JP7226954B2 - Resin materials and multilayer printed wiring boards - Google Patents

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Description

本発明は、エポキシ化合物を含む樹脂材料に関する。また、本発明は、上記樹脂材料を用いた多層プリント配線板に関する。 The present invention relates to resin materials containing epoxy compounds. The present invention also relates to a multilayer printed wiring board using the above resin material.

従来、半導体装置、積層板及びプリント配線板等の電子部品を得るために、様々な樹脂材料が用いられている。例えば、多層プリント配線板では、内部の層間を絶縁するための絶縁層を形成したり、表層部分に位置する絶縁層を形成したりするために、樹脂材料が用いられている。上記絶縁層の表面には、一般に金属である配線が積層される。また、上記絶縁層を形成するために、上記樹脂材料がフィルム化された樹脂フィルムが用いられることがある。上記樹脂材料及び上記樹脂フィルムは、ビルドアップフィルムを含む多層プリント配線板用の絶縁材料等として用いられている。 2. Description of the Related Art Conventionally, various resin materials have been used to obtain electronic components such as semiconductor devices, laminates and printed wiring boards. For example, in a multilayer printed wiring board, a resin material is used to form an insulating layer for insulation between internal layers and to form an insulating layer positioned on a surface layer. Wiring, which is generally made of metal, is laminated on the surface of the insulating layer. Moreover, in order to form the insulating layer, a resin film obtained by forming the resin material into a film may be used. The above resin materials and resin films are used as insulating materials for multilayer printed wiring boards including build-up films.

上記樹脂材料の一例として、下記の特許文献1には、熱硬化性樹脂と、活性エステル基を有する活性エステル化合物と、カルボジイミド基を有するカルボジイミド化合物と、を含有する熱硬化性樹脂組成物が開示されている。 As an example of the resin material, Patent Document 1 below discloses a thermosetting resin composition containing a thermosetting resin, an active ester compound having an active ester group, and a carbodiimide compound having a carbodiimide group. It is

特開2006-335834号公報JP 2006-335834 A

特許文献1に記載の樹脂材料では、絶縁層(硬化物)の誘電正接をある程度低くすることができる。しかしながら、特許文献1に記載のような従来の樹脂材料では、該樹脂材料を硬化させた硬化物に反りが生じることがある。硬化物に反りが生じると、該硬化物に付随して、回路基板及び金属層にも反りが生じ、歩留まりが低下する。 With the resin material described in Patent Document 1, the dielectric loss tangent of the insulating layer (cured material) can be lowered to some extent. However, with the conventional resin material as described in Patent Document 1, a cured product obtained by curing the resin material may warp. When the cured product is warped, the circuit board and the metal layer are also warped along with the cured product, resulting in a decrease in yield.

また、無機充填材が配合された樹脂材料では、エッチング後の絶縁層と、該絶縁層の表面上にめっき処理により積層した金属層とのメッキピール強度がばらつくことがある。 In addition, with a resin material containing an inorganic filler, the peel strength of the insulating layer after etching and the metal layer laminated on the surface of the insulating layer by plating may vary.

近年、情報伝送量の増加に対応したり、高速通信化を達成したりするために、プリント配線板等は多層化、大型化及び微細配線化しており、硬化物の反り及びメッキピール強度のばらつきがより一層生じやすくなっている。 In recent years, in order to respond to the increase in the amount of information transmission and to achieve high-speed communication, printed wiring boards and the like have become multi-layered, enlarged, and have finer wiring. is more likely to occur.

本発明の目的は、硬化物の反り及びメッキピール強度のばらつきを抑えることができる樹脂材料を提供することである。また、本発明は、上記樹脂材料を用いた多層プリント配線板を提供することも目的とする。 An object of the present invention is to provide a resin material capable of suppressing warping of a cured product and variations in plating peel strength. Another object of the present invention is to provide a multilayer printed wiring board using the resin material.

本発明の広い局面によれば、エポキシ化合物と、無機充填材と、硬化剤とを含み、前記硬化剤が、下記式(11)又は下記式(12)で表される構造を有する化合物を含む、樹脂材料が提供される。 According to a broad aspect of the present invention, an epoxy compound, an inorganic filler, and a curing agent are included, and the curing agent includes a compound having a structure represented by the following formula (11) or the following formula (12). , a resin material is provided.

Figure 0007226954000001
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前記式(11)中、R1及びR2はそれぞれ、水素原子、又は炭素数が1以上20以下の有機基を表す。 In formula (11), R1 and R2 each represent a hydrogen atom or an organic group having 1 to 20 carbon atoms.

Figure 0007226954000002
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前記式(12)中、R3は、窒素原子ともにヘテロ環を構成する基を表す。 In the formula (12), R3 represents a group forming a heterocyclic ring together with the nitrogen atom.

本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記式(11)又は前記式(12)で表される構造を有する化合物が、脂環式骨格、又は芳香族骨格を有する化合物である。 In a specific aspect of the resin material according to the present invention, the compound having the structure represented by formula (11) or (12) is a compound having an alicyclic skeleton or an aromatic skeleton.

本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記式(11)又は前記式(12)で表される構造を有する化合物の分子量が、400以上10000以下である。 In a specific aspect of the resin material according to the present invention, the compound having the structure represented by formula (11) or (12) has a molecular weight of 400 or more and 10,000 or less.

本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、前記無機充填材の含有量が50重量%以上である。 In a specific aspect of the resin material according to the present invention, the content of the inorganic filler is 50% by weight or more in 100% by weight of components excluding the solvent in the resin material.

本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記硬化剤が、活性エステル化合物、マレイミド化合物、又はシアネートエステル化合物を含む。 In a specific aspect of the resin material according to the present invention, the curing agent contains an active ester compound, a maleimide compound, or a cyanate ester compound.

本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記樹脂材料は、樹脂フィルムである。 On the specific situation with the resin material which concerns on this invention, the said resin material is a resin film.

本発明に係る樹脂材料は、多層プリント配線板において、絶縁層を形成するために好適に用いられる。 The resin material according to the present invention is suitably used for forming insulating layers in multilayer printed wiring boards.

本発明の広い局面によれば、回路基板と、前記回路基板の表面上に配置された複数の絶縁層と、複数の前記絶縁層間に配置された金属層とを備え、複数の前記絶縁層の内の少なくとも1層が、上述した樹脂材料の硬化物である、多層プリント配線板が提供される。 According to a broad aspect of the present invention, the present invention comprises a circuit board, a plurality of insulating layers disposed on a surface of the circuit board, and a metal layer disposed between the plurality of insulating layers, wherein A multilayer printed wiring board is provided in which at least one layer is a cured product of the resin material described above.

本発明に係る樹脂材料は、エポキシ化合物と、無機充填材と、硬化剤とを含み、上記硬化剤が、式(11)又は式(12)で表される構造を有する化合物を含むので、硬化物の反り及びメッキピール強度のばらつきを抑えることができる。 The resin material according to the present invention contains an epoxy compound, an inorganic filler, and a curing agent, and the curing agent contains a compound having a structure represented by formula (11) or formula (12). It is possible to suppress the warp of the product and variations in plating peel strength.

図1は、本発明の一実施形態に係る樹脂材料を用いた多層プリント配線板を模式的に示す断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view schematically showing a multilayer printed wiring board using a resin material according to one embodiment of the present invention.

以下、本発明を詳細に説明する。 The present invention will be described in detail below.

本発明に係る樹脂材料は、エポキシ化合物と、無機充填材と、硬化剤とを含み、上記硬化剤が、下記式(11)又は下記式(12)で表される構造を有する化合物を含む。 A resin material according to the present invention includes an epoxy compound, an inorganic filler, and a curing agent, and the curing agent includes a compound having a structure represented by the following formula (11) or (12).

Figure 0007226954000003
Figure 0007226954000003

上記式(11)中、R1及びR2はそれぞれ、水素原子、又は炭素数が1以上20以下の有機基を表す。 In formula (11) above, R1 and R2 each represent a hydrogen atom or an organic group having from 1 to 20 carbon atoms.

Figure 0007226954000004
Figure 0007226954000004

上記式(12)中、R3は、窒素原子ともにヘテロ環を構成する基を表す。 In the above formula (12), R3 represents a group forming a heterocyclic ring together with the nitrogen atom.

本発明に係る樹脂材料では、上記の構成が備えられているので、硬化物の反り及びメッキピール強度のばらつきを抑えることができる。 Since the resin material according to the present invention has the above configuration, it is possible to suppress warpage of the cured product and variations in plating peel strength.

また、本発明に係る樹脂材料では、上記の構成が備えられているので、硬化物の誘電正接を低くすることができる。 Moreover, since the resin material according to the present invention has the above configuration, it is possible to reduce the dielectric loss tangent of the cured product.

また、本発明に係る樹脂材料では、上記の構成が備えられているので、メッキピール強度を高めることができる。したがって、本発明に係る樹脂材料では、メッキピール強度を高めることができ、かつ高められたメッキピール強度のばらつきを抑えることができる。 Moreover, since the resin material according to the present invention has the above configuration, it is possible to increase the plating peel strength. Therefore, with the resin material according to the present invention, it is possible to increase the peel strength of the plating, and to suppress variations in the increased peel strength of the plating.

本発明に係る樹脂材料は、樹脂組成物であってもよく、樹脂フィルムであってもよい。上記樹脂組成物は、流動性を有する。上記樹脂組成物は、ペースト状であってもよい。上記ペースト状には液状が含まれる。取扱性に優れることから、本発明に係る樹脂材料は、樹脂フィルムであることが好ましい。 The resin material according to the present invention may be a resin composition or a resin film. The resin composition has fluidity. The resin composition may be in the form of a paste. The pasty form includes a liquid form. The resin material according to the present invention is preferably a resin film because of its excellent handleability.

本発明に係る樹脂材料は、熱硬化性材料であることが好ましい。上記樹脂材料が樹脂フィルムである場合には、該樹脂フィルムは、熱硬化性樹脂フィルムであることが好ましい。 The resin material according to the present invention is preferably a thermosetting material. When the resin material is a resin film, the resin film is preferably a thermosetting resin film.

以下、本発明に係る樹脂材料に用いられる各成分の詳細、及び本発明に係る樹脂材料の用途などを説明する。 Details of each component used in the resin material according to the present invention and applications of the resin material according to the present invention will be described below.

[エポキシ化合物]
上記樹脂材料は、エポキシ化合物を含む。上記エポキシ化合物として、従来公知のエポキシ化合物を使用可能である。上記エポキシ化合物は、少なくとも1個のエポキシ基を有する有機化合物である。上記エポキシ化合物は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[Epoxy compound]
The resin material includes an epoxy compound. Conventionally known epoxy compounds can be used as the epoxy compound. The epoxy compound is an organic compound having at least one epoxy group. Only one type of the epoxy compound may be used, or two or more types may be used in combination.

上記エポキシ化合物としては、ビスフェノールA型エポキシ化合物、ビスフェノールF型エポキシ化合物、ビスフェノールS型エポキシ化合物、フェノールノボラック型エポキシ化合物、ビフェニル型エポキシ化合物、ビフェニルノボラック型エポキシ化合物、ビフェノール型エポキシ化合物、ナフタレン型エポキシ化合物、フルオレン型エポキシ化合物、フェノールアラルキル型エポキシ化合物、ナフトールアラルキル型エポキシ化合物、ジシクロペンタジエン型エポキシ化合物、アントラセン型エポキシ化合物、アダマンタン骨格を有するエポキシ化合物、トリシクロデカン骨格を有するエポキシ化合物、ナフチレンエーテル型エポキシ化合物、及びトリアジン核を骨格に有するエポキシ化合物等が挙げられる。 Examples of the epoxy compounds include bisphenol A type epoxy compounds, bisphenol F type epoxy compounds, bisphenol S type epoxy compounds, phenol novolac type epoxy compounds, biphenyl type epoxy compounds, biphenyl novolac type epoxy compounds, biphenol type epoxy compounds, and naphthalene type epoxy compounds. , fluorene type epoxy compound, phenol aralkyl type epoxy compound, naphthol aralkyl type epoxy compound, dicyclopentadiene type epoxy compound, anthracene type epoxy compound, epoxy compound having adamantane skeleton, epoxy compound having tricyclodecane skeleton, naphthylene ether type Epoxy compounds, epoxy compounds having a triazine core in the skeleton, and the like are included.

誘電正接をより一層低くし、かつ硬化物の熱寸法安定性及び難燃性を高める観点からは、上記エポキシ化合物は、芳香族骨格を有するエポキシ化合物を含むことが好ましく、ナフタレン骨格又はフェニル骨格を有するエポキシ化合物を含むことが好ましく、芳香族骨格を有するエポキシ化合物であることがより好ましい。 From the viewpoint of further lowering the dielectric loss tangent and improving the thermal dimensional stability and flame retardancy of the cured product, the epoxy compound preferably contains an epoxy compound having an aromatic skeleton, such as a naphthalene skeleton or a phenyl skeleton. and more preferably an epoxy compound having an aromatic skeleton.

誘電正接をより一層低くし、かつ硬化物の線膨張係数(CTE)を良好にする観点からは、上記エポキシ化合物は、25℃で液状のエポキシ化合物と、25℃で固形のエポキシ化合物とを含むことが好ましい。 From the viewpoint of further lowering the dielectric loss tangent and improving the coefficient of linear expansion (CTE) of the cured product, the epoxy compound includes an epoxy compound that is liquid at 25°C and an epoxy compound that is solid at 25°C. is preferred.

上記25℃で液状のエポキシ化合物の25℃での粘度は、1000mPa・s以下であることが好ましく、500mPa・s以下であることがより好ましい。 The viscosity at 25°C of the epoxy compound that is liquid at 25°C is preferably 1000 mPa·s or less, more preferably 500 mPa·s or less.

上記エポキシ化合物の粘度は、例えば動的粘弾性測定装置(レオロジカ・インスツルメンツ社製「VAR-100」)等を用いて測定することができる。 The viscosity of the epoxy compound can be measured using, for example, a dynamic viscoelasticity measuring device ("VAR-100" manufactured by Rheological Instruments).

上記エポキシ化合物の分子量は1000以下であることがより好ましい。この場合には、樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、無機充填材の含有量が50重量%以上であっても、絶縁層の形成時に流動性が高い樹脂材料が得られる。このため、樹脂材料の未硬化物又はBステージ化物を回路基板上にラミネートした場合に、無機充填材を均一に存在させることができる。 More preferably, the epoxy compound has a molecular weight of 1,000 or less. In this case, even if the content of the inorganic filler is 50% by weight or more in 100% by weight of the components excluding the solvent in the resin material, the resin material has high fluidity when forming the insulating layer. Therefore, when an uncured resin material or B-staged resin material is laminated on a circuit board, the inorganic filler can be uniformly present.

上記エポキシ化合物の分子量は、上記エポキシ化合物が重合体ではない場合、及び上記エポキシ化合物の構造式が特定できる場合には、当該構造式から算出できる分子量を意味する。また、上記エポキシ化合物の分子量は、上記エポキシ化合物が重合体である場合には、重量平均分子量を意味する。 The molecular weight of the epoxy compound means the molecular weight that can be calculated from the structural formula when the epoxy compound is not a polymer and when the structural formula of the epoxy compound can be specified. Further, the molecular weight of the epoxy compound means the weight average molecular weight when the epoxy compound is a polymer.

上記樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、上記エポキシ化合物の含有量は、好ましくは4重量%以上、より好ましくは8重量%以上、好ましくは30重量%以下、より好ましくは25重量%以下である。上記エポキシ化合物の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化物の熱寸法安定性をより一層高めることができ、硬化物の反りをより一層効果的に抑えることができる。 The content of the epoxy compound is preferably 4% by weight or more, more preferably 8% by weight or more, preferably 30% by weight or less, and more preferably 25% by weight in 100% by weight of the components excluding the solvent in the resin material. It is below. When the content of the epoxy compound is not less than the lower limit and not more than the upper limit, the thermal dimensional stability of the cured product can be further enhanced, and warping of the cured product can be more effectively suppressed.

上記樹脂材料中の無機充填材及び溶剤を除く成分100重量%中、上記エポキシ化合物の含有量は、好ましくは15重量%以上、より好ましくは20重量%以上、更に好ましくは50重量%以上、好ましくは45重量%以下である。上記エポキシ化合物の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化物の熱寸法安定性をより一層高めることができ、硬化物の反りをより一層効果的に抑えることができる。 The content of the epoxy compound is preferably 15% by weight or more, more preferably 20% by weight or more, and still more preferably 50% by weight or more, in 100% by weight of the resin material excluding the inorganic filler and the solvent. is 45% by weight or less. When the content of the epoxy compound is not less than the lower limit and not more than the upper limit, the thermal dimensional stability of the cured product can be further enhanced, and warping of the cured product can be more effectively suppressed.

[無機充填材]
上記樹脂材料は、無機充填材を含む。上記無機充填材の使用により、硬化物の誘電正接をより一層低くすることができる。また、上記無機充填材の使用により、硬化物の熱による寸法変化がより一層小さくなる。上記無機充填材は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[Inorganic filler]
The resin material contains an inorganic filler. By using the inorganic filler, the dielectric loss tangent of the cured product can be further reduced. In addition, the use of the inorganic filler further reduces the dimensional change of the cured product due to heat. Only one kind of the inorganic filler may be used, or two or more kinds thereof may be used in combination.

