JP2017120061A - ドライ真空ポンプ装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ポンプの異常の兆候を検出して、ポンプの予期せぬ停止を未然に防ぐことができるドライ真空ポンプ装置を提供する。【解決手段】ドライ真空ポンプ装置は、気体を排気するポンプ１と、ポンプ１を駆動するモータ２と、モータ２に可変周波数の交流電力を供給するインバータ装置５を備える。インバータ装置５は、モータ２に流れる電流を測定する電流測定器２０と、電流測定器２０によって測定された電流と、少なくとも１つのしきい値との比較結果に基づいて、警報信号を発する処理部１６とを有する。【選択図】図２

Description

本発明は、真空チャンバなど真空容器から気体を排気するドライ真空ポンプ装置に関するものである。

真空ポンプ装置は、半導体デバイス、液晶、太陽光パネル、ＬＥＤの製造設備の一つとして広く使用されている。これらの製造過程には、真空容器内で製品の処理を行う工程が含まれる。真空容器内に真空を形成するために、排気流路に油を使用せず、排気系を油で汚染するおそれが無いドライ真空ポンプ装置が広く用いられている。ドライ真空ポンプ装置は、駆動源としてモータを備えるものが一般的である。

所望のトルクを出力したり、ポンプ運転速度を変化させたりするために、インバータ装置を搭載したドライ真空ポンプ装置が広く普及している。インバータ装置は、モータに供給する駆動電力の周波数を商用周波数よりも増大させることができ、ポンプの運転速度を増加させてポンプの排気速度を上昇させることができる。また、高い排気速度を必要としないときは、ポンプの運転速度を低下させることによりモータの消費電力を抑え、省エネルギー効果を得ることができる。

特開２００４−１２４７６５号公報

稼働中のポンプに異常が発生し、排気速度が低下したりポンプの運転が停止すると、ポンプに接続されている真空容器内の圧力が上昇し、結果として真空容器内で製造処理中であった製品が性能劣化したり、使用不可能になったりする。特に、半導体デバイス、液晶、太陽光パネル、ＬＥＤなどの各製品は高価であるため、ポンプが停止したときに発生する損害額が大きくなってしまう。

本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであり、ポンプの異常の兆候を検出して、ポンプの予期せぬ停止を未然に防ぐことができるドライ真空ポンプ装置を提供することを目的とする。

上述した目的を達成するために、本発明の一態様は、気体を排気するポンプと、前記ポンプを駆動するモータと、前記モータに可変周波数の交流電力を供給するインバータ装置を備え、前記インバータ装置は、前記モータに流れる電流を測定する電流測定器と、前記電流測定器によって測定された電流と、少なくとも１つのしきい値との比較結果に基づいて、警報信号を発する処理部とを有することを特徴とするドライ真空ポンプ装置である。

本発明の一態様は、気体を排気するポンプと、前記ポンプを駆動するモータと、前記モータに可変周波数の交流電力を供給するインバータ装置と、前記インバータ装置の動作を制御する制御部とを備え、前記インバータ装置は、前記モータに流れる電流を測定する電流測定器を有しており、前記電流測定器で測定された電流の値を前記制御部に伝達し、前記制御部は、前記電流測定器で測定された電流と、少なくとも１つのしきい値との比較結果に基づいて、警報信号を発する処理部を有することを特徴とするドライ真空ポンプ装置である。

本発明の好ましい態様は、予め定められた設定時間内に前記電流がしきい値を超えた回数が所定回数以上である場合には、前記処理部は警報信号を発することを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記電流がしきい値よりも大きい状態が、予め定められた設定時間継続されている場合には、前記処理部は警報信号を発することを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記しきい値は、第１しきい値と、該第１しきい値よりも小さい第２しきい値から構成され、予め定められた第１設定時間内に前記電流が前記第１しきい値を超えた回数が所定回数以上である場合には、前記処理部は警報信号を発し、前記電流が前記第２しきい値よりも大きい状態が、予め定められた第２設定時間継続されている場合には、前記処理部は警報信号を発することを特徴とする。

本発明の好ましい態様は、前記ポンプおよび前記モータのうちの少なくとも一方に取り付けられた測定センサと、前記インバータ装置および前記測定センサに接続された制御部とを備え、前記制御部は、前記インバータ装置から前記警報信号を受け取り、前記測定センサの出力値と設定値との比較結果に基づいて、前記警報信号を外部の機器に発信するか否かを判断することを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記制御部は、前記測定センサの出力値が前記設定値よりも大きい場合には、前記警報信号を外部の機器に発信することを特徴とする。

