JP2019191460A - 表示装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】端子部の信頼性向上を図ることが可能な表示装置を提供することにある。【解決手段】表示装置は、表示部と実装部を有する表示パネルと、前記実装部に端子部を備える。前記表示部は第1金属層で形成されるゲート配線と、第2金属層で形成される信号線と、第3金属層で形成される金属配線と、第1透明導電膜で形成される第1透明電極と、第2透明導電膜で形成される第2透明電極とを含む。前記端子部は、前記第2金属層で形成される第1金属部と、前記第1金属部に積層され前記第3金属層で形成された第2金属部を備える。前記第2金属部は前記第1金属部の表面及び側面を覆い、前記第2金属部の縁部は有機絶縁膜に覆われるとともに、前記第2金属部の前記縁部の内側は前記有機絶縁膜に形成された第1スルーホールにて露出されている。【選択図】図14

Description

本発明は表示装置に関し、特に、フレキシブル配線基板もしくはドライバーICに接続されるための端子部や検査パッドを有する表示装置に適用可能である。
液晶や有機エレクトロルミネッセンス等を利用した表示装置は、例えば、表示パネルの基板上の一端に、端子部や検査パッドを備える。端子部は、例えば、表示パネルに画像を表示するため、映像信号が供給される端子、クロック信号が供給される端子、電源が供給される端子等の複数の接続端子を含む。表示パネルの端子部は、異方性導電フィルム(以下、ACF(Anisotropic Conductive Film)ともいう。)によってフレキシブル配線基板(以下、FPC(Flexible printed circuits)基板、フレキシブルプリント回路基板ともいう。)やドライバーICと接続される。例えば、特開2017−151371号公報(特許文献1)には、端子部における各端子の構成が提案されている。
特開2017−151371号公報
本発明者は、表示装置の信頼性を検証するため、高温高湿の環境下において、表示装置に電源を供給して動作させる様な通電試験を実施した。その結果、端子部の構成に起因して、電源が供給される端子に腐食が発生する場合があることを見出した。
本発明の目的は、端子部の信頼性向上を図ることが可能な表示装置を提供することにある。
その他の課題と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
本発明のうち代表的なものの概要を簡単に説明すれば下記の通りである。
すなわち、表示装置は、表示部と実装部を有する表示パネルと、前記実装部に端子部を備える。前記表示部は第1金属層で形成されるゲート配線と、第2金属層で形成される信号線と、第3金属層で形成される金属配線と、第1透明導電膜で形成される第1透明電極と、第2透明導電膜で形成される第2透明電極とを含む。前記端子部は、前記第2金属層で形成される第1金属部と、前記第1金属部に積層され前記第3金属層で形成された第2金属部を備える。前記第2金属部は前記第1金属部の表面及び側面を覆い、前記第2金属部の縁部は有機絶縁膜に覆われるとともに、前記第2金属部の前記縁部の内側は前記有機絶縁膜に形成された第1スルーホールにて露出されている。
本実施形態の表示装置DSPの外観を示す平面図である。 タッチセンサTSの一構成例を示す平面図である。 画素PXの基本構成及び等価回路を示す図である。 画素レイアウトの一例を示す平面図である。 図4に示したA−B線に沿った第1基板SUB1の断面図である。 図4に示したC−D線に沿った表示パネルPNLの断面図である。 図1に示された表示装置DSPを模式的に示す斜視図である。 第1基板SUB1の実装部の一構成例を示す平面図である。 図7に示したE−E’線に沿った実装部MAおよびフレキシブルプリント回路基板1の断面図である。 比較例に係る端子部を説明する平面図である。 図10に示したF−F’線に沿った端子部の断面図である。 比較例に係る端子部の製造途中の断面図である。 実施形態に係る端子部T1を示す平面図である。 図13に示すG−G’線に沿った端子部T1の断面図である。 図13に示すH−H’線に沿った端子部T1の断面図である。 図13に示すI−I’線に沿った端子部T1の断面図である。 図13の端子部T1と異方性導電フィルムACFの導電ビーズCPとを概念的に示す拡大図である。 実施形態に係る端子部T3の平面図である。 変形例1に係る端子部T1の平面図である。 図19に示したJ−J’線に沿った端子部T1の断面図である。 変形例2に係る端子部T1の平面図である。 図21に示したK−K’線に沿った端子部T1の断面図である。
以下に、本発明の各実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。
なお、開示はあくまで一例にすぎず、当業者において、発明の主旨を保っての適宜変更について容易に想到し得るものについては、当然に本発明の範囲に含有されるものである。また、図面は説明をより明確にするため、実際の態様に比べ、各部の幅、厚さ、形状等について模式的に表される場合があるが、あくまで一例であって、本発明の解釈を限定するものではない。
また、本明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には、同一の符号を付して、詳細な説明を適宜省略することがある。
本実施形態においては、表示装置の一例として、液晶表示装置を開示する。この液晶表示装置は、例えば、スマートフォン、タブレット端末、携帯電話端末、パーソナルコンピュータ、テレビ受像装置、車載装置、ゲーム機器等の種々の装置に用いることができる。なお、本実施形態にて開示する主要な構成は、有機エレクトロルミネッセンス表示素子等を有する自発光型の表示装置、電気泳動素子等を有する電子ペーパ型の表示装置、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)を応用した表示装置、或いはエレクトロクロミズムを応用した表示装置などにも適用可能である。
(表示装置の全体構成例)
図1は、本実施形態の表示装置DSPの外観を示す平面図である。一例では、第1方向X、第2方向Y、及び、第3方向Zは、互いに直交しているが、90度以外の角度で交差していてもよい。第1方向X及び第2方向Yは、表示装置DSPを構成する基板の主面と平行な方向に相当し、第3方向Zは、表示装置DSPの厚さ方向に相当する。本明細書において、第3方向Zを示す矢印の先端に向かう方向を上方(あるいは、単に上)と称し、矢印の先端から逆に向かう方向を下方(あるいは、単に下)と称する。また、第3方向Zを示す矢印の先端側に表示装置DSPを観察する観察位置があるものとし、この観察位置から、第1方向X及び第2方向Yで規定されるX−Y平面に向かって見ることを平面視という。
ここでは、X−Y平面における表示装置DSPの平面図を示している。表示装置DSPは、表示パネルPNLと、フレキシブルプリント回路基板(フレキシブル配線基板)1と、ICチップ2と、回路基板3と、を備えている。