上記無機充填材としては、シリカ、タルク、クレイ、マイカ、ハイドロタルサイト、アルミナ、酸化マグネシウム、水酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、及び窒化ホウ素等が挙げられる。 Examples of the inorganic filler include silica, talc, clay, mica, hydrotalcite, alumina, magnesium oxide, aluminum hydroxide, aluminum nitride, and boron nitride.

硬化物の表面の表面粗さを小さくし、硬化物と金属層とのメッキピール強度をより一層高くし、かつ硬化物の表面により一層微細な配線を形成し、かつ硬化物により良好な絶縁信頼性を付与する観点からは、上記無機充填材は、シリカ又はアルミナであることが好ましく、シリカであることがより好ましく、溶融シリカであることが更に好ましい。シリカの使用により、硬化物の熱膨張率がより一層低くなり、また、硬化物の誘電正接がより一層低くなる。また、シリカの使用により、硬化物の表面の表面粗さが効果的に小さくなり、硬化物と金属層との接着強度が効果的に高くなる。シリカの形状は球状であることが好ましい。 The surface roughness of the cured product is reduced, the plating peel strength between the cured product and the metal layer is further increased, finer wiring is formed on the surface of the cured product, and the cured product has better insulation reliability. From the viewpoint of imparting properties, the inorganic filler is preferably silica or alumina, more preferably silica, and even more preferably fused silica. By using silica, the thermal expansion coefficient of the cured product is further lowered, and the dielectric loss tangent of the cured product is further lowered. In addition, the use of silica effectively reduces the surface roughness of the cured product and effectively increases the adhesive strength between the cured product and the metal layer. The shape of silica is preferably spherical.

硬化環境によらず、樹脂の硬化を進め、硬化物のガラス転移温度を効果的に高くし、硬化物の熱線膨張係数を効果的に小さくする観点からは、上記無機充填材は球状シリカであることが好ましい。 From the viewpoint of promoting curing of the resin, effectively increasing the glass transition temperature of the cured product, and effectively decreasing the thermal linear expansion coefficient of the cured product, regardless of the curing environment, the inorganic filler is spherical silica. is preferred.

上記無機充填材の平均粒径は、好ましくは50nm以上、より好ましくは100nm以上、更に好ましくは500nm以上であり、好ましくは5μm以下、より好ましくは3μm以下、更に好ましくは1μm以下である。上記無機充填材の平均粒径が上記下限以上及び上記上限以下であると、エッチング後の表面粗度を小さくし、かつメッキピール強度を高くすることができ、また、絶縁層と金属層との密着性をより一層高めることができる。 The average particle diameter of the inorganic filler is preferably 50 nm or more, more preferably 100 nm or more, still more preferably 500 nm or more, and preferably 5 μm or less, more preferably 3 μm or less, and still more preferably 1 μm or less. When the average particle size of the inorganic filler is equal to or more than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the surface roughness after etching can be reduced and the peel strength of the plating can be increased. Adhesion can be further enhanced.

上記無機充填材の平均粒径として、50%となるメディアン径(d50)の値が採用される。上記平均粒径は、レーザー回折散乱方式の粒度分布測定装置を用いて測定可能である。 As the average particle diameter of the inorganic filler, a median diameter (d50) of 50% is adopted. The average particle size can be measured using a laser diffraction scattering type particle size distribution analyzer.

上記無機充填材は、球状であることが好ましく、球状シリカであることがより好ましい。この場合には、硬化物の表面の表面粗さが効果的に小さくなり、更に硬化物と金属層との接着強度が効果的に高くなる。上記無機充填材が球状である場合には、上記無機充填材のアスペクト比は好ましくは2以下、より好ましくは1.5以下である。 The inorganic filler is preferably spherical, more preferably spherical silica. In this case, the surface roughness of the surface of the cured product is effectively reduced, and the adhesive strength between the cured product and the metal layer is effectively increased. When the inorganic filler is spherical, the aspect ratio of the inorganic filler is preferably 2 or less, more preferably 1.5 or less.

上記無機充填材は、表面処理されていることが好ましく、カップリング剤による表面処理物であることがより好ましく、シランカップリング剤による表面処理物であることが更に好ましい。上記無機充填材が表面処理されていることにより、粗化硬化物の表面の表面粗さがより一層小さくなり、硬化物と金属層との接着強度がより一層高くなる。また、上記無機充填材が表面処理されていることにより、硬化物の表面により一層微細な配線を形成することができ、かつより一層良好な配線間絶縁信頼性及び層間絶縁信頼性を硬化物に付与することができる。 The inorganic filler is preferably surface-treated, more preferably surface-treated with a coupling agent, and even more preferably surface-treated with a silane coupling agent. By surface-treating the inorganic filler, the surface roughness of the surface of the roughened cured product is further reduced, and the adhesive strength between the cured product and the metal layer is further increased. In addition, since the inorganic filler is surface-treated, it is possible to form finer wiring on the surface of the cured product, and the cured product has better inter-wiring insulation reliability and interlayer insulation reliability. can be granted.

上記カップリング剤としては、シランカップリング剤、チタンカップリング剤及びアルミニウムカップリング剤等が挙げられる。上記シランカップリング剤としては、メタクリルシラン、アクリルシラン、アミノシラン、イミダゾールシラン、ビニルシラン、及びエポキシシラン等が挙げられる。 Examples of the coupling agent include silane coupling agents, titanium coupling agents and aluminum coupling agents. Examples of the silane coupling agent include methacrylsilane, acrylsilane, aminosilane, imidazolesilane, vinylsilane, and epoxysilane.

樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、上記無機充填材の含有量は、好ましくは50重量%以上、より好ましくは60重量%以上、更に好ましくは65重量%以上、特に好ましくは68重量%以上、好ましくは90重量%以下、より好ましくは85重量%以下、更に好ましくは80重量%以下、特に好ましくは75重量%以下である。上記無機充填材の含有量が上記下限以上であると、誘電正接が効果的に低くなる。上記無機充填材の含有量が上記上限以下であると、樹脂材料の保存安定性を高めることができ、また、硬化物の熱寸法安定性を高めることができ、また、メッキピール強度のばらつきを効果的に抑えることができる。上記無機充填材の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化物の表面の表面粗さをより一層小さくすることができ、かつ硬化物の表面により一層微細な配線を形成することができる。さらに、この無機充填材の含有量であれば、硬化物の熱膨張率を低くすることと同時に、スミア除去性を良好にすることも可能である。 The content of the inorganic filler is preferably 50% by weight or more, more preferably 60% by weight or more, still more preferably 65% by weight or more, and particularly preferably 68% by weight in 100% by weight of the components excluding the solvent in the resin material. % or more, preferably 90% by weight or less, more preferably 85% by weight or less, still more preferably 80% by weight or less, and particularly preferably 75% by weight or less. When the content of the inorganic filler is at least the lower limit, the dielectric loss tangent is effectively lowered. When the content of the inorganic filler is equal to or less than the above upper limit, the storage stability of the resin material can be enhanced, the thermal dimensional stability of the cured product can be enhanced, and variations in plating peel strength can be reduced. can be effectively suppressed. When the content of the inorganic filler is not less than the lower limit and not more than the upper limit, the surface roughness of the surface of the cured product can be further reduced, and finer wiring can be formed on the surface of the cured product. can be done. Furthermore, with this inorganic filler content, it is possible to lower the coefficient of thermal expansion of the cured product and to improve the smear removability.

[硬化剤]
上記樹脂材料は、硬化剤を含む。上記硬化剤は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[Curing agent]
The resin material contains a curing agent. Only one kind of the curing agent may be used, or two or more kinds thereof may be used in combination.

<化合物A>
上記樹脂材料は、硬化剤として、下記式(11)又は下記式(12)で表される構造を有する化合物を含む。本明細書において、「下記式(11)で表される構造を有する化合物」を「化合物A1」と記載することがあり、「下記式(12)で表される構造を有する化合物」を「化合物A2」と記載することがある。また、本明細書において、「下記式(11)又は下記式(12)で表される構造を有する化合物」を「化合物A」と記載することがある。したがって、本発明に係る樹脂材料は、化合物Aを含む。本発明に係る樹脂材料は、化合物Aとして、化合物A1のみを含んでいてもよく、化合物A2のみを含んでいてもよく、化合物A1と化合物A2との双方を含んでいてもよい。上記化合物Aは、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
<Compound A>
The resin material contains, as a curing agent, a compound having a structure represented by the following formula (11) or (12). In this specification, "a compound having a structure represented by the following formula (11)" may be described as "compound A1", and "a compound having a structure represented by the following formula (12)" may be referred to as a "compound A2". In addition, in this specification, "a compound having a structure represented by the following formula (11) or the following formula (12)" may be referred to as "compound A". Therefore, the resin material according to the present invention contains compound A. As the compound A, the resin material according to the present invention may contain only the compound A1, may contain only the compound A2, or may contain both the compound A1 and the compound A2. Only one kind of compound A may be used, or two or more kinds thereof may be used in combination.

Figure 0007226954000005
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上記式(11)中、R1及びR2はそれぞれ、水素原子、又は炭素数が1以上20以下の有機基を表す。 In formula (11) above, R1 and R2 each represent a hydrogen atom or an organic group having from 1 to 20 carbon atoms.

Figure 0007226954000006
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上記式(12)中、R3は、窒素原子ともにヘテロ環を構成する基を表す。 In the above formula (12), R3 represents a group forming a heterocyclic ring together with the nitrogen atom.

硬化剤としてカルボジイミド化合物を用いる場合には、上記エポキシ化合物の硬化反応が急激に進行し、硬化物の反りが生じやすい。また、カルボジイミド基(-N=C=N-)は、金属層と過度に相互作用しやすいためメッキピール強度がばらつきやすい。また、硬化剤としてカルボジイミド化合物を用い、かつ樹脂材料中に無機充填材が比較的多く配合されている場合(例えば、樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、無機充填材の含有量が50重量%以上の場合)には、無機充填材の分散性が悪化し、デスミア後の表面粗度がばらつきやすく、メッキピール強度がより一層ばらつきやすい。 When a carbodiimide compound is used as the curing agent, the curing reaction of the epoxy compound proceeds rapidly, and the cured product tends to warp. In addition, the carbodiimide group (-N=C=N-) tends to excessively interact with the metal layer, so that the plating peel strength tends to vary. In addition, when a carbodiimide compound is used as a curing agent and a relatively large amount of inorganic filler is blended in the resin material (for example, the content of the inorganic filler is 50% by weight or more), the dispersibility of the inorganic filler deteriorates, the surface roughness after desmearing tends to vary, and the plating peel strength tends to vary more.

これに対して、上記式(11)又は上記式(12)で表される構造を有する化合物Aを用いる場合には、上記カルボジイミド化合物を用いる場合と比べて、エポキシ化合物の硬化反応を緩やかに進行させることができる。また、上記式(11)又は上記式(12)で表される構造は、カルボジイミド基と比べて金属層との相互作用を良好にすることができる。このため、本発明に係る樹脂材料では、硬化物の反りを抑えることができ、かつメッキピール強度のばらつきを抑えることができる。本発明に係る樹脂材料では、樹脂材料中に無機充填材が比較的多く配合されている場合であっても、メッキピール強度のばらつきを効果的に抑えることができる。 On the other hand, when compound A having a structure represented by formula (11) or (12) is used, the curing reaction of the epoxy compound progresses more slowly than when the carbodiimide compound is used. can be made Moreover, the structure represented by the above formula (11) or the above formula (12) can improve the interaction with the metal layer as compared with the carbodiimide group. Therefore, with the resin material according to the present invention, warping of the cured product can be suppressed, and variations in plating peel strength can be suppressed. The resin material according to the present invention can effectively suppress variations in plating peel strength even when the resin material contains a relatively large amount of inorganic filler.

また、化合物Aを含む樹脂材料では、硬化物の誘電正接を低くすることができ、また、メッキピール強度を高めることができる。 Moreover, the resin material containing the compound A can reduce the dielectric loss tangent of the cured product, and can increase the plating peel strength.

上記化合物Aは、上記式(11)又は上記式(12)で表される構造を1個有していてもよく、複数個有していてもよい。上記化合物A1は、上記式(11)で表される構造を1個有していてもよく、複数個有していてもよい。上記化合物A2は、上記式(12)で表される構造を1個有していてもよく、複数個有していてもよい。 The compound A may have one structure represented by the formula (11) or the formula (12), or may have a plurality of structures. The compound A1 may have one structure represented by the formula (11), or may have a plurality of structures. The compound A2 may have one structure represented by the formula (12), or may have a plurality of structures.

上記式(11)中、R1及びR2はそれぞれ、水素原子、又は炭素数が1以上20以下の有機基を表す。上記式(11)中、R1とR2とは同一であってもよく、異なっていてもよい。 In formula (11) above, R1 and R2 each represent a hydrogen atom or an organic group having from 1 to 20 carbon atoms. In formula (11) above, R1 and R2 may be the same or different.

上記式(11)中、R1とR2との組み合わせとしては、例えば、以下の第1の組み合わせ~第3の組み合わせ等が挙げられる。 In the above formula (11), examples of combinations of R1 and R2 include the following first to third combinations.

第1の組み合わせ:水素原子と、水素原子との組み合わせ。 First combination: a combination of a hydrogen atom and a hydrogen atom.

第2の組み合わせ:水素原子と、炭素数が1以上20以下の有機基との組み合わせ。 Second combination: a combination of a hydrogen atom and an organic group having 1 to 20 carbon atoms.

第3の組み合わせ:炭素数が1以上20以下の有機基と、炭素数が1以上20以下の有機基との組み合わせ。 Third combination: a combination of an organic group having 1 to 20 carbon atoms and an organic group having 1 to 20 carbon atoms.

上記式(11)中のR1及びR2において、上記炭素数が1以上20以下の有機基における炭素数は、好ましくは2以上、より好ましくは3以上、好ましくは18以下、より好ましくは16以下である。上記炭素数が1以上20以下の有機基における炭素数が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化物の反り及びメッキピール強度のばらつきをより一層効果的に抑えることができ、また、硬化物の誘電正接をより一層低くすることができ、メッキピール強度をより一層高めることができる。 In R1 and R2 in the formula (11), the number of carbon atoms in the organic group having 1 to 20 carbon atoms is preferably 2 or more, more preferably 3 or more, preferably 18 or less, and more preferably 16 or less. be. When the number of carbon atoms in the organic group having a carbon number of 1 to 20 is at least the lower limit and at most the upper limit, warping of the cured product and variations in plating peel strength can be more effectively suppressed, and curing can be performed. The dielectric loss tangent of the object can be further reduced, and the plating peel strength can be further increased.

硬化物の反り及びメッキピール強度のばらつきをより一層効果的に抑える観点からは、上記式(11)中のR1及びR2における上記炭素数が1以上20以下の有機基は、アルキル基、又は脂環式骨格を有する有機基であることが好ましい。 From the viewpoint of more effectively suppressing the warpage of the cured product and variations in plating peel strength, the organic group having 1 to 20 carbon atoms in R1 and R2 in the above formula (11) is an alkyl group or an oil group. An organic group having a cyclic skeleton is preferred.

上記式(12)中、R3は、窒素原子ともにヘテロ環を構成する基を表す。上記式(12)中、R3と窒素原子とにより形成されているヘテロ環は、ピラゾール環又はイミダゾール環であることが好ましい。なお、上記ピラゾール環及び上記イミダゾール環は置換基を有していてもよい。 In the above formula (12), R3 represents a group forming a heterocyclic ring together with the nitrogen atom. In formula (12) above, the hetero ring formed by R3 and a nitrogen atom is preferably a pyrazole ring or an imidazole ring. In addition, the pyrazole ring and the imidazole ring may have a substituent.

上記化合物Aは、上記第2の組み合わせ、若しくは第3の組み合わせを有する化合物A1であるか、又は化合物A2であることが好ましく、第3の組み合わせを有する化合物A1であるか、又は化合物A2であることがより好ましい。この場合には、硬化物の反り及びメッキピール強度のばらつきをより一層効果的に抑えることができ、また、硬化物の誘電正接をより一層低くすることができ、メッキピール強度をより一層高めることができる。 The compound A is preferably the compound A1 having the second combination or the third combination, or the compound A2, and is the compound A1 having the third combination, or the compound A2. is more preferable. In this case, the warpage of the cured product and variations in the peel strength of the plating can be more effectively suppressed, the dielectric loss tangent of the cured product can be further reduced, and the peel strength of the cured product can be further increased. can be done.

