JP2019500612A - コンパクトスペクトロメータ - Google Patents
コンパクトスペクトロメータ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2019500612A JP2019500612A JP2018533674A JP2018533674A JP2019500612A JP 2019500612 A JP2019500612 A JP 2019500612A JP 2018533674 A JP2018533674 A JP 2018533674A JP 2018533674 A JP2018533674 A JP 2018533674A JP 2019500612 A JP2019500612 A JP 2019500612A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- detector
- output
- excitation light
- light source
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 157
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims abstract description 120
- 230000004044 response Effects 0.000 claims abstract description 30
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 11
- 229910001285 shape-memory alloy Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 6
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 5
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 claims description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 2
- 238000001069 Raman spectroscopy Methods 0.000 description 27
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 20
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 14
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 14
- 238000000411 transmission spectrum Methods 0.000 description 10
- 229910052754 neon Inorganic materials 0.000 description 8
- GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N neon atom Chemical compound [Ne] GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 235000013305 food Nutrition 0.000 description 6
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 6
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 5
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 5
- 238000001237 Raman spectrum Methods 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 229910000530 Gallium indium arsenide Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 3
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 3
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 2
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 2
- 238000002189 fluorescence spectrum Methods 0.000 description 2
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 2
- 210000003205 muscle Anatomy 0.000 description 2
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000712 assembly Effects 0.000 description 1
- 238000000429 assembly Methods 0.000 description 1
- 230000001580 bacterial effect Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000002596 correlated effect Effects 0.000 description 1
- 230000000875 corresponding effect Effects 0.000 description 1
- 239000003814 drug Substances 0.000 description 1
- 229940079593 drug Drugs 0.000 description 1
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 238000012921 fluorescence analysis Methods 0.000 description 1
- 238000001506 fluorescence spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 238000009432 framing Methods 0.000 description 1
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 description 1
- 229910001385 heavy metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000011002 quantification Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/10—Arrangements of light sources specially adapted for spectrometry or colorimetry
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
- G01J3/0208—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using focussing or collimating elements, e.g. lenses or mirrors; performing aberration correction
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
- G01J3/021—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using plane or convex mirrors, parallel phase plates, or particular reflectors
