JP2020048029A - 導波管 - Google Patents
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Abstract
【課題】インピーダンスの急激な変化を緩和し得る給電構造を有し、作製時に誘電体基板の反り、クラック、充填不良等の不具合を防止可能な導波管を提供する。【解決手段】導波管は、誘電体基板(10)と、その下面及び上面に形成された第1導体層(11)及び第2導体層(12)と、導波管の両側の側壁を構成する1対の側壁部(13)と、導波管への入力信号を給電する給電部(15)を備えている。給電部は、誘電体基板の下面に形成されて第1導体層と非接触の給電端子(20)と、下端が給電端子に接続される1又は複数の第1ビア導体(30)と、第1ビア導体のそれぞれの上端に接続される第1接続パッド(21)と、下端が第1接続パッドに接続される複数の第2ビア導体(31)とを含んで構成され、複数の第2ビア導体の断面積の総和は、1又は複数の第1ビア導体の断面積の総和よりも大きくなっている。【選択図】図1
Description
本発明は、複数の誘電体層を積層した誘電体基板を用いて構成される導波管に関するものである。
従来から、マイクロ波帯やミリ波帯の高周波信号を用いた無線通信において、給電部から給電された高周波信号を伝送させる導波管が広く知られている。近年では、導波管の小型軽量化や加工の容易性に鑑み、複数の誘電体層を積層した誘電体基板を用いて構成した導波管が利用されている。この種の導波管は、例えば、誘電体基板を取り囲むように上下の導体層や側面のビア導体群を形成し、導波管の所定の位置に給電部を形成した構造を備えている。導波管の良好な伝送特性を実現するには、給電部の給電端子から導波管の内部までのインピーダンス不整合を極力抑制する必要がある。そのため、導波管に形成される給電部に用いるビア導体の径を段階的あるいは連続的に変化させる給電構造が提案されている(例えば、特許文献1参照)。
特許文献1に開示された給電構造(例えば、図1参照)によれば、導波管に形成した給電用ビア導体は、外部の線路等に接続される側で最も径が細くなり、導波管の内部に向かって段階的に径が太くなる。この場合、インピーダンスの急激な変化を十分に緩和するには、給電用ビア導体の最大の径と最小の径との比率が大きくならざるを得ない。誘電体基板を用いて上記の給電構造を有する導波管を作製するには、例えば、複数のセラミックグリーンシートの給電用ビア導体の位置にビアホールを打ち抜き、そこに金属の導電ペーストを充填し、積層後に焼成するのが通常の流れである。
しかし、給電用ビア導体の径が大きくなり過ぎると、焼成時にセラミックと導電ペーストの熱膨張係数の差に起因して誘電体基板の反りや給電用ビア導体の近傍のクラックが生じる恐れがある。逆に、上述の比率を保ったまま前述の反りやクラックを防止できる程度に給電用ビア導体の最大の径を抑制しても、給電用ビア導体の最小の径が小さくなり過ぎることになるため、その部分でビアホールに導電ペーストを充填する際に充填不良が発生する恐れがある。いずれにしても、給電用ビア導体の径の大小の範囲は作製上の様々な制約を受け、インピーダンス整合に適した寸法条件を設定することは困難であった。
本発明は上記の課題を解決するためになされたものであり、インピーダンス整合に適した給電構造を具備しつつ、作製時に問題となる反り、クラック、充填不良などの問題を有効に防止し得る導波管を提供するものである。
上記課題を解決するために、本発明は、複数の誘電体層を積層した誘電体基板(10)を用いて構成される導波管であって、前記誘電体基板の下面に形成された第1導体層(11)と、前記誘電体基板の上面に形成された第2導体層(12)と、前記第1導体層と前記第2導体層との間を電気的に接続し、前記導波管の両側の側壁を構成する1対の側壁部(13)と、前記導波管への入力信号を給電する給電部(15)とを備えている。前記給電部は、前記誘電体基板の下面に形成され、前記第1導体層と接触しない給電端子(20)と、それぞれの下端が前記給電端子に接続される1又は複数の第1ビア導体(30)と、前記1又は複数の第1ビア導体のそれぞれの上端に接続される第1接続パッド(21)と、それぞれの下端が前記第1接続パッドに接続される複数の第2ビア導体(31)とを含んで構成され、前記複数の第2ビア導体の前記誘電体基板の下面(XY面)に沿った断面積の総和は、前記1又は複数の第1ビア導体の前記誘電体基板の下面に沿った断面積の総和よりも大きいことを特徴としている。
