JP2019173062A - 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム - Google Patents
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Abstract
Description
反応管内に収容された基板に対して、原料ガスを供給する第1の工程と、
反応管に接続された排気管から、反応管内に残留する原料ガスを排気する第2の工程と、
基板に対して、原料ガスと反応する反応ガスを供給する第3の工程と、
排気管から、反応管内に残留する反応ガスを排気する第4の工程と、
を順に所定回数行って基板上に膜を形成する工程を有し、少なくとも第1および第3の工程では、反応管の温度を、原料ガスの熱分解温度未満であって凝縮温度より高い温度である第1の温度に設定し、排気管の温度を第1の温度の1.0倍以上1.6倍以下である第2の温度に設定する技術が提供される。
以下に、本発明の好ましい実施の形態について図1〜4を参照してより詳細に説明する。基板処理装置10は半導体装置の製造工程において使用される装置の一例として構成されている。
基板処理装置10は、加熱手段(加熱機構、加熱系)としてのヒータ207が設けられた処理炉202を備える。ヒータ207は円筒形状であり、保持板としてのヒータベース(図示せず)に支持されることにより垂直に据え付けられている。
半導体装置(デバイス)の製造工程の一工程として、基板上に、TiO2膜を形成する工程の一例について説明する。TiO2膜を形成する工程は、上述した基板処理装置10の処理炉202を用いて実行される。以下の説明において、基板処理装置10を構成する各部の動作はコントローラ121により制御される。
複数枚のウエハ200を処理室201内に搬入(ボートロード)する。具体的には、複数枚のウエハ200がボート217に装填(ウエハチャージ)されると、図1に示されているように、複数枚のウエハ200を支持したボート217は、ボートエレベータ115によって持ち上げられて処理室201内に搬入される。この状態で、シールキャップ219はOリング220を介して反応管203の下端開口を閉塞した状態となる。
処理室201内が所望の圧力(真空度)となるように真空ポンプ246によって真空排気される。この際、処理室201内の圧力は、圧力センサ245で測定され、この測定された圧力情報に基づき、APCバルブ243がフィードバック制御される(圧力調整)。真空ポンプ246は、少なくともウエハ200に対する処理が完了するまでの間は常時作動させた状態を維持する。また、処理室201内が所望の温度となるようにヒータ207によって加熱される。この際、処理室201内が所望の温度分布となるように、温度センサ263が検出した温度情報に基づきヒータ207への通電量がフィードバック制御される(温度調整)。ヒータ207による処理室201内の加熱は、少なくともウエハ200に対する処理が完了するまでの間は継続して行われる。
その後、原料ガス供給ステップ、残留ガス除去ステップ、反応ガス供給ステップ、残留ガス除去ステップをこの順で所定回数行う。
バルブ314,516を開き、ガス供給管310内に原料ガスであるTDMATガスを流す。ガス供給管310内を流れたTDMATガスは、MFC312により流量調整され、ノズル410のガス供給孔410aから処理室201内へ供給され、排気管231から排気される。このときウエハ200に対してTDMATガスが供給されることとなる。このとき同時にバルブ514を開き、ガス供給管510内にN2ガスを流す。ガス供給管510内を流れたN2ガスは、MFC512により流量調整される。流量調整されたN2ガスはTDMATガスと一緒に処理室201内へ供給され、排気管231から排気される。このとき、ノズル420内へのTDMATガスの侵入を防止するために、バルブ524,526を開き、ガス供給管520内にN2ガスを流す。N2ガスは、ガス供給管320,ノズル420を介して処理室201内に供給され、排気管231から排気される。
その後、バルブ314を閉じてTDMATガスの供給を停止する。このとき、排気管231のAPCバルブ243は開いたままとして、真空ポンプ246により処理室201内を真空排気し、処理室201内に残留する未反応又は上記したTi含有層の形成に寄与した後のTDMATガスを処理室201内から排除する。なお、このときバルブ510,520は開いたままとして、N2ガスの処理室201内への供給を維持する。N2ガスはパージガスとして作用し、これにより、処理室201内に残留する未反応又は上記したTi含有層の形成に寄与した後のTDMATガスを処理室201内から排除する効果を高めることができる。このとき、後述するO含有供給ステップまで、真空排気とN2ガスパージとを同時に行ってもよいし、真空排気とN2ガスパージとを交互に(サイクリックに)所定回数ずつ行ってもよい。同時に行う場合は、N2ガスの供給によりN2ガスパージ時の処理室201内の圧力を、原料ガス供給ステップにおける処理室201内の圧力より高くなるよう設定する。交互に行う場合は、例えば、真空排気時の処理室201内の圧力を、原料ガス供給ステップにおける圧力より低い値であって、例えば1〜100Paであって、好ましくは1〜30Paとなるよう設定し、N2ガスパージ時の処理室201内の圧力を、原料ガス供給ステップにおける圧力より高い値であって、例えば1〜1500Paであって、好ましくは80〜110Paとなるよう設定する。真空排気とN2ガスパージとを交互に行うことにより、残留ガスの除去効率を向上させることが可能となる。
