JP2021025050A - Resin material, and multilayer printed wiring board - Google Patents

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悠子 川原
Yuko Kawahara
悠子 川原
顕紀子 久保
Akiko Kubo
顕紀子 久保
達史 林
Tatsuji Hayashi
達史 林
幸平 竹田
Kohei Takeda
幸平 竹田
誠実 新土
Masami Niido
誠実 新土
悠太 大當
Yuta Daito
悠太 大當
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Abstract

To provide a resin material 1) capable of heightening embedability to an uneven surface, 2) capable of suppressing the wetting spread, and 3) capable of decreasing the undulation.SOLUTION: The resin material of the present invention includes a maleimide compound, and a hardening accelerator, where the maleimide compound is a maleimide compound exhibiting a property of 5% or more of a haze degree of the maleimide compound-containing liquid when obtaining a maleimide compound-containing liquid including 5 wt.% of the maleimide compound, and 95 wt.% of cyclohexanone, and the content of the maleimide compound in 100 wt.% of constituents excluding an inorganic filler and a solvent in the resin material is 5 wt.% or more.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、マレイミド化合物を含む樹脂材料に関する。また、本発明は、上記樹脂材料を用いた多層プリント配線板に関する。 The present invention relates to resin materials containing maleimide compounds. The present invention also relates to a multilayer printed wiring board using the above resin material.

従来、半導体装置、積層板及びプリント配線板等の電子部品を得るために、様々な樹脂材料が用いられている。例えば、多層プリント配線板では、内部の層間を絶縁するための絶縁層を形成したり、表層部分に位置する絶縁層を形成したりするために、樹脂材料が用いられている。上記絶縁層の表面には、一般に金属である配線が積層される。また、上記絶縁層を形成するために、上記樹脂材料がフィルム化された樹脂フィルムが用いられることがある。上記樹脂材料及び上記樹脂フィルムは、ビルドアップフィルムを含む多層プリント配線板用の絶縁材料等として用いられている。 Conventionally, various resin materials have been used in order to obtain electronic components such as semiconductor devices, laminated boards and printed wiring boards. For example, in a multilayer printed wiring board, a resin material is used to form an insulating layer for insulating the internal layers and to form an insulating layer located on a surface layer portion. Wiring, which is generally metal, is laminated on the surface of the insulating layer. Further, in order to form the insulating layer, a resin film obtained by forming the resin material into a film may be used. The resin material and the resin film are used as an insulating material for a multilayer printed wiring board including a build-up film.

下記の特許文献1には、マレイミド基と、少なくとも2つのイミド結合を有する2価の基及び飽和又は不飽和の2価の炭化水素基とを有する化合物を含有する樹脂組成物が開示されている。特許文献1には、この樹脂組成物の硬化物を、多層プリント配線板等の絶縁層として用いることができることが記載されている。 Patent Document 1 below discloses a resin composition containing a compound having a maleimide group, a divalent group having at least two imide bonds, and a saturated or unsaturated divalent hydrocarbon group. .. Patent Document 1 describes that a cured product of this resin composition can be used as an insulating layer for a multilayer printed wiring board or the like.

下記の特許文献2には、ビスマレイミド化合物を含み、該ビスマレイミド化合物が、マレイミド基2個と、特定の構造を有するポリイミド基1個以上とを有する電子材料用樹脂組成物が開示されている。上記ビスマレイミド化合物において、2個の上記マレイミド基は、各々独立して、8以上の原子が直鎖状に連結した第1の連結基を少なくとも介して、上記ポリイミド基の両端に結合している。 Patent Document 2 below discloses a resin composition for an electronic material containing a bismaleimide compound, wherein the bismaleimide compound has two maleimide groups and one or more polyimide groups having a specific structure. .. In the bismaleimide compound, the two maleimide groups are independently bonded to both ends of the polyimide group via at least a first linking group in which 8 or more atoms are linearly linked. ..

WO2016/114286A1WO2016 / 114286A1 特開2018−90728号公報JP-A-2018-90728

特許文献1,2に記載のような従来の樹脂材料を用いて絶縁層を形成する場合に、基板等の凹凸に対する樹脂材料の埋め込み性が十分に高くならなかったり、樹脂材料が過度に濡れ拡がったり、形成された絶縁層にアンジュレーション(うねり)が生じたりして、絶縁層の厚みの制御が困難になることがある。 When the insulating layer is formed by using the conventional resin material as described in Patent Documents 1 and 2, the embedding property of the resin material in the unevenness of the substrate or the like is not sufficiently high, or the resin material is excessively wetted and spread. In addition, undulation (waviness) may occur in the formed insulating layer, which may make it difficult to control the thickness of the insulating layer.

本発明の目的は、1)凹凸表面に対する埋め込み性を高めることができ、2)濡れ拡がりを抑えることができ、3)アンジュレーションを小さくできる樹脂材料を提供することである。また、本発明は、上記樹脂材料を用いた多層プリント配線板を提供することも目的とする。 An object of the present invention is to provide a resin material capable of 1) enhancing the embedding property in an uneven surface, 2) suppressing wet spread, and 3) reducing undulation. Another object of the present invention is to provide a multilayer printed wiring board using the above resin material.

本発明の広い局面によれば、マレイミド化合物と、硬化促進剤とを含み、前記マレイミド化合物5重量%とシクロヘキサノン95重量%とを含むマレイミド化合物含有液を得たときに、前記マレイミド化合物は、前記マレイミド化合物含有液の曇り度が5%以上である性質を示すマレイミド化合物であり、樹脂材料中の無機充填材及び溶剤を除く成分100重量%中、前記マレイミド化合物の含有量が5重量%以上である、樹脂材料が提供される。 According to a broad aspect of the present invention, when a maleimide compound-containing liquid containing a maleimide compound and a curing accelerator and containing 5% by weight of the maleimide compound and 95% by weight of cyclohexanone is obtained, the maleimide compound is said to be said. It is a maleimide compound exhibiting a property that the degree of cloudiness of the maleimide compound-containing liquid is 5% or more, and the content of the maleimide compound is 5% by weight or more in 100% by weight of the components excluding the inorganic filler and the solvent in the resin material. A resin material is provided.

本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記マレイミド化合物の重量平均分子量が1000以上50000以下である。 In a specific aspect of the resin material according to the present invention, the weight average molecular weight of the maleimide compound is 1000 or more and 50,000 or less.

本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記マレイミド化合物が、下記式(X)で表される構造を有する。 In a specific aspect of the resin material according to the present invention, the maleimide compound has a structure represented by the following formula (X).

Figure 2021025050
Figure 2021025050

前記式(X)中、R1は、4価の有機基を表す。 In the formula (X), R1 represents a tetravalent organic group.

本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記マレイミド化合物が、脂肪族ジアミン化合物に由来する骨格を有する。 In certain aspects of the resin material according to the present invention, the maleimide compound has a skeleton derived from an aliphatic diamine compound.

本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記脂肪族ジアミン化合物が、シクロヘキサン骨格を含む環構造を有する。 In certain aspects of the resin material according to the present invention, the aliphatic diamine compound has a ring structure containing a cyclohexane skeleton.

本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記樹脂材料は、熱可塑性樹脂を含み、前記熱可塑性樹脂の重量平均分子量が20000以上である。 In a specific aspect of the resin material according to the present invention, the resin material contains a thermoplastic resin, and the weight average molecular weight of the thermoplastic resin is 20000 or more.

本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記硬化促進剤が、光硬化促進剤を含む。 In certain aspects of the resin material according to the present invention, the curing accelerator comprises a photocuring accelerator.

本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記樹脂材料は、硬化性化合物を含み、前記硬化性化合物が、重量平均分子量が1500未満である硬化性化合物を含む。 In certain aspects of the resin material according to the present invention, the resin material comprises a curable compound, wherein the curable compound comprises a curable compound having a weight average molecular weight of less than 1500.

本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、熱硬化性化合物と、硬化剤とを含み、前記熱硬化性化合物が、エポキシ化合物を含む。 In certain aspects of the resin material according to the present invention, a thermosetting compound and a curing agent are included, and the thermosetting compound includes an epoxy compound.

本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記硬化剤が、活性エステル化合物を含む。 In certain aspects of the resin material according to the present invention, the curing agent comprises an active ester compound.

本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記樹脂材料は、無機充填材を含む。 In certain aspects of the resin material according to the present invention, the resin material comprises an inorganic filler.

本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、前記無機充填材の含有量が50重量%以上である。 In a specific aspect of the resin material according to the present invention, the content of the inorganic filler is 50% by weight or more in 100% by weight of the components excluding the solvent in the resin material.

本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記無機充填材がシリカである。 In certain aspects of the resin material according to the present invention, the inorganic filler is silica.

本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記樹脂材料は、樹脂フィルムである。 In certain aspects of the resin material according to the present invention, the resin material is a resin film.

本発明に係る樹脂材料は、多層プリント配線板において、絶縁層を形成するために好適に用いられる。 The resin material according to the present invention is suitably used for forming an insulating layer in a multilayer printed wiring board.

本発明の広い局面によれば、回路基板と、前記回路基板の表面上に配置された複数の絶縁層と、複数の前記絶縁層間に配置された金属層とを備え、複数の前記絶縁層の内の少なくとも1層が、上述した樹脂材料の硬化物である、多層プリント配線板が提供される。 According to a broad aspect of the present invention, a circuit board, a plurality of insulating layers arranged on the surface of the circuit board, and a metal layer arranged between the plurality of insulating layers are provided, and the plurality of insulating layers are provided. A multilayer printed wiring board is provided in which at least one of the layers is a cured product of the resin material described above.

本発明に係る樹脂材料は、マレイミド化合物と、硬化促進剤とを含む。本発明に係る樹脂材料では、上記マレイミド化合物5重量%とシクロヘキサノン95重量%とを含むマレイミド化合物含有液を得たときに、上記マレイミド化合物は、上記マレイミド化合物含有液の曇り度が5%以上である性質を示すマレイミド化合物である。本発明に係る樹脂材料では、樹脂材料中の無機充填材及び溶剤を除く成分100重量%中、上記マレイミド化合物の含有量が5重量%以上である。本発明に係る樹脂材料では、上記の構成が備えられているので、1)凹凸表面に対する埋め込み性を高めることができ、2)濡れ拡がりを抑えることができ、3)アンジュレーションを小さくできる。 The resin material according to the present invention contains a maleimide compound and a curing accelerator. In the resin material according to the present invention, when a maleimide compound-containing liquid containing 5% by weight of the maleimide compound and 95% by weight of cyclohexanone is obtained, the maleimide compound has a cloudiness of 5% or more in the maleimide compound-containing liquid. It is a maleimide compound that exhibits certain properties. In the resin material according to the present invention, the content of the maleimide compound is 5% by weight or more in 100% by weight of the components excluding the inorganic filler and the solvent in the resin material. Since the resin material according to the present invention has the above-mentioned structure, 1) the embedding property in the uneven surface can be enhanced, 2) the wetting spread can be suppressed, and 3) the undulation can be reduced.

図1は、本発明の一実施形態に係る樹脂材料を用いた多層プリント配線板を模式的に示す断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view schematically showing a multilayer printed wiring board using a resin material according to an embodiment of the present invention.

以下、本発明を詳細に説明する。 Hereinafter, the present invention will be described in detail.

本発明に係る樹脂材料は、マレイミド化合物(以下、「マレイミド化合物X」と記載することがある)と、硬化促進剤とを含む。 The resin material according to the present invention includes a maleimide compound (hereinafter, may be referred to as "maleimide compound X") and a curing accelerator.

本発明に係る樹脂材料では、上記マレイミド化合物X5重量%とシクロヘキサノン95重量%とを含むマレイミド化合物含有液を得たときに、上記マレイミド化合物Xは、上記マレイミド化合物含有液の曇り度が5%以上である性質を示すマレイミド化合物である。 In the resin material according to the present invention, when a maleimide compound-containing liquid containing 5% by weight of the maleimide compound X and 95% by weight of cyclohexanone is obtained, the maleimide compound X has a cloudiness of 5% or more in the maleimide compound-containing liquid. It is a maleimide compound that exhibits the property of.

本発明に係る樹脂材料では、樹脂材料中の無機充填材及び溶剤を除く成分100重量%中、上記マレイミド化合物Xの含有量が5重量%以上である。 In the resin material according to the present invention, the content of the maleimide compound X is 5% by weight or more in 100% by weight of the components excluding the inorganic filler and the solvent in the resin material.

本発明に係る樹脂材料では、上記の構成が備えられているので、1)凹凸表面に対する埋め込み性を高めることができ、2)濡れ拡がりを抑えることができ、3)アンジュレーションを小さくできるという、1)−3)の効果を全て発揮することができる。 Since the resin material according to the present invention has the above-mentioned structure, 1) the embedding property in the uneven surface can be improved, 2) the wetting spread can be suppressed, and 3) the undulation can be reduced. All the effects of 1) and -3) can be exhibited.

また、本発明に係る樹脂材料がBステージフィルム等の樹脂フィルムである場合には、該樹脂フィルムの柔軟性を高めることができる。 Further, when the resin material according to the present invention is a resin film such as a B stage film, the flexibility of the resin film can be increased.

本発明者は、樹脂材料において、上記マレイミド化合物Xを用いることにより、上記の1)−3)の効果を全て発揮させることができることを見出した。上記マレイミド化合物Xは、例えば、可視光を散乱させる程度の凝集体を形成可能なマレイミド化合物である。マレイミド化合物を含む従来の樹脂材料では、マレイミド化合物の凝集性が十分ではなく、特にマレイミド化合物の分子量等によって、該樹脂材料(ワニス)の粘度が高くなったり、低くなったりしやすい。このため、特にマレイミド化合物の分子量が大きい場合は、凹凸表面に対する埋め込み性が低下したり、また特にマレイミド化合物の分子量が小さい場合は、濡れ拡がりを十分に抑えることができなかったり、アンジュレーションが大きくなったりすることがある。これに対して、本発明では、凝集性をある程度示すマレイミド化合物Xが用いられているので、ワニスの粘度が過度に大きくなることを避けることができ、樹脂材料の粘度を良好にすることができる。その結果、本発明に係る樹脂材料では、1)凹凸表面に対する埋め込み性を高めることができ、2)濡れ拡がりを抑えることができ、3)アンジュレーションを小さくできる。本発明に係る樹脂材料では、マレイミド化合物Xの分子量が大きい場合であっても、上記の1)−3)の効果を全て発揮することができる。 The present inventor has found that by using the maleimide compound X in the resin material, all the effects of 1) -3) above can be exhibited. The maleimide compound X is, for example, a maleimide compound capable of forming aggregates to the extent that it scatters visible light. In the conventional resin material containing a maleimide compound, the cohesiveness of the maleimide compound is not sufficient, and the viscosity of the resin material (crocodile) tends to increase or decrease depending on the molecular weight of the maleimide compound or the like. For this reason, especially when the molecular weight of the maleimide compound is large, the embedding property on the uneven surface is lowered, and especially when the molecular weight of the maleimide compound is small, the wet spread cannot be sufficiently suppressed and the undulation is large. It may become. On the other hand, in the present invention, since the maleimide compound X exhibiting a certain degree of cohesiveness is used, it is possible to prevent the viscosity of the varnish from becoming excessively high, and it is possible to improve the viscosity of the resin material. .. As a result, in the resin material according to the present invention, 1) the embedding property in the uneven surface can be enhanced, 2) the wet spread can be suppressed, and 3) the undulation can be reduced. In the resin material according to the present invention, all the effects of 1) -3) above can be exhibited even when the molecular weight of the maleimide compound X is large.

また、本発明では、凝集性をある程度示すマレイミド化合物Xが用いられているので、反応当量が小さい場合であっても、官能基同士を比較的近傍に存在させることができる。そのため、反応温度を低くすることができ、樹脂材料を十分に硬化させることができる。また、マレイミド化合物Xがすでに凝集しているので、樹脂材料の硬化時の収縮を小さくできる場合もある。特に、樹脂材料を光硬化させて用いる場合には、熱硬化させて用いる場合よりも反応温度が低いため、分子運動性が低い。本発明では、官能基同士を比較的近傍に存在させることができるので、光硬化させて用いる場合であっても、反応効率を高めることができる。また、本発明では、特にSAPプロセスにおいて、プレキュア後に粗化処理を行ったときに、樹脂材料の硬化物の表面粗度が過度に大きくなることを抑えることができる。 Further, in the present invention, since the maleimide compound X exhibiting a certain degree of cohesiveness is used, the functional groups can be relatively close to each other even when the reaction equivalent is small. Therefore, the reaction temperature can be lowered and the resin material can be sufficiently cured. Further, since the maleimide compound X has already aggregated, it may be possible to reduce the shrinkage of the resin material during curing. In particular, when the resin material is photocured and used, the reaction temperature is lower than when it is thermally cured and used, so that the molecular mobility is low. In the present invention, since the functional groups can be present relatively close to each other, the reaction efficiency can be improved even when the functional groups are photocured and used. Further, in the present invention, it is possible to prevent the surface roughness of the cured product of the resin material from becoming excessively large when the roughening treatment is performed after the precure, especially in the SAP process.

本発明に係る樹脂材料は、樹脂組成物であってもよく、樹脂フィルムであってもよい。上記樹脂組成物は、流動性を有する。上記樹脂組成物は、ペースト状であってもよい。上記ペースト状には液状が含まれる。取扱性に優れることから、本発明に係る樹脂材料は、樹脂フィルムであることが好ましい。 The resin material according to the present invention may be a resin composition or a resin film. The resin composition has fluidity. The resin composition may be in the form of a paste. The paste form contains a liquid. The resin material according to the present invention is preferably a resin film because it is excellent in handleability.

本発明に係る樹脂材料は、熱硬化させて用いられてもよく、光硬化させて用いられてもよく、熱硬化及び光硬化させて用いられてもよい。本発明に係る樹脂材料は、熱硬化性樹脂材料又は光硬化性樹脂材料であることが好ましく、熱硬化性樹脂材料であることがより好ましい。上記樹脂材料が樹脂フィルムである場合には、該樹脂フィルムは、熱硬化性樹脂フィルム又は光硬化性樹脂フィルムであることが好ましく、熱硬化性樹脂フィルムであることがより好ましい。 The resin material according to the present invention may be heat-cured and used, may be photo-cured and used, or may be heat-cured and photo-cured before use. The resin material according to the present invention is preferably a thermosetting resin material or a photocurable resin material, and more preferably a thermosetting resin material. When the resin material is a resin film, the resin film is preferably a thermocurable resin film or a photocurable resin film, and more preferably a thermocurable resin film.

以下、本発明に係る樹脂材料に用いられる各成分の詳細、及び本発明に係る樹脂材料の用途などを説明する。 Hereinafter, the details of each component used in the resin material according to the present invention, the use of the resin material according to the present invention, and the like will be described.

[マレイミド化合物X]
本発明に係る樹脂材料は、上記マレイミド化合物Xを含む。上記マレイミド化合物Xは、熱硬化性化合物であることが好ましい。上記マレイミド化合物Xは、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[Maleimide compound X]
The resin material according to the present invention contains the above-mentioned maleimide compound X. The maleimide compound X is preferably a thermosetting compound. Only one type of the maleimide compound X may be used, or two or more types may be used in combination.

上記マレイミド化合物Xは、該マレイミド化合物X5重量%とシクロヘキサノン95重量%とを含むマレイミド化合物含有液(以下、「第1のマレイミド化合物含有液」と記載することがある)を得たときに、上記マレイミド化合物含有液(第1のマレイミド化合物含有液)の曇り度が5%以上である性質を示すマレイミド化合物である。 The maleimide compound X is described above when a maleimide compound-containing liquid containing 5% by weight of the maleimide compound X and 95% by weight of cyclohexanone (hereinafter, may be referred to as “first maleimide compound-containing liquid”) is obtained. It is a maleimide compound exhibiting a property that the degree of cloudiness of the maleimide compound-containing liquid (first maleimide compound-containing liquid) is 5% or more.

上記第1のマレイミド化合物含有液の曇り度は、好ましくは7%以上、より好ましくは8%以上である。上記第1のマレイミド化合物含有液の曇り度が上記下限以上であると、本発明の効果をより一層効果的に発揮させることができる。上記第1のマレイミド化合物含有液の曇り度の上限は特に限定されない。上記第1のマレイミド化合物含有液の曇り度は、20%以下であってもよく、15%以下であってもよく、10%以下であってもよい。 The cloudiness of the first maleimide compound-containing liquid is preferably 7% or more, more preferably 8% or more. When the degree of cloudiness of the first maleimide compound-containing liquid is at least the above lower limit, the effect of the present invention can be exhibited even more effectively. The upper limit of the cloudiness of the first maleimide compound-containing liquid is not particularly limited. The degree of cloudiness of the first maleimide compound-containing liquid may be 20% or less, 15% or less, or 10% or less.