上記化合物Aは、脂環式骨格、又は芳香族骨格を有する化合物であることが好ましい。この場合、上記化合物Aは、上記脂環式骨格のみを有していてもよく、上記芳香族骨格のみを有していてもよく、上記脂環式骨格と上記芳香族骨格との双方を有していてもよい。 The above compound A is preferably a compound having an alicyclic skeleton or an aromatic skeleton. In this case, the compound A may have only the alicyclic skeleton, may have only the aromatic skeleton, or may have both the alicyclic skeleton and the aromatic skeleton. You may have

上記脂環式骨格は、二重結合を有しない飽和脂環式骨格であってもよく、二重結合を有する不飽和脂環式骨格であってもよい。 The alicyclic skeleton may be a saturated alicyclic skeleton having no double bond or an unsaturated alicyclic skeleton having a double bond.

上記脂環式骨格としては、シクロヘキサン骨格、ノルボルネン骨格、及びジシクロペンタジエン骨格等が挙げられる。 Examples of the alicyclic skeleton include a cyclohexane skeleton, a norbornene skeleton, a dicyclopentadiene skeleton, and the like.

硬化物の反り及びメッキピール強度のばらつきをより一層効果的に抑える観点からは、上記脂環式骨格は、シクロヘキサン骨格、又はジシクロペンタジエン骨格であることが好ましい。 The alicyclic skeleton is preferably a cyclohexane skeleton or a dicyclopentadiene skeleton from the viewpoint of more effectively suppressing the warp of the cured product and variations in plating peel strength.

上記芳香族骨格としては、フェニル骨格、ナフタレン骨格、フルオレン骨格、ビフェニル骨格、アントラセン骨格、ピレン骨格、キサンテン骨格、アダマンタン骨格及びビスフェノールA型骨格等が挙げられる。 Examples of the aromatic skeleton include a phenyl skeleton, a naphthalene skeleton, a fluorene skeleton, a biphenyl skeleton, an anthracene skeleton, a pyrene skeleton, a xanthene skeleton, an adamantane skeleton, and a bisphenol A skeleton.

硬化物の反り及びメッキピール強度のばらつきをより一層効果的に抑える観点からは、上記芳香族骨格は、フェニル骨格、ビフェニル骨格、又はナフタレン骨格であることが好ましい。 The aromatic skeleton is preferably a phenyl skeleton, a biphenyl skeleton, or a naphthalene skeleton, from the viewpoint of more effectively suppressing the warp of the cured product and variations in plating peel strength.

上記化合物Aが上記脂環式骨格又は上記芳香族骨格を有する場合に、上記化合物Aは、上記脂環式骨格又は上記芳香族骨格を、上記式(11)又は上記式(12)で表される構造において有していてもよく、上記式(11)又は上記式(12)で表される構造以外の部分において有していてもよい。また、上記化合物A1は、上記脂環式骨格又は上記芳香族骨格を、上記式(11)で表される構造と上記式(11)で表される構造以外の部分との双方において有していてもよい。また、上記化合物A2は、上記脂環式骨格又は上記芳香族骨格を、上記式(12)で表される構造と上記式(12)で表される構造以外の部分との双方において有していてもよい。 When the compound A has the alicyclic skeleton or the aromatic skeleton, the compound A has the alicyclic skeleton or the aromatic skeleton represented by the above formula (11) or the above formula (12). It may be present in the structure represented by the above formula (11) or the portion other than the structure represented by the above formula (12). Further, the compound A1 has the alicyclic skeleton or the aromatic skeleton in both the structure represented by the formula (11) and the portion other than the structure represented by the formula (11). may Further, the compound A2 has the alicyclic skeleton or the aromatic skeleton in both the structure represented by the formula (12) and the portion other than the structure represented by the formula (12). may

上記化合物Aの分子量は、好ましくは400以上、より好ましくは500以上、好ましくは10000以下、より好ましくは5000以下である。上記化合物Aの分子量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化物の反り及びメッキピール強度のばらつきをより一層効果的に抑えることができ、また、硬化物の誘電正接をより一層低くすることができ、メッキピール強度をより一層高めることができる。 The molecular weight of compound A is preferably 400 or more, more preferably 500 or more, preferably 10,000 or less, and more preferably 5,000 or less. When the molecular weight of the compound A is at least the above lower limit and below the above upper limit, it is possible to more effectively suppress the warpage of the cured product and variations in plating peel strength, and further reduce the dielectric loss tangent of the cured product. It is possible to further increase the plating peel strength.

上記エポキシ化合物100重量部に対する上記化合物Aの含有量は、好ましくは1重量部以上、より好ましくは3重量部以上、好ましくは50重量部以下、より好ましくは40重量部以下である。上記化合物Aの含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化物の反り及びメッキピール強度のばらつきをより一層効果的に抑えることができ、また、硬化物の誘電正接をより一層低くすることができ、メッキピール強度をより一層高めることができる。また、上記化合物Aの含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化性により一層優れ、熱寸法安定性をより一層高め、残存未反応成分の揮発をより一層抑制できる。 The content of compound A relative to 100 parts by weight of the epoxy compound is preferably 1 part by weight or more, more preferably 3 parts by weight or more, preferably 50 parts by weight or less, and more preferably 40 parts by weight or less. When the content of the compound A is at least the above lower limit and at most the above upper limit, it is possible to more effectively suppress variations in warpage and plating peel strength of the cured product, and further lower the dielectric loss tangent of the cured product. It is possible to further increase the plating peel strength. Further, when the content of the compound A is at least the lower limit and at most the upper limit, the curability is further improved, the thermal dimensional stability is further improved, and volatilization of residual unreacted components can be further suppressed.

上記硬化剤100重量%中、上記化合物Aの含有量は、好ましくは1重量%以上、より好ましくは3重量%以上、好ましくは50重量%以下、より好ましくは40重量%以下である。上記化合物Aの含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができる。 The content of the compound A in 100% by weight of the curing agent is preferably 1% by weight or more, more preferably 3% by weight or more, preferably 50% by weight or less, and more preferably 40% by weight or less. When the content of compound A is at least the lower limit and at most the upper limit, the effects of the present invention can be exhibited more effectively.

<硬化剤X>
上記樹脂材料は、硬化剤として、下記式(X1)で表される構造及び下記式(X2)で表される構造の双方の構造を有さない硬化剤(以下、「硬化剤X」と記載することがある)を含むことが好ましい。上記硬化剤Xは、上記化合物Aとは異なる硬化剤である。上記硬化剤Xは、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
<Curing agent X>
The resin material is a curing agent that does not have a structure represented by the following formula (X1) or a structure represented by the following formula (X2) (hereinafter referred to as “curing agent X”). may be used). The curing agent X is a curing agent different from the compound A described above. Only one kind of the curing agent X may be used, or two or more kinds thereof may be used in combination.

Figure 0007226954000007
Figure 0007226954000007

上記式(X1)中、R1及びR2はそれぞれ、水素原子、又は炭素数が1以上20以下の有機基を表す。 In formula (X1) above, R1 and R2 each represent a hydrogen atom or an organic group having 1 to 20 carbon atoms.

Figure 0007226954000008
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上記式(X2)中、R3は、窒素原子ともにヘテロ環を構成する基を表す。 In formula (X2) above, R3 represents a group forming a heterocyclic ring together with the nitrogen atom.

上記硬化剤Xとしては、シアネートエステル化合物(シアネートエステル硬化剤)、アミン化合物(アミン硬化剤)、チオール化合物(チオール硬化剤)、イミダゾール化合物、ホスフィン化合物、ジシアンジアミド、フェノール化合物(フェノール硬化剤)、酸無水物、活性エステル化合物(活性エステル硬化剤)、カルボジイミド化合物(カルボジイミド硬化剤)、マレイミド化合物(マレイミド硬化剤)及びベンゾオキサジン化合物(ベンゾオキサジン硬化剤)等が挙げられる。上記硬化剤Xは、上記エポキシ化合物のエポキシ基と反応可能な官能基を有することが好ましい。 As the curing agent X, cyanate ester compound (cyanate ester curing agent), amine compound (amine curing agent), thiol compound (thiol curing agent), imidazole compound, phosphine compound, dicyandiamide, phenol compound (phenol curing agent), acid Examples include anhydrides, active ester compounds (active ester curing agents), carbodiimide compounds (carbodiimide curing agents), maleimide compounds (maleimide curing agents) and benzoxazine compounds (benzoxazine curing agents). The curing agent X preferably has a functional group capable of reacting with the epoxy group of the epoxy compound.

硬化物の反り及びメッキピール強度のばらつきをより一層効果的に抑える観点からは、上記硬化剤Xは、上記活性エステル化合物、上記マレイミド化合物、又は上記シアネートエステル化合物であることが好ましく、上記活性エステル化合物であることがより好ましい。上記硬化剤は、上記活性エステル化合物、上記マレイミド化合物、又は上記シアネートエステル化合物を含むことが好ましく、上記活性エステル化合物を含むことがより好ましい。 From the viewpoint of more effectively suppressing the warpage of the cured product and variations in plating peel strength, the curing agent X is preferably the active ester compound, the maleimide compound, or the cyanate ester compound. Compounds are more preferred. The curing agent preferably contains the active ester compound, the maleimide compound, or the cyanate ester compound, and more preferably contains the active ester compound.

上記活性エステル化合物は、エステル結合を少なくとも1つ有し、かつエステル結合の両側に、脂肪族鎖、脂肪族環又は芳香族環が結合している化合物である。上記活性エステル化合物は、例えばカルボン酸化合物又はチオカルボン酸化合物と、ヒドロキシ化合物又はチオール化合物との縮合反応によって得られる。上記活性エステル化合物の例としては、下記式(2)で表される化合物が挙げられる。 The active ester compound is a compound having at least one ester bond, and an aliphatic chain, an aliphatic ring, or an aromatic ring bonded to both sides of the ester bond. The active ester compound is obtained, for example, by a condensation reaction between a carboxylic acid compound or a thiocarboxylic acid compound and a hydroxy compound or a thiol compound. Examples of the active ester compound include compounds represented by the following formula (2).

Figure 0007226954000009
Figure 0007226954000009

上記式(2)中、X1は、脂肪族鎖を含む基、脂肪族環を含む基又は芳香族環を含む基を表し、X2は、芳香族環を含む基を表す。上記芳香族環を含む基の好ましい例としては、置換基を有していてもよいベンゼン環、及び置換基を有していてもよいナフタレン環等が挙げられる。上記置換基としては、炭化水素基が挙げられる。該炭化水素基の炭素数は、好ましくは12以下、より好ましくは6以下、更に好ましくは4以下である。 In formula (2) above, X1 represents an aliphatic chain-containing group, an aliphatic ring-containing group, or an aromatic ring-containing group, and X2 represents an aromatic ring-containing group. Preferred examples of the aromatic ring-containing group include an optionally substituted benzene ring and an optionally substituted naphthalene ring. A hydrocarbon group is mentioned as said substituent. The number of carbon atoms in the hydrocarbon group is preferably 12 or less, more preferably 6 or less, still more preferably 4 or less.

上記式(2)中、X1及びX2の組み合わせとしては、置換基を有していてもよいベンゼン環と、置換基を有していてもよいベンゼン環との組み合わせ、置換基を有していてもよいベンゼン環と、置換基を有していてもよいナフタレン環との組み合わせが挙げられる。さらに、上記式(2)中、X1及びX2の組み合わせとしては、置換基を有していてもよいナフタレン環と、置換基を有していてもよいナフタレン環との組み合わせが挙げられる。 In the above formula (2), the combination of X1 and X2 includes a combination of a benzene ring which may have a substituent and a benzene ring which may have a substituent, and a combination of a benzene ring, which may have a substituent, and a naphthalene ring, which may have a substituent. Furthermore, in the above formula (2), the combination of X1 and X2 includes a combination of an optionally substituted naphthalene ring and an optionally substituted naphthalene ring.

上記活性エステル化合物は特に限定されない。熱寸法安定性及び難燃性を高める観点からは、上記活性エステル化合物は、2個以上の芳香族骨格を有する活性エステル化合物であることが好ましい。硬化物の誘電正接を低くし、かつ硬化物の熱寸法安定性を高める観点から、上記活性エステル化合物の主鎖骨格中にナフタレン環を有することがより好ましい。 The active ester compound is not particularly limited. From the viewpoint of enhancing thermal dimensional stability and flame retardancy, the active ester compound is preferably an active ester compound having two or more aromatic skeletons. From the viewpoint of reducing the dielectric loss tangent of the cured product and enhancing the thermal dimensional stability of the cured product, it is more preferable to have a naphthalene ring in the main chain skeleton of the active ester compound.

上記活性エステル化合物の市販品としては、DIC社製「HPC-8000-65T」、「EXB9416-70BK」、「EXB8100-65T」及び「HPC-8150-60T」等が挙げられる。 Commercially available products of the active ester compound include DIC's "HPC-8000-65T", "EXB9416-70BK", "EXB8100-65T" and "HPC-8150-60T".

上記エポキシ化合物100重量部に対する上記活性エステル化合物の含有量は、好ましくは30重量部以上、より好ましくは35重量部以上、好ましくは150重量部以下、より好ましくは120重量部以下である。上記活性エステル化合物の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化性により一層優れ、また、硬化物の反り及びメッキピール強度のばらつきをより一層効果的に抑えることができる。 The content of the active ester compound with respect to 100 parts by weight of the epoxy compound is preferably 30 parts by weight or more, more preferably 35 parts by weight or more, preferably 150 parts by weight or less, and more preferably 120 parts by weight or less. When the content of the active ester compound is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the curability is further improved, and warpage of the cured product and variation in plating peel strength can be more effectively suppressed.

上記硬化剤100重量%中、上記活性エステル化合物の含有量は、好ましくは50重量%以上、より好ましくは60重量%以上、好ましくは99重量%以下、より好ましくは98重量%以下である。上記活性エステル化合物の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができる。 The content of the active ester compound in 100% by weight of the curing agent is preferably 50% by weight or more, more preferably 60% by weight or more, preferably 99% by weight or less, and more preferably 98% by weight or less. When the content of the active ester compound is equal to or more than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the effects of the present invention can be exhibited more effectively.

上記マレイミド化合物は、ビスマレイミド化合物であってもよい。 The maleimide compound may be a bismaleimide compound.

上記ビスマレイミド化合物としては、芳香族ビスマレイミド化合物、及び脂肪族ビスマレイミド化合物等が挙げられる。 Examples of the bismaleimide compound include aromatic bismaleimide compounds and aliphatic bismaleimide compounds.

上記脂肪族ビスマレイミド化合物としては、N-アルキルビスマレイミド化合物等が挙げられる。 Examples of the aliphatic bismaleimide compound include N-alkylbismaleimide compounds.

誘電正接を低くし、硬化温度を低く抑える観点からは、上記マレイミド化合物は、N-アルキルビスマレイミド化合物であることが好ましい。 The maleimide compound is preferably an N-alkylbismaleimide compound from the viewpoint of lowering the dielectric loss tangent and keeping the curing temperature low.

上記N-アルキルビスマレイミド化合物の市販品としては、Designer Molecules Inc.社製「BMI-1500」、及び「BMI-1700」、「BMI-3000」等が挙げられる。 Commercially available products of the above N-alkylbismaleimide compound include Designer Molecules Inc.; "BMI-1500", "BMI-1700", and "BMI-3000" manufactured by the same company.

上記シアネートエステル化合物としては、ノボラック型シアネートエステル樹脂、ビスフェノール型シアネートエステル樹脂、並びにこれらが一部三量化されたプレポリマー等が挙げられる。上記ノボラック型シアネートエステル樹脂としては、フェノールノボラック型シアネートエステル樹脂及びアルキルフェノール型シアネートエステル樹脂等が挙げられる。上記ビスフェノール型シアネートエステル樹脂としては、ビスフェノールA型シアネートエステル樹脂、ビスフェノールE型シアネートエステル樹脂及びテトラメチルビスフェノールF型シアネートエステル樹脂等が挙げられる。 Examples of the cyanate ester compound include novolak-type cyanate-ester resins, bisphenol-type cyanate-ester resins, and prepolymers obtained by partially trimerizing these. Examples of the novolak-type cyanate ester resins include phenol novolac-type cyanate ester resins and alkylphenol-type cyanate ester resins. Examples of the bisphenol type cyanate ester resin include bisphenol A type cyanate ester resin, bisphenol E type cyanate ester resin and tetramethylbisphenol F type cyanate ester resin.

上記シアネートエステル化合物の市販品としては、フェノールノボラック型シアネートエステル樹脂(ロンザジャパン社製「PT-30」及び「PT-60」)、並びにビスフェノール型シアネートエステル樹脂が三量化されたプレポリマー(ロンザジャパン社製「BA-230S」、「BA-3000S」、「BTP-1000S」及び「BTP-6020S」)等が挙げられる。 Commercially available products of the above cyanate ester compounds include phenol novolac type cyanate ester resins (“PT-30” and “PT-60” manufactured by Lonza Japan Co., Ltd.) and prepolymers in which bisphenol type cyanate ester resins are trimerized (Lonza Japan "BA-230S", "BA-3000S", "BTP-1000S" and "BTP-6020S" manufactured by the same company).

