JP7112439B2 - Cured body, B stage film and multilayer printed wiring board - Google Patents
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Description
本発明は、樹脂材料の硬化体及びBステージフィルムに関する。また、本発明は、上記硬化体を用いた多層プリント配線板に関する。 TECHNICAL FIELD The present invention relates to a cured resin material and a B-stage film. The present invention also relates to a multilayer printed wiring board using the cured product.
従来、半導体装置、積層板及びプリント配線板等の電子部品を得るために、様々な樹脂材料が用いられている。例えば、多層プリント配線板では、内部の層間を絶縁するための絶縁層を形成したり、表層部分に位置する絶縁層を形成したりするために、樹脂材料が用いられている。上記絶縁層の表面には、一般に金属である配線が積層される。また、上記絶縁層を形成するために、上記樹脂材料がフィルム化された樹脂フィルムが用いられることがある。上記樹脂材料及び上記樹脂フィルムは、ビルドアップフィルムを含む多層プリント配線板用の絶縁材料等として用いられている。 2. Description of the Related Art Conventionally, various resin materials have been used to obtain electronic components such as semiconductor devices, laminates and printed wiring boards. For example, in a multilayer printed wiring board, a resin material is used to form an insulating layer for insulation between internal layers and to form an insulating layer positioned on a surface layer. Wiring, which is generally made of metal, is laminated on the surface of the insulating layer. Moreover, in order to form the insulating layer, a resin film obtained by forming the resin material into a film may be used. The above resin materials and resin films are used as insulating materials for multilayer printed wiring boards including build-up films.
下記の特許文献1には、マレイミド基と、少なくとも2つのイミド結合を有する2価の基及び飽和又は不飽和の2価の炭化水素基とを有する化合物を含有する樹脂組成物が開示されている。特許文献1には、この樹脂組成物の硬化物を、多層プリント配線板等の絶縁層として用いることができることが記載されている。 Patent Document 1 below discloses a resin composition containing a compound having a maleimide group, a divalent group having at least two imide bonds, and a saturated or unsaturated divalent hydrocarbon group. . Patent Literature 1 describes that a cured product of this resin composition can be used as an insulating layer of a multilayer printed wiring board or the like.
下記の特許文献2には、(A)エポキシ樹脂、(B)活性エステル化合物、(C)カルボジイミド化合物、(D)熱可塑性樹脂及び(E)無機充填材を含み、(E)成分の含有量が、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%としたとき、40質量%以上である樹脂組成物が開示されている。 Patent Document 2 below describes (A) an epoxy resin, (B) an active ester compound, (C) a carbodiimide compound, (D) a thermoplastic resin and (E) an inorganic filler, and the content of the (E) component However, when the non-volatile component in the resin composition is taken as 100% by mass, a resin composition is disclosed in which the content is 40% by mass or more.
多層プリント配線板の製造時には、樹脂材料を加熱して硬化することにより、絶縁層が形成される。また、多層プリント配線板の製造時には、ビアホールが形成される。 When manufacturing a multilayer printed wiring board, an insulating layer is formed by heating and curing a resin material. Also, via holes are formed during the manufacture of multilayer printed wiring boards.
また、特許文献1,2に記載のような従来の樹脂材料では、絶縁層の柔軟性が小さく、絶縁層が高温に晒された場合に、絶縁層に反りが生じたり、ビアホール周辺において絶縁層にひび又は割れが生じたりしやすい。 In addition, with conventional resin materials such as those described in Patent Documents 1 and 2, the flexibility of the insulating layer is small, and when the insulating layer is exposed to high temperatures, the insulating layer warps, and the insulating layer may be deformed around the via hole. Cracks or splits are likely to occur.
本発明の目的は、絶縁層の反りを抑えることができ、かつビアホール周辺の絶縁層のひび又は割れを抑えることができる樹脂材料の硬化体及びBステージフィルムを提供することである。また、本発明は、上記硬化体を用いた多層プリント配線板を提供することである。 SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a cured resin material and a B-stage film that can suppress warping of an insulating layer and cracks or cracks in the insulating layer around a via hole. Moreover, this invention is providing the multilayer printed wiring board using the said hardening body.
本発明の広い局面によれば、樹脂材料の硬化体であって、絶縁材料として用いられる硬化体であり、パルスNMRを用いて得られる170℃での自由誘導減衰曲線に基づいて、前記硬化体に含まれる成分を、スピン-スピン緩和時間の短い順に、170℃でのハード成分、170℃でのミドル成分、170℃でのソフト成分の3成分に分離したときに、前記170℃でのハード成分の含有量と前記170℃でのミドル成分の含有量と前記170℃でのソフト成分の含有量との合計100%中、前記170℃でのソフト成分の含有量が5%以上40%以下である、硬化体が提供される。 According to a broad aspect of the present invention, a cured body of a resin material is used as an insulating material, and based on a free induction decay curve at 170° C. obtained using pulse NMR, the cured body is separated into three components, a hard component at 170 ° C., a middle component at 170 ° C., and a soft component at 170 ° C., in order of shortest spin-spin relaxation time, the hard component at 170 ° C. The content of the soft component at 170°C is 5% or more and 40% or less in the total 100% of the content of the component, the content of the middle component at 170°C, and the content of the soft component at 170°C. A cured body is provided.
本発明に係る硬化体のある特定の局面では、前記170℃でのハード成分の含有量と前記170℃でのミドル成分の含有量と前記170℃でのソフト成分の含有量との合計100%中、前記170℃でのソフト成分の含有量が10%以上25%以下である。 In a specific aspect of the cured body according to the present invention, the total of the content of the hard component at 170°C, the content of the middle component at 170°C, and the content of the soft component at 170°C is 100%. In particular, the content of the soft component at 170° C. is 10% or more and 25% or less.
本発明に係る硬化体のある特定の局面では、パルスNMRを用いて得られる30℃での自由誘導減衰曲線に基づいて、前記硬化体に含まれる成分を、スピン-スピン緩和時間の短い順に、30℃でのハード成分、30℃でのミドル成分、30℃でのソフト成分の3成分に分離したときに、前記170℃でのハード成分の含有量と前記170℃でのミドル成分の含有量と前記170℃でのソフト成分の含有量との合計100%中の前記170℃でのソフト成分の含有量の、前記30℃でのハード成分の含有量と前記30℃でのミドル成分の含有量と前記30℃でのソフト成分の含有量との合計100%中の前記30℃でのソフト成分の含有量に対する比が、2以上30以下である。 In a specific aspect of the cured body according to the present invention, based on the free induction decay curve at 30 ° C. obtained using pulse NMR, the components contained in the cured body are sorted in descending order of spin-spin relaxation time, When separated into three components, a hard component at 30°C, a middle component at 30°C, and a soft component at 30°C, the content of the hard component at 170°C and the content of the middle component at 170°C and the content of the soft component at 170°C, the content of the soft component at 170°C, the content of the hard component at 30°C, and the content of the middle component at 30°C The ratio of the content of the soft component at 30° C. to the content of the soft component at 30° C. in the total 100% of the amount and the content of the soft component at 30° C. is 2 or more and 30 or less.
本発明に係る硬化体のある特定の局面では、前記樹脂材料が、熱硬化性化合物と、無機充填材とを含む。 In a specific aspect of the cured body according to the present invention, the resin material contains a thermosetting compound and an inorganic filler.
本発明に係る硬化体のある特定の局面では、前記樹脂材料が、熱硬化性化合物と、硬化剤とを含み、前記熱硬化性化合物が、エポキシ化合物を含み、前記硬化剤が、活性エステル化合物を含む。 In a specific aspect of the cured body according to the present invention, the resin material comprises a thermosetting compound and a curing agent, the thermosetting compound comprises an epoxy compound, and the curing agent comprises an active ester compound. including.
本発明の広い局面によれば、Bステージフィルムであって、絶縁材料として用いられるBステージフィルムであり、Bステージフィルムを、130℃で30分間、170℃で30分間、200℃で1時間、この順に加熱してBステージフィルムの硬化体を得て、パルスNMRを用いて得られる170℃での自由誘導減衰曲線に基づいて、前記硬化体に含まれる成分を、スピン-スピン緩和時間の短い順に、170℃でのハード成分、170℃でのミドル成分、170℃でのソフト成分の3成分に分離したときに、前記170℃でのハード成分の含有量と前記170℃でのミドル成分の含有量と前記170℃でのソフト成分の含有量との合計100%中、前記170℃でのソフト成分の含有量が5%以上40%以下である、Bステージフィルムが提供される。 According to a broad aspect of the invention, a B-staged film used as an insulating material, the B-staged film being heated at 130° C. for 30 minutes, 170° C. for 30 minutes, 200° C. for 1 hour, By heating in this order, a cured body of a B-stage film was obtained, and based on the free induction decay curve at 170 ° C. obtained using pulse NMR, the components contained in the cured body were identified as having a short spin-spin relaxation time. When separated in order into three components, a hard component at 170°C, a middle component at 170°C, and a soft component at 170°C, the content of the hard component at 170°C and the content of the middle component at 170°C. A B-stage film is provided in which the content of the soft component at 170°C is 5% or more and 40% or less in the total 100% of the content and the content of the soft component at 170°C.
本発明に係るBステージフィルムのある特定の局面では、前記170℃でのハード成分の含有量と前記170℃でのミドル成分の含有量と前記170℃でのソフト成分の含有量との合計100%中、前記170℃でのソフト成分の含有量が10%以上25%以下である。 In a specific aspect of the B-stage film according to the present invention, the total of the content of the hard component at 170°C, the content of the middle component at 170°C, and the content of the soft component at 170°C is 100. %, the content of the soft component at 170° C. is 10% or more and 25% or less.
本発明に係るBステージフィルムのある特定の局面では、パルスNMRを用いて得られる30℃での自由誘導減衰曲線に基づいて、前記硬化体に含まれる成分を、スピン-スピン緩和時間の短い順に、30℃でのハード成分、30℃でのミドル成分、30℃でのソフト成分の3成分に分離したときに、前記170℃でのハード成分の含有量と前記170℃でのミドル成分の含有量と前記170℃でのソフト成分の含有量との合計100%中の前記170℃でのソフト成分の含有量の、前記30℃でのハード成分の含有量と前記30℃でのミドル成分の含有量と前記30℃でのソフト成分の含有量との合計100%中の前記30℃でのソフト成分の含有量に対する比が、2以上30以下である。 In a specific aspect of the B-stage film according to the present invention, the components contained in the cured body are sorted in descending order of spin-spin relaxation time based on the free induction decay curve at 30° C. obtained using pulse NMR. , the hard component at 30°C, the middle component at 30°C, and the soft component at 30°C, the content of the hard component at 170°C and the content of the middle component at 170°C of the content of the soft component at 170°C, the content of the hard component at 30°C and the content of the middle component at 30°C in the total 100% of the amount and the content of the soft component at 170°C The ratio of the content of the soft component at 30° C. to the content of the soft component at 30° C. in the total 100% of the content and the content of the soft component at 30° C. is 2 or more and 30 or less.
本発明に係るBステージフィルムは、多層プリント配線板において、絶縁層を形成するために好適に用いられる。 The B-stage film according to the present invention is suitably used for forming insulating layers in multilayer printed wiring boards.
本発明の広い局面によれば、回路基板と、前記回路基板の表面上に配置された複数の絶縁層と、複数の前記絶縁層間に配置された金属層とを備え、複数の前記絶縁層の内の少なくとも1層の前記絶縁層の材料が、上述した硬化体である、多層プリント配線板が提供される。 According to a broad aspect of the present invention, the present invention comprises a circuit board, a plurality of insulating layers disposed on a surface of the circuit board, and a metal layer disposed between the plurality of insulating layers, wherein A multilayer printed wiring board is provided in which the material of at least one of the insulating layers is the above-described cured material.
本発明に係る硬化体は、樹脂材料の硬化体であって、絶縁材料として用いられる硬化体である。本発明では、パルスNMRを用いて得られる170℃での自由誘導減衰曲線に基づいて、上記硬化体に含まれる成分を、スピン-スピン緩和時間の短い順に、170℃でのハード成分、170℃でのミドル成分、170℃でのソフト成分の3成分に分離する。本発明に係る硬化体では、上記170℃でのハード成分の含有量と上記170℃でのミドル成分の含有量と上記170℃でのソフト成分の含有量との合計100%中、上記170℃でのソフト成分の含有量が5%以上40%以下である。本発明に係る硬化体では、上記の構成が備えられているので、絶縁層の反りを抑えることができ、かつビアホール周辺の絶縁層のひび又は割れを抑えることができる。 A cured body according to the present invention is a cured body of a resin material, and is a cured body used as an insulating material. In the present invention, based on the free induction decay curve at 170 ° C. obtained using pulse NMR, the components contained in the cured body are sorted in order of shortest spin-spin relaxation time at 170 ° C., hard components at 170 ° C. It separates into three components, a middle component at 170°C and a soft component at 170°C. In the cured body according to the present invention, the above 170°C The content of the soft component in is 5% or more and 40% or less. Since the cured body according to the present invention has the above configuration, warping of the insulating layer can be suppressed, and cracking or splitting of the insulating layer around the via hole can be suppressed.
本発明に係るBステージフィルムは、絶縁材料として用いられるBステージフィルムである。本発明では、Bステージフィルムを、130℃で30分間、170℃で30分間、200℃で1時間、この順に加熱してBステージフィルムの硬化体を得る。本発明では、パルスNMRを用いて得られる170℃での自由誘導減衰曲線に基づいて、上記硬化体に含まれる成分を、スピン-スピン緩和時間の短い順に、170℃でのハード成分、170℃でのミドル成分、170℃でのソフト成分の3成分に分離する。本発明に係るBステージフィルムでは、上記170℃でのハード成分の含有量と上記170℃でのミドル成分の含有量と上記170℃でのソフト成分の含有量との合計100%中、上記170℃でのソフト成分の含有量が5%以上40%以下である。本発明に係るBステージフィルムでは、上記の構成が備えられているので、絶縁層の反りを抑えることができ、かつビアホール周辺の絶縁層のひび又は割れを抑えることができる。 The B-stage film according to the present invention is a B-stage film used as an insulating material. In the present invention, the B-stage film is heated at 130° C. for 30 minutes, 170° C. for 30 minutes and 200° C. for 1 hour in this order to obtain a cured B-stage film. In the present invention, based on the free induction decay curve at 170 ° C. obtained using pulse NMR, the components contained in the cured body are sorted in order of shortest spin-spin relaxation time at 170 ° C., hard components at 170 ° C. It separates into three components, a middle component at 170°C and a soft component at 170°C. In the B stage film according to the present invention, the content of the hard component at 170° C., the content of the middle component at 170° C., and the content of the soft component at 170° C. out of the total 100%, the above 170 The content of the soft component at °C is 5% or more and 40% or less. Since the B-stage film according to the present invention has the above structure, it is possible to suppress the warping of the insulating layer and the cracking or breakage of the insulating layer around the via hole.
以下、本発明を詳細に説明する。 The present invention will be described in detail below.
本発明に係る硬化体は、樹脂材料の硬化体であって、絶縁材料として用いられる硬化体である。 A cured body according to the present invention is a cured body of a resin material, and is a cured body used as an insulating material.
本発明では、パルスNMRを用いて得られる170℃での自由誘導減衰曲線に基づいて、上記硬化体に含まれる成分を、スピン-スピン緩和時間の短い順に、170℃でのハード成分、170℃でのミドル成分、170℃でのソフト成分の3成分に分離する。本発明に係る硬化体では、上記170℃でのハード成分の含有量と上記170℃でのミドル成分の含有量と上記170℃でのソフト成分の含有量との合計100%中、上記170℃でのソフト成分の含有量が5%以上40%以下である。 In the present invention, based on the free induction decay curve at 170 ° C. obtained using pulse NMR, the components contained in the cured body are sorted in order of shortest spin-spin relaxation time at 170 ° C., hard components at 170 ° C. It separates into three components, a middle component at 170°C and a soft component at 170°C. In the cured body according to the present invention, the above 170°C The content of the soft component in is 5% or more and 40% or less.
本発明に係るBステージフィルムは、絶縁材料として用いられるBステージフィルムである。 The B-stage film according to the present invention is a B-stage film used as an insulating material.
本発明では、Bステージフィルムを、130℃で30分間、170℃で30分間、200℃で1時間、この順に加熱してBステージフィルムの硬化体を得る。本発明では、パルスNMRを用いて得られる170℃での自由誘導減衰曲線に基づいて、上記硬化体に含まれる成分を、スピン-スピン緩和時間の短い順に、170℃でのハード成分、170℃でのミドル成分、170℃でのソフト成分の3成分に分離する。本発明に係るBステージフィルムでは、上記170℃でのハード成分の含有量と上記170℃でのミドル成分の含有量と上記170℃でのソフト成分の含有量との合計100%中、上記170℃でのソフト成分の含有量が5%以上40%以下である。 In the present invention, the B-stage film is heated at 130° C. for 30 minutes, 170° C. for 30 minutes and 200° C. for 1 hour in this order to obtain a cured B-stage film. In the present invention, based on the free induction decay curve at 170 ° C. obtained using pulse NMR, the components contained in the cured body are sorted in order of shortest spin-spin relaxation time at 170 ° C., hard components at 170 ° C. It separates into three components, a middle component at 170°C and a soft component at 170°C. In the B stage film according to the present invention, the content of the hard component at 170° C., the content of the middle component at 170° C., and the content of the soft component at 170° C. out of the total 100%, the above 170 The content of the soft component at °C is 5% or more and 40% or less.
本発明に係る硬化体及びBステージフィルムでは、上記の構成が備えられているので、絶縁層の反りを抑えることができ、かつビアホール周辺の絶縁層のひび又は割れを抑えることができる。本発明に係る硬化体及びBステージフィルムでは、絶縁層の反りを抑えることができ、絶縁層の応力緩和を適度にすることができ、また、線膨張係数を小さくすることができるので、ビアホール周辺の絶縁層のひび又は割れを抑えることができる。そのため、本発明に係る硬化体及びBステージフィルムでは、冷熱サイクル試験において、接続信頼性を高めることができる。 Since the cured product and the B-stage film according to the present invention have the above configuration, warping of the insulating layer can be suppressed, and cracking or splitting of the insulating layer around the via hole can be suppressed. In the cured product and B-stage film according to the present invention, the warpage of the insulating layer can be suppressed, the stress relaxation of the insulating layer can be moderated, and the linear expansion coefficient can be reduced. It is possible to suppress cracks or cracks in the insulating layer of Therefore, in the cured body and B stage film according to the present invention, the connection reliability can be improved in the thermal cycle test.
