JP2020094213A - Resin material and multilayer printed wiring board - Google Patents

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JP2020094213A JP2019222807A JP2019222807A JP2020094213A JP 2020094213 A JP2020094213 A JP 2020094213A JP 2019222807 A JP2019222807 A JP 2019222807A JP 2019222807 A JP2019222807 A JP 2019222807A JP 2020094213 A JP2020094213 A JP 2020094213A
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悠子 川原
Yuko Kawahara
悠子 川原
達史 林
Tatsuji Hayashi
達史 林
顕紀子 久保
Akiko Kubo
顕紀子 久保
前中 寛
Hiroshi Maenaka
寛 前中
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Abstract

To provide a resin material which 1) can lower a dielectric loss tangent of a cured product, 2) raises a glass transition temperature of the cured product, 3) enhances thermal dimensional stability of the cured product, 4) reduces sidelobes, and 5) can reduce surface roughness after etching.SOLUTION: A resin material contains an epoxy compound having a naphthylene ether skeleton, and an active ester compound having a naphthylene ether skeleton, in which a combination of the epoxy compound and the active ester compound is a first specific combination, a second specific combination or a third specific combination.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、エポキシ化合物を含む樹脂材料に関する。また、本発明は、上記樹脂材料を用いた多層プリント配線板に関する。 The present invention relates to a resin material containing an epoxy compound. The present invention also relates to a multilayer printed wiring board using the above resin material.

従来、半導体装置、積層板及びプリント配線板等の電子部品を得るために、様々な樹脂材料が用いられている。例えば、多層プリント配線板では、内部の層間を絶縁するための絶縁層を形成したり、表層部分に位置する絶縁層を形成したりするために、樹脂材料が用いられている。上記絶縁層の表面には、一般に金属である配線が積層される。また、上記絶縁層を形成するために、上記樹脂材料がフィルム化された樹脂フィルムが用いられることがある。上記樹脂材料及び上記樹脂フィルムは、ビルドアップフィルムを含む多層プリント配線板用の絶縁材料等として用いられている。 Conventionally, various resin materials have been used to obtain electronic components such as semiconductor devices, laminated boards and printed wiring boards. For example, in a multilayer printed wiring board, a resin material is used to form an insulating layer for insulating the inner layers or to form an insulating layer located on the surface layer portion. Wiring, which is generally metal, is laminated on the surface of the insulating layer. Further, in order to form the insulating layer, a resin film obtained by filmizing the resin material may be used. The resin material and the resin film are used as an insulating material for a multilayer printed wiring board including a build-up film.

上記樹脂材料の一例として、下記の特許文献1には、(A)多官能エポキシ樹脂(但し、フェノキシ樹脂を除く)、(B)フェノール系硬化剤及び/又は活性エステル系硬化剤、(C)熱可塑性樹脂、(D)無機充填材、並びに(E)4級ホスホニウム系硬化促進剤を含有する樹脂組成物が開示されている。(C)熱可塑性樹脂は、フェノキシ樹脂、ポリビニルアセタール樹脂、ポリイミド、ポリアミドイミド樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、及びポリスルホン樹脂から選択される熱可塑性樹脂である。(E)4級ホスホニウム系硬化促進剤は、テトラブチルホスホニウムデカン酸塩、(4−メチルフェニル)トリフェニルホスホニウムチオシアネート、テトラフェニルホスホニウムチオシアネート、及びブチルトリフェニルホスホニウムチオシアネートから選ばれる1種以上の4級ホスホニウム系硬化促進剤である。 As an example of the above resin material, the following Patent Document 1 discloses (A) a polyfunctional epoxy resin (excluding a phenoxy resin), (B) a phenol-based curing agent and/or an active ester-based curing agent, (C). A resin composition containing a thermoplastic resin, (D) an inorganic filler, and (E) a quaternary phosphonium-based curing accelerator is disclosed. The (C) thermoplastic resin is a thermoplastic resin selected from a phenoxy resin, a polyvinyl acetal resin, a polyimide, a polyamideimide resin, a polyether sulfone resin, and a polysulfone resin. The (E) quaternary phosphonium-based curing accelerator is one or more quaternary phosphonium decanoate, (4-methylphenyl)triphenylphosphonium thiocyanate, tetraphenylphosphonium thiocyanate, and butyltriphenylphosphonium thiocyanate. It is a phosphonium-based curing accelerator.

また、下記の特許文献2には、エポキシ化合物と硬化剤と無機充填材とポリイミドとを含む樹脂組成物の硬化体が開示されている。上記硬化体は、海部と島部とを有する海島構造を有し、上記島部の平均長径が5μm以下であり、上記島部が上記ポリイミドを含む。上記硬化体100重量%中、上記無機充填材の含有量は30重量%以上90重量%以下である。上記硬化体は、絶縁層の材料として用いることができる。 In addition, Patent Document 2 below discloses a cured product of a resin composition containing an epoxy compound, a curing agent, an inorganic filler, and a polyimide. The cured product has a sea-island structure having a sea part and an island part, the island part has an average major axis of 5 μm or less, and the island part contains the polyimide. The content of the inorganic filler is 30% by weight or more and 90% by weight or less based on 100% by weight of the cured body. The cured product can be used as a material for the insulating layer.

特開2015−145498号公報JP, 2005-145498, A WO2018/062405A1WO2018/062405A1

特許文献1,2に記載のような従来の樹脂材料を用いて絶縁層を形成した場合に、硬化物の誘電正接が十分に低くならなかったり、硬化物のガラス転移温度が十分に高くならなかったり、熱寸法安定性が十分に高くならなかったりすることがある。 When the insulating layer is formed using the conventional resin material as described in Patent Documents 1 and 2, the dielectric loss tangent of the cured product does not become sufficiently low, or the glass transition temperature of the cured product does not become sufficiently high. Or, the thermal dimensional stability may not be sufficiently high.

また、特許文献1,2に記載のような従来の樹脂材料では、ビア形成時にレーザー等の熱によって樹脂材料が劣化し、形成したビアの周辺においてサイドローブが比較的大きく生じることがある。 Further, in the conventional resin materials described in Patent Documents 1 and 2, the resin material may be deteriorated by heat of a laser or the like when forming the via, and a side lobe may be relatively large around the formed via.

さらに、特許文献1,2に記載のような従来の樹脂材料を用いて絶縁層を形成した場合に、エッチング後の表面粗度が十分に小さくならなかったりすることがある。 Furthermore, when the insulating layer is formed using the conventional resin material as described in Patent Documents 1 and 2, the surface roughness after etching may not be sufficiently reduced.

このように、1)硬化物の誘電正接を低くし、2)硬化物のガラス転移温度を高め、3)硬化物の熱寸法安定性を高め、4)サイドローブを小さくし、5)エッチング後の表面粗度を小さくすることができるという、1)−5)の効果を全て発揮する樹脂材料を得ることは極めて困難であるという現状がある。 Thus, 1) lower the dielectric loss tangent of the cured product, 2) increase the glass transition temperature of the cured product, 3) increase the thermal dimensional stability of the cured product, 4) reduce the side lobes, and 5) after etching. It is extremely difficult to obtain a resin material that can exert all of the effects 1)-5) that the surface roughness can be reduced.

本発明の目的は、1)硬化物の誘電正接を低くし、2)硬化物のガラス転移温度を高め、3)硬化物の熱寸法安定性を高め、4)サイドローブを小さくし、5)エッチング後の表面粗度を小さくすることができる樹脂材料を提供することである。また、本発明は、上記樹脂材料を用いた多層プリント配線板を提供することも目的とする。 The object of the present invention is to 1) lower the dielectric loss tangent of the cured product, 2) increase the glass transition temperature of the cured product, 3) increase the thermal dimensional stability of the cured product, and 4) reduce side lobes, and 5). It is an object of the present invention to provide a resin material that can reduce the surface roughness after etching. Another object of the present invention is to provide a multilayer printed wiring board using the above resin material.

本発明の広い局面によれば、ナフチレンエーテル骨格を有するエポキシ化合物と、ナフチレンエーテル骨格を有する活性エステル化合物とを含み、前記エポキシ化合物と前記活性エステル化合物との組み合わせが、ナフチレンエーテル骨格を有しかつ90℃以下の軟化点を有するエポキシ化合物とナフチレンエーテル骨格を有しかつ145℃を超える軟化点を有する活性エステル化合物との第1の組み合わせ、ナフチレンエーテル骨格を有しかつ90℃を超える軟化点を有するエポキシ化合物とナフチレンエーテル骨格を有しかつ145℃以下の軟化点を有する活性エステル化合物との第2の組み合わせ、又はナフチレンエーテル骨格を有しかつ90℃を超える軟化点を有するエポキシ化合物とナフチレンエーテル骨格を有しかつ145℃を超える軟化点を有する活性エステル化合物との第3の組み合わせである、樹脂材料が提供される。 According to a broad aspect of the present invention, an epoxy compound having a naphthylene ether skeleton and an active ester compound having a naphthylene ether skeleton are contained, and the combination of the epoxy compound and the active ester compound has a naphthylene ether skeleton. A first combination of an epoxy compound having a softening point of 90° C. or less and an active ester compound having a naphthylene ether skeleton and having a softening point of more than 145° C., a naphthylene ether skeleton and 90° C. Second combination of an epoxy compound having a softening point of more than 1 and an active ester compound having a naphthylene ether skeleton and having a softening point of 145° C. or lower, or a softening point having a naphthylene ether skeleton and exceeding 90° C. A resin material is provided which is a third combination of an epoxy compound having a naphthylene ether skeleton and an active ester compound having a naphthylene ether skeleton and having a softening point of higher than 145°C.

本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記エポキシ化合物と前記活性エステル化合物との組み合わせが、前記第1の組み合わせ又は前記第3の組み合わせである。 In a specific aspect of the resin material according to the present invention, the combination of the epoxy compound and the active ester compound is the first combination or the third combination.

本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記エポキシ化合物と前記活性エステル化合物との組み合わせが、前記第2の組み合わせ又は前記第3の組み合わせである。 In a specific aspect of the resin material according to the present invention, the combination of the epoxy compound and the active ester compound is the second combination or the third combination.

本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記エポキシ化合物と前記活性エステル化合物との組み合わせが、前記第3の組み合わせである。 In a specific aspect of the resin material according to the present invention, a combination of the epoxy compound and the active ester compound is the third combination.

本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記エポキシ化合物と前記活性エステル化合物との組み合わせが、前記第3の組み合わせであり、樹脂材料中に含まれる全てのエポキシ化合物と全ての硬化剤との合計100重量%中、前記ナフチレンエーテル骨格を有しかつ90℃を超える軟化点を有するエポキシ化合物と前記ナフチレンエーテル骨格を有しかつ145℃を超える軟化点を有する活性エステル化合物との合計の含有量が35重量%以上である。 In a particular aspect of the resin material according to the present invention, the combination of the epoxy compound and the active ester compound is the third combination, and all epoxy compounds and all curing agents contained in the resin material are included. Of the epoxy compound having the naphthylene ether skeleton and having a softening point of more than 90° C. and the active ester compound having the naphthylene ether skeleton and having a softening point of more than 145° C. in 100% by weight in total. Is 35% by weight or more.

本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記エポキシ化合物と前記活性エステル化合物との組み合わせが、前記第3の組み合わせであり、樹脂材料中に含まれる全てのエポキシ化合物と全ての硬化剤との合計100重量%中、前記ナフチレンエーテル骨格を有しかつ90℃を超える軟化点を有するエポキシ化合物と前記ナフチレンエーテル骨格を有しかつ145℃を超える軟化点を有する活性エステル化合物との合計の含有量が50重量%以上である。 In a particular aspect of the resin material according to the present invention, the combination of the epoxy compound and the active ester compound is the third combination, and all epoxy compounds and all curing agents contained in the resin material are included. Of the epoxy compound having the naphthylene ether skeleton and having a softening point of more than 90° C. and the active ester compound having the naphthylene ether skeleton and having a softening point of more than 145° C. in 100% by weight in total. Is 50% by weight or more.

本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記樹脂材料は、ビスマレイミド化合物を含む。 In a specific aspect of the resin material according to the present invention, the resin material contains a bismaleimide compound.

本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記ビスマレイミド化合物が、ダイマージアミンに由来する骨格を有するビスマレイミド化合物である。 In one specific aspect of the resin material according to the present invention, the bismaleimide compound is a bismaleimide compound having a skeleton derived from dimer diamine.

本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記ビスマレイミド化合物が、下記式(X)で表される構造を有するビスマレイミド化合物である。 In one specific aspect of the resin material according to the present invention, the bismaleimide compound is a bismaleimide compound having a structure represented by the following formula (X).

Figure 2020094213
Figure 2020094213

前記式(X)中、R1は、4価の有機基を表す。 In the formula (X), R1 represents a tetravalent organic group.

本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記樹脂材料は、無機充填材を含む。 On the specific situation with the resin material which concerns on this invention, the said resin material contains an inorganic filler.

本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記樹脂材料は、樹脂フィルムである。 In one specific aspect of the resin material according to the present invention, the resin material is a resin film.

本発明に係る樹脂材料は、多層プリント配線板において、絶縁層を形成するために好適に用いられる。 The resin material according to the present invention is preferably used for forming an insulating layer in a multilayer printed wiring board.

本発明の広い局面によれば、回路基板と、前記回路基板の表面上に配置された複数の絶縁層と、複数の前記絶縁層間に配置された金属層とを備え、複数の前記絶縁層の内の少なくとも1層が、上述した樹脂材料の硬化物である、多層プリント配線板が提供される。 According to a broad aspect of the present invention, a circuit board, a plurality of insulating layers arranged on a surface of the circuit board, and a metal layer arranged between the plurality of insulating layers, the plurality of insulating layers Provided is a multilayer printed wiring board, in which at least one layer is a cured product of the above resin material.

本発明に係る樹脂材料は、ナフチレンエーテル骨格を有するエポキシ化合物と、ナフチレンエーテル骨格を有する活性エステル化合物とを含む。本発明に係る樹脂材料では、上記エポキシ化合物と上記活性エステル化合物との組み合わせが、以下の第1の組み合わせ、第2の組み合わせ、又は第3の組み合わせである。第1の組み合わせ:ナフチレンエーテル骨格を有しかつ90℃以下の軟化点を有するエポキシ化合物とナフチレンエーテル骨格を有しかつ145℃を超える軟化点を有する活性エステル化合物。第2の組み合わせ:ナフチレンエーテル骨格を有しかつ90℃を超える軟化点を有するエポキシ化合物とナフチレンエーテル骨格を有しかつ145℃以下の軟化点を有する活性エステル化合物。第3の組み合わせ:ナフチレンエーテル骨格を有しかつ90℃を超える軟化点を有するエポキシ化合物とナフチレンエーテル骨格を有しかつ145℃を超える軟化点を有する活性エステル化合物。本発明に係る樹脂材料では、上記の構成が備えられているので、1)硬化物の誘電正接を低くし、2)硬化物のガラス転移温度を高め、3)硬化物の熱寸法安定性を高め、4)サイドローブを小さくし、5)エッチング後の表面粗度を小さくすることができるという、1)−5)の効果を全て発揮することができる。 The resin material according to the present invention contains an epoxy compound having a naphthylene ether skeleton and an active ester compound having a naphthylene ether skeleton. In the resin material according to the present invention, the combination of the epoxy compound and the active ester compound is the following first combination, second combination, or third combination. First combination: an epoxy compound having a naphthylene ether skeleton and a softening point of 90° C. or lower and an active ester compound having a naphthylene ether skeleton and having a softening point of higher than 145° C. Second combination: an epoxy compound having a naphthylene ether skeleton and a softening point of more than 90° C. and an active ester compound having a naphthylene ether skeleton and a softening point of 145° C. or less. Third combination: an epoxy compound having a naphthylene ether skeleton and having a softening point of more than 90° C. and an active ester compound having a naphthylene ether skeleton and having a softening point of more than 145° C. Since the resin material according to the present invention is provided with the above configuration, 1) the dielectric loss tangent of the cured product is lowered, 2) the glass transition temperature of the cured product is increased, and 3) the thermal dimensional stability of the cured product is improved. It is possible to exert all of the effects 1)-5) that are higher, 4) the side lobe can be reduced, and 5) the surface roughness after etching can be reduced.

図1は、本発明の一実施形態に係る樹脂材料を用いた多層プリント配線板を模式的に示す断面図である。FIG. 1 is a sectional view schematically showing a multilayer printed wiring board using a resin material according to an embodiment of the present invention.

以下、本発明を詳細に説明する。 Hereinafter, the present invention will be described in detail.

本発明に係る樹脂材料は、ナフチレンエーテル骨格を有するエポキシ化合物と、ナフチレンエーテル骨格を有する活性エステル化合物とを含む。上記ナフチレンエーテル骨格を有するエポキシ化合物及び上記ナフチレンエーテル骨格を有する活性エステル化合物におけるナフチレンエーテル骨格とは、ナフタレン環を構成している炭素原子に酸素原子が結合している骨格をいう。上記ナフタレン環を構成している炭素原子に結合している上記酸素原子は、カルボニル基と結合していてもよい。すなわち、上記ナフタレン環を構成している炭素原子に結合している上記酸素原子は、エステル骨格を構成する酸素原子であってもよい。 The resin material according to the present invention contains an epoxy compound having a naphthylene ether skeleton and an active ester compound having a naphthylene ether skeleton. The naphthylene ether skeleton in the epoxy compound having a naphthylene ether skeleton and the active ester compound having a naphthylene ether skeleton means a skeleton in which an oxygen atom is bonded to a carbon atom forming a naphthalene ring. The oxygen atom bonded to the carbon atom forming the naphthalene ring may be bonded to a carbonyl group. That is, the oxygen atom bonded to the carbon atom forming the naphthalene ring may be an oxygen atom forming the ester skeleton.

本発明に係る樹脂材料では、上記ナフチレンエーテル骨格を有するエポキシ化合物と上記ナフチレンエーテル骨格を有する活性エステル化合物との組み合わせが、以下の第1の組み合わせ、第2の組み合わせ、又は第3の組み合わせである。 In the resin material according to the present invention, the combination of the epoxy compound having the naphthylene ether skeleton and the active ester compound having the naphthylene ether skeleton is the following first combination, second combination, or third combination. Is.

第1の組み合わせ:ナフチレンエーテル骨格を有しかつ90℃以下の軟化点を有するエポキシ化合物とナフチレンエーテル骨格を有しかつ145℃を超える軟化点を有する活性エステル化合物。 First combination: an epoxy compound having a naphthylene ether skeleton and a softening point of 90° C. or lower and an active ester compound having a naphthylene ether skeleton and having a softening point of higher than 145° C.

第2の組み合わせ:ナフチレンエーテル骨格を有しかつ90℃を超える軟化点を有するエポキシ化合物とナフチレンエーテル骨格を有しかつ145℃以下の軟化点を有する活性エステル化合物。 Second combination: an epoxy compound having a naphthylene ether skeleton and a softening point of more than 90° C. and an active ester compound having a naphthylene ether skeleton and a softening point of 145° C. or less.

第3の組み合わせ:ナフチレンエーテル骨格を有しかつ90℃を超える軟化点を有するエポキシ化合物とナフチレンエーテル骨格を有しかつ145℃を超える軟化点を有する活性エステル化合物。 Third combination: an epoxy compound having a naphthylene ether skeleton and having a softening point of more than 90° C. and an active ester compound having a naphthylene ether skeleton and having a softening point of more than 145° C.

本発明に係る樹脂材料では、上記の構成が備えられているので、1)硬化物の誘電正接を低くし、2)硬化物のガラス転移温度を高め、3)硬化物の熱寸法安定性を高め、4)サイドローブを小さくし、5)エッチング後の表面粗度を小さくすることができるという、1)−5)の効果を全て発揮することができる。 Since the resin material according to the present invention is provided with the above configuration, 1) the dielectric loss tangent of the cured product is lowered, 2) the glass transition temperature of the cured product is increased, and 3) the thermal dimensional stability of the cured product is improved. It is possible to exert all of the effects 1)-5) that are higher, 4) the side lobe can be reduced, and 5) the surface roughness after etching can be reduced.

ナフチレンエーテル骨格を有するエポキシ化合物及びナフチレンエーテル骨格を有する活性エステル化合物の少なくとも一方を含まない従来の樹脂材料では、上記の1)−5)の効果を全て発揮することは困難である。 It is difficult for a conventional resin material that does not contain at least one of an epoxy compound having a naphthylene ether skeleton and an active ester compound having a naphthylene ether skeleton to exert all the above-mentioned effects 1) to 5).

また、ナフチレンエーテル骨格を有するエポキシ化合物及びナフチレンエーテル骨格を有する活性エステル化合物の内のいずれか一方のみを含む従来の樹脂材料では、エッチングが過度にされやすく、エッチング後の表面粗度が大きくなることがある。 Further, in a conventional resin material containing only one of an epoxy compound having a naphthylene ether skeleton and an active ester compound having a naphthylene ether skeleton, etching is likely to be excessive, and the surface roughness after etching is large. May be.

これに対して本発明に係る樹脂材料では、ナフチレンエーテル骨格を有するエポキシ化合物とナフチレンエーテル骨格を有する活性エステル化合物との双方を含み、かつ該エポキシ化合物と該活性エステル化合物の組み合わせが特定の組み合わせであるので、上記の1)−5)の効果を全て発揮することができる。また、本発明に係る樹脂材料では、エポキシ化合物と活性エステル化合物との双方がナフチレンエーテル骨格を有するので、特に上記の5)の効果が効果的に発揮され、その結果、伝送性能に優れる多層プリント配線板を得ることができる。本発明に係る樹脂材料では、上記ナフチレンエーテル骨格を有するエポキシ化合物と上記ナフチレンエーテル骨格を有する活性エステル化合物との組み合わせが、特定の組み合わせであるので、特に上記の1)−4)の効果が効果的に発揮される。本発明に係る樹脂材料では、硬化物のガラス転移温度及び熱寸法安定性をかなり高めることができ、また、樹脂材料の耐熱性を高めることができるので、熱による分解を効果的に抑えることができ、その結果、ビア(貫通穴)の周辺に生じるサイドローブを小さくすることができる。 On the other hand, the resin material according to the present invention contains both an epoxy compound having a naphthylene ether skeleton and an active ester compound having a naphthylene ether skeleton, and the combination of the epoxy compound and the active ester compound is specific. Since it is a combination, all the above-mentioned effects 1)-5) can be exhibited. Further, in the resin material according to the present invention, since both the epoxy compound and the active ester compound have a naphthylene ether skeleton, the effect of 5) above is particularly effectively exhibited, and as a result, a multilayer having excellent transmission performance is obtained. A printed wiring board can be obtained. In the resin material according to the present invention, since the combination of the epoxy compound having the naphthylene ether skeleton and the active ester compound having the naphthylene ether skeleton is a specific combination, the above-mentioned effects 1)-4) are particularly effective. Is effectively exhibited. With the resin material according to the present invention, the glass transition temperature and thermal dimensional stability of the cured product can be considerably increased, and the heat resistance of the resin material can be increased, so that decomposition by heat can be effectively suppressed. As a result, the side lobes generated around the via (through hole) can be reduced.

本発明に係る樹脂材料は、樹脂組成物であってもよく、樹脂フィルムであってもよい。上記樹脂組成物は、流動性を有する。上記樹脂組成物は、ペースト状であってもよい。上記ペースト状には液状が含まれる。取扱性に優れることから、本発明に係る樹脂材料は、樹脂フィルムであることが好ましい。 The resin material according to the present invention may be a resin composition or a resin film. The resin composition has fluidity. The resin composition may be in a paste form. A liquid is included in the paste form. The resin material according to the present invention is preferably a resin film because of its excellent handleability.

