JP2019510333A - ワード線調整スキーム - Google Patents

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Abstract

メモリおよびメモリを動作させるための方法が提供される。メモリは、トランジスタを有するメモリセルと、メモリセルに結合されたワード線を出力するワード線ドライバとを含む。ワード線ドライバは、トランジスタのパラメータを補償するために、ワード線の電圧レベルを調整する。方法は、トランジスタを有するメモリセルにアクセスするために、ワード線電圧をアサートすることと、トランジスタのパラメータを補償するために、ワード線電圧を調整することとを含む。別のメモリが提供される。メモリは、メモリセルと、メモリセルに結合されたワード線を出力するワード線ドライバとを含む。ワード線ドライバは、ワード線のフィードバックに基づいて、ワード線の電圧レベルを調整する。

Description

[関連出願の相互参照]
[0001] 本出願は、「WORDLINE ADJUSTMENT SCHEME」と題されて2016年3月30日に出願された米国特許出願第15/085,942号の利益を主張し、それは参照によって全体がここに明示的に組み込まれる。
[技術分野]
[0002] 本開示は、一般に電子回路に関し、より具体的には、改善されたワード線調整スキームを用いたメモリに関する。
[0003] メモリは、ワイヤレス通信デバイスのために不可欠なコンポーネントである。例えば、メモリは、セルフォンにおいて、アプリケーションプロセッサの一部として統合され得る。これらのワイヤレス通信デバイスにおけるより高い処理能力に関する増え続ける需要により、低い電力消費が共通設計要件となった。そのようなデバイスにおいて電力消費を削減するために、様々な技法が現在用いられている。1つのそのような技法は、メモリの動作電圧を低下させることに関わる。
[0004] しかしながら、メモリを低い電圧で動作させることは、スタティックノイズマージン(SNM:static noise margin)の問題を悪化させ得る。SNMは、メモリセルが記憶されたデータを侵害(disturb)することなく耐える(withstand)ことができる電圧ノイズの最大量であると理解されている。よって、最小動作電圧はSNMによって制限され得る。したがって、1つの設計課題は、より一層低いメモリ動作電圧を可能にするためにSNMの問題に対処することである。
[0005] メモリの態様が開示される。メモリは、トランジスタを有するメモリセルと、メモリセルに結合されたワード線を出力するワード線ドライバとを含む。ワード線ドライバは、トランジスタのパラメータを補償(compensate for)するためにワード線の電圧レベルを調整するように構成される。
[0006] メモリを動作させるための態様が開示される、方法は、トランジスタを有するメモリセルにアクセスするために、ワード線電圧をアサートすることと、トランジスタのパラメータを補償するために、ワード線電圧を調整することとを含む。
[0007] メモリのさらなる態様が開示される。メモリは、メモリセルと、メモリセルに結合されたワード線を出力するワード線ドライバとを含む。ワード線ドライバは、ワード線のフィードバックに基づいて、ワード線の電圧レベルを調整するように構成される。
[0008] 装置および方法の他の態様は、装置および方法の様々な態様が例示として示されるおよび説明される以下の詳細な説明から当業者に容易に明らかとなるであろうことは、理解される。理解されることになるように、これらの態様は、他のおよび異なる形式でインプリメントされることができ、それのいくつかの詳細は、様々な他の点において修正が可能である。したがって、図面および詳細な説明は、制限を与えるものではなく、本質的には例示的なものであると見なされるべきである。
[0009] 装置および方法の様々な態様がこれより添付の図面を参照して、限定ではなく例として、詳細な説明において提示されることとなる。
[0010]図1は、メモリの例示的な実施形態のブロック図である。 [0011]図2は、図1のメモリを組み込んだアプリケーションプロセッサの例示的な実施形態のブロック図である。 [0012]図3は、SRAMのためのメモリセルの例示的な実施形態の概略図である。 [0013]図4は、SRAMの例示的な実施形態の機能ブロック図である。 [0014]図5は、ワード線の電圧レベルを出力および調整する書き込みドライバの例示的な実施形態の回路図である。 [0015]図6は、メモリセルのトランジスタの、種々のケースのパラメータについてのワード線電圧レベルの図である。 [0016]図7は、例示的なトランジスタの物理的インプリメンテーションの透視図の図である。 [0017]図8は、図4のSRAMの動作のフローチャートである。
詳細な説明
[0018] 添付の図面に関連して以下に記載される詳細な説明は、本発明の様々な例示的な実施形態の説明として意図されており、本発明が実施され得るのはこれらの実施形態においてのみであることを表すようには意図されていない。詳細な説明は、本発明の完全な理解を提供することを目的として特定の詳細を含む。しかしながら、本発明がこれらの特定の詳細なしに実施され得ることは、当業者に明らかであろう。いくつかの事例では、周知の構造およびコンポーネントは、本発明の概念を不明瞭にすることを避けるために、ブロック図の形式で示される。頭文字および他の記述的な用語(descriptive terminology)は、単に便宜上および明瞭さのために使用されている可能性があり、本発明の適用範囲を限定するように意図されているわけではない。
[0019] 本開示を通して提示される様々なメモリおよびメモリから読み出しするおよび/またはメモリに書き込みするための方法は、様々な装置内に組み込まれ得る。例として、ここに開示されるメモリの様々な態様は、スタンドアロンメモリとして、またはスタンドアロンメモリにおいて、インプリメントされ得る。そのような態様はまた、いかなる集積回路(IC)またはシステムにも、あるいは集積回路またはシステムのいかなる部分(例えば、モジュール、コンポーネント、回路、あるいは集積回路または集積回路の一部に存在する同様のもの)にも、あるいは集積回路またはシステムが他の集積回路またはシステムと組み合わせられるいかなる中間製品(intermediate product)(例えば、ビデオカード、マザーボード等)にも、あるいはいかなるエンド製品(例えば、携帯電話、携帯情報端末(PDA)、デスクトップコンピュータ、ラップトップコンピュータ、手のひらサイズのコンピュータ、タブレットコンピュータ、ワークステーション、ゲームコンソール、メディアプレーヤ、コンピュータベースのシミュレータ、ラップトップのためのワイヤレス通信アタッチメント、または同様のもの)にも、含まれ得る。ここに開示される方法の様々な態様は、同様に、スタンドアロンメモリにおいてインプリメントされる、または、いかなる集積回路またはシステムにも、あるいは集積回路またはシステムのいかなる部分にも、あるいはいかなる中間製品またはエンド製品にも、あるいは、そのようなスタンドアロンメモリ、集積回路またはシステム(またはその一部)、中間製品、またはエンド製品によって実施されるいかなるステップ、処理、アルゴリズムまたは同様のもの、またはそれらの任意の組合せにも、含まれるものとする。