本発明の導波管によれば、誘電体基板を用いて構成される導波管への入力信号を給電する給電部は、少なくとも、誘電体基板の下面側から順に、給電端子と、1又は複数の第1ビア導体と、第1接続パッドと、複数の第2ビア導体とを順次接続した構造を有し、給電端子に近い1又は複数の第1ビア導体に比べて、上部の複数の第2ビア導体の方が誘電体基板の下面に沿った断面積の総和が大きくなっている。このような給電構造により、第1ビア導体と第2ビア導体のそれぞれの個数を適切に調整すれば、それぞれの径の比率を大きくすることなく、インピーダンスの急激な変化を緩和させて十分なインピーダンス整合を実現することができる。そして、それぞれのビア導体の径を極端に増減させる必要がないので、導波管の作製時にビア導体の径が大き過ぎることで生じる熱膨張係数の差に起因する誘電体基板の反りやクラックを防止でき、かつビア導体の径が小さ過ぎることで生じる導電ペーストの充填不良を防止できる。
本発明の給電部において、1又は複数の第1ビア導体の個数より複数の第2ビア導体の個数の方を多く設定することができる。これにより、容易に複数の第2ビア導体の断面積の総和を1又は複数の第1ビア導体に比べて大きくすることができる。この場合、1又は複数の第1ビア導体と複数の第2のビア導体の全てを同一の直径の円柱導体で形成することも可能である。
本発明の給電部において、複数の第2ビア導体は遮断波長の1/2以下の間隔で配列することが望ましい。この場合、複数の第2ビア導体は、例えば、第1接続パッドの面内における円周上に配列してもよい。
更に、本発明の給電部は、複数の第2ビア導体の上部に、誘電体基板の高さ方向に沿って第2接続パッドと複数の第3ビア導体とを交互に接続し、1又は複数の第1ビア導体と複数の第2ビア導体と複数の第3ビア導体とを含む複数のビア導体の誘電体基板の下面に沿った断面積の総和が、高さ方向の上部に行くほど順次増加するように構成することができる。よって、各層の複数のビア導体の個数の設定等に応じて容易に断面積の総和を調整でき、給電部から導波管の内部までのインピーダンスの急激な変化を確実に緩和することができる。
本発明の給電部において、前述の第2接続パッドと第3ビア導体とを交互に接続する構成であっても、高さ方向の上部に行くほど、複数のビア導体の個数が順次増加するように設定することができる。この場合、全てのビア導体を同一の直径の円柱導体で形成することも可能である。また、それぞれの下端が共通の前記第2接続パッドに接続される複数の第3ビア導体は、遮断波長の1/2以下の間隔で配列することが望ましく、この場合の複数の第3ビア導体は、第2接続パッドの面内における円周上に配列してもよい。更に、高さ方向から見た平面視で、第1接続パッドと第2接続パッドを含む全ての接続パッドを、同一の位置に配置された同一の直径の円形に形成してもよい。
本発明の1対の側壁部は、第1導体層と第2導体層との間をそれぞれ接続する複数の側壁用ビア導体を用いて構成することができる。これにより、給電部に含まれる複数のビア導体と、1対の側壁部に含まれる複数の側壁用ビア導体とを同一の手法で形成でき、導波管の製造効率を高めることができる。
本発明によれば、給電部の構造は、給電端子の上面に接続される1又は複数の第1ビア導体と、第1接続パッドに接続される複数の第2ビア導体とを順次接続してなり、1又は複数の第1ビア導体に比べて、複数の第2ビア導体の方が断面積の総和が大きくなるようにしたので、それぞれの個数を適切に調整することにより、ビア径を極端に増減させることなく、給電端子から導波管の内部へのインピーダンスの急激な変化を緩和させることができる。そして、導波管を作製する際、ビア導体の径が大き過ぎることで生じる誘電体基板の反りやクラックを防止でき、かつビア導体の径が小さ過ぎることで生じる充填不良も防止できるので、作製時の信頼性を損なうことなく、インピーダンスを十分に整合させて良好な伝送特性を得られる導波管を実現することができる。
以下、本発明を適用した導波管の好適な実施形態について、添付図面を参照しながら説明する。ただし、以下に述べる実施形態は本発明の技術思想を具体化した形態の一例であって、本発明が本実施形態の内容により限定されることはない。
