JP2014152650A - ドライ真空ポンプ装置 - Google Patents

Abstract

【課題】停電などの電源障害が起きたときに、ポンプ制御部を継続して動作させることができるドライ真空ポンプ装置を提供する。
【解決手段】ドライ真空ポンプ装置は、ポンプ２と、ポンプ２を回転駆動させるモータ３と、モータ３の回転速度を制御するモータドライバ６と、モータドライバ６を制御するポンプ制御部１０と、ＡＣ電源１２からの交流電力を直流電力に変換するし、変換された直流電力をポンプ制御部１０に供給する電源部１１と、冷却水が流れる冷却水流路２１と、冷却水流路２１を流れる冷却水によって駆動される発電装置２３と、発電装置２３によって生成された電力をポンプ制御部１０に供給するための電力伝達線２４を備える。
【選択図】図１

Description

本発明は、ドライ真空ポンプ装置に関し、特に発電装置を備えたドライ真空ポンプ装置に関する。

ドライ真空ポンプ装置は、半導体デバイス、液晶、太陽光パネル、ＬＥＤなどの工場で生産設備の一部として広く使用されている。ドライ真空ポンプ装置が停止すると、生産ラインが停止し、甚大な被害に繋がる。したがって、ドライ真空ポンプ装置には不測の事態においても正常に動作を続けることが要求される。例えば、落雷等による瞬時電力低下（瞬低）等の電源障害に対しても、ある程度の耐性を持つことが求められる。

ドライ真空ポンプ装置は、通常、モータドライバに設置されたコンデンサを備えている。コンデンサは電力を保持することができるので、瞬停時にはコンデンサからモータに電力が一時的に供給される。図１０は、一般的なドライ真空ポンプ装置を示す模式図である。ドライ真空ポンプ装置は、ポンプ１０１と、ポンプ１０１を回転駆動させるモータ１０２と、モータ１０２の回転速度を制御するモータドライバ１０３と、モータドライバ１０３の動作を制御するポンプ制御部１０４とを備えている。モータドライバ１０３は、ブレーカ１０６を介して商用電源などのＡＣ電源１０７に接続されている。

モータドライバ１０３は、ＡＣ電源１０７から供給された交流電力を直流電力に変換するコンバータ１１０と、変換された直流電力を所望の周波数を有する交流電力に変換するインバータ１１１と、インバータ１１１のスイッチング素子Ｓ１〜Ｓ６のＯＮ−ＯＦＦ動作を指令するゲートドライブ信号をインバータ１１１に送るドライバ制御部１１２とを備えている。コンバータ１１０には、電圧を平滑化するためのコンデンサＣ１が備えられている。このコンデンサＣ１は、電力を保持する機能を有しているので、瞬低時には一時的にコンデンサＣ１から電力がインバータ１１１に供給される。

ポンプ制御部１０４は、ポンプ１０１の指令速度などに基づいてＰＷＭ信号を生成し、これをドライバ制御部１１２に送信する。ポンプ制御部１０４は、ドライ真空ポンプ装置全体の動作を制御し、さらに外部の上位機器との通信をするように構成されている。停電などに起因して電源障害が発生したときは、ポンプ制御部１０４は外部の上位機器にアラーム信号を送信したり、ポンプ制御部１０４に備えられている表示器に電源障害を知らせる情報を表示したり、さらには、電源障害が発生したときのポンプ運転情報を記録するように構成されている。

ポンプ制御部１０４には電源部１１５が接続されている。この電源部１１５はブレーカ１０６を介してＡＣ電源１０７に接続されている。電源部１１５はＡＣ電源１０７から供給される交流電力を直流電力に変換し、これをポンプ制御部１０４に供給する。ポンプ制御部１０４には、電圧を平滑化するためのコンデンサＣ２が備えられている。このコンデンサＣ２は、電力を保持する機能を有しているので、電源障害時には一時的にコンデンサＣ２から電力がポンプ制御部１０４に供給される。

特開昭６１−１９７７９３号公報 特開２０１１−６９２９４号公報

上述したように、ポンプ制御部１０４は装置全体の制御のみならず外部との通信などの様々な動作を実行するため、電源障害時であってもその動作を継続することが求められる。しかしながら、コンデンサＣ２の本来の目的は電圧を平滑にすることであるため、コンデンサＣ２はポンプ制御部１０４を長時間駆動するのに十分な容量を有していない。このため、電源障害時には外部との通信が途絶えてしまう。