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
- G01J3/0227—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using notch filters
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0256—Compact construction
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0264—Electrical interface; User interface
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0272—Handheld
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0291—Housings; Spectrometer accessories; Spatial arrangement of elements, e.g. folded path arrangements
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0297—Constructional arrangements for removing other types of optical noise or for performing calibration
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/06—Scanning arrangements arrangements for order-selection
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
- G01J3/18—Generating the spectrum; Monochromators using diffraction elements, e.g. grating
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/2803—Investigating the spectrum using photoelectric array detector
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/30—Measuring the intensity of spectral lines directly on the spectrum itself
- G01J3/36—Investigating two or more bands of a spectrum by separate detectors
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/44—Raman spectrometry; Scattering spectrometry ; Fluorescence spectrometry
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/44—Raman spectrometry; Scattering spectrometry ; Fluorescence spectrometry
- G01J3/4406—Fluorescence spectrometry
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/44—Raman spectrometry; Scattering spectrometry ; Fluorescence spectrometry
- G01J3/4412—Scattering spectrometry
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/06—Scanning arrangements arrangements for order-selection
- G01J2003/062—Scanning arrangements arrangements for order-selection motor-driven
Abstract
Description
w = w1 +(w2-w1)/(t2-T1)*(t-t1) [式1]
式1において、格子の回転速度は時刻t1とt2の間で実質的に一定であると仮定されている。
w = w1 +(w2-w1)/(r2-r1)*(r-r1) [式2]
実施形態1:単一の光源から誘導される少なくとも第1および第2の異なる波長帯域を有する励起光を生成するように構成された励起光源であって、前記第1および第2の波長帯域でサンプル上のスポットを同時に照射するように構成された励起光源と、
可動構成要素が励起光源に応答してサンプルから放出された出力光を複数の波長帯域に空間的に分離するように構成された、少なくとも一つの可動構成要素を含む分散素子であって、少なくとも一つの可動構成要素が出力光を複数の波長帯域を検出器を横切って走査するように構成されている分散素子と、
出力光の波長帯域を検出し、検出された出力光に応答して出力電気信号を生成するように構成された少なくとも1つの光センサを含む検出器とを含む分光計装置。
実施形態2:出力光がラマン信号である実施形態1に記載の装置。
実施形態3:出力光が蛍光を含む、実施形態1、または、実施形態2に記載の装置。
実施形態4:装置の光路が、三次元(3D)の折り畳まれた幾何学的光路を含み、前記三次元の折り畳まれた幾何学的光路が第1の平面に位置し、第1の曲げ部を含む第1の部分と、異なる第2の平面内にあり、第2の曲げ部を含む第2の部分とを含む、実施形態1から3のいずれかに記載の装置。
実施形態5:単一の励起光源が、第1の波長で励起光を放射するレーザ、および、励起光の第1の波長帯域の一部を変換するように構成された光学素子とを含む、実施形態1から4のいずれかに記載の装置。
実施形態6:前記光学素子が、前記レーザのレーザキャビティ内に配置される、実施形態4に記載の装置。
実施形態7:光学素子がレーザのレーザキャビティの外側に配置されている、実施形態4に記載の装置。
実施形態8:レーザは固体レーザを含み、光学素子は、励起光の第1の波長帯域の周波数を2倍にするように構成された第2高調波発生器を含む実施形態4に記載の装置。
実施形態9:レーザが第3の波長帯域を有するポンプ光を発するダイオードによってポンピングされ、励起光源は、ポンプ光がスポットを照射するように配置される実施形態8に記載の装置。
実施形態10:第3の波長帯域の中心が約808nmである実施形態9に記載の装置。
実施形態11:第1の波長帯域の中心が約1064nmである実施形態9に記載の装置。
実施形態12:第2の波長帯域の中心が約532ナノメートルである実施形態9に記載の装置。
実施形態13:光源とサンプルとの間の光路内に配置されたビームスプリッタをさらに備える、実施形態1から12のいずれかに記載の装置。
実施形態14:前記光源と前記ビームスプリッタとの間または前記ビームスプリッタと前記サンプルとの間に配置されたレーザラインフィルタをさらに備え、前記レーザラインフィルタは、前記第1および第2の波長帯域を実質的に通過させ、他の波長帯域を遮断する、実施形態13に記載の装置。
実施形態15:前記ビームスプリッタは、ダイクロイック・バンドパスフィルタを含む、実施形態14に記載の装置。
実施形態16:ビームスプリッタが45度のノッチフィルタを含む、実施形態14に記載の装置。
実施形態17:前記サンプルと前記ビームスプリッタとの間の前記光路内に配置され、前記出力光を実質的に通過させ、前記励起光を実質的に遮断するように構成された光学フィルタをさらに備える、実施形態16に記載の装置。
実施形態18:前記光路中に配置されたスリットと、それ光学フィルタとスリットとの間の光路内に配置され、ラマン信号をスリット上に集束させるレンズと、前記分散要素からの前記出力光を受け取るように構成された凹面鏡をさらに備える、実施形態18に記載の装置。