まず、図1を用いて、本発明を適用した導波管の構造例について説明する。図1(A)は、本実施形態の導波管を上方から見た上面図であり、図1(B)は、図1(A)の導波管のA−A断面における断面図であり、図1(C)は、図1(A)の導波管を下方から見た下面図である。なお、図1においては、説明の便宜のため、互いに直交するX方向(導波管の管軸方向)、Y方向、Z方向をそれぞれ矢印にて示している。
図1に示す導波管は、セラミック等の誘電体材料からなる誘電体基板10と、誘電体基板10の下面に形成された導電材料からなる導体層11(本発明の第1導体層)と、誘電体基板10の上面に形成された導電材料からなる導体層12(本発明の第2導体層)と、上下の導体層11、12の間を接続する複数のビア導体13(本発明の側壁用ビア導体)と、上面の導体層12に形成された2個のスロット14と、導波管の下側の領域に形成された給電部15とを備えている。
誘電体基板10は、複数の誘電体層を積層して形成され、X方向を長尺方向とする直方体の外形形状を有する。誘電体基板10の周囲のうち、上下(Z方向の両側)は前述の1対の導体層11、12で覆われ、XY面内における4辺がいずれも前述の複数のビア導体13で取り囲まれている。このような構造により、誘電体基板10は、1対の導体層11、12及び複数のビア導体13からなる導体壁で取り囲まれた導波管として機能する。この導波管は、管軸方向であるX方向に信号を伝送し、図1(A)(B)に示すように、Z方向に高さa及びY方向に幅bの矩形断面(YZ断面)を有している。一般には、b≒2aの関係に設定されるが、このような設定により導波管の上下面をH面とするTE10を主モードとして伝搬させることができる。
複数のビア導体13は、それぞれ誘電体基板10を貫く複数の貫通孔に導電材料を充填した柱状導体であり、それぞれが上下の導体層11、12の間を電気的に接続している。複数のビア導体13は、隣接するビア導体13の間隔が、導波管の遮断波長の1/2以下になるように設定されている。X方向に沿って2列に配列される複数のビア導体13(本発明の1対の側壁部)は、導波管のうちY方向に対向する側壁を構成し、Y方向に沿って2列に配列される複数のビア導体13は、導波管のうちX方向に対向する1対の端面を構成する。なお、複数のビア導体13は外部に露出することなく、その外周が誘電体基板10で覆われている。
なお、図1の例では、複数のビア導体13が導波管のZ方向から見た4辺を画定する構造を示している、実際には複数のビア導体13のうち、Y方向に対向する両側の側壁に対応する2辺のみを画定する構造としてもよい。なお、複数のビア導体13に代わり、誘電体基板10の外周の4辺又は2辺の各側面に導体材料からなる側壁を形成してもよい。
2個のスロット14は、上側の導体層12の所定位置に所定のピッチで配置され、導波管のアンテナとして機能する。各々のスロット14の位置においては導体層12が開口されており下側の誘電体基板10が部分的に露出している。図1の例では、Y方向の中心位置から偏移した位置において、X方向の長さ及びY方向の幅が共通の2個のスロット14が並んで配列されている。スロット14のX方向の長さは、所望の周波数特性に応じて適切に設定される。なお、図1においては、導波管にスロット14を設けた構造を示しているが、スロット14を設けない導波管に対しても本発明の適用が可能である。
給電部15は、外部からの入力信号を導波管に給電する役割がある。以下、図2を参照して給電部15の構造について詳細に説明する。図2(A)は、図1(B)における給電部15を拡大して示す側面図であり、図2(B)は、給電部15のうち接続パッド21、22の各々をZ方向から見た平面図である。なお、図2(B)では、接続パッド21の直下の1個のビア導体30と、接続パッド22の直下の4個のビア導体31とのそれぞれを透過した状態で示している。
図2に示すように、本実施形態の給電部15は、導体層11と同一平面内に形成される導体パターンからなる給電端子20と、給電端子20の上方に配置された接続パッド21(本発明の第1接続パッド)と、接続パッド21の上方に配置された接続パッド22(本発明の第2接続パッド)と、給電端子20と接続パッド21とを電気的に接続する1個のビア導体30(本発明の1又は複数の第1ビア導体)と、接続パッド21と接続パッド22とを電気的に接続する4個のビア導体31(本発明の複数の第2ビア導体)とにより構成される。