なお、マレイミド化合物がシクロヘキサノンに溶解しない等、第1のマレイミド化合物含有液を調製することができない場合、該マレイミド化合物は、本発明のマレイミド化合物Xに該当しない。また、第1のマレイミド化合物含有液(マレイミド化合物5重量%)を25℃で24時間静置し、静置後の第1のマレイミド化合物含有液の液の色に濃淡が発生する場合、即ちマレイミド化合物の沈殿が発生する場合、該マレイミド化合物は、本発明のマレイミド化合物Xに該当しない。 If the first maleimide compound-containing solution cannot be prepared, such as when the maleimide compound is insoluble in cyclohexanone, the maleimide compound does not fall under the maleimide compound X of the present invention. Further, when the first maleimide compound-containing liquid (5% by weight of the maleimide compound) is allowed to stand at 25 ° C. for 24 hours, and the color of the first maleimide compound-containing liquid after standing is changed, that is, maleimide. When precipitation of the compound occurs, the maleimide compound does not correspond to the maleimide compound X of the present invention.

上記マレイミド化合物X10重量%とシクロヘキサノン90重量%とを含むマレイミド化合物含有液(以下、「第2のマレイミド化合物含有液」と記載することがある)を得たときに、上記マレイミド化合物含有液(第2のマレイミド化合物含有液)の曇り度は、好ましくは8%以上、より好ましくは10%以上、更に好ましくは15%以上である。上記第2のマレイミド化合物含有液の曇り度が上記下限以上であると、本発明の効果をより一層効果的に発揮させることができる。上記第2のマレイミド化合物含有液の曇り度の上限は特に限定されない。上記第2のマレイミド化合物含有液の曇り度は、35%以下であってもよく、25%以下であってもよく、20%以下であってもよい。 When a maleimide compound-containing liquid containing 10% by weight of the maleimide compound X and 90% by weight of cyclohexanone (hereinafter, may be referred to as "second maleimide compound-containing liquid") is obtained, the above-mentioned maleimide compound-containing liquid (the first). The degree of cloudiness of the maleimide compound-containing liquid (2) is preferably 8% or more, more preferably 10% or more, still more preferably 15% or more. When the degree of cloudiness of the second maleimide compound-containing liquid is at least the above lower limit, the effect of the present invention can be exhibited even more effectively. The upper limit of the cloudiness of the second maleimide compound-containing liquid is not particularly limited. The degree of cloudiness of the second maleimide compound-containing liquid may be 35% or less, 25% or less, or 20% or less.

第2のマレイミド化合物含有液を25℃で24時間静置し、静置後の第2のマレイミド化合物含有液の液の色に濃淡が発生しないことが好ましい。 It is preferable that the second maleimide compound-containing liquid is allowed to stand at 25 ° C. for 24 hours, and the color of the second maleimide compound-containing liquid after standing is not shaded.

上記第1,第2のマレイミド化合物含有液の曇り度は、ヘーズメーター(例えば村上色彩技術研究所製「HM−150」)を用いて測定することができる。 The degree of cloudiness of the first and second maleimide compound-containing liquids can be measured using a haze meter (for example, "HM-150" manufactured by Murakami Color Technology Research Institute).

なお、上記第1のマレイミド化合物含有液及び第2のマレイミド化合物含有液は、上記マレイミド化合物Xが特定の性質を有するか否かを判断するために調製される。本発明に係る樹脂材料において、上記マレイミド化合物Xは、上記マレイミド化合物X5重量%とシクロヘキサノン95重量%とを含む第1のマレイミド化合物含有液として添加されていなくてもよく、上記マレイミド化合物X10重量%とシクロヘキサノン90重量%とを含む第2のマレイミド化合物含有液として添加されていなくてもよい。樹脂材料を作製する際の上記マレイミド化合物Xの添加濃度及び上記マレイミド化合物Xを溶解するための溶剤は、上記と異なっていてもよい。 The first maleimide compound-containing liquid and the second maleimide compound-containing liquid are prepared in order to determine whether or not the maleimide compound X has specific properties. In the resin material according to the present invention, the maleimide compound X may not be added as the first maleimide compound-containing liquid containing 5% by weight of the maleimide compound X and 95% by weight of cyclohexanone, and 10% by weight of the maleimide compound X. It may not be added as a second maleimide compound-containing liquid containing 90% by weight of cyclohexanone. The concentration of the maleimide compound X added when the resin material is produced and the solvent for dissolving the maleimide compound X may be different from the above.

上記第1,第2のマレイミド化合物含有液の曇り度を容易に上記の範囲に満足させるために、上記マレイミド化合物Xは、ピロメリット酸二無水物に由来する骨格を有することが好ましく、脂肪族ジアミン化合物に由来する骨格を有することが好ましい。上記第1,第2のマレイミド化合物含有液の曇り度をより一層容易に上記の範囲に満足させるために、上記マレイミド化合物Xは、ピロメリット酸二無水物とジアミン化合物との反応物に由来する骨格を有することが好ましく、ピロメリット酸二無水物と脂肪族ジアミン化合物との反応物に由来する骨格を有することがより好ましい。 In order to easily satisfy the cloudiness of the first and second maleimide compound-containing liquids within the above range, the maleimide compound X preferably has a skeleton derived from pyromellitic dianhydride, and is aliphatic. It preferably has a skeleton derived from a diamine compound. In order to more easily satisfy the cloudiness of the first and second maleimide compound-containing liquids within the above range, the maleimide compound X is derived from a reaction product of pyromellitic dianhydride and a diamine compound. It preferably has a skeleton, and more preferably has a skeleton derived from a reaction product of pyromellitic dianhydride and an aliphatic diamine compound.

なお、上記マレイミド化合物がピロメリット酸二無水物に由来する骨格を有するマレイミド化合物であっても、第1,第2のマレイミド化合物含有液の曇り度が上記の範囲を満足しないことがある。また、上記マレイミド化合物が脂肪族ジアミン化合物に由来する骨格を有するマレイミド化合物であっても、第1,第2のマレイミド化合物含有液の曇り度が上記の範囲を満足しないことがある。一方、上記マレイミド化合物がピロメリット酸二無水物に由来する骨格を有さないマレイミド化合物であっても、第1,第2のマレイミド化合物含有液の曇り度が上記の範囲を満足することがある。また、上記マレイミド化合物が脂肪族ジアミン化合物に由来する骨格を有さないマレイミド化合物であっても、第1,第2のマレイミド化合物含有液の曇り度が上記の範囲を満足することがある。 Even if the maleimide compound has a skeleton derived from pyromellitic dianhydride, the degree of cloudiness of the first and second maleimide compound-containing liquids may not satisfy the above range. Further, even if the maleimide compound is a maleimide compound having a skeleton derived from an aliphatic diamine compound, the degree of cloudiness of the first and second maleimide compound-containing liquids may not satisfy the above range. On the other hand, even if the maleimide compound is a maleimide compound having no skeleton derived from pyromellitic dianhydride, the degree of cloudiness of the first and second maleimide compound-containing liquids may satisfy the above range. .. Further, even if the maleimide compound is a maleimide compound having no skeleton derived from an aliphatic diamine compound, the degree of cloudiness of the first and second maleimide compound-containing liquids may satisfy the above range.

上記ジアミン化合物としては、ダイマージアミン、トリシクロデカンジアミン、1,3−ビス(アミノメチル)シクロヘキサン、1,4−ビス(アミノメチル)シクロヘキサン、ビス(アミノメチル)ノルボルナン、3(4),8(9)−ビス(アミノメチル)トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン、1,3−シクロヘキサンジアミン、1,4−シクロヘキサンジアミン、イソホロンジアミン、4,4’−メチレンビス(シクロヘキシルアミン)、4,4’−メチレンビス(2−メチルシクロヘキシルアミン)、1,1−ビス(4−アミノフェニル)シクロヘキサン、2,7−ジアミノフルオレン、4,4’−エチレンジアニリン、4,4’−メチレンビス(2,6−ジエチルアニリン)、4,4’−メチレンビス(2−エチル−6−メチルアニリン)、1,4−ジアミノブタン、1,10−ジアミノデカン、1,12−ジアミノドデカン、1,7−ジアミノヘプタン、1,6−ジアミノヘキサン、1,5−ジアミノペンタン、1,8−ジアミノオクタン、1,3−ジアミノプロパン、1,11−ジアミノウンデカン、及び2−メチル−1,5−ジアミノペンタン等が挙げられる。上記ジアミン化合物は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。 Examples of the diamine compound include diamine diamine, tricyclodecanediamine, 1,3-bis (aminomethyl) cyclohexane, 1,4-bis (aminomethyl) cyclohexane, bis (aminomethyl) norbornan, 3 (4), 8 ( 9) -Bis (aminomethyl) tricyclo [5.2.1.02,6] decane, 1,3-cyclohexanediamine, 1,4-cyclohexanediamine, isophoronediamine, 4,4'-methylenebis (cyclohexylamine), 4,4'-Methylenebis (2-methylcyclohexylamine), 1,1-bis (4-aminophenyl) cyclohexane, 2,7-diaminofluorene, 4,4'-ethylenedianiline, 4,4'-methylenebis ( 2,6-diethylaniline), 4,4'-methylenebis (2-ethyl-6-methylaniline), 1,4-diaminobutane, 1,10-diaminodecane, 1,12-diaminododecane, 1,7- Diaminoheptane, 1,6-diaminohexane, 1,5-diaminopentane, 1,8-diaminooctane, 1,3-diaminopropane, 1,11-diaminoundecane, 2-methyl-1,5-diaminopentane, etc. Can be mentioned. Only one type of the diamine compound may be used, or two or more types may be used in combination.

本発明の効果をより一層効果的に発揮させる観点からは、上記ジアミン化合物は、脂肪族ジアミン化合物であることが好ましく、ジシクロペンタジエン骨格を有するジアミン化合物であることが好ましい。本発明の効果を更により一層効果的に発揮させる観点からは、上記脂肪族ジアミン化合物は、シクロヘキシル環を有することが好ましく、シクロヘキサン骨格を含む環構造を有することがより好ましく、ジシクロペンタジエン骨格を有することが更に好ましい。上記シクロヘキサン骨格を含む環構造とは、トリシクロデカン環、ノルボルナン環及びアダマンタン骨格等が挙げられる。 From the viewpoint of exerting the effects of the present invention even more effectively, the diamine compound is preferably an aliphatic diamine compound, and preferably a diamine compound having a dicyclopentadiene skeleton. From the viewpoint of exerting the effects of the present invention even more effectively, the aliphatic diamine compound preferably has a cyclohexyl ring, more preferably has a ring structure containing a cyclohexane skeleton, and has a dicyclopentadiene skeleton. It is more preferable to have. Examples of the ring structure including the cyclohexane skeleton include a tricyclodecane ring, a norbornane ring, and an adamantane skeleton.

上記ダイマージアミンとしては、例えば、バーサミン551(商品名、BASFジャパン社製、3,4−ビス(1−アミノヘプチル)−6−ヘキシル−5−(1−オクテニル)シクロヘキセン)、バーサミン552(商品名、コグニクスジャパン社製、バーサミン551の水添物)、並びにPRIAMINE1075、及びPRIAMINE1074(商品名、いずれもクローダジャパン社製)等が挙げられる。 Examples of the dimer diamine include Versamine 551 (trade name, manufactured by BASF Japan Ltd., 3,4-bis (1-aminoheptyl) -6-hexyl-5- (1-octenyl) cyclohexene), Versamine 552 (trade name). , Cognix Japan Co., Ltd., hydrogenated Versamine 551), and PRIAMINE 1075, PRIAMINE 1074 (trade name, all manufactured by Croda Japan) and the like.

上記マレイミド化合物Xは、ダイマージアミンに由来する骨格を有さないか、又は、ダイマージアミンに由来する骨格を有しかつジアミン化合物に由来する骨格の全構造単位100モル%中、ダイマージアミンに由来する骨格の平均割合が50モル%以下であることが好ましい。この場合には、硬化物の熱線膨張係数を一層小さくすることができる。また、第1,第2のマレイミド化合物含有液の曇り度を容易に上記の範囲に満足させやすくなる。 The maleimide compound X does not have a skeleton derived from diamine diamine, or has a skeleton derived from diamine diamine and is derived from dimer diamine in 100 mol% of all structural units of the skeleton derived from the diamine compound. The average proportion of skeletons is preferably 50 mol% or less. In this case, the coefficient of linear thermal expansion of the cured product can be further reduced. In addition, the degree of cloudiness of the first and second maleimide compound-containing liquids can be easily satisfied within the above range.

なお、上記マレイミド化合物がダイマージアミンに由来する骨格を有さないマレイミド化合物であっても、第1,第2のマレイミド化合物含有液の曇り度が上記の範囲を満足しないことがある。また、上記マレイミド化合物がダイマージアミンに由来する骨格を有しかつジアミン化合物に由来する骨格の全構造単位100モル%中、ダイマージアミンに由来する骨格の平均割合が50モル%以下であるマレイミド化合物であっても、第1,第2のマレイミド化合物含有液の曇り度が上記の範囲を満足しないことがある。 Even if the maleimide compound is a maleimide compound having no skeleton derived from dimer diamine, the degree of cloudiness of the first and second maleimide compound-containing liquids may not satisfy the above range. Further, the maleimide compound has a skeleton derived from diamine diamine, and the average ratio of the skeleton derived from diamine diamine is 50 mol% or less in 100 mol% of the total structural units of the skeleton derived from the diamine compound. Even if there is, the degree of cloudiness of the first and second maleimide compound-containing liquids may not satisfy the above range.

上記マレイミド化合物Xは、ジアミン化合物と、ピロメリット酸二無水物以外の酸二無水物との反応物に由来する骨格を有していてもよい。 The maleimide compound X may have a skeleton derived from a reaction product of a diamine compound and an acid dianhydride other than pyromellitic dianhydride.

上記ピロメリット酸二無水物以外の酸二無水物としては、テトラカルボン酸二無水物等が挙げられる。上記テトラカルボン酸二無水物としては、例えば、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ジメチルジフェニルシランテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−テトラフェニルシランテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4−フランテトラカルボン酸二無水物、4,4’−ビス(3,4−ジカルボキシフェノキシ)ジフェニルスルフィド二無水物、4,4’−ビス(3,4−ジカルボキシフェノキシ)ジフェニルスルホン二無水物、4,4’−ビス(3,4−ジカルボキシフェノキシ)ジフェニルプロパン二無水物、3,3’,4,4’−パーフルオロイソプロピリデンジフタル酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ビス(フタル酸)フェニルホスフィンオキサイド二無水物、p−フェニレン−ビス(トリフェニルフタル酸)二無水物、m−フェニレン−ビス(トリフェニルフタル酸)二無水物、ビス(トリフェニルフタル酸)−4,4’−ジフェニルエーテル二無水物、及びビス(トリフェニルフタル酸)−4,4’−ジフェニルメタン二無水物等が挙げられる。 Examples of the acid dianhydride other than the pyromellitic dianhydride include tetracarboxylic dianhydride and the like. Examples of the tetracarboxylic dianhydride include 3,3', 4,4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 3,3', 4,4'-biphenylsulfonetetracarboxylic dianhydride, 1 , 4,5,8-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 3,3', 4,4'-biphenyl ether tetracarboxylic dianhydride, 3,3', 4,4'-dimethyldiphenylsilanetetracarboxylic dianhydride, 3,3', 4,4'-tetraphenylsilanetetracarboxylic dianhydride, 1,2,3,4-frantetra Caroic acid dianhydride, 4,4'-bis (3,4-dicarboxyphenoxy) diphenylsulfide dianhydride, 4,4'-bis (3,4-dicarboxyphenoxy) diphenylsulfone dianhydride, 4, 4'-bis (3,4-dicarboxyphenoxy) diphenylpropane dianhydride, 3,3', 4,4'-perfluoroisopropyridenediphthalic acid dianhydride, 3,3', 4,4'- Biphenyltetracarboxylic dianhydride, bis (phthalic acid) phenylphosphine oxide dianhydride, p-phenylene-bis (triphenylphthalic acid) dianhydride, m-phenylene-bis (triphenylphthalic acid) dianhydride, Examples thereof include bis (triphenylphthalic acid) -4,4'-diphenyl ether dianhydride and bis (triphenylphthalic acid) -4,4'-diphenylmethane dianhydride.

硬化物の誘電正接を低くする観点及び硬化物の熱寸法安定性を高める観点からは、上記マレイミド化合物Xにおけるマレイミド骨格の数は、好ましくは2個以上、より好ましくは3個以上、好ましくは10個以下、より好ましくは5個以下である。 From the viewpoint of lowering the dielectric loss tangent of the cured product and increasing the thermal dimensional stability of the cured product, the number of maleimide skeletons in the maleimide compound X is preferably 2 or more, more preferably 3 or more, preferably 10. The number is less than, more preferably 5 or less.

硬化物の誘電正接をより一層低くする観点及び硬化物の熱寸法安定性をより一層高める観点からは、上記マレイミド化合物Xは、両末端にマレイミド骨格を有することが好ましい。 From the viewpoint of further lowering the dielectric loss tangent of the cured product and further enhancing the thermal dimensional stability of the cured product, the maleimide compound X preferably has a maleimide skeleton at both ends.

上記マレイミド化合物Xは、分岐構造を有していてもよく、有していなくてもよい。 The maleimide compound X may or may not have a branched structure.

本発明の効果をより一層効果的に発揮させる観点から、上記マレイミド化合物Xは、下記式(X)で表される構造を有することが好ましい。 From the viewpoint of exerting the effects of the present invention even more effectively, the maleimide compound X preferably has a structure represented by the following formula (X).

Figure 2021025050
Figure 2021025050

上記式(X)中、R1は、4価の有機基を表す。 In the above formula (X), R1 represents a tetravalent organic group.

上記マレイミド化合物Xは、例えば以下のようにして作製することができる。ジアミン化合物と、ダイマージアミン化合物と、ピロメリット酸二無水物とを反応させて第1の反応物を得る。得られた第1の反応物と、無水マレイン酸とを反応させる。 The maleimide compound X can be produced, for example, as follows. The diamine compound, the dimer diamine compound, and pyromellitic acid dianhydride are reacted to obtain a first reaction product. The obtained first reactant is reacted with maleic anhydride.

上記マレイミド化合物Xの重量平均分子量は、好ましくは1000以上、より好ましくは3000以上、より一層好ましくは3100を超え、更に好ましくは4500を超え、更に一層好ましくは5000を超え、特に好ましくは7500以上、最も好ましくは8000以上である。上記マレイミド化合物Xの重量平均分子量は、好ましくは50000以下、より好ましくは30000以下、更に好ましくは20000以下、特に好ましくは18000以下、最も好ましくは15000以下である。上記重量平均分子量が上記下限以上であると、線膨張係数を低く抑えることができ、また、樹脂材料の粘度を適度にすることができる。また、上記重量平均分子量が50000を超えると、上記重量平均分子量が50000以下である場合と比べて、樹脂材料の溶融粘度が高くなり、凹凸表面に対する埋め込み性が低下することがある。また、上記重量平均分子量が上記下限以上及び上記上限以下であると、凝集した部位が効率的にエッチングされるため、デスミア性を高めることができる。 The weight average molecular weight of the maleimide compound X is preferably 1000 or more, more preferably 3000 or more, still more preferably more than 3100, further preferably more than 4500, even more preferably more than 5000, and particularly preferably 7500 or more. Most preferably, it is 8000 or more. The weight average molecular weight of the maleimide compound X is preferably 50,000 or less, more preferably 30,000 or less, still more preferably 20,000 or less, particularly preferably 18,000 or less, and most preferably 15,000 or less. When the weight average molecular weight is at least the above lower limit, the coefficient of linear expansion can be suppressed low, and the viscosity of the resin material can be made appropriate. Further, when the weight average molecular weight exceeds 50,000, the melt viscosity of the resin material becomes higher and the embedding property in the uneven surface may decrease as compared with the case where the weight average molecular weight is 50,000 or less. Further, when the weight average molecular weight is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the aggregated portion is efficiently etched, so that the desmear property can be enhanced.

上記重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により測定されたポリスチレン換算での重量平均分子量を示す。 The weight average molecular weight indicates the polystyrene-equivalent weight average molecular weight measured by gel permeation chromatography (GPC).

硬化物の熱寸法安定性をより一層高める観点、絶縁層と金属層との密着性をより一層高める観点から、上記マレイミド化合物Xのガラス転移温度は、好ましくは70℃以上、より好ましくは80℃以上である。 From the viewpoint of further enhancing the thermal dimensional stability of the cured product and further enhancing the adhesion between the insulating layer and the metal layer, the glass transition temperature of the maleimide compound X is preferably 70 ° C. or higher, more preferably 80 ° C. or higher. That is all.

上記ガラス転移温度は、示差走査熱量測定装置(例えば、TA・インスツルメント社製「Q2000」)を用いて、昇温速度3℃/分で−30℃から260℃まで窒素雰囲気下で加熱を行い、リバースヒートフローの変曲点から求めることができる。 The glass transition temperature is set by heating in a nitrogen atmosphere from -30 ° C to 260 ° C at a heating rate of 3 ° C / min using a differential scanning calorimetry device (for example, "Q2000" manufactured by TA Instruments). It can be obtained from the inflection point of the reverse heat flow.