表示パネルPNLは、液晶表示パネルであり、第1基板SUB1と、第2基板SUB2と、後述する液晶層LCと、シールSEと、遮光層LSと、スペーサSP1乃至SP4と、を備えている。表示パネルPNLは、画像を表示する表示部(表示領域)DAと、表示部DAを囲む額縁状の非表示部(非表示領域)NDAと、を備えている。第2基板SUB2は、第1基板SUB1に対向している。第1基板SUB1は、第2基板SUB2よりも第2方向Yに延出した実装部MAを有している。
シールSEは、非表示部NDAに位置し、第1基板SUB1と第2基板SUB2とを接着するとともに、液晶層LCを封止している。遮光層LSは、非表示部NDAに位置している。シールSEは、平面視で、遮光層LSと重畳する位置に設けられている。図1において、シールSEが配置された領域と、遮光層LSが配置された領域とでは、互いに異なる斜線で示し、シールSEと遮光層LSとが重畳する領域はクロスハッチングで示している。遮光層LSは、第2基板SUB2に設けられている。
スペーサSP1乃至SP4は、いずれも非表示部NDAに位置している。スペーサSP1は、表示パネルPNLの最外周に位置している。スペーサSP2は、スペーサSP1よりも表示部DA側に位置している。スペーサSP1及びSP2は、シールSEと重畳している。スペーサSP3及びSP4は、シールSEよりも表示部DA側に位置している。スペーサSP1乃至SP4は、例えば第2基板SUB2に設けられているが、第1基板SUB1に設けられてもよい。
表示部DAは、遮光層LSによって囲まれた内側に位置している。表示部DAは、第1方向X及び第2方向Yにマトリクス状に配置された複数の画素PXを備えている。表示部DAは、第1方向Xに沿って延出した一対の辺E1及びE2と、第2方向Yに沿って延出した一対の辺E3及びE4と、4つのラウンド部R1乃至R4と、を有している。表示パネルPNLは、第1方向Xに沿って延出した一対の辺E11及びE12と、第2方向Yに沿って延出した一対の辺E13及びE14と、4つのラウンド部R11乃至R14と、を有している。ラウンド部R11乃至R14は、それぞれラウンド部R1乃至R4の外側に位置している。ラウンド部R11の曲率半径は、ラウンド部R1の曲率半径と同一であってもよいし、異なっていてもよい。
フレキシブルプリント回路基板1は、実装部MAに実装され、回路基板3に接続されている。ICチップ2は、フレキシブルプリント回路基板1に実装されている。なお、ICチップ2は、実装部MAに実装されてもよい。ICチップ2は、画像を表示する表示モードにおいて画像表示に必要な信号を出力するディスプレイドライバDDを内蔵している。また、図示した例では、ICチップ2は、表示装置DSPへの物体の接近又は接触を検出するタッチセンシングモードを制御するタッチコントローラTCを内蔵している。図中において、ICチップ2は一点鎖線で示し、ディスプレイドライバDD及びタッチコントローラTCは点線で示している。
本実施形態の表示パネルPNLは、第1基板SUB1の背面側からの光を選択的に透過させることで画像を表示する透過表示機能を備えた透過型、第2基板SUB2の前面側からの光を選択的に反射させることで画像を表示する反射表示機能を備えた反射型、あるいは、透過表示機能及び反射表示機能を備えた半透過型のいずれであってもよい。
また、表示パネルPNLの詳細な構成について、ここでは説明を省略するが、表示パネルPNLは、基板主面に沿った横電界を利用する表示モード、基板主面の法線に沿った縦電界を利用する表示モード、基板主面に対して斜め方向に傾斜した傾斜電界を利用する表示モード、さらには、上記の横電界、縦電界、及び、傾斜電界を適宜組み合わせて利用する表示モードに対応したいずれの構成を備えていてもよい。ここでの基板主面とは、第1方向X及び第2方向Yで規定されるX−Y平面と平行な面である。
図2は、タッチセンサTSの一構成例を示す平面図である。ここでは、自己容量方式のタッチセンサTSについて説明するが、タッチセンサTSは相互容量方式であってもよい。タッチセンサTSは、複数のセンサ電極Rx(Rx1、Rx2…)と、複数のセンサ配線L(L1、L2…)と、を備えている。複数のセンサ電極Rxは、表示部DAに位置し、第1方向X及び第2方向Yにマトリクス状に配置されている。1つのセンサ電極Rxは、1つのセンサブロックBを構成している。センサブロックBとは、タッチセンシングが可能な最小単位である。複数のセンサ配線Lは、表示部DAにおいて、それぞれ第2方向Yに沿って延出し、第1方向Xに並んでいる。センサ配線Lの各々は、例えば後述する信号線Sと重畳する位置に設けられている。また、センサ配線Lの各々は、非表示部NDAに引き出され、フレキシブルプリント回路基板1を介してICチップ2に電気的に接続されている。
ここで、第1方向Xに並んだセンサ配線L1乃至L3と、第2方向Yに並んだセンサ電極Rx1乃至Rx3との関係に着目する。センサ配線L1は、センサ電極Rx1乃至Rx3と重畳し、センサ電極Rx1と電気的に接続されている。
センサ配線L2は、センサ電極Rx2及びRx3と重畳し、センサ電極Rx2と電気的に接続されている。ダミー配線D20は、センサ配線L2から離間している。ダミー配線D20は、センサ電極Rx1と重畳し、センサ電極Rx1と電気的に接続されている。センサ配線L2及びダミー配線D20は、同一の信号線上に位置している。
センサ配線L3は、センサ電極Rx3と重畳し、センサ電極Rx3と電気的に接続されている。ダミー配線D31は、センサ電極Rx1と重畳し、センサ電極Rx1と電気的に接続されている。ダミー配線D32は、ダミー配線D31及びセンサ配線L3から離間している。ダミー配線D32は、センサ電極Rx2と重畳し、センサ電極Rx2と電気的に接続されている。センサ配線L3、ダミー配線D31及びD32は、同一の信号線上に位置している。
タッチセンシングモードにおいては、タッチコントローラTCは、センサ配線Lにタッチ駆動電圧を印加する。これにより、センサ電極Rxにはタッチ駆動電圧が印加され、センサ電極Rxでのセンシングが行われる。センサ電極Rxでのセンシング結果に対応したセンサ信号は、センサ配線Lを介してタッチコントローラTCに出力される。タッチコントローラTCあるいは外部のホストプロセッサは、センシング信号に基づいて、表示装置DSPへの物体の接近又は接触の有無及び物体の位置座標を検出する。
なお、表示モードにおいては、センサ電極Rxは、コモン電圧(Vcom)が印加された共通電極CEとして機能する。コモン電圧は、例えばディスプレイドライバDDに含まれる電圧供給部からセンサ配線Lを介して印加される。
(画素の構成例)
図3は、画素PXの基本構成及び等価回路を示す図である。複数本の走査線(走査信号配線)G1、G2…は、走査線駆動回路GDに接続されている。複数本の信号線(映像信号線)S1、S2…は、信号線駆動回路SDに接続されている。なお、走査線G及び信号線Sは、必ずしも直線的に延出していなくてもよく、それらの一部が屈曲していてもよい。例えば、信号線Sは、その一部が屈曲していたとしても、第2方向Yに延出しているものとする。