実施形態20:光を分散要素に向けるように構成された凹面鏡をさらに備える、実施形態18に記載の装置。
実施形態21:凹面鏡を回転させるように構成されたミラーアクチュエータをさらに備える、実施形態19から20のいずれかに記載の装置。
実施形態22:ミラーアクチュエータは、凹面鏡を回転させるように構成されたモータを含む、実施形態21に記載の装置。
実施形態23:ミラーアクチュエータは、凹面鏡を回転させるように構成された形状記憶合金(SMA)アクチュエータを備える、実施形態21に記載の装置。
実施形態24:前記ミラーアクチュエータは、前記凹面鏡を回転させるように構成されたソレノイドアクチュエータを含む、実施形態21に記載の装置。
実施形態25:前記ミラーアクチュエータが、前記凹面鏡を回転させるように構成された圧電アクチュエータを含む、実施形態21に記載の装置。
実施形態26:ミラーの回転角度を検出するように構成されたミラー角度センサをさらに備える、実施形態21に記載の装置。
実施形態27:前記ミラー角度センサは、磁気角センサ、MEMSベースのジャイロスコープ、
撮像センサアレイと、光学的位置センサ、または、静電容量センサのいずれか一つ以上を含む実施形態26に記載の装置。
実施形態28:前記分散要素は、
出力光の波長帯域を回折する回折格子と、
回折格子に取付けられ、回転格子を回転させるように構成された格子アクチュエータであって、回折格子が異なる位置角にあるときに、前記出力光の異なる波長帯域が前記検出器に入射するように、回折格子を回転させる格子アクチュエータとを含む、
実施形態1から27のいずれかに記載の装置
実施形態29:格子の位置角を検出するように構成された格子角度センサをさらに備える、実施形態28に記載の装置。
実施形態30:格子アクチュエータが、回折格子を回転させるように構成されたモータを備える、実施形態28に記載の装置。
実施形態31:格子アクチュエータが、回折格子を回転させるように構成された形状記憶合金(SMA)アクチュエータを備える、実施形態28に記載の装置。
実施形態32:格子アクチュエータが、回折格子を回転させるように構成されたソレノイドアクチュエータを備える、実施形態28に記載の装置。
実施形態33:格子アクチュエータが、回折格子を回転させるように構成された圧電アクチュエータを備える、実施形態28に記載の装置。
実施形態34:格子の位置角を検出するように構成された格子角度センサをさらに備える、実施形態28に記載の装置。
実施形態35:前記少なくとも1つの光センサが、1つの光センサのみを備える、実施形態1から34のいずれかに記載の装置。
実施形態36:少なくとも1つの光センサがInGaAsセンサを含む、実施形態1から35のいずれかに記載の装置。
実施形態37:検出器が、
第1の光センサおよび第2の光センサと、
第1の光センサに関連する第1のバンドパスフィルタと、第2の光センサに関連する第2のバンドパスフィルタとを含む、実施形態1から36のいずれかに記載の装置。
実施形態38:
第1のバンドパスフィルタが、励起光の第1の波長帯域に応答する出力光を実質的に通過させ、励起光の第2の波長帯域に応答する出力光を実質的に遮断するように構成され、
第2のバンドパスフィルタが、励起光の第2の波長帯域に応答する出力光を実質的に通過させ、励起光の第1の波長帯域に応答する出力光を実質的に遮断するように構成された、実施形態1から37のいずれかに記載の装置。
実施形態39:装置のリアルタイム較正を可能にするように構成された較正機構をさらに備える、実施形態1から38のいずれかに記載の装置。
実施形態40:一の光源から得られた少なくとも第1および第2の異なる波長帯域を有する励起光を生成するように構成された励起光源であって、前記第1および第2の波長帯域が同時にサンプル上のスポットを照射するように構成された励起光源と、
可動構成要素が励起光源に応答してサンプルから放出された出力光を複数の波長帯域に空間的に分離するように構成された、少なくとも一つの可動構成要素を含む分散素子であって、少なくとも一つの可動構成要素が出力光を複数の波長帯域を検出器を横切って走査するように構成されている分散素子と、
出力光の波長帯域を検出し、検出された出力光に応答して出力電気信号を生成するように構成された少なくとも1つの光センサを含む検出器とを含む分光計装置と、
励起光源の電力を制御すること、少なくとも1つの可動構成要素の動作を制御すること、および検出器の電気出力信号を信号処理することのうちの1つ以上を実行するように構成された電子回路とを含む分光計システム。
実施形態41:出力光がラマン散乱によって生成される、実施形態40に記載のシステム。
実施形態42:前記出力光が蛍光灯である、実施形態40から41のいずれかに記載のシステム。
実施形態43:アクセサリデバイスをさらに備え、前記分光計装置が、前記アクセサリデバイスと通信するように構成された通信回路を含む、実施形態40から42のいずれかに記載のシステム。
実施形態44:通信回路は出力信号から得られた情報をアクセサリデバイスに転送するように構成され、アクセサリデバイスは、処理された情報を得るために情報を処理するように構成される実施形態43に記載のシステム。
実施形態45:アクセサリデバイスが、出力信号情報および処理された情報の少なくとも1つをメモリに記憶させるように構成された、実施形態44に記載のシステム。
実施形態46:前記出力信号情報は、前記出力光のスペクトルを含み、アクセサリデバイスは、出力光のスペクトルを既知のスペクトルと比較することによって出力信号情報を処理するように構成される実施形態43に記載のシステム。
実施形態47: サンプル上のスポットを照射するように配置された励起光を発生させる励起光源と、
可動構成要素が励起光源に応答してサンプルから放出された出力光を複数の波長帯域に空間的に分離するように構成された、少なくとも一つの可動構成要素を含む分散素子であって、少なくとも一つの可動構成要素が出力光を複数の波長帯域を検出器を横切って走査するように構成されている分散素子と、
出力光の波長帯域を検出し、検出された出力光に応答して出力電気信号を生成するように構成された少なくとも1つの光センサを含む検出器とを含む分光計装置と、
サンプルと検出器との間で出力光が少なくとも4回方向を変える3次元(3D)幾何学的光とを含むを含む光学アセンブリを含む分光計装置。
実施形態48:出力光がラマン散乱によって生成される、実施形態47に記載の装置。
実施形態49:出力光が蛍光灯である、実施形態47から48のいずれかに記載の装置。
実施形態50:ハウジングをさらに備え、前記光学アセンブリは、ハウジングの内部キャビティ内に配置され、前記内部キャビティの長さは、前記光学キャビティの全長の約2分の1未満である、実施形態47から49のいずれかに記載の装置。
実施形態51:筐体と、前記筐体の内部空洞内に配置された前記励起光源と、前記分散素子と、前記検出器と、前記幾何学的光路とをさらに備え、前記内部空洞の長さは、光路の全長の約3分の1未満である実施形態47から49のいずれかに記載の装置。
実施形態52:ハウジングと、励起光源と、分散素子と、検出器と、ハウジングの内部キャビティ内に配置された幾何学的光路とをさらに備え、ハウジングの総容積が約500立方センチメートル未満である、実施形態47から49のいずれかに記載の装置。
実施形態53:ハウジングと、励起光源と、分散素子と、検出器と、ハウジングの内部キャビティ内に配置された幾何学的光路とをさらに備え、ハウジングの総容積約が300立方センチメートル未満である、実施形態47から49のいずれかに記載の装置。
実施形態54:ハウジングと、前記励起光源と、前記分散素子と、前記検出器と、前記ハウジングの内部空洞内に配置された前記幾何学的光路とをさらに備え、前記ハウジングの長さは、約150ミリメートルよりも大きく、ハウジングの幅は約40ミリメートルより小さく、ハウジングの高さは約50ミリメートルよりも小さい、実施形態47から49のいずれかに記載の装置。
実施形態55:前記分散素子が反射格子である、実施形態47から54のいずれかに記載の装置。
実施形態56:3D幾何学的光路が、サンプルと回折格子との間で少なくとも2回または少なくとも3回方向を変化させる、実施形態47から55のいずれかに記載の装置。