給電部15の下端の給電端子20は、図1(C)に示すように、周囲の導体層11から分離(非接触)されており、X方向を長手方向とする外形形状を有する。給電端子20には、例えば、電子回路等が発生した入力信号を伝送する線路の一端が接続される。給電端子20の上面には1個のビア導体30の下端が接続されている。ビア導体30は、誘電体基板10のうち下層側の3層の誘電体層を貫いて形成され、その上端が接続パッド21に接続されている。接続パッド21の上面には4個のビア導体31のそれぞれの下端が接続されている。4個のビア導体31は、誘電体基板10のうち所定位置の誘電体層を貫いて形成され、それぞれの上端が接続パッド22に接続されている。よって、給電部15を介して導波管に給電される入力信号は、給電端子20、1個のビア導体30、接続パッド21、4個のビア導体31、接続パッド22の順に経由して、導波管の内部を伝送される。
図2(B)に示すように、接続パッド21、22は、Z方向から見た平面視で互いに同位置かつ同一径の円形の形状を有する。1個のビア導体30は、接続パッド21の面内で円形の中心に位置している。一方、4個のビア導体31は、接続パッド22の面内で円形の中心を取り囲む円周状に配列されている。また、これら4個のビア導体31は、側壁を構成する複数のビア導体13(図1)と同様、隣接するビア導体31の間隔が遮断波長の1/2以下になるように設定されている。なお、給電部15に含まれる全部で5個のビア導体30、31は、XY面内で同一径の円形断面を有している。よって、上部の4個のビア導体31は、下部の1個のビア導体30に比べ、XY面内の断面積の総和が4倍となる。
上記の構造を有する給電部15には、給電部15を介して信号を導波管に給電する際のインピーダンスの不整合を抑制する役割がある。すなわち、給電部15の給電端子20に接続される線路等の外部導体のインピーダンスは50Ω程度が標準的であるのに対し、導波管のインピーダンスは誘電体基板10の誘電率にも依存するが、少なくとも100〜200Ω程度の大きい値となる。そのため、一般的には給電部15を介してインピーダンス不整合が生じることで、信号の反射等により導波管の伝送特性を劣化させる恐れがある。一方、本実施形態の給電部15は、外部導体の近傍で断面積が小さく、かつ導波管の内部で断面積が大きくなる構造であるため、インピーダンスの急激な変化を緩和して確実にインピーダンス整合を実現することができる。更に、本実施形態の給電部15は、従来の給電構造(例えば、特許文献1の給電構造)に比べると、誘電基板10からなる導波管の製造工程に起因する不具合を防止する点でも有利であるが、この点について詳しくは後述する。
本実施形態の給電部15に関しては、図1及び図2の構造には限定されず、本発明の効果を奏することを前提に、多様な変形例がある。まず、図1及び図2に示す給電部15において、最上部の接続パッド22を設けない構造であっても上述の作用効果を概ね実現することができる。ただし、導波管の作製工程においては、複数のビア導体31の上端が何らかの接続パッドに接続されるのが一般的な構造であるため、接続パッド22を設けたものである。また、図1及び図2に示す給電部15では、下部に1個のビア導体30のみを設ける構造を示したが、下部に複数のビア導体30を設ける構造であっても、その断面積の総和が上部の複数のビア導体31の断面積の総和より小さければ、本発明の適用が可能である。以上のように、本発明を適用可能な給電部15は、給電端子20と、1又は複数のビア導体30と、接続パッド21と、複数のビア導体31とを備えていれば実現可能である。
以下、本実施形態の給電部15についての代表的な変形例について、図3〜図5を用いて説明する。なお、図3〜図5においては、図2(A)に対応する側面図と、図2(B)に対応する平面図とをそれぞれ示しつつ説明する。まず、図3は、給電部15のビア導体31の個数についての変形例を示している。本変形例においては、図2(B)の4個のビア導体31が図3(B)に示すように6個のビア導体31で置き換えられている。これら6個のビア導体31は、接続パッド21の面内で円形の中心を取り囲む円周状に配列されている。本実施形態において、ビア導体30、31のそれぞれの個数は、給電部15のインピーダンスの特性に応じて適切に定めることができる。この場合、各段における複数のビア導体30、31の個数についても通常はZ方向の上部に行くほど増加するが、断面積の総和が増加していれば、個数が増加しない場合も想定される。
