JP6805338B2 - Resin material, laminated structure and multi-layer printed wiring board - Google Patents

Resin material, laminated structure and multi-layer printed wiring board Download PDF

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Description

本発明は、マレイミド化合物又はベンゾオキサジン化合物と、無機充填材とを含む樹脂材料に関する。また、本発明は、上記樹脂材料を用いた積層構造体及び多層プリント配線板に関する。 The present invention relates to a resin material containing a maleimide compound or a benzoxazine compound and an inorganic filler. The present invention also relates to a laminated structure and a multilayer printed wiring board using the above resin material.

従来、半導体装置、積層板及びプリント配線板等の電子部品を得るために、様々な樹脂材料が用いられている。例えば、多層プリント配線板では、内部の層間を絶縁するための絶縁層を形成したり、表層部分に位置する絶縁層を形成したりするために、樹脂材料が用いられている。上記絶縁層の表面には、一般に金属である配線が積層される。また、上記絶縁層を形成するために、上記樹脂材料がフィルム化された樹脂フィルムが用いられることがある。上記樹脂材料及び上記樹脂フィルムは、ビルドアップフィルムを含む多層プリント配線板用の絶縁材料等として用いられている。 Conventionally, various resin materials have been used in order to obtain electronic components such as semiconductor devices, laminated boards and printed wiring boards. For example, in a multilayer printed wiring board, a resin material is used to form an insulating layer for insulating the inner layers and to form an insulating layer located on a surface layer portion. Wiring, which is generally metal, is laminated on the surface of the insulating layer. Further, in order to form the insulating layer, a resin film obtained by forming the resin material into a film may be used. The resin material and the resin film are used as an insulating material for a multilayer printed wiring board including a build-up film.

下記の特許文献1には、マレイミド基と、少なくとも2つのイミド結合を有する2価の基及び飽和又は不飽和の2価の炭化水素基とを有する化合物を含有する樹脂組成物が開示されている。特許文献1には、この樹脂組成物の硬化物を、多層プリント配線板等の絶縁層として用いることができることが記載されている。 Patent Document 1 below discloses a resin composition containing a compound having a maleimide group, a divalent group having at least two imide bonds, and a saturated or unsaturated divalent hydrocarbon group. .. Patent Document 1 describes that a cured product of this resin composition can be used as an insulating layer of a multilayer printed wiring board or the like.

下記の特許文献2には、ビスマレイミド化合物を含み、該ビスマレイミド化合物が、マレイミド基2個と、特定の構造を有するポリイミド基1個以上とを有する電子材料用樹脂組成物が開示されている。上記ビスマレイミド化合物において、2個の上記マレイミド基は、各々独立して、8以上の原子が直鎖状に連結した第1の連結基を少なくとも介して、上記ポリイミド基の両端に結合している。 Patent Document 2 below discloses a resin composition for an electronic material containing a bismaleimide compound, wherein the bismaleimide compound has two maleimide groups and one or more polyimide groups having a specific structure. .. In the bismaleimide compound, the two maleimide groups are independently bonded to both ends of the polyimide group via at least a first linking group in which 8 or more atoms are linearly linked. ..

WO2016/114286A1WO2016 / 114286A1 特開2018−90728号公報JP-A-2018-90728

硬化物(絶縁層)の電気特性を高めるために、樹脂材料(樹脂組成物)に極性の小さい化合物を配合することがある。しかしながら、極性の小さい化合物を配合した樹脂材料を用いて硬化物(絶縁層)を形成した場合には、絶縁層と金属層との密着性が十分に高くならなかったり、硬化物の熱寸法安定性が十分に高くならなかったりする。このため、配線(金属層)が絶縁層から剥離することがある。 In order to enhance the electrical characteristics of the cured product (insulating layer), a compound having a small polarity may be added to the resin material (resin composition). However, when a cured product (insulating layer) is formed using a resin material containing a compound having a low polarity, the adhesion between the insulating layer and the metal layer is not sufficiently high, or the cured product is thermally dimensionally stable. The sex may not be high enough. Therefore, the wiring (metal layer) may be peeled off from the insulating layer.

また、特許文献1,2に記載のような従来の樹脂材料を用いて絶縁層を形成した場合に、熱寸法安定性が十分に高くならなかったり、エッチング後の表面粗度が十分に小さくならなかったりすることがある。エッチング後の表面粗度が十分に小さくならない場合には、アンカー効果に寄与する樹脂が部分的に細くなるために絶縁層の強度が十分に高くならず、エッチング後の硬化物(絶縁層)と、該絶縁層の表面上にめっき処理により積層した金属層とのメッキピール強度が十分に高くならないことがある。 Further, when the insulating layer is formed by using the conventional resin material as described in Patent Documents 1 and 2, the thermal dimensional stability is not sufficiently high, or the surface roughness after etching is sufficiently small. It may not be there. If the surface roughness after etching is not sufficiently small, the strength of the insulating layer will not be sufficiently high because the resin that contributes to the anchor effect will be partially thinned, and the cured product (insulating layer) after etching The plating peel strength with the metal layer laminated on the surface of the insulating layer by plating may not be sufficiently high.

さらに、従来のエポキシ樹脂を含む樹脂材料では、絶縁層と金属層との密着性(特に高温時の密着性)が十分に高くならないことがある。その結果、リフロー耐性が低下することがある。 Further, in the conventional resin material containing an epoxy resin, the adhesion between the insulating layer and the metal layer (particularly, the adhesion at high temperature) may not be sufficiently high. As a result, reflow resistance may decrease.

このように、1)硬化物の誘電正接を低くし、2)硬化物の熱寸法安定性を高め、3)絶縁層と金属層との密着性を高め、4)エッチング後の表面粗度を小さくし、5)メッキピール強度を高めることができるという、1)−5)の効果を全て発揮する樹脂材料を得ることは極めて困難であるという現状がある。 In this way, 1) the dielectric loss tangent of the cured product is lowered, 2) the thermal dimensional stability of the cured product is improved, 3) the adhesion between the insulating layer and the metal layer is improved, and 4) the surface roughness after etching is improved. At present, it is extremely difficult to obtain a resin material that can exhibit all the effects of 1) -5) that can be made smaller and 5) the plating peel strength can be increased.

本発明の目的は、1)硬化物の誘電正接を低くし、2)硬化物の熱寸法安定性を高め、3)絶縁層と金属層との密着性を高め、4)エッチング後の表面粗度を小さくし、5)メッキピール強度を高めることができる樹脂材料を提供することである。また、本発明は、上記樹脂材料を用いた積層構造体及び多層プリント配線板を提供することも目的とする。 The object of the present invention is 1) to lower the dielectric loss tangent of the cured product, 2) to improve the thermal dimensional stability of the cured product, 3) to improve the adhesion between the insulating layer and the metal layer, and 4) to roughen the surface after etching. It is to provide a resin material which can reduce the degree and 5) increase the plating peel strength. Another object of the present invention is to provide a laminated structure and a multilayer printed wiring board using the above resin material.

本発明の広い局面によれば、ダイマージアミンに由来する骨格を有し、かつ、ダイマージアミン以外のジアミン化合物に由来する骨格を有するビスマレイミド化合物及びダイマージアミンに由来する骨格を有し、かつ、ダイマージアミン以外のジアミン化合物に由来する骨格を有するベンゾオキサジン化合物の内の少なくとも一方の化合物Aと、無機充填材とを含む、樹脂材料が提供される。 According to a broad aspect of the present invention, a bismaleimide compound having a skeleton derived from dimerdiamine and a skeleton derived from a diamine compound other than diaminediamine and a skeleton derived from dimerdiamine, and a diamine Provided is a resin material containing at least one compound A of a benzoxazine compound having a skeleton derived from a diamine compound other than diamine and an inorganic filler.

本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記ダイマージアミン以外のジアミン化合物に由来する骨格におけるアミノ基間の距離が、前記ダイマージアミンに由来する骨格におけるアミノ基間の距離よりも短い。 In certain aspects of the resin material according to the present invention, the distance between amino groups in the skeleton derived from the diamine compound other than the dimer diamine is shorter than the distance between the amino groups in the skeleton derived from the dimer diamine.

本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記化合物Aが、主鎖の両末端に前記ダイマージアミンに由来する骨格を有する。 In certain aspects of the resin material according to the present invention, the compound A has a skeleton derived from the dimer diamine at both ends of the main chain.

本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記化合物Aが、主鎖の両末端にのみ前記ダイマージアミンに由来する骨格を有する。 In certain aspects of the resin material according to the present invention, the compound A has a skeleton derived from the dimer diamine only at both ends of the main chain.

本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記化合物Aの分子量が20000未満である。 In certain aspects of the resin material according to the invention, the compound A has a molecular weight of less than 20000.

本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記無機充填材の平均粒径が1μm以下である。 In a specific aspect of the resin material according to the present invention, the average particle size of the inorganic filler is 1 μm or less.

本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記無機充填材がシリカである。 In certain aspects of the resin material according to the present invention, the inorganic filler is silica.

本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、前記無機充填材の含有量が50重量%以上である。 In a specific aspect of the resin material according to the present invention, the content of the inorganic filler is 50% by weight or more in 100% by weight of the components excluding the solvent in the resin material.

本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記樹脂材料は、ダイマージアミンに由来する骨格を有さないマレイミド化合物を含む。 In certain aspects of the resin material according to the invention, the resin material comprises a skeletonless maleimide compound derived from a dimer diamine.

本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記化合物Aが、前記ダイマージアミンに由来する骨格を有し、かつ、ダイマージアミン以外のジアミン化合物に由来する骨格を有するビスマレイミド化合物を含み、前記ダイマージアミンに由来する骨格を有し、かつ、ダイマージアミン以外のジアミン化合物に由来する骨格を有するビスマレイミド化合物が、主鎖の両末端にのみダイマージアミンに由来する骨格を有する第1のビスマレイミド化合物と、主鎖の両末端以外の骨格内にダイマージアミンに由来する骨格を有し、かつイミド骨格を2個以上有する第2のビスマレイミド化合物とを含む。 In certain aspects of the resin material according to the present invention, the compound A comprises a bismaleimide compound having a skeleton derived from the diamine diamine and having a skeleton derived from a diamine compound other than diamine diamine. A bismaleimide compound having a skeleton derived from dimerdiamine and having a skeleton derived from a diamine compound other than diaminediamine is a first bismaleimide compound having a skeleton derived from dimerdiamine only at both ends of the main chain. And a second bismaleimide compound having a skeleton derived from dimerdiamine in the skeleton other than both ends of the main chain and having two or more imide skeletons.

本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、エポキシ化合物と、フェノール化合物、シアネートエステル化合物、酸無水物、活性エステル化合物、カルボジイミド化合物、及びダイマージアミンに由来する骨格を有さないベンゾオキサジン化合物の内の少なくとも1種の成分を含む硬化剤とを含む。 In certain aspects of the resin material according to the invention, epoxy compounds and phenolic compounds, cyanate ester compounds, acid anhydrides, active ester compounds, carbodiimide compounds, and skeletonless benzoxazine compounds derived from dimerdiamine. Includes a hardener containing at least one of these components.

本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、硬化促進剤を含み、前記硬化促進剤がアニオン性硬化促進剤を含む。 In certain aspects of the resin material according to the present invention, a curing accelerator is included, and the curing accelerator contains an anionic curing accelerator.

本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記アニオン性硬化促進剤が、イミダゾール化合物である。 In certain aspects of the resin material according to the present invention, the anionic curing accelerator is an imidazole compound.

本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記硬化促進剤100重量%中、前記アニオン性硬化促進剤の含有量が20重量%以上である。 In a specific aspect of the resin material according to the present invention, the content of the anionic curing accelerator is 20% by weight or more in 100% by weight of the curing accelerator.

本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記樹脂材料は、樹脂フィルムである。 In certain aspects of the resin material according to the present invention, the resin material is a resin film.

本発明の広い局面によれば、金属層を表面に有する積層対象部材と、前記金属層の表面上に積層された樹脂フィルムとを備え、前記樹脂フィルムが、上述した樹脂材料である、積層構造体が提供される。 According to a broad aspect of the present invention, a laminated structure comprising a member to be laminated having a metal layer on its surface and a resin film laminated on the surface of the metal layer, wherein the resin film is the resin material described above. The body is provided.

本発明に係る積層構造体のある特定の局面では、前記金属層の材料が銅である。 In certain aspects of the laminated structure according to the present invention, the material of the metal layer is copper.

本発明の広い局面によれば、回路基板と、前記回路基板の表面上に配置された複数の絶縁層と、複数の前記絶縁層間に配置された金属層とを備え、複数の前記絶縁層の内の少なくとも1層が、上述した樹脂材料の硬化物である、多層プリント配線板が提供される。 According to a broad aspect of the present invention, the plurality of insulating layers include a circuit board, a plurality of insulating layers arranged on the surface of the circuit board, and a metal layer arranged between the plurality of insulating layers. A multilayer printed wiring board is provided in which at least one of the layers is a cured product of the resin material described above.