実施形態57:3D幾何学的光路が、サンプルと回折格子との間で少なくとも3回または少なくとも4回方向を変化させる、実施形態47から55のいずれかに記載の装置。
実施形態58:前記サンプルと前記分散要素との間に配置されたコリメートミラーをさらに備える、実施形態47から57のいずれか一項に記載の装置。
実施形態59:前記コリメートミラーが非球面ミラーである、実施形態58に記載の装置。
実施形態60:前記コリメートミラーが放物面ミラーである、実施形態58に記載の装置。
実施形態61:前記分散要素と前記検出器との間に配置された集束ミラーをさらに備える、実施形態47から60のいずれかに記載の装置。
実施形態62:集束ミラーが非球面ミラーである、実施形態61に記載の装置。
実施形態63:励起光に応答してサンプルから放射される出力光を受け取り、出力光を出力光の幾何学的光路の第1の部分に沿って集束するように構成されたレンズと、
幾何学的光路を曲げるためにレンズから受け取った出力光を反射し、幾何学的光路の第2の部分(幾何学的光路の第1の部分と第2の部分は第1の平面内にある)を生成する第1のミラーと、
第1のミラーから受け取った出力光を反射して幾何学的光路の第3の部分を生成する第2のミラー(幾何学的光路の第3の部分は第1の平面とは異なる平面を進行する)と、
第2のミラーによって反射された出力光を検出するように構成された検出器とを含むコンパクトな分光計装置。
実施形態64: 第2のミラーから光を受け取り、第2のミラーから受け取った出力光を、波長に対応する異なる角度に分離するように構成された回折格子と、
出力光をコリメートし、格子から検出器に向けるように構成された凹面鏡とを含む、実施形態63に記載の装置。
実施形態65:検出器が約3mm×約1mm未満の寸法を有する、実施形態63から64のいずれかに記載の装置。
実施形態66:前記励起光を提供するように構成された励起光源をさらに備え、前記装置の幾何学的光路の全長が、励起光の幾何学的光路の長さと出力光の幾何学的光路の長さの合計である、実施形態63から65のいずれかに記載の装置。
実施形態67:前記装置を構成する外側ハウジングの最長寸法が、全幾何学的光路の長さの半分未満である、実施形態66に記載の装置。
実施形態68:装置をフレーミングする外部ハウジングの最も長い寸法が、全幾何学的光路の長さの3分の1未満である、実施形態66に記載の装置。
実施形態69:前記装置を首脳する外部ハウジングの最も長い寸法が6インチ未満である、実施形態63から68のいずれかに記載の装置。
実施形態70:サンプルから発せられる出力光を受け取るように構成されたレンズと、
レンズからの出力光を回折格子に導くように構成された凹面鏡と、
出力光の異なる波長を異なる方向に空間的に分離するように構成された分散素子と、
格子からの出力光の一部を検出器に導くように構成された凹面集束ミラーとを含む、コンパクトな分光計で使用するための光学アセンブリ。
実施形態71:凹面鏡は非球面である、実施形態70に記載の光学アセンブリ。
実施形態72:分散素子が、回折格子と、回折格子を回転させるように構成されたモータとを含む、実施形態70から71のいずれかに記載の光学アセンブリ。
実施形態73:凹型コリメートミラーが放物線状である、実施形態70から72のいずれかに記載の光学アセンブリ。
実施形態74:サンプル上のスポットを照射する励起光を生成するように構成された少なくとも1つの光源であって、較正光も生成するように構成された少なくとも1つの光源と、
可動構成要素が励起光源に応答してサンプルから放出された出力光を複数の波長帯域に空間的に分離するように構成された、少なくとも一つの可動構成要素を含む分散素子であって、少なくとも一つの可動構成要素が出力光を複数の波長帯域を検出器を横切って走査するように構成されている分散素子と、
複数の構成要素を含む検出器であって、少なくとも1つの第1の要素は、較正光の波長を検出し、較正光に応答した電気較正信号を出力するように構成され、少なくとも1つの第2の要素は、出力光を検出し、出力光に応答した電気出力信号を出力するように構成された検出器と、
前記較正信号を使用して前記出力信号を調整するように構成されたプロセッサと、
前記少なくとも1つの光源と、前記分散要素と、前記検出器と、前記プロセッサとを囲むハウジングとを含む分光計装置。
実施形態75:出力光がラマン散乱によって生成される、実施形態74に記載の装置。
実施形態76:前記出力光が蛍光灯である、実施形態74から75のいずれかに記載の装置。
実施形態77:前記少なくとも1つの光源は、励起光を発生させる励起光源と、較正光を生成するように構成された較正光源とを含む、実施形態74から76のいずれかに記載の装置。
実施形態78:較正用光源がネオン電球を含む、実施形態77に記載の装置。
実施形態79:前記較正光源がアルゴン電球を含む、実施形態77に記載の装置。
実施形態80:前記少なくとも1つの光源が単一の光源を含む、実施形態74から79のいずれかに記載の装置。
実施形態81:単一光源が、少なくとも第1の波長帯域および第2の波長帯域の光を放射するように構成された多波長レーザを備え、励起光が多波長レーザから放射される第1の波長帯域の光を含み、較正光が多波長レーザから放射される第2の波長帯域の光を含む、
実施形態80に記載の装置。
実施形態82:少なくとも1つの光源と分散要素との間に配置された少なくとも1つの光学要素をさらに備え、光学要素は、少なくとも1つの光源からの較正光を分散素子の方に向ける、実施形態74から81のいずれかに記載の装置。
Claims (20)
- 単一の光源から得られる少なくとも異なる第1の波長帯域および第2の波長帯域を有する励起光を生成するように構成された励起光源であって、前記第1の波長帯域および前期第2の波長帯域でサンプル上のスポットを同時に照射するように構成された励起光源と、
前記励起光に応答して前期試料から発する出力光を複数の異なる波長帯域に空間的に分離するように構成された、少なくとも1つの可動構成要素を含む分散素子であって、前記可動構成要素は検出器を横切って前記出力光の複数の異なる波長帯域を走査するように構成された分散素子と、
前記出力光の前記波長帯域を検出し、前記検出された出力光に応答して出力電気信号を生成するように構成された少なくとも1つの光センサを含む前記検出器とを
含む分光計。 - 装置の光路が三次元の折り畳まれた幾何学的光路を含み、
前記三次元の折り畳まれた幾何学的光路は、
第1の平面内にあり、第1の曲がり部を含む第1の部分と、
前記第1の平面とは異なる第2の平面内にあり、第2の曲がり部を含む第2の部分とを含む、
請求項1に記載の分光計。 - 前記励起光源は固体レーザを含み、
前記固体レーザをポンピングするようポンプ光を放出するダイオードをさらに備え、
前記ポンプ光は第3の前記励起光が前記スポットを照射するように配置された第3の波長帯域を有し、
前記励起光はポンプ光が前記スポットを照射するように配置されている、
請求項1に記載の分光計。 - 前記分散素子は、
前記出力光の前記波長帯域を回折するように構成された回折格子と、
前記回折格子に取り付けられ、前記回折格子を回転させる格子アクチュエータとを備え、
前記回折格子が前記格子アクチュエータによって回転されると、前記回折格子が異なる位置角にあるときに前記出力光の異なる波長帯域が前記検出器に入射し、
前記格子アクチュエータは 、回折格子を回転させるように構成された形状記憶合金アクチュエータを含む、
請求項1に記載の分光計。 - 前記回折格子の位置角を検出するように構成された磁気角度センサをさらに備える、請求項4に記載の分光計。
- 前記少なくとも1つの光センサが1つの光センサのみを備える、
請求項1に記載の分光計。 - 前記検出器は、
第1の光センサおよび第2の光センサと、
前記第1の光センサに対応する第1のバンドパスフィルタと、前記第2の光センサに対応する第2のバンドパスフィルタとを含む、
請求項1に記載の分光計。 - 前記励起光源の電力を制御し、前記少なくとも1つの可動構成要素の動作を制御し、前記検出器の前記電気出力信号を信号処理するように構成された電子回路をさらに備える、
請求項1に記載の分光計。 - アクセサリデバイスをさらに備え、
前記分光計は前記アクセサリデバイスと無線通信するように構成された通信回路を含み、前記通信回路は、前記出力信号から得られた情報を前記アクセサリデバイスに転送するように構成され、