共通電極CEは、センサブロックB毎にそれぞれ設けられている。共通電極CEは、コモン電圧(Vcom)の電圧供給部CDに接続され、複数の画素PXに亘って配置されている。また、共通電極CEは、それぞれ上記の通りタッチコントローラTCにも接続され、センサ電極Rxとしても機能する。1つのセンサブロックBには、例えば、第1方向Xに沿って60〜70個の主画素が配置され、第2方向に沿って60〜70個の主画素が配置されている。ここでの画素PXとは、画素信号に応じて個別に制御することができる最小単位を示し、副画素と称する場合がある。また、カラー表示を実現するための最小単位を主画素と称する場合がある。主画素は、互いに異なる色を表示する複数の副画素PXを備えて構成されるものである。一例では、主画素は、副画素PXとして、赤色を表示する赤画素、緑色を表示する緑画素、及び、青色を表示する青画素を備えている。また、主画素は、白色を表示する白画素を備えていてもよい。
各画素PXは、スイッチング素子SW、画素電極PE、共通電極CE、液晶層LC等を備えている。スイッチング素子SWは、例えば薄膜トランジスタ(TFT)によって構成され、走査線G及び信号線Sと電気的に接続されている。走査線Gは、第1方向Xに並んだ画素PXの各々におけるスイッチング素子SWと接続されている。信号線Sは、第2方向Yに並んだ画素PXの各々におけるスイッチング素子SWと接続されている。画素電極PEは、スイッチング素子SWと電気的に接続されている。画素電極PEの各々は、共通電極CEと対向し、画素電極PEと共通電極CEとの間に生じる電界によって液晶層LCを駆動している。保持容量CSは、例えば、共通電極CEと同電位の電極、及び、画素電極PEと同電位の電極の間に形成される。
図4は、画素レイアウトの一例を示す平面図である。ここでは、走査線G2と信号線S6接続された画素PX1に着目して、主要部について説明する。図4において、画素PX2は、画素PX1の下側に配置された画素であり、画素電極PE21は画素PX2の画素電極である。
スイッチング素子SWは、走査線G2及び信号線S6と電気的に接続されている。図示した例のスイッチング素子SWは、ダブルゲート構造を有している。スイッチング素子SWは、半導体層SCと、ドレイン電極DEと、を備えている。なお、スイッチング素子SWにおいて、ドレイン電極DEはソース電極と称される場合がある。半導体層SCは、その一部分が信号線S6と重なるように配置され、他の部分が信号線S5及びS6の間に延出し、略U字状に形成されている。半導体層SCは、信号線S6と重なる領域、及び、信号線S5及びS6の間において、それぞれ走査線G2と交差している。走査線G2において、半導体層SCと重畳する領域がそれぞれゲート電極GE1及びGE2として機能する。半導体層SCは、その一端部SCAにおいてコンタクトホールCH1を通じて信号線S6と電気的に接続され、また、その他端部SCBにおいてコンタクトホールCH2を通じてドレイン電極DEと電気的に接続されている。ドレイン電極DEは、島状に形成され、信号線S5及びS6の間に配置されている。
画素電極PE11は、複数の帯電極Pa1と一体の基部BSを備えている。基部BSは、ドレイン電極DEと重畳している。基部BSは、ドレイン電極DEと電気的に接続される。
(表示装置の断面構成例)
図5は、図4に示したA−B線に沿った第1基板SUB1の断面図である。
第1基板SUB1は、絶縁基板10、絶縁膜11乃至16、半導体層SC、第1金属層で形成される走査線(第1金属配線)G2、第2金属層で形成される信号線(第2金属配線)S6、第3金属層で形成される金属配線(第3金属配線)ML6、第1透明導電膜で形成される共通電極(第1透明電極)CE、第2透明導電膜で形成される画素電極PE(第2透明導電膜)、配向膜AL1などを備えている。また、画素電極PE(第2透明電極)は後述する図6にて説明する。
絶縁基板10は、ガラス基板や可撓性の樹脂基板などの光透過性を有する基板である。絶縁膜11は、絶縁基板10の上に位置している。半導体層SCは、アンダコート膜である絶縁膜11の上に位置し、ゲート絶縁膜である絶縁膜12によって覆われている。半導体層SCは、例えば、多結晶シリコンによって形成されているが、アモルファスシリコンや酸化物半導体によって形成されていてもよい。
走査線G2の一部であるゲート電極GE1は、絶縁膜12の上に位置し、絶縁膜(無機絶縁膜)13によって覆われている。なお、図示しない他の走査線も、走査線G2と同一層に位置している。走査線G2は、アルミニウム(Al)、チタン(Ti)、銀(Ag)、モリブデン(Mo)、タングステン(W)、銅(Cu)、クロム(Cr)などの金属材料や、これらの金属材料を組み合わせた合金などによって形成され、単層構造であってもよいし、多層構造であってもよい。一例では、走査線G2は、モリブデン−タングステン合金によって形成されている。
信号線S6は、絶縁膜13の上に位置し、絶縁膜(第1有機絶縁膜)14によって覆われている。なお、図示しない他の信号線S2、信号線S6と同一層に位置している。信号線S6は、上記の金属材料や、上記の金属材料を組み合わせた合金などによって形成され、単層構造であってもよいし、多層構造であってもよい。一例では、信号線S6は、チタン(Ti)を含む第1層L11、アルミニウム(Al)を含む第2層L12、及び、チタン(Ti)を含む第3層L13がこの順に積層された積層体である。信号線S6は、絶縁膜12及び絶縁膜13を貫通するコンタクトホールCH1を通じて半導体層SCにコンタクトしている。
金属配線ML6は、絶縁膜14の上に位置し、絶縁膜(第2有機絶縁膜)15によって覆われている。金属配線ML6は、上記の金属材料や、上記の金属材料を組み合わせた合金などによって形成され、単層構造であってもよいし、多層構造であってもよい。一例では、金属配線ML6は、モリブデン(Mo)を含む第4層L21、アルミニウム(Al)を含む第5層L22、及び、モリブデン(Mo)を含む第6層L23がこの順に積層された積層体である。なお、金属配線ML6は、チタン(Ti)を含む第4層L21、アルミニウム(Al)を含む第5層L22、及び、チタン(Ti)を含む第6層L23がこの順に積層された積層体とされても良い。
共通電極CEは、絶縁膜15の上に位置し、絶縁膜(無機絶縁膜)16によって覆われている。共通電極CEは、インジウム・ティン・オキサイド(ITO)やインジウム・ジンク・オキサイド(IZO)などの透明な導電材料によって形成された透明電極(透明導電膜)である。共通電極CEは、絶縁膜15を貫通するコンタクトホールCH3を通じて金属配線ML6にコンタクトしている。配向膜AL1は、絶縁膜16の上に位置している。
絶縁膜11乃至13、及び、絶縁膜16は、シリコン酸化物、シリコン窒化物、シリコン酸窒化物などの無機絶縁材料によって形成された無機絶縁膜であり、単層構造であってもよいし、多層構造であってもよい。絶縁膜14及び15は、例えば、アクリル樹脂などの有機絶縁材料によって形成された有機絶縁膜である。なお、絶縁膜15は、無機絶縁膜であってもよい。
上記の通り、共通電極CEはセンサ電極Rxとしても機能し、金属配線ML6はセンサ電極Rxと電気的に接続されるセンサ配線Lとしても機能する。
図6は、図4に示したC−D線に沿った表示パネルPNLの断面図である。図示した例は、横電界を利用する表示モードの一つであるFFS(Fringe Field Switching)モードが適用された例に相当する。