本発明は、上述した問題を解決するためになされたものであり、停電などの電源障害が起きたときに、ポンプ制御部を継続して動作させることができるドライ真空ポンプ装置を提供することを目的とする。

上述した目的を達成するために、本発明の一態様は、排気を行うポンプと、前記ポンプを回転駆動させるモータと、前記モータの回転速度を制御するモータドライバと、前記モータドライバを制御するポンプ制御部と、ＡＣ電源からの交流電力を直流電力に変換し、変換された前記直流電力を前記ポンプ制御部に供給する電源部と、前記ポンプ、前記モータ、および前記モータドライバのうちの少なくとも１つを冷却するための冷却水が流れる冷却水流路と、前記冷却水流路を流れる前記冷却水によって駆動される発電装置と、前記発電装置によって生成された電力を前記ポンプ制御部に供給するための電力伝達線とを備えたことを特徴とするドライ真空ポンプ装置である。

本発明の好ましい態様は、前記発電装置と前記電源部とは互いに並列に接続されていることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記発電装置によって生成された電力を蓄える蓄電池をさらに備えたことを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記電源部、前記発電装置、および前記蓄電池は互いに並列に接続されていることを特徴とする。

本発明の他の態様は、排気を行うポンプと、前記ポンプを回転駆動させるモータと、前記モータの回転速度を制御するモータドライバと、前記モータドライバを制御するポンプ制御部と、ＡＣ電源からの交流電力を直流電力に変換し、変換された前記直流電力を前記ポンプ制御部に供給する電源部と、前記ポンプに接続されたパージガス流路と、前記パージガス流路を流れるパージガスによって駆動される発電装置と、前記発電装置によって生成された電力を前記ポンプ制御部に供給するための電力伝達線とを備えたことを特徴とするドライ真空ポンプ装置である。

本発明の好ましい態様は、前記発電装置と前記電源部とは互いに並列に接続されていることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記発電装置によって生成された電力を蓄える蓄電池をさらに備えたことを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記電源部、前記発電装置、および前記蓄電池は互いに並列に接続されていることを特徴とする。

本発明のさらに他の態様は、排気を行うポンプと、前記ポンプを回転駆動させるモータと、前記モータの回転速度を制御するモータドライバと、前記モータドライバを制御するポンプ制御部と、ＡＣ電源からの交流電力を直流電力に変換し、変換された前記直流電力を前記ポンプ制御部に供給する電源部と、前記ポンプ、前記モータ、および前記モータドライバのうちの少なくとも１つを冷却するための冷却水が流れる冷却水流路と、前記冷却水流路を流れる前記冷却水によって駆動される第１の発電装置と、前記ポンプに接続されたパージガス流路と、前記パージガス流路を流れるパージガスによって駆動される第２の発電装置と、前記第１の発電装置によって生成された電力を前記ポンプ制御部に供給するための第１の電力伝達線と、前記第２の発電装置によって生成された電力を前記ポンプ制御部に供給するための第２の電力伝達線とを備えたことを特徴とするドライ真空ポンプ装置である。

本発明の好ましい態様は、前記電源部、前記第１の発電装置、および前記第２の発電装置は互いに並列に接続されていることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記第１の発電装置および前記第２の発電装置によって生成された電力を蓄える蓄電池をさらに備えたことを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記電源部、前記第１の発電装置、前記第２の発電装置、および前記蓄電池は互いに並列に接続されていることを特徴とする。

本発明によれば、ユーティリティ流体として工場から供給される冷却水および／またはパージガスの流れによって発電装置が駆動される。したがって、電源障害時には、ポンプ制御部は発電装置から供給される電力によってその運転を継続することができる。

本発明の第１の実施形態に係るドライ真空ポンプ装置を示す模式図である。 図１に示す発電装置、電源部、およびポンプ制御部の配線図である。 発電装置によって生成された電力を蓄えるための蓄電池が設けられた例を示す配線図である。 本発明の第２の実施形態に係るドライ真空ポンプ装置を示す模式図である。 図４に示す発電装置、電源部、およびポンプ制御部の配線図である。 発電装置によって生成された電力を蓄えるための蓄電池が設けられた例を示す配線図である。 本発明の第３の実施形態に係るドライ真空ポンプ装置を示す模式図である。 図７に示す第１の発電装置、第２の発電装置、電源部、およびポンプ制御部の配線図である。 第１の発電装置および第２の発電装置によって生成された電力を蓄えるための蓄電池が設けられた例を示す配線図である。 一般的なドライ真空ポンプ装置を示す模式図である。