本発明の効果を発揮させる観点から、上記樹脂材料中の無機充填材及び溶剤を除く成分100重量%中、上記マレイミド化合物Xの含有量は5重量%以上である。 From the viewpoint of exerting the effect of the present invention, the content of the maleimide compound X is 5% by weight or more in 100% by weight of the components excluding the inorganic filler and the solvent in the resin material.

本発明の効果をより一層効果的に発揮させる観点から、上記樹脂材料中の無機充填材及び溶剤を除く成分100重量%中、上記マレイミド化合物Xの含有量は、好ましくは10重量%以上、好ましくは80重量%以下、より好ましくは70重量%以下である。また、上記マレイミド化合物Xの含有量が上記下限以上であると、硬化物の誘電正接をより一層低くすることができる。 From the viewpoint of more effectively exerting the effects of the present invention, the content of the maleimide compound X is preferably 10% by weight or more, preferably 10% by weight or more, based on 100% by weight of the components excluding the inorganic filler and the solvent in the resin material. Is 80% by weight or less, more preferably 70% by weight or less. Further, when the content of the maleimide compound X is at least the above lower limit, the dielectric loss tangent of the cured product can be further lowered.

[硬化性化合物]
上記樹脂材料は、上記マレイミド化合物Xとは異なる硬化性化合物を含むことが好ましい。上記硬化性化合物は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[Curable compound]
The resin material preferably contains a curable compound different from the maleimide compound X. Only one kind of the curable compound may be used, or two or more kinds may be used in combination.

上記硬化性化合物としては、熱硬化性化合物及び光硬化性化合物等が挙げられる。上記硬化性化合物は、熱硬化性化合物のみを含んでいてもよく、光硬化性化合物のみを含んでいてもよく、熱硬化性化合物と光硬化性化合物とを含んでいてもよい。また、上記硬化性化合物は、熱硬化性を有しかつ光硬化性を有する化合物(熱及び光硬化性化合物)を含んでいてもよい。上記熱硬化性化合物は、熱及び光硬化性化合物を含んでいてもよい。 Examples of the curable compound include thermosetting compounds and photocurable compounds. The curable compound may contain only a thermosetting compound, may contain only a photocurable compound, or may contain a thermosetting compound and a photocurable compound. Further, the curable compound may contain a compound having thermosetting property and photocuring property (heat and photocurable compound). The thermosetting compound may contain heat and photocurable compounds.

上記硬化性化合物は、重量平均分子量が1500未満である硬化性化合物を含むことが好ましい。この場合には、樹脂材料を良好に硬化させることができ、また、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができる。 The curable compound preferably contains a curable compound having a weight average molecular weight of less than 1500. In this case, the resin material can be cured satisfactorily, and the effects of the present invention can be exhibited even more effectively.

上記硬化性化合物の上記重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により測定されたポリスチレン換算での重量平均分子量を示す。 The weight average molecular weight of the curable compound indicates the polystyrene-equivalent weight average molecular weight measured by gel permeation chromatography (GPC).

上記樹脂材料中の無機充填材及び溶剤を除く成分100重量%中、上記熱及び光硬化性化合物の含有量は、好ましくは10重量%以上、より好ましくは20重量%以上、更に好ましくは30重量%以上、好ましくは90重量%以下、より好ましくは80重量%以下である。上記熱及び光硬化性化合物の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、十分に硬化反応を進行させることができる。 The content of the heat and photocurable compound in 100% by weight of the components excluding the inorganic filler and the solvent in the resin material is preferably 10% by weight or more, more preferably 20% by weight or more, still more preferably 30% by weight. % Or more, preferably 90% by weight or less, more preferably 80% by weight or less. When the content of the heat and photocurable compound is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the curing reaction can be sufficiently advanced.

上記樹脂材料中の無機充填材及び溶剤を除く成分100重量%中、上記光硬化性化合物の含有量は、好ましくは10重量%以上、より好ましくは20重量%以上、更に好ましくは30重量%以上、好ましくは90重量%以下、より好ましくは80重量%以下である。上記光硬化性化合物の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、十分に硬化反応を進行させることができる。 The content of the photocurable compound in 100% by weight of the components excluding the inorganic filler and the solvent in the resin material is preferably 10% by weight or more, more preferably 20% by weight or more, still more preferably 30% by weight or more. It is preferably 90% by weight or less, more preferably 80% by weight or less. When the content of the photocurable compound is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the curing reaction can be sufficiently advanced.

[熱硬化性化合物]
上記樹脂材料は、上記マレイミド化合物Xとは異なる熱硬化性化合物を含むことが好ましい。上記熱硬化性化合物は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[Thermosetting compound]
The resin material preferably contains a thermosetting compound different from the maleimide compound X. Only one type of the thermosetting compound may be used, or two or more types may be used in combination.

上記熱硬化性化合物としては、フェノキシ化合物、オキセタン化合物、上記マレイミド化合物Xとは異なるマレイミド化合物(以下、マレイミド化合物Yと記載することがある)、エポキシ化合物、シアネート化合物、ビニル化合物、ポリアリレート化合物、ジアリルフタレート化合物、エピスルフィド化合物、(メタ)アクリル化合物、アミノ化合物、不飽和ポリエステル化合物、ポリウレタン化合物、及びシリコーン化合物等が挙げられる。 Examples of the thermosetting compound include a phenoxy compound, an oxetane compound, a maleimide compound different from the maleimide compound X (hereinafter, may be referred to as maleimide compound Y), an epoxy compound, a cyanate compound, a vinyl compound, and a polyarylate compound. Examples thereof include diallyl phthalate compounds, episulfide compounds, (meth) acrylic compounds, amino compounds, unsaturated polyester compounds, polyurethane compounds, silicone compounds and the like.

上記熱硬化性化合物は、マレイミド化合物Y、エポキシ化合物、又はビニル化合物であることが好ましく、エポキシ化合物、又はビニル化合物を含むことがより好ましく、エポキシ化合物を含むことが更に好ましい。上記ビニル化合物は、スチレン化合物又はアクリレート化合物を含むことが好ましく、スチレン化合物を含むことが好ましい。この場合には、硬化物の誘電正接をより一層低くし、かつ硬化物の熱寸法安定性をより一層高めることができる。 The thermosetting compound is preferably a maleimide compound Y, an epoxy compound, or a vinyl compound, more preferably contains an epoxy compound or a vinyl compound, and further preferably contains an epoxy compound. The vinyl compound preferably contains a styrene compound or an acrylate compound, and preferably contains a styrene compound. In this case, the dielectric loss tangent of the cured product can be further lowered, and the thermal dimensional stability of the cured product can be further improved.

<マレイミド化合物Y>
上記マレイミド化合物Y5重量%とシクロヘキサノン95重量%とを含むマレイミド化合物含有液(以下、「第3のマレイミド化合物含有液」と記載することがある)を得たときに、上記マレイミド化合物Yは、上記マレイミド化合物含有液(第3のマレイミド化合物含有液)の曇り度が5%未満である性質を有するマレイミド化合物である。上記マレイミド化合物Yは、上記マレイミド化合物Xとは異なるマレイミド化合物である。上記マレイミド化合物Yは、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
<Maleimide compound Y>
When a maleimide compound-containing liquid containing 5% by weight of the maleimide compound Y and 95% by weight of cyclohexanone (hereinafter, may be referred to as "third maleimide compound-containing liquid") is obtained, the maleimide compound Y is described as described above. It is a maleimide compound having a property that the degree of cloudiness of the maleimide compound-containing liquid (third maleimide compound-containing liquid) is less than 5%. The maleimide compound Y is a maleimide compound different from the maleimide compound X. As the maleimide compound Y, only one type may be used, or two or more types may be used in combination.

なお、上記第3のマレイミド化合物含有液は、上記マレイミド化合物Yが特定の性質を有するか否かを判断するために調製される。本発明に係る樹脂材料において、上記マレイミド化合物Yは、上記マレイミド化合物Y5重量%とシクロヘキサノン95重量%とを含む第3のマレイミド化合物含有液として添加されていなくてもよい。 The third maleimide compound-containing liquid is prepared to determine whether or not the maleimide compound Y has specific properties. In the resin material according to the present invention, the maleimide compound Y may not be added as a third maleimide compound-containing liquid containing 5% by weight of the maleimide compound Y and 95% by weight of cyclohexanone.

上記マレイミド化合物Yは、熱及び光硬化性化合物であってもよい。 The maleimide compound Y may be a heat and photocurable compound.

上記マレイミド化合物Yは、ビスマレイミド化合物であってもよい。 The maleimide compound Y may be a bismaleimide compound.

上記マレイミド化合物Yとしては、N−フェニルビスマレイミド及びN−アルキルビスマレイミド等が挙げられる。 Examples of the maleimide compound Y include N-phenylbismaleimide and N-alkylbismaleimide.

上記マレイミド化合物Yは、ダイマージアミン以外のジアミン化合物又はトリマートリアミン以外のトリアミン化合物に由来する骨格を有することが好ましい。 The maleimide compound Y preferably has a skeleton derived from a diamine compound other than dimerdiamine or a triamine compound other than trimertriamine.

上記マレイミド化合物Yは、芳香族骨格を有することが好ましい。 The maleimide compound Y preferably has an aromatic skeleton.

上記マレイミド化合物Yでは、マレイミド骨格における窒素原子と、芳香族環とが結合していることが好ましい。 In the maleimide compound Y, it is preferable that the nitrogen atom in the maleimide skeleton and the aromatic ring are bonded.

硬化物の熱寸法安定性をより一層高める観点からは、樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、上記マレイミド化合物Yの含有量は、好ましくは0.5重量%以上、より好ましくは1重量%以上、好ましくは15重量%以下、より好ましくは10重量%以下である。 From the viewpoint of further enhancing the thermal dimensional stability of the cured product, the content of the maleimide compound Y is preferably 0.5% by weight or more, more preferably 1 in 100% by weight of the components excluding the solvent in the resin material. By weight or more, preferably 15% by weight or less, more preferably 10% by weight or less.

上記樹脂材料中の無機充填材及び溶剤を除く成分100重量%中、上記マレイミド化合物Yの含有量は、好ましくは2.5重量%以上、より好ましくは5重量%以上、更に好ましくは7.5重量%以上、好ましくは50重量%以下、より好ましくは35重量%以下である。上記マレイミド化合物Yの含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化物の熱寸法安定性をより一層高めることができる。 The content of the maleimide compound Y in 100% by weight of the components excluding the inorganic filler and the solvent in the resin material is preferably 2.5% by weight or more, more preferably 5% by weight or more, still more preferably 7.5. By weight or more, preferably 50% by weight or less, more preferably 35% by weight or less. When the content of the maleimide compound Y is at least the above lower limit and at least the above upper limit, the thermal dimensional stability of the cured product can be further enhanced.

本発明の効果を効果的に発揮する観点からは、上記マレイミド化合物Yの分子量は、好ましくは500以上、より好ましくは1000以上、好ましくは30000未満、より好ましくは20000未満である。上記マレイミド化合物Yを含む樹脂材料が光硬化させて用いられる場合に、本発明の効果を効果的に発揮する観点からは、上記マレイミド化合物Yの分子量は、好ましくは3000未満、より好ましくは1500未満、更に好ましくは1000未満である。 From the viewpoint of effectively exerting the effects of the present invention, the molecular weight of the maleimide compound Y is preferably 500 or more, more preferably 1000 or more, preferably less than 30,000, and more preferably less than 20,000. When the resin material containing the maleimide compound Y is photocured and used, the molecular weight of the maleimide compound Y is preferably less than 3000, more preferably less than 1500, from the viewpoint of effectively exerting the effect of the present invention. , More preferably less than 1000.

上記マレイミド化合物Yの分子量は、上記マレイミド化合物Yが重合体ではない場合、及び上記マレイミド化合物の構造式が特定できる場合は、当該構造式から算出できる分子量を意味する。また、上記マレイミド化合物の分子量は、上記マレイミド化合物が重合体である場合は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により測定されたポリスチレン換算での重量平均分子量を示す。 The molecular weight of the maleimide compound Y means a molecular weight that can be calculated from the structural formula when the maleimide compound Y is not a polymer and when the structural formula of the maleimide compound can be specified. Further, the molecular weight of the maleimide compound indicates the weight average molecular weight in terms of polystyrene measured by gel permeation chromatography (GPC) when the maleimide compound is a polymer.

上記マレイミド化合物Yの市販品としては、例えば、大和化成工業社製「BMI−4000」及び「BMI−5100」、日本化薬社製「MIR−3000」、並びにDesigner Molecules Inc.製「BMI−1500」及び「BMI−689」等が挙げられる。 Examples of commercially available products of the maleimide compound Y include "BMI-4000" and "BMI-5100" manufactured by Daiwa Kasei Kogyo Co., Ltd., "MIR-3000" manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., and Designer Moleculars Inc. Examples thereof include "BMI-1500" and "BMI-689" manufactured by Japan.

<エポキシ化合物>
上記エポキシ化合物として、従来公知のエポキシ化合物を使用可能である。上記エポキシ化合物は、少なくとも1個のエポキシ基を有する有機化合物である。上記エポキシ化合物は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
<Epoxy compound>
As the epoxy compound, a conventionally known epoxy compound can be used. The epoxy compound is an organic compound having at least one epoxy group. Only one type of the epoxy compound may be used, or two or more types may be used in combination.

上記エポキシ化合物としては、ビスフェノールA型エポキシ化合物、ビスフェノールF型エポキシ化合物、ビスフェノールS型エポキシ化合物、フェノールノボラック型エポキシ化合物、ビフェニル型エポキシ化合物、ビフェニルノボラック型エポキシ化合物、ビフェノール型エポキシ化合物、ナフタレン型エポキシ化合物、フルオレン型エポキシ化合物、フェノールアラルキル型エポキシ化合物、ナフトールアラルキル型エポキシ化合物、ジシクロペンタジエン型エポキシ化合物、アントラセン型エポキシ化合物、アダマンタン骨格を有するエポキシ化合物、トリシクロデカン骨格を有するエポキシ化合物、ナフチレンエーテル型エポキシ化合物、及びトリアジン核を骨格に有するエポキシ化合物等が挙げられる。 Examples of the epoxy compound include bisphenol A type epoxy compound, bisphenol F type epoxy compound, bisphenol S type epoxy compound, phenol novolac type epoxy compound, biphenyl type epoxy compound, biphenyl novolac type epoxy compound, biphenol type epoxy compound, and naphthalene type epoxy compound. , Fluorene type epoxy compound, phenol aralkyl type epoxy compound, naphthol aralkyl type epoxy compound, dicyclopentadiene type epoxy compound, anthracene type epoxy compound, adamantan skeleton epoxy compound, tricyclodecane skeleton epoxy compound, naphthylene ether type Examples thereof include epoxy compounds and epoxy compounds having a triazine nucleus as a skeleton.

上記エポキシ化合物は、グリシジルエーテル化合物であってもよい。上記グリシジルエーテル化合物とは、グリシジルエーテル基を少なくとも1個有する化合物である。 The epoxy compound may be a glycidyl ether compound. The glycidyl ether compound is a compound having at least one glycidyl ether group.

硬化物の誘電正接をより一層低くし、かつ硬化物の熱寸法安定性及び難燃性を高める観点からは、上記エポキシ化合物は、芳香族骨格を有するエポキシ化合物を含むことが好ましく、ナフタレン骨格又はフェニル骨格を有するエポキシ化合物を含むことが好ましく、芳香族骨格を有するエポキシ化合物であることがより好ましい。 From the viewpoint of further lowering the dielectric adjacency of the cured product and enhancing the thermal dimensional stability and flame retardancy of the cured product, the epoxy compound preferably contains an epoxy compound having an aromatic skeleton, and a naphthalene skeleton or It is preferable to contain an epoxy compound having a phenyl skeleton, and more preferably an epoxy compound having an aromatic skeleton.

硬化物の誘電正接をより一層低くし、かつ硬化物の線膨張係数(CTE)を良好にする観点からは、上記エポキシ化合物は、25℃で液状のエポキシ化合物と、25℃で固形のエポキシ化合物とを含むことが好ましい。 From the viewpoint of further lowering the dielectric loss tangent of the cured product and improving the coefficient of linear expansion (CTE) of the cured product, the epoxy compounds are a liquid epoxy compound at 25 ° C and a solid epoxy compound at 25 ° C. And are preferably included.

上記25℃で液状のエポキシ化合物の25℃での粘度は、1000mPa・s以下であることが好ましく、500mPa・s以下であることがより好ましい。 The viscosity of the epoxy compound liquid at 25 ° C. at 25 ° C. is preferably 1000 mPa · s or less, and more preferably 500 mPa · s or less.

上記エポキシ化合物の粘度は、例えば動的粘弾性測定装置(レオロジカ・インスツルメンツ社製「VAR−100」)等を用いて測定することができる。 The viscosity of the epoxy compound can be measured using, for example, a dynamic viscoelasticity measuring device (“VAR-100” manufactured by Leologica Instruments) or the like.

上記エポキシ化合物の分子量は1000以下であることがより好ましい。この場合には、樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、無機充填材の含有量が50重量%以上であっても、絶縁層の形成時に流動性が高い樹脂材料が得られる。このため、樹脂材料の未硬化物又はBステージ化物を回路基板上にラミネートした場合に、無機充填材を均一に存在させることができる。 The molecular weight of the epoxy compound is more preferably 1000 or less. In this case, even if the content of the inorganic filler is 50% by weight or more in 100% by weight of the component excluding the solvent in the resin material, a resin material having high fluidity at the time of forming the insulating layer can be obtained. Therefore, when the uncured resin material or the B-staged product is laminated on the circuit board, the inorganic filler can be uniformly present.

上記エポキシ化合物の分子量は、上記エポキシ化合物が重合体ではない場合、及び上記エポキシ化合物の構造式が特定できる場合は、当該構造式から算出できる分子量を意味する。また、上記エポキシ化合物が重合体である場合は、重量平均分子量を意味する。 The molecular weight of the epoxy compound means a molecular weight that can be calculated from the structural formula when the epoxy compound is not a polymer and the structural formula of the epoxy compound can be specified. When the epoxy compound is a polymer, it means the weight average molecular weight.

硬化物の熱寸法安定性をより一層高める観点からは、樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、上記エポキシ化合物の含有量は、好ましくは4重量%以上、より好ましくは7重量%以上、好ましくは15重量%以下、より好ましくは12重量%以下である。 From the viewpoint of further enhancing the thermal dimensional stability of the cured product, the content of the epoxy compound is preferably 4% by weight or more, more preferably 7% by weight or more, based on 100% by weight of the components excluding the solvent in the resin material. It is preferably 15% by weight or less, more preferably 12% by weight or less.

上記樹脂材料中の無機充填材及び溶剤を除く成分100重量%中、上記エポキシ化合物の含有量は、好ましくは15重量%以上、より好ましくは25重量%以上、好ましくは50重量%以下、より好ましくは40重量%以下である。上記エポキシ化合物の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化物の熱寸法安定性をより一層高めることができる。 The content of the epoxy compound in 100% by weight of the components excluding the inorganic filler and the solvent in the resin material is preferably 15% by weight or more, more preferably 25% by weight or more, preferably 50% by weight or less, more preferably. Is 40% by weight or less. When the content of the epoxy compound is at least the above lower limit and at least the above upper limit, the thermal dimensional stability of the cured product can be further enhanced.

上記エポキシ化合物の含有量の、上記マレイミド化合物Xと後述する硬化剤との合計の含有量に対する重量比(上記エポキシ化合物の含有量/上記マレイミド化合物Xと後述する硬化剤との合計の含有量)は、好ましくは0.2以上、より好ましくは0.3以上、好ましくは1以下、より好ましくは0.8以下である。上記重量比が上記下限以上及び上記上限以下であると、誘電正接をより一層低くし、熱寸法安定性をより一層高めることができる。 Weight ratio of the content of the epoxy compound to the total content of the maleimide compound X and the curing agent described later (content of the epoxy compound / total content of the maleimide compound X and the curing agent described later) Is preferably 0.2 or more, more preferably 0.3 or more, preferably 1 or less, and more preferably 0.8 or less. When the weight ratio is at least the above lower limit and at least the above upper limit, the dielectric loss tangent can be further lowered and the thermal dimensional stability can be further improved.

<ビニル化合物>
上記ビニル化合物として、従来公知のビニル化合物を使用可能である。上記ビニル化合物は、少なくとも1個のビニル基を有する有機化合物である。上記ビニル化合物は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
<Vinyl compound>
As the vinyl compound, a conventionally known vinyl compound can be used. The vinyl compound is an organic compound having at least one vinyl group. Only one kind of the vinyl compound may be used, or two or more kinds thereof may be used in combination.

上記ビニル化合物としては、スチレン化合物、アクリレート化合物、及びジビニル化合物等が挙げられる。上記ジビニル化合物としては、ジビニルベンジルエーテル化合物が挙げられる。上記ビニル化合物は、脂肪族骨格を有するジビニル化合物であってもよく、ジビニルエーテル化合物であってもよい。上記アクリレート化合物は、熱及び光硬化性化合物であってもよい。 Examples of the vinyl compound include styrene compounds, acrylate compounds, and divinyl compounds. Examples of the divinyl compound include a divinylbenzyl ether compound. The vinyl compound may be a divinyl compound having an aliphatic skeleton or a divinyl ether compound. The acrylate compound may be a heat and photocurable compound.