第1基板SUB1において、信号線S5及びS6は、絶縁膜13の上に位置し、絶縁膜14によって覆われている。金属配線ML5及びML6は、それぞれ信号線S5及びS6の直上に位置している。画素電極PE11は、絶縁膜16の上に位置し、配向膜AL1によって覆われている。画素電極PE11は、ITOやIZOなどの透明な導電材料によって形成された透明電極(透明導電膜)である。
第2基板SUB2は、絶縁基板20、遮光層BM、カラーフィルタCFG、オーバーコート層OC、配向膜AL2などを備えている。
絶縁基板20は、絶縁基板10と同様に、ガラス基板や樹脂基板などの光透過性を有する基板である。遮光層BM及びカラーフィルタCFGは、絶縁基板20の第1基板SUB1と対向する側に位置している。カラーフィルタCFGは、画素電極(第2透明電極)PE11と対向する位置に配置され、その一部が遮光層BMに重なっている。オーバーコート層OCは、カラーフィルタCFGを覆っている。オーバーコート層OCは、透明な樹脂によって形成されている。他のカラーフィルタCFR及びCFBも、カラーフィルタCFGと同様に、それぞれ画素電極PEと対向する位置に配置され、オーバーコート層OCによって覆われている。配向膜AL2は、オーバーコート層OCを覆っている。配向膜AL1及び配向膜AL2は、例えば、水平配向性を呈する材料によって形成されている。
上述した第1基板SUB1及び第2基板SUB2は、配向膜AL1及び配向膜AL2が対向するように配置されている。図示しないが、メインスペーサ及びサブスペーサが、第1基板SUB1及び第2基板SUB2の間に配置されている。メインスペーサは、配向膜AL1と配向膜AL2との間に所定のセルギャップを形成する。セルギャップは、例えば2〜5μmである。第1基板SUB1及び第2基板SUB2は、所定のセルギャップが形成された状態でシール材によって接着されている。
液晶層LCは、第1基板SUB1及び第2基板SUB2の間に位置し、配向膜AL1と配向膜AL2との間に保持されている。液晶層LCは、液晶分子LMを備えている。液晶層LCは、ポジ型(誘電率異方性が正)の液晶材料、あるいは、ネガ型(誘電率異方性が負)の液晶材料によって構成されている。
偏光板PL1を含む光学素子OD1は、絶縁基板10に接着されている。偏光板PL2を含む光学素子OD2は、絶縁基板20に接着されている。なお、光学素子OD1及び光学素子OD2は、必要に応じて位相差板、散乱層、反射防止層などを備えていてもよい。
このような表示パネルPNLにおいては、画素電極PEと共通電極CEとの間に電界が形成されていないオフ状態において、液晶分子LMは、配向膜AL1及び配向膜AL2の間で所定の方向に初期配向している。このようなオフ状態では、照明装置ILから表示パネルPNLに向けて照射された光は、光学素子OD1及び光学素子OD2によって吸収され、暗表示となる。一方、画素電極PEと共通電極CEとの間に電界が形成されたオン状態においては、液晶分子LMは、電界により初期配向方向とは異なる方向に配向し、その配向方向は電界によって制御される。このようなオン状態では、照明装置ILからの光の一部は、光学素子OD1及び光学素子OD2を透過し、明表示となる。
(実装部の構成例)
図7は、図1に示される表示装置DSPを模式的に示す斜視図である。図8は、第1基板SUB1の実装部一構成例を示す平面図である。図9は、図7に示したE−E’線に沿った実装部MAおよびフレキシブルプリント回路基板1の断面図である。
図7に示されるように、表示装置DSPは、表示パネルPNLと、フレキシブルプリント回路基板(フレキシブル配線基板)1と、を備える。表示パネルPNLは、図1と同様に、第1基板SUB1と、第2基板SUB2と、表示部DAと、非表示部NDAと、を有する。第1基板SUB1の下側には、例えば、バックライト装置の様な照明装置ILが設けられる。第1基板SUB1は実装部MAを有する。
実装部MAは、図8に例示的に示されるように、横に並ぶ様に配置された複数の端子部Tを有する。実装部MAに隣接して設けられた配線領域WAには、複数の端子部Tに接続された配線部Wが設けられる。複数の端子部Tは、矩形状の端子部T1、T2と、略U字状の端子部T3と、を含む。複数の端子部Tは、映像信号が供給される端子、クロック信号が供給される端子、電源が供給される端子、タッチ駆動電圧やセンシング結果の入出力用の端子等を含む。映像信号が供給される端子、クロック信号が供給される端子、および、タッチ駆動電圧やセンシング結果の入出力用の端子等は、例えば、矩形状の端子部T1を利用することが可能であり、多数の端子部T1を実装部MAに設けることが可能になる。電源が供給される端子は、例えば、略U字状の端子部T3を利用することが可能であり、電源のインピーダンスを低減できることが可能になる。端子部T2は、配線部Wが接続されていない、電位的にフローティングとされた端子部である。
複数の端子部Tはフレキシブルプリント回路基板1の一端に設けられた複数の配線端子と接続される。フレキシブルプリント回路基板1の上には、ICチップ2が設けられており、ICチップ2の表示パネルPNLに対する入出力信号は複数の端子部Tを介して行われる。フレキシブルプリント回路基板1の他端に設けられた複数の配線端子は、回路基板3に設けられた複数の配線端子に接続され、例えば、回路基板3に設けられたホストプロセッサの入出力に接続される。
複数の端子部Tとフレキシブルプリント回路基板1の複数の配線端子TFとの接続は、図9に示されるように、異方性導電フィルムACFを利用して行われる。異方性導電フィルムACFは、異方性導電膜または異方性導電材料と見做すことも可能である。異方性導電フィルムACFは、熱硬化性樹脂に複数の導電性粒子CP(以下、導電ビーズとも言う)を混ぜ合わせてあり、複数の導電性粒子CPによって、端子部Tと配線端子TFとの間の電気的な導通が取られる。導電性粒子CPの構造は、例えば、主に内側からニッケル層、金メッキ層、最も外側に絶縁層を重ねた直径3−5マイクロメートルの球体である。端子部Tと配線端子TFとの接続は、端子部Tと配線端子TFとの間に異方性導電フィルムACFを挟み込み、熱圧着等を利用することで、導電性粒子CPの絶縁層が破壊される。その結果、導電性粒子CPのニッケル層や金メッキ層によって、端子部Tと配線端子TFとの間の電気的な導通経路が構成される。圧力がかからなかった異方性導電フィルムの部分では、導電性粒子CPは絶縁層を保持しているため、実装部MA内に横に並ぶ端子部T間の絶縁は保持される。
(比較例:端子部の構成)
次に、比較例について、図10−図12を用いて説明する。図10は、比較例に係る端子部を説明する平面図である。図11は、図10に示したF−F’線に沿った端子部の断面図である。図12は、比較例に係る端子部の製造途中の断面図である。なお、この比較例は、発明者により検討された構成であり、公知の技術ではない。
図10は、実装部MAに隣接して配置された2つの端子部T10、T11を例示的に示している。端子部T10は、例えば、接地電位(GND)または0Vの様な低い第1参照電圧が供給される電源端子部であり、端子部T11は、例えば、電源電位(Vdd)または7Vの様な、第1参照電圧と比較して、高い第2参照電圧が供給される電源端子部である。