バルブ324を開き、ガス供給管320内にO含有ガスであるH2Oガスを流す。ガス供給管320内を流れたH2Oガスは、MFC322により流量調整され、ノズル420のガス供給孔420aから処理室201内に供給され、排気される。このとき同時にバルブ534を開き、ガス供給管530内にN2ガスを流す。ガス供給管530内を流れたN2ガスは、MFC532により流量調整されH2Oガスと一緒に処理室201内に供給され、排気管231から排気される。このとき、ノズル410内へのH2Oガスの侵入を防止するために、バルブ514,516を開き、ガス供給管510内にN2ガスを流す。N2ガスは、ガス供給管310,ノズル410を介して処理室201内に供給され、排気管231から排気される。
TiO2層が形成された後、バルブ324を閉じて、H2Oガスの供給を停止する。そして、原料ガス供給ステップ後の残留ガス除去ステップと同様の処理手順により、処理室201内に残留する未反応もしくはTiO層形成に寄与した後のH22Oガスを処理室201内から排除する。真空排気とN2ガスパージとを同時に行ってもよいし、真空排気とN2ガスパージとを交互に(サイクリックに)所定回数ずつ行ってもよい点も、原料ガス供給ステップ後の残留ガス除去ステップと同様である。
上記した原料ガス供給ステップ、残留ガス除去ステップ、反応ガス供給ステップ、残留ガス供給ステップを順に行うサイクルを1回以上(所定回数)行うことにより、すなわち、原料ガス供給ステップ、残留ガス除去ステップ、反応ガス供給ステップ、残留ガス供給ステップの処理を1サイクルとして、これらの処理をn1サイクル(n1は1以上の整数)だけ実行することにより、ウエハ200上に、所定の厚さ(例えば0.05〜100nm)のTiO膜を形成する。
バルブ514,516,524,526を開き、ガス供給管510,520のそれぞれからN2ガスを処理室201内へ供給し、排気管231から排気する。N2ガスはパージガスとして作用し、これにより処理室201内が不活性ガスでパージされ、処理室201内に残留するガスや副生成物が処理室201内から除去される(パージ)。その後、処理室201内の雰囲気が不活性ガスに置換され(不活性ガス置換)、処理室201内の圧力が常圧に復帰される(大気圧復帰)。
その後、ボートエレベータ115によりシールキャップ219が下降されて、反応管203の下端が開口される。そして、処理済ウエハ200がボート217に支持された状態で反応管203の下端から反応管203の外部に搬出(ボートアンロード)される。その後、処理済のウエハ200は、ボート217より取り出される(ウエハディスチャージ)。
本実施形態によれば、以下に示す1つまたは複数の効果を奏する。
(b)処理室の温度を気化ガスの熱分解温度未満であって凝縮温度より高い温度に設定する場合、排気管の温度を1倍より高く1.6倍以下であるような温度に設定することにより、気化ガスの熱分解は抑制され、たとえ熱分解したとしても粉化せず膜として排気管に付着させることが可能となるとともに、再液化を抑制することが可能となる。
(c)残留ガス除去ステップで、真空排気とN2ガスパージとを交互に行うことで、残留ガスの除去効率を向上させることが可能となる。
(d)排気管の温度を、処理室内の温度と同じ温度とすることで、処理ガスが逆流したとしてもコールドスポットが形成されないようにすることが可能となる。
(e)排気管の温度を、処理室からの距離に応じて徐々に変動させる場合、処理室との接続部は、処理室と同じ温度に設定し、下流側にいくにしたがって温度を高く設定することにより、処理ガスが逆流したとしてもコールドスポットが形成されないようにすることが可能となる。
(f)排気管の温度を、原料ガス供給ステップおよび反応ガス供給ステップと、各ステップ後の残留ガス除去ステップとで変えることにより、処理室内の圧力による液化リスクを低減することが可能となる。
(g)処理室より上流側のガス供給管の処理室との接続部の温度を、処理室の温度と同じ温度とすることで、処理ガスが逆流したとしてもコールドスポットが形成されないようにすることが可能となる。
(h)処理室より上流側の各ガス供給管の温度を、処理室からの距離に比例して低くなるよう設定することにより、各処理ガスを安定して供給することが可能となる。
(i)大気圧復帰時に、排気管の温度を処理室の温度と同じ温度に設定することにより、ガスの対流を抑制することが可能となる。
(j)1サイクルのステップ内における原料ガス供給ステップで、原料ガスの供給と除去を交互に複数回行うことで、形成される層へ取り込まれる不純物の量を低減することが可能となる。
(k)1サイクルのステップ内における反応ガス供給ステップで、反応ガスの供給と除去を交互に複数回行うことで、原料ガスの供給により形成された層との反応を促進することが可能となる。
上述の各実施形態は、適宜組み合わせて用いることができる。さらに、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。
121・・・コントローラ
200・・・ウエハ
201・・・処理室
202・・・処理炉
Claims (13)
- 反応管内に収容された基板に対して、原料ガスを供給する第1の工程と、
