JP2019211417A - 磁気検出装置 - Google Patents
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Abstract
Description
0°<θ1<90° ……(1)
−90°<θ2<0° ……(2)
1.一実施の形態
4つの磁気検出素子を有するブリッジ回路を備えるようにした磁気検出装置の例。
2.変形例
[磁気検出装置10の構成]
最初に、図1から図4を参照して、本発明における一実施の形態としての磁気検出装置10の構成について説明する。図1は、磁気検出装置10の全体構成例を表す斜視図である。図2Aおよび図2Bは、磁気検出装置10の要部平面構成を模式的に表す平面図である。図3Aは、図2Aおよび図2Bに示した磁気抵抗効果膜の磁化自由層の±Y方向における反転磁場と、磁気抵抗効果膜の傾斜角度との関係を表す特性図である。図3Bは、図2Aおよび図2Bに示した磁気抵抗効果膜における、信号磁場に対する出力変化と、磁気抵抗効果膜の傾斜角度との関係を表す特性図である。図4は、磁気検出装置10の回路構成を表す回路図である。この磁気検出装置10は、例えば各種電子機器の内部に流れる電流値を高い精度で検出する電流センサとして用いられるものである。
ここで、磁気検出素子1および磁気検出素子3は本発明の「第1の磁気検出素子」に対応する一具体例であり、磁気検出素子2および磁気検出素子4は本発明の「第2の磁気検出素子」に対応する一具体例である。
バス5は、例えばY軸方向へ延在する導体であり、磁気検出装置10により検出する対象となる信号電流Isが供給されるものである。バス5の主たる構成材料は、例えばCu(銅)などの高導電性材料である。バス5の構成材料としてFe(鉄)やNi(ニッケル)を含む合金、あるいは、ステンレス鋼を用いることもできる。バス5は、その内部を例えば+Y方向へ信号電流Is1が流れることにより、バス5の周囲に信号磁場Hs1を生成可能である。また、バス5は、その内部を−Y方向へ信号電流Is2が流れることにより、バス5の周囲に信号磁場Hs2を生成可能である。信号磁場Hs1は、磁気検出素子1〜4に対し+X方向に印加される。一方、信号磁場Hs2は、磁気検出素子1〜4に対し−X方向に印加される。
ここで、バス5は本発明の「第1の導体」に対応する一具体例である。また、+Y方向が本発明の「第1の電流方向」に対応する一具体例であり、信号電流Is1が本発明の「第1の信号電流」に対応する一具体例であり、信号磁場Hs1が本発明の「第1の磁場」に対応する一具体例である。さらに、−Y方向が本発明の「第2の電流方向」に対応する一具体例であり、信号電流Is2が本発明の「第2の信号電流」に対応する一具体例であり、信号磁場Hs2が本発明の「第2の磁場」に対応する一具体例である。信号電流Is1および信号電流Is2が流れる方向は、磁気検出素子1〜4に対する信号磁場Hs1および信号磁場Hs2の印加方向と直交している。
複数のフィードバック配線6は、磁気検出素子1〜4の各々と電気的に絶縁されつつ、磁気検出素子1〜4の各々と対向するように配置された配線であり、バス5に沿ってY軸方向へ延在している。フィードバック配線6の主たる構成材料は、バス5と同様、例えばCu(銅)などの高導電性材料である。フィードバック配線6は、その内部を、例えば+Y方向へフィードバック電流If1が流れることによりフィードバック配線6の周囲にフィードバック磁場Hf1を生成可能である。また、フィードバック配線6は、その内部を−Y方向へフィードバック電流If2が流れることにより、フィードバック配線6の周囲にフィードバック磁場Hf2を生成可能である。フィードバック磁場Hf1は、磁気検出素子1〜4に対し−X方向に印加される。一方、フィードバック磁場Hf2は、磁気検出素子1〜4に対し+X方向に印加される。すなわち、フィードバック磁場Hf1は、磁気検出素子1〜4から見て、信号磁場Hs1と反対向きに印加され、フィードバック磁場Hf2は、磁気検出素子1〜4から見て、信号磁場Hs2と反対向きに印加される。なお、本実施の形態ではX軸方向に並ぶ5本のフィードバック配線6を例示しているが、フィードバック配線6の数はこれに限定されず、1本のみでもよい。
