TWI641759B - 真空泵及其運轉方法 - Google Patents

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荏原製作所股份有限公司
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Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101664082B1 (ko) * 2015-07-10 2016-10-10 현대자동차 주식회사 차량 제동 시스템 및 그 제어 방법
JP6944797B2 (ja) * 2017-03-21 2021-10-06 株式会社日立産機システム 流体機械
JP7069559B2 (ja) * 2017-04-03 2022-05-18 株式会社島津製作所 真空ポンプのモータ異常検出装置および真空ポンプシステム
JP7353744B2 (ja) * 2018-11-08 2023-10-02 株式会社荏原製作所 制御ユニット、ポンプ装置、及び可変速制御器
JP7353743B2 (ja) * 2018-11-08 2023-10-02 株式会社荏原製作所 制御ユニット、及びポンプ装置

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007166815A (ja) * 2005-12-15 2007-06-28 Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial System Corp インバータ装置及びその過電圧保護方法
JP2010127107A (ja) * 2008-11-25 2010-06-10 Toyota Industries Corp 真空ポンプ装置における運転制御装置
JP2011050204A (ja) * 2009-08-28 2011-03-10 Ebara Corp ドライ真空ポンプ用電源装置、及びその運転方法
JP2011089428A (ja) * 2009-10-20 2011-05-06 Ebara Corp 真空ポンプ装置の運転制御装置、及び運転制御方法
WO2011108172A1 (ja) * 2010-03-05 2011-09-09 株式会社日立産機システム 電力変換装置および過負荷保護方法
CN102437553A (zh) * 2010-09-27 2012-05-02 富士电机株式会社 逆变器装置的过电压保护方法
JP2013192407A (ja) * 2012-03-14 2013-09-26 Fuji Electric Co Ltd 電力変換装置

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0719613A (ja) * 1993-07-05 1995-01-20 Toshiba Corp 空気調和機
JPH10169569A (ja) * 1996-12-11 1998-06-23 Calsonic Corp コンプレッサ制御装置

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007166815A (ja) * 2005-12-15 2007-06-28 Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial System Corp インバータ装置及びその過電圧保護方法
JP2010127107A (ja) * 2008-11-25 2010-06-10 Toyota Industries Corp 真空ポンプ装置における運転制御装置
JP2011050204A (ja) * 2009-08-28 2011-03-10 Ebara Corp ドライ真空ポンプ用電源装置、及びその運転方法
JP2011089428A (ja) * 2009-10-20 2011-05-06 Ebara Corp 真空ポンプ装置の運転制御装置、及び運転制御方法
WO2011108172A1 (ja) * 2010-03-05 2011-09-09 株式会社日立産機システム 電力変換装置および過負荷保護方法
CN102437553A (zh) * 2010-09-27 2012-05-02 富士电机株式会社 逆变器装置的过电压保护方法
JP2013192407A (ja) * 2012-03-14 2013-09-26 Fuji Electric Co Ltd 電力変換装置

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