本発明に係る硬化体及びBステージフィルムでは、上記170℃でのハード成分の含有量と上記170℃でのミドル成分の含有量と上記170℃でのソフト成分の含有量との合計100%中、上記170℃でのソフト成分の含有量は、5%以上40%以下である。本発明では、上記170℃でのソフト成分の含有量は比較的多い。そのため、高温領域における硬化体の応力緩和及び柔軟性を良好にすることができ、絶縁層の反り及びビアホール周辺の絶縁層のひび又は割れの発生を防ぐことができる。なお、上記170℃でのハード成分の含有量と上記170℃でのミドル成分の含有量と上記170℃でのソフト成分の含有量との合計は、170℃での硬化体の成分全体の含有量である。 In the cured product and B-stage film according to the present invention, the content of the hard component at 170°C, the content of the middle component at 170°C, and the content of the soft component at 170°C are all 100% of the total. , the content of the soft component at 170° C. is 5% or more and 40% or less. In the present invention, the content of the soft component at 170°C is relatively large. Therefore, stress relaxation and flexibility of the cured body in a high-temperature region can be improved, and warping of the insulating layer and cracking or splitting of the insulating layer around the via hole can be prevented. The sum of the content of the hard component at 170°C, the content of the middle component at 170°C, and the content of the soft component at 170°C is the total content of the components of the cured product at 170°C. quantity.
本発明に係る硬化体及びBステージフィルムでは、上記170℃でのハード成分の含有量と上記170℃でのミドル成分の含有量と上記170℃でのソフト成分の含有量との合計100%中、上記170℃でのソフト成分の含有量は、好ましくは7.5%以上、より好ましくは10%以上、更に好ましくは12%以上である。本発明に係る硬化体及びBステージフィルムでは、上記170℃でのハード成分の含有量と上記170℃でのミドル成分の含有量と上記170℃でのソフト成分の含有量との合計100%中、上記170℃でのソフト成分の含有量は、好ましくは25%以下、より好ましくは20%以下である。上記170℃でのソフト成分の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、絶縁層の反り及びビアホール周辺の絶縁層のひび又は割れの発生をより一層効果的に防ぐことができる。 In the cured product and B-stage film according to the present invention, the content of the hard component at 170°C, the content of the middle component at 170°C, and the content of the soft component at 170°C are all 100% of the total. , the content of the soft component at 170°C is preferably 7.5% or more, more preferably 10% or more, and still more preferably 12% or more. In the cured product and B-stage film according to the present invention, the content of the hard component at 170°C, the content of the middle component at 170°C, and the content of the soft component at 170°C are all 100% of the total. , the content of the soft component at 170°C is preferably 25% or less, more preferably 20% or less. When the content of the soft component at 170° C. is equal to or higher than the lower limit and equal to or lower than the upper limit, it is possible to more effectively prevent warping of the insulating layer and cracking or breakage of the insulating layer around the via hole.
本発明では、パルスNMRを用いて得られる30℃での自由誘導減衰曲線に基づいて、上記硬化体に含まれる成分を、スピン-スピン緩和時間の短い順に、30℃でのハード成分、30℃でのミドル成分、30℃でのソフト成分の3成分に分離することが好ましい。 In the present invention, based on the free induction decay curve at 30 ° C. obtained using pulse NMR, the components contained in the above-mentioned cured body are sorted in order of shortest spin-spin relaxation time at 30 ° C., hard components at 30 ° C., 30 ° C. It is preferable to separate into three components, a middle component at 30°C and a soft component at 30°C.
本発明に係る硬化体及びBステージフィルムでは、上記30℃でのハード成分の含有量と上記30℃でのミドル成分の含有量と上記30℃でのソフト成分の含有量との合計100%中、上記30℃でのソフト成分の含有量は、好ましくは0.1%以上、より好ましくは0.5%以上である。本発明に係る硬化体及びBステージフィルムでは、上記30℃でのハード成分の含有量と上記30℃でのミドル成分の含有量と上記30℃でのソフト成分の含有量との合計100%中、上記30℃でのソフト成分の含有量は、好ましくは10%以下、より好ましくは5%以下、更に好ましくは3%以下である。上記30℃でのソフト成分の含有量が上記下限以上であると、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができる。なお、上記30℃でのハード成分の含有量と上記30℃でのミドル成分の含有量と上記30℃でのソフト成分の含有量との合計は、30℃での硬化体の成分全体の含有量である。 In the cured product and B stage film according to the present invention, the content of the hard component at 30 ° C., the content of the middle component at 30 ° C., and the content of the soft component at 30 ° C. are included in the total 100% , the content of the soft component at 30°C is preferably 0.1% or more, more preferably 0.5% or more. In the cured product and B stage film according to the present invention, the content of the hard component at 30 ° C., the content of the middle component at 30 ° C., and the content of the soft component at 30 ° C. are included in the total 100% , the content of the soft component at 30°C is preferably 10% or less, more preferably 5% or less, still more preferably 3% or less. When the content of the soft component at 30°C is equal to or higher than the above lower limit, the effect of the present invention can be exhibited more effectively. The sum of the content of the hard component at 30°C, the content of the middle component at 30°C, and the content of the soft component at 30°C is the total content of the components of the cured product at 30°C. quantity.
上記170℃でのハード成分の含有量と上記170℃でのミドル成分の含有量と上記170℃でのソフト成分の含有量との合計100%中の上記170℃でのソフト成分の含有量を含有量(1)とする。上記30℃でのハード成分の含有量と上記30℃でのミドル成分の含有量と上記30℃でのソフト成分の含有量との合計100%中の上記30℃でのソフト成分の含有量を含有量(2)とする。本発明に係る硬化体及びBステージフィルムでは、含有量(1)の含有量(2)に対する比(含有量(1)/含有量(2))は、好ましくは2以上、より好ましくは5以上、好ましくは30以下、より好ましくは20以下、更に好ましくは15以下である。上記比(含有量(1)/含有量(2))が上記下限以上及び上記上限以下であると、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができる。 The content of the soft component at 170°C in the total 100% of the content of the hard component at 170°C, the content of the middle component at 170°C, and the content of the soft component at 170°C Content (1). The content of the soft component at 30°C in the total 100% of the content of the hard component at 30°C, the content of the middle component at 30°C, and the content of the soft component at 30°C Content (2). In the cured product and B-stage film according to the present invention, the ratio of content (1) to content (2) (content (1)/content (2)) is preferably 2 or more, more preferably 5 or more , preferably 30 or less, more preferably 20 or less, still more preferably 15 or less. When the ratio (content (1)/content (2)) is not less than the lower limit and not more than the upper limit, the effects of the present invention can be exhibited more effectively.
本発明に係る硬化体及びBステージフィルムでは、上記170℃でのソフト成分のスピン-スピン緩和時間は、好ましくは0.15ミリ秒以上、より好ましくは0.25ミリ秒以上、好ましくは0.6ミリ秒以下、より好ましくは0.5ミリ秒以下である。上記170℃でのソフト成分のスピン-スピン緩和時間が上記下限以上及び上記上限以下であると、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができる。 In the cured product and B stage film according to the present invention, the spin-spin relaxation time of the soft component at 170° C. is preferably 0.15 milliseconds or more, more preferably 0.25 milliseconds or more, and preferably 0.25 milliseconds or more. It is 6 milliseconds or less, more preferably 0.5 milliseconds or less. When the spin-spin relaxation time of the soft component at 170° C. is not less than the lower limit and not more than the upper limit, the effects of the present invention can be exhibited more effectively.
本発明に係る硬化体及びBステージフィルムでは、上記30℃でのソフト成分のスピン-スピン緩和時間は、好ましくは0.1ミリ秒以上、より好ましくは0.2ミリ秒以上、好ましくは0.5ミリ秒以下、より好ましくは0.4ミリ秒以下である。上記30℃でのソフト成分のスピン-スピン緩和時間が上記下限以上及び上記上限以下であると、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができる。 In the cured product and B-stage film according to the present invention, the spin-spin relaxation time of the soft component at 30° C. is preferably 0.1 milliseconds or more, more preferably 0.2 milliseconds or more, and preferably 0.2 milliseconds or more. It is 5 milliseconds or less, more preferably 0.4 milliseconds or less. When the spin-spin relaxation time of the soft component at 30° C. is not less than the lower limit and not more than the upper limit, the effects of the present invention can be exhibited more effectively.
本発明に係る硬化体及びBステージフィルムでは、上記170℃でのソフト成分のスピン-スピン緩和時間の、上記30℃でのソフト成分のスピン-スピン緩和時間に対する比(170℃でのソフト成分のスピン-スピン緩和時間/30℃でのソフト成分のスピン-スピン緩和時間)は、好ましくは2以下である。上記比(170℃でのソフト成分のスピン-スピン緩和時間/30℃でのソフト成分のスピン-スピン緩和時間)が上記上限以下であると、ビアホール周辺の絶縁層のひび又は割れの発生をより一層効果的に抑えることができる。 In the cured product and B-stage film according to the present invention, the ratio of the spin-spin relaxation time of the soft component at 170 ° C. to the spin-spin relaxation time of the soft component at 30 ° C. (the ratio of the spin-spin relaxation time of the soft component at 170 ° C. The spin-spin relaxation time/spin-spin relaxation time of the soft component at 30° C.) is preferably 2 or less. If the above ratio (spin-spin relaxation time of the soft component at 170° C./spin-spin relaxation time of the soft component at 30° C.) is equal to or less than the above upper limit, cracks or splits in the insulating layer around the via hole are less likely to occur. can be suppressed more effectively.
上記30℃でのハード成分、ミドル成分及びソフト成分の含有量、上記170℃でのハード成分、ミドル成分及びソフト成分の含有量、並びに上記170℃でのソフト成分のスピン-スピン緩和時間及び上記30℃でのソフト成分のスピン-スピン緩和時間は、具体的には、実施例に記載の方法で求められる。 The content of the hard component, the middle component and the soft component at 30°C, the content of the hard component, the middle component and the soft component at 170°C, the spin-spin relaxation time of the soft component at 170°C and the above Specifically, the spin-spin relaxation time of the soft component at 30° C. can be determined by the method described in Examples.
上記170℃でのソフト成分及び上記30℃でのソフト成分の含有量、上記比(含有量(1)/含有量(2))、上記170℃でのソフト成分及び上記30℃でのソフト成分のスピン-スピン緩和時間を、上記の好ましい範囲に制御する方法としては以下の方法が挙げられる。(1)予備硬化時の加熱温度を制御することにより相分離を緩和させ、上記170℃でのソフト成分の含有量を増やすことができる。(2)ポリマー成分のTgを100℃以上150℃以下にすることでソフト成分の温度依存性を制御できる。 The content of the soft component at 170°C and the soft component at 30°C, the ratio (content (1)/content (2)), the soft component at 170°C and the soft component at 30°C As a method for controlling the spin-spin relaxation time in the above preferred range, the following method can be mentioned. (1) By controlling the heating temperature during pre-curing, the phase separation can be alleviated and the content of the soft component at 170° C. can be increased. (2) The temperature dependence of the soft component can be controlled by setting the Tg of the polymer component to 100°C or higher and 150°C or lower.
以下、本発明に係る硬化体及び該硬化体を得るための樹脂材料に用いられる各成分の詳細、並びに本発明に係る硬化体の用途などを説明する。また、以下、本発明に係るBステージフィルムに用いられる各成分の詳細及び本発明に係るBステージフィルムの用途などを説明する。なお、Bステージフィルムは、樹脂材料である。 Hereinafter, the details of each component used in the cured product of the present invention, the resin material for obtaining the cured product, and the use of the cured product of the present invention will be described. Details of each component used in the B-stage film according to the present invention and applications of the B-stage film according to the present invention will be described below. In addition, the B stage film is a resin material.
[熱硬化性化合物]
上記樹脂材料は、熱硬化性化合物を含むことが好ましい。上記硬化体は、上記樹脂材料の熱硬化物であることが好ましい。上記熱硬化性化合物としては、エポキシ化合物、マレイミド化合物、スチレン化合物、フェノキシ化合物、オキセタン化合物、エピスルフィド化合物、(メタ)アクリル化合物、フェノール化合物、アミノ化合物、不飽和ポリエステル化合物、ポリウレタン化合物、及びシリコーン化合物等が挙げられる。上記熱硬化性化合物は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[Thermosetting compound]
The resin material preferably contains a thermosetting compound. The cured body is preferably a thermoset of the resin material. Examples of the thermosetting compounds include epoxy compounds, maleimide compounds, styrene compounds, phenoxy compounds, oxetane compounds, episulfide compounds, (meth)acrylic compounds, phenol compounds, amino compounds, unsaturated polyester compounds, polyurethane compounds, and silicone compounds. is mentioned. As for the said thermosetting compound, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.
硬化体の熱寸法安定性をより一層高める観点からは、上記熱硬化性化合物は、上記エポキシ化合物又は上記マレイミド化合物を含むこと好ましく、上記エポキシ化合物を含むことがより好ましい。 From the viewpoint of further enhancing the thermal dimensional stability of the cured product, the thermosetting compound preferably contains the epoxy compound or the maleimide compound, and more preferably contains the epoxy compound.
<エポキシ化合物>
上記エポキシ化合物として、従来公知のエポキシ化合物を用いることができる。上記エポキシ化合物は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
<Epoxy compound>
A conventionally well-known epoxy compound can be used as the epoxy compound. Only one type of the epoxy compound may be used, or two or more types may be used in combination.
上記エポキシ化合物としては、ビスフェノールA型エポキシ化合物、ビスフェノールF型エポキシ化合物、ビスフェノールS型エポキシ化合物、フェノールノボラック型エポキシ化合物、ビフェニル型エポキシ化合物、ビフェニルノボラック型エポキシ化合物、ビフェノール型エポキシ化合物、ナフタレン型エポキシ化合物、フルオレン型エポキシ化合物、フェノールアラルキル型エポキシ化合物、ナフトールアラルキル型エポキシ化合物、ジシクロペンタジエン型エポキシ化合物、アントラセン型エポキシ化合物、アダマンタン骨格を有するエポキシ化合物、トリシクロデカン骨格を有するエポキシ化合物、ナフチレンエーテル型エポキシ化合物、及びトリアジン核を骨格に有するエポキシ化合物等が挙げられる。 Examples of the epoxy compounds include bisphenol A type epoxy compounds, bisphenol F type epoxy compounds, bisphenol S type epoxy compounds, phenol novolac type epoxy compounds, biphenyl type epoxy compounds, biphenyl novolac type epoxy compounds, biphenol type epoxy compounds, and naphthalene type epoxy compounds. , fluorene type epoxy compound, phenol aralkyl type epoxy compound, naphthol aralkyl type epoxy compound, dicyclopentadiene type epoxy compound, anthracene type epoxy compound, epoxy compound having adamantane skeleton, epoxy compound having tricyclodecane skeleton, naphthylene ether type Epoxy compounds, epoxy compounds having a triazine core in the skeleton, and the like are included.
上記エポキシ化合物は、芳香族骨格を有するエポキシ化合物を含むことが好ましく、ナフタレン骨格又はフェニル骨格を有するエポキシ化合物を含むことがより好ましく、芳香族骨格を有するエポキシ化合物であることが更に好ましく、ナフタレン骨格を有するエポキシ化合物であることが特に好ましい。この場合には、誘電正接をより一層低くし、かつ耐熱性、難燃性及び熱寸法安定性を高めることができる。 The epoxy compound preferably contains an epoxy compound having an aromatic skeleton, more preferably contains an epoxy compound having a naphthalene skeleton or a phenyl skeleton, and is still more preferably an epoxy compound having an aromatic skeleton. Particularly preferred is an epoxy compound having In this case, the dielectric loss tangent can be further lowered, and heat resistance, flame retardancy and thermal dimensional stability can be enhanced.
誘電正接をより一層低くし、かつ熱線膨張係数(CTE)を良好にする観点からは、上記エポキシ化合物は、25℃で液状のエポキシ化合物と、25℃で固形のエポキシ化合物とを含むことが好ましい。 From the viewpoint of further lowering the dielectric loss tangent and improving the coefficient of thermal expansion (CTE), the epoxy compound preferably contains an epoxy compound that is liquid at 25°C and an epoxy compound that is solid at 25°C. .
上記25℃で液状のエポキシ化合物の25℃での粘度は、1000mPa・s以下であることが好ましく、500mPa・s以下であることがより好ましい。 The viscosity at 25°C of the epoxy compound that is liquid at 25°C is preferably 1000 mPa·s or less, more preferably 500 mPa·s or less.
上記エポキシ化合物の粘度を測定する際には、例えば動的粘弾性測定装置(レオロジカ・インスツルメンツ社製「VAR-100」)等が用いられる。 When measuring the viscosity of the epoxy compound, for example, a dynamic viscoelasticity measuring device (“VAR-100” manufactured by Rheological Instruments Inc.) or the like is used.
上記エポキシ化合物の分子量は1000以下であることがより好ましい。この場合には、樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%、無機充填材の含有量が50重量%以上であっても、絶縁層の形成時に流動性が高い樹脂材料が得られる。このため、樹脂材料の未硬化物又はBステージ化物を回路基板上にラミネートした場合に、無機充填材を均一に存在させることができる。 More preferably, the epoxy compound has a molecular weight of 1,000 or less. In this case, even if the content of the components excluding the solvent in the resin material is 100% by weight and the content of the inorganic filler is 50% by weight or more, the resin material has high fluidity when forming the insulating layer. Therefore, when an uncured resin material or B-staged resin material is laminated on a circuit board, the inorganic filler can be uniformly present.
上記エポキシ化合物の分子量は、上記エポキシ化合物が重合体ではない場合、及び上記エポキシ化合物の構造式が特定できる場合は、当該構造式から算出できる分子量を意味する。また、上記エポキシ化合物が重合体である場合は、重量平均分子量を意味する。 The molecular weight of the epoxy compound means the molecular weight that can be calculated from the structural formula when the epoxy compound is not a polymer and when the structural formula of the epoxy compound can be specified. Moreover, when the said epoxy compound is a polymer, it means a weight average molecular weight.
絶縁層と金属層との接着強度をより一層高める観点からは、樹脂材料中の無機充填材及び溶剤を除く成分100重量%中、上記エポキシ化合物の含有量は、好ましくは5重量%以上、より好ましくは25重量%以上、好ましくは50重量%以下、より好ましくは40重量%以下である。 From the viewpoint of further increasing the adhesive strength between the insulating layer and the metal layer, the content of the epoxy compound in 100% by weight of the components excluding the inorganic filler and solvent in the resin material is preferably 5% by weight or more. It is preferably 25% by weight or more, preferably 50% by weight or less, and more preferably 40% by weight or less.
<マレイミド化合物>
上記マレイミド化合物として、従来公知のマレイミド化合物を用いることができる。上記マレイミド化合物は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
<Maleimide compound>
A conventionally known maleimide compound can be used as the maleimide compound. Only one type of the maleimide compound may be used, or two or more types may be used in combination.
上記マレイミド化合物は、ビスマレイミド化合物であってもよい。 The maleimide compound may be a bismaleimide compound.
上記マレイミド化合物としては、N-フェニルマレイミド及びN-アルキルビスマレイミド等が挙げられる。 Examples of the maleimide compound include N-phenylmaleimide and N-alkylbismaleimide.
上記マレイミド化合物は、芳香族環を有していてもよく、有していなくてもよい。上記マレイミド化合物は、芳香族環を有することが好ましい。 The maleimide compound may or may not have an aromatic ring. The maleimide compound preferably has an aromatic ring.