本発明に係る樹脂材料は、熱硬化性材料であることが好ましい。上記樹脂材料が樹脂フィルムである場合には、該樹脂フィルムは、熱硬化性樹脂フィルムであることが好ましい。 The resin material according to the present invention is preferably a thermosetting material. When the resin material is a resin film, the resin film is preferably a thermosetting resin film.

以下、本発明に係る樹脂材料に用いられる各成分の詳細、及び本発明に係る樹脂材料の用途などを説明する。 Hereinafter, details of each component used in the resin material according to the present invention, and uses of the resin material according to the present invention will be described.

[(A)ナフチレンエーテル骨格を有するエポキシ化合物]
本発明に係る樹脂材料は、(A)ナフチレンエーテル骨格を有するエポキシ化合物を含む。(A)エポキシ化合物は、少なくとも1個のナフチレンエーテル骨格と、少なくとも1個のエポキシ基とを有する化合物である。上記ナフチレンエーテル骨格は、(A)エポキシ化合物において、部分骨格として存在する。(A)エポキシ化合物は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[(A) Epoxy compound having naphthylene ether skeleton]
The resin material according to the present invention contains (A) an epoxy compound having a naphthylene ether skeleton. The (A) epoxy compound is a compound having at least one naphthylene ether skeleton and at least one epoxy group. The naphthylene ether skeleton exists as a partial skeleton in the epoxy compound (A). As the epoxy compound (A), only one kind may be used, or two or more kinds may be used in combination.

(A)エポキシ化合物は、上記ナフチレンエーテル骨格を2個以上有することが好ましく、3個以上有することがより好ましく、4個以上有することがさらに好ましく、15個以下有することが好ましく、10個以下有することがより好ましい。上記ナフチレンエーテル骨格の数が上記下限以上であると、誘電正接をより一層低くすることができ、また、線膨張係数をより一層低くすることができる。上記ナフチレンエーテル骨格の数が上記上限以下であると、凹凸表面に対する埋め込み性をより一層高めることができる。また、上記ナフチレンエーテル骨格の数が上記上限以下であると、樹脂フィルムの柔軟性を高めることができる。 The epoxy compound (A) preferably has two or more naphthylene ether skeletons, more preferably three or more, even more preferably four or more, preferably 15 or less, and 10 or less. It is more preferable to have. When the number of the naphthylene ether skeletons is at least the above lower limit, the dielectric loss tangent can be further lowered, and the linear expansion coefficient can be further lowered. When the number of naphthylene ether skeletons is not more than the above upper limit, the embeddability on the uneven surface can be further enhanced. Moreover, when the number of the naphthylene ether skeleton is not more than the upper limit, the flexibility of the resin film can be increased.

(A)エポキシ化合物としては、ナフトールアラルキル型エポキシ化合物等が挙げられる。 Examples of the epoxy compound (A) include naphthol aralkyl type epoxy compounds.

(A)エポキシ化合物は、25℃で固形のエポキシ化合物であることが好ましい。 The (A) epoxy compound is preferably a solid epoxy compound at 25°C.

(A)エポキシ化合物の分子量は5000以下であることが好ましい。この場合には、樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、無機充填材の含有量が50重量%以上であっても、絶縁層の形成時に流動性が高い樹脂材料が得られる。このため、樹脂材料の未硬化物又はBステージ化物を回路基板上にラミネートした場合に、無機充填材を均一に存在させることができる。 The molecular weight of the (A) epoxy compound is preferably 5000 or less. In this case, even if the content of the inorganic filler is 50% by weight or more in 100% by weight of the component excluding the solvent in the resin material, a resin material having high fluidity at the time of forming the insulating layer can be obtained. Therefore, when the uncured resin material or the B-staged resin material is laminated on the circuit board, the inorganic filler can be uniformly present.

(A)エポキシ化合物の分子量は、(A)エポキシ化合物が重合体ではない場合、及び(A)エポキシ化合物の構造式が特定できる場合には、当該構造式から算出できる分子量を意味する。また、(A)エポキシ化合物の分子量は、(A)エポキシ化合物が重合体である場合には、重量平均分子量を意味する。 The molecular weight of the (A) epoxy compound means the molecular weight that can be calculated from the structural formula when the (A) epoxy compound is not a polymer and when the structural formula of the (A) epoxy compound can be specified. Further, the molecular weight of the (A) epoxy compound means the weight average molecular weight when the (A) epoxy compound is a polymer.

硬化物のガラス転移温度及び熱寸法安定性をより一層高める観点、サイドローブを小さくする観点から、(A)エポキシ化合物の軟化点は、好ましくは90℃を超え、より好ましくは95℃以上、さらに好ましくは100℃以上であり、好ましくは200℃以下、より好ましくは150℃以下、さらに好ましくは130℃以下である。なお、(A)エポキシ化合物の軟化点は、90℃以下であってもよく、85℃以下であってもよく、80℃以下であってもよい。 From the viewpoint of further increasing the glass transition temperature and thermal dimensional stability of the cured product and the viewpoint of reducing side lobes, the softening point of the epoxy compound (A) is preferably higher than 90°C, more preferably 95°C or higher, and It is preferably 100°C or higher, preferably 200°C or lower, more preferably 150°C or lower, and further preferably 130°C or lower. The softening point of the epoxy compound (A) may be 90° C. or lower, 85° C. or lower, or 80° C. or lower.

(A)エポキシ化合物の軟化点は、示差走査熱量測定装置(例えば、TA・インスツルメント社製「Q2000」)を用いて、昇温速度3℃/分で−30℃から200℃まで窒素雰囲気下で加熱を行い、リバースヒートフローの変曲点から求めることができる。 (A) The softening point of the epoxy compound is measured by using a differential scanning calorimeter (for example, "Q2000" manufactured by TA Instruments Co., Ltd.) at a temperature rising rate of 3°C/min from -30°C to 200°C in a nitrogen atmosphere. It can be obtained from the inflection point of reverse heat flow by heating below.

樹脂材料中の(E)無機充填材及び溶剤を除く成分100重量%中、(A)エポキシ化合物の含有量は、好ましくは9重量%以上、より好ましくは15重量%以上であり、好ましくは45重量%以下、より好ましくは36重量%以下である。(A)エポキシ化合物の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化物の誘電正接をより一層低くすることができる。(A)エポキシ化合物の含有量が上記上限以下であると、エッチング後の表面粗度をより一層低くすることができる。また、(A)エポキシ化合物の含有量が上記上限以下であると、硬化物のガラス転移温度を高めることができ、また、樹脂材料を本硬化させる際の加熱温度を200℃以下とすることができる。さらに(A)エポキシ化合物の含有量が上記上限以下であると、樹脂フィルムの柔軟性を高めることができる。 The content of the epoxy compound (A) in 100% by weight of the component excluding the inorganic filler (E) and the solvent in the resin material is preferably 9% by weight or more, more preferably 15% by weight or more, and preferably 45% by weight or more. It is not more than 36% by weight, more preferably not more than 36% by weight. When the content of the epoxy compound (A) is at least the above lower limit and at most the above upper limit, the dielectric loss tangent of the cured product can be further reduced. When the content of the epoxy compound (A) is at most the above upper limit, the surface roughness after etching can be further reduced. Further, when the content of the (A) epoxy compound is not more than the above upper limit, the glass transition temperature of the cured product can be increased, and the heating temperature for the main curing of the resin material can be 200° C. or less. it can. Furthermore, when the content of the (A) epoxy compound is at most the above upper limit, the flexibility of the resin film can be increased.

[(B)ナフチレンエーテル骨格を有する活性エステル化合物]
上記樹脂材料は、(B)ナフチレンエーテル骨格を有する活性エステル化合物を含む。(B)活性エステル化合物は、硬化剤である。(B)活性エステル化合物は、ナフチレンエーテル骨格と、エステル結合とを有し、かつエステル結合の両側に脂肪族鎖、脂肪族環又は芳香族環が結合している化合物である。(B)活性エステル化合物は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[(B) Active ester compound having naphthylene ether skeleton]
The resin material contains (B) an active ester compound having a naphthylene ether skeleton. The (B) active ester compound is a curing agent. The active ester compound (B) is a compound having a naphthylene ether skeleton and an ester bond, and having an aliphatic chain, an aliphatic ring or an aromatic ring bonded to both sides of the ester bond. As the active ester compound (B), only one type may be used, or two or more types may be used in combination.

硬化反応を良好に進行させる観点からは、(B)活性エステル化合物は、3個以上のナフチレンエーテル骨格と、2個以上のエステル結合とを有することが好ましい。(B)活性エステル化合物におけるナフチレンエーテル骨格の数が3個未満であったり、エステル結合の数が2個未満であったりすると、硬化反応を良好に進行させることができず、硬化剤としての機能を発揮することができないことがある。 From the viewpoint of accelerating the curing reaction, the active ester compound (B) preferably has 3 or more naphthylene ether skeletons and 2 or more ester bonds. If the number of naphthylene ether skeletons in the active ester compound (B) is less than 3 or the number of ester bonds is less than 2, the curing reaction cannot be satisfactorily progressed, and the curing agent is It may not be able to function.

(B)活性エステル化合物は、上記ナフチレンエーテル骨格を、3個以上有することが好ましく、4個以上有することがより好ましく、15個以下有することが好ましく、10個以下有することがより好ましく、8個以下有することがさらに好ましい。上記ナフチレンエーテル骨格の数が上記下限以上であると、硬化物の誘電正接をより一層低くすることができ、線膨張係数をより一層低くすることができる。上記ナフチレンエーテル骨格の数が上記下限以上であると、エッチング後の表面粗度をより一層低くすることができる。また、上記ナフチレンエーテル骨格の数が上記下限以上であると、硬化物のガラス転移温度を高めることができ、また、樹脂材料を本硬化させる際の加熱温度を200℃以下とすることができる。上記ナフチレンエーテル骨格の数が上記上限以下であると、Bステージフィルムの柔軟性を高めることができる。また、上記ナフチレンエーテル骨格の数が上記上限以下であると、凹凸表面に対する埋め込み性を高めることができる。 The active ester compound (B) preferably has 3 or more naphthylene ether skeletons, more preferably 4 or more, preferably 15 or less, more preferably 10 or less, 8 It is more preferable to have not more than one. When the number of naphthylene ether skeletons is equal to or more than the above lower limit, the dielectric loss tangent of the cured product can be further lowered, and the linear expansion coefficient can be further lowered. When the number of the naphthylene ether skeleton is not less than the above lower limit, the surface roughness after etching can be further reduced. When the number of naphthylene ether skeletons is at least the above lower limit, the glass transition temperature of the cured product can be increased, and the heating temperature for the main curing of the resin material can be 200°C or less. .. When the number of the naphthylene ether skeleton is not more than the above upper limit, the flexibility of the B stage film can be increased. Further, when the number of naphthylene ether skeletons is equal to or less than the above upper limit, embeddability on the uneven surface can be enhanced.

(B)活性エステル化合物における上記ナフチレンエーテル骨格は、末端以外の部分に存在することが好ましい。(B)活性エステル化合物は、ナフチレンエーテル骨格を有する活性エステル化合物(但し、末端にナフチレンエーテル骨格を有する活性エステル化合物を除く)であることが好ましい。(B)活性エステル化合物は、末端以外の部分に上記ナフチレンエーテル骨格を有することが好ましい。この場合には、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができる。 The naphthylene ether skeleton in the active ester compound (B) is preferably present in a portion other than the terminal. The active ester compound (B) is preferably an active ester compound having a naphthylene ether skeleton (excluding active ester compounds having a naphthylene ether skeleton at the terminal). The active ester compound (B) preferably has the above naphthylene ether skeleton in a portion other than the terminal. In this case, the effect of the present invention can be more effectively exhibited.

(B)活性エステル化合物の例としては、下記式(1)で表される化合物が挙げられる。 Examples of the active ester compound (B) include compounds represented by the following formula (1).

Figure 2020094213
Figure 2020094213

上記式(1)中、X1は、脂肪族鎖を含む基、脂肪族環を含む基又は芳香族環を含む基を表し、X2は、芳香族環を含む基を表し、X1及びX2の内の少なくとも一方がナフチレンエーテル骨格を有する。 In the above formula (1), X1 represents a group containing an aliphatic chain, a group containing an aliphatic ring or a group containing an aromatic ring, X2 represents a group containing an aromatic ring, and among X1 and X2 At least one of them has a naphthylene ether skeleton.

上記式(1)中、X1及びX2は、以下の(i)〜(iii)のいずれかの構成であることが好ましい。 In the above formula (1), X1 and X2 preferably have any of the following configurations (i) to (iii).

(i)上記式(1)中、X1は、脂肪族鎖を含む基、脂肪族環を含む基又は芳香族環を含む基を表し、X2は、ナフチレンエーテル骨格を含む基を表す。 (I) In the above formula (1), X1 represents a group containing an aliphatic chain, a group containing an aliphatic ring or a group containing an aromatic ring, and X2 represents a group containing a naphthylene ether skeleton.

(ii)上記式(1)中、X1は、ナフチレンエーテル骨格を含む基を表し、X2は、芳香族環を含む基を表す。 (Ii) In the above formula (1), X1 represents a group containing a naphthylene ether skeleton, and X2 represents a group containing an aromatic ring.

(iii)上記式(1)中、X1は、ナフチレンエーテル骨格を含む基を表し、X2は、ナフチレンエーテル骨格を含む基を表す。 (Iii) In the above formula (1), X1 represents a group containing a naphthylene ether skeleton, and X2 represents a group containing a naphthylene ether skeleton.

なお、上記式(1)中、X1がナフチレンエーテル骨格を含む基である場合に、該X1は、脂肪族鎖又は脂肪族環をさらに有していてもよく、該ナフチレンエーテル骨格とは別に芳香族環をさらに有していてもよい。また、上記式(1)中、X2がナフチレンエーテル骨格を含む基である場合に、該X2は、該ナフチレンエーテル骨格とは別に芳香族環をさらに有していてもよい。また、上記式(1)中、X2がナフチレンエーテル骨格を含む基である場合に、該X2は、ナフタレンジオール化合物に由来する構造を有していてもよく、ナフタレンジオール化合物に由来する構造が複数連続した構造を有していてもよい。また、上記ナフタレンジオール化合物に由来する構造において2個以上の酸素原子を有していてもよい。上記ナフタレンジオール化合物に由来する構造におけるナフタレン骨格は置換基を有していてもよい。 In the formula (1), when X1 is a group containing a naphthylene ether skeleton, the X1 may further have an aliphatic chain or an aliphatic ring, and the naphthylene ether skeleton is Alternatively, it may further have an aromatic ring. Further, in the above formula (1), when X2 is a group containing a naphthylene ether skeleton, the X2 may further have an aromatic ring in addition to the naphthylene ether skeleton. Further, in the above formula (1), when X2 is a group containing a naphthylene ether skeleton, X2 may have a structure derived from a naphthalene diol compound, and a structure derived from a naphthalene diol compound is It may have a continuous structure. Further, the structure derived from the naphthalenediol compound may have two or more oxygen atoms. The naphthalene skeleton in the structure derived from the naphthalene diol compound may have a substituent.

上記式(1)における上記芳香族環を含む基の好ましい例としては、置換基を有していてもよいベンゼン環、及び置換基を有していてもよいナフタレン環等が挙げられる。上記置換基としては、炭化水素基が挙げられる。 Preferable examples of the group containing an aromatic ring in the above formula (1) include a benzene ring which may have a substituent and a naphthalene ring which may have a substituent. A hydrocarbon group is mentioned as said substituent.

上記ナフチレンエーテル骨格を有する活性エステル化合物は、直鎖構造を有していてもよく、分岐構造を有していてもよい。 The active ester compound having a naphthylene ether skeleton may have a linear structure or a branched structure.

例えば、上記ナフチレンエーテル骨格を有する活性エステル化合物は、下記式(1A)で表される化合物であってもよい。 For example, the active ester compound having a naphthylene ether skeleton may be a compound represented by the following formula (1A).

Figure 2020094213
Figure 2020094213

上記式(1A)中、Rは、脂肪族骨格又は芳香族骨格を有する基を表し、nは1以上の整数を表す。上記式(1A)中のRは、側鎖である。上記式(1A)中のRとしては、ベンジル基等が挙げられる。 In the above formula (1A), R represents a group having an aliphatic skeleton or an aromatic skeleton, and n represents an integer of 1 or more. R in the above formula (1A) is a side chain. Examples of R in the above formula (1A) include a benzyl group.

硬化物のガラス転移温度、熱寸法安定性及び難燃性を高める観点からは、(B)活性エステル化合物は、上記ナフチレンエーテル骨格を構成していない芳香族環を1個以上有することが好ましく、2個以上有することがより好ましい。 From the viewpoint of enhancing the glass transition temperature, thermal dimensional stability and flame retardancy of the cured product, the (B) active ester compound preferably has at least one aromatic ring that does not form the naphthylene ether skeleton. It is more preferable to have two or more.

硬化物の熱寸法安定性をより一層高める観点、Bステージフィルムの柔軟性及び本硬化後の十分な硬化性をより一層高める観点から、(B)活性エステル化合物の軟化点は、好ましくは145℃を超え、より好ましくは150℃以上であり、好ましくは200℃以下、より好ましくは190℃以下、さらに好ましくは180℃以下である。なお、(B)活性エステル化合物の軟化点は、145℃以下であってもよく、140℃以下であってもよい。 The softening point of the (B) active ester compound is preferably 145° C., from the viewpoint of further enhancing the thermal dimensional stability of the cured product, and further enhancing the flexibility of the B-stage film and the sufficient curability after the main curing. Is more than 150°C, more preferably 150°C or higher, preferably 200°C or lower, more preferably 190°C or lower, still more preferably 180°C or lower. The softening point of the active ester compound (B) may be 145°C or lower, or 140°C or lower.

(B)活性エステル化合物の軟化点は、示差走査熱量測定装置(例えば、TA・インスツルメント社製「Q2000」)を用いて、昇温速度3℃/分で−30℃から200℃まで窒素雰囲気下で加熱を行い、リバースヒートフローの変曲点から求めることができる。 (B) The softening point of the active ester compound is measured by using a differential scanning calorimeter (for example, “Q2000” manufactured by TA Instruments Co., Ltd.) at a temperature rising rate of 3° C./min from −30° C. to 200° C. nitrogen. It can be determined from the inflection point of reverse heat flow by heating in an atmosphere.

樹脂材料中の(E)無機充填材及び溶剤を除く成分100重量%中、(B)活性エステル化合物の含有量は、好ましくは9重量%以上、より好ましくは15重量%以上であり、好ましくは45重量%以下、より好ましくは36重量%以下である。(B)活性エステル化合物の含有量が上記下限以上であると、誘電正接をより一層低くすることができ、また、熱寸法安定性を高めることができる。(B)活性エステル化合物の含有量が上記上限以下であると、凹凸表面に対する埋め込み性をより一層高めることができ、また、樹脂材料を本硬化させる際の加熱温度を低く抑えることができる。また、Bステージフィルムの柔軟性を高めることができる。 The content of the (B) active ester compound in 100% by weight of the component excluding the inorganic filler and the solvent in the resin material is preferably 9% by weight or more, more preferably 15% by weight or more, and preferably It is 45% by weight or less, more preferably 36% by weight or less. When the content of the active ester compound (B) is at least the above lower limit, the dielectric loss tangent can be further lowered and the thermal dimensional stability can be enhanced. When the content of the active ester compound (B) is not more than the above upper limit, the embeddability on the uneven surface can be further enhanced, and the heating temperature for the main curing of the resin material can be kept low. In addition, the flexibility of the B stage film can be increased.

<(A)エポキシ化合物及び(B)活性エステル化合物の他の詳細>
本発明に係る樹脂材料では、(A)エポキシ化合物と(B)活性エステル化合物との組み合わせが、以下の第1の組み合わせ、第2の組み合わせ、又は第3の組み合わせである。
<Other details of (A) epoxy compound and (B) active ester compound>
In the resin material according to the present invention, the combination of the (A) epoxy compound and the (B) active ester compound is the following first combination, second combination, or third combination.

第1の組み合わせ:ナフチレンエーテル骨格を有しかつ90℃以下の軟化点を有するエポキシ化合物とナフチレンエーテル骨格を有しかつ145℃を超える軟化点を有する活性エステル化合物。 First combination: an epoxy compound having a naphthylene ether skeleton and a softening point of 90° C. or lower and an active ester compound having a naphthylene ether skeleton and having a softening point of higher than 145° C.

第2の組み合わせ:ナフチレンエーテル骨格を有しかつ90℃を超える軟化点を有するエポキシ化合物とナフチレンエーテル骨格を有しかつ145℃以下の軟化点を有する活性エステル化合物。 Second combination: an epoxy compound having a naphthylene ether skeleton and a softening point of more than 90° C. and an active ester compound having a naphthylene ether skeleton and a softening point of 145° C. or less.

第3の組み合わせ:ナフチレンエーテル骨格を有しかつ90℃を超える軟化点を有するエポキシ化合物とナフチレンエーテル骨格を有しかつ145℃を超える軟化点を有する活性エステル化合物。 Third combination: an epoxy compound having a naphthylene ether skeleton and having a softening point of more than 90° C. and an active ester compound having a naphthylene ether skeleton and having a softening point of more than 145° C.

本発明の効果をより一層効果的に発揮する観点からは、(A)エポキシ化合物と(B)活性エステル化合物との組み合わせは、上記第1の組み合わせ又は上記第3の組み合わせであることが好ましく、上記第2の組み合わせ又は上記第3の組み合わせであることが好ましい。 From the viewpoint of more effectively exhibiting the effects of the present invention, the combination of the (A) epoxy compound and the (B) active ester compound is preferably the first combination or the third combination, The second combination or the third combination is preferable.

本発明の効果をさらにより一層効果的に発揮する観点からは、(A)エポキシ化合物と(B)活性エステル化合物との組み合わせは、上記第3の組み合わせであることが好ましい。 From the viewpoint of exerting the effect of the present invention even more effectively, the combination of the (A) epoxy compound and the (B) active ester compound is preferably the third combination.

(A)エポキシ化合物と(B)活性エステル化合物との組み合わせが上記第1の組み合わせである場合において、以下を満たすことが好ましい。樹脂材料中に含まれる全てのエポキシ化合物と全ての硬化剤との合計100重量%中、上記ナフチレンエーテル骨格を有しかつ90℃以下の軟化点を有するエポキシ化合物と上記ナフチレンエーテル骨格を有しかつ145℃を超える軟化点を有する活性エステル化合物との合計の含有量を含有量(X)とする。上記含有量(X)は、好ましくは35重量%以上、より好ましくは55重量%以上であり、好ましくは85重量%以下、より好ましくは75重量%以下である。上記含有量(X)が上記下限以上及び上記上限以下であると、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができる。 In the case where the combination of the epoxy compound (A) and the active ester compound (B) is the first combination described above, it is preferable that the following conditions are satisfied. The epoxy compound having the naphthylene ether skeleton and having the softening point of 90° C. or lower and the naphthylene ether skeleton are contained in 100% by weight of all the epoxy compounds and all the curing agents contained in the resin material. And the total content with the active ester compound having a softening point of higher than 145° C. is defined as the content (X). The content (X) is preferably 35% by weight or more, more preferably 55% by weight or more, preferably 85% by weight or less, more preferably 75% by weight or less. When the content (X) is at least the above lower limit and at most the above upper limit, the effects of the present invention can be more effectively exhibited.

