JP2019527130A - 進行波励起を用いる超音波レンズ洗浄 - Google Patents
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Abstract
Description
トランスデューサセグメント102の各側お電極又は電気的接続のための正弦波又は余弦波形の極性及び選択を提供する。圧電性トランスデューサセグメント102の場合、セグメント102は、機械的に結合されたレンズ202からデブリを分離するために、周期的電気的信号が印加されるとき振動する。レンズアッセンブリ全体は、通常、全ての構成要素及び境界条件の機械的性質によって決まる一つ又は複数の共振周波数を有し得、或る例において信号生成器回路130は、効果的で効率的な洗浄のための共振点の一つ又はその近辺で周波数ωで正弦波VSを提供する。
ここで、Jnはn番目のベッセル関数であり、Inは、第1の種類の改変されたベッセル関数であり、n及びmはモード指数であり、n=0、1、2、...、m=L、2、3、...である。自然モード周波数は、下記数式(2)により与えられる。
ここで、Rは円形プレートの半径であり、Tはその厚みであり、λnmはベッセル関数式に対するルート(root)であり、Dはであるレンズ材料堅さ(ポアソン比などヤング率によって決まる)、及びρはレンズ材料密度である。下記のように定義すると、
式(1)は、下記数式(3)に示すように簡略化され得る。
ここで、ω0は[ND、1]モードの共振周波数である。
4セグメントを用いた実装の簡略化した上面図を示す。進行波のこの形態は、図14及び図15に示す内部ローブ極小値406−1及び局地極小値406−2に加えて、狭いローブピーク又は極大値404−1及び局地極大値404−2を含む。一層高い周波数を有する図示される[1、2]モードを用いる進行波励起の一例は、増大された加速度となり(例えば、振動の速度が増大され得る)、これは、励起されたレンズ202からの或るタイプのデブリの除去を促進するために有益である。
Claims (22)
- 超音波洗浄システムであって、
レンズに機械的に結合される整数のNS個のトランスデューサセグメントであって、NSが4より大きいか又は4に等しい偶数の整数であり、個々の前記トランスデューサセグメントが、前記レンズの中央軸から放射状に離間され、及び前記レンズの周囲の周りで互いから角度的に離間され、及び
前記レンズを振動させるため前記中央軸の周りを回転する機械的進行波を生成するために、位相シフトされた発振信号を前記トランスデューサセグメントに提供するためのドライバ回路、
を含む、超音波洗浄システム。 - 請求項1に記載の超音波洗浄システムであって、前記トランスデューサセグメントが、前記レンズの前記周囲の周りで等しく角度離間される、超音波洗浄システム。
- 請求項1に記載の超音波洗浄システムであって、前記ドライバ回路が、
非ゼロ周波数で発振する第1の出力信号を生成するための信号生成器回路、
前記非ゼロ周波数で発振する第2の出力信号を生成するための位相シフト回路であって、前記第2の出力信号が、前記第1の出力信号から非ゼロ角、位相シフトされる、前記位相シフト回路、
前記第1の出力信号を受信するための入力と、前記第1の出力信号に基づいて第1の増幅された信号を生成するための第1の増幅器出力とを含む、第1の増幅器、
前記第2の出力信号を受信するための入力と、前記第1の出力信号に基づいて第2の増幅された信号を生成するための第2の増幅器出力とを含む、第2の増幅器、
前記レンズを振動させるため前記機械的進行波を生成するために、前記第1の増幅された信号を前記トランスデューサセグメントの第1のセットに搬送し、前記第2の増幅された信号を前記トランスデューサセグメントの第2のセットに搬送するための配路回路、
を含む、超音波洗浄システム。 - 請求項3に記載の超音波洗浄システムであって、前記信号生成器回路が、前記第1の出力信号を前記非ゼロ周波数で発振する正弦波信号として生成する、超音波洗浄システム。
- 請求項4に記載の超音波洗浄システムであって、前記配路回路が、整数のNS個のマルチプレクサを含み、前記個々のマルチプレクサが、前記トランスデューサセグメントの一つに対応し、前記個々のマルチプレクサが、
前記第1の増幅器出力と結合される第1のマルチプレクサ入力、前記第2の増幅器出力と結合される第2のマルチプレクサ入力、第1のマルチプレクサ出力信号を前記対応するトランスデューサセグメントの第1の側に搬送するように結合される第1のマルチプレクサ出力、第2のマルチプレクサ出力信号を前記対応するトランスデューサセグメントの第2の側に搬送するように結合される第2のマルチプレクサ出力、及び選択信号を受信するための選択入力を含み、
前記個々のマルチプレクサが、受信した選択信号に従って、選択された発振信号を前記対応するトランスデューサセグメントの前記第1及び第2の側の一方に提供するように動作し得る、
超音波洗浄システム。 - 請求項5に記載の超音波洗浄システムであって、前記配路回路が、構成入力信号に従って、前記選択信号を前記マルチプレクサに提供するためのルックアップテーブルを含む、超音波洗浄システム。
- 請求項5に記載の超音波洗浄システムであって、前記個々のマルチプレクサが、基準電圧と結合される第3のマルチプレクサ入力を含み、前記個々のマルチプレクサが、前記受信した選択信号に従って、選択された発振信号を前記対応するトランスデューサセグメントの前記第1及び第2の側の一方に提供するように、及び前記対応するトランスデューサセグメントの前記第1及び第2の側の他方を前記基準電圧に結合するように動作し得る、超音波洗浄システム。