上記マレイミド化合物では、マレイミド骨格における窒素原子と、芳香族環とが結合していることが好ましい。 In the above maleimide compound, the nitrogen atom in the maleimide skeleton is preferably bonded to the aromatic ring.
熱寸法安定性をより一層高める観点からは、樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、上記マレイミド化合物の含有量は、好ましくは0.5重量%以上、より好ましくは1重量%以上、好ましくは15重量%以下、より好ましくは10重量%以下である。 From the viewpoint of further enhancing the thermal dimensional stability, the content of the maleimide compound is preferably 0.5% by weight or more, more preferably 1% by weight or more, based on 100% by weight of the components excluding the solvent in the resin material. It is preferably 15% by weight or less, more preferably 10% by weight or less.
上記樹脂材料中の無機充填材及び溶剤を除く成分100重量%中、上記マレイミド化合物の含有量は、好ましくは2.5重量%以上、より好ましくは5重量%以上、更に好ましくは7.5重量%以上、好ましくは50重量%以下、より好ましくは35重量%以下である。上記マレイミド化合物の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化物の熱寸法安定性をより一層高めることができる。 The content of the maleimide compound is preferably 2.5% by weight or more, more preferably 5% by weight or more, and still more preferably 7.5% by weight in 100% by weight of the resin material excluding the inorganic filler and the solvent. % or more, preferably 50% by weight or less, more preferably 35% by weight or less. When the content of the maleimide compound is equal to or more than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the thermal dimensional stability of the cured product can be further enhanced.
本発明の効果を効果的に発揮する観点からは、上記マレイミド化合物の分子量は、好ましくは500以上、より好ましくは1000以上、好ましくは30000未満、より好ましくは20000未満である。 From the viewpoint of effectively exhibiting the effects of the present invention, the molecular weight of the maleimide compound is preferably 500 or more, more preferably 1000 or more, preferably less than 30,000, and more preferably less than 20,000.
上記マレイミド化合物の分子量は、上記マレイミド化合物が重合体ではない場合、及び上記マレイミド化合物の構造式が特定できる場合は、当該構造式から算出できる分子量を意味する。また、上記マレイミド化合物の分子量は、上記マレイミド化合物が重合体である場合は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により測定されたポリスチレン換算での重量平均分子量を示す。 When the maleimide compound is not a polymer and when the structural formula of the maleimide compound can be identified, the molecular weight of the maleimide compound means the molecular weight calculated from the structural formula. When the maleimide compound is a polymer, the molecular weight of the maleimide compound indicates a weight average molecular weight in terms of polystyrene measured by gel permeation chromatography (GPC).
上記マレイミド化合物の市販品としては、例えば、大和化成工業社製「BMI-4000」及び「BMI-5100」、並びにDesigner Molecules Inc.社製「BMI-3000」及び「BMI-1500」等が挙げられる。 Examples of commercially available maleimide compounds include “BMI-4000” and “BMI-5100” manufactured by Daiwa Kasei Kogyo Co., Ltd., and Designer Molecules Inc. "BMI-3000" and "BMI-1500" manufactured by the company.
[無機充填材]
上記樹脂材料は、無機充填材を含むことが好ましい。無機充填材の使用により、誘電正接をより一層低くすることができ、また、熱寸法安定性をより一層高めることができる。上記無機充填材は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[Inorganic filler]
The resin material preferably contains an inorganic filler. The use of the inorganic filler can further reduce the dielectric loss tangent and further improve the thermal dimensional stability. Only one kind of the inorganic filler may be used, or two or more kinds thereof may be used in combination.
上記無機充填材としては、シリカ、タルク、クレイ、マイカ、ハイドロタルサイト、アルミナ、酸化マグネシウム、水酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、及び窒化ホウ素等が挙げられる。 Examples of the inorganic filler include silica, talc, clay, mica, hydrotalcite, alumina, magnesium oxide, aluminum hydroxide, aluminum nitride, and boron nitride.
絶縁層の表面の表面粗さを小さくし、絶縁層と金属層との接着強度をより一層高くし、かつ絶縁層の表面により一層微細な配線を形成し、かつ絶縁層により良好な絶縁信頼性を付与する観点からは、上記無機充填材は、シリカ又はアルミナであることが好ましく、シリカであることがより好ましく、溶融シリカであることが更に好ましい。シリカの使用により、絶縁層の熱膨張率がより一層低くなり、かつ絶縁層の表面の表面粗さが効果的に小さくなり、絶縁層と金属層との接着強度が効果的に高くなる。シリカの形状は球状であることが好ましい。 The surface roughness of the insulating layer is reduced, the bonding strength between the insulating layer and the metal layer is further increased, finer wiring is formed on the surface of the insulating layer, and the insulating layer has better insulation reliability. From the viewpoint of providing the above, the inorganic filler is preferably silica or alumina, more preferably silica, and still more preferably fused silica. The use of silica further lowers the coefficient of thermal expansion of the insulating layer, effectively reduces the surface roughness of the insulating layer, and effectively increases the bonding strength between the insulating layer and the metal layer. The shape of silica is preferably spherical.
硬化環境によらず、樹脂の硬化を進め、硬化物のガラス転移温度を効果的に高くし、硬化物の熱線膨張係数を効果的に小さくする観点からは、上記無機充填材は球状シリカであることが好ましい。 From the viewpoint of promoting curing of the resin, effectively increasing the glass transition temperature of the cured product, and effectively decreasing the thermal linear expansion coefficient of the cured product, regardless of the curing environment, the inorganic filler is spherical silica. is preferred.
上記無機充填材の平均粒径は、好ましくは10nm以上、より好ましくは50nm以上、更に好ましくは100nm以上、好ましくは5μm以下、より好ましくは3μm以下、更に好ましくは1μm以下、特に好ましくは0.5μm以下である。上記無機充填材の平均粒径が上記下限以上及び上記上限以下であると、絶縁層と金属層との接着強度がより一層高くなる。 The average particle diameter of the inorganic filler is preferably 10 nm or more, more preferably 50 nm or more, still more preferably 100 nm or more, preferably 5 μm or less, more preferably 3 μm or less, still more preferably 1 μm or less, and particularly preferably 0.5 μm. It is below. When the average particle diameter of the inorganic filler is equal to or more than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the adhesion strength between the insulating layer and the metal layer is further increased.
上記無機充填材の平均粒径として、50%となるメディアン径(d50)の値が採用される。上記平均粒径は、レーザー回折散乱方式の粒度分布測定装置を用いて測定可能である。 As the average particle diameter of the inorganic filler, a median diameter (d50) of 50% is adopted. The average particle size can be measured using a laser diffraction scattering type particle size distribution analyzer.
上記無機充填材は、球状であることが好ましく、球状シリカであることがより好ましい。この場合には、絶縁層の表面の表面粗さが効果的に小さくなり、更に絶縁層と金属層との接着強度が効果的に高くなる。上記無機充填材が球状である場合には、上記無機充填材のアスペクト比は、好ましくは2以下、より好ましくは1.5以下である。 The inorganic filler is preferably spherical, more preferably spherical silica. In this case, the surface roughness of the insulating layer is effectively reduced, and the adhesive strength between the insulating layer and the metal layer is effectively increased. When the inorganic filler is spherical, the aspect ratio of the inorganic filler is preferably 2 or less, more preferably 1.5 or less.
上記無機充填材は、表面処理されていることが好ましく、カップリング剤による表面処理物であることがより好ましく、シランカップリング剤による表面処理物であることが更に好ましい。これにより、粗化硬化物の表面の表面粗さがより一層小さくなり、絶縁層と金属層との接着強度がより一層高くなり、かつ硬化物の表面により一層微細な配線が形成され、かつより一層良好な配線間絶縁信頼性及び層間絶縁信頼性を硬化物に付与することができる。 The inorganic filler is preferably surface-treated, more preferably surface-treated with a coupling agent, and even more preferably surface-treated with a silane coupling agent. As a result, the surface roughness of the surface of the roughened cured product is further reduced, the adhesive strength between the insulating layer and the metal layer is further increased, finer wiring is formed on the surface of the cured product, and the Better inter-wiring insulation reliability and interlayer insulation reliability can be imparted to the cured product.
上記カップリング剤としては、シランカップリング剤、チタンカップリング剤及びアルミニウムカップリング剤等が挙げられる。上記シランカップリング剤としては、メタクリルシラン、アクリルシラン、アミノシラン、イミダゾールシラン、ビニルシラン、及びエポキシシラン等が挙げられる。 Examples of the coupling agent include silane coupling agents, titanium coupling agents and aluminum coupling agents. Examples of the silane coupling agent include methacrylsilane, acrylsilane, aminosilane, imidazolesilane, vinylsilane, and epoxysilane.
樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、上記無機充填材の含有量は、好ましくは30重量%以上、より好ましくは40重量%以上、更に好ましくは50重量%以上、特に好ましくは60重量%以上、最も好ましくは70重量%以上である。上記樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、上記無機充填材の含有量は、好ましくは90重量%以下、より好ましくは85重量%以下、更に好ましくは83重量%以下、特に好ましくは80重量%以下である。上記無機充填材の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化物の表面の表面粗さがより一層小さくなり、絶縁層と金属層との接着強度がより一層高くなり、かつ硬化物の表面により一層微細な配線が形成される。さらに、この無機充填材量であれば、硬化物の熱膨張率を低くすることと同時に、スミア除去性を良好にすることも可能である。上記無機充填材の含有量が上記下限以上であると、誘電正接が効果的に低くなる。 The content of the inorganic filler is preferably 30% by weight or more, more preferably 40% by weight or more, still more preferably 50% by weight or more, and particularly preferably 60% by weight in 100% by weight of the components excluding the solvent in the resin material. % or more, most preferably 70% or more by weight. The content of the inorganic filler is preferably 90% by weight or less, more preferably 85% by weight or less, still more preferably 83% by weight or less, and particularly preferably 80% by weight in 100% by weight of the components excluding the solvent in the resin material. % by weight or less. When the content of the inorganic filler is not less than the lower limit and not more than the upper limit, the surface roughness of the surface of the cured product is further reduced, the adhesive strength between the insulating layer and the metal layer is further increased, and the cured product is cured. Finer wiring is formed on the surface of the object. Furthermore, with this amount of inorganic filler, it is possible to lower the coefficient of thermal expansion of the cured product and to improve the smear removability. When the content of the inorganic filler is at least the lower limit, the dielectric loss tangent is effectively lowered.
[硬化剤]
上記樹脂材料は、硬化剤を含むことが好ましい。上記硬化剤は特に限定されない。上記硬化剤として、従来公知の硬化剤を使用可能である。上記硬化剤は1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[Curing agent]
The resin material preferably contains a curing agent. The curing agent is not particularly limited. Conventionally known curing agents can be used as the curing agent. Only one kind of the curing agent may be used, or two or more kinds thereof may be used in combination.
上記硬化剤としては、シアネートエステル化合物(シアネートエステル硬化剤)、アミン化合物(アミン硬化剤)、チオール化合物(チオール硬化剤)、ホスフィン化合物、ジシアンジアミド、フェノール化合物(フェノール硬化剤)、酸無水物、活性エステル化合物、カルボジイミド化合物(カルボジイミド硬化剤)、及びベンゾオキサジン化合物(ベンゾオキサジン硬化剤)等が挙げられる。上記硬化剤は、上記エポキシ化合物のエポキシ基と反応可能な官能基を有することが好ましい。 Examples of the above curing agents include cyanate ester compounds (cyanate ester curing agents), amine compounds (amine curing agents), thiol compounds (thiol curing agents), phosphine compounds, dicyandiamide, phenol compounds (phenol curing agents), acid anhydrides, active Examples include ester compounds, carbodiimide compounds (carbodiimide curing agents), and benzoxazine compounds (benzoxazine curing agents). The curing agent preferably has a functional group capable of reacting with the epoxy group of the epoxy compound.
誘電正接を低くし、かつ熱寸法安定性を高める観点から、上記硬化剤は、フェノール化合物、シアネートエステル化合物、酸無水物、活性エステル化合物、カルボジイミド化合物、及びベンゾオキサジン化合物の内の少なくとも1種の成分を含むことが好ましい。すなわち、上記樹脂材料は、フェノール化合物、シアネートエステル化合物、酸無水物、活性エステル化合物、カルボジイミド化合物、及びベンゾオキサジン化合物の内の少なくとも1種の成分を含む硬化剤を含むことが好ましい。 From the viewpoint of lowering the dielectric loss tangent and enhancing the thermal dimensional stability, the curing agent is at least one selected from phenol compounds, cyanate ester compounds, acid anhydrides, active ester compounds, carbodiimide compounds, and benzoxazine compounds. It preferably contains ingredients. That is, the resin material preferably contains a curing agent containing at least one component selected from a phenol compound, a cyanate ester compound, an acid anhydride, an active ester compound, a carbodiimide compound, and a benzoxazine compound.
本明細書において、「フェノール化合物、シアネートエステル化合物、酸無水物、活性エステル化合物、カルボジイミド化合物、及びベンゾオキサジン化合物の内の少なくとも1種の成分」を「成分X」と記載することがある。 In this specification, "at least one component selected from phenol compounds, cyanate ester compounds, acid anhydrides, active ester compounds, carbodiimide compounds, and benzoxazine compounds" may be referred to as "component X".
したがって、上記樹脂材料は、成分Xを含む硬化剤を含むことが好ましい。上記樹脂材料は、活性エステル化合物又はフェノール化合物を含む硬化剤を含むことがより好ましく、活性エステル化合物を含む硬化剤を含むことが更に好ましい。上記硬化剤は、成分Xを含むことが好ましく、活性エステル化合物又はフェノール化合物を含むことがより好ましく、活性エステル化合物を含むことが更に好ましい。上記成分Xは、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。 Therefore, the resin material preferably contains a curing agent containing component X. The resin material more preferably contains a curing agent containing an active ester compound or a phenol compound, and more preferably contains a curing agent containing an active ester compound. The curing agent preferably contains component X, more preferably an active ester compound or a phenol compound, and even more preferably an active ester compound. As for the component X, only one type may be used, or two or more types may be used in combination.
上記フェノール化合物としては、ノボラック型フェノール、ビフェノール型フェノール、ナフタレン型フェノール、ジシクロペンタジエン型フェノール、アラルキル型フェノール及びジシクロペンタジエン型フェノール等が挙げられる。 Examples of the phenol compound include novolak-type phenol, biphenol-type phenol, naphthalene-type phenol, dicyclopentadiene-type phenol, aralkyl-type phenol, and dicyclopentadiene-type phenol.
上記フェノール化合物の市販品としては、ノボラック型フェノール(DIC社製「TD-2091」)、ビフェニルノボラック型フェノール(明和化成社製「MEH-7851」)、アラルキル型フェノール化合物(明和化成社製「MEH-7800」)、並びにアミノトリアジン骨格を有するフェノール(DIC社製「LA1356」及び「LA3018-50P」)等が挙げられる。 Commercially available products of the phenol compounds include novolac-type phenol (manufactured by DIC Corporation "TD-2091"), biphenyl novolak-type phenol (manufactured by Meiwa Kasei Corporation "MEH-7851"), aralkyl-type phenol compounds (manufactured by Meiwa Kasei Corporation "MEH -7800”), and phenols having an aminotriazine skeleton (manufactured by DIC “LA1356” and “LA3018-50P”).
上記シアネートエステル化合物としては、ノボラック型シアネートエステル樹脂、ビスフェノール型シアネートエステル樹脂、並びにこれらが一部三量化されたプレポリマー等が挙げられる。上記ノボラック型シアネートエステル樹脂としては、フェノールノボラック型シアネートエステル樹脂及びアルキルフェノール型シアネートエステル樹脂等が挙げられる。上記ビスフェノール型シアネートエステル樹脂としては、ビスフェノールA型シアネートエステル樹脂、ビスフェノールE型シアネートエステル樹脂及びテトラメチルビスフェノールF型シアネートエステル樹脂等が挙げられる。 Examples of the cyanate ester compound include novolak-type cyanate-ester resins, bisphenol-type cyanate-ester resins, and prepolymers obtained by partially trimerizing these. Examples of the novolak-type cyanate ester resins include phenol novolac-type cyanate ester resins and alkylphenol-type cyanate ester resins. Examples of the bisphenol type cyanate ester resin include bisphenol A type cyanate ester resin, bisphenol E type cyanate ester resin and tetramethylbisphenol F type cyanate ester resin.
上記シアネートエステル化合物の市販品としては、フェノールノボラック型シアネートエステル樹脂(ロンザジャパン社製「PT-30」及び「PT-60」)、及びビスフェノール型シアネートエステル樹脂が三量化されたプレポリマー(ロンザジャパン社製「BA-230S」、「BA-3000S」、「BTP-1000S」及び「BTP-6020S」)等が挙げられる。 Commercially available products of the above cyanate ester compounds include phenol novolac type cyanate ester resins (“PT-30” and “PT-60” manufactured by Lonza Japan Co., Ltd.) and prepolymers obtained by trimerizing bisphenol type cyanate ester resins (Lonza Japan "BA-230S", "BA-3000S", "BTP-1000S" and "BTP-6020S" manufactured by the same company).
上記酸無水物としては、テトラヒドロフタル酸無水物、及びアルキルスチレン-無水マレイン酸共重合体等が挙げられる。 Examples of the acid anhydride include tetrahydrophthalic anhydride and alkylstyrene-maleic anhydride copolymer.
上記酸無水物の市販品としては、新日本理化社製「リカシッド TDA-100」等が挙げられる。 Commercially available products of the above acid anhydrides include "Rikashid TDA-100" manufactured by Shin Nippon Rika Co., Ltd., and the like.
上記活性エステル化合物とは、構造体中にエステル結合を少なくとも1つ含み、かつ、エステル結合の両側に芳香族環が結合している化合物をいう。活性エステル化合物は、例えばカルボン酸化合物又はチオカルボン酸化合物と、ヒドロキシ化合物又はチオール化合物との縮合反応によって得られる。活性エステル化合物の例としては、下記式(1)で表される化合物が挙げられる。 The active ester compound is a compound having at least one ester bond in its structure and having aromatic rings bonded to both sides of the ester bond. An active ester compound is obtained, for example, by a condensation reaction between a carboxylic acid compound or a thiocarboxylic acid compound and a hydroxy compound or a thiol compound. Examples of active ester compounds include compounds represented by the following formula (1).
上記式(1)中、X1は、脂肪族鎖を含む基、脂肪族環を含む基又は芳香族環を含む基を表し、X2は、芳香族環を含む基を表す。上記芳香族環を含む基の好ましい例としては、置換基を有していてもよいベンゼン環、及び置換基を有していてもよいナフタレン環等が挙げられる。上記置換基としては、炭化水素基が挙げられる。該炭化水素基の炭素数は、好ましくは12以下、より好ましくは6以下、更に好ましくは4以下である。 In formula (1) above, X1 represents an aliphatic chain-containing group, an aliphatic ring-containing group, or an aromatic ring-containing group, and X2 represents an aromatic ring-containing group. Preferred examples of the aromatic ring-containing group include an optionally substituted benzene ring and an optionally substituted naphthalene ring. A hydrocarbon group is mentioned as said substituent. The number of carbon atoms in the hydrocarbon group is preferably 12 or less, more preferably 6 or less, still more preferably 4 or less.