(A)エポキシ化合物と(B)活性エステル化合物との組み合わせが上記第2の組み合わせである場合において、以下を満たすことが好ましい。樹脂材料中に含まれる全てのエポキシ化合物と全ての硬化剤との合計100重量%中、上記ナフチレンエーテル骨格を有しかつ90℃を超える軟化点を有するエポキシ化合物と上記ナフチレンエーテル骨格を有しかつ145℃以下の軟化点を有する活性エステル化合物との合計の含有量を含有量(Y)とする。上記含有量(Y)は、好ましくは35重量%以上、より好ましくは55重量%以上であり、好ましくは85重量%以下、より好ましくは75重量%以下である。上記含有量(Y)が上記下限以上及び上記上限以下であると、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができる。 In the case where the combination of the (A) epoxy compound and the (B) active ester compound is the second combination, it is preferable that the following conditions are satisfied. The epoxy compound having the naphthylene ether skeleton and having the softening point of more than 90° C. and the naphthylene ether skeleton in 100% by weight of the total amount of all the epoxy compounds and all the curing agents contained in the resin material. And the total content with the active ester compound having a softening point of 145° C. or lower is defined as the content (Y). The content (Y) is preferably 35% by weight or more, more preferably 55% by weight or more, preferably 85% by weight or less, more preferably 75% by weight or less. When the content (Y) is at least the above lower limit and at most the above upper limit, the effects of the present invention can be more effectively exhibited.

(A)エポキシ化合物と(B)活性エステル化合物との組み合わせが上記第3の組み合わせである場合において、以下を満たすことが好ましい。樹脂材料中に含まれる全てのエポキシ化合物と全ての硬化剤との合計100重量%中、上記ナフチレンエーテル骨格を有しかつ90℃を超える軟化点を有するエポキシ化合物と上記ナフチレンエーテル骨格を有しかつ145℃を超える軟化点を有する活性エステル化合物との合計の含有量を含有量(Z)とする。上記含有量(Z)は、好ましくは35重量%以上、より好ましくは50重量%以上であり、好ましくは80重量%以下、より好ましくは70重量%以下である。上記含有量(Z)が上記下限以上及び上記上限以下であると、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができる。 In the case where the combination of the epoxy compound (A) and the active ester compound (B) is the third combination, it is preferable that the following be satisfied. The epoxy compound having the naphthylene ether skeleton and having the softening point of more than 90° C. and the naphthylene ether skeleton in 100% by weight of the total amount of all the epoxy compounds and all the curing agents contained in the resin material. And the total content with the active ester compound having a softening point of higher than 145° C. is defined as the content (Z). The content (Z) is preferably 35% by weight or more, more preferably 50% by weight or more, preferably 80% by weight or less, more preferably 70% by weight or less. When the content (Z) is at least the above lower limit and at most the above upper limit, the effects of the present invention can be more effectively exhibited.

[(C)ナフチレンエーテル骨格を有さないエポキシ化合物(第2のエポキシ化合物)]
上記樹脂材料は、(C)ナフチレンエーテル骨格を有さないエポキシ化合物(第2のエポキシ化合物)を含むことが好ましい。(C)第2のエポキシ化合物として、従来公知のナフチレンエーテル骨格を有さないエポキシ化合物を使用可能である。(C)第2のエポキシ化合物は、少なくとも1個のエポキシ基を有しかつナフチレンエーテル骨格を有さない化合物である。(C)第2のエポキシ化合物と(A)エポキシ化合物とは異なる化合物である。(C)第2のエポキシ化合物は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[(C) Epoxy compound having no naphthylene ether skeleton (second epoxy compound)]
The resin material preferably contains (C) an epoxy compound (second epoxy compound) having no naphthylene ether skeleton. As the second epoxy compound (C), a conventionally known epoxy compound having no naphthylene ether skeleton can be used. The (C) second epoxy compound is a compound having at least one epoxy group and having no naphthylene ether skeleton. The (C) second epoxy compound and the (A) epoxy compound are different compounds. As the second epoxy compound (C), only one kind may be used, or two or more kinds may be used in combination.

(C)第2のエポキシ化合物としては、ビスフェノールA型エポキシ化合物、ビスフェノールF型エポキシ化合物、ビスフェノールS型エポキシ化合物、フェノールノボラック型エポキシ化合物、ビフェニル型エポキシ化合物、ビフェニルノボラック型エポキシ化合物、ビフェノール型エポキシ化合物、ナフタレン型エポキシ化合物、フルオレン型エポキシ化合物、フェノールアラルキル型エポキシ化合物、ジシクロペンタジエン型エポキシ化合物、アントラセン型エポキシ化合物、アダマンタン骨格を有するエポキシ化合物、トリシクロデカン骨格を有するエポキシ化合物、及びトリアジン核を骨格に有するエポキシ化合物等が挙げられる。 (C) As the second epoxy compound, a bisphenol A type epoxy compound, a bisphenol F type epoxy compound, a bisphenol S type epoxy compound, a phenol novolac type epoxy compound, a biphenyl type epoxy compound, a biphenyl novolac type epoxy compound, a biphenol type epoxy compound. , Naphthalene type epoxy compound, fluorene type epoxy compound, phenol aralkyl type epoxy compound, dicyclopentadiene type epoxy compound, anthracene type epoxy compound, epoxy compound having adamantane skeleton, epoxy compound having tricyclodecane skeleton, and skeleton of triazine nucleus The epoxy compound and the like included in 1.

誘電正接をより一層低くし、かつ硬化物の熱寸法安定性及び難燃性を高める観点からは、(C)第2のエポキシ化合物は、芳香族骨格を有するエポキシ化合物を含むことが好ましく、ナフタレン骨格、フェニル骨格又はビフェニル骨格を有するエポキシ化合物を含むことがより好ましく、芳香族骨格を有するエポキシ化合物であることがさらに好ましい。 From the viewpoint of further lowering the dielectric loss tangent and enhancing the thermal dimensional stability and flame retardancy of the cured product, the (C) second epoxy compound preferably contains an epoxy compound having an aromatic skeleton, and naphthalene An epoxy compound having a skeleton, a phenyl skeleton or a biphenyl skeleton is more preferable, and an epoxy compound having an aromatic skeleton is further preferable.

(C)第2のエポキシ化合物は、25℃で液状のエポキシ化合物を含むことが好ましく、25℃で液状のエポキシ化合物と25℃で固形のエポキシ化合物とを含むことがより好ましい。この場合には、硬化反応を十分に進行させることができるため、誘電正接をより一層低くすることができ、また、硬化物の線膨張係数(CTE)を良好にすることができる。また、この場合には、樹脂材料の溶融粘度を効果的に低くすることができるため、凹凸表面に対する埋め込み性を高めることができ、また、硬化温度を低くすることができる。 The (C) second epoxy compound preferably contains a liquid epoxy compound at 25° C., and more preferably contains a liquid epoxy compound at 25° C. and a solid epoxy compound at 25° C. In this case, since the curing reaction can be sufficiently advanced, the dielectric loss tangent can be further lowered, and the linear expansion coefficient (CTE) of the cured product can be improved. Further, in this case, since the melt viscosity of the resin material can be effectively reduced, the embeddability on the uneven surface can be enhanced and the curing temperature can be lowered.

上記25℃で液状の(C)第2のエポキシ化合物の25℃での粘度は、1000mPa・s以下であることが好ましく、500mPa・s以下であることがより好ましい。 The viscosity of the second epoxy compound (C) liquid at 25° C. at 25° C. is preferably 1000 mPa·s or less, more preferably 500 mPa·s or less.

(C)第2のエポキシ化合物の粘度を測定は、例えば動的粘弾性測定装置(レオロジカ・インスツルメンツ社製「VAR−100」)等を用いて測定することができる。 (C) The viscosity of the second epoxy compound can be measured by using, for example, a dynamic viscoelasticity measuring device (“VAR-100” manufactured by Rheological Instruments).

(C)第2のエポキシ化合物の分子量は1000以下であることがより好ましい。この場合には、樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、無機充填材の含有量が50重量%以上であっても、絶縁層の形成時に流動性が高い樹脂材料が得られる。このため、樹脂材料の未硬化物又はBステージ化物を回路基板上にラミネートした場合に、無機充填材を均一に存在させることができる。 The molecular weight of the (C) second epoxy compound is more preferably 1,000 or less. In this case, even if the content of the inorganic filler is 50% by weight or more in 100% by weight of the component excluding the solvent in the resin material, a resin material having high fluidity at the time of forming the insulating layer can be obtained. Therefore, when the uncured resin material or the B-staged resin material is laminated on the circuit board, the inorganic filler can be uniformly present.

(C)第2のエポキシ化合物の分子量は、(C)第2のエポキシ化合物が重合体ではない場合、及び(C)第2のエポキシ化合物の構造式が特定できる場合には、当該構造式から算出できる分子量を意味する。また、(C)第2のエポキシ化合物の分子量は、(C)第2のエポキシ化合物が重合体である場合には、重量平均分子量を意味する。 The molecular weight of the (C) second epoxy compound is determined from the structural formula (C) when the second epoxy compound is not a polymer and when the structural formula of the (C) second epoxy compound can be specified. It means the molecular weight that can be calculated. The molecular weight of the (C) second epoxy compound means the weight average molecular weight when the (C) second epoxy compound is a polymer.

樹脂材料中の(E)無機充填材及び溶剤を除く成分100重量%中、(C)第2のエポキシ化合物の含有量は、好ましくは6重量%以上、より好ましくは15重量%以上であり、好ましくは36重量%以下、より好ましくは30重量%以下である。(C)第2のエポキシ化合物の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化物の熱寸法安定性がより一層高くなり、Bステージフィルムの柔軟性及び本硬化後の十分な硬化性がより一層高くなる。 The content of the (C) second epoxy compound in 100% by weight of the component excluding the inorganic filler and the solvent in the resin material is preferably 6% by weight or more, more preferably 15% by weight or more, It is preferably 36% by weight or less, more preferably 30% by weight or less. (C) When the content of the second epoxy compound is at least the above lower limit and not more than the above upper limit, the thermal dimensional stability of the cured product is further enhanced, and the flexibility of the B stage film and sufficient curing after the main curing are achieved. Sex is even higher.

[(D)硬化剤(第2の硬化剤)]
上記樹脂材料は、(D)ナフチレンエーテル骨格を有する活性エステル化合物とは異なる硬化剤(第2の硬化剤)を含むことが好ましい。(D)第2の硬化剤は特に限定されない。(D)第2の硬化剤として、従来公知の硬化剤を使用可能である。(D)第2の硬化剤は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[(D) Curing Agent (Second Curing Agent)]
The resin material preferably contains a curing agent (second curing agent) different from the active ester compound (D) having a naphthylene ether skeleton. (D) The second curing agent is not particularly limited. (D) As the second curing agent, a conventionally known curing agent can be used. As the second curing agent (D), only one type may be used, or two or more types may be used in combination.

(D)第2の硬化剤としては、シアネートエステル化合物(シアネートエステル硬化剤)、ナフチレンエーテル骨格を有さない活性エステル化合物、アミン化合物(アミン硬化剤)、チオール化合物(チオール硬化剤)、ホスフィン化合物、ジシアンジアミド、フェノール化合物(フェノール硬化剤)、酸無水物、カルボジイミド化合物(カルボジイミド硬化剤)、及びベンゾオキサジン化合物(ベンゾオキサジン硬化剤)等が挙げられる。(D)第2の硬化剤は、上記エポキシ化合物のエポキシ基と反応可能な官能基を有することが好ましい。 (D) As the second curing agent, a cyanate ester compound (cyanate ester curing agent), an active ester compound having no naphthylene ether skeleton, an amine compound (amine curing agent), a thiol compound (thiol curing agent), phosphine Examples thereof include compounds, dicyandiamide, phenol compounds (phenol curing agents), acid anhydrides, carbodiimide compounds (carbodiimide curing agents), and benzoxazine compounds (benzoxazine curing agents). The (D) second curing agent preferably has a functional group capable of reacting with the epoxy group of the epoxy compound.

熱寸法安定性をより一層高める観点から、(D)第2の硬化剤は、フェノール化合物、シアネートエステル化合物、酸無水物、カルボジイミド化合物、ナフチレンエーテル骨格を有さない活性エステル化合物、及びベンゾオキサジン化合物の内の少なくとも1種の成分を含むことが好ましい。すなわち、上記樹脂材料は、フェノール化合物、シアネートエステル化合物、酸無水物、カルボジイミド化合物、ナフチレンエーテル骨格を有さない活性エステル化合物、及びベンゾオキサジン化合物の内の少なくとも1種の成分を含む硬化剤を含むことが好ましい。上記樹脂材料は、上記フェノール化合物を含むことが特に好ましい。 From the viewpoint of further enhancing the thermal dimensional stability, the (D) second curing agent is a phenol compound, a cyanate ester compound, an acid anhydride, a carbodiimide compound, an active ester compound having no naphthylene ether skeleton, and benzoxazine. It is preferred to include at least one component of the compound. That is, the resin material is a curing agent containing at least one component selected from a phenol compound, a cyanate ester compound, an acid anhydride, a carbodiimide compound, an active ester compound having no naphthylene ether skeleton, and a benzoxazine compound. It is preferable to include. It is particularly preferable that the resin material contains the phenol compound.

本明細書において、「フェノール化合物、シアネートエステル化合物、酸無水物、カルボジイミド化合物、ナフチレンエーテル骨格を有さない活性エステル化合物、及びベンゾオキサジン化合物の内の少なくとも1種の成分」を「成分X」と記載することがある。 In the present specification, "component X" means "at least one component of a phenol compound, a cyanate ester compound, an acid anhydride, a carbodiimide compound, an active ester compound having no naphthylene ether skeleton, and a benzoxazine compound". May be described.

したがって、上記樹脂材料は、成分Xを含む硬化剤を含むことが好ましい。上記成分Xは、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。 Therefore, it is preferable that the resin material contains a curing agent containing the component X. As the component X, only one type may be used, or two or more types may be used in combination.

上記フェノール化合物としては、ノボラック型フェノール、ビフェノール型フェノール、ナフタレン型フェノール、ジシクロペンタジエン型フェノール、アラルキル型フェノール及びジシクロペンタジエン型フェノール等が挙げられる。 Examples of the phenol compound include novolac type phenol, biphenol type phenol, naphthalene type phenol, dicyclopentadiene type phenol, aralkyl type phenol and dicyclopentadiene type phenol.

上記フェノール化合物の市販品としては、ノボラック型フェノール(DIC社製「TD−2091」)、ビフェニルノボラック型フェノール(明和化成社製「MEH−7851」)、アラルキル型フェノール化合物(明和化成社製「MEH−7800」)、並びにアミノトリアジン骨格を有するフェノール(DIC社製「LA1356」及び「LA3018−50P」)等が挙げられる。 As commercial products of the above-mentioned phenol compounds, novolac type phenols (“TD-2091” manufactured by DIC), biphenyl novolac type phenols (“MEH-7851” manufactured by Meiwa Kasei Co., Ltd.), aralkyl type phenol compounds (“MEH manufactured by Meiwa Kasei Co., Ltd.” -7800"), and a phenol having an aminotriazine skeleton ("LA1356" and "LA3018-50P" manufactured by DIC) and the like.

上記シアネートエステル化合物としては、ノボラック型シアネートエステル樹脂、ビスフェノール型シアネートエステル樹脂、並びにこれらが一部三量化されたプレポリマー等が挙げられる。上記ノボラック型シアネートエステル樹脂としては、フェノールノボラック型シアネートエステル樹脂及びアルキルフェノール型シアネートエステル樹脂等が挙げられる。上記ビスフェノール型シアネートエステル樹脂としては、ビスフェノールA型シアネートエステル樹脂、ビスフェノールE型シアネートエステル樹脂及びテトラメチルビスフェノールF型シアネートエステル樹脂等が挙げられる。 Examples of the cyanate ester compound include novolac type cyanate ester resins, bisphenol type cyanate ester resins, and prepolymers obtained by partially trimming these. Examples of the novolac type cyanate ester resin include a phenol novolac type cyanate ester resin and an alkylphenol type cyanate ester resin. Examples of the bisphenol type cyanate ester resin include a bisphenol A type cyanate ester resin, a bisphenol E type cyanate ester resin and a tetramethylbisphenol F type cyanate ester resin.

上記シアネートエステル化合物の市販品としては、フェノールノボラック型シアネートエステル樹脂(ロンザジャパン社製「PT−30」及び「PT−60」)、並びにビスフェノール型シアネートエステル樹脂が三量化されたプレポリマー(ロンザジャパン社製「BA−230S」、「BA−3000S」、「BTP−1000S」及び「BTP−6020S」)等が挙げられる。 As commercial products of the above cyanate ester compounds, phenol novolac type cyanate ester resins (“PT-30” and “PT-60” manufactured by Lonza Japan Co., Ltd.), and a prepolymer obtained by trimerizing a bisphenol type cyanate ester resin (Lonza Japan "BA-230S", "BA-3000S", "BTP-1000S", and "BTP-6020S") manufactured by the company can be used.

上記酸無水物としては、テトラヒドロフタル酸無水物、及びアルキルスチレン−無水マレイン酸共重合体等が挙げられる。 Examples of the acid anhydride include tetrahydrophthalic anhydride, an alkylstyrene-maleic anhydride copolymer, and the like.

上記酸無水物の市販品としては、新日本理化社製「リカシッド TDA−100」等が挙げられる。 Examples of commercially available products of the acid anhydride include "Rikacid TDA-100" manufactured by Shin Nippon Rika Co., Ltd. and the like.

上記カルボジイミド化合物は、下記式(2)で表される構造単位を有する。下記式(2)において、右端部及び左端部は、他の基との結合部位である。上記カルボジイミド化合物は1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。 The carbodiimide compound has a structural unit represented by the following formula (2). In the following formula (2), the right end and the left end are binding sites with other groups. Only 1 type may be used for the said carbodiimide compound, and 2 or more types may be used together.

Figure 2020094213
Figure 2020094213

上記式(2)中、Xは、アルキレン基、アルキレン基に置換基が結合した基、シクロアルキレン基、シクロアルキレン基に置換基が結合した基、アリーレン基、又はアリーレン基に置換基が結合した基を表し、pは1〜5の整数を表す。Xが複数存在する場合、複数のXは同一であってもよく、異なっていてもよい。 In the above formula (2), X is an alkylene group, a group in which a substituent is bonded to an alkylene group, a cycloalkylene group, a group in which a substituent is bonded to a cycloalkylene group, an arylene group, or a substituent is bonded to an arylene group. Represents a group, and p represents an integer of 1 to 5. When there are a plurality of Xs, the plurality of Xs may be the same or different.

好適な一つの形態において、少なくとも1つのXは、アルキレン基、アルキレン基に置換基が結合した基、シクロアルキレン基、又はシクロアルキレン基に置換基が結合した基である。 In one preferable form, at least one X is an alkylene group, a group having a substituent bonded to an alkylene group, a cycloalkylene group, or a group having a substituent bonded to a cycloalkylene group.

上記カルボジイミド化合物の市販品としては、日清紡ケミカル社製「カルボジライト V−02B」、「カルボジライト V−03」、「カルボジライト V−04K」、「カルボジライト V−07」、「カルボジライト V−09」、「カルボジライト 10M−SP」、及び「カルボジライト 10M−SP(改)」、並びに、ラインケミー社製「スタバクゾールP」、「スタバクゾールP400」、及び「ハイカジル510」等が挙げられる。 Commercially available products of the above-mentioned carbodiimide compounds include "carbodilite V-02B", "carbodilite V-03", "carbodilite V-04K", "carbodilite V-07", "carbodilite V-09", and "carbodilite" manufactured by Nisshinbo Chemical Inc. 10M-SP", "Carbodilite 10M-SP (modified)", and "Stabaxol P", "Stabaxol P400", "Hikasil 510" manufactured by Rhein Chemie.

上記ナフチレンエーテル骨格を有さない活性エステル化合物とは、ナフチレンエーテル骨格を有さず、エステル結合を少なくとも1つ有し、かつ、エステル結合の両側に脂肪族鎖、脂肪族環、又は芳香族環が結合している化合物をいう。上記ナフチレンエーテル骨格を有さない活性エステル化合物は、例えばカルボン酸化合物又はチオカルボン酸化合物と、ヒドロキシ化合物又はチオール化合物との縮合反応によって得られる。 The active ester compound having no naphthylene ether skeleton has no naphthylene ether skeleton, has at least one ester bond, and has an aliphatic chain, an aliphatic ring, or an aromatic group on both sides of the ester bond. A compound in which a group ring is bonded. The active ester compound having no naphthylene ether skeleton is obtained, for example, by a condensation reaction of a carboxylic acid compound or a thiocarboxylic acid compound with a hydroxy compound or a thiol compound.

上記ナフチレンエーテル骨格を有さない活性エステル化合物は、上記ナフチレンエーテル骨格を有さず、かつジシクロペンタジエン骨格を有する活性エステル化合物であることが好ましい。 The active ester compound having no naphthylene ether skeleton is preferably an active ester compound having no naphthylene ether skeleton and having a dicyclopentadiene skeleton.

上記ナフチレンエーテル骨格を有さない活性エステル化合物の市販品としては、DIC社製「HPC−8000L−65T」等が挙げられる。 Examples of commercially available active ester compounds having no naphthylene ether skeleton include "HPC-8000L-65T" manufactured by DIC.

上記ベンゾオキサジン化合物としては、P−d型ベンゾオキサジン、及びF−a型ベンゾオキサジン等が挙げられる。 Examples of the benzoxazine compound include Pd type benzoxazine and Fa type benzoxazine.

上記ベンゾオキサジン化合物の市販品としては、四国化成工業社製「P−d型」等が挙げられる。 As a commercial item of the said benzoxazine compound, "Pd type" by Shikoku Chemicals Co., Ltd. etc. are mentioned.

全てのエポキシ化合物100重量部((A)エポキシ化合物と(C)第2のエポキシ化合物との合計100重量部)に対する全ての硬化剤の含有量((B)活性エステル化合物と(D)第2の硬化剤との合計の含有量)は、好ましくは70重量部以上、より好ましくは80重量部以上である。全てのエポキシ化合物100重量部((A)エポキシ化合物と(C)第2のエポキシ化合物との合計100重量部)に対する全ての硬化剤の含有量((B)活性エステル化合物と(D)第2の硬化剤との合計の含有量)は、好ましくは150重量部以下、より好ましくは120重量部以下である。上記含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化性により一層優れ、熱寸法安定性をより一層高め、残存未反応成分の揮発をより一層抑制できる。 Content of all curing agents (100 parts by weight of (A) epoxy compound and (C) second epoxy compound) (100 parts by weight of all epoxy compounds) ((B) active ester compound and (D) second) The total content with the curing agent) is preferably 70 parts by weight or more, more preferably 80 parts by weight or more. Content of all curing agents (100 parts by weight of (A) epoxy compound and (C) second epoxy compound) (100 parts by weight of all epoxy compounds) ((B) active ester compound and (D) second) The total content with the curing agent) is preferably 150 parts by weight or less, more preferably 120 parts by weight or less. When the content is equal to or more than the lower limit and equal to or less than the upper limit, curability is more excellent, thermal dimensional stability is further enhanced, and volatilization of residual unreacted components can be further suppressed.

上記樹脂材料中の無機充填材及び溶剤を除く成分100重量%中、全てのエポキシ化合物と全ての硬化剤との合計の含有量は、好ましくは40重量%以上、より好ましくは60重量%以上であり、好ましくは90重量%以下、より好ましくは85重量%以下である。上記合計の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化性により一層優れ、熱寸法安定性をより一層高めることができる。上記「全てのエポキシ化合物と全ての硬化剤との合計の含有量」とは、「(A)エポキシ化合物と(C)第2のエポキシ化合物と(B)活性エステル化合物と(D)第2の硬化剤との合計の含有量」である。 In 100% by weight of the components excluding the inorganic filler and solvent in the resin material, the total content of all epoxy compounds and all curing agents is preferably 40% by weight or more, more preferably 60% by weight or more. %, preferably 90% by weight or less, more preferably 85% by weight or less. When the total content is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the curability is more excellent and the thermal dimensional stability can be further enhanced. The above-mentioned "total content of all epoxy compounds and all curing agents" means "(A) epoxy compound, (C) second epoxy compound, (B) active ester compound, and (D) second The total content with the curing agent".