前記反応管に接続された排気管から、前記反応管内に残留する前記原料ガスを排気する第2の工程と、
前記基板に対して、前記原料ガスと反応する反応ガスを供給する第3の工程と、
前記排気管から、前記反応管内に残留する前記反応ガスを排気する第4の工程と、
を順に所定回数行って前記基板上に膜を形成する工程を有し、少なくとも前記第1および第3の工程では、前記反応管の温度を、前記原料ガスの熱分解温度未満であって凝縮温度より高い温度である第1の温度に設定し、前記排気管の温度を前記第1の温度の1.0倍以上1.6倍以下である第2の温度に設定する半導体装置の製造方法。 - 前記第1の温度は、55℃以上250℃以下である請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1の温度は、55℃以上130℃以下である請求項2に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第2の温度は前記第1の温度より高く設定する請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1の工程から前記第4の工程では反応管内を減圧し、
前記基板上に膜を形成した後、前記排気管の温度を前記第2の温度から前記第1の温度まで下げた状態で前記排気管内の圧力を大気圧にする第5の工程をさらに有する請求項4に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第2および第4の工程では、前記排気管の温度を前記第2の温度に設定する請求項4に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1の工程から前記第4の工程では、各工程における前記反応管内の圧力の値に応じて、前記排気管の温度を調整する請求項1〜4のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1の工程から前記第4の工程では、前記排気管の温度を前記第2の温度に維持する請求項1〜4のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記原料ガスを前記反応管内に供給する原料ガス供給管の前記反応管との接続部の温度と、前記反応ガスを前記反応管内に供給する反応ガス供給管の前記反応管との接続部の温度と、を前記第1の温度に設定する請求項1〜8のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記原料ガス供給管と前記反応ガス供給管の温度を、前記反応管との接続部からの距離と比例して、低くなるよう設定する請求項9に記載の半導体装置の製造方法。
- 反応管内に収容された基板に対して、原料ガスを供給する第1の工程と、
前記反応管に接続された排気管から、前記反応管内に残留する前記原料ガスを排気する第2の工程と、
前記基板に対して、前記原料ガスと反応する反応ガスを供給する第3の工程と、
前記排気管から、前記反応管内に残留する前記反応ガスを排気する第4の工程と、
を順に所定回数行って前記基板上に膜を形成する工程を有し、少なくとも前記第1および第3の工程では、前記反応管の温度を、前記原料ガスの熱分解温度未満であって凝縮温度より高い温度である温度に設定し、前記排気管の温度を前記反応管の温度の1.0倍以上1.6倍以下である温度であって前記反応管と前記排気管との接続部からの距離に比例して変化する温度変動率を有する温度に設定する半導体装置の製造方法。 - 基板を収容する反応管と、
前記反応管を加熱する加熱系と、
前記反応管内に原料ガスおよび前記原料ガスと反応する反応ガスを供給するガス供給系と、
前記反応管内の雰囲気を排気する排気系であって、前記反応管に接続された排気管を有する排気系と、
前記反応管内に収容された基板に対して、前記原料ガスを供給する第1の処理と、前記排気管から、前記反応管内に残留する前記原料ガスを排気する第2の処理と、前記基板に対して前記反応ガスを供給する第3の処理と、
前記排気管から、前記反応管内に残留する前記反応ガスを排気する第4の処理と、を順に所定回数行って前記基板上に膜を形成する際、少なくとも前記第1および第3の処理では、前記反応管の温度を、前記原料ガスの熱分解温度未満であって凝縮温度より高い温度である第1の温度に設定し、前記排気管の温度を前記第1の温度の1.0倍以上1.6倍以下である第2の温度に設定するよう、前記加熱系、前記ガス供給系および前記排気系を制御するように構成される制御部と、
を有する基板処理装置。 - 基板処理装置の反応管内に収容された基板に対して、原料ガスを供給する第1の手順と、
前記反応管に接続された排気管から、前記反応管内に残留する前記原料ガスを排気する第2の手順と、
前記基板に対して、前記原料ガスと反応する反応ガスを供給する第3の手順と、
前記排気管から、前記反応管内に残留する前記反応ガスを排気する第4の手順と、
を順に所定回数行って前記基板上に膜を形成する手順と、少なくとも前記第1および第3の手順では、前記反応管の温度を、前記原料ガスの熱分解温度未満であって凝縮温度より高い温度である第1の温度に設定し、前記排気管の温度を前記第1の温度の1.0倍以上1.6倍以下である第2の温度に設定することを特徴とする手順と
をコンピュータによって前記基板処理装置に実行させるプログラム。
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