前記アクセサリデバイスは、処理された情報を得るために情報を処理するように構成されている、
請求項8に記載の分光計。 - サンプル上のスポットを照射するように配置された励起光を発生させる励起光源と、
前記サンプルから発する出力光を空間的に分離するように構成された、少なくとも1つの可動構成要素を含む分散素子とであって、前記可動構成要素は、励起光に対する複数の異なる波長帯域への応答であって、出力光の前記複数の異なる波長帯域を検出器を横切って走査するように構成されている分散素子と、
前記出力光の波長帯域を検出するように構成された少なくとも1つの光センサを備え検出器と、
出力光が前記サンプルと前記検出器との間で少なくとも4回方向を変えるようにする3次元幾何学的光路とを含む光学アセンブリを含む分光計。 - ハウジングをさらに備え、前記光学アセンブリは、ハウジングの内部空洞内に配置され、前記内部空洞の長さは、前記光路の全長の略2分の1未満である、
請求項10に記載の分光計。 - 前記ハウジングの内部空洞内に配置されたハウジングと、前記励起光源と、前記分散素子と、前記検出器と、前記幾何学的光路とをさらに備え、前記ハウジングの総容積は、略500立方センチメートル未満である、
請求項10に記載の分光計。 - ハウジングと、前記ハウジングの内部キャビティ内に配置された前記励起光源と、前記分散素子と、前記検出器と、前記幾何学的光路とをさらに備え、
前記ハウジングの長さは、略150ミリメートル未満であり、前記ハウジングの幅は略30ミリメートル未満であり、前記ハウジングの高さは約50ミリメートル未満である、
請求項10に記載の分光計。 - 前記3次元幾何学的光路は、前記サンプルと前記格子との間で少なくとも2回または少なくとも3回方向を変化する、
請求項10に記載の分光計。 - 前記サンプルと前記分散素子との間に配置されたコリメートミラーと、
前記分散素子と前記検出器との間に配置された集束ミラーとを備え、
前記コリメートミラーおよび前記集束ミラーの少なくとも1つは非球面ミラーである、
請求項10に記載の分光計。 - サンプル上のスポットを照射する励起光を生成するように構成された少なくとも1つの光源であって、その少なくとも1つが較正光を生成するように構成された光源と、
励起光および較正光に応答してサンプルから発する出力光を複数の異なる波長帯域に空間的に分離するように構成された、少なくとも1つの可動構成要素を含む分散素子とであって、前記少なくとも1つの稼働構成要素は前記出力光および前記較正光の前記複数の異なる波長帯域を検出器を横切って走査するように構成されている分散素子と、
複数の素子を含む検出器であって、少なくとも1つの第1の素子は、前記較正光の波長を検出し、前記較正光に応答して電気的な較正信号を出力するように構成され、少なくとも1つの第2の素子は前記出力光を検出し、前記較正光の波長に応答して電気較正信号を出力するように構成されている検出器と、
前記較正信号を使用して前記出力信号を調整するよう構成されたプロセッサと、
前記少なくとも1つの光源と、前記分散素子と、前記検出器と、前記プロセッサとを格納するハウジングとを含む分光計。 - 前記少なくとも1つの光源は、前記励起光を生成するように構成された励起光源と、前記較正光を生成するように構成された較正光源とを含む、
請求項16に記載の分光計。 - 前記少なくとも1つの光源は、少なくとも第1の波長帯域および第2の波長帯域の光を放出するように構成された多波長レーザを含み、
前記励起光は、前記第1の波長帯域の前記多波長レーザから発せられた光を含み、
前記較正光は、前記第2の波長帯域の前記多波長レーザから発せられた光を含む、
請求項16に記載の分光計。 - 前記ハウジングの総容積が略500立方センチメートル未満である、
請求項16に記載の分光計。 - 前記ハウジングの長さが略150ミリメートル未満であり、前記ハウジングの幅が略40ミリメートル未満であり、前記ハウジングの高さが略50ミリメートル未満である、
請求項16に記載の分光計。
Applications Claiming Priority (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201562272361P | 2015-12-29 | 2015-12-29 | |
US62/272,361 | 2015-12-29 | ||
US201662415938P | 2016-11-01 | 2016-11-01 | |
US62/415,938 | 2016-11-01 | ||
US15/387,449 | 2016-12-21 | ||
US15/387,449 US10317281B2 (en) | 2015-12-29 | 2016-12-21 | Compact spectrometer |
PCT/US2016/068338 WO2017116998A1 (en) | 2015-12-29 | 2016-12-22 | Compact spectrometer |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019500612A true JP2019500612A (ja) | 2019-01-10 |
Family
ID=59086278
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018533674A Pending JP2019500612A (ja) | 2015-12-29 | 2016-12-22 | コンパクトスペクトロメータ |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US10317281B2 (ja) |
EP (1) | EP3397928A1 (ja) |
JP (1) | JP2019500612A (ja) |
CN (1) | CN108700461A (ja) |
WO (1) | WO2017116998A1 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020535433A (ja) * | 2017-09-29 | 2020-12-03 | プレシテク オプトロニク ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 表面に対する間隔又は2つの表面の間の間隔を非接触で測定する方法と装置 |
JP2021526213A (ja) * | 2018-05-30 | 2021-09-30 | ペンダー・テクノロジーズ, リミテッド・ライアビリティ・カンパニーPendar Technologies, Llc | 眼の安全性が向上し、爆発のリスクが低減されたスタンドオフ差ラマン分光法のための方法および装置 |
JP2022500655A (ja) * | 2018-09-13 | 2022-01-04 | リガク ラマン テクノロジーズ インコーポレイテッド | プラズマスペクトル分析を介してサンプルの材料組成を分析するための装置 |
JP2023174434A (ja) * | 2022-05-25 | 2023-12-07 | 采▲ぎょく▼科技股▲ふん▼有限公司 | 分光計 |
US11885681B2 (en) | 2018-05-30 | 2024-01-30 | Pendar Technologies, Llc | Methods and devices for standoff differential Raman spectroscopy with increased eye safety and decreased risk of explosion |
JP7472637B2 (ja) | 2020-05-08 | 2024-04-23 | 株式会社島津製作所 | 分光器 |
Families Citing this family (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10317281B2 (en) * | 2015-12-29 | 2019-06-11 | Oak Analytics | Compact spectrometer |