本発明に係る樹脂材料は、ダイマージアミンに由来する骨格を有し、かつ、ダイマージアミン以外のジアミン化合物に由来する骨格を有するビスマレイミド化合物及びダイマージアミンに由来する骨格を有し、かつ、ダイマージアミン以外のジアミン化合物に由来する骨格を有するベンゾオキサジン化合物の内の少なくとも一方の化合物Aを含む。本発明に係る樹脂材料は、無機充填材を含む。本発明に係る樹脂材料では、上記の構成が備えられているので、1)硬化物の誘電正接を低くし、2)硬化物の熱寸法安定性を高め、3)絶縁層と金属層との密着性を高め、4)エッチング後の表面粗度を小さくし、5)メッキピール強度を高めることができるという、1)−5)の効果を全て発揮することができる。 The resin material according to the present invention has a bismaleimide compound having a skeleton derived from dimerdiamine and a skeleton derived from a diamine compound other than diaminediamine, and a skeleton derived from dimerdiamine, and diaminediamine. It contains at least one compound A of the benzoxazine compounds having a skeleton derived from a diamine compound other than the above. The resin material according to the present invention includes an inorganic filler. Since the resin material according to the present invention has the above-mentioned structure, 1) the dielectric loss tangent of the cured product is lowered, 2) the thermal dimensional stability of the cured product is improved, and 3) the insulating layer and the metal layer are separated from each other. All of the effects of 1) -5) can be exhibited, such as improving the adhesion, 4) reducing the surface roughness after etching, and 5) increasing the plating peel strength.

図1は、本発明の一実施形態に係る樹脂材料を用いた多層プリント配線板を模式的に示す断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view schematically showing a multilayer printed wiring board using a resin material according to an embodiment of the present invention.

以下、本発明を詳細に説明する。 Hereinafter, the present invention will be described in detail.

本発明に係る樹脂材料は、ダイマージアミンに由来する骨格を有し、かつ、ダイマージアミン以外のジアミン化合物に由来する骨格を有するビスマレイミド化合物及びダイマージアミンに由来する骨格を有し、かつ、ダイマージアミン以外のジアミン化合物に由来する骨格を有するベンゾオキサジン化合物の内の少なくとも一方の化合物Aを含む。本発明に係る樹脂材料は、無機充填材を含む。ダイマージアミンに由来する骨格と、ダイマージアミン以外のジアミン化合物に由来する骨格とは、上記化合物Aにおいて、部分骨格として存在する。 The resin material according to the present invention has a bismaleimide compound having a skeleton derived from dimerdiamine and a skeleton derived from a diamine compound other than diaminediamine, and a skeleton derived from dimerdiamine, and diaminediamine. It contains at least one compound A of the benzoxazine compounds having a skeleton derived from a diamine compound other than the above. The resin material according to the present invention includes an inorganic filler. The skeleton derived from dimerdiamine and the skeleton derived from a diamine compound other than dimerdiamine exist as partial skeletons in the above compound A.

本発明に係る樹脂材料では、上記の構成が備えられているので、1)硬化物の誘電正接を低くし、2)硬化物の熱寸法安定性を高め、3)絶縁層と金属層との密着性を高め、4)エッチング後の表面粗度を小さくし、5)メッキピール強度を高めることができるという、1)−5)の効果を全て発揮することができる。また、例えば、2)硬化物の熱寸法安定性として、硬化物の線膨張係数(CTE)を小さくすることができる。また、例えば、3)絶縁層と金属層との密着性として、室温〜高温(例えば260℃)の温度領域における絶縁層と金属層とのピール強度を高めることができる。 Since the resin material according to the present invention has the above-mentioned structure, 1) the dielectric loss tangent of the cured product is lowered, 2) the thermal dimensional stability of the cured product is improved, and 3) the insulating layer and the metal layer are separated from each other. All of the effects of 1) -5) can be exhibited, such as improving the adhesion, 4) reducing the surface roughness after etching, and 5) increasing the plating peel strength. Further, for example, 2) the coefficient of linear expansion (CTE) of the cured product can be reduced as the thermal dimensional stability of the cured product. Further, for example, 3) as the adhesion between the insulating layer and the metal layer, the peel strength between the insulating layer and the metal layer in the temperature range of room temperature to high temperature (for example, 260 ° C.) can be increased.

また、本発明に係る樹脂材料では、表面粗度を小さくすることができるので、該樹脂材料の硬化物を用いて得られる多層プリント配線板等の積層基板において、表皮効果による導体損失を低くすることができる。 Further, since the surface roughness of the resin material according to the present invention can be reduced, the conductor loss due to the skin effect can be reduced in a laminated substrate such as a multilayer printed wiring board obtained by using a cured product of the resin material. be able to.

本発明に係る樹脂材料は、樹脂組成物であってもよく、樹脂フィルムであってもよい。上記樹脂組成物は、流動性を有する。上記樹脂組成物は、ペースト状であってもよい。上記ペースト状には液状が含まれる。取扱性に優れることから、本発明に係る樹脂材料は、樹脂フィルムであることが好ましい。 The resin material according to the present invention may be a resin composition or a resin film. The resin composition has fluidity. The resin composition may be in the form of a paste. The paste form contains a liquid. The resin material according to the present invention is preferably a resin film because it is excellent in handleability.

本発明に係る樹脂材料は、熱硬化性材料であることが好ましい。上記樹脂材料が樹脂フィルムである場合には、該樹脂フィルムは、熱硬化性樹脂フィルムであることが好ましい。 The resin material according to the present invention is preferably a thermosetting material. When the resin material is a resin film, the resin film is preferably a thermosetting resin film.

以下、本発明に係る樹脂材料に用いられる各成分の詳細、及び本発明に係る樹脂材料の用途などを説明する。 Hereinafter, the details of each component used in the resin material according to the present invention, the use of the resin material according to the present invention, and the like will be described.

[ダイマージアミンに由来する骨格を有し、かつ、ダイマージアミン以外のジアミン化合物に由来する骨格を有する化合物A]
本発明に係る樹脂材料は、ダイマージアミンに由来する骨格を有し、かつ、ダイマージアミン以外のジアミン化合物に由来する骨格を有するビスマレイミド化合物及びダイマージアミンに由来する骨格を有し、かつ、ダイマージアミン以外のジアミン化合物に由来する骨格を有するベンゾオキサジン化合物の内の少なくとも一方の化合物Aを含む。本発明に係る樹脂材料は、上記化合物Aとして、上記ビスマレイミド化合物のみを含んでいてもよく、上記ベンゾオキサジン化合物のみを含んでいてもよく、上記ビスマレイミド化合物と上記ベンゾオキサジン化合物との双方を含んでいてもよい。
[Compound A having a skeleton derived from a dimer diamine and having a skeleton derived from a diamine compound other than dimer diamine]
The resin material according to the present invention has a bismaleimide compound having a skeleton derived from dimerdiamine and a skeleton derived from a diamine compound other than diaminediamine, and a skeleton derived from dimerdiamine, and diaminediamine. It contains at least one compound A of the benzoxazine compounds having a skeleton derived from a diamine compound other than the above. The resin material according to the present invention may contain only the bismaleimide compound or only the benzoxazine compound as the compound A, and may contain both the bismaleimide compound and the benzoxazine compound. It may be included.

上記化合物Aを用いることによって、上述した1)−5)の本発明の効果を発揮することができる。上記化合物Aを用いることによって、硬化物の表面粗度(表面粗さ)を適度に小さくでき、かつ、メッキピール強度を高めることができる。上記表面粗度は、エッチングされる樹脂量に依存する。エッチングは樹脂材料に含まれる化合物の二重結合部位で起こりやすい。このため、イミド結合及びダイマージアミンに由来する骨格を有する化合物はエッチングされやすい。上記化合物Aでは、ダイマージアミン以外のジアミン化合物の分子量を制御することにより、上記イミド結合及びダイマージアミンに由来する骨格の含有率を制御することができるため、エッチング後の表面粗度を小さくし、かつ、メッキピール強度を高めることができる。上記化合物Aは、芳香族骨格を有していてもよく、有していなくてもよい。上記化合物Aは、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。 By using the above-mentioned compound A, the effects of the above-mentioned 1) -5) of the present invention can be exhibited. By using the above compound A, the surface roughness (surface roughness) of the cured product can be appropriately reduced, and the plating peel strength can be increased. The surface roughness depends on the amount of resin to be etched. Etching tends to occur at the double bond site of the compound contained in the resin material. Therefore, compounds having a skeleton derived from an imide bond and a dimer diamine are easily etched. In the compound A, the imide bond and the content of the skeleton derived from the diamine diamine can be controlled by controlling the molecular weight of the diamine compound other than the diamine diamine, so that the surface roughness after etching can be reduced. Moreover, the plating peel strength can be increased. The compound A may or may not have an aromatic skeleton. As the compound A, only one kind may be used, or two or more kinds may be used in combination.

上記ダイマージアミンに由来する骨格は、脂肪族環を有するか又は有さない。上記ダイマージアミンに由来する骨格は、脂肪族環を有していてもよく、有さなくてもよい。 The skeleton derived from the dimer diamine has or does not have an aliphatic ring. The skeleton derived from the dimer diamine may or may not have an aliphatic ring.

上記ジアミン化合物に由来する骨格は、芳香族環を有するか又は有さない。上記ジアミン化合物に由来する骨格は、芳香族環を有していてもよく、有さなくてもよい。 The skeleton derived from the diamine compound has or does not have an aromatic ring. The skeleton derived from the diamine compound may or may not have an aromatic ring.

上記ジアミン化合物に由来する骨格は、脂肪族環を有するか又は有さない。上記ジアミン化合物に由来する骨格は、脂肪族環を有していてもよく、有さなくてもよい。 The skeleton derived from the diamine compound has or does not have an aliphatic ring. The skeleton derived from the diamine compound may or may not have an aliphatic ring.

上記芳香族環としては、ベンゼン環、ナフタレン環、アントラセン環、フェナントレン環、テトラセン環、クリセン環、トリフェニレン環、テトラフェン環、ピレン環、ペンタセン環、ピセン環及びペリレン環等が挙げられる。 Examples of the aromatic ring include a benzene ring, a naphthalene ring, an anthracene ring, a phenanthrene ring, a tetracene ring, a chrysene ring, a triphenylene ring, a tetraphen ring, a pyrene ring, a pentacene ring, a picene ring and a perylene ring.

上記脂肪族環としては、モノシクロアルカン環、ビシクロアルカン環、トリシクロアルカン環、テトラシクロアルカン環、及びジシクロペンタジエン等が挙げられる。 Examples of the aliphatic ring include a monocycloalkane ring, a bicycloalkane ring, a tricycloalkane ring, a tetracycloalkane ring, and a dicyclopentadiene.

上述した1)−5)の本発明の効果を効果的に発揮する観点からは、上記化合物Aでは、上記ダイマージアミン以外のジアミン化合物に由来する骨格におけるアミノ基間の距離が、上記ダイマージアミンに由来する骨格におけるアミノ基間の距離よりも短いことが好ましい。すなわち、下記に示すB1とB2とB3との合計が、下記に示すA1とA2との合計よりも小さいことが好ましい。 From the viewpoint of effectively exerting the effects of the present invention of 1) -5) described above, in the compound A, the distance between amino groups in the skeleton derived from a diamine compound other than the dimer diamine is set to the dimer diamine. It is preferably shorter than the distance between the amino groups in the skeleton from which it is derived. That is, it is preferable that the total of B1, B2, and B3 shown below is smaller than the total of A1 and A2 shown below.

上記ダイマージアミン骨格が有する脂肪族環の数をA1とする。A1は0以上の整数を表す。なお、上記脂肪族環とは、芳香族環以外の環を意味する。上記脂肪族環は、環の一部に二重結合を有していてもよい。 Let A1 be the number of aliphatic rings contained in the dimer diamine skeleton. A1 represents an integer of 0 or more. The aliphatic ring means a ring other than the aromatic ring. The aliphatic ring may have a double bond in a part of the ring.

上記ダイマージアミンに由来する骨格において一方のアミノ基を構成している窒素原子と他方のアミノ基を構成している窒素原子との間に存在する炭素原子のうち、芳香族環及び脂肪族環を構成していない炭素原子の数をA2とする。A2は1以上の整数を表す。 Among the carbon atoms existing between the nitrogen atom constituting one amino group and the nitrogen atom constituting the other amino group in the skeleton derived from the dimerdiamine, the aromatic ring and the aliphatic ring are formed. Let A2 be the number of carbon atoms that are not composed. A2 represents an integer of 1 or more.

なお、ダイマージアミンは天然物(混合物)であるため、該ダイマージアミンの構造を一構造に定義することは困難である。そのため、上記A1及びA2を算出するために、ダイマージアミンの代表骨格(ダイマージアミン骨格)として、後述する実施例の項目で用いた式(3)の骨格を用いてもよい。上記A1及びA2を算出するために、ダイマージアミン骨格として式(3)の骨格を用いる場合、A1とA2との合計は17である。A1とA2との合計を17としても、本発明の効果は損なわれない。なお、ダイマージアミン骨格は不飽和結合を有していてもよく、有していなくてもよい。 Since the dimer diamine is a natural product (mixture), it is difficult to define the structure of the dimer diamine as one structure. Therefore, in order to calculate the above A1 and A2, the skeleton of the formula (3) used in the item of Examples described later may be used as the representative skeleton of the dimer diamine (dimer diamine skeleton). When the skeleton of the formula (3) is used as the dimer diamine skeleton to calculate the above A1 and A2, the total of A1 and A2 is 17. Even if the total of A1 and A2 is 17, the effect of the present invention is not impaired. The dimer diamine skeleton may or may not have an unsaturated bond.