この様な端子部T10、T11を有する表示装置DSPについて、高温高湿の状態で通電試験を行い、表示装置DSPの信頼性の評価および検証を行うことがある。ここで、高温とは85°Cであり、高湿とは相対湿度85%RHである。通電試験とは、表示装置DSPに、実動作と同様な電源電位を供給した動作状態で、長時間(例えば、240時間)の試験を行うものである。つまり、端子部T10へ第1参照電圧を供給し、端子部T11へ第2参照電圧を供給した状態で長時間の試験が行われる。このような通電試験の時、図10に示すように、端子部T11において、端子部T10に対向する側の辺に、腐食CORが発生する場合があった。端子部T11の腐食CORは、端子部T10と端子部T11との間に発生する横電界が水分に影響したものと考えられる。
図11に示されるように、端子部T11は、導電層Ta、導電層Tb、導電層Tc、および、導電層Tdを備える。なお、第1基板SUB1の内、端子部T(T10、T11)が配置される領域には、上記の絶縁膜14および絶縁膜15は配置されていない。このため、絶縁膜16は、絶縁膜13の上に積層される。なお、図11は例示的に端子部T11の断面図を示しているが、図8の実装部MAに配置される複数の端子部Tにおいても同様である。
導電層Taは、絶縁膜13の上に位置する。導電層Taは、図5の信号線S6と同一層に位置し、信号線S6と同一材料によって形成されている。
導電層Tbは、導電層Taおよび絶縁膜13の上に積層され、導電層Taを覆っている。導電層Tbは、図5の金属配線ML6と同一層に位置し、金属配線ML6と同一材料によって形成されている。
導電層Tcは、導電層Tbおよび絶縁膜13の上に積層され、導電層Tbを覆っている。導電層Tcは、図5の共通電極CEと同一層に位置し、共通電極CEと同一材料によって形成されている。導電層Tcおよび絶縁膜13は、絶縁膜16によって覆われている。絶縁膜16は、導電層Tcまで貫通する貫通孔を有している。
導電層Tdは、絶縁膜16の上に位置し、絶縁膜16に設けられた貫通孔において、露出した導電層Tcの上に積層されている。導電層Tdは、図6の画素電極PE11と同一層に位置し、画素電極PE11と同一材料によって形成されている。
図11には、導電層Tbの端部Tb1およびTb2の近傍の内、端部Tb1の近傍が拡大して示されている。導電層Tbは、モリブデン(Mo)を含む第4層L21、アルミニウム(Al)を含む第5層L22、及び、モリブデン(Mo)を含む第6層L23がこの順に積層された積層体で構成されるが、第5層L22の左端部は第4層L21および第6層L23の左端部より右側に位置していることが判明した。すなわち、第5層L22の端部が抉られた状態であり、導電層Tcと第5層L22の端部との間に、隙間(または凹部)GAがあることが分かった。これにより、絶縁膜16が十分に導電層Tcを覆うことが出来なくなり、高温高湿の状態で通電試験において、水分が絶縁膜16と導電層Tcとの間に侵入し、侵入した水分が電界に影響されて、腐食CORが発生したものと判明した。なお、導電層Tcと第5層L22の端部との間の隙間GAは、端部Tb1と同様に、端部Tb2においても発生する。
導電層Tcと第5層L22の端部との間の隙間GAは、図12に示されるように、絶縁膜15の現像時において、絶縁膜15が現像液により徐々に除去されていき、現像液が第5層L22に達すると、第5層L22の端部が現像液によりエッチングされ、抉られていくことが判明した。
(実施形態:端子部の構成1)
次に、図13から図17を用いて、実施形態に係る端子部の構成例を説明する。
図13は、実施形態に係る端子部T1の構成例を示す平面図である。図14は、図13に示すG−G’線に沿った端子部T1の断面図である。図15は、図13に示すH−H’線に沿った端子部T1の断面図である。図16は、図13に示すI−I’線に沿った端子部T1の断面図である。図17は、図13の端子部T1と異方性導電フィルムACFの導電ビーズCPとを概念的に示す拡大図である。なお、図14において、横方向の寸法は実際の寸法と異なり、縮小して描かれている。また、図15および図16には、第1基板SUB1の内、絶縁膜13の下側の絶縁膜12および11、絶縁基板10の記載は省略されている。
図13に示すように、端子部T1は、一対の長辺Y11およびY12と、一対の短辺X11およびX12を含む矩形状の外形形状である。端子部T1の一対の長辺Y11およびY12に沿う端子部T1の縁部は、一対の絶縁膜15に覆われている。
図14に示すように、端子部T11は、導電層Ta、導電層Tb、導電層Tc、および、導電層Tdを備える。なお、第1基板SUB1の内、端子部Tが配置される領域には、上記の絶縁膜14は配置されていない。このため、絶縁膜16は、絶縁膜13の上に積層される。図14において、y11およびy12は長辺Y11およびY12のそれぞれの位置を例示的にしている。この例では、位置y11は導電層Tbの左側の縁部VTb1の端部の近傍を示しており、位置y11は導電層Tbの右側の縁部VTb2の端部の近傍を示している。すなわち、導電層Tbの縁部VTb1、VTb2は、長辺Y11およびY12に相当する領域である。
導電層(第1金属部)Taは、絶縁膜13の上に位置する。導電層Taは、第2金属層で形成され、図5の信号線S6と同一層に位置し、信号線S6と同一材料によって形成されている。導電層Tbは、チタン、アルミニウム、及び、チタンがこの順に積層された積層膜で構成されている。
導電層(第2金属部)Tbは、第3金属層で形成され、導電層Taおよび絶縁膜13の上に積層され、導電層Taの全面(すなわち、全表面および全側面)を覆っている。導電層Tbおよび絶縁膜13は、絶縁膜(有機絶縁膜)15によって覆われている。長辺Y11およびY12に沿う導電層Tbの縁部VTb1、VTb2は、導電層Tbの縁部VTb1、VTb2の側面も含めて、絶縁膜15に覆われている。長辺Y11およびY12に沿う導電層Taの縁部において、導電層Taと導電層Tbと絶縁膜15とがこの順に積層されている。絶縁膜15は、導電層Tbまで貫通する貫通孔(第1スルーホールまたは第1開口部)CH41を有している。導電層Tbの縁部VTb1、VTb2の内側は、絶縁膜15に形成された貫通孔CH41によって露出されている。絶縁膜15の膜厚は、例えば、1.5μm程度とされている。導電層Tbは、図5の金属配線ML6と同一層に位置し、金属配線ML6と同一材料によって形成されている。つまり、導電層Tbは、モリブデン、アルミニウム、及び、モリブデンがこの順に積層された積層膜で構成されている。
導電層(第1透明導電膜)Tcは、導電層Tbおよび絶縁膜13の上に積層され、導電層Tbを覆っている。導電層Tcは、絶縁膜15の貫通孔CH41に形成された位置において、導電層Tbに接している。また、導電層Tbの縁部VTb1、VTb2に重畳する位置において絶縁膜15に接している。導電層Tcおよび絶縁膜13は、絶縁膜(無機絶縁膜)16によって覆われている。つまり、絶縁膜16は、導電層Tbの縁部VTb1、VTb2に重なる位置において導電層Tcを覆い、絶縁膜15の貫通孔CH41が形成される位置において導電層Tcを露出する貫通孔(第2スルーホールまたは第2開口部)CH42を有している。導電層Tcは、図5の共通電極CEと同一層に位置し、共通電極CEと同一材料によって形成されている。
