JP2019200990A - カソードルミネッセンス光学ハブ - Google Patents
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Abstract
Description
本出願は、2018年5月14日に出願された米国特許仮出願第62/671,152号に対する優先権を主張し、その全体が参照により本明細書に組み込まれる。
12 磁極片
20 集光ミラー
22 アパーチャ
30 試料
32 点
34 カソードルミネッセンス(CL)光
35 光パターン
36 光軸
100 電子顕微鏡
140 ポートアジャスタ
150 光学ハブ
160 線形アクチュエータ
162 キャリッジ/折り返しミラーキャリッジアセンブリ
164 折り返しミラー
170 線形アクチュエータ
172 ミラー支持機構
210 取付フランジ
222 光学窓/CL検出機器
224 光学窓/CL検出機器
226 光学窓/CL検出機器
228 線形アクチュエータ
229 光学フィルタ機構
232 CL検出機器
234 CL検出機器
236 CL検出機器
250 光学アパーチャ
262 親ねじ
263 電気モータ
272 親ねじ
273 電気モータ
Claims (14)
- 電子顕微鏡における光の収集および分析のための装置であって、
遠位端で集光ミラーを支持する機構であって、前記機構は、前記電子顕微鏡の試料チャンバ内に延び、分析中の試料に近接して前記集光ミラーを位置決めするように構成され、
前記集光ミラーは、前記集光ミラーによって収集された光が線形軸に沿ってコリメートされる光パターンを形成し、前記光パターンを形成する光線が互いに実質的に平行であるように構成される機構と、
折り返しミラーを支持するキャリッジを有する第1の線形アクチュエータであって、前記折り返しミラーは、前記集光ミラーによって向けられた前記光を受け取るように位置する第1の線形アクチュエータとを備え、
前記第1の線形アクチュエータは、前記折り返しミラーを複数の固定場所に移動させるように構成され、前記固定場所の各々は、前記光の分析のために配置された一組の光学系または検出器と関連付けられる、装置。 - 可動光学フィルタアセンブリをさらに備え、前記可動光学フィルタアセンブリが、前記折り返しミラーと協調して前記複数の固定場所に移動するように構成される、
請求項1に記載の装置。 - 光学機器の一部に位置する光学アパーチャまたはスリットをさらに備え、前記折り返しミラーが、前記光パターンの一部を前記アパーチャまたはスリットを通して向けるように構成される、請求項1に記載の装置。
- 集光ミラーを支持する前記機構が、分析中の前記試料の上または下に調整されるように前記集光ミラーを位置決めまたは移動させるように構成された第2の線形アクチュエータを備える、請求項1に記載の装置。
- 前記集光ミラーによって収集された前記光が、カソードルミネッセンス光もしくは能動電子デバイスから放出された光を含む前記試料から出てくる他の光、または前記試料に入射する光源から反射、蛍光、散乱、もしくは波長シフトした光である、請求項1に記載の装置。
- 前記第1の線形アクチュエータが、第1の親ねじと、第1の電気モータとを備える、請求項1に記載の装置。
- 前記第2の線形アクチュエータが、第2の親ねじと、第2の電気モータとを備える、請求項4に記載の装置。
- 前記フィルタアセンブリを位置決めするように構成された第3の線形アクチュエータ
をさらに備える、請求項2に記載の装置。 - 前記光学フィルタアセンブリが、複数の光学フィルタと、前記複数の光学フィルタのうちの1つを前記折り返しミラーと位置合わせするように構成された光学フィルタ選択アクチュエータとを備える、請求項2に記載の装置。
- 前記折り返しミラーが、光を前記電子顕微鏡に導入するようにさらに構成される、請求項1に記載の装置。
- 前記装置を電子顕微鏡ポートに取り付け、収集された光の光軸の位置を前記光軸に垂直な1つまたは複数の方向に調整するように構成されたポートアジャスタ
をさらに備える、請求項1に記載の装置。 - 光学機器に位置する光学アパーチャまたはスリットをさらに備え、前記折り返しミラーが、前記光パターンの一部を前記アパーチャまたはスリットを通して位置決めするように構成され、光学フィルタが、前記折り返しミラーと前記光学アパーチャまたはスリットとの間に位置決めされる、
請求項2に記載の装置。 - 遠位端で集光ミラーを支持する前記機構、折り返しミラーを支持するキャリッジを有する前記第1の線形アクチュエータ、および前記折り返しミラーがすべて、前記電子顕微鏡の一部を含む低圧チャンバ内に位置する、請求項1に記載の装置。
- 遠位端で集光ミラーを支持する前記機構、折り返しミラーを支持するキャリッジを有する前記第1の線形アクチュエータ、前記折り返しミラーおよび前記第2の線形アクチュエータがすべて、前記電子顕微鏡の一部を含む真空チャンバ内に位置する、請求項4に記載の装置。
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