[(E)無機充填材]
上記樹脂材料は、(E)無機充填材を含むことが好ましい。(E)無機充填材の使用により、硬化物の誘電正接をより一層低くすることができる。また、(E)無機充填材の使用により、硬化物の熱による寸法変化がより一層小さくなる。(E)無機充填材は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[(E) Inorganic filler]
The resin material preferably contains (E) an inorganic filler. By using the inorganic filler (E), the dielectric loss tangent of the cured product can be further lowered. Further, the use of the inorganic filler (E) further reduces the dimensional change due to heat of the cured product. As the inorganic filler (E), only one type may be used, or two or more types may be used in combination.

(E)無機充填材としては、シリカ、タルク、クレイ、マイカ、ハイドロタルサイト、アルミナ、酸化マグネシウム、水酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、及び窒化ホウ素等が挙げられる。 Examples of the inorganic filler (E) include silica, talc, clay, mica, hydrotalcite, alumina, magnesium oxide, aluminum hydroxide, aluminum nitride, and boron nitride.

硬化物の表面の表面粗さを小さくし、硬化物と金属層との接着強度をより一層高くし、かつ硬化物の表面により一層微細な配線を形成し、かつ硬化物により良好な絶縁信頼性を付与する観点からは、(E)無機充填材は、シリカ又はアルミナであることが好ましく、シリカであることがより好ましく、溶融シリカであることがさらに好ましい。シリカの使用により、硬化物の熱膨張率がより一層低くなり、また、硬化物の誘電正接がより一層低くなる。また、シリカの使用により、硬化物の表面の表面粗さが効果的に小さくなり、硬化物と金属層との接着強度が効果的に高くなる。シリカの形状は球状であることが好ましい。 The surface roughness of the cured product is reduced, the adhesive strength between the cured product and the metal layer is further increased, and finer wiring is formed on the surface of the cured product, and the cured product has better insulation reliability. From the viewpoint of imparting, the (E) inorganic filler is preferably silica or alumina, more preferably silica, and further preferably fused silica. The use of silica results in a lower coefficient of thermal expansion of the cured product and a lower dielectric loss tangent of the cured product. Further, by using silica, the surface roughness of the surface of the cured product is effectively reduced, and the adhesive strength between the cured product and the metal layer is effectively increased. The shape of silica is preferably spherical.

硬化環境によらず、樹脂の硬化を進め、硬化物のガラス転移温度を効果的に高くし、硬化物の熱線膨張係数を効果的に小さくする観点からは、(E)無機充填材は球状シリカであることが好ましい。 The inorganic filler (E) is spherical silica from the viewpoint of promoting the curing of the resin regardless of the curing environment, effectively increasing the glass transition temperature of the cured product, and effectively reducing the thermal linear expansion coefficient of the cured product. Is preferred.

(E)無機充填材の平均粒径は、好ましくは50nm以上、より好ましくは100nm以上、さらに好ましくは500nm以上であり、好ましくは5μm以下、より好ましくは3μm以下、さらに好ましくは1μm以下である。(E)無機充填材の平均粒径が上記下限以上及び上記上限以下であると、エッチング後の表面粗度を小さくし、かつメッキピール強度を高くすることができ、また、絶縁層と金属層との密着性をより一層高めることができる。 The average particle size of the inorganic filler (E) is preferably 50 nm or more, more preferably 100 nm or more, still more preferably 500 nm or more, preferably 5 μm or less, more preferably 3 μm or less, still more preferably 1 μm or less. (E) When the average particle size of the inorganic filler is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the surface roughness after etching can be reduced and the plating peel strength can be increased, and the insulating layer and the metal layer It is possible to further improve the adhesiveness with.

(E)無機充填材の平均粒径として、50%となるメディアン径(d50)の値が採用される。上記平均粒径は、レーザー回折散乱方式の粒度分布測定装置を用いて測定可能である。 (E) As the average particle diameter of the inorganic filler, the value of the median diameter (d50) at 50% is adopted. The average particle diameter can be measured using a laser diffraction/scattering particle size distribution measuring device.

(E)無機充填材は、球状であることが好ましく、球状シリカであることがより好ましい。この場合には、硬化物の表面の表面粗さが効果的に小さくなり、さらに硬化物と金属層との接着強度が効果的に高くなる。(E)無機充填材が球状である場合には、(E)無機充填材のアスペクト比は好ましくは2以下、より好ましくは1.5以下である。 The (E) inorganic filler is preferably spherical, and more preferably spherical silica. In this case, the surface roughness of the surface of the cured product is effectively reduced, and the adhesive strength between the cured product and the metal layer is effectively increased. When the (E) inorganic filler is spherical, the aspect ratio of the (E) inorganic filler is preferably 2 or less, more preferably 1.5 or less.

(E)無機充填材は、表面処理されていることが好ましく、カップリング剤による表面処理物であることがより好ましく、シランカップリング剤による表面処理物であることがさらに好ましい。(E)無機充填材が表面処理されていることにより、粗化硬化物の表面の表面粗さがより一層小さくなり、硬化物と金属層との接着強度がより一層高くなる。また、(E)無機充填材が表面処理されていることにより、硬化物の表面により一層微細な配線を形成することができ、かつより一層良好な配線間絶縁信頼性及び層間絶縁信頼性を硬化物に付与することができる。 The inorganic filler (E) is preferably surface-treated, more preferably a surface-treated product with a coupling agent, and even more preferably a surface-treated product with a silane coupling agent. By surface-treating the inorganic filler (E), the surface roughness of the surface of the roughened cured product is further reduced, and the adhesive strength between the cured product and the metal layer is further enhanced. In addition, since the inorganic filler (E) is surface-treated, finer wiring can be formed on the surface of the cured product, and the insulation reliability between wirings and interlayer insulation reliability are improved. Can be attached to things.

上記カップリング剤としては、シランカップリング剤、チタンカップリング剤及びアルミニウムカップリング剤等が挙げられる。上記シランカップリング剤としては、メタクリルシラン、アクリルシラン、アミノシラン、イミダゾールシラン、ビニルシラン、及びエポキシシラン等が挙げられる。 Examples of the coupling agent include a silane coupling agent, a titanium coupling agent and an aluminum coupling agent. Examples of the silane coupling agent include methacrylsilane, acrylsilane, aminosilane, imidazolesilane, vinylsilane, and epoxysilane.

樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、(E)無機充填材の含有量は、好ましくは50重量%以上、より好ましくは60重量%以上、さらに好ましくは65重量%以上、特に好ましくは68重量%以上であり、好ましくは90重量%以下、より好ましくは85重量%以下、さらに好ましくは80重量%以下、特に好ましくは75重量%以下である。(E)無機充填材の含有量が上記下限以上であると、誘電正接が効果的に低くなる。(E)無機充填材の含有量が上記上限以下であると、熱寸法安定性を高め、硬化物の反りを効果的に抑えることができる。(E)無機充填材の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化物の表面の表面粗さをより一層小さくすることができ、かつ硬化物の表面により一層微細な配線を形成することができる。さらに、この無機充填材の含有量であれば、硬化物の熱膨張率を低くすることと同時に、スミア除去性を良好にすることも可能である。 The content of the (E) inorganic filler in 100% by weight of the component excluding the solvent in the resin material is preferably 50% by weight or more, more preferably 60% by weight or more, further preferably 65% by weight or more, particularly preferably It is 68% by weight or more, preferably 90% by weight or less, more preferably 85% by weight or less, further preferably 80% by weight or less, particularly preferably 75% by weight or less. When the content of the inorganic filler (E) is at least the above lower limit, the dielectric loss tangent becomes effectively low. When the content of the inorganic filler (E) is less than or equal to the above upper limit, thermal dimensional stability can be increased and warpage of the cured product can be effectively suppressed. (E) When the content of the inorganic filler is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the surface roughness of the surface of the cured product can be further reduced, and finer wiring can be formed on the surface of the cured product. can do. Further, the content of this inorganic filler can reduce the coefficient of thermal expansion of the cured product and at the same time improve the smear removing property.

[(F)硬化促進剤]
上記樹脂材料は、(F)硬化促進剤を含むことが好ましい。(F)硬化促進剤の使用により、硬化速度がより一層速くなる。樹脂材料を速やかに硬化させることで、硬化物における架橋構造が均一になると共に、未反応の官能基数が減り、結果的に架橋密度が高くなる。(F)硬化促進剤は特に限定されず、従来公知の硬化促進剤を使用可能である。(F)硬化促進剤は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[(F) Curing accelerator]
The resin material preferably contains (F) a curing accelerator. (F) By using the curing accelerator, the curing speed is further increased. By rapidly curing the resin material, the crosslinked structure in the cured product becomes uniform, the number of unreacted functional groups decreases, and as a result, the crosslink density increases. The curing accelerator (F) is not particularly limited, and conventionally known curing accelerators can be used. As the curing accelerator (F), only one type may be used, or two or more types may be used in combination.

(F)硬化促進剤としては、例えば、イミダゾール化合物等のアニオン性硬化促進剤、アミン化合物等のカチオン性硬化促進剤、リン化合物及び有機金属化合物等のアニオン性及びカチオン性硬化促進剤以外の硬化促進剤、並びに過酸化物等のラジカル性硬化促進剤等が挙げられる。 Examples of the (F) curing accelerator include anionic curing accelerators such as imidazole compounds, cationic curing accelerators such as amine compounds, and curing other than anionic and cationic curing accelerators such as phosphorus compounds and organometallic compounds. Examples include accelerators and radical curing accelerators such as peroxides.

上記イミダゾール化合物としては、2−ウンデシルイミダゾール、2−ヘプタデシルイミダゾール、2−メチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、2−フェニル−4−メチルイミダゾール、1−ベンジル−2−メチルイミダゾール、1−ベンジル−2−フェニルイミダゾール、1,2−ジメチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−エチル−4−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−ウンデシルイミダゾール、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル−2−ウンデシルイミダゾリウムトリメリテイト、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾリウムトリメリテイト、2,4−ジアミノ−6−[2’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−ウンデシルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−エチル−4’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジンイソシアヌル酸付加物、2−フェニルイミダゾールイソシアヌル酸付加物、2−メチルイミダゾールイソシアヌル酸付加物、2−フェニル−4,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール及び2−フェニル−4−メチル−5−ジヒドロキシメチルイミダゾール等が挙げられる。 Examples of the imidazole compound include 2-undecylimidazole, 2-heptadecylimidazole, 2-methylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 2-phenyl-4-methylimidazole, 1-benzyl- 2-methylimidazole, 1-benzyl-2-phenylimidazole, 1,2-dimethylimidazole, 1-cyanoethyl-2-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-ethyl-4-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-un Decylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazolium trimellitate, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazolium trimellitate, 2,4-diamino-6-[2' -Methylimidazolyl-(1')]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6-[2'-undecylimidazolyl-(1')]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino- 6-[2'-ethyl-4'-methylimidazolyl-(1')]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6-[2'-methylimidazolyl-(1')]-ethyl-s -Triazine isocyanuric acid adduct, 2-phenylimidazole isocyanuric acid adduct, 2-methylimidazole isocyanuric acid adduct, 2-phenyl-4,5-dihydroxymethylimidazole and 2-phenyl-4-methyl-5-dihydroxymethylimidazole Etc.

上記アミン化合物としては、ジエチルアミン、トリエチルアミン、ジエチレンテトラミン、トリエチレンテトラミン及び4,4−ジメチルアミノピリジン等が挙げられる。 Examples of the amine compound include diethylamine, triethylamine, diethylenetetramine, triethylenetetramine and 4,4-dimethylaminopyridine.

上記リン化合物としては、トリフェニルホスフィン化合物等が挙げられる。 Examples of the phosphorus compound include triphenylphosphine compounds and the like.

上記有機金属化合物としては、ナフテン酸亜鉛、ナフテン酸コバルト、オクチル酸スズ、オクチル酸コバルト、ビスアセチルアセトナートコバルト(II)及びトリスアセチルアセトナートコバルト(III)等が挙げられる。 Examples of the organometallic compound include zinc naphthenate, cobalt naphthenate, tin octylate, cobalt octylate, bisacetylacetonato cobalt (II), and trisacetylacetonato cobalt (III).

上記過酸化物としてはジクミルペルオキシド、及びパーヘキシル25B等が挙げられる。 Examples of the above-mentioned peroxides include dicumyl peroxide and perhexyl 25B.

硬化温度をより一層低く抑え、硬化物の反りを効果的に抑える観点からは、(F)硬化促進剤は、上記アニオン性硬化促進剤を含むことが好ましく、上記イミダゾール化合物を含むことがより好ましい。 From the viewpoint of further suppressing the curing temperature and effectively suppressing the warp of the cured product, the (F) curing accelerator preferably contains the anionic curing accelerator, and more preferably contains the imidazole compound. ..

硬化温度をより一層低く抑え、硬化物の反りを効果的に抑える観点からは、(F)硬化促進剤100重量%中、上記アニオン性硬化促進剤の含有量は、好ましくは20重量%以上、より好ましくは50重量%以上、さらに好ましくは70重量%以上、最も好ましくは100重量%(全量)である。したがって、(F)硬化促進剤は、上記アニオン性硬化促進剤であることが最も好ましい。 From the viewpoint of further suppressing the curing temperature and effectively suppressing the warp of the cured product, the content of the anionic curing accelerator in 100% by weight of the (F) curing accelerator is preferably 20% by weight or more, It is more preferably 50% by weight or more, further preferably 70% by weight or more, and most preferably 100% by weight (total amount). Therefore, the (F) curing accelerator is most preferably the anionic curing accelerator.

(F)硬化促進剤の含有量は特に限定されない。樹脂材料中の(E)無機充填材及び溶剤を除く成分100重量%中、(F)硬化促進剤の含有量は、好ましくは0.01重量%以上、より好ましくは0.05重量%以上であり、好ましくは5重量%以下、より好ましくは3重量%以下である。(F)硬化促進剤の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、樹脂材料が効率的に硬化する。上記硬化促進剤の含有量がより好ましい範囲であれば、樹脂材料の保存安定性がより一層高くなり、かつより一層良好な硬化物が得られる。 The content of the (F) curing accelerator is not particularly limited. The content of the (F) curing accelerator is preferably 0.01% by weight or more, more preferably 0.05% by weight or more in 100% by weight of the component excluding the inorganic filler and the solvent in the resin material. %, preferably 5% by weight or less, more preferably 3% by weight or less. When the content of the (F) curing accelerator is at least the above lower limit and at most the above upper limit, the resin material is efficiently cured. If the content of the curing accelerator is in a more preferable range, the storage stability of the resin material will be further enhanced, and a better cured product will be obtained.

[(G)ダイマージアミンに由来する骨格又はトリマートリアミンに由来する骨格を有し、かつポリイミド化合物とは異なる化合物]
本発明に係る樹脂材料は、(G)ダイマージアミンに由来する骨格又はトリマートリアミンに由来する骨格を有し、かつポリイミド化合物とは異なる化合物を含むことが好ましい。(G)化合物は、ダイマージアミンに由来する骨格又はトリマートリアミンに由来する骨格を有する化合物である。(G)化合物は、ポリイミド化合物とは異なる化合物である。(G)化合物は、ダイマージアミンに由来する骨格を有していてもよく、トリマートリアミンに由来する骨格を有していてもよく、ダイマージアミンに由来する骨格とトリマートリアミンに由来する骨格とを有していてもよい。(G)化合物は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[(G) Compound having skeleton derived from dimer diamine or skeleton derived from trimer triamine and different from polyimide compound]
The resin material according to the present invention preferably has a skeleton derived from (G) dimer diamine or a skeleton derived from trimer triamine and contains a compound different from the polyimide compound. The compound (G) is a compound having a skeleton derived from dimer diamine or a skeleton derived from trimer triamine. The compound (G) is a compound different from the polyimide compound. The compound (G) may have a skeleton derived from dimerdiamine, may have a skeleton derived from trimertriamine, and has a skeleton derived from dimerdiamine and a skeleton derived from trimertriamine. You may have. As the compound (G), only one type may be used, or two or more types may be used in combination.

上記ダイマージアミンに由来する骨格又は上記トリマートリアミンに由来する骨格は、(G)化合物において、部分骨格として存在することが好ましい。 The skeleton derived from the dimer diamine or the skeleton derived from the trimer triamine is preferably present as a partial skeleton in the compound (G).

(G)化合物は、マレイミド化合物であることが好ましい。すなわち、(G)化合物は、ダイマージアミンに由来する骨格又はトリマートリアミンに由来する骨格を有するマレイミド化合物であることが好ましい。 The compound (G) is preferably a maleimide compound. That is, the (G) compound is preferably a maleimide compound having a skeleton derived from dimer diamine or a skeleton derived from trimer triamine.

上記マレイミド化合物は、ビスマレイミド化合物であることが好ましい。すなわち、(G)化合物は、ダイマージアミンに由来する骨格を有するビスマレイミド化合物であることも好ましい。 The maleimide compound is preferably a bismaleimide compound. That is, the (G) compound is also preferably a bismaleimide compound having a skeleton derived from dimer diamine.

なお、上記マレイミド化合物には、シトラコンイミド化合物が含まれる。上記シトラコンイミド化合物とは、マレイミド基における炭素原子間の二重結合を構成する炭素原子の一方にメチル基が結合した化合物である。上記マレイミド化合物は、シトラコンイミド化合物であってもよい。上記シトラコンイミド化合物は、マレイミド化合物よりも反応性が低いので、樹脂材料の保存安定性を高めることができる。 The maleimide compound includes a citracone imide compound. The above citraconimide compound is a compound in which a methyl group is bonded to one of the carbon atoms constituting the double bond between carbon atoms in the maleimide group. The maleimide compound may be a citracone imide compound. Since the citraconic imide compound has lower reactivity than the maleimide compound, the storage stability of the resin material can be improved.

(G)化合物は、ダイマージアミン以外のジアミン化合物に由来する骨格又はトリマートリアミン以外のトリアミン化合物に由来する骨格を有していてもよい。この場合に、(G)化合物は、ダイマージアミン以外のジアミン化合物に由来する骨格を有していてもよく、トリマートリアミン以外のトリアミン化合物に由来する骨格を有していてもよい。 The compound (G) may have a skeleton derived from a diamine compound other than dimerdiamine or a skeleton derived from a triamine compound other than trimertriamine. In this case, the (G) compound may have a skeleton derived from a diamine compound other than dimerdiamine, or may have a skeleton derived from a triamine compound other than trimertriamine.

(G)化合物は、主鎖にダイマージアミン又はトリマートリアミンに由来する骨格と、ダイマージアミン以外のジアミン化合物又はトリマートリアミン以外のトリアミン化合物に由来する骨格とを有することが好ましい。この場合には、樹脂材料を得る際の各配合成分との混合性を高めることでき、また、(G)化合物の軟化点を高め、硬化物の熱寸法安定性を高めることができる。 The (G) compound preferably has a skeleton derived from dimer diamine or trimer triamine in the main chain and a skeleton derived from a diamine compound other than dimer diamine or a triamine compound other than trimer triamine. In this case, the miscibility with each compounding component when obtaining the resin material can be increased, and the softening point of the (G) compound can be increased to improve the thermal dimensional stability of the cured product.

硬化物の熱寸法安定性を高める観点からは、上記ダイマージアミン以外のジアミン化合物又は上記トリマートリアミン以外のトリアミン化合物は、トリシクロデカン骨格を有するジアミン化合物又はトリシクロデカン骨格を有するトリアミン化合物であることが好ましい。 From the viewpoint of enhancing the thermal dimensional stability of the cured product, the diamine compound other than the dimer diamine or the triamine compound other than the trimer triamine is a diamine compound having a tricyclodecane skeleton or a triamine compound having a tricyclodecane skeleton. Is preferred.

(G)化合物は、主鎖の両末端にのみ、ダイマージアミン又はトリマートリアミンに由来する骨格を有していてもよい。(G)化合物は、主鎖の両末端に、ダイマージアミン以外のジアミン化合物又はトリマートリアミン以外のトリアミン化合物に由来する骨格を有していてもよい。なお、反応性を高める観点からは、(G)化合物は、主鎖の末端に、脂肪族ジアミン化合物に由来する骨格を有することが好ましい。 The compound (G) may have a skeleton derived from dimer diamine or trimer triamine only at both ends of the main chain. The compound (G) may have a skeleton derived from a diamine compound other than dimerdiamine or a triamine compound other than trimertriamine at both ends of the main chain. From the viewpoint of enhancing reactivity, the (G) compound preferably has a skeleton derived from an aliphatic diamine compound at the end of the main chain.

(G)化合物は、主鎖の両末端に上記ダイマージアミンに由来する骨格又はトリマートリアミンに由来する骨格を有することが好ましい。この場合、(G)化合物は、主鎖の両末端に上記ダイマージアミンに由来する骨格を有していてもよく、主鎖の両末端に上記トリマートリアミンに由来する骨格を有していてもよい。また、この場合、(G)化合物は、主鎖の一方の末端に上記ダイマージアミンに由来する骨格を有し、かつ主鎖の他方の末端に上記トリマートリアミンに由来する骨格を有していてもよい。また、この場合、(G)化合物は、主鎖の両末端及び主鎖の両末端以外の骨格内に上記ダイマージアミンに由来する骨格又はトリマートリアミンに由来する骨格を有していてもよく、主鎖の両末端にのみ上記ダイマージアミンに由来する骨格又はトリマートリアミンに由来する骨格を有していてもよい。 The compound (G) preferably has a skeleton derived from the dimer diamine or a skeleton derived from trimer triamine at both ends of the main chain. In this case, the compound (G) may have a skeleton derived from the dimerdiamine at both ends of the main chain, or may have a skeleton derived from the trimertriamine at both ends of the main chain. .. In this case, the compound (G) may have a skeleton derived from the dimerdiamine at one end of the main chain and a skeleton derived from the trimertriamine at the other end of the main chain. Good. In this case, the compound (G) may have a skeleton derived from the dimer diamine or a skeleton derived from trimer triamine in both ends of the main chain and the skeleton other than both ends of the main chain. It may have a skeleton derived from the above dimer diamine or a skeleton derived from trimer triamine only at both ends of the chain.

(G)化合物は、主鎖の両末端にのみ上記ダイマージアミンに由来する骨格又は上記トリマートリアミンに由来する骨格を有していることがより好ましい。(G)化合物が、上記主鎖の両末端にのみ上記ダイマージアミンに由来する骨格又は上記トリマートリアミンに由来する骨格を有する場合には、主鎖骨格を比較的剛直にすることができるので、(G)化合物の軟化点をより一層効果的に高くすることができる。このため、硬化物の熱寸法安定性をさらにより一層高めることができる。 The compound (G) more preferably has a skeleton derived from the dimer diamine or a skeleton derived from the trimer triamine only at both ends of the main chain. When the compound (G) has a skeleton derived from the dimer diamine or a skeleton derived from the trimer triamine only at both ends of the main chain, the main chain skeleton can be made relatively rigid. G) The softening point of the compound can be increased more effectively. Therefore, the thermal dimensional stability of the cured product can be further enhanced.

本発明の効果を効果的に発揮する観点からは、(G)化合物は、主鎖の両末端以外の部分に、ジアミン化合物と酸二無水物との反応物に由来する骨格を有することが好ましい。 From the viewpoint of effectively exerting the effect of the present invention, the (G) compound preferably has a skeleton derived from a reaction product of a diamine compound and an acid dianhydride, at a portion other than both ends of the main chain. .

本発明の効果をより一層効果的に発揮する観点からは、(G)化合物は、主鎖の両末端にのみ上記ダイマージアミンに由来する骨格又はトリマートリアミンに由来する骨格を有し、かつ主鎖の両末端以外の部分に、ジアミン化合物と酸二無水物との反応物に由来する骨格を有することが好ましい。 From the viewpoint of more effectively exerting the effect of the present invention, the compound (G) has a skeleton derived from the dimer diamine or a skeleton derived from trimer triamine only at both ends of the main chain, and the main chain It is preferable to have a skeleton derived from a reaction product of a diamine compound and an acid dianhydride, in a portion other than both ends of.