JP7147143B2 (ja) * | 2017-01-20 | 2022-10-05 | 株式会社リコー | 分光器および分析装置 |
EP3601968A4 (en) * | 2017-03-30 | 2020-12-16 | Agency for Science, Technology and Research | OPTICAL PROBE, RAMAN SPECTROSCOPY SYSTEM, AND ASSOCIATED PROCESS FOR USE |
CN111133296B (zh) * | 2017-09-29 | 2023-05-26 | 株式会社四国综合研究所 | 物质远程确定装置和物质远程确定方法 |
RU2672792C1 (ru) * | 2017-12-15 | 2018-11-19 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки институт биоорганической химии им. академиков М.М. Шемякина и Ю.А. Овчинникова Российской академии наук (ИБХ РАН) | Спектрометр комбинационного рассеяния с совмещением микро- и макрорежимов для химического и структурного анализа веществ |
CN107991286B (zh) * | 2017-12-26 | 2024-02-27 | 同方威视技术股份有限公司 | 基于反射光功率的拉曼光谱检测设备及方法 |
CN107907527B (zh) * | 2017-12-26 | 2023-10-13 | 同方威视技术股份有限公司 | 基于反射光功率和图像识别的拉曼光谱检测设备及方法 |
US11175232B2 (en) * | 2018-01-16 | 2021-11-16 | United States Of America As Represented By The Administrator Of Nasa | Standoff ultra-compact micro-raman sensor |
KR102092331B1 (ko) * | 2018-06-05 | 2020-03-23 | 주식회사 필로포스 | 이동 가능한 환경에 적합한 소형 oct용 분광기 |
US20200116643A1 (en) * | 2018-10-11 | 2020-04-16 | Rigaku Analytical Devices, Inc. | Device for calibrating a spectrometer |
CN111158158B (zh) * | 2018-11-08 | 2023-04-25 | 三星电子株式会社 | 分光计光学系统以及半导体检查装置 |
CN111579069B (zh) * | 2019-02-15 | 2023-03-14 | 财团法人工业技术研究院 | 光谱自校准光栅以及光谱仪 |
US10760969B1 (en) | 2019-02-28 | 2020-09-01 | Biospex, Inc. | Fluorescence and systemic noise reduction in time-gated spectroscopy |
WO2020183644A1 (ja) | 2019-03-13 | 2020-09-17 | ギガフォトン株式会社 | レーザ装置、及び電子デバイスの製造方法 |
EP3948186A4 (en) * | 2019-03-25 | 2022-12-28 | MKS Technology (d/b/a Snowy Range Instruments) | MULTIDISPERSIVE SPECTROMETER |
US11454540B2 (en) * | 2019-07-12 | 2022-09-27 | Biospex, Inc. | Wearable spectroscopy using filtered sensor |
US11326944B2 (en) * | 2019-07-12 | 2022-05-10 | Biospex, Inc. | Wearable spectrometer with filtered sensor |
CN111044458B (zh) * | 2019-12-19 | 2022-06-07 | 北京云端光科技术有限公司 | 光谱仪 |
TWI737140B (zh) * | 2020-01-22 | 2021-08-21 | 緯創資通股份有限公司 | 檢測裝置 |
US11639873B2 (en) * | 2020-04-15 | 2023-05-02 | Viavi Solutions Inc. | High resolution multi-pass optical spectrum analyzer |
US11740131B2 (en) * | 2020-12-16 | 2023-08-29 | Viavi Solutions Inc. | Optical device with a folded optical path |
CN113406661B (zh) * | 2021-04-25 | 2022-10-18 | 中国科学院精密测量科学与技术创新研究院 | 一种多通道原子滤光昼夜自动切换装置 |
US20220381681A1 (en) * | 2021-05-28 | 2022-12-01 | Lightsense Technology, Inc. | Miniature multispectral detection system having multiple spectrometers for enhanced photodetection spectroscopy for detection of pathogens, biomarkers, or any compound |
WO2024076552A1 (en) * | 2022-10-03 | 2024-04-11 | Purdue Research Foundation | Combined sensor detection platform |
CN116678497B (zh) * | 2023-08-03 | 2023-12-19 | 山东大学 | 一种光谱仪自动校准装置及方法 |
Family Cites Families (37)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3865490A (en) * | 1973-08-29 | 1975-02-11 | Mc Donnell Douglas Corp | Filter spectrograph |
US4761955A (en) | 1987-07-16 | 1988-08-09 | The Boeing Company | Rotary actuator utilizing a shape memory alloy |
JP2536566Y2 (ja) | 1990-11-20 | 1997-05-21 | 株式会社東海理化電機製作所 | 回転センサ |
DE69219580T2 (de) | 1992-02-24 | 1997-09-11 | Hewlett Packard Co | Ramanspektroskopie von Atemgasen |
US5396769A (en) | 1993-10-12 | 1995-03-14 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Rotary actuator |
US6069419A (en) | 1998-06-16 | 2000-05-30 | Tabib-Azar; Massood | Micro-actuator assembly |
US6822978B2 (en) * | 1999-05-27 | 2004-11-23 | Spectra Physics, Inc. | Remote UV laser system and methods of use |