上記エポキシ化合物100重量部に対する上記シアネートエステル化合物の含有量は、好ましくは20重量部以上、より好ましくは25重量部以上、好ましくは150重量部以下、より好ましくは120重量部以下である。上記シアネートエステル化合物の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化性により一層優れ、また、硬化物の反り及びメッキピール強度のばらつきをより一層効果的に抑えることができる。 The content of the cyanate ester compound with respect to 100 parts by weight of the epoxy compound is preferably 20 parts by weight or more, more preferably 25 parts by weight or more, preferably 150 parts by weight or less, and more preferably 120 parts by weight or less. When the content of the cyanate ester compound is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the curability is further improved, and warping of the cured product and variations in plating peel strength can be more effectively suppressed.

上記硬化剤100重量%中、上記シアネートエステル化合物の含有量は、好ましくは15重量%以上、より好ましくは20重量%以上、好ましくは80重量%以下、より好ましくは70重量%以下である。上記シアネートエステル化合物の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができる。 The content of the cyanate ester compound in 100% by weight of the curing agent is preferably 15% by weight or more, more preferably 20% by weight or more, preferably 80% by weight or less, and more preferably 70% by weight or less. When the content of the cyanate ester compound is not less than the lower limit and not more than the upper limit, the effects of the present invention can be exhibited more effectively.

上記フェノール化合物としては、ノボラック型フェノール、ビフェノール型フェノール、ナフタレン型フェノール、ジシクロペンタジエン型フェノール、アラルキル型フェノール及びジシクロペンタジエン型フェノール等が挙げられる。 Examples of the phenol compound include novolak-type phenol, biphenol-type phenol, naphthalene-type phenol, dicyclopentadiene-type phenol, aralkyl-type phenol, and dicyclopentadiene-type phenol.

上記フェノール化合物の市販品としては、ノボラック型フェノール(DIC社製「TD-2091」)、ビフェニルノボラック型フェノール(明和化成社製「MEH-7851」)、アラルキル型フェノール化合物(明和化成社製「MEH-7800」)、並びにアミノトリアジン骨格を有するフェノール(DIC社製「LA1356」及び「LA3018-50P」)等が挙げられる。 Commercially available products of the above phenol compounds include novolak phenol (manufactured by DIC Corporation "TD-2091"), biphenyl novolak phenol (manufactured by Meiwa Kasei Co., Ltd. "MEH-7851"), aralkyl phenol compounds (manufactured by Meiwa Kasei Co., Ltd. "MEH -7800”), and phenols having an aminotriazine skeleton (manufactured by DIC “LA1356” and “LA3018-50P”).

上記酸無水物としては、テトラヒドロフタル酸無水物、及びアルキルスチレン-無水マレイン酸共重合体等が挙げられる。 Examples of the acid anhydride include tetrahydrophthalic anhydride and alkylstyrene-maleic anhydride copolymer.

上記酸無水物の市販品としては、新日本理化社製「リカシッド TDA-100」等が挙げられる。 Commercially available products of the above acid anhydrides include "Rikashid TDA-100" manufactured by Shin Nippon Rika Co., Ltd., and the like.

本発明の効果を損なわない範囲で、本発明に係る樹脂材料は、上記カルボジイミド化合物を含んでいてもよい。 The resin material according to the present invention may contain the carbodiimide compound as long as the effects of the present invention are not impaired.

上記カルボジイミド化合物は、下記式(3)で表される構造単位を有する化合物である。下記式(3)において、右端部及び左端部は、他の基との結合部位である。上記カルボジイミド化合物は1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。 The carbodiimide compound is a compound having a structural unit represented by the following formula (3). In the following formula (3), the right end and left end are bonding sites with other groups. Only one kind of the carbodiimide compound may be used, or two or more kinds thereof may be used in combination.

Figure 0007226954000010
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上記式(3)中、Xは、アルキレン基、アルキレン基に置換基が結合した基、シクロアルキレン基、シクロアルキレン基に置換基が結合した基、アリーレン基、又はアリーレン基に置換基が結合した基を表し、pは1以上5以下の整数を表す。Xが複数存在する場合、複数のXは同一であってもよく、異なっていてもよい。 In the above formula (3), X is an alkylene group, an alkylene group to which a substituent is bonded, a cycloalkylene group, a cycloalkylene group to which a substituent is bonded, an arylene group, or an arylene group to which a substituent is bonded group, and p represents an integer of 1 or more and 5 or less. When there are multiple X's, the multiple X's may be the same or different.

上記式(3)中、少なくとも1つのXは、アルキレン基、アルキレン基に置換基が結合した基、シクロアルキレン基、又はシクロアルキレン基に置換基が結合した基であることが好ましい。 In the above formula (3), at least one X is preferably an alkylene group, a group in which a substituent is bonded to an alkylene group, a cycloalkylene group, or a group in which a substituent is bonded to a cycloalkylene group.

上記カルボジイミド化合物の市販品としては、日清紡ケミカル社製「カルボジライト V-02B」、「カルボジライト V-03」、「カルボジライト V-04K」、「カルボジライト V-07」、「カルボジライト V-09」、「カルボジライト 10M-SP」、及び「カルボジライト 10M-SP(改)」、並びに、ラインケミー社製「スタバクゾールP」、「スタバクゾールP400」、及び「ハイカジル510」等が挙げられる。 Commercially available carbodiimide compounds include Nisshinbo Chemical Co., Ltd. "Carbodilite V-02B", "Carbodilite V-03", "Carbodilite V-04K", "Carbodilite V-07", "Carbodilite V-09", "Carbodilite 10M-SP" and "Carbodilite 10M-SP (improved)", and "Stabaxol P", "Stabaxol P400" and "Hykasil 510" manufactured by Rhein Chemie.

本発明の効果を効果的に発揮される観点からは、本発明に係る樹脂材料は、上記カルボジイミド化合物を含まないことが最も好ましい。本発明に係る樹脂材料が上記カルボジイミド化合物を含む場合に、上記エポキシ化合物100重量部に対する上記カルボジイミド化合物の含有量は、好ましくは5重量部以下、より好ましくは3重量部以下、更に好ましくは1重量部以下である。 From the viewpoint of effectively exhibiting the effects of the present invention, it is most preferable that the resin material according to the present invention does not contain the carbodiimide compound. When the resin material according to the present invention contains the carbodiimide compound, the content of the carbodiimide compound with respect to 100 parts by weight of the epoxy compound is preferably 5 parts by weight or less, more preferably 3 parts by weight or less, and still more preferably 1 part by weight. It is below the department.

上記エポキシ化合物100重量部に対する上記硬化剤Xの含有量は、好ましくは70重量部以上、より好ましくは85重量部以上、好ましくは150重量部以下、より好ましくは120重量部以下である。上記硬化剤Xの含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化性により一層優れ、熱寸法安定性をより一層高め、残存未反応成分の揮発をより一層抑制できる。 The content of the curing agent X with respect to 100 parts by weight of the epoxy compound is preferably 70 parts by weight or more, more preferably 85 parts by weight or more, preferably 150 parts by weight or less, and more preferably 120 parts by weight or less. When the content of the curing agent X is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the curability is further improved, the thermal dimensional stability is further improved, and volatilization of residual unreacted components can be further suppressed.

上記硬化剤100重量%中、上記硬化剤Xの含有量は、好ましくは、30重量%以上、より好ましくは40重量%以上、好ましくは99重量%以下、より好ましくは98重量%以下である。上記硬化剤Xの含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができる。 The content of the curing agent X in 100% by weight of the curing agent is preferably 30% by weight or more, more preferably 40% by weight or more, preferably 99% by weight or less, and more preferably 98% by weight or less. When the content of the curing agent X is equal to or more than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the effects of the present invention can be exhibited more effectively.

[硬化促進剤]
上記樹脂材料は、硬化促進剤を含むことが好ましい。上記硬化促進剤の使用により、硬化速度がより一層速くなる。樹脂材料を速やかに硬化させることで、硬化物における架橋構造が均一になると共に、未反応の官能基数が減り、結果的に架橋密度が高くなる上記硬化促進剤は特に限定されず、従来公知の硬化促進剤を使用可能である。上記硬化促進剤は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[Curing accelerator]
The resin material preferably contains a curing accelerator. The use of the curing accelerator makes the curing speed even faster. By rapidly curing the resin material, the crosslinked structure in the cured product becomes uniform, the number of unreacted functional groups is reduced, and the crosslink density is increased. Curing accelerators can be used. Only one kind of the curing accelerator may be used, or two or more kinds thereof may be used in combination.

上記硬化促進剤としては、例えば、イミダゾール化合物等のアニオン性硬化促進剤、アミン化合物等のカチオン性硬化促進剤、リン化合物及び有機金属化合物等のアニオン性及びカチオン性硬化促進剤以外の硬化促進剤、並びに過酸化物等のラジカル性硬化促進剤等が挙げられる。 Examples of the curing accelerator include anionic curing accelerators such as imidazole compounds, cationic curing accelerators such as amine compounds, and curing accelerators other than anionic and cationic curing accelerators such as phosphorus compounds and organometallic compounds. , and radical curing accelerators such as peroxides.

上記イミダゾール化合物としては、2-ウンデシルイミダゾール、2-ヘプタデシルイミダゾール、2-メチルイミダゾール、2-エチル-4-メチルイミダゾール、2-フェニルイミダゾール、2-フェニル-4-メチルイミダゾール、1-ベンジル-2-メチルイミダゾール、1-ベンジル-2-フェニルイミダゾール、1,2-ジメチルイミダゾール、1-シアノエチル-2-メチルイミダゾール、1-シアノエチル-2-エチル-4-メチルイミダゾール、1-シアノエチル-2-ウンデシルイミダゾール、1-シアノエチル-2-フェニルイミダゾール、1-シアノエチル-2-ウンデシルイミダゾリウムトリメリテイト、1-シアノエチル-2-フェニルイミダゾリウムトリメリテイト、2,4-ジアミノ-6-[2’-メチルイミダゾリル-(1’)]-エチル-s-トリアジン、2,4-ジアミノ-6-[2’-ウンデシルイミダゾリル-(1’)]-エチル-s-トリアジン、2,4-ジアミノ-6-[2’-エチル-4’-メチルイミダゾリル-(1’)]-エチル-s-トリアジン、2,4-ジアミノ-6-[2’-メチルイミダゾリル-(1’)]-エチル-s-トリアジンイソシアヌル酸付加物、2-フェニルイミダゾールイソシアヌル酸付加物、2-メチルイミダゾールイソシアヌル酸付加物、2-フェニル-4,5-ジヒドロキシメチルイミダゾール及び2-フェニル-4-メチル-5-ジヒドロキシメチルイミダゾール等が挙げられる。 Examples of the imidazole compound include 2-undecylimidazole, 2-heptadecylimidazole, 2-methylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 2-phenyl-4-methylimidazole, 1-benzyl- 2-methylimidazole, 1-benzyl-2-phenylimidazole, 1,2-dimethylimidazole, 1-cyanoethyl-2-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-ethyl-4-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-un Decylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazolium trimellitate, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazolium trimellitate, 2,4-diamino-6-[2' -methylimidazolyl-(1′)]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6-[2′-undecylimidazolyl-(1′)]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino- 6-[2′-ethyl-4′-methylimidazolyl-(1′)]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6-[2′-methylimidazolyl-(1′)]-ethyl-s -triazine isocyanurate, 2-phenylimidazole isocyanurate, 2-methylimidazole isocyanurate, 2-phenyl-4,5-dihydroxymethylimidazole and 2-phenyl-4-methyl-5-dihydroxymethylimidazole etc.

上記アミン化合物としては、ジエチルアミン、トリエチルアミン、ジエチレンテトラミン、トリエチレンテトラミン及び4,4-ジメチルアミノピリジン等が挙げられる。 Examples of the amine compound include diethylamine, triethylamine, diethylenetetramine, triethylenetetramine and 4,4-dimethylaminopyridine.

上記リン化合物としては、トリフェニルホスフィン化合物等が挙げられる。 Examples of the phosphorus compounds include triphenylphosphine compounds.

上記有機金属化合物としては、ナフテン酸亜鉛、ナフテン酸コバルト、オクチル酸スズ、オクチル酸コバルト、ビスアセチルアセトナートコバルト(II)及びトリスアセチルアセトナートコバルト(III)等が挙げられる。 Examples of the organometallic compounds include zinc naphthenate, cobalt naphthenate, tin octylate, cobalt octylate, bisacetylacetonate cobalt (II) and trisacetylacetonate cobalt (III).

上記過酸化物としてはジクミルペルオキシド、及びパーヘキシル25B等が挙げられる。 Examples of the peroxide include dicumyl peroxide, perhexyl 25B, and the like.

硬化温度をより一層低く抑え、硬化物の反りを効果的に抑える観点からは、上記硬化促進剤は、上記アニオン性硬化促進剤を含むことが好ましく、上記イミダゾール化合物を含むことがより好ましい。 From the viewpoint of further suppressing the curing temperature and effectively suppressing warpage of the cured product, the curing accelerator preferably contains the anionic curing accelerator, and more preferably contains the imidazole compound.

硬化温度をより一層低く抑え、硬化物の反りを効果的に抑える観点からは、上記硬化促進剤100重量%中、上記アニオン性硬化促進剤の含有量は、好ましくは20重量%以上、より好ましくは50重量%以上、更に好ましくは70重量%以上、最も好ましくは100重量%(全量)である。したがって、上記硬化促進剤は、上記アニオン性硬化促進剤であることが最も好ましい。 From the viewpoint of further suppressing the curing temperature and effectively suppressing the warp of the cured product, the content of the anionic curing accelerator is preferably 20% by weight or more, more preferably 100% by weight of the curing accelerator. is 50% by weight or more, more preferably 70% by weight or more, and most preferably 100% by weight (total amount). Therefore, the hardening accelerator is most preferably the anionic hardening accelerator.

上記硬化促進剤の含有量は特に限定されない。樹脂材料中の上記無機充填材及び溶剤を除く成分100重量%中、上記硬化促進剤の含有量は、好ましくは0.01重量%以上、より好ましくは0.05重量%以上、好ましくは5重量%以下、より好ましくは3重量%以下である。上記硬化促進剤の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、樹脂材料が効率的に硬化する。上記硬化促進剤の含有量がより好ましい範囲であれば、樹脂材料の保存安定性がより一層高くなり、かつより一層良好な硬化物が得られる。 The content of the curing accelerator is not particularly limited. The content of the curing accelerator is preferably 0.01% by weight or more, more preferably 0.05% by weight or more, and preferably 5% by weight in 100% by weight of the components excluding the inorganic filler and solvent in the resin material. % or less, more preferably 3% by weight or less. When the content of the curing accelerator is equal to or more than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the resin material is efficiently cured. If the content of the curing accelerator is within a more preferable range, the storage stability of the resin material will be further increased, and a more favorable cured product will be obtained.

[熱可塑性樹脂]
上記樹脂材料は、熱可塑性樹脂を含むことが好ましい。熱可塑性樹脂としては、ポリビニルアセタール樹脂、ポリイミド樹脂及びフェノキシ樹脂等が挙げられる。熱可塑性樹脂は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[Thermoplastic resin]
The resin material preferably contains a thermoplastic resin. Examples of thermoplastic resins include polyvinyl acetal resins, polyimide resins and phenoxy resins. Only one kind of thermoplastic resin may be used, or two or more kinds thereof may be used in combination.

硬化環境によらず、誘電正接を効果的に低くし、かつ、金属配線の密着性を効果的に高める観点からは、熱可塑性樹脂は、フェノキシ樹脂であることが好ましい。フェノキシ樹脂の使用により、樹脂フィルムの回路基板の穴又は凹凸に対する埋め込み性の悪化及び無機充填材の不均一化が抑えられる。また、フェノキシ樹脂の使用により、溶融粘度を調整可能であるために無機充填材の分散性が良好になり、かつ硬化過程で、意図しない領域に樹脂組成物又はBステージ化物が濡れ拡がり難くなる。 The thermoplastic resin is preferably a phenoxy resin from the viewpoint of effectively lowering the dielectric loss tangent and effectively increasing the adhesion of the metal wiring regardless of the curing environment. The use of the phenoxy resin suppresses the deterioration of the embedding properties of the resin film in holes or unevenness of the circuit board and the non-uniformity of the inorganic filler. In addition, the use of a phenoxy resin makes it possible to adjust the melt viscosity, so that the dispersibility of the inorganic filler is improved, and in the curing process, the resin composition or B-staged product is less likely to wet and spread in unintended regions.

上記樹脂材料に含まれているフェノキシ樹脂は特に限定されない。上記フェノキシ樹脂として、従来公知のフェノキシ樹脂を使用可能である。上記フェノキシ樹脂は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。 The phenoxy resin contained in the resin material is not particularly limited. Conventionally known phenoxy resins can be used as the phenoxy resin. Only one type of the phenoxy resin may be used, or two or more types may be used in combination.

上記フェノキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールA型の骨格、ビスフェノールF型の骨格、ビスフェノールS型の骨格、ビフェニル骨格、ノボラック骨格、ナフタレン骨格及びイミド骨格等の骨格を有するフェノキシ樹脂等が挙げられる。 Examples of the phenoxy resin include phenoxy resins having a skeleton such as a bisphenol A skeleton, a bisphenol F skeleton, a bisphenol S skeleton, a biphenyl skeleton, a novolac skeleton, a naphthalene skeleton and an imide skeleton.