導電層(第2透明導電膜)Tdは、絶縁膜16の上に位置し、絶縁膜16に設けられた貫通孔CH42において、露出した導電層Tcの上に積層されている。つまり、導電層Tdは、導電層Tbの縁部VTb1、VTb2に重なる位置において絶縁膜16に接し、絶縁膜16の貫通孔CH42が形成される位置において導電層Tcに接している。導電層Tdは、図6の画素電極PE11と同一層に位置し、画素電極PE11と同一材料によって形成されている。
貫通孔CH41の深さは、絶縁膜15の膜厚と同じであり、例えば、1.5μm程度である。異方性導電フィルムACFの導電ビーズCPの直径は、例えば、3.8μm程度とした場合、図14に示すように、導電ビーズCPの直径は絶縁膜15の貫通孔CH41の深さよりも小さくまたは浅くされている。
このように、導電層Tbの右側の縁部VTb1および左側の縁部VTb2は、一対の絶縁膜15に覆われているので、比較例で説明されたような、導電層Tbを構成する積層膜のアルミニウムの抉れまたは隙間の発生が防止できる。このため、絶縁膜16が十分に導電層Tcを覆うことが可能になる。したがって、高温高湿の状態で通電試験を行っても、水分の絶縁膜16と導電層Tcとの間への侵入を防止できるので、端子部T1の一対の長辺Y11およびY12に対応する縁部における腐食の発生も防止可能である。これにより、端子部T1の信頼性の向上を図ることが可能になる。
図15には、図13に示すH−H’線に沿った端子部T1の断面図が示されており、x11は端子部T1の短辺X11の位置を例示的に示している。この例では、位置x11は導電層Tbの左側の縁部の近傍を示している。図15に示されるように、導電層Tbの左側の縁部において、導電層Tbと導電層Tcとの間には、図14に示された構成と異なり、絶縁膜15が設けられない。そのため、導電層Tbと導電層Tcとが積層して設けられる。他の構成は、図14と同じであるので、説明は省略する。
図16には、図13に示すI−I’線に沿った端子部T1の断面図が示されており、x12は端子部T1の短辺X12の位置を例示的に示している。位置x12の右側は、配線部Wを構成する。導電層Tcの右側の縁部において、導電層Tbと導電層Tcとの間には、図14に示された構成と異なり、絶縁膜15が設けられない。導電層Taと導電層Tbとは、切断されることなく、積層された状態で右側へ延出され、配線部Wを構成することになる。位置x12の左側の近傍において、導電層Tcの右側の縁部と導電層Tdの右側の縁部との間には、絶縁膜16が設けられる。絶縁膜16は、また、導電層Tcの上を覆う様に、導電層Tcの上に積層されている。
図17には、2本の端子部T1と、2本の端子部T1に重ねられた異方性導電フィルムACFとが拡大して描かれている。異方性導電フィルムACFは、一構成例として、整列して配置された複数の導電ビーズCPを有する構成の異方性導電フィルムを示した。前述の様に、異方性導電フィルムACFの導電ビーズ径Dcpは、例えば、3.8μmであり、絶縁膜15の貫通孔CH41の深さは、例えば、1.5μmである。また、端子部T1の短辺X11の長さは、例えば、16.7μmである。図14で説明したように、絶縁膜15の貫通孔CH41で異方性導電フィルムACFの導電ビーズCPと端子部T1との間はしっかりと導通を取ることが出来る。また、図17に示すように、導電ビーズCPが整列型の異方性導電フィルムACFを用いれば、導電ビーズCPと端子部T1との間の電気的導通を、より確実なものと出来る。図11で示された端子部T11がフラットなものに比べ、貫通孔CH41内にしっかりと導電ビーズCPを固定ないし配置することができる。つまり、図11に示す端子部T11では、ほぼ絶縁膜16の膜厚の段差で構成される貫通孔または凹部内において、導電ビーズCPと端子部T11との電気的導通が取られる。一方、図14に示す端子部T1では、絶縁膜15の貫通孔CH41および絶縁膜16の貫通孔CH42から構成される全体的な貫通孔または凹部は、図11に示す端子部T11の貫通孔または凹部と比較して、絶縁膜15の貫通孔CH41の分だけ、全体的な貫通孔または凹部の深さが深くなっている。このため、図14に示す端子部T1では、図11に示す端子部T11と比較して、全体的な貫通孔または凹部内にしっかりと導電ビーズCPを固定ないし配置することができ、良好な電気的導通を得ることが出来る。
(実施形態:端子部の構成2)
図18は、実施形態に係る端子部T3の平面図である。図8において説明された様に、端子部T3は、略U字状の外形形状を有し、例えば、電源が供給される端子に利用することが出来る。端子部T3は略U字状であるが、図13において説明された様に、一対の長辺Y11およびY12と一対の短辺X11およびX12を有する矩形状の構成としてとらえることが出来る。したがって、1対の絶縁膜15は、図13において説明されたと同様に、端子部T3の一対の長辺Y11およびY12に沿う端子部T3の縁部に設ければ良い。つまり、高温高湿の状態での通電試験においては、端子部T3の左右の隣に隣接して配置される端子部との関係では、一対の長辺Y11およびY12に沿う端子部T3の縁部が注目すべき領域である。したがって、端子部T3の一対の長辺Y11およびY12に沿う端子部T3の縁部に、1対の絶縁膜15を設けることにより、略U字状の端子部T3の信頼性を向上することが可能になる。
上記では略U字状の端子部T3について説明されたが、実装部MAに略E字状の端子部、または、櫛形状の端子部が存在する場合には、略E字状の端子部、または、櫛形状の端子部にも、上記と同様な技術思想を適用することが出来る。
なお、図8において説明された、電位的にフローティングとされる端子部T2については、その一対の長辺に、1対の絶縁膜15を設けても良いし、あるいは、設けなくても良い。端子部T2は電気的にフローティングであるため、高温高湿の状態での通電試験においては、特に問題となることは無いと考えられるためである。
絶縁膜15を設ける端子部は、高温高湿の状態での通電試験において、横電界の発生する隣接する2つの端子部の内、高電位となる端子部の長辺Y11またはY12の一方とすることも可能である。
(変形例)
以下に、いくつかの変形例を説明する。
(変形例1)
図19は、変形例1に係る端子部T1の平面図である。図20は、図19に示したJ−J’線に沿った端子部T1の断面図である。図19に示す端子部T1が、図13に示す端子部T1と異なる部分は、絶縁膜15が端子部T1の短辺X11に沿う端子部T1の縁部にも設けられている点である。つまり、図19においては、端子部T1の一対の長辺Y11およびY12および短辺X11に沿う端子部T3の縁部に、略U字状に絶縁膜15が設けられる。
図20に示されるように、図19に示したJ−J’線に沿った端子部T1の断面図では、図14で説明されたと同様に、絶縁膜15が導電層Tbの縁部を覆う様に設けられる。J−J’線に沿った端子部T1の断面図の構成自体は、図14に示される断面図の構成と同じであるため、その説明は省略する。
(変形例2)