上記スチレン化合物としては、末端スチレン変性したフェニレンエーテル化合物が挙げられる。上記スチレン化合物は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。 Examples of the styrene compound include a phenylene ether compound modified with terminal styrene. Only one kind of the styrene compound may be used, or two or more kinds thereof may be used in combination.

スチレン化合物の市販品としては、例えば、三菱ガス化学社製「OPE−2St」等が挙げられる。 Examples of commercially available styrene compounds include "OPE-2St" manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc.

上記樹脂材料中の無機充填材及び溶剤を除く成分100重量%中、上記ビニル化合物の含有量は、好ましくは5重量%以上、より好ましくは10重量%以上、更に好ましくは20重量%以上、好ましくは80重量%以下、より好ましくは70重量%以下である。上記ビニル化合物の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化物の熱寸法安定性をより一層高めることができる。 The content of the vinyl compound in 100% by weight of the components excluding the inorganic filler and the solvent in the resin material is preferably 5% by weight or more, more preferably 10% by weight or more, still more preferably 20% by weight or more. Is 80% by weight or less, more preferably 70% by weight or less. When the content of the vinyl compound is at least the above lower limit and at least the above upper limit, the thermal dimensional stability of the cured product can be further enhanced.

[無機充填材]
上記樹脂材料は、無機充填材を含むことが好ましい。上記無機充填材の使用により、硬化物の誘電正接をより一層低くすることができる。また、上記無機充填材の使用により、硬化物の熱による寸法変化がより一層小さくなる。上記無機充填材は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[Inorganic filler]
The resin material preferably contains an inorganic filler. By using the above-mentioned inorganic filler, the dielectric loss tangent of the cured product can be further lowered. Further, by using the above-mentioned inorganic filler, the dimensional change due to heat of the cured product is further reduced. As the inorganic filler, only one kind may be used, or two or more kinds may be used in combination.

上記無機充填材としては、シリカ、タルク、クレイ、マイカ、ハイドロタルサイト、アルミナ、酸化マグネシウム、水酸化アルミニウム、ダイヤモンド、窒化アルミニウム、及び窒化ホウ素等が挙げられる。 Examples of the inorganic filler include silica, talcite, clay, mica, hydrotalcite, alumina, magnesium oxide, aluminum hydroxide, diamond, aluminum nitride, and boron nitride.

上記無機充填材は、アルミナ及び窒化ホウ素等の熱伝導率が10W/mK以上である無機充填材であることが好ましい。この場合には、放熱性を高めることができる。 The inorganic filler is preferably an inorganic filler having a thermal conductivity of 10 W / mK or more, such as alumina and boron nitride. In this case, heat dissipation can be improved.

硬化物の表面の表面粗さを小さくし、硬化物と金属層との接着強度をより一層高くし、かつ硬化物の表面により一層微細な配線を形成し、かつ硬化物により良好な絶縁信頼性を付与する観点からは、上記無機充填材は、シリカ又はアルミナであることが好ましく、シリカであることがより好ましく、溶融シリカであることが更に好ましい。上記シリカは、中空シリカであってもよい。シリカの使用により、硬化物の熱膨張率がより一層低くなり、また、硬化物の誘電正接がより一層低くなる。また、シリカの使用により、硬化物の表面の表面粗さが効果的に小さくなり、硬化物と金属層との接着強度が効果的に高くなる。シリカの形状は球状であることが好ましい。 The surface roughness of the surface of the cured product is reduced, the adhesive strength between the cured product and the metal layer is further increased, finer wiring is formed on the surface of the cured product, and the cured product has better insulation reliability. From the viewpoint of imparting, the inorganic filler is preferably silica or alumina, more preferably silica, and even more preferably fused silica. The silica may be hollow silica. Due to the use of silica, the coefficient of thermal expansion of the cured product is further reduced, and the dielectric loss tangent of the cured product is further reduced. Further, by using silica, the surface roughness of the surface of the cured product is effectively reduced, and the adhesive strength between the cured product and the metal layer is effectively increased. The shape of silica is preferably spherical.

硬化環境によらず、樹脂の硬化を進め、硬化物のガラス転移温度を効果的に高くし、硬化物の熱線膨張係数を効果的に小さくする観点からは、上記無機充填材は球状シリカであることが好ましい。 The inorganic filler is spherical silica from the viewpoint of advancing the curing of the resin regardless of the curing environment, effectively increasing the glass transition temperature of the cured product, and effectively reducing the coefficient of linear thermal expansion of the cured product. Is preferable.

熱伝導率を高め、かつ絶縁性を高める観点からは、上記無機充填材はアルミナ又は窒化ホウ素であることが好ましい。特に、窒化ホウ素は異方性を有するため、熱線膨張係数をより一層小さくすることができる。 From the viewpoint of increasing the thermal conductivity and the insulating property, the inorganic filler is preferably alumina or boron nitride. In particular, since boron nitride has anisotropy, the coefficient of linear thermal expansion can be further reduced.

上記無機充填材の平均粒径は、好ましくは50nm以上、より好ましくは100nm以上、更に好ましくは500nm以上、好ましくは5μm以下、より好ましくは3μm以下、更に好ましくは1μm以下である。上記無機充填材の平均粒径が上記下限以上及び上記上限以下であると、エッチング後の表面粗度を小さくし、かつメッキピール強度を高くすることができ、また、絶縁層と金属層との密着性をより一層高めることができる。 The average particle size of the inorganic filler is preferably 50 nm or more, more preferably 100 nm or more, still more preferably 500 nm or more, preferably 5 μm or less, more preferably 3 μm or less, still more preferably 1 μm or less. When the average particle size of the inorganic filler is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the surface roughness after etching can be reduced and the plating peel strength can be increased, and the insulating layer and the metal layer can be combined. Adhesion can be further improved.

上記無機充填材の平均粒径として、50%となるメディアン径(d50)の値が採用される。上記平均粒径は、レーザー回折散乱方式の粒度分布測定装置を用いて測定可能である。なお、無機充填材が凝集粒子の場合には、無機充填材の平均粒径は、一次粒子径を意味する。 As the average particle size of the inorganic filler, a value of median diameter (d50) of 50% is adopted. The average particle size can be measured using a laser diffraction / scattering type particle size distribution measuring device. When the inorganic filler is agglomerated particles, the average particle size of the inorganic filler means the primary particle diameter.

上記無機充填材は、球状であることが好ましく、球状シリカであることがより好ましい。この場合には、硬化物の表面の表面粗さが効果的に小さくなり、更に硬化物と金属層との接着強度が効果的に高くなる。上記無機充填材が球状である場合には、上記無機充填材のアスペクト比は好ましくは2以下、より好ましくは1.5以下である。 The inorganic filler is preferably spherical, more preferably spherical silica. In this case, the surface roughness of the surface of the cured product is effectively reduced, and the adhesive strength between the cured product and the metal layer is effectively increased. When the inorganic filler is spherical, the aspect ratio of the inorganic filler is preferably 2 or less, more preferably 1.5 or less.

上記無機充填材は、表面処理されていることが好ましく、カップリング剤による表面処理物であることがより好ましく、シランカップリング剤による表面処理物であることが更に好ましい。上記無機充填材が表面処理されていることにより、粗化硬化物の表面の表面粗さがより一層小さくなり、硬化物と金属層との接着強度がより一層高くなる。また、上記無機充填材が表面処理されていることにより、硬化物の表面により一層微細な配線を形成することができ、かつより一層良好な配線間絶縁信頼性及び層間絶縁信頼性を硬化物に付与することができる。 The inorganic filler is preferably surface-treated, more preferably a surface-treated product with a coupling agent, and even more preferably a surface-treated product with a silane coupling agent. By surface-treating the inorganic filler, the surface roughness of the surface of the roughened cured product is further reduced, and the adhesive strength between the cured product and the metal layer is further increased. Further, since the inorganic filler is surface-treated, finer wiring can be formed on the surface of the cured product, and even better inter-wiring insulation reliability and interlayer insulation reliability can be obtained in the cured product. Can be granted.

上記カップリング剤としては、シランカップリング剤、チタンカップリング剤及びアルミニウムカップリング剤等が挙げられる。上記シランカップリング剤としては、メタクリルシラン、アクリルシラン、アミノシラン、イミダゾールシラン、ビニルシラン、及びエポキシシラン等が挙げられる。 Examples of the coupling agent include a silane coupling agent, a titanium coupling agent, an aluminum coupling agent, and the like. Examples of the silane coupling agent include methacrylsilane, acrylicsilane, aminosilane, imidazolesilane, vinylsilane, and epoxysilane.

樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、上記無機充填材の含有量は、好ましくは50重量%以上、より好ましくは60重量%以上、更に好ましくは65重量%以上、特に好ましくは68重量%以上、好ましくは90重量%以下、より好ましくは85重量%以下、更に好ましくは80重量%以下、特に好ましくは75重量%以下である。上記無機充填材の含有量が上記下限以上であると、誘電正接が効果的に低くなる。上記無機充填材の含有量が上記上限以下であると、熱寸法安定性を高め、硬化物の反りを効果的に抑えることができる。上記無機充填材の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化物の表面の表面粗さをより一層小さくすることができ、かつ硬化物の表面により一層微細な配線を形成することができる。さらに、この無機充填材の含有量であれば、硬化物の熱膨張率を低くすることと同時に、スミア除去性を良好にすることも可能である。 The content of the inorganic filler in 100% by weight of the component excluding the solvent in the resin material is preferably 50% by weight or more, more preferably 60% by weight or more, still more preferably 65% by weight or more, and particularly preferably 68% by weight. % Or more, preferably 90% by weight or less, more preferably 85% by weight or less, still more preferably 80% by weight or less, and particularly preferably 75% by weight or less. When the content of the inorganic filler is at least the above lower limit, the dielectric loss tangent is effectively lowered. When the content of the inorganic filler is not more than the above upper limit, the thermal dimensional stability can be improved and the warpage of the cured product can be effectively suppressed. When the content of the inorganic filler is at least the above lower limit and at least the above upper limit, the surface roughness of the surface of the cured product can be further reduced, and finer wiring can be formed on the surface of the cured product. Can be done. Further, the content of this inorganic filler makes it possible to reduce the coefficient of thermal expansion of the cured product and at the same time improve the smear removability.

[硬化剤]
上記樹脂材料は、硬化剤を含むことが好ましい。上記硬化剤は特に限定されない。上記硬化剤として、従来公知の硬化剤を使用可能である。上記硬化剤は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[Hardener]
The resin material preferably contains a curing agent. The curing agent is not particularly limited. A conventionally known curing agent can be used as the curing agent. Only one kind of the above-mentioned curing agent may be used, or two or more kinds may be used in combination.

上記硬化剤としては、フェノール化合物(フェノール硬化剤)、活性エステル化合物、シアネートエステル化合物(シアネートエステル硬化剤)、ベンゾオキサジン化合物(ベンゾオキサジン硬化剤)、カルボジイミド化合物(カルボジイミド硬化剤)、アミン化合物(アミン硬化剤)、チオール化合物(チオール硬化剤)、ホスフィン化合物、ジシアンジアミド、及び酸無水物等が挙げられる。上記硬化剤は、上記エポキシ化合物のエポキシ基と反応可能な官能基を有することが好ましい。 Examples of the curing agent include a phenol compound (phenol curing agent), an active ester compound, a cyanate ester compound (cyanate ester curing agent), a benzoxazine compound (benzoxazine curing agent), a carbodiimide compound (carbodiimide curing agent), and an amine compound (amine). Hardener), thiol compound (thiol hardener), phosphine compound, dicyandiamide, acid anhydride and the like. The curing agent preferably has a functional group capable of reacting with the epoxy group of the epoxy compound.

熱寸法安定性をより一層高める観点から、上記硬化剤は、フェノール化合物、活性エステル化合物、シアネートエステル化合物、ベンゾオキサジン化合物、カルボジイミド化合物及び酸無水物の内の少なくとも1種の成分を含むことが好ましい。熱寸法安定性をより一層高める観点から、上記硬化剤は、フェノール化合物、活性エステル化合物、シアネートエステル化合物、ベンゾオキサジン化合物、及びカルボジイミド化合物の内の少なくとも1種の成分を含むことがより好ましく、活性エステル化合物を含むことが更に好ましい。 From the viewpoint of further enhancing thermal dimensional stability, the curing agent preferably contains at least one component of a phenol compound, an active ester compound, a cyanate ester compound, a benzoxazine compound, a carbodiimide compound, and an acid anhydride. .. From the viewpoint of further enhancing thermal dimensional stability, the curing agent more preferably contains at least one component of a phenol compound, an active ester compound, a cyanate ester compound, a benzoxazine compound, and a carbodiimide compound, and is active. It is more preferable to contain an ester compound.

熱寸法安定性をより一層高める観点から、上記熱硬化性化合物がエポキシ化合物を含み、上記硬化剤がフェノール化合物と活性エステル化合物との双方を含むことが好ましい。 From the viewpoint of further enhancing the thermal dimensional stability, it is preferable that the thermosetting compound contains an epoxy compound and the curing agent contains both a phenol compound and an active ester compound.

上記フェノール化合物としては、ノボラック型フェノール、ビフェノール型フェノール、ナフタレン型フェノール、ジシクロペンタジエン型フェノール、アラルキル型フェノール及びジシクロペンタジエン型フェノール等が挙げられる。 Examples of the phenol compound include novolak-type phenol, biphenol-type phenol, naphthalene-type phenol, dicyclopentadiene-type phenol, aralkyl-type phenol, and dicyclopentadiene-type phenol.

上記フェノール化合物の市販品としては、ノボラック型フェノール(DIC社製「TD−2091」)、ビフェニルノボラック型フェノール(明和化成社製「MEH−7851」)、アラルキル型フェノール化合物(明和化成社製「MEH−7800」)、並びにアミノトリアジン骨格を有するフェノール(DIC社製「LA−1356」及び「LA−3018−50P」)等が挙げられる。 Commercially available products of the above phenol compounds include novolac-type phenol (“TD-2091” manufactured by DIC), biphenyl novolac-type phenol (“MEH-7851” manufactured by Meiwa Kasei Co., Ltd.), and aralkyl-type phenol compound (“MEH” manufactured by Meiwa Kasei Co., Ltd.). -7800 "), and phenols having an aminotriazine skeleton ("LA-1356" and "LA-3018-50P" manufactured by DIC) and the like can be mentioned.

上記活性エステル化合物とは、構造体中にエステル結合を少なくとも1つ含み、かつ、エステル結合の両側に脂肪族鎖、脂肪族環又は芳香族環が結合している化合物をいう。活性エステル化合物は、例えばカルボン酸化合物又はチオカルボン酸化合物と、ヒドロキシ化合物又はチオール化合物との縮合反応によって得られる。活性エステル化合物の例としては、下記式(1)で表される化合物が挙げられる。 The active ester compound refers to a compound containing at least one ester bond in the structure and having an aliphatic chain, an aliphatic ring or an aromatic ring bonded to both sides of the ester bond. The active ester compound is obtained, for example, by a condensation reaction of a carboxylic acid compound or a thiocarboxylic acid compound with a hydroxy compound or a thiol compound. Examples of the active ester compound include a compound represented by the following formula (1).

Figure 2021025050
Figure 2021025050

上記式(1)中、X1は、脂肪族鎖を含む基、脂肪族環を含む基又は芳香族環を含む基を表し、X2は、芳香族環を含む基を表す。上記芳香族環を含む基の好ましい例としては、置換基を有していてもよいベンゼン環、及び置換基を有していてもよいナフタレン環等が挙げられる。上記置換基としては、炭化水素基が挙げられる。該炭化水素基の炭素数は、好ましくは12以下、より好ましくは6以下、更に好ましくは4以下である。 In the above formula (1), X1 represents a group containing an aliphatic chain, a group containing an aliphatic ring or a group containing an aromatic ring, and X2 represents a group containing an aromatic ring. Preferred examples of the group containing an aromatic ring include a benzene ring which may have a substituent and a naphthalene ring which may have a substituent. Examples of the substituent include a hydrocarbon group. The hydrocarbon group has preferably 12 or less carbon atoms, more preferably 6 or less carbon atoms, and even more preferably 4 or less carbon atoms.

上記式(1)中、X1及びX2の組み合わせとしては、置換基を有していてもよいベンゼン環と、置換基を有していてもよいベンゼン環との組み合わせ、置換基を有していてもよいベンゼン環と、置換基を有していてもよいナフタレン環との組み合わせが挙げられる。さらに、上記式(1)中、X1及びX2の組み合わせとしては、置換基を有していてもよいナフタレン環と、置換基を有していてもよいナフタレン環との組み合わせが挙げられる。 In the above formula (1), the combination of X1 and X2 includes a combination of a benzene ring which may have a substituent and a benzene ring which may have a substituent, and a substituent. Examples thereof include a combination of a benzene ring and a naphthalene ring which may have a substituent. Further, in the above formula (1), examples of the combination of X1 and X2 include a combination of a naphthalene ring which may have a substituent and a naphthalene ring which may have a substituent.

上記活性エステル化合物は特に限定されない。熱寸法安定性及び難燃性をより一層高める観点からは、上記活性エステル化合物は、2個以上の芳香族骨格を有する活性エステル化合物であることが好ましい。硬化物の誘電正接を低くし、かつ硬化物の熱寸法安定性を高める観点から、活性エステル化合物は、主鎖骨格中にナフタレン環、又はジシクロペンタジエン骨格を有することがより好ましい。 The active ester compound is not particularly limited. From the viewpoint of further enhancing thermal dimensional stability and flame retardancy, the active ester compound is preferably an active ester compound having two or more aromatic skeletons. From the viewpoint of lowering the dielectric loss tangent of the cured product and increasing the thermal dimensional stability of the cured product, it is more preferable that the active ester compound has a naphthalene ring or a dicyclopentadiene skeleton in the main chain skeleton.

上記活性エステル化合物の市販品としては、DIC社製「HPC−8000−65T」、「EXB9416−70BK」、「HPC−8150−62T」、「EXB−8」及び「EXB8100−65T」等が挙げられる。 Examples of commercially available products of the active ester compound include "HPC-8000-65T", "EXB9416-70BK", "HPC-8150-62T", "EXB-8" and "EXB8100-65T" manufactured by DIC Corporation. ..

樹脂材料の溶融粘度を低くし、架橋点間距離を短くし、硬化物の線膨張係数をより一層小さくする観点からは、上記活性エステル化合物は、低分子活性を有するエステル化合物であることが好ましい。低分子活性を有するエステル化合物の市販品としては、上述したDIC社製「EXB−8」等が挙げられる。 From the viewpoint of lowering the melt viscosity of the resin material, shortening the distance between the cross-linking points, and further reducing the coefficient of linear expansion of the cured product, the active ester compound is preferably an ester compound having low molecular activity. .. Examples of commercially available products of ester compounds having low molecular weight activity include the above-mentioned "EXB-8" manufactured by DIC Corporation.

上記シアネートエステル化合物としては、ノボラック型シアネートエステル樹脂、ビスフェノール型シアネートエステル樹脂、並びにこれらが一部三量化されたプレポリマー等が挙げられる。上記ノボラック型シアネートエステル樹脂としては、フェノールノボラック型シアネートエステル樹脂及びアルキルフェノール型シアネートエステル樹脂等が挙げられる。上記ビスフェノール型シアネートエステル樹脂としては、ビスフェノールA型シアネートエステル樹脂、ビスフェノールE型シアネートエステル樹脂及びテトラメチルビスフェノールF型シアネートエステル樹脂等が挙げられる。 Examples of the cyanate ester compound include a novolak type cyanate ester resin, a bisphenol type cyanate ester resin, and a prepolymer in which these are partially triquantized. Examples of the novolak type cyanate ester resin include phenol novolac type cyanate ester resin and alkylphenol type cyanate ester resin. Examples of the bisphenol type cyanate ester resin include bisphenol A type cyanate ester resin, bisphenol E type cyanate ester resin, and tetramethyl bisphenol F type cyanate ester resin.

上記シアネートエステル化合物の市販品としては、フェノールノボラック型シアネートエステル樹脂(ロンザジャパン社製「PT−30」及び「PT−60」)、並びにビスフェノール型シアネートエステル樹脂が三量化されたプレポリマー(ロンザジャパン社製「BA−230S」、「BA−3000S」、「BTP−1000S」及び「BTP−6020S」)等が挙げられる。 Commercially available products of the cyanate ester compound include a phenol novolac type cyanate ester resin (“PT-30” and “PT-60” manufactured by Lonza Japan) and a prepolymer in which a bisphenol type cyanate ester resin is triquantized (Lonza Japan). Examples thereof include "BA-230S", "BA-3000S", "BTP-1000S" and "BTP-6020S") manufactured by the same company.