[0020] 「例示的な(exemplary)」という用語は、ここで「例、事例、または例示としての役割を果たす」という意味で使用される。「例示的」としてここに説明されるいずれの実施形態も、必ずしも他の実施形態よりも有利であるまたは好ましいと解釈されるべきではない。同様に、装置または方法の「実施形態」という用語は、本発明のすべての実施形態が、説明されたコンポーネント、構造、特徴、機能性、処理、利点、利益、または動作モードを含むことを必要としない。
[0021] 「接続される」、「結合される」という用語またはそれらのいかなる変形も、2つ以上の要素間の、直接か間接のいずれかの、いかなる接続または結合も意味し、共に「接続された」または「結合された」2つの要素間の1つまたは複数の中間要素の存在を包含することができる。要素間の結合または接続は、物理的、論理的、またはそれらの組合せであることができる。ここで使用される場合、2つの要素は、いくつかの非限定的および非網羅的な例として、1つまたは複数のワイヤ、ケーブル、および/またはプリントされた電気的接続を使用して、ならびに無線周波数領域、マイクロ波領域、および光(可視と不可視の両方の)領域における波長を有する電磁気エネルギのような電磁気エネルギを使用して、共に「接続されている」または「結合されている」と考えられることができる。
[0022] 「第1の」、「第2の」等のような指定を使用した本明細書における要素へのいずれの言及も、一般にそれらの要素の数量または順序を限定しない。むしろ、これらの指定は、本明細書では、2つ以上の要素またはある要素のインスタンス間での区別の便利な方法として使用される。したがって、第1の要素および第2の要素への言及は、2つの要素のみが用いられることができる、ということも、または第1の要素が第2の要素より優先されなければならない、ということも、意味していない。
[0023] ここで使用される場合、単数形の「a」、「an」および「the」は、文脈上明確にそうでないことを示していない限り、複数形も含むように意図している。ここで使用されるとき、「備える(comprises)」、「備える(comprising)」、「含む(includes)」、および/または「含む(including)」という用語は、示される特徴、整数、ステップ、動作(operations)、要素、および/またはコンポーネントの存在を明示するが、1つまたは複数の他の特徴、整数、ステップ、動作、要素、コンポーネント、および/またはそれらのグループの存在または追加を排除(preclude)しないことは、さらに理解されるだろう。
[0024] メモリの様々な態様が、これよりスタティックランダムアクセスメモリ(SRAM)の文脈で提示される。SRAMは、データを保持するために電力を必要とする揮発性メモリである。しかしながら、当業者が容易に認識することになるように、そのような態様は、他のメモリおよび/または回路構成(circuit configurations)に拡張され得る。したがって、SRAMへのすべての言及は、単にメモリの例示的な態様を例示することのみを、そのような態様が幅広いアプリケーションに拡張され得るという理解の下で、意図したものである。いくつかの例では、説明されるSRAMは、基板上の、プロセッサのような他の集積回路(IC)ブロックに埋め込まれ得る。埋め込まれるSRAMの1つのそのような例は、ワイヤレス通信アプリケーションのためのアプリケーションプロセッサである。
[0025] 図1は、メモリ100の例示的な実施形態のブロック図である。メモリ100は、データ(例えば、命令によって動作されるデータおよびプログラム命令)を書き込むおよび読み出すための媒体を、周辺回路に提供する。以下で使用される場合、「データ」という用語は、プログラム命令、データ、およびメモリ100に記憶され得るいかなる他の情報も含むように理解されることとなる。メモリ100は、メモリ100の動作を制御するための動作制御102に関する入力を含む。例えば、メモリ100は、読み出し、書き込み、または様々なテストモードで動作し得る。メモリ100はまた、(例えば、アドレス入力104を介した)アドレスに関する、および指定されたアドレスにおいてメモリ100に書き込まれるべき(例えば、読み出しデータ/書き込みデータ106を介した)書き込みデータに関する、入力を含む。メモリはさらに、指定されたアドレスにおいてメモリ100から読み出される(例えば、読み出しデータ/書き込みデータ106を介した)読み出しデータに関する出力を含む。メモリ100にデータを書き込むとき、周辺回路は、動作制御102を書き込みモードに設定し、メモリ100に、アドレスと、そのアドレスにおいてメモリ100に書き込まれるべき書き込みデータとを、併せて送る。メモリ100からデータを読み出すとき、周辺回路は、読み出し/書き込みイネーブル制御を読み出しモードに設定し、メモリ100にアドレスを送る。それに応じて、メモリ100は、そのアドレスにおける読み出しデータを周辺回路に送る。
[0026] 図2は、図1のメモリを組み込んだアプリケーションプロセッサの例示的な実施形態のブロック図である。アプリケーションプロセッサ202は、図1のメモリ100をそこに組み込んだIC基板の例として提供される。当業者に知られているように、メモリ100のアプリケーションは、それに限定されない。いくつかの例では、アプリケーションプロセッサ202は、メモリ100および様々なプロセッサコアが組み込まれたIC基板に組み込まれ得る。プロセッサコアは、回路の集まり(a collection of circuits)であり得、命令実行ユニットを含み得る。プロセッサコアのうちの1つは、周辺回路206として動作し得るか、または周辺回路206を含み得る。いくつかの例では、周辺回路206は、メモリ100の周辺にありかつメモリ100にアクセスすることができる、いかなる好適な回路も含むように広く解釈され得る。図1で説明されたように、周辺回路206は、動作制御102およびアドレス入力104を介して、読み出しまたは書き込み動作を実行するようにメモリ100に命令し得る。周辺回路206はさらに、読み出しデータ/書き込みデータ106を介して、メモリ100から読み出しデータを受け取り得る、またはメモリ100に書き込みデータを提供し得る。
[0027] メモリ100は、例としてSRAMのような、任意の好適な記憶媒体であり得る。しかしながら、当業者が容易に認識することになるように、メモリ100は、必ずしもSRAMに限定されない。SRAMは、「セル」、「メモリセル」、または「ビットセル」として知られる記憶要素のアレイを含む。各メモリセルは、1ビットのデータ(例えば、論理1または論理0)を記憶するように構成される。図3は、SRAMのためのメモリセルの例示的な実施形態の回路図である。メモリセル300は、6トランジスタ(6T)構成でインプリメントされる。しかしながら、当業者が容易に認識することになるように、セルは、4トランジスタ(4T)またはいかなる他の好適なトランジスタ構成でも、インプリメントされ得る。