- 請求項3に記載の超音波洗浄システムであって、前記第2の出力信号が前記第1の出力信号から90度位相シフトされる、超音波洗浄システム。
- 超音波レンズクリーナーを駆動するための半導体回路(IC)であって、
非ゼロ周波数で発振する第1の出力信号を生成するための信号生成器回路、
前記非ゼロ周波数で発振し、前記第1の出力信号から非ゼロ角、位相シフトされた第2の出力信号を生成するための位相シフト回路、
前記第1の出力信号を受信するための入力と、前記第1の出力信号に基づいて第1の増幅された信号を生成するための第1の増幅器出力とを含む第1の増幅器、
前記第2の出力信号を受信するための入力と、前記第1の出力信号に基づいて第2の増幅された信号を生成するための第2の増幅器出力とを含む第2の増幅器、
複数のドライバ信号出力端子対であって、前記ドライバ信号出力端子対のそれぞれが、
レンズに機械的に結合される複数のトランスデューサセグメントの対応する一つのトランスデューサセグメントの第1の側に接続され得る第1の出力端子と、前記対応するトランスデューサセグメントの第2の側に接続され得る第2の出力端子とを含む、前記ドライバ信号出力端子対、及び
前記レンズを振動させるため機械的進行波を生成するため、前記第1の増幅された信号を前記出力端子第1のセットに搬送し、前記第2の増幅された信号を前記出力端子の第2のセットに搬送するための配路回路、
を含む、IC。 - 請求項9に記載のICであって、前記信号生成器回路が、前記第1の出力信号を前記非ゼロ周波数で発振する正弦波信号として生成する、IC。
- 請求項9に記載のICであって、前記配路回路が、整数のNS個のマルチプレクサを含み、前記個々のマルチプレクサが、前記ドライバ信号出力端子対の一つに対応し、前記個々のマルチプレクサが、
前記第1の増幅器出力と結合される第1のマルチプレクサ入力、
前記第2の増幅器出力と結合される第2のマルチプレクサ入力、
第1のマルチプレクサ出力信号を前記対応するドライバ信号出力端子対の前記第1の出力端子に搬送するように結合される第1のマルチプレクサ出力、
第2のマルチプレクサ出力信号を前記対応するドライバ信号出力端子対の前記第2の出力端子に搬送するように結合される第2のマルチプレクサ出力、及び
選択信号を受信するための選択入力、
を含み、
前記個々のマルチプレクサが、受信した選択信号に従って、選択された発振信号を、前記対応するドライバ信号出力端子対の前記第1及び第2の出力端子の一方に提供するように動作し得る、
IC。 - 請求項11に記載のICであって、前記配路回路が、構成入力信号に従って前記選択信号を前記マルチプレクサに提供するためのルックアップテーブルを含む、IC。
- 請求項12に記載のICであって、更に、前記構成入力信号を外部回路から前記ルックアップテーブルに提供するための少なくとも一つの構成入力端子を含む、IC。
- 請求項11に記載のICであって、
前記個々のマルチプレクサが、基準電圧と結合される第3のマルチプレクサ入力を含み、
前記個々のマルチプレクサが、前記受信した選択信号に従って、選択された発振信号を前記対応するドライバ信号出力端子対の前記第1及び第2の出力端子の一方に提供し、前記対応するドライバ信号出力端子対の前記第1及び第2の出力端子の他方を前記基準電圧に結合するように動作し得る、
IC。 - 請求項14に記載のICであって、前記配路回路が、構成入力信号に従って前記選択信号を前記マルチプレクサに提供するためルックアップテーブルを含む、IC。
- 請求項15に記載のICであって、更に、前記構成入力信号を外部回路から前記ルックアップテーブルに提供するための少なくとも一つの構成入力端子を含む、IC。
- 請求項9に記載のICであって、前記第2の出力信号が前記第1の出力信号から90度位相シフトされる、IC。
- レンズに機械的に結合される複数のトランスデューサセグメントを用いて前記レンズを洗浄するための方法であって、前記方法が、
非ゼロ周波数で発振する第1の信号を提供すること、
前記非ゼロ周波数で発振する第2の信号を提供することであって、前記第2の出力信号が前記第1の出力信号から非ゼロ角、位相シフトされること、
第1の増幅された信号を生成するため前記第1の信号を増幅させること、
第2の増幅された信号を生成するため前記第2の信号を増幅させること、
前記第1の増幅された信号を前記トランスデューサセグメントの第1のセットに提供すること、及び
前記レンズを振動させるため機械的進行波を生成するため、前記第2の増幅された信号を前記トランスデューサセグメントの第2のセットに提供すること、
を含む、方法。 - 請求項18に記載の方法であって、前記第1及び第2の信号が正弦波である、方法。
- 請求項19に記載の方法であって、更に、基準電圧を前記トランスデューサセグメントの第3のセットに提供することを含む、方法。
- 請求項18に記載の方法であって、更に、基準電圧を前記トランスデューサセグメントの第3のセットに提供することを含む、方法。
- 請求項18に記載の方法であって、前記第2の出力信号が前記第1の出力信号から90度位相シフトされる、方法。
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Families Citing this family (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10591720B2 (en) | 2016-06-28 | 2020-03-17 | Texas Instruments Incorporated | Optical device housing |
