JP2019173010A - Resin material, laminate film and multilayer printed wiring board - Google Patents

Resin material, laminate film and multilayer printed wiring board Download PDF

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Abstract

To provide a resin material which 1) enhances embedding properties to an uneven surface, 2) suppresses excess squeeze out from a periphery of a substrate of a resin material during lamination, 3) keeps curing temperature low, 4) reduces dielectric loss tangent of a cured article, 5) enhances adhesiveness with a metal, and 6) can enhance bending stability of the cured article.SOLUTION: The resin material contains a polyimide compound, and at least one of aliphatic skeleton-containing compound of a maleimide compound having an aliphatic skeleton and a benzoxazine compound having the aliphatic skeleton.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、ポリイミド化合物を含む樹脂材料に関する。また、本発明は、上記樹脂材料を用いた多層プリント配線板に関する。   The present invention relates to a resin material containing a polyimide compound. Moreover, this invention relates to the multilayer printed wiring board using the said resin material.

従来、半導体装置、積層板及びプリント配線板等の電子部品を得るために、様々な樹脂材料が用いられている。例えば、多層プリント配線板では、内部の層間を絶縁するための絶縁層を形成したり、表層部分に位置する絶縁層を形成したりするために、樹脂材料が用いられている。上記絶縁層の表面には、一般に金属である配線が積層される。また、上記絶縁層を形成するために、上記樹脂材料がフィルム化された樹脂フィルムが用いられることがある。上記樹脂材料及び上記樹脂フィルムは、ビルドアップフィルムを含む多層プリント配線板用の絶縁材料等として用いられている。   Conventionally, various resin materials have been used to obtain electronic components such as semiconductor devices, laminated boards, and printed wiring boards. For example, in a multilayer printed wiring board, a resin material is used to form an insulating layer for insulating internal layers or to form an insulating layer located in a surface layer portion. On the surface of the insulating layer, a wiring generally made of metal is laminated. Moreover, in order to form the said insulating layer, the resin film in which the said resin material was turned into a film may be used. The resin material and the resin film are used as insulating materials for multilayer printed wiring boards including build-up films.

下記の特許文献1には、マレイミド基と、少なくとも2つのイミド結合を有する2価の基及び飽和又は不飽和の2価の炭化水素基とを有する化合物を含有する樹脂組成物が開示されている。特許文献1には、この樹脂組成物の硬化物を、多層プリント配線板等の絶縁層として用いることができることが記載されている。   The following Patent Document 1 discloses a resin composition containing a compound having a maleimide group, a divalent group having at least two imide bonds, and a saturated or unsaturated divalent hydrocarbon group. . Patent Document 1 describes that a cured product of this resin composition can be used as an insulating layer such as a multilayer printed wiring board.

下記の特許文献2には、(A)多官能エポキシ樹脂(但し、フェノキシ樹脂を除く)、(B)フェノール系硬化剤及び/又は活性エステル系硬化剤、(C)熱可塑性樹脂、(D)無機充填材、並びに(E)4級ホスホニウム系硬化促進剤を含有する樹脂組成物が開示されている。(C)熱可塑性樹脂は、フェノキシ樹脂、ポリビニルアセタール樹脂、ポリイミド、ポリアミドイミド樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、及びポリスルホン樹脂から選択される熱可塑性樹脂である。(E)4級ホスホニウム系硬化促進剤は、テトラブチルホスホニウムデカン酸塩、(4−メチルフェニル)トリフェニルホスホニウムチオシアネート、テトラフェニルホスホニウムチオシアネート、及びブチルトリフェニルホスホニウムチオシアネートから選ばれる1種以上の4級ホスホニウム系硬化促進剤である。   Patent Document 2 below includes (A) a polyfunctional epoxy resin (excluding a phenoxy resin), (B) a phenol-based curing agent and / or an active ester-based curing agent, (C) a thermoplastic resin, and (D). A resin composition containing an inorganic filler and (E) a quaternary phosphonium-based curing accelerator is disclosed. (C) The thermoplastic resin is a thermoplastic resin selected from phenoxy resin, polyvinyl acetal resin, polyimide, polyamideimide resin, polyethersulfone resin, and polysulfone resin. (E) The quaternary phosphonium curing accelerator is one or more quaternary compounds selected from tetrabutylphosphonium decanoate, (4-methylphenyl) triphenylphosphonium thiocyanate, tetraphenylphosphonium thiocyanate, and butyltriphenylphosphonium thiocyanate. It is a phosphonium-based curing accelerator.

WO2016/114286A1WO2016 / 114286A1 特開2015−145498号公報JP2015-145498A

特許文献1に記載のような従来の樹脂材料を用いて絶縁層を形成した場合、基板等の凹凸に対する樹脂材料の埋め込み性が十分に高くならなかったり、ラミネート時に樹脂材料が基板周囲から過度にはみ出したりして、膜厚の制御が困難になることがある。また、特許文献2に記載のような従来の樹脂材料を用いて絶縁層を形成した場合には、該絶縁層の誘電正接が十分に低くならなかったり、該絶縁層と銅基板との密着性が十分に高くならなかったりすることがある。   When the insulating layer is formed using a conventional resin material as described in Patent Document 1, the embedding property of the resin material into the unevenness of the substrate or the like is not sufficiently high, or the resin material is excessively excessive from the periphery of the substrate at the time of lamination. It may become difficult to control the film thickness. In addition, when an insulating layer is formed using a conventional resin material as described in Patent Document 2, the dielectric loss tangent of the insulating layer does not become sufficiently low, or the adhesion between the insulating layer and the copper substrate May not be high enough.

一方、芳香族骨格を有するマレイミド化合物のみが配合された従来の樹脂材料では、該マレイミド化合物のTgが高いため、硬化温度を低くする(例えば200℃以下)ことは困難である。また、硬化温度を低くした場合には、十分な分子運動が起こりにくいため、硬化不良が生じることがある。また、硬化温度を低くした場合には、多層プリント配線板の製造時において、初期に積層された樹脂材料が、後期に積層された樹脂材料よりも、より多くの回数かつより長い時間加熱されるため、絶縁層の電気特性や物性が変化することがある。   On the other hand, in a conventional resin material in which only a maleimide compound having an aromatic skeleton is blended, it is difficult to lower the curing temperature (for example, 200 ° C. or lower) because the Tg of the maleimide compound is high. Further, when the curing temperature is lowered, sufficient molecular motion is unlikely to occur, and thus curing failure may occur. In addition, when the curing temperature is lowered, the resin material laminated in the initial stage is heated more times and for a longer time than the resin material laminated in the latter stage when the multilayer printed wiring board is manufactured. Therefore, the electrical characteristics and physical properties of the insulating layer may change.

また、従来の樹脂材料では、硬化物の折り曲げ安定性が十分に高くならないことがある。   Moreover, in the conventional resin material, the bending stability of the cured product may not be sufficiently high.

このように、1)凹凸表面に対する埋め込み性を高め、2)ラミネート時における樹脂材料の基板周囲からの過度のはみ出しを抑え、3)硬化温度を低く抑え、4)硬化物の誘電正接を低くし、5)金属との密着性を高め、かつ6)硬化物の折り曲げ安定性を高めることは極めて困難であるという現状がある。すなわち、上記1)−6)の効果を全て発揮する樹脂材料を得ることは極めて困難であるという現状がある。   As described above, 1) the embedding property to the uneven surface is increased, 2) excessive protrusion of the resin material from the periphery of the substrate during lamination is suppressed, 3) the curing temperature is suppressed, and 4) the dielectric loss tangent of the cured product is decreased. 5) There is a present situation that it is extremely difficult to improve adhesion to metal and 6) to improve the bending stability of the cured product. In other words, it is extremely difficult to obtain a resin material that exhibits all the effects 1) -6).

本発明の目的は、1)凹凸表面に対する埋め込み性を高め、2)ラミネート時における樹脂材料の基板周囲からの過度のはみ出しを抑え、3)硬化温度を低く抑え、4)硬化物の誘電正接を低くし、5)金属との密着性を高め、かつ6)硬化物の折り曲げ安定性を高めることができる樹脂材料を提供することである。また、本発明は、上記樹脂材料を用いた積層フィルム及び多層プリント配線板を提供することも目的とする。   The object of the present invention is to 1) increase embedding on uneven surfaces, 2) suppress excessive protrusion of the resin material from the periphery of the substrate during lamination, 3) suppress the curing temperature, and 4) reduce the dielectric loss tangent of the cured product. It is to provide a resin material that can be lowered, 5) enhanced adhesion to metal, and 6) enhanced bending stability of a cured product. Another object of the present invention is to provide a laminated film and a multilayer printed wiring board using the resin material.

本発明の広い局面によれば、ポリイミド化合物と、脂肪族骨格を有するマレイミド化合物及び脂肪族骨格を有するベンゾオキサジン化合物の内の少なくとも一方の脂肪族骨格含有化合物とを含む、樹脂材料が提供される。   According to a wide aspect of the present invention, there is provided a resin material comprising a polyimide compound and at least one aliphatic skeleton-containing compound of a maleimide compound having an aliphatic skeleton and a benzoxazine compound having an aliphatic skeleton. .

本発明に係るある特定の局面では、前記脂肪族骨格含有化合物において、マレイミド骨格又はベンゾオキサジン骨格を形成している窒素原子に、前記脂肪族骨格が結合している。   On the specific situation which concerns on this invention, the said aliphatic skeleton has couple | bonded with the nitrogen atom which has formed the maleimide skeleton or the benzoxazine skeleton in the said aliphatic skeleton containing compound.

本発明に係るある特定の局面では、前記ポリイミド化合物の重量平均分子量が15000以上であり、前記脂肪族骨格含有化合物の重量平均分子量が15000未満である。   On the specific situation which concerns on this invention, the weight average molecular weight of the said polyimide compound is 15000 or more, and the weight average molecular weight of the said aliphatic skeleton containing compound is less than 15000.

本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記脂肪族骨格含有化合物が、脂肪族骨格を有するポリアミン化合物とカルボン酸二無水物との反応物に由来する骨格を有する。   In a specific aspect of the resin material according to the present invention, the aliphatic skeleton-containing compound has a skeleton derived from a reaction product of a polyamine compound having an aliphatic skeleton and a carboxylic dianhydride.

本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記脂肪族骨格含有化合物が、脂肪族骨格を有するジアミン化合物とカルボン酸二無水物との反応物に由来する骨格を有する。   In a specific aspect of the resin material according to the present invention, the aliphatic skeleton-containing compound has a skeleton derived from a reaction product of a diamine compound having an aliphatic skeleton and a carboxylic dianhydride.

本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記脂肪族骨格を有するジアミン化合物が、ダイマージアミンに由来する骨格を有するジアミン化合物である。   In a specific aspect of the resin material according to the present invention, the diamine compound having an aliphatic skeleton is a diamine compound having a skeleton derived from dimer diamine.

本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記樹脂材料は、熱硬化性化合物と、無機充填材とを含む。   On the specific situation with the resin material which concerns on this invention, the said resin material contains a thermosetting compound and an inorganic filler.

本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記熱硬化性化合物がエポキシ化合物である。   On the specific situation with the resin material which concerns on this invention, the said thermosetting compound is an epoxy compound.

本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、前記無機充填材の含有量が、50重量%以上である。   On the specific situation with the resin material which concerns on this invention, content of the said inorganic filler is 50 weight% or more in 100 weight% of components except the solvent in a resin material.

本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記ポリイミド化合物と前記脂肪族骨格含有化合物との合計100重量%中、前記ポリイミド化合物の含有量が、3重量%以上80重量%以下である。   On the specific situation with the resin material which concerns on this invention, content of the said polyimide compound is 3 to 80 weight% in the total of 100 weight% of the said polyimide compound and the said aliphatic skeleton containing compound.

本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記ポリイミド化合物が、ダイマージアミンに由来する骨格を有するポリイミド化合物である。   In a specific aspect of the resin material according to the present invention, the polyimide compound is a polyimide compound having a skeleton derived from dimer diamine.

本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、樹脂材料中の溶剤を除く有機成分100重量%中、前記ポリイミド化合物と前記脂肪族骨格含有化合物との合計の含有量が、10重量%以上98重量%以下である。   In a specific aspect of the resin material according to the present invention, the total content of the polyimide compound and the aliphatic skeleton-containing compound is 10% by weight or more and 98% by weight in 100% by weight of the organic component excluding the solvent in the resin material. % By weight or less.

本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記樹脂材料は、硬化促進剤を含み、前記硬化促進剤が、ラジカル性硬化促進剤及びアニオン性硬化促進剤の内の少なくとも一方を含む。   In a specific aspect of the resin material according to the present invention, the resin material includes a curing accelerator, and the curing accelerator includes at least one of a radical curing accelerator and an anionic curing accelerator.

本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記硬化促進剤が、ラジカル性硬化促進剤とジメチルアミノピリジンとを含むか、又は、ラジカル性硬化促進剤とイミダゾール化合物とを含むか、又はラジカル性硬化促進剤とリン化合物とを含む。   In a specific aspect of the resin material according to the present invention, the curing accelerator includes a radical curing accelerator and dimethylaminopyridine, or includes a radical curing accelerator and an imidazole compound, or a radical. A curable curing accelerator and a phosphorus compound.

本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記樹脂材料は、硬化剤と硬化促進剤とを含み、前記硬化促進剤が、イミダゾール化合物を含む。   In a specific aspect of the resin material according to the present invention, the resin material includes a curing agent and a curing accelerator, and the curing accelerator includes an imidazole compound.

本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記樹脂材料は、樹脂フィルムである。   On the specific situation with the resin material which concerns on this invention, the said resin material is a resin film.

本発明に係る樹脂材料は、多層プリント配線板において、絶縁層を形成するために好適に用いられる。   The resin material according to the present invention is suitably used for forming an insulating layer in a multilayer printed wiring board.

本発明の広い局面によれば、基材と、前記基材の表面上に積層された樹脂フィルムとを備え、前記樹脂フィルムが、上述した樹脂材料である、積層フィルムが提供される。   According to a wide aspect of the present invention, there is provided a laminated film comprising a base material and a resin film laminated on the surface of the base material, wherein the resin film is the resin material described above.

本発明の広い局面によれば、回路基板と、前記回路基板の表面上に配置された複数の絶縁層と、複数の前記絶縁層間に配置された金属層とを備え、複数の前記絶縁層の内の少なくとも1層が、上述した樹脂材料の硬化物である、多層プリント配線板が提供される。   According to a wide aspect of the present invention, a circuit board, a plurality of insulating layers disposed on a surface of the circuit board, and a plurality of metal layers disposed between the insulating layers, the plurality of insulating layers are provided. A multilayer printed wiring board is provided in which at least one of the layers is a cured product of the resin material described above.

本発明に係る樹脂材料は、ポリイミド化合物と、脂肪族骨格を有するマレイミド化合物及び脂肪族骨格を有するベンゾオキサジン化合物の内の少なくとも一方の脂肪族骨格含有化合物とを含む。本発明に係る樹脂材料では、上記の構成が備えられているので、1)凹凸表面に対する埋め込み性を高め、2)ラミネート時における樹脂材料の基板周囲からの過度のはみ出しを抑え、3)硬化温度を低く抑え、4)硬化物の誘電正接を低くし、5)金属との密着性を高め、かつ6)硬化物の折り曲げ安定性を高めることができる。本発明に係る樹脂材料では、上記1)−6)の効果を全て発揮することができる。   The resin material according to the present invention includes a polyimide compound and at least one aliphatic skeleton-containing compound among a maleimide compound having an aliphatic skeleton and a benzoxazine compound having an aliphatic skeleton. Since the resin material according to the present invention has the above-described configuration, 1) the embedding on the uneven surface is enhanced, 2) excessive protrusion of the resin material from the periphery of the substrate during lamination is suppressed, and 3) the curing temperature. 4) the dielectric loss tangent of the cured product can be lowered, 5) the adhesion to the metal can be increased, and 6) the folding stability of the cured product can be increased. In the resin material according to the present invention, all the effects 1) to 6) can be exhibited.

図1は、本発明の一実施形態に係る樹脂材料を用いた多層プリント配線板を模式的に示す断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view schematically showing a multilayer printed wiring board using a resin material according to an embodiment of the present invention.

以下、本発明を詳細に説明する。   Hereinafter, the present invention will be described in detail.

本発明に係る樹脂材料は、ポリイミド化合物と、脂肪族骨格を有するマレイミド化合物及び脂肪族骨格を有するベンゾオキサジン化合物の内の少なくとも一方の脂肪族骨格含有化合物とを含む。   The resin material according to the present invention includes a polyimide compound and at least one aliphatic skeleton-containing compound among a maleimide compound having an aliphatic skeleton and a benzoxazine compound having an aliphatic skeleton.

本発明に係る樹脂材料では、上記の構成が備えられているので、1)凹凸表面に対する埋め込み性を高め、2)ラミネート時における樹脂材料の基板周囲からの過度のはみ出しを抑え、3)硬化温度を低く抑え、4)硬化物の誘電正接を低くし、5)金属との密着性を高め、かつ6)硬化物の折り曲げ安定性を高めることができることができる。本発明に係る樹脂材料では、上記1)−6)の効果を全て発揮することができる。本発明に係る樹脂材料では、5)金属との密着性として、例えば、絶縁層と金属層(銅層)とのピール強度を高めることができる。   Since the resin material according to the present invention has the above-described configuration, 1) the embedding on the uneven surface is enhanced, 2) excessive protrusion of the resin material from the periphery of the substrate during lamination is suppressed, and 3) the curing temperature. 4) the dielectric loss tangent of the cured product can be lowered, 5) the adhesion to the metal can be increased, and 6) the bending stability of the cured product can be increased. In the resin material according to the present invention, all the effects 1) to 6) can be exhibited. In the resin material according to the present invention, 5) As the adhesion to the metal, for example, the peel strength between the insulating layer and the metal layer (copper layer) can be increased.

また、本発明に係る樹脂材料では、上記の構成が備えられているので、熱寸法安定性を高めることができる。また、本発明に係る樹脂材料では、上記の構成が備えられているので、ハンドリング性を高めることができる。   Moreover, in the resin material which concerns on this invention, since said structure is provided, thermal dimensional stability can be improved. In addition, since the resin material according to the present invention has the above-described configuration, handling properties can be improved.

本発明に係る樹脂材料は、樹脂組成物であってもよく、樹脂フィルムであってもよい。上記樹脂組成物は、流動性を有する。上記樹脂組成物は、ペースト状であってもよい。上記ペースト状には液状が含まれる。取扱性に優れることから、本発明に係る樹脂材料は、樹脂フィルムであることが好ましい。本発明に係る樹脂材料が樹脂組成物である場合には、塗布時又はフィルム成形時のハンドリング性を高めることができる。本発明に係る樹脂材料が樹脂フィルムである場合には、ラミネート時のハンドリング性を高めることができる。   The resin material according to the present invention may be a resin composition or a resin film. The resin composition has fluidity. The resin composition may be in the form of a paste. The paste form includes liquid. The resin material according to the present invention is preferably a resin film because it is excellent in handleability. When the resin material according to the present invention is a resin composition, handling properties at the time of coating or film forming can be improved. When the resin material according to the present invention is a resin film, handling properties at the time of lamination can be improved.

特に、上記ポリイミド化合物と、上記脂肪族骨格含有化合物との双方が、下記式(X)で表される構造を有する場合には、該ポリイミド化合物と該脂肪族骨格含有化合物との相溶が向上するため、硬化物の折り曲げ安定性をより一層高めることができる。   In particular, when both the polyimide compound and the aliphatic skeleton-containing compound have a structure represented by the following formula (X), the compatibility between the polyimide compound and the aliphatic skeleton-containing compound is improved. Therefore, the bending stability of the cured product can be further enhanced.

Figure 2019173010
Figure 2019173010

上記式(X)中、R1は、4価の有機基を表す。   In the above formula (X), R1 represents a tetravalent organic group.

本発明に係る樹脂材料は、熱硬化性材料であることが好ましい。上記樹脂材料が樹脂フィルムである場合には、該樹脂フィルムは、熱硬化性樹脂フィルムであることが好ましい。   The resin material according to the present invention is preferably a thermosetting material. When the resin material is a resin film, the resin film is preferably a thermosetting resin film.

本発明では、ポリイミド化合物と、特定の脂肪族骨格含有化合物との組み合せが重要かつ技術的意義のある構成である。樹脂材料が、ポリイミド化合物を含み、かつ特定の脂肪族骨格含有化合物を含まない場合に、上述した1)−6)の本発明の効果を全て効果的に発揮することは困難である。特に、樹脂材料が、ポリイミド化合物を含み、かつ特定の脂肪族骨格含有化合物を含まない場合に、凹凸表面に対する埋め込み性を高めたり、誘電正接を低くしたり、硬化温度を低くしたり、硬化物の折り曲げ安定性を高めることは困難である。特に、マレイミド化合物がN−フェニルマレイミド化合物(例えば、複数のマレイミド骨格を有し、かつ全ての窒素原子が芳香族環と結合した構造を有するマレイミド化合物)である場合、該N−フェニルマレイミド化合物はTgが高いため、硬化温度を低くすることは困難であり、誘電正接を低くすることは困難である。一方、樹脂材料が、ポリイミド化合物を含まず、特定の脂肪族骨格含有化合物を含む場合も、上述した1)−6)の本発明の効果を全て効果的に発揮することは困難である。特に、樹脂材料が、ポリイミド化合物を含まず、特定の脂肪族骨格含有化合物を含む場合に、ラミネート時に樹脂材料が基板周囲から過度にはみ出したりして、絶縁層の膜厚制御が困難になったり、周囲の基板等が汚染したりすることがある。また、樹脂材料が樹脂フィルムである場合、ラミネート時のフロー量が大きくなることがある。その結果、絶縁層の厚みにむらが生じることがある。   In the present invention, a combination of a polyimide compound and a specific aliphatic skeleton-containing compound is an important and technically significant structure. When the resin material contains a polyimide compound and does not contain a specific aliphatic skeleton-containing compound, it is difficult to effectively exhibit all the effects of the present invention 1) -6) described above. In particular, when the resin material contains a polyimide compound and does not contain a specific aliphatic skeleton-containing compound, the embedding property to the uneven surface is increased, the dielectric loss tangent is lowered, the curing temperature is lowered, or the cured product It is difficult to improve the bending stability of the. In particular, when the maleimide compound is an N-phenylmaleimide compound (for example, a maleimide compound having a plurality of maleimide skeletons and a structure in which all nitrogen atoms are bonded to an aromatic ring), the N-phenylmaleimide compound is Since Tg is high, it is difficult to lower the curing temperature, and it is difficult to lower the dielectric loss tangent. On the other hand, even when the resin material does not contain a polyimide compound but contains a specific aliphatic skeleton-containing compound, it is difficult to effectively exhibit all the effects of the present invention 1) -6) described above. In particular, when the resin material does not contain a polyimide compound and contains a specific aliphatic skeleton-containing compound, the resin material excessively protrudes from the periphery of the substrate during lamination, making it difficult to control the thickness of the insulating layer. The surrounding substrate may be contaminated. In addition, when the resin material is a resin film, the flow amount during lamination may increase. As a result, the thickness of the insulating layer may be uneven.

以下、本発明に係る樹脂材料に用いられる各成分の詳細、及び本発明に係る樹脂材料の用途などを説明する。   Hereinafter, the detail of each component used for the resin material which concerns on this invention, the use of the resin material which concerns on this invention, etc. are demonstrated.

