符号の説明】

１Ｘ線源２結晶モノクロメータ３受光スリット４試料５Ｘ線カウンタ６第１ガイドレール（第１ガイド手段）７第２ガイドレール（第２ガイド手段）８モノクロメータ側ローラ１０リンク中心軸１１モノクロメータ直進駆動用パルスモータ（モ
ノクロメータ駆動手段）１２送りネジ（モノクロメータ駆動手段）１７入射Ｘ線ガイドバー（Ｘ線源回転手段）２０受光Ｘ線ガイドバー（スリット回転手段）２２Ｘ線源用補助リンク２３スリット用補助リンク２６Ｘ線源回転用パルスモータ２７スリット回転用パルスモータ２８スライダ（第３ガイド手段）Ｌローランド円

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】Ｘ線源、モノクロメータ及び受光スリッ
トを常にローランド円上に位置させながらＸ線源から出
てモノクロメータに入射するＸ線の入射角度を変化させ
て異なるエネルギのＸ線を取り出し、そのＸ線を試料に
照射するようにしたＥＸＡＦＳ測定装置において、モノクロメータ及びリンク中心軸を直進平行移動するよ
うにガイドする第１ガイド手段と、Ｘ線源及び受光スリットをモノクロメータの直進移動方
向に対して直角の方向へ直進移動するようにガイドする
と共に、それらを回転自在に支持する第２ガイド手段
と、リンク中心軸とＸ線源とを連結し、リンク中心軸及びＸ
線源の両方に回転自在に接続されたＸ線源用補助リンク
と、リンク中心軸と受光スリットとを連結し、リンク中心軸
及び受光スリットの両方に回転自在に接続されたスリッ
ト用補助リンクと、モノクロメータ及びリンク中心軸を互いに一定間隔を保
持した状態で直進駆動するモノクロメータ駆動手段と、Ｘ線源から出たＸ線が常にモノクロメータへ向かうよう
にモノクロメータの直進移動に応じてＸ線源を回転させ
るＸ線源回転手段と、モノクロメータで回折したＸ線が常に受光スリットに受
け取られるように受光スリットを回転させるスリット回
転手段とを有することを特徴とするＥＸＡＦＳ測定装
置。
【請求項２】モノクロメータと一体になって直進平行
移動するローラを有しており、上記Ｘ線源回転手段は、Ｘ線源と一体であって上記ロー
ラに圧力下で当接する入射Ｘ線ガイドバーによって構成
され、上記スリット回転手段は、受光スリットと一体であって
上記ローラに圧力下で当接する受光Ｘ線ガイドバーによ
って構成されることを特徴とする請求項１記載のＥＸＡ
ＦＳ測定装置。
【請求項３】上記Ｘ線源回転手段は回転角度制御が可
能なモータであり、上記スリット回転手段は回転角度制
御が可能なモータであり、それらのモータはモノクロメ
ータの直進平行移動に追従して作動することを特徴とす
る請求項１記載のＥＸＡＦＳ測定装置。
【請求項４】Ｘ線源、モノクロメータ及び受光スリッ
トを常にローランド円上に位置させながらＸ線源から出
てモノクロメータに入射するＸ線の入射角度を変化させ
て異なるエネルギのＸ線を取り出し、そのＸ線を試料に
照射するようにしたＥＸＡＦＳ測定装置において、モノクロメータ及びリンク中心軸を直進平行移動するよ
うにガイドする第１ガイド手段と、Ｘ線源又は受光スリットのいずれか一方をモノクロメー
タの直進移動方向に対して直角の方向へ直進移動するよ
うにガイドすると共に、そのＸ線源又は受光スリットを
回転自在に支持する第２ガイド手段と、第１ガイド手段をモノクロメータの直進移動方向に対し
て直角の方向へ平行移動するようにガイドする第３ガイ
ド手段と、リンク中心軸とＸ線源とを連結し、リンク中心軸及びＸ
線源の両方に回転自在に接続されたＸ線源用補助リンク
と、リンク中心軸と受光スリットとを連結し、リンク中心軸
及び受光スリットの両方に回転自在に接続されたスリッ
ト用補助リンクと、モノクロメータ及びリンク中心軸を互いに一定間隔を保
持した状態で直進駆動するモノクロメータ駆動手段と、Ｘ線源から出たＸ線が常にモノクロメータへ向かうよう
にモノクロメータの直進移動に応じてＸ線源を回転させ
るＸ線源回転手段と、モノクロメータで回折したＸ線が常に受光スリットに受
け取られるように受光スリットを回転させるスリット回
転手段とを有することを特徴とするＥＸＡＦＳ測定装
置。