US10606069B2 (en) | 2016-08-01 | 2020-03-31 | Texas Instruments Incorporated | Ultrasound lens structure cleaner architecture and method |
US10682675B2 (en) | 2016-11-01 | 2020-06-16 | Texas Instruments Incorporated | Ultrasonic lens cleaning system with impedance monitoring to detect faults or degradation |
US11237387B2 (en) * | 2016-12-05 | 2022-02-01 | Texas Instruments Incorporated | Ultrasonic lens cleaning system with foreign material detection |
US10663418B2 (en) | 2017-02-03 | 2020-05-26 | Texas Instruments Incorporated | Transducer temperature sensing |
US10695805B2 (en) | 2017-02-03 | 2020-06-30 | Texas Instruments Incorporated | Control system for a sensor assembly |
US10598926B2 (en) | 2017-02-06 | 2020-03-24 | Texas Instruments Incorporated | Optical device housing |
US11420238B2 (en) | 2017-02-27 | 2022-08-23 | Texas Instruments Incorporated | Transducer-induced heating-facilitated cleaning |
US11607704B2 (en) | 2017-04-20 | 2023-03-21 | Texas Instruments Incorporated | Methods and apparatus for electrostatic control of expelled material for lens cleaners |
US10780467B2 (en) | 2017-04-20 | 2020-09-22 | Texas Instruments Incorporated | Methods and apparatus for surface wetting control |
US10908414B2 (en) | 2017-05-10 | 2021-02-02 | Texas Instruments Incorporated | Lens cleaning via electrowetting |
US20190106085A1 (en) * | 2017-10-10 | 2019-04-11 | GM Global Technology Operations LLC | System and method for automated decontamination of vehicle optical sensor lens covers |
US10821942B2 (en) * | 2018-05-22 | 2020-11-03 | Ford Global Technologies, Llc | Lidar windscreen vibration control |
WO2020003574A1 (ja) * | 2018-06-28 | 2020-01-02 | 株式会社村田製作所 | 振動装置及び光学検出装置 |
JP6943341B2 (ja) * | 2018-06-28 | 2021-09-29 | 株式会社村田製作所 | 振動装置及び光学検出装置 |
BR112021010591A2 (pt) | 2019-03-01 | 2021-09-21 | Precision Planting Llc | Sistema de pulverização agrícola |
US11224902B2 (en) * | 2019-05-01 | 2022-01-18 | Ford Global Technologies, Llc | Sensor assembly with cleaning |
EP3747558B1 (de) * | 2019-06-07 | 2023-09-06 | MML Solutions GmbH | Vorrichtung, maschine oder maschinenkomponente mit der vorrichtung, verfahren zur überwachung mittels der vorrichtung und verfahren zur reinigung der vorrichtung |
FR3100998B1 (fr) * | 2019-09-25 | 2022-06-03 | Lille Ecole Centrale | Dispositif pour nettoyer un support recouvert d’un liquide |