(G)化合物(マレイミド化合物)は、テトラカルボン酸二無水物等の酸二無水物と、ダイマージアミン又はトリマートリアミンと、必要に応じて、ダイマージアミン以外のジアミン化合物又はトリマートリアミン以外のトリアミン化合物とを反応させて反応物を得た後、該反応物と無水マレイン酸とを反応させて得ることができる。 The compound (G) (maleimide compound) is an acid dianhydride such as tetracarboxylic acid dianhydride, a dimer diamine or trimer triamine, and, if necessary, a diamine compound other than dimer diamine or a triamine compound other than trimer triamine. It can be obtained by reacting the above with a maleic anhydride after the reaction is obtained.

主鎖の両末端にのみ上記ダイマージアミンに由来する骨格又は上記トリマートリアミンに由来する骨格を有する(G)化合物(マレイミド化合物)は、例えば、以下のようにして得ることができる。テトラカルボン酸二無水物等の酸二無水物と、ダイマージアミン以外のジアミン化合物又はトリマートリアミン以外のトリアミン化合物とを反応させて第1の反応物を得る。得られた第1の反応物とダイマージアミン又はトリマートリアミンとを反応させて第2の反応物を得る。得られた第2の反応物と無水マレイン酸とを反応させる。 The (G) compound (maleimide compound) having a skeleton derived from the dimer diamine or a skeleton derived from the trimer triamine only at both ends of the main chain can be obtained, for example, as follows. An acid dianhydride such as tetracarboxylic acid dianhydride is reacted with a diamine compound other than dimerdiamine or a triamine compound other than trimertriamine to obtain a first reaction product. The obtained first reaction product is reacted with dimer diamine or trimer triamine to obtain a second reaction product. The obtained second reactant is reacted with maleic anhydride.

主鎖の両末端以外の部分に、ジアミン化合物と酸二無水物との反応物に由来する骨格を有する(G)化合物(マレイミド化合物)は、例えば、以下のようにして得ることができる。テトラカルボン酸二無水物等の酸二無水物と、ダイマージアミン以外のジアミン化合物とを反応させて第1の反応物を得る。得られた第1の反応物とダイマージアミン又はトリマートリアミンとを反応させて第2の反応物を得る。得られた第2の反応物と無水マレイン酸とを反応させる。 The (G) compound (maleimide compound) having a skeleton derived from a reaction product of a diamine compound and an acid dianhydride at a portion other than both ends of the main chain can be obtained, for example, as follows. An acid dianhydride such as tetracarboxylic acid dianhydride is reacted with a diamine compound other than dimer diamine to obtain a first reaction product. The obtained first reaction product is reacted with dimer diamine or trimer triamine to obtain a second reaction product. The obtained second reactant is reacted with maleic anhydride.

上記テトラカルボン酸二無水物としては、例えば、ピロメリット酸二無水物、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ジメチルジフェニルシランテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−テトラフェニルシランテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4−フランテトラカルボン酸二無水物、4,4’−ビス(3,4−ジカルボキシフェノキシ)ジフェニルスルフィド二無水物、4,4’−ビス(3,4−ジカルボキシフェノキシ)ジフェニルスルホン二無水物、4,4’−ビス(3,4−ジカルボキシフェノキシ)ジフェニルプロパン二無水物、3,3’,4,4’−パーフルオロイソプロピリデンジフタル酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ビス(フタル酸)フェニルホスフィンオキサイド二無水物、p−フェニレン−ビス(トリフェニルフタル酸)二無水物、m−フェニレン−ビス(トリフェニルフタル酸)二無水物、ビス(トリフェニルフタル酸)−4,4’−ジフェニルエーテル二無水物、及びビス(トリフェニルフタル酸)−4,4’−ジフェニルメタン二無水物等が挙げられる。 Examples of the tetracarboxylic dianhydride include pyromellitic dianhydride, 3,3',4,4'-benzophenone tetracarboxylic dianhydride, 3,3',4,4'-biphenylsulfone tetra Carboxylic dianhydride, 1,4,5,8-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 3,3′,4,4′-biphenyl ether Tetracarboxylic acid dianhydride, 3,3′,4,4′-dimethyldiphenylsilane tetracarboxylic acid dianhydride, 3,3′,4,4′-Tetraphenylsilane tetracarboxylic acid dianhydride, 1,2 ,3,4-furantetracarboxylic dianhydride, 4,4'-bis(3,4-dicarboxyphenoxy)diphenyl sulfide dianhydride, 4,4'-bis(3,4-dicarboxyphenoxy)diphenyl Sulfone dianhydride, 4,4'-bis(3,4-dicarboxyphenoxy)diphenylpropane dianhydride, 3,3',4,4'-perfluoroisopropylidene diphthalic acid dianhydride, 3,3 ',4,4'-Biphenyltetracarboxylic dianhydride, bis(phthalic acid)phenylphosphine oxide dianhydride, p-phenylene-bis(triphenylphthalic acid) dianhydride, m-phenylene-bis(triphenyl Phthalic acid) dianhydride, bis(triphenylphthalic acid)-4,4′-diphenylether dianhydride, and bis(triphenylphthalic acid)-4,4′-diphenylmethane dianhydride.

エッチング後の表面粗度をより一層効果的に小さくする観点からは、上記酸二無水物は、エステル結合を有する酸二無水物であることが好ましい。エステル結合を有する酸二無水物としては、ビス(1,3−ジオキソ−1,3−ジヒドロイソベンゾフラン−5−カルボン酸)1,4−フェニレン(東京化成工業社製)等が挙げられる。 From the viewpoint of further effectively reducing the surface roughness after etching, the acid dianhydride is preferably an acid dianhydride having an ester bond. Examples of the acid dianhydride having an ester bond include bis(1,3-dioxo-1,3-dihydroisobenzofuran-5-carboxylic acid)1,4-phenylene (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.).

上記ダイマージアミンとしては、例えば、バーサミン551(商品名、BASFジャパン社製、3,4−ビス(1−アミノヘプチル)−6−ヘキシル−5−(1−オクテニル)シクロヘキセン)、バーサミン552(商品名、コグニクスジャパン社製、バーサミン551の水添物)、並びにPRIAMINE1075、及びPRIAMINE1074(商品名、いずれもクローダジャパン社製)等が挙げられる。 Examples of the dimer diamine include Versamine 551 (trade name, manufactured by BASF Japan Ltd., 3,4-bis(1-aminoheptyl)-6-hexyl-5-(1-octenyl)cyclohexene), Versamine 552 (trade name). , Hydrogenated product of Versamine 551 manufactured by Cognix Japan), PRIAMINE 1075, and PRIAMINE 1074 (trade names, all manufactured by Croda Japan Co., Ltd.).

上記トリマートリアミンとしては、例えば、PRIAMINE1071(商品名、クローダジャパン社製)等が挙げられる。ただし、PRIAMINE1071は、トリアミン成分を約20質量%〜25質量%で含むため、比率を考慮して反応に用いる必要がある。 Examples of the trimer triamine include PRIAMINE1071 (trade name, manufactured by Croda Japan) and the like. However, since PRIAMINE 1071 contains the triamine component in an amount of about 20% by mass to 25% by mass, it is necessary to use it in the reaction in consideration of the ratio.

上記ダイマージアミン以外のジアミン化合物としては、1,3−ビス(アミノメチル)シクロヘキサン、1,4−ビス(アミノメチル)シクロヘキサン、ビス(アミノメチル)ノルボルナン、3(4),8(9)−ビス(アミノメチル)トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン、1,1−ビス(4−アミノフェニル)シクロヘキサン、1,3−シクロヘキサンジアミン、1,4−シクロヘキサンジアミン、2,7−ジアミノフルオレン、4,4’−エチレンジアニリン、イソホロンジアミン、4,4’−メチレンビス(シクロヘキシルアミン)、4,4’−メチレンビス(2,6−ジエチルアニリン)、4,4’−メチレンビス(2−エチル−6−メチルアニリン)、4,4’−メチレンビス(2−メチルシクロヘキシルアミン)、1,4−ジアミノブタン、1,10−ジアミノデカン、1,12−ジアミノドデカン、1,7−ジアミノヘプタン、1,6−ジアミノヘキサン、1,5−ジアミノペンタン、1,8−ジアミノオクタン、1,3−ジアミノプロパン、1,11−ジアミノウンデカン、及び2−メチル−1,5−ジアミノペンタン等が挙げられる。 Examples of diamine compounds other than the dimer diamine include 1,3-bis(aminomethyl)cyclohexane, 1,4-bis(aminomethyl)cyclohexane, bis(aminomethyl)norbornane, 3(4),8(9)-bis. (Aminomethyl)tricyclo[5.2.1.02,6]decane, 1,1-bis(4-aminophenyl)cyclohexane, 1,3-cyclohexanediamine, 1,4-cyclohexanediamine, 2,7-diamino Fluorene, 4,4'-ethylenedianiline, isophoronediamine, 4,4'-methylenebis(cyclohexylamine), 4,4'-methylenebis(2,6-diethylaniline), 4,4'-methylenebis(2-ethyl) -6-methylaniline), 4,4'-methylenebis(2-methylcyclohexylamine), 1,4-diaminobutane, 1,10-diaminodecane, 1,12-diaminododecane, 1,7-diaminoheptane, 1 ,6-diaminohexane, 1,5-diaminopentane, 1,8-diaminooctane, 1,3-diaminopropane, 1,11-diaminoundecane, and 2-methyl-1,5-diaminopentane.

上記ダイマージアミンに由来する骨格は、脂肪族環を有するか又は有さない。上記ダイマージアミンに由来する骨格は、脂肪族環を有していてもよく、有さなくてもよい。 The skeleton derived from the dimer diamine has or does not have an aliphatic ring. The skeleton derived from the dimer diamine may or may not have an aliphatic ring.

上記トリマートリアミンに由来する骨格は、脂肪族環を有するか又は有さない。上記トリマートリアミンに由来する骨格は、脂肪族環を有していてもよく、有さなくてもよい。 The skeleton derived from the trimer triamine has or does not have an aliphatic ring. The skeleton derived from the trimertriamine may or may not have an aliphatic ring.

上記ジアミン化合物に由来する骨格は、芳香族環を有するか又は有さない。上記ジアミン化合物に由来する骨格は、芳香族環を有していてもよく、有さなくてもよい。 The skeleton derived from the diamine compound may or may not have an aromatic ring. The skeleton derived from the diamine compound may or may not have an aromatic ring.

上記トリアミン化合物に由来する骨格は、芳香族環を有するか又は有さない。上記トリアミン化合物に由来する骨格は、芳香族環を有していてもよく、有さなくてもよい。 The skeleton derived from the triamine compound has or does not have an aromatic ring. The skeleton derived from the triamine compound may or may not have an aromatic ring.

上記ジアミン化合物及び上記トリアミン化合物に由来する骨格は、脂肪族環を有するか又は有さない。上記ジアミン化合物に由来する骨格は、脂肪族環を有していてもよく、有さなくてもよい。 The skeleton derived from the diamine compound and the triamine compound has or does not have an aliphatic ring. The skeleton derived from the diamine compound may or may not have an aliphatic ring.

上記芳香族環としては、ベンゼン環、ナフタレン環、アントラセン環、フェナントレン環、テトラセン環、クリセン環、トリフェニレン環、テトラフェン環、ピレン環、ペンタセン環、ピセン環及びペリレン環等が挙げられる。 Examples of the aromatic ring include a benzene ring, naphthalene ring, anthracene ring, phenanthrene ring, tetracene ring, chrysene ring, triphenylene ring, tetraphene ring, pyrene ring, pentacene ring, picene ring and perylene ring.

上記脂肪族環としては、モノシクロアルカン環、ビシクロアルカン環、トリシクロアルカン環、テトラシクロアルカン環、及びジシクロペンタジエン等が挙げられる。 Examples of the aliphatic ring include a monocycloalkane ring, a bicycloalkane ring, a tricycloalkane ring, a tetracycloalkane ring, and dicyclopentadiene.

硬化物の熱寸法安定性を高める観点、絶縁層と金属層との密着性を高める観点から、(G)化合物の軟化点は、好ましくは70℃以上、より好ましくは75℃以上、より一層好ましくは80℃以上、さらに好ましくは85℃以上、特に好ましくは90℃以上、最も好ましくは95℃以上である。(G)化合物の軟化点の上限は特に限定されない。(G)化合物の合成のしやすさから、(G)化合物の軟化点は、190℃以下であってもよい。 From the viewpoint of enhancing the thermal dimensional stability of the cured product and enhancing the adhesion between the insulating layer and the metal layer, the softening point of the (G) compound is preferably 70° C. or higher, more preferably 75° C. or higher, and even more preferably Is 80° C. or higher, more preferably 85° C. or higher, particularly preferably 90° C. or higher, most preferably 95° C. or higher. The upper limit of the softening point of the compound (G) is not particularly limited. The softening point of the (G) compound may be 190° C. or lower in view of ease of synthesis of the (G) compound.

(G)化合物の軟化点は、示差走査熱量測定装置(例えば、TA・インスツルメント社製「Q2000」)を用いて、昇温速度3℃/分で−30℃から200℃まで窒素雰囲気下で加熱を行い、リバースヒートフローの変曲点から求めることができる。 The softening point of the compound (G) is measured by using a differential scanning calorimeter (for example, “Q2000” manufactured by TA Instruments Co., Ltd.) at a temperature rising rate of 3° C./minute from −30° C. to 200° C. in a nitrogen atmosphere. It can be obtained from the inflection point of reverse heat flow by heating at.

凹凸表面に対する埋め込み性をより一層高める観点から、(G)化合物の分子量は、好ましくは1000以上、より好ましくは1500を超え、さらに好ましくは2500以上、特に好ましくは3000以上であり、好ましくは50000以下、より好ましくは40000以下、さらに好ましくは20000以下、特に好ましくは15000以下である。(G)化合物の分子量が上記下限以上であると、樹脂材料の線膨張係数を低く抑えることができる。また、(G)化合物の分子量が50000を超えると、(G)化合物の分子量が50000以下である場合と比べて、樹脂材料の溶融粘度が高くなり、凹凸表面に対する埋め込み性が低下することがある。 From the viewpoint of further enhancing the embedding property on the uneven surface, the molecular weight of the (G) compound is preferably 1000 or more, more preferably 1500 or more, further preferably 2500 or more, particularly preferably 3000 or more, and preferably 50000 or less. , More preferably 40,000 or less, further preferably 20,000 or less, particularly preferably 15,000 or less. When the molecular weight of the compound (G) is at least the above lower limit, the linear expansion coefficient of the resin material can be suppressed low. Further, when the molecular weight of the (G) compound exceeds 50,000, the melt viscosity of the resin material becomes higher than that when the molecular weight of the (G) compound is 50,000 or less, and the embeddability on the uneven surface may deteriorate. .

(G)化合物の分子量は、(G)化合物が重合体ではない場合、及び(G)化合物の構造式が特定できる場合は、当該構造式から算出できる分子量を意味する。また、(G)化合物の分子量は、(G)化合物が重合体である場合は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により測定されたポリスチレン換算での重量平均分子量を示す。 The molecular weight of the (G) compound means a molecular weight that can be calculated from the structural formula when the (G) compound is not a polymer and when the structural formula of the (G) compound can be specified. Moreover, when the (G) compound is a polymer, the molecular weight of the (G) compound is a polystyrene-equivalent weight average molecular weight measured by gel permeation chromatography (GPC).

(G)化合物の含有量の、全てのエポキシ化合物と全ての硬化剤との合計の含有量に対する重量比((G)化合物の含有量/全てのエポキシ化合物と全ての硬化剤との合計の含有量)は、好ましくは0.1以上、より好ましくは0.15以上、さらに好ましくは0.2以上であり、好ましくは1.5以下、より好ましくは1.2以下である。上記重量比が上記下限以上及び上記上限以下であると、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができる。また、上記重量比が上記下限以上及び上記上限以下であると、熱寸法安定性をより一層高めることができ、エッチング後の表面粗度をより一層小さくし、メッキピール強度をより一層高めることができる。上記「全てのエポキシ化合物と全ての硬化剤との合計の含有量」とは、「(A)エポキシ化合物と(C)エポキシ化合物と(B)活性エステル化合物と(D)硬化剤との合計の含有量」である。 Weight ratio of content of (G) compound to total content of all epoxy compounds and all curing agents (content of (G) compound/total content of all epoxy compounds and all curing agents) The amount) is preferably 0.1 or more, more preferably 0.15 or more, even more preferably 0.2 or more, preferably 1.5 or less, more preferably 1.2 or less. When the weight ratio is not less than the lower limit and not more than the upper limit, the effects of the present invention can be more effectively exhibited. Further, when the weight ratio is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the thermal dimensional stability can be further enhanced, the surface roughness after etching can be further reduced, and the plating peel strength can be further enhanced. it can. The above-mentioned "total content of all epoxy compounds and all curing agents" means "of the total of (A) epoxy compound, (C) epoxy compound, (B) active ester compound and (D) curing agent. Content”.

上記樹脂材料中の無機充填材及び溶剤を除く成分100重量%中、(G)化合物の含有量は、好ましくは5重量%以上、より好ましくは10重量%以上、さらに好ましくは15重量%以上であり、好ましくは60重量%以下、より好ましくは50重量%以下である。(G)化合物の含有量が上記下限以上であると、低周波数帯域の誘電正接をより一層低くすることができ、また、デスミア処理によってスミアをより一層効果的に除去することができる。(G)化合物の含有量が上記下限以上であると、絶縁層と金属層との密着性をより一層高めることができ、エッチング後の表面粗度をより一層小さくすることができる。(G)化合物の含有量が上記上限以下であると、熱寸法安定性をより一層高めることができる。 The content of the (G) compound is preferably 5% by weight or more, more preferably 10% by weight or more, further preferably 15% by weight or more in 100% by weight of the components excluding the inorganic filler and the solvent in the resin material. %, preferably 60% by weight or less, more preferably 50% by weight or less. When the content of the compound (G) is at least the above lower limit, the dielectric loss tangent in the low frequency band can be further lowered, and the smear can be more effectively removed by the desmear treatment. When the content of the compound (G) is at least the above lower limit, the adhesion between the insulating layer and the metal layer can be further enhanced, and the surface roughness after etching can be further reduced. When the content of the compound (G) is at most the above upper limit, the thermal dimensional stability can be further enhanced.

[(H)ダイマージアミンに由来する骨格及びトリマートリアミンに由来する骨格を有さないマレイミド化合物]
上記樹脂材料は、(H)ダイマージアミンに由来する骨格及びトリマートリアミンに由来する骨格を有さないマレイミド化合物を含むことが好ましい。(H)マレイミド化合物は、(G)化合物とは異なる。(G)化合物と、(H)マレイミド化合物とを併用することにより、本発明の効果をより一層発揮することができる。(H)マレイミド化合物は、ダイマージアミン以外のジアミン化合物又はトリマートリアミン以外のトリアミン化合物に由来する骨格を有することが好ましい。(H)マレイミド化合物は、芳香族骨格を有することが好ましい。(H)マレイミド化合物は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[(H) Maleimide compound having neither skeleton derived from dimer diamine nor skeleton derived from trimer triamine]
The resin material preferably contains (H) a maleimide compound having no skeleton derived from dimerdiamine and no skeleton derived from trimertriamine. The (H) maleimide compound is different from the (G) compound. By using the (G) compound and the (H) maleimide compound in combination, the effects of the present invention can be further exerted. The maleimide compound (H) preferably has a skeleton derived from a diamine compound other than dimerdiamine or a triamine compound other than trimertriamine. The (H) maleimide compound preferably has an aromatic skeleton. As the (H) maleimide compound, only one type may be used, or two or more types may be used in combination.

(H)マレイミド化合物では、マレイミド骨格における窒素原子と、芳香族環とが結合していることが好ましい。 In the (H) maleimide compound, the nitrogen atom in the maleimide skeleton and the aromatic ring are preferably bonded.

(H)マレイミド化合物としては、ビスマレイミド化合物及びN−フェニルマレイミド等が挙げられる。 Examples of the (H) maleimide compound include a bismaleimide compound and N-phenylmaleimide.

上記樹脂材料中の(E)無機充填材及び溶剤を除く成分100重量%中、(H)マレイミド化合物の含有量は、好ましくは2重量%以上、より好ましくは3重量%以上、さらに好ましくは6重量%以上であり、好ましくは50重量%以下、より好ましくは35重量%以下である。(H)マレイミド化合物の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、本発明の効果をより一層発揮することができる。 The content of the (H) maleimide compound in 100% by weight of the component excluding the (E) inorganic filler and the solvent in the resin material is preferably 2% by weight or more, more preferably 3% by weight or more, and further preferably 6%. It is not less than 50% by weight, preferably not more than 50% by weight, more preferably not more than 35% by weight. When the content of the (H) maleimide compound is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the effects of the present invention can be further exerted.

本発明の効果を効果的に発揮する観点からは、(H)マレイミド化合物の分子量は、好ましくは500以上、より好ましくは1000以上であり、好ましくは30000未満、より好ましくは20000未満である。 From the viewpoint of effectively exerting the effect of the present invention, the molecular weight of the (H) maleimide compound is preferably 500 or more, more preferably 1000 or more, preferably less than 30,000, more preferably less than 20,000.

(H)マレイミド化合物の分子量は、(H)マレイミド化合物が重合体ではない場合、及び(H)マレイミド化合物の構造式が特定できる場合は、当該構造式から算出できる分子量を意味する。また、(H)マレイミド化合物の分子量は、(H)マレイミド化合物が重合体である場合は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により測定されたポリスチレン換算での重量平均分子量を示す。 The molecular weight of the (H) maleimide compound means a molecular weight that can be calculated from the structural formula when the (H) maleimide compound is not a polymer and when the structural formula of the (H) maleimide compound can be specified. Moreover, the molecular weight of the (H) maleimide compound shows the weight average molecular weight in terms of polystyrene measured by gel permeation chromatography (GPC) when the (H) maleimide compound is a polymer.

(H)マレイミド化合物の市販品としては、例えば、大和化成工業社製「BMI4000」及び「BMI5100」等が挙げられる。 Examples of commercially available maleimide compounds (H) include "BMI4000" and "BMI5100" manufactured by Daiwa Kasei Kogyo Co., Ltd.

なお、上記樹脂材料がビスマレイミド化合物を含む場合に、(G)化合物としてビスマレイミド化合物を含んでいてもよく、(H)マレイミド化合物としてビスマレイミド化合物を含んでいてもよい。 In addition, when the said resin material contains a bismaleimide compound, a bismaleimide compound may be contained as (G) compound and a bismaleimide compound may be contained as (H) maleimide compound.

(G)化合物又は(H)マレイミド化合物におけるビスマレイミド化合物は、下記式(X)で表される構造を有するビスマレイミド化合物であることが好ましい。 The bismaleimide compound in the (G) compound or the (H) maleimide compound is preferably a bismaleimide compound having a structure represented by the following formula (X).

Figure 2020094213
Figure 2020094213

上記式(X)中、R1は、4価の有機基を表す。 In the formula (X), R1 represents a tetravalent organic group.

上記式(X)中のR1としては、芳香環を有する基、及びビフェニルエーテル骨格を有する基等が挙げられる。上記芳香環を有する基としては、ピロメリット酸無水物由来の骨格を有する基等が挙げられる。上記ビフェニルエーテル骨格を有する基としては、4,4’−オキシジフタル酸無水物由来の骨格を有する基等が挙げられる。 Examples of R1 in the above formula (X) include a group having an aromatic ring and a group having a biphenyl ether skeleton. Examples of the group having an aromatic ring include a group having a skeleton derived from pyromellitic anhydride. Examples of the group having a biphenyl ether skeleton include a group having a skeleton derived from 4,4'-oxydiphthalic anhydride.