上記ダイマージアミン以外のジアミン化合物に由来する骨格が有する芳香族環の数をB1とし、上記ダイマージアミン以外のジアミン化合物に由来する骨格が有する脂肪族環の数をB2とする。B1及びB2はそれぞれ0以上の整数を表す。なお、上記脂肪族環とは、芳香族環以外の環を意味する。上記脂肪族環は、環の一部に二重結合を有していてもよい。また、縮合環は、1つの芳香族環としてカウントする。 The number of aromatic rings contained in the skeleton derived from the diamine compound other than the diamine diamine is defined as B1, and the number of aliphatic rings contained in the skeleton derived from the diamine compound other than the diamine diamine is defined as B2. B1 and B2 each represent an integer of 0 or more. The aliphatic ring means a ring other than the aromatic ring. The aliphatic ring may have a double bond in a part of the ring. Further, the fused ring is counted as one aromatic ring.

上記ダイマージアミン以外のジアミン化合物に由来する骨格において一方のアミノ基を構成している窒素原子と他方のアミノ基を構成している窒素原子との間に存在する炭素原子、窒素原子及び酸素原子のうち、芳香族環及び脂肪族環を構成していない炭素原子、窒素原子及び酸素原子の数をB3とする。B3は1以上の整数を表す。B3を求める際における、上記一方のアミノ基及び上記他方のアミノ基はそれぞれ、第1級アミノ基であることが好ましい。上記ダイマージアミン以外のジアミン化合物に由来する骨格において3個以上の第1級アミノ基が存在する場合、B3の値は大きい方の数値を採用する。 Carbon atom, nitrogen atom and oxygen atom existing between the nitrogen atom constituting one amino group and the nitrogen atom constituting the other amino group in the skeleton derived from the diamine compound other than the dimerdiamine. Of these, the number of carbon atoms, nitrogen atoms, and oxygen atoms that do not constitute an aromatic ring and an aliphatic ring is defined as B3. B3 represents an integer of 1 or more. When determining B3, it is preferable that the one amino group and the other amino group are primary amino groups, respectively. When three or more primary amino groups are present in the skeleton derived from a diamine compound other than the dimer diamine, the larger value of B3 is adopted.

上述した1)−5)の本発明の効果を効果的に発揮する観点からは、B1とB2とB3との合計が、A1とA2との合計よりも小さいことが好ましい。上述したように、A1とA2との合計を17とする場合には、B1とB2とB3との合計が17未満であることが好ましい。 From the viewpoint of effectively exerting the effects of the present invention of 1) -5) described above, it is preferable that the total of B1, B2 and B3 is smaller than the total of A1 and A2. As described above, when the total of A1 and A2 is 17, the total of B1, B2 and B3 is preferably less than 17.

上述した1)−5)の本発明の効果を更により一層効果的に発揮する観点からは、A1とA2との合計と、B1とB2とB3との合計との差の絶対値は、好ましくは5以上、より好ましくは7以上、好ましくは14以下、より好ましくは10以下である。 From the viewpoint of exerting the effects of the present invention of 1) -5) described above even more effectively, the absolute value of the difference between the total of A1 and A2 and the total of B1 and B2 and B3 is preferable. Is 5 or more, more preferably 7 or more, preferably 14 or less, and more preferably 10 or less.

<ダイマージアミンに由来する骨格を有し、かつ、ダイマージアミン以外のジアミン化合物に由来する骨格を有するビスマレイミド化合物(ビスマレイミド化合物A)>
本発明に係る樹脂材料は、上記化合物Aとして、ダイマージアミンに由来する骨格を有し、かつ、ダイマージアミン以外のジアミン化合物に由来する骨格を有するビスマレイミド化合物(以下、「ビスマレイミド化合物A」と記載することがある)を含むことが好ましい。上記ビスマレイミド化合物Aは、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
<Bismaleimide compound having a skeleton derived from dimerdiamine and having a skeleton derived from a diamine compound other than dimerdiamine (bismaleimide compound A)>
In the resin material according to the present invention, as the compound A, a bismaleimide compound having a skeleton derived from a dimerdiamine and having a skeleton derived from a diamine compound other than dimerdiamine (hereinafter, referred to as “bismaleimide compound A”). It may be described). Only one kind of the bismaleimide compound A may be used, or two or more kinds may be used in combination.

上記ビスマレイミド化合物Aは、シトラコンイミド化合物であってもよい。上記シトラコンイミド化合物とは、マレイミド基における炭素原子間の二重結合を構成する炭素原子の一方にメチル基が結合した化合物である。上記シトラコンイミド化合物は、マレイミド化合物よりも反応性がわずかに低いので、保存安定性を高めることができる。 The bismaleimide compound A may be a citraconimide compound. The citraconimide compound is a compound in which a methyl group is bonded to one of the carbon atoms constituting the double bond between the carbon atoms in the maleimide group. Since the citraconimide compound has slightly lower reactivity than the maleimide compound, storage stability can be improved.

上記ビスマレイミド化合物Aは、主鎖の両末端に上記ダイマージアミンに由来する骨格を有することが好ましい。この場合、上記ビスマレイミド化合物Aは、主鎖の両末端及び主鎖の両末端以外の骨格内に上記ダイマージアミンに由来する骨格を有していてもよく、主鎖の両末端にのみ上記ダイマージアミンに由来する骨格を有していてもよい。ダイマージアミンに由来する骨格は、柔軟性を有する骨格である。そのため、上記ビスマレイミド化合物Aが、上記主鎖の両末端に上記ダイマージアミンに由来する骨格を有する場合には、マレイミド基の反応性を高めることができ、硬化反応を十分に進行させることができる。その結果、硬化物の熱寸法安定性をより一層高めることができ、また、絶縁層と金属層との密着性をより一層高めることができる。 The bismaleimide compound A preferably has a skeleton derived from the dimer diamine at both ends of the main chain. In this case, the bismaleimide compound A may have a skeleton derived from the dimer diamine in a skeleton other than both ends of the main chain and both ends of the main chain, and the dimer only at both ends of the main chain. It may have a skeleton derived from diamine. The skeleton derived from the dimer diamine is a flexible skeleton. Therefore, when the bismaleimide compound A has a skeleton derived from the dimer diamine at both ends of the main chain, the reactivity of the maleimide group can be enhanced and the curing reaction can be sufficiently advanced. .. As a result, the thermal dimensional stability of the cured product can be further improved, and the adhesion between the insulating layer and the metal layer can be further improved.

上記ビスマレイミド化合物Aは、主鎖の両末端にのみ上記ダイマージアミンに由来する骨格を有することがより好ましい。上記ビスマレイミド化合物Aが、上記主鎖の両末端にのみ上記ダイマージアミンに由来する骨格を有する場合には、ビスマレイミド化合物Aの軟化点をより高くすることができるので、樹脂材料の硬化物のガラス転移温度をより一層効果的に高くすることができる。このため、硬化物の熱寸法安定性を更により一層高めることができ、また、絶縁層と金属層との密着性を更により一層高めることができる。また、上記ビスマレイミド化合物Aが、上記主鎖の両末端にのみ上記ダイマージアミンに由来する骨格を有する場合には、ビスマレイミド化合物Aの主鎖のダイマージアミンに由来する骨格以外の骨格は他の熱硬化性樹脂(エポキシ化合物や硬化剤等)との相溶性を高めることができ、特に低温における裁断でのフィルムの粘度を下げることができる。 It is more preferable that the bismaleimide compound A has a skeleton derived from the dimer diamine only at both ends of the main chain. When the bismaleimide compound A has a skeleton derived from the dimer diamine only at both ends of the main chain, the softening point of the bismaleimide compound A can be made higher, so that the cured product of the resin material can be made higher. The glass transition temperature can be increased even more effectively. Therefore, the thermal dimensional stability of the cured product can be further improved, and the adhesion between the insulating layer and the metal layer can be further improved. When the bismaleimide compound A has a skeleton derived from the dimer diamine only at both ends of the main chain, the skeleton other than the skeleton derived from the dimer diamine of the main chain of the bismaleimide compound A is other. The compatibility with thermosetting resins (epoxy compounds, curing agents, etc.) can be enhanced, and the viscosity of the film, especially when cut at a low temperature, can be reduced.

上記ビスマレイミド化合物Aは、主鎖の両末端にのみダイマージアミンに由来する骨格を有する第1のビスマレイミド化合物と、主鎖の両末端以外の骨格内にダイマージアミンに由来する骨格を有し、かつイミド骨格を2個以上有する第2のビスマレイミド化合物とを含むことが好ましい。この場合には、上述した1)−5)の本発明の効果を効果的に発揮することができる。 The bismaleimide compound A has a first bismaleimide compound having a skeleton derived from dimerdiamine only at both ends of the main chain, and a skeleton derived from dimerdiamine in a skeleton other than both ends of the main chain. Moreover, it is preferable to contain a second bismaleimide compound having two or more imide skeletons. In this case, the effects of the present invention described in 1) -5) can be effectively exerted.

上記ビスマレイミド化合物Aは、テトラカルボン酸二無水物と、ダイマージアミンと、ダイマージアミン以外のジアミン化合物とを反応させて反応物を得た後、該反応物と無水マレイン酸とを反応させて得ることができる。上記テトラカルボン酸二無水物と上記ダイマージアミンとの反応物は、両末端がアミノ基である化合物であることが好ましい。 The bismaleimide compound A is obtained by reacting a tetracarboxylic dianhydride, a dimer diamine, and a diamine compound other than dimer diamine to obtain a reaction product, and then reacting the reaction product with maleic anhydride. be able to. The reaction product of the tetracarboxylic dianhydride and the dimer diamine is preferably a compound having amino groups at both ends.

主鎖の両末端にのみ上記ダイマージアミンに由来する骨格を有するビスマレイミド化合物Aは、例えば、以下のようにして得ることができる。テトラカルボン酸二無水物と、ダイマージアミン以外のジアミン化合物とを反応させて第1の反応物を得る。得られた第1の反応物とダイマージアミンとを反応させて両末端がアミノ基である第2の反応物を得る。得られた第2の反応物と無水マレイン酸とを反応させる。 The bismaleimide compound A having a skeleton derived from the dimer diamine only at both ends of the main chain can be obtained, for example, as follows. The tetracarboxylic dianhydride is reacted with a diamine compound other than dimerdiamine to obtain a first reaction product. The obtained first reaction product is reacted with a dimer diamine to obtain a second reaction product having amino groups at both ends. The second reaction product obtained is reacted with maleic anhydride.

上記テトラカルボン酸二無水物としては、例えば、ピロメリット酸二無水物、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ジメチルジフェニルシランテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−テトラフェニルシランテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4−フランテトラカルボン酸二無水物、4,4’−ビス(3,4−ジカルボキシフェノキシ)ジフェニルスルフィド二無水物、4,4’−ビス(3,4−ジカルボキシフェノキシ)ジフェニルスルホン二無水物、4,4’−ビス(3,4−ジカルボキシフェノキシ)ジフェニルプロパン二無水物、3,3’,4,4’−パーフルオロイソプロピリデンジフタル酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ビス(フタル酸)フェニルホスフィンオキサイド二無水物、p−フェニレン−ビス(トリフェニルフタル酸)二無水物、m−フェニレン−ビス(トリフェニルフタル酸)二無水物、ビス(トリフェニルフタル酸)−4,4’−ジフェニルエーテル二無水物、及びビス(トリフェニルフタル酸)−4,4’−ジフェニルメタン二無水物等が挙げられる。 Examples of the tetracarboxylic dianhydride include pyromellitic dianhydride, 3,3', 4,4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 3,3', 4,4'-biphenylsulfonetetra. Carcarboxylic dianhydride, 1,4,5,8-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 3,3', 4,4'-biphenyl ether Tetetracarboxylic dianhydride, 3,3', 4,4'-dimethyldiphenylsilanetetracarboxylic dianhydride, 3,3', 4,4'-tetraphenylsilanetetracarboxylic dianhydride, 1,2 , 3,4-Flantetracarboxylic dianhydride, 4,4'-bis (3,4-dicarboxyphenoxy) diphenylsulfide dianhydride, 4,4'-bis (3,4-dicarboxyphenoxy) diphenyl Sethylene dianhydride, 4,4'-bis (3,4-dicarboxyphenoxy) diphenylpropane dianhydride, 3,3', 4,4'-perfluoroisopropyridenediphthalic dianhydride, 3,3 ', 4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, bis (phthalic acid) phenylphosphinoxide dianhydride, p-phenylene-bis (triphenylphthalic acid) dianhydride, m-phenylene-bis (triphenyl) Examples thereof include phthalic dianhydride, bis (triphenylphthalic acid) -4,4'-diphenyl ether dianhydride, and bis (triphenylphthalic acid) -4,4'-diphenylmethane dianhydride.