X1及びX2の組み合わせとしては、置換基を有していてもよいベンゼン環と、置換基を有していてもよいベンゼン環との組み合わせ、置換基を有していてもよいベンゼン環と、置換基を有していてもよいナフタレン環との組み合わせが挙げられる。さらに、X1及びX2の組み合わせとしては、置換基を有していてもよいナフタレン環と、置換基を有していてもよいナフタレン環との組み合わせが挙げられる。 The combination of X1 and X2 includes a combination of an optionally substituted benzene ring and an optionally substituted benzene ring, an optionally substituted benzene ring and a substituted A combination with a naphthalene ring optionally having a group is exemplified. Further, the combination of X1 and X2 includes a combination of a naphthalene ring optionally having substituent(s) and a naphthalene ring optionally having substituent(s).
上記活性エステル化合物は特に限定されない。熱寸法安定性及び難燃性をより一層高める観点からは、上記活性エステル化合物は、2個以上の芳香族骨格を有する活性エステル化合物であることが好ましい。誘電正接を低くし、かつ熱寸法安定性を高める観点から、上記活性エステル化合物は、主鎖の骨格中にナフタレン環を有することがより好ましい。 The active ester compound is not particularly limited. From the viewpoint of further enhancing thermal dimensional stability and flame retardancy, the active ester compound is preferably an active ester compound having two or more aromatic skeletons. From the viewpoint of lowering the dielectric loss tangent and improving the thermal dimensional stability, the active ester compound more preferably has a naphthalene ring in the skeleton of the main chain.
上記活性エステル化合物の市販品としては、DIC社製「HPC-8000-65T」、「EXB9416-70BK」、「EXB8100-65T」、及び「HPC-8150-60T」等が挙げられる。 Commercially available products of the active ester compound include "HPC-8000-65T", "EXB9416-70BK", "EXB8100-65T", and "HPC-8150-60T" manufactured by DIC.
上記カルボジイミド化合物は、下記式(2)で表される構造単位を有する化合物である。下記式(2)において、右端部及び左端部は、他の基との結合部位である。上記カルボジイミド化合物は1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。 The carbodiimide compound is a compound having a structural unit represented by the following formula (2). In the following formula (2), the right end and left end are bonding sites with other groups. Only one kind of the carbodiimide compound may be used, or two or more kinds thereof may be used in combination.
上記式(2)中、Xは、アルキレン基、アルキレン基に置換基が結合した基、シクロアルキレン基、シクロアルキレン基に置換基が結合した基、アリーレン基、又はアリーレン基に置換基が結合した基を表し、pは1~5の整数を表す。Xが複数存在する場合、複数のXは同一であってもよく、異なっていてもよい。 In the above formula (2), X is an alkylene group, an alkylene group to which a substituent is bonded, a cycloalkylene group, a cycloalkylene group to which a substituent is bonded, an arylene group, or an arylene group to which a substituent is bonded group, and p is an integer of 1-5. When there are multiple X's, the multiple X's may be the same or different.
好適な一つの形態において、少なくとも1つのXは、アルキレン基、アルキレン基に置換基が結合した基、シクロアルキレン基、又はシクロアルキレン基に置換基が結合した基である。 In one preferred embodiment, at least one X is an alkylene group, an alkylene group to which a substituent is bonded, a cycloalkylene group, or a cycloalkylene group to which a substituent is bonded.
上記カルボジイミド化合物の市販品としては、日清紡ケミカル社製「カルボジライト V-02B」、「カルボジライト V-03」、「カルボジライト V-04K」、「カルボジライト V-07」、「カルボジライト V-09」、「カルボジライト 10M-SP」、及び「カルボジライト 10M-SP(改)」、並びに、ラインケミー社製「スタバクゾールP」、「スタバクゾールP400」、及び「ハイカジル510」等が挙げられる。 Commercially available carbodiimide compounds include Nisshinbo Chemical Co., Ltd. "Carbodilite V-02B", "Carbodilite V-03", "Carbodilite V-04K", "Carbodilite V-07", "Carbodilite V-09", "Carbodilite 10M-SP" and "Carbodilite 10M-SP (improved)", and "Stabaxol P", "Stabaxol P400" and "Hykasil 510" manufactured by Rhein Chemie.
上記ベンゾオキサジン化合物としては、P-d型ベンゾオキサジン、及びF-a型ベンゾオキサジン等が挙げられる。 Examples of the benzoxazine compound include Pd-type benzoxazine and Fa-type benzoxazine.
上記ベンゾオキサジン化合物の市販品としては、四国化成工業社製「P-d型」等が挙げられる。 Commercially available products of the benzoxazine compound include "Pd type" manufactured by Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd., and the like.
上記熱硬化性化合物100重量部に対して、上記成分Xの含有量は、好ましくは70重量部以上、より好ましくは85重量部以上、好ましくは150重量部以下、より好ましくは120重量部以下である。上記成分Xの含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化性により一層優れ、熱寸法安定性をより一層高め、残存未反応成分の揮発をより一層抑制できる。 The content of component X is preferably 70 parts by weight or more, more preferably 85 parts by weight or more, preferably 150 parts by weight or less, and more preferably 120 parts by weight or less with respect to 100 parts by weight of the thermosetting compound. be. When the content of component X is above the lower limit and below the upper limit, the curability is further improved, the thermal dimensional stability is further enhanced, and volatilization of residual unreacted components can be further suppressed.
上記樹脂材料中の無機充填材及び溶剤を除く成分100重量%中、上記熱硬化性化合物と上記成分Xとの合計の含有量は、好ましくは50重量%以上、より好ましくは60重量%以上、好ましくは95重量%以下、より好ましくは90重量%以下である。上記熱硬化性化合物と上記成分Xとの合計の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化性により一層優れ、熱寸法安定性をより一層高めることができる。 The total content of the thermosetting compound and the component X in 100% by weight of the components excluding the inorganic filler and the solvent in the resin material is preferably 50% by weight or more, more preferably 60% by weight or more, It is preferably 95% by weight or less, more preferably 90% by weight or less. When the total content of the thermosetting compound and the component X is at least the above lower limit and below the above upper limit, the curability is further improved, and the thermal dimensional stability can be further enhanced.
[硬化促進剤]
上記樹脂材料は、硬化促進剤を含むことが好ましい。上記硬化促進剤の使用により、硬化速度がより一層速くなる。樹脂材料を速やかに硬化させることで、硬化物における架橋構造が均一になると共に、未反応の官能基数が減り、結果的に架橋密度が高くなる。上記硬化促進剤は特に限定されず、従来公知の硬化促進剤を使用可能である。上記硬化促進剤は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[Curing accelerator]
The resin material preferably contains a curing accelerator. The use of the curing accelerator makes the curing speed even faster. By rapidly curing the resin material, the crosslinked structure in the cured product becomes uniform and the number of unreacted functional groups is reduced, resulting in a high crosslink density. The curing accelerator is not particularly limited, and conventionally known curing accelerators can be used. Only one kind of the curing accelerator may be used, or two or more kinds thereof may be used in combination.
上記硬化促進剤としては、例えば、イミダゾール化合物等のアニオン性硬化促進剤、アミン化合物等のカチオン性硬化促進剤、リン化合物及び有機金属化合物等のアニオン性及びカチオン性硬化促進剤以外の硬化促進剤、並びに過酸化物等のラジカル性硬化促進剤等が挙げられる。 Examples of the curing accelerator include anionic curing accelerators such as imidazole compounds, cationic curing accelerators such as amine compounds, and curing accelerators other than anionic and cationic curing accelerators such as phosphorus compounds and organometallic compounds. , and radical curing accelerators such as peroxides.
上記イミダゾール化合物としては、2-ウンデシルイミダゾール、2-ヘプタデシルイミダゾール、2-メチルイミダゾール、2-エチル-4-メチルイミダゾール、2-フェニルイミダゾール、2-フェニル-4-メチルイミダゾール、1-ベンジル-2-メチルイミダゾール、1-ベンジル-2-フェニルイミダゾール、1,2-ジメチルイミダゾール、1-シアノエチル-2-メチルイミダゾール、1-シアノエチル-2-エチル-4-メチルイミダゾール、1-シアノエチル-2-ウンデシルイミダゾール、1-シアノエチル-2-フェニルイミダゾール、1-シアノエチル-2-ウンデシルイミダゾリウムトリメリテイト、1-シアノエチル-2-フェニルイミダゾリウムトリメリテイト、2,4-ジアミノ-6-[2’-メチルイミダゾリル-(1’)]-エチル-s-トリアジン、2,4-ジアミノ-6-[2’-ウンデシルイミダゾリル-(1’)]-エチル-s-トリアジン、2,4-ジアミノ-6-[2’-エチル-4’-メチルイミダゾリル-(1’)]-エチル-s-トリアジン、2,4-ジアミノ-6-[2’-メチルイミダゾリル-(1’)]-エチル-s-トリアジンイソシアヌル酸付加物、2-フェニルイミダゾールイソシアヌル酸付加物、2-メチルイミダゾールイソシアヌル酸付加物、2-フェニル-4,5-ジヒドロキシメチルイミダゾール及び2-フェニル-4-メチル-5-ジヒドロキシメチルイミダゾール等が挙げられる。 Examples of the imidazole compound include 2-undecylimidazole, 2-heptadecylimidazole, 2-methylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 2-phenyl-4-methylimidazole, 1-benzyl- 2-methylimidazole, 1-benzyl-2-phenylimidazole, 1,2-dimethylimidazole, 1-cyanoethyl-2-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-ethyl-4-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-un Decylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazolium trimellitate, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazolium trimellitate, 2,4-diamino-6-[2' -methylimidazolyl-(1′)]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6-[2′-undecylimidazolyl-(1′)]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino- 6-[2′-ethyl-4′-methylimidazolyl-(1′)]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6-[2′-methylimidazolyl-(1′)]-ethyl-s -triazine isocyanurate, 2-phenylimidazole isocyanurate, 2-methylimidazole isocyanurate, 2-phenyl-4,5-dihydroxymethylimidazole and 2-phenyl-4-methyl-5-dihydroxymethylimidazole etc.
上記アミン化合物としては、ジエチルアミン、トリエチルアミン、ジエチレンテトラミン、トリエチレンテトラミン及び4,4-ジメチルアミノピリジン等が挙げられる。 Examples of the amine compound include diethylamine, triethylamine, diethylenetetramine, triethylenetetramine and 4,4-dimethylaminopyridine.
上記リン化合物としては、トリフェニルホスフィン化合物等が挙げられる。 Examples of the phosphorus compounds include triphenylphosphine compounds.
上記有機金属化合物としては、ナフテン酸亜鉛、ナフテン酸コバルト、オクチル酸スズ、オクチル酸コバルト、ビスアセチルアセトナートコバルト(II)及びトリスアセチルアセトナートコバルト(III)等が挙げられる。 Examples of the organometallic compounds include zinc naphthenate, cobalt naphthenate, tin octylate, cobalt octylate, bisacetylacetonate cobalt (II) and trisacetylacetonate cobalt (III).
上記硬化促進剤の含有量は特に限定されない。樹脂材料中の無機充填材及び溶剤を除く成分100重量%中及び上記硬化体中の上記無機充填材を除く成分100重量%中、上記硬化促進剤の含有量は好ましくは0.01重量%以上、より好ましくは0.05重量%以上、好ましくは5重量%以下、より好ましくは3重量%以下である。上記硬化促進剤の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、樹脂材料が効率的に硬化する。上記硬化促進剤の含有量がより好ましい範囲であれば、樹脂材料の保存安定性がより一層高くなり、かつより一層良好な硬化体が得られる。 The content of the curing accelerator is not particularly limited. The content of the curing accelerator is preferably 0.01% by weight or more in 100% by weight of components excluding inorganic fillers and solvents in the resin material and 100% by weight of components excluding inorganic fillers in the cured product. , more preferably 0.05% by weight or more, preferably 5% by weight or less, and more preferably 3% by weight or less. When the content of the curing accelerator is equal to or more than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the resin material is efficiently cured. If the content of the curing accelerator is within a more preferable range, the storage stability of the resin material will be further increased, and a more favorable cured product will be obtained.
[熱可塑性樹脂]
上記樹脂材料は、熱可塑性樹脂を含むことが好ましい。上記熱可塑性樹脂としては、ポリビニルアセタール樹脂、ポリイミド樹脂及びフェノキシ樹脂等が挙げられる。上記熱可塑性樹脂は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[Thermoplastic resin]
The resin material preferably contains a thermoplastic resin. Examples of the thermoplastic resin include polyvinyl acetal resin, polyimide resin and phenoxy resin. Only one kind of the thermoplastic resin may be used, or two or more kinds thereof may be used in combination.
硬化環境によらず、誘電正接を効果的に低くし、かつ、金属配線の密着性を効果的に高める観点からは、上記熱可塑性樹脂は、フェノキシ樹脂であることが好ましい。フェノキシ樹脂の使用により、樹脂フィルムの回路基板の穴又は凹凸に対する埋め込み性の悪化及び無機充填材の不均一化が抑えられる。また、フェノキシ樹脂の使用により、溶融粘度を調整可能であるために無機充填材の分散性が良好になり、かつ硬化過程で、意図しない領域に樹脂材料又はBステージ化物が濡れ拡がり難くなる。 The thermoplastic resin is preferably a phenoxy resin from the viewpoint of effectively lowering the dielectric loss tangent and effectively increasing the adhesion of the metal wiring regardless of the curing environment. The use of the phenoxy resin suppresses the deterioration of the embedding properties of the resin film in holes or unevenness of the circuit board and the non-uniformity of the inorganic filler. In addition, the use of the phenoxy resin makes it possible to adjust the melt viscosity, so that the dispersibility of the inorganic filler is improved, and during the curing process, the resin material or the B-staged product is less likely to wet and spread in unintended areas.
上記樹脂材料に含まれているフェノキシ樹脂は特に限定されない。上記フェノキシ樹脂として、従来公知のフェノキシ樹脂を使用可能である。上記フェノキシ樹脂は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。 The phenoxy resin contained in the resin material is not particularly limited. Conventionally known phenoxy resins can be used as the phenoxy resin. Only one type of the phenoxy resin may be used, or two or more types may be used in combination.
上記フェノキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールA型の骨格、ビスフェノールF型の骨格、ビスフェノールS型の骨格、ビフェニル骨格、ノボラック骨格、ナフタレン骨格及びイミド骨格などの骨格を有するフェノキシ樹脂等が挙げられる。 Examples of the phenoxy resin include phenoxy resins having a skeleton such as a bisphenol A skeleton, a bisphenol F skeleton, a bisphenol S skeleton, a biphenyl skeleton, a novolak skeleton, a naphthalene skeleton and an imide skeleton.
上記フェノキシ樹脂の市販品としては、例えば、新日鐵住金化学社製の「YP50」、「YP55」及び「YP70」、並びに三菱化学社製の「1256B40」、「4250」、「4256H40」、「4275」、「YX6954BH30」及び「YX8100BH30」等が挙げられる。 Commercial products of the phenoxy resin include, for example, "YP50", "YP55" and "YP70" manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd., and "1256B40", "4250", "4256H40" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, " 4275”, “YX6954BH30” and “YX8100BH30”.
保存安定性により一層優れた樹脂材料を得る観点からは、上記熱可塑性樹脂の重量平均分子量は、好ましくは5000以上、より好ましくは10000以上、好ましくは100000以下、より好ましくは50000以下である。 From the viewpoint of obtaining a resin material with even better storage stability, the weight average molecular weight of the thermoplastic resin is preferably 5,000 or more, more preferably 10,000 or more, preferably 100,000 or less, and more preferably 50,000 or less.
上記熱可塑性樹脂の上記重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により測定されたポリスチレン換算での重量平均分子量を示す。 The weight average molecular weight of the thermoplastic resin indicates the weight average molecular weight in terms of polystyrene measured by gel permeation chromatography (GPC).
上記熱可塑性樹脂及び上記フェノキシ樹脂の含有量は特に限定されない。樹脂材料中の上記無機充填材を除く成分100重量%中、上記熱可塑性樹脂の含有量(上記熱可塑性樹脂がフェノキシ樹脂である場合にはフェノキシ樹脂の含有量)は好ましくは1重量%以上、より好ましくは5重量%以上、好ましくは30重量%以下、より好ましくは15重量%以下である。上記熱可塑性樹脂の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、樹脂材料の回路基板の穴又は凹凸に対する埋め込み性が良好になる。上記熱可塑性樹脂の含有量が上記下限以上であると、樹脂フィルムの形成がより一層容易になり、より一層良好な絶縁層が得られる。上記熱可塑性樹脂の含有量が上記上限以下であると、硬化物の熱膨張率がより一層低くなる。上記熱可塑性樹脂の含有量が上記上限以下であると、硬化物の表面の表面粗さがより一層小さくなり、絶縁層と金属層との接着強度がより一層高くなる。 The contents of the thermoplastic resin and the phenoxy resin are not particularly limited. The content of the thermoplastic resin (the content of the phenoxy resin when the thermoplastic resin is a phenoxy resin) in 100 wt% of the components excluding the inorganic filler in the resin material is preferably 1 wt% or more, It is more preferably 5% by weight or more, preferably 30% by weight or less, and more preferably 15% by weight or less. When the content of the thermoplastic resin is equal to or more than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the embedding property of the resin material into the holes or unevenness of the circuit board is improved. When the content of the thermoplastic resin is equal to or higher than the lower limit, formation of the resin film becomes easier, and an even better insulating layer can be obtained. If the content of the thermoplastic resin is equal to or less than the upper limit, the thermal expansion coefficient of the cured product will be even lower. When the content of the thermoplastic resin is equal to or less than the above upper limit, the surface roughness of the surface of the cured product is further reduced, and the adhesive strength between the insulating layer and the metal layer is further increased.
[溶剤]
上記樹脂材料は、溶剤を含まないか又は含む。上記溶剤の使用により、樹脂材料の粘度を好適な範囲に制御でき、樹脂材料の塗工性を高めることができる。また、上記溶剤は、上記無機充填材を含むスラリーを得るために用いられてもよい。上記溶剤は1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[solvent]
The resin material does not contain or contains a solvent. By using the solvent, the viscosity of the resin material can be controlled within a suitable range, and the coatability of the resin material can be improved. Also, the solvent may be used to obtain a slurry containing the inorganic filler. Only one of the above solvents may be used, or two or more thereof may be used in combination.