[0028] 2つのインバータ302、304を有するメモリセル300が示される。第1のインバータ302は、pチャネルトランジスタ306およびnチャネルトランジスタ308を含む。第2のインバータ304は、pチャネルトランジスタ310およびnチャネルトランジスタ312を含む。説明される実施形態では、インバータ302および304はVDDによって電力供給され、リターンVSS(例えば、接地)を有する。第1のおよび第2のインバータ302、304は、相互接続されて、クロスカップルされたラッチを形成する。第1のnチャネルアクセストランジスタ314は、第1のインバータ302からの出力ノード316をビット線BLに結合し、第2のnチャネルアクセストランジスタ318は、第2のインバータ304からの出力ノード320をビット線BLB(それの値は、ビット線BLの逆(opposite)または反転(inverse)である)に結合する。アクセストランジスタ314、318のゲートは、ワード線WLに結合される。
[0029] 読み出し動作は、メモリセル300内に記憶されたデータを侵害しないように決定された事前決定されたレベルに、ビット線BLおよびBLBを事前充電または充電することによって、開始され得る。(充電回路は明瞭さのために示されていない)。次いでワード線WLがアサートされ、それぞれアクセストランジスタ314および318を介して、クロスカップルされたインバータ302、304をビット線BLおよびBLBに接続する。例として、メモリセル300は、出力ノード316にlowレベル(例えば、接地)を、出力ノード320にhighレベル(例えば、VDD)を記憶することによって、論理1を記憶し得る。これらの状態は、クロスカップルされたインバータ302、304によって維持される。ワード線WLをアサートする際、インバータ302は、アクセストランジスタ314および出力ノード316を通してビット線BLを放電する。ビット線BLBは、アクセストランジスタ318および出力ノード320を通してインバータ304によってhighレベルに維持される。したがってビット線ペアBLおよびBLB上の電圧差が、ビット線BLのプルダウンによって確立される。
[0030] ビット線BLおよびBLBは、センスアンプ(SA)に供給(fed to)され、それは、それ上の(carried thereon)データ(例えば、電圧差)を検知(senses)し、読み出しデータとして論理レベル(例えば、論理1)を周辺回路206に出力する。本開示においては、書き込み動作が例として使用される(が、本開示のスコア(the score)はもちろんそれに限定されない)。したがって、SAは明瞭さのために示されない。
[0031] 書き込み動作は、ビット線BLおよびBLBを、メモリセル300に書き込まれるべき値に設定し、ワード線WLをアサートすることによって、開始され得る。つまり、書き込みデータがビット線BLおよびBLB上へと駆動される。ワード線WLは、書き込まれるべき値(例えば、書き込みデータ)がビット線BLおよびBLBに提供される前にまたは後に、アサートされ得る。例として、ビット線BLを論理レベル0に、およびビット線BLBを論理1に設定することによって、論理1がメモリセル300に書き込まれ得る。ビット線BLにおける論理レベル0は、アクセストランジスタ314を通して第2のインバータ304の入力に印加(applied)され、それは次に第2のインバータ304の出力ノード320をVDDにする(forces)。第2のインバータ304の出力ノード320は、第1のインバータ302の入力に印加され、それは次に第1のインバータ302の出力ノード316をVSSにする(forces)。論理レベル0は、ビット線BLおよびBLBの値を反転(inverting)させることによって、メモリセル300に書き込まれ得る。書き込みドライバは、書き込みデータがクロスカップルされたインバータ302、304の前の状態をオーバーライドすることができるように、メモリセル300中のプルアップトランジスタ(306および310)よりも強いように設計される。
[0032] ひとたび読み出しまたは書き込み動作が完了すると、ワード線はデアサート(de-asserted)され、それによりアクセストランジスタ314および318がビット線BLおよびBLBを2つのインバータ302、304から切断(disconnect)するようにする。2つのインバータ302、304間のクロスカップリングは、メモリセル300に電力が印加されている限り、インバータ出力の状態を維持する。
[0033] ワード線の電圧レベルを調整するための方法および装置の様々な態様が、SRAMの書き込み動作に関して提示されることになる。しかしながら、当業者が容易に認識することとなるように、本開示を通して提示されるワード線の電圧レベルを調整するための装置および方法の様々な態様、およびそれらの多数のアプリケーションは、それに限定されない。例えば、提示される態様は、SRAMの範囲を超えて(beyond)、および書き込み動作の範囲を超えて、メモリに適用され得る。したがって、提示される装置または方法に関する特定のアプリケーションについてのすべての参照は、装置または方法の例示的な態様を例示することのみを、そのような態様が異なる幅広いアプリケーションを有し得るという理解の下で、意図したものである。
[0034] 図4は、SRAMの例示的な実施形態の機能ブロック図である。SRAMの様々な態様が、これより書き込み動作の文脈で提示されることとなる。したがって、提示の明確さのために、書き込み動作のための接続のみが示される。当業者は、読み出し動作をサポートするために追加的な接続が必要とされることを容易に認識することとなる。
[0035] SRAM400は、例えばSNMを改善するために、ワード線上の電圧レベルを調整するための改善されたスキームをインプリメントするように構成される。SRAM400は、アドレスを復号し、および読み出しおよび書き込み動作を実施するためのサポーティング回路構成(supporting circuitry)を伴うコア402を含む。コア402は、横の行(horizontal rows)と縦の列(vertical columns)で接続を共有するように配置されたメモリセル300を含む。具体的には、メモリセル300の各横の行はワード線WLを共有し、メモリセル300の各縦の列はビット線BLおよびBLBのペアを共有する。コア402のサイズ(すなわち、セルの数)は、特定のアプリケーション、速度要件、レイアウトおよびテスト要件、およびシステムに課せられた全体的な設計制約を含む多様な要因に応じて変わり得る。典型的には、コア402は、数千または数百万のメモリセルを含むことになる。