上記ビスマレイミド化合物は、上記式(X)で表される構造を1個有していてもよく、2個有してもよく、2個以上有していてもよい。 The bismaleimide compound may have one structure represented by the above formula (X), may have two structures, or may have two or more structures.

[(I)熱可塑性樹脂]
上記樹脂材料は、(I)熱可塑性樹脂を含むことが好ましい。(I)熱可塑性樹脂としては、ポリビニルアセタール樹脂、ポリイミド樹脂及びフェノキシ樹脂等が挙げられる。(I)熱可塑性樹脂は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[(I) Thermoplastic resin]
The resin material preferably contains (I) a thermoplastic resin. Examples of the thermoplastic resin (I) include polyvinyl acetal resin, polyimide resin and phenoxy resin. As the thermoplastic resin (I), only one type may be used, or two or more types may be used in combination.

硬化環境によらず、誘電正接を効果的に低くし、かつ、金属配線の密着性を効果的に高める観点からは、(I)熱可塑性樹脂は、フェノキシ樹脂であることが好ましい。フェノキシ樹脂の使用により、樹脂フィルムの回路基板の穴又は凹凸に対する埋め込み性の悪化及び無機充填材の不均一化が抑えられる。また、フェノキシ樹脂の使用により、溶融粘度を調整可能であるために無機充填材の分散性が良好になり、かつ硬化過程で、意図しない領域に樹脂組成物又はBステージ化物が濡れ拡がり難くなる。 The thermoplastic resin (I) is preferably a phenoxy resin from the viewpoint of effectively lowering the dielectric loss tangent and effectively improving the adhesion of the metal wiring regardless of the curing environment. By using the phenoxy resin, it is possible to suppress the deterioration of the embedding property of the resin film in the holes or the irregularities of the circuit board and the nonuniformity of the inorganic filler. Further, by using the phenoxy resin, the melt viscosity can be adjusted, so that the dispersibility of the inorganic filler is improved, and it becomes difficult for the resin composition or the B-staged product to wet and spread in an unintended region during the curing process.

上記樹脂材料に含まれているフェノキシ樹脂は特に限定されない。上記フェノキシ樹脂として、従来公知のフェノキシ樹脂を使用可能である。上記フェノキシ樹脂は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。 The phenoxy resin contained in the resin material is not particularly limited. As the phenoxy resin, a conventionally known phenoxy resin can be used. The phenoxy resin may be used alone or in combination of two or more.

上記フェノキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールA型の骨格、ビスフェノールF型の骨格、ビスフェノールS型の骨格、ビフェニル骨格、ノボラック骨格、ナフタレン骨格及びイミド骨格などの骨格を有するフェノキシ樹脂等が挙げられる。 Examples of the phenoxy resin include a phenoxy resin having a skeleton such as a bisphenol A type skeleton, a bisphenol F type skeleton, a bisphenol S type skeleton, a biphenyl skeleton, a novolac skeleton, a naphthalene skeleton, and an imide skeleton.

上記フェノキシ樹脂の市販品としては、例えば、新日鉄住金化学社製の「YP50」、「YP55」及び「YP70」、並びに三菱化学社製の「1256B40」、「4250」、「4256H40」、「4275」、「YX6954BH30」及び「YX8100BH30」等が挙げられる。 Examples of commercially available phenoxy resins include "YP50", "YP55" and "YP70" manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd., and "1256B40", "4250", "4256H40", "4275" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation. , "YX6954BH30" and "YX8100BH30".

ハンドリング性、低粗度でのメッキピール強度及び絶縁層と金属層との密着性を高める観点から、(I)熱可塑性樹脂は、ポリイミド樹脂(ポリイミド化合物)であることが好ましい。 The thermoplastic resin (I) is preferably a polyimide resin (polyimide compound) from the viewpoints of handling property, plating peel strength at low roughness, and adhesion between the insulating layer and the metal layer.

溶解性を良好にする観点からは、上記ポリイミド化合物は、テトラカルボン酸二無水物とダイマージアミンとを反応させる方法によって得られたポリイミド化合物であることが好ましい。 From the viewpoint of improving solubility, the polyimide compound is preferably a polyimide compound obtained by a method of reacting tetracarboxylic dianhydride and dimer diamine.

上記テトラカルボン酸二無水物としては、例えば、ピロメリット酸二無水物、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ジメチルジフェニルシランテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−テトラフェニルシランテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4−フランテトラカルボン酸二無水物、4,4’−ビス(3,4−ジカルボキシフェノキシ)ジフェニルスルフィド二無水物、4,4’−ビス(3,4−ジカルボキシフェノキシ)ジフェニルスルホン二無水物、4,4’−ビス(3,4−ジカルボキシフェノキシ)ジフェニルプロパン二無水物、3,3’,4,4’−パーフルオロイソプロピリデンジフタル酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ビス(フタル酸)フェニルホスフィンオキサイド二無水物、p−フェニレン−ビス(トリフェニルフタル酸)二無水物、m−フェニレン−ビス(トリフェニルフタル酸)二無水物、ビス(トリフェニルフタル酸)−4,4’−ジフェニルエーテル二無水物、及びビス(トリフェニルフタル酸)−4,4’−ジフェニルメタン二無水物等が挙げられる。 Examples of the tetracarboxylic dianhydride include pyromellitic dianhydride, 3,3',4,4'-benzophenone tetracarboxylic dianhydride, 3,3',4,4'-biphenylsulfone tetra Carboxylic dianhydride, 1,4,5,8-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 3,3′,4,4′-biphenyl ether Tetracarboxylic acid dianhydride, 3,3′,4,4′-dimethyldiphenylsilane tetracarboxylic acid dianhydride, 3,3′,4,4′-Tetraphenylsilane tetracarboxylic acid dianhydride, 1,2 ,3,4-furantetracarboxylic dianhydride, 4,4'-bis(3,4-dicarboxyphenoxy)diphenyl sulfide dianhydride, 4,4'-bis(3,4-dicarboxyphenoxy)diphenyl Sulfone dianhydride, 4,4'-bis(3,4-dicarboxyphenoxy)diphenylpropane dianhydride, 3,3',4,4'-perfluoroisopropylidene diphthalic acid dianhydride, 3,3 ',4,4'-Biphenyltetracarboxylic dianhydride, bis(phthalic acid)phenylphosphine oxide dianhydride, p-phenylene-bis(triphenylphthalic acid) dianhydride, m-phenylene-bis(triphenyl Phthalic acid) dianhydride, bis(triphenylphthalic acid)-4,4′-diphenylether dianhydride, and bis(triphenylphthalic acid)-4,4′-diphenylmethane dianhydride.

エッチング後の表面粗度をより一層効果的に小さくする観点からは、上記酸二無水物は、エステル結合を有する酸二無水物であることが好ましい。エステル結合を有する酸二無水物としては、ビス(1,3−ジオキソ−1,3−ジヒドロイソベンゾフラン−5−カルボン酸)1,4−フェニレン(東京化成工業社製)等が挙げられる。 From the viewpoint of further effectively reducing the surface roughness after etching, the acid dianhydride is preferably an acid dianhydride having an ester bond. Examples of the acid dianhydride having an ester bond include bis(1,3-dioxo-1,3-dihydroisobenzofuran-5-carboxylic acid)1,4-phenylene (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.).

上記ダイマージアミンとしては、例えば、バーサミン551(商品名BASFジャパン社製、3,4−ビス(1−アミノヘプチル)−6−ヘキシル−5−(1−オクテニル)シクロヘキセン)、バーサミン552(商品名、コグニクスジャパン社製、バーサミン551の水添物)、PRIAMINE1075、PRIAMINE1074(商品名、いずれもクローダジャパン社製)等が挙げられる。 Examples of the dimer diamine include Versamine 551 (trade name, manufactured by BASF Japan Ltd., 3,4-bis(1-aminoheptyl)-6-hexyl-5-(1-octenyl)cyclohexene), Versamine 552 (trade name, Examples include hydrogenated products of Versamine 551 manufactured by Cognix Japan Co., Ltd.), PRIAMINE1075, and PRIAMINE1074 (trade names, all manufactured by Croda Japan Co., Ltd.).

なお、上記ポリイミド化合物は末端に、酸無水物構造、マレイミド構造、シトラコンイミド構造を有していてもよい。この場合には、上記ポリイミド化合物とエポキシ化合物とを反応させることができる。上記ポリイミド化合物とエポキシ化合物とを反応させることにより、硬化物の熱寸法安定性を高めることができる。 In addition, the said polyimide compound may have an acid anhydride structure, a maleimide structure, and a citraconimide structure at the terminal. In this case, the polyimide compound and the epoxy compound can be reacted. By reacting the polyimide compound with an epoxy compound, the thermal dimensional stability of the cured product can be enhanced.

保存安定性により一層優れた樹脂材料を得る観点からは、(I)熱可塑性樹脂、上記ポリイミド樹脂及び上記フェノキシ樹脂の重量平均分子量は、好ましくは5000以上、より好ましくは10000以上であり、好ましくは100000以下、より好ましくは50000以下である。 From the viewpoint of obtaining a more excellent resin material due to storage stability, the weight average molecular weight of the (I) thermoplastic resin, the polyimide resin and the phenoxy resin is preferably 5,000 or more, more preferably 10,000 or more, and preferably It is 100,000 or less, more preferably 50,000 or less.

(I)熱可塑性樹脂、上記ポリイミド樹脂及び上記フェノキシ樹脂の上記重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により測定されたポリスチレン換算での重量平均分子量を示す。 (I) The weight average molecular weight of the thermoplastic resin, the polyimide resin, and the phenoxy resin is a polystyrene-equivalent weight average molecular weight measured by gel permeation chromatography (GPC).

(I)熱可塑性樹脂、上記ポリイミド樹脂及び上記フェノキシ樹脂の含有量は特に限定されない。樹脂材料中の(E)無機充填材及び上記溶剤を除く成分100重量%中、(I)熱可塑性樹脂の含有量は、好ましくは1重量%以上、より好ましくは2重量%以上であり、好ましくは30重量%以下、より好ましくは20重量%以下である。(I)熱可塑性樹脂の含有量は、(I)熱可塑性樹脂がポリイミド樹脂又はフェノキシ樹脂である場合には、ポリイミド樹脂又はフェノキシ樹脂の含有量を示す。(I)熱可塑性樹脂の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、樹脂材料の回路基板の穴又は凹凸に対する埋め込み性が良好になる。(I)熱可塑性樹脂の含有量が上記下限以上であると、樹脂フィルムの形成がより一層容易になり、より一層良好な絶縁層が得られる。(I)熱可塑性樹脂の含有量が上記上限以下であると、硬化物の熱膨張率がより一層低くなる。(I)熱可塑性樹脂の含有量が上記上限以下であると、硬化物の表面の表面粗さがより一層小さくなり、硬化物と金属層との接着強度がより一層高くなる。 The contents of (I) the thermoplastic resin, the polyimide resin, and the phenoxy resin are not particularly limited. The content of the (I) thermoplastic resin in 100% by weight of the component excluding the inorganic filler and the solvent in the resin material is preferably 1% by weight or more, more preferably 2% by weight or more, preferably Is 30% by weight or less, more preferably 20% by weight or less. When the thermoplastic resin (I) is a polyimide resin or a phenoxy resin, the content of the (I) thermoplastic resin indicates the content of the polyimide resin or the phenoxy resin. When the content of the thermoplastic resin (I) is at least the above lower limit and not more than the above upper limit, the embeddability of the resin material into the holes or irregularities of the circuit board becomes good. When the content of the thermoplastic resin (I) is at least the above lower limit, the formation of the resin film becomes easier and a better insulating layer can be obtained. When the content of the thermoplastic resin (I) is at most the above upper limit, the coefficient of thermal expansion of the cured product will be even lower. When the content of the (I) thermoplastic resin is at most the above upper limit, the surface roughness of the surface of the cured product will be further reduced, and the adhesive strength between the cured product and the metal layer will be even higher.

[溶剤]
上記樹脂材料は、溶剤を含まないか又は含む。上記溶剤の使用により、樹脂材料の粘度を好適な範囲に制御でき、樹脂材料の塗工性を高めることができる。また、上記溶剤は、上記無機充填材を含むスラリーを得るために用いられてもよい。上記溶剤は1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[solvent]
The resin material does not include or includes a solvent. By using the above solvent, the viscosity of the resin material can be controlled within a suitable range, and the coatability of the resin material can be improved. Further, the solvent may be used to obtain a slurry containing the inorganic filler. As for the said solvent, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

上記溶剤としては、アセトン、メタノール、エタノール、ブタノール、2−プロパノール、2−メトキシエタノール、2−エトキシエタノール、1−メトキシ−2−プロパノール、2−アセトキシ−1−メトキシプロパン、トルエン、キシレン、メチルエチルケトン、N,N−ジメチルホルムアミド、メチルイソブチルケトン、N−メチル−ピロリドン、n−ヘキサン、シクロヘキサン、シクロヘキサノン及び混合物であるナフサ等が挙げられる。 As the solvent, acetone, methanol, ethanol, butanol, 2-propanol, 2-methoxyethanol, 2-ethoxyethanol, 1-methoxy-2-propanol, 2-acetoxy-1-methoxypropane, toluene, xylene, methyl ethyl ketone, Examples thereof include N,N-dimethylformamide, methyl isobutyl ketone, N-methyl-pyrrolidone, n-hexane, cyclohexane, cyclohexanone and a mixture of naphtha.

上記溶剤の多くは、上記樹脂組成物をフィルム状に成形するときに、除去されることが好ましい。従って、上記溶剤の沸点は好ましくは200℃以下、より好ましくは180℃以下である。上記樹脂組成物中の上記溶剤の含有量は特に限定されない。上記樹脂組成物の塗工性などを考慮して、上記溶剤の含有量は適宜変更可能である。 Most of the above solvents are preferably removed when the resin composition is formed into a film. Therefore, the boiling point of the solvent is preferably 200°C or lower, more preferably 180°C or lower. The content of the solvent in the resin composition is not particularly limited. The content of the solvent can be appropriately changed in consideration of the coatability of the resin composition.

上記樹脂材料がBステージフィルムである場合には、上記Bステージフィルム100重量%中、上記溶剤の含有量は、好ましくは1重量%以上、より好ましくは2重量%以上であり、好ましくは10重量%以下、より好ましくは5重量%以下である。 When the resin material is a B stage film, the content of the solvent in 100% by weight of the B stage film is preferably 1% by weight or more, more preferably 2% by weight or more, and preferably 10% by weight. % Or less, more preferably 5% by weight or less.

[他の成分]
耐衝撃性、耐熱性、樹脂の相溶性及び作業性等の改善を目的として、上記樹脂材料は、レベリング剤、難燃剤、カップリング剤、着色剤、酸化防止剤、紫外線劣化防止剤、消泡剤、増粘剤、揺変性付与剤及びエポキシ化合物以外の他の熱硬化性樹脂等を含んでいてもよい。
[Other ingredients]
For the purpose of improving impact resistance, heat resistance, resin compatibility, workability, etc., the above resin materials include leveling agents, flame retardants, coupling agents, coloring agents, antioxidants, ultraviolet deterioration inhibitors, and defoaming agents. A thermosetting resin other than the agent, the thickener, the thixotropic agent and the epoxy compound may be contained.

上記カップリング剤としては、シランカップリング剤、チタンカップリング剤及びアルミニウムカップリング剤等が挙げられる。上記シランカップリング剤としては、ビニルシラン、アミノシラン、イミダゾールシラン及びエポキシシラン等が挙げられる。また、上記シランカップリング剤は、トリアジン環又はベンゾトリアゾールユニットを有するシラン化合物を含むシランカップリング剤であってもよい。 Examples of the coupling agent include a silane coupling agent, a titanium coupling agent and an aluminum coupling agent. Examples of the silane coupling agent include vinyl silane, amino silane, imidazole silane, and epoxy silane. The silane coupling agent may be a silane coupling agent containing a silane compound having a triazine ring or a benzotriazole unit.

上記他の熱硬化性樹脂としては、ポリフェニレンエーテル樹脂、ジビニルベンジルエーテル樹脂、ポリアリレート樹脂、ジアリルフタレート樹脂、ベンゾオキサジン樹脂、ベンゾオキサゾール樹脂、及びアクリレート樹脂等が挙げられる。 Examples of the other thermosetting resin include polyphenylene ether resin, divinylbenzyl ether resin, polyarylate resin, diallyl phthalate resin, benzoxazine resin, benzoxazole resin, and acrylate resin.

(樹脂フィルム)
上述した樹脂組成物をフィルム状に成形することにより樹脂フィルム(Bステージ化物/Bステージフィルム)が得られる。上記樹脂材料は、樹脂フィルムであることが好ましい。樹脂フィルムは、Bステージフィルムであることが好ましい。
(Resin film)
A resin film (B-staged product/B-stage film) is obtained by molding the above resin composition into a film. The resin material is preferably a resin film. The resin film is preferably a B stage film.

樹脂組成物をフィルム状に成形して、樹脂フィルムを得る方法としては、以下の方法が挙げられる。押出機を用いて、樹脂組成物を溶融混練し、押出した後、Tダイ又はサーキュラーダイ等により、フィルム状に成形する押出成形法。溶剤を含む樹脂組成物をキャスティングしてフィルム状に成形するキャスティング成形法。従来公知のその他のフィルム成形法。薄型化に対応可能であることから、押出成形法又はキャスティング成形法が好ましい。フィルムにはシートが含まれる。 The following methods are mentioned as a method of forming a resin film by molding a resin composition into a film. An extrusion molding method in which a resin composition is melt-kneaded using an extruder, extruded, and then formed into a film by a T die, a circular die, or the like. A casting method for casting a resin composition containing a solvent to form a film. Other conventionally known film forming methods. An extrusion molding method or a casting molding method is preferable because it can be made thinner. The film includes a sheet.

樹脂組成物をフィルム状に成形し、熱による硬化が進行し過ぎない程度に、例えば50℃〜150℃で1分間〜10分間加熱乾燥させることにより、Bステージフィルムである樹脂フィルムを得ることができる。 A resin film which is a B-stage film can be obtained by molding the resin composition into a film and heating and drying at 50° C. to 150° C. for 1 minute to 10 minutes to such an extent that curing by heat does not proceed excessively. it can.

上述のような乾燥工程により得ることができるフィルム状の樹脂組成物をBステージフィルムと称する。上記Bステージフィルムは、半硬化状態にある。半硬化物は、完全に硬化しておらず、硬化がさらに進行され得る。 The film-shaped resin composition that can be obtained by the above-described drying process is referred to as a B stage film. The B stage film is in a semi-cured state. The semi-cured product is not completely cured, and curing can be further advanced.

上記樹脂フィルムは、プリプレグでなくてもよい。上記樹脂フィルムがプリプレグではない場合には、ガラスクロス等に沿ってマイグレーションが生じなくなる。また、樹脂フィルムをラミネート又はプレキュアする際に、表面にガラスクロスに起因する凹凸が生じなくなる。 The resin film may not be a prepreg. When the resin film is not a prepreg, migration does not occur along the glass cloth or the like. Further, when laminating or pre-curing the resin film, unevenness due to the glass cloth does not occur on the surface.

上記樹脂フィルムは、金属箔又は基材フィルムと、該金属箔又は基材フィルムの表面に積層された樹脂フィルムとを備える積層フィルムの形態で用いることができる。上記金属箔は銅箔であることが好ましい。 The resin film can be used in the form of a laminated film including a metal foil or a base film and a resin film laminated on the surface of the metal foil or the base film. The metal foil is preferably copper foil.

上記積層フィルムの上記基材フィルムとしては、ポリエチレンテレフタレートフィルム及びポリブチレンテレフタレートフィルム等のポリエステル樹脂フィルム、ポリエチレンフィルム及びポリプロピレンフィルム等のオレフィン樹脂フィルム、並びにポリイミド樹脂フィルム等が挙げられる。上記基材フィルムの表面は、必要に応じて、離型処理されていてもよい。 Examples of the base film of the laminated film include polyester resin films such as polyethylene terephthalate film and polybutylene terephthalate film, olefin resin films such as polyethylene film and polypropylene film, and polyimide resin film. The surface of the base film may be subjected to a release treatment, if necessary.

樹脂フィルムの硬化度をより一層均一に制御する観点からは、上記樹脂フィルムの厚さは、好ましくは5μm以上であり、好ましくは200μm以下である。上記樹脂フィルムを回路の絶縁層として用いる場合、上記樹脂フィルムにより形成された絶縁層の厚さは、回路を形成する導体層(金属層)の厚さ以上であることが好ましい。上記絶縁層の厚さは、好ましくは5μm以上であり、好ましくは200μm以下である。 From the viewpoint of controlling the degree of curing of the resin film more uniformly, the thickness of the resin film is preferably 5 μm or more, and preferably 200 μm or less. When the resin film is used as an insulating layer of a circuit, the thickness of the insulating layer formed of the resin film is preferably equal to or larger than the thickness of the conductor layer (metal layer) forming the circuit. The thickness of the insulating layer is preferably 5 μm or more, and preferably 200 μm or less.

(半導体装置、プリント配線板、銅張積層板及び多層プリント配線板)
上記樹脂材料は、半導体装置において半導体チップを埋め込むモールド樹脂を形成するために好適に用いられる。
(Semiconductor devices, printed wiring boards, copper clad laminates and multilayer printed wiring boards)
The resin material is suitably used for forming a mold resin for embedding a semiconductor chip in a semiconductor device.

上記樹脂材料は、プリント配線板において絶縁層を形成するために好適に用いられる。 The resin material is preferably used for forming an insulating layer in a printed wiring board.

上記プリント配線板は、例えば、上記樹脂材料を加熱加圧成形することにより得られる。 The printed wiring board is obtained, for example, by heat-press molding the resin material.

上記樹脂フィルムに対して、片面又は両面に金属層を表面に有する積層対象部材を積層できる。金属層を表面に有する積層対象部材と、上記金属層の表面上に積層された樹脂フィルムとを備え、上記樹脂フィルムが、上述した樹脂材料である、積層構造体を好適に得ることができる。上記樹脂フィルムと上記金属層を表面に有する積層対象部材とを積層する方法は特に限定されず、公知の方法を用いることができる。例えば、平行平板プレス機又はロールラミネーター等の装置を用いて、加熱しながら又は加熱せずに加圧しながら、上記樹脂フィルムを、金属層を表面に有する積層対象部材に積層可能である。 A member to be laminated having a metal layer on one surface or both surfaces thereof can be laminated on the resin film. It is possible to suitably obtain a laminated structure that includes a member to be laminated having a metal layer on the surface and a resin film laminated on the surface of the metal layer, and the resin film is the resin material described above. The method for laminating the resin film and the lamination target member having the metal layer on the surface is not particularly limited, and a known method can be used. For example, the above-mentioned resin film can be laminated on a lamination target member having a metal layer on its surface while heating or pressurizing without heating using a device such as a parallel plate press or a roll laminator.

上記金属層の材料は銅であることが好ましい。 The material of the metal layer is preferably copper.

上記金属層を表面に有する積層対象部材は、銅箔等の金属箔であってもよい。 The lamination target member having the metal layer on its surface may be a metal foil such as a copper foil.

上記樹脂材料は、銅張積層板を得るために好適に用いられる。上記銅張積層板の一例として、銅箔と、該銅箔の一方の表面に積層された樹脂フィルムとを備える銅張積層板が挙げられる。 The resin material is preferably used for obtaining a copper clad laminate. An example of the copper-clad laminate is a copper-clad laminate including a copper foil and a resin film laminated on one surface of the copper foil.