上記樹脂材料中の無機充填材及び溶剤を除く成分100重量%中、上記シアネートエステル化合物の含有量は、好ましくは10重量%以上、より好ましくは15重量%以上、更に好ましくは20重量%以上、好ましくは85重量%以下、より好ましくは75重量%以下である。上記シアネートエステル化合物の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化物の熱寸法安定性をより一層高めることができる。 The content of the cyanate ester compound in 100% by weight of the components excluding the inorganic filler and the solvent in the resin material is preferably 10% by weight or more, more preferably 15% by weight or more, still more preferably 20% by weight or more. It is preferably 85% by weight or less, more preferably 75% by weight or less. When the content of the cyanate ester compound is at least the above lower limit and at least the above upper limit, the thermal dimensional stability of the cured product can be further enhanced.

上記ベンゾオキサジン化合物としては、P−d型ベンゾオキサジン、及びF−a型ベンゾオキサジン等が挙げられる。 Examples of the benzoxazine compound include Pd-type benzoxazine and Fa-type benzoxazine.

上記ベンゾオキサジン化合物の市販品としては、四国化成工業社製「P−d型」、JFEケミカル社製「ODA−BOZ」等が挙げられる。 Examples of commercially available products of the benzoxazine compound include "P-d type" manufactured by Shikoku Chemicals Corporation and "ODA-BOZ" manufactured by JFE Chemicals Corporation.

上記樹脂材料中の無機充填材及び溶剤を除く成分100重量%中、上記ベンゾオキサジン化合物の含有量は、好ましくは1重量%以上、より好ましくは5重量%以上、更に好ましくは10重量%以上、好ましくは70重量%以下、より好ましくは60重量%以下である。上記ベンゾオキサジン化合物の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化物の誘電正接を低くし、かつ熱寸法安定性をより一層高めることができる。 The content of the benzoxazine compound in 100% by weight of the components excluding the inorganic filler and the solvent in the resin material is preferably 1% by weight or more, more preferably 5% by weight or more, still more preferably 10% by weight or more. It is preferably 70% by weight or less, more preferably 60% by weight or less. When the content of the benzoxazine compound is at least the above lower limit and at least the above upper limit, the dielectric loss tangent of the cured product can be lowered and the thermal dimensional stability can be further improved.

上記カルボジイミド化合物は、下記式(2)で表される構造単位を有する化合物である。下記式(2)において、右端部及び左端部は、他の基との結合部位である。上記カルボジイミド化合物は1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。 The carbodiimide compound is a compound having a structural unit represented by the following formula (2). In the following formula (2), the right end and the left end are binding sites for other groups. Only one kind of the carbodiimide compound may be used, or two or more kinds may be used in combination.

Figure 2021025050
Figure 2021025050

上記式(2)中、Xは、アルキレン基、アルキレン基に置換基が結合した基、シクロアルキレン基、シクロアルキレン基に置換基が結合した基、アリーレン基、又はアリーレン基に置換基が結合した基を表し、pは1〜5の整数を表す。Xが複数存在する場合、複数のXは同一であってもよく、異なっていてもよい。 In the above formula (2), X is an alkylene group, a group in which a substituent is bonded to an alkylene group, a cycloalkylene group, a group in which a substituent is bonded to a cycloalkylene group, an arylene group, or a substituent bonded to an arylene group. Represents a group and p represents an integer of 1-5. When a plurality of X's exist, the plurality of X's may be the same or different.

好適な一つの形態において、少なくとも1つのXは、アルキレン基、アルキレン基に置換基が結合した基、シクロアルキレン基、又はシクロアルキレン基に置換基が結合した基である。 In one preferred form, at least one X is an alkylene group, a group having a substituent attached to an alkylene group, a cycloalkylene group, or a group having a substituent attached to a cycloalkylene group.

上記カルボジイミド化合物の市販品としては、日清紡ケミカル社製「カルボジライト V−02B」、「カルボジライト V−03」、「カルボジライト V−04K」、「カルボジライト V−07」、「カルボジライト V−09」、「カルボジライト 10M−SP」、及び「カルボジライト 10M−SP(改)」、並びに、ラインケミー社製「スタバクゾールP」、「スタバクゾールP400」、及び「ハイカジル510」等が挙げられる。 Commercially available products of the above carbodiimide compounds include "carbodilite V-02B", "carbodilite V-03", "carbodilite V-04K", "carbodilite V-07", "carbodilite V-09" and "carbodilite" manufactured by Nisshinbo Chemical. Examples thereof include "10M-SP" and "carbodilite 10M-SP (revised)", and "Stavaxol P", "Stavaxol P400" and "Hikazil 510" manufactured by Rheinchemy.

上記酸無水物としては、テトラヒドロフタル酸無水物、及びアルキルスチレン−無水マレイン酸共重合体等が挙げられる。 Examples of the acid anhydride include tetrahydrophthalic anhydride, alkylstyrene-maleic anhydride copolymer and the like.

上記酸無水物の市販品としては、新日本理化社製「リカシッド TDA−100」等が挙げられる。 Examples of commercially available products of the acid anhydride include "Ricacid TDA-100" manufactured by New Japan Chemical Co., Ltd.

上記エポキシ化合物100重量部に対する上記硬化剤の含有量は、好ましくは70重量部以上、より好ましくは85重量部以上、好ましくは150重量部以下、より好ましくは120重量部以下である。上記硬化剤の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化性により一層優れ、熱寸法安定性をより一層高め、残存未反応成分の揮発をより一層抑制できる。 The content of the curing agent with respect to 100 parts by weight of the epoxy compound is preferably 70 parts by weight or more, more preferably 85 parts by weight or more, preferably 150 parts by weight or less, and more preferably 120 parts by weight or less. When the content of the curing agent is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the curability is further improved, the thermal dimensional stability is further enhanced, and the volatilization of the residual unreacted component can be further suppressed.

上記樹脂材料中の無機充填材及び溶剤を除く成分100重量%中、上記マレイミド化合物Xと上記熱硬化性化合物と上記硬化剤との合計の含有量は、好ましくは50重量%以上、より好ましくは60重量%以上、好ましくは98重量%以下、より好ましくは95重量%以下である。上記マレイミド化合物Xと上記熱硬化性化合物と上記硬化剤との合計の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化性により一層優れ、熱寸法安定性をより一層高めることができる。 The total content of the maleimide compound X, the thermosetting compound, and the curing agent in 100% by weight of the components excluding the inorganic filler and the solvent in the resin material is preferably 50% by weight or more, more preferably. It is 60% by weight or more, preferably 98% by weight or less, and more preferably 95% by weight or less. When the total content of the maleimide compound X, the thermosetting compound, and the curing agent is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the curability is further improved and the thermal dimensional stability can be further enhanced.

[硬化促進剤]
上記樹脂材料は、硬化促進剤を含む。上記硬化促進剤の使用により、硬化速度がより一層速くなる。樹脂材料を速やかに硬化させることで、硬化物における架橋構造が均一になると共に、未反応の官能基数が減り、結果的に架橋密度が高くなる。上記硬化促進剤は特に限定されず、従来公知の硬化促進剤を使用可能である。上記硬化促進剤は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[Curing accelerator]
The resin material contains a curing accelerator. By using the above-mentioned curing accelerator, the curing rate becomes even faster. By rapidly curing the resin material, the crosslinked structure in the cured product becomes uniform, the number of unreacted functional groups decreases, and as a result, the crosslinked density increases. The curing accelerator is not particularly limited, and conventionally known curing accelerators can be used. Only one type of the curing accelerator may be used, or two or more types may be used in combination.

上記硬化促進剤としては、例えば、イミダゾール化合物等のアニオン性硬化促進剤、アミン化合物等のカチオン性硬化促進剤、リン化合物及び有機金属化合物等のアニオン性及びカチオン性硬化促進剤以外の硬化促進剤、並びに過酸化物等のラジカル性硬化促進剤等が挙げられる。 Examples of the curing accelerator include anionic curing accelerators such as imidazole compounds, cationic curing accelerators such as amine compounds, and curing accelerators other than anionic and cationic curing accelerators such as phosphorus compounds and organic metal compounds. , And radical curing accelerators such as peroxides.

上記イミダゾール化合物としては、2−ウンデシルイミダゾール、2−ヘプタデシルイミダゾール、2−メチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、2−フェニル−4−メチルイミダゾール、1−ベンジル−2−メチルイミダゾール、1−ベンジル−2−フェニルイミダゾール、1,2−ジメチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−エチル−4−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−ウンデシルイミダゾール、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル−2−ウンデシルイミダゾリウムトリメリテイト、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾリウムトリメリテイト、2,4−ジアミノ−6−[2’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−ウンデシルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−エチル−4’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジンイソシアヌル酸付加物、2−フェニルイミダゾールイソシアヌル酸付加物、2−メチルイミダゾールイソシアヌル酸付加物、2−フェニル−4,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール及び2−フェニル−4−メチル−5−ジヒドロキシメチルイミダゾール等が挙げられる。 Examples of the imidazole compound include 2-undecyl imidazole, 2-heptadecyl imidazole, 2-methyl imidazole, 2-ethyl-4-methyl imidazole, 2-phenyl imidazole, 2-phenyl-4-methyl imidazole and 1-benzyl-. 2-Methylimidazole, 1-benzyl-2-phenylimidazole, 1,2-dimethylimidazole, 1-cyanoethyl-2-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-ethyl-4-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-un Decylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazolium trimerite, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazolium trimerite, 2,4-diamino-6- [2' -Methylimidazolyl- (1')]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6- [2'-undecylimidazolyl- (1')]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino- 6- [2'-ethyl-4'-methylimidazolyl- (1')]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6- [2'-methylimidazolyl- (1')]-ethyl-s -Triazine isocyanuric acid adduct, 2-phenylimidazole isocyanuric acid adduct, 2-methylimidazole isocyanuric acid adduct, 2-phenyl-4,5-dihydroxymethylimidazole and 2-phenyl-4-methyl-5-dihydroxymethylimidazole And so on.

上記アミン化合物としては、ジエチルアミン、トリエチルアミン、ジエチレンテトラミン、トリエチレンテトラミン及び4,4−ジメチルアミノピリジン等が挙げられる。 Examples of the amine compound include diethylamine, triethylamine, diethylenetetramine, triethylenetetramine and 4,4-dimethylaminopyridine.

上記リン化合物としては、トリフェニルホスフィン化合物等が挙げられる。 Examples of the phosphorus compound include triphenylphosphine compounds.

上記有機金属化合物としては、ナフテン酸亜鉛、ナフテン酸コバルト、オクチル酸スズ、オクチル酸コバルト、ビスアセチルアセトナートコバルト(II)及びトリスアセチルアセトナートコバルト(III)等が挙げられる。 Examples of the organometallic compound include zinc naphthenate, cobalt naphthenate, tin octylate, cobalt octylate, bisacetylacetonate cobalt (II) and trisacetylacetonate cobalt (III).

上記過酸化物としてはジクミルペルオキシド、及びパーヘキシル25B等が挙げられる。 Examples of the peroxide include dicumyl peroxide and perhexyl 25B.

硬化温度をより一層低く抑え、硬化物の反りを効果的に抑える観点からは、上記硬化促進剤は、上記アニオン性硬化促進剤を含むことが好ましく、上記イミダゾール化合物を含むことがより好ましい。 From the viewpoint of further suppressing the curing temperature and effectively suppressing the warpage of the cured product, the curing accelerator preferably contains the anionic curing accelerator, and more preferably contains the imidazole compound.

硬化温度をより一層低く抑え、硬化物の反りを効果的に抑える観点からは、上記硬化促進剤100重量%中、上記アニオン性硬化促進剤の含有量は、好ましくは20重量%以上、より好ましくは50重量%以上、更に好ましくは70重量%以上、最も好ましくは100重量%(全量)である。したがって、上記硬化促進剤は、上記アニオン性硬化促進剤であることが最も好ましい。 From the viewpoint of further suppressing the curing temperature and effectively suppressing the warp of the cured product, the content of the anionic curing accelerator is preferably 20% by weight or more, more preferably 20% by weight or more, based on 100% by weight of the curing accelerator. Is 50% by weight or more, more preferably 70% by weight or more, and most preferably 100% by weight (total amount). Therefore, the curing accelerator is most preferably the anionic curing accelerator.

上記熱硬化性化合物が上記ビニル化合物、上記アクリレート化合物及び上記スチレン化合物等のラジカル硬化性化合物を含む場合、ラジカル硬化が進行するため、上記硬化促進剤は、上記ラジカル性硬化促進剤を含むことが好ましい。 When the thermosetting compound contains a radical curable compound such as the vinyl compound, the acrylate compound, and the styrene compound, radical curing proceeds. Therefore, the curing accelerator may contain the radical curing accelerator. preferable.

上記硬化促進剤は、光硬化促進剤を含むことが好ましい。上記樹脂材料が上記熱及び光硬化性化合物又は上記光硬化性化合物を含む場合、上記硬化促進剤は、光硬化促進剤を含むことが好ましい。 The curing accelerator preferably contains a photocuring accelerator. When the resin material contains the heat and photocurable compound or the photocurable compound, the curing accelerator preferably contains a photocuring accelerator.

反応性を高める観点からは、上記光硬化促進剤は、上記マレイミド化合物Yの吸収波長よりも、吸収波長が大きいか又は吸収波長が重ならない光硬化促進剤であることが好ましい。 From the viewpoint of enhancing the reactivity, the photocuring accelerator is preferably a photocuring accelerator having an absorption wavelength larger than the absorption wavelength of the maleimide compound Y or the absorption wavelengths not overlapping.

上記硬化促進剤の含有量は特に限定されない。樹脂材料中の無機充填材及び溶剤を除く成分100重量%中、上記硬化促進剤の含有量は、好ましくは0.01重量%以上、より好ましくは0.05重量%以上、好ましくは5重量%以下、より好ましくは3重量%以下である。上記硬化促進剤の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、樹脂材料が効率的に硬化する。上記硬化促進剤の含有量がより好ましい範囲であれば、樹脂材料の保存安定性がより一層高くなり、かつより一層良好な硬化物が得られる。 The content of the curing accelerator is not particularly limited. The content of the curing accelerator is preferably 0.01% by weight or more, more preferably 0.05% by weight or more, and preferably 5% by weight in 100% by weight of the components excluding the inorganic filler and the solvent in the resin material. Hereinafter, it is more preferably 3% by weight or less. When the content of the curing accelerator is at least the above lower limit and at least the above upper limit, the resin material is efficiently cured. If the content of the curing accelerator is in a more preferable range, the storage stability of the resin material becomes even higher, and a better cured product can be obtained.

[熱可塑性樹脂]
上記樹脂材料は、熱可塑性樹脂を含むことが好ましい。上記熱可塑性樹脂としては、ポリビニルアセタール樹脂、ポリイミド樹脂、フェノキシ樹脂及びスチレンブタジエン樹脂等が挙げられる。上記熱可塑性樹脂は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[Thermoplastic resin]
The resin material preferably contains a thermoplastic resin. Examples of the thermoplastic resin include polyvinyl acetal resin, polyimide resin, phenoxy resin, and styrene butadiene resin. Only one type of the above-mentioned thermoplastic resin may be used, or two or more types may be used in combination.

硬化環境によらず、誘電正接を効果的に低くし、かつ、金属配線の密着性を効果的に高める観点からは、上記熱可塑性樹脂は、フェノキシ樹脂であることが好ましい。フェノキシ樹脂の使用により、樹脂フィルムの回路基板の穴又は凹凸に対する埋め込み性の悪化及び無機充填材の不均一化が抑えられる。また、フェノキシ樹脂の使用により、溶融粘度を調整可能であるために無機充填材の分散性が良好になり、かつ硬化過程で、意図しない領域に樹脂組成物又はBステージ化物が濡れ拡がり難くなる。 The thermoplastic resin is preferably a phenoxy resin from the viewpoint of effectively lowering the dielectric loss tangent and effectively improving the adhesion of the metal wiring regardless of the curing environment. The use of the phenoxy resin suppresses deterioration of the embedding property of the resin film in the holes or irregularities of the circuit board and non-uniformity of the inorganic filler. Further, by using the phenoxy resin, the melt viscosity can be adjusted, so that the dispersibility of the inorganic filler is improved, and the resin composition or the B-staged product is less likely to wet and spread in an unintended region during the curing process.

上記樹脂材料に含まれているフェノキシ樹脂は特に限定されない。上記フェノキシ樹脂として、従来公知のフェノキシ樹脂を使用可能である。上記フェノキシ樹脂は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。 The phenoxy resin contained in the resin material is not particularly limited. As the phenoxy resin, a conventionally known phenoxy resin can be used. Only one type of the phenoxy resin may be used, or two or more types may be used in combination.

上記フェノキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールA型の骨格、ビスフェノールF型の骨格、ビスフェノールS型の骨格、ビフェニル骨格、ノボラック骨格、ナフタレン骨格及びイミド骨格などの骨格を有するフェノキシ樹脂等が挙げられる。 Examples of the phenoxy resin include phenoxy resins having skeletons such as bisphenol A type skeleton, bisphenol F type skeleton, bisphenol S type skeleton, biphenyl skeleton, novolak skeleton, naphthalene skeleton and imide skeleton.

上記フェノキシ樹脂の市販品としては、例えば、新日鉄住金化学社製の「YP50」、「YP55」及び「YP70」、並びに三菱化学社製の「1256B40」、「4250」、「4256H40」、「4275」、「YX6954BH30」及び「YX8100BH30」等が挙げられる。 Examples of commercially available phenoxy resins include "YP50", "YP55" and "YP70" manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Corporation, and "1256B40", "4250", "4256H40" and "4275" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation. , "YX6954BH30" and "YX8100BH30" and the like.

ハンドリング性、低粗度でのメッキピール強度及び絶縁層と金属層との密着性を高める観点から、上記熱可塑性樹脂は、ポリイミド樹脂(ポリイミド化合物)であることが好ましい。 The thermoplastic resin is preferably a polyimide resin (polyimide compound) from the viewpoint of improving handleability, plating peel strength at low roughness, and adhesion between the insulating layer and the metal layer.

溶解性を良好にする観点からは、上記ポリイミド化合物は、テトラカルボン酸二無水物とダイマージアミンとを反応させる方法によって得られたポリイミド化合物であることが好ましい。 From the viewpoint of improving the solubility, the polyimide compound is preferably a polyimide compound obtained by a method of reacting a tetracarboxylic dianhydride with a dimer diamine.

上記テトラカルボン酸二無水物としては、例えば、ピロメリット酸二無水物、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ジメチルジフェニルシランテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−テトラフェニルシランテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4−フランテトラカルボン酸二無水物、4,4’−ビス(3,4−ジカルボキシフェノキシ)ジフェニルスルフィド二無水物、4,4’−ビス(3,4−ジカルボキシフェノキシ)ジフェニルスルホン二無水物、4,4’−ビス(3,4−ジカルボキシフェノキシ)ジフェニルプロパン二無水物、3,3’,4,4’−パーフルオロイソプロピリデンジフタル酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ビス(フタル酸)フェニルホスフィンオキサイド二無水物、p−フェニレン−ビス(トリフェニルフタル酸)二無水物、m−フェニレン−ビス(トリフェニルフタル酸)二無水物、ビス(トリフェニルフタル酸)−4,4’−ジフェニルエーテル二無水物、及びビス(トリフェニルフタル酸)−4,4’−ジフェニルメタン二無水物等が挙げられる。 Examples of the tetracarboxylic dianhydride include pyromellitic dianhydride, 3,3', 4,4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 3,3', 4,4'-biphenylsulfonetetra. Carcarboxylic dianhydride, 1,4,5,8-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 3,3', 4,4'-biphenyl ether Tetetracarboxylic dianhydride, 3,3', 4,4'-dimethyldiphenylsilanetetracarboxylic dianhydride, 3,3', 4,4'-tetraphenylsilanetetracarboxylic dianhydride, 1,2 , 3,4-Flantetracarboxylic dianhydride, 4,4'-bis (3,4-dicarboxyphenoxy) diphenylsulfide dianhydride, 4,4'-bis (3,4-dicarboxyphenoxy) diphenyl Sethylene dianhydride, 4,4'-bis (3,4-dicarboxyphenoxy) diphenylpropane dianhydride, 3,3', 4,4'-perfluoroisopropyridenediphthalic dianhydride, 3,3 ', 4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, bis (phthalic acid) phenylphosphinoxide dianhydride, p-phenylene-bis (triphenylphthalic acid) dianhydride, m-phenylene-bis (triphenyl) Examples thereof include phthalic dianhydride, bis (triphenylphthalic acid) -4,4'-diphenyl ether dianhydride, and bis (triphenylphthalic acid) -4,4'-diphenylmethane dianhydride.

上記ダイマージアミンとしては、例えば、バーサミン551(商品名BASFジャパン社製、3,4−ビス(1−アミノヘプチル)−6−ヘキシル−5−(1−オクテニル)シクロヘキセン)、バーサミン552(商品名、コグニクスジャパン社製、バーサミン551の水添物)、PRIAMINE1075、PRIAMINE1074(商品名、いずれもクローダジャパン社製)等が挙げられる。 Examples of the dimer diamine include Versamine 551 (trade name: 3,4-bis (1-aminoheptyl) -6-hexyl-5- (1-octenyl) cyclohexene manufactured by BASF Japan Ltd.) and Versamine 552 (trade name: Examples thereof include Cognix Japan Co., Ltd., a hydrogenated product of Versamine 551), PRIAMINE1075, PRIAMINE1074 (trade name, all manufactured by Croda Japan Co., Ltd.) and the like.