以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。図１は本発明の第１の実施形態に係るドライ真空ポンプ装置を示す模式図である。図１に示すように、ドライ真空ポンプ装置１は、排気を行うポンプ２と、ポンプ２を回転駆動させるモータ３と、モータ３の回転速度を制御するモータドライバ６と、モータ３の運転情報に基づきモータドライバ６の動作を制御するポンプ制御部１０とを備えている。ポンプ２は、その内部に形成されているガス流路にオイルを使用しないドライ真空ポンプである。ポンプ２は一対のポンプロータ（図示せず）を互いに反対方向に回転させることによって気体を吸込口から排気口に移送するように構成されている。

ポンプ制御部１０は、モータ３の運転情報として、モータドライバ６からモータ３に供給される電流値を受け取り、この電流値からモータ３の回転速度を算出し、予め定められた目標回転速度と算出された回転速度との差に基づいてＰＷＭ信号を生成し、これをモータドライバ６のドライバ制御部（図１０参照）に送信する。モータドライバ６はＰＷＭ信号に従ってスイッチング素子（図１０参照）を駆動し、モータ３を目標回転速度で回転させるための電圧をモータ３に印加する。さらに、ポンプ制御部１０は、ユーザの操作に従ってポンプ２の起動信号および停止信号をモータドライバ６に送信するように構成されている。

ポンプ制御部１０は電源部１１に接続されている。モータドライバ６および電源部１１は商用電源などのＡＣ電源１２に接続されており、ＡＣ電源１２から交流電力がモータドライバ６および電源部１１に供給されるようになっている。電源部１１は交流電力を直流電力に変換し、これをポンプ制御部１０に供給する。モータドライバ６および電源部１１は、図１０に示すモータドライバ１０３および電源部１１５と同じ構成を有しているのでその詳細な説明を省略する。

ポンプ制御部１０は、ドライ真空ポンプ装置１全体の動作を制御し、さらに外部の上位機器との通信をするように構成されている。停電などに起因して電源障害が発生したときは、ポンプ制御部１０は外部の上位機器にアラーム信号を送信したり、ポンプ制御部１０に備えられている表示器に電源障害を知らせる情報を表示したり、さらには、電源障害が発生したときのポンプ運転情報を記録するように構成されている。

ドライ真空ポンプ装置１は、ポンプ２、モータ３、およびモータドライバ６を冷却するための冷却水が流れる冷却水流路２１を備えている。この冷却水流路２１は、ポンプ２、モータ３、およびモータドライバ６に接触するように配置されている。冷却水は、ドライ真空ポンプ装置１が設置されている施設（工場など）に備えられているユーティリティシステムから供給されるユーティリティ流体（多目的流体）である。冷却水流路２１を流れる冷却水は、ポンプ２、モータ３、およびモータドライバ６から生じた熱を奪うことによって、これらを冷却する。

ポンプ２は、ガスを圧縮する際に圧縮熱を発生する。ポンプ２が圧縮熱により熱膨張を起こすと、ポンプロータ間および／またはポンプロータとポンプケーシング間のクリアランスが変化し、ポンプ性能が低下してしまう。さらには、ポンプロータがポンプケーシングに接触してポンプ２が故障することもある。このようなポンプ性能の低下やポンプ２の故障を防止するために、ポンプ２の運転中は冷却水によってポンプ２が冷却される。モータ３およびモータドライバ６も、電流が流れることによって発熱する。過熱によるこれらモータ３およびモータドライバ６の故障を防止するために、冷却水によってモータ３およびモータドライバ６が冷却される。

冷却水流路２１には、冷却水の流量を測定する冷却水流量計２２が設けられている。流量の測定値は冷却水流量計２２からポンプ制御部１０に送信されるようになっている。冷却水流路２１には発電装置２３が設けられている。この発電装置２３は、図示しない羽根車およびこれに連結された発電機を備えており、冷却水流路２１を流れる冷却水が羽根車を回転させることによって発電機が駆動されるようになっている。この発電装置２３は電力伝達線２４を介してポンプ制御部１０に接続されており、発電装置２３によって発電された電力はポンプ制御部１０に電力伝達線２４を介して供給されるようになっている。