[0036] 図4に示されるSRAMの例示的な実施形態では、コア402は、2個の横の行と2(x)個の縦の列に配列された(2x2(x))個のメモリセル300から成り、ここで2は1行当たりのワードの数であり、xは、1ワード当たりのビットの数である。周辺デバイス(示されていない)は、(n+m)ビット幅のアドレスを使用して、コア402内の任意のワード(すなわち、x個のセル)にランダムにアクセスし得る。言い換えれば、SRAM400は読み出し動作に関してxビットの読み出しデータを出力し、書き込み動作に関してxビット書き込みデータをコア402に書き込む。
[0037] この例では、nビットのアドレスが行デコーダ404の入力に提供され、mビットのアドレスが列デコーダ406の入力に提供される。行デコーダ404は、nビットアドレスを2個のワード線出力に変換する。異なるnビットの行アドレスごとに異なるワード線WLが行デコーダ404によってアサートされる。その結果、アサートされたワード線WLを有する横の行における2(x)個のメモリセル300の各々は、図3に関連して上述したように、それのアクセストランジスタを通して、2(x)個のビット線(BLおよびBLB)のうちの1つのペアに接続される。行デコーダ404は、WLワード線の各々上へと電圧レベルを出力するワード線ドライバ405(1:2)を含み得る。ワード線ドライバ405(1:2)に関連する特徴は、図5を用いて提供される。書き込みデータは、x個のマルチプレクサ408を通して、ビット線(BLおよびBLB)の選択されたペア上へと駆動され、図3で説明されたように、アサートされたワード線WLを有するメモリセルに書き込まれる。
[0038] 列デコーダ406は、2個の出力(WM1〜WM2)を提供するとともに、これら出力のうちの異なるものが、アドレス入力の各異なる組合せについてアサートされる。これら出力は、x個のマルチプレクサ408に提供される。各マルチプレクサは、列デコーダ406からの出力に基づいて、2個のビット線ペアの間で、書き込みドライバ410からのx個の入力のうちの1つを切り替える2:1マルチプレクサである。例として、1行当たり4つの128ビットワードを記憶するコアは、128個の4:1マルチプレクサ(例えば、xはこの例では4)を必要とる。各マルチプレクサの入力は、書き込みドライバ410からの128個の出力のうちの1つに結合される。復号されたmビットアドレスに基づいて、各マルチプレクサは、書き込みドライバ410からのそれの入力を、4つのビット線ペアのうちの1つに結合する。4つのビット線ペアは、4つのメモリセルに結合され、それらの各々は、行における異なるワードについて対応するビットを記憶する。例えば、4つのメモリセルのうちの第1のものは、第1のワードの最下位ビット(LSB:least significant bit)を記憶し得、4つのメモリセルのうちの第2のものは、第2のワードのLSBを記憶し得、4つのメモリセルのうちの第3のものは、第3のワードのLSBを記憶し得、4つのメモリセルのうちの第4のものは、第4のワードのLSBを記憶し得る。したがって、書き込みドライバ410は、周辺デバイス(示されていない)から受け取られた書き込みデータをビット線BLおよびBLBのx個のペア上へと駆動し、ここでx個のマルチプレクサの各々がビット線BLおよびBLBの1つのペアを提供する。
[0039] 図5は、ワード線の電圧レベルを出力および調整する書き込みドライバの例示的な実施形態の回路図である。SNMを改善する(よってメモリの最小動作電圧をさらに低める)ための1つのスキームは、ワード線電圧を調整することである。例えば、ワード線電圧(例えば、メモリセル300にアクセスするためにワード線WLがアサートされるときの電圧レベル)は、書き込みについてのSNMを改善するためにより低く調整され得る。いくつかの例では、図4で説明されたように、アサートされるワード線は2(x)個のメモリセル300に結合され、そのうちのx個のメモリセル300が、書き込みのために選択され得る。したがって、選択されたx個のメモリセル300が、書き込みデータを供給される。選択されないメモリセル300は、疑似読み出し状態(pseudo-read condition)に置かれ得る。例えば、選択されないメモリセル300に関するビット線ペアBLおよびBL_Bは、ワード線WLのアサーションの際に記憶されたデータを侵害しないVDDのような電圧レベルに事前充電され得る。スキームは、ある特定の条件下でノイズの影響をより受けやすい(susceptible to noise)。例えば、選択されないメモリセル300は、ノード316において論理0を記憶し得る。書き込み動作では、選択されないメモリセル300に関するビット線ペアBLおよびBL_Bは、VDDに充電される。より速いnタイプトランジスタのような、いくつかの条件下では、アクセストランジスタ314は、通常よりも強い可能性があり、ノイズにより、ビット線BL上のVDDレベルが、強いアクセストランジスタ314を介してノード316に記憶された論理0を上書きし得る。したがって、いくつかの例(例えば書き込みに関する)では、SRAM400は、より遅いnタイプトランジスタのケースに比べて、より速いnタイプトランジスタのケースの場合に、ノイズの影響をより受けやすい。
[0040] したがって、ワード線電圧を調整するまたは低めることは、SNMを改善し得る。ワード線の電圧レベルが低められると、より速いnタイプトランジスタの影響は緩和され得る。例えば、アクセストランジスタ314の駆動はより低いワード線WLによって弱められることになる(diminished)ので、ビット線BL上のVDDは、低められたワード線WLではノード316に記憶された論理0を誤って上書きすることが可能ではないだろう。しかしながら、他の問題が生じ得る。例えば、より遅いnタイプトランジスタ(およびより速いpタイプトランジスタ)の条件の下では、選択されたメモリセル300に記憶されたデータを上書きすることはより困難であり得る。したがって、ワード線を調整するまたは低めることは、書き込みパフォーマンスに影響し得る。
[0041] 回路図500は、同じレベルで、他の条件(例えば、より遅いnタイプトランジスタ)に関するメモリセルの書き込み能力を低下させることなく、いくつかの条件(例えば、より速いnタイプトランジスタ)に関してSNMを改善する書き込みドライバ405の例示的な実施形態を示す。ワード線ドライバ405は、電圧調整回路405_1および電圧源VDDによって電力供給されるバッファ502を含む。いくつかの例では、バッファ502は、インバータを含み得る。復号されたnビットアドレスに応答して、バッファ502は、VDDにおけるワード線電圧をワード線WL上へと出力する。
[0042] 電圧調整回路405_1は、メモリセル300中の(基準)トランジスタのパラメータを補償するために、調整量VADJ分ワード線電圧を調整するように構成される。したがって、いくつかの例では、調整量VADJは、メモリセル300中の(基準)トランジスタのパラメータに従ってまたは応答して変わり得る。いくつかの例では、(基準)トランジスタは、アクセストランジスタ314または318であり得る。いくつかの例では、パラメータは、(基準)トランジスタの速度を含み得る。例えば、より速い速度のケースは、より低速のケースに比べて、より低いしきい値電圧VTHおよび/またはより高い相互コンダクタンスを有する(基準)トランジスタを含み得る。いくつかの例では、(基準)トランジスタのパラメータは、さらに温度を考慮に入れ得る。