CA2368956A1 (en) | 2001-01-22 | 2002-07-22 | Unisearch Associates Inc. | Development of a compact raman spectrometer for detecting product interfaces in a flow path |
EP1260802B1 (en) * | 2001-05-25 | 2008-10-29 | Galileo Avionica S.p.A. | Wide-band spectrometer with objective comprising an aspherical corrector mirror |
US7605370B2 (en) * | 2001-08-31 | 2009-10-20 | Ric Investments, Llc | Microspectrometer gas analyzer |
AU2003285726A1 (en) * | 2002-11-27 | 2004-06-18 | Optical Metrology Patents Limited | An optical spectrometer |
US20050154277A1 (en) | 2002-12-31 | 2005-07-14 | Jing Tang | Apparatus and methods of using built-in micro-spectroscopy micro-biosensors and specimen collection system for a wireless capsule in a biological body in vivo |
US7633621B2 (en) | 2003-04-11 | 2009-12-15 | Thornton Robert L | Method for measurement of analyte concentrations and semiconductor laser-pumped, small-cavity fiber lasers for such measurements and other applications |
JP2007509319A (ja) | 2003-10-17 | 2007-04-12 | アクサン・テクノロジーズ・インコーポレーテッド | 多チャネルラマン分光システムおよび方法 |
US7403281B2 (en) * | 2004-05-07 | 2008-07-22 | University Of Wyoming | Raman spectrometer |
US20060083284A1 (en) * | 2004-10-14 | 2006-04-20 | Barbara Paldus | Method for increasing the dynamic range of a cavity enhanced optical spectrometer |
US7483134B2 (en) | 2005-02-10 | 2009-01-27 | Unity Scientific, Llc | Scanning monochromator with direct drive grating |
US7397561B2 (en) | 2005-11-07 | 2008-07-08 | Wafermasters, Incorporated | Spectroscopy system |
US7505128B2 (en) | 2006-04-10 | 2009-03-17 | General Electric Company | Compact, hand-held raman spectrometer microsystem on a chip |
IL175277A0 (en) * | 2006-04-27 | 2007-05-15 | Rafael Advanced Defense Sys | A method of compacting optical systems comprising multiple optical channels into confined spaces |
WO2008121715A1 (en) * | 2007-03-30 | 2008-10-09 | Ometric Corporation | In-line process measurement systems and methods |
US7936455B2 (en) * | 2007-10-05 | 2011-05-03 | Burt Jay Beardsley | Three mirror anastigmat spectrograph |
US7817274B2 (en) | 2007-10-05 | 2010-10-19 | Jingyun Zhang | Compact spectrometer |
DE102008019600B4 (de) * | 2008-04-18 | 2021-03-04 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Optische Vorrichtung in gestapelter Bauweise und Verfahren zur Herstellung derselben |
JP5054718B2 (ja) * | 2009-03-03 | 2012-10-24 | 日立Geニュークリア・エナジー株式会社 | 水中移動体の位置検知装置及び位置検知方法 |
US8514394B2 (en) | 2010-08-09 | 2013-08-20 | Bayspec, Inc. | Spectrograph having multiple wavelength ranges for high resolution raman spectroscopy |
US20120099102A1 (en) | 2010-10-26 | 2012-04-26 | Bello Job M | Dual and multi-wavelength sampling probe for raman spectroscopy |
CN102998295A (zh) * | 2011-09-09 | 2013-03-27 | 福州高意光学有限公司 | 一种微型拉曼光谱仪 |
WO2013133804A1 (en) * | 2012-03-06 | 2013-09-12 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Double-grating surface-enhanced raman spectroscopy |
US8873041B1 (en) | 2013-01-29 | 2014-10-28 | Bayspec, Inc. | Raman spectroscopy using multiple excitation wavelengths |
US9664610B2 (en) * | 2013-03-12 | 2017-05-30 | Visualant, Inc. | Systems for fluid analysis using electromagnetic energy that is reflected a number of times through a fluid contained within a reflective chamber |
WO2014183026A1 (en) * | 2013-05-09 | 2014-11-13 | University Of Central Florida Research Foundation, Inc. | A portable spectrometer for the presumptive identification of illicit drugs and substances of abuse |
JP6201547B2 (ja) * | 2013-09-06 | 2017-09-27 | 株式会社島津製作所 | 分光器の波長校正方法 |
GB201415238D0 (en) | 2014-08-28 | 2014-10-15 | Renishaw Plc | Spectroscopy apparatus |
