JP5347559B2 - X線分析装置 - Google Patents
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Description
a)多数の束ねられた細管からなり、一方の端面は外方で一点に焦点を持つように絞られた集束端であり、他方の端面は各細管が並行に配設された平行端であるX線導波管であって、試料上の励起線照射点を前記集束端の外方の焦点とするように配設されてなるX線集束管と、
b)前記X線集束管の平行端の外方に配設され、該X線集束管の平行端端面上を複数に区画した各区画領域に含まれる複数の細管を経て送られてきたX線を検出するように、各区画領域毎に設けられた複数のX線検出部であって、それぞれ、X線を波長分散する分光結晶と、該分光結晶により波長分散されたX線の中の特定波長を有するX線を検出する検出器と、を含む複数のX線検出部と、
を備え、前記複数のX線検出部にそれぞれ含まれる前記検出器は異なる種類の検出器であることを特徴としている。
図1は本実施例のX線分析装置の概略構成図、図2は本実施例のX線分析装置におけるマルチキャピラリX線レンズの拡大図(a)及びA−A’視矢線断面図(b)である。
11…偏向コイル
12…電子線
13…対物レンズ
14…試料
15…電子線照射点
16、17…マルチキャピラリX線レンズ
161…キャピラリ
162…ハウジング
16a、16b、16c、16d…区画領域
20、23…平板分光結晶
21、24…ソーラスリット
22、25…X線検出器
23…平板分光結晶
Claims (2)
- 励起線の照射に対して試料から放出されたX線を検出して分析するX線分析装置において、
a)多数の束ねられた細管からなり、一方の端面は外方で一点に焦点を持つように絞られた集束端であり、他方の端面は各細管が並行に配設された平行端であるX線導波管であって、試料上の励起線照射点を前記集束端の外方の焦点とするように配設されてなるX線集束管と、
b)前記X線集束管の平行端の外方に配設され、該X線集束管の平行端端面上を複数に区画した各区画領域に含まれる複数の細管を経て送られてきたX線を検出するように、各区画領域毎に設けられた複数のX線検出部であって、それぞれ、X線を波長分散する分光結晶と、該分光結晶により波長分散されたX線の中の特定波長を有するX線を検出する検出器と、を含む複数のX線検出部と、
を備え、前記複数のX線検出部にそれぞれ含まれる前記検出器は異なる種類の検出器であることを特徴とするX線分析装置。 - 請求項1に記載のX線分析装置であって、
前記複数のX線検出部にそれぞれ含まれる検出器の一つはガスフロー比例計数管であり、別の一つの検出器はクリプトンガス封入型比例計数管であることを特徴とするX線分析装置。
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