[ポリイミド化合物]
本発明に係る樹脂材料は、ポリイミド化合物を含む。上記ポリイミド化合物は、マレイミド化合物とは異なる化合物である。上記ポリイミド化合物は末端に、マレイミド骨格を有していてもよく、有していなくてもよい。なお、上記ポリイミド化合物は末端に、酸無水物構造、シトラコンイミド構造を有していてもよい。上記ポリイミド化合物として、従来公知のポリイミド化合物を使用可能である。上記ポリイミド化合物は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[Polyimide compound]
The resin material according to the present invention includes a polyimide compound. The polyimide compound is a compound different from the maleimide compound. The polyimide compound may or may not have a maleimide skeleton at the terminal. In addition, the said polyimide compound may have an acid anhydride structure and a citraconic structure at the terminal. A conventionally known polyimide compound can be used as the polyimide compound. As for the said polyimide compound, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

ポリイミド化合物は、テトラカルボン酸二無水物とイソシアネートエステル化合物とを反応させる方法、テトラカルボン酸二無水物とジアミン化合物とを反応させる方法、並びにテトラカルボン酸二無水物とトリアミン化合物とを反応させる方法等によって得ることができる。   The polyimide compound is a method of reacting a tetracarboxylic dianhydride and an isocyanate ester compound, a method of reacting a tetracarboxylic dianhydride and a diamine compound, and a method of reacting a tetracarboxylic dianhydride and a triamine compound. Etc. can be obtained.

上記テトラカルボン酸二無水物としては、例えば、ピロメリット酸二無水物、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ジメチルジフェニルシランテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−テトラフェニルシランテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4−フランテトラカルボン酸二無水物、4,4’−ビス(3,4−ジカルボキシフェノキシ)ジフェニルスルフィド二無水物、4,4’−ビス(3,4−ジカルボキシフェノキシ)ジフェニルスルホン二無水物、4,4’−ビス(3,4−ジカルボキシフェノキシ)ジフェニルプロパン二無水物、3,3’,4,4’−パーフルオロイソプロピリデンジフタル酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ビス(フタル酸)フェニルホスフィンオキサイド二無水物、p−フェニレン−ビス(トリフェニルフタル酸)二無水物、m−フェニレン−ビス(トリフェニルフタル酸)二無水物、ビス(トリフェニルフタル酸)−4,4’−ジフェニルエーテル二無水物、及びビス(トリフェニルフタル酸)−4,4’−ジフェニルメタン二無水物等が挙げられる。   Examples of the tetracarboxylic dianhydride include pyromellitic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, and 3,3 ′, 4,4′-biphenylsulfonetetra. Carboxylic dianhydride, 1,4,5,8-naphthalene tetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7-naphthalene tetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyl ether Tetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-dimethyldiphenylsilane tetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-tetraphenylsilane tetracarboxylic dianhydride, 1,2 , 3,4-furantetracarboxylic dianhydride, 4,4′-bis (3,4-dicarboxyphenoxy) diphenyl sulfide dianhydride, 4,4′-bis (3,4-dicarboxypheno) Ii) diphenylsulfone dianhydride, 4,4′-bis (3,4-dicarboxyphenoxy) diphenylpropane dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-perfluoroisopropylidenediphthalic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, bis (phthalic acid) phenylphosphine oxide dianhydride, p-phenylene-bis (triphenylphthalic acid) dianhydride, m-phenylene-bis (Triphenylphthalic acid) dianhydride, bis (triphenylphthalic acid) -4,4′-diphenyl ether dianhydride, bis (triphenylphthalic acid) -4,4′-diphenylmethane dianhydride, etc. .

上記ジアミン化合物としては、1,3−ビス(アミノメチル)シクロヘキサン、1,4−ビス(アミノメチル)シクロヘキサン、ビス(アミノメチル)ノルボルナン、3(4),8(9)−ビス(アミノメチル)トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン、1,1−ビス(4−アミノフェニル)シクロヘキサン、1,3−シクロヘキサンジアミン、1,4−シクロヘキサンジアミン、2,7−ジアミノフルオレン、4,4’−エチレンジアニリン、イソホロンジアミン、4,4’−メチレンビス(シクロヘキシルアミン)、4,4’−メチレンビス(2,6−ジエチルアニリン)、4,4’−メチレンビス(2−エチル−6−メチルアニリン)、4,4’−メチレンビス(2−メチルシクロヘキシルアミン)、1,4−ジアミノブタン、1,10−ジアミノデカン、1,12−ジアミノドデカン、1,7−ジアミノヘプタン、1,6−ジアミノヘキサン、1,5−ジアミノペンタン、1,8−ジアミノオクタン、1,3−ジアミノプロパン、1,11−ジアミノウンデカン、2−メチル−1,5−ジアミノペンタン、及びダイマージアミン等が挙げられる。   Examples of the diamine compound include 1,3-bis (aminomethyl) cyclohexane, 1,4-bis (aminomethyl) cyclohexane, bis (aminomethyl) norbornane, and 3 (4), 8 (9) -bis (aminomethyl). Tricyclo [5.2.1.02,6] decane, 1,1-bis (4-aminophenyl) cyclohexane, 1,3-cyclohexanediamine, 1,4-cyclohexanediamine, 2,7-diaminofluorene, 4, 4'-ethylenedianiline, isophoronediamine, 4,4'-methylenebis (cyclohexylamine), 4,4'-methylenebis (2,6-diethylaniline), 4,4'-methylenebis (2-ethyl-6-methyl) Aniline), 4,4′-methylenebis (2-methylcyclohexylamine), 1,4-diaminobutane, 10-diaminodecane, 1,12-diaminododecane, 1,7-diaminoheptane, 1,6-diaminohexane, 1,5-diaminopentane, 1,8-diaminooctane, 1,3-diaminopropane, 1,11 -Diaminoundecane, 2-methyl-1,5-diaminopentane, dimer diamine, etc. are mentioned.

上記テトラカルボン酸二無水物と上記ジアミン化合物との反応により、イミド骨格が形成される。   An imide skeleton is formed by the reaction of the tetracarboxylic dianhydride and the diamine compound.

上述した1)−6)の本発明の効果を効果的に発揮する観点からは、上記ポリイミド化合物は、ダイマージアミンに由来する骨格を有するポリイミド化合物であることが好ましい。上記ダイマージアミンに由来する骨格は、上記ポリイミド化合物において、部分骨格として存在する。   From the viewpoint of effectively exhibiting the effects of the present invention 1) -6) described above, the polyimide compound is preferably a polyimide compound having a skeleton derived from dimer diamine. The skeleton derived from the dimer diamine is present as a partial skeleton in the polyimide compound.

上記ダイマージアミンに由来する骨格を有するポリイミド化合物は、上記テトラカルボン酸二無水物と上記ダイマージアミンとを反応させて得ることが好ましい。   The polyimide compound having a skeleton derived from the dimer diamine is preferably obtained by reacting the tetracarboxylic dianhydride with the dimer diamine.

上記ダイマージアミンとしては、例えば、バーサミン551(商品名、BASFジャパン社製、3,4−ビス(1−アミノヘプチル)−6−ヘキシル−5−(1−オクテニル)シクロヘキセン)、バーサミン552(商品名、コグニクスジャパン社製、バーサミン551の水添物)、PRIAMINE1075、PRIAMINE1074(商品名、いずれもクローダジャパン社製)等が挙げられる。   Examples of the dimeramine include Versamine 551 (trade name, manufactured by BASF Japan, 3,4-bis (1-aminoheptyl) -6-hexyl-5- (1-octenyl) cyclohexene), Versamine 552 (trade name). , Manufactured by Cognics Japan, hydrogenated product of Versamine 551), PRIAMINE 1075, PRIAMINE 1074 (trade names, both of which are manufactured by CRODA JAPAN).

上記ポリイミド化合物と上記脂肪族骨格含有化合物との合計100重量%中、上記ポリイミド化合物の含有量は、好ましくは3重量%以上、より好ましくは5重量%以上、更に好ましくは10重量%以上、好ましくは80重量%以下、より好ましくは60重量%以下、更に好ましくは50重量%以下である。上記ポリイミド化合物の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、樹脂材料の粘度が高くなりすぎず、ハンドリング性及び凹凸表面に対する埋め込み性をより一層高めることができる。また、上記ポリイミド化合物の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、ラミネート時のフロー量が大きくなりすぎることを抑えることができる。   In a total of 100% by weight of the polyimide compound and the aliphatic skeleton-containing compound, the content of the polyimide compound is preferably 3% by weight or more, more preferably 5% by weight or more, still more preferably 10% by weight or more, preferably Is 80% by weight or less, more preferably 60% by weight or less, and still more preferably 50% by weight or less. When the content of the polyimide compound is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the viscosity of the resin material does not become too high, and the handling property and the embedding property to the uneven surface can be further enhanced. Moreover, it can suppress that the flow amount at the time of lamination becomes too large that content of the said polyimide compound is more than the said minimum and below the said upper limit.

上記樹脂材料中の無機充填材及び溶剤を除く成分100重量%中、上記ポリイミド化合物の含有量は、好ましくは3重量%以上、より好ましくは5重量%以上、更に好ましくは7重量%以上である。上記樹脂材料中の無機充填材及び溶剤を除く成分100重量%中、上記ポリイミド化合物の含有量は、好ましくは40重量%以下、より好ましくは30重量%以下、更に好ましくは25重量%以下、特に好ましくは20重量%以下である。上記ポリイミド化合物の含有量が上記下限以上であると、硬化物の誘電正接を低くでき、フロー量を良好に制御するこができ、絶縁層と金属層の密着性をより一層高めることができる。上記ポリイミド化合物の含有量が上記上限以下であると、凹凸表面に対する埋め込み性をより一層高めることができる。上記ポリイミド化合物の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、ハンドリング性を高めることができる。   In 100% by weight of the component excluding the inorganic filler and the solvent in the resin material, the content of the polyimide compound is preferably 3% by weight or more, more preferably 5% by weight or more, and further preferably 7% by weight or more. . In 100% by weight of the component excluding the inorganic filler and the solvent in the resin material, the content of the polyimide compound is preferably 40% by weight or less, more preferably 30% by weight or less, still more preferably 25% by weight or less, particularly Preferably it is 20 weight% or less. When the content of the polyimide compound is not less than the above lower limit, the dielectric loss tangent of the cured product can be lowered, the flow amount can be controlled well, and the adhesion between the insulating layer and the metal layer can be further enhanced. When the content of the polyimide compound is not more than the above upper limit, the embedding property to the uneven surface can be further enhanced. Handling property can be improved as content of the said polyimide compound is more than the said minimum and below the said upper limit.

凹凸表面に対する埋め込み性をより一層高める観点からは、上記ポリイミド化合物の重量平均分子量は、好ましくは15000以上、より好ましくは20000以上、好ましくは50000未満、より好ましく40000未満である。   From the viewpoint of further enhancing the embedding property with respect to the uneven surface, the weight average molecular weight of the polyimide compound is preferably 15000 or more, more preferably 20000 or more, preferably less than 50000, more preferably less than 40000.

上記ポリイミド化合物の重量平均分子量は、該ポリイミド化合物が重合体ではない場合、及び該ポリイミド化合物の構造式が特定できる場合は、当該構造式から算出できる分子量を意味する。また、上記ポリイミド化合物の重量平均分子量は、該ポリイミド化合物が重合体である場合は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により測定されたポリスチレン換算での重量平均分子量を示す。   The weight average molecular weight of the polyimide compound means a molecular weight that can be calculated from the structural formula when the polyimide compound is not a polymer and when the structural formula of the polyimide compound can be specified. Moreover, the weight average molecular weight of the said polyimide compound shows the weight average molecular weight in polystyrene conversion measured by gel permeation chromatography (GPC), when this polyimide compound is a polymer.

上記ポリイミド化合物が末端にマレイミド骨格を有する場合、上記ポリイミド化合物の重量分子量は、15000以上であることが好ましく、20000以上であることがより好ましい。   When the polyimide compound has a maleimide skeleton at the end, the weight molecular weight of the polyimide compound is preferably 15000 or more, and more preferably 20000 or more.

[脂肪族骨格含有化合物]
本発明に係る樹脂材料は、脂肪族骨格含有化合物を含む。該脂肪族骨格含有化合物は、脂肪族骨格を有するマレイミド化合物及び脂肪族骨格を有するベンゾオキサジン化合物の内の少なくとも一方の化合物である。本発明に係る樹脂材料は、該脂肪族骨格含有化合物として、脂肪族骨格を有するマレイミド化合物のみを含んでいてもよく、脂肪族骨格を有するベンゾオキサジン化合物のみを含んでいてもよく、脂肪族骨格を有するマレイミド化合物と脂肪族骨格を有するベンゾオキサジン化合物との双方を含んでいてもよい。
[Aliphatic skeleton-containing compound]
The resin material according to the present invention includes an aliphatic skeleton-containing compound. The aliphatic skeleton-containing compound is at least one of a maleimide compound having an aliphatic skeleton and a benzoxazine compound having an aliphatic skeleton. The resin material according to the present invention may contain only a maleimide compound having an aliphatic skeleton as the aliphatic skeleton-containing compound, or may contain only a benzoxazine compound having an aliphatic skeleton. It may contain both a maleimide compound having a benzoxazine compound having an aliphatic skeleton.

<脂肪族骨格を有するマレイミド化合物>
本発明に係る樹脂材料は、脂肪族骨格含有化合物として、脂肪族骨格を有するマレイミド化合物(以下、マレイミド化合物Xと記載することがある)を含むことが好ましい。上記マレイミド化合物Xは、ポリイミド化合物とは異なる化合物である。マレイミド化合物Xは、マレイミド基を有する。マレイミド化合物Xは、末端にマレイミド基を有する。マレイミド化合物Xは、脂肪族骨格を有する。したがって、マレイミド化合物Xは、マレイミド基と脂肪族骨格とを有する。マレイミド化合物Xにおいて、マレイミド骨格を形成している窒素原子に、上記脂肪族骨格が結合していることが好ましい。なお、マレイミド化合物Xは、イミド骨格を有していてもよい。上記マレイミド化合物Xとして、従来公知のマレイミド化合物を使用可能である。なお、上記マレイミド化合物Xには、シトラコンイミド化合物が含まれる。上記シトラコンイミド化合物とは、マレイミド基における炭素原子間の二重結合を構成する炭素原子の一方にメチル基が結合した化合物である。上記マレイミド化合物Xは末端に、シトラコンイミド構造を有していてもよい。上記マレイミド化合物Xは、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
<Maleimide compound having an aliphatic skeleton>
The resin material according to the present invention preferably contains a maleimide compound having an aliphatic skeleton (hereinafter sometimes referred to as maleimide compound X) as the aliphatic skeleton-containing compound. The maleimide compound X is a compound different from the polyimide compound. The maleimide compound X has a maleimide group. The maleimide compound X has a maleimide group at the terminal. The maleimide compound X has an aliphatic skeleton. Therefore, the maleimide compound X has a maleimide group and an aliphatic skeleton. In the maleimide compound X, it is preferable that the aliphatic skeleton is bonded to the nitrogen atom forming the maleimide skeleton. The maleimide compound X may have an imide skeleton. As the maleimide compound X, a conventionally known maleimide compound can be used. The maleimide compound X includes a citraconic imide compound. The citraconimide compound is a compound in which a methyl group is bonded to one of carbon atoms constituting a double bond between carbon atoms in a maleimide group. The maleimide compound X may have a citraconimide structure at the terminal. As for the said maleimide compound X, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

上記マレイミド化合物Xは、脂肪族骨格を有するポリアミン化合物とカルボン酸二無水物との反応物に由来する骨格を有することが好ましい。上記ポリアミン化合物とは、2個以上の1級のアミノ基を有する化合物を意味する。上記マレイミド化合物Xは、脂肪族骨格を有するポリアミン化合物とカルボン酸二無水物との反応物に由来する骨格を有してもよく、脂肪族骨格を有するポリアミン化合物と、脂肪族骨格を有するポリアミン化合物とは異なるアミン化合物と、カルボン酸二無水物との反応物に由来する骨格を有してもよい。   The maleimide compound X preferably has a skeleton derived from a reaction product of a polyamine compound having an aliphatic skeleton and a carboxylic dianhydride. The polyamine compound means a compound having two or more primary amino groups. The maleimide compound X may have a skeleton derived from a reaction product of a polyamine compound having an aliphatic skeleton and a carboxylic dianhydride, and includes a polyamine compound having an aliphatic skeleton and a polyamine compound having an aliphatic skeleton. It may have a skeleton derived from a reaction product of an amine compound different from carboxylic acid dianhydride.

上記脂肪族骨格を有するポリアミン化合物とカルボン酸二無水物との反応物に由来する骨格を有するマレイミド化合物Xは、例えば、脂肪族骨格を有するポリアミン化合物とカルボン酸二無水物とを反応させて両末端がアミノ基である反応物を得た後、該反応物と無水マレイン酸とを反応させて得ることができる。   The maleimide compound X having a skeleton derived from the reaction product of the polyamine compound having an aliphatic skeleton and a carboxylic dianhydride can be obtained, for example, by reacting a polyamine compound having an aliphatic skeleton with a carboxylic dianhydride. After obtaining a reaction product having an amino group at the end, it can be obtained by reacting the reaction product with maleic anhydride.

上記マレイミド化合物Xは、具体的には、脂肪族骨格を有するジアミン化合物又は脂肪族骨格を有するトリアミン化合物とカルボン酸二無水物との反応物に由来する骨格を有することが好ましい。上記マレイミド化合物Xは、脂肪族骨格を有するジアミン化合物とカルボン酸二無水物との反応物に由来する骨格を有していてもよい。上記マレイミド化合物Xは、脂肪族骨格を有するジアミン化合物と、脂肪族骨格を有するジアミン化合物とは異なるアミン化合物(例えば、芳香族骨格を有するジアミン化合物)と、カルボン酸二無水物との反応物に由来する骨格を有していてもよい。上記マレイミド化合物Xは、脂肪族骨格を有するトリアミン化合物とカルボン酸二無水物との反応物に由来する骨格を有していてもよく、脂肪族骨格を有するトリアミン化合物と、脂肪族骨格を有するトリアミン化合物とは異なるアミン化合物と、カルボン酸二無水物との反応物に由来する骨格を有していてもよい。この場合に、該反応物を得るために、脂肪族骨格を有するジアミン化合物及び脂肪族骨格を有するトリアミン化合物の内の一方が用いられていることが好ましい。該反応物を得るために、脂肪族骨格を有するジアミン化合物と脂肪族骨格を有するトリアミン化合物との双方が用いられていることがより好ましい。なお、この場合に、脂肪族骨格を有するトリアミン化合物の配合量(重量%)は脂肪族骨格を有するジアミン化合物の配合量(重量%)の5%以下であることが好ましい。   Specifically, the maleimide compound X preferably has a skeleton derived from a reaction product of a diamine compound having an aliphatic skeleton or a triamine compound having an aliphatic skeleton and a carboxylic dianhydride. The maleimide compound X may have a skeleton derived from a reaction product of a diamine compound having an aliphatic skeleton and a carboxylic dianhydride. The maleimide compound X is a reaction product of a diamine compound having an aliphatic skeleton, an amine compound different from the diamine compound having an aliphatic skeleton (for example, a diamine compound having an aromatic skeleton), and a carboxylic dianhydride. It may have a derived skeleton. The maleimide compound X may have a skeleton derived from a reaction product of a triamine compound having an aliphatic skeleton and a carboxylic dianhydride, and includes a triamine compound having an aliphatic skeleton and a triamine having an aliphatic skeleton. It may have a skeleton derived from a reaction product of an amine compound different from the compound and a carboxylic dianhydride. In this case, in order to obtain the reactant, it is preferable to use one of a diamine compound having an aliphatic skeleton and a triamine compound having an aliphatic skeleton. In order to obtain the reaction product, it is more preferable that both a diamine compound having an aliphatic skeleton and a triamine compound having an aliphatic skeleton are used. In this case, the blending amount (wt%) of the triamine compound having an aliphatic skeleton is preferably 5% or less of the blending amount (wt%) of the diamine compound having an aliphatic skeleton.

上記脂肪族骨格を有するジアミン化合物とカルボン酸二無水物との反応物に由来する骨格を有するマレイミド化合物Xは、例えば、脂肪族骨格を有するジアミン化合物とカルボン酸二無水物を反応させて両末端がアミノ基である反応物を得た後、該反応物と無水マレイン酸とを反応させて得ることができる。   The maleimide compound X having a skeleton derived from the reaction product of the diamine compound having an aliphatic skeleton and a carboxylic dianhydride can be obtained by reacting, for example, a diamine compound having an aliphatic skeleton with a carboxylic dianhydride at both ends. Can be obtained by reacting the reactant with maleic anhydride.

上記脂肪族骨格を有するトリアミン化合物とカルボン酸二無水物との反応物に由来する骨格を有するマレイミド化合物Xは、例えば、脂肪族骨格を有するトリアミン化合物とカルボン酸二無水物を反応させて両末端がアミノ基である反応物を得た後、該反応物と無水マレイン酸とを反応させて得ることができる。   The maleimide compound X having a skeleton derived from the reaction product of the triamine compound having an aliphatic skeleton and a carboxylic dianhydride is obtained by reacting, for example, a triamine compound having an aliphatic skeleton with a carboxylic dianhydride at both ends. Can be obtained by reacting the reactant with maleic anhydride.

上記マレイミド化合物Xが、ジアミン化合物とカルボン酸二無水物との反応物である場合において、マレイミド化合物Xが、以下の(1)又は(2)を満足することが好ましく、(1)及び(2)を満足することがより好ましい。(1)両末端にジアミン骨格を有する。(2)カルボン酸二無水物と直接結合していないジアミン化合物のアミノ基において、該アミノ基を有する骨格がマレイミド骨格である。   In the case where the maleimide compound X is a reaction product of a diamine compound and a carboxylic dianhydride, the maleimide compound X preferably satisfies the following (1) or (2), and (1) and (2 ) Is more preferable. (1) It has a diamine skeleton at both ends. (2) In the amino group of the diamine compound not directly bonded to the carboxylic dianhydride, the skeleton having the amino group is a maleimide skeleton.

上記脂肪族骨格を有するジアミン化合物としては、1,3−ビス(アミノメチル)シクロヘキサン、1,4−ビス(アミノメチル)シクロヘキサン、ビス(アミノメチル)ノルボルナン、3(4),8(9)−ビス(アミノメチル)トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン、1,3−シクロヘキサンジアミン、1,4−シクロヘキサンジアミン、イソホロンジアミン、4,4’−メチレンビス(シクロヘキシルアミン)、4,4’−メチレンビス(2−メチルシクロヘキシルアミン)、1,4−ジアミノブタン、1,10−ジアミノデカン、1,12−ジアミノドデカン、1,7−ジアミノヘプタン、1,6−ジアミノヘキサン、1,5−ジアミノペンタン、1,8−ジアミノオクタン、1,3−ジアミノプロパン、1,11−ジアミノウンデカン、2−メチル−1,5−ジアミノペンタン、及びダイマージアミンに由来する骨格を有するジアミン化合物等が挙げられる。   Examples of the diamine compound having an aliphatic skeleton include 1,3-bis (aminomethyl) cyclohexane, 1,4-bis (aminomethyl) cyclohexane, bis (aminomethyl) norbornane, 3 (4), 8 (9)- Bis (aminomethyl) tricyclo [5.2.1.02,6] decane, 1,3-cyclohexanediamine, 1,4-cyclohexanediamine, isophoronediamine, 4,4′-methylenebis (cyclohexylamine), 4,4 '-Methylenebis (2-methylcyclohexylamine), 1,4-diaminobutane, 1,10-diaminodecane, 1,12-diaminododecane, 1,7-diaminoheptane, 1,6-diaminohexane, 1,5- Diaminopentane, 1,8-diaminooctane, 1,3-diaminopropane, 1,11-diamino Ndekan, 2-methyl-1,5-diaminopentane, and a diamine compound having a skeleton derived from dimer diamine.