[0043] 電圧調整回路405_1は、ワード線WLに結合されたnタイププルダウントランジスタ514を含む。プルダウントランジスタ514は、ワード線WL上のワード線電圧を調整またはプルダウンするように構成される。いくつかの例では、プルダウントランジスタ514は、より遅い速度の(基準)トランジスタのケースに比べて、より速いスリープ(sleep)のnタイプトランジスタのケースにおいては、ワード線WL上の電圧レベルをより多くプルダウンする(およびより遅いnタイプトランジスタのケースにおいてはワード線電圧をより少なくプルダウンする)ように構成される。電圧調整回路405_1はさらに、プルダウントランジスタ514をバイアスするためのnタイプパスゲートトランジスタ512を含む。パスゲートトランジスタ512は、ワード線電圧の調整またはプルダウンを制御するために、プルダウントランジスタ514のゲートとワード線WLとを結合する。パスゲートトランジスタ512がオンにされるとき、ワード線のフィードバック550が、パスゲートトランジスタ512およびプルダウントランジスタ514を介してワード線電圧レベルをフィードバックする。そのような状態で、ワード線WLはプルダウントランジスタのゲートに電気的に接続される。よって調整量VADJは、ワード線WLの現在の電圧レベルに基づく。したがって、ワード線ドライバは、ワード線のフィードバックに基づいて、ワード線WLの電圧レベルを調整するように構成される。
[0044] 調整量VADJは、メモリセル300の(基準)トランジスタのパラメータに従って変わる。いくつかの例では、電圧調整回路405_1は、より遅い速度の(基準)トランジスタのケースに比べて、より速い速度のケースにおいて、調整量VADJがより多いように構成される。そのようにして、ワード線電圧を調整するまたは低めることの影響は、より遅い速度の(基準)トランジスタのケースでは減らさせる。
[0045] 例えば、メモリセル300の(基準)トランジスタは、メモリセル300の、アクセストランジスタ314または318のようなnタイプトランジスタであり得る。より速い速度のnタイプトランジスタのケースでは、(例えば書き込みに関して)SNMを改善するために、より多くの調整量VADJが必要とされ得る。上に提示されたように、より多くの調整量VADJ分ワード線WLを低めることによって、選択されないメモリセル300は、(さもなければより速い速度のnタイプアクセストランジスタ314または318に起因して記憶されたデータの侵害(disturbance)を引き起こす可能性がある)ノイズの影響を、より受けにくい。
[0046] より遅い速度のnタイプトランジスタのケースでは、より少ない調整量VADJが適用され得る。メモリセル300に書き込むために、ビット線ペアBLおよびBL_B上の書き込みデータは、メモリセル300に記憶されたデータに打ち勝つ(overcome)。より遅い速度のnタイプトランジスタのケースにおいて調整量VADJを減少させることで、そのような書き込み処理が妨げられない(not impeded)。電圧調整回路405_1の動作に関する追加的な詳細は、図6を用いて提供される。
[0047] 電圧調整回路405_1はさらに、ディセーブルされる(例えば、ワード線電圧を調整またはプルダウンしない)ように構成され得る。電圧源VDDによって電力供給される制御回路520は、電圧調整回路405_1をイネーブルするために、WL_ADJ信号をアサートする。アサートされるWL_ADJ信号はよってVDDレベルにあり得、パスゲートトランジスタ512をオンにするために、パスゲートトランジスタ512のゲートに提供される。インバータ542は、WL_ADJ信号を受け取り、WL_ADJ_B信号を出力し、それはWL_ADJ信号の逆極性(the opposite polarity)である。nタイプトランジスタ516は、プルダウントランジスタ514のゲートに接続されたノードN1と接地VSSとを結合する。WL_ADJ信号がアサートされるとき、nタイプトランジスタ516はオフにされ、電圧調整回路405_1の動作に影響を与えない。電圧調整回路405_1をディセーブルするためにWL_ADJ信号がデアサートされるとき、パスゲートトランジスタ512はWL_ADJ信号によってオフにされ、トランジスタ516は、WL_ADJ_B信号によってオンにされる。オンにされたトランジスタ516は、プルダウントランジスタ514をディセーブルするために、ノードN1を接地にプル(pulls)する。
[0048] 図6は、メモリセルのトランジスタの、種々のケースのパラメータについてのワード線電圧レベルの図である。この例では、補償されるパラメータは、メモリセル300のnタイプトランジスタのしきい値電圧VTHを含み得る。ケース1では、メモリセル300のnタイプトランジスタは、(ケース2のものに比べて)より速く、故に、nタイプトランジスタのVTHは、(ケース2のものに比べて)より低い可能性がある。ケース2では、メモリセル300のnタイプトランジスタは、(ケース1のものに比べて)より遅く、故に、nタイプトランジスタのVTHは、(ケース1のものに比べて)より高い可能性がある。
[0049] 電圧調整回路405_1がディセーブルされるとき、ワード線電圧は、VDDにおいて調整されないだろう。電圧調整回路405_1がイネーブルされるとき、パスゲートトランジスタ512は、ワード線WLをノードN1に、故にプルダウントランジスタ514のゲートに、結合する。ノードN1上の電圧は、パスゲートトランジスタ512のVTH分差し引かれた(subtracted by the VTH)WL_ADJ信号の電圧(すなわち、VDD)であるだろう。ノードN1上の電圧は、調整量VADJ分ワード線WL上の電圧をプルダウンするために、プルダウントランジスタ514をオンにする。
[0050] パスゲートトランジスタ512のVTHは、ケース2(より遅いnタイプトランジスタ)に比べてケース1(より速いnタイプトランジスタ)においてより低い。したがって、ノードN1の電圧は、ケース2に比べてケース1においてより高い。その結果、プルダウントランジスタ514は、ケース2に比べてケース1においてより強くオンにされ、ワード線電圧は、ケース2に比べてケース1においてより多くプルダウンされる(例えば、VADJがより多い(higher))。ケース1およびケース2におけるワード線電圧のプルダウンの差は、(プルダウントランジスタ514がケース2に比べてケース1においてより一層強くオンにすることを可能にする)プルダウントランジスタ514のより低いVTHが原因で、さらに拡大される。