図21は、変形例2に係る端子部T1の平面図である。図22は、図21に示したK−K’線に沿った端子部T1の断面図である。図21に示す端子部T1が、図13に示す端子部T1と異なる部分は、端子部T1の一対の長辺Y11およびY12の間に、平面視において、例えば矩形状の複数の絶縁膜16aが設けられる点である。つまり、図22に示すように、導電層Tbと接する導電層Tcの位置において、導電層Tcと導電層Tdとの間に、複数の絶縁膜16aが設けられる。
導電層Tbと接する導電層Tcの位置において、複数の絶縁膜16aを導電層Tcの上に形成することにより、導電層Tbと接する導電層Tcの位置における導電層Tdの表面は、複数の絶縁膜16aの膜厚の影響により、複数の段差部を有することになる。導電層Tdの表面に設けられた複数の段差は、異方性導電フィルムACFの導電ビーズCPと端子部T1の導電層Tdとの電気的接続を良好にする役割を果たす。
図22には、一構成例として、4つの絶縁膜16aが描かれているが、絶縁膜16aの数は1つ以上であればよい。また、図21の平面視における複数の絶縁膜16aの形状を矩形状として説明したが、それに限定されない。平面視における絶縁膜16aの形状は、円形状、長方形形状、楕円形状、あるいはこれらの形状の組み合わせなど、変更可能である。つまり、導電層Tdの表面に段差が設けられれば良い。絶縁膜16aの数や平面形状等は、導電層Tcと導電層Tdとの間の電気的接続が良好に取られていることを前提条件として、種々に変更可能である。
複数の絶縁膜16aは、絶縁膜16を選択的にパターニングすることにより、形成することが出来る。例えば、絶縁膜16に貫通孔CH42を形成する工程で、複数の絶縁膜16aも同時に形成できる。これによれば、複数の複数の絶縁膜16aを製造コストの上昇なしに、形成することできる。ここでは、絶縁膜16を利用して複数の絶縁膜16aを形成すると説明したが、それに限定されない。絶縁膜16と異なる他の絶縁膜を利用して、複数の絶縁膜16aを形成しても良い。
また、実装領域MAは端子領域MAと読み替えても良く、本実施例においてはフレキシブル配線基板1との接続する端子Tについて詳細に説明したが、端子Tは実装領域MAに形成されドライバーICが第1基板SUBに接続される構造の場合、ドライバーICと接続するための端子Tであっても良い。
さらに、端子Tの構造はドライバーICやフレキシブル配線基板1と接続するための端子に限らず、例えば検査パッド等にも応用できる。
また、端子領域MAの有機絶縁膜15は表示部DAの有機絶縁膜15に相当し、表示部DAの有機絶縁膜15のパターニングと同時にパターニングされる。つまり端子領域MAの有機絶縁膜15は導電層Tb(第3金属部)の縁部を残して除去される。
さらに、絶縁膜15は有機絶縁膜でなく、無機材料であっても良い。絶縁膜15を無機材料で形成する場合、第3金属配線との平坦性を考慮し、その膜厚はなるべく大きい(厚い)方が好ましい。ただし、無機絶縁膜の膜厚を有機絶縁膜の膜厚並みに大きく形成する(同等の厚さに形成する)ことは難しい。そのため、絶縁膜15を無機材料で形成する場合、無機絶縁膜を複数層重ね合せて形成することが考えられる。
以上説明したように、実施形態によれば、端子部の信頼性向上を図ることが可能な表示装置を提供することができる。
本発明の実施の形態として上述した表示装置を基にして、当業者が適宜設計変更して実施し得る全ての表示装置も、本発明の要旨を包含する限り、本発明の範囲に属する。
本発明の思想の範疇において、当業者であれば、各種の変更例及び修正例に想到し得るものであり、それら変更例及び修正例についても本発明の範囲に属するものと了解される。例えば、上述の各実施形態に対して、当業者が適宜、構成要素の追加、削除もしくは設計変更を行ったもの、又は、工程の追加、省略若しくは条件変更を行ったものも、本発明の要旨を備えている限り、本発明の範囲に含まれる。
また、本実施形態において述べた態様によりもたらされる他の作用効果について本明細書記載から明らかなもの、又は当業者において適宜想到し得るものについては、当然に本発明によりもたらされるものと解される。
上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合せにより種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。更に、異なる実施形態に亘る構成要素を適宜組み合せてもよい。
DSP:表示装置
TS:タッチセンサ
TC:タッチコントローラ
Rx:センサ電極
CE(CE1、CE2):共通電極
L:センサ配線
ML:金属配線
PNL:表示パネル
DA:表示部
PX:画素
G:走査線
S:信号線
PE:画素電極
14、15、16:絶縁膜

Claims (9)

  1. 表示部と実装部を有する表示パネルと、前記実装部に端子部を備え、
    前記表示部は第1金属層で形成されるゲート配線と、第2金属層で形成される信号線と、第3金属層で形成される金属配線と、第1透明導電膜で形成される第1透明電極と、第2透明導電膜で形成される第2透明電極とを含み、
    前記端子部は、前記第2金属層で形成される第1金属部と、前記第1金属部に積層され前記第3金属層で形成された第2金属部を備え、
    前記第2金属部は前記第1金属部の表面及び側面を覆い、
    前記第2金属部の縁部は有機絶縁膜に覆われるとともに、前記第2金属部の前記縁部の内側は前記有機絶縁膜に形成された第1スルーホールにて露出されている、表示装置。
  2. 請求項1に記載の表示装置であって、
    前記実装部は前記端子部から引き出される配線を含み、
    前記配線は前記第2金属層で形成されている、表示装置。
  3. 請求項2に記載の表示装置であって、
    前記端子部はさらに前記第1透明導電膜を含み、
    前記第1透明導電膜は前記有機絶縁膜の前記第1スルーホールが形成される位置で前記第2金属部に接し、前記第2金属部の前記縁部に重畳する位置において前記有機絶縁膜に接する、表示装置。
  4. 請求項3に記載の表示装置であって、
    前記端子部はさらに無機絶縁膜と前記第2透明導電膜を含み、
    前記第2金属部の前記縁部に重なる位置において前記第1透明導電膜を覆い、前記有機絶縁膜の前記第1スルーホールが形成される位置にて前記第1透明導電膜を露出する第2スルーホールを有し、
    前記第2透明導電膜は前記第2金属部の前記縁部に重なる位置にて前記無機絶縁膜に接し、前記第2スルーホールが形成される位置にて前記第1透明導電膜に接する、表示装置。
  5. 請求項1に記載の表示装置であって、
    前記第2金属層はモリブデン/アルミニウム/モリブデンの積層膜であり、
    前記第1金属層はチタン/アルミニウム/チタンの積層膜である、表示装置。
  6. 請求項5に記載の表示装置であって、
    前記端子部は一対の長辺と、一対の短辺で形成される矩形状であり、前記有機絶縁膜で覆われる前記第2金属部の前記縁部は前記一対の長辺に相当する領域である、表示装置。
  7. 請求項6に記載の表示装置であって、
    前記有機絶縁膜はさらに前記端子部の前記一対の短辺の一方に相当する領域の前記第2金属部の前記縁部をも覆う、表示装置。
  8. 請求項7に記載の表示装置であって、