図4は、給電部15の上部の構造についての変形例を示している。本変形例においては、図2の接続パッド22の上面に、図4(B)の8個のビア導体32(本発明の複数の第3ビア導体)のそれぞれの下端が接続され、これら8個のビア導体32のそれぞれの上端が更に接続パッド23(本発明の第2接続パッド)に接続されている。図4の例では、Z方向から見た平面視で、接続パッド23が下方の接続パッド21、22と同位置かつ同一径の円形の形状を有し、8個のビア導体32が接続パッド22の面内で円形の中心を取り囲む円周状に配列されている。
図4には示されないが、接続パッド23の上部には、更に複数のビア導体と接続パッドとを交互に接続する構造としてもよい。すなわち、給電部15の構造の範囲内で、給電端子20の上部に複数のビア導体と接続パッドとを所定の段数だけ配置した構造に対しても、本発明の適用が可能である。この場合、各段における複数のビア導体の断面積の総和は、Z方向の上部に行くほど増加させる必要がある。なお、図4の例では、接続パッド21〜23が同位置かつ同一径の円形の形状に形成されるが、各段の接続パッドが異なる位置及び異なる外形形状を有していてもよい。また、各段の複数のビア導体の配列も円周状には限られず、多様な形状で配列してもよい。更に、各段の1又は複数のビア導体の高さ(Z方向の長さ)については、図2〜図5の例には限られず、給電部15のインピーダンスの特性に応じて適切に定めることができる。
図5は、給電部15に含まれるビア導体の直径についての変形例を示している。本変形例においては、図5(B)に示すように、図2(B)の1個のビア導体30を直径が小さい1個のビア導体30aに置き換えるとともに、図2(B)の4個のビア導体31を直径が大きい4個のビア導体31aに置き換えたものである。すなわち、給電部15に含まれる複数のビア導体は、同一径には限られず、異なる径のビア導体が混在していてもよい。ただし、後述のように導波管の作製上の問題を考慮すると、ビア導体の直径が50μm以上かつ200μm以下の範囲に制約され、この範囲内でも各々のビア導体の径の差をできるだけ小さくする方が望ましい。なお、Z方向の上部でビア導体の直径が小さくなる場合も想定されるが、各段における複数のビア導体の断面積の総和をZ方向の上部に行くほど増加させる必要がある点は前述した通りである。
次に、本実施形態の導波管の作製方法の概要について、図6を参照しつつ説明する。図6では、図1の構造のうち主にX方向の左側の領域のみの断面構造を示している。まず、誘電体基板10を構成する複数の誘電体層として、例えば、ドクターブレード法により形成した低温焼成用の複数のセラミックグリーンシート40を用意する。ここでは、図1(B)に対応して、8枚のセラミックグリーンシート40を用いるものとする。そして、図6(A)に示すように、それぞれのセラミックグリーンシート40の所定位置に打ち抜き加工を施して、側壁用の複数のビア導体13に対応するビアホール41と、給電部15用の複数のビア導体30、31にそれぞれ対応するビアホール42、43とを開口する。なお、側壁用のビアホール41については、図6には示されないが、平面視で導波管の4辺に配置される。
次いで、図6(B)に示すように、それぞれのセラミックグリーンシート40に開口された複数のビアホール41、42、43のそれぞれに、Cuを含む導電性ペーストをスクリーン印刷により充填することで、側壁用の複数のビア導体13と、給電部15の複数のビア導体30、31をそれぞれ形成する。続いて、図6(C)に示すように、最上層のセラミックグリーンシート40の上面と、最下層のセラミックグリーンシート40の下面と、所定位置のセラミックグリーンシート40の上面とに、それぞれ前述の導電性ペーストをスクリーン印刷により塗布することで、上下の導体層11、12、給電端子20、接続パッド21、22のそれぞれを形成する。