[0051] 図7は、例示的なトランジスタの物理的インプリメンテーションの透視図の図である。いくつかの例では、SRAM400は、finFET技術においてインプリメントされ得る。finFET技術では、トランジスタは、垂直方向に製造される(fabricated in a vertical direction)。トランジスタ710は、finFET技術における単一のfinのトランジスタを例示する。トランジスタ720は、複数のfinのトランジスタを例示する。finは、3Dのソース、ドレインおよびゲート構造であり得、(フィールド酸化膜と平面に位置する(being planar with)のとは対照的に)フィールド酸化膜上に配置(disposed on)される。トランジスタ710のfin_1は、第1の方向に伸び得る。ゲート酸化膜レイヤは、finのゲート領域上に配置される。トランジスタのゲートは、fin上で第2の方向に伸びる。トランジスタ710は、ゲート長L、およびソース/ドレイン幅WFIN、およびソース/ドレインの高さHFINを有する。トランジスタ720は、トランジスタ710と事実上同一であるが、複数のfin、fin_1およびfin_2を有し、およびそれらfin上に共通ゲートを有する。トランジスタ720の駆動強度(drive strength)はよって、トランジスタ710の駆動強度のほぼ2倍となるであろう。したがって、finFET技術では、トランジスタのサイズは、トランジスタのfinの数によって決定され得る。
[0052] いくつかの例では、メモリセル300は、finFET技術においてインプリメントされる。記憶されたデータに対するラッチとして構成されるpタイプトランジスタ306および310ならびにnタイプトランジスタ308および312は、同じ数の、1つまたは複数のfinで、インプリメントされる(例えば、各々がトランジスタ710によって例示されるような1つのfinのトランジスタである)。記憶されたデータをラッチするpタイプトランジスタ306および310ならびにnタイプトランジスタ308および312は、よって、同じサイズのトランジスタとしてインプリメントされる。
[0053] いくつかの例では、アクセストランジスタ314および318もまた、ラッチングトランジスタ(the latching transistors)と同じ数の、1つまたは複数のfinでインプリメントされ得る(例えば、各々がトランジスタ710によって例示されるような1つのfinのトランジスタである)。アクセストランジスタ314および318は、よって、ラッチングトランジスタと同じサイズのトランジスタである。
[0054] 図8は、図4のSRAMの動作のフローチャートである。動作は、例えば図4および図5に提示された回路によって実施され得る。802において、トランジスタを含むメモリセルにアクセスするために、ワード線電圧がアサートされる。図4に関して、ワード線ドライバ405が、メモリセル300にアクセスするために、ワード線WL上に電圧を出力することによって、ワード線をアサートする。図3に関して、メモリセル300は、データを記憶するためのラッチとして構成される、pタイプトランジスタ306および310ならびにnタイプトランジスタ308および312を含み得る。アクセストランジスタ314および318(これまたnタイプ)は、ビット線ペアBLおよびBL_Bがメモリセル300に書き込みするまたは読み出しすることを可能にするために、ワード線WLに結合される。
[0055] 804において、ワード線電圧は、トランジスタのパラメータを補償するために調整される。いくつかの例では、トランジスタのパラメータは、メモリセル300のnタイプトランジスタの(例えば、アクセストランジスタ314および318の)速度であり得る。速度は、nタイプトランジスタのしきい値電圧VTHおよび/または相互コンダクタンスを含み得る。図5に関して、電圧調整回路405_1は、nタイプトランジスタの速度(例えば、相互コンダクタンスおよび/またはしきい値電圧VTH)に基づいて、ワード線WL上の電圧を調整またはプルダウンする。
[0056] 806において、ワード線電圧は、より速いnタイプトランジスタのケースにおいてはより多くプルダウンされる。808において、ワード線電圧は、より遅いnタイプトランジスタのケースにおいてはより少なくプルダウンされる。図5に関して、電圧調整回路405_1がイネーブルされるとき、パスゲートトランジスタ512は、ワード線WLをノードN1に、故にプルダウントランジスタ514のゲートに、結合する。ノードN1上の電圧は、パスゲートトランジスタ512のVTH分差し引かれたWL_ADJ信号の電圧(すなわち、VDD)であるだろう。ノードN1上の電圧は、調整量VADJ分ワード線WL上の電圧をプルダウンするために、プルダウントランジスタ514をオンにする。
[0057] パスゲートトランジスタ512のVTHは、ケース2(より遅いnタイプトランジスタ)に比べてケース1(より速いnタイプトランジスタ)においてより低い。したがって、ノードN1の電圧は、ケース2に比べてケース1においてより高い。その結果、プルダウントランジスタ514は、ケース2に比べてケース1においてより強くオンにされ、ワード線電圧は、ケース2に比べてケース1においてより多くプルダウンされる(VADJはより多い(higher))。ケース1およびケース2におけるワード線電圧のプルダウンの差は、(プルダウントランジスタ514がケース2に比べてケース1においてより一層強くオンにすることを可能にするプルダウントランジスタ514のより低いVTHが原因で、さらに拡大される。
[0058] 810において、ワード線電圧は、プルダウントランジスタによってプルダウンされる。812において、プルダウントランジスタは、パスゲートトランジスタによってバイアスされる。814において、プルダウントランジスタのゲートとワード線電圧とが結合される。図5に関して、プルダウントランジスタ514は、ワード線WLの電圧をプルダウンする。パスゲートトランジスタ512は、ワード線WLの電圧を(例えば、ノードN1を通して)プルダウントランジスタ514のゲートに結合する。パスゲートトランジスタ512はよって、ワード線電圧を調整するために、プルダウントランジスタ514をバイアスする。
[0059] 上述した動作方法におけるブロックの特定の順序または階層は、単に例として提供されている。設計選好に基づいて、動作方法におけるブロックの特定の順序または階層は、再配列、変更(amended)、および/または修正され得る。添付の方法の請求項は、動作方法に関連する様々な限定を含むが、記載された限定は、特許請求の範囲に明示的に述べられていない限りは、決して特定の順序または階層によって限定されるように意味するものではない。