US20220330537A1 (en) | 2019-09-27 | 2022-10-20 | Precision Planting Llc | Agricultural spraying system |
CN113891820A (zh) * | 2020-03-19 | 2022-01-04 | 株式会社村田制作所 | 振动装置和振动控制方法 |
JP7205622B2 (ja) * | 2020-04-17 | 2023-01-17 | 株式会社村田製作所 | 振動装置 |
DE102020128903B4 (de) | 2020-11-03 | 2023-11-09 | Marelli Automotive Lighting Reutlingen (Germany) GmbH | Sensorvorrichtung, Scheinwerfer, teilautonomes Kraftfahrzeug und Verfahren |
JP7072956B1 (ja) * | 2021-12-16 | 2022-05-23 | 有限会社エスアンドアールプロジェクト | カメラおよび車両 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2541566Y2 (ja) * | 1991-10-02 | 1997-07-16 | 株式会社村上開明堂 | モニタ−カメラの水滴除去装置 |
JP2001359287A (ja) * | 2000-06-12 | 2001-12-26 | Minolta Co Ltd | 弾性表面波光学素子 |
US20030214588A1 (en) * | 2002-05-20 | 2003-11-20 | Olympus Optical Co., Ltd. | Camera and image pick-up device unit |
US20040134514A1 (en) * | 2003-01-10 | 2004-07-15 | Yi Wu | Megasonic cleaning system with buffered cavitation method |
US20050280712A1 (en) * | 2000-12-28 | 2005-12-22 | Olympus Optical Co., Ltd. | Dust removal camera |
US20100171872A1 (en) * | 2008-11-13 | 2010-07-08 | Nikon Corporation | Optical device, imaging device, and method for manufacturing optical device |
US20120243093A1 (en) * | 2011-03-23 | 2012-09-27 | Tonar William L | Lens cleaning apparatus |
Family Cites Families (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3643135A (en) | 1970-06-29 | 1972-02-15 | Ibm | Triaxially expandable circuit arrays |
US3681626A (en) | 1971-11-11 | 1972-08-01 | Branson Instr | Oscillatory circuit for ultrasonic cleaning apparatus |
SE436675B (sv) | 1975-08-12 | 1985-01-14 | Ki Politekhnichsky I Im 50 Let | Elektrisk motor driven genom piezoelektriska krafter |
US4271371A (en) | 1979-09-26 | 1981-06-02 | Kabushiki Kaisha Morita Seisakusho | Driving system for an ultrasonic piezoelectric transducer |
JPS59204477A (ja) * | 1983-05-04 | 1984-11-19 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | 超音波モーターの駆動制御回路 |
GB8421836D0 (en) | 1984-08-29 | 1984-10-03 | Smc Metal Tech Co Ltd | Contact lens cleaning apparatus |
JPH03145976A (ja) * | 1989-10-30 | 1991-06-21 | Nikon Corp | 超音波モータの駆動装置 |
US6078438A (en) | 1997-04-14 | 2000-06-20 | Nikon Corporation | Vibration actuator and lens barrel |
JPH11260781A (ja) * | 1998-03-10 | 1999-09-24 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