上記フェノキシ樹脂の市販品としては、例えば、新日鐵住金化学社製の「YP50」、「YP55」及び「YP70」、並びに三菱化学社製の「1256B40」、「4250」、「4256H40」、「4275」、「YX6954BH30」及び「YX8100BH30」等が挙げられる。 Commercial products of the phenoxy resin include, for example, "YP50", "YP55" and "YP70" manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd., and "1256B40", "4250", "4256H40" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, " 4275”, “YX6954BH30” and “YX8100BH30”.

ハンドリング性、低粗度でのメッキピール強度及び絶縁層と金属層との密着性を高める観点から、熱可塑性樹脂は、ポリイミド樹脂(ポリイミド化合物)であることが好ましい。 The thermoplastic resin is preferably a polyimide resin (polyimide compound) from the viewpoint of improving handling properties, plating peel strength at low roughness, and adhesion between the insulating layer and the metal layer.

溶解性を良好にする観点からは、上記ポリイミド化合物は、テトラカルボン酸二無水物とダイマージアミンとを反応させる方法によって得られたポリイミド化合物であることが好ましい。 From the viewpoint of improving solubility, the polyimide compound is preferably a polyimide compound obtained by a method of reacting tetracarboxylic dianhydride and dimer diamine.

上記テトラカルボン酸二無水物としては、例えば、ピロメリット酸二無水物、3,3’,4,4’-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’-ビフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、1,4,5,8-ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7-ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’-ビフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’-ジメチルジフェニルシランテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’-テトラフェニルシランテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4-フランテトラカルボン酸二無水物、4,4’-ビス(3,4-ジカルボキシフェノキシ)ジフェニルスルフィド二無水物、4,4’-ビス(3,4-ジカルボキシフェノキシ)ジフェニルスルホン二無水物、4,4’-ビス(3,4-ジカルボキシフェノキシ)ジフェニルプロパン二無水物、3,3’,4,4’-パーフルオロイソプロピリデンジフタル酸二無水物、3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ビス(フタル酸)フェニルホスフィンオキサイド二無水物、p-フェニレン-ビス(トリフェニルフタル酸)二無水物、m-フェニレン-ビス(トリフェニルフタル酸)二無水物、ビス(トリフェニルフタル酸)-4,4’-ジフェニルエーテル二無水物、及びビス(トリフェニルフタル酸)-4,4’-ジフェニルメタン二無水物等が挙げられる。 Examples of the tetracarboxylic dianhydride include pyromellitic dianhydride, 3,3′,4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 3,3′,4,4′-biphenylsulfonetetra Carboxylic dianhydride, 1,4,5,8-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 3,3′,4,4′-biphenyl ether Tetracarboxylic dianhydride, 3,3′,4,4′-dimethyldiphenylsilanetetracarboxylic dianhydride, 3,3′,4,4′-tetraphenylsilanetetracarboxylic dianhydride, 1,2 ,3,4-furantetracarboxylic dianhydride, 4,4′-bis(3,4-dicarboxyphenoxy)diphenyl sulfide dianhydride, 4,4′-bis(3,4-dicarboxyphenoxy)diphenyl Sulfone dianhydride, 4,4'-bis(3,4-dicarboxyphenoxy)diphenylpropane dianhydride, 3,3',4,4'-perfluoroisopropylidene diphthalic dianhydride, 3,3 ',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, bis(phthalic acid)phenylphosphine oxide dianhydride, p-phenylene-bis(triphenylphthalic acid) dianhydride, m-phenylene-bis(triphenyl phthalic acid) dianhydride, bis(triphenylphthalic acid)-4,4'-diphenylether dianhydride, and bis(triphenylphthalic acid)-4,4'-diphenylmethane dianhydride.

上記ダイマージアミンとしては、例えば、バーサミン551(商品名BASFジャパン社製、3,4-ビス(1-アミノヘプチル)-6-ヘキシル-5-(1-オクテニル)シクロヘキセン)、バーサミン552(商品名、コグニクスジャパン社製、バーサミン551の水添物)、PRIAMINE1075、PRIAMINE1074(商品名、いずれもクローダジャパン社製)等が挙げられる。 Examples of the dimer diamine include Versamin 551 (trade name, manufactured by BASF Japan Ltd., 3,4-bis(1-aminoheptyl)-6-hexyl-5-(1-octenyl)cyclohexene), Versamin 552 (trade name, PRIAMINE 1075, PRIAMINE 1074 (trade names, both manufactured by Croda Japan), and the like.

なお、上記ポリイミド化合物は末端に、酸無水物構造、マレイミド構造、シトラコンイミド構造を有していてもよい。この場合には、上記ポリイミド化合物とエポキシ樹脂とを反応させることができる。上記ポリイミド化合物とエポキシ樹脂とを反応させることにより、硬化物の熱寸法安定性を高めることができる。 The polyimide compound may have an acid anhydride structure, a maleimide structure, or a citraconimide structure at its terminal. In this case, the polyimide compound and the epoxy resin can be reacted. By reacting the polyimide compound with the epoxy resin, the thermal dimensional stability of the cured product can be enhanced.

保存安定性により一層優れた樹脂材料を得る観点からは、熱可塑性樹脂、上記ポリイミド樹脂及び上記フェノキシ樹脂の重量平均分子量は、好ましくは5000以上、より好ましくは10000以上、好ましくは100000以下、より好ましくは50000以下である。 From the viewpoint of obtaining a resin material with even better storage stability, the weight-average molecular weight of the thermoplastic resin, the polyimide resin, and the phenoxy resin is preferably 5,000 or more, more preferably 10,000 or more, and more preferably 100,000 or less. is less than or equal to 50,000.

熱可塑性樹脂、上記ポリイミド樹脂及び上記フェノキシ樹脂の上記重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により測定されたポリスチレン換算での重量平均分子量を示す。 The weight average molecular weights of the thermoplastic resin, the polyimide resin, and the phenoxy resin are weight average molecular weights in terms of polystyrene measured by gel permeation chromatography (GPC).

熱可塑性樹脂、上記ポリイミド樹脂及び上記フェノキシ樹脂の含有量は特に限定されない。樹脂材料中の無機充填材及び上記溶剤を除く成分100重量%中、熱可塑性樹脂の含有量(熱可塑性樹脂がポリイミド樹脂又はフェノキシ樹脂である場合には、ポリイミド樹脂又はフェノキシ樹脂の含有量)は、好ましくは1重量%以上、より好ましくは2重量%以上、好ましくは30重量%以下、より好ましくは20重量%以下である。熱可塑性樹脂の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、樹脂材料の回路基板の穴又は凹凸に対する埋め込み性が良好になる。熱可塑性樹脂の含有量が上記下限以上であると、樹脂フィルムの形成がより一層容易になり、より一層良好な絶縁層が得られる。熱可塑性樹脂の含有量が上記上限以下であると、硬化物の熱膨張率がより一層低くなる。熱可塑性樹脂の含有量が上記上限以下であると、硬化物の表面の表面粗さがより一層小さくなり、硬化物と金属層との接着強度がより一層高くなる。 Contents of the thermoplastic resin, the polyimide resin, and the phenoxy resin are not particularly limited. In 100% by weight of the components excluding the inorganic filler and the solvent in the resin material, the content of the thermoplastic resin (when the thermoplastic resin is a polyimide resin or a phenoxy resin, the content of the polyimide resin or the phenoxy resin) is , preferably 1% by weight or more, more preferably 2% by weight or more, preferably 30% by weight or less, and more preferably 20% by weight or less. When the content of the thermoplastic resin is at least the above lower limit and at most the above upper limit, the embedding property of the resin material into the holes or unevenness of the circuit board is improved. When the content of the thermoplastic resin is at least the above lower limit, the formation of the resin film becomes even easier, and an even better insulating layer can be obtained. If the content of the thermoplastic resin is equal to or less than the above upper limit, the thermal expansion coefficient of the cured product will be even lower. If the content of the thermoplastic resin is equal to or less than the above upper limit, the surface roughness of the cured product will be further reduced, and the adhesive strength between the cured product and the metal layer will be further increased.

[溶剤]
上記樹脂材料は、溶剤を含まないか又は含む。上記溶剤の使用により、樹脂材料の粘度を好適な範囲に制御でき、樹脂材料の塗工性を高めることができる。また、上記溶剤は、上記無機充填材を含むスラリーを得るために用いられてもよい。上記溶剤は1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[solvent]
The resin material does not contain or contains a solvent. By using the solvent, the viscosity of the resin material can be controlled within a suitable range, and the coatability of the resin material can be improved. Also, the solvent may be used to obtain a slurry containing the inorganic filler. Only one of the above solvents may be used, or two or more thereof may be used in combination.

上記溶剤としては、アセトン、メタノール、エタノール、ブタノール、2-プロパノール、2-メトキシエタノール、2-エトキシエタノール、1-メトキシ-2-プロパノール、2-アセトキシ-1-メトキシプロパン、トルエン、キシレン、メチルエチルケトン、N,N-ジメチルホルムアミド、メチルイソブチルケトン、N-メチル-ピロリドン、n-ヘキサン、シクロヘキサン、シクロヘキサノン及び混合物であるナフサ等が挙げられる。 Examples of the solvent include acetone, methanol, ethanol, butanol, 2-propanol, 2-methoxyethanol, 2-ethoxyethanol, 1-methoxy-2-propanol, 2-acetoxy-1-methoxypropane, toluene, xylene, methyl ethyl ketone, N,N-dimethylformamide, methyl isobutyl ketone, N-methyl-pyrrolidone, n-hexane, cyclohexane, cyclohexanone and mixtures such as naphtha.

上記溶剤の多くは、上記樹脂組成物をフィルム状に成形するときに、除去されることが好ましい。従って、上記溶剤の沸点は好ましくは200℃以下、より好ましくは180℃以下である。上記樹脂組成物中の上記溶剤の含有量は特に限定されない。上記樹脂組成物の塗工性などを考慮して、上記溶剤の含有量は適宜変更可能である。 Most of the solvent is preferably removed when the resin composition is formed into a film. Therefore, the boiling point of the solvent is preferably 200°C or lower, more preferably 180°C or lower. The content of the solvent in the resin composition is not particularly limited. The content of the solvent can be appropriately changed in consideration of the coatability of the resin composition.

上記樹脂材料がBステージフィルムである場合には、上記Bステージフィルム100重量%中、上記溶剤の含有量は、好ましくは1重量%以上、より好ましくは2重量%以上、好ましくは10重量%以下、より好ましくは5重量%以下である。 When the resin material is a B-stage film, the content of the solvent in 100% by weight of the B-stage film is preferably 1% by weight or more, more preferably 2% by weight or more, and preferably 10% by weight or less. , more preferably 5% by weight or less.

[他の成分]
耐衝撃性、耐熱性、樹脂の相溶性及び作業性等の改善を目的として、上記樹脂材料は、レベリング剤、難燃剤、カップリング剤、着色剤、酸化防止剤、紫外線劣化防止剤、消泡剤、増粘剤、揺変性付与剤及びエポキシ化合物以外の他の熱硬化性樹脂等を含んでいてもよい。
[Other ingredients]
For the purpose of improving impact resistance, heat resistance, resin compatibility, workability, etc., the above resin materials contain leveling agents, flame retardants, coupling agents, coloring agents, antioxidants, ultraviolet degradation inhibitors, antifoaming agents, etc. A thermosetting resin other than an agent, a thickener, a thixotropic agent, and an epoxy compound may also be included.

上記カップリング剤としては、シランカップリング剤、チタンカップリング剤及びアルミニウムカップリング剤等が挙げられる。上記シランカップリング剤としては、ビニルシラン、アミノシラン、イミダゾールシラン及びエポキシシラン等が挙げられる。 Examples of the coupling agent include silane coupling agents, titanium coupling agents and aluminum coupling agents. Examples of the silane coupling agent include vinylsilane, aminosilane, imidazolesilane and epoxysilane.

上記他の熱硬化性樹脂としては、ポリフェニレンエーテル樹脂、ジビニルベンジルエーテル樹脂、ポリアリレート樹脂、ジアリルフタレート樹脂、ベンゾオキサジン樹脂、ベンゾオキサゾール樹脂、及びアクリレート樹脂等が挙げられる。 Other thermosetting resins include polyphenylene ether resins, divinylbenzyl ether resins, polyarylate resins, diallyl phthalate resins, benzoxazine resins, benzoxazole resins, and acrylate resins.

(樹脂フィルム)
上述した樹脂組成物をフィルム状に成形することにより樹脂フィルム(Bステージ化物/Bステージフィルム)が得られる。上記樹脂材料は、樹脂フィルムであることが好ましい。樹脂フィルムは、Bステージフィルムであることが好ましい。
(resin film)
A resin film (B-stage product/B-stage film) is obtained by molding the resin composition described above into a film. The resin material is preferably a resin film. The resin film is preferably a B-stage film.

樹脂組成物をフィルム状に成形して、樹脂フィルムを得る方法としては、以下の方法が挙げられる。押出機を用いて、樹脂組成物を溶融混練し、押出した後、Tダイ又はサーキュラーダイ等により、フィルム状に成形する押出成形法。溶剤を含む樹脂組成物をキャスティングしてフィルム状に成形するキャスティング成形法。従来公知のその他のフィルム成形法。薄型化に対応可能であることから、押出成形法又はキャスティング成形法が好ましい。フィルムにはシートが含まれる。 Examples of the method for obtaining a resin film by molding the resin composition into a film include the following methods. An extrusion molding method in which a resin composition is melt-kneaded using an extruder, extruded, and then molded into a film using a T-die, a circular die, or the like. A casting molding method in which a resin composition containing a solvent is cast and molded into a film. Other film forming methods known in the art. An extrusion molding method or a casting molding method is preferable because it can be used for thinning. Film includes sheets.

樹脂組成物をフィルム状に成形し、熱による硬化が進行し過ぎない程度に、例えば50℃~150℃で1分間~10分間加熱乾燥させることにより、Bステージフィルムである樹脂フィルムを得ることができる。 A resin film that is a B-stage film can be obtained by molding the resin composition into a film and drying it by heating at, for example, 50° C. to 150° C. for 1 minute to 10 minutes to the extent that thermal curing does not proceed excessively. can.

上述のような乾燥工程により得ることができるフィルム状の樹脂組成物をBステージフィルムと称する。上記Bステージフィルムは、半硬化状態にある。半硬化物は、完全に硬化しておらず、硬化がさらに進行され得る。 A film-like resin composition that can be obtained by the drying process as described above is called a B-stage film. The B-stage film is in a semi-cured state. A semi-cured product is not completely cured and may be further cured.

上記樹脂フィルムは、プリプレグでなくてもよい。上記樹脂フィルムがプリプレグではない場合には、ガラスクロス等に沿ってマイグレーションが生じなくなる。また、樹脂フィルムをラミネート又はプレキュアする際に、表面にガラスクロスに起因する凹凸が生じなくなる。 The resin film may not be a prepreg. If the resin film is not a prepreg, no migration occurs along the glass cloth or the like. In addition, when the resin film is laminated or precured, the unevenness due to the glass cloth does not occur on the surface.

上記樹脂フィルムは、金属箔又は基材フィルムと、該金属箔又は基材フィルムの表面に積層された樹脂フィルムとを備える積層フィルムの形態で用いることができる。上記金属箔は銅箔であることが好ましい。 The resin film can be used in the form of a laminated film comprising a metal foil or base film and a resin film laminated on the surface of the metal foil or base film. The metal foil is preferably copper foil.

上記積層フィルムの上記基材フィルムとしては、ポリエチレンテレフタレートフィルム及びポリブチレンテレフタレートフィルム等のポリエステル樹脂フィルム、ポリエチレンフィルム及びポリプロピレンフィルム等のオレフィン樹脂フィルム、並びにポリイミド樹脂フィルム等が挙げられる。上記基材フィルムの表面は、必要に応じて、離型処理されていてもよい。 Examples of the base film of the laminated film include polyester resin films such as polyethylene terephthalate film and polybutylene terephthalate film, olefin resin films such as polyethylene film and polypropylene film, and polyimide resin films. The surface of the base film may be subjected to release treatment, if necessary.

樹脂フィルムの硬化度をより一層均一に制御する観点からは、上記樹脂フィルムの厚さは、好ましくは5μm以上であり、好ましくは200μm以下である。上記樹脂フィルムを回路の絶縁層として用いる場合、上記樹脂フィルムにより形成された絶縁層の厚さは、回路を形成する導体層(金属層)の厚さ以上であることが好ましい。上記絶縁層の厚さは、好ましくは5μm以上であり、好ましくは200μm以下である。 From the viewpoint of controlling the degree of curing of the resin film more uniformly, the thickness of the resin film is preferably 5 μm or more and preferably 200 μm or less. When the resin film is used as an insulating layer of a circuit, the thickness of the insulating layer formed of the resin film is preferably equal to or greater than the thickness of the conductor layer (metal layer) forming the circuit. The thickness of the insulating layer is preferably 5 μm or more and preferably 200 μm or less.