[0060] 本開示の様々な態様は、当業者が本発明を実施することを可能にするために提供されている。本開示を通して提示された例示的な実施形態への様々な修正は、当業者に容易に明らかとなり、ここに開示された概念は、他の磁気記憶デバイスにも拡張され得る。したがって、特許請求の範囲は、本開示の様々な態様に限定されるようには意図されておらず、特許請求の範囲の文言と一致する最大の範囲を与えられるべきである。当業者に知られているかあるいは後に知られることになる、本開示全体にわたって説明された例示的な実施形態の様々なコンポーネントに対するすべての構造的および機能的な同等物は、参照によってここに明示的に組み込まれ、特許請求の範囲に包含されるように意図されている。さらに、本明細書におけるいかなる開示も、そのような開示が特許請求の範囲に明確に記載されているか否かに関わらず、公衆に献呈されることを意図したものではない。請求項のいずれの要素も、その要素が「のための手段」という表現を使用して明示的に記載されていない限り、または、方法の請求項のケースでは、その要素が「のためのステップ」という表現を使用して記載されていない限り、米国特許法第112条(f)の規定の下で解釈されるべきではない。
[0060] 本開示の様々な態様は、当業者が本発明を実施することを可能にするために提供されている。本開示を通して提示された例示的な実施形態への様々な修正は、当業者に容易に明らかとなり、ここに開示された概念は、他の磁気記憶デバイスにも拡張され得る。したがって、特許請求の範囲は、本開示の様々な態様に限定されるようには意図されておらず、特許請求の範囲の文言と一致する最大の範囲を与えられるべきである。当業者に知られているかあるいは後に知られることになる、本開示全体にわたって説明された例示的な実施形態の様々なコンポーネントに対するすべての構造的および機能的な同等物は、参照によってここに明示的に組み込まれ、特許請求の範囲に包含されるように意図されている。さらに、本明細書におけるいかなる開示も、そのような開示が特許請求の範囲に明確に記載されているか否かに関わらず、公衆に献呈されることを意図したものではない。請求項のいずれの要素も、その要素が「のための手段」という表現を使用して明示的に記載されていない限り、または、方法の請求項のケースでは、その要素が「のためのステップ」という表現を使用して記載されていない限り、米国特許法第112条(f)の規定の下で解釈されるべきではない。
以下に本願の出願当初の特許請求の範囲に記載された発明を付記する。
[C1] メモリであって、
トランジスタを備えるメモリセルと、
ワード線によって前記メモリセルに結合されたワード線ドライバと、前記ワード線ドライバは、前記トランジスタのパラメータを補償するために前記ワード線の電圧レベルを調整するように構成される、
を備える、メモリ。
[C2] 前記パラメータが、前記トランジスタの速度を備える、C1に記載のメモリ。
[C3] 前記トランジスタがnタイプトランジスタであり、前記ワード線ドライバが、より速いnタイプトランジスタのケースにおいてはより多く前記ワード線の前記電圧レベルをプルダウンし、より遅いnタイプトランジスタのケースにおいてはより少なく前記ワード線の前記電圧レベルをプルダウンするようにさらに構成される、C2に記載のメモリ。
[C4] 前記パラメータが、前記トランジスタのしきい値電圧をさらに備える、C2に記載のメモリ。
[C5] 前記ワード線ドライバが、前記電圧レベルを調整するための、前記ワード線に結合されたプルダウントランジスタをさらに備える、C1に記載のメモリ。
[C6] 前記ワード線ドライバが、前記プルダウントランジスタをバイアスするためのパスゲートトランジスタをさらに備える、C5に記載のメモリ。
[C7] 前記プルダウントランジスタがゲートを備え、前記パスゲートトランジスタが、前記ワード線と前記ゲートとの間に結合される、C6に記載のメモリ。
[C8] 前記プルダウントランジスタおよびパスゲートトランジスタの各々が、nチャネルトランジスタを備える、C7に記載のメモリ。
[C9] 前記メモリセルが、ラッチおよびビット線を備え、前記トランジスタが、前記ビット線を前記ラッチに結合するアクセストランジスタを備える、C1に記載のメモリ。
[C10] 前記ラッチが、少なくとも1つのpタイプトランジスタおよび少なくとも1つのnタイプトランジスタを備え、前記少なくとも1つのpタイプトランジスタおよび前記少なくとも1つのnタイプトランジスタが、同じサイズである、C9に記載のメモリ。
[C11] 前記少なくとも1つのpタイプトランジスタ、前記少なくとも1つのnタイプトランジスタ、および前記アクセストランジスタが、finFETトランジスタを備え、および、同じ数の、1つまたは複数のfinを備える、C10に記載のメモリ。
[C12] メモリを動作させるための方法であって、
トランジスタを備えるメモリセルにアクセスするために、ワード線電圧をアサートすることと、
前記トランジスタのパラメータを補償するために、前記ワード線電圧を調整することと、
を備える、方法。
[C13] 前記パラメータが、前記トランジスタの速度を備える、C12に記載の方法。
[C14] 前記トランジスタがnタイプトランジスタであり、
前記方法が、
より速いnタイプトランジスタのケースにおいてはより多く前記ワード線電圧をプルダウンすることと、
より遅いnタイプトランジスタのケースにおいてはより少なく前記ワード線電圧をプルダウンすることと、
をさらに備える、C13に記載の方法。
[C15] 前記パラメータが、前記トランジスタのしきい値電圧をさらに備える、C13に記載の方法。
[C16] プルダウントランジスタによって前記ワード線電圧をプルダウンすることをさらに備える、C12に記載の方法。
[C17] パスゲートトランジスタによって前記プルダウントランジスタをバイアスすることをさらに備える、C16に記載の方法。
[C18] 前記パスゲートトランジスタによって、前記プルダウントランジスタのゲートと前記ワード線電圧とを結合すること、
をさらに備える、C17に記載の方法。
[C19] 前記プルダウントランジスタおよびパスゲートトランジスタの各々が、nチャネルトランジスタを備える、C18に記載の方法。
[C20] 前記メモリセルが、ラッチおよびビット線を備え、前記トランジスタが、前記ビット線を前記ラッチに結合するアクセストランジスタを備える、C12に記載の方法。
[C21] 前記ラッチが、少なくとも1つのpタイプトランジスタおよび少なくとも1つのnタイプトランジスタを備え、前記少なくとも1つのpタイプトランジスタおよび前記少なくとも1つのnタイプトランジスタが、同じサイズである、C20に記載の方法。
[C22] 前記少なくとも1つのpタイプトランジスタ、前記少なくとも1つのnタイプトランジスタ、および前記アクセストランジスタが、finFETトランジスタを備え、および、同じ数の、1つまたは複数のfinを備える、C21に記載の方法。
[C23] メモリであって、
メモリセルと、
ワード線によって前記メモリセルに結合されたワード線ドライバと、前記ワード線ドライバは、前記ワード線のフィードバックに基づいて、前記ワード線の電圧レベルを調整するように構成される、
を備える、メモリ。
[C24] 前記ワード線の前記電圧レベルをプルダウンするように構成されるプルダウントランジスタをさらに備え、ここにおいて、前記プルダウントランジスタが、前記ワード線に結合されたゲートを備える、C23に記載のメモリ。
[C25] 前記プルダウントランジスタの前記ゲートが、前記ワード線の前記電圧レベルの前記プルダウンを制御するために、前記ワード線に電気的に接続される、C24に記載のメモリ。