上記銅張積層板の上記銅箔の厚さは特に限定されない。上記銅箔の厚さは、1μm〜50μmの範囲内であることが好ましい。また、上記樹脂材料の硬化物と銅箔との接着強度を高めるために、上記銅箔は微細な凹凸を表面に有することが好ましい。凹凸の形成方法は特に限定されない。上記凹凸の形成方法としては、公知の薬液を用いた処理による形成方法等が挙げられる。 The thickness of the copper foil of the copper-clad laminate is not particularly limited. The thickness of the copper foil is preferably in the range of 1 μm to 50 μm. Further, in order to enhance the adhesive strength between the cured product of the resin material and the copper foil, the copper foil preferably has fine irregularities on the surface. The method for forming the unevenness is not particularly limited. Examples of the method of forming the unevenness include a method of forming by using a known chemical solution.

上記樹脂材料は、多層基板を得るために好適に用いられる。 The resin material is preferably used for obtaining a multilayer substrate.

上記多層基板の一例として、回路基板と、該回路基板上に積層された絶縁層とを備える多層基板が挙げられる。この多層基板の絶縁層が、上記樹脂材料により形成されている。また、多層基板の絶縁層が、積層フィルムを用いて、上記積層フィルムの上記樹脂フィルムにより形成されていてもよい。上記絶縁層は、回路基板の回路が設けられた表面上に積層されていることが好ましい。上記絶縁層の一部は、上記回路間に埋め込まれていることが好ましい。 An example of the multilayer board is a multilayer board including a circuit board and an insulating layer laminated on the circuit board. The insulating layer of this multilayer substrate is formed of the above resin material. Moreover, the insulating layer of the multilayer substrate may be formed of the resin film of the laminated film using a laminated film. The insulating layer is preferably laminated on the surface of the circuit board on which the circuit is provided. A part of the insulating layer is preferably embedded between the circuits.

上記多層基板では、上記絶縁層の上記回路基板が積層された表面とは反対側の表面が粗化処理されていることが好ましい。 In the multilayer board, it is preferable that the surface of the insulating layer opposite to the surface on which the circuit board is laminated is roughened.

粗化処理方法は、従来公知の粗化処理方法を用いることができ、特に限定されない。上記絶縁層の表面は、粗化処理の前に膨潤処理されていてもよい。 As the roughening treatment method, a conventionally known roughening treatment method can be used and is not particularly limited. The surface of the insulating layer may be swollen before the roughening treatment.

また、上記多層基板は、上記絶縁層の粗化処理された表面に積層された銅めっき層をさらに備えることが好ましい。 In addition, it is preferable that the multilayer substrate further includes a copper plating layer laminated on the roughened surface of the insulating layer.

また、上記多層基板の他の例として、回路基板と、該回路基板の表面上に積層された絶縁層と、該絶縁層の上記回路基板が積層された表面とは反対側の表面に積層された銅箔とを備える多層基板が挙げられる。上記絶縁層が、銅箔と該銅箔の一方の表面に積層された樹脂フィルムとを備える銅張積層板を用いて、上記樹脂フィルムを硬化させることにより形成されていることが好ましい。さらに、上記銅箔はエッチング処理されており、銅回路であることが好ましい。 As another example of the multilayer board, a circuit board, an insulating layer laminated on the surface of the circuit board, and an insulating layer laminated on the surface opposite to the surface on which the circuit board is laminated are laminated. And a copper foil. It is preferable that the insulating layer is formed by curing the resin film using a copper-clad laminate having a copper foil and a resin film laminated on one surface of the copper foil. Furthermore, it is preferable that the copper foil has been subjected to an etching treatment and is a copper circuit.

上記多層基板の他の例として、回路基板と、該回路基板の表面上に積層された複数の絶縁層とを備える多層基板が挙げられる。上記回路基板上に配置された上記複数層の絶縁層の内の少なくとも1層が、上記樹脂材料を用いて形成される。上記多層基板は、上記樹脂フィルムを用いて形成されている上記絶縁層の少なくとも一方の表面に積層されている回路をさらに備えることが好ましい。 Another example of the above-mentioned multilayer board is a multilayer board including a circuit board and a plurality of insulating layers laminated on the surface of the circuit board. At least one layer of the plurality of insulating layers arranged on the circuit board is formed using the resin material. It is preferable that the multilayer substrate further includes a circuit laminated on at least one surface of the insulating layer formed by using the resin film.

多層基板のうち多層プリント配線板においては、低い誘電正接が求められ、絶縁層による高い絶縁信頼性が求められる。本発明に係る樹脂材料では、誘電正接を低くし、かつ絶縁層と金属層との密着性及びエッチング性能を高めることによって絶縁信頼性を効果的に高めることができる。従って、本発明に係る樹脂材料は、多層プリント配線板において、絶縁層を形成するために好適に用いられる。 Among multilayer boards, a multilayer printed wiring board is required to have a low dielectric loss tangent and high insulation reliability due to an insulating layer. In the resin material according to the present invention, the dielectric loss tangent can be lowered, and the adhesiveness between the insulating layer and the metal layer and the etching performance can be improved to effectively improve the insulation reliability. Therefore, the resin material according to the present invention is preferably used for forming an insulating layer in a multilayer printed wiring board.

上記多層プリント配線板は、例えば、回路基板と、上記回路基板の表面上に配置された複数の絶縁層と、複数の上記絶縁層間に配置された金属層とを備える。上記絶縁層の内の少なくとも1層が、上記樹脂材料の硬化物である。 The multilayer printed wiring board includes, for example, a circuit board, a plurality of insulating layers arranged on the surface of the circuit board, and a metal layer arranged between the plurality of insulating layers. At least one layer of the insulating layers is a cured product of the resin material.

図1は、本発明の一実施形態に係る樹脂材料を用いた多層プリント配線板を模式的に示す断面図である。 FIG. 1 is a sectional view schematically showing a multilayer printed wiring board using a resin material according to an embodiment of the present invention.

図1に示す多層プリント配線板11では、回路基板12の上面12aに、複数層の絶縁層13〜16が積層されている。絶縁層13〜16は、硬化物層である。回路基板12の上面12aの一部の領域には、金属層17が形成されている。複数層の絶縁層13〜16のうち、回路基板12側とは反対の外側の表面に位置する絶縁層16以外の絶縁層13〜15には、上面の一部の領域に金属層17が形成されている。金属層17は回路である。回路基板12と絶縁層13の間、及び積層された絶縁層13〜16の各層間に、金属層17がそれぞれ配置されている。下方の金属層17と上方の金属層17とは、図示しないビアホール接続及びスルーホール接続の内の少なくとも一方により互いに接続されている。 In the multilayer printed wiring board 11 shown in FIG. 1, a plurality of insulating layers 13 to 16 are laminated on the upper surface 12a of the circuit board 12. The insulating layers 13 to 16 are cured product layers. A metal layer 17 is formed on a part of the upper surface 12 a of the circuit board 12. Of the plurality of insulating layers 13 to 16, the insulating layers 13 to 15 other than the insulating layer 16 located on the outer surface opposite to the circuit board 12 side are provided with the metal layer 17 in a part of the upper surface. Has been done. The metal layer 17 is a circuit. A metal layer 17 is arranged between the circuit board 12 and the insulating layer 13 and between the laminated insulating layers 13 to 16, respectively. The lower metal layer 17 and the upper metal layer 17 are connected to each other by at least one of via hole connection and through hole connection (not shown).

多層プリント配線板11では、絶縁層13〜16が、上記樹脂材料の硬化物により形成されている。本実施形態では、絶縁層13〜16の表面が粗化処理されているので、絶縁層13〜16の表面に図示しない微細な孔が形成されている。また、微細な孔の内部に金属層17が至っている。また、多層プリント配線板11では、金属層17の幅方向寸法(L)と、金属層17が形成されていない部分の幅方向寸法(S)とを小さくすることができる。また、多層プリント配線板11では、図示しないビアホール接続及びスルーホール接続で接続されていない上方の金属層と下方の金属層との間に、良好な絶縁信頼性が付与されている。 In the multilayer printed wiring board 11, the insulating layers 13 to 16 are formed of a cured product of the above resin material. In this embodiment, since the surfaces of the insulating layers 13 to 16 are roughened, fine holes (not shown) are formed on the surfaces of the insulating layers 13 to 16. Further, the metal layer 17 reaches the inside of the minute holes. Further, in the multilayer printed wiring board 11, the widthwise dimension (L) of the metal layer 17 and the widthwise dimension (S) of the portion where the metal layer 17 is not formed can be reduced. Further, in the multilayer printed wiring board 11, good insulation reliability is provided between the upper metal layer and the lower metal layer which are not connected by the via hole connection and the through hole connection (not shown).

(粗化処理及び膨潤処理)
上記樹脂材料は、粗化処理又はデスミア処理される硬化物を得るために用いられることが好ましい。上記硬化物には、さらに硬化が可能な予備硬化物も含まれる。
(Roughening treatment and swelling treatment)
The resin material is preferably used for obtaining a cured product that is subjected to roughening treatment or desmear treatment. The above-mentioned cured product also includes a pre-cured product that can be further cured.

上記樹脂材料を予備硬化させることにより得られた硬化物の表面に微細な凹凸を形成するために、硬化物は粗化処理されることが好ましい。粗化処理の前に、硬化物は膨潤処理されることが好ましい。硬化物は、予備硬化の後、かつ粗化処理される前に、膨潤処理されており、さらに粗化処理の後に硬化されていることが好ましい。ただし、硬化物は、必ずしも膨潤処理されなくてもよい。 In order to form fine irregularities on the surface of the cured product obtained by pre-curing the resin material, the cured product is preferably roughened. Before the roughening treatment, the cured product is preferably subjected to a swelling treatment. The cured product is preferably subjected to a swelling treatment after the preliminary curing and before the roughening treatment, and is further cured after the roughening treatment. However, the cured product does not necessarily have to be subjected to the swelling treatment.

上記膨潤処理の方法としては、例えば、エチレングリコールなどを主成分とする化合物の水溶液又は有機溶媒分散溶液などにより、硬化物を処理する方法が用いられる。膨潤処理に用いる膨潤液は、一般にpH調整剤などとして、アルカリを含む。膨潤液は、水酸化ナトリウムを含むことが好ましい。具体的には、例えば、上記膨潤処理は、40重量%エチレングリコール水溶液等を用いて、処理温度30℃〜85℃で1分間〜30分間、硬化物を処理することにより行なわれる。上記膨潤処理の温度は50℃〜85℃の範囲内であることが好ましい。上記膨潤処理の温度が低すぎると、膨潤処理に長時間を要し、さらに硬化物と金属層との接着強度が低くなる傾向がある。 As a method of the swelling treatment, for example, a method of treating a cured product with an aqueous solution of a compound containing ethylene glycol or the like as a main component or an organic solvent dispersion solution is used. The swelling liquid used for the swelling treatment generally contains an alkali as a pH adjuster or the like. The swelling liquid preferably contains sodium hydroxide. Specifically, for example, the swelling treatment is performed by treating the cured product with a 40 wt% ethylene glycol aqueous solution or the like at a treatment temperature of 30°C to 85°C for 1 minute to 30 minutes. The temperature of the swelling treatment is preferably in the range of 50°C to 85°C. If the temperature of the swelling treatment is too low, the swelling treatment takes a long time, and the adhesive strength between the cured product and the metal layer tends to be low.

上記粗化処理には、例えば、マンガン化合物、クロム化合物又は過硫酸化合物などの化学酸化剤等が用いられる。これらの化学酸化剤は、水又は有機溶剤が添加された後、水溶液又は有機溶媒分散溶液として用いられる。粗化処理に用いられる粗化液は、一般にpH調整剤などとしてアルカリを含む。粗化液は、水酸化ナトリウムを含むことが好ましい。 For the roughening treatment, for example, a chemical oxidizing agent such as a manganese compound, a chromium compound or a persulfate compound is used. These chemical oxidizing agents are used as an aqueous solution or an organic solvent dispersion solution after adding water or an organic solvent. The roughening liquid used for the roughening treatment generally contains an alkali as a pH adjuster and the like. The roughening liquid preferably contains sodium hydroxide.

上記マンガン化合物としては、過マンガン酸カリウム及び過マンガン酸ナトリウム等が挙げられる。上記クロム化合物としては、重クロム酸カリウム及び無水クロム酸カリウム等が挙げられる。上記過硫酸化合物としては、過硫酸ナトリウム、過硫酸カリウム及び過硫酸アンモニウム等が挙げられる。 Examples of the manganese compound include potassium permanganate and sodium permanganate. Examples of the chromium compound include potassium dichromate and anhydrous potassium chromate. Examples of the persulfate compound include sodium persulfate, potassium persulfate, ammonium persulfate and the like.

硬化物の表面の算術平均粗さRaは、好ましくは10nm以上であり、好ましくは300nm未満、より好ましくは200nm未満、さらに好ましくは150nm未満である。この場合には、硬化物と金属層との接着強度が高くなり、さらに絶縁層の表面により一層微細な配線が形成される。さらに、導体損失を抑えることができ、信号損失を低く抑えることができる。上記算術平均粗さRaは、JIS B0601:1994に準拠して測定される。 The arithmetic average roughness Ra of the surface of the cured product is preferably 10 nm or more, preferably less than 300 nm, more preferably less than 200 nm, and further preferably less than 150 nm. In this case, the adhesive strength between the cured product and the metal layer is increased, and further finer wiring is formed on the surface of the insulating layer. Furthermore, conductor loss can be suppressed and signal loss can be suppressed to a low level. The arithmetic mean roughness Ra is measured according to JIS B0601:1994.

(デスミア処理)
上記樹脂材料を予備硬化させることにより得られた硬化物に、貫通孔が形成されることがある。上記多層基板などでは、貫通孔として、ビア又はスルーホール等が形成される。例えば、ビアは、COレーザー等のレーザーの照射により形成できる。ビアの直径は特に限定されないが、60μm〜80μm程度である。上記貫通孔の形成により、ビア内の底部には、硬化物に含まれている樹脂成分に由来する樹脂の残渣であるスミアが形成されることが多い。
(Desmear processing)
Through holes may be formed in a cured product obtained by pre-curing the resin material. In the above-mentioned multilayer substrate or the like, vias or through holes are formed as through holes. For example, the via can be formed by irradiation with a laser such as a CO 2 laser. The diameter of the via is not particularly limited, but is about 60 μm to 80 μm. Due to the formation of the through holes, smear, which is a residue of resin derived from the resin component contained in the cured product, is often formed at the bottom of the via.

上記スミアを除去するために、硬化物の表面は、デスミア処理されることが好ましい。デスミア処理が粗化処理を兼ねることもある。 In order to remove the smear, the surface of the cured product is preferably desmeared. The desmear process may also serve as the roughening process.

上記デスミア処理には、上記粗化処理と同様に、例えば、マンガン化合物、クロム化合物又は過硫酸化合物等の化学酸化剤等が用いられる。これらの化学酸化剤は、水又は有機溶剤が添加された後、水溶液又は有機溶媒分散溶液として用いられる。デスミア処理に用いられるデスミア処理液は、一般にアルカリを含む。デスミア処理液は、水酸化ナトリウムを含むことが好ましい。 Similar to the roughening treatment, for example, a chemical oxidizer such as a manganese compound, a chromium compound or a persulfate compound is used in the desmear treatment. These chemical oxidizing agents are used as an aqueous solution or an organic solvent dispersion solution after adding water or an organic solvent. The desmear processing liquid used for the desmear processing generally contains an alkali. The desmear treatment liquid preferably contains sodium hydroxide.

上記樹脂材料の使用により、デスミア処理された硬化物の表面の表面粗さが十分に小さくなる。 By using the above resin material, the surface roughness of the surface of the desmeared cured product is sufficiently reduced.

以下、実施例及び比較例を挙げることにより、本発明を具体的に説明する。本発明は、以下の実施例に限定されない。 Hereinafter, the present invention will be specifically described by giving examples and comparative examples. The present invention is not limited to the following examples.

以下の材料を用意した。 The following materials were prepared.

(エポキシ化合物)
(A)エポキシ化合物:
ナフチレンエーテル骨格を有するエポキシ化合物1(新日鉄住金化学社製「TX1507B」、固形分75重量%)
ナフチレンエーテル骨格を有するエポキシ化合物2(新日鉄住金化学社製「ESN−475V」)
(Epoxy compound)
(A) Epoxy compound:
Epoxy compound 1 having naphthylene ether skeleton (“TX1507B” manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd., solid content: 75% by weight)
Epoxy compound 2 having naphthylene ether skeleton (“ESN-475V” manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd.)

(C)第2のエポキシ化合物:
ビフェニル型エポキシ化合物(日本化薬社製「NC−3000」)
レゾルシノールジグリシジルエーテル(ナガセケムテックス社製「EX−201」)
(C) Second epoxy compound:
Biphenyl type epoxy compound ("NC-3000" manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)
Resorcinol diglycidyl ether ("EX-201" manufactured by Nagase Chemtex)

(マレイミド化合物)
(G)ダイマージアミンに由来する骨格を有するマレイミド化合物:
ダイマージアミンに由来する骨格を有するN−アルキルビスマレイミド化合物1(Designer Molecules Inc.製「BMI−3000」)
ダイマージアミンに由来する骨格を有するN−アルキルビスマレイミド化合物2(Designer Molecules Inc.製「BMI−689」)
下記の合成例1に従って合成したダイマージアミンに由来する骨格を有するマレイミド化合物(分子量8700)
(Maleimide compound)
(G) Maleimide compound having a skeleton derived from dimer diamine:
N-alkyl bismaleimide compound 1 having a skeleton derived from dimer diamine ("BMI-3000" manufactured by Designer Moleculars Inc.)
N-alkyl bismaleimide compound 2 having a skeleton derived from dimer diamine ("BMI-689" manufactured by Designer Moleculars Inc.)
Maleimide compound having a skeleton derived from dimer diamine synthesized according to the following Synthesis Example 1 (molecular weight 8700)

<合成例1>
撹拌機、分水器、温度計及び窒素ガス導入管を備えた反応容器に、ピロメリット酸二無水物(東京化成社製、分子量254.15)55gと、トルエン250g及びN-メチル−2−ピロリドン50gを入れ、反応容器中の溶液を60℃まで加熱した。次いで、反応容器中に、ビス(アミノメチル)ノルボルナン(東京化成工業社製、分子量154.26)26.7gをシクロヘキサノンに溶解させた溶液を滴下して、反応させて、両末端が酸無水物である反応生成物を得た。次いで、反応容器中に、ダイマージアミン(クローダジャパン社製「PRIAMINE1075」)46.0gをゆっくり添加した後、メチルシクロヘキサン45.0gを反応容器中に添加した。ディーンスタークトラップとコンデンサーとをフラスコに取り付け、混合物を2時間還流に熱し、両末端にアミン構造を有するイミド化合物を得た。次いで、無水マレイン酸8.7gを添加し、得られた混合物をさらに12時間還流して、マレイミド化を行った。次いで、純水で有機層を洗浄し、水分をエバポレーターで除去した。続いて、メタノールを用いて再沈殿させ、主鎖の両末端にのみダイマージアミンに由来する骨格を有するマレイミド化合物を得た。マレイミド化合物の収率は、80%であった。
<Synthesis example 1>
In a reaction vessel equipped with a stirrer, a water separator, a thermometer and a nitrogen gas introduction tube, 55 g of pyromellitic dianhydride (manufactured by Tokyo Kasei Co., molecular weight 254.15), 250 g of toluene and N-methyl-2- 50 g of pyrrolidone was added and the solution in the reaction vessel was heated to 60°C. Then, a solution prepared by dissolving 26.7 g of bis(aminomethyl)norbornane (manufactured by Tokyo Kasei Kogyo Co., Ltd., molecular weight 154.26) in cyclohexanone was added dropwise to the reaction vessel to cause reaction, and both ends were acid anhydrides. The reaction product was obtained. Next, 46.0 g of dimer diamine (“PRIAMINE 1075” manufactured by Croda Japan Co., Ltd.) was slowly added to the reaction vessel, and then 45.0 g of methylcyclohexane was added to the reaction vessel. A Dean Stark trap and a condenser were attached to the flask, and the mixture was heated to reflux for 2 hours to obtain an imide compound having an amine structure at both ends. Then, 8.7 g of maleic anhydride was added, and the resulting mixture was refluxed for another 12 hours for maleimidization. Then, the organic layer was washed with pure water and the water was removed by an evaporator. Then, it was reprecipitated using methanol to obtain a maleimide compound having a skeleton derived from dimer diamine only at both ends of the main chain. The yield of the maleimide compound was 80%.

合成例1で合成したマレイミド化合物の分子量は、以下のようにして求めた。 The molecular weight of the maleimide compound synthesized in Synthesis Example 1 was determined as follows.

GPC(ゲルパーミエーションクロマトグラフィー)測定:
島津製作所社製高速液体クロマトグラフシステムを使用し、テトラヒドロフラン(THF)を展開媒として、カラム温度40℃、流速1.0ml/分で測定を行った。検出器として「SPD−10A」を用い、カラムはShodex社製「KF−804L」(排除限界分子量400,000)を2本直列につないで使用した。標準ポリスチレンとして、東ソー社製「TSKスタンダードポリスチレン」を用い、重量平均分子量Mw=354,000、189,000、98,900、37,200、17,100、9,830、5,870、2,500、1,050、500の物質を使用して較正曲線を作成し、分子量の計算を行った。
GPC (gel permeation chromatography) measurement:
Using a high-performance liquid chromatograph system manufactured by Shimadzu Corporation, tetrahydrofuran (THF) was used as a developing medium, and the measurement was performed at a column temperature of 40° C. and a flow rate of 1.0 ml/min. "SPD-10A" was used as a detector, and two columns of "KF-804L" (exclusion limit molecular weight 400,000) manufactured by Shodex were connected in series as a column. As the standard polystyrene, “TSK standard polystyrene” manufactured by Tosoh Corporation is used, and the weight average molecular weight Mw=354,000, 189,000, 98,900, 37,200, 17,100, 9,830, 5,870, 2, A calibration curve was prepared using 500, 1,050 and 500 substances and the molecular weight was calculated.

((E)無機充填材)
シリカ含有スラリー(シリカ75重量%:アドマテックス社製「SC4050−HOA」、平均粒径1.0μm、アミノシラン処理、シクロヘキサノン25重量%)
((E) Inorganic filler)
Silica-containing slurry (75% by weight of silica: "SC4050-HOA" manufactured by Admatechs Co., Ltd., average particle size 1.0 μm, aminosilane treatment, cyclohexanone 25% by weight)

(硬化剤)
(B)活性エステル化合物:
ナフチレンエーテル骨格を有する活性エステル化合物含有液1(DIC社製「HPC−8150−62T」、固形分62重量%)
ナフチレンエーテル骨格を有する活性エステル化合物含有液2(DIC社製「EXB−9416」、固形分70重量%)
(Curing agent)
(B) Active ester compound:
Liquid 1 containing an active ester compound having a naphthylene ether skeleton (“HPC-8150-62T” manufactured by DIC, solid content 62% by weight)
Liquid 2 containing an active ester compound having a naphthylene ether skeleton (“EXB-9416” manufactured by DIC, solid content 70% by weight)

(D)第2の硬化剤:
ジシクロペンタジエン骨格を有する活性エステル化合物含有液(DIC社製「HPC−8000L−65T」、固形分65重量%)
アミノトリアジン骨格を有するフェノール化合物含有液(DIC社製「LA−1356」、固形分60重量%)
(D) Second curing agent:
Active ester compound-containing liquid having a dicyclopentadiene skeleton ("HPC-8000L-65T" manufactured by DIC, solid content 65% by weight)
Phenolic compound-containing liquid having an aminotriazine skeleton (“LA-1356” manufactured by DIC, solid content 60% by weight)

((F)硬化促進剤)
ジメチルアミノピリジン(和光純薬工業社製「DMAP」)
2−フェニル−4−メチルイミダゾール(四国化成工業社製「2P4MZ」、アニオン性硬化促進剤)
((F) Curing accelerator)
Dimethylaminopyridine ("DMAP" manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.)
2-Phenyl-4-methylimidazole ("2P4MZ" manufactured by Shikoku Chemicals, anionic curing accelerator)

((I)熱可塑性樹脂)
ポリイミド化合物(ポリイミド樹脂):
テトラカルボン酸二無水物とダイマージアミンとの反応物であるポリイミド化合物含有溶液(不揮発分26.8重量%)を以下の合成例2に従って合成した。
((I) Thermoplastic resin)
Polyimide compound (polyimide resin):
A polyimide compound-containing solution (nonvolatile content: 26.8% by weight), which is a reaction product of tetracarboxylic dianhydride and dimer diamine, was synthesized according to Synthesis Example 2 below.