なお、上記ポリイミド化合物は末端に、酸無水物構造、マレイミド構造、シトラコンイミド構造を有していてもよい。この場合には、上記ポリイミド化合物とエポキシ樹脂とを反応させることができる。上記ポリイミド化合物とエポキシ化合物とを反応させることにより、硬化物の熱寸法安定性を高めることができる。 The polyimide compound may have an acid anhydride structure, a maleimide structure, or a citraconimide structure at the terminal. In this case, the polyimide compound can be reacted with the epoxy resin. By reacting the polyimide compound with the epoxy compound, the thermal dimensional stability of the cured product can be improved.

保存安定性により一層優れた樹脂材料を得る観点からは、上記熱可塑性樹脂、上記ポリイミド樹脂及び上記フェノキシ樹脂の重量平均分子量は、好ましくは10000以上、より好ましくは15000以上、更に好ましくは20000以上、好ましくは100000以下、より好ましくは50000以下である。 From the viewpoint of obtaining a resin material having more excellent storage stability, the weight average molecular weights of the thermoplastic resin, the polyimide resin and the phenoxy resin are preferably 10,000 or more, more preferably 15,000 or more, still more preferably 20,000 or more. It is preferably 100,000 or less, more preferably 50,000 or less.

上記熱可塑性樹脂、上記ポリイミド樹脂及び上記フェノキシ樹脂の上記重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により測定されたポリスチレン換算での重量平均分子量を示す。 The weight average molecular weights of the thermoplastic resin, the polyimide resin, and the phenoxy resin indicate the polystyrene-equivalent weight average molecular weights measured by gel permeation chromatography (GPC).

上記熱可塑性樹脂、上記ポリイミド樹脂及び上記フェノキシ樹脂の含有量は特に限定されない。樹脂材料中の上記無機充填材及び上記溶剤を除く成分100重量%中、上記熱可塑性樹脂の含有量(熱可塑性樹脂がポリイミド樹脂又はフェノキシ樹脂である場合には、ポリイミド樹脂又はフェノキシ樹脂の含有量)は、好ましくは1重量%以上、より好ましくは2重量%以上、好ましくは30重量%以下、より好ましくは20重量%以下である。上記熱可塑性樹脂の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、樹脂材料の回路基板の穴又は凹凸に対する埋め込み性が良好になる。上記熱可塑性樹脂の含有量が上記下限以上であると、樹脂フィルムの形成がより一層容易になり、より一層良好な絶縁層が得られる。上記熱可塑性樹脂の含有量が上記上限以下であると、硬化物の熱膨張率がより一層低くなる。上記熱可塑性樹脂の含有量が上記上限以下であると、硬化物の表面の表面粗さがより一層小さくなり、硬化物と金属層との接着強度がより一層高くなる。 The contents of the thermoplastic resin, the polyimide resin, and the phenoxy resin are not particularly limited. The content of the thermoplastic resin in 100% by weight of the component excluding the inorganic filler and the solvent in the resin material (when the thermoplastic resin is a polyimide resin or a phenoxy resin, the content of the polyimide resin or the phenoxy resin). ) Is preferably 1% by weight or more, more preferably 2% by weight or more, preferably 30% by weight or less, and more preferably 20% by weight or less. When the content of the thermoplastic resin is at least the above lower limit and at least the above upper limit, the embedding property of the resin material in the holes or irregularities of the circuit board is improved. When the content of the thermoplastic resin is at least the above lower limit, the formation of the resin film becomes easier and a better insulating layer can be obtained. When the content of the thermoplastic resin is not more than the above upper limit, the coefficient of thermal expansion of the cured product becomes even lower. When the content of the thermoplastic resin is not more than the above upper limit, the surface roughness of the surface of the cured product is further reduced, and the adhesive strength between the cured product and the metal layer is further increased.

[溶剤]
上記樹脂材料は、溶剤を含まないか又は含む。上記溶剤の使用により、樹脂材料の粘度を好適な範囲に制御でき、樹脂材料の塗工性を高めることができる。また、上記溶剤は、上記無機充填材を含むスラリーを得るために用いられてもよい。上記溶剤は1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[solvent]
The resin material does not contain or contains a solvent. By using the above solvent, the viscosity of the resin material can be controlled in a suitable range, and the coatability of the resin material can be improved. Further, the solvent may be used to obtain a slurry containing the inorganic filler. Only one type of the solvent may be used, or two or more types may be used in combination.

上記溶剤としては、アセトン、メタノール、エタノール、ブタノール、2−プロパノール、2−メトキシエタノール、2−エトキシエタノール、1−メトキシ−2−プロパノール、2−アセトキシ−1−メトキシプロパン、トルエン、キシレン、メチルエチルケトン、N,N−ジメチルホルムアミド、メチルイソブチルケトン、N−メチル−ピロリドン、n−ヘキサン、シクロヘキサン、シクロヘキサノン及び混合物であるナフサ等が挙げられる。 Examples of the solvent include acetone, methanol, ethanol, butanol, 2-propanol, 2-methoxyethanol, 2-ethoxyethanol, 1-methoxy-2-propanol, 2-acetoxy-1-methoxypropane, toluene, xylene, and methyl ethyl ketone. Examples thereof include N, N-dimethylformamide, methyl isobutyl ketone, N-methyl-pyrrolidone, n-hexane, cyclohexane, cyclohexanone and naphtha as a mixture.

上記溶剤の多くは、上記樹脂組成物をフィルム状に成形するときに、除去されることが好ましい。従って、上記溶剤の沸点は好ましくは200℃以下、より好ましくは180℃以下である。上記樹脂組成物中の上記溶剤の含有量は特に限定されない。上記樹脂組成物の塗工性などを考慮して、上記溶剤の含有量は適宜変更可能である。 Most of the solvent is preferably removed when the resin composition is formed into a film. Therefore, the boiling point of the solvent is preferably 200 ° C. or lower, more preferably 180 ° C. or lower. The content of the solvent in the resin composition is not particularly limited. The content of the solvent can be appropriately changed in consideration of the coatability of the resin composition and the like.

上記樹脂材料がBステージフィルムである場合には、上記Bステージフィルム100重量%中、上記溶剤の含有量は、好ましくは1重量%以上、より好ましくは2重量%以上、好ましくは10重量%以下、より好ましくは5重量%以下である。 When the resin material is a B stage film, the content of the solvent in 100% by weight of the B stage film is preferably 1% by weight or more, more preferably 2% by weight or more, and preferably 10% by weight or less. , More preferably 5% by weight or less.

[他の成分]
耐衝撃性、耐熱性、樹脂の相溶性及び作業性等の改善を目的として、上記樹脂材料は、有機充填材、レベリング剤、難燃剤、カップリング剤、着色剤、酸化防止剤、紫外線劣化防止剤、消泡剤、増粘剤、及び揺変性付与剤等を含んでいてもよい。
[Other ingredients]
For the purpose of improving impact resistance, heat resistance, resin compatibility, workability, etc., the above resin materials include organic fillers, leveling agents, flame retardants, coupling agents, colorants, antioxidants, and UV deterioration prevention. It may contain an agent, a defoaming agent, a thickener, a rocking denaturing agent and the like.

上記有機充填材としては、ベンゾオキサジン樹脂、ベンゾオキサゾール樹脂、フッ素樹脂、アクリル樹脂及びスチレン樹脂等からなる粒子状物が挙げられる。上記フッ素樹脂としては、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)等が挙げられる。上記有機充填材としてフッ素樹脂粒子を用いることにより、硬化物の比誘電率をより一層低くすることができる。上記有機充填材の平均粒径は1μm以下であることが好ましい。上記有機充填材の平均粒径が上記上限以下であると、エッチング後の表面粗度を小さくし、かつメッキピール強度を高くすることができ、また、絶縁層と金属層との密着性をより一層高めることができる。上記有機充填材の平均粒径は、50nm以上であってもよい。 Examples of the organic filler include particulate matter made of benzoxazine resin, benzoxazole resin, fluororesin, acrylic resin, styrene resin and the like. Examples of the fluororesin include polytetrafluoroethylene (PTFE) and the like. By using fluororesin particles as the organic filler, the relative permittivity of the cured product can be further reduced. The average particle size of the organic filler is preferably 1 μm or less. When the average particle size of the organic filler is not more than the above upper limit, the surface roughness after etching can be reduced, the plating peel strength can be increased, and the adhesion between the insulating layer and the metal layer can be improved. It can be further enhanced. The average particle size of the organic filler may be 50 nm or more.

上記有機充填材の平均粒径として、50%となるメディアン径(d50)の値が採用される。上記平均粒径は、レーザー回折散乱方式の粒度分布測定装置を用いて測定可能である。 As the average particle size of the organic filler, a value of median diameter (d50) of 50% is adopted. The average particle size can be measured using a laser diffraction / scattering type particle size distribution measuring device.

上記カップリング剤としては、シランカップリング剤、チタンカップリング剤及びアルミニウムカップリング剤等が挙げられる。上記シランカップリング剤としては、ビニルシラン、アミノシラン、イミダゾールシラン及びエポキシシラン等が挙げられる。 Examples of the coupling agent include a silane coupling agent, a titanium coupling agent, an aluminum coupling agent, and the like. Examples of the silane coupling agent include vinylsilane, aminosilane, imidazolesilane, and epoxysilane.

(樹脂フィルム)
上述した樹脂組成物をフィルム状に成形することにより樹脂フィルム(Bステージ化物/Bステージフィルム)が得られる。上記樹脂材料は、樹脂フィルムであることが好ましい。樹脂フィルムは、Bステージフィルムであることが好ましい。
(Resin film)
A resin film (B-staged product / B-stage film) can be obtained by molding the above-mentioned resin composition into a film. The resin material is preferably a resin film. The resin film is preferably a B stage film.

樹脂組成物をフィルム状に成形して、樹脂フィルムを得る方法としては、以下の方法が挙げられる。押出機を用いて、樹脂組成物を溶融混練し、押出した後、Tダイ又はサーキュラーダイ等により、フィルム状に成形する押出成形法。溶剤を含む樹脂組成物をキャスティングしてフィルム状に成形するキャスティング成形法。従来公知のその他のフィルム成形法。薄型化に対応可能であることから、押出成形法又はキャスティング成形法が好ましい。フィルムにはシートが含まれる。 Examples of a method for obtaining a resin film by molding the resin composition into a film form include the following methods. An extrusion molding method in which a resin composition is melt-kneaded using an extruder, extruded, and then molded into a film by a T-die, a circular die, or the like. A casting molding method in which a resin composition containing a solvent is cast and molded into a film. Other conventionally known film forming methods. An extrusion molding method or a casting molding method is preferable because it can be made thinner. The film includes a sheet.

樹脂組成物をフィルム状に成形し、熱による硬化が進行し過ぎない程度に、例えば50℃〜150℃で1分間〜10分間加熱乾燥させることにより、Bステージフィルムである樹脂フィルムを得ることができる。 A resin film as a B-stage film can be obtained by molding the resin composition into a film and heating and drying it at 50 ° C. to 150 ° C. for 1 minute to 10 minutes to the extent that curing by heat does not proceed too much. it can.

上述のような乾燥工程により得ることができるフィルム状の樹脂組成物をBステージフィルムと称する。上記Bステージフィルムは、半硬化状態にある。半硬化物は、完全に硬化しておらず、硬化がさらに進行され得る。 The film-like resin composition that can be obtained by the drying step as described above is referred to as a B stage film. The B stage film is in a semi-cured state. The semi-cured product is not completely cured and can be further cured.

上記樹脂フィルムは、プリプレグでなくてもよい。上記樹脂フィルムがプリプレグではない場合には、ガラスクロス等に沿ってマイグレーションが生じなくなる。また、樹脂フィルムをラミネート又はプレキュアする際に、表面にガラスクロスに起因する凹凸が生じなくなる。 The resin film does not have to be a prepreg. When the resin film is not a prepreg, migration does not occur along the glass cloth or the like. Further, when the resin film is laminated or pre-cured, unevenness due to the glass cloth does not occur on the surface.

上記樹脂フィルムは、金属箔又は基材フィルムと、該金属箔又は該基材フィルムの表面に積層された樹脂フィルムとを備える積層フィルムの形態で用いることができる。上記金属箔は銅箔であることが好ましい。 The resin film can be used in the form of a laminated film including a metal foil or a base film and a resin film laminated on the surface of the metal foil or the base film. The metal foil is preferably a copper foil.

上記積層フィルムの上記基材フィルムとしては、ポリエチレンテレフタレートフィルム及びポリブチレンテレフタレートフィルム等のポリエステル樹脂フィルム、ポリエチレンフィルム及びポリプロピレンフィルム等のオレフィン樹脂フィルム、並びにポリイミド樹脂フィルム等が挙げられる。上記基材フィルムの表面は、必要に応じて、離型処理されていてもよい。 Examples of the base film of the laminated film include polyester resin films such as polyethylene terephthalate film and polybutylene terephthalate film, olefin resin films such as polyethylene film and polypropylene film, and polyimide resin films. The surface of the base film may be mold-released, if necessary.

樹脂フィルムの硬化度をより一層均一に制御する観点からは、上記樹脂フィルムの厚さは、好ましくは5μm以上であり、好ましくは200μm以下である。上記樹脂フィルムを回路の絶縁層として用いる場合、上記樹脂フィルムにより形成された絶縁層の厚さは、回路を形成する導体層(金属層)の厚さ以上であることが好ましい。上記絶縁層の厚さは、好ましくは5μm以上であり、好ましくは200μm以下である。 From the viewpoint of controlling the degree of curing of the resin film more uniformly, the thickness of the resin film is preferably 5 μm or more, preferably 200 μm or less. When the resin film is used as the insulating layer of the circuit, the thickness of the insulating layer formed by the resin film is preferably equal to or larger than the thickness of the conductor layer (metal layer) forming the circuit. The thickness of the insulating layer is preferably 5 μm or more, and preferably 200 μm or less.

(半導体装置、プリント配線板、銅張積層板及び多層プリント配線板)
上記樹脂材料は、半導体装置において半導体チップを埋め込むモールド樹脂を形成するために好適に用いられる。
(Semiconductor devices, printed wiring boards, copper-clad laminates and multilayer printed wiring boards)
The resin material is suitably used for forming a mold resin for embedding a semiconductor chip in a semiconductor device.

上記樹脂材料は、絶縁材料として好適に用いられる。上記樹脂材料は、プリント配線板において絶縁層を形成するために好適に用いられる。 The resin material is preferably used as an insulating material. The resin material is suitably used for forming an insulating layer in a printed wiring board.

上記プリント配線板は、例えば、上記樹脂材料を加熱加圧成形することにより得られる。 The printed wiring board can be obtained, for example, by heat-press molding the resin material.

上記樹脂フィルムに対して、片面又は両面に金属層を表面に有する積層対象部材を積層できる。金属層を表面に有する積層対象部材と、上記金属層の表面上に積層された樹脂フィルムとを備え、上記樹脂フィルムが、上述した樹脂材料である、積層構造体を好適に得ることができる。上記樹脂フィルムと上記金属層を表面に有する積層対象部材とを積層する方法は特に限定されず、公知の方法を用いることができる。例えば、平行平板プレス機又はロールラミネーター等の装置を用いて、加熱しながら又は加熱せずに加圧しながら、上記樹脂フィルムを、金属層を表面に有する積層対象部材に積層可能である。 A member to be laminated having a metal layer on one side or both sides can be laminated on the resin film. A laminated structure comprising a member to be laminated having a metal layer on its surface and a resin film laminated on the surface of the metal layer, and the resin film being the resin material described above can be preferably obtained. The method of laminating the resin film and the member to be laminated having the metal layer on the surface is not particularly limited, and a known method can be used. For example, using a device such as a parallel flat plate press or a roll laminator, the resin film can be laminated on a member to be laminated having a metal layer on the surface while pressurizing with or without heating.

上記金属層の材料は銅であることが好ましい。 The material of the metal layer is preferably copper.

上記金属層を表面に有する積層対象部材は、銅箔等の金属箔であってもよい。 The member to be laminated having the metal layer on the surface may be a metal foil such as a copper foil.

上記樹脂材料は、銅張積層板を得るために好適に用いられる。上記銅張積層板の一例として、銅箔と、該銅箔の一方の表面に積層された樹脂フィルムとを備える銅張積層板が挙げられる。 The resin material is preferably used to obtain a copper-clad laminate. An example of the copper-clad laminate is a copper-clad laminate comprising a copper foil and a resin film laminated on one surface of the copper foil.

上記銅張積層板の上記銅箔の厚さは特に限定されない。上記銅箔の厚さは、1μm〜50μmの範囲内であることが好ましい。また、上記樹脂材料の硬化物と銅箔との接着強度を高めるために、上記銅箔は微細な凹凸を表面に有することが好ましい。凹凸の形成方法は特に限定されない。上記凹凸の形成方法としては、公知の薬液を用いた処理による形成方法等が挙げられる。 The thickness of the copper foil of the copper-clad laminate is not particularly limited. The thickness of the copper foil is preferably in the range of 1 μm to 50 μm. Further, in order to increase the adhesive strength between the cured product of the resin material and the copper foil, it is preferable that the copper foil has fine irregularities on the surface. The method of forming the unevenness is not particularly limited. Examples of the method for forming the unevenness include a method for forming the unevenness by a treatment using a known chemical solution.

上記樹脂材料は、多層基板を得るために好適に用いられる。 The resin material is preferably used to obtain a multilayer substrate.

上記多層基板の一例として、回路基板と、該回路基板上に積層された絶縁層とを備える多層基板が挙げられる。この多層基板の絶縁層が、上記樹脂材料により形成されている。また、多層基板の絶縁層が、積層フィルムを用いて、上記積層フィルムの上記樹脂フィルムにより形成されていてもよい。上記絶縁層は、回路基板の回路が設けられた表面上に積層されていることが好ましい。上記絶縁層の一部は、上記回路間に埋め込まれていることが好ましい。 An example of the multilayer board is a multilayer board including a circuit board and an insulating layer laminated on the circuit board. The insulating layer of this multilayer substrate is formed of the above resin material. Further, the insulating layer of the multilayer substrate may be formed of the resin film of the laminated film by using the laminated film. The insulating layer is preferably laminated on the surface of the circuit board on which the circuit is provided. It is preferable that a part of the insulating layer is embedded between the circuits.

上記多層基板では、上記絶縁層の上記回路基板が積層された表面とは反対側の表面が粗化処理されていることが好ましい。 In the multilayer board, it is preferable that the surface of the insulating layer opposite to the surface on which the circuit board is laminated is roughened.

粗化処理方法は、従来公知の粗化処理方法を用いることができ、特に限定されない。上記絶縁層の表面は、粗化処理の前に膨潤処理されていてもよい。 As the roughening treatment method, a conventionally known roughening treatment method can be used and is not particularly limited. The surface of the insulating layer may be swelled before the roughening treatment.

また、上記多層基板は、上記絶縁層の粗化処理された表面に積層された銅めっき層をさらに備えることが好ましい。 Further, it is preferable that the multilayer substrate further includes a copper plating layer laminated on the roughened surface of the insulating layer.

また、上記多層基板の他の例として、回路基板と、該回路基板の表面上に積層された絶縁層と、該絶縁層の上記回路基板が積層された表面とは反対側の表面に積層された銅箔とを備える多層基板が挙げられる。上記絶縁層が、銅箔と該銅箔の一方の表面に積層された樹脂フィルムとを備える銅張積層板を用いて、上記樹脂フィルムを硬化させることにより形成されていることが好ましい。さらに、上記銅箔はエッチング処理されており、銅回路であることが好ましい。 Further, as another example of the multilayer board, the circuit board, the insulating layer laminated on the surface of the circuit board, and the insulating layer are laminated on the surface opposite to the surface on which the circuit board is laminated. Examples thereof include a multilayer substrate provided with a copper foil. It is preferable that the insulating layer is formed by curing the resin film using a copper-clad laminate having a copper foil and a resin film laminated on one surface of the copper foil. Further, the copper foil is etched and preferably a copper circuit.

上記多層基板の他の例として、回路基板と、該回路基板の表面上に積層された複数の絶縁層とを備える多層基板が挙げられる。上記回路基板上に配置された上記複数の絶縁層の内の少なくとも1層が、上記樹脂材料を用いて形成される。上記多層基板は、上記樹脂フィルムを用いて形成されている上記絶縁層の少なくとも一方の表面に積層されている回路をさらに備えることが好ましい。 As another example of the multilayer board, there is a multilayer board including a circuit board and a plurality of insulating layers laminated on the surface of the circuit board. At least one of the plurality of insulating layers arranged on the circuit board is formed by using the resin material. It is preferable that the multilayer substrate further includes a circuit laminated on at least one surface of the insulating layer formed by using the resin film.