そして、前述の加工を施した複数のセラミックグリーンシート40を順に積層した上で、加熱加圧することにより積層体を形成する。その後、得られた積層体を脱脂、焼成することにより、図1に示す構造の誘電体基板10に構成される導波管が完成する。
ここで、本実施形態の給電部15の構造を採用することで、図6で説明した作製工程の際に得られる効果について説明する。図7は、本実施形態との対比のため、従来型の給電部50の断面構造の例(例えば、特許文献1の図2参照)を示している。図7の給電部50は、本実施形態の図2(A)の給電部15とは異なり、インピーダンスの急激な変化を緩和するために、給電端子に接続されるビア導体51の径が上方に行くに連れ段階的に増加していく。例えば、ビア導体51の下端部51aに比べて上端部51bでは径が数倍程度と大きくなっている。
例えば、図6(B)と同様の手法で、図7のビア導体51の上端部51bを形成することを想定する。この場合、上端部51bに対応するビアホールに導電ペーストを充填し、積層体の形成後に焼成する際、金属の導電ペーストと周囲のセラミックグリーンシート40の熱膨張係数に差があるため、上端部51bの近傍に熱応力が加わる。このとき、本実施形態のようにビア導体30、31の径が小さいと問題は生じないが、図7の上端部51bは径が大きいため、熱応力の影響が強くなり、部分的に積層基板の反りやクラックが発生する可能性が高くなる。
一方、上記の問題を回避するため、上端部51bの径がある程度小さくなるよう、全体的にビア導体51の径を同じ比率で縮小することも可能である。しかし、この場合は下端部51aの径が一層小さくなるので、下端部51aに導電ペーストを充填する際に充填不良が生じやすくなり、不完全なビア導体51となる恐れがある。以上のように、従来型の給電部50は導波管の作製に伴う様々な問題を生じて信頼性が確保できないのに対し、本実施形態の給電部15は、このような問題を生じることはなく、高い信頼性を確保することができる。
次に、本実施形態の導波管に関し、シミュレーションにより得られた周波数特性について説明する。図8は、本実施形態で説明した給電部15を備える導波管の周波数特性(所定の周波数範囲における反射係数S11の変化)と、図7の従来型の給電部50を備える導波管の周波数特性とを重ねて模式的に示している。図8のシミュレーションでは、周波数の範囲を27GHz〜29GHzとし、図1の寸法a=1.6mm、b=3.2mmとし、誘電体基板10の比誘電率εr=5.8、誘電損失tanδ=0.0022とし、かつ、導体層11、12及びビア導体13、給電部15、50が完全導体と仮定した。また、本実施形態の給電部15のビア導体30、31の径がφ0.1mm、ビア導体13の最小ビアピッチが0.2mmとし、従来型の給電部50のビア導体51の径が下層側から順に、φ0.1mm、φ0.2mm、φ0.3mm、φ0.4mmとしてシミュレーションを実行した。
図8に示すように、本実施形態の周波数特性は、周波数28GHzの近傍で減衰極を有し、十分に広い周波数帯域が得られることがわかる。一方、従来構造の場合の周波数特性は、周波数28GHzより若干低い周波数で減衰極を有し、本実施形態に比べて周波数帯域が狭くなっている。このように、本実施形態の給電部15の構造を採用することにより、周波数特性の広帯域化を実現することができる。
以上、本実施形態に基づき本発明の内容を具体的に説明したが、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で多様な変更を施すことができる。すなわち、本実施形態の導波管の構造及び給電部15の構造については、図1〜図5で説明した構造例には限定されず、本発明の作用効果を得られる限り、他の構造や材料を用いた多様な導波管に対して広く本発明を適用することができる。さらに、その他の点についても上記実施形態により本発明の内容が限定されるものではなく、本発明の作用効果を得られる限り、上記実施形態に開示した内容には限定されることなく適宜に変更可能である。
10…誘電体基板
11、12…導体層
13…ビア導体(側壁用)
14…スロット
15…給電部
20…給電端子
21、22、23…接続パッド
30、31、32…ビア導体
40…セラミックグリーンシート
41、42、43…ビアホール
11、12…導体層
13…ビア導体(側壁用)
14…スロット