処理部は、ポンプの異常の兆候を検出し、排気速度の低下や緊急停止が発生する前に警報信号を発する機能を有するので、予め製品の製造を中断し、ポンプのメンテナンスを実施することによって、製品に対する損害を回避することが可能になる。

本発明の一実施形態に係るドライ真空ポンプ装置を示す模式図である。 インバータ装置の模式図である。 ポンプが正常に運転されているときの排気流量とモータ電流を示すグラフである。 ポンプ異常に起因してモータ電流が上昇した一例を示すグラフである。 ポンプ異常に起因してモータ電流が上昇した他の例を示すグラフである。 インバータ装置の処理部の動作を示すフローチャートである。 モータ電流が上限しきい値を超えた例を示すグラフである。 モータ電流が第１しきい値を超えた例を示すグラフである。 モータ電流が第２しきい値を超えた例を示すグラフである。 ドライ真空ポンプ装置の他の実施形態を示す図である。 図１０に示す制御部の動作を示すフローチャートである。 ドライ真空ポンプ装置のさらに他の実施形態を示す図である。

以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。
図１は、本発明の一実施形態に係るドライ真空ポンプ装置を示す模式図である。図１に示すように、ドライ真空ポンプ装置は、気体を排気するポンプ１と、このポンプ１を駆動するモータ２と、モータ２に可変周波数の交流電力を供給するインバータ装置５とを備えている。

ポンプ１は、真空チャンバなどの真空容器８に接続されており、ポンプ１は真空容器８から気体を排気して真空容器８内に真空を形成することができる。ポンプ１としては、その内部に形成されている気体の流路にオイルを用いないドライ真空ポンプが使用される。このようなドライ真空ポンプは、半導体デバイス、液晶、太陽光パネル、ＬＥＤの製造に広く使用されている。

図２は、インバータ装置５の模式図である。図２に示すように、インバータ装置５は、コンバータ部１１、平滑コンデンサ１５、インバータ部１２、ゲートドライバ１３、および処理部１６を有している。コンバータ部１１はその内部に整流回路を有しており、電力供給源９から供給される交流電力を直流電力に変換するように構成されている。平滑コンデンサ１５は、変換された直流電力を平滑化するために設けられている。

インバータ部１２は、ＩＧＢＴ（絶縁ゲートバイポーラトランジスタ）などのスイッチング素子（パワー素子ともいう）を有しており、平滑化された直流電力から交流電力を生成する。ゲートドライバ１３は、インバータ部１２の各スイッチング素子を開閉するためのゲートドライブ信号を生成する。インバータ部１２のスイッチング素子は、ゲートドライバ１３からのゲートドライブ信号に従って駆動され、これによりインバータ部１２は可変周波数の交流電力を出力する。

電流測定器２０は、インバータ部１２から出力される電流を測定して、電流の測定値を処理部１６に送る。処理部１６は、電流測定器２０から送られる測定値、および外部から送られる速度指令値に基づいて、インバータ部１２から出力される交流電力を制御する。すなわち、処理部１６は、速度指令値を上位の制御部（図示せず）から受け、電流の測定値に基づいてＰＷＭ信号を生成する。このＰＷＭ信号はゲートドライバ１３に送られる。ゲートドライバ１３は、ＰＷＭ信号に基づいて、インバータ部１２のスイッチング素子を駆動するためのゲートドライブ信号を生成する。インバータ部１２のスイッチング素子は、ゲートドライバ１３からのゲートドライブ信号に従って駆動され、これによりインバータ部１２は可変周波数の交流電力をモータ２に出力する。

半導体デバイス、液晶、太陽光パネル、ＬＥＤなどの製造に使用される真空容器８には、処理ガスが供給される。ポンプ１は真空容器８から処理ガスを排出しながら、真空容器８内に真空を形成する。モータ２に加わる負荷は、ポンプ１に加わる負荷に依存して変わり、そのポンプ１に加わる負荷は、真空容器８内から排出される処理ガスの流量に依存して変わる。インバータ装置５は、モータ２に加わる負荷にかかわらず、モータ２を予め定められた速度で回転させるための電流を生成するように構成されている。すなわち、モータ２に加わる負荷が高いときは、インバータ装置５は、より高い電流を出力する。