図２は、発電装置２３、電源部１１、およびポンプ制御部１０の配線図である。図２から分かるように、発電装置２３と電源部１１とは互いに並列に接続されている。発電装置２３から電源部１１に電流が流れないようにダイオードＤ１が設けられている。同様に、電源部１１から発電装置２３に電流が流れないようにダイオードＤ２が設けられている。発電装置２３の出力電圧Ｖ２は、電源部１１の出力電圧Ｖ１よりも小さく設定されている。したがって、電源部１１が電圧Ｖ１をポンプ制御部１０に印加しているときは、発電装置２３からポンプ制御部１０には電力は供給されない。冷却水が流れている限り発電装置２３は発電しているが、生成された電力は発電装置２３の内部損失によって熱に変換され、大気中に放出される。

停電などによりＡＣ電源１２からの電力供給が停止されると、電圧Ｖ１が低下し、やがて０となる。したがって、発電装置２３の出力電圧Ｖ２が電源部１１の出力電圧Ｖ１よりも大きくなり、電圧Ｖ２がポンプ制御部１０に印加される。このように、電源部１１の出力電圧Ｖ１と発電装置２３の出力電圧Ｖ２との関係に依存して、電源部１１または発電装置２３のいずれかから自動的にポンプ制御部１０に電力が供給される。

発電装置２３の出力電圧Ｖ２を電源部１１の出力電圧Ｖ１よりも大きく設定してもよい。この場合は、通常の運転時には発電装置２３からポンプ制御部１０に電力が供給される。冷却水の供給が停止されたときにのみ、電源部１１からポンプ制御部１０に電力が供給される。

停電などにより電源障害が発生したときは、冷却水が冷却水流路２１を流れている限り、発電装置２３からポンプ制御部１０に電力が供給される。したがって、ポンプ制御部１０はその動作を継続することができ、外部装置へのアラーム信号の送信や、電源障害の表示などの各種動作を実行することができる。

図３に示すように、発電装置２３によって生成された電力を蓄えるための蓄電池２６を設けてもよい。この蓄電池２６は発電装置２３および電源部１１に並列に接続されている。したがって、発電装置２３の出力電圧、電源部１１の出力電圧、および蓄電池２６の出力電圧のうちの最も高い電圧がポンプ制御部１０に印加される。

図１に示すように、ドライ真空ポンプ装置１は、パージガスが流れるパージガス流路２８をさらに備えている。このパージガス流路２８には、上述したユーティリティシステムからユーティリティ流体としてのパージガスが供給されるようになっている。パージガス流路２８はポンプ２に接続されており、ポンプ２内の気体流路に供給されるようになっている。パージガスとしては通常窒素ガスが使用される。パージガス流路２８には、パージガスの流量を測定するパージガス流量計３０が設けられている。流量の測定値はパージガス流量計３０からポンプ制御部１０に送信される。

ドライ真空ポンプ装置１は、半導体デバイスの製造工程において使用されることが多い。半導体デバイスの製造工程で使用される処理ガスには、ポンプ２を腐食させる性質を持つものもある。このような腐食性ガスをポンプ２が排気すると、ポンプ２が腐食するおそれがある。また、処理ガスをポンプ２が排気するにつれて、反応副生成物がポンプ２内に次第に堆積することがある。このような反応副生成物は、ポンプロータの正常な回転を阻害してしまう。そこで、このような腐食性ガスによるポンプ２の腐食を防止するために、および／または反応副生成物の堆積を防止するために、パージガスがポンプ２に供給される。

図４は、本発明の第２の実施形態に係るドライ真空ポンプ装置１を示す模式図である。この第２の実施形態は基本的に第１の実施形態と同じであるが、パージガス流路２８に発電装置３１が設けられている点で異なっている。この発電装置３１は、図示しない羽根車およびこれに連結された発電機を備えており、パージガス流路２８を流れるパージガスが羽根車を回転させることによって発電機が駆動されるようになっている。この発電装置３１は電力伝達線３３を介してポンプ制御部１０に接続されており、発電装置３１によって発電された電力は電力伝達線３３を介してポンプ制御部１０に供給されるようになっている。