(半導体装置、プリント配線板、銅張積層板及び多層プリント配線板)
上記樹脂材料は、半導体装置において半導体チップを埋め込むモールド樹脂を形成するために好適に用いられる。
(Semiconductor devices, printed wiring boards, copper clad laminates and multilayer printed wiring boards)
The above resin material is suitably used for forming a mold resin for embedding a semiconductor chip in a semiconductor device.

上記樹脂材料は、プリント配線板において絶縁層を形成するために好適に用いられる。 The above resin material is suitably used for forming an insulating layer in a printed wiring board.

上記プリント配線板は、例えば、上記樹脂材料を加熱加圧成形することにより得られる。 The printed wiring board is obtained, for example, by heating and pressurizing the resin material.

上記樹脂フィルムに対して、片面又は両面に金属層を表面に有する積層対象部材を積層できる。金属層を表面に有する積層対象部材と、上記金属層の表面上に積層された樹脂フィルムとを備え、上記樹脂フィルムが、上述した樹脂材料である、積層構造体を好適に得ることができる。上記樹脂フィルムと上記金属層を表面に有する積層対象部材とを積層する方法は特に限定されず、公知の方法を用いることができる。例えば、平行平板プレス機又はロールラミネーター等の装置を用いて、加熱しながら又は加熱せずに加圧しながら、上記樹脂フィルムを、金属層を表面に有する積層対象部材に積層可能である。 A member to be laminated having a metal layer on its surface can be laminated on one side or both sides of the resin film. It is possible to suitably obtain a laminated structure comprising a member to be laminated having a metal layer on its surface and a resin film laminated on the surface of the metal layer, wherein the resin film is the resin material described above. A method for laminating the resin film and the member to be laminated having the metal layer on the surface thereof is not particularly limited, and a known method can be used. For example, using a device such as a parallel plate press or a roll laminator, the resin film can be laminated on a member to be laminated having a metal layer on its surface while applying pressure with or without heating.

上記金属層の材料は銅であることが好ましい。 The material of the metal layer is preferably copper.

上記金属層を表面に有する積層対象部材は、銅箔等の金属箔であってもよい。 The member to be laminated having the metal layer on its surface may be a metal foil such as a copper foil.

上記樹脂材料は、銅張積層板を得るために好適に用いられる。上記銅張積層板の一例として、銅箔と、該銅箔の一方の表面に積層された樹脂フィルムとを備える銅張積層板が挙げられる。 The above resin material is suitably used to obtain a copper-clad laminate. An example of the copper-clad laminate is a copper-clad laminate comprising a copper foil and a resin film laminated on one surface of the copper foil.

上記銅張積層板の上記銅箔の厚さは特に限定されない。上記銅箔の厚さは、1μm~50μmの範囲内であることが好ましい。また、上記樹脂材料の硬化物と銅箔との接着強度を高めるために、上記銅箔は微細な凹凸を表面に有することが好ましい。凹凸の形成方法は特に限定されない。上記凹凸の形成方法としては、公知の薬液を用いた処理による形成方法等が挙げられる。 The thickness of the copper foil of the copper-clad laminate is not particularly limited. The thickness of the copper foil is preferably in the range of 1 μm to 50 μm. In order to increase the adhesive strength between the cured resin material and the copper foil, the copper foil preferably has fine irregularities on its surface. A method for forming the unevenness is not particularly limited. Examples of the method for forming the unevenness include a forming method using a known chemical solution.

上記樹脂材料は、多層基板を得るために好適に用いられる。 The above resin material is suitably used to obtain a multilayer substrate.

上記多層基板の一例として、回路基板と、該回路基板上に積層された絶縁層とを備える多層基板が挙げられる。この多層基板の絶縁層が、上記樹脂材料により形成されている。また、多層基板の絶縁層が、積層フィルムを用いて、上記積層フィルムの上記樹脂フィルムにより形成されていてもよい。上記絶縁層は、回路基板の回路が設けられた表面上に積層されていることが好ましい。上記絶縁層の一部は、上記回路間に埋め込まれていることが好ましい。 An example of the multilayer board is a multilayer board that includes a circuit board and an insulating layer laminated on the circuit board. The insulating layer of this multilayer substrate is formed of the above resin material. Moreover, the insulating layer of the multilayer substrate may be formed of the resin film of the laminated film by using the laminated film. The insulating layer is preferably laminated on the surface of the circuit board on which the circuit is provided. A part of the insulating layer is preferably embedded between the circuits.

上記多層基板では、上記絶縁層の上記回路基板が積層された表面とは反対側の表面が粗化処理されていることが好ましい。 In the multilayer substrate, it is preferable that the surface of the insulating layer opposite to the surface on which the circuit board is laminated is roughened.

粗化処理方法は、従来公知の粗化処理方法を用いることができ、特に限定されない。上記絶縁層の表面は、粗化処理の前に膨潤処理されていてもよい。 A conventionally known roughening treatment method can be used as the roughening treatment method, and is not particularly limited. The surface of the insulating layer may be subjected to a swelling treatment before the roughening treatment.

また、上記多層基板は、上記絶縁層の粗化処理された表面に積層された銅めっき層をさらに備えることが好ましい。 Moreover, it is preferable that the multilayer substrate further includes a copper plating layer laminated on the roughened surface of the insulating layer.

また、上記多層基板の他の例として、回路基板と、該回路基板の表面上に積層された絶縁層と、該絶縁層の上記回路基板が積層された表面とは反対側の表面に積層された銅箔とを備える多層基板が挙げられる。上記絶縁層が、銅箔と該銅箔の一方の表面に積層された樹脂フィルムとを備える銅張積層板を用いて、上記樹脂フィルムを硬化させることにより形成されていることが好ましい。さらに、上記銅箔はエッチング処理されており、銅回路であることが好ましい。 Further, as another example of the multilayer board, a circuit board, an insulating layer laminated on the surface of the circuit board, and a surface of the insulating layer laminated on the surface opposite to the surface on which the circuit board is laminated. and a copper foil. It is preferable that the insulating layer is formed by using a copper clad laminate comprising a copper foil and a resin film laminated on one surface of the copper foil, and curing the resin film. Furthermore, the copper foil is preferably etched and is a copper circuit.

上記多層基板の他の例として、回路基板と、該回路基板の表面上に積層された複数の絶縁層とを備える多層基板が挙げられる。上記回路基板上に配置された上記複数層の絶縁層の内の少なくとも1層が、上記樹脂材料を用いて形成される。上記多層基板は、上記樹脂フィルムを用いて形成されている上記絶縁層の少なくとも一方の表面に積層されている回路をさらに備えることが好ましい。 Another example of the multilayer board is a multilayer board that includes a circuit board and a plurality of insulating layers laminated on the surface of the circuit board. At least one of the plurality of insulating layers arranged on the circuit board is formed using the resin material. The multilayer substrate preferably further includes a circuit laminated on at least one surface of the insulating layer formed using the resin film.

多層基板のうち多層プリント配線板においては、低い誘電正接が求められ、絶縁層による高い絶縁信頼性が求められる。本発明に係る樹脂材料では、誘電正接を低くし、かつ絶縁層と金属層との密着性及びエッチング性能を高めることによって絶縁信頼性を効果的に高めることができる。従って、本発明に係る樹脂材料は、多層プリント配線板において、絶縁層を形成するために好適に用いられる。 Among multilayer substrates, a multilayer printed wiring board is required to have a low dielectric loss tangent and high insulation reliability due to an insulating layer. The resin material according to the present invention can effectively improve the insulation reliability by lowering the dielectric loss tangent and improving the adhesion between the insulating layer and the metal layer and the etching performance. Therefore, the resin material according to the present invention is suitably used for forming insulating layers in multilayer printed wiring boards.

上記多層プリント配線板は、例えば、回路基板と、上記回路基板の表面上に配置された複数の絶縁層と、複数の上記絶縁層間に配置された金属層とを備える。上記絶縁層の内の少なくとも1層が、上記樹脂材料の硬化物である。 The multilayer printed wiring board includes, for example, a circuit board, a plurality of insulating layers arranged on the surface of the circuit board, and metal layers arranged between the plurality of insulating layers. At least one of the insulating layers is a cured product of the resin material.

図1は、本発明の一実施形態に係る樹脂材料を用いた多層プリント配線板を模式的に示す断面図である。 FIG. 1 is a cross-sectional view schematically showing a multilayer printed wiring board using a resin material according to one embodiment of the present invention.

図1に示す多層プリント配線板11では、回路基板12の上面12aに、複数層の絶縁層13~16が積層されている。絶縁層13~16は、硬化物層である。回路基板12の上面12aの一部の領域には、金属層17が形成されている。複数層の絶縁層13~16のうち、回路基板12側とは反対の外側の表面に位置する絶縁層16以外の絶縁層13~15には、上面の一部の領域に金属層17が形成されている。金属層17は回路である。回路基板12と絶縁層13の間、及び積層された絶縁層13~16の各層間に、金属層17がそれぞれ配置されている。下方の金属層17と上方の金属層17とは、図示しないビアホール接続及びスルーホール接続の内の少なくとも一方により互いに接続されている。 In the multilayer printed wiring board 11 shown in FIG. 1, a plurality of insulating layers 13 to 16 are laminated on the upper surface 12a of the circuit board 12. As shown in FIG. The insulating layers 13 to 16 are hardened layers. A metal layer 17 is formed on a partial region of the upper surface 12 a of the circuit board 12 . A metal layer 17 is formed on a partial region of the upper surface of each of the insulating layers 13 to 15 other than the insulating layer 16 positioned on the outer surface opposite to the circuit board 12 among the multiple insulating layers 13 to 16. It is Metal layer 17 is a circuit. A metal layer 17 is arranged between the circuit board 12 and the insulating layer 13 and between the laminated insulating layers 13 to 16, respectively. The lower metal layer 17 and the upper metal layer 17 are connected to each other by at least one of via-hole connection and through-hole connection (not shown).

多層プリント配線板11では、絶縁層13~16が、上記樹脂材料の硬化物により形成されている。本実施形態では、絶縁層13~16の表面が粗化処理されているので、絶縁層13~16の表面に図示しない微細な孔が形成されている。また、微細な孔の内部に金属層17が至っている。また、多層プリント配線板11では、金属層17の幅方向寸法(L)と、金属層17が形成されていない部分の幅方向寸法(S)とを小さくすることができる。また、多層プリント配線板11では、図示しないビアホール接続及びスルーホール接続で接続されていない上方の金属層と下方の金属層との間に、良好な絶縁信頼性が付与されている。 In the multilayer printed wiring board 11, the insulating layers 13 to 16 are formed of the cured resin material. In this embodiment, since the surfaces of the insulating layers 13-16 are roughened, fine holes (not shown) are formed in the surfaces of the insulating layers 13-16. Also, the metal layer 17 reaches inside the fine holes. Moreover, in the multilayer printed wiring board 11, the widthwise dimension (L) of the metal layer 17 and the widthwise dimension (S) of the portion where the metal layer 17 is not formed can be reduced. Moreover, in the multilayer printed wiring board 11, good insulation reliability is imparted between the upper metal layer and the lower metal layer that are not connected by via-hole connections and through-hole connections (not shown).

(膨潤処理及び粗化処理)
上記樹脂材料は、膨潤処理及び粗化処理される硬化物を得るために用いられることが好ましい。上記硬化物には、更に硬化が可能な予備硬化物も含まれる。
(Swelling treatment and roughening treatment)
The resin material is preferably used to obtain a cured product that is subjected to swelling treatment and roughening treatment. The cured product also includes a pre-cured product that can be further cured.

上記樹脂材料を予備硬化させることにより得られた硬化物の表面に微細な凹凸を形成するために、硬化物は粗化処理されることが好ましい。粗化処理の前に、硬化物は膨潤処理されることが好ましい。硬化物は、予備硬化の後、かつ粗化処理される前に、膨潤処理されており、さらに粗化処理の後に硬化されていることが好ましい。ただし、硬化物は、必ずしも膨潤処理されなくてもよい。 In order to form fine unevenness on the surface of the cured product obtained by precuring the resin material, the cured product is preferably subjected to a roughening treatment. The cured product is preferably subjected to a swelling treatment before the roughening treatment. The cured product is preferably subjected to swelling treatment after precuring and before roughening treatment, and further cured after roughening treatment. However, the cured product does not necessarily have to be subjected to a swelling treatment.

上記膨潤処理の方法としては、例えば、エチレングリコールなどを主成分とする化合物の水溶液又は有機溶媒分散溶液などにより、硬化物を処理する方法が用いられる。膨潤処理に用いる膨潤液は、一般にpH調整剤などとして、アルカリを含む。膨潤液は、水酸化ナトリウムを含むことが好ましい。具体的には、例えば、上記膨潤処理は、40重量%エチレングリコール水溶液等を用いて、処理温度30℃~85℃で1分間~30分間、硬化物を処理することにより行なわれる。上記膨潤処理の温度は50℃~85℃の範囲内であることが好ましい。上記膨潤処理の温度が低すぎると、膨潤処理に長時間を要し、更に硬化物と金属層との接着強度が低くなる傾向がある。 As the swelling treatment method, for example, a method of treating the cured product with an aqueous solution or an organic solvent dispersion solution of a compound containing ethylene glycol as a main component is used. The swelling liquid used for the swelling treatment generally contains an alkali as a pH adjuster or the like. The swelling liquid preferably contains sodium hydroxide. Specifically, for example, the swelling treatment is performed by treating the cured product with a 40% by weight ethylene glycol aqueous solution or the like at a treatment temperature of 30° C. to 85° C. for 1 minute to 30 minutes. The temperature of the swelling treatment is preferably in the range of 50.degree. C. to 85.degree. When the temperature of the swelling treatment is too low, the swelling treatment takes a long time, and the adhesive strength between the cured product and the metal layer tends to decrease.

上記粗化処理には、例えば、マンガン化合物、クロム化合物又は過硫酸化合物などの化学酸化剤等が用いられる。これらの化学酸化剤は、水又は有機溶剤が添加された後、水溶液又は有機溶媒分散溶液として用いられる。粗化処理に用いられる粗化液は、一般にpH調整剤などとしてアルカリを含む。粗化液は、水酸化ナトリウムを含むことが好ましい。 A chemical oxidizing agent such as a manganese compound, a chromium compound, or a persulfate compound is used for the roughening treatment. These chemical oxidants are used as aqueous solutions or organic solvent dispersion solutions after water or organic solvents are added. The roughening liquid used for the roughening treatment generally contains an alkali as a pH adjuster or the like. The roughening liquid preferably contains sodium hydroxide.

上記マンガン化合物としては、過マンガン酸カリウム及び過マンガン酸ナトリウム等が挙げられる。上記クロム化合物としては、重クロム酸カリウム及び無水クロム酸カリウム等が挙げられる。上記過硫酸化合物としては、過硫酸ナトリウム、過硫酸カリウム及び過硫酸アンモニウム等が挙げられる。 Examples of the manganese compound include potassium permanganate and sodium permanganate. Examples of the chromium compound include potassium dichromate and anhydrous potassium chromate. Examples of the persulfate compound include sodium persulfate, potassium persulfate and ammonium persulfate.

硬化物の表面の算術平均粗さRaは、好ましくは10nm以上であり、好ましくは300nm未満、より好ましくは200nm未満、更に好ましくは150nm未満である。この場合には、硬化物と金属層との接着強度が高くなり、更に絶縁層の表面により一層微細な配線が形成される。上記算術平均粗さRaは、JIS B0601:1994に準拠して測定される。 The surface arithmetic mean roughness Ra of the cured product is preferably 10 nm or more, preferably less than 300 nm, more preferably less than 200 nm, and even more preferably less than 150 nm. In this case, the adhesive strength between the cured product and the metal layer is increased, and finer wiring is formed on the surface of the insulating layer. The arithmetic mean roughness Ra is measured according to JIS B0601:1994.

(デスミア処理)
上記樹脂材料を予備硬化させることにより得られた硬化物に、貫通孔が形成されることがある。上記多層基板などでは、貫通孔として、ビア又はスルーホール等が形成される。例えば、ビアは、COレーザー等のレーザーの照射により形成できる。ビアの直径は特に限定されないが、60μm~80μm程度である。上記貫通孔の形成により、ビア内の底部には、硬化物に含まれている樹脂成分に由来する樹脂の残渣であるスミアが形成されることが多い。
(Desmear treatment)
Through-holes may be formed in the cured product obtained by precuring the resin material. Vias, through holes, or the like are formed as through holes in the multilayer substrates and the like. For example, vias can be formed by irradiation with a laser such as a CO2 laser. Although the diameter of the via is not particularly limited, it is about 60 μm to 80 μm. Due to the formation of the through-holes, smears, which are residues of the resin derived from the resin component contained in the cured product, are often formed at the bottom of the vias.

上記スミアを除去するために、硬化物の表面は、デスミア処理されることが好ましい。デスミア処理が粗化処理を兼ねることもある。 In order to remove the smear, the surface of the cured product is preferably desmeared. The desmearing treatment may also serve as the roughening treatment.

上記デスミア処理には、上記粗化処理と同様に、例えば、マンガン化合物、クロム化合物又は過硫酸化合物等の化学酸化剤等が用いられる。これらの化学酸化剤は、水又は有機溶剤が添加された後、水溶液又は有機溶媒分散溶液として用いられる。デスミア処理に用いられるデスミア処理液は、一般にアルカリを含む。デスミア処理液は、水酸化ナトリウムを含むことが好ましい。 For the desmear treatment, chemical oxidizing agents such as manganese compounds, chromium compounds, or persulfate compounds are used, as in the roughening treatment. These chemical oxidants are used as aqueous solutions or organic solvent dispersion solutions after water or organic solvents are added. A desmearing liquid used for desmearing generally contains an alkali. The desmear treatment liquid preferably contains sodium hydroxide.

上記樹脂材料の使用により、デスミア処理された硬化物の表面の表面粗さが十分に小さくなる。 By using the above resin material, the surface roughness of the desmeared cured product is sufficiently reduced.

以下、実施例及び比較例を挙げることにより、本発明を具体的に説明する。本発明は、以下の実施例に限定されない。 EXAMPLES The present invention will now be described in detail with reference to examples and comparative examples. The invention is not limited to the following examples.

以下の材料を用意した。 The following materials were prepared.

(エポキシ化合物)
ビフェニルノボラック型エポキシ化合物(日本化薬社製「NC-3000」)
ナフタレンアラルキル型エポキシ化合物(新日鐵住金化学社製「ESN-475V」)
ジシクロペンタジエン型エポキシ化合物(ADEKA社製「EP-4088S」
(epoxy compound)
Biphenyl novolac type epoxy compound ("NC-3000" manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)
Naphthalene aralkyl type epoxy compound ("ESN-475V" manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd.)
Dicyclopentadiene type epoxy compound (manufactured by ADEKA "EP-4088S"

(無機充填材)
シリカ含有スラリー(シリカ75重量%:アドマテックス社製「SC4050-HOA」、平均粒径1.0μm、アミノシラン処理、シクロヘキサノン25重量%)
(Inorganic filler)
Silica-containing slurry (75% by weight of silica: “SC4050-HOA” manufactured by Admatechs, average particle size 1.0 μm, aminosilane treatment, 25% by weight of cyclohexanone)

(硬化剤)
<化合物A>
下記の合成例A-1に従って合成した化合物A-1(分子量3150)。
(curing agent)
<Compound A>
Compound A-1 (molecular weight 3150) synthesized according to Synthesis Example A-1 below.

<合成例A-1>
カルボジイミド化合物A-1の合成:
以下の成分を用意した。
<Synthesis Example A-1>
Synthesis of carbodiimide compound A-1:
The following ingredients were prepared.

トリレンジイソシアネート(80重量%の2,4-トリレンジイソシアネートと20重量%の2,6-トリレンジイソシアネートとの混合物) 100重量部
ポリアルキレンカーボネートジオール(旭化成ケミカルズ社製「DURANOL T-5651」、分子量1000) 71.8重量部
フェニルイソシアネート 17.1重量部
トルエン(沸点110.6℃) 245重量部
カルボジイミド化触媒(3-メチル-1-フェニル-2-ホスホレン-1-オキシド) 1.0重量部
Tolylene diisocyanate (mixture of 80% by weight of 2,4-tolylene diisocyanate and 20% by weight of 2,6-tolylene diisocyanate) 100 parts by weight Polyalkylene carbonate diol ("DURANOL T-5651" manufactured by Asahi Kasei Chemicals, Molecular weight 1000) 71.8 parts by weight Phenyl isocyanate 17.1 parts by weight Toluene (boiling point 110.6°C) 245 parts by weight Carbodiimidation catalyst (3-methyl-1-phenyl-2-phospholene-1-oxide) 1.0 parts by weight Department

上記の成分を還流管及び撹拌機付きの反応容器に投入し、窒素気流下において100℃で3時間撹拌して反応させることにより、ポリカルボジイミド化合物A-1を得た。なお、得られたポリカルボジイミド化合物A-1において、赤外吸収(IR)スペクトル測定により波長2270cm-1前後のイソシアネート基による吸収ピークがほぼ消滅していること、及び、波長2150cm-1前後のカルボジイミド基による吸収ピークが存在していることを確認した。 The above components were put into a reaction vessel equipped with a reflux tube and a stirrer, and stirred at 100° C. for 3 hours under a nitrogen stream for reaction to obtain polycarbodiimide compound A-1. In the obtained polycarbodiimide compound A-1, the infrared absorption (IR) spectrum measurement showed that the absorption peak due to the isocyanate group at a wavelength of about 2270 cm -1 almost disappeared, and that the carbodiimide at a wavelength of about 2150 cm -1 It was confirmed that an absorption peak due to the group was present.

化合物A-1の合成:
反応容器中のポリカルボジイミド化合物A-1を50℃まで冷却した。次いで、反応容器にジシクロヘキシルアミン(DcyHA)107.2重量部を添加して、5時間撹拌して反応させることにより、化合物A-1を得た。なお、得られた化合物A-1において、赤外吸収(IR)スペクトル測定により波長1660cm-1前後にグアニジン基による吸収ピークが存在していること、及び、波長2150cm-1前後のカルボジイミド基による吸収ピークがほぼ消滅していることを確認した。
Synthesis of compound A-1:
Polycarbodiimide compound A-1 in the reactor was cooled to 50°C. Then, 107.2 parts by weight of dicyclohexylamine (DcyHA) was added to the reaction vessel and reacted with stirring for 5 hours to obtain compound A-1. In the obtained compound A-1, an absorption peak due to the guanidine group is present at a wavelength of around 1660 cm -1 by infrared absorption (IR) spectrum measurement, and an absorption due to the carbodiimide group at a wavelength of around 2150 cm -1 . It was confirmed that the peak almost disappeared.

下記の合成例A-2に従って合成した化合物A-2(分子量2890)。 Compound A-2 (molecular weight: 2890) synthesized according to Synthesis Example A-2 below.

<合成例A-1>
カルボジイミド化合物A-2の合成:
以下の成分を用意した。
<Synthesis Example A-1>
Synthesis of carbodiimide compound A-2:
The following ingredients were prepared.

トリレンジイソシアネート(80重量%の2,4-トリレンジイソシアネートと20重量%の2,6-トリレンジイソシアネートとの混合物) 100重量部
ポリアルキレンカーボネートジオール(旭化成ケミカルズ社製「DURANOL T-5651」、分子量1000) 71.8重量部
フェニルイソシアネート 17.1重量部
シクロヘキサノン 245重量部
カルボジイミド化触媒(3-メチル-1-フェニル-2-ホスホレン-1-オキシド) 1.0重量部
Tolylene diisocyanate (mixture of 80% by weight of 2,4-tolylene diisocyanate and 20% by weight of 2,6-tolylene diisocyanate) 100 parts by weight Polyalkylene carbonate diol ("DURANOL T-5651" manufactured by Asahi Kasei Chemicals, Molecular weight 1000) 71.8 parts by weight Phenyl isocyanate 17.1 parts by weight Cyclohexanone 245 parts by weight Carbodiimidation catalyst (3-methyl-1-phenyl-2-phosphorene-1-oxide) 1.0 parts by weight

上記の成分を還流管及び撹拌機付きの反応容器に投入し、窒素気流下において100℃で3時間撹拌して反応させることにより、ポリカルボジイミド化合物A-2を得た。なお、得られたポリカルボジイミド化合物A-2において、赤外吸収(IR)スペクトル測定により波長2270cm-1前後のイソシアネート基による吸収ピークがほぼ消滅していること、及び、波長2150cm-1前後のカルボジイミド基による吸収ピークが存在していることを確認した。 The above components were put into a reaction vessel equipped with a reflux tube and a stirrer, and stirred at 100° C. for 3 hours under a nitrogen stream for reaction to obtain a polycarbodiimide compound A-2. In the obtained polycarbodiimide compound A-2, the infrared absorption (IR) spectrum measurement showed that the absorption peak due to the isocyanate group at a wavelength of about 2270 cm -1 almost disappeared, and that the carbodiimide at a wavelength of about 2150 cm -1 It was confirmed that an absorption peak due to the group was present.

化合物A-2の合成:
反応容器中のポリカルボジイミド化合物A-2を50℃まで冷却した。次いで、反応容器に3,5-ジメチルピラゾール56.3重量部を添加して、5時間撹拌して反応させることにより、化合物A-2を得た。なお、得られた化合物A-2において、赤外吸収(IR)スペクトル測定により波長1660cm-1前後にグアニジン基による吸収ピークが存在していること、及び、波長2150cm-1前後のカルボジイミド基による吸収ピークがほぼ消滅していることを確認した。
Synthesis of compound A-2:
Polycarbodiimide compound A-2 in the reactor was cooled to 50°C. Then, 56.3 parts by weight of 3,5-dimethylpyrazole was added to the reaction vessel and reacted with stirring for 5 hours to obtain compound A-2. In addition, in the obtained compound A-2, an absorption peak due to the guanidine group is present at a wavelength of around 1660 cm -1 by infrared absorption (IR) spectrum measurement, and an absorption due to the carbodiimide group at a wavelength of around 2150 cm -1 . It was confirmed that the peak almost disappeared.

<硬化剤X>
活性エステル化合物含有液(DIC社製「EXB-9416-70BK」、固形分70重量%)
シアネートエステル化合物含有液(ロンザジャパン社製「BA-3000S」、固形分75重量%)
N-アルキルビスマレイミド化合物(Designer Molecules Inc.社製「BMI-1700」)
カルボジイミド化合物含有液(日清紡ケミカル社製「V-03」、固形分50重量%)
<Curing agent X>
Active ester compound-containing liquid (manufactured by DIC "EXB-9416-70BK", solid content 70% by weight)
Liquid containing cyanate ester compound (“BA-3000S” manufactured by Lonza Japan Co., Ltd., solid content 75% by weight)
N-alkylbismaleimide compound (Designer Molecules Inc. "BMI-1700")
Carbodiimide compound-containing liquid (manufactured by Nisshinbo Chemical Co., Ltd. "V-03", solid content 50% by weight)

(ポリイミド化合物)
テトラカルボン酸二無水物とダイマージアミンとの反応物であるポリイミド化合物含有溶液(不揮発分26.8重量%)を以下の合成例2に従って合成した。
(polyimide compound)
A solution containing a polyimide compound (26.8% by weight of nonvolatile matter), which is a reaction product of tetracarboxylic dianhydride and dimer diamine, was synthesized according to Synthesis Example 2 below.

(合成例2)
撹拌機、分水器、温度計及び窒素ガス導入管を備えた反応容器に、テトラカルボン酸二無水物(SABICジャパン合同会社製「BisDA-1000」)300.0gと、シクロヘキサノン665.5gとを入れ、反応容器中の溶液を60℃まで加熱した。次いで、反応容器中に、ダイマージアミン(クローダジャパン社製「PRIAMINE1075」)89.0gと、1,3-ビスアミノメチルシクロヘキサン(三菱ガス化学社製)54.7gとを滴下した。次いで、反応容器中に、メチルシクロヘキサン121.0gと、エチレングリコールジメチルエーテル423.5gとを添加し、140℃で10時間かけてイミド化反応を行った。このようにして、ポリイミド化合物含有溶液(不揮発分26.8重量%)を得た。得られたポリイミド化合物の分子量(重量平均分子量)は20000であった。なお、酸成分/アミン成分のモル比は1.04であった。
(Synthesis example 2)
A reaction vessel equipped with a stirrer, a water separator, a thermometer and a nitrogen gas inlet tube was charged with 300.0 g of tetracarboxylic dianhydride ("BisDA-1000" manufactured by SABIC Japan LLC) and 665.5 g of cyclohexanone. and the solution in the reaction vessel was heated to 60°C. Then, 89.0 g of dimer diamine (“PRIAMINE 1075” manufactured by Croda Japan) and 54.7 g of 1,3-bisaminomethylcyclohexane (manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc.) were dropped into the reaction vessel. Then, 121.0 g of methylcyclohexane and 423.5 g of ethylene glycol dimethyl ether were added to the reactor, and imidization reaction was carried out at 140° C. for 10 hours. Thus, a polyimide compound-containing solution (non-volatile content: 26.8% by weight) was obtained. The molecular weight (weight average molecular weight) of the obtained polyimide compound was 20,000. The molar ratio of acid component/amine component was 1.04.

合成例2で合成したポリイミド化合物の分子量は、以下のようにして求めた。 The molecular weight of the polyimide compound synthesized in Synthesis Example 2 was determined as follows.

GPC(ゲルパーミエーションクロマトグラフィー)測定:
島津製作所社製高速液体クロマトグラフシステムを使用し、テトラヒドロフラン(THF)を展開媒として、カラム温度40℃、流速1.0ml/分で測定を行った。検出器として「SPD-10A」を用い、カラムはShodex社製「KF-804L」(排除限界分子量400,000)を2本直列につないで使用した。標準ポリスチレンとして、東ソー社製「TSKスタンダードポリスチレン」を用い、重量平均分子量Mw=354,000、189,000、98,900、37,200、17,100、9,830、5,870、2,500、1,050、500の物質を使用して較正曲線を作成し、分子量の計算を行った。
GPC (gel permeation chromatography) measurement:
Using a high-performance liquid chromatograph system manufactured by Shimadzu Corporation, measurement was performed using tetrahydrofuran (THF) as a developing medium at a column temperature of 40° C. and a flow rate of 1.0 ml/min. "SPD-10A" was used as a detector, and two "KF-804L" columns (exclusion limit molecular weight: 400,000) manufactured by Shodex were connected in series. As standard polystyrene, "TSK Standard Polystyrene" manufactured by Tosoh Corporation was used, and weight average molecular weight Mw = 354,000, 189,000, 98,900, 37,200, 17,100, 9,830, 5,870, 2, A calibration curve was generated using 500, 1,050, 500 substances and molecular weight calculations were performed.

(硬化促進剤)
ジメチルアミノピリジン(和光純薬工業社製「DMAP」)
(Curing accelerator)
Dimethylaminopyridine ("DMAP" manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.)

(実施例1~3及び比較例1)
下記の表1に示す成分を下記の表1に示す配合量(単位は固形分重量部)で配合し、均一な溶液となるまで常温で攪拌し、樹脂材料を得た。
(Examples 1 to 3 and Comparative Example 1)
The components shown in Table 1 below were blended in the amounts shown in Table 1 below (unit: parts by weight of solid content) and stirred at room temperature until a uniform solution was obtained to obtain a resin material.

樹脂フィルムの作製:
アプリケーターを用いて、離型処理されたPETフィルム(東レ社製「XG284」、厚み25μm)の離型処理面上に得られた樹脂材料を塗工した後、100℃のギヤオーブン内で2分間乾燥し、溶剤を揮発させた。このようにして、PETフィルム上に、厚さが40μmである樹脂フィルム(Bステージフィルム)が積層されている積層フィルム(PETフィルムと樹脂フィルムとの積層フィルム)を得た。
Preparation of resin film:
Using an applicator, the obtained resin material was applied onto the release-treated surface of a release-treated PET film ("XG284" manufactured by Toray Industries, Inc., thickness 25 μm), and then placed in a gear oven at 100° C. for 2 minutes. Dry and evaporate the solvent. Thus, a laminated film (laminated film of PET film and resin film) in which a resin film (B stage film) having a thickness of 40 μm was laminated on the PET film was obtained.

(評価)
(1)誘電正接
得られた樹脂フィルムを幅2mm、長さ80mmの大きさに裁断して5枚を重ね合わせて、厚み200μmの積層体を得た。得られた積層体を200℃で90分間加熱して、硬化物を得た。得られた硬化物について、関東電子応用開発社製「空洞共振摂動法誘電率測定装置CP521」及びキーサイトテクノロジー社製「ネットワークアナライザーN5224A PNA」を用いて、空洞共振法で常温(23℃)にて、周波数5.8GHzにて誘電正接を測定した。
(evaluation)
(1) Dielectric Loss Tangent The obtained resin film was cut into a size of 2 mm in width and 80 mm in length, and five sheets were laminated to obtain a laminate having a thickness of 200 μm. The resulting laminate was heated at 200° C. for 90 minutes to obtain a cured product. The resulting cured product was measured at room temperature (23°C) by the cavity resonance method using Kanto Denshi Applied Development Co., Ltd.'s "Cavity Resonance Perturbation Method Dielectric Constant Measurement Device CP521" and Keysight Technologies, Inc.'s "Network Analyzer N5224A PNA". Then, the dielectric loss tangent was measured at a frequency of 5.8 GHz.

[誘電正接の判定基準]
○○:誘電正接が0.0037以下
○:誘電正接が0.0037を超え0.0040以下
△:誘電正接が0.0040を超え0.0045未満
×:誘電正接が0.0045を超える
[Dielectric loss tangent criterion]
○○: dielectric loss tangent is 0.0037 or less ○: dielectric loss tangent exceeds 0.0037 and 0.0040 or less △: dielectric loss tangent exceeds 0.0040 and less than 0.0045 ×: dielectric loss tangent exceeds 0.0045

(2)反り
得られた積層フィルムを50mm×50mmの大きさに裁断した。裁断された積層フィルムを、樹脂フィルム側から銅板(50mm×50mm×厚み100μm)に重ねて、ダイアフラム式真空ラミネーター(名機製作所社製「バッチ式真空ラミネーターMVLP-500-IIA」)を用い、30秒減圧して気圧を13hPa以下とした後、100℃及び圧力0.7MPaで30秒間ラミネートし、更にプレス圧力0.8MPa及びプレス温度100℃で60秒間プレスした。このようにして、銅板上に積層フィルム(樹脂フィルムの未硬化物及びPETフィルム)が積層された積層体を得た。
(2) Warp The obtained laminated film was cut into a size of 50 mm x 50 mm. The cut laminated film is overlaid on a copper plate (50 mm × 50 mm × thickness 100 μm) from the resin film side, and a diaphragm type vacuum laminator ("Batch type vacuum laminator MVLP-500-IIA" manufactured by Meiki Seisakusho Co., Ltd.) is used. After depressurizing for 1 second to an air pressure of 13 hPa or less, lamination was performed at 100° C. and a pressure of 0.7 MPa for 30 seconds, and further pressing was performed at a pressing pressure of 0.8 MPa and a pressing temperature of 100° C. for 60 seconds. Thus, a laminate was obtained in which the laminated film (the uncured resin film and the PET film) was laminated on the copper plate.

PETフィルムを付けたまま、得られた積層体を100℃で30分間加熱した後、180℃で30分間さらに加熱した。次いで、PETフィルムを剥離し、200℃で90分間加熱した。このようにして、銅板上に樹脂フィルムの硬化物が積層された積層体を得た。銅板が下側かつ硬化物が上側となるように、該積層体を平坦なガラスの上に置き、4つの角がどの程度反っているかを測定した。平坦なガラスの上面からの4つの角までの各距離を反り量とし、4つの角の反り量の平均値を求めた。硬化物の反りを下記の基準で判定した。 With the PET film attached, the resulting laminate was heated at 100° C. for 30 minutes and then further heated at 180° C. for 30 minutes. The PET film was then peeled off and heated at 200° C. for 90 minutes. Thus, a laminate was obtained in which the cured product of the resin film was laminated on the copper plate. The laminate was placed on flat glass so that the copper plate was on the bottom side and the cured product was on the top side, and how much the four corners were warped was measured. Each distance from the upper surface of the flat glass to the four corners was defined as the amount of warpage, and the average value of the amounts of warp at the four corners was obtained. Curvature of the cured product was determined according to the following criteria.

[反りの判定基準]
○○:反り量の平均値が3mm以下
○:反り量の平均値が3mmを超え5mm以下
△:反り量の平均値が5mmを超え10mm以下
×:反り量の平均値が10mmを超える
[Warpage criteria]
○○: The average value of the warp amount is 3 mm or less ○: The average value of the warp amount is more than 3 mm and 5 mm or less △: The average value of the warp amount is more than 5 mm and 10 mm or less ×: The average value of the warp amount is more than 10 mm

(3)メッキピール強度及びメッキピール強度のばらつき
ラミネート工程及び半硬化処理:
100mm角の両面銅張積層板(CCL基板)(日立化成社製「E679FG」)を用意した。この両面銅張積層板の銅箔面の両面をメック社製「Cz8101」に浸漬して、銅箔の表面を粗化処理した。名機製作所社製「バッチ式真空ラミネーターMVLP-500-IIA」を用いて、粗化処理された銅張積層板の両面に、積層フィルムの樹脂フィルム(Bステージフィルム)側を銅張積層板上に重ねてラミネートして、積層構造体を得た。ラミネートの条件は、30秒減圧して気圧を13hPa以下とし、その後30秒間、100℃及び圧力0.7MPaでラミネートし、更にプレス圧力0.8MPa及びプレス温度100℃で60秒間プレスした。その後、PETフィルムを付けたまま、積層構造体における樹脂フィルムを100℃で30分間加熱した後、180℃で30分間さらに加熱し、樹脂フィルムを半硬化させた。その後、PETフィルムを剥離することで、CCL基板に樹脂フィルムの半硬化物が積層されている積層体を得た。
(3) Variation in plating peel strength and plating peel strength Lamination process and semi-curing treatment:
A 100 mm square double-sided copper-clad laminate (CCL substrate) (“E679FG” manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) was prepared. Both sides of the copper foil surface of this double-sided copper-clad laminate were immersed in "Cz8101" manufactured by MEC Co., Ltd. to roughen the surface of the copper foil. Using Meiki Seisakusho's "Batch Type Vacuum Laminator MVLP-500-IIA", on both sides of the roughened copper clad laminate, the resin film (B stage film) side of the laminate film is placed on the copper clad laminate. to obtain a laminated structure. The lamination conditions were as follows: pressure was reduced for 30 seconds to 13 hPa or less, followed by lamination for 30 seconds at 100° C. and pressure of 0.7 MPa, followed by press pressure of 0.8 MPa and press temperature of 100° C. for 60 seconds. After that, with the PET film attached, the resin film in the laminated structure was heated at 100° C. for 30 minutes, and then further heated at 180° C. for 30 minutes to semi-harden the resin film. After that, the PET film was peeled off to obtain a laminate in which the semi-cured resin film was laminated on the CCL substrate.

粗化処理:
(a)膨潤処理:
60℃の膨潤液(アトテックジャパン社製「スウェリングディップセキュリガントP」)に、得られた積層体を入れて、10分間揺動させた。その後、純水で洗浄した。
Roughening treatment:
(a) swelling treatment:
The obtained laminate was placed in a swelling liquid (“Swelling Dip Securigant P” manufactured by Atotech Japan Co., Ltd.) at 60° C. and shaken for 10 minutes. After that, it was washed with pure water.

(b)過マンガン酸塩処理(粗化処理及びデスミア処理):
80℃の過マンガン酸カリウム(アトテックジャパン社製「コンセントレートコンパクトCP」)粗化水溶液に、膨潤処理後の積層体を入れて、30分間揺動させた。次に、25℃の洗浄液(アトテックジャパン社製「リダクションセキュリガントP」)を用いて2分間処理した後、純水で洗浄を行い、粗化処理した。
(b) Permanganate treatment (roughening treatment and desmear treatment):
The laminate after the swelling treatment was placed in a roughening aqueous solution of potassium permanganate (“Concentrate Compact CP” manufactured by Atotech Japan Co., Ltd.) at 80° C. and shaken for 30 minutes. Next, after being treated for 2 minutes using a cleaning solution (“Reduction Securigant P” manufactured by Atotech Japan Co., Ltd.) at 25° C., it was cleaned with pure water and roughened.

無電解めっき処理:
得られた粗化処理された硬化物の表面を、60℃のアルカリクリーナ(アトテックジャパン社製「クリーナーセキュリガント902」)で5分間処理し、脱脂洗浄した。洗浄後、上記硬化物を25℃のプリディップ液(アトテックジャパン社製「プリディップネオガントB」)で2分間処理した。その後、上記硬化物を40℃のアクチベーター液(アトテックジャパン社製「アクチベーターネオガント834」)で5分間処理し、パラジウム触媒を付けた。次に、30℃の還元液(アトテックジャパン社製「リデューサーネオガントWA」)により、硬化物を5分間処理した。
Electroless plating process:
The surface of the resulting roughened cured product was treated with an alkaline cleaner (“Cleaner Securigant 902” manufactured by Atotech Japan Co., Ltd.) at 60° C. for 5 minutes to be degreased and washed. After washing, the cured product was treated with a pre-dip liquid ("Pre-dip Neogant B" manufactured by Atotech Japan Co., Ltd.) at 25°C for 2 minutes. Thereafter, the cured product was treated with an activator liquid (“Activator Neogant 834” manufactured by Atotech Japan Co., Ltd.) at 40° C. for 5 minutes to attach a palladium catalyst. Next, the cured product was treated with a reducing liquid (“Reducer Neogant WA” manufactured by Atotech Japan Co., Ltd.) at 30° C. for 5 minutes.

次に、上記硬化物を化学銅液(アトテックジャパン社製「ベーシックプリントガントMSK-DK」、「カッパープリントガントMSK」、「スタビライザープリントガントMSK」、及び「リデューサーCu」)に入れ、無電解めっきをめっき厚さが0.5μm程度になるまで実施した。無電解めっき後に、残留している水素ガスを除去するため、120℃の温度で30分間アニール処理した。なお、無電解めっきの工程までの全ての工程は、ビーカースケールで処理液を2Lとし、硬化物を揺動させながら実施した。 Next, the cured product is placed in a chemical copper solution ("Basic Printgant MSK-DK", "Copper Printgant MSK", "Stabilizer Printgant MSK", and "Reducer Cu" manufactured by Atotech Japan Co., Ltd.) for electroless plating. was carried out until the plating thickness reached about 0.5 μm. After electroless plating, an annealing treatment was performed at a temperature of 120° C. for 30 minutes in order to remove residual hydrogen gas. All the steps up to the step of electroless plating were carried out with a beaker scale of 2 liters of the processing liquid, while shaking the cured product.

電解めっき処理:
次に、無電解めっき処理された硬化物に、電解めっきをめっき厚さが25μmとなるまで実施した。電解銅めっきとして硫酸銅溶液(和光純薬工業社製「硫酸銅五水和物」、和光純薬工業社製「硫酸」、アトテックジャパン社製「ベーシックレベラーカパラシド HL」、アトテックジャパン社製「補正剤カパラシド GS」)を用いて、0.6A/cmの電流を流しめっき厚さが25μm程度となるまで電解めっきを実施した。銅めっき処理後、硬化物を200℃で60分間加熱し、硬化物を更に硬化させた。このようにして、銅めっき層が上面に積層された硬化物を得た。
Electroplating treatment:
Next, the electroless-plated cured product was electroplated until the plating thickness reached 25 μm. As electrolytic copper plating, copper sulfate solution (“Copper sulfate pentahydrate” manufactured by Wako Pure Chemical Industries, “Sulfuric acid” manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd. “Basic Leveler Cupalaside HL” manufactured by Atotech Japan, “ Electroplating was carried out using a correction agent "Capalacid GS") and applying a current of 0.6 A/cm 2 until the plating thickness reached about 25 μm. After the copper plating treatment, the cured product was heated at 200° C. for 60 minutes to further cure the cured product. Thus, a cured product having a copper plating layer laminated on the upper surface was obtained.

メッキピール強度の測定:
得られた銅めっき層が上面に積層された硬化物の銅めっき層の表面に10mm幅の短冊状の切込みを、5mm間隔で合計6箇所入れた。90°剥離試験機(テスター産業社製「TE-3001」)に銅めっき層が上面に積層された硬化物をセットし、つかみ具で切込みの入った銅めっき層の端部をつまみあげ、銅めっき層を20mm剥離して剥離強度(メッキピール強度)を測定した。6箇所の切り込み箇所に対してそれぞれ剥離強度(メッキピール強度)を測定し、メッキピール強度の平均値及び標準偏差を求めた。メッキピール強度及びメッキピール強度のばらつきを下記の基準で判定した。
Plating peel strength measurement:
In the surface of the copper plating layer of the hardened product on which the obtained copper plating layer was laminated, 10 mm-wide strip-shaped cuts were made at 5 mm intervals at a total of 6 locations. Set the cured product with the copper plating layer laminated on the upper surface in a 90 ° peel tester ("TE-3001" manufactured by Tester Sangyo Co., Ltd.), pick up the edge of the copper plating layer with a notch with a gripper, and remove the copper The plating layer was peeled off by 20 mm and the peel strength (plating peel strength) was measured. The peel strength (plating peel strength) was measured for each of the six incisions, and the average value and standard deviation of the plating peel strength were determined. Plating peel strength and variations in plating peel strength were evaluated according to the following criteria.

[メッキピール強度の判定基準]
○○:メッキピール強度の平均値が0.5kgf/cm以上
〇:メッキピール強度の平均値が0.45kgf/cm以上0.5kgf/cm未満
△:メッキピール強度の平均値が0.35kgf/cm以上0.45kgf/cm未満
×:メッキピール強度の平均値が0.35kgf/cm未満
[Criteria for plating peel strength]
○○: The average value of plating peel strength is 0.5 kgf/cm or more ○: The average value of plating peel strength is 0.45 kgf/cm or more and less than 0.5 kgf/cm △: The average value of plating peel strength is 0.35 kgf/cm cm or more and less than 0.45 kgf/cm ×: Average value of plating peel strength is less than 0.35 kgf/cm

[メッキピール強度のばらつき判定基準]
○○:メッキピール強度の標準偏差が0.03kgf/cm未満
〇:メッキピール強度の標準偏差が0.03kgf/cm以上0.05kgf/cm未満
△:メッキピール強度の標準偏差が0.05kgf/cm以上0.07kgf/cm未満
×:メッキピール強度の標準偏差が0.07kgf/cm以上
[Criteria for determination of variations in plating peel strength]
○○: Standard deviation of plating peel strength is less than 0.03 kgf/cm ○: Standard deviation of plating peel strength is 0.03 kgf/cm or more and less than 0.05 kgf/cm △: Standard deviation of plating peel strength is 0.05 kgf/cm cm or more and less than 0.07 kgf/cm ×: Standard deviation of plating peel strength is 0.07 kgf/cm or more

組成及び結果を下記の表1に示す。 Compositions and results are shown in Table 1 below.

Figure 0007226954000011
Figure 0007226954000011

11…多層プリント配線板
12…回路基板
12a…上面
13~16…絶縁層
17…金属層
DESCRIPTION OF SYMBOLS 11... Multilayer printed wiring board 12... Circuit board 12a... Upper surface 13-16... Insulating layer 17... Metal layer

Claims (8)

エポキシ化合物と、無機充填材と、硬化剤とを含み、
前記エポキシ化合物が、25℃で液状のエポキシ化合物と、25℃で固形のエポキシ化合物とを含み、
前記25℃で液状のエポキシ化合物の25℃での粘度が1000mPa・s以下であり、
前記硬化剤が、下記式(11)又は下記式(12)で表される構造を有する化合物を含む、樹脂材料。
Figure 0007226954000012

前記式(11)中、R1及びR2はそれぞれ、水素原子、又は炭素数が1以上20以下の有機基を表す。
Figure 0007226954000013
前記式(12)中、R3は、窒素原子ともにヘテロ環を構成する基を表す。
including an epoxy compound, an inorganic filler, and a curing agent;
The epoxy compound comprises an epoxy compound that is liquid at 25°C and an epoxy compound that is solid at 25°C,
The epoxy compound that is liquid at 25°C has a viscosity at 25°C of 1000 mPa s or less,
The resin material, wherein the curing agent contains a compound having a structure represented by the following formula (11) or (12).
Figure 0007226954000012

In formula (11), R1 and R2 each represent a hydrogen atom or an organic group having 1 to 20 carbon atoms.
Figure 0007226954000013
In the formula (12), R3 represents a group forming a heterocyclic ring together with the nitrogen atom.
前記式(11)又は前記式(12)で表される構造を有する化合物が、脂環式骨格、又は芳香族骨格を有する化合物である、請求項1に記載の樹脂材料。 2. The resin material according to claim 1, wherein the compound having the structure represented by formula (11) or formula (12) is a compound having an alicyclic skeleton or an aromatic skeleton. 前記式(11)又は前記式(12)で表される構造を有する化合物の分子量が、400以上10000以下である、請求項1又は2に記載の樹脂材料。 The resin material according to claim 1 or 2, wherein the compound having the structure represented by formula (11) or formula (12) has a molecular weight of 400 or more and 10,000 or less. 樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、前記無機充填材の含有量が50重量%以上である、請求項1~3のいずれか1項に記載の樹脂材料。 4. The resin material according to any one of claims 1 to 3, wherein the content of the inorganic filler is 50% by weight or more in 100% by weight of components excluding the solvent in the resin material. 前記硬化剤が、活性エステル化合物、マレイミド化合物、又はシアネートエステル化合物を含む、請求項1~4のいずれか1項に記載の樹脂材料。 The resin material according to any one of claims 1 to 4, wherein the curing agent comprises an active ester compound, a maleimide compound, or a cyanate ester compound. 樹脂フィルムである、請求項1~5のいずれか1項に記載の樹脂材料。 The resin material according to any one of claims 1 to 5, which is a resin film. 多層プリント配線板において、絶縁層を形成するために用いられる、請求項1~6のいずれか1項に記載の樹脂材料。 7. The resin material according to claim 1, which is used for forming an insulating layer in a multilayer printed wiring board. 回路基板と、
前記回路基板の表面上に配置された複数の絶縁層と、
複数の前記絶縁層間に配置された金属層とを備え、
複数の前記絶縁層の内の少なくとも1層が、請求項1~7のいずれか1項に記載の樹脂材料の硬化物である、多層プリント配線板。
a circuit board;
a plurality of insulating layers disposed on the surface of the circuit board;
A metal layer disposed between the plurality of insulating layers,
A multilayer printed wiring board, wherein at least one of the plurality of insulating layers is a cured product of the resin material according to any one of claims 1 to 7.
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