US7492408B2 (en) | 2002-05-17 | 2009-02-17 | Olympus Corporation | Electronic imaging apparatus with anti-dust function |
US7628865B2 (en) * | 2006-04-28 | 2009-12-08 | Asml Netherlands B.V. | Methods to clean a surface, a device manufacturing method, a cleaning assembly, cleaning apparatus, and lithographic apparatus |
US20080166113A1 (en) | 2007-01-09 | 2008-07-10 | Nikon Corporation | Camera |
JP2009017305A (ja) | 2007-07-05 | 2009-01-22 | Hoya Corp | 防塵性光透過性部材の製造方法、その部材の用途、及びその部材を具備する撮像装置 |
US7705517B1 (en) | 2008-10-30 | 2010-04-27 | Texas Instruments Incorporated | Ultrasound transmitter |
US8293026B1 (en) | 2009-04-28 | 2012-10-23 | Integrated Medical Systems International, Inc. | Fixtures for the cleaning of lenses |
RU2393644C1 (ru) | 2009-06-09 | 2010-06-27 | Федеральное государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Санкт-Петербургский государственный университет | Гидроакустический преобразователь волноводного типа |
JP2011175246A (ja) | 2010-01-28 | 2011-09-08 | Hoya Corp | 撮像装置 |
JP5455057B2 (ja) | 2010-03-16 | 2014-03-26 | キヤノン株式会社 | 振動体の駆動方法、振動装置、該振動装置を有する駆動装置と塵埃除去装置と光学機器 |
US9458450B2 (en) | 2012-03-15 | 2016-10-04 | Flodesign Sonics, Inc. | Acoustophoretic separation technology using multi-dimensional standing waves |
JP2015134707A (ja) * | 2013-12-18 | 2015-07-27 | キヤノン株式会社 | 圧電材料、圧電素子および電子機器 |
CN104709241B (zh) | 2015-01-27 | 2017-04-05 | 陕西师范大学 | 节能型超声波隐形汽车雨刷系统 |
KR20170019702A (ko) * | 2015-08-12 | 2017-02-22 | 삼성전자주식회사 | 난수 발생 장치 |
JP3202764U (ja) * | 2015-12-10 | 2016-02-18 | アイワ医科工業株式会社 | 超音波洗浄装置 |
-
2016
- 2016-06-20 US US15/186,944 patent/US10071400B2/en active Active
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2017
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2541566Y2 (ja) * | 1991-10-02 | 1997-07-16 | 株式会社村上開明堂 | モニタ−カメラの水滴除去装置 |
JP2001359287A (ja) * | 2000-06-12 | 2001-12-26 | Minolta Co Ltd | 弾性表面波光学素子 |
US20050280712A1 (en) * | 2000-12-28 | 2005-12-22 | Olympus Optical Co., Ltd. | Dust removal camera |
US20030214588A1 (en) * | 2002-05-20 | 2003-11-20 | Olympus Optical Co., Ltd. | Camera and image pick-up device unit |
US20040134514A1 (en) * | 2003-01-10 | 2004-07-15 | Yi Wu | Megasonic cleaning system with buffered cavitation method |
US20100171872A1 (en) * | 2008-11-13 | 2010-07-08 | Nikon Corporation | Optical device, imaging device, and method for manufacturing optical device |
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