JP4706554B2 - X線分光装置 - Google Patents
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Description
入射側焦点から拡がりつつ到来するX線を波長分散させ、その中の特定波長のX線を所定の出射側焦点に集束させる湾曲形状の回折面を有する湾曲分光結晶と、
試料と前記湾曲分光結晶との間に配置され、多数の束ねられたX線案内用の細管から成り両方の端面がその外方において焦点を有するように端部が絞られた形状の細管集合体と、
を備え、前記細管集合体の入射側焦点が前記試料上の微小領域に位置合わせされ、前記細管集合体の出射側焦点と前記湾曲分光結晶の入射側焦点の位置とが合うように配置され、且つ該細管集合体の出射側焦点と該湾曲分光結晶の回折面と前記X線検出器とが同一のローランド円上に配置されてなることを特徴としている。
2…試料
3…微小領域
4…湾曲分光結晶
5…ローランド円
6…スリット
7…X線検出器
10…マルチキャピラリX線レンズ
11…入射側端部
12…出射側端部
Claims (2)
- 試料に照射された励起線に応じて該試料上の微小領域から放出されたX線を波長分散させて特定波長のX線を検出器に導入するためのX線分光装置であって、
入射側焦点から拡がりつつ到来するX線を波長分散させ、その中の特定波長のX線を所定の出射側焦点に集束させる湾曲形状の回折面を有する湾曲分光結晶と、
試料と前記湾曲分光結晶との間に配置され、多数の束ねられたX線案内用の細管から成り両方の端面がその外方において焦点を有するように端部が絞られた形状の細管集合体と、
を備え、前記細管集合体の入射側焦点が前記試料上の微小領域に位置合わせされ、前記細管集合体の出射側焦点と前記湾曲分光結晶の入射側焦点の位置とが合うように配置され、且つ該細管集合体の出射側焦点と該湾曲分光結晶の回折面と前記X線検出器とが同一のローランド円上に配置されてなることを特徴とするX線分光装置。 - 請求項1に記載のX線分光装置を1つの試料上の微小領域に対して複数設け、各X線分光装置においてそれぞれ異なる波長のX線を取り出して別々の検出器に導入するようにしたマルチチャンネル対応のX線分光装置。
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JP2006135908A JP4706554B2 (ja) | 2006-05-16 | 2006-05-16 | X線分光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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