US10048130B2 (en) | 2015-01-09 | 2018-08-14 | California Institute Of Technology | Context imaging raman spectrometer |
JP6428516B2 (ja) * | 2015-07-09 | 2018-11-28 | 株式会社島津製作所 | 分光検出器 |
US10317281B2 (en) * | 2015-12-29 | 2019-06-11 | Oak Analytics | Compact spectrometer |
-
2016
- 2016-12-21 US US15/387,449 patent/US10317281B2/en active Active
- 2016-12-22 JP JP2018533674A patent/JP2019500612A/ja active Pending
- 2016-12-22 CN CN201680082253.5A patent/CN108700461A/zh active Pending
- 2016-12-22 WO PCT/US2016/068338 patent/WO2017116998A1/en active Application Filing
- 2016-12-22 EP EP16826831.6A patent/EP3397928A1/en not_active Withdrawn
-
2019
- 2019-06-11 US US16/437,325 patent/US11313721B2/en active Active
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020535433A (ja) * | 2017-09-29 | 2020-12-03 | プレシテク オプトロニク ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 表面に対する間隔又は2つの表面の間の間隔を非接触で測定する方法と装置 |
JP7410853B2 (ja) | 2017-09-29 | 2024-01-10 | プレシテク オプトロニク ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 表面に対する間隔又は2つの表面の間の間隔を非接触で測定する方法と装置 |
JP2021526213A (ja) * | 2018-05-30 | 2021-09-30 | ペンダー・テクノロジーズ, リミテッド・ライアビリティ・カンパニーPendar Technologies, Llc | 眼の安全性が向上し、爆発のリスクが低減されたスタンドオフ差ラマン分光法のための方法および装置 |
JP7406510B2 (ja) | 2018-05-30 | 2023-12-27 | ペンダー・テクノロジーズ,リミテッド・ライアビリティ・カンパニー | 眼の安全性が向上し、爆発のリスクが低減されたスタンドオフ差ラマン分光法のための方法および装置 |
US11885681B2 (en) | 2018-05-30 | 2024-01-30 | Pendar Technologies, Llc | Methods and devices for standoff differential Raman spectroscopy with increased eye safety and decreased risk of explosion |
JP2022500655A (ja) * | 2018-09-13 | 2022-01-04 | リガク ラマン テクノロジーズ インコーポレイテッド | プラズマスペクトル分析を介してサンプルの材料組成を分析するための装置 |
JP7356498B2 (ja) | 2018-09-13 | 2023-10-04 | オーシャン オプティクス インコーポレイテッド | プラズマスペクトル分析を介してサンプルの材料組成を分析するための装置 |
JP7472637B2 (ja) | 2020-05-08 | 2024-04-23 | 株式会社島津製作所 | 分光器 |
JP2023174434A (ja) * | 2022-05-25 | 2023-12-07 | 采▲ぎょく▼科技股▲ふん▼有限公司 | 分光計 |
US11841270B1 (en) | 2022-05-25 | 2023-12-12 | Visera Technologies Company Ltd. | Spectrometer |
JP7471347B2 (ja) | 2022-05-25 | 2024-04-19 | 采▲ぎょく▼科技股▲ふん▼有限公司 | 分光計 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US11313721B2 (en) | 2022-04-26 |
US10317281B2 (en) | 2019-06-11 |
US20170184453A1 (en) | 2017-06-29 |
US20190339127A1 (en) | 2019-11-07 |
CN108700461A (zh) | 2018-10-23 |
EP3397928A1 (en) | 2018-11-07 |
WO2017116998A1 (en) | 2017-07-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11313721B2 (en) | Compact spectrometer | |
US7397561B2 (en) | Spectroscopy system | |
NL1032793C2 (nl) | Spectroscopiesysteem. | |
JP5092104B2 (ja) | 分光測定装置、及び分光測定方法 | |
AU780158B2 (en) | Method and apparatus for particle assessment using multiple scanning beam reflectance | |
US9869585B2 (en) | Dual spectrometer | |
HU182910B (en) | Optical device for spectroanalitical sample tests | |
JP2015504523A (ja) | ハイパースペクトル撮像システムのための波長測定機能を有する波長可変光源システム | |
JP2017519235A (ja) | 光学ビーム走査検鏡のための装置及び方法 | |
JP7190561B2 (ja) | ラマン分光計 | |
JP6255022B2 (ja) | 光学素子の配置を有する装置 | |
US20230251132A1 (en) | Multi-dispersive spectrometer | |
WO2020075548A1 (ja) | 顕微分光装置、及び顕微分光方法 | |
EP3175221B1 (en) | Raster optic device for optical hyper spectral scanning | |
JP2008139062A (ja) | 分光測定装置よび分光測定方法 | |
JP2006300808A (ja) | ラマン分光測定装置 | |
JP5454942B2 (ja) | 分光装置とそれを用いた顕微鏡 | |
JP2021051074A (ja) | 分光分析装置 | |
CN108713135A (zh) | 一种光谱分析系统 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20181112 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20191205 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200630 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200911 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20210331 |