JP2019211224A - アンテナ付半導体検査用装置 - Google Patents
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Abstract
Description
2 電気接続端子
3 アンテナ
10 検査用コンタクタ
11 コンタクトピン
20 絶縁性プローブカバー
21 非接触プローブ
30 可動基板
40 押さえ機構
50 接続ケーブル
80 検査用基板
100,101 アンテナ付半導体検査用装置
Claims (8)
- アンテナを一体に有するアンテナ付半導体を検査する検査装置であって、前記アンテナと非接触な状態で前記アンテナが出力する電波を受信する非接触プローブを有することを特徴とするアンテナ付半導体検査用装置。
- 昇降自在に設けられている可動基体を有し、前記非接触プローブは、前記アンテナに非接触で対向するように前記可動基体に設けられていることを特徴とする請求項1に記載のアンテナ付半導体検査用装置。
- 前記可動基体には、前記非接触プローブを少なくとも部分的に覆う絶縁性のプローブカバーが設けられている請求項2に記載のアンテナ付半導体検査用装置。
- 前記プローブカバーで前記アンテナ付半導体を全体的に押さえることを特徴とする請求項3に記載のアンテナ付半導体検査用装置。
- 前記非接触プローブの前記アンテナ付半導体に対向する部分が、前記プローブカバーで覆われないで露出していることを特徴とする請求項3又は4に記載のアンテナ付半導体検査用装置。
- 前記アンテナが複数個あり、それぞれのアンテナに対応して前記非接触プローブが設けられている請求項1乃至5のいずれか一項に記載のアンテナ付半導体検査用装置。
- 前記アンテナ出力を前記非接触プローブで受信した電気信号は、電気的接続手段を介して検査用基板に伝送されることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載のアンテナ付半導体検査用装置。
- 前記アンテナ付半導体の電気接続端子に電気的に接続する接触手段を有し、前記接触手段を介して前記電気接続端子と前記検査用基板とを電気的に接続することを特徴とする請求項1乃至7のいずれか一項に記載のアンテナ付半導体検査用装置。
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