JP2019203509A - 真空ポンプおよびその運転方法 - Google Patents
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- Control Of Positive-Displacement Pumps (AREA)
Abstract
Description
図1は、本発明の一実施形態に係る真空ポンプを示す模式図である。図1に示すように、真空ポンプは、気体を排気するポンプモジュール1と、このポンプモジュール1を駆動するモータ2と、モータ2に可変周波数の交流電力を供給するインバータ装置5と、インバータ装置5を制御する制御装置7とを備えている。
条件1:停電(瞬間的な停電)が復旧して電力の供給が再開されてから所定の時間以内(10秒以内、好ましくは5秒位内、さらに好ましくは2秒以内)に、エラーが発生したこと。
条件2:制御装置7からの指令に従ってインバータ装置5がモータ2の減速を開始した時点から所定の時間以内(10秒以内、好ましくは5秒位内、さらに好ましくは2秒以内)にエラーが発生したこと。
条件3:インバータ装置5がモータ2をその定格速度よりも低いアイドル速度(定格速度の50%未満、好ましくは30%未満、より好ましくは10%未満)で回転させているときにエラーが発生したこと。
期間1:停電が復旧して電力の供給が再開された時点から所定の時間(10秒、好ましくは5秒、さらに好ましくは2秒)が経過するまでの期間。
期間2:制御装置7からの指令に従ってインバータ装置5がモータ2の減速を開始した時点から所定の時間(10秒、好ましくは5秒、さらに好ましくは2秒)が経過するまでの期間。
期間3:インバータ装置5がモータ2をその定格速度よりも低いアイドル速度(定格速度の50%未満、好ましくは30%未満、より好ましくは10%未満)で回転させている期間。
2 モータ
5 インバータ装置
7 制御装置
8 密閉容器
11 コンバータ部
15 平滑コンデンサ
12 インバータ部
13 ゲートドライバ
16 インバータ制御部
22 カウンター
23,23A〜23E タイマー
Claims (10)
- 気体を排気するポンプモジュールと、
前記ポンプモジュールを駆動するモータと、
前記モータに可変周波数の交流電力を供給するインバータ装置と、
前記インバータ装置を制御する制御装置とを備え、
前記インバータ装置は、過電圧または過電流に起因するエラーが起こった場合には、自身の運転を停止し、
前記制御装置は、予め定められた期間内に発生したエラーを解除するためのエラー解除信号を前記インバータ装置に送信し、
前記インバータ装置は、前記エラー解除信号を受けると、前記予め定められた期間内に前記エラーが起こった場合には自身の運転を停止させないことを特徴とする真空ポンプ。 - 前記予め定められた期間は、停電が復旧して電力の供給が再開された時点から所定の時間が経過するまでの期間であることを特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ。
- 前記予め定められた期間は、前記制御装置からの指令に従って前記インバータ装置が前記モータの減速を開始した時点から所定の時間が経過するまでの期間であることを特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ。
- 前記予め定められた期間は、前記インバータ装置が前記モータをその定格速度よりも低いアイドル速度で回転させている期間であることを特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ。
- 前記制御装置は、前記エラーが発生した回数をカウントし、所定の監視時間内に前記エラーが発生しなかったときは前記カウントされた回数を0にリセットし、前記カウントされた回数が所定のしきい値に達した場合には、前記エラー解除信号を前記インバータ装置に送信しないことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
- 気体を排気するポンプモジュールと、
前記ポンプモジュールを駆動するモータと、
前記モータに可変周波数の交流電力を供給するインバータ装置と、
前記インバータ装置を制御する制御装置とを備えた真空ポンプの運転方法であって、
過電圧または過電流に起因するエラーが起こった場合には、前記インバータ装置の運転を停止させ、
予め定められた期間内に発生したエラーを解除するためのエラー解除信号を前記インバータ装置に送信し、
前記予め定められた期間内に前記エラーが起こった場合には前記インバータ装置の運転を停止させないことを特徴とする真空ポンプの運転方法。 - 前記予め定められた期間は、停電が復旧して電力の供給が再開された時点から所定の時間が経過するまでの期間であることを特徴とする請求項6に記載の真空ポンプの運転方法。
- 前記予め定められた期間は、前記制御装置からの指令に従って前記インバータ装置が前記モータの減速を開始した時点から所定の時間が経過するまでの期間であることを特徴とする請求項6に記載の真空ポンプの運転方法。
- 前記予め定められた期間は、前記インバータ装置が前記モータをその定格速度よりも低いアイドル速度で回転させている期間であることを特徴とする請求項6に記載の真空ポンプの運転方法。
- 前記エラーが発生した回数をカウントし、
所定の監視時間内に前記エラーが発生しなかったときは前記カウントされた回数を0にリセットし、
前記カウントされた回数が所定のしきい値に達した場合には、前記エラー解除信号を前記インバータ装置に送信しないことを特徴とする請求項6乃至9のいずれか一項に記載の真空ポンプの運転方法。
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