図５は、発電装置３１、電源部１１、およびポンプ制御部１０の配線図である。発電装置３１と電源部１１とは互いに並列に接続されている。発電装置３１から電源部１１に電流が流れないようにダイオードＤ１が設けられている。同様に、電源部１１から発電装置３１に電流が流れないようにダイオードＤ３が設けられている。発電装置３１の出力電圧Ｖ３は、電源部１１の出力電圧Ｖ１よりも小さく設定されている。したがって、電源部１１が電圧Ｖ１をポンプ制御部１０に印加しているときは、発電装置３１からポンプ制御部１０には電力は供給されない。第１の実施形態と同様に、停電などによりＡＣ電源１２からの電力供給が停止されたときにのみ、発電装置３１からポンプ制御部１０に電力が供給される。

発電装置３１の出力電圧Ｖ３を電源部１１の出力電圧Ｖ１よりも大きく設定してもよい。この場合は、通常の運転時では発電装置３１からポンプ制御部１０に電力が供給される。パージガスの供給が停止されたときにのみ、電源部１１からポンプ制御部１０に電力が供給される。

図６に示すように、発電装置３１によって生成された電力を蓄えるための蓄電池２６を設けてもよい。この蓄電池２６は発電装置３１および電源部１１に並列に接続されている。したがって、発電装置３１の出力電圧、電源部１１の出力電圧、および蓄電池２６の出力電圧のうちの最も高い電圧がポンプ制御部１０に印加される。

図７は、本発明の第３の実施形態に係るドライ真空ポンプ装置１を示す模式図である。この第３の実施形態は、第１の実施形態と第２の実施形態とを組み合わせたものである。すなわち、図７に示すように、ドライ真空ポンプ装置１は、冷却水流路２１を流れる冷却水によって駆動される第１の発電装置２３と、パージガス流路２８を流れるパージガスによって駆動される第２の発電装置３１とを備えている。これら第１の発電装置２３および第２の発電装置３１は、それぞれ第１の電力伝達線２４および第２の電力伝達線３３を介してポンプ制御部１０に接続されている。

図８は、第１の発電装置２３、第２の発電装置３１、電源部１１、およびポンプ制御部１０の配線図である。第１の発電装置２３、第２の発電装置３１、および電源部１１は互いに並列に接続されている。第１の発電装置２３および第２の発電装置３１から電源部１１に電流が流れないようにダイオードＤ１が設けられている。同様に、電源部１１から第１の発電装置２３に電流が流れないようにダイオードＤ２が設けられ、電源部１１から第２の発電装置３１に電流が流れないようにダイオードＤ３が設けられている。

第１の発電装置２３の出力電圧Ｖ２および第２の発電装置３１の出力電圧Ｖ３は、電源部１１の出力電圧Ｖ１よりも小さく設定されている。したがって、電源部１１が電圧Ｖ１をポンプ制御部１０に印加しているときは、第１の発電装置２３および第２の発電装置３１からポンプ制御部１０には電力は供給されない。第１および第２の実施形態と同様に、停電などによりＡＣ電源１２からの電力供給が停止されたときにのみ、第１の発電装置２３または第２の発電装置３１からポンプ制御部１０に電力が供給される。第１の発電装置２３の出力電圧Ｖ２および第２の発電装置３１の出力電圧Ｖ３は、同じに設定されてもよく、または異なってもよい。

図９に示すように、第１の発電装置２３および第２の発電装置３１によって生成された電力を蓄えるための蓄電池２６を設けてもよい。この蓄電池２６は第１の発電装置２３、第２の発電装置３１、および電源部１１に並列に接続されている。したがって、第１の発電装置２３の出力電圧、第２の発電装置３１の出力電圧、電源部１１の出力電圧、および蓄電池２６の出力電圧のうちの最も高い電圧がポンプ制御部１０に印加される。

上述した実施形態は、本発明が属する技術分野における通常の知識を有する者が本発明を実施できることを目的として記載されたものである。上記実施形態の種々の変形例は、当業者であれば当然になしうることであり、本発明の技術的思想は他の実施形態にも適用しうることである。したがって、本発明は、記載された実施形態に限定されることはなく、特許請求の範囲によって定義される技術的思想に従った最も広い範囲とすべきである。

