JP2020045571A5 - - Google Patents

Claims (14)

1. 蒸着作製するパターンに対応した開口部が設けられた樹脂マスクを含む蒸着マスクであって、
   前記樹脂マスクはレーザー加工によって前記開口部が形成可能な樹脂を含み、
   前記樹脂マスクの、蒸着源に向かう表面を、一方の面とし、
   前記樹脂マスクの、蒸着対象物に密着する表面を、他方の面とした場合、
   前記一方の面の算術平均高さ（Ｓａ）が０．８μｍ以下であり、
   前記他方の面の算術平均高さ（Ｓａ）が０．５μｍ以上である、蒸着マスク。
2. 前記樹脂マスクの前記一方の面は、レーザー加工時にレーザー照射が行われる表面である、請求項１記載の蒸着マスク。
3. 前記樹脂マスクの前記一方の面の最大高さ（Ｓｚ）が２．５μｍ以下である、請求項１又は２に記載の蒸着マスク。
4. 前記樹脂マスクの前記他方の面の最大高さ（Ｓｚ）が２．０μｍ以下である、請求項１〜３のいずれか１項記載の蒸着マスク。
5. 前記樹脂マスクの熱膨張係数が１６ｐｐｍ／℃以下である、請求項１〜４の何れか１項記載の蒸着マスク。
6. 前記樹脂マスクの吸湿率が１．０％以下である、請求項１〜５の何れか１項記載の蒸着マスク。
7. 前記樹脂マスクの厚さが３μｍ以上２５μｍ以下である、請求項１〜６の何れか１項記載の蒸着マスク。
8. 前記樹脂マスクの厚さが４μｍ以上８μｍ以下である、請求項１〜６の何れか１項記載の蒸着マスク。
9. フレームと、フレームに固定された蒸着マスクと、を含むフレーム付き蒸着マスクであって、
   前記蒸着マスクが請求項１〜８のいずれか１項記載の蒸着マスクである、フレーム付き蒸着マスク。
10. 前記蒸着マスクは、前記樹脂マスクの周縁に位置する金属層を備え、
    前記金属層を介して前記蒸着マスクと前記フレームとが固定されている、請求項９記載のフレーム付き蒸着マスク。
11. 前記金属層の厚さが１００μｍ以下である、請求項１０に記載のフレーム付き蒸着マスク。
12. 前記金属層の厚さが５０μｍ以下である、請求項１０に記載のフレーム付き蒸着マスク。
13. 前記金属層の厚さが３５μｍ以下である、請求項１０に記載のフレーム付き蒸着マスク。
14. 樹脂マスクを含む蒸着マスクに用いられる樹脂層であって、蒸着作製するパターンに対応した開口部が形成されることによって前記樹脂マスクとなる前記樹脂層の製造方法であって、
    表面の算術平均高さ（Ｓａ）が０．８μｍ以下の基板を準備し、前記基板の表面上に樹脂層を形成する工程と、
    前記樹脂層を前記基板の表面から剥がす工程と、を含む、樹脂層の製造方法 。