JP2020053558A - 転写方法およびこれを用いた画像表示装置の製造方法ならびに転写装置 - Google Patents
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Abstract
Description
前記粘着層を硬化する波長の光により前記粘着層をパターン露光して、前記粘着層の粘着力を部分的に低下させる露光工程と、前記露光工程の後に、レーザーリフトオフ法により前記チップ部品を前記転写先基板に転写するレーザーリフトオフ工程とを備える転写方法である。
前記露光工程に際して遮光する遮光領域を、少なくとも前記レーザーリフトオフ工程でレーザーを照射するレーザー照射範囲内に設ける転写方法である。
前記レーザーリフトオフ工程に用いる前記レーザー光がガウシャンビームであって、レーザー照射範囲が前記チップ部品のサイズより大きい転写方法である。
請求項1から請求項4の何れかに記載の転写方法により、前記転写先基板に転写した前記LEDチップを、前記転写先基板からTFT基板に転写する工程を備えた画像表示装置の製造方法である。
請求項1から請求項4の何れかに記載の転写方法により、前記LEDチップを前記TFT基板に転写する工程を備えた画像表示装置の製造方法である。
前記転写基板を保持する転写基板保持手段と、前記転写基板の前記チップ保持面の反対側から前記粘着層に、前記粘着層を硬化する波長の光を照射する光源と、
前記転写基板と前記光源の間に前記光を部分的に遮光するマスクを配し、前記チップ部品に対して位置合わせを行う機能と、前記転写基板から前記マスクを退避させる機能を有したマスク配置手段と、前記マスクを前記転写基板から退避させた状態で、前記転写基板の前記チップ保持面の反対側から前記チップ部品にレーザー光を照射するレーザー光源とを備えた転写装置である。
前記転写基板を保持する転写基板保持手段と、記転写基板の前記チップ保持面の反対側から前記粘着層を硬化する波長のレーザー光を走査しながら照射して前記粘着層の粘着力を部分的に低下させる機能と、前記チップ部品をレーザーリフトオフ法により前記転写基板から前記先基板に転写するレーザー光を照射する機能とを有したレーザー光源とを備えた転写装置である。
2 第2転写基板
3 転写先基板ステージ
4 転写基板保持手段
5 マスク配置手段
6 光源
7 レーザー光源
8 スライド機構
10 ベース基板
11 粘着層
11A 粘着部
11B 低粘着部(非粘着部)
20 ベース基板
21 粘着層
22 衝撃吸収層
70 レーザー光源スライダー
101 転写装置
102 スペーサー
B バンプ
C、CW チップ部品
L レーザー光
PM フォトマスク
S 配線基板
UV 粘着層を硬化させる波長を含む光
W ウェハ基板
Claims (8)
- 光硬化性の粘着層を介して転写基板に保持されたチップ部品を転写先基板に転写する転写方法であって、
前記粘着層を硬化する波長の光により前記粘着層をパターン露光して、前記粘着層の粘着力を部分的に低下させる露光工程と、
前記露光工程の後に、レーザーリフトオフ法により前記チップ部品を前記転写先基板に転写するレーザーリフトオフ工程とを備える転写方法。 - 請求項1に記載の転写方法であって、
前記露光工程に際して遮光する遮光領域を、少なくとも前記レーザーリフトオフ工程でレーザーを照射するレーザー照射範囲内に設ける転写方法。 - 請求項2に記載の転写方法であって、前記レーザー照射範囲内に設けた前記遮光領域が、5μm角以上で50μm角以下の範囲に相当する転写方法。
- 請求項1に記載の転写方法であって、
前記レーザーリフトオフ工程に用いる前記レーザー光がガウシャンビームであって、レーザー照射範囲が前記チップ部品のサイズより大きい転写方法。 - 前記チップ部品としてLEDチップを用い、
請求項1から請求項4の何れかに記載の転写方法により、前記転写先基板に転写した前記LEDチップを、
前記転写先基板からTFT基板に転写する工程を備えた画像表示装置の製造方法。 - 前記チップ部品としてLEDチップを用い、前記転写先基板としてTFT基板を用い、
請求項1から請求項4の何れかに記載の転写方法により、前記LEDチップを前記TFT基板に転写する工程を備えた画像表示装置の製造方法。 - 光硬化性の粘着層を介して転写基板に保持されたチップ部品を転写先基板に転写する転写装置であって、
前記転写基板を保持する転写基板保持手段と、
前記転写基板の前記チップ保持面の反対側から前記粘着層に、前記粘着層を硬化する波長の光を照射する光源と、
前記転写基板と前記光源の間に前記光を部分的に遮光するマスクを配し、前記チップ部品に対して位置合わせを行う機能と、前記転写基板から前記マスクを退避させる機能を有したマスク配置手段と、
前記マスクを前記転写基板から退避させた状態で、前記転写基板の前記チップ保持面の反対側から前記チップ部品にレーザー光を照射するレーザー光源とを備えた転写装置。 - 光硬化性の粘着層を介して転写基板に保持されたチップ部品を転写先基板に転写する転写装置であって、