上記芳香族骨格を有するジアミン化合物としては、1,1−ビス(4−アミノフェニル)シクロヘキサン、2,7−ジアミノフルオレン、4,4’−エチレンジアニリン、4,4’−メチレンビス(2,6−ジエチルアニリン)、及び4,4’−メチレンビス(2−エチル−6−メチルアニリン)等が挙げられる。   Examples of the diamine compound having an aromatic skeleton include 1,1-bis (4-aminophenyl) cyclohexane, 2,7-diaminofluorene, 4,4′-ethylenedianiline, 4,4′-methylenebis (2,6 -Diethylaniline), 4,4'-methylenebis (2-ethyl-6-methylaniline) and the like.

上記カルボン酸二無水物としては、例えば、ピロメリット酸二無水物、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ジメチルジフェニルシランテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−テトラフェニルシランテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4−フランテトラカルボン酸二無水物、4,4’−ビス(3,4−ジカルボキシフェノキシ)ジフェニルスルフィド二無水物、4,4’−ビス(3,4−ジカルボキシフェノキシ)ジフェニルスルホン二無水物、4,4’−ビス(3,4−ジカルボキシフェノキシ)ジフェニルプロパン二無水物、3,3’,4,4’−パーフルオロイソプロピリデンジフタル酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ビス(フタル酸)フェニルホスフィンオキサイド二無水物、p−フェニレン−ビス(トリフェニルフタル酸)二無水物、m−フェニレン−ビス(トリフェニルフタル酸)二無水物、ビス(トリフェニルフタル酸)−4,4’−ジフェニルエーテル二無水物、及びビス(トリフェニルフタル酸)−4,4’−ジフェニルメタン二無水物等が挙げられる。   Examples of the carboxylic dianhydride include pyromellitic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-benzophenone tetracarboxylic dianhydride, and 3,3 ′, 4,4′-biphenylsulfone tetracarboxylic acid. Acid dianhydride, 1,4,5,8-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyl ether tetra Carboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-dimethyldiphenylsilane tetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-tetraphenylsilane tetracarboxylic dianhydride, 1,2, 3,4-furantetracarboxylic dianhydride, 4,4′-bis (3,4-dicarboxyphenoxy) diphenyl sulfide dianhydride, 4,4′-bis (3,4-dicarboxyphenoxy) Phenylsulfone dianhydride, 4,4′-bis (3,4-dicarboxyphenoxy) diphenylpropane dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-perfluoroisopropylidenediphthalic dianhydride, 3, 3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, bis (phthalic acid) phenylphosphine oxide dianhydride, p-phenylene-bis (triphenylphthalic acid) dianhydride, m-phenylene-bis (tri Phenylphthalic acid) dianhydride, bis (triphenylphthalic acid) -4,4′-diphenyl ether dianhydride, bis (triphenylphthalic acid) -4,4′-diphenylmethane dianhydride, and the like.

誘電正接を低くする観点からは、脂肪族骨格を有するジアミン化合物は、ダイマージアミンに由来する骨格を有するジアミン化合物であることが好ましい。   From the viewpoint of lowering the dielectric loss tangent, the diamine compound having an aliphatic skeleton is preferably a diamine compound having a skeleton derived from dimer diamine.

上記ダイマージアミンに由来する骨格を有するジアミン化合物は、ダイマージアミンとテトラカルボン酸二無水物との反応物であることが好ましい。なお、上記ダイマージアミンに由来する骨格を有するジアミン化合物が、ダイマージアミンとテトラカルボン酸二無水物との反応物である場合に、該反応物(該ジアミン化合物)は、ダイマージアミンに由来する骨格以外のジアミン骨格を有していてもよい。   The diamine compound having a skeleton derived from the dimer diamine is preferably a reaction product of dimer diamine and tetracarboxylic dianhydride. In addition, when the diamine compound having a skeleton derived from dimer diamine is a reaction product of dimer diamine and tetracarboxylic dianhydride, the reactant (the diamine compound) is other than the skeleton derived from dimer diamine. It may have a diamine skeleton.

上記ダイマージアミンとしては、例えば、バーサミン551(商品名、BASFジャパン社製、3,4−ビス(1−アミノヘプチル)−6−ヘキシル−5−(1−オクテニル)シクロヘキセン)、バーサミン552(商品名、コグニクスジャパン社製、バーサミン551の水添物)、PRIAMINE1075、PRIAMINE1074(商品名、いずれもクローダジャパン社製)等が挙げられる。   Examples of the dimeramine include Versamine 551 (trade name, manufactured by BASF Japan, 3,4-bis (1-aminoheptyl) -6-hexyl-5- (1-octenyl) cyclohexene), Versamine 552 (trade name). , Manufactured by Cognics Japan, hydrogenated product of Versamine 551), PRIAMINE 1075, PRIAMINE 1074 (trade names, both of which are manufactured by CRODA JAPAN).

上記テトラカルボン酸二無水物としては、例えば、ピロメリット酸二無水物、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ジメチルジフェニルシランテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−テトラフェニルシランテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4−フランテトラカルボン酸二無水物、4,4’−ビス(3,4−ジカルボキシフェノキシ)ジフェニルスルフィド二無水物、4,4’−ビス(3,4−ジカルボキシフェノキシ)ジフェニルスルホン二無水物、4,4’−ビス(3,4−ジカルボキシフェノキシ)ジフェニルプロパン二無水物、3,3’,4,4’−パーフルオロイソプロピリデンジフタル酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ビス(フタル酸)フェニルホスフィンオキサイド二無水物、p−フェニレン−ビス(トリフェニルフタル酸)二無水物、m−フェニレン−ビス(トリフェニルフタル酸)二無水物、ビス(トリフェニルフタル酸)−4,4’−ジフェニルエーテル二無水物、及びビス(トリフェニルフタル酸)−4,4’−ジフェニルメタン二無水物等が挙げられる。   Examples of the tetracarboxylic dianhydride include pyromellitic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, and 3,3 ′, 4,4′-biphenylsulfonetetra. Carboxylic dianhydride, 1,4,5,8-naphthalene tetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7-naphthalene tetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyl ether Tetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-dimethyldiphenylsilane tetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-tetraphenylsilane tetracarboxylic dianhydride, 1,2 , 3,4-furantetracarboxylic dianhydride, 4,4′-bis (3,4-dicarboxyphenoxy) diphenyl sulfide dianhydride, 4,4′-bis (3,4-dicarboxypheno) Ii) diphenylsulfone dianhydride, 4,4′-bis (3,4-dicarboxyphenoxy) diphenylpropane dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-perfluoroisopropylidenediphthalic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, bis (phthalic acid) phenylphosphine oxide dianhydride, p-phenylene-bis (triphenylphthalic acid) dianhydride, m-phenylene-bis (Triphenylphthalic acid) dianhydride, bis (triphenylphthalic acid) -4,4′-diphenyl ether dianhydride, bis (triphenylphthalic acid) -4,4′-diphenylmethane dianhydride, etc. .

上述した1)−6)の本発明の効果をより一層効果的に発揮する観点からは、上記マレイミド化合物Xは、ダイマージアミンに由来する骨格を有するN−アルキルビスマレイミド化合物であることが好ましい。   The maleimide compound X is preferably an N-alkylbismaleimide compound having a skeleton derived from dimer diamine from the viewpoint of more effectively exerting the effects of the present invention 1) -6) described above.

上記ダイマージアミンに由来する骨格を有するN−アルキルビスマレイミド化合物の市販品としては、Designer Molecules Inc.社製「BMI−1500」、「BMI−1700」、及び「BMI−3000」等が挙げられる。   Examples of commercially available N-alkylbismaleimide compounds having a skeleton derived from dimer diamine include Designers Molecules Inc. “BMI-1500”, “BMI-1700”, and “BMI-3000” manufactured by the company are listed.

上記マレイミド化合物Xの含有量の、後述する熱硬化性化合物と後述する成分Xとの合計の含有量に対する重量比(マレイミド化合物Xの含有量/熱硬化性化合物と成分Xとの合計の含有量)は、好ましくは0.05以上、より好ましくは0.1以上、好ましくは0.9以下、より好ましくは0.75以下である。上記重量比(マレイミド化合物Xの含有量/熱硬化性化合物と成分Xとの合計の含有量)が上記下限以上及び上記上限以下であると、誘電正接をより一層低くでき、絶縁層と金属層との密着性をより一層高めることができる。   Weight ratio of the content of the maleimide compound X to the total content of the thermosetting compound described later and the component X described later (content of maleimide compound X / total content of thermosetting compound and component X) ) Is preferably 0.05 or more, more preferably 0.1 or more, preferably 0.9 or less, more preferably 0.75 or less. When the weight ratio (content of maleimide compound X / total content of thermosetting compound and component X) is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the dielectric loss tangent can be further reduced, and the insulating layer and the metal layer Can be further enhanced.

上記樹脂材料中の無機充填材及び溶剤を除く成分100重量%中、上記マレイミド化合物Xの含有量は、好ましくは3重量%以上、より好ましくは5重量%以上、更に好ましくは10重量%以上、好ましくは90重量%以下、より好ましくは80重量%以下である。上記マレイミド化合物Xの含有量が上記下限以上であると、誘電正接をより一層低くでき、絶縁層と金属層との密着性をより一層高めることができる。上記マレイミド化合物Xの含有量が上記上限以下であると、ラミネート時の埋め込み性を良好にすることができる。   The content of the maleimide compound X in 100% by weight of the component excluding the inorganic filler and the solvent in the resin material is preferably 3% by weight or more, more preferably 5% by weight or more, and further preferably 10% by weight or more. Preferably it is 90 weight% or less, More preferably, it is 80 weight% or less. When the content of the maleimide compound X is not less than the above lower limit, the dielectric loss tangent can be further lowered, and the adhesion between the insulating layer and the metal layer can be further enhanced. The embedding property at the time of lamination can be made favorable as content of the said maleimide compound X is below the said upper limit.

絶縁層と金属層との密着性をより一層高める観点からは、上記マレイミド化合物Xの重量平均分子量は、好ましくは500以上、より好ましくは1000以上、好ましくは15000未満、より好ましくは12000未満、更に好ましくは10000未満である。   From the viewpoint of further improving the adhesion between the insulating layer and the metal layer, the maleimide compound X preferably has a weight average molecular weight of 500 or more, more preferably 1000 or more, preferably less than 15000, more preferably less than 12000, Preferably it is less than 10,000.

上記マレイミド化合物Xの重量平均分子量は、該マレイミド化合物Xが重合体ではない場合、及び該マレイミド化合物Xの構造式が特定できる場合は、当該構造式から算出できる分子量を意味する。また、上記マレイミド化合物Xの重量平均分子量は、該マレイミド化合物Xが重合体である場合は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により測定されたポリスチレン換算での重量平均分子量を示す。   The weight average molecular weight of the maleimide compound X means a molecular weight that can be calculated from the structural formula when the maleimide compound X is not a polymer and when the structural formula of the maleimide compound X can be specified. Further, the weight average molecular weight of the maleimide compound X indicates a weight average molecular weight in terms of polystyrene measured by gel permeation chromatography (GPC) when the maleimide compound X is a polymer.

<脂肪族骨格を有するベンゾオキサジン化合物>
本発明に係る樹脂材料は、脂肪族骨格含有化合物として、脂肪族骨格を有するベンゾオキサジン化合物(以下、ベンゾオキサジン化合物Xと記載することがある)を含むことが好ましい。ベンゾオキサジン化合物Xは、ベンゾオキサジン骨格を有する。したがって、ベンゾオキサジン化合物Xは、ベンゾオキサジン骨格と脂肪族骨格とを有する。ベンゾオキサジン化合物Xにおいて、ベンゾオキサジン骨格を形成している窒素原子に、上記脂肪族骨格が結合していることが好ましい。なお、ベンゾオキサジン化合物Xは、イミド骨格を有していてもよい。上記ベンゾオキサジン化合物Xとして、従来公知のベンゾオキサジン化合物を使用可能である。上記ベンゾオキサジン化合物Xは、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
<Benzoxazine compound having aliphatic skeleton>
The resin material according to the present invention preferably contains a benzoxazine compound having an aliphatic skeleton (hereinafter sometimes referred to as benzoxazine compound X) as the aliphatic skeleton-containing compound. The benzoxazine compound X has a benzoxazine skeleton. Therefore, the benzoxazine compound X has a benzoxazine skeleton and an aliphatic skeleton. In the benzoxazine compound X, the aliphatic skeleton is preferably bonded to the nitrogen atom forming the benzoxazine skeleton. The benzoxazine compound X may have an imide skeleton. As the benzoxazine compound X, a conventionally known benzoxazine compound can be used. As for the said benzoxazine compound X, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

上記ベンゾオキサジン化合物Xとしては、N−アルキルベンゾオキサジン化合物等が挙げられる。   Examples of the benzoxazine compound X include N-alkylbenzoxazine compounds.

上記ベンゾオキサジン化合物Xは、上述したマレイミド化合物Xのマレイミド骨格が、ベンゾオキサジン骨格に置換された化合物であることが好ましい。   The benzoxazine compound X is preferably a compound in which the maleimide skeleton of the maleimide compound X described above is substituted with a benzoxazine skeleton.

上記ベンゾオキサジン化合物Xは、例えば、上述したテトラカルボン酸二無水物と上述したジアミン化合物とを反応させて両末端がアミノ基である反応物を得た後、該反応物とフェノールとパラホルムアルデヒドとを反応させて得ることができる。また、上記ダイマージアミンに由来する骨格を有するN−アルキルベンゾオキサジン化合物は、例えば、テトラカルボン酸二無水物とダイマージアミンとを反応させて両末端がダイマージアミンに由来する骨格を有する反応物を得た後、該反応物とフェノールとパラホルムアルデヒドとを反応させて得ることができる。   The benzoxazine compound X is obtained by, for example, reacting the above-described tetracarboxylic dianhydride with the above-described diamine compound to obtain a reaction product having both ends of an amino group, and then reacting the reaction product with phenol, paraformaldehyde, Can be obtained by reacting. In addition, the N-alkylbenzoxazine compound having a skeleton derived from dimerized amine is obtained by reacting, for example, tetracarboxylic dianhydride and dimerized amine to obtain a reactant having a skeleton derived from dimerized amine at both ends. Thereafter, the reaction product can be obtained by reacting phenol with paraformaldehyde.

上記ベンゾオキサジン化合物Xは、主鎖にイミド骨格を有することが好ましい。この場合、上記ポリイミド化合物との相溶性を高めることができるため、硬化物の折り曲げ安定性をより一層高めることができる。   The benzoxazine compound X preferably has an imide skeleton in the main chain. In this case, since the compatibility with the polyimide compound can be enhanced, the bending stability of the cured product can be further enhanced.

上記ベンゾオキサジン化合物Xは、脂肪族骨格を有するポリアミン化合物とカルボン酸二無水物との反応物に由来する骨格を有することが好ましい。上記ポリアミン化合物とは、2個以上の1級のアミノ基を有する化合物を意味する。上記ベンゾオキサジン化合物Xは、脂肪族骨格を有するポリアミン化合物とカルボン酸二無水物との反応物に由来する骨格を有してもよく、脂肪族骨格を有するポリアミン化合物と、脂肪族骨格を有するポリアミン化合物とは異なるアミン化合物と、カルボン酸二無水物との反応物に由来する骨格を有してもよい。   The benzoxazine compound X preferably has a skeleton derived from a reaction product of a polyamine compound having an aliphatic skeleton and a carboxylic dianhydride. The polyamine compound means a compound having two or more primary amino groups. The benzoxazine compound X may have a skeleton derived from a reaction product of a polyamine compound having an aliphatic skeleton and a carboxylic dianhydride, and a polyamine compound having an aliphatic skeleton and a polyamine having an aliphatic skeleton. It may have a skeleton derived from a reaction product of an amine compound different from the compound and a carboxylic dianhydride.

上記脂肪族骨格を有するポリアミン化合物とカルボン酸二無水物との反応物に由来する骨格を有するベンゾオキサジン化合物Xは、例えば、脂肪族骨格を有するポリアミン化合物とカルボン酸二無水物とを反応させて両末端がアミノ基である反応物を得た後、該反応物とフェノールとパラホルムアルデヒドとを反応させて得ることができる。   The benzoxazine compound X having a skeleton derived from the reaction product of the polyamine compound having an aliphatic skeleton and a carboxylic dianhydride is obtained by, for example, reacting a polyamine compound having an aliphatic skeleton with a carboxylic dianhydride. After obtaining a reaction product having amino groups at both ends, the reaction product can be obtained by reacting phenol with paraformaldehyde.

上記ベンゾオキサジン化合物Xは、具体的には、脂肪族骨格を有するジアミン化合物又は脂肪族骨格を有するトリアミン化合物とカルボン酸二無水物との反応物に由来する骨格を有することが好ましい。上記ベンゾオキサジン化合物Xは、脂肪族骨格を有するジアミン化合物とカルボン酸二無水物との反応物に由来する骨格を有していてもよい。上記ベンゾオキサジン化合物Xは、脂肪族骨格を有するジアミン化合物と、脂肪族骨格を有するジアミン化合物とは異なるアミン化合物(例えば、芳香族骨格を有するジアミン化合物)と、カルボン酸二無水物との反応物に由来する骨格を有していてもよい。上記ベンゾオキサジン化合物Xは、脂肪族骨格を有するトリアミン化合物とカルボン酸二無水物との反応物に由来する骨格を有していてもよく、脂肪族骨格を有するトリアミン化合物と、脂肪族骨格を有するトリアミン化合物とは異なるアミン化合物と、カルボン酸二無水物との反応物に由来する骨格を有していてもよい。この場合に、該反応物を得るために、脂肪族骨格を有するジアミン化合物及び脂肪族骨格を有するトリアミン化合物の内の一方が用いられていることが好ましい。該反応物を得るために、脂肪族骨格を有するジアミン化合物と脂肪族骨格を有するトリアミン化合物との双方が用いられていることがより好ましい。なお、この場合に、脂肪族骨格を有するトリアミン化合物の配合量(重量%)は脂肪族骨格を有するジアミン化合物の配合量(重量%)の5%以下であることが好ましい。   Specifically, the benzoxazine compound X preferably has a skeleton derived from a reaction product between a diamine compound having an aliphatic skeleton or a triamine compound having an aliphatic skeleton and a carboxylic dianhydride. The benzoxazine compound X may have a skeleton derived from a reaction product of a diamine compound having an aliphatic skeleton and a carboxylic dianhydride. The benzoxazine compound X is a reaction product of a diamine compound having an aliphatic skeleton, an amine compound different from the diamine compound having an aliphatic skeleton (for example, a diamine compound having an aromatic skeleton), and a carboxylic dianhydride. It may have a skeleton derived from. The benzoxazine compound X may have a skeleton derived from a reaction product of a triamine compound having an aliphatic skeleton and a carboxylic dianhydride, and has a triamine compound having an aliphatic skeleton and an aliphatic skeleton. You may have the frame | skeleton derived from the reaction material of the amine compound different from a triamine compound, and carboxylic dianhydride. In this case, in order to obtain the reactant, it is preferable to use one of a diamine compound having an aliphatic skeleton and a triamine compound having an aliphatic skeleton. In order to obtain the reaction product, it is more preferable that both a diamine compound having an aliphatic skeleton and a triamine compound having an aliphatic skeleton are used. In this case, the blending amount (wt%) of the triamine compound having an aliphatic skeleton is preferably 5% or less of the blending amount (wt%) of the diamine compound having an aliphatic skeleton.

上記脂肪族骨格を有するジアミン化合物とカルボン酸二無水物との反応物に由来する骨格を有するベンゾオキサジン化合物Xは、例えば、脂肪族骨格を有するジアミン化合物とカルボン酸二無水物を反応させて両末端がアミノ基である反応物を得た後、該反応物とフェノールとパラホルムアルデヒドとを反応させて得ることができる。   The benzoxazine compound X having a skeleton derived from the reaction product of the diamine compound having an aliphatic skeleton and a carboxylic dianhydride is obtained by reacting a diamine compound having an aliphatic skeleton with a carboxylic dianhydride, for example. After obtaining a reaction product having a terminal amino group, the reaction product can be obtained by reacting phenol with paraformaldehyde.

上記脂肪族骨格を有するトリアミン化合物とカルボン酸二無水物との反応物に由来する骨格を有するベンゾオキサジン化合物Xは、例えば、脂肪族骨格を有するトリアミン化合物とカルボン酸二無水物を反応させて両末端がアミノ基である反応物を得た後、該反応物とフェノールとパラホルムアルデヒドとを反応させて得ることができる。   The benzoxazine compound X having a skeleton derived from the reaction product of the triamine compound having an aliphatic skeleton and a carboxylic dianhydride is obtained by reacting a triamine compound having an aliphatic skeleton with a carboxylic dianhydride, for example. After obtaining a reaction product having a terminal amino group, the reaction product can be obtained by reacting phenol with paraformaldehyde.

上記脂肪族骨格を有するジアミン化合物としては、上述したジアミン化合物等が挙げられる。   Examples of the diamine compound having an aliphatic skeleton include the diamine compounds described above.

上記芳香族骨格を有するジアミン化合物としては、上述したジアミン化合物等が挙げられる。   Examples of the diamine compound having an aromatic skeleton include the diamine compounds described above.

上記カルボン酸二無水物としては、上述したカルボン酸二無水物が挙げられる。   As said carboxylic dianhydride, the carboxylic dianhydride mentioned above is mentioned.

誘電正接を低くする観点からは、脂肪族骨格を有するジアミン化合物は、ダイマージアミンに由来する骨格を有するジアミン化合物であることが好ましい。   From the viewpoint of lowering the dielectric loss tangent, the diamine compound having an aliphatic skeleton is preferably a diamine compound having a skeleton derived from dimer diamine.

上記ダイマージアミンに由来する骨格を有するジアミン化合物は、ダイマージアミンとテトラカルボン酸二無水物との反応物であることが好ましい。なお、上記ダイマージアミンに由来する骨格を有するジアミン化合物が、ダイマージアミンとテトラカルボン酸二無水物との反応物である場合に、該反応物(該ジアミン化合物)は、ダイマージアミンに由来する骨格以外のジアミン骨格を有していてもよい。   The diamine compound having a skeleton derived from the dimer diamine is preferably a reaction product of dimer diamine and tetracarboxylic dianhydride. In addition, when the diamine compound having a skeleton derived from dimer diamine is a reaction product of dimer diamine and tetracarboxylic dianhydride, the reactant (the diamine compound) is other than the skeleton derived from dimer diamine. It may have a diamine skeleton.

上記ダイマージアミンとしては、上述したダイマージアミンが挙げられる。   Examples of the dimer amine include the dimer amine described above.

上記テトラカルボン酸二無水物としては、上述したテトラカルボン酸二無水物が挙げられる。   As said tetracarboxylic dianhydride, the tetracarboxylic dianhydride mentioned above is mentioned.

上述した1)−6)の本発明の効果をより一層効果的に発揮する観点からは、上記ベンゾオキサジン化合物Xは、ダイマージアミンに由来する骨格を有するN−アルキルビスベンゾオキサジン化合物であることが好ましい。   From the viewpoint of more effectively exerting the effects of the present invention 1) -6) described above, the benzoxazine compound X is an N-alkylbisbenzoxazine compound having a skeleton derived from dimer diamine. preferable.