15…給電部
20…給電端子
21、22、23…接続パッド
30、31、32…ビア導体
40…セラミックグリーンシート
41、42、43…ビアホール
Claims (12)
- 複数の誘電体層を積層した誘電体基板を用いて構成される導波管であって、
前記誘電体基板の下面に形成された第1導体層と、
前記誘電体基板の上面に形成された第2導体層と、
前記第1導体層と前記第2導体層との間を電気的に接続し、前記導波管の両側の側壁を構成する1対の側壁部と、
前記導波管への入力信号を給電する給電部と、
を備え、
前記給電部は、
前記誘電体基板の下面に形成され、前記第1導体層と接触しない給電端子と、
それぞれの下端が前記給電端子に接続される1又は複数の第1ビア導体と、
前記1又は複数の第1ビア導体のそれぞれの上端に接続される第1接続パッドと、
それぞれの下端が前記第1接続パッドに接続される複数の第2ビア導体と、
を含んで構成され、
前記複数の第2ビア導体の前記誘電体基板の下面に沿った断面積の総和は、前記1又は複数の第1ビア導体の前記誘電体基板の下面に沿った断面積の総和よりも大きいことを特徴とする導波管。 - 前記1又は複数の第1ビア導体の個数より前記複数の第2ビア導体の個数の方が多いことを特徴とする請求項1に記載の導波管。
- 前記複数の第2ビア導体は遮断波長の1/2以下の間隔で配列されることを特徴とする請求項1又は2に記載の導波管。
- 前記複数の第2ビア導体は、前記第1接続パッドの面内における円周上に配列されることを特徴とする請求項3に記載の導波管。
- 前記1又は複数の第1ビア導体と前記複数の第2のビア導体の全てが同一の直径の円柱導体であることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の導波管。
- 更に前記給電部は、前記複数の第2ビア導体の上部に前記誘電体基板の高さ方向に沿って第2接続パッドと複数の第3ビア導体とが交互に接続されて構成され、
前記1又は複数の第1ビア導体と前記複数の第2ビア導体と前記複数の第3ビア導体とを含む複数のビア導体の前記誘電体基板の下面に沿った断面積の総和が、前記高さ方向の上部に行くほど順次増加していくことを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の導波管。 - 前記高さ方向の上部に行くほど、前記複数のビア導体の個数が順次増加していくことを特徴とする請求項6に記載の導波管。
- それぞれの下端が共通の前記第2接続パッドに接続される前記複数の第3ビア導体は、遮断波長の1/2以下の間隔で配列されることを特徴とする請求項6又は7に記載の導波管。
- それぞれの下端が共通の前記第2接続パッドに接続される前記複数の第3ビア導体は、当該第2接続パッドの面内における円周上に配列されることを特徴とする請求項8に記載の導波管。
- 全ての前記複数のビア導体は同一の直径の円柱導体であることを特徴とする請求項6から9のいずれか1項に記載の導波管。
- 前記高さ方向から見た平面視で、前記第1接続パッドと前記第2接続パッドを含む全ての接続パッドは同一の位置に配置された同一の直径の円形に形成されることを特徴とする請求項6から10のいずれか1項に記載の導波管。
- 前記1対の側壁部は、前記第1導体層と前記第2導体層との間をそれぞれ接続する複数の側壁用ビア導体からなることを特徴とする請求項1から11のいずれか1項に記載の導波管。
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Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10190320A (ja) * | 1996-12-25 | 1998-07-21 | Kyocera Corp | 積層型誘電体導波管の給電構造 |
JP2011507312A (ja) * | 2007-12-07 | 2011-03-03 | パナソニック株式会社 | 垂直共振器を有する積層rfデバイス |