上記ダイマージアミンの市販品としては、例えば、バーサミン551(商品名、BASFジャパン社製、3,4−ビス(1−アミノヘプチル)−6−ヘキシル−5−(1−オクテニル)シクロヘキセン)、バーサミン552(商品名、コグニクスジャパン社製、バーサミン551の水添物)、並びにPRIAMINE1075、及びPRIAMINE1074(商品名、いずれもクローダジャパン社製)等が挙げられる。 Examples of commercially available products of the dimer diamine include Versamine 551 (trade name, manufactured by BASF Japan Ltd., 3,4-bis (1-aminoheptyl) -6-hexyl-5- (1-octenyl) cyclohexene), Versamine 552. (Product name, hydrogenated product of Versamine 551, manufactured by Cognix Japan), PRIAMINE 1075, and PRIAMINE 1074 (trade name, both manufactured by Croda Japan) and the like.

上記ダイマージアミン以外のジアミン化合物としては、1,3−ビス(アミノメチル)シクロヘキサン、1,4−ビス(アミノメチル)シクロヘキサン、ビス(アミノメチル)ノルボルナン、3(4),8(9)−ビス(アミノメチル)トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン、1,1−ビス(4−アミノフェニル)シクロヘキサン、1,3−シクロヘキサンジアミン、1,4−シクロヘキサンジアミン、2,7−ジアミノフルオレン、4,4’−エチレンジアニリン、イソホロンジアミン、4,4’−メチレンビス(シクロヘキシルアミン)、4,4’−メチレンビス(2,6−ジエチルアニリン)、4,4’−メチレンビス(2−エチル−6−メチルアニリン)、4,4’−メチレンビス(2−メチルシクロヘキシルアミン)、1,4−ジアミノブタン、1,10−ジアミノデカン、1,12−ジアミノドデカン、1,7−ジアミノヘプタン、1,6−ジアミノヘキサン、1,5−ジアミノペンタン、1,8−ジアミノオクタン、1,3−ジアミノプロパン、1,11−ジアミノウンデカン、及び2−メチル−1,5−ジアミノペンタン等が挙げられる。 Examples of diamine compounds other than the above diamine diamines include 1,3-bis (aminomethyl) cyclohexane, 1,4-bis (aminomethyl) cyclohexane, bis (aminomethyl) norbornane, 3 (4), 8 (9) -bis. (Aminomethyl) tricyclo [5.2.1.02,6] decane, 1,1-bis (4-aminophenyl) cyclohexane, 1,3-cyclohexanediamine, 1,4-cyclohexanediamine, 2,7-diamino Fluorene, 4,4'-ethylenedianiline, isophorone diamine, 4,4'-methylenebis (cyclohexylamine), 4,4'-methylenebis (2,6-diethylaniline), 4,4'-methylenebis (2-ethyl) -6-methylaniline), 4,4'-methylenebis (2-methylcyclohexylamine), 1,4-diaminobutane, 1,10-diaminodecane, 1,12-diaminododecane, 1,7-diaminoheptane, 1 , 6-Diaminohexane, 1,5-diaminopentane, 1,8-diaminooctane, 1,3-diaminopropane, 1,11-diaminoundecane, 2-methyl-1,5-diaminopentane and the like.

上記ビスマレイミド化合物Aの含有量の、上記エポキシ化合物と後述する成分Xとの合計の含有量に対する重量比(上記ビスマレイミド化合物Aの含有量/上記エポキシ化合物と上記成分Xとの合計の含有量)は、好ましくは0.05以上、より好ましくは0.1以上、更に好ましくは0.15以上である。上記ビスマレイミド化合物Aの含有量の、上記エポキシ化合物と後述する成分Xとの合計の含有量に対する重量比(上記ビスマレイミド化合物Aの含有量/上記エポキシ化合物と上記成分Xとの合計の含有量)は、好ましくは0.9以下、より好ましくは0.75以下である。上記重量比が上記下限以上及び上記上限以下であると、誘電正接をより一層低くし、熱寸法安定性をより一層高めることができる。また、上記重量比が上記下限以上及び上記上限以下であると、エッチング後の表面粗度をより一層小さくし、メッキピール強度をより一層高めることができる。 Weight ratio of the content of the bismaleimide compound A to the total content of the epoxy compound and the component X described later (content of the bismaleimide compound A / total content of the epoxy compound and the component X) ) Is preferably 0.05 or more, more preferably 0.1 or more, still more preferably 0.15 or more. Weight ratio of the content of the bismaleimide compound A to the total content of the epoxy compound and the component X described later (content of the bismaleimide compound A / total content of the epoxy compound and the component X) ) Is preferably 0.9 or less, more preferably 0.75 or less. When the weight ratio is at least the above lower limit and at least the above upper limit, the dielectric loss tangent can be further lowered and the thermal dimensional stability can be further improved. Further, when the weight ratio is at least the above lower limit and at least the above upper limit, the surface roughness after etching can be further reduced, and the plating peel strength can be further increased.

上記樹脂材料中の無機充填材及び溶剤を除く成分100重量%中、上記ビスマレイミド化合物Aの含有量は、好ましくは5重量%以上、より好ましくは10重量%以上、更に好ましくは15重量%以上、好ましくは80重量%以下、より好ましくは70重量%以下である。上記ビスマレイミド化合物Aの含有量が上記下限以上であると、誘電正接をより一層低くし、絶縁層と金属層との密着性をより一層高めることができ、エッチング後の表面粗度をより一層小さくすることができる。上記ビスマレイミド化合物Aの含有量が上記上限以下であると、熱寸法安定性をより一層高めることができる。 The content of the bismaleimide compound A is preferably 5% by weight or more, more preferably 10% by weight or more, still more preferably 15% by weight or more in 100% by weight of the components excluding the inorganic filler and the solvent in the resin material. , Preferably 80% by weight or less, more preferably 70% by weight or less. When the content of the bismaleimide compound A is not more than the above lower limit, the dielectric loss tangent can be further lowered, the adhesion between the insulating layer and the metal layer can be further improved, and the surface roughness after etching can be further improved. It can be made smaller. When the content of the bismaleimide compound A is not more than the above upper limit, the thermal dimensional stability can be further improved.

上述した1)−5)の本発明の効果を効果的に発揮する観点からは、上記ビスマレイミド化合物Aの分子量は、好ましくは500以上、より好ましくは1000以上、好ましくは20000未満、より好ましくは15000未満、更に好ましくは7500未満、特に好ましくは5000未満である。上記分子量が上記上限以上であると、上記分子量が上記上限未満である場合と比べて、樹脂材料の溶融粘度が高くなることがあり、回路基板の穴又は凹凸に対する埋め込み性が悪化することがある。 From the viewpoint of effectively exerting the effects of the present invention of 1) -5) described above, the molecular weight of the bismaleimide compound A is preferably 500 or more, more preferably 1000 or more, preferably less than 20000, and more preferably. It is less than 15,000, more preferably less than 7,500, and particularly preferably less than 5,000. When the molecular weight is at least the above upper limit, the melt viscosity of the resin material may be higher than when the molecular weight is less than the above upper limit, and the embedding property in holes or irregularities of the circuit board may be deteriorated. ..

上記ビスマレイミド化合物Aの分子量は、上記ビスマレイミド化合物Aが重合体ではない場合、及び上記ビスマレイミド化合物Aの構造式が特定できる場合は、当該構造式から算出できる分子量を意味する。また、上記ビスマレイミド化合物Aの分子量は、上記ビスマレイミド化合物Aが重合体である場合は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により測定されたポリスチレン換算での重量平均分子量を示す。 The molecular weight of the bismaleimide compound A means a molecular weight that can be calculated from the structural formula when the bismaleimide compound A is not a polymer and when the structural formula of the bismaleimide compound A can be specified. The molecular weight of the bismaleimide compound A indicates the polystyrene-equivalent weight average molecular weight measured by gel permeation chromatography (GPC) when the bismaleimide compound A is a polymer.

なお、ダイマージアミンに由来する骨格を有し、かつダイマージアミン以外のジアミン化合物に由来する骨格を有さないビスマレイミド化合物において、該ビスマレイミド化合物の分子量が大きい場合(例えば、数平均分子量が1500以上の場合)には、該ビスマレイミド化合物は過度に凝集しやすく、樹脂材料の粘度が高くなりすぎることがある。上記ダイマージアミンに由来する骨格を有し、かつダイマージアミン以外のジアミン化合物に由来する骨格を有さないビスマレイミド化合物の市販品としては、例えば、Designer Molecules Inc.社製「BMI3000J」及び「BMI5000」等が挙げられる。 In a bismaleimide compound having a skeleton derived from dimerdiamine and not having a skeleton derived from a diamine compound other than diaminediamine, when the molecular weight of the bismaleimide compound is large (for example, the number average molecular weight is 1500 or more). In the case of), the bismaleimide compound tends to agglomerate excessively, and the viscosity of the resin material may become too high. As a commercially available product of the bismaleimide compound having a skeleton derived from the above dimer diamine and not having a skeleton derived from a diamine compound other than dimer diamine, for example, Designer Molecules Inc. Examples thereof include "BMI 3000J" and "BMI 5000" manufactured by the same company.

硬化物の熱寸法安定性をより一層高める観点、絶縁層と金属層との密着性をより一層高める観点から、上記ビスマレイミド化合物Aの軟化点は、好ましくは75℃以上、より好ましくは90℃以上である。 From the viewpoint of further enhancing the thermal dimensional stability of the cured product and further enhancing the adhesion between the insulating layer and the metal layer, the softening point of the bismaleimide compound A is preferably 75 ° C. or higher, more preferably 90 ° C. or higher. That is all.

上記軟化点は、示差走査熱量測定装置(例えば、TA・インスツルメント社製「Q2000」を用いて、昇温速度3℃/分で−30℃から200℃まで窒素雰囲気下で加熱を行い、リバースヒートフローの変曲点から求めることができる。 The inflection point is heated from −30 ° C. to 200 ° C. in a nitrogen atmosphere at a heating rate of 3 ° C./min using a differential scanning calorimetry device (for example, “Q2000” manufactured by TA Instruments). It can be obtained from the inflection point of the reverse heat flow.

<ダイマージアミンに由来する骨格を有し、かつ、ダイマージアミン以外のジアミン化合物に由来する骨格を有するベンゾオキサジン化合物(ベンゾオキサジン化合物A)>
本発明に係る樹脂材料は、上記化合物Aとして、ダイマージアミンに由来する骨格を有し、かつ、ダイマージアミン以外のジアミン化合物に由来する骨格を有するベンゾオキサジン化合物(以下、「ベンゾオキサジン化合物A」と記載することがある)を含むことが好ましい。上記ベンゾオキサジン化合物Aは、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
<A benzoxazine compound having a skeleton derived from diamine diamine and having a skeleton derived from a diamine compound other than diamine diamine (benzoxazine compound A)>
The resin material according to the present invention refers to the above-mentioned compound A as a benzoxazine compound having a skeleton derived from a dimer diamine and having a skeleton derived from a diamine compound other than dimer diamine (hereinafter, referred to as "benzoxazine compound A"). May be described). As the benzoxazine compound A, only one kind may be used, or two or more kinds may be used in combination.

上記ベンゾオキサジン化合物Aは、主鎖の両末端に上記ダイマージアミンに由来する骨格を有することが好ましい。この場合、上記ベンゾオキサジン化合物Aは、主鎖の両末端及び主鎖の両末端以外の骨格内に上記ダイマージアミンに由来する骨格を有していてもよく、主鎖の両末端にのみ上記ダイマージアミンに由来する骨格を有していてもよい。ダイマージアミンに由来する骨格は、柔軟性を有する骨格である。そのため、上記ベンゾオキサジン化合物Aが、上記主鎖の両末端に上記ダイマージアミンに由来する骨格を有する場合には、ベンゾオキサジン基の反応性を高めることができ、硬化反応を十分に進行させることができる。その結果、硬化物の熱寸法安定性をより一層高めることができ、また、絶縁層と金属層との密着性をより一層高めることができる。 The benzoxazine compound A preferably has a skeleton derived from the dimer diamine at both ends of the main chain. In this case, the benzoxazine compound A may have a skeleton derived from the dimer diamine in a skeleton other than both ends of the main chain and both ends of the main chain, and the dimer only at both ends of the main chain. It may have a skeleton derived from diamine. The skeleton derived from the dimer diamine is a flexible skeleton. Therefore, when the benzoxazine compound A has a skeleton derived from the dimer diamine at both ends of the main chain, the reactivity of the benzoxazine group can be enhanced and the curing reaction can be sufficiently advanced. it can. As a result, the thermal dimensional stability of the cured product can be further improved, and the adhesion between the insulating layer and the metal layer can be further improved.