多層基板のうち多層プリント配線板においては、低い誘電正接が求められ、絶縁層による高い絶縁信頼性が求められる。従って、本発明に係る樹脂材料は、多層プリント配線板において、絶縁層を形成するために好適に用いられる。 Among the multilayer boards, the multilayer printed wiring board is required to have a low dielectric loss tangent and high insulation reliability due to the insulating layer. Therefore, the resin material according to the present invention is suitably used for forming an insulating layer in a multilayer printed wiring board.

上記多層プリント配線板は、例えば、回路基板と、上記回路基板の表面上に配置された複数の絶縁層と、複数の上記絶縁層間に配置された金属層とを備える。上記絶縁層の内の少なくとも1層が、上記樹脂材料の硬化物である。 The multilayer printed wiring board includes, for example, a circuit board, a plurality of insulating layers arranged on the surface of the circuit board, and a metal layer arranged between the plurality of insulating layers. At least one of the insulating layers is a cured product of the resin material.

図1は、本発明の一実施形態に係る樹脂材料を用いた多層プリント配線板を模式的に示す断面図である。 FIG. 1 is a cross-sectional view schematically showing a multilayer printed wiring board using a resin material according to an embodiment of the present invention.

図1に示す多層プリント配線板11では、回路基板12の上面12aに、複数の絶縁層13〜16が積層されている。絶縁層13〜16は、硬化物層である。回路基板12の上面12aの一部の領域には、金属層17が形成されている。複数の絶縁層13〜16のうち、回路基板12側とは反対の外側の表面に位置する絶縁層16以外の絶縁層13〜15には、上面の一部の領域に金属層17が形成されている。金属層17は回路である。回路基板12と絶縁層13の間、及び積層された絶縁層13〜16の各層間に、金属層17がそれぞれ配置されている。下方の金属層17と上方の金属層17とは、図示しないビアホール接続及びスルーホール接続の内の少なくとも一方により互いに接続されている。 In the multilayer printed wiring board 11 shown in FIG. 1, a plurality of insulating layers 13 to 16 are laminated on the upper surface 12a of the circuit board 12. The insulating layers 13 to 16 are cured product layers. A metal layer 17 is formed in a part of the upper surface 12a of the circuit board 12. Of the plurality of insulating layers 13 to 16, the metal layer 17 is formed in a part of the upper surface of the insulating layers 13 to 15 other than the insulating layer 16 located on the outer surface opposite to the circuit board 12 side. ing. The metal layer 17 is a circuit. A metal layer 17 is arranged between the circuit board 12 and the insulating layer 13 and between the layers of the laminated insulating layers 13 to 16, respectively. The lower metal layer 17 and the upper metal layer 17 are connected to each other by at least one of a via hole connection and a through hole connection (not shown).

多層プリント配線板11では、絶縁層13〜16が、上記樹脂材料の硬化物により形成されている。本実施形態では、絶縁層13〜16の表面が粗化処理されているので、絶縁層13〜16の表面に図示しない微細な孔が形成されている。また、微細な孔の内部に金属層17が至っている。また、多層プリント配線板11では、金属層17の幅方向寸法(L)と、金属層17が形成されていない部分の幅方向寸法(S)とを小さくすることができる。また、多層プリント配線板11では、図示しないビアホール接続及びスルーホール接続で接続されていない上方の金属層と下方の金属層との間に、良好な絶縁信頼性が付与されている。 In the multilayer printed wiring board 11, the insulating layers 13 to 16 are formed of the cured product of the resin material. In the present embodiment, since the surfaces of the insulating layers 13 to 16 are roughened, fine holes (not shown) are formed on the surfaces of the insulating layers 13 to 16. Further, the metal layer 17 reaches the inside of the fine pores. Further, in the multilayer printed wiring board 11, the width direction dimension (L) of the metal layer 17 and the width direction dimension (S) of the portion where the metal layer 17 is not formed can be reduced. Further, in the multilayer printed wiring board 11, good insulation reliability is imparted between the upper metal layer and the lower metal layer which are not connected by via hole connection and through hole connection (not shown).

(粗化処理及び膨潤処理)
上記樹脂材料は、粗化処理又はデスミア処理される硬化物を得るために用いられることが好ましい。上記硬化物には、更に硬化が可能な予備硬化物も含まれる。
(Roughening treatment and swelling treatment)
The resin material is preferably used to obtain a cured product to be roughened or desmeared. The cured product also includes a pre-cured product that can be further cured.

上記樹脂材料を予備硬化させることにより得られた硬化物の表面に微細な凹凸を形成するために、硬化物は粗化処理されることが好ましい。粗化処理の前に、硬化物は膨潤処理されることが好ましい。硬化物は、予備硬化の後、かつ粗化処理される前に、膨潤処理されており、さらに粗化処理の後に硬化されていることが好ましい。ただし、硬化物は、必ずしも膨潤処理されなくてもよい。 The cured product is preferably roughened in order to form fine irregularities on the surface of the cured product obtained by pre-curing the resin material. Prior to the roughening treatment, the cured product is preferably swelled. It is preferable that the cured product is swelled and further cured after the roughening treatment after the pre-curing and before the roughening treatment. However, the cured product does not necessarily have to be swelled.

上記膨潤処理の方法としては、例えば、エチレングリコールなどを主成分とする化合物の水溶液又は有機溶媒分散溶液などにより、硬化物を処理する方法が用いられる。膨潤処理に用いる膨潤液は、一般にpH調整剤などとして、アルカリを含む。膨潤液は、水酸化ナトリウムを含むことが好ましい。具体的には、例えば、上記膨潤処理は、40重量%エチレングリコール水溶液等を用いて、処理温度30℃〜85℃で1分間〜30分間、硬化物を処理することにより行なわれる。上記膨潤処理の温度は50℃〜85℃の範囲内であることが好ましい。上記膨潤処理の温度が低すぎると、膨潤処理に長時間を要し、更に硬化物と金属層との接着強度が低くなる傾向がある。 As the method of the swelling treatment, for example, a method of treating the cured product with an aqueous solution of a compound containing ethylene glycol or the like as a main component or an organic solvent dispersion solution is used. The swelling liquid used for the swelling treatment generally contains an alkali as a pH adjuster or the like. The swelling liquid preferably contains sodium hydroxide. Specifically, for example, the swelling treatment is carried out by treating the cured product at a treatment temperature of 30 ° C. to 85 ° C. for 1 minute to 30 minutes using a 40 wt% ethylene glycol aqueous solution or the like. The temperature of the swelling treatment is preferably in the range of 50 ° C. to 85 ° C. If the temperature of the swelling treatment is too low, the swelling treatment takes a long time, and the adhesive strength between the cured product and the metal layer tends to be low.

上記粗化処理には、例えば、マンガン化合物、クロム化合物又は過硫酸化合物などの化学酸化剤等が用いられる。これらの化学酸化剤は、水又は有機溶剤が添加された後、水溶液又は有機溶媒分散溶液として用いられる。粗化処理に用いられる粗化液は、一般にpH調整剤などとしてアルカリを含む。粗化液は、水酸化ナトリウムを含むことが好ましい。 For the roughening treatment, for example, a chemical oxidizing agent such as a manganese compound, a chromium compound or a persulfate compound is used. These chemical oxidizing agents are used as an aqueous solution or an organic solvent dispersion solution after water or an organic solvent is added. The roughening solution used for the roughening treatment generally contains an alkali as a pH adjuster or the like. The roughening solution preferably contains sodium hydroxide.

上記マンガン化合物としては、過マンガン酸カリウム及び過マンガン酸ナトリウム等が挙げられる。上記クロム化合物としては、重クロム酸カリウム及び無水クロム酸カリウム等が挙げられる。上記過硫酸化合物としては、過硫酸ナトリウム、過硫酸カリウム及び過硫酸アンモニウム等が挙げられる。 Examples of the manganese compound include potassium permanganate and sodium permanganate. Examples of the chromium compound include potassium dichromate and anhydrous potassium chromate. Examples of the persulfate compound include sodium persulfate, potassium persulfate, ammonium persulfate and the like.

硬化物の表面の算術平均粗さRaは、好ましくは10nm以上であり、好ましくは300nm未満、より好ましくは200nm未満、更に好ましくは150nm未満である。この場合には、硬化物と金属層との接着強度が高くなり、更に絶縁層の表面により一層微細な配線が形成される。さらに、導体損失を抑えることができ、信号損失を低く抑えることができる。上記算術平均粗さRaは、JIS B0601:1994に準拠して測定される。 The arithmetic mean roughness Ra of the surface of the cured product is preferably 10 nm or more, preferably less than 300 nm, more preferably less than 200 nm, and further preferably less than 150 nm. In this case, the adhesive strength between the cured product and the metal layer is increased, and the surface of the insulating layer forms finer wiring. Further, the conductor loss can be suppressed, and the signal loss can be suppressed low. The arithmetic mean roughness Ra is measured according to JIS B0601: 1994.

(デスミア処理)
上記樹脂材料を予備硬化させることにより得られた硬化物に、貫通孔が形成されることがある。上記多層基板などでは、貫通孔として、ビア又はスルーホール等が形成される。例えば、ビアは、COレーザー等のレーザーの照射により形成できる。ビアの直径は特に限定されないが、60μm〜80μm程度である。上記貫通孔の形成により、ビア内の底部には、硬化物に含まれている樹脂成分に由来する樹脂の残渣であるスミアが形成されることが多い。
(Desmia processing)
Through holes may be formed in the cured product obtained by pre-curing the resin material. Vias, through holes, and the like are formed as through holes in the multilayer substrate and the like. For example, vias can be formed by irradiation with a laser such as a CO 2 laser. The diameter of the via is not particularly limited, but is about 60 μm to 80 μm. Due to the formation of the through holes, smear, which is a residue of the resin derived from the resin component contained in the cured product, is often formed at the bottom of the via.

上記スミアを除去するために、硬化物の表面は、デスミア処理されることが好ましい。デスミア処理が粗化処理を兼ねることもある。 In order to remove the smear, the surface of the cured product is preferably desmear-treated. The desmear treatment may also serve as the roughening treatment.

上記デスミア処理には、上記粗化処理と同様に、例えば、マンガン化合物、クロム化合物又は過硫酸化合物等の化学酸化剤等が用いられる。これらの化学酸化剤は、水又は有機溶剤が添加された後、水溶液又は有機溶媒分散溶液として用いられる。デスミア処理に用いられるデスミア処理液は、一般にアルカリを含む。デスミア処理液は、水酸化ナトリウムを含むことが好ましい。 In the desmear treatment, for example, a chemical oxidizing agent such as a manganese compound, a chromium compound or a persulfate compound is used in the same manner as in the roughening treatment. These chemical oxidizing agents are used as an aqueous solution or an organic solvent dispersion solution after water or an organic solvent is added. The desmear treatment liquid used for the desmear treatment generally contains an alkali. The desmear treatment solution preferably contains sodium hydroxide.

上記樹脂材料の使用により、デスミア処理された硬化物の表面の表面粗さが十分に小さくなる。 By using the above resin material, the surface roughness of the surface of the desmear-treated cured product is sufficiently reduced.

以下、実施例及び比較例を挙げることにより、本発明を具体的に説明する。本発明は、以下の実施例に限定されない。 Hereinafter, the present invention will be specifically described with reference to Examples and Comparative Examples. The present invention is not limited to the following examples.

以下の材料を用意した。 The following materials were prepared.

(マレイミド化合物X)
マレイミド化合物X−1:
以下の合成例1に従って、下記式(X−1)で表されるマレイミド化合物X−1(分子量12000)を合成した。
(Maleimide compound X)
Maleimide compound X-1:
A maleimide compound X-1 (molecular weight 12000) represented by the following formula (X-1) was synthesized according to the following Synthesis Example 1.

<合成例1>
500mLのナスフラスコに、105gのトルエンと、41gのN−メチル−2−ピロリドン(NMP)と、7gのメタンスルホン酸とを入れた。次いでダイマージアミン(クローダジャパン社製「PRIAMINE1075」)9.3g(23mmol)と、トリシクロデカンジアミン10.2g(53mmol)とを添加した。次いで、ピロメリット酸二無水物13.1g(60mmol)を少しずつ添加した。ディーンスターク装置にナスフラスコを取り付け、3.5時間加熱還流した。このようにして、両末端にアミンを有しかつ複数のイミド骨格を有する化合物を得た。縮合時に排出される水分を除去し、室温に戻した後、無水マレイン酸4.42g(45mmol)を加えて撹拌し、同様に加熱し反応させた。このようにして、両末端にマレイミド骨格を有する化合物を得た。有機層を、水とエタノールとの混合溶媒で洗浄した後、混合溶媒をエバポレータで除去して、トルエン溶液を得た。次いで、トルエン溶液にイソプロパノールを添加して生成物の再沈殿を行った。その後真空オーブンで乾燥させ、マレイミド化合物X−1を得た。なお、下記式(X−1)で表される構造はマレイミド化合物X−1の一例である。マレイミド化合物X−1は、例えば、下記式(X−1)で表される構造とはアミノ基の位置が異なる構造を有する化合物も含む混合物である。
<Synthesis example 1>
In a 500 mL eggplant flask, 105 g of toluene, 41 g of N-methyl-2-pyrrolidone (NMP), and 7 g of methanesulfonic acid were placed. Then, 9.3 g (23 mmol) of dimer diamine (“PRIAMINE 1075” manufactured by Croda Japan) and 10.2 g (53 mmol) of tricyclodecane diamine were added. Then, 13.1 g (60 mmol) of pyromellitic dianhydride was added little by little. An eggplant flask was attached to the Dean-Stark apparatus and heated to reflux for 3.5 hours. In this way, a compound having amines at both ends and having a plurality of imide skeletons was obtained. After removing the water discharged during the condensation and returning to room temperature, 4.42 g (45 mmol) of maleic anhydride was added, the mixture was stirred, and the mixture was similarly heated and reacted. In this way, a compound having a maleimide skeleton at both ends was obtained. The organic layer was washed with a mixed solvent of water and ethanol, and then the mixed solvent was removed with an evaporator to obtain a toluene solution. Isopropanol was then added to the toluene solution to reprecipitate the product. Then, it was dried in a vacuum oven to obtain maleimide compound X-1. The structure represented by the following formula (X-1) is an example of the maleimide compound X-1. The maleimide compound X-1 is, for example, a mixture containing a compound having a structure in which the position of the amino group is different from the structure represented by the following formula (X-1).

Figure 2021025050
Figure 2021025050

マレイミド化合物X−2:
以下の合成例2に従って、マレイミド化合物X−2(分子量3300)を合成した。
Maleimide compound X-2:
Maleimide compound X-2 (molecular weight 3300) was synthesized according to the following Synthesis Example 2.

<合成例2>
500mLのナスフラスコに、90gのトルエンと、46gのN−メチル−2−ピロリドン(NMP)とを入れ、9gのメタンスルホン酸とを入れた。次いで、トリシクロデカンジアミン15.6g(80mmol)を添加した。次いで、ピロメリット酸二無水物13.1g(60mmol)を少しずつ添加した。次いで、ディーンスターク装置にナスフラスコを取り付け、3.5時間加熱還流した。このようにして、末端に酸無水物構造を有しかつ複数のイミド骨格を有する化合物を得た。縮合時に排出される水分を除去し、室温に戻した後、無水マレイン酸4.42g(45mmol)を加えて撹拌し、同様に加熱して反応させた。次いで、有機層を、水とエタノールとの混合溶媒で洗浄した後、混合溶媒をエバポレータで除去して、トルエン溶液を得た。次いで、トルエン溶液にイソプロパノールを添加して生成物の再沈殿を行った。その後真空オーブンで乾燥させ、マレイミド化合物X−2を得た。
<Synthesis example 2>
In a 500 mL eggplant flask, 90 g of toluene, 46 g of N-methyl-2-pyrrolidone (NMP), and 9 g of methanesulfonic acid were placed. Then 15.6 g (80 mmol) of tricyclodecanediamine was added. Then, 13.1 g (60 mmol) of pyromellitic dianhydride was added little by little. The eggplant flask was then attached to the Dean-Stark apparatus and heated to reflux for 3.5 hours. In this way, a compound having an acid anhydride structure at the terminal and having a plurality of imide skeletons was obtained. After removing the water discharged during the condensation and returning to room temperature, 4.42 g (45 mmol) of maleic anhydride was added and stirred, and the reaction was carried out in the same manner. Then, the organic layer was washed with a mixed solvent of water and ethanol, and then the mixed solvent was removed with an evaporator to obtain a toluene solution. Isopropanol was then added to the toluene solution to reprecipitate the product. Then, it was dried in a vacuum oven to obtain maleimide compound X-2.

合成例1,2で合成したマレイミド化合物Xの分子量は、以下のようにして求めた。 The molecular weight of the maleimide compound X synthesized in Synthesis Examples 1 and 2 was determined as follows.

GPC(ゲルパーミエーションクロマトグラフィー)測定:
島津製作所社製高速液体クロマトグラフシステムを使用し、テトラヒドロフラン(THF)を展開媒として、カラム温度40℃、流速1.0ml/分で測定を行った。検出器として「SPD−10A」を用い、カラムはShodex社製「KF−804L」(排除限界分子量400,000)を2本直列につないで使用した。標準ポリスチレンとして、東ソー社製「TSKスタンダードポリスチレン」を用い、重量平均分子量Mw=354,000、189,000、98,900、37,200、17,100、9,830、5,870、2,500、1,050、500の物質を使用して較正曲線を作成し、分子量の計算を行った。
GPC (Gel Permeation Chromatography) Measurement:
A high performance liquid chromatograph system manufactured by Shimadzu Corporation was used, and measurement was carried out using tetrahydrofuran (THF) as a developing medium at a column temperature of 40 ° C. and a flow rate of 1.0 ml / min. "SPD-10A" was used as a detector, and two columns of "KF-804L" manufactured by Shodex (exclusion limit molecular weight: 400,000) were connected in series. Tosoh's "TSK standard polystyrene" is used as the standard polystyrene, and the weight average molecular weight Mw = 354,000, 189,000, 98,900, 37,200, 17,100, 9,830, 5,870, 2, Calibration curves were made using 500, 1,050, and 500 materials and the molecular weight was calculated.

(熱硬化性化合物)
マレイミド化合物Y−1:
以下の合成例3に従って、マレイミド化合物Y−1(分子量17500)を合成した。
(Thermosetting compound)
Maleimide compound Y-1:
Maleimide compound Y-1 (molecular weight 17500) was synthesized according to the following Synthesis Example 3.

<合成例3>
500mLのナスフラスコに、105gのトルエンと、41gのN−メチル−2−ピロリドン(NMP)と、7gのメタンスルホン酸とを入れた。トリシクロデカンジアミンを15.5g(80mmol)ダイマージアミン(クローダジャパン社製「PRIAMINE1075」)を32.8g(80mmol)添加した。次いで、4,4’−(4,4’−イソプロピリデンジフェノキシ)ジフタル酸無水物62.5g(120mmol)を少しずつ添加した。次いで、ディーンスターク装置にナスフラスコを取り付け、3.5時間加熱還流した。このようにして、末端に酸無水物構造を有しかつ複数のイミド骨格を有する化合物を得た。縮合時に排出される水分を除去し、室温に戻した後、無水マレイン酸を8.83g(90mmol)加えて撹拌し、同様に加熱して反応させた。次いで、有機層を、水とエタノールとの混合溶媒で洗浄した後、混合溶媒をエバポレータで除去して、トルエン溶液を得た。次いで、トルエン溶液にイソプロパノールを添加して生成物の再沈殿を行った。その後真空オーブンで乾燥させ、マレイミド化合物Y−1を得た。
<Synthesis example 3>
In a 500 mL eggplant flask, 105 g of toluene, 41 g of N-methyl-2-pyrrolidone (NMP), and 7 g of methanesulfonic acid were placed. 15.5 g (80 mmol) of tricyclodecanediamine and 32.8 g (80 mmol) of dimer diamine (“PRIAMINE 1075” manufactured by Croda Japan) were added. Then, 62.5 g (120 mmol) of 4,4'-(4,4'-isopropyridene diphenoxy) diphthalic anhydride was added little by little. The eggplant flask was then attached to the Dean-Stark apparatus and heated to reflux for 3.5 hours. In this way, a compound having an acid anhydride structure at the terminal and having a plurality of imide skeletons was obtained. After removing the water discharged during the condensation and returning to room temperature, 8.83 g (90 mmol) of maleic anhydride was added and stirred, and the reaction was carried out in the same manner. Then, the organic layer was washed with a mixed solvent of water and ethanol, and then the mixed solvent was removed with an evaporator to obtain a toluene solution. Isopropanol was then added to the toluene solution to reprecipitate the product. Then, it was dried in a vacuum oven to obtain maleimide compound Y-1.