前記転写基板を保持する転写基板保持手段と、
記転写基板の前記チップ保持面の反対側から前記粘着層を硬化する波長のレーザー光を走査しながら照射して前記粘着層の粘着力を部分的に低下させる機能と、前記チップ部品をレーザーリフトオフ法により前記転写基板から前記先基板に転写するレーザー光を照射する機能とを有したレーザー光源とを備えた転写装置。
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Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111613699A (zh) * | 2020-05-25 | 2020-09-01 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 微型发光二极管及其制作方法 |
WO2021217607A1 (zh) * | 2020-04-30 | 2021-11-04 | 重庆康佳光电技术研究院有限公司 | 一种键合方法、显示背板及显示背板制造系统 |
CN113782650A (zh) * | 2021-09-07 | 2021-12-10 | 苏州奕格飞半导体技术有限公司 | 晶圆激光剥离装置及方法 |
WO2022138458A1 (ja) * | 2020-12-25 | 2022-06-30 | 日東電工株式会社 | 衝撃吸収粘着シート |
WO2022171102A1 (zh) * | 2021-02-09 | 2022-08-18 | 南昌广恒电子中心(有限合伙) | 转移设备、转移方法和显示装置 |
JP7146145B1 (ja) * | 2021-03-26 | 2022-10-03 | リンテック株式会社 | ワークハンドリングシートおよびデバイス製造方法 |
WO2023095672A1 (ja) * | 2021-11-26 | 2023-06-01 | 信越エンジニアリング株式会社 | レーザリフトオフ方法、レセプター基板の製造方法、レーザリフトオフ装置及びフォトマスク |
WO2023127585A1 (ja) * | 2021-12-28 | 2023-07-06 | 株式会社東海理化電機製作所 | 表示装置製造用治具、表示装置の製造方法、表示装置製造用治具を用いて製造された表示装置、及び表示装置の製造方法を用いて製造された表示装置 |
WO2023124898A1 (zh) * | 2021-12-31 | 2023-07-06 | 天合光能股份有限公司 | 一种激光转印装置 |
KR20230115323A (ko) | 2021-03-26 | 2023-08-02 | 데쿠세리아루즈 가부시키가이샤 | 접속 필름 및 접속 구조체의 제조 방법 |
WO2023149023A1 (ja) * | 2022-02-02 | 2023-08-10 | 日東電工株式会社 | 粘着シート |
KR20230137867A (ko) | 2021-01-29 | 2023-10-05 | 닛토덴코 가부시키가이샤 | 전자 부품 전사용 점착 시트 및 전자 부품 전사용 점착 시트를 사용한 전자 부품의 가공 방법 |
KR20230140549A (ko) | 2021-01-29 | 2023-10-06 | 닛토덴코 가부시키가이샤 | 전자 부품 전사용 점착 시트 및 전자 부품 전사용 점착 시트를 사용한 전자 부품의 가공 방법 |
KR20230164139A (ko) | 2021-05-12 | 2023-12-01 | 데쿠세리아루즈 가부시키가이샤 | 접속 구조체의 제조 방법 및 접속 필름 |
JP7425246B1 (ja) | 2022-12-16 | 2024-01-30 | 厦門市芯穎顕示科技有限公司 | 移載キャリア、移載アセンブリ及びマイクロデバイスの移載方法 |
JP7473716B1 (ja) | 2022-12-16 | 2024-04-23 | 厦門市芯穎顕示科技有限公司 | 移載キャリア、移載アセンブリ及びマイクロデバイスの移載方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006222179A (ja) * | 2005-02-09 | 2006-08-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | チップ搭載装置およびチップ搭載方法 |
JP2009295741A (ja) * | 2008-06-04 | 2009-12-17 | Yamaha Motor Co Ltd | 部品移載方法及び部品移載装置 |
JP2018060993A (ja) * | 2016-09-29 | 2018-04-12 | 東レエンジニアリング株式会社 | 転写方法、実装方法、転写装置、及び実装装置 |
JP2018517298A (ja) * | 2015-11-04 | 2018-06-28 | ゴルテック インコーポレイテッド | マイクロ発光ダイオードの搬送方法、製造方法、装置及び電子機器 |