上記ベンゾオキサジン化合物Aは、主鎖の両末端にのみ上記ダイマージアミンに由来する骨格を有することがより好ましい。上記ベンゾオキサジン化合物Aが、上記主鎖の両末端にのみ上記ダイマージアミンに由来する骨格を有する場合には、ベンゾオキサジン化合物Aの軟化点をより高くすることができるので、樹脂材料の硬化物のガラス転移温度をより一層効果的に高くすることができる。このため、硬化物の熱寸法安定性を更により一層高めることができ、また、絶縁層と金属層との密着性を更により一層高めることができる。また、上記ベンゾオキサジン化合物Aが、上記主鎖の両末端にのみ上記ダイマージアミンに由来する骨格を有する場合には、ベンゾオキサジン化合物Aの主鎖のダイマージアミンに由来する骨格以外の骨格は他の熱硬化性樹脂(エポキシ化合物や硬化剤等)との相溶性を高めることができ、特に低温における裁断でのフィルムの粘度を下げることができる。 It is more preferable that the benzoxazine compound A has a skeleton derived from the dimer diamine only at both ends of the main chain. When the benzoxazine compound A has a skeleton derived from the diamine diamine only at both ends of the main chain, the softening point of the benzoxazine compound A can be made higher, so that the cured product of the resin material can be made higher. The glass transition temperature can be increased even more effectively. Therefore, the thermal dimensional stability of the cured product can be further improved, and the adhesion between the insulating layer and the metal layer can be further improved. When the benzoxazine compound A has a skeleton derived from the diamine diamine only at both ends of the main chain, the skeleton other than the skeleton derived from the diamine diamine of the main chain of the benzoxazine compound A is other. The compatibility with thermosetting resins (epoxy compounds, curing agents, etc.) can be enhanced, and the viscosity of the film, especially when cut at a low temperature, can be reduced.

上記ベンゾオキサジン化合物Aは、テトラカルボン酸二無水物と、ダイマージアミンと、ダイマージアミン以外のジアミン化合物とを反応させて反応物を得た後、該反応物とフェノールとパラホルムアルデヒドとを反応させて得ることができる。上記テトラカルボン酸二無水物と上記ダイマージアミンとの反応物は、両末端がアミノ基である化合物であることが好ましい。 The benzoxazine compound A is obtained by reacting a tetracarboxylic acid dianhydride, a dimer diamine, and a diamine compound other than dimer diamine to obtain a reaction product, and then reacting the reaction product with phenol and paraformaldehyde. Obtainable. The reaction product of the tetracarboxylic dianhydride and the dimer diamine is preferably a compound having amino groups at both ends.

主鎖の両末端にのみ上記ダイマージアミンに由来する骨格を有するベンゾオキサジン化合物Aは、例えば、以下のようにして得ることができる。テトラカルボン酸二無水物と、ダイマージアミン以外のジアミン化合物とを反応させて第1の反応物を得る。得られた第1の反応物とダイマージアミンとを反応させて両末端がアミノ基である第2の反応物を得る。得られた第2の反応物とフェノールとパラホルムアルデヒドとを反応させる。 The benzoxazine compound A having a skeleton derived from the dimer diamine only at both ends of the main chain can be obtained, for example, as follows. The tetracarboxylic dianhydride is reacted with a diamine compound other than dimerdiamine to obtain a first reaction product. The obtained first reaction product is reacted with a dimer diamine to obtain a second reaction product having amino groups at both ends. The second reaction product obtained is reacted with phenol and paraformaldehyde.

上記テトラカルボン酸二無水物としては、上述したテトラカルボン酸二無水物が挙げられる。 Examples of the tetracarboxylic dianhydride include the above-mentioned tetracarboxylic dianhydride.

上記ダイマージアミンの市販品としては、上述した市販品が挙げられる。 Examples of the commercially available product of the dimer diamine include the above-mentioned commercially available products.

上記ダイマージアミン以外のジアミン化合物としては、上述したジアミン化合物が挙げられる。 Examples of the diamine compound other than the above-mentioned diamine diamine include the above-mentioned diamine compounds.

上記ベンゾオキサジン化合物Aの含有量の、上記エポキシ化合物と後述する成分Xとの合計の含有量に対する重量比(上記ベンゾオキサジン化合物Aの含有量/上記エポキシ化合物と上記成分Xとの合計の含有量)は、好ましくは0.05以上、より好ましくは0.1以上、更に好ましくは0.15以上である。上記ベンゾオキサジン化合物Aの含有量の、上記エポキシ化合物と後述する成分Xとの合計の含有量に対する重量比(上記ベンゾオキサジン化合物Aの含有量/上記エポキシ化合物と上記成分Xとの合計の含有量)は、好ましくは0.9以下、より好ましくは0.75以下である。上記重量比が上記下限以上及び上記上限以下であると、誘電正接をより一層低くし、熱寸法安定性をより一層高めることができる。また、上記重量比が上記下限以上及び上記上限以下であると、エッチング後の表面粗度をより一層小さくし、メッキピール強度をより一層高めることができる。 Weight ratio of the content of the benzoxazine compound A to the total content of the epoxy compound and the component X described later (content of the benzoxazine compound A / total content of the epoxy compound and the component X) ) Is preferably 0.05 or more, more preferably 0.1 or more, still more preferably 0.15 or more. Weight ratio of the content of the benzoxazine compound A to the total content of the epoxy compound and the component X described later (content of the benzoxazine compound A / total content of the epoxy compound and the component X) ) Is preferably 0.9 or less, more preferably 0.75 or less. When the weight ratio is at least the above lower limit and at least the above upper limit, the dielectric loss tangent can be further lowered and the thermal dimensional stability can be further improved. Further, when the weight ratio is at least the above lower limit and at least the above upper limit, the surface roughness after etching can be further reduced, and the plating peel strength can be further increased.

上記樹脂材料中の無機充填材及び溶剤を除く成分100重量%中、上記ベンゾオキサジン化合物Aの含有量は、好ましくは5重量%以上、より好ましくは10重量%以上、更に好ましくは15重量%以上、好ましくは80重量%以下、より好ましくは70重量%以下である。上記ベンゾオキサジン化合物Aの含有量が上記下限以上であると、誘電正接をより一層低くし、絶縁層と金属層との密着性をより一層高めることができ、エッチング後の表面粗度をより一層小さくすることができる。上記ベンゾオキサジン化合物Aの含有量が上記上限以下であると、熱寸法安定性をより一層高めることができる。 The content of the benzoxazine compound A in 100% by weight of the components excluding the inorganic filler and the solvent in the resin material is preferably 5% by weight or more, more preferably 10% by weight or more, still more preferably 15% by weight or more. , Preferably 80% by weight or less, more preferably 70% by weight or less. When the content of the benzoxazine compound A is at least the above lower limit, the dielectric loss tangent can be further lowered, the adhesion between the insulating layer and the metal layer can be further improved, and the surface roughness after etching can be further improved. It can be made smaller. When the content of the benzoxazine compound A is not more than the above upper limit, the thermal dimensional stability can be further enhanced.

上述した1)−5)の本発明の効果を効果的に発揮する観点からは、上記ベンゾオキサジン化合物Aの分子量は、好ましくは500以上、より好ましくは1000以上、好ましくは20000未満、より好ましくは15000未満、更に好ましくは7500未満、特に好ましくは5000未満である。上記分子量が上記上限以上であると、上記分子量が上記上限未満である場合と比べて、樹脂材料の溶融粘度が高くなることがあり、回路基板の穴又は凹凸に対する埋め込み性が悪化することがある。 From the viewpoint of effectively exerting the effects of the present invention of 1) -5) described above, the molecular weight of the benzoxazine compound A is preferably 500 or more, more preferably 1000 or more, preferably less than 20000, and more preferably. It is less than 15,000, more preferably less than 7,500, and particularly preferably less than 5,000. When the molecular weight is at least the above upper limit, the melt viscosity of the resin material may be higher than when the molecular weight is less than the above upper limit, and the embedding property in holes or irregularities of the circuit board may be deteriorated. ..

上記ベンゾオキサジン化合物Aの分子量は、上記ベンゾオキサジン化合物Aが重合体ではない場合、及び上記ベンゾオキサジン化合物Aの構造式が特定できる場合は、当該構造式から算出できる分子量を意味する。また、上記ベンゾオキサジン化合物Aの分子量は、上記ベンゾオキサジン化合物Aが重合体である場合は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により測定されたポリスチレン換算での重量平均分子量を示す。 The molecular weight of the benzoxazine compound A means a molecular weight that can be calculated from the structural formula when the benzoxazine compound A is not a polymer and when the structural formula of the benzoxazine compound A can be specified. The molecular weight of the benzoxazine compound A indicates the polystyrene-equivalent weight average molecular weight measured by gel permeation chromatography (GPC) when the benzoxazine compound A is a polymer.

硬化物の熱寸法安定性をより一層高める観点、絶縁層と金属層との密着性をより一層高める観点から、上記ベンゾオキサジン化合物Aの軟化点は、好ましくは75℃以上、より好ましくは90℃以上である。 From the viewpoint of further enhancing the thermal dimensional stability of the cured product and further enhancing the adhesion between the insulating layer and the metal layer, the softening point of the benzoxazine compound A is preferably 75 ° C. or higher, more preferably 90 ° C. or higher. That is all.

上記軟化点は、示差走査熱量測定装置(例えば、TA・インスツルメント社製「Q2000」を用いて、昇温速度3℃/分で−30℃から200℃まで窒素雰囲気下で加熱を行い、リバースヒートフローの変曲点から求めることができる。 The inflection point is heated from −30 ° C. to 200 ° C. in a nitrogen atmosphere at a heating rate of 3 ° C./min using a differential scanning calorimetry device (for example, “Q2000” manufactured by TA Instruments). It can be obtained from the inflection point of the reverse heat flow.

[エポキシ化合物]
上記樹脂材料は、エポキシ化合物を含むことが好ましい。上記エポキシ化合物として、従来公知のエポキシ化合物を使用可能である。上記エポキシ化合物は、少なくとも1個のエポキシ基を有する有機化合物をいう。上記エポキシ化合物は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[Epoxy compound]
The resin material preferably contains an epoxy compound. As the epoxy compound, a conventionally known epoxy compound can be used. The epoxy compound refers to an organic compound having at least one epoxy group. Only one type of the epoxy compound may be used, or two or more types may be used in combination.

上記エポキシ化合物としては、ビスフェノールA型エポキシ化合物、ビスフェノールF型エポキシ化合物、ビスフェノールS型エポキシ化合物、フェノールノボラック型エポキシ化合物、ビフェニル型エポキシ化合物、ビフェニルノボラック型エポキシ化合物、ビフェノール型エポキシ化合物、ナフタレン型エポキシ化合物、フルオレン型エポキシ化合物、フェノールアラルキル型エポキシ化合物、ナフトールアラルキル型エポキシ化合物、ジシクロペンタジエン型エポキシ化合物、アントラセン型エポキシ化合物、アダマンタン骨格を有するエポキシ化合物、トリシクロデカン骨格を有するエポキシ化合物、ナフチレンエーテル型エポキシ化合物、及びトリアジン核を骨格に有するエポキシ化合物等が挙げられる。 Examples of the epoxy compound include bisphenol A type epoxy compound, bisphenol F type epoxy compound, bisphenol S type epoxy compound, phenol novolac type epoxy compound, biphenyl type epoxy compound, biphenyl novolac type epoxy compound, biphenol type epoxy compound, and naphthalene type epoxy compound. , Fluorene type epoxy compound, phenol aralkyl type epoxy compound, naphthol aralkyl type epoxy compound, dicyclopentadiene type epoxy compound, anthracene type epoxy compound, adamantan skeleton epoxy compound, tricyclodecane skeleton epoxy compound, naphthylene ether type Examples thereof include epoxy compounds and epoxy compounds having a triazine nucleus as a skeleton.

上記エポキシ化合物は、芳香族骨格を有するエポキシ化合物を含むことが好ましく、ナフタレン骨格又はフェニル骨格を有するエポキシ化合物を含むことがより好ましく、芳香族骨格を有するエポキシ化合物であることが更に好ましく、ナフタレン骨格を有するエポキシ化合物であることが特に好ましい。この場合には、誘電正接をより一層低くし、かつ硬化物の熱寸法安定性及び難燃性を高めることができる。 The epoxy compound preferably contains an epoxy compound having an aromatic skeleton, more preferably contains an epoxy compound having a naphthalene skeleton or a phenyl skeleton, further preferably an epoxy compound having an aromatic skeleton, and a naphthalene skeleton. It is particularly preferable that the epoxy compound has. In this case, the dielectric loss tangent can be further lowered, and the thermal dimensional stability and flame retardancy of the cured product can be improved.

誘電正接をより一層低くし、かつ硬化物の線膨張係数(CTE)を良好にする観点からは、上記エポキシ化合物は、25℃で液状のエポキシ化合物と、25℃で固形のエポキシ化合物とを含むことが好ましい。 From the viewpoint of further lowering the dielectric loss tangent and improving the coefficient of linear expansion (CTE) of the cured product, the epoxy compound contains a liquid epoxy compound at 25 ° C. and a solid epoxy compound at 25 ° C. Is preferable.