N−アルキルビスマレイミド化合物(Designer Molecules Inc.製「BMI−1500」、マレイミド化合物Y)
ビフェニル型エポキシ化合物(日本化薬社製「NC−3000」)
ナフタレン型エポキシ化合物(新日鉄住金化学社製「ESN−475V」)
レゾルシノールジグリシジルエーテル(ナガセケムテックス社製「EX−201」)
多分岐脂肪族エポキシ化合物(日産化学社製「FoldiE101」)
N-alkylbismaleimide compound (“BMI-1500” manufactured by Designer Molecules Inc., maleimide compound Y)
Biphenyl type epoxy compound ("NC-3000" manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)
Naphthalene type epoxy compound ("ESN-475V" manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd.)
Resorcinol diglycidyl ether (“EX-201” manufactured by Nagase ChemteX Corporation)
Multi-branched aliphatic epoxy compound (Nissan Chemical Industries, Ltd. "Foldi E101")

(無機充填材)
シリカ含有スラリー(シリカ75重量%:アドマテックス社製「SC4050−HOA」、平均粒径1.0μm、アミノシラン処理、シクロヘキサノン25重量%)
(Inorganic filler)
Silica-containing slurry (silica 75% by weight: "SC4050-HOA" manufactured by Admatex, average particle size 1.0 μm, aminosilane treatment, cyclohexanone 25% by weight)

(硬化剤)
活性エステル化合物1含有液(DIC社製「EXB−9416−70BK」、固形分70重量%)
活性エステル化合物2含有液(DIC社製「HPC−8150−62T」、固形分62重量%)
フェノール化合物含有液(DIC社製「LA−1356」、固形分60重量%)
(Hardener)
Liquid containing 1 active ester compound (“EXB-9416-70BK” manufactured by DIC Corporation, solid content 70% by weight)
Active ester compound 2 containing liquid (DIC Corporation "HPC-8150-62T", solid content 62% by weight)
Phenol compound-containing liquid ("LA-1356" manufactured by DIC Corporation, solid content 60% by weight)

(硬化促進剤)
ジメチルアミノピリジン(和光純薬工業社製「DMAP」)
2−フェニル−4−メチルイミダゾール(四国化成工業社製「2P4MZ」、アニオン性硬化促進剤)
(Curing accelerator)
Dimethylaminopyridine ("DMAP" manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.)
2-Phenyl-4-methylimidazole ("2P4MZ" manufactured by Shikoku Chemicals Corporation, anionic curing accelerator)

(熱可塑性樹脂)
ポリイミド化合物(ポリイミド樹脂):
テトラカルボン酸二無水物とダイマージアミンとの反応物であるポリイミド化合物含有溶液(不揮発分26.8重量%)を以下の合成例4に従って合成した。
(Thermoplastic resin)
Polyimide compound (polyimide resin):
A polyimide compound-containing solution (nonvolatile content 26.8% by weight), which is a reaction product of tetracarboxylic dianhydride and dimer diamine, was synthesized according to the following Synthesis Example 4.

<合成例4>
撹拌機、分水器、温度計及び窒素ガス導入管を備えた反応容器に、テトラカルボン酸二無水物(SABICジャパン合同会社製「BisDA−1000」)300.0gと、シクロヘキサノン665.5gとを入れ、反応容器中の溶液を60℃まで加熱した。次いで、反応容器中に、ダイマージアミン(クローダジャパン社製「PRIAMINE1075」)89.0gと、1,3−ビスアミノメチルシクロヘキサン(三菱ガス化学社製)54.7gとを滴下した。次いで、反応容器中に、メチルシクロヘキサン121.0gと、エチレングリコールジメチルエーテル423.5gとを添加し、140℃で10時間かけてイミド化反応を行った。このようにして、ポリイミド化合物含有溶液(不揮発分26.8重量%)を得た。得られたポリイミド化合物の分子量(重量平均分子量)は20000であった。なお、酸成分/アミン成分のモル比は1.04であった。
<Synthesis example 4>
300.0 g of tetracarboxylic dianhydride (“BisDA-1000” manufactured by SABIC Japan GK) and 665.5 g of cyclohexanone were placed in a reaction vessel equipped with a stirrer, a water divider, a thermometer and a nitrogen gas introduction tube. And the solution in the reaction vessel was heated to 60 ° C. Next, 89.0 g of dimer diamine (“PRIAMINE 1075” manufactured by Croda Japan) and 54.7 g of 1,3-bisaminomethylcyclohexane (manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Company) were added dropwise to the reaction vessel. Next, 121.0 g of methylcyclohexane and 423.5 g of ethylene glycol dimethyl ether were added to the reaction vessel, and an imidization reaction was carried out at 140 ° C. for 10 hours. In this way, a polyimide compound-containing solution (nonvolatile content 26.8% by weight) was obtained. The molecular weight (weight average molecular weight) of the obtained polyimide compound was 20000. The molar ratio of the acid component / amine component was 1.04.

合成例4で合成したポリイミド化合物の分子量は、以下のようにして求めた。 The molecular weight of the polyimide compound synthesized in Synthesis Example 4 was determined as follows.

GPC(ゲルパーミエーションクロマトグラフィー)測定:
島津製作所社製高速液体クロマトグラフシステムを使用し、テトラヒドロフラン(THF)を展開媒として、カラム温度40℃、流速1.0ml/分で測定を行った。検出器として「SPD−10A」を用い、カラムはShodex社製「KF−804L」(排除限界分子量400,000)を2本直列につないで使用した。標準ポリスチレンとして、東ソー社製「TSKスタンダードポリスチレン」を用い、重量平均分子量Mw=354,000、189,000、98,900、37,200、17,100、9,830、5,870、2,500、1,050、500の物質を使用して較正曲線を作成し、分子量の計算を行った。
GPC (Gel Permeation Chromatography) Measurement:
A high performance liquid chromatograph system manufactured by Shimadzu Corporation was used, and measurement was carried out using tetrahydrofuran (THF) as a developing medium at a column temperature of 40 ° C. and a flow rate of 1.0 ml / min. "SPD-10A" was used as a detector, and two columns of "KF-804L" manufactured by Shodex (exclusion limit molecular weight: 400,000) were connected in series. Tosoh's "TSK standard polystyrene" is used as the standard polystyrene, and the weight average molecular weight Mw = 354,000, 189,000, 98,900, 37,200, 17,100, 9,830, 5,870, 2, Calibration curves were made using 500, 1,050, and 500 materials and the molecular weight was calculated.

(実施例1,2及び比較例1,2)
下記の表1に示す成分を下記の表1に示す配合量(単位は固形分重量部)で配合し、均一な溶液となるまで常温で撹拌し、樹脂材料を得た。
(Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 and 2)
The components shown in Table 1 below were blended in the blending amounts shown in Table 1 below (unit: parts by weight of solid content) and stirred at room temperature until a uniform solution was obtained to obtain a resin material.

樹脂フィルムの作製:
アプリケーターを用いて、離型処理されたPETフィルム(東レ社製「XG284」、厚み25μm)の離型処理面上に得られた樹脂材料を塗工した後、100℃のギヤオーブン内で2分30秒間乾燥し、溶剤を揮発させた。このようにして、PETフィルム上に、厚さが40μmである樹脂フィルム(Bステージフィルム)が積層されている積層フィルム(PETフィルムと樹脂フィルムとの積層フィルム)を得た。
Preparation of resin film:
After applying the obtained resin material on the release-treated surface of the release-treated PET film (Toray Industries, Inc. "XG284", thickness 25 μm) using an applicator, 2 minutes in a gear oven at 100 ° C. It was dried for 30 seconds to volatilize the solvent. In this way, a laminated film (laminated film of PET film and resin film) in which a resin film (B stage film) having a thickness of 40 μm is laminated on the PET film was obtained.

(評価)
(1)マレイミド化合物含有液の曇り度
マレイミド化合物(マレイミド化合物X−1、マレイミド化合物X−2、マレイミド化合物Y−1、N−アルキルビスマレイミド化合物)5重量%と、シクロヘキサノン95重量%とを混合した後、十分に撹拌して、第1のマレイミド化合物含有液を調製した。また、マレイミド化合物(マレイミド化合物X−1、マレイミド化合物X−2、マレイミド化合物Y−1、N−アルキルビスマレイミド化合物)10重量%と、シクロヘキサノン90重量%とを混合した後、十分に撹拌して、第2のマレイミド化合物含有液を調製した。
(Evaluation)
(1) Cloudiness of Maleimide Compound-Containing Solution 5% by weight of maleimide compound (maleimide compound X-1, maleimide compound X-2, maleimide compound Y-1, N-alkylbismaleimide compound) and 95% by weight of cyclohexanone are mixed. Then, the mixture was sufficiently stirred to prepare a first maleimide compound-containing solution. Further, 10% by weight of the maleimide compound (maleimide compound X-1, maleimide compound X-2, maleimide compound Y-1, N-alkylbismaleimide compound) and 90% by weight of cyclohexanone were mixed and then sufficiently stirred. , A second maleimide compound-containing solution was prepared.

得られた第1,第2のマレイミド化合物含有液を石英セル(光路長1cm)に入れ、ヘーズメーター(村上色彩技術研究所製「HM−150」)内に設置し、曇り度を測定した。 The obtained first and second maleimide compound-containing liquids were placed in a quartz cell (optical path length 1 cm), placed in a haze meter (“HM-150” manufactured by Murakami Color Technology Research Institute), and the degree of cloudiness was measured.

(2)凹凸表面に対する埋め込み性、及び、過度の濡れ拡がり防止性(はみ出し防止性)
100mm角の銅張積層板(厚さ400μmのガラスエポキシ基板と厚さ25μmの銅箔との積層体)の銅箔のみをエッチングして、直径100μm及び深さ25μmの窪み(開口部)を、基板の中心30mm角のエリアに対して直線上にかつ隣接する穴の中心の間隔が900μmになるように開けた。このようにして、計900穴の窪みを持つ評価基板を準備した。
(2) Embedding property on uneven surface and prevention of excessive wetting and spreading (prevention of protrusion)
Only the copper foil of a 100 mm square copper-clad laminate (a laminate of a glass epoxy substrate with a thickness of 400 μm and a copper foil with a thickness of 25 μm) is etched to form a recess (opening) with a diameter of 100 μm and a depth of 25 μm. The holes were formed so that the distance between the centers of the holes linearly and adjacent to the 30 mm square area of the center of the substrate was 900 μm. In this way, an evaluation substrate having a total of 900 holes was prepared.

得られた積層フィルムの樹脂フィルム側を評価基板上に重ねて、名機製作所社製「バッチ式真空ラミネーターMVLP−500−IIA」を用い、ラミネート圧0.4MPaで20秒、プレス圧力0.8MPaで20秒、ラミネート及びプレスの温度90℃で加熱加圧した。常温で冷却した後、PETフィルムを剥離した。このようにして、評価基板上に樹脂フィルムが積層された評価サンプルを得た。 The resin film side of the obtained laminated film was laminated on the evaluation substrate, and using "Batch type vacuum laminator MVLP-500-IIA" manufactured by Meiki Co., Ltd., the lamination pressure was 0.4 MPa for 20 seconds and the press pressure was 0.8 MPa. The film was heated and pressurized at a temperature of 90 ° C. for laminating and pressing for 20 seconds. After cooling at room temperature, the PET film was peeled off. In this way, an evaluation sample in which a resin film was laminated on the evaluation substrate was obtained.

得られた評価サンプルについて光学顕微鏡を用いて、窪みの中のボイドを観察した。ボイドが観察された窪みの割合を評価することによって、凹凸表面に対する埋め込み性を下記の基準で判定した。 The voids in the depressions were observed using an optical microscope for the obtained evaluation sample. By evaluating the proportion of dents in which voids were observed, the embedding property in the uneven surface was determined according to the following criteria.

[凹凸表面に対する埋め込み性の判定基準]
○:ボイドが観察された窪みの割合0%
△:ボイドが観察された窪みの割合0%を超え5%未満
×:ボイドが観察された窪みの割合5%以上
[Criteria for embedding on uneven surfaces]
◯: Percentage of dents in which voids were observed 0%
Δ: Percentage of dents with observed voids Exceeding 0% and less than 5% ×: Percentage of dents with observed voids 5% or more

得られた評価サンプルについて光学顕微鏡を用いて、基板上の所定の領域から、樹脂フィルムがはみ出しているか否かを観察して、はみ出し防止性を以下の基準で判定した。 With respect to the obtained evaluation sample, it was observed whether or not the resin film protruded from a predetermined region on the substrate using an optical microscope, and the protrusion prevention property was judged according to the following criteria.

[はみ出し防止性の判定基準]
○:ラミネート後の評価基板周辺部からの樹脂フィルムのはみ出しが2mm以下
△:ラミネート後の評価基板周辺部からの樹脂フィルムのはみ出しが2mmを超え3mm以下
×:ラミネート後の評価基板周辺部からの樹脂フィルムのはみ出しが3mmを超える
[Criteria for preventing protrusion]
◯: The protrusion of the resin film from the peripheral part of the evaluation substrate after lamination is 2 mm or less Δ: The protrusion of the resin film from the peripheral part of the evaluation substrate after lamination is more than 2 mm and 3 mm or less ×: From the peripheral part of the evaluation substrate after lamination The protrusion of the resin film exceeds 3 mm

(3)アンジュレーション
厚さ18μmの銅層に縦1mm×横2mmの矩形の範囲がエッチングされるようにマスクをつけて、銅をエッチングすることで、1mm×2mmの矩形状の窪みを有する100mm角の基板を用意した。この基板の銅箔面の両面をメック社製「Cz8101」に浸漬して、銅箔の表面を粗化処理した。名機製作所社製「バッチ式真空ラミネーターMVLP−500−IIA」を用いて、粗化処理された基板の両面に、積層フィルムの樹脂フィルム(Bステージフィルム)側を基板上に重ねてラミネートして、積層構造体を得た。ラミネートの条件は、30秒減圧して気圧を13hPa以下とし、その後30秒間、100℃及び圧力0.7MPaでラミネートし、更にプレス圧力0.8MPa及びプレス温度100℃で60秒間プレスした。PETフィルムを剥離して、100℃で30分間加熱した後、180℃で30分間さらに加熱し、樹脂フィルムを半硬化させた。銅パターンが存在する部分の樹脂フィルムの半硬化物の表面(基板とは反対側の表面)と、銅パターンが存在しない部分の樹脂フィルム半硬化物の表面(基板とは反対側の表面)とを観察し、光学式段差計を用いて、隣り合う凹部部分と凸部部分との高低差の最大値をアンジュレーションの値として採用した。
(3) Undulation A mask is attached to a copper layer having a thickness of 18 μm so that a rectangular area of 1 mm in length × 2 mm in width is etched, and the copper is etched to have a rectangular recess of 1 mm × 2 mm. A corner board was prepared. Both sides of the copper foil surface of this substrate were immersed in "Cz8101" manufactured by MEC to roughen the surface of the copper foil. Using "Batch type vacuum laminator MVLP-500-IIA" manufactured by Meiki Co., Ltd., the resin film (B stage film) side of the laminated film is laminated on both sides of the roughened substrate. , A laminated structure was obtained. The laminating conditions were such that the pressure was reduced for 30 seconds to reduce the atmospheric pressure to 13 hPa or less, then laminating at 100 ° C. and pressure 0.7 MPa for 30 seconds, and further pressing at a press pressure of 0.8 MPa and a press temperature of 100 ° C. for 60 seconds. The PET film was peeled off and heated at 100 ° C. for 30 minutes, and then further heated at 180 ° C. for 30 minutes to semi-cure the resin film. The surface of the semi-cured resin film (the surface opposite to the substrate) where the copper pattern is present, and the surface of the semi-cured resin film (the surface opposite the substrate) where the copper pattern is not present. Was observed, and the maximum value of the height difference between the adjacent concave portion and the convex portion was adopted as the undulation value using an optical step meter.

[アンジュレーションの判定基準]
○:アンジュレーションの値が2μm以下
×:アンジュレーションの値が2μmを超える
[Criteria for undulation]
◯: The undulation value is 2 μm or less ×: The undulation value exceeds 2 μm

組成及び結果を下記の表1に示す。 The composition and results are shown in Table 1 below.

Figure 2021025050
Figure 2021025050

11…多層プリント配線板
12…回路基板
12a…上面
13〜16…絶縁層
17…金属層
11 ... Multi-layer printed wiring board 12 ... Circuit board 12a ... Top surface 13-16 ... Insulation layer 17 ... Metal layer

Claims (16)

マレイミド化合物と、硬化促進剤とを含み、
前記マレイミド化合物5重量%とシクロヘキサノン95重量%とを含むマレイミド化合物含有液を得たときに、前記マレイミド化合物は、前記マレイミド化合物含有液の曇り度が5%以上である性質を示すマレイミド化合物であり、
樹脂材料中の無機充填材及び溶剤を除く成分100重量%中、前記マレイミド化合物の含有量が5重量%以上である、樹脂材料。
Contains a maleimide compound and a curing accelerator
When a maleimide compound-containing liquid containing 5% by weight of the maleimide compound and 95% by weight of cyclohexanone is obtained, the maleimide compound is a maleimide compound exhibiting a property that the degree of cloudiness of the maleimide compound-containing liquid is 5% or more. ,
A resin material in which the content of the maleimide compound is 5% by weight or more in 100% by weight of the components excluding the inorganic filler and the solvent in the resin material.
前記マレイミド化合物の重量平均分子量が1000以上50000以下である、請求項1に記載の樹脂材料。 The resin material according to claim 1, wherein the maleimide compound has a weight average molecular weight of 1000 or more and 50,000 or less. 前記マレイミド化合物が、下記式(X)で表される構造を有する、請求項1又は2に記載の樹脂材料。
Figure 2021025050
前記式(X)中、R1は、4価の有機基を表す。
The resin material according to claim 1 or 2, wherein the maleimide compound has a structure represented by the following formula (X).
Figure 2021025050
In the formula (X), R1 represents a tetravalent organic group.
前記マレイミド化合物が、脂肪族ジアミン化合物に由来する骨格を有する、請求項1〜3のいずれか1項に記載の樹脂材料。 The resin material according to any one of claims 1 to 3, wherein the maleimide compound has a skeleton derived from an aliphatic diamine compound. 前記脂肪族ジアミン化合物が、シクロヘキサン骨格を含む環構造を有する、請求項4に記載の樹脂材料。 The resin material according to claim 4, wherein the aliphatic diamine compound has a ring structure containing a cyclohexane skeleton. 熱可塑性樹脂を含み、
前記熱可塑性樹脂の重量平均分子量が20000以上である、請求項1〜5のいずれか1項に記載の樹脂材料。
Contains thermoplastic resin
The resin material according to any one of claims 1 to 5, wherein the thermoplastic resin has a weight average molecular weight of 20,000 or more.
前記硬化促進剤が、光硬化促進剤を含む、請求項1〜6のいずれか1項に記載の樹脂材料。 The resin material according to any one of claims 1 to 6, wherein the curing accelerator contains a photocuring accelerator. 硬化性化合物を含み、
前記硬化性化合物が、重量平均分子量が1500未満である硬化性化合物を含む、請求項1〜7のいずれか1項に記載の樹脂材料。
Contains curable compounds
The resin material according to any one of claims 1 to 7, wherein the curable compound contains a curable compound having a weight average molecular weight of less than 1500.
熱硬化性化合物と、硬化剤とを含み、
前記熱硬化性化合物が、エポキシ化合物を含む、請求項1〜8のいずれか1項に記載の樹脂材料。
Contains thermosetting compounds and curing agents
The resin material according to any one of claims 1 to 8, wherein the thermosetting compound contains an epoxy compound.
前記硬化剤が、活性エステル化合物を含む、請求項9に記載の樹脂材料。 The resin material according to claim 9, wherein the curing agent contains an active ester compound. 無機充填材を含む、請求項1〜10のいずれか1項に記載の樹脂材料。 The resin material according to any one of claims 1 to 10, which comprises an inorganic filler. 樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、前記無機充填材の含有量が50重量%以上である、請求項11に記載の樹脂材料。 The resin material according to claim 11, wherein the content of the inorganic filler is 50% by weight or more in 100% by weight of the component excluding the solvent in the resin material. 前記無機充填材がシリカである、請求項11又は12に記載の樹脂材料。 The resin material according to claim 11 or 12, wherein the inorganic filler is silica. 樹脂フィルムである、請求項1〜13のいずれか1項に記載の樹脂材料。 The resin material according to any one of claims 1 to 13, which is a resin film. 多層プリント配線板において、絶縁層を形成するために用いられる、請求項1〜14のいずれか1項に記載の樹脂材料。 The resin material according to any one of claims 1 to 14, which is used for forming an insulating layer in a multilayer printed wiring board. 回路基板と、
前記回路基板の表面上に配置された複数の絶縁層と、
複数の前記絶縁層間に配置された金属層とを備え、
複数の前記絶縁層の内の少なくとも1層が、請求項1〜15のいずれか1項に記載の樹脂材料の硬化物である、多層プリント配線板。
With the circuit board
A plurality of insulating layers arranged on the surface of the circuit board,
With a plurality of metal layers arranged between the insulating layers,
A multilayer printed wiring board in which at least one of the plurality of insulating layers is a cured product of the resin material according to any one of claims 1 to 15.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2022201621A1 (en) * 2021-03-25 2022-09-29 日本化薬株式会社 Resin composition, resin sheet, multilayer printed wiring board, and semiconductor device

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