[C26] 前記ワード線と前記ゲートとの間に結合されたパスゲートトランジスタをさらに備える、C24に記載のメモリ。
[C27] 前記メモリセルが、少なくとも1つのpタイプトランジスタおよび少なくとも1つのnタイプトランジスタを有するラッチを備え、前記少なくとも1つのpタイプトランジスタおよび前記少なくとも1つのnタイプトランジスタが、同じサイズである、C26に記載のメモリ。
[C28] 前記メモリセルが、前記ラッチをビット線に結合するアクセストランジスタをさらに備え、前記少なくとも1つのpタイプトランジスタ、前記少なくとも1つのnタイプトランジスタ、および前記アクセストランジスタが、finFETトランジスタを備え、および、同じ数の、1つまたは複数のfinを備える、C27に記載のメモリ。

Claims (28)

  1. メモリであって、
    トランジスタを備えるメモリセルと、
    ワード線によって前記メモリセルに結合されたワード線ドライバと、前記ワード線ドライバは、前記トランジスタのパラメータを補償するために前記ワード線の電圧レベルを調整するように構成される、
    を備える、メモリ。
  2. 前記パラメータが、前記トランジスタの速度を備える、請求項1に記載のメモリ。
  3. 前記トランジスタがnタイプトランジスタであり、前記ワード線ドライバが、より速いnタイプトランジスタのケースにおいてはより多く前記ワード線の前記電圧レベルをプルダウンし、より遅いnタイプトランジスタのケースにおいてはより少なく前記ワード線の前記電圧レベルをプルダウンするようにさらに構成される、請求項2に記載のメモリ。
  4. 前記パラメータが、前記トランジスタのしきい値電圧をさらに備える、請求項2に記載のメモリ。
  5. 前記ワード線ドライバが、前記電圧レベルを調整するための、前記ワード線に結合されたプルダウントランジスタをさらに備える、請求項1に記載のメモリ。
  6. 前記ワード線ドライバが、前記プルダウントランジスタをバイアスするためのパスゲートトランジスタをさらに備える、請求項5に記載のメモリ。
  7. 前記プルダウントランジスタがゲートを備え、前記パスゲートトランジスタが、前記ワード線と前記ゲートとの間に結合される、請求項6に記載のメモリ。
  8. 前記プルダウントランジスタおよびパスゲートトランジスタの各々が、nチャネルトランジスタを備える、請求項7に記載のメモリ。
  9. 前記メモリセルが、ラッチおよびビット線を備え、前記トランジスタが、前記ビット線を前記ラッチに結合するアクセストランジスタを備える、請求項1に記載のメモリ。
  10. 前記ラッチが、少なくとも1つのpタイプトランジスタおよび少なくとも1つのnタイプトランジスタを備え、前記少なくとも1つのpタイプトランジスタおよび前記少なくとも1つのnタイプトランジスタが、同じサイズである、請求項9に記載のメモリ。
  11. 前記少なくとも1つのpタイプトランジスタ、前記少なくとも1つのnタイプトランジスタ、および前記アクセストランジスタが、finFETトランジスタを備え、および、同じ数の、1つまたは複数のfinを備える、請求項10に記載のメモリ。
  12. メモリを動作させるための方法であって、
    トランジスタを備えるメモリセルにアクセスするために、ワード線電圧をアサートすることと、
    前記トランジスタのパラメータを補償するために、前記ワード線電圧を調整することと、
    を備える、方法。
  13. 前記パラメータが、前記トランジスタの速度を備える、請求項12に記載の方法。
  14. 前記トランジスタがnタイプトランジスタであり、
    前記方法が、
    より速いnタイプトランジスタのケースにおいてはより多く前記ワード線電圧をプルダウンすることと、
    より遅いnタイプトランジスタのケースにおいてはより少なく前記ワード線電圧をプルダウンすることと、
    をさらに備える、請求項13に記載の方法。
  15. 前記パラメータが、前記トランジスタのしきい値電圧をさらに備える、請求項13に記載の方法。
  16. プルダウントランジスタによって前記ワード線電圧をプルダウンすることをさらに備える、請求項12に記載の方法。
  17. パスゲートトランジスタによって前記プルダウントランジスタをバイアスすることをさらに備える、請求項16に記載の方法。
  18. 前記パスゲートトランジスタによって、前記プルダウントランジスタのゲートと前記ワード線電圧とを結合すること、
    をさらに備える、請求項17に記載の方法。
  19. 前記プルダウントランジスタおよびパスゲートトランジスタの各々が、nチャネルトランジスタを備える、請求項18に記載の方法。
  20. 前記メモリセルが、ラッチおよびビット線を備え、前記トランジスタが、前記ビット線を前記ラッチに結合するアクセストランジスタを備える、請求項12に記載の方法。
  21. 前記ラッチが、少なくとも1つのpタイプトランジスタおよび少なくとも1つのnタイプトランジスタを備え、前記少なくとも1つのpタイプトランジスタおよび前記少なくとも1つのnタイプトランジスタが、同じサイズである、請求項20に記載の方法。
  22. 前記少なくとも1つのpタイプトランジスタ、前記少なくとも1つのnタイプトランジスタ、および前記アクセストランジスタが、finFETトランジスタを備え、および、同じ数の、1つまたは複数のfinを備える、請求項21に記載の方法。
  23. メモリであって、
    メモリセルと、
    ワード線によって前記メモリセルに結合されたワード線ドライバと、前記ワード線ドライバは、前記ワード線のフィードバックに基づいて、前記ワード線の電圧レベルを調整するように構成される、
    を備える、メモリ。
  24. 前記ワード線の前記電圧レベルをプルダウンするように構成されるプルダウントランジスタをさらに備え、ここにおいて、前記プルダウントランジスタが、前記ワード線に結合されたゲートを備える、請求項23に記載のメモリ。
  25. 前記プルダウントランジスタの前記ゲートが、前記ワード線の前記電圧レベルの前記プルダウンを制御するために、前記ワード線に電気的に接続される、請求項24に記載のメモリ。
  26. 前記ワード線と前記ゲートとの間に結合されたパスゲートトランジスタをさらに備える、請求項24に記載のメモリ。
  27. 前記メモリセルが、少なくとも1つのpタイプトランジスタおよび少なくとも1つのnタイプトランジスタを有するラッチを備え、前記少なくとも1つのpタイプトランジスタおよび前記少なくとも1つのnタイプトランジスタが、同じサイズである、請求項26に記載のメモリ。
  28. 前記メモリセルが、前記ラッチをビット線に結合するアクセストランジスタをさらに備え、前記少なくとも1つのpタイプトランジスタ、前記少なくとも1つのnタイプトランジスタ、および前記アクセストランジスタが、finFETトランジスタを備え、および、同じ数の、1つまたは複数のfinを備える、請求項27に記載のメモリ。
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