上記25℃で液状のエポキシ化合物の25℃での粘度は、1000mPa・s以下であることが好ましく、500mPa・s以下であることがより好ましい。 The viscosity of the epoxy compound liquid at 25 ° C. at 25 ° C. is preferably 1000 mPa · s or less, and more preferably 500 mPa · s or less.

上記エポキシ化合物の粘度を測定する際には、例えば動的粘弾性測定装置(レオロジカ・インスツルメンツ社製「VAR−100」)等が用いられる。 When measuring the viscosity of the epoxy compound, for example, a dynamic viscoelasticity measuring device (“VAR-100” manufactured by Leologica Instruments) or the like is used.

上記エポキシ化合物の分子量は1000以下であることがより好ましい。この場合には、樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、無機充填材の含有量が50重量%以上であっても、絶縁層の形成時に流動性が高い樹脂材料が得られる。このため、樹脂材料の未硬化物又はBステージ化物を回路基板上にラミネートした場合に、無機充填材を均一に存在させることができる。 The molecular weight of the epoxy compound is more preferably 1000 or less. In this case, even if the content of the inorganic filler is 50% by weight or more in 100% by weight of the component excluding the solvent in the resin material, a resin material having high fluidity at the time of forming the insulating layer can be obtained. Therefore, when the uncured resin material or the B-staged product is laminated on the circuit board, the inorganic filler can be uniformly present.

上記エポキシ化合物の分子量は、上記エポキシ化合物が重合体ではない場合、及び上記エポキシ化合物の構造式が特定できる場合は、当該構造式から算出できる分子量を意味する。また、上記エポキシ化合物が重合体である場合は、重量平均分子量を意味する。 The molecular weight of the epoxy compound means a molecular weight that can be calculated from the structural formula when the epoxy compound is not a polymer and the structural formula of the epoxy compound can be specified. When the epoxy compound is a polymer, it means the weight average molecular weight.

硬化物の熱寸法安定性をより一層高める観点からは、樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、上記エポキシ化合物の含有量は、好ましくは15重量%以上、より好ましくは25重量%以上、好ましくは50重量%以下、より好ましくは40重量%以下である。 From the viewpoint of further enhancing the thermal dimensional stability of the cured product, the content of the epoxy compound is preferably 15% by weight or more, more preferably 25% by weight or more, based on 100% by weight of the components excluding the solvent in the resin material. It is preferably 50% by weight or less, more preferably 40% by weight or less.

上記エポキシ化合物の含有量の、上記ビスマレイミド化合物Aと後述する成分Xとの合計の含有量に対する重量比(上記エポキシ化合物の含有量/上記ビスマレイミド化合物Aと上記成分Xとの合計の含有量)は、好ましくは0.1以上、より好ましくは0.2以上、好ましくは0.9以下、より好ましくは0.8以下である。上記重量比が上記下限以上及び上記上限以下であると、誘電正接をより一層低くし、熱寸法安定性をより一層高めることができる。 Weight ratio of the content of the epoxy compound to the total content of the bismaleimide compound A and the component X described later (content of the epoxy compound / total content of the bismaleimide compound A and the component X) ) Is preferably 0.1 or more, more preferably 0.2 or more, preferably 0.9 or less, and more preferably 0.8 or less. When the weight ratio is at least the above lower limit and at least the above upper limit, the dielectric loss tangent can be further lowered and the thermal dimensional stability can be further improved.

上記エポキシ化合物の含有量の、上記ベンゾオキサジン化合物Aと後述する成分Xとの合計の含有量に対する重量比(上記エポキシ化合物の含有量/上記ベンゾオキサジン化合物Aと上記成分Xとの合計の含有量)は、好ましくは0.1以上、より好ましくは0.2以上、好ましくは0.9以下、より好ましくは0.8以下である。上記重量比が上記下限以上及び上記上限以下であると、誘電正接をより一層低くし、熱寸法安定性をより一層高めることができる。 Weight ratio of the content of the epoxy compound to the total content of the benzoxazine compound A and the component X described later (content of the epoxy compound / total content of the benzoxazine compound A and the component X) ) Is preferably 0.1 or more, more preferably 0.2 or more, preferably 0.9 or less, and more preferably 0.8 or less. When the weight ratio is at least the above lower limit and at least the above upper limit, the dielectric loss tangent can be further lowered and the thermal dimensional stability can be further improved.

[無機充填材]
上記樹脂材料は、無機充填材を含む。上記無機充填材の使用により、硬化物の誘電正接をより一層低くすることができる。また、上記無機充填材の使用により、硬化物の熱による寸法変化がより一層小さくなる。上記無機充填材は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[Inorganic filler]
The resin material includes an inorganic filler. By using the above-mentioned inorganic filler, the dielectric loss tangent of the cured product can be further lowered. Further, by using the above-mentioned inorganic filler, the dimensional change due to heat of the cured product is further reduced. Only one kind of the above-mentioned inorganic filler may be used, or two or more kinds may be used in combination.

上記無機充填材としては、シリカ、タルク、クレイ、マイカ、ハイドロタルサイト、アルミナ、酸化マグネシウム、水酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、及び窒化ホウ素等が挙げられる。 Examples of the inorganic filler include silica, talcite, clay, mica, hydrotalcite, alumina, magnesium oxide, aluminum hydroxide, aluminum nitride, and boron nitride.

硬化物の表面の表面粗さを小さくし、硬化物と金属層との接着強度をより一層高くし、かつ硬化物の表面により一層微細な配線を形成し、かつ硬化物により良好な絶縁信頼性を付与する観点からは、上記無機充填材は、シリカ又はアルミナであることが好ましく、シリカであることがより好ましく、溶融シリカであることが更に好ましい。シリカの使用により、硬化物の熱膨張率がより一層低くなり、また、硬化物の誘電正接がより一層低くなる。また、シリカの使用により、硬化物の表面の表面粗さが効果的に小さくなり、硬化物と金属層との接着強度が効果的に高くなる。シリカの形状は球状であることが好ましい。 The surface roughness of the surface of the cured product is reduced, the adhesive strength between the cured product and the metal layer is further increased, finer wiring is formed on the surface of the cured product, and the cured product has better insulation reliability. From the viewpoint of imparting, the inorganic filler is preferably silica or alumina, more preferably silica, and even more preferably fused silica. Due to the use of silica, the coefficient of thermal expansion of the cured product is further reduced, and the dielectric loss tangent of the cured product is further reduced. Further, by using silica, the surface roughness of the surface of the cured product is effectively reduced, and the adhesive strength between the cured product and the metal layer is effectively increased. The shape of silica is preferably spherical.

硬化環境によらず、樹脂の硬化を進め、硬化物のガラス転移温度を効果的に高くし、硬化物の熱線膨張係数を効果的に小さくする観点からは、上記無機充填材は球状シリカであることが好ましい。 The inorganic filler is spherical silica from the viewpoint of advancing the curing of the resin regardless of the curing environment, effectively increasing the glass transition temperature of the cured product, and effectively reducing the coefficient of linear thermal expansion of the cured product. Is preferable.

上記無機充填材の平均粒径は、好ましくは50nm以上、より好ましくは100nm以上、更に好ましくは500nm以上、好ましくは5μm以下、より好ましくは3μm以下、更に好ましくは1μm以下である。上記無機充填材の平均粒径が上記下限以上及び上記上限以下であると、エッチング後の表面粗度を小さくし、かつメッキピール強度を高くすることができ、また、絶縁層と金属層との密着性をより一層高めることができる。 The average particle size of the inorganic filler is preferably 50 nm or more, more preferably 100 nm or more, still more preferably 500 nm or more, preferably 5 μm or less, more preferably 3 μm or less, still more preferably 1 μm or less. When the average particle size of the inorganic filler is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the surface roughness after etching can be reduced and the plating peel strength can be increased, and the insulating layer and the metal layer can be combined. Adhesion can be further improved.

上記無機充填材の平均粒径として、50%となるメディアン径(d50)の値が採用される。上記平均粒径は、レーザー回折散乱方式の粒度分布測定装置を用いて測定可能である。 As the average particle size of the inorganic filler, a value of median diameter (d50) of 50% is adopted. The average particle size can be measured using a laser diffraction / scattering type particle size distribution measuring device.

上記無機充填材は、球状であることが好ましく、球状シリカであることがより好ましい。この場合には、硬化物の表面の表面粗さが効果的に小さくなり、更に硬化物と金属層との接着強度が効果的に高くなる。上記無機充填材が球状である場合には、上記無機充填材のアスペクト比は好ましくは2以下、より好ましくは1.5以下である。 The inorganic filler is preferably spherical, and more preferably spherical silica. In this case, the surface roughness of the surface of the cured product is effectively reduced, and the adhesive strength between the cured product and the metal layer is effectively increased. When the inorganic filler is spherical, the aspect ratio of the inorganic filler is preferably 2 or less, more preferably 1.5 or less.

上記無機充填材は、表面処理されていることが好ましく、カップリング剤による表面処理物であることがより好ましく、シランカップリング剤による表面処理物であることが更に好ましい。上記無機充填材が表面処理されていることにより、粗化硬化物の表面の表面粗さがより一層小さくなり、硬化物と金属層との接着強度がより一層高くなる。また、上記無機充填材が表面処理されていることにより、硬化物の表面により一層微細な配線を形成することができ、かつより一層良好な配線間絶縁信頼性及び層間絶縁信頼性を硬化物に付与することができる。 The inorganic filler is preferably surface-treated, more preferably a surface-treated product with a coupling agent, and even more preferably a surface-treated product with a silane coupling agent. By surface-treating the inorganic filler, the surface roughness of the surface of the roughened cured product is further reduced, and the adhesive strength between the cured product and the metal layer is further increased. Further, since the inorganic filler is surface-treated, finer wiring can be formed on the surface of the cured product, and even better inter-wiring insulation reliability and interlayer insulation reliability can be obtained in the cured product. Can be granted.

上記カップリング剤としては、シランカップリング剤、チタンカップリング剤及びアルミニウムカップリング剤等が挙げられる。上記シランカップリング剤としては、メタクリルシラン、アクリルシラン、アミノシラン、イミダゾールシラン、ビニルシラン、及びエポキシシラン等が挙げられる。 Examples of the coupling agent include a silane coupling agent, a titanium coupling agent, an aluminum coupling agent, and the like. Examples of the silane coupling agent include methacrylsilane, acrylicsilane, aminosilane, imidazolesilane, vinylsilane, and epoxysilane.

樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、上記無機充填材の含有量は、好ましくは50重量%以上、より好ましくは60重量%以上、更に好ましくは65重量%以上、特に好ましくは68重量%以上、好ましくは90重量%以下、より好ましくは85重量%以下、更に好ましくは80重量%以下、特に好ましくは75重量%以下である。上記無機充填材の含有量が上記下限以上であると、誘電正接が効果的に低くなる。上記無機充填材の含有量が上記上限以下であると、熱寸法安定性を高め、硬化物の反りを効果的に抑えることができる。上記無機充填材の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化物の表面の表面粗さをより一層小さくすることができ、かつ硬化物の表面により一層微細な配線を形成することができる。さらに、この無機充填材量であれば、硬化物の熱膨張率を低くすることと同時に、スミア除去性を良好にすることも可能である。 The content of the inorganic filler in 100% by weight of the component excluding the solvent in the resin material is preferably 50% by weight or more, more preferably 60% by weight or more, still more preferably 65% by weight or more, and particularly preferably 68% by weight. % Or more, preferably 90% by weight or less, more preferably 85% by weight or less, still more preferably 80% by weight or less, and particularly preferably 75% by weight or less. When the content of the inorganic filler is at least the above lower limit, the dielectric loss tangent is effectively lowered. When the content of the inorganic filler is not more than the above upper limit, the thermal dimensional stability can be improved and the warpage of the cured product can be effectively suppressed. When the content of the inorganic filler is at least the above lower limit and at least the above upper limit, the surface roughness of the surface of the cured product can be further reduced, and finer wiring can be formed on the surface of the cured product. Can be done. Further, with this amount of inorganic filler, it is possible to reduce the coefficient of thermal expansion of the cured product and at the same time improve the smear removability.

[ダイマージアミンに由来する骨格を有さないマレイミド化合物]
上記樹脂材料は、ダイマージアミンに由来する骨格を有さないマレイミド化合物を含むことが好ましい。上記ダイマージアミンに由来する骨格を有さないマレイミド化合物は、上記ビスマレイミド化合物Aとは異なる。上記ビスマレイミド化合物Aと、上記ダイマージアミンに由来する骨格を有さないマレイミド化合物とを併用することにより、本発明の効果をより一層発揮することができ、特に、硬化物の熱寸法安定性を高めることができる。上記ダイマージアミンに由来する骨格を有さないマレイミド化合物は、ダイマージアミン以外のジアミン化合物に由来する骨格を有することが好ましい。上記ダイマージアミンに由来する骨格を有さないマレイミド化合物は、芳香族骨格を有することが好ましい。上記芳香族骨格を有するマレイミド化合物は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[Maleimide compound without skeleton derived from dimer diamine]
The resin material preferably contains a maleimide compound having no skeleton derived from a dimer diamine. The maleimide compound having no skeleton derived from the dimer diamine is different from the bismaleimide compound A. By using the bismaleimide compound A in combination with the maleimide compound having no skeleton derived from the dimer diamine, the effect of the present invention can be further exhibited, and in particular, the thermal dimensional stability of the cured product can be improved. Can be enhanced. The maleimide compound having no skeleton derived from the dimer diamine preferably has a skeleton derived from a diamine compound other than the dimer diamine. The maleimide compound having no skeleton derived from the dimer diamine preferably has an aromatic skeleton. As the maleimide compound having the above aromatic skeleton, only one kind may be used, or two or more kinds may be used in combination.