ここで、フィードバック配線6は本発明の「第2の導体」に対応する一具体例である。また、フィードバック電流If1が本発明の「第1のフィードバック電流」であり、フィードバック電流If2が本発明の「第2のフィードバック電流」である。さらに、フィードバック磁場Hf1が本発明の「第1のフィードバック磁場」であり、フィードバック磁場Hf2が本発明の「第2のフィードバック磁場」である。
第1の磁気検出素子としての磁気検出素子1,3は、+X方向の信号磁場Hs1の印加により増加し、かつ、−X方向の信号磁場Hs2の印加により減少する抵抗値を有する。一方、第2の磁気検出素子としての磁気検出素子2,4は、+X方向の信号磁場Hs1の印加により減少し、かつ、−X方向の信号磁場Hs2の印加により増加する抵抗値を有する。
なお、磁気抵抗効果膜MR1および磁気抵抗効果膜MR2は、それぞれ本発明の「第1の磁気抵抗効果膜」に対応する一具体例である。
0°<θ1<90° ……(1)
−90°<θ2<0° ……(2)
50°<θ1<72° ……(3)
−72°<θ2<−50° ……(4)
なお、磁気抵抗効果膜MR3および磁気抵抗効果膜MR4は、それぞれ本発明の「第2の磁気抵抗効果膜」に対応する一具体例である。
0°<θ3<90° ……(5)
−90°<θ4<0° ……(6)
50°<θ3<72° ……(7)
−72°<θ4<−50° ……(8)
なお、磁化JS11,JS21が本発明の「第1の磁化」に対応する一具体例であり、磁化固着層S11,S21が本発明の「第1の磁化固着層」に対応する一具体例である。また、磁化JS31,JS41が本発明の「第2の磁化」に対応する一具体例であり、磁化固着層S31,S41が本発明の「第2の磁化固着層」に対応する一具体例である。
4つの磁気検出素子1〜4は、図4に示したようにブリッジ接続されてブリッジ回路7を形成している。磁気検出素子1〜4は、検出対象である信号磁場Hs1または信号磁場Hs2の変化を検出可能である。上述したように、磁気検出素子1,3は+X方向の信号磁場Hs1の印加により抵抗値が増加し、−X方向の信号磁場Hs2の印加により抵抗値が減少するものである。一方、磁気検出素子2,4は、+X方向の信号磁場Hs1の印加により抵抗値が減少し、−X方向の信号磁場Hs2の印加により抵抗値が増加するものである。したがって、磁気検出素子1,3と磁気検出素子2,4とは、信号磁場Hs1(または信号磁場Hs2)の変化に応じて互いに例えば180°位相の異なる信号を出力する。
本実施の形態の磁気検出装置10では、バス5を流れる信号電流Is1,Is2が生成する信号磁場Hs1,Hs2の変化を検出することができる。
この磁気検出装置10において、まず、信号磁場Hs1,Hs2が印加されていない状態を考える。ここで電流I10をブリッジ回路7に流したときの磁気検出素子1〜4の各抵抗値をr1〜r4とする。電源Vccからの電流I10は、接続点P3において電流I1および電流I2の2つに分流される。そののち、磁気検出素子1および磁気検出素子2を通過した電流I1と、磁気検出素子4および磁気検出素子3を通過した電流I2とが接続点P4において合流する。この場合、接続点P3と接続点P4との間の電位差Vは、
V=I1*r1+I1*r2=I2*r4+I2*r3
=I1*(r1+r2)=I2*(r4+r3) ……(9)
と表すことができる。
また、接続点P1における電位V1および接続点P2における電位V2は、
それぞれ、
V1=V−I1*r1
V2=V−I2*r4
と表せる。よって、接続点P1と接続点P2との電位差V0は、
V0=V2−V1
=(V−I2*r4)−(V−I1*r1)
=I1*r1−I2*r4 ……(10)
ここで、(9)式から、
V0=r1/(r1+r2)×V−r4/(r4+r3)×V
={r1/(r1+r2)−r4/(r4+r3)}×V ……(11)
となる。このブリッジ回路7では、信号磁場Hs1,Hs2が印加されたときに、上記の式(11)で表された接続点P2と接続点P1との電位差V0を測定することにより、抵抗変化量が得られる。ここで、信号磁場Hs1,Hs2が印加されたときに、磁気検出素子1〜4の各々の抵抗値R1〜R4がそれぞれ変化量ΔR1〜ΔR4だけ変化したとすると、すなわち、信号磁場Hs1,Hs2を印加後の抵抗値R1〜R4が、それぞれ
R1=r1+ΔR1
R2=r2+ΔR2
R3=r3+ΔR3
R4=r4+ΔR4
であるとすると、信号磁場Hs1,Hs2の印加時における電位差V0は、式(11)より、
V0={(r1+ΔR1)/(r1+ΔR1+r2+ΔR2)−(r4+ΔR4)/(r4+ΔR4+r3+ΔR3)}×V ……(12)
となる。この磁気検出装置10では、磁気検出素子1,3の抵抗値R1,R3と、磁気検出素子2,4の抵抗値R2,R4とは互いに逆方向の変化を示すように構成されているので、変化量ΔR4と変化量ΔR1とが打ち消し合うと共に、変化量ΔR3と変化量ΔR2とが打ち消し合うこととなる。このため、信号磁場Hs1,Hs2の印加前後を比較した場合、式(12)の各項における分母の増加はほとんど無い。一方、各項の分子については、変化量ΔR1と変化量ΔR4とが必ず反対の符号を有するので増減が現れることとなる。
V0={(R+ΔR)/(2×R)−(R−ΔR)/(2×R)}×V
=(ΔR/R)×V
となる。
ところで、この種の磁気検出装置では、信号磁場の検出動作を行う前に、各磁気検出素子における磁化自由層の磁化を所定の方向に一旦揃えることが望ましい。より正確な信号磁場の検出動作を行うためである。具体的には、既知の大きさの外部磁場を所定の方向と、それと反対の方向とに交互に印加する。これを磁化自由層の磁化のセット・リセット動作という。
このように、本実施の形態の磁気検出装置10によれば、高い検出精度を発現することができる。
次に、本発明の実施例について説明する。
図1などに示した磁気検出装置10について32個のサンプルを作成し、各々のサンプルについて、図7Aおよび図7Bを参照して説明したセット動作後のオフセット値と、図8Aおよび図8Bを参照して説明したリセット動作後のオフセット値とをそれぞれ測定した。その結果を図9Aに示す。図9Aにおいて、横軸はサンプル番号を示し、縦軸はオフセット値を示す。また、セット動作後のオフセット値を凡例●で表し、リセット動作後のオフセット値を凡例△で表す。
磁気検出装置10との比較を行うための参考例として、図13に示したように、信号磁場Hs1,Hs2に対して同じ方向に傾斜した長軸方向を有する磁気抵抗効果膜MR1を複数有する磁気検出素子のみを備えた磁気検出装置について、サンプルを32個作成し、各サンプルについてセット動作後のオフセット値とリセット動作後のオフセット値とをそれぞれ測定した。その結果を図9Bに示す。図9Bにおいて、横軸はサンプル番号を示し、縦軸はオフセット値を示す。また、セット動作後のオフセット値を凡例●で表し、リセット動作後のオフセット値を凡例△で表す。
以上、実施の形態を挙げて本発明を説明したが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。例えば、上記実施の形態では、センサ部として4つの磁気検出素子を用いてフルブリッジ回路を形成するようにしたが、本発明では、例えば2つの磁気検出素子を用いてハーフブリッジ回路を形成するようにしてもよい。また、複数の磁気抵抗効果膜の形状および寸法は、互いに同じであってもよいし、異なっていてもよい。また、各構成要素の寸法や各構成要素のレイアウトなどは例示であってこれに限定されるものではない。