１ ドライ真空ポンプ装置
２ ポンプ
３ モータ
６ モータドライバ
１０ ポンプ制御部
１１ 電源部
１２ ＡＣ電源
２１ 冷却水流路
２２ 冷却水流量計
２３ 発電装置（第１の発電装置）
２４ 電力伝達線
２６ 蓄電池
２８ パージガス流路
３０ パージガス流量計
３１ 発電装置（第２の発電装置）
３３ 電力伝達線

Claims (12)

1. 排気を行うポンプと、
   前記ポンプを回転駆動させるモータと、
   前記モータの回転速度を制御するモータドライバと、
   前記モータドライバを制御するポンプ制御部と、
   ＡＣ電源からの交流電力を直流電力に変換し、変換された前記直流電力を前記ポンプ制御部に供給する電源部と、
   前記ポンプ、前記モータ、および前記モータドライバのうちの少なくとも１つを冷却するための冷却水が流れる冷却水流路と、
   前記冷却水流路を流れる前記冷却水によって駆動される発電装置と、
   前記発電装置によって生成された電力を前記ポンプ制御部に供給するための電力伝達線とを備えたことを特徴とするドライ真空ポンプ装置。
2. 前記発電装置と前記電源部とは互いに並列に接続されていることを特徴とする請求項１に記載のドライ真空ポンプ装置。
3. 前記発電装置によって生成された電力を蓄える蓄電池をさらに備えたことを特徴とする請求項１または２に記載のドライ真空ポンプ装置。
4. 前記電源部、前記発電装置、および前記蓄電池は互いに並列に接続されていることを特徴とする請求項３に記載のドライ真空ポンプ装置。
5. 排気を行うポンプと、
   前記ポンプを回転駆動させるモータと、
   前記モータの回転速度を制御するモータドライバと、
   前記モータドライバを制御するポンプ制御部と、
   ＡＣ電源からの交流電力を直流電力に変換し、変換された前記直流電力を前記ポンプ制御部に供給する電源部と、
   前記ポンプに接続されたパージガス流路と、
   前記パージガス流路を流れるパージガスによって駆動される発電装置と、
   前記発電装置によって生成された電力を前記ポンプ制御部に供給するための電力伝達線とを備えたことを特徴とするドライ真空ポンプ装置。
6. 前記発電装置と前記電源部とは互いに並列に接続されていることを特徴とする請求項５に記載のドライ真空ポンプ装置。
7. 前記発電装置によって生成された電力を蓄える蓄電池をさらに備えたことを特徴とする請求項５または６に記載のドライ真空ポンプ装置。
8. 前記電源部、前記発電装置、および前記蓄電池は互いに並列に接続されていることを特徴とする請求項７に記載のドライ真空ポンプ装置。
9. 排気を行うポンプと、
   前記ポンプを回転駆動させるモータと、
   前記モータの回転速度を制御するモータドライバと、
   前記モータドライバを制御するポンプ制御部と、
   ＡＣ電源からの交流電力を直流電力に変換し、変換された前記直流電力を前記ポンプ制御部に供給する電源部と、
   前記ポンプ、前記モータ、および前記モータドライバのうちの少なくとも１つを冷却するための冷却水が流れる冷却水流路と、
   前記冷却水流路を流れる前記冷却水によって駆動される第１の発電装置と、
   前記ポンプに接続されたパージガス流路と、
   前記パージガス流路を流れるパージガスによって駆動される第２の発電装置と、
   前記第１の発電装置によって生成された電力を前記ポンプ制御部に供給するための第１の電力伝達線と、
   前記第２の発電装置によって生成された電力を前記ポンプ制御部に供給するための第２の電力伝達線とを備えたことを特徴とするドライ真空ポンプ装置。
10. 前記電源部、前記第１の発電装置、および前記第２の発電装置は互いに並列に接続されていることを特徴とする請求項９に記載のドライ真空ポンプ装置。
11. 前記第１の発電装置および前記第２の発電装置によって生成された電力を蓄える蓄電池をさらに備えたことを特徴とする請求項９または１０に記載のドライ真空ポンプ装置。
12. 前記電源部、前記第１の発電装置、前記第２の発電装置、および前記蓄電池は互いに並列に接続されていることを特徴とする請求項１１に記載のドライ真空ポンプ装置。

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