上記ダイマージアミンに由来する骨格を有さないマレイミド化合物では、マレイミド骨格における窒素原子と、芳香族環とが結合していることが好ましい。 In the maleimide compound having no skeleton derived from the dimerdiamine, it is preferable that the nitrogen atom in the maleimide skeleton and the aromatic ring are bonded.

上記ダイマージアミンに由来する骨格を有さないマレイミド化合物としては、N−フェニルマレイミド等が挙げられる。 Examples of the maleimide compound having no skeleton derived from the dimer diamine include N-phenylmaleimide and the like.

上記樹脂材料中の無機充填材及び溶剤を除く成分100重量%中、上記ダイマージアミンに由来する骨格を有さないマレイミド化合物の含有量は、好ましくは2.5重量%以上、より好ましくは5重量%以上、更に好ましくは7.5重量%以上、好ましくは50重量%以下、より好ましくは35重量%以下である。上記ダイマージアミンに由来する骨格を有さないマレイミド化合物の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、上述した1)−5)の本発明の効果をより一層発揮することができる。 The content of the skeleton-free maleimide compound derived from the dimerdiamine is preferably 2.5% by weight or more, more preferably 5% by weight, out of 100% by weight of the components excluding the inorganic filler and the solvent in the resin material. % Or more, more preferably 7.5% by weight or more, preferably 50% by weight or less, and more preferably 35% by weight or less. When the content of the maleimide compound having no skeleton derived from the dimer diamine is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the effect of the present invention described in 1) -5) can be further exhibited.

上述した1)−5)の本発明の効果を効果的に発揮する観点からは、上記ダイマージアミンに由来する骨格を有さないマレイミド化合物の分子量は、好ましくは500以上、より好ましくは1000以上、好ましくは50000未満、より好ましくは20000未満である。 From the viewpoint of effectively exerting the effects of the present invention of 1) -5) described above, the molecular weight of the skeleton-free maleimide compound derived from the dimer diamine is preferably 500 or more, more preferably 1000 or more. It is preferably less than 50,000, more preferably less than 20,000.

上記ダイマージアミンに由来する骨格を有さないマレイミド化合物の分子量は、上記ダイマージアミンに由来する骨格を有さないマレイミド化合物が重合体ではない場合、及び上記ダイマージアミンに由来する骨格を有さないマレイミド化合物の構造式が特定できる場合は、当該構造式から算出できる分子量を意味する。また、上記ダイマージアミンに由来する骨格を有さないマレイミド化合物の分子量は、上記ダイマージアミンに由来する骨格を有さないマレイミド化合物が重合体である場合は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により測定されたポリスチレン換算での重量平均分子量を示す。 The molecular weight of the skeleton-free maleimide compound derived from the dimer diamine is that the maleimide compound having no skeleton derived from the dimer diamine is not a polymer and the maleimide compound having no skeleton derived from the dimer diamine. When the structural formula of the compound can be specified, it means the molecular weight that can be calculated from the structural formula. The molecular weight of the skeleton-free maleimide compound derived from the dimerdiamine is measured by gel permeation chromatography (GPC) when the skeleton-free maleimide compound derived from the dimerdiamine is a polymer. The weight average molecular weight in terms of polystyrene is shown.

上記ダイマージアミンに由来する骨格を有さないマレイミド化合物の市販品としては、例えば、大和化成工業社製「BMI4000」及び「BMI5100」等が挙げられる。 Examples of commercially available maleimide compounds having no skeleton derived from the dimer diamine include "BMI 4000" and "BMI 5100" manufactured by Daiwa Kasei Kogyo Co., Ltd.

[硬化剤]
上記樹脂材料は、硬化剤を含むことが好ましい。上記硬化剤は特に限定されない。上記硬化剤として、従来公知の硬化剤を使用可能である。上記硬化剤は1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[Hardener]
The resin material preferably contains a curing agent. The curing agent is not particularly limited. A conventionally known curing agent can be used as the curing agent. Only one kind of the above-mentioned curing agent may be used, or two or more kinds may be used in combination.

上記硬化剤としては、シアネートエステル化合物(シアネートエステル硬化剤)、アミン化合物(アミン硬化剤)、チオール化合物(チオール硬化剤)、イミダゾール化合物、ホスフィン化合物、ジシアンジアミド、フェノール化合物(フェノール硬化剤)、酸無水物、活性エステル化合物、カルボジイミド化合物(カルボジイミド硬化剤)、及びダイマージアミンに由来する骨格を有さないベンゾオキサジン化合物(ベンゾオキサジン硬化剤)等が挙げられる。上記硬化剤は、上記エポキシ化合物のエポキシ基と反応可能な官能基を有することが好ましい。 Examples of the curing agent include cyanate ester compound (cyanate ester curing agent), amine compound (amine curing agent), thiol compound (thiol curing agent), imidazole compound, phosphine compound, dicyandiamide, phenol compound (phenol curing agent), and acid anhydride. Examples thereof include substances, active ester compounds, carbodiimide compounds (carbodiimide curing agents), and benzoxazine compounds (benzoxazine curing agents) having no skeleton derived from dimerdiamine. The curing agent preferably has a functional group capable of reacting with the epoxy group of the epoxy compound.

上記硬化剤は、フェノール化合物、シアネートエステル化合物、酸無水物、活性エステル化合物、カルボジイミド化合物、及びダイマージアミンに由来する骨格を有さないベンゾオキサジン化合物の内の少なくとも1種の成分を含むことが好ましい。これらの好ましい硬化剤の使用により、熱寸法安定性をより一層高めることができる。 The curing agent preferably contains at least one component of a phenol compound, a cyanate ester compound, an acid anhydride, an active ester compound, a carbodiimide compound, and a skeletonless benzoxazine compound derived from dimerdiamine. .. By using these preferred curing agents, thermal dimensional stability can be further enhanced.

以下、「フェノール化合物、シアネートエステル化合物、酸無水物、活性エステル化合物、カルボジイミド化合物、及びダイマージアミンに由来する骨格を有さないベンゾオキサジン化合物の内の少なくとも1種の成分」を「成分X」と記載することがある。 Hereinafter, "at least one component of a phenol compound, a cyanate ester compound, an acid anhydride, an active ester compound, a carbodiimide compound, and a benzoxazine compound having no skeleton derived from dimerdiamine" is referred to as "component X". May be described.

したがって、上記樹脂材料は、成分Xを含む硬化剤を含むことが好ましい。上記成分Xは、フェノール化合物を少なくとも含むことがより好ましい。上記成分Xは、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。 Therefore, the resin material preferably contains a curing agent containing the component X. It is more preferable that the component X contains at least a phenol compound. As the component X, only one kind may be used, or two or more kinds may be used in combination.

上記フェノール化合物としては、ノボラック型フェノール、ビフェノール型フェノール、ナフタレン型フェノール、ジシクロペンタジエン型フェノール、アラルキル型フェノール及びジシクロペンタジエン型フェノール等が挙げられる。 Examples of the phenol compound include novolak-type phenol, biphenol-type phenol, naphthalene-type phenol, dicyclopentadiene-type phenol, aralkyl-type phenol, and dicyclopentadiene-type phenol.

上記フェノール化合物の市販品としては、ノボラック型フェノール(DIC社製「TD−2091」)、ビフェニルノボラック型フェノール(明和化成社製「MEH−7851」)、アラルキル型フェノール化合物(明和化成社製「MEH−7800」)、並びにアミノトリアジン骨格を有するフェノール(DIC社製「LA1356」及び「LA3018−50P」)等が挙げられる。 Commercially available products of the above-mentioned phenol compounds include novolak-type phenol (“TD-2091” manufactured by DIC), biphenylnovolac-type phenol (“MEH-7851” manufactured by Meiwa Kasei Co., Ltd.), and aralkyl-type phenol compound (“MEH” manufactured by Meiwa Kasei Co., Ltd.). -7800 "), and phenols having an aminotriazine skeleton ("LA1356" and "LA3018-50P" manufactured by DIC) and the like can be mentioned.

上記シアネートエステル化合物としては、ノボラック型シアネートエステル樹脂、ビスフェノール型シアネートエステル樹脂、並びにこれらが一部三量化されたプレポリマー等が挙げられる。上記ノボラック型シアネートエステル樹脂としては、フェノールノボラック型シアネートエステル樹脂及びアルキルフェノール型シアネートエステル樹脂等が挙げられる。上記ビスフェノール型シアネートエステル樹脂としては、ビスフェノールA型シアネートエステル樹脂、ビスフェノールE型シアネートエステル樹脂及びテトラメチルビスフェノールF型シアネートエステル樹脂等が挙げられる。 Examples of the cyanate ester compound include a novolak type cyanate ester resin, a bisphenol type cyanate ester resin, and a prepolymer in which these are partially triquantized. Examples of the novolak type cyanate ester resin include phenol novolac type cyanate ester resin and alkylphenol type cyanate ester resin. Examples of the bisphenol type cyanate ester resin include bisphenol A type cyanate ester resin, bisphenol E type cyanate ester resin, and tetramethylbisphenol F type cyanate ester resin.

上記シアネートエステル化合物の市販品としては、フェノールノボラック型シアネートエステル樹脂(ロンザジャパン社製「PT−30」及び「PT−60」)、並びにビスフェノール型シアネートエステル樹脂が三量化されたプレポリマー(ロンザジャパン社製「BA−230S」、「BA−3000S」、「BTP−1000S」及び「BTP−6020S」)等が挙げられる。 Commercially available products of the cyanate ester compound include a phenol novolac type cyanate ester resin (“PT-30” and “PT-60” manufactured by Lonza Japan Co., Ltd.) and a prepolymer in which a bisphenol type cyanate ester resin is triquantized (Lonza Japan). Examples thereof include "BA-230S", "BA-3000S", "BTP-1000S" and "BTP-6020S") manufactured by the same company.

上記酸無水物としては、テトラヒドロフタル酸無水物、及びアルキルスチレン−無水マレイン酸共重合体等が挙げられる。 Examples of the acid anhydride include tetrahydrophthalic anhydride, alkylstyrene-maleic anhydride copolymer and the like.

上記酸無水物の市販品としては、新日本理化社製「リカシッド TDA−100」等が挙げられる。 Examples of commercially available products of the acid anhydride include "Ricacid TDA-100" manufactured by New Japan Chemical Co., Ltd.

上記活性エステル化合物とは、構造体中にエステル結合を少なくとも1つ含み、かつ、エステル結合の両側に脂肪族鎖、脂肪族環又は芳香族環が結合している化合物をいう。活性エステル化合物は、例えばカルボン酸化合物又はチオカルボン酸化合物と、ヒドロキシ化合物又はチオール化合物との縮合反応によって得られる。活性エステル化合物の例としては、下記式(1)で表される化合物が挙げられる。 The active ester compound refers to a compound containing at least one ester bond in the structure and having an aliphatic chain, an aliphatic ring or an aromatic ring bonded to both sides of the ester bond. The active ester compound is obtained, for example, by a condensation reaction of a carboxylic acid compound or a thiocarboxylic acid compound with a hydroxy compound or a thiol compound. Examples of the active ester compound include a compound represented by the following formula (1).

Figure 0006805338
Figure 0006805338

上記式(1)中、X1は、脂肪族鎖を含む基、脂肪族環を含む基又は芳香族環を含む基を表し、X2は、芳香族環を含む基を表す。上記芳香族環を含む基の好ましい例としては、置換基を有していてもよいベンゼン環、及び置換基を有していてもよいナフタレン環等が挙げられる。上記置換基としては、炭化水素基が挙げられる。該炭化水素基の炭素数は、好ましくは12以下、より好ましくは6以下、更に好ましくは4以下である。 In the above formula (1), X1 represents a group containing an aliphatic chain, a group containing an aliphatic ring or a group containing an aromatic ring, and X2 represents a group containing an aromatic ring. Preferred examples of the group containing an aromatic ring include a benzene ring which may have a substituent, a naphthalene ring which may have a substituent, and the like. Examples of the substituent include a hydrocarbon group. The hydrocarbon group has preferably 12 or less carbon atoms, more preferably 6 or less carbon atoms, and even more preferably 4 or less carbon atoms.