図３は、ポンプ１が正常に運転されているときの、排気流量と、インバータ装置５からモータ２に流れる電流（以下、モータ電流という）を示すグラフである。図３に示すモータ電流は、ポンプ１が一定の速度で回転しているときの電流を表している。図３に示すように、真空容器８から気体の排気が開始された直後ではモータ電流は一時的に上昇するが、その後はほぼ一定に推移する。つまり、ポンプ１の負荷に相当する排気流量が一定である限り、モータ電流は一定である。

真空容器８から処理ガスを排気するにつれて、ポンプ１内に副生成物が析出することがある。ポンプ１は、ポンプケーシング内に微小なクリアランスを介して配置されたポンプロータを有しているため、ポンプロータが副生成物に接触し、ポンプ１にかかる負荷が増大することがある。また、気体の圧縮熱によりポンプロータおよびポンプケーシングが熱膨張し、ポンプロータ同士、および／またはポンプロータとポンプケーシングとが接触することがある。このような場合、ポンプ１の排気流量（すなわち、排気に起因してポンプ１にかかる負荷）が変化しないにもかかわらず、モータ電流が上昇することがある。

図４および図５は、副生成物の析出などのポンプ１の異常に起因して、モータ電流が上昇した例を示すグラフである。図４および図５に示す例では、図３に示す例と同じように、ポンプ１の排気流量は一定である。図４では、モータ電流が局所的に増加し、複数の急峻なピークが現れている。図５では、モータ電流は徐々に増加している。ポンプ１の負荷が過度に大きくなると、インバータ装置５の保護機能が作動してポンプ１が緊急停止してしまう。

そこで、そのようなポンプ１の緊急停止を回避するために、インバータ装置５の処理部１６は、電流測定器２０によって測定されたモータ電流を監視し、ポンプ１が緊急停止する前に警報信号を発するように構成されている。より具体的には、処理部１６は、モータ電流と、予め定められたしきい値とを比較し、モータ電流がしきい値を超えたか否かを判断する。上述したように、ポンプ１の負荷が増加すると、モータ電流が増加する。したがって、処理部１６は、電流測定器２０によって測定されたモータ電流に基づいて、モータ２の過負荷、すなわちポンプ１の動作不良を検出することができる。

以下に示す実施形態では、３つのしきい値、すなわち上限しきい値、第１しきい値、および第２しきい値が処理部１６内に予め記憶されている。上限しきい値は第１しきい値よりも大きく、第１しきい値は第２しきい値よりも大きい。上限しきい値は、インバータ装置５の上記保護機能が作動するトリガーとなる値であり、モータ電流の上限値である。モータ電流が上限しきい値を上回ったときは、インバータ装置５はモータ２への電力の出力を停止する。

第１しきい値および第２しきい値は、警報信号を発するための上述したしきい値に相当する。第１しきい値は、上限しきい値と第２しきい値との間の値である。第２しきい値は、ポンプ１が正常に動作している場合に、想定される最大負荷がポンプ１にかかるときのモータ電流に相当する値である。想定される最大負荷は、真空容器８に供給される気体（例えば処理ガス）の最大流量から決定することができる。

図６は、インバータ装置５の処理部１６の動作を示すフローチャートである。図６に示すように、処理部１６は、電流測定器２０によって測定されたモータ電流が上限しきい値よりも大きいか否かを判断する（ステップ１）。図７に示すように、モータ電流が上限しきい値よりも大きい場合、処理部１６は、インバータ装置５からモータ２への電力供給を停止し、ポンプ１およびモータ２の運転を緊急停止する（ステップ２）。

上記ステップ１において、モータ電流が上限しきい値以下の場合には、処理部１６は、モータ電流が第１しきい値よりも大きいか否かを判断する（ステップ３）。モータ電流が第１しきい値よりも大きい場合、処理部１６は、図８に示すように、予め定められた第１設定時間（ｘ秒）内にモータ電流が第１しきい値を超えた回数が所定回数以上であるか否かを判断する（ステップ４）。第１設定時間（ｘ秒）内にモータ電流が第１しきい値を超えた回数が所定回数以上である場合は、処理部１６は、ポンプ１の緊急停止の危険が高まっていることを知らせる警報信号を発する（ステップ５）。警報信号を発した後、処理部１６は、ステップ１を再度実行する。

上記ステップ３においてモータ電流が第１しきい値以下の場合、または上記ステップ４において第１設定時間（ｘ秒）内にモータ電流が第１しきい値を超えた回数が所定回数よりも少ない場合には、処理部１６は、モータ電流が第２しきい値よりも大きいか否かを判断する（ステップ６）。第２しきい値は、上述したように、第１しきい値よりも小さい値である。モータ電流が第２しきい値よりも大きい場合、処理部１６は、図９に示すように、モータ電流が第２しきい値よりも大きい状態が、予め定められた第２設定時間（ｙ秒）継続されているか否かを判断する（ステップ７）。モータ電流が第２しきい値よりも大きい状態が、第２設定時間（ｙ秒）継続されている場合には、処理部１６は、ポンプ１の緊急停止の危険が高まっていることを知らせる警報信号を発する（ステップ８）。警報信号を発した後、処理部１６は、ステップ１を再度実行する。

上記ステップ６においてモータ電流が第２しきい値以下の場合、または上記ステップ７においてモータ電流が第２しきい値よりも大きい状態が、第２設定時間（ｙ秒）継続されなかった場合にも、同様に、処理部１６は、ステップ１を再度実行する。第２設定時間（ｙ秒）は、上述した第１設定時間（ｘ秒）と同じであってもよく、または異なってもよい。

このように、上述した実施形態によれば、ポンプ１が緊急停止される前に、ポンプ１の異常を示す警報信号が発せられるので、ユーザーは、真空容器８内での製品の製造を中断し、ポンプ１のメンテナンスを実施することによって、製品に対する損害を回避することが可能になる。上述したステップ３からステップ５までの動作、またはステップ６からステップ８までの動作のいずれかは省略してもよい。この場合でも、ポンプ１が緊急停止される前に警報信号が発せられる。ただし、ポンプ１の異常の検出精度を高めるために、上述したステップ３からステップ５までの動作、およびステップ６からステップ８までの動作の両方を実行することが好ましい。

インバータ装置５の処理部１６は、ポンプ１の稼働時間を記憶する機能を有している。一般に、ポンプ１の稼働時間が長くなるにつれて、ポンプ１の緊急停止の危険は高まる。そこで、一実施形態では、処理部１６は、ポンプ１の稼働時間に従って第１しきい値および／または第２しきい値を下げてもよい。第１しきい値および／または第２しきい値を下げることで、処理部１６は、より速やかにポンプ１の異常を検出することができる。

上述した処理部１６および電流測定器２０は、インバータ装置５の構成要素であり、インバータ装置５に組み込まれている。したがって、モータ電流を測定するための電流計、およびモータ電流としきい値とを比較するための機器を付加的に設ける必要がない。結果として、ドライ真空ポンプ装置の製造コストを下げることができる。

さらに、インバータ装置５への入力電圧が変化したときでも、電流測定器２０の測定点での電圧は、インバータ装置５によって一定に維持されるので、電流測定器２０の測定点での電流（すなわちモータ電流）は、入力電圧の変化に依存せず、ポンプ１の負荷に応じて変化する。したがって、入力電圧の変化に起因したモータ電流の変化を考慮することなく、上述したしきい値を設定することができる。結果として、処理部１６は、ポンプ１の異常を精度よく検出することができる。

もし、インバータ装置５を介さずにモータ２が電源９に直接接続されていると、入力電圧の変化に伴って、モータ電流も変化してしまう。さらに、商用電源の標準電圧が異なる地域にポンプ装置が設置された場合にも、モータ電流は入力電圧の違いの影響を受けて変化する。このため、しきい値をある程度の余裕を持たせて設定する必要があり、結果として、ポンプ１の異常の検出精度が落ちてしまう。本実施形態では、インバータ装置５に電流測定器２０が組み込まれているので、入力電圧の変化の影響を排除することができる。したがって、処理部１６は、ポンプ１の異常を精度よく検出することができる。

インバータ装置とは別に、上述したようなポンプ異常検出ユニットを設けることも考えられる。しかしながら、ポンプ異常検出ユニットが接続されるポンプには個体差があるため、同一条件下でポンプが運転している場合であっても、モータ電流が異なることがある。このため、上述したしきい値を設定した後に、ドライ真空ポンプ装置の設置現場でポンプごとにしきい値を調整する必要がある。これに対し、本実施形態では、インバータ装置５自体がポンプ異常検出ユニットとして機能する処理部１６および電流測定器２０を備えているので、ドライ真空ポンプ装置の組み立て時にしきい値の設定を一旦行えば、その後、しきい値の調整は不要である。

図１０は、ドライ真空ポンプ装置の他の実施形態を示す図である。特に説明しない本実施形態の構成および動作は、上述した実施形態と同じであるので、その重複する説明を省略する。

本実施形態に係るドライ真空ポンプ装置は、ポンプ１および／またはモータ２に取り付けられた測定センサ３０と、インバータ装置５および測定センサ３０に接続された制御部３５をさらに備えている。測定センサ３０は、ポンプ温度センサ、ポンプ内圧センサ、モータ温度センサ、振動センサ、排気流量センサ、および騒音センサのうちの少なくとも１つを含む。制御部３５は、測定センサ３０の出力値、および外部機器またはユーザーからの指令に従ってインバータ装置５の動作を制御するように構成されている。

インバータ装置５は、電流測定器２０（図２参照）によって測定されたモータ電流と、上記第１しきい値および第２しきい値との比較に基づいて、警報信号を発生し、その警報信号を制御部３５に送信する。制御部３５は、警報信号を受け取り、測定センサ３０の出力値と、予め定められた設定値とを比較し、その比較結果に基づいて、警報信号を外部に発信するか否かを判断する。

図１１は、図１０に示す制御部３５の動作を示すフローチャートである。図１１に示す実施形態では、測定センサ３０には、ポンプ内圧センサ、ポンプ温度センサ、およびモータ温度センサが含まれる。制御部３５は、インバータ装置５から警報信号を受信したか否かを判断する（ステップ１）。インバータ装置５から警報信号を受信した場合、制御部３５は、ポンプ内圧センサから送られたポンプ１の内圧の測定値が、第１設定値よりも大きいか否かを判断する（ステップ２）。ポンプ１の内圧の測定値が第１設定値よりも大きい場合には、制御部３５は、警報信号を外部の機器（例えば、警報器）に発信する（ステップ３）。

上記ステップ２において、ポンプ１の内圧の測定値が第１設定値以下である場合には、制御部３５は、ポンプ温度センサから送られたポンプ１の温度の測定値が、第２設定値よりも大きいか否かを判断する（ステップ４）。ポンプ１の温度の測定値が第２設定値よりも大きい場合には、制御部３５は、警報信号を外部の機器（例えば、警報器）に発信する（ステップ５）。

上記ステップ４において、ポンプ１の温度の測定値が第２設定値以下である場合には、制御部３５は、モータ温度センサから送られたモータ２の温度の測定値が、第３設定値よりも大きいか否かを判断する（ステップ６）。モータ２の温度の測定値が第３設定値よりも大きい場合には、制御部３５は、警報信号を外部の機器（例えば、警報器）に発信する（ステップ７）。上記ステップ６において、モータ２の温度の測定値が第３設定値以下である場合には、制御部３５は、ステップ１を再度実行する。上記ステップ１において、制御部３５が、インバータ装置５から警報信号を受信していない場合にも、同様に、制御部３５はステップ１を再度実行する。

このように、インバータ装置５から発せられた警報信号は、制御部３５に送られ、制御部３５は測定センサ３０の出力値（上記各測定値）と設定値との比較結果に基づいて、警報信号を外部の機器に送信するか否かを判断する。例えば、ポンプ１の排気流量が小さい場合には、真空容器８内で製品の処理が行われていないと考えられる。このような場合には、警報をユーザーに知らせる必要性は低い。一般に、ポンプ１の温度が低いとき、処理ガスの副生成物がポンプ１内に析出しやすいことが知られている。したがって、ポンプ１の温度が低い場合には、副生成物がポンプ１内に析出するのは必然といえる。したがって、このような場合には、警報をユーザーに知らせる必要性は低い。さらに、ポンプ１の運転開始直後では、ポンプ１はアイドル運転中にある。アイドル運転時のポンプ１の温度は、一般に低い。したがって、このような場合には、警報をユーザーに知らせる必要性は低い。

このように、インバータ装置５が警報信号を発した場合であっても、制御部３５は、警報信号を外部に送信すべきか否かを測定センサ３０の出力値に基づいて判断するので、ポンプ１の異常の検出精度をさらに高めることができる。

上述した実施形態では、インバータ装置５の処理部１６がモータ電流の異常を判定して警報信号を発信するように構成されているが、一実施形態では、インバータ装置５の処理部１６がモータ電流の異常を示す信号を制御部３５に送信し、制御部３５が警報信号を外部に発信するようにしてもよい。