    前記表示装置は配線基板を備え、前記配線基板と前記端子部は異方性導電膜で接続されており、前記有機絶縁膜の第1スルーホールの深さは、前記異方性導電膜の導電ビーズの径よりも小さい、表示装置。
  9. 請求項2に記載の表示装置であって、
    前記表示パネルは前記表示部において
    走査信号配線と映像信号配線を覆う第1有機絶縁膜と、
    前記第1有機絶縁膜の上に形成される前記金属配線と、
    前記金属配線と前記第1有機絶縁膜を覆う第2有機絶縁膜と、
    前記第2有機絶縁膜の上に形成される前記第1透明電極と、
    前記第1透明電極を覆う無機絶縁膜と、
    前記無機絶縁膜の上に形成される前記第2透明電極と、を備え、
    前記有機絶縁膜は前記表示部における前記第2有機絶縁膜と同材料である、表示装置。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2021261219A1 (ja) * 2020-06-22 2021-12-30 株式会社ジャパンディスプレイ 検出装置
US11934075B2 (en) 2020-07-15 2024-03-19 Japan Display Inc. Display device

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20230110404A (ko) 2022-01-14 2023-07-24 삼성디스플레이 주식회사 표시장치

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004302448A (ja) * 2003-03-19 2004-10-28 Nec Lcd Technologies Ltd 液晶表示装置及びその製造方法
JP2006338013A (ja) * 2005-05-31 2006-12-14 Lg Phillips Lcd Co Ltd 液晶ディスプレイ
JP2014145857A (ja) * 2013-01-28 2014-08-14 Sony Corp 表示装置およびその製造方法、並びに電子機器
US20160020422A1 (en) * 2014-07-16 2016-01-21 Lg Display Co., Ltd. Organic light emitting display device and method of manufacturing the same
EP3098872A1 (en) * 2015-05-28 2016-11-30 LG Display Co., Ltd. Organic light emitting display apparatus and method of manufacturing the same
JP2017152231A (ja) * 2016-02-25 2017-08-31 株式会社ジャパンディスプレイ 表示装置、表示装置の製造方法
JP2017211638A (ja) * 2016-03-15 2017-11-30 株式会社半導体エネルギー研究所 表示装置、モジュール、及び電子機器

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100262954B1 (ko) * 1997-09-03 2000-08-01 구본준 액정 표시 장치 제조 방법 및 그 제조 방법에 의한 구조
JP2003107523A (ja) * 2001-09-28 2003-04-09 Hitachi Ltd 液晶表示装置
JP4179199B2 (ja) * 2003-06-02 2008-11-12 セイコーエプソン株式会社 電気光学装置及びこれを備えた電子機器
US8421967B2 (en) * 2006-12-14 2013-04-16 Sharp Kabushiki Kaisha Liquid crystal display device and process for producing liquid crystal display device
JP6324098B2 (ja) 2014-02-06 2018-05-16 株式会社ジャパンディスプレイ 表示装置及びその製造方法
JP2017037131A (ja) * 2015-08-07 2017-02-16 三菱電機株式会社 アレイ基板とそのアレイ基板を用いた液晶表示装置
JP6663249B2 (ja) 2016-02-26 2020-03-11 株式会社ジャパンディスプレイ 表示装置
WO2018181665A1 (ja) * 2017-03-30 2018-10-04 シャープ株式会社 表示装置
JP6968710B2 (ja) * 2018-01-11 2021-11-17 株式会社ジャパンディスプレイ 表示装置

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004302448A (ja) * 2003-03-19 2004-10-28 Nec Lcd Technologies Ltd 液晶表示装置及びその製造方法
JP2006338013A (ja) * 2005-05-31 2006-12-14 Lg Phillips Lcd Co Ltd 液晶ディスプレイ
JP2014145857A (ja) * 2013-01-28 2014-08-14 Sony Corp 表示装置およびその製造方法、並びに電子機器
US20160020422A1 (en) * 2014-07-16 2016-01-21 Lg Display Co., Ltd. Organic light emitting display device and method of manufacturing the same
EP3098872A1 (en) * 2015-05-28 2016-11-30 LG Display Co., Ltd. Organic light emitting display apparatus and method of manufacturing the same
JP2017152231A (ja) * 2016-02-25 2017-08-31 株式会社ジャパンディスプレイ 表示装置、表示装置の製造方法
JP2017211638A (ja) * 2016-03-15 2017-11-30 株式会社半導体エネルギー研究所 表示装置、モジュール、及び電子機器

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2021261219A1 (ja) * 2020-06-22 2021-12-30 株式会社ジャパンディスプレイ 検出装置
US11934075B2 (en) 2020-07-15 2024-03-19 Japan Display Inc. Display device

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Publication number Publication date
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