Claims (7)
- 第1の方向の第1の磁場の印加により増加し、かつ、前記第1の方向と反対の第2の方向の第2の磁場の印加により減少する第1の抵抗値を有する第1の磁気検出素子と、
前記第1の磁場の印加により減少し、かつ、前記第2の磁場の印加により増加する第2の抵抗値を有する第2の磁気検出素子と
を備え、
前記第1の磁気検出素子および前記第2の磁気検出素子は、いずれも、前記第1の方向に対して第1の傾斜角度で傾斜した第1の長軸方向を有する第1の磁気抵抗効果膜と、前記第1の磁気抵抗効果膜と直列接続され前記第1の方向に対して第2の傾斜角度で傾斜した第2の長軸方向を有する第2の磁気抵抗効果膜とを含み、
下記の条件式(1)および条件式(2)を満たす
磁気検出装置。
0°<θ1<90° ……(1)
−90°<θ2<0° ……(2)
ただし
θ1:第1の方向に対する第1の長軸方向の第1の傾斜角度
θ2:第1の方向に対する第2の長軸方向の第2の傾斜角度 - 下記の条件式(3)および条件式(4)を満たす
請求項1記載の磁気検出装置。
50°<θ1<72° ……(3)
−72°<θ2<−50° ……(4) - 前記第1の磁気抵抗効果膜は、前記第1の長軸方向と実質的に直交する第1の固着方向に固着された磁化を有する第1の磁化固着層を有し、
前記第2の磁気抵抗効果膜は、前記第2の長軸方向と実質的に直交する第2の固着方向に固着された磁化を有する第2の磁化固着層を有する
請求項1または請求項2記載の磁気検出装置。 - 前記第1の磁気抵抗効果膜は、前記第1の方向に固着された第1の磁化を有する第1の磁化固着層を有し、
前記第2の磁気抵抗効果膜は、前記第2の方向に固着された第2の磁化を有する第2の磁化固着層を有する
請求項1または請求項2記載の磁気検出装置。 - 前記第1の方向および前記第2の方向の双方と直交する第1の電流方向へ流れる第1の信号電流により前記第1の磁場を生成可能であり、前記第1の電流方向と反対の第2の電流方向へ流れる第2の信号電流により前記第2の磁場を生成可能である第1の導体をさらに備えた
請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の磁気検出装置。 - 前記第1の磁気検出素子および前記第2の磁気検出素子の双方と電気的に絶縁されつつ、前記第1の磁気検出素子および前記第2の磁気検出素子の双方と対向するように配置され、
第1のフィードバック電流が供給されることにより、前記第1の磁場と反対向きであって前記第1の磁気検出素子および前記第2の磁気検出素子の双方に付与される成分を含む第1のフィードバック磁場を生成可能であり、
第2のフィードバック電流が供給されることにより前記第2の磁場と反対向きであって前記第1の磁気検出素子および前記第2の磁気検出素子の双方に付与される成分を含む第2のフィードバック磁場を生成可能である、
第2の導体をさらに備えた
請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の磁気検出装置。 - 前記第1の磁気検出素子および前記第2の磁気検出素子は、いずれも、複数の前記第1の磁気抵抗効果膜と、複数の前記第2の磁気抵抗効果膜とを含み、
前記複数の第1の磁気抵抗効果膜における前記第1の長軸方向の前記第1の傾斜角度は、実質的に互いに等しく、
前記複数の第2の磁気抵抗効果膜における前記第2の長軸方向の前記第2の傾斜角度は、実質的に互いに等しい
請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の磁気検出装置。
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