さらに、一実施形態では、図１２に示すように、制御部３５は、インバータ装置５の処理部１６の上述したモータ電流の監視機能を持つ処理部３６を有していてもよい。本実施形態では、インバータ装置５の電流測定器２０はモータ電流を測定し、その測定値を制御部３５に送信し、制御部３５の処理部３６は、電流測定器２０で測定されたモータ電流と、少なくとも１つのしきい値（第１しきい値および／または第２しきい値）との比較結果に基づいて、警報信号を発するように構成される。

この実施形態によれば、インバータ装置５の処理部１６は、モータ電流と第１しきい値および／または第２しきい値とを比較する機能を持たなくてもよいので、インバータ装置５として汎用のインバータ装置を使用することができる。したがって、ドライ真空ポンプ装置の製造コストをさらに下げることができる。制御部３５は、上述した実施形態と同様に、測定センサ３０の出力値と、予め定められた設定値とを比較し、その比較結果に基づいて、警報信号を外部に発信するか否かを判断するように構成されてもよい。

上述した実施形態は、本発明が属する技術分野における通常の知識を有する者が本発明を実施できることを目的として記載されたものである。上記実施形態の種々の変形例は、当業者であれば当然になしうることであり、本発明の技術的思想は他の実施形態にも適用しうることである。したがって、本発明は、記載された実施形態に限定されることはなく、特許請求の範囲によって定義される技術的思想に従った最も広い範囲に解釈されるものである。

１ ポンプ
２ モータ
５ インバータ装置
８ 密閉容器
９ 電力供給源
１１ コンバータ部
１５ 平滑コンデンサ
１２ インバータ部
１３ ゲートドライバ
１６ 処理部
２０ 電流測定器
３０ 測定センサ
３５ 制御部
３６ 処理部

Claims (7)

1. 気体を排気するポンプと、
   前記ポンプを駆動するモータと、
   前記モータに可変周波数の交流電力を供給するインバータ装置を備え、
   前記インバータ装置は、
   前記モータに流れる電流を測定する電流測定器と、
   前記電流測定器によって測定された電流と、少なくとも１つのしきい値との比較結果に基づいて、警報信号を発する処理部とを有することを特徴とするドライ真空ポンプ装置。
2. 気体を排気するポンプと、
   前記ポンプを駆動するモータと、
   前記モータに可変周波数の交流電力を供給するインバータ装置と、
   前記インバータ装置の動作を制御する制御部とを備え、
   前記インバータ装置は、前記モータに流れる電流を測定する電流測定器を有しており、前記電流測定器で測定された電流の値を前記制御部に伝達し、
   前記制御部は、前記電流測定器で測定された電流と、少なくとも１つのしきい値との比較結果に基づいて、警報信号を発する処理部を有することを特徴とするドライ真空ポンプ装置。
3. 予め定められた設定時間内に前記電流がしきい値を超えた回数が所定回数以上である場合には、前記処理部は警報信号を発することを特徴とする請求項１または２に記載のドライ真空ポンプ装置。
4. 前記電流がしきい値よりも大きい状態が、予め定められた設定時間継続されている場合には、前記処理部は警報信号を発することを特徴とする請求項１または２に記載のドライ真空ポンプ装置。
5. 前記しきい値は、第１しきい値と、該第１しきい値よりも小さい第２しきい値から構成され、
   予め定められた第１設定時間内に前記電流が前記第１しきい値を超えた回数が所定回数以上である場合には、前記処理部は警報信号を発し、
   前記電流が前記第２しきい値よりも大きい状態が、予め定められた第２設定時間継続されている場合には、前記処理部は警報信号を発することを特徴とする請求項１または２に記載のドライ真空ポンプ装置。
6. 前記ポンプおよび前記モータのうちの少なくとも一方に取り付けられた測定センサと、
   前記インバータ装置および前記測定センサに接続された制御部とを備え、
   前記制御部は、前記インバータ装置から前記警報信号を受け取り、前記測定センサの出力値と設定値との比較結果に基づいて、前記警報信号を外部の機器に発信するか否かを判断することを特徴とする請求項１に記載のドライ真空ポンプ装置。
7. 前記制御部は、前記測定センサの出力値が前記設定値よりも大きい場合には、前記警報信号を外部の機器に発信することを特徴とする請求項６に記載のドライ真空ポンプ装置。
   
   

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