<合成例2>
撹拌機、分水器、温度計及び窒素ガス導入管を備えた反応容器に、テトラカルボン酸二無水物(SABICジャパン合同会社製「BisDA−1000」)300.0gと、シクロヘキサノン665.5gとを入れ、反応容器中の溶液を60℃まで加熱した。次いで、反応容器中に、ダイマージアミン(クローダジャパン社製「PRIAMINE1075」)89.0gと、1,3−ビスアミノメチルシクロヘキサン(三菱ガス化学社製)54.7gとを滴下した。次いで、反応容器中に、メチルシクロヘキサン121.0gと、エチレングリコールジメチルエーテル423.5gとを添加し、140℃で10時間かけてイミド化反応を行った。このようにして、ポリイミド化合物含有溶液(不揮発分26.8重量%)を得た。得られたポリイミド化合物の分子量(重量平均分子量)は20000であった。なお、酸成分/アミン成分のモル比は1.04であった。
<Synthesis example 2>
300.0 g of tetracarboxylic dianhydride ("BisDA-1000" manufactured by SABIC Japan LLC) and 665.5 g of cyclohexanone were placed in a reaction vessel equipped with a stirrer, a water separator, a thermometer, and a nitrogen gas introduction tube. Then, the solution in the reaction vessel was heated to 60°C. Next, 89.0 g of dimer diamine (“PRIAMINE 1075” manufactured by Croda Japan) and 54.7 g of 1,3-bisaminomethylcyclohexane (manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Co., Inc.) were dropped into the reaction vessel. Next, 121.0 g of methylcyclohexane and 423.5 g of ethylene glycol dimethyl ether were added to the reaction vessel, and the imidization reaction was performed at 140° C. for 10 hours. Thus, a polyimide compound-containing solution (nonvolatile content: 26.8% by weight) was obtained. The molecular weight (weight average molecular weight) of the obtained polyimide compound was 20,000. The acid component/amine component molar ratio was 1.04.

合成例2で合成したポリイミド化合物の分子量は、以下のようにして求めた。 The molecular weight of the polyimide compound synthesized in Synthesis Example 2 was determined as follows.

GPC(ゲルパーミエーションクロマトグラフィー)測定:
島津製作所社製高速液体クロマトグラフシステムを使用し、テトラヒドロフラン(THF)を展開媒として、カラム温度40℃、流速1.0ml/分で測定を行った。検出器として「SPD−10A」を用い、カラムはShodex社製「KF−804L」(排除限界分子量400,000)を2本直列につないで使用した。標準ポリスチレンとして、東ソー社製「TSKスタンダードポリスチレン」を用い、重量平均分子量Mw=354,000、189,000、98,900、37,200、17,100、9,830、5,870、2,500、1,050、500の物質を使用して較正曲線を作成し、分子量の計算を行った。
GPC (gel permeation chromatography) measurement:
Using a high-performance liquid chromatograph system manufactured by Shimadzu Corporation, tetrahydrofuran (THF) was used as a developing medium, and the measurement was performed at a column temperature of 40° C. and a flow rate of 1.0 ml/min. "SPD-10A" was used as a detector, and two columns of "KF-804L" (exclusion limit molecular weight 400,000) manufactured by Shodex were connected in series as a column. As the standard polystyrene, “TSK standard polystyrene” manufactured by Tosoh Corporation is used, and the weight average molecular weight Mw=354,000, 189,000, 98,900, 37,200, 17,100, 9,830, 5,870, 2, A calibration curve was prepared using 500, 1,050 and 500 substances and the molecular weight was calculated.

(実施例1〜6及び比較例1,2)
下記の表1に示す成分を下記の表1に示す配合量(単位は固形分重量部)で配合し、均一な溶液となるまで常温で攪拌し、樹脂材料を得た。
(Examples 1 to 6 and Comparative Examples 1 and 2)
The components shown in Table 1 below were blended in the blending amounts shown in Table 1 below (unit: solid weight part), and the mixture was stirred at room temperature until a uniform solution was obtained to obtain a resin material.

樹脂フィルムの作製:
アプリケーターを用いて、離型処理されたPETフィルム(東レ社製「XG284」、厚み25μm)の離型処理面上に得られた樹脂材料を塗工した後、100℃のギヤオーブン内で2分30秒間乾燥し、溶剤を揮発させた。このようにして、PETフィルム上に、厚さが40μmである樹脂フィルム(Bステージフィルム)が積層されている積層フィルム(PETフィルムと樹脂フィルムとの積層フィルム)を得た。
Production of resin film:
Using an applicator, the obtained resin material was applied onto the release-treated surface of the release-treated PET film (“XG284” manufactured by Toray Industries, Inc., thickness 25 μm), and then 2 minutes in a gear oven at 100° C. After drying for 30 seconds, the solvent was evaporated. Thus, a laminated film (a laminated film of a PET film and a resin film) in which a resin film (B stage film) having a thickness of 40 μm was laminated on the PET film was obtained.

(評価)
(1)(A)エポキシ化合物及び(B)活性エステル化合物の軟化点
示差走査熱量測定装置(TA・インスツルメント社製「Q2000」)を用いて、昇温速度3℃/分で−30℃から200℃まで窒素雰囲気下で加熱を行い、リバースヒートフローの変曲点から(A)エポキシ化合物及び(B)活性エステル化合物の軟化点を求めた。
(Evaluation)
(1) Softening point of (A) epoxy compound and (B) active ester compound Using a differential scanning calorimeter (“Q2000” manufactured by TA Instruments Co., Ltd.), a temperature rising rate of 3° C./min to −30° C. To 200° C. in a nitrogen atmosphere, and the softening points of the (A) epoxy compound and (B) active ester compound were determined from the inflection points of the reverse heat flow.

(2)誘電正接
得られた樹脂フィルムを190℃で90分間加熱して、硬化物を得た。得られた硬化物を幅2mm、長さ80mmの大きさに裁断して10枚を重ね合わせて、関東電子応用開発社製「空洞共振摂動法誘電率測定装置CP521」及びキーサイトテクノロジー社製「ネットワークアナライザーN5224A PNA」を用いて、空洞共振法で常温(23℃)にて、周波数5.8GHzにて誘電正接を測定した。
(2) Dielectric loss tangent The obtained resin film was heated at 190° C. for 90 minutes to obtain a cured product. The obtained cured product was cut into a size of 2 mm in width and 80 mm in length and 10 sheets were stacked, and "Cavity resonance perturbation method dielectric constant measuring device CP521" manufactured by Kanto Electronics Application Development Co., Ltd. Using a network analyzer N5224A PNA, the dielectric loss tangent was measured by the cavity resonance method at room temperature (23° C.) at a frequency of 5.8 GHz.

[誘電正接の判定基準]
○○:誘電正接が0.0033未満
〇:誘電正接が0.0033以上0.0037未満
×:誘電正接が0.0037以上
[Judgment criteria of dielectric loss tangent]
◯: Dielectric loss tangent is less than 0.0033 ◯: Dielectric loss tangent is 0.0033 or more and less than 0.0037 ×: Dielectric loss tangent is 0.0037 or more

(3)熱寸法安定性(平均線膨張係数(CTE))
得られた厚さ40μmの樹脂フィルム(Bステージフィルム)を190℃で90分間加熱して得られた硬化物を3mm×25mmの大きさに裁断した。熱機械的分析装置(エスアイアイ・ナノテクノロジー社製「EXSTAR TMA/SS6100」)を用いて、引っ張り荷重33mN及び昇温速度5℃/分の条件で、裁断された硬化物の25℃〜150℃までの平均線膨張係数(ppm/℃)を算出した。
(3) Thermal dimensional stability (average linear expansion coefficient (CTE))
The cured film obtained by heating the obtained 40 μm-thick resin film (B stage film) at 190° C. for 90 minutes was cut into a size of 3 mm×25 mm. Using a thermo-mechanical analyzer (“EXSTAR TMA/SS6100” manufactured by SII Nano Technology Inc.), a cured product cut at 25° C. to 150° C. under conditions of a tensile load of 33 mN and a heating rate of 5° C./min. The average coefficient of linear expansion (ppm/°C.) was calculated.

[熱寸法安定性の判定基準]
○○:平均線膨張係数が23ppm/℃以下
○:平均線膨張係数が23ppm/℃を超え27ppm/℃未満
×:平均線膨張係数が27ppm/℃以上
[Criteria for thermal dimensional stability]
◯: Average linear expansion coefficient of 23 ppm/° C. or less ○: Average linear expansion coefficient of more than 23 ppm/° C. and less than 27 ppm/° C. ×: Average linear expansion coefficient of 27 ppm/° C. or more

(4)ガラス転移温度Tg
得られた厚さ40μmの樹脂フィルム(Bステージフィルム)を190℃で90分間加熱して得られた硬化物を5mm×50mmの大きさに裁断した。熱機械的分析装置(エスアイアイ・ナノテクノロジー社製「DMS6100」)を用いて、チャック間距離20mm、振幅10μm、張力振幅初期値400mN、5℃/分の昇温速度で50℃から330℃まで温度を上昇させる条件、及び周波数10Hzの条件で測定を行った。得られた測定結果において、損失正接のピーク温度をガラス転移温度Tg(℃)とした。
(4) Glass transition temperature Tg
The cured film obtained by heating the obtained 40 μm-thick resin film (B stage film) at 190° C. for 90 minutes was cut into a size of 5 mm×50 mm. Using a thermomechanical analyzer (“DMS6100” manufactured by SII Nano Technology Inc.), chuck distance 20 mm, amplitude 10 μm, tension amplitude initial value 400 mN, 50° C. to 330° C. at a heating rate of 5° C./min. The measurement was performed under the conditions of increasing the temperature and the frequency of 10 Hz. In the obtained measurement results, the peak temperature of the loss tangent was defined as the glass transition temperature Tg (°C).

[ガラス転移温度Tgの判定基準]
○○:Tgが180℃以上
○:Tgが175℃以上180℃未満
×:Tgが175℃未満
[Criteria for determination of glass transition temperature Tg]
○○: Tg is 180°C or higher ○: Tg is 175°C or higher and lower than 180°C ×: Tg is lower than 175°C

(5)サイドローブ
ラミネート・半硬化処理:
得られた樹脂フィルムを、CCL基板(日立化成工業社製「E679FG」)に真空ラミネートし、180℃で30分間加熱し、半硬化させた。このようにして、CCL基板に樹脂フィルムの半硬化物が積層されている積層体Aを得た。
(5) Sidelobe Laminating/semi-curing treatment:
The obtained resin film was vacuum laminated on a CCL substrate (“E679FG” manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) and heated at 180° C. for 30 minutes to be semi-cured. In this way, a laminate A in which the semi-cured resin film was laminated on the CCL substrate was obtained.

ビア(貫通孔)形成:
得られた積層体Aにおける樹脂フィルムの半硬化物に、COレーザー(日立ビアメカニクス社製)を用いて、上端での直径が60μm、下端(底部)での直径が40μmであるビア(貫通孔)を形成した。このようにして、CCL基板に樹脂フィルムの半硬化物が積層されており、かつ樹脂フィルムの半硬化物にビア(貫通孔)が形成されている積層体Bを得た。
Via (through hole) formation:
Using a CO 2 laser (manufactured by Hitachi Via Mechanics Co., Ltd.) on the semi-cured resin film in the obtained laminate A, a via having a diameter of 60 μm at the upper end and a diameter of 40 μm at the lower end (bottom) (penetration) Holes) were formed. In this way, a laminate B was obtained in which the semi-cured resin film was laminated on the CCL substrate, and the semi-cured resin film was provided with vias (through holes).

ビアの底部の残渣の除去処理:
(a)膨潤処理
60℃の膨潤液(アトテックジャパン社製「スウェリングディップセキュリガントP」)に、得られた積層体Bを入れて、10分間揺動させた。その後、純水で洗浄した。
Removal of residue from the bottom of the via:
(A) Swelling treatment The obtained laminated body B was put into a swelling liquid (“Swelling Dip Securigant P” manufactured by Atotech Japan Co., Ltd.) at 60° C. and shaken for 10 minutes. Then, it was washed with pure water.

(b)過マンガン酸塩処理(粗化処理及びデスミア処理)
80℃の過マンガン酸カリウム(アトテックジャパン社製「コンセントレートコンパクトCP」)粗化水溶液に、膨潤処理後の積層体Bを入れて、30分間揺動させた。次に、25℃の洗浄液(アトテックジャパン社製「リダクションセキュリガントP」)を用いて2分間処理した後、純水で洗浄を行い、評価サンプルを得た。
(B) Permanganate treatment (roughening treatment and desmear treatment)
The laminated body B after the swelling treatment was put into a roughened aqueous solution of potassium permanganate (“Concentrate Compact CP” manufactured by Atotech Japan Co., Ltd.) at 80° C. and shaken for 30 minutes. Next, the sample was treated with a cleaning liquid at 25° C. (“Reduction Securigant P” manufactured by Atotech Japan Co., Ltd.) for 2 minutes and then washed with pure water to obtain an evaluation sample.

評価サンプルのビア周辺を走査電子顕微鏡(SEM)にて観察し、ビア周辺のサイドローブ長を測定した。 The periphery of the via of the evaluation sample was observed with a scanning electron microscope (SEM), and the side lobe length around the via was measured.

[サイドローブの判定基準]
○○:最大サイドローブ長が15μm未満
〇:最大サイドローブ長が15μm以上30μm未満
×:最大サイドローブ長が30μm以上
[Sidelobe criteria]
◯: Maximum sidelobe length is less than 15 μm ◯: Maximum sidelobe length is 15 μm or more and less than 30 μm ×: Maximum sidelobe length is 30 μm or more

(6)エッチング後の表面粗度
上記「(5)サイドローブ」の評価で得られた評価サンプル(粗化処理された硬化物)の表面において、94μm×123μmの領域を任意に10箇所選択した。この10箇所の各領域について、非接触3次元表面形状測定装置(Veeco社製「WYKO NT1100」)を用いて、算術平均粗さRaを測定した。測定された10箇所の算術平均粗さRaの平均値から下記の表面粗度を評価し、測定された10箇所の算術平均粗さRaの最大値と最小値との差の絶対値から下記の表面粗さの均一性を評価した。なお、上記算術平均粗さRaは、JIS B0601:1994に準拠して測定した。
(6) Surface Roughness after Etching On the surface of the evaluation sample (cured material subjected to the roughening treatment) obtained in the evaluation of "(5) Sidelobe", 10 areas of 94 μm×123 μm were arbitrarily selected. .. The arithmetic mean roughness Ra was measured for each of these 10 regions using a non-contact three-dimensional surface shape measuring device (“WYKO NT1100” manufactured by Veeco). The following surface roughness was evaluated from the average value of the arithmetic mean roughness Ra measured at 10 points, and the following from the absolute value of the difference between the maximum value and the minimum value of the arithmetic mean roughness Ra measured at 10 points: The uniformity of surface roughness was evaluated. The arithmetic mean roughness Ra was measured according to JIS B0601:1994.

[エッチング後の表面粗度(表面粗さ)の判定基準]
○○:算術平均粗さRaの平均値が50nm未満
〇:算術平均粗さRaの平均値が50nm以上80μm未満
×:算術平均粗さRaの平均値が80nm以上
[Criteria for determining surface roughness (surface roughness) after etching]
◯: Average value of arithmetic average roughness Ra is less than 50 nm ◯: Average value of arithmetic average roughness Ra is 50 nm or more and less than 80 μm x: Average value of arithmetic average roughness Ra is 80 nm or more

[エッチング後の表面粗度(表面粗さ)の均一性の判定基準]
○:算術平均粗さRaの最大値と最小値との差の絶対値が10nm未満
×:算術平均粗さRaの最大値と最小値との差の絶対値が10nm以上
[Criteria for Uniformity of Surface Roughness (Surface Roughness) After Etching]
◯: The absolute value of the difference between the maximum value and the minimum value of the arithmetic average roughness Ra is less than 10 nm ×: The absolute value of the difference between the maximum value and the minimum value of the arithmetic average roughness Ra is 10 nm or more

(7)Bステージフィルムの柔軟性
得られた樹脂フィルム(Bステージフィルム)を180度に10回折り曲げた。10回中、樹脂フィルムにひび又は割れが生じる回数を観察した。
(7) Flexibility of B stage film The obtained resin film (B stage film) was bent 10 times at 180 degrees. During 10 times, the number of times the resin film was cracked or cracked was observed.

[Bステージフィルムの柔軟性の判定基準]
○○:10回中、ひび又は割れが生じる回数が3回未満である
○:10回中、ひび又は割れが生じる回数が3回以上6回未満である
×:10回中、ひび又は割れが生じる回数が6回以上である
[Criteria for B-stage film flexibility]
○○: The number of cracks or cracks was less than 3 times in 10 times. ○: The number of cracks or cracks was 3 times or more and less than 6 times in 10 times. ×: Cracks or cracks were generated in 10 times. Occurs more than 6 times

組成及び結果を下記の表1に示す。 The composition and results are shown in Table 1 below.

Figure 2020094213
Figure 2020094213

11…多層プリント配線板
12…回路基板
12a…上面
13〜16…絶縁層
17…金属層
11... Multilayer printed wiring board 12... Circuit board 12a... Upper surface 13-16... Insulating layer 17... Metal layer

Claims (13)

ナフチレンエーテル骨格を有するエポキシ化合物と、
ナフチレンエーテル骨格を有する活性エステル化合物とを含み、
前記エポキシ化合物と前記活性エステル化合物との組み合わせが、ナフチレンエーテル骨格を有しかつ90℃以下の軟化点を有するエポキシ化合物とナフチレンエーテル骨格を有しかつ145℃を超える軟化点を有する活性エステル化合物との第1の組み合わせ、ナフチレンエーテル骨格を有しかつ90℃を超える軟化点を有するエポキシ化合物とナフチレンエーテル骨格を有しかつ145℃以下の軟化点を有する活性エステル化合物との第2の組み合わせ、又はナフチレンエーテル骨格を有しかつ90℃を超える軟化点を有するエポキシ化合物とナフチレンエーテル骨格を有しかつ145℃を超える軟化点を有する活性エステル化合物との第3の組み合わせである、樹脂材料。
An epoxy compound having a naphthylene ether skeleton,
And an active ester compound having a naphthylene ether skeleton,
An active ester having a combination of the epoxy compound and the active ester compound, the epoxy compound having a naphthylene ether skeleton and a softening point of 90° C. or less and the naphthylene ether skeleton, and having a softening point of more than 145° C. First combination with a compound, second with an epoxy compound having a naphthylene ether skeleton and having a softening point above 90° C. and an active ester compound having a naphthylene ether skeleton and having a softening point below 145° C. Or a third combination of an epoxy compound having a naphthylene ether skeleton and having a softening point above 90° C. and an active ester compound having a naphthylene ether skeleton and having a softening point above 145° C. , Resin material.
前記エポキシ化合物と前記活性エステル化合物との組み合わせが、前記第1の組み合わせ又は前記第3の組み合わせである、請求項1に記載の樹脂材料。 The resin material according to claim 1, wherein the combination of the epoxy compound and the active ester compound is the first combination or the third combination. 前記エポキシ化合物と前記活性エステル化合物との組み合わせが、前記第2の組み合わせ又は前記第3の組み合わせである、請求項1に記載の樹脂材料。 The resin material according to claim 1, wherein the combination of the epoxy compound and the active ester compound is the second combination or the third combination. 前記エポキシ化合物と前記活性エステル化合物との組み合わせが、前記第3の組み合わせである、請求項1に記載の樹脂材料。 The resin material according to claim 1, wherein the combination of the epoxy compound and the active ester compound is the third combination. 前記エポキシ化合物と前記活性エステル化合物との組み合わせが、前記第3の組み合わせであり、
樹脂材料中に含まれる全てのエポキシ化合物と全ての硬化剤との合計100重量%中、前記ナフチレンエーテル骨格を有しかつ90℃を超える軟化点を有するエポキシ化合物と前記ナフチレンエーテル骨格を有しかつ145℃を超える軟化点を有する活性エステル化合物との合計の含有量が35重量%以上である、請求項1に記載の樹脂材料。
The combination of the epoxy compound and the active ester compound is the third combination,
The epoxy compound having the naphthylene ether skeleton and having the softening point of more than 90° C. and the naphthylene ether skeleton in 100% by weight of all the epoxy compounds and all the curing agents contained in the resin material. The resin material according to claim 1, wherein the total content with the active ester compound having a softening point of higher than 145°C is 35% by weight or more.
前記エポキシ化合物と前記活性エステル化合物との組み合わせが、前記第3の組み合わせであり、
樹脂材料中に含まれる全てのエポキシ化合物と全ての硬化剤との合計100重量%中、前記ナフチレンエーテル骨格を有しかつ90℃を超える軟化点を有するエポキシ化合物と前記ナフチレンエーテル骨格を有しかつ145℃を超える軟化点を有する活性エステル化合物との合計の含有量が50重量%以上である、請求項1に記載の樹脂材料。
The combination of the epoxy compound and the active ester compound is the third combination,
The epoxy compound having the naphthylene ether skeleton and having the softening point of more than 90° C. and the naphthylene ether skeleton in 100% by weight of all the epoxy compounds and all the curing agents contained in the resin material. The resin material according to claim 1, wherein the total content with the active ester compound having a softening point of higher than 145°C is 50% by weight or more.
ビスマレイミド化合物を含む、請求項1〜6のいずれか1項に記載の樹脂材料。 The resin material according to any one of claims 1 to 6, which contains a bismaleimide compound. 前記ビスマレイミド化合物が、ダイマージアミンに由来する骨格を有するビスマレイミド化合物である、請求項7に記載の樹脂材料。 The resin material according to claim 7, wherein the bismaleimide compound is a bismaleimide compound having a skeleton derived from dimer diamine. 前記ビスマレイミド化合物が、下記式(X)で表される構造を有するビスマレイミド化合物である、請求項7又は8に記載の樹脂材料。
Figure 2020094213
前記式(X)中、R1は、4価の有機基を表す。
The resin material according to claim 7 or 8, wherein the bismaleimide compound is a bismaleimide compound having a structure represented by the following formula (X).
Figure 2020094213
In the formula (X), R1 represents a tetravalent organic group.
無機充填材を含む、請求項1〜9のいずれか1項に記載の樹脂材料。 The resin material according to any one of claims 1 to 9, which contains an inorganic filler. 樹脂フィルムである、請求項1〜10のいずれか1項に記載の樹脂材料。 The resin material according to any one of claims 1 to 10, which is a resin film. 多層プリント配線板において、絶縁層を形成するために用いられる、請求項1〜11のいずれか1項に記載の樹脂材料。 The resin material according to claim 1, which is used for forming an insulating layer in a multilayer printed wiring board. 回路基板と、
前記回路基板の表面上に配置された複数の絶縁層と、
複数の前記絶縁層間に配置された金属層とを備え、
複数の前記絶縁層の内の少なくとも1層が、請求項1〜12のいずれか1項に記載の樹脂材料の硬化物である、多層プリント配線板。
Circuit board,
A plurality of insulating layers disposed on the surface of the circuit board,
A metal layer disposed between the plurality of insulating layers,
A multilayer printed wiring board, wherein at least one layer of the plurality of insulating layers is a cured product of the resin material according to any one of claims 1 to 12.
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