-
2018
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006222179A (ja) * | 2005-02-09 | 2006-08-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | チップ搭載装置およびチップ搭載方法 |
JP2009295741A (ja) * | 2008-06-04 | 2009-12-17 | Yamaha Motor Co Ltd | 部品移載方法及び部品移載装置 |
JP2018517298A (ja) * | 2015-11-04 | 2018-06-28 | ゴルテック インコーポレイテッド | マイクロ発光ダイオードの搬送方法、製造方法、装置及び電子機器 |
JP2018060993A (ja) * | 2016-09-29 | 2018-04-12 | 東レエンジニアリング株式会社 | 転写方法、実装方法、転写装置、及び実装装置 |
Cited By (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2021217607A1 (zh) * | 2020-04-30 | 2021-11-04 | 重庆康佳光电技术研究院有限公司 | 一种键合方法、显示背板及显示背板制造系统 |
CN111613699B (zh) * | 2020-05-25 | 2021-06-01 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 微型发光二极管及其制作方法 |
CN111613699A (zh) * | 2020-05-25 | 2020-09-01 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 微型发光二极管及其制作方法 |
WO2022138458A1 (ja) * | 2020-12-25 | 2022-06-30 | 日東電工株式会社 | 衝撃吸収粘着シート |
KR20230137867A (ko) | 2021-01-29 | 2023-10-05 | 닛토덴코 가부시키가이샤 | 전자 부품 전사용 점착 시트 및 전자 부품 전사용 점착 시트를 사용한 전자 부품의 가공 방법 |
KR20230140549A (ko) | 2021-01-29 | 2023-10-06 | 닛토덴코 가부시키가이샤 | 전자 부품 전사용 점착 시트 및 전자 부품 전사용 점착 시트를 사용한 전자 부품의 가공 방법 |
WO2022171102A1 (zh) * | 2021-02-09 | 2022-08-18 | 南昌广恒电子中心(有限合伙) | 转移设备、转移方法和显示装置 |
JP7146145B1 (ja) * | 2021-03-26 | 2022-10-03 | リンテック株式会社 | ワークハンドリングシートおよびデバイス製造方法 |
KR20230115323A (ko) | 2021-03-26 | 2023-08-02 | 데쿠세리아루즈 가부시키가이샤 | 접속 필름 및 접속 구조체의 제조 방법 |
KR20230164139A (ko) | 2021-05-12 | 2023-12-01 | 데쿠세리아루즈 가부시키가이샤 | 접속 구조체의 제조 방법 및 접속 필름 |
CN113782650A (zh) * | 2021-09-07 | 2021-12-10 | 苏州奕格飞半导体技术有限公司 | 晶圆激光剥离装置及方法 |
WO2023095672A1 (ja) * | 2021-11-26 | 2023-06-01 | 信越エンジニアリング株式会社 | レーザリフトオフ方法、レセプター基板の製造方法、レーザリフトオフ装置及びフォトマスク |
WO2023127585A1 (ja) * | 2021-12-28 | 2023-07-06 | 株式会社東海理化電機製作所 | 表示装置製造用治具、表示装置の製造方法、表示装置製造用治具を用いて製造された表示装置、及び表示装置の製造方法を用いて製造された表示装置 |
WO2023124898A1 (zh) * | 2021-12-31 | 2023-07-06 | 天合光能股份有限公司 | 一种激光转印装置 |
WO2023149023A1 (ja) * | 2022-02-02 | 2023-08-10 | 日東電工株式会社 | 粘着シート |
JP7425246B1 (ja) | 2022-12-16 | 2024-01-30 | 厦門市芯穎顕示科技有限公司 | 移載キャリア、移載アセンブリ及びマイクロデバイスの移載方法 |
JP7473716B1 (ja) | 2022-12-16 | 2024-04-23 | 厦門市芯穎顕示科技有限公司 | 移載キャリア、移載アセンブリ及びマイクロデバイスの移載方法 |
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