X1及びX2の組み合わせとしては、置換基を有していてもよいベンゼン環と、置換基を有していてもよいベンゼン環との組み合わせ、置換基を有していてもよいベンゼン環と、置換基を有していてもよいナフタレン環との組み合わせが挙げられる。さらに、X1及びX2の組み合わせとしては、置換基を有していてもよい脂肪族環と、置換基を有していてもよいベンゼン環との組み合わせ、置換基を有していてもよいナフタレン環と、置換基を有していてもよいナフタレン環との組み合わせが挙げられる。 The combination of X1 and X2 includes a combination of a benzene ring which may have a substituent and a benzene ring which may have a substituent, a benzene ring which may have a substituent, and a substitution. Examples thereof include a combination with a naphthalene ring which may have a group. Further, as a combination of X1 and X2, a combination of an aliphatic ring which may have a substituent and a benzene ring which may have a substituent, and a naphthalene ring which may have a substituent may be used. And a combination with a naphthalene ring which may have a substituent.

上記活性エステル化合物は特に限定されない。熱寸法安定性及び難燃性を高める観点からは、上記活性エステルは、2個以上の芳香族骨格を有する活性エステル化合物であることが好ましい。硬化物の誘電正接を低くし、かつ硬化物の熱寸法安定性を高める観点から、活性エステルの主鎖骨格中にナフタレン環を有することがより好ましい。 The active ester compound is not particularly limited. From the viewpoint of enhancing thermal dimensional stability and flame retardancy, the active ester is preferably an active ester compound having two or more aromatic skeletons. From the viewpoint of lowering the dielectric loss tangent of the cured product and increasing the thermal dimensional stability of the cured product, it is more preferable to have a naphthalene ring in the main chain skeleton of the active ester.

上記活性エステル化合物の市販品としては、DIC社製「HPC−8000−65T」、「EXB9416−70BK」、「EXB8100−65T」及び「HPC−8150−60T」等が挙げられる。 Examples of commercially available products of the active ester compound include "HPC-8000-65T", "EXB9416-70BK", "EXB8100-65T" and "HPC-8150-60T" manufactured by DIC Corporation.

上記カルボジイミド化合物は、下記式(2)で表される構造単位を有する。下記式(2)において、右端部及び左端部は、他の基との結合部位である。上記カルボジイミド化合物は1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。 The carbodiimide compound has a structural unit represented by the following formula (2). In the following formula (2), the right end and the left end are binding sites for other groups. Only one kind of the carbodiimide compound may be used, or two or more kinds may be used in combination.

Figure 0006805338
Figure 0006805338

上記式(2)中、Xは、アルキレン基、アルキレン基に置換基が結合した基、シクロアルキレン基、シクロアルキレン基に置換基が結合した基、アリーレン基、又はアリーレン基に置換基が結合した基を表し、pは1〜5の整数を表す。Xが複数存在する場合、複数のXは同一であってもよく、異なっていてもよい。 In the above formula (2), X is an alkylene group, a group in which a substituent is bonded to an alkylene group, a cycloalkylene group, a group in which a substituent is bonded to a cycloalkylene group, an arylene group, or a substituent bonded to an arylene group. Represents a group and p represents an integer of 1-5. When a plurality of X's exist, the plurality of X's may be the same or different.

好適な一つの形態において、少なくとも1つのXは、アルキレン基、アルキレン基に置換基が結合した基、シクロアルキレン基、又はシクロアルキレン基に置換基が結合した基である。 In one preferred embodiment, at least one X is an alkylene group, a group having a substituent attached to an alkylene group, a cycloalkylene group, or a group having a substituent attached to a cycloalkylene group.

上記カルボジイミド化合物の市販品としては、日清紡ケミカル社製「カルボジライト V−02B」、「カルボジライト V−03」、「カルボジライト V−04K」、「カルボジライト V−07」、「カルボジライト V−09」、「カルボジライト 10M−SP」、及び「カルボジライト 10M−SP(改)」、並びに、ラインケミー社製「スタバクゾールP」、「スタバクゾールP400」、及び「ハイカジル510」等が挙げられる。 Commercially available products of the above carbodiimide compounds include "carbodilite V-02B", "carbodilite V-03", "carbodilite V-04K", "carbodilite V-07", "carbodilite V-09", and "carbodilite" manufactured by Nisshinbo Chemical. Examples thereof include "10M-SP" and "carbodilite 10M-SP (revised)", and "Stavaxol P", "Stavaxol P400" and "Hycazil 510" manufactured by Rheinchemy.

上記ダイマージアミンに由来する骨格を有さないベンゾオキサジン化合物としては、P−d型ベンゾオキサジン、及びF−a型ベンゾオキサジン等が挙げられる。 Examples of the skeleton-free benzoxazine compound derived from the dimer diamine include P-d-type benzoxazine and Fa-type benzoxazine.

上記ダイマージアミンに由来する骨格を有さないベンゾオキサジン化合物の市販品としては、四国化成工業社製「P−d型」等が挙げられる。 Examples of commercially available products of the skeleton-free benzoxazine compound derived from the dimer diamine include "P-d type" manufactured by Shikoku Chemicals Corporation.

上記エポキシ化合物100重量部に対する上記成分Xの含有量は、好ましくは70重量部以上、より好ましくは85重量部以上、好ましくは150重量部以下、より好ましくは120重量部以下である。上記成分Xの含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化性により一層優れ、熱寸法安定性をより一層高め、残存未反応成分の揮発をより一層抑制できる。 The content of the component X with respect to 100 parts by weight of the epoxy compound is preferably 70 parts by weight or more, more preferably 85 parts by weight or more, preferably 150 parts by weight or less, and more preferably 120 parts by weight or less. When the content of the component X is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the curability is further improved, the thermal dimensional stability is further enhanced, and the volatilization of the residual unreacted component can be further suppressed.

上記樹脂材料中の無機充填材及び溶剤を除く成分100重量%中、上記エポキシ化合物と上記成分Xとの合計の含有量は、好ましくは50重量%以上、より好ましくは60重量%以上、好ましくは90重量%以下、より好ましくは85重量%以下である。上記エポキシ化合物と上記成分Xとの合計の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化性により一層優れ、熱寸法安定性をより一層高めることができる。 The total content of the epoxy compound and the component X in 100% by weight of the components excluding the inorganic filler and the solvent in the resin material is preferably 50% by weight or more, more preferably 60% by weight or more, preferably 60% by weight or more. It is 90% by weight or less, more preferably 85% by weight or less. When the total content of the epoxy compound and the component X is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the curability is further improved and the thermal dimensional stability can be further improved.

[硬化促進剤]
上記樹脂材料は、硬化促進剤を含むことが好ましい。上記硬化促進剤の使用により、硬化速度がより一層速くなる。樹脂材料を速やかに硬化させることで、硬化物における架橋構造が均一になると共に、未反応の官能基数が減り、結果的に架橋密度が高くなる。上記硬化促進剤は特に限定されず、従来公知の硬化促進剤を使用可能である。上記硬化促進剤は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[Curing accelerator]
The resin material preferably contains a curing accelerator. By using the above-mentioned curing accelerator, the curing rate becomes even faster. By rapidly curing the resin material, the crosslinked structure in the cured product becomes uniform, the number of unreacted functional groups decreases, and as a result, the crosslinked density increases. The curing accelerator is not particularly limited, and conventionally known curing accelerators can be used. Only one type of the curing accelerator may be used, or two or more types may be used in combination.

上記硬化促進剤としては、例えば、イミダゾール化合物等のアニオン性硬化促進剤、アミン化合物等のカチオン性硬化促進剤、リン化合物及び有機金属化合物等のアニオン性及びカチオン性硬化促進剤以外の硬化促進剤、並びに過酸化物等のラジカル性硬化促進剤等が挙げられる。 Examples of the curing accelerator include anionic curing accelerators such as imidazole compounds, cationic curing accelerators such as amine compounds, and curing accelerators other than anionic and cationic curing accelerators such as phosphorus compounds and organic metal compounds. , And radical curing accelerators such as peroxides.

上記イミダゾール化合物としては、2−ウンデシルイミダゾール、2−ヘプタデシルイミダゾール、2−メチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、2−フェニル−4−メチルイミダゾール、1−ベンジル−2−メチルイミダゾール、1−ベンジル−2−フェニルイミダゾール、1,2−ジメチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−エチル−4−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−ウンデシルイミダゾール、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル−2−ウンデシルイミダゾリウムトリメリテイト、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾリウムトリメリテイト、2,4−ジアミノ−6−[2’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−ウンデシルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−エチル−4’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジンイソシアヌル酸付加物、2−フェニルイミダゾールイソシアヌル酸付加物、2−メチルイミダゾールイソシアヌル酸付加物、2−フェニル−4,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール及び2−フェニル−4−メチル−5−ジヒドロキシメチルイミダゾール等が挙げられる。 Examples of the imidazole compound include 2-undecyl imidazole, 2-heptadecyl imidazole, 2-methyl imidazole, 2-ethyl-4-methyl imidazole, 2-phenyl imidazole, 2-phenyl-4-methyl imidazole and 1-benzyl-. 2-Methylimidazole, 1-benzyl-2-phenylimidazole, 1,2-dimethylimidazole, 1-cyanoethyl-2-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-ethyl-4-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-un Decylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazolium trimerite, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazolium trimerite, 2,4-diamino-6- [2' -Methylimidazolyl- (1')]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6- [2'-undecylimidazolyl- (1')]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino- 6- [2'-ethyl-4'-methylimidazolyl- (1')]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6- [2'-methylimidazolyl- (1')]-ethyl-s -Triazine isocyanuric acid adduct, 2-phenylimidazole isocyanuric acid adduct, 2-methylimidazole isocyanuric acid adduct, 2-phenyl-4,5-dihydroxymethylimidazole and 2-phenyl-4-methyl-5-dihydroxymethylimidazole And so on.

上記アミン化合物としては、ジエチルアミン、トリエチルアミン、ジエチレンテトラミン、トリエチレンテトラミン及び4,4−ジメチルアミノピリジン等が挙げられる。 Examples of the amine compound include diethylamine, triethylamine, diethylenetetramine, triethylenetetramine and 4,4-dimethylaminopyridine.

上記リン化合物としては、トリフェニルホスフィン化合物等が挙げられる。 Examples of the phosphorus compound include triphenylphosphine compounds.

上記有機金属化合物としては、ナフテン酸亜鉛、ナフテン酸コバルト、オクチル酸スズ、オクチル酸コバルト、ビスアセチルアセトナートコバルト(II)及びトリスアセチルアセトナートコバルト(III)等が挙げられる。 Examples of the organometallic compound include zinc naphthenate, cobalt naphthenate, tin octylate, cobalt octylate, bisacetylacetonate cobalt (II) and trisacetylacetonate cobalt (III).

上記過酸化物としてはジクミルペルオキシド、及びパーヘキシル25B等が挙げられる。 Examples of the peroxide include dicumyl peroxide and perhexyl 25B.

硬化温度をより一層低く抑え、硬化物の反りを効果的に抑える観点からは、上記硬化促進剤は、上記アニオン性硬化促進剤を含むことが好ましく、上記イミダゾール化合物を含むことがより好ましい。 From the viewpoint of further suppressing the curing temperature and effectively suppressing the warpage of the cured product, the curing accelerator preferably contains the anionic curing accelerator, and more preferably contains the imidazole compound.

硬化温度をより一層低く抑え、硬化物の反りを効果的に抑える観点からは、上記硬化促進剤100重量%中、上記アニオン性硬化促進剤の含有量は、好ましくは20重量%以上、より好ましくは50重量%以上、更に好ましくは70重量%以上、最も好ましくは100重量%(全量)である。したがって、上記硬化促進剤は、上記アニオン性硬化促進剤であることが最も好ましい。なお、上記アニオン性硬化促進剤と上記ラジカル性硬化促進剤との併用により、より一層精密に硬化挙動を制御できることがある。また、エポキシ化合物と活性エステル化合物とを用いる場合には、硬化温度を制御するためにカチオン性硬化促進剤としてジメチルアミノピリジンを用いることにより、より一層精密に硬化挙動を制御することができる。 From the viewpoint of further suppressing the curing temperature and effectively suppressing the warp of the cured product, the content of the anionic curing accelerator is preferably 20% by weight or more, more preferably 20% by weight or more, based on 100% by weight of the curing accelerator. Is 50% by weight or more, more preferably 70% by weight or more, and most preferably 100% by weight (total amount). Therefore, the curing accelerator is most preferably the anionic curing accelerator. By using the anionic curing accelerator and the radical curing accelerator in combination, the curing behavior may be controlled more precisely. Further, when the epoxy compound and the active ester compound are used, the curing behavior can be controlled more precisely by using dimethylaminopyridine as a cationic curing accelerator in order to control the curing temperature.

上記硬化促進剤の含有量は特に限定されない。樹脂材料中の無機充填材及び溶剤を除く成分100重量%中、上記硬化促進剤の含有量は、好ましくは0.01重量%以上、より好ましくは0.05重量%以上、好ましくは5重量%以下、より好ましくは3重量%以下である。上記硬化促進剤の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、樹脂材料が効率的に硬化する。上記硬化促進剤の含有量がより好ましい範囲であれば、樹脂材料の保存安定性がより一層高くