JP2019176155A5

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Info

Publication number: JP2019176155A5
Application number: JP2019063858A
Authority: JP
Filing date: 2019-03-28
Publication date: 2021-02-12
Anticipated expiration: 2039-03-28

Description

本件特許出願は、仮米国特許第６２／６４９８６７号の優先権主張に基づいて、２０１８年３月２９日に出願されたものであり、仮特許出願第６２／６４９８６７号に開示された、その開示内容は参照により、その全体が本明細書に組み込まれる。本出願では、類似のまたは対応する特徴は、類似のまたは対応する参照符号によって示される。様々な実施形態に関する記述は、図に示された例に限定されるものではなく、また、詳細な説明および特許請求の範囲で使用される参照番号は、実施形態に関する記述を限定することを意図したものではなく、図に示された例を参照することにより実施形態を明瞭にするために含まれるものである。

Claims

ウェーハ・ボートに収容されたウェーハを加工するための垂直バッチ炉の加工チャンバの下に位置決めされるように構成されたウェーハ・ボート冷却デバイスであって、
底板と、
ウェーハ・ボートを支持するための少なくとも２つのウェーハ・ボート位置を含む回転テーブルであって、前記底板の上方で中心垂直軸を中心として回転可能な回転テーブルと、
前記回転テーブルに取り付けられて、各ウェーハ・ボート位置において垂直に延在するウェーハ・ボート・チャンバを形成する、垂直に延在する壁構造と、
を備え、
前記垂直に延在する壁構造が、
複数のガス供給開口部を含むガス供給領域と、
複数のガス排出開口部を含むガス排出領域と、
を備え、
前記ウェーハ・ボート冷却デバイスが、
前記底板内の中央ガス開口部を通って延在して前記複数のガス供給開口部または前記複数のガス排出開口部と流体連通している導管
をさらに備え、
前記底板が、前記回転テーブルが複数の割出し位置のうちの１つにあるときに前記複数のガス供給開口部または前記複数のガス排出開口部と流体連通する複数の底板開口部を有し、
前記ウェーハ・ボート冷却デバイスが、
少なくとも部分的に前記導管の周りで前記底板の下に延在するプレナム・チャンバを作るプレナム・チャンバ壁を有しているプレナム・チャンバ・ハウジングであって、前記底板内の前記複数の底板開口部が、前記プレナム・チャンバと流体連通し、また、前記プレナム・チャンバが、少なくとも１つのプレナム・チャンバ開口部を有する、プレナム・チャンバ・ハウジングと、
前記少なくとも１つのプレナム・チャンバ開口部から前記導管まで延在しかつ少なくとも１つのガス・ブロワを含む、再循環チャネルと、
前記プレナム・チャンバ内に位置決めされた少なくとも１つのガス／液体熱交換器と、
をさらに備える、ウェーハ・ボート冷却デバイス。
前記少なくとも１つのガス／液体熱交換器が、前記垂直に延在するウェーハ・ボート・チャンバのうちの少なくとも１つから排出される前記ガスを冷却するように構成される、請求項１に記載のウェーハ・ボート冷却デバイス。
前記プレナム・チャンバ・ハウジングが、少なくとも１つの熱交換器ハウジングを含み、前記少なくとも１つのガス／液体熱交換器が、前記少なくとも１つの熱交換器ハウジングのうちの関連する１つに収容され、前記少なくとも１つのプレナム・チャンバ開口部が、前記垂直に延在するウェーハ・ボート・チャンバのうちの少なくとも１つから排出される前記ガスが前記再循環チャネルへまたは前記複数の底板開口部へ流れるときに前記少なくとも１つのガス／液体熱交換器に沿って流れるように、前記少なくとも１つの熱交換器ハウジング内に設けられる、請求項１に記載のウェーハ・ボート冷却デバイス。
前記少なくとも１つの熱交換器チャンバ・ハウジングが、２つの熱交換器ハウジングを含み、前記２つの熱交換器ハウジングのそれぞれが、ガス／液体熱交換器を収容し、２つの熱交換器ハウジングのそれぞれがが、前記少なくとも１つのプレナム・チャンバ開口部のうちの１つを備える、請求項３に記載のウェーハ・ボート冷却デバイス。
前記複数のガス供給開口部が、前記垂直に延在する壁構造の全高に実質的にわたって少なくとも垂直方向に沿って、前記垂直に延在する壁構造において分散される、請求項１に記載のウェーハ・ボート冷却デバイス。
前記複数のガス排出開口部が、前記垂直に延在する壁構造の全高に実質的にわたって少なくとも垂直方向に沿って、前記垂直に延在する壁構造において分散される、請求項１に記載のウェーハ・ボート冷却デバイス。
前記複数のガス供給開口部を介してそれぞれの前記ウェーハ・ボート・チャンバに供給されたガスが、関連する前記ウェーハ・ボート・チャンバの前記複数のガス排出開口部へ流れるときに実質的に水平に前記ウェーハ・ボート・チャンバを横断するように、ウェーハ・ボート・チャンバごとに前記ガス供給領域が前記ガス排出領域に対向する、請求項１に記載のウェーハ・ボート冷却デバイス。
前記導管または前記底板開口部のどちらか一方と前記複数のガス供給開口部とを流体的に接続するガス供給導管であって、前記複数のガス供給開口部が、関連する前記ガス供給導管とそれぞれの前記垂直に延在するウェーハ・ボート・チャンバとを流体的に接続する、ガス供給導管と、
前記導管および前記底板開口部のどちらかのうちのもう一方と前記複数のガス排出開口部とを流体的に接続するガス排出導管であって、前記複数のガス排出開口部が、関連する前記ガス排出導管とそれぞれの前記垂直に延在するウェーハ・ボート・チャンバとを流体的に接続する、ガス排出導管と、
をさらに備える、請求項１に記載のウェーハ・ボート冷却デバイス。
前記垂直に延在する壁構造が、少なくとも１つの垂直に延在するガス供給チャネルをさらに境界し、したがって前記ガス供給導管を形成し、前記垂直に延在する壁構造が、少なくとも１つの垂直に延在するガス排出チャネルを境界し、したがって前記ガス排出導管を形成する、請求項８に記載のウェーハ・ボート冷却デバイス。
前記垂直に延在するウェーハ・ボート・チャンバのうちの１つが、垂直に移動可能なリフト支持部材を有するウェーハ・ボート・リフトに関連付けられ、前記回転テーブルが、前記リフト支持部材を前記回転テーブルの下側と前記底板の上側との間の空間に収容するために、各ウェーハ・ボート位置にリフト支持開口部を有し、前記リフト支持部材が、前記リフト支持開口部を通って前記回転テーブルを通過することができる、請求項１に記載のウェーハ・ボート冷却デバイス。
不動支持フレームと、
前記導管に固定して接続される内側レースを有し、かつ、前記不動支持体に固定して接続される外側レースを有する、回転テーブル軸受と、
をさらに備え、
前記導管が、前記回転テーブルに固定して接続されて、前記回転テーブルのための支持体を形成する、請求項１に記載のウェーハ・ボート冷却デバイス。
円周壁および頂部壁を有する主ハウジングをさらに備え、前記底板が、前記主ハウジングの底壁を形成する、請求項１に記載のウェーハ・ボート冷却デバイス。
前記主ハウジングが、前記垂直に延在するウェーハ・ボート・チャンバのうちの１つの中でウェーハをウェーハ・ボートとの間で移送するための少なくとも１つの移送開口部をさらに備える、請求項１２に記載のウェーハ・ボート冷却デバイス。
前記導管が、前記回転テーブルに固定して接続され、第１のガス・シールが、前記回転可能な導管と前記底板との間に設けられ、第２のガス・シールが、前記回転可能な入口導管と前記再循環チャネルとの間に設けられる、請求項１に記載のウェーハ・ボート冷却デバイス。
前記第１のガス・シールおよび前記第２のガス・シールが、前記ウェーハ・ボート冷却デバイスの回転部品と前記ウェーハ・ボート冷却デバイスの不動部品との間に気密の接続を作るために前記ウェーハ・ボート冷却デバイス内に存在するただ２つのガス・シールである、請求項１４に記載のウェーハ・ボート冷却デバイス。
各垂直に延在するウェーハ・ボート・チャンバの前記ガス供給領域が、フィルタ組立体を備え、その結果、前記複数のガス供給開口部を介してそれぞれの前記垂直に延在するウェーハ・ボート・チャンバに供給されるガスが、前記フィルタ組立体を通過しなければならない、請求項１に記載のウェーハ・ボート冷却デバイス。
前記回転テーブルが、対応する垂直に延在するウェーハ・ボート・チャンバを含む３つのウェーハ・ボート位置を有し、前記回転テーブルが、１２０°の角度にわたって割出し可能であり、
前記ウェーハ・ボート冷却デバイスの第１の割出し位置が、前記第１の割出し位置にある前記ウェーハ・ボート・チャンバから前記ウェーハ・ボートを垂直に前記加工チャンバ内へ搭載するための、および／または前記第１の割出し位置にある前記垂直に延在するウェーハ・ボート・チャンバ内に前記加工チャンバから前記ウェーハ・ボートを受け取るための、搭載／受取り位置であり、
前記ウェーハ・ボート冷却デバイスの第２の割出し位置が、冷却位置であり、
前記ウェーハ・ボート冷却デバイスの第３の割出し位置が、前記第３の割出し位置にある前記垂直に延在するウェーハ・ボート・チャンバに収容された前記ウェーハ・ボートとの間でウェーハを移送するための移送位置である、
請求項１に記載のウェーハ・ボート冷却デバイス。
ウェーハ・ボートに収容されたウェーハを加工するための加工チャンバと、
請求項１に記載のウェーハ・ボート冷却デバイスであって、前記加工チャンバの下に位置決めされる、ウェーハ・ボート冷却デバイスと、
ウェーハ・ボートを前記ウェーハ・ボート冷却デバイスから前記加工チャンバへ、また前記加工チャンバから前記ウェーハ・ボート冷却デバイスへ移送するように構成された垂直ウェーハ・ボート・リフト組立体と、
を備える、垂直バッチ炉組立体。