JP2012028730A (ja) * | 2010-07-21 | 2012-02-09 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | 多層回路基板及び多層回路基板の製造方法 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0797705B2 (ja) * | 1989-07-17 | 1995-10-18 | 日本電気株式会社 | 多層セラミツク基板 |
JP3464104B2 (ja) * | 1996-10-31 | 2003-11-05 | 京セラ株式会社 | 積層型導波管線路の結合構造 |
JP2001102817A (ja) * | 1999-09-29 | 2001-04-13 | Nec Corp | 高周波回路及び該高周波回路を用いたシールディドループ型磁界検出器 |
US6992255B2 (en) | 2003-07-16 | 2006-01-31 | International Business Machines Corporation | Via and via landing structures for smoothing transitions in multi-layer substrates |
JP2005051330A (ja) | 2003-07-29 | 2005-02-24 | Kyocera Corp | 誘電体導波管線路と高周波伝送線路との接続構造およびそれを用いた高周波回路基板ならびに高周波素子搭載用パッケージ |
US7283103B2 (en) | 2004-05-04 | 2007-10-16 | Raytheon Company | Compact broadband antenna |
WO2010026990A1 (ja) * | 2008-09-05 | 2010-03-11 | 三菱電機株式会社 | 高周波回路パッケージおよびセンサモジュール |
JP5438384B2 (ja) * | 2009-06-05 | 2014-03-12 | 新光電気工業株式会社 | 樹脂基板における高周波線路構造及びその製造方法 |
WO2011077676A1 (ja) * | 2009-12-24 | 2011-06-30 | 日本電気株式会社 | 配線部品 |
KR101055425B1 (ko) * | 2010-04-30 | 2011-08-08 | 삼성전기주식회사 | 광대역 전송선로-도파관 변환장치 |
JP5566200B2 (ja) * | 2010-06-18 | 2014-08-06 | 新光電気工業株式会社 | 配線基板及びその製造方法 |
JP6718160B2 (ja) | 2017-02-23 | 2020-07-08 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | 残留熱ひずみ測定方法、残留熱ひずみ測定装置、及びそのプログラム |
JP6570788B2 (ja) * | 2017-04-12 | 2019-09-04 | 三菱電機株式会社 | 誘電体導波管の接続構造 |
JP6730960B2 (ja) * | 2017-05-24 | 2020-07-29 | 日本特殊陶業株式会社 | 配線基板 |
JP6869209B2 (ja) * | 2018-07-20 | 2021-05-12 | 日本特殊陶業株式会社 | 配線基板 |
JP7149820B2 (ja) * | 2018-11-26 | 2022-10-07 | 日本特殊陶業株式会社 | 導波管スロットアンテナ |
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10190320A (ja) * | 1996-12-25 | 1998-07-21 | Kyocera Corp | 積層型誘電体導波管の給電構造 |
JP2011507312A (ja) * | 2007-12-07 | 2011-03-03 | パナソニック株式会社 | 垂直共振器を有する積層rfデバイス |
JP2012028730A (ja) * | 2010-07-21 | 2012-02-09 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | 多層回路基板及び多層回路基板の製造方法 |
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