上記ベンゾオキサジン化合物Xの含有量の、後述する熱硬化性化合物と後述する成分Xとの合計の含有量に対する重量比(ベンゾオキサジン化合物Xの含有量/熱硬化性化合物と成分Xとの合計の含有量)は、好ましくは0.05以上、より好ましくは0.1以上、好ましくは0.9以下、より好ましくは0.75以下である。上記重量比(ベンゾオキサジン化合物Xの含有量/熱硬化性化合物と成分Xとの合計の含有量)が上記下限以上及び上記上限以下であると、誘電正接をより一層低くでき、絶縁層と金属層との密着性をより一層高めることができる。   The weight ratio of the content of the benzoxazine compound X to the total content of the thermosetting compound described later and the component X described later (content of benzoxazine compound X / total of thermosetting compound and component X) The content) is preferably 0.05 or more, more preferably 0.1 or more, preferably 0.9 or less, more preferably 0.75 or less. When the weight ratio (content of benzoxazine compound X / total content of thermosetting compound and component X) is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the dielectric loss tangent can be further reduced, and the insulating layer and the metal Adhesion with the layer can be further enhanced.

上記樹脂材料中の無機充填材及び溶剤を除く成分100重量%中、上記ベンゾオキサジン化合物Xの含有量は、好ましくは3重量%以上、より好ましくは5重量%以上、更に好ましくは10重量%以上、好ましくは90重量%以下、より好ましくは80重量%以下である。上記ベンゾオキサジン化合物Xの含有量が上記下限以上であると、誘電正接をより一層低くでき、絶縁層と金属層との密着性をより一層高めることができる。上記ベンゾオキサジン化合物Xの含有量が上記上限以下であると、ラミネート時の埋め込み性を良好にすることができる。   The content of the benzoxazine compound X is preferably 3% by weight or more, more preferably 5% by weight or more, and still more preferably 10% by weight or more in 100% by weight of the resin material excluding the inorganic filler and the solvent. , Preferably 90% by weight or less, more preferably 80% by weight or less. When the content of the benzoxazine compound X is not less than the above lower limit, the dielectric loss tangent can be further lowered, and the adhesion between the insulating layer and the metal layer can be further enhanced. When the content of the benzoxazine compound X is not more than the above upper limit, the embedding property at the time of lamination can be improved.

絶縁層と金属層との密着性をより一層高める観点からは、上記ベンゾオキサジン化合物Xの重量平均分子量は、好ましくは500以上、より好ましくは1000以上、好ましくは15000未満、より好ましくは12000未満、更に好ましくは10000未満である。   From the viewpoint of further improving the adhesion between the insulating layer and the metal layer, the weight average molecular weight of the benzoxazine compound X is preferably 500 or more, more preferably 1000 or more, preferably less than 15000, more preferably less than 12000, More preferably, it is less than 10,000.

上記ベンゾオキサジン化合物Xの重量平均分子量は、該ベンゾオキサジン化合物Xが重合体ではない場合、及び該ベンゾオキサジン化合物Xの構造式が特定できる場合は、当該構造式から算出できる分子量を意味する。また、上記ベンゾオキサジン化合物Xの重量平均分子量は、該ベンゾオキサジン化合物Xが重合体である場合は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により測定されたポリスチレン換算での重量平均分子量を示す。   The weight average molecular weight of the benzoxazine compound X means a molecular weight that can be calculated from the structural formula when the benzoxazine compound X is not a polymer and when the structural formula of the benzoxazine compound X can be specified. Moreover, the weight average molecular weight of the said benzoxazine compound X shows the weight average molecular weight in polystyrene conversion measured by gel permeation chromatography (GPC), when this benzoxazine compound X is a polymer.

上記樹脂材料中の溶剤を除く有機成分100重量%中、上記ポリイミド化合物と上記脂肪族骨格含有化合物との合計の含有量は、好ましくは10重量%以上、より好ましくは15重量%以上、更に好ましくは20重量%以上である。上記樹脂材料中の溶剤を除く有機成分100重量%中、上記ポリイミド化合物と上記脂肪族骨格含有化合物との合計の含有量は、好ましくは98重量%以下、より好ましくは80重量%以下である。上記合計の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、上述した1)−6)の本発明の効果をより一層効果的に発揮することができる。   In 100% by weight of the organic component excluding the solvent in the resin material, the total content of the polyimide compound and the aliphatic skeleton-containing compound is preferably 10% by weight or more, more preferably 15% by weight or more, and still more preferably. Is 20% by weight or more. In 100% by weight of the organic component excluding the solvent in the resin material, the total content of the polyimide compound and the aliphatic skeleton-containing compound is preferably 98% by weight or less, more preferably 80% by weight or less. When the total content is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the effects of the above-described 1) -6) of the present invention can be more effectively exhibited.

[熱硬化性化合物]
上記樹脂材料は、熱硬化性化合物を含むことが好ましい。上記熱硬化性化合物は、上記ポリイミド化合物、上記マレイミド化合物X及び上記ベンゾオキサジン化合物Xとは異なる熱硬化性化合物である。上記熱硬化性化合物としては、スチレン化合物、ビニル化合物、フェノキシ化合物、オキセタン化合物、エポキシ化合物、エピスルフィド化合物、(メタ)アクリル化合物、フェノール化合物、アミノ化合物、不飽和ポリエステル化合物、ポリウレタン化合物、及びシリコーン化合物等が挙げられる。上記熱硬化性化合物は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[Thermosetting compound]
The resin material preferably contains a thermosetting compound. The thermosetting compound is a thermosetting compound different from the polyimide compound, the maleimide compound X, and the benzoxazine compound X. Examples of the thermosetting compounds include styrene compounds, vinyl compounds, phenoxy compounds, oxetane compounds, epoxy compounds, episulfide compounds, (meth) acrylic compounds, phenolic compounds, amino compounds, unsaturated polyester compounds, polyurethane compounds, and silicone compounds. Is mentioned. As for the said thermosetting compound, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

上述した1)−6)の本発明の効果をより一層効果的に発揮する観点、また、熱寸法安定性を高める観点からは、上記熱硬化性化合物は、エポキシ化合物であることが好ましい。   From the viewpoint of more effectively exerting the effects of the present invention 1) -6) described above, and from the viewpoint of improving the thermal dimensional stability, the thermosetting compound is preferably an epoxy compound.

上記エポキシ化合物としては、ビスフェノールA型エポキシ化合物、ビスフェノールF型エポキシ化合物、ビスフェノールS型エポキシ化合物、フェノールノボラック型エポキシ化合物、ビフェニル型エポキシ化合物、ビフェニルノボラック型エポキシ化合物、ビフェノール型エポキシ化合物、ナフタレン型エポキシ化合物、フルオレン型エポキシ化合物、フェノールアラルキル型エポキシ化合物、ナフトールアラルキル型エポキシ化合物、ジシクロペンタジエン型エポキシ化合物、アントラセン型エポキシ化合物、アダマンタン骨格を有するエポキシ化合物、トリシクロデカン骨格を有するエポキシ化合物、ナフチレンエーテル型エポキシ化合物、及びトリアジン核を骨格に有するエポキシ化合物等が挙げられる。   Examples of the epoxy compounds include bisphenol A type epoxy compounds, bisphenol F type epoxy compounds, bisphenol S type epoxy compounds, phenol novolac type epoxy compounds, biphenyl type epoxy compounds, biphenyl novolac type epoxy compounds, biphenol type epoxy compounds, and naphthalene type epoxy compounds. Fluorene type epoxy compound, phenol aralkyl type epoxy compound, naphthol aralkyl type epoxy compound, dicyclopentadiene type epoxy compound, anthracene type epoxy compound, epoxy compound having adamantane skeleton, epoxy compound having tricyclodecane skeleton, naphthylene ether type Examples thereof include an epoxy compound and an epoxy compound having a triazine nucleus in the skeleton.

上記エポキシ化合物は、芳香族骨格を有するエポキシ化合物を含むことが好ましく、ナフタレン骨格又はフェニル骨格を有するエポキシ化合物を含むことが好ましく、芳香族骨格を有するエポキシ化合物であることがより好ましく、ナフタレン骨格を有するエポキシ化合物であることが更に好ましい。この場合には、誘電正接をより一層低くし、かつ耐熱性、難燃性及び熱寸法安定性を高めることができる。   The epoxy compound preferably includes an epoxy compound having an aromatic skeleton, preferably includes an epoxy compound having a naphthalene skeleton or a phenyl skeleton, more preferably an epoxy compound having an aromatic skeleton, and a naphthalene skeleton. More preferably, it is an epoxy compound. In this case, the dielectric loss tangent can be further reduced, and the heat resistance, flame retardancy and thermal dimensional stability can be improved.

誘電正接をより一層低くし、かつ硬化物の熱線膨張係数(CTE)を良好にする観点からは、上記エポキシ化合物は、25℃で液状のエポキシ化合物と、25℃で固形のエポキシ化合物とを含むことが好ましい。   From the viewpoint of further reducing the dielectric loss tangent and improving the coefficient of thermal expansion (CTE) of the cured product, the epoxy compound includes an epoxy compound that is liquid at 25 ° C. and an epoxy compound that is solid at 25 ° C. It is preferable.

上記25℃で液状のエポキシ化合物の25℃での粘度は、1000mPa・s以下であることが好ましく、500mPa・s以下であることがより好ましい。   The viscosity of the epoxy compound that is liquid at 25 ° C. at 25 ° C. is preferably 1000 mPa · s or less, and more preferably 500 mPa · s or less.

上記エポキシ化合物の粘度を測定する際には、例えば動的粘弾性測定装置(レオロジカ・インスツルメンツ社製「VAR−100」)等が用いられる。   When measuring the viscosity of the epoxy compound, for example, a dynamic viscoelasticity measuring device (“VAR-100” manufactured by Rheologicala Instruments) or the like is used.

上記エポキシ化合物の分子量は1000以下であることがより好ましい。この場合には、樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%、無機充填材の含有量が50重量%以上であっても、絶縁層の形成時に流動性が高い樹脂材料が得られる。このため、樹脂材料の未硬化物又はBステージ化物を回路基板上にラミネートした場合に、無機充填材を均一に存在させることができる。   The molecular weight of the epoxy compound is more preferably 1000 or less. In this case, a resin material with high fluidity can be obtained when the insulating layer is formed even if the component in the resin material is 100% by weight excluding the solvent and the content of the inorganic filler is 50% by weight or more. For this reason, when an uncured resin material or a B-stage product is laminated on the circuit board, the inorganic filler can be uniformly present.

上記エポキシ化合物の分子量は、上記エポキシ化合物が重合体ではない場合、及び上記エポキシ化合物の構造式が特定できる場合は、当該構造式から算出できる分子量を意味する。また、上記エポキシ化合物が重合体である場合は、重量平均分子量を意味する。   The molecular weight of the epoxy compound means a molecular weight that can be calculated from the structural formula when the epoxy compound is not a polymer and when the structural formula of the epoxy compound can be specified. Moreover, when the said epoxy compound is a polymer, a weight average molecular weight is meant.

硬化物と金属層との接着強度をより一層高める観点からは、樹脂材料中の溶剤を除く有機成分100重量%中、上記エポキシ化合物の含有量は、好ましくは5重量%以上、より好ましくは25重量%以上、好ましくは50重量%以下、より好ましくは40重量%以下である。   From the viewpoint of further increasing the adhesive strength between the cured product and the metal layer, the content of the epoxy compound is preferably 5% by weight or more, more preferably 25% in 100% by weight of the organic component excluding the solvent in the resin material. % By weight or more, preferably 50% by weight or less, more preferably 40% by weight or less.

上記エポキシ化合物の含有量の、上記脂肪族骨格含有化合物と後述する成分Xとの合計の含有量に対する重量比(上記エポキシ化合物の含有量/上記脂肪族骨格含有化合物と上記成分Xとの合計の含有量)は、好ましくは0.1以上、より好ましくは0.2以上である。上記エポキシ化合物の含有量の、上記脂肪族骨格含有化合物と後述する成分Xとの合計の含有量に対する重量比(上記エポキシ化合物の含有量/上記脂肪族骨格含有化合物と上記成分Xとの合計の含有量)は、好ましくは0.9以下、より好ましくは0.8以下である。上記重量比(上記エポキシ化合物の含有量/上記脂肪族骨格含有化合物と上記成分Xとの合計の含有量)が上記下限以上及び上記上限以下であると、誘電正接を低くすることができ、線膨張係数を小さくすることができ、絶縁層と金属層との密着性をより一層高め、かつハンドリング性を高めることができる。   The weight ratio of the content of the epoxy compound to the total content of the aliphatic skeleton-containing compound and the component X described later (content of the epoxy compound / total of the aliphatic skeleton-containing compound and the component X) The content) is preferably 0.1 or more, more preferably 0.2 or more. The weight ratio of the content of the epoxy compound to the total content of the aliphatic skeleton-containing compound and the component X described later (content of the epoxy compound / total of the aliphatic skeleton-containing compound and the component X) The content is preferably 0.9 or less, more preferably 0.8 or less. When the weight ratio (content of the epoxy compound / total content of the aliphatic skeleton-containing compound and the component X) is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the dielectric loss tangent can be lowered, and the line An expansion coefficient can be made small, the adhesiveness of an insulating layer and a metal layer can be improved further, and handling property can be improved.

[無機充填材]
上記樹脂材料は、無機充填材を含むことが好ましい。上記無機充填材の使用により、硬化物の誘電正接をより一層低くすることができる。また、上記無機充填材の使用により、硬化物の熱による寸法変化がより一層小さくなる。上記無機充填材は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[Inorganic filler]
The resin material preferably contains an inorganic filler. By using the inorganic filler, the dielectric loss tangent of the cured product can be further reduced. In addition, the use of the inorganic filler further reduces the dimensional change due to heat of the cured product. As for the said inorganic filler, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

上記無機充填材としては、シリカ、タルク、クレイ、マイカ、ハイドロタルサイト、アルミナ、酸化マグネシウム、水酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、及び窒化ホウ素等が挙げられる。   Examples of the inorganic filler include silica, talc, clay, mica, hydrotalcite, alumina, magnesium oxide, aluminum hydroxide, aluminum nitride, and boron nitride.

硬化物の表面の表面粗さを小さくし、硬化物と金属層との接着強度をより一層高くし、かつ硬化物の表面により一層微細な配線を形成し、かつ硬化物により良好な絶縁信頼性を付与する観点からは、上記無機充填材は、シリカ又はアルミナであることが好ましく、シリカであることがより好ましく、溶融シリカであることが更に好ましい。シリカの使用により、硬化物の熱膨張率がより一層低くなり、また、硬化物の誘電正接がより一層低くなる。また、シリカの使用により、硬化物の表面の表面粗さが効果的に小さくなり、硬化物と金属層との接着強度が効果的に高くなる。シリカの形状は球状であることが好ましい。   The surface roughness of the cured product is reduced, the adhesive strength between the cured product and the metal layer is further increased, finer wiring is formed on the surface of the cured product, and better insulation reliability is achieved by the cured product. From the viewpoint of imparting the above, the inorganic filler is preferably silica or alumina, more preferably silica, and still more preferably fused silica. By using silica, the thermal expansion coefficient of the cured product is further lowered, and the dielectric loss tangent of the cured product is further reduced. In addition, the use of silica effectively reduces the surface roughness of the cured product and effectively increases the adhesive strength between the cured product and the metal layer. The shape of silica is preferably spherical.

硬化環境によらず、樹脂の硬化を進め、硬化物のガラス転移温度を効果的に高くし、硬化物の熱線膨張係数を効果的に小さくする観点からは、上記無機充填材は球状シリカであることが好ましい。   Regardless of the curing environment, the inorganic filler is spherical silica from the viewpoint of promoting the curing of the resin, effectively increasing the glass transition temperature of the cured product, and effectively reducing the thermal linear expansion coefficient of the cured product. It is preferable.

上記無機充填材の平均粒径は、好ましくは50nm以上、より好ましくは100nm以上、更に好ましくは500nm以上、好ましくは5μm以下、より好ましくは3μm以下、更に好ましくは1μm以下である。上記無機充填材の平均粒径が上記下限以上及び上記上限以下であると、凹凸表面に対する埋め込み性をより一層高め、絶縁層と金属層との密着性をより一層高めることができる。   The average particle size of the inorganic filler is preferably 50 nm or more, more preferably 100 nm or more, still more preferably 500 nm or more, preferably 5 μm or less, more preferably 3 μm or less, and even more preferably 1 μm or less. When the average particle size of the inorganic filler is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the embedding property with respect to the uneven surface can be further enhanced, and the adhesion between the insulating layer and the metal layer can be further enhanced.

上記無機充填材の平均粒径として、50%となるメディアン径(d50)の値が採用される。上記平均粒径は、レーザー回折散乱方式の粒度分布測定装置を用いて測定可能である。   A median diameter (d50) value of 50% is employed as the average particle diameter of the inorganic filler. The average particle size can be measured using a laser diffraction / scattering particle size distribution measuring apparatus.

上記無機充填材は、球状であることが好ましく、球状シリカであることがより好ましい。この場合には、硬化物の表面の表面粗さが効果的に小さくなり、更に硬化物と金属層との接着強度が効果的に高くなる。上記無機充填材が球状である場合には、上記無機充填材のアスペクト比は好ましくは2以下、より好ましくは1.5以下である。   The inorganic filler is preferably spherical and more preferably spherical silica. In this case, the surface roughness of the surface of the cured product is effectively reduced, and the adhesive strength between the cured product and the metal layer is effectively increased. When the inorganic filler is spherical, the aspect ratio of the inorganic filler is preferably 2 or less, more preferably 1.5 or less.

上記無機充填材は、表面処理されていることが好ましく、カップリング剤による表面処理物であることがより好ましく、シランカップリング剤による表面処理物であることが更に好ましい。上記無機充填材が表面処理されていることにより、粗化硬化物の表面の表面粗さがより一層小さくなり、硬化物と金属層との接着強度がより一層高くなる。また、上記無機充填材が表面処理されていることにより、硬化物の表面により一層微細な配線を形成することができ、かつより一層良好な配線間絶縁信頼性及び層間絶縁信頼性を硬化物に付与することができる。   The inorganic filler is preferably surface-treated, more preferably a surface-treated product with a coupling agent, and still more preferably a surface-treated product with a silane coupling agent. By the surface treatment of the inorganic filler, the surface roughness of the roughened cured product is further reduced, and the adhesive strength between the cured product and the metal layer is further increased. Further, since the inorganic filler is surface-treated, it is possible to form finer wiring on the surface of the cured product, and to further improve the inter-wiring insulation reliability and interlayer insulation reliability to the cured product. Can be granted.

上記カップリング剤としては、シランカップリング剤、チタンカップリング剤及びアルミニウムカップリング剤等が挙げられる。上記シランカップリング剤としては、メタクリルシラン、アクリルシラン、アミノシラン、イミダゾールシラン、ビニルシラン、及びエポキシシラン等が挙げられる。   Examples of the coupling agent include silane coupling agents, titanium coupling agents, and aluminum coupling agents. Examples of the silane coupling agent include methacryl silane, acrylic silane, amino silane, imidazole silane, vinyl silane, and epoxy silane.

樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、上記無機充填材の含有量は、好ましくは50重量%以上、より好ましくは60重量%以上、更に好ましくは65重量%以上、特に好ましくは68重量%以上である。樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、上記無機充填材の含有量は、好ましくは90重量%以下、より好ましくは85重量%以下、更に好ましくは80重量%以下、特に好ましくは75重量%以下である。上記無機充填材の含有量が上記下限以上であると、誘電正接が効果的に低くなり、線膨張係数を小さくすることができる。上記無機充填材の含有量が上記上限以下であると、接着性、凹凸表面に対する埋め込み性、及びエッチング性能を高めることができる。上記無機充填材の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化物の表面の表面粗さをより一層小さくすることができ、かつ硬化物の表面により一層微細な配線を形成することができる。さらに、この無機充填材量であれば、硬化物の熱膨張率を低くすることと同時に、スミア除去性を良好にすることも可能である。   In 100% by weight of the component excluding the solvent in the resin material, the content of the inorganic filler is preferably 50% by weight or more, more preferably 60% by weight or more, still more preferably 65% by weight or more, particularly preferably 68% by weight. % Or more. In 100% by weight of the component excluding the solvent in the resin material, the content of the inorganic filler is preferably 90% by weight or less, more preferably 85% by weight or less, still more preferably 80% by weight or less, particularly preferably 75% by weight. % Or less. When the content of the inorganic filler is not less than the above lower limit, the dielectric loss tangent is effectively lowered, and the linear expansion coefficient can be reduced. When the content of the inorganic filler is not more than the above upper limit, adhesion, embedding with respect to the uneven surface, and etching performance can be improved. When the content of the inorganic filler is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the surface roughness of the surface of the cured product can be further reduced, and finer wiring can be formed on the surface of the cured product. Can do. Furthermore, with this amount of inorganic filler, it is possible to improve the smear removability at the same time as reducing the coefficient of thermal expansion of the cured product.

[硬化剤]
上記樹脂材料は、硬化剤を含むことが好ましい。上記硬化剤は特に限定されない。上記硬化剤として、従来公知の硬化剤を使用可能である。上記硬化剤は1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[Curing agent]
The resin material preferably contains a curing agent. The said hardening | curing agent is not specifically limited. As the curing agent, a conventionally known curing agent can be used. As for the said hardening | curing agent, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

上記硬化剤としては、シアネートエステル化合物(シアネートエステル硬化剤)、アミン化合物(アミン硬化剤)、チオール化合物(チオール硬化剤)、イミダゾール化合物、ホスフィン化合物、ジシアンジアミド、フェノール化合物(フェノール硬化剤)、酸無水物、活性エステル化合物、カルボジイミド化合物(カルボジイミド硬化剤)、脂肪族骨格を有さないベンゾオキサジン化合物(ベンゾオキサジン硬化剤)、及び脂肪族骨格を有さないマレイミド化合物等が挙げられる。上記硬化剤は、上記エポキシ化合物のエポキシ基と反応可能な官能基を有することが好ましい。   Examples of the curing agent include cyanate ester compound (cyanate ester curing agent), amine compound (amine curing agent), thiol compound (thiol curing agent), imidazole compound, phosphine compound, dicyandiamide, phenol compound (phenol curing agent), and acid anhydride. Products, active ester compounds, carbodiimide compounds (carbodiimide curing agents), benzoxazine compounds having no aliphatic skeleton (benzoxazine curing agents), maleimide compounds having no aliphatic skeleton, and the like. The curing agent preferably has a functional group capable of reacting with the epoxy group of the epoxy compound.

誘電正接を低くし、熱寸法安定性を高める観点から、上記硬化剤は、フェノール化合物、シアネートエステル化合物、酸無水物、活性エステル化合物、カルボジイミド化合物、及び脂肪族骨格を有さないベンゾオキサジン化合物の内の少なくとも1種の成分を含むことが好ましい。すなわち、上記樹脂材料は、フェノール化合物、シアネートエステル化合物、酸無水物、活性エステル化合物、カルボジイミド化合物、及び脂肪族骨格を有さないベンゾオキサジン化合物の内の少なくとも1種の成分を含む硬化剤を含むことが好ましい。上記脂肪族骨格を有さないベンゾオキサジン化合物は、ベンゾオキサジン骨格を形成している窒素原子に、芳香族骨格が結合しているNフェニルベンゾオキサジン化合物であることが好ましい。   From the viewpoint of lowering the dielectric loss tangent and increasing the thermal dimensional stability, the curing agent is a phenol compound, a cyanate ester compound, an acid anhydride, an active ester compound, a carbodiimide compound, or a benzoxazine compound having no aliphatic skeleton. It is preferable to include at least one component. That is, the resin material includes a curing agent including at least one component of a phenol compound, a cyanate ester compound, an acid anhydride, an active ester compound, a carbodiimide compound, and a benzoxazine compound having no aliphatic skeleton. It is preferable. The benzoxazine compound having no aliphatic skeleton is preferably an N-phenylbenzoxazine compound in which an aromatic skeleton is bonded to a nitrogen atom forming the benzoxazine skeleton.