上記溶剤としては、アセトン、メタノール、エタノール、ブタノール、2-プロパノール、2-メトキシエタノール、2-エトキシエタノール、1-メトキシ-2-プロパノール、2-アセトキシ-1-メトキシプロパン、トルエン、キシレン、メチルエチルケトン、N,N-ジメチルホルムアミド、メチルイソブチルケトン、N-メチル-ピロリドン、n-ヘキサン、シクロヘキサン、シクロヘキサノン及び混合物であるナフサ等が挙げられる。 Examples of the solvent include acetone, methanol, ethanol, butanol, 2-propanol, 2-methoxyethanol, 2-ethoxyethanol, 1-methoxy-2-propanol, 2-acetoxy-1-methoxypropane, toluene, xylene, methyl ethyl ketone, N,N-dimethylformamide, methyl isobutyl ketone, N-methyl-pyrrolidone, n-hexane, cyclohexane, cyclohexanone and mixtures such as naphtha.
上記溶剤の多くは、上記樹脂組成物をフィルム状に成形するときに、除去されることが好ましい。従って、上記溶剤の沸点は、好ましくは200℃以下、より好ましくは180℃以下である。上記樹脂組成物における上記溶剤の含有量は特に限定されない。上記樹脂組成物の塗工性などを考慮して、上記溶剤の含有量は適宜変更可能である。 Most of the solvent is preferably removed when the resin composition is formed into a film. Therefore, the boiling point of the solvent is preferably 200° C. or lower, more preferably 180° C. or lower. The content of the solvent in the resin composition is not particularly limited. The content of the solvent can be appropriately changed in consideration of the coatability of the resin composition.
[他の成分]
耐衝撃性、耐熱性、樹脂の相溶性及び作業性等の改善を目的として、上記樹脂材料には、レベリング剤、難燃剤、カップリング剤、着色剤、酸化防止剤、紫外線劣化防止剤、消泡剤、増粘剤、及び揺変性付与剤等を添加してもよい。
[Other ingredients]
For the purpose of improving impact resistance, heat resistance, resin compatibility, workability, etc., the above resin materials contain leveling agents, flame retardants, coupling agents, coloring agents, antioxidants, ultraviolet degradation inhibitors, and anti-degradation agents. Foaming agents, thickeners, thixotropic agents and the like may be added.
上記カップリング剤としては、シランカップリング剤、チタンカップリング剤及びアルミニウムカップリング剤等が挙げられる。上記シランカップリング剤としては、ビニルシラン、アミノシラン、イミダゾールシラン及びエポキシシラン等が挙げられる。 Examples of the coupling agent include silane coupling agents, titanium coupling agents and aluminum coupling agents. Examples of the silane coupling agent include vinylsilane, aminosilane, imidazolesilane and epoxysilane.
(樹脂フィルム及び積層フィルム)
上述した樹脂材料をフィルム状に成形することにより樹脂フィルム(Bステージ化物/Bステージフィルム)が得られる。上記樹脂材料は、樹脂フィルムであることが好ましい。樹脂フィルムは、Bステージフィルムであることが好ましい。上記樹脂フィルムを硬化させることによって、フィルム状の上記硬化体を得ることができる。上記硬化体は、フィルム状であることが好ましい。
(resin film and laminated film)
A resin film (B-stage product/B-stage film) is obtained by molding the resin material described above into a film. The resin material is preferably a resin film. The resin film is preferably a B-stage film. By curing the resin film, the film-like cured product can be obtained. The cured product is preferably in the form of a film.
樹脂組成物をフィルム状に成形して、樹脂フィルムを得る方法としては、以下の方法が挙げられる。押出機を用いて、樹脂組成物を溶融混練し、押出した後、Tダイ又はサーキュラーダイ等により、フィルム状に成形する押出成形法。溶剤を含む樹脂組成物をキャスティングしてフィルム状に成形するキャスティング成形法。従来公知のその他のフィルム成形法。薄型化に対応可能であることから、押出成形法又はキャスティング成形法が好ましい。フィルムにはシートが含まれる。 Examples of the method for obtaining a resin film by molding the resin composition into a film include the following methods. An extrusion molding method in which a resin composition is melt-kneaded using an extruder, extruded, and then molded into a film using a T-die, a circular die, or the like. A casting molding method in which a resin composition containing a solvent is cast and molded into a film. Other film forming methods known in the art. An extrusion molding method or a casting molding method is preferable because it can be used for thinning. Film includes sheets.
樹脂組成物をフィルム状に成形し、熱による硬化が進行し過ぎない程度に、例えば50℃~150℃で1分間~10分間加熱乾燥させることにより、Bステージフィルムである樹脂フィルムを得ることができる。 A resin film that is a B-stage film can be obtained by molding the resin composition into a film and drying it by heating at, for example, 50° C. to 150° C. for 1 minute to 10 minutes to the extent that thermal curing does not proceed excessively. can.
上述のような乾燥工程により得ることができるフィルム状の樹脂材料をBステージフィルムと称する。上記Bステージフィルムは、半硬化状態にある。半硬化物は、完全に硬化しておらず、硬化がさらに進行され得る。 A film-like resin material that can be obtained by the drying process as described above is called a B-stage film. The B-stage film is in a semi-cured state. A semi-cured product is not completely cured and may be further cured.
上記樹脂フィルムは、プリプレグでなくてもよい。上記樹脂フィルムがプリプレグではない場合には、ガラスクロス等に沿ってマイグレーションが生じなくなる。また、樹脂フィルムをラミネート又はプレキュアする際に、表面にガラスクロスに起因する凹凸が生じなくなる。上記樹脂フィルムは、金属箔又は基材と、該金属箔又は基材の表面に積層された樹脂フィルムとを備える積層フィルムの形態で用いることができる。上記金属箔は銅箔であることが好ましい。 The resin film may not be a prepreg. If the resin film is not a prepreg, no migration occurs along the glass cloth or the like. In addition, when the resin film is laminated or precured, the unevenness due to the glass cloth does not occur on the surface. The resin film can be used in the form of a laminated film comprising a metal foil or substrate and a resin film laminated on the surface of the metal foil or substrate. The metal foil is preferably copper foil.
上記積層フィルムは、基材フィルムと、該基材フィルムの第1の表面上に積層された上記樹脂フィルムとを有する。上記樹脂フィルムの該基材フィルムとは反対側の表面上には、保護フィルムが積層されていてもよい。 The laminated film has a base film and the resin film laminated on the first surface of the base film. A protective film may be laminated on the surface of the resin film opposite to the base film.
上記積層フィルムの上記基材フィルムとしては、ポリエチレンテレフタレートフィルム及びポリブチレンテレフタレートフィルム等のポリエステル樹脂フィルム、ポリエチレンフィルム及びポリプロピレンフィルム等のオレフィン樹脂フィルム、及びポリイミド樹脂フィルム等が挙げられる。上記基材の表面は、必要に応じて、離型処理されていてもよい。 Examples of the base film of the laminated film include polyester resin films such as polyethylene terephthalate film and polybutylene terephthalate film, olefin resin films such as polyethylene film and polypropylene film, and polyimide resin films. The surface of the substrate may be subjected to release treatment, if necessary.
樹脂フィルムの硬化度をより一層均一に制御する観点からは、上記樹脂フィルムの厚さは、好ましくは5μm以上であり、好ましくは200μm以下である。上記樹脂フィルムを回路の絶縁層として用いる場合、上記樹脂フィルムにより形成された絶縁層の厚さは、回路を形成する導体層(金属層)の厚さ以上であることが好ましい。上記絶縁層の厚さは、好ましくは5μm以上であり、好ましくは200μm以下である。 From the viewpoint of controlling the degree of curing of the resin film more uniformly, the thickness of the resin film is preferably 5 μm or more and preferably 200 μm or less. When the resin film is used as an insulating layer of a circuit, the thickness of the insulating layer formed of the resin film is preferably equal to or greater than the thickness of the conductor layer (metal layer) forming the circuit. The thickness of the insulating layer is preferably 5 μm or more and preferably 200 μm or less.
(半導体装置、プリント配線板、銅張積層板及び多層プリント配線板)
上記硬化体及び上記Bステージフィルムは、絶縁材料として用いられる。上記硬化体及び上記Bステージフィルムは、半導体装置、積層板及びプリント配線板等の電子部品における絶縁材料として好適に用いられる。
(Semiconductor devices, printed wiring boards, copper clad laminates and multilayer printed wiring boards)
The cured product and the B-stage film are used as insulating materials. The cured product and the B-stage film are suitably used as insulating materials in electronic parts such as semiconductor devices, laminates and printed wiring boards.
上記樹脂材料、上記Bステージフィルム及び上記硬化体は、プリント配線板において絶縁層を形成するために好適に用いられる。 The resin material, the B-stage film, and the cured product are preferably used to form an insulating layer in a printed wiring board.
上記プリント配線板は、例えば、上記樹脂材料を加熱加圧成形することにより得られる。 The printed wiring board is obtained, for example, by heating and pressurizing the resin material.
上記樹脂フィルムに対して、片面又は両面に金属箔を積層できる。上記樹脂フィルムと金属箔とを積層する方法は特に限定されず、公知の方法を用いることができる。例えば、平行平板プレス機又はロールラミネーター等の装置を用いて、加熱しながら又は加熱せずに加圧しながら、上記樹脂フィルムを金属箔に積層可能である。 A metal foil can be laminated on one side or both sides of the resin film. A method for laminating the resin film and the metal foil is not particularly limited, and a known method can be used. For example, the resin film can be laminated on the metal foil while applying pressure with or without heating using a device such as a parallel plate press or a roll laminator.
上記樹脂材料、上記Bステージフィルム及び上記硬化体は、銅張積層板を得るために好適に用いられる。上記銅張積層板の一例として、銅箔と、該銅箔の一方の表面に積層された樹脂フィルムとを備える銅張積層板が挙げられる。 The resin material, the B-stage film, and the cured product are preferably used to obtain a copper-clad laminate. An example of the copper-clad laminate is a copper-clad laminate comprising a copper foil and a resin film laminated on one surface of the copper foil.
上記銅張積層板の上記銅箔の厚さは特に限定されない。上記銅箔の厚さは、1μm~50μmの範囲内であることが好ましい。また、上記樹脂材料の硬化物と銅箔との接着強度を高めるために、上記銅箔は微細な凹凸を表面に有することが好ましい。凹凸の形成方法は特に限定されない。上記凹凸の形成方法としては、公知の薬液を用いた処理による形成方法等が挙げられる。 The thickness of the copper foil of the copper-clad laminate is not particularly limited. The thickness of the copper foil is preferably in the range of 1 μm to 50 μm. In order to increase the adhesive strength between the cured resin material and the copper foil, the copper foil preferably has fine irregularities on its surface. A method for forming the unevenness is not particularly limited. Examples of the method for forming the unevenness include a forming method using a known chemical solution.
上記樹脂材料、上記Bステージフィルム及び上記硬化体は、多層基板を得るために好適に用いられる。 The resin material, the B-stage film, and the cured product are preferably used to obtain a multilayer substrate.
上記多層基板の一例として、回路基板と、該回路基板上に積層された絶縁層とを備える多層基板が挙げられる。この多層基板の絶縁層の材料が、上述した硬化体である。また、多層基板の絶縁層が、積層フィルムを用いて、上記積層フィルムの上記樹脂フィルムにより形成されていてもよい。上記絶縁層は、回路基板の回路が設けられた表面上に積層されていることが好ましい。上記絶縁層の一部は、上記回路間に埋め込まれていることが好ましい。 An example of the multilayer board is a multilayer board that includes a circuit board and an insulating layer laminated on the circuit board. The material of the insulating layer of this multilayer substrate is the above-described cured body. Moreover, the insulating layer of the multilayer substrate may be formed of the resin film of the laminated film by using the laminated film. The insulating layer is preferably laminated on the surface of the circuit board on which the circuit is provided. A part of the insulating layer is preferably embedded between the circuits.
上記多層基板では、上記絶縁層の上記回路基板が積層された表面とは反対側の表面が粗化処理されていることが好ましい。 In the multilayer substrate, it is preferable that the surface of the insulating layer opposite to the surface on which the circuit board is laminated is roughened.
粗化処理方法は、従来公知の粗化処理方法を用いることができ、特に限定されない。上記絶縁層の表面は、粗化処理の前に膨潤処理されていてもよい。 A conventionally known roughening treatment method can be used as the roughening treatment method, and is not particularly limited. The surface of the insulating layer may be subjected to a swelling treatment before the roughening treatment.
また、上記多層基板は、上記絶縁層の粗化処理された表面に積層された銅めっき層をさらに備えることが好ましい。 Moreover, it is preferable that the multilayer substrate further includes a copper plating layer laminated on the roughened surface of the insulating layer.
また、上記多層基板の他の例として、回路基板と、該回路基板の表面上に積層された絶縁層と、該絶縁層の上記回路基板が積層された表面とは反対側の表面に積層された銅箔とを備える多層基板が挙げられる。この多層基板の絶縁層の材料が、上述した硬化体である。上記絶縁層が、銅箔と該銅箔の一方の表面に積層された樹脂フィルムとを備える銅張積層板を用いて、上記樹脂フィルムを硬化させることにより形成されていることが好ましい。さらに、上記銅箔はエッチング処理されており、銅回路であることが好ましい。 Further, as another example of the multilayer board, a circuit board, an insulating layer laminated on the surface of the circuit board, and a surface of the insulating layer laminated on the surface opposite to the surface on which the circuit board is laminated. and a copper foil. The material of the insulating layer of this multilayer substrate is the above-described cured body. It is preferable that the insulating layer is formed by using a copper-clad laminate comprising a copper foil and a resin film laminated on one surface of the copper foil, and curing the resin film. Further, the copper foil is preferably etched and is a copper circuit.
上記多層基板の他の例として、回路基板と、該回路基板の表面上に積層された複数の絶縁層とを備える多層基板が挙げられる。上記回路基板上に配置された上記複数層の絶縁層の内の少なくとも1層が、上記樹脂材料を用いて形成される。この多層基板の絶縁層の材料が、上述した硬化体である。上記多層基板は、上記樹脂フィルムを用いて形成されている上記絶縁層の少なくとも一方の表面に積層されている回路をさらに備えることが好ましい。 Another example of the multilayer board is a multilayer board that includes a circuit board and a plurality of insulating layers laminated on the surface of the circuit board. At least one of the plurality of insulating layers arranged on the circuit board is formed using the resin material. The material of the insulating layer of this multilayer substrate is the above-described cured body. The multilayer substrate preferably further includes a circuit laminated on at least one surface of the insulating layer formed using the resin film.
上記樹脂材料、上記Bステージフィルム及び上記硬化体は、多層プリント配線板において、絶縁層を形成するために好適に用いられる。 The resin material, the B-stage film, and the cured product are suitably used for forming an insulating layer in a multilayer printed wiring board.
上記多層プリント配線板は、例えば、回路基板と、上記回路基板の表面上に配置された複数の絶縁層と、複数の上記絶縁層間に配置された金属層とを備える。上記絶縁層の内の少なくとも1層の絶縁層の材料が、上述した硬化体である。 The multilayer printed wiring board includes, for example, a circuit board, a plurality of insulating layers arranged on the surface of the circuit board, and metal layers arranged between the plurality of insulating layers. The material of at least one insulating layer among the insulating layers is the above-described cured body.
図1は、本発明の一実施形態に係る硬化体を用いた多層プリント配線板を模式的に示す断面図である。 FIG. 1 is a cross-sectional view schematically showing a multilayer printed wiring board using a cured product according to one embodiment of the present invention.
図1に示す多層プリント配線板11では、回路基板12の上面12aに、複数層の絶縁層13~16が積層されている。絶縁層13~16は、硬化物層である。回路基板12の上面12aの一部の領域には、金属層17が形成されている。複数層の絶縁層13~16のうち、回路基板12側とは反対の外側の表面に位置する絶縁層16以外の絶縁層13~15には、上面の一部の領域に金属層17が形成されている。金属層17は回路である。回路基板12と絶縁層13の間、及び積層された絶縁層13~16の各層間に、金属層17がそれぞれ配置されている。下方の金属層17と上方の金属層17とは、図示しないビアホール接続及びスルーホール接続の内の少なくとも一方により互いに接続されている。
In the multilayer printed
多層プリント配線板11では、絶縁層13~16が、上記硬化体により形成されている。多層プリント配線板11では、絶縁層13~16の材料が、上記硬化体である。本実施形態では、絶縁層13~16の表面が粗化処理されているので、絶縁層13~16の表面に図示しない微細な孔が形成されている。また、微細な孔の内部に金属層17が至っている。また、多層プリント配線板11では、金属層17の幅方向寸法(L)と、金属層17が形成されていない部分の幅方向寸法(S)とを小さくすることができる。また、多層プリント配線板11では、図示しないビアホール接続及びスルーホール接続で接続されていない上方の金属層と下方の金属層との間に、良好な絶縁信頼性が付与されている。
In the multilayer printed
(粗化処理及び膨潤処理)
上記樹脂材料は、粗化処理又はデスミア処理される硬化体を得るために用いられることが好ましい。上記硬化体には、更に硬化が可能な予備硬化体も含まれる。海島構造を容易に形成させる観点からは、上記硬化体は、更に硬化が可能な予備硬化体であることが好ましい。また、上記予備硬化体を得るために、樹脂材料を硬化させる際の硬化温度は、120℃以上、180℃以下であることが好ましい。
(Roughening treatment and swelling treatment)
The above resin material is preferably used to obtain a cured product that is roughened or desmeared. The cured product also includes a pre-cured product that can be further cured. From the viewpoint of easily forming a sea-island structure, the cured body is preferably a pre-cured body that can be further cured. In order to obtain the pre-cured body, the curing temperature for curing the resin material is preferably 120° C. or higher and 180° C. or lower.
上記樹脂材料を予備硬化させることにより得られた硬化体の表面に微細な凹凸を形成するために、硬化体は粗化処理されることが好ましい。粗化処理の前に、硬化体は膨潤処理されることが好ましい。硬化体は、予備硬化の後、かつ粗化処理される前に、膨潤処理されており、さらに粗化処理の後に硬化されていることが好ましい。ただし、硬化体は、必ずしも膨潤処理されなくてもよい。 In order to form fine unevenness on the surface of the cured body obtained by precuring the resin material, the cured body is preferably subjected to a roughening treatment. The hardened body is preferably subjected to a swelling treatment before the roughening treatment. It is preferable that the cured product is subjected to a swelling treatment after precuring and before being roughened, and further cured after the roughening treatment. However, the cured body does not necessarily have to be swollen.
上記膨潤処理の方法としては、例えば、エチレングリコールなどを主成分とする化合物の水溶液又は有機溶媒分散溶液などにより、硬化体を処理する方法等が用いられる。膨潤処理に用いる膨潤液は、一般にpH調整剤などとして、アルカリを含む。膨潤液は、水酸化ナトリウムを含むことが好ましい。具体的には、例えば、上記膨潤処理は、40重量%エチレングリコール水溶液等を用いて、処理温度30℃~85℃で1分間~30分間、硬化体を処理することにより行なわれる。上記膨潤処理の温度は50℃~85℃の範囲内であることが好ましい。上記膨潤処理の温度が低すぎると、膨潤処理に長時間を要し、更に硬化体と金属層との接着強度が低くなる傾向がある。 As a method for the swelling treatment, for example, a method of treating the cured product with an aqueous solution or an organic solvent dispersion solution of a compound containing ethylene glycol as a main component, or the like is used. The swelling liquid used for the swelling treatment generally contains an alkali as a pH adjuster or the like. The swelling liquid preferably contains sodium hydroxide. Specifically, for example, the swelling treatment is performed by treating the hardened body with a 40% by weight ethylene glycol aqueous solution or the like at a treatment temperature of 30° C. to 85° C. for 1 minute to 30 minutes. The temperature of the swelling treatment is preferably in the range of 50.degree. C. to 85.degree. If the temperature of the swelling treatment is too low, the swelling treatment will take a long time, and the bonding strength between the cured body and the metal layer tends to be low.
上記粗化処理には、例えば、マンガン化合物、クロム化合物又は過硫酸化合物などの化学酸化剤等が用いられる。これらの化学酸化剤は、水又は有機溶剤が添加された後、水溶液又は有機溶媒分散溶液として用いられる。粗化処理に用いられる粗化液は、一般にpH調整剤などとしてアルカリを含む。粗化液は、水酸化ナトリウムを含むことが好ましい。 A chemical oxidizing agent such as a manganese compound, a chromium compound, or a persulfate compound is used for the roughening treatment. These chemical oxidants are used as aqueous solutions or organic solvent dispersion solutions after water or organic solvents are added. The roughening liquid used for the roughening treatment generally contains an alkali as a pH adjuster or the like. The roughening liquid preferably contains sodium hydroxide.
上記マンガン化合物としては、過マンガン酸カリウム及び過マンガン酸ナトリウム等が挙げられる。上記クロム化合物としては、重クロム酸カリウム及び無水クロム酸カリウム等が挙げられる。上記過硫酸化合物としては、過硫酸ナトリウム、過硫酸カリウム及び過硫酸アンモニウム等が挙げられる。 Examples of the manganese compound include potassium permanganate and sodium permanganate. Examples of the chromium compound include potassium dichromate and anhydrous potassium chromate. Examples of the persulfate compound include sodium persulfate, potassium persulfate and ammonium persulfate.
硬化体の表面の算術平均粗さRaは好ましくは10nm以上であり、好ましくは300nm未満、より好ましくは200nm未満、更に好ましくは150nm未満である。この場合には、絶縁層と金属層との接着強度が高くなり、更に絶縁層の表面により一層微細な配線が形成される。さらに、導体損失を抑えることができ、信号損失を低く抑えることができる。上記算術平均粗さRaは、JIS B0601:1994に準拠して測定される。 The surface arithmetic mean roughness Ra of the cured product is preferably 10 nm or more, preferably less than 300 nm, more preferably less than 200 nm, and even more preferably less than 150 nm. In this case, the bonding strength between the insulating layer and the metal layer is increased, and finer wiring is formed on the surface of the insulating layer. Furthermore, conductor loss can be suppressed, and signal loss can be kept low. The arithmetic mean roughness Ra is measured according to JIS B0601:1994.
(デスミア処理)
上記樹脂材料を予備硬化させることにより得られた硬化体に、貫通孔が形成されることがある。上記多層基板などでは、貫通孔として、ビア又はスルーホール等が形成される。例えば、ビアは、CO2レーザー等のレーザーの照射により形成できる。ビアの直径は特に限定されないが、60μm~80μm程度である。上記貫通孔の形成により、ビア内の底部には、硬化体に含まれている樹脂成分に由来する樹脂の残渣であるスミアが形成されることが多い。
(Desmear treatment)
Through-holes may be formed in the cured body obtained by pre-curing the resin material. Vias, through holes, or the like are formed as through holes in the multilayer substrates and the like. For example, vias can be formed by irradiation with a laser such as a CO2 laser. Although the diameter of the via is not particularly limited, it is about 60 μm to 80 μm. Due to the formation of the through-holes, smears, which are residues of the resin derived from the resin component contained in the cured body, are often formed on the bottom of the via.
上記スミアを除去するために、硬化体の表面は、デスミア処理されることが好ましい。デスミア処理が粗化処理を兼ねることもある。 In order to remove the smear, the surface of the cured body is preferably desmeared. The desmearing treatment may also serve as the roughening treatment.
上記デスミア処理には、上記粗化処理と同様に、例えば、マンガン化合物、クロム化合物又は過硫酸化合物等の化学酸化剤等が用いられる。これらの化学酸化剤は、水又は有機溶剤が添加された後、水溶液又は有機溶媒分散溶液として用いられる。デスミア処理に用いられるデスミア処理液は、一般にアルカリを含む。デスミア処理液は、水酸化ナトリウムを含むことが好ましい。 For the desmear treatment, chemical oxidizing agents such as manganese compounds, chromium compounds, or persulfate compounds are used, as in the roughening treatment. These chemical oxidants are used as aqueous solutions or organic solvent dispersion solutions after water or organic solvents are added. A desmearing liquid used for desmearing generally contains an alkali. The desmear treatment liquid preferably contains sodium hydroxide.
上記樹脂材料の使用により、デスミア処理された絶縁層の表面の表面粗さが十分に小さくなる。 By using the above resin material, the surface roughness of the desmeared insulating layer is sufficiently reduced.
以下、実施例及び比較例を挙げることにより、本発明を具体的に説明する。本発明は、以下の実施例に限定されない。なお、表に記載の各成分の含有量は、固形分の重量部である。 EXAMPLES The present invention will now be described in detail with reference to examples and comparative examples. The invention is not limited to the following examples. In addition, the content of each component described in the table is the weight part of the solid content.
以下の材料を用意した。 The following materials were prepared.
(熱硬化性化合物)
エポキシ化合物:
ビフェニル型エポキシ化合物(日本化薬社製「NC-3000」)
ナフトールアラルキル型エポキシ化合物(新日鐵住金化学社製「TX-1507B」) レゾルシノールジグリシジルエステル(ナガセケムテックス社製「EX-201」)
単官能エポキシ化合物(日産化学社製「Foldi-E101」)
ジシクロペンタジエン型エポキシ化合物(アデカ社製「EP4088S」)
(Thermosetting compound)
Epoxy compounds:
Biphenyl-type epoxy compound ("NC-3000" manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)
Naphthol aralkyl type epoxy compound (“TX-1507B” manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd.) Resorcinol diglycidyl ester (“EX-201” manufactured by Nagase ChemteX Corporation)
Monofunctional epoxy compound (manufactured by Nissan Chemical Co., Ltd. "Foldi-E101")
Dicyclopentadiene type epoxy compound ("EP4088S" manufactured by ADEKA CORPORATION)
マレイミド化合物:
N-アルキルビスマレイミド化合物1(Designer Molecules Inc.社製「BMI-3000」)
N-アルキルビスマレイミド化合物2(Designer Molecules Inc.社製「BMI-1500」)
N-アルキルビスマレイミド化合物3(下記の合成例1にて合成)
Maleimide compounds:
N-alkylbismaleimide compound 1 (Designer Molecules Inc. "BMI-3000")
N-alkylbismaleimide compound 2 (Designer Molecules Inc. "BMI-1500")
N-alkylbismaleimide compound 3 (synthesized in Synthesis Example 1 below)
(合成例1)
500mLのナスフラスコに250mLのトルエンを入れ、ダイマージアミン(クローダジャパン社製「PRIAMINE1075」)を13.2g(32mmol)、トリシクロデカンジアミンを24.9g(128mmol)添加した。次いで、ビフェニル酸二無水物35.3g(120mmol)を少しずつ添加した。ディーンスターク装置にナスフラスコを取り付け、2時間加熱還流した。このようにして、両末端にアミンを有しかつ複数のイミド骨格を有する化合物を得た。縮合時に排出される水分を除去し、室温に戻した後、無水マレイン酸を8.83g(90mmol)加えて攪拌し、同様に加熱し反応させた。このようにして、両末端にマレイミド骨格を有する化合物を得た。イソプロパノールを入れて生成物の再沈殿を行った。その後真空オーブンで乾燥させ、N-アルキルビスマレイミド化合物3を得た。
(Synthesis example 1)
250 mL of toluene was placed in a 500 mL eggplant flask, and 13.2 g (32 mmol) of dimer diamine (“PRIAMINE 1075” manufactured by Croda Japan) and 24.9 g (128 mmol) of tricyclodecanediamine were added. 35.3 g (120 mmol) of biphenylic dianhydride were then added in portions. The eggplant flask was attached to the Dean-Stark apparatus, and the mixture was heated under reflux for 2 hours. Thus, a compound having amines at both ends and multiple imide skeletons was obtained. After removing water discharged during condensation and returning to room temperature, 8.83 g (90 mmol) of maleic anhydride was added, stirred, and heated in the same manner for reaction. Thus, a compound having maleimide skeletons at both ends was obtained. Isopropanol was added to reprecipitate the product. After drying in a vacuum oven, an N-alkylbismaleimide compound 3 was obtained.
(無機充填材)
シリカ含有スラリー(シリカ75重量%:アドマテックス社製「SC4050-HOA」、平均粒径1.0μm、アミノシラン処理、シクロヘキサノン25重量%)
(Inorganic filler)
Silica-containing slurry (75% by weight of silica: “SC4050-HOA” manufactured by Admatechs, average particle size 1.0 μm, aminosilane treatment, 25% by weight of cyclohexanone)
(硬化剤)
成分X:
フェノール化合物含有液(DIC社製「LA-1356」、固形分60重量%)
活性エステル化合物1含有液(DIC社製「EXB-8」、固形分100重量%)
活性エステル化合物2含有液(DIC社製「HPC8150-62T」、固形分62重量%)
(curing agent)
Component X:
Phenolic compound-containing liquid ("LA-1356" manufactured by DIC, solid content 60% by weight)
Liquid containing active ester compound 1 (“EXB-8” manufactured by DIC, solid content 100% by weight)
Liquid containing active ester compound 2 (“HPC8150-62T” manufactured by DIC, solid content 62% by weight)
(硬化促進剤)
ジメチルアミノピリジン(和光純薬工業社製「DMAP」)
2-フェニル-4-メチルイミダゾール(四国化成工業社製「2P4MZ」、アニオン性硬化促進剤)
(Curing accelerator)
Dimethylaminopyridine ("DMAP" manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.)
2-phenyl-4-methylimidazole ("2P4MZ" manufactured by Shikoku Kasei Co., Ltd., anionic curing accelerator)
(熱可塑性樹脂)
フェノキシ樹脂(三菱化学社製「YX6954BH30」)
ポリイミド化合物1(ポリイミド樹脂、下記の合成例2にて合成)
ポリイミド化合物2(ポリイミド樹脂、下記の合成例3にて合成)
(Thermoplastic resin)
Phenoxy resin (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation "YX6954BH30")
Polyimide compound 1 (polyimide resin, synthesized in Synthesis Example 2 below)
Polyimide compound 2 (polyimide resin, synthesized in Synthesis Example 3 below)
(合成例2)
撹拌機、分水器、温度計及び窒素ガス導入管を備えた反応容器に、テトラカルボン酸二無水物(SABICジャパン合同会社製「BisDA-1000」)300.0gと、シクロヘキサノン665.5gとを入れ、反応容器中の溶液を60℃まで加熱した。次いで、反応容器中に、ダイマージアミン(クローダジャパン社製「PRIAMINE1075」)89.0gと、1,3-ビスアミノメチルシクロヘキサン(三菱ガス化学社製)54.7gとを滴下した。次いで、反応容器中に、メチルシクロヘキサン121.0gと、エチレングリコールジメチルエーテル423.5gとを添加し、140℃で10時間かけてイミド化反応を行った。このようにして、ポリイミド化合物含有溶液(不揮発分26.8重量%)を得た。得られたポリイミド化合物1の分子量(重量平均分子量)は20000であった。なお、酸成分/アミン成分のモル比は1.04であった。
(Synthesis example 2)
300.0 g of tetracarboxylic dianhydride ("BisDA-1000" manufactured by SABIC Japan LLC) and 665.5 g of cyclohexanone were added to a reaction vessel equipped with a stirrer, a water divider, a thermometer, and a nitrogen gas inlet tube. and the solution in the reaction vessel was heated to 60°C. Then, 89.0 g of dimer diamine (“PRIAMINE 1075” manufactured by Croda Japan) and 54.7 g of 1,3-bisaminomethylcyclohexane (manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc.) were dropped into the reaction vessel. Then, 121.0 g of methylcyclohexane and 423.5 g of ethylene glycol dimethyl ether were added to the reactor, and imidization reaction was carried out at 140° C. for 10 hours. Thus, a polyimide compound-containing solution (non-volatile content: 26.8% by weight) was obtained. The obtained polyimide compound 1 had a molecular weight (weight average molecular weight) of 20,000. The molar ratio of acid component/amine component was 1.04.
合成例2で合成したポリイミド化合物1の分子量は、以下のようにして求めた。 The molecular weight of polyimide compound 1 synthesized in Synthesis Example 2 was determined as follows.
GPC(ゲルパーミエーションクロマトグラフィー)測定:
島津製作所社製高速液体クロマトグラフシステムを使用し、テトラヒドロフラン(THF)を展開媒として、カラム温度40℃、流速1.0ml/分で測定を行った。検出器として「SPD-10A」を用い、カラムはShodex社製「KF-804L」(排除限界分子量400,000)を2本直列につないで使用した。標準ポリスチレンとして、東ソー社製「TSKスタンダードポリスチレン」を用い、重量平均分子量Mw=354,000、189,000、98,900、37,200、17,100、9,830、5,870、2,500、1,050、500の物質を使用して較正曲線を作成し、分子量の計算を行った。
GPC (gel permeation chromatography) measurement:
Using a high-performance liquid chromatograph system manufactured by Shimadzu Corporation, measurement was performed using tetrahydrofuran (THF) as a developing medium at a column temperature of 40° C. and a flow rate of 1.0 ml/min. "SPD-10A" was used as a detector, and two "KF-804L" columns (exclusion limit molecular weight: 400,000) manufactured by Shodex were connected in series. As standard polystyrene, "TSK Standard Polystyrene" manufactured by Tosoh Corporation was used, and weight average molecular weight Mw = 354,000, 189,000, 98,900, 37,200, 17,100, 9,830, 5,870, 2, A calibration curve was generated using 500, 1,050, 500 substances and molecular weight calculations were performed.
(合成例3)
合成例2で得たポリイミド化合物1をトルエンに溶解させ、その後イソプロパノールでポリマー成分を再沈殿させた。得られたポリマーをろ過して回収し乾燥させることにより低分子成分を除去した。
(Synthesis Example 3)
The polyimide compound 1 obtained in Synthesis Example 2 was dissolved in toluene, and then the polymer component was reprecipitated with isopropanol. The obtained polymer was collected by filtration and dried to remove low-molecular-weight components.
(実施例1)
樹脂フィルムの作製:
下記の表1に示す成分を下記の表1に示す配合量(単位は固形分重量部)で配合し、均一な溶液となるまで常温で攪拌し、樹脂材料を得た。
(Example 1)
Preparation of resin film:
The components shown in Table 1 below were blended in the amounts shown in Table 1 below (unit: parts by weight of solid content) and stirred at room temperature until a uniform solution was obtained to obtain a resin material.
アプリケーターを用いて、離型処理されたPETフィルム(東レ社製「XG284」、厚み25μm)の離型処理面上に得られた樹脂材料を塗工した後、100℃のギヤオーブン内で2分10秒間乾燥し、溶剤を揮発させた。このようにして、PETフィルム上に、厚さが40μmである樹脂フィルム(Bステージフィルム)が積層されている積層フィルム(PETフィルムと樹脂フィルムとの積層フィルム)を得た。 Using an applicator, apply the obtained resin material on the release-treated surface of a release-treated PET film ("XG284" manufactured by Toray Industries, Inc., thickness 25 μm), and then place in a gear oven at 100° C. for 2 minutes. Dry for 10 seconds to evaporate the solvent. Thus, a laminated film (laminated film of PET film and resin film) in which a resin film (B stage film) having a thickness of 40 μm was laminated on the PET film was obtained.
硬化体の作製:
得られた積層フィルムを、130℃から150℃まで段階的に60分間かけて加熱して仮硬化させた後、200℃で90分間加熱して硬化させて、相分離が抑制された硬化体を得た。なお、後述の評価基板の作製時においても、仮硬化は本条件で実施した。
Preparation of hardened body:
The resulting laminated film is heated stepwise from 130 ° C. to 150 ° C. over 60 minutes to temporarily harden, and then heated at 200 ° C. for 90 minutes to harden to obtain a cured product in which phase separation is suppressed. Obtained. It should be noted that the provisional curing was performed under these conditions also during the production of the evaluation substrates described later.
(実施例2)
樹脂フィルムの作製:
下記の表1に示す成分を下記の表1に示す配合量(単位は固形分重量部)で配合し、均一な溶液となるまで常温で攪拌し、樹脂材料を得た。
(Example 2)
Preparation of resin film:
The components shown in Table 1 below were blended in the amounts shown in Table 1 below (unit: parts by weight of solid content) and stirred at room temperature until a uniform solution was obtained to obtain a resin material.
アプリケーターを用いて、離型処理されたPETフィルム(東レ社製「XG284」、厚み25μm)の離型処理面上に得られた樹脂材料を塗工した後、90℃のギヤオーブン内で2分30秒間乾燥し、溶剤を揮発させた。このようにして、PETフィルム上に、厚さが40μmである樹脂フィルム(Bステージフィルム)が積層されている積層フィルム(PETフィルムと樹脂フィルムとの積層フィルム)を得た。 Using an applicator, the obtained resin material is applied onto the release-treated surface of a release-treated PET film ("XG284" manufactured by Toray Industries, Inc., thickness 25 μm), and then placed in a gear oven at 90° C. for 2 minutes. Dry for 30 seconds to evaporate the solvent. Thus, a laminated film (laminated film of PET film and resin film) in which a resin film (B stage film) having a thickness of 40 μm was laminated on the PET film was obtained.
硬化体の作製:
得られた積層フィルムを、100℃で30分間、次いで170℃で30分間加熱して仮硬化させた後、200℃で90分間加熱して硬化させて、硬化体を得た。なお、後述の評価基板の作製時においても、仮硬化は本条件で実施した。
Preparation of hardened body:
The obtained laminate film was temporarily cured by heating at 100° C. for 30 minutes, then at 170° C. for 30 minutes, and then cured by heating at 200° C. for 90 minutes to obtain a cured product. It should be noted that the provisional curing was performed under these conditions also during the production of the evaluation substrates described later.
(実施例3)
樹脂フィルムの作製:
下記の表1に示す成分を下記の表1に示す配合量(単位は固形分重量部)で配合したこと以外は実施例2と同様にして、積層フィルム(PETフィルムと樹脂フィルムとの積層フィルム)を得た。
(Example 3)
Preparation of resin film:
Laminated film (laminated film of PET film and resin film) in the same manner as in Example 2 except that the components shown in Table 1 below were blended in the amounts shown in Table 1 below (unit: parts by weight of solid content) ).
硬化体の作製:
得られた積層フィルムを、130℃で30分間、次いで170℃で30分間加熱して仮硬化させた後、200℃で90分間加熱して硬化させて、硬化体を得た。なお、後述の評価基板の作製時においても、仮硬化は本条件で実施した。相溶性の高いBMIと、エポキシ化合物及び硬化剤との反応において、DSC測定において単峰性ピークになるよう反応温度を揃えることで、相分離が抑制された硬化体を得た。
Preparation of hardened body:
The obtained laminate film was temporarily cured by heating at 130° C. for 30 minutes, then at 170° C. for 30 minutes, and then cured by heating at 200° C. for 90 minutes to obtain a cured product. It should be noted that the provisional curing was performed under these conditions also during the production of the evaluation substrates described later. In the reaction of BMI with high compatibility with the epoxy compound and the curing agent, a cured product in which phase separation was suppressed was obtained by aligning the reaction temperature so as to obtain a unimodal peak in DSC measurement.
(実施例4及び比較例1)
樹脂フィルムの作製:
下記の表1に示す成分を下記の表1に示す配合量(単位は固形分重量部)で配合したこと以外は実施例2と同様にして、積層フィルム(PETフィルムと樹脂フィルムとの積層フィルム)を得た。
(Example 4 and Comparative Example 1)
Preparation of resin film:
Laminated film (laminated film of PET film and resin film) in the same manner as in Example 2 except that the components shown in Table 1 below were blended in the amounts shown in Table 1 below (unit: parts by weight of solid content) ).
硬化体の作製:
実施例2と同様にして、硬化体を得た。
Preparation of hardened body:
A cured body was obtained in the same manner as in Example 2.
<評価基板の作製>
評価基板(銅張積層板と6層の絶縁-配線回路複合層とを備える評価基板)を下記に従い作製した。なお、評価基板において、各層に形成されたビアホールは連なっている。すなわち、評価基板は、多段スタックビアを有する評価基板である。
<Preparation of evaluation board>
An evaluation board (an evaluation board comprising a copper-clad laminate and six insulating-wiring circuit composite layers) was prepared as follows. In addition, in the evaluation board, the via holes formed in each layer are continuous. That is, the evaluation board is an evaluation board having multistage stacked vias.
1層目の絶縁-配線回路複合層の形成:
(a1)ラミネート工程:
両面銅張積層板(CCL基板)(各面の銅箔の厚み18μm、基板の厚み0.7mm、基板サイズ100mm×100mm、日立化成社製「MCL-E679FG」)を用意した。この両面銅張積層板の銅箔面の両面をメック社製「Cz8101」に浸漬して、銅箔の表面を粗化処理した。粗化処理された銅張積層板の両面に、名機製作所社製「バッチ式真空ラミネーターMVLP-500/600-IIA」を用いて、積層フィルムの樹脂フィルム(Bステージフィルム)側を銅張積層板上に重ねてラミネートした。ラミネートの条件は、30秒減圧して気圧を13hPa以下とし、その後30秒間、100℃及び圧力0.4MPaでプレスする条件とした。PETフィルムを剥がした後、上述の硬化体の作製にて行った仮硬化条件で加熱し、樹脂フィルムを半硬化(予備硬化)させた。このようにして、CCL基板に樹脂フィルムの半硬化物が積層されている積層体(1)を得た。
Formation of first insulation-wiring circuit composite layer:
(a1) Lamination step:
A double-sided copper-clad laminate (CCL substrate) (copper foil thickness of 18 μm on each side, substrate thickness of 0.7 mm, substrate size of 100 mm×100 mm, “MCL-E679FG” manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) was prepared. Both sides of the copper foil surface of this double-sided copper-clad laminate were immersed in "Cz8101" manufactured by MEC Co., Ltd. to roughen the surface of the copper foil. On both sides of the roughened copper-clad laminate, the resin film (B stage film) side of the laminated film is copper-clad laminated using Meiki Seisakusho's "Batch Type Vacuum Laminator MVLP-500/600-IIA". Laminated on a plate. The lamination conditions were as follows: the pressure was reduced for 30 seconds to an air pressure of 13 hPa or less, and then pressed for 30 seconds at 100° C. and a pressure of 0.4 MPa. After peeling off the PET film, the resin film was semi-cured (pre-cured) by heating under the temporary curing conditions used in the production of the above-described cured body. Thus, a laminate (1) in which the semi-cured resin film was laminated on the CCL substrate was obtained.
(b1)ビアホール形成工程:
CO2レーザー加工機(ビアメカニクス社製「LC-4KF212」)を用いて、バーストモード、エネルギー0.4mJ、パルス27μsec、3ショットの条件で、直径約60μmのビアホールを形成した。
(b1) Via hole forming step:
Using a CO 2 laser processing machine (“LC-4KF212” manufactured by Via Mechanics Co., Ltd.), a via hole with a diameter of about 60 μm was formed under the conditions of burst mode, energy of 0.4 mJ, pulse of 27 μsec, and 3 shots.
(c1)デスミア処理及び粗化処理:
(c1-1)膨潤処理:
60℃の膨潤液(アトテックジャパン社製「スウェリングディップセキュリガントP」)に、得られた積層体(1)を入れて、10分間揺動させた。その後、純水で洗浄した。
(c1) Desmear treatment and roughening treatment:
(c1-1) swelling treatment:
The resulting laminate (1) was placed in a swelling liquid (“Swelling Dip Securigant P” manufactured by Atotech Japan Co., Ltd.) at 60° C. and shaken for 10 minutes. After that, it was washed with pure water.
(c1-2)過マンガン酸塩処理(粗化処理及びデスミア処理):
80℃の過マンガン酸カリウム(アトテックジャパン社製「コンセントレートコンパクトCP」)粗化水溶液に、膨潤処理後の積層体(1)を入れて、30分間揺動させた。次に、25℃の洗浄液(アトテックジャパン社製「リダクションセキュリガントP」)を用いて2分間処理した後、純水で洗浄を行い、粗化処理後の積層体(1)を得た。
(c1-2) permanganate treatment (roughening treatment and desmear treatment):
The laminate (1) after the swelling treatment was placed in a roughening aqueous solution of potassium permanganate (“Concentrate Compact CP” manufactured by Atotech Japan) at 80° C. and shaken for 30 minutes. Next, it was treated for 2 minutes with a cleaning liquid (“Reduction Securigant P” manufactured by Atotech Japan Co., Ltd.) at 25° C., and then washed with pure water to obtain a laminate (1) after roughening treatment.
(c1-3)表面粗さの測定:
粗化処理後の積層体(1)(粗化処理された硬化物)の表面を、非接触3次元表面形状測定装置(Bruker社製「Contour GT-K」)を用いて、95.6μm×71.7μmの測定領域で算術平均粗さRaを測定した。なお、上記算術平均粗さRaは、JIS B0601:1994に準拠して測定した。粗化処理された硬化物の表面の表面粗さが200nm以下であることを確認した。
(c1-3) Measurement of surface roughness:
The surface of the laminate (1) after the roughening treatment (roughening-treated cured product) was measured using a non-contact three-dimensional surface profile measuring device (“Contour GT-K” manufactured by Bruker) to 95.6 μm × Arithmetic mean roughness Ra was measured over a measurement area of 71.7 μm. The arithmetic mean roughness Ra was measured according to JIS B0601:1994. It was confirmed that the surface roughness of the surface of the roughened cured product was 200 nm or less.
(d1)無電解めっき処理:
粗化処理後の積層体(1)の硬化物の表面を、60℃のアルカリクリーナ(アトテックジャパン社製「クリーナーセキュリガント902」)で5分間処理し、脱脂洗浄した。洗浄後、上記硬化物を25℃のプリディップ液(アトテックジャパン社製「プリディップネオガントB」)で2分間処理した。その後、上記硬化物を40℃のアクチベーター液(アトテックジャパン社製「アクチベーターネオガント834」)で5分間処理し、パラジウム触媒を付けた。次に、30℃の還元液(アトテックジャパン社製「リデューサーネオガントWA」)により、硬化物を5分間処理した。
(d1) Electroless plating treatment:
The surface of the cured laminate (1) after the roughening treatment was treated with an alkaline cleaner (“Cleaner Securigant 902” manufactured by Atotech Japan Co., Ltd.) at 60° C. for 5 minutes to be degreased and washed. After washing, the cured product was treated with a pre-dip liquid ("Pre-dip Neogant B" manufactured by Atotech Japan Co., Ltd.) at 25°C for 2 minutes. Thereafter, the cured product was treated with an activator liquid (“Activator Neogant 834” manufactured by Atotech Japan Co., Ltd.) at 40° C. for 5 minutes to attach a palladium catalyst. Next, the cured product was treated with a reducing liquid (“Reducer Neogant WA” manufactured by Atotech Japan Co., Ltd.) at 30° C. for 5 minutes.
次に、上記硬化物を化学銅液(アトテックジャパン社製「ベーシックプリントガントMSK-DK」、「カッパープリントガントMSK」、「スタビライザープリントガントMSK」、及び「リデューサーCu」)に入れ、無電解めっきをめっき厚さが0.5μm程度になるまで実施した。無電解めっき後に、残留している水素ガスを除去するため、120℃の温度で30分間アニール処理した。なお、無電解めっきの工程までの全ての工程は、ビーカースケールで処理液を2Lとし、硬化物を揺動させながら実施した。 Next, the cured product is placed in a chemical copper solution (“Basic Printgant MSK-DK”, “Copper Printgant MSK”, “Stabilizer Printgant MSK”, and “Reducer Cu” manufactured by Atotech Japan Co., Ltd.), and electroless plating is performed. was carried out until the plating thickness reached about 0.5 μm. After electroless plating, an annealing treatment was performed at a temperature of 120° C. for 30 minutes in order to remove residual hydrogen gas. All the steps up to the step of electroless plating were carried out with a beaker scale of 2 liters of the processing liquid, while shaking the cured product.
(e1)レジスト形成:
ドライフィルムレジスト(日立化成社製「RY5125」)を、ホットロールラミネーターを用いて貼り付けた。ラミネート条件は、温度100℃、圧力0.4MPa及びラミネート速度1.5m/分とする条件とし、その後、15分ホールドした。次いで、85mJ/cm2で露光した後、1wt%の炭酸ナトリウム水溶液を27℃で、スプレー圧1.2MPa、30秒間スプレー処理して現像を行った。
(e1) Resist formation:
A dry film resist (“RY5125” manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) was attached using a hot roll laminator. The lamination conditions were a temperature of 100° C., a pressure of 0.4 MPa and a lamination speed of 1.5 m/min, and then held for 15 minutes. Then, after exposure at 85 mJ/cm 2 , development was carried out by spraying a 1 wt % sodium carbonate aqueous solution at 27° C. under a spray pressure of 1.2 MPa for 30 seconds.
(f1)電解めっき処理:
次に、無電解めっき処理された硬化物に、電解めっきをめっき厚さが25μmとなるまで実施した。電解銅めっきとして硫酸銅溶液(和光純薬工業社製「硫酸銅五水和物」、和光純薬工業社製「硫酸」、アトテックジャパン社製「ベーシックレベラーカパラシド HL」、アトテックジャパン社製「補正剤カパラシド GS」)を用いて、0.6A/cm2の電流を流しめっき厚さが25μm程度となるまで電解めっきを実施した。
(f1) Electroplating treatment:
Next, the electroless-plated cured product was electroplated until the plating thickness reached 25 μm. As electrolytic copper plating, copper sulfate solution (“Copper sulfate pentahydrate” manufactured by Wako Pure Chemical Industries, “Sulfuric acid” manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd. “Basic Leveler Cupalaside HL” manufactured by Atotech Japan, “ Electroplating was carried out using a correction agent "Capalacid GS") and applying a current of 0.6 A/cm 2 until the plating thickness reached about 25 μm.
(g1)DFR剥離及びエッチング処理:
3wt%の水酸化ナトリウム水溶液を用いてスプレー処理することによりドライフィルムレジスト(DFR)を剥離した。次いで、過水硫酸系の酸性エッチング液(JCU社製「SACプロセス」)にてクイックエッチングを行った。
(g1) DFR stripping and etching treatment:
The dry film resist (DFR) was removed by spraying with a 3 wt % sodium hydroxide aqueous solution. Next, quick etching was performed with a perhydrate sulfuric acid-based acidic etchant ("SAC Process" manufactured by JCU).
(h1)本硬化工程:
ピーク温度Tに対し、190℃で1.5時間加熱した。
(h1) main curing step:
Heat to peak temperature T at 190° C. for 1.5 hours.
このようにして、銅張積層板上に1層目の絶縁-配線回路複合層を形成した。 In this manner, a first insulation-wiring circuit composite layer was formed on the copper-clad laminate.
2層目の絶縁-配線回路複合層の形成:
(a2)ラミネート工程:
(a1)ラミネート工程で実施した粗化処理条件と同様にして、1層目の配線回路層の粗化処理を行った。その後、(a1)ラミネート工程で実施したラミネート条件で、1層目の絶縁-配線回路複合層上に、積層フィルムの樹脂フィルム(Bステージフィルム)側をラミネートした。その後、PETフィルムを剥がした後130℃で60分間加熱して樹脂フィルムを半硬化させた。このようにして、1層目の絶縁-配線回路複合層上に樹脂フィルムの半硬化物が積層されている積層体(2)を得た。
Formation of the second insulation-wiring circuit composite layer:
(a2) Lamination step:
(a1) The first wiring circuit layer was subjected to roughening treatment under the same roughening treatment conditions as in the lamination step. Then, the resin film (B stage film) side of the laminated film was laminated on the first insulating-wiring circuit composite layer under the laminating conditions used in the (a1) laminating step. Then, after removing the PET film, the resin film was semi-cured by heating at 130° C. for 60 minutes. Thus, a laminate (2) was obtained in which the semi-cured resin film was laminated on the first insulating-wiring circuit composite layer.
(b2)ビアホール形成工程:
(b1)ビアホール形成工程で実施した工程を、積層体(1)を積層体(2)に変更したこと以外は同様にして、ビアホールを形成した。
(b2) Via hole forming step:
(b1) A via hole was formed in the same manner as in the step of forming a via hole, except that the laminated body (1) was changed to the laminated body (2).
(c2)デスミア処理及び粗化処理:
(c1)デスミア処理及び粗化処理で実施した工程を、積層体(1)を積層体(2)に変更したこと以外は同様にして、粗化処理後の積層体(2)を得た。
(c2) desmear treatment and roughening treatment:
(c1) Laminate (2) after roughening treatment was obtained in the same manner as the steps performed in desmear treatment and roughening treatment, except that laminate (1) was changed to laminate (2).
(d2)無電解めっき処理:
(d1)無電解めっき処理で実施した工程を、粗化処理後の積層体(1)を粗化処理後の積層体(2)に変更したこと以外は同様にして、無電解めっき処理を行った。
(d2) Electroless plating treatment:
(d1) Electroless plating was performed in the same manner as in the electroless plating process, except that the roughened laminate (1) was changed to the roughened laminate (2). rice field.
(f2)電解めっき処理:
(d2)無電解めっき処理を行った後、(f1)電解めっき処理と同様にして、無電解めっき処理を行った。
(f2) Electroplating treatment:
(d2) After performing the electroless plating treatment, the electroless plating treatment was performed in the same manner as in the (f1) electroplating treatment.
(h2)本硬化工程:
(h1)本硬化工程と同様にして、190℃で1.5時間加熱した。
(h2) Main curing step:
(h1) Heating was performed at 190° C. for 1.5 hours in the same manner as in the main curing step.
このようにして、1層目の絶縁-配線回路複合層上に2層目の絶縁-配線回路複合層を形成した。 In this manner, a second insulation-wiring circuit composite layer was formed on the first insulation-wiring circuit composite layer.
3層目の絶縁-配線回路複合層の形成:
2層目の絶縁-配線回路複合層の形成で実施した工程と同様にして、2層目の絶縁-配線回路複合層上に3層目の絶縁-配線回路複合層を形成した。
Formation of the third insulation-wiring circuit composite layer:
A third insulation-wiring circuit composite layer was formed on the second insulation-wiring circuit composite layer in the same manner as in the formation of the second insulation-wiring circuit composite layer.
4層目の絶縁-配線回路複合層の形成:
2層目の絶縁-配線回路複合層の形成で実施した工程と同様にして、3層目の絶縁-配線回路複合層上に4層目の絶縁-配線回路複合層を形成した。
Formation of the fourth insulation-wiring circuit composite layer:
A fourth insulation-wiring circuit composite layer was formed on the third insulation-wiring circuit composite layer in the same manner as the step of forming the second insulation-wiring circuit composite layer.
5層目の絶縁-配線回路複合層の形成:
(a5)ラミネート工程:
(a2)ラミネート工程で実施した工程と同様にして、4層目の絶縁-配線回路複合層上に樹脂フィルムの半硬化物が積層されている積層体(5)を得た。
Formation of the 5th insulation-wiring circuit composite layer:
(a5) Lamination step:
(a2) A laminate (5) was obtained in which a semi-cured resin film was laminated on the fourth insulation-wiring circuit composite layer in the same manner as in the lamination step.
(b5)ビアホール形成工程:
(b1)ビアホール形成工程で実施した工程を、積層体(1)を積層体(5)に変更したこと以外は同様にして、ビアホールを形成した。
(b5) Via hole forming step:
(b1) A via hole was formed in the same manner as in the step of forming a via hole, except that the laminated body (1) was changed to the laminated body (5).
(c5)デスミア処理及び粗化処理:
(c1)デスミア処理及び粗化処理で実施した工程を、積層体(1)を積層体(5)に変更したこと以外は同様にして、粗化処理後の積層体(5)を得た。
(c5) Desmear treatment and roughening treatment:
(c1) Laminate (5) after roughening treatment was obtained in the same manner as the steps performed in desmear treatment and roughening treatment, except that laminate (1) was changed to laminate (5).
(d5)無電解めっき処理:
(d1)無電解めっき処理で実施した工程を、粗化処理後の積層体(1)を粗化処理後の積層体(5)に変更したこと以外は同様にして、無電解めっき処理を行った。
(d5) Electroless plating treatment:
(d1) Electroless plating was performed in the same manner as in the electroless plating process, except that the roughened laminate (1) was changed to the roughened laminate (5). rice field.
(e5)レジスト形成:
(e1)レジスト形成で実施した工程と同様にして、現像を行った。
(e5) resist formation:
(e1) Development was performed in the same manner as in the resist formation step.
(f5)電解めっき処理:
ドライフィルムレジストのパターンが形成された後、(f1)電解めっき処理と同様にして、無電解めっき処理を行った。
(f5) Electroplating treatment:
After the dry film resist pattern was formed, electroless plating was performed in the same manner as (f1) electrolytic plating.
(g5)DFR剥離及びエッチング処理:
(g1)DFR剥離及びエッチング処理で実施した工程と同様にして、DFR剥離及びエッチング処理を行った。
(g5) DFR stripping and etching treatment:
(g1) DFR stripping and etching were performed in the same manner as in the DFR stripping and etching.
(h5)本硬化工程:
(h1)本硬化工程と同様にして、190℃で1.5時間加熱した。
(h5) Main curing step:
(h1) Heating was performed at 190° C. for 1.5 hours in the same manner as in the main curing step.
このようにして、4層目の絶縁-配線回路複合層上に5層目の絶縁-配線回路複合層を形成した。 In this manner, the fifth insulation-wiring circuit composite layer was formed on the fourth insulation-wiring circuit composite layer.
6層目の絶縁-配線回路複合層の形成:
2層目の絶縁-配線回路複合層の形成で実施した工程と同様にして、5層目の絶縁-配線回路複合層上に6層目の絶縁-配線回路複合層を形成した。
Formation of the 6th insulation-wiring circuit composite layer:
A sixth insulation-wiring circuit composite layer was formed on a fifth insulation-wiring circuit composite layer in the same manner as the step of forming the second insulation-wiring circuit composite layer.
このようにして、銅張積層板上に1層目~6層目の絶縁-配線回路複合層が形成された評価基板を作製した。得られた評価基板では、1層目~6層目の配線回路層のうち、1層目及び5層目の配線回路層のみがパターンを有している。 In this way, an evaluation board was produced in which the first to sixth insulation-wiring circuit composite layers were formed on the copper-clad laminate. In the obtained evaluation board, only the 1st and 5th wiring circuit layers among the 1st to 6th wiring circuit layers have patterns.
(評価)
(1)パルスNMRによる測定
得られた硬化体を、長さ2cmに裁断し、直径10mmのガラス製のサンプル管(BRUKER社製、品番1824511、長さ180mm、フラットボトム)に導入した。サンプル管をパルスNMR装置(BRUKER社製「the minispec mq20」)に設置し、30℃(10分保持)、70℃(10分保持)、100℃(10分保持)、150℃(10分保持)、170℃(10分保持)と段階的に昇温させた。
(evaluation)
(1) Measurement by pulse NMR The obtained cured body was cut into a length of 2 cm and introduced into a glass sample tube with a diameter of 10 mm (manufactured by BRUKER, product number 1824511, length 180 mm, flat bottom). The sample tube was placed in a pulse NMR apparatus (“the minispec mq20” manufactured by BRUKER), and the temperature was maintained at 30°C (10 minutes retention), 70°C (10 minutes retention), 100°C (10 minutes retention), 150°C (10 minutes retention). ) and 170° C. (held for 10 minutes).
30℃及び170℃において、以下の条件でSolid Echo法での測定を行い、1Hのスピン-スピン緩和の自由誘導減衰曲線を得た。 At 30° C. and 170° C., measurement was performed by the Solid Echo method under the following conditions to obtain a free induction decay curve of spin-spin relaxation of 1 H.
<Solid Echo法>
Scans:128times
Recycle Delay:1sec
Acquisition scale:1.0ms
<Solid Echo Method>
Scans: 128 times
Recycle Delay: 1sec
Acquisition scale: 1.0ms
得られた1Hのスピン-スピン緩和の自由誘導減衰曲線を、ハード成分、ミドル成分、ソフト成分の3成分に由来する3つの曲線に波形分離した。波形分離は、ガウシアン型とエクスポーネンシャル型との両方を用いて、フィッティングさせることで行った。それぞれの測定で得られた3成分に由来する曲線から、各成分の比率を求めた。 The free induction decay curve of spin-spin relaxation of 1 H obtained was waveform-separated into three curves derived from three components, hard component, middle component and soft component. Waveform separation was performed by fitting using both the Gaussian type and the exponential type. The ratio of each component was obtained from the curves derived from the three components obtained in each measurement.
なお、BRUKER社製の解析ソフトウェア「TD-NMRA(Version 4.3 Rev 0.8)」を用い、製品マニュアルに従って、ハード成分はガウシアン型、ミドル成分及びソフト成分はエクスポーネンシャル型でフィッティングを行った。また、解析には緩和曲線の0.6msecまでのポイントを用いてフィッティングを行い、各成分の成分量、緩和時間を求めた。 Using BRUKER's analysis software "TD-NMRA (Version 4.3 Rev 0.8)", fitting was performed using the Gaussian type for hard components and the exponential type for middle and soft components according to the product manual. rice field. In the analysis, fitting was performed using points up to 0.6 msec on the relaxation curve to obtain the amount of each component and the relaxation time.
なお、下記式(X)を用いてフィッティングを行った。 In addition, fitting was performed using the following formula (X).
Y=A1*exp(-1/w1*(t/T2A)^w1)+B1*exp(-1/w2*(t/T2B)^w2)+C1*exp(-1/w3*(t/T2C)^w3)・・・式(X) Y=A1*exp(-1/w1*(t/T2A)^w1)+B1*exp(-1/w2*(t/T2B)^w2)+C1*exp(-1/w3*(t/T2C) ^w3) Expression (X)
上記式(X)中、w1、w2、w3はワイブル係数であり、w1は2、w2及びw3は1である。上記式(X)中、A1はハード成分の含有量であり、B1はミドル成分の含有量であり、C1はソフト成分の含有量であり、T2Aはハード成分の緩和時間であり、T2Bはミドル成分の緩和時間であり、T2Cはソフト成分の緩和時間である。上記式(X)中、tは時間である。 In the above formula (X), w1, w2, and w3 are Weibull coefficients, w1 is 2, and w2 and w3 are 1. In the above formula (X), A1 is the content of the hard component, B1 is the content of the middle component, C1 is the content of the soft component, T2A is the relaxation time of the hard component, and T2B is the middle component. is the relaxation time of the component and T2C is the relaxation time of the soft component. In the above formula (X), t is time.
得られた硬化体を用いて上記のパルスNMR測定及び上記の解析を行うことにより、以下を求めた。 The following was obtained by performing the above pulse NMR measurement and the above analysis using the obtained cured product.
30℃でのハード成分の含有量と30℃でのミドル成分の含有量と30℃でのソフト成分の含有量との合計100%中の30℃でのソフト成分の含有量(%)
170℃でのハード成分の含有量と170℃でのミドル成分の含有量と170℃でのソフト成分の含有量との合計100%中の170℃でのソフト成分の含有量(%)
30℃でのソフト成分のスピン-スピン緩和時間(ミリ秒)
170℃でのソフト成分のスピン-スピン緩和時間(ミリ秒)
Content (%) of the soft component at 30°C in the total 100% of the content of the hard component at 30°C, the content of the middle component at 30°C, and the content of the soft component at 30°C
Content (%) of the soft component at 170°C in the total 100% of the content of the hard component at 170°C, the content of the middle component at 170°C, and the content of the soft component at 170°C
Spin-spin relaxation time (ms) of the soft component at 30°C
Spin-spin relaxation time of the soft component at 170°C (ms)
(2)硬化体の反り
得られた積層フィルムを50mm×50mmの大きさに裁断した。裁断された積層フィルムを、樹脂フィルム側から銅板(50mm×50mm×厚み100μm)に重ねて、ダイアフラム式真空ラミネーター(名機製作所社製「バッチ式真空ラミネーターMVLP-500-IIA」)を用い、30秒減圧して気圧を13hPa以下とした後、100℃及び圧力0.7MPaで30秒間ラミネートした。このようにして、銅板上に積層フィルム(樹脂フィルムの未硬化物及びPETフィルム)が積層された積層体を得た。
(2) Curvature of Cured Body The obtained laminate film was cut into a size of 50 mm×50 mm. The cut laminated film is overlaid on a copper plate (50 mm × 50 mm × thickness 100 μm) from the resin film side, and a diaphragm type vacuum laminator ("Batch type vacuum laminator MVLP-500-IIA" manufactured by Meiki Seisakusho Co., Ltd.) is used. After reducing the pressure to 13 hPa or less for a second, lamination was performed at 100° C. and a pressure of 0.7 MPa for 30 seconds. Thus, a laminate was obtained in which the laminated film (the uncured resin film and the PET film) was laminated on the copper plate.
PETフィルムを剥離し、得られた積層体を上述の硬化体の作製にて行った仮硬化条件で加熱した。次いで、200℃で90分間加熱した。このようにして、銅板上に樹脂フィルムの硬化物(硬化体)が積層された積層体を得た。銅板が下側かつ硬化物が上側となるように、該積層体を平坦なガラスの上に置き、4つの角がどの程度反っているかを測定した。平坦なガラスの上面から4つの角までの各距離を反り量とし、4つの角の反り量の平均値を求めた。硬化物の反りを下記の基準で判定した。 The PET film was peeled off, and the obtained laminate was heated under the temporary curing conditions used in the preparation of the above-described cured body. Then, it was heated at 200° C. for 90 minutes. In this way, a laminate was obtained in which the cured product (cured product) of the resin film was laminated on the copper plate. The laminate was placed on flat glass so that the copper plate was on the bottom side and the cured product was on the top side, and how much the four corners were warped was measured. Each distance from the upper surface of the flat glass to four corners was defined as the amount of warp, and the average value of the amount of warp at the four corners was obtained. Curvature of the cured product was determined according to the following criteria.
[硬化体の反りの判定基準]
○○:反り量の平均値が3mm以下
○:反り量の平均値が3mmを超え5mm以下
△:反り量の平均値が5mmを超え10mm以下
×:反り量の平均値が10mmを超える
[Criteria for determining warpage of cured body]
○○: The average value of the warp amount is 3 mm or less ○: The average value of the warp amount is more than 3 mm and 5 mm or less △: The average value of the warp amount is more than 5 mm and 10 mm or less ×: The average value of the warp amount is more than 10 mm
(3)絶縁層のひび又は割れ
得られた評価基板において、以下の2条件で液漕冷熱衝撃試験(冷熱サイクル試験)を行った。
(3) Cracks or Cracks in Insulating Layer The obtained evaluation substrates were subjected to a liquid tank thermal shock test (thermal cycle test) under the following two conditions.
試験条件1:-55℃~125℃、各5分、1000サイクル
試験条件2:-65℃~150℃、各5分、1000サイクル
Test condition 1: -55°C to 125°C, 5 minutes each, 1000 cycles Test condition 2: -65°C to 150°C, 5 minutes each, 1000 cycles
液漕冷熱衝撃試験を行った評価基板において、走査型電子顕微鏡(SEM)を用いて、ビアホール周辺の絶縁層を観察した。また、ビアホール周辺以外の領域の絶縁層及び配線回路層も観察した。 Using a scanning electron microscope (SEM), the insulating layer around the via hole was observed on the evaluation substrate subjected to the liquid bath thermal shock test. In addition, the insulating layer and the wiring circuit layer in the regions other than the vicinity of the via hole were also observed.
[絶縁層のひび又は割れ(ビアホール周辺)の判定基準]
○:ビアホール周辺の絶縁層にひび又は割れの発生がない
×:ビアホール周辺の絶縁層にひび又は割れの発生がある
[Criteria for cracking or cracking of insulating layer (around via hole)]
○: No cracks or cracks in the insulating layer around the via hole ×: Cracks or cracks in the insulating layer around the via hole
[絶縁層のひび又は割れ(ビアホール周辺以外)の判定基準]
○:ビアホール周辺以外の領域の絶縁層にひび又は割れの発生がない
×:ビアホール周辺以外の領域の絶縁層にひび又は割れの発生がある
[Criteria for cracks or cracks in insulating layer (other than around via holes)]
○: No cracks or cracks in the insulating layer in the region other than the via hole ×: Cracks or cracks in the insulating layer in the region other than the via hole
また、実施例で得られた評価基板では、配線回路層のひび又は割れは観察されなかった。 Moreover, no cracks or cracks in the wiring circuit layer were observed in the evaluation substrates obtained in the examples.
組成及び結果を下記の表1に示す。 Compositions and results are shown in Table 1 below.
11…多層プリント配線板
12…回路基板
12a…上面
13~16…絶縁層
17…金属層
DESCRIPTION OF
Claims (9)
絶縁材料として用いられる硬化体であり、
前記樹脂材料が、熱硬化性化合物と、無機充填材とを含み、
前記熱硬化性化合物が、エポキシ化合物を含み、
前記エポキシ化合物が、25℃で液状のエポキシ化合物と、25℃で固形のエポキシ化合物とを含み、前記25℃で液状のエポキシ化合物の25℃での粘度は500mPa・s以下であり、
前記硬化体が、Tgが100℃以上150℃以下のポリマー成分を含み、
パルスNMRを用いて得られる170℃での自由誘導減衰曲線に基づいて、前記硬化体に含まれる成分を、スピン-スピン緩和時間の短い順に、170℃でのハード成分、170℃でのミドル成分、170℃でのソフト成分の3成分に分離し、かつ、パルスNMRを用いて得られる30℃での自由誘導減衰曲線に基づいて、前記硬化体に含まれる成分を、スピン-スピン緩和時間の短い順に、30℃でのハード成分、30℃でのミドル成分、30℃でのソフト成分の3成分に分離したときに、
前記170℃でのハード成分の含有量と前記170℃でのミドル成分の含有量と前記170℃でのソフト成分の含有量との合計100%中、前記170℃でのソフト成分の含有量が5%以上40%以下であり、
前記30℃でのソフト成分のスピン-スピン緩和時間が0.1ミリ秒以上0.5ミリ秒以下であり、
前記170℃でのソフト成分のスピン-スピン緩和時間が0.15ミリ秒以上0.6ミリ秒以下である、硬化体。 A cured body of a resin material,
A cured product used as an insulating material,
The resin material contains a thermosetting compound and an inorganic filler,
the thermosetting compound comprises an epoxy compound,
The epoxy compound includes an epoxy compound that is liquid at 25°C and an epoxy compound that is solid at 25°C, and the epoxy compound that is liquid at 25°C has a viscosity at 25°C of 500 mPa s or less,
The cured body contains a polymer component having a Tg of 100° C. or higher and 150° C. or lower,
Based on the free induction decay curve at 170 ° C. obtained using pulse NMR, the components contained in the cured body are classified in order of shortest spin-spin relaxation time: hard component at 170 ° C., middle component at 170 ° C. , a soft component at 170° C. , and based on the free induction decay curve at 30° C. obtained using pulsed NMR, the component contained in the cured body was determined by the spin-spin relaxation time When separated into three components, hard component at 30°C, middle component at 30°C, and soft component at 30°C in short order ,
In the total 100% of the content of the hard component at 170°C, the content of the middle component at 170°C, and the content of the soft component at 170°C, the content of the soft component at 170°C is 5% or more and 40% or less ,
The spin-spin relaxation time of the soft component at 30° C. is 0.1 ms or more and 0.5 ms or less,
The cured body , wherein the spin-spin relaxation time of the soft component at 170° C. is 0.15 milliseconds or more and 0.6 milliseconds or less .
0℃でのソフト成分の含有量との合計100%中の前記30℃でのソフト成分の含有量に対する比が、2以上30以下である、請求項1又は2に記載の硬化体。 The content of the soft component at 170°C in the total 100% of the content of the hard component at 170°C, the content of the middle component at 170°C, and the content of the soft component at 170°C , the content of the hard component at 30°C, the content of the middle component at 30°C, and the 3
3. The cured product according to claim 1, wherein the ratio of the content of the soft component at 0° C. to the content of the soft component at 30° C. in the total 100% is 2 or more and 30 or less.
前記硬化剤が、活性エステル化合物を含む、請求項1~3のいずれか1項に記載の硬化体。 The resin material contains a curing agent ,
The cured product according to any one of claims 1 to 3, wherein the curing agent contains an active ester compound.
絶縁材料として用いられるBステージフィルムであり、
前記樹脂材料が、熱硬化性化合物と、無機充填材とを含み、
前記熱硬化性化合物が、エポキシ化合物を含み、
前記エポキシ化合物が、25℃で液状のエポキシ化合物と、25℃で固形のエポキシ化合物とを含み、前記25℃で液状のエポキシ化合物の25℃での粘度は500mPa・s以下であり、
前記Bステージフィルムが、Tgが100℃以上150℃以下のポリマー成分を含み、
前記Bステージフィルムを、130℃で30分間、170℃で30分間、200℃で1時間、この順に加熱してBステージフィルムの硬化体を得て、パルスNMRを用いて得られる170℃での自由誘導減衰曲線に基づいて、前記硬化体に含まれる成分を、スピン-スピン緩和時間の短い順に、170℃でのハード成分、170℃でのミドル成分、170℃でのソフト成分の3成分に分離し、かつ、パルスNMRを用いて得られる30℃での自由誘導減衰曲線に基づいて、前記硬化体に含まれる成分を、スピン-スピン緩和時間の短い順に、30℃でのハード成分、30℃でのミドル成分、30℃でのソフト成分の3成分に分離したときに、
前記170℃でのハード成分の含有量と前記170℃でのミドル成分の含有量と前記170℃でのソフト成分の含有量との合計100%中、前記170℃でのソフト成分の含有量が5%以上40%以下であり、
前記30℃でのソフト成分のスピン-スピン緩和時間が0.1ミリ秒以上0.5ミリ秒以下であり、
前記170℃でのソフト成分のスピン-スピン緩和時間が0.15ミリ秒以上0.6ミリ秒以下である、Bステージフィルム。 A B-stage film in which a resin material is molded into a film,
A B-stage film used as an insulating material,
The resin material contains a thermosetting compound and an inorganic filler,
the thermosetting compound comprises an epoxy compound,
The epoxy compound includes an epoxy compound that is liquid at 25°C and an epoxy compound that is solid at 25°C, and the epoxy compound that is liquid at 25°C has a viscosity at 25°C of 500 mPa s or less,
The B-stage film contains a polymer component having a Tg of 100° C. or higher and 150° C. or lower,
The B-stage film is heated at 130° C. for 30 minutes, 170° C. for 30 minutes, and 200° C. for 1 hour in this order to obtain a cured B-stage film, which is obtained by pulse NMR at 170° C. Based on the free induction decay curve, the components contained in the cured body are divided into three components, a hard component at 170 ° C., a middle component at 170 ° C., and a soft component at 170 ° C., in order of shortest spin-spin relaxation time. Based on the free induction decay curve at 30°C obtained by separating and using pulse NMR, the components contained in the cured body were sorted in order of shortest spin-spin relaxation time at 30°C, hard component at 30°C, 30 When separated into three components, the middle component at ℃ and the soft component at 30 ℃ ,
In the total 100% of the content of the hard component at 170°C, the content of the middle component at 170°C, and the content of the soft component at 170°C, the content of the soft component at 170°C is 5% or more and 40% or less ,
The spin-spin relaxation time of the soft component at 30° C. is 0.1 ms or more and 0.5 ms or less,
The B-stage film , wherein the spin-spin relaxation time of the soft component at 170° C. is 0.15 milliseconds or more and 0.6 milliseconds or less .
前記回路基板の表面上に配置された複数の絶縁層と、
複数の前記絶縁層間に配置された金属層とを備え、
複数の前記絶縁層の内の少なくとも1層の前記絶縁層の材料が、請求項1~4のいずれか1項に記載の硬化体である、多層プリント配線板。
a circuit board;
a plurality of insulating layers disposed on the surface of the circuit board;
A metal layer disposed between the plurality of insulating layers,
A multilayer printed wiring board, wherein the material of at least one of the plurality of insulating layers is the cured body according to any one of claims 1 to 4 .
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