JP2019521526A - 半導体後工程用のチャックプレート、これを有するチャック構造物及びチャック構造物を有するチップ分離装置 - Google Patents
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Abstract
Description
前記半導体前工程は、ウエハーを加工して半導体回路を作る過程であって、蒸着工程、フォトレジストコーティング工程、露光工程、現像工程、エッチング工程、洗浄工程、検査工程などを含み得る。
また、本発明は、前記半導体後工程用のチャックプレートを有するチャック構造物を提供する。
本発明の一実施例によれば、前記チャックプレートの下面は、10μm以下の平坦度を有し得る。
本発明の一実施例によれば、前記チップの分離のために、前記ピッカーが待機中である状態で、前記加熱プレートが前記熱を発生して前記チップを前記テープから分離し得る。
発熱体112は、加熱プレート110の内側面に一定のパターンをなすように備えられ得る。発熱体112の例には、電極層、発熱コイルなどが挙げられる。
チャックプレート120は、ほぼ円板形態を有し、加熱プレート110上に設けられる。チャックプレート120は、上面にウエハー10を支持する。
第2真空ライン122は、真空溝122a及び複数の真空ホール122bを有する。
ガイドリング130は、加熱プレート110の上面縁部に沿って形成された溝118にかかり、加熱プレート110の周りをガイドする。
一方、ガイドリング130の上面と加熱プレート110の上面とは、同じ高さに位置し得る。この場合、加熱プレート110にガイドリング130を装着した状態でチャックプレート120を加熱プレート110の上面に容易に載置することができる。
温度センサー160は、加熱プレート110の外部から内部まで延び、発熱体112の温度を測定する。温度センサー160で測定された温度は、発熱体112の温度制御に用いられ得る。
軸170は、加熱プレート110の下面に備えられ、加熱プレート110を支持する。例えば、軸170は、加熱プレート110にボルト締結され得る。
特に、軸170は、断熱特性を有する酸化アルミニウム(Al2O3)材質からなり得る。したがって、加熱プレート110で発生した熱が軸170によって損失することをさらに抑制することができる。
図6を参照すれば、チップ分離装置300は、チャック構造物100及びピッカー200を含む。
ピッカー200がチップ12をボンディングする場合、ピッカー200は、内部にヒーター210を含み得る。
チップ分離装置300は、チャック構造物110で発生した熱を用いてチップ12をテープ14から分離し、分離されたチップ12はピッカー200に移送する。そのため、チップ分離装置300は、チップ12を損傷なく分離して移送することができる。
Claims (15)
- 加熱プレート上に設けられ、上面に複数のチップにダイシングされてテープに付着されたウエハーを支持し、前記チップが前記テープから分離されるように前記加熱プレートで発生した熱を前記ウエハーに伝達し、真空力で前記テープを吸着するために上下を貫通する複数の真空ホールを有することを特徴とする半導体後工程用のチャックプレート。
- 前記チャックプレートの下面に前記真空ホールと連結される真空溝を有することを特徴とする請求項1に記載の半導体後工程用のチャックプレート。
- 前記チャックプレートの下面が、10μm以下の平坦度を有することを特徴とする請求項1に記載の半導体後工程用のチャックプレート。
- 外部から印加される電源によって熱を発生する発熱体を内蔵し、真空力を提供するために上面まで延びる第1真空ラインを有する加熱プレートと、
前記加熱プレート上に設けられ、上面に複数のチップにダイシングされてテープに付着されたウエハーを支持し、前記チップが前記テープから分離されるように前記加熱プレートで発生した熱を前記ウエハーに伝達し、前記真空力で前記テープを吸着するために前記第1真空ラインと連結される第2真空ラインを有するチャックプレートと、を含むことを特徴とするチャック構造物。 - 前記第2真空ラインが、
前記チャックプレートの下面に前記第1真空ラインと連結されるように備えられ、前記チャックプレートの下面と前記加熱プレートの上面によって限定されて空間を形成する真空溝と、
前記チャックプレートを貫通し、前記真空溝が形成された下面から前記チャックプレートの上面まで延びる複数の真空ホールと、を含むことを特徴とする請求項4に記載のチャック構造物。 - 前記第1真空ラインが、
前記加熱プレートの上面に前記第2真空ラインと連結されるように備えられ、前記チャックプレートの下面と前記加熱プレートの上面によって限定されて空間を形成する真空溝と、
前記加熱プレートを貫通し、下面から前記真空溝が形成された上面まで延びる複数の真空ホールと、を含むことを特徴とする請求項4に記載のチャック構造物。 - 前記加熱プレートの上面と前記チャックプレートの下面のうちいずれか一面には整列ピンが備えられ、残りの一面には前記整列ピンを収容して前記加熱プレート及び前記チャックプレートを整列するための収容溝が備えられることを特徴とする請求項4に記載のチャック構造物。
- 前記加熱プレートで発生した熱を均一に伝達し、前記チャックプレートの温度分布を均一にするために、前記加熱プレート及び前記チャックプレートは、窒化アルミニウム(AlN)材質からなることを特徴とする請求項4に記載のチャック構造物。
- 前記加熱プレートの上面縁部に沿って形成された溝にかかり、前記加熱プレートの周りをガイドするガイドリングと、
前記チャックプレートの上面縁部を覆った状態で前記ガイドリングに固定され、前記チャックプレートを前記加熱プレートに密着させて固定するクランプと、をさらに含むことを特徴とする請求項4に記載のチャック構造物。 - 前記クランプの上面と前記チャックプレートの上面とが同じ高さに位置するよう、前記クランプは、前記チャックプレートの上面端部に沿って形成された溝に設けられることを特徴とする請求項9に記載のチャック構造物。
- 前記加熱プレート及び前記チャックプレートの側面による熱損失を防止するために、前記ガイドリング及び前記クランプは、酸化アルミニウム材質からなることを特徴とする請求項9に記載のチャック構造物。
- 前記加熱プレートと前記チャックプレートとの間を通して前記真空力が漏れることを防止するために、前記加熱プレートの上面及び前記チャックプレートの下面の平坦度は、各々10μm以下であることを特徴とする請求項4に記載のチャック構造物。
- 外部から印加される電源によって熱が発生する発熱体を内蔵し、真空力を提供するために上面まで延びる第1真空ラインを有する加熱プレートと、前記加熱プレート上に設けられ、上面に複数のチップに個別化したウエハーをテープで付着した状態で支持し、前記チップが前記テープから分離されるように前記加熱プレートで発生した熱を前記ウエハーに伝達し、前記真空力で前記テープを吸着するために前記第1真空ラインと連結される第2真空ラインを有するチャックプレートと、を含むチャック構造物と、
前記チャック構造物上に備えられ、前記テープから分離されたチップを順次ピックアップして後続工程のために移送するピッカーと、を含むことを特徴とするチップ分離装置。 - 前記ピッカーは、前記分離されたチップを加熱するためのヒーターをさらに含むことを特徴とする請求項13に記載のチップ分離装置。
- 前記チップの分離のために前記ピッカーが待機中である状態で前記加熱プレートが前記熱を発生して前記チップを前記テープから分離することを特徴とする請求項13に記載のチップ分離装置。
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