本明細書において、「フェノール化合物、シアネートエステル化合物、酸無水物、活性エステル化合物、カルボジイミド化合物、及びベンゾオキサジン骨格を形成している窒素原子に、芳香族骨格が結合しているNフェニルベンゾオキサジン化合物の内の少なくとも1種の成分」を「成分X」と記載することがある。   In the present specification, “phenol compound, cyanate ester compound, acid anhydride, active ester compound, carbodiimide compound, and N-phenylbenzoxazine compound in which an aromatic skeleton is bonded to a nitrogen atom forming a benzoxazine skeleton. Of these, at least one component ”may be referred to as“ component X ”.

上記樹脂材料は、成分Xを含む硬化剤を含むことが好ましい。上記成分Xは、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。   The resin material preferably contains a curing agent containing component X. As for the said component X, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

上記フェノール化合物としては、ノボラック型フェノール、ビフェノール型フェノール、ナフタレン型フェノール、ジシクロペンタジエン型フェノール、アラルキル型フェノール及びジシクロペンタジエン型フェノール等が挙げられる。   Examples of the phenol compound include novolak type phenol, biphenol type phenol, naphthalene type phenol, dicyclopentadiene type phenol, aralkyl type phenol, dicyclopentadiene type phenol and the like.

上記フェノール化合物の市販品としては、ノボラック型フェノール(DIC社製「TD−2091」)、ビフェニルノボラック型フェノール(明和化成社製「MEH−7851」)、アラルキル型フェノール化合物(明和化成社製「MEH−7800」)、並びにアミノトリアジン骨格を有するフェノール(DIC社製「LA1356」及び「LA3018−50P」)等が挙げられる。   Examples of commercially available phenol compounds include novolak type phenol (“TD-2091” manufactured by DIC), biphenyl novolac type phenol (“MEH-7851” manufactured by Meiwa Kasei Co., Ltd.), and aralkyl type phenol compound (“MEH manufactured by Meiwa Kasei Co., Ltd.). -7800 "), and phenols having an aminotriazine skeleton (" LA1356 "and" LA3018-50P "manufactured by DIC).

上記シアネートエステル化合物としては、ノボラック型シアネートエステル樹脂、ビスフェノール型シアネートエステル樹脂、並びにこれらが一部三量化されたプレポリマー等が挙げられる。上記ノボラック型シアネートエステル樹脂としては、フェノールノボラック型シアネートエステル樹脂及びアルキルフェノール型シアネートエステル樹脂等が挙げられる。上記ビスフェノール型シアネートエステル樹脂としては、ビスフェノールA型シアネートエステル樹脂、ビスフェノールE型シアネートエステル樹脂及びテトラメチルビスフェノールF型シアネートエステル樹脂等が挙げられる。   Examples of the cyanate ester compounds include novolak-type cyanate ester resins, bisphenol-type cyanate ester resins, and prepolymers in which these are partially trimerized. Examples of the novolac type cyanate ester resin include phenol novolac type cyanate ester resins and alkylphenol type cyanate ester resins. Examples of the bisphenol type cyanate ester resin include bisphenol A type cyanate ester resin, bisphenol E type cyanate ester resin, and tetramethylbisphenol F type cyanate ester resin.

上記シアネートエステル化合物の市販品としては、フェノールノボラック型シアネートエステル樹脂(ロンザジャパン社製「PT−30」及び「PT−60」)、及びビスフェノール型シアネートエステル樹脂が三量化されたプレポリマー(ロンザジャパン社製「BA−230S」、「BA−3000S」、「BTP−1000S」及び「BTP−6020S」)等が挙げられる。   Commercially available products of the above cyanate ester compounds include phenol novolac type cyanate ester resins ("PT-30" and "PT-60" manufactured by Lonza Japan) and prepolymers (Lonza Japan) in which bisphenol type cyanate ester resins are trimerized. "BA-230S", "BA-3000S", "BTP-1000S", and "BTP-6020S") manufactured by the company.

上記酸無水物としては、テトラヒドロフタル酸無水物、及びアルキルスチレン−無水マレイン酸共重合体等が挙げられる。   Examples of the acid anhydride include tetrahydrophthalic anhydride and alkylstyrene-maleic anhydride copolymer.

上記酸無水物の市販品としては、新日本理化社製「リカシッド TDA−100」等が挙げられる。   Examples of commercially available acid anhydrides include “Ricacid TDA-100” manufactured by Shin Nippon Chemical Co., Ltd.

上記活性エステル化合物とは、構造体中にエステル結合を少なくとも1つ含み、かつ、エステル結合の両側に芳香族環が結合している化合物をいう。活性エステル化合物は、例えばカルボン酸化合物又はチオカルボン酸化合物と、ヒドロキシ化合物又はチオール化合物との縮合反応によって得られる。活性エステル化合物の例としては、下記式(1)で表される化合物が挙げられる。   The active ester compound means a compound containing at least one ester bond in the structure and having an aromatic ring bonded to both sides of the ester bond. The active ester compound is obtained, for example, by a condensation reaction between a carboxylic acid compound or thiocarboxylic acid compound and a hydroxy compound or thiol compound. Examples of the active ester compound include a compound represented by the following formula (1).

Figure 2019173010
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上記式(1)中、X1は、脂肪族鎖を含む基、脂肪族環を含む基又は芳香族環を含む基を表し、X2は、芳香族環を含む基を表す。上記芳香族環を含む基の好ましい例としては、置換基を有していてもよいベンゼン環、及び置換基を有していてもよいナフタレン環等が挙げられる。上記置換基としては、炭化水素基が挙げられる。該炭化水素基の炭素数は、好ましくは12以下、より好ましくは6以下、更に好ましくは4以下である。   In the above formula (1), X1 represents a group containing an aliphatic chain, a group containing an aliphatic ring or a group containing an aromatic ring, and X2 represents a group containing an aromatic ring. Preferable examples of the group containing an aromatic ring include a benzene ring which may have a substituent and a naphthalene ring which may have a substituent. A hydrocarbon group is mentioned as said substituent. The carbon number of the hydrocarbon group is preferably 12 or less, more preferably 6 or less, and still more preferably 4 or less.

X1及びX2の組み合わせとしては、置換基を有していてもよいベンゼン環と、置換基を有していてもよいベンゼン環との組み合わせ、置換基を有していてもよいベンゼン環と、置換基を有していてもよいナフタレン環との組み合わせが挙げられる。さらに、X1及びX2の組み合わせとしては、置換基を有していてもよいナフタレン環と、置換基を有していてもよいナフタレン環との組み合わせが挙げられる。   As a combination of X1 and X2, a combination of a benzene ring which may have a substituent and a benzene ring which may have a substituent, a benzene ring which may have a substituent and a substitution The combination with the naphthalene ring which may have a group is mentioned. Furthermore, examples of the combination of X1 and X2 include a combination of a naphthalene ring which may have a substituent and a naphthalene ring which may have a substituent.

上記活性エステル化合物は特に限定されない。熱寸法安定性をより一層高める観点からは、上記活性エステル化合物は、2個以上の芳香族骨格を有する活性エステル化合物であることが好ましい。硬化物の誘電正接を低くし、かつ硬化物の熱寸法安定性を高める観点から、活性エステルの主鎖骨格中にナフタレン環を有することがより好ましい。   The active ester compound is not particularly limited. From the viewpoint of further improving the thermal dimensional stability, the active ester compound is preferably an active ester compound having two or more aromatic skeletons. From the viewpoint of reducing the dielectric loss tangent of the cured product and increasing the thermal dimensional stability of the cured product, it is more preferable to have a naphthalene ring in the main chain skeleton of the active ester.

上記活性エステル化合物の市販品としては、DIC社製「HPC−8000−65T」、「EXB9416−70BK」、「EXB8100−65T」、及び「HPC−8150−60T」等が挙げられる。   Examples of commercially available active ester compounds include “HPC-8000-65T”, “EXB9416-70BK”, “EXB8100-65T”, and “HPC-8150-60T” manufactured by DIC.

上記カルボジイミド化合物は、下記式(2)で表される構造単位を有する。下記式(2)において、右端部及び左端部は、他の基との結合部位である。上記カルボジイミド化合物は1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。   The carbodiimide compound has a structural unit represented by the following formula (2). In the following formula (2), the right end and the left end are binding sites with other groups. As for the said carbodiimide compound, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

Figure 2019173010
Figure 2019173010

上記式(2)中、Xは、アルキレン基、アルキレン基に置換基が結合した基、シクロアルキレン基、シクロアルキレン基に置換基が結合した基、アリーレン基、又はアリーレン基に置換基が結合した基を表し、pは1〜5の整数を表す。Xが複数存在する場合、複数のXは同一であってもよく、異なっていてもよい。   In the above formula (2), X is an alkylene group, a group having a substituent bonded to an alkylene group, a cycloalkylene group, a group having a substituent bonded to a cycloalkylene group, an arylene group, or a substituent bonded to an arylene group. Represents a group, and p represents an integer of 1 to 5. When two or more X exists, several X may be the same and may differ.

好適な一つの形態において、少なくとも1つのXは、アルキレン基、アルキレン基に置換基が結合した基、シクロアルキレン基、又はシクロアルキレン基に置換基が結合した基である。   In one preferred embodiment, at least one X is an alkylene group, a group having a substituent bonded to the alkylene group, a cycloalkylene group, or a group having a substituent bonded to a cycloalkylene group.

上記カルボジイミド化合物の市販品としては、日清紡ケミカル社製「カルボジライト V−02B」、「カルボジライト V−03」、「カルボジライト V−04K」、「カルボジライト V−07」、「カルボジライト V−09」、「カルボジライト 10M−SP」、及び「カルボジライト 10M−SP(改)」、並びに、ラインケミー社製「スタバクゾールP」、「スタバクゾールP400」、及び「ハイカジル510」等が挙げられる。   Commercially available products of the above carbodiimide compounds include “Carbodilite V-02B”, “Carbodilite V-03”, “Carbodilite V-04K”, “Carbodilite V-07”, “Carbodilite V-09”, “Carbodilite” manufactured by Nisshinbo Chemical Co., Ltd. 10M-SP "and" Carbodilite 10M-SP (modified) ", and" STABAXOL P "," STABAXOL P400 ", and" HIKAZIL 510 "manufactured by Rhein Chemie.

上記脂肪族骨格を有さないベンゾオキサジン化合物としては、P−d型ベンゾオキサジン、及びF−a型ベンゾオキサジン等が挙げられる。   Examples of the benzoxazine compound having no aliphatic skeleton include Pd-type benzoxazine, Fa-type benzoxazine, and the like.

上記脂肪族骨格を有さないベンゾオキサジン化合物の市販品としては、四国化成工業社製「P−d型」等が挙げられる。   Examples of commercially available benzoxazine compounds having no aliphatic skeleton include “Pd type” manufactured by Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd.

上記ポリイミド化合物と、上記脂肪族骨格含有化合物と、上記熱硬化性化合物との合計100重量部に対する上記成分Xの含有量は、好ましくは70重量部以上、より好ましくは85重量部以上、好ましくは150重量部以下、より好ましくは120重量部以下である。上記成分Xの含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化性により一層優れ、熱寸法安定性をより一層高め、残存未反応成分の揮発をより一層抑制できる。   The content of the component X with respect to a total of 100 parts by weight of the polyimide compound, the aliphatic skeleton-containing compound, and the thermosetting compound is preferably 70 parts by weight or more, more preferably 85 parts by weight or more, preferably 150 parts by weight or less, more preferably 120 parts by weight or less. When the content of the component X is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the curability is further improved, the thermal dimensional stability can be further improved, and volatilization of the remaining unreacted components can be further suppressed.

上記熱硬化性化合物100重量部に対する上記成分Xの含有量は、好ましくは70重量部以上、より好ましくは85重量部以上、好ましくは150重量部以下、より好ましくは120重量部以下である。上記成分Xの含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化性により一層優れ、熱寸法安定性をより一層高め、残存未反応成分の揮発をより一層抑制できる。   The content of the component X with respect to 100 parts by weight of the thermosetting compound is preferably 70 parts by weight or more, more preferably 85 parts by weight or more, preferably 150 parts by weight or less, more preferably 120 parts by weight or less. When the content of the component X is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the curability is further improved, the thermal dimensional stability can be further improved, and volatilization of the remaining unreacted components can be further suppressed.

上記樹脂材料中の無機充填材及び溶剤を除く成分100重量%中、上記ポリイミド化合物と、上記脂肪族骨格含有化合物と、上記熱硬化性化合物と、上記成分Xとの合計の含有量は、好ましくは50重量%以上、より好ましくは60重量%以上、好ましくは90重量%以下、より好ましくは85重量%以下である。上記熱硬化性化合物と上記成分Xとの合計の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化性により一層優れ、熱寸法安定性をより一層高めることができる。   In 100% by weight of the component excluding the inorganic filler and the solvent in the resin material, the total content of the polyimide compound, the aliphatic skeleton-containing compound, the thermosetting compound, and the component X is preferably Is 50% by weight or more, more preferably 60% by weight or more, preferably 90% by weight or less, more preferably 85% by weight or less. When the total content of the thermosetting compound and the component X is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the curability is further improved and the thermal dimensional stability can be further enhanced.

上記樹脂材料中の無機充填材及び溶剤を除く成分100重量%中、上記熱硬化性化合物と上記成分Xとの合計の含有量は、好ましくは50重量%以上、より好ましくは60重量%以上、好ましくは90重量%以下、より好ましくは85重量%以下である。上記熱硬化性化合物と上記成分Xとの合計の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化性により一層優れ、熱寸法安定性をより一層高めることができる。   In 100% by weight of the component excluding the inorganic filler and the solvent in the resin material, the total content of the thermosetting compound and the component X is preferably 50% by weight or more, more preferably 60% by weight or more, Preferably it is 90 weight% or less, More preferably, it is 85 weight% or less. When the total content of the thermosetting compound and the component X is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the curability is further improved and the thermal dimensional stability can be further enhanced.

[硬化促進剤]
上記樹脂材料は、硬化促進剤を含むことが好ましい。上記硬化促進剤の使用により、硬化速度がより一層速くなる。樹脂材料を速やかに硬化させることで、硬化物における架橋構造が均一になると共に、未反応の官能基数が減り、結果的に架橋密度が高くなる。上記硬化促進剤は特に限定されず、従来公知の硬化促進剤を使用可能である。上記硬化促進剤は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[Curing accelerator]
The resin material preferably contains a curing accelerator. By using the curing accelerator, the curing rate is further increased. By quickly curing the resin material, the crosslinked structure in the cured product becomes uniform, the number of unreacted functional groups is reduced, and as a result, the crosslinking density is increased. The said hardening accelerator is not specifically limited, A conventionally well-known hardening accelerator can be used. As for the said hardening accelerator, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

上記硬化促進剤としては、例えば、イミダゾール化合物等のアニオン性硬化促進剤、アミン化合物等のカチオン性硬化促進剤、リン化合物及び有機金属化合物等のアニオン性及びカチオン性硬化促進剤以外の硬化促進剤、並びに過酸化物等のラジカル性硬化促進剤等が挙げられる。   Examples of the curing accelerator include anionic curing accelerators such as imidazole compounds, cationic curing accelerators such as amine compounds, and curing accelerators other than anionic and cationic curing accelerators such as phosphorus compounds and organometallic compounds. And radical curing accelerators such as peroxides.

上記イミダゾール化合物としては、2−ウンデシルイミダゾール、2−ヘプタデシルイミダゾール、2−メチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、2−フェニル−4−メチルイミダゾール、1−ベンジル−2−メチルイミダゾール、1−ベンジル−2−フェニルイミダゾール、1,2−ジメチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−エチル−4−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−ウンデシルイミダゾール、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル−2−ウンデシルイミダゾリウムトリメリテイト、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾリウムトリメリテイト、2,4−ジアミノ−6−[2’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−ウンデシルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−エチル−4’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジンイソシアヌル酸付加物、2−フェニルイミダゾールイソシアヌル酸付加物、2−メチルイミダゾールイソシアヌル酸付加物、2−フェニル−4,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール及び2−フェニル−4−メチル−5−ジヒドロキシメチルイミダゾール等が挙げられる。   Examples of the imidazole compound include 2-undecylimidazole, 2-heptadecylimidazole, 2-methylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 2-phenyl-4-methylimidazole, 1-benzyl- 2-methylimidazole, 1-benzyl-2-phenylimidazole, 1,2-dimethylimidazole, 1-cyanoethyl-2-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-ethyl-4-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-un Decylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazolium trimellitate, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazolium trimellitate, 2,4-diamino-6- [2 ′ -Methyl Midazolyl- (1 ′)]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6- [2′-undecylimidazolyl- (1 ′)]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6 [2′-Ethyl-4′-methylimidazolyl- (1 ′)]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6- [2′-methylimidazolyl- (1 ′)]-ethyl-s-triazine Isocyanuric acid adduct, 2-phenylimidazole isocyanuric acid adduct, 2-methylimidazole isocyanuric acid adduct, 2-phenyl-4,5-dihydroxymethylimidazole and 2-phenyl-4-methyl-5-dihydroxymethylimidazole Can be mentioned.

上記アミン化合物としては、ジエチルアミン、トリエチルアミン、ジエチレンテトラミン、トリエチレンテトラミン及び4,4−ジメチルアミノピリジン等が挙げられる。   Examples of the amine compound include diethylamine, triethylamine, diethylenetetramine, triethylenetetramine and 4,4-dimethylaminopyridine.

上記リン化合物としては、トリフェニルホスフィン化合物等が挙げられる。   Examples of the phosphorus compound include a triphenylphosphine compound.

上記有機金属化合物としては、ナフテン酸亜鉛、ナフテン酸コバルト、オクチル酸スズ、オクチル酸コバルト、ビスアセチルアセトナートコバルト(II)及びトリスアセチルアセトナートコバルト(III)等が挙げられる。   Examples of the organometallic compound include zinc naphthenate, cobalt naphthenate, tin octylate, cobalt octylate, bisacetylacetonate cobalt (II), and trisacetylacetonate cobalt (III).

上記過酸化物としてはジクミルペルオキシド、及びパーヘキシル25B等が挙げられる。   Examples of the peroxide include dicumyl peroxide and perhexyl 25B.

硬化温度をより一層低く抑える観点からは、上記硬化促進剤は、上記アニオン性硬化促進剤を含むことが好ましく、上記イミダゾール化合物を含むことがより好ましい。   From the viewpoint of keeping the curing temperature further lower, the curing accelerator preferably contains the anionic curing accelerator, and more preferably contains the imidazole compound.

硬化温度をより一層低く抑える観点からは、上記硬化促進剤100重量%中、上記アニオン性硬化促進剤の含有量は、好ましくは50重量%以上、より好ましくは70重量%以上、更に好ましくは80重量%以上、最も好ましくは100重量%(全量)である。   From the viewpoint of further reducing the curing temperature, the content of the anionic curing accelerator is preferably 50% by weight or more, more preferably 70% by weight or more, and still more preferably 80% in 100% by weight of the curing accelerator. % By weight or more, most preferably 100% by weight (total amount).

上記硬化促進剤は、ラジカル性硬化促進剤とアニオン性硬化促進剤との少なくとも一方を含むことが好ましい。アニオン性硬化促進剤は、イミダゾール化合物であることが好ましい。上記硬化促進剤は、ラジカル性硬化促進剤とジメチルアミノピリジンとを含むか、又は、ラジカル性硬化促進剤とイミダゾール化合物とを含むか、又はラジカル性硬化促進剤とリン化合物とを含むことが好ましい。樹脂材料の硬化が十分に進行しない場合には、誘電正接が高くなり、また、線膨張係数が大きくなることがある。上記硬化促進剤は、上記ラジカル性硬化促進剤と上記イミダゾール化合物とを含んでいてもよい。ラジカル性硬化促進剤としては、前記ラジカル性硬化促進剤存在下の反応温度がエッチング前の仮硬化温度よりも高く、エッチング後の本硬化温度よりも低いものが好ましい。ラジカル性硬化促進剤として、パーヘキシル25Bを用いた場合に、上記の効果がより一層効果的に発揮される。   The curing accelerator preferably includes at least one of a radical curing accelerator and an anionic curing accelerator. The anionic curing accelerator is preferably an imidazole compound. The curing accelerator preferably includes a radical curing accelerator and dimethylaminopyridine, or includes a radical curing accelerator and an imidazole compound, or includes a radical curing accelerator and a phosphorus compound. . If the curing of the resin material does not proceed sufficiently, the dielectric loss tangent increases and the linear expansion coefficient may increase. The curing accelerator may contain the radical curing accelerator and the imidazole compound. As the radical curing accelerator, those having a reaction temperature in the presence of the radical curing accelerator higher than the temporary curing temperature before etching and lower than the main curing temperature after etching are preferable. When perhexyl 25B is used as the radical curing accelerator, the above effects are more effectively exhibited.

上記硬化促進剤が、ラジカル性硬化促進剤とイミダゾール化合物とを含むか、又は、ラジカル性硬化促進剤とリン化合物とを含む場合には、上記樹脂材料の硬化を良好に進行させることができ、より一層良好な硬化物を得ることができる。   When the curing accelerator contains a radical curing accelerator and an imidazole compound, or when the curing accelerator contains a radical curing accelerator and a phosphorus compound, the curing of the resin material can proceed well. An even better cured product can be obtained.

上記硬化促進剤は、ラジカル性硬化促進剤と、ジメチルアミノピリジン、イミダゾール化合物、及びリン化合物のうちの少なくとも1種の硬化促進剤を含んでいてもよい。   The curing accelerator may contain a radical curing accelerator and at least one curing accelerator of dimethylaminopyridine, an imidazole compound, and a phosphorus compound.

上記硬化促進剤の含有量は特に限定されない。樹脂材料中の無機充填材及び溶剤を除く成分100重量%中、上記硬化促進剤の含有量は好ましくは0.01重量%以上、より好ましくは0.05重量%以上、好ましくは5重量%以下、より好ましくは3重量%以下である。上記硬化促進剤の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、樹脂材料が効率的に硬化する。上記硬化促進剤の含有量がより好ましい範囲であれば、樹脂材料の保存安定性がより一層高くなり、かつより一層良好な硬化物が得られる。   The content of the curing accelerator is not particularly limited. The content of the curing accelerator is preferably 0.01% by weight or more, more preferably 0.05% by weight or more, and preferably 5% by weight or less, in 100% by weight of the resin material excluding the inorganic filler and the solvent. More preferably, it is 3% by weight or less. When the content of the curing accelerator is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the resin material is efficiently cured. If content of the said hardening accelerator is a more preferable range, the storage stability of a resin material will become still higher and a much better hardened | cured material will be obtained.

[熱可塑性樹脂]
上記樹脂材料は、熱可塑性樹脂を含むことが好ましい。上記熱可塑性樹脂としては、ポリビニルアセタール樹脂及びフェノキシ樹脂等が挙げられる。上記熱可塑性樹脂は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[Thermoplastic resin]
The resin material preferably contains a thermoplastic resin. Examples of the thermoplastic resin include polyvinyl acetal resin and phenoxy resin. As for the said thermoplastic resin, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

硬化環境によらず、誘電正接を効果的に低くし、かつ、金属配線の密着性を効果的に高める観点からは、上記熱可塑性樹脂は、フェノキシ樹脂であることが好ましい。フェノキシ樹脂の使用により、樹脂フィルムの回路基板の穴又は凹凸に対する埋め込み性の悪化及び無機充填材の不均一化が抑えられる。また、フェノキシ樹脂の使用により、溶融粘度を調整可能であるために無機充填材の分散性が良好になり、かつ硬化過程で、意図しない領域に樹脂組成物又はBステージ化物が濡れ拡がり難くなる。   Regardless of the curing environment, the thermoplastic resin is preferably a phenoxy resin from the viewpoint of effectively reducing the dielectric loss tangent and effectively improving the adhesion of the metal wiring. By using the phenoxy resin, deterioration of the embedding property of the resin film with respect to the holes or irregularities of the circuit board and non-uniformity of the inorganic filler can be suppressed. In addition, since the melt viscosity can be adjusted by using the phenoxy resin, the dispersibility of the inorganic filler is improved, and the resin composition or the B-staged product is difficult to wet and spread in an unintended region during the curing process.

上記樹脂材料に含まれているフェノキシ樹脂は特に限定されない。上記フェノキシ樹脂として、従来公知のフェノキシ樹脂を使用可能である。上記フェノキシ樹脂は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。   The phenoxy resin contained in the resin material is not particularly limited. A conventionally known phenoxy resin can be used as the phenoxy resin. As for the said phenoxy resin, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

上記フェノキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールA型の骨格、ビスフェノールF型の骨格、ビスフェノールS型の骨格、ビフェニル骨格、ノボラック骨格、ナフタレン骨格及びイミド骨格などの骨格を有するフェノキシ樹脂等が挙げられる。   Examples of the phenoxy resin include phenoxy resins having a skeleton such as a bisphenol A skeleton, a bisphenol F skeleton, a bisphenol S skeleton, a biphenyl skeleton, a novolac skeleton, a naphthalene skeleton, and an imide skeleton.

上記フェノキシ樹脂の市販品としては、例えば、新日鐵住金化学社製の「YP50」、「YP55」及び「YP70」、並びに三菱化学社製の「1256B40」、「4250」、「4256H40」、「4275」、「YX6954BH30」及び「YX8100BH30」等が挙げられる。   Examples of commercially available phenoxy resins include “YP50”, “YP55” and “YP70” manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd., and “1256B40”, “4250”, “4256H40” manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, “ 4275 "," YX6954BH30 "," YX8100BH30 ", and the like.

保存安定性により一層優れた樹脂材料を得る観点からは、上記熱可塑性樹脂及び上記フェノキシ樹脂の重量平均分子量は、好ましくは5000以上、より好ましくは10000以上、好ましくは100000以下、より好ましくは50000以下である。   From the viewpoint of obtaining a more excellent resin material due to storage stability, the weight average molecular weight of the thermoplastic resin and the phenoxy resin is preferably 5,000 or more, more preferably 10,000 or more, preferably 100,000 or less, more preferably 50,000 or less. It is.

上記熱可塑性樹脂及び上記フェノキシ樹脂の上記重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により測定されたポリスチレン換算での重量平均分子量を示す。   The weight average molecular weights of the thermoplastic resin and the phenoxy resin indicate the weight average molecular weight in terms of polystyrene measured by gel permeation chromatography (GPC).

上記熱可塑性樹脂及び上記フェノキシ樹脂の含有量は特に限定されない。樹脂材料中の上記無機充填材及び上記溶剤を除く成分100重量%中、上記熱可塑性樹脂の含有量(上記熱可塑性樹脂がフェノキシ樹脂である場合にはフェノキシ樹脂の含有量)は好ましくは1重量%以上、より好ましくは2重量%以上、好ましくは30重量%以下、より好ましくは20重量%以下である。上記熱可塑性樹脂の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、樹脂材料の回路基板の穴又は凹凸に対する埋め込み性が良好になる。上記熱可塑性樹脂の含有量が上記下限以上であると、樹脂フィルムの形成がより一層容易になり、より一層良好な絶縁層が得られる。上記熱可塑性樹脂の含有量が上記上限以下であると、硬化物の熱膨張率がより一層低くなる。上記熱可塑性樹脂の含有量が上記上限以下であると、硬化物の表面の表面粗さがより一層小さくなり、硬化物と金属層との接着強度がより一層高くなる。   Content of the said thermoplastic resin and the said phenoxy resin is not specifically limited. The content of the thermoplastic resin (the content of the phenoxy resin when the thermoplastic resin is a phenoxy resin) in 100% by weight of the component excluding the inorganic filler and the solvent in the resin material is preferably 1 weight. % Or more, more preferably 2% by weight or more, preferably 30% by weight or less, more preferably 20% by weight or less. When the content of the thermoplastic resin is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the embedding property of the resin material in the holes or irregularities of the circuit board becomes good. When the content of the thermoplastic resin is not less than the above lower limit, the resin film can be formed more easily, and a better insulating layer can be obtained. When the content of the thermoplastic resin is not more than the above upper limit, the thermal expansion coefficient of the cured product is further reduced. When the content of the thermoplastic resin is not more than the above upper limit, the surface roughness of the surface of the cured product is further reduced, and the adhesive strength between the cured product and the metal layer is further increased.

[溶剤]
上記樹脂材料は、溶剤を含まないか又は含む。上記溶剤の使用により、樹脂材料の粘度を好適な範囲に制御でき、樹脂材料の塗工性を高めることができる。また、上記溶剤は、上記無機充填材を含むスラリーを得るために用いられてもよい。上記溶剤は1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[solvent]
The resin material does not contain or contains a solvent. By using the solvent, the viscosity of the resin material can be controlled within a suitable range, and the coatability of the resin material can be improved. Moreover, the said solvent may be used in order to obtain the slurry containing the said inorganic filler. As for the said solvent, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

上記溶剤としては、アセトン、メタノール、エタノール、ブタノール、2−プロパノール、2−メトキシエタノール、2−エトキシエタノール、1−メトキシ−2−プロパノール、2−アセトキシ−1−メトキシプロパン、トルエン、キシレン、メチルエチルケトン、N,N−ジメチルホルムアミド、メチルイソブチルケトン、N−メチル−ピロリドン、n−ヘキサン、シクロヘキサン、シクロヘキサノン及び混合物であるナフサ等が挙げられる。   Examples of the solvent include acetone, methanol, ethanol, butanol, 2-propanol, 2-methoxyethanol, 2-ethoxyethanol, 1-methoxy-2-propanol, 2-acetoxy-1-methoxypropane, toluene, xylene, methyl ethyl ketone, Examples thereof include N, N-dimethylformamide, methyl isobutyl ketone, N-methyl-pyrrolidone, n-hexane, cyclohexane, cyclohexanone, and naphtha as a mixture.

上記溶剤の多くは、上記樹脂組成物をフィルム状に成形するときに、除去されることが好ましい。従って、上記溶剤の沸点は好ましくは200℃以下、より好ましくは180℃以下である。上記樹脂組成物における上記溶剤の含有量は特に限定されない。上記樹脂組成物の塗工性などを考慮して、上記溶剤の含有量は適宜変更可能である。   Most of the solvent is preferably removed when the resin composition is formed into a film. Therefore, the boiling point of the solvent is preferably 200 ° C. or lower, more preferably 180 ° C. or lower. The content of the solvent in the resin composition is not particularly limited. The content of the solvent can be appropriately changed in consideration of the coating property of the resin composition.

[他の成分]
耐衝撃性、耐熱性、樹脂の相溶性及び作業性等の改善を目的として、上記樹脂材料には、レベリング剤、難燃剤、カップリング剤、着色剤、酸化防止剤、紫外線劣化防止剤、消泡剤、増粘剤、揺変性付与剤及びエポキシ化合物以外の他の熱硬化性樹脂等を添加してもよい。
[Other ingredients]
For the purpose of improving impact resistance, heat resistance, resin compatibility and workability, etc., the above resin materials include leveling agents, flame retardants, coupling agents, colorants, antioxidants, UV degradation inhibitors, A thermosetting resin other than a foaming agent, a thickener, a thixotropic agent, and an epoxy compound may be added.

上記カップリング剤としては、シランカップリング剤、チタンカップリング剤及びアルミニウムカップリング剤等が挙げられる。上記シランカップリング剤としては、ビニルシラン、アミノシラン、イミダゾールシラン及びエポキシシラン等が挙げられる。   Examples of the coupling agent include silane coupling agents, titanium coupling agents, and aluminum coupling agents. Examples of the silane coupling agent include vinyl silane, amino silane, imidazole silane, and epoxy silane.

上記他の熱硬化性樹脂としては、ポリフェニレンエーテル樹脂、ジビニルベンジルエーテル樹脂、ポリアリレート樹脂、ジアリルフタレート樹脂、ポリイミド樹脂、ベンゾオキサジン樹脂、ベンゾオキサゾール樹脂、ビスマレイミド樹脂及びアクリレート樹脂等が挙げられる。   Examples of the other thermosetting resins include polyphenylene ether resins, divinyl benzyl ether resins, polyarylate resins, diallyl phthalate resins, polyimide resins, benzoxazine resins, benzoxazole resins, bismaleimide resins, and acrylate resins.

(樹脂フィルム及び積層フィルム)
上述した樹脂組成物をフィルム状に成形することにより樹脂フィルム(Bステージ化物/Bステージフィルム)が得られる。上記樹脂材料は、樹脂フィルムであることが好ましい。樹脂フィルムは、Bステージフィルムであることが好ましい。
(Resin film and laminated film)
A resin film (B-staged product / B-stage film) is obtained by molding the resin composition described above into a film. The resin material is preferably a resin film. The resin film is preferably a B stage film.

上記樹脂材料は、熱硬化性材料であることが好ましい。   The resin material is preferably a thermosetting material.

樹脂組成物をフィルム状に成形して、樹脂フィルムを得る方法としては、以下の方法が挙げられる。押出機を用いて、樹脂組成物を溶融混練し、押出した後、Tダイ又はサーキュラーダイ等により、フィルム状に成形する押出成形法。溶剤を含む樹脂組成物をキャスティングしてフィルム状に成形するキャスティング成形法。従来公知のその他のフィルム成形法。薄型化に対応可能であることから、押出成形法又はキャスティング成形法が好ましい。フィルムにはシートが含まれる。   Examples of a method for forming a resin composition into a film to obtain a resin film include the following methods. An extrusion molding method in which a resin composition is melt-kneaded and extruded using an extruder, and then molded into a film shape by a T die or a circular die. A casting molding method in which a resin composition containing a solvent is cast to form a film. Other known film forming methods. The extrusion molding method or the casting molding method is preferable because it can cope with the reduction in thickness. The film includes a sheet.

樹脂組成物をフィルム状に成形し、熱による硬化が進行し過ぎない程度に、例えば50〜150℃で1〜10分間加熱乾燥させることにより、Bステージフィルムである樹脂フィルムを得ることができる。   A resin film which is a B stage film can be obtained by forming the resin composition into a film and heating and drying the resin composition at 50 to 150 ° C. for 1 to 10 minutes, for example, to such an extent that curing by heat does not proceed excessively.

上述のような乾燥工程により得ることができるフィルム状の樹脂組成物をBステージフィルムと称する。上記Bステージフィルムは、半硬化状態にある。半硬化物は、完全に硬化しておらず、硬化がさらに進行され得る。   The film-like resin composition that can be obtained by the drying process as described above is referred to as a B-stage film. The B-stage film is in a semi-cured state. The semi-cured product is not completely cured and curing can proceed further.

上記樹脂フィルムは、プリプレグでなくてもよい。上記樹脂フィルムがプリプレグではない場合には、ガラスクロス等に沿ってマイグレーションが生じなくなる。また、樹脂フィルムをラミネート又はプレキュアする際に、表面にガラスクロスに起因する凹凸が生じなくなる。   The resin film may not be a prepreg. When the resin film is not a prepreg, migration does not occur along the glass cloth or the like. Further, when laminating or precuring the resin film, the surface is not uneven due to the glass cloth.

上記樹脂フィルムは、積層フィルムの形態で好適に用いることができる。   The resin film can be suitably used in the form of a laminated film.

上記積層フィルムは、基材と、上記基材の表面上に積層された樹脂フィルムとを備える。上記樹脂フィルムが上述した樹脂材料である。上記積層フィルムは、樹脂フィルムの上記基材とは反対側の表面上に積層された保護フィルムを備えていてもよい。   The laminated film includes a base material and a resin film laminated on the surface of the base material. The resin film is the resin material described above. The said laminated | multilayer film may be equipped with the protective film laminated | stacked on the surface on the opposite side to the said base material of a resin film.

上記基材としては、ポリエチレンテレフタレートフィルム及びポリブチレンテレフタレートフィルム等のポリエステル樹脂フィルム、ポリエチレンフィルム及びポリプロピレンフィルム等のオレフィン樹脂フィルム、ポリイミド樹脂フィルム、及び銅箔等の金属箔等が挙げられる。上記基材の表面は、必要に応じて、離型処理されていてもよい。   Examples of the substrate include polyester resin films such as polyethylene terephthalate film and polybutylene terephthalate film, olefin resin films such as polyethylene film and polypropylene film, polyimide resin film, and metal foil such as copper foil. The surface of the base material may be subjected to a release treatment as necessary.

樹脂フィルムの硬化度をより一層均一に制御する観点からは、上記樹脂フィルムの厚さは、好ましくは5μm以上であり、好ましくは200μm以下である。上記樹脂フィルムを回路の絶縁層として用いる場合、上記樹脂フィルムにより形成された絶縁層の厚さは、回路を形成する導体層(金属層)の厚さ以上であることが好ましい。上記絶縁層の厚さは、好ましくは5μm以上であり、好ましくは200μm以下である。   From the viewpoint of more uniformly controlling the degree of cure of the resin film, the thickness of the resin film is preferably 5 μm or more, and preferably 200 μm or less. When using the said resin film as an insulating layer of a circuit, it is preferable that the thickness of the insulating layer formed with the said resin film is more than the thickness of the conductor layer (metal layer) which forms a circuit. The thickness of the insulating layer is preferably 5 μm or more, and preferably 200 μm or less.

(半導体装置、プリント配線板、銅張積層板及び多層プリント配線板)
上記樹脂材料は、半導体装置において半導体チップを埋め込むモールド樹脂を形成するために好適に用いられる。
(Semiconductor devices, printed wiring boards, copper-clad laminates and multilayer printed wiring boards)
The resin material is preferably used for forming a mold resin for embedding a semiconductor chip in a semiconductor device.

上記樹脂材料は、プリント配線板において絶縁層を形成するために好適に用いられる。   The resin material is suitably used for forming an insulating layer in a printed wiring board.

上記プリント配線板は、例えば、上記樹脂材料を加熱加圧成形することにより得られる。   The printed wiring board can be obtained, for example, by heat-pressing the resin material.

上記樹脂フィルムに対して、片面又は両面に金属箔を積層できる。上記樹脂フィルムと金属箔とを積層する方法は特に限定されず、公知の方法を用いることができる。例えば、平行平板プレス機又はロールラミネーター等の装置を用いて、加熱しながら又は加熱せずに加圧しながら、上記樹脂フィルムを金属箔に積層可能である。   A metal foil can be laminated on one side or both sides of the resin film. The method for laminating the resin film and the metal foil is not particularly limited, and a known method can be used. For example, the resin film can be laminated on the metal foil using an apparatus such as a parallel plate press or a roll laminator while applying pressure while heating or without heating.

上記樹脂材料は、銅張積層板を得るために好適に用いられる。上記銅張積層板の一例として、銅箔と、該銅箔の一方の表面に積層された樹脂フィルムとを備える銅張積層板が挙げられる。   The resin material is suitably used for obtaining a copper clad laminate. An example of the copper-clad laminate includes a copper-clad laminate including a copper foil and a resin film laminated on one surface of the copper foil.

上記銅張積層板の上記銅箔の厚さは特に限定されない。上記銅箔の厚さは、1〜50μmの範囲内であることが好ましい。また、上記樹脂材料の硬化物と銅箔との接着強度を高めるために、上記銅箔は微細な凹凸を表面に有することが好ましい。凹凸の形成方法は特に限定されない。上記凹凸の形成方法としては、公知の薬液を用いた処理による形成方法等が挙げられる。   The thickness of the copper foil of the copper clad laminate is not particularly limited. The thickness of the copper foil is preferably in the range of 1 to 50 μm. Moreover, in order to increase the adhesive strength between the cured product of the resin material and the copper foil, the copper foil preferably has fine irregularities on the surface. The method for forming the unevenness is not particularly limited. Examples of the method for forming the unevenness include a formation method by treatment using a known chemical solution.

上記樹脂材料は、多層基板を得るために好適に用いられる。   The resin material is preferably used for obtaining a multilayer substrate.

上記多層基板の一例として、回路基板と、該回路基板上に積層された絶縁層とを備える多層基板が挙げられる。この多層基板の絶縁層が、上記樹脂材料により形成されている。また、多層基板の絶縁層が、積層フィルムを用いて、上記積層フィルムの上記樹脂フィルムにより形成されていてもよい。上記絶縁層は、回路基板の回路が設けられた表面上に積層されていることが好ましい。上記絶縁層の一部は、上記回路間に埋め込まれていることが好ましい。   As an example of the multilayer substrate, a multilayer substrate including a circuit substrate and an insulating layer stacked on the circuit substrate can be given. The insulating layer of the multilayer substrate is formed of the resin material. Moreover, the insulating layer of the multilayer substrate may be formed of the resin film of the laminated film using a laminated film. The insulating layer is preferably laminated on the surface of the circuit board on which the circuit is provided. A part of the insulating layer is preferably embedded between the circuits.

上記多層基板では、上記絶縁層の上記回路基板が積層された表面とは反対側の表面が粗化処理されていることが好ましい。   In the multilayer substrate, it is preferable that the surface of the insulating layer opposite to the surface on which the circuit substrate is laminated is roughened.

粗化処理方法は、従来公知の粗化処理方法を用いることができ、特に限定されない。上記絶縁層の表面は、粗化処理の前に膨潤処理されていてもよい。   As the roughening treatment method, a conventionally known roughening treatment method can be used, and it is not particularly limited. The surface of the insulating layer may be subjected to a swelling treatment before the roughening treatment.

また、上記多層基板は、上記絶縁層の粗化処理された表面に積層された銅めっき層をさらに備えることが好ましい。   Moreover, it is preferable that the said multilayer substrate is further equipped with the copper plating layer laminated | stacked on the surface by which the roughening process of the said insulating layer was carried out.

また、上記多層基板の他の例として、回路基板と、該回路基板の表面上に積層された絶縁層と、該絶縁層の上記回路基板が積層された表面とは反対側の表面に積層された銅箔とを備える多層基板が挙げられる。上記絶縁層が、銅箔と該銅箔の一方の表面に積層された樹脂フィルムとを備える銅張積層板を用いて、上記樹脂フィルムを硬化させることにより形成されていることが好ましい。さらに、上記銅箔はエッチング処理されており、銅回路であることが好ましい。   As another example of the multilayer board, the circuit board, the insulating layer laminated on the surface of the circuit board, and the surface of the insulating layer opposite to the surface on which the circuit board is laminated are laminated. And a multilayer substrate provided with copper foil. The insulating layer is preferably formed by curing the resin film using a copper-clad laminate including a copper foil and a resin film laminated on one surface of the copper foil. Furthermore, it is preferable that the copper foil is etched and is a copper circuit.

上記多層基板の他の例として、回路基板と、該回路基板の表面上に積層された複数の絶縁層とを備える多層基板が挙げられる。上記回路基板上に配置された上記複数層の絶縁層の内の少なくとも1層が、上記樹脂材料を用いて形成される。上記多層基板は、上記樹脂フィルムを用いて形成されている上記絶縁層の少なくとも一方の表面に積層されている回路をさらに備えることが好ましい。   Another example of the multilayer substrate is a multilayer substrate including a circuit board and a plurality of insulating layers stacked on the surface of the circuit board. At least one of the plurality of insulating layers disposed on the circuit board is formed using the resin material. It is preferable that the multilayer substrate further includes a circuit laminated on at least one surface of the insulating layer formed using the resin film.

多層基板のうち多層プリント配線板においては、低い誘電正接が求められ、絶縁層による高い絶縁信頼性が求められる。本発明に係る樹脂材料では、誘電正接を低くし、かつ絶縁層と金属層との密着性及びエッチング性能を高めることによって絶縁信頼性を効果的に高めることができる。従って、本発明に係る樹脂材料は、多層プリント配線板において、絶縁層を形成するために好適に用いられる。   Among multilayer substrates, multilayer printed wiring boards are required to have a low dielectric loss tangent and to have high insulation reliability due to an insulating layer. In the resin material according to the present invention, it is possible to effectively increase the insulation reliability by reducing the dielectric loss tangent and enhancing the adhesion between the insulating layer and the metal layer and the etching performance. Therefore, the resin material according to the present invention is suitably used for forming an insulating layer in a multilayer printed wiring board.

上記多層プリント配線板は、例えば、回路基板と、上記回路基板の表面上に配置された複数の絶縁層と、複数の上記絶縁層間に配置された金属層とを備える。上記絶縁層の内の少なくとも1層が、上記樹脂材料の硬化物である。   The multilayer printed wiring board includes, for example, a circuit board, a plurality of insulating layers arranged on the surface of the circuit board, and a metal layer arranged between the plurality of insulating layers. At least one of the insulating layers is a cured product of the resin material.

図1は、本発明の一実施形態に係る樹脂材料を用いた多層プリント配線板を模式的に示す断面図である。   FIG. 1 is a cross-sectional view schematically showing a multilayer printed wiring board using a resin material according to an embodiment of the present invention.

図1に示す多層プリント配線板11では、回路基板12の上面12aに、複数層の絶縁層13〜16が積層されている。絶縁層13〜16は、硬化物層である。回路基板12の上面12aの一部の領域には、金属層17が形成されている。複数層の絶縁層13〜16のうち、回路基板12側とは反対の外側の表面に位置する絶縁層16以外の絶縁層13〜15には、上面の一部の領域に金属層17が形成されている。金属層17は回路である。回路基板12と絶縁層13の間、及び積層された絶縁層13〜16の各層間に、金属層17がそれぞれ配置されている。下方の金属層17と上方の金属層17とは、図示しないビアホール接続及びスルーホール接続の内の少なくとも一方により互いに接続されている。   In the multilayer printed wiring board 11 shown in FIG. 1, a plurality of insulating layers 13 to 16 are laminated on the upper surface 12 a of the circuit board 12. Insulating layers 13-16 are hardened material layers. A metal layer 17 is formed in a partial region of the upper surface 12 a of the circuit board 12. Among the plurality of insulating layers 13 to 16, the metal layer 17 is formed in a partial region of the upper surface of the insulating layers 13 to 15 other than the insulating layer 16 located on the outer surface opposite to the circuit board 12 side. Has been. The metal layer 17 is a circuit. Metal layers 17 are respectively disposed between the circuit board 12 and the insulating layer 13 and between the stacked insulating layers 13 to 16. The lower metal layer 17 and the upper metal layer 17 are connected to each other by at least one of via hole connection and through hole connection (not shown).

多層プリント配線板11では、絶縁層13〜16が、上記樹脂材料の硬化物により形成されている。本実施形態では、絶縁層13〜16の表面が粗化処理されているので、絶縁層13〜16の表面に図示しない微細な孔が形成されている。また、微細な孔の内部に金属層17が至っている。また、多層プリント配線板11では、金属層17の幅方向寸法(L)と、金属層17が形成されていない部分の幅方向寸法(S)とを小さくすることができる。また、多層プリント配線板11では、図示しないビアホール接続及びスルーホール接続で接続されていない上方の金属層と下方の金属層との間に、良好な絶縁信頼性が付与されている。   In the multilayer printed wiring board 11, the insulating layers 13 to 16 are formed of a cured product of the resin material. In this embodiment, since the surfaces of the insulating layers 13 to 16 are roughened, fine holes (not shown) are formed on the surfaces of the insulating layers 13 to 16. Further, the metal layer 17 reaches the inside of the fine hole. Moreover, in the multilayer printed wiring board 11, the width direction dimension (L) of the metal layer 17 and the width direction dimension (S) of the part in which the metal layer 17 is not formed can be made small. In the multilayer printed wiring board 11, good insulation reliability is imparted between an upper metal layer and a lower metal layer that are not connected by via-hole connection and through-hole connection (not shown).

(粗化処理及び膨潤処理)
上記樹脂材料は、粗化処理又はデスミア処理される硬化物を得るために用いられることが好ましい。上記硬化物には、更に硬化が可能な予備硬化物も含まれる。
(Roughening treatment and swelling treatment)
The resin material is preferably used in order to obtain a cured product that is roughened or desmeared. The cured product includes a precured product that can be further cured.

上記樹脂材料を予備硬化させることにより得られた硬化物の表面に微細な凹凸を形成するために、硬化物は粗化処理されることが好ましい。粗化処理の前に、硬化物は膨潤処理されることが好ましい。硬化物は、予備硬化の後、かつ粗化処理される前に、膨潤処理されており、さらに粗化処理の後に硬化されていることが好ましい。ただし、硬化物は、必ずしも膨潤処理されなくてもよい。   In order to form fine irregularities on the surface of the cured product obtained by precuring the resin material, the cured product is preferably roughened. Prior to the roughening treatment, the cured product is preferably subjected to a swelling treatment. The cured product is preferably subjected to a swelling treatment after preliminary curing and before the roughening treatment, and is further cured after the roughening treatment. However, the cured product is not necessarily subjected to the swelling treatment.

上記膨潤処理の方法としては、例えば、エチレングリコールなどを主成分とする化合物の水溶液又は有機溶媒分散溶液などにより、硬化物を処理する方法が用いられる。膨潤処理に用いる膨潤液は、一般にpH調整剤などとして、アルカリを含む。膨潤液は、水酸化ナトリウムを含むことが好ましい。具体的には、例えば、上記膨潤処理は、40重量%エチレングリコール水溶液等を用いて、処理温度30〜85℃で1〜30分間、硬化物を処理することにより行なわれる。上記膨潤処理の温度は50〜85℃の範囲内であることが好ましい。上記膨潤処理の温度が低すぎると、膨潤処理に長時間を要し、更に硬化物と金属層との接着強度が低くなる傾向がある。   As a method for the swelling treatment, for example, a method of treating a cured product with an aqueous solution or an organic solvent dispersion of a compound mainly composed of ethylene glycol or the like is used. The swelling liquid used for the swelling treatment generally contains an alkali as a pH adjuster or the like. The swelling liquid preferably contains sodium hydroxide. Specifically, for example, the swelling treatment is performed by treating the cured product with a 40 wt% ethylene glycol aqueous solution at a treatment temperature of 30 to 85 ° C. for 1 to 30 minutes. The swelling treatment temperature is preferably in the range of 50 to 85 ° C. When the temperature of the swelling treatment is too low, it takes a long time for the swelling treatment, and the adhesive strength between the cured product and the metal layer tends to be low.

上記粗化処理には、例えば、マンガン化合物、クロム化合物又は過硫酸化合物などの化学酸化剤等が用いられる。これらの化学酸化剤は、水又は有機溶剤が添加された後、水溶液又は有機溶媒分散溶液として用いられる。粗化処理に用いられる粗化液は、一般にpH調整剤などとしてアルカリを含む。粗化液は、水酸化ナトリウムを含むことが好ましい。   For the roughening treatment, for example, a chemical oxidizing agent such as a manganese compound, a chromium compound, or a persulfuric acid compound is used. These chemical oxidizers are used as an aqueous solution or an organic solvent dispersion after water or an organic solvent is added. The roughening liquid used for the roughening treatment generally contains an alkali as a pH adjuster or the like. The roughening solution preferably contains sodium hydroxide.

上記マンガン化合物としては、過マンガン酸カリウム及び過マンガン酸ナトリウム等が挙げられる。上記クロム化合物としては、重クロム酸カリウム及び無水クロム酸カリウム等が挙げられる。上記過硫酸化合物としては、過硫酸ナトリウム、過硫酸カリウム及び過硫酸アンモニウム等が挙げられる。   Examples of the manganese compound include potassium permanganate and sodium permanganate. Examples of the chromium compound include potassium dichromate and anhydrous potassium chromate. Examples of the persulfate compound include sodium persulfate, potassium persulfate, and ammonium persulfate.

硬化物の表面の算術平均粗さRaは好ましくは10nm以上であり、好ましくは300nm未満、より好ましくは200nm未満、更に好ましくは150nm未満である。この場合には、硬化物と金属層との接着強度が高くなり、更に絶縁層の表面により一層微細な配線が形成される。さらに、導体損失を抑えることができ、信号損失を低く抑えることができる。上記算術平均粗さRaは、JIS B0601:1994に準拠して測定される。   The arithmetic average roughness Ra of the surface of the cured product is preferably 10 nm or more, preferably less than 300 nm, more preferably less than 200 nm, and even more preferably less than 150 nm. In this case, the adhesive strength between the cured product and the metal layer is increased, and further finer wiring is formed on the surface of the insulating layer. Furthermore, conductor loss can be suppressed and signal loss can be suppressed low. The arithmetic average roughness Ra is measured in accordance with JIS B0601: 1994.

(デスミア処理)
上記樹脂材料を予備硬化させることにより得られた硬化物に、貫通孔が形成されることがある。上記多層基板などでは、貫通孔として、ビア又はスルーホール等が形成される。例えば、ビアは、COレーザー等のレーザーの照射により形成できる。ビアの直径は特に限定されないが、60〜80μm程度である。上記貫通孔の形成により、ビア内の底部には、硬化物に含まれている樹脂成分に由来する樹脂の残渣であるスミアが形成されることが多い。
(Desmear treatment)
Through holes may be formed in a cured product obtained by precuring the resin material. In the multilayer substrate or the like, a via or a through hole is formed as a through hole. For example, the via can be formed by irradiation with a laser such as a CO 2 laser. The diameter of the via is not particularly limited, but is about 60 to 80 μm. Due to the formation of the through hole, a smear, which is a resin residue derived from the resin component contained in the cured product, is often formed at the bottom of the via.

上記スミアを除去するために、硬化物の表面は、デスミア処理されることが好ましい。デスミア処理が粗化処理を兼ねることもある。   In order to remove the smear, the surface of the cured product is preferably desmeared. The desmear process may also serve as a roughening process.

上記デスミア処理には、上記粗化処理と同様に、例えば、マンガン化合物、クロム化合物又は過硫酸化合物等の化学酸化剤等が用いられる。これらの化学酸化剤は、水又は有機溶剤が添加された後、水溶液又は有機溶媒分散溶液として用いられる。デスミア処理に用いられるデスミア処理液は、一般にアルカリを含む。デスミア処理液は、水酸化ナトリウムを含むことが好ましい。   In the desmear treatment, for example, a chemical oxidant such as a manganese compound, a chromium compound, or a persulfate compound is used as in the roughening treatment. These chemical oxidizers are used as an aqueous solution or an organic solvent dispersion after water or an organic solvent is added. The desmear treatment liquid used for the desmear treatment generally contains an alkali. The desmear treatment liquid preferably contains sodium hydroxide.

上記樹脂材料の使用により、デスミア処理された硬化物の表面の表面粗さが十分に小さくなる。   By using the resin material, the surface roughness of the surface of the cured product subjected to the desmear treatment is sufficiently reduced.

以下、実施例及び比較例を挙げることにより、本発明を具体的に説明する。本発明は、以下の実施例に限定されない。   Hereinafter, the present invention will be specifically described by giving examples and comparative examples. The present invention is not limited to the following examples.

(脂肪族骨格を有するマレイミド化合物)
N−アルキルビスマレイミド化合物1(Designer Molecules Inc.社製「BMI−1700」、テトラカルボン酸二無水物とダイマージアミンとの反応物であるダイマージアミンに由来する骨格を有する)
N−アルキルビスマレイミド化合物2(Designer Molecules Inc.社製「BMI−3000」、テトラカルボン酸二無水物とダイマージアミンとの反応物であるダイマージアミンに由来する骨格を有する)
N−アルキルビスマレイミド化合物3(Designer Molecules Inc.社製「BMI−1500」)
N−アルキルビスマレイミド化合物4(Designer Molecules Inc.社製「BMI−3000J」)
N−アルキルビスマレイミド化合物5(下記の合成例1に従って合成、ダイマージアミンに由来する骨格を有する)
N−アルキルビスマレイミド化合物6(下記の合成例2に従って合成、ダイマージアミンに由来する骨格を有する)
(Maleimide compound having an aliphatic skeleton)
N-alkyl bismaleimide compound 1 (designer Molecules Inc. "BMI-1700", having a skeleton derived from dimer diamine, which is a reaction product of tetracarboxylic dianhydride and dimer diamine)
N-alkyl bismaleimide compound 2 (designer Moleculars Inc. "BMI-3000", having a skeleton derived from dimer diamine, which is a reaction product of tetracarboxylic dianhydride and dimer diamine)
N-alkyl bismaleimide compound 3 (“BMI-1500” manufactured by Designer Molecules Inc.)
N-alkyl bismaleimide compound 4 (“BMI-3000J” manufactured by Designer Molecules Inc.)
N-alkyl bismaleimide compound 5 (synthesized according to Synthesis Example 1 below, having a skeleton derived from dimer diamine)
N-alkyl bismaleimide compound 6 (synthesized according to Synthesis Example 2 below, having a skeleton derived from dimer diamine)

(合成例1)
撹拌機、分水器、温度計及び窒素ガス導入管を備えた反応容器に、テトラカルボン酸二無水物(SABICジャパン合同会社製「BisDA−1000」)135.0gと、シクロヘキサノン400gとを入れ、反応容器中の溶液を60℃まで加熱した。次いで、反応容器中に、1,3−ビスアミノメチルシクロヘキサン(三菱ガス化学社製)17.5gを滴下して、反応させて、両末端が酸無水物である反応生成物を得た。次いで、反応容器中に、ダイマージアミン(クローダジャパン社製「PRIAMINE1075」)148gをゆっくり添加した後、メチルシクロヘキサン60.0gを反応容器中に添加した。ディーンスタークトラップとコンデンサーとをフラスコに取り付け、混合物を2時間還流に熱し、両末端にアミン構造を有するイミド化合物を得た。次いで、無水マレイン酸28gを添加し、得られた混合物をさらに12時間還流した。反応終了後、イソプロパノールを添加し、再沈殿させたのち、沈殿物を回収し、乾燥させ、ダイマージアミンに由来する骨格を有するN−アルキルビスマレイミド化合物を得た。ダイマージアミンに由来する骨格を有するN−アルキルビスマレイミド化合物の回収率は83%であった。(重量平均分子量10000)
(Synthesis Example 1)
In a reaction vessel equipped with a stirrer, a water separator, a thermometer, and a nitrogen gas introduction tube, 135.0 g of tetracarboxylic dianhydride ("BisDA-1000" manufactured by SABIC Japan GK) and 400 g of cyclohexanone were added, The solution in the reaction vessel was heated to 60 ° C. Next, 17.5 g of 1,3-bisaminomethylcyclohexane (Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd.) was dropped into the reaction vessel and reacted to obtain a reaction product whose both ends were acid anhydrides. Next, 148 g of dimer diamine (“PRIAMINE 1075” manufactured by Croda Japan Co., Ltd.) was slowly added to the reaction vessel, and then 60.0 g of methylcyclohexane was added to the reaction vessel. A Dean-Stark trap and a condenser were attached to the flask, and the mixture was heated to reflux for 2 hours to obtain an imide compound having an amine structure at both ends. Then 28 g of maleic anhydride was added and the resulting mixture was refluxed for an additional 12 hours. After completion of the reaction, isopropanol was added and reprecipitated, and then the precipitate was collected and dried to obtain an N-alkylbismaleimide compound having a skeleton derived from dimer diamine. The recovery rate of the N-alkylbismaleimide compound having a skeleton derived from dimer diamine was 83%. (Weight average molecular weight 10,000)

(合成例2)
撹拌後、分水器、温度計及び窒素ガス導入管を備えた反応容器に、ピロメリット酸二無水物(東京化成社製、分子量254.15)55gと、シクロヘキサノン300gとを入れ、反応容器中の溶液を60℃まで加熱した。次いで、反応容器中に、ビス(アミノメチル)ノルボルナン(東京化成工業社製、分子量154.26)26.7gをシクロヘキサノンに溶解させた溶液を滴下して、反応させて、両末端が酸無水物である反応生成物を得た。その後、イソプロパノールを入れ、両末端が酸無水物のイミド化合物を回収した。次いで、沈殿を再度シクロヘキサンに溶解させ、反応容器中にダイマージアミン(クローダジャパン社製「PRIAMINE1075」)46.0gをゆっくり添加した後、メチルシクロヘキサン45.0gを反応容器中に添加した。ディーンスタークトラップとコンデンサーとをフラスコに取り付け、混合物を2時間還流に熱し、両末端にアミン構造を有するイミド化合物を得た。マレイミド化合物の回収率は70%であった。(重量平均分子量8700)
(Synthesis Example 2)
After stirring, 55 g of pyromellitic dianhydride (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd., molecular weight 254.15) and 300 g of cyclohexanone were placed in a reaction vessel equipped with a water separator, a thermometer, and a nitrogen gas introduction tube. The solution was heated to 60 ° C. Next, a solution in which 26.7 g of bis (aminomethyl) norbornane (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd., molecular weight 154.26) is dissolved in cyclohexanone is dropped into the reaction vessel and reacted, and both ends are acid anhydrides. A reaction product was obtained. Thereafter, isopropanol was added to recover an imide compound having acid anhydrides at both ends. Next, the precipitate was dissolved again in cyclohexane, and 46.0 g of dimer diamine (“PRIAMINE 1075” manufactured by Croda Japan Co., Ltd.) was slowly added to the reaction vessel, and then 45.0 g of methylcyclohexane was added to the reaction vessel. A Dean-Stark trap and a condenser were attached to the flask, and the mixture was heated to reflux for 2 hours to obtain an imide compound having an amine structure at both ends. The recovery rate of the maleimide compound was 70%. (Weight average molecular weight 8700)

(脂肪族骨格を有するベンゾオキサジン化合物)
N−アルキルビスベンゾオキサジン化合物(下記の合成例3に従って合成)
(Benzoxazine compound having an aliphatic skeleton)
N-alkylbisbenzoxazine compound (synthesized according to Synthesis Example 3 below)

(合成例3)
撹拌機、分水器、温度計及び窒素ガス導入管を備えた反応容器に、ピロメリット酸二無水物(東京化成工業社製、分子量218.12)65gとシクロヘキサノン500mLとを入れ、続いて、ダイマージアミン(クローダジャパン社製「PRIAMINE1075」)164gをシクロヘキサノンに溶解させた後、滴下して入れた。その後、ディーンスタークトラップとコンデンサーとをフラスコに取り付け、混合物を2時間還流に熱し、両末端にアミン構造を有するイミド化合物を得た。得られたイミド化合物とフェノール(東京化成工業社製、分子量94.11)38gとパラホルムアルデヒド(東京化成工業社製)12gとを混合して得られた混合物をさらに12時間還流して、ベンゾオキサジン化を行った。その後イソプロパノールで再沈殿することにより、N−アルキルベンゾオキサジン化合物(重量平均分子量7700)を得た。
(Synthesis Example 3)
In a reaction vessel equipped with a stirrer, a water separator, a thermometer and a nitrogen gas introduction tube, 65 g of pyromellitic dianhydride (Tokyo Chemical Industry Co., Ltd., molecular weight 218.12) and 500 mL of cyclohexanone were added, After 164 g of dimer diamine (“PRIAMINE 1075” manufactured by Croda Japan Co., Ltd.) was dissolved in cyclohexanone, it was added dropwise. Thereafter, a Dean-Stark trap and a condenser were attached to the flask, and the mixture was heated to reflux for 2 hours to obtain an imide compound having an amine structure at both ends. A mixture obtained by mixing the obtained imide compound, 38 g of phenol (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd., molecular weight 94.11) and 12 g of paraformaldehyde (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) was further refluxed for 12 hours to obtain benzoxazine. Made. Then, N-alkylbenzoxazine compound (weight average molecular weight 7700) was obtained by reprecipitation with isopropanol.

(脂肪族骨格を有さないマレイミド化合物(芳香族骨格を有するマレイミド化合物)) N−フェニルマレイミド化合物1(大和化成工業社製「BMI−2300」)
N−フェニルマレイミド化合物2(大和化成工業社製「BMI−4000」)
(Maleimide compound having no aliphatic skeleton (maleimide compound having an aromatic skeleton)) N-phenylmaleimide compound 1 (“BMI-2300” manufactured by Daiwa Kasei Kogyo Co., Ltd.)
N-phenylmaleimide compound 2 (“BMI-4000” manufactured by Daiwa Kasei Kogyo Co., Ltd.)

(ポリイミド化合物)
テトラカルボン酸二無水物とダイマージアミンとの反応物であるポリイミド化合物含有溶液(不揮発分26.8重量%)を以下の合成例4に従って合成した。
(Polyimide compound)
A polyimide compound-containing solution (nonvolatile content: 26.8% by weight), which is a reaction product of tetracarboxylic dianhydride and dimer diamine, was synthesized according to Synthesis Example 4 below.

(合成例4)
撹拌機、分水器、温度計及び窒素ガス導入管を備えた反応容器に、テトラカルボン酸二無水物(SABICジャパン合同会社製「BisDA−1000」)300.0gと、シクロヘキサノン665.5gとを入れ、反応容器中の溶液を60℃まで加熱した。次いで、反応容器中に、ダイマージアミン(クローダジャパン社製「PRIAMINE1075」)89.0gと、1,3−ビスアミノメチルシクロヘキサン(三菱ガス化学社製)54.7gとを滴下した。次いで、反応容器中に、メチルシクロヘキサン121.0gと、エチレングリコールジメチルエーテル423.5gとを添加し、140℃で10時間かけてイミド化反応を行った。このようにして、ポリイミド化合物含有溶液(不揮発分26.8重量%)を得た。得られたポリイミド化合物の分子量(重量平均分子量)は20000であった。なお、酸成分/アミン成分のモル比は1.04であった。
(Synthesis Example 4)
In a reaction vessel equipped with a stirrer, a water separator, a thermometer, and a nitrogen gas introduction tube, 300.0 g of tetracarboxylic dianhydride (“BisDA-1000” manufactured by SABIC Japan LLC) and 665.5 g of cyclohexanone And the solution in the reaction vessel was heated to 60 ° C. Subsequently, 89.0 g of dimer diamine (“PRIAMINE 1075” manufactured by Claude Japan) and 54.7 g of 1,3-bisaminomethylcyclohexane (manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Company) were dropped into the reaction vessel. Next, 121.0 g of methylcyclohexane and 423.5 g of ethylene glycol dimethyl ether were added to the reaction vessel, and an imidization reaction was performed at 140 ° C. for 10 hours. In this way, a polyimide compound-containing solution (non-volatile content: 26.8% by weight) was obtained. The molecular weight (weight average molecular weight) of the obtained polyimide compound was 20000. The molar ratio of acid component / amine component was 1.04.

合成例4で合成したポリイミド化合物の分子量は、以下のようにして求めた。   The molecular weight of the polyimide compound synthesized in Synthesis Example 4 was determined as follows.

GPC(ゲルパーミエーションクロマトグラフィー)測定:
島津製作所社製高速液体クロマトグラフシステムを使用し、テトラヒドロフラン(THF)を展開媒として、カラム温度40℃、流速1.0ml/分で測定を行った。検出器として「SPD−10A」を用い、カラムはShodex社製「KF−804L」(排除限界分子量400,000)を2本直列につないで使用した。標準ポリスチレンとして、東ソー社製「TSKスタンダードポリスチレン」を用い、重量平均分子量Mw=354,000、189,000、98,900、37,200、17,100、9,830、5,870、2,500、1,050、500の物質を使用して較正曲線を作成し、分子量の計算を行った。
GPC (gel permeation chromatography) measurement:
Using a high-performance liquid chromatograph system manufactured by Shimadzu Corporation, measurement was performed at a column temperature of 40 ° C. and a flow rate of 1.0 ml / min using tetrahydrofuran (THF) as a developing medium. “SPD-10A” was used as a detector, and two columns of “KF-804L” (exclusion limit molecular weight 400,000) manufactured by Shodex were connected in series. “TSK standard polystyrene” manufactured by Tosoh Corporation is used as the standard polystyrene, and the weight average molecular weight Mw = 354,000, 189,000, 98,900, 37,200, 17,100, 9,830, 5,870, 2, Calibration curves were generated using 500, 1,050, 500 substances and molecular weight calculations were performed.

(熱可塑性樹脂)
フェノキシ樹脂(三菱化学社製「YX6954BH30」)
(Thermoplastic resin)
Phenoxy resin (Mitsubishi Chemical "YX6954BH30")

(熱硬化性化合物)
ビフェニル型エポキシ化合物(日本化薬社製「NC−3000」)
ナフタレン型エポキシ化合物(DIC社製「HP−4032D」)
レゾルシノールジグリシジルエーテル(ナガセケムテックス社製「EX−201」)
ジシクロペンタジエン型エポキシ化合物(アデカ社製「EP4088S」)
ナフトールアラルキル型エポキシ化合物(新日鐵住金化学社製「ESN−475V」)
(Thermosetting compound)
Biphenyl type epoxy compound (“NC-3000” manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)
Naphthalene type epoxy compound (“HP-4032D” manufactured by DIC)
Resorcinol diglycidyl ether (“EX-201” manufactured by Nagase ChemteX Corporation)
Dicyclopentadiene type epoxy compound ("EP4088S" manufactured by Adeka)
Naphthol aralkyl-type epoxy compound (“ESN-475V” manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd.)

(無機充填材)
シリカ含有スラリー(シリカ75重量%:アドマテックス社製「SC4050−HOA」、平均粒径1.0μm、アミノシラン処理、シクロヘキサノン25重量%)
(Inorganic filler)
Silica-containing slurry (silica 75% by weight: “SC4050-HOA” manufactured by Admatechs, average particle size 1.0 μm, aminosilane treatment, cyclohexanone 25% by weight)

(硬化剤)
成分X:
シアネートエステル化合物含有液(ロンザジャパン社製「BA−3000S」、固形分75重量%)
活性エステル化合物1含有液(DIC社製「EXB−9416−70BK」、固形分70重量%)
活性エステル化合物2含有液(DIC社製「HPC−8000L」、固形分65重量%)
活性エステル化合物3含有液(DIC社製「HPC−8150」、固形分62重量%)
フェノール化合物含有液(DIC社製「LA−1356」、固形分60重量%)
カルボジイミド化合物含有液(日清紡ケミカル社製「V−03」、固形分50重量%)
(Curing agent)
Component X:
Cyanate ester compound-containing liquid (Lonza Japan "BA-3000S", solid content 75 wt%)
Active ester compound 1-containing liquid (DIC Corporation "EXB-9416-70BK", solid content 70 wt%)
Active ester compound 2 containing liquid (“HPC-8000L” manufactured by DIC, solid content 65% by weight)
Active ester compound 3 containing liquid (“HPC-8150” manufactured by DIC, 62 wt% solid content)
Phenol compound-containing liquid (DIC Corporation "LA-1356", solid content 60% by weight)
Carbodiimide compound-containing liquid (Nisshinbo Chemical "V-03", solid content 50 wt%)

(硬化促進剤)
ジメチルアミノピリジン(和光純薬工業社製「DMAP」)
2−フェニル−4−メチルイミダゾール(四国化成工業社製「2P4MZ」)
2−エチル−4−メチルイミダゾール(四国化成工業社製「2E4MZ」)
ジクミルペルオキシド(東京化成工業社製)
(Curing accelerator)
Dimethylaminopyridine (“DMAP” manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.)
2-Phenyl-4-methylimidazole (“2P4MZ” manufactured by Shikoku Chemicals)
2-Ethyl-4-methylimidazole (“2E4MZ” manufactured by Shikoku Chemicals)
Dicumyl peroxide (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.)

(実施例1〜16及び比較例1〜6)
下記の表1,2に示す成分を下記の表1,2に示す配合量で配合し、均一な溶液となるまで常温で攪拌し、樹脂材料を得た。
(Examples 1-16 and Comparative Examples 1-6)
The components shown in the following Tables 1 and 2 were blended in the blending amounts shown in the following Tables 1 and 2, and stirred at room temperature until a uniform solution was obtained, to obtain a resin material.

樹脂フィルムの作製:
アプリケーターを用いて、離型処理されたPETフィルム(東レ社製「XG284」、厚み25μm)の離型処理面上に得られた樹脂材料を塗工した後、100℃のギヤオーブン内で2分30秒間乾燥し、溶剤を揮発させた。このようにして、PETフィルム上に、厚さが40μmである樹脂フィルム(Bステージフィルム)が積層されている積層フィルム(PETフィルムと樹脂フィルムとの積層フィルム)を得た。
Production of resin film:
Using an applicator, the resin material obtained on the release-treated surface of the release-treated PET film (“XG284” manufactured by Toray Industries Inc., thickness 25 μm) was applied and then placed in a gear oven at 100 ° C. for 2 minutes. It was dried for 30 seconds to volatilize the solvent. In this way, a laminated film (laminated film of PET film and resin film) in which a resin film (B stage film) having a thickness of 40 μm was laminated on the PET film was obtained.

(評価)
(1)ハンドリング性
得られた樹脂フィルム(Bステージフィルム)を180度に10回折り曲げた。10回中、樹脂フィルムにひび又は割れが生じる回数を観察した。
(Evaluation)
(1) Handling property The obtained resin film (B stage film) was bent 10 times at 180 degrees. During 10 times, the number of times the resin film was cracked or cracked was observed.

[ハンドリング性の判定基準]
○:10回中、ひび又は割れが生じる回数が3回未満である
△:10回中、ひび又は割れが生じる回数が3回以上、6回未満である
×:10回中、ひび又は割れが生じる回数が6回以上である
[Handling criteria]
○: The number of occurrences of cracks or cracks is less than 3 during 10 times. Δ: The number of occurrences of cracks or cracks is 10 times or more and less than 6 times during 10 times. The number of occurrences is 6 or more

(2)凹凸表面に対する埋め込み性、及び、はみ出し防止性(過度の濡れ拡がり防止性)
100mm角の銅張積層板(厚さ400μmのガラスエポキシ基板と厚さ25μmの銅箔との積層体)の銅箔のみをエッチングして、直径100μm及び深さ25μmの窪み(開口部)を、基板の中心30mm角のエリアに対して直線上にかつ隣接する穴の中心の間隔が900μmになるように開けた。このようにして、計900穴の窪みを持つ評価基板を準備した。
(2) Embeddability to uneven surface and prevention of protrusion (prevention of excessive wetting and spreading)
Only a copper foil of a 100 mm square copper-clad laminate (a laminate of a 400 μm thick glass epoxy substrate and a 25 μm thick copper foil) is etched to form a recess (opening) having a diameter of 100 μm and a depth of 25 μm, The substrate was opened in a straight line with respect to the 30 mm square area of the substrate so that the distance between the centers of adjacent holes was 900 μm. Thus, the evaluation board | substrate with a hollow of a total of 900 holes was prepared.

得られた積層フィルムの樹脂フィルム側を評価基板上に重ねて、名機製作所社製「バッチ式真空ラミネーターMVLP−500−IIA」を用い、ラミネート圧0.4MPaで20秒、プレス圧力0.8MPaで20秒、ラミネート及びプレスの温度90℃で加熱加圧した。常温で冷却した後、PETフィルムを剥離した。このようにして、評価基板上に樹脂フィルムが積層された評価サンプルを得た。   The resin film side of the obtained laminated film is overlaid on the evaluation substrate, and a “batch type vacuum laminator MVLP-500-IIA” manufactured by Meiki Seisakusho Co., Ltd. is used for 20 seconds at a lamination pressure of 0.4 MPa, and a press pressure of 0.8 MPa. For 20 seconds at a laminating and pressing temperature of 90 ° C. After cooling at room temperature, the PET film was peeled off. Thus, the evaluation sample by which the resin film was laminated | stacked on the evaluation board | substrate was obtained.

得られた評価サンプルについて光学顕微鏡を用いて、窪みの中のボイドを観察した。ボイドが観察された窪みの割合を評価することによって、凹凸表面に対する埋め込み性を下記の基準で判定した。   About the obtained evaluation sample, the void in a hollow was observed using the optical microscope. By evaluating the ratio of depressions where voids were observed, the embedding property with respect to the uneven surface was determined according to the following criteria.

[凹凸表面に対する埋め込み性の判定基準]
○:ボイドが観察された窪みの割合0%
△:ボイドが観察された窪みの割合0%を超え、5%未満
×:ボイドが観察された窪みの割合5%以上
[Criteria for embedding on uneven surfaces]
○: Ratio of depression where void was observed 0%
Δ: Ratio of depressions where voids were observed exceeded 0% and less than 5% ×: Ratio of depressions where voids were observed 5% or more

得られた評価サンプルについて光学顕微鏡を用いて、基板上の所定の領域から、樹脂フィルムがはみ出しているか否かを観察して、はみ出し防止性を以下の基準で判定した。   About the obtained evaluation sample, using an optical microscope, it was observed whether the resin film protruded from the predetermined | prescribed area | region on a board | substrate, and the protrusion prevention property was determined on the following references | standards.

[はみ出し防止性の判定基準]
○:ラミネート後の評価基板周辺部からの樹脂フィルムのはみ出しが2mm以下
△:ラミネート後の評価基板周辺部からの樹脂フィルムのはみ出しが2mmを超え、3mm以下
×:ラミネート後の評価基板周辺部からの樹脂フィルムのはみ出しが3mmを超える
[Judgment criteria for protrusion prevention]
○: The protrusion of the resin film from the periphery of the evaluation substrate after lamination is 2 mm or less Δ: The protrusion of the resin film from the periphery of the evaluation substrate after lamination exceeds 2 mm and 3 mm or less ×: From the periphery of the evaluation substrate after lamination The protrusion of the resin film exceeds 3 mm

(3)硬化温度
得られた樹脂フィルム(Bステージフィルム)の硬化に伴う発熱ピークを、示差走査熱量測定装置(TA・インスツルメント社製「Q2000」)を用いて評価した。専用アルミパンに樹脂フィルム8mgを取り、専用治具を用いて蓋をした。この専用アルミパンと空のアルミパン(リファレンス)とを加熱ユニット内に設置し、昇温速度3℃/分で−30℃から250℃まで窒素雰囲気下で加熱を行い、リバースヒートフロー及びノンリバースヒートフローの観測を行った。ノンリバースヒートフローにおいて観測される発熱ピークにより、硬化温度を確認した。
(3) Curing temperature The exothermic peak accompanying the hardening of the obtained resin film (B stage film) was evaluated using a differential scanning calorimeter ("Q2000" manufactured by TA Instruments). 8 mg of resin film was taken in a special aluminum pan and covered with a special jig. This special aluminum pan and an empty aluminum pan (reference) are installed in the heating unit and heated in a nitrogen atmosphere from -30 ° C to 250 ° C at a rate of temperature increase of 3 ° C / min. Reverse heat flow and non-reverse The heat flow was observed. The curing temperature was confirmed by the exothermic peak observed in the non-reverse heat flow.

[硬化温度の判定基準]
○:200℃以下に全ての発熱ピークを有する
×:200℃よりも高い温度に少なくとも一つの発熱ピークを有する
[Criteria for curing temperature]
○: all exothermic peaks at 200 ° C. or lower ×: at least one exothermic peak at a temperature higher than 200 ° C.

(4)誘電正接
得られた樹脂フィルムを幅2mm、長さ80mmの大きさに裁断して5枚を重ね合わせて、厚み200μmの積層体を得た。得られた積層体を190℃で90分間加熱して、硬化物を得た。得られた硬化物について、関東電子応用開発社製「空洞共振摂動法誘電率測定装置CP521」及びキーサイトテクノロジー社製「ネットワークアナライザーN5224A PNA」を用いて、空洞共振法で常温(23℃)にて、周波数1.0GHzにて誘電正接を測定した。
(4) Dielectric loss tangent The obtained resin film was cut into a size of 2 mm in width and 80 mm in length, and 5 sheets were laminated to obtain a laminate having a thickness of 200 μm. The obtained laminate was heated at 190 ° C. for 90 minutes to obtain a cured product. About the obtained hardened | cured material, it uses a "cavity resonance perturbation method dielectric constant measuring device CP521" made by Kanto Electronics Application Development Co., Ltd. and "Network Analyzer N5224A PNA" made by Keysight Technology Co., Ltd. at room temperature (23 ° C) by the cavity resonance method. The dielectric loss tangent was measured at a frequency of 1.0 GHz.

[誘電正接の判定基準]
○:誘電正接が3.5×10−3以下
×:誘電正接が3.5×10−3を超える
[Criteria for dielectric loss tangent]
○: Dielectric loss tangent is 3.5 × 10 −3 or less X: Dielectric loss tangent exceeds 3.5 × 10 −3

(5)絶縁層と金属層との密着性(ピール強度)
ラミネート工程:
両面銅張積層板(各面の銅箔の厚み18μm、基板の厚み0.7mm、基板サイズ100mm×100mm、日立化成社製「MCL−E679FG」)を用意した。この両面銅張積層板の銅箔面の両面をメック社製「Cz8101」に浸漬して、銅箔の表面を粗化処理した。粗化処理された銅張積層板の両面に、名機製作所社製「バッチ式真空ラミネーターMVLP−500−IIA」を用いて、積層フィルムの樹脂フィルム(Bステージフィルム)側を銅張積層板上に重ねてラミネートして、積層構造体を得た。ラミネートの条件は、30秒減圧して気圧を13hPa以下とし、その後30秒間、100℃及び圧力0.4MPaでプレスする条件とした。
(5) Adhesion between the insulating layer and the metal layer (peel strength)
Lamination process:
A double-sided copper clad laminate (copper foil thickness of 18 μm on each side, substrate thickness of 0.7 mm, substrate size of 100 mm × 100 mm, “MCL-E679FG” manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) was prepared. Both surfaces of the copper foil surface of this double-sided copper-clad laminate were immersed in “Cz8101” manufactured by MEC, and the surface of the copper foil was roughened. Using a “batch type vacuum laminator MVLP-500-IIA” manufactured by Meiki Seisakusho on both sides of the roughened copper clad laminate, the resin film (B stage film) side of the laminate film is on the copper clad laminate. And laminated to obtain a laminated structure. The laminating conditions were such that the pressure was reduced to 30 hPa or less by reducing the pressure for 30 seconds, and then pressing was performed at 100 ° C. and a pressure of 0.4 MPa for 30 seconds.

フィルム剥離工程:
得られた積層構造体において、両面のPETフィルムを剥離した。
Film peeling process:
In the obtained laminated structure, the PET films on both sides were peeled off.

銅箔貼り付け工程:
銅箔(厚み35μm、三井金属社製)のシャイニー面をCz処理(メック社製「Cz8101」)して、銅箔表面を1μm程度エッチングした。PETフィルムを剥離した上記積層構造体に、エッチング処理した銅箔を貼り合せて、銅箔付き基板を得た。得られた銅箔付き基板をギアオーブン内で190℃で90分熱処理し、評価サンプルを得た。
Copper foil pasting process:
The shiny surface of the copper foil (thickness 35 μm, manufactured by Mitsui Kinzoku Co., Ltd.) was subjected to Cz treatment (“Cz8101” manufactured by MEC), and the copper foil surface was etched by about 1 μm. An etched copper foil was bonded to the laminated structure from which the PET film was peeled to obtain a substrate with a copper foil. The obtained substrate with copper foil was heat-treated at 190 ° C. for 90 minutes in a gear oven to obtain an evaluation sample.

ピール強度の測定:
評価サンプルの銅箔の表面に1cm幅の短冊状の切込みを入れた。90°剥離試験機(テスター産業社製「TE−3001」)に評価サンプルをセットし、つかみ具で切込みの入った銅箔の端部をつまみあげ、銅箔を20mm剥離して剥離強度(ピール強度)を測定した。
Peel strength measurement:
A 1 cm wide strip-shaped cut was made on the surface of the copper foil of the evaluation sample. Set an evaluation sample on a 90 ° peel tester ("TE-3001" manufactured by Tester Sangyo Co., Ltd.), pick up the edge of the cut copper foil with a gripping tool, peel the copper foil 20mm, and peel strength (peel) Strength) was measured.

[絶縁層と金属層との密着性(ピール強度)の判定基準]
○○:ピール強度が0.6kgf以上
〇:ピール強度が0.4kgf以上0.6kgf未満
×:ピール強度が0.4kgf未満
[Judgment criteria for adhesion (peel strength) between insulating layer and metal layer]
○○: Peel strength is 0.6 kgf or more ○: Peel strength is 0.4 kgf or more and less than 0.6 kgf ×: Peel strength is less than 0.4 kgf

(6)平均線膨張係数(CTE)
得られた厚さ40μmの樹脂フィルム(Bステージフィルム)を190℃で90分間加熱して得られた硬化物を3mm×25mmの大きさに裁断した。熱機械的分析装置(エスアイアイ・ナノテクノロジー社製「EXSTAR TMA/SS6100」)を用いて、引っ張り荷重33mN及び昇温速度5℃/分の条件で、裁断された硬化物の25℃〜150℃までの平均線膨張係数(ppm/℃)を算出した。
(6) Average linear expansion coefficient (CTE)
A cured product obtained by heating the obtained resin film (B stage film) having a thickness of 40 μm at 190 ° C. for 90 minutes was cut into a size of 3 mm × 25 mm. Using a thermomechanical analyzer (“EXSTAR TMA / SS6100” manufactured by SII Nano Technology), the cured product cut at 25 ° C. to 150 ° C. under conditions of a tensile load of 33 mN and a heating rate of 5 ° C./min. The average linear expansion coefficient (ppm / ° C.) was calculated.

[平均線膨張係数の判定基準]
○:平均線膨張係数が25ppm/℃以下
△:平均線膨張係数が25ppm/℃を超え30ppm/℃以下
×:平均線膨張係数が30ppm/℃を超える
[Criteria for average linear expansion coefficient]
○: Average coefficient of linear expansion is 25 ppm / ° C. or less Δ: Average coefficient of linear expansion exceeds 25 ppm / ° C. and 30 ppm / ° C. or less X: Average coefficient of linear expansion exceeds 30 ppm / ° C.

(7)硬化物の折り曲げ安定性
得られた厚さ40μmの樹脂フィルム(Bステージフィルム)を190℃で90分間加熱して得られた硬化物を30mm×150mmの大きさに裁断した。面状体U字折り返し試験機(ユアサ社製)を用いて、200回/分、180℃折り曲げ(折り曲げギャップ5mm)、フィルムストローク70mmの条件で降り曲げ試験を行った。測定は繰り返し5回行い、平均値を算出した。
(7) Bending stability of hardened | cured material The hardened | cured material obtained by heating the obtained resin film (B stage film) of 40 micrometers in thickness at 190 degreeC for 90 minutes was cut | judged to the magnitude | size of 30 mm x 150 mm. Using a planar U-shaped folding tester (manufactured by Yuasa Co., Ltd.), a descending bending test was performed under the conditions of 200 times / minute, 180 ° C. bending (bending gap 5 mm), and film stroke 70 mm. The measurement was repeated 5 times, and the average value was calculated.

[硬化物の折り曲げ安定性の判定基準]
〇〇:2000回折り曲げ後割れなし
〇:折り曲げ回数が100回以上2000回未満で割れが発生
×:折り曲げ回数が100回未満で割れが発生
[Criteria for bending stability of cured products]
〇 ○: No crack after 2000 bending 〇: Crack occurs when the number of folding times is 100 times or more and less than 2000 times ×: Cracking occurs when the number of folding times is less than 100 times

組成及び結果を下記の表1,2に示す。なお、表1中、各成分の含有量は、純分量で記載した。   The compositions and results are shown in Tables 1 and 2 below. In Table 1, the content of each component is described as a pure content.

Figure 2019173010
Figure 2019173010

Figure 2019173010
Figure 2019173010

11…多層プリント配線板
12…回路基板
12a…上面
13〜16…絶縁層
17…金属層
DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 ... Multilayer printed wiring board 12 ... Circuit board 12a ... Upper surface 13-16 ... Insulating layer 17 ... Metal layer

Claims (19)

ポリイミド化合物と、
脂肪族骨格を有するマレイミド化合物及び脂肪族骨格を有するベンゾオキサジン化合物の内の少なくとも一方の脂肪族骨格含有化合物とを含む、樹脂材料。
A polyimide compound;
A resin material comprising a maleimide compound having an aliphatic skeleton and at least one aliphatic skeleton-containing compound of a benzoxazine compound having an aliphatic skeleton.
前記脂肪族骨格含有化合物において、マレイミド骨格又はベンゾオキサジン骨格を形成している窒素原子に、前記脂肪族骨格が結合している、請求項1に記載の樹脂材料。   The resin material according to claim 1, wherein in the aliphatic skeleton-containing compound, the aliphatic skeleton is bonded to a nitrogen atom forming a maleimide skeleton or a benzoxazine skeleton. 前記ポリイミド化合物の重量平均分子量が15000以上であり、
前記脂肪族骨格含有化合物の重量平均分子量が15000未満である、請求項1又は2に記載の樹脂材料。
The weight average molecular weight of the polyimide compound is 15000 or more,
The resin material according to claim 1 or 2, wherein the aliphatic skeleton-containing compound has a weight average molecular weight of less than 15,000.
前記脂肪族骨格含有化合物が、脂肪族骨格を有するポリアミン化合物とカルボン酸二無水物との反応物に由来する骨格を有する、請求項1〜3のいずれか1項に記載の樹脂材料。   The resin material according to any one of claims 1 to 3, wherein the aliphatic skeleton-containing compound has a skeleton derived from a reaction product of a polyamine compound having an aliphatic skeleton and a carboxylic dianhydride. 前記脂肪族骨格含有化合物が、脂肪族骨格を有するジアミン化合物とカルボン酸二無水物との反応物に由来する骨格を有する、請求項1〜4のいずれか1項に記載の樹脂材料。   The resin material according to any one of claims 1 to 4, wherein the aliphatic skeleton-containing compound has a skeleton derived from a reaction product of a diamine compound having an aliphatic skeleton and a carboxylic dianhydride. 前記脂肪族骨格を有するジアミン化合物が、ダイマージアミンに由来する骨格を有するジアミン化合物である、請求項5に記載の樹脂材料。   The resin material according to claim 5, wherein the diamine compound having an aliphatic skeleton is a diamine compound having a skeleton derived from dimer diamine. 熱硬化性化合物と、無機充填材とを含む、請求項1〜6のいずれか1項に記載の樹脂材料。   The resin material according to any one of claims 1 to 6, comprising a thermosetting compound and an inorganic filler. 前記熱硬化性化合物がエポキシ化合物である、請求項7に記載の樹脂材料。   The resin material according to claim 7, wherein the thermosetting compound is an epoxy compound. 樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、前記無機充填材の含有量が、50重量%以上である、請求項7又は8に記載の樹脂材料。   The resin material according to claim 7 or 8, wherein a content of the inorganic filler is 50% by weight or more in 100% by weight of a component excluding a solvent in the resin material. 前記ポリイミド化合物と前記脂肪族骨格含有化合物との合計100重量%中、前記ポリイミド化合物の含有量が、3重量%以上80重量%以下である、請求項1〜9のいずれか1項に記載の樹脂材料。   The total content of the polyimide compound and the aliphatic skeleton-containing compound is 100% by weight, and the content of the polyimide compound is 3% by weight to 80% by weight. Resin material. 前記ポリイミド化合物が、ダイマージアミンに由来する骨格を有するポリイミド化合物である、請求項1〜10のいずれか1項に記載の樹脂材料。   The resin material according to any one of claims 1 to 10, wherein the polyimide compound is a polyimide compound having a skeleton derived from dimer diamine. 樹脂材料中の溶剤を除く有機成分100重量%中、前記ポリイミド化合物と前記脂肪族骨格含有化合物との合計の含有量が、10重量%以上98重量%以下である、請求項1〜11のいずれか1項に記載の樹脂材料。   The total content of the polyimide compound and the aliphatic skeleton-containing compound in 10% by weight of the organic component excluding the solvent in the resin material is 10% by weight or more and 98% by weight or less. The resin material according to claim 1. 硬化促進剤を含み、
前記硬化促進剤が、ラジカル性硬化促進剤及びアニオン性硬化促進剤の内の少なくとも一方を含む、請求項1〜12のいずれか1項に記載の樹脂材料。
Contains a curing accelerator,
The resin material according to claim 1, wherein the curing accelerator includes at least one of a radical curing accelerator and an anionic curing accelerator.
前記硬化促進剤が、ラジカル性硬化促進剤とジメチルアミノピリジンとを含むか、又は、ラジカル性硬化促進剤とイミダゾール化合物とを含むか、又はラジカル性硬化促進剤とリン化合物とを含む、請求項13に記載の樹脂材料。   The curing accelerator includes a radical curing accelerator and dimethylaminopyridine, or includes a radical curing accelerator and an imidazole compound, or includes a radical curing accelerator and a phosphorus compound. 13. The resin material according to 13. 硬化剤と硬化促進剤とを含み、
前記硬化促進剤が、イミダゾール化合物を含む、請求項1〜12のいずれか1項に記載の樹脂材料。
A curing agent and a curing accelerator,
The resin material according to claim 1, wherein the curing accelerator contains an imidazole compound.
樹脂フィルムである、請求項1〜15のいずれか1項に記載の樹脂材料。   The resin material according to any one of claims 1 to 15, which is a resin film. 多層プリント配線板において、絶縁層を形成するために用いられる、請求項1〜16のいずれか1項に記載の樹脂材料。   The resin material of any one of Claims 1-16 used in order to form an insulating layer in a multilayer printed wiring board. 基材と、
前記基材の表面上に積層された樹脂フィルムとを備え、
前記樹脂フィルムが、請求項1〜17のいずれか1項に記載の樹脂材料である、積層フィルム。
A substrate;
A resin film laminated on the surface of the substrate,
A laminated film in which the resin film is the resin material according to claim 1.
回路基板と、
前記回路基板の表面上に配置された複数の絶縁層と、
複数の前記絶縁層間に配置された金属層とを備え、
複数の前記絶縁層の内の少なくとも1層が、請求項1〜17のいずれか1項に記載の樹脂材料の硬化物である、多層プリント配線板。
A circuit board;
A plurality of insulating layers disposed on a surface of the circuit board;
A metal layer disposed between the plurality of insulating layers,
The multilayer printed wiring board whose at least 1 layer of the said some insulating layers is the hardened | cured material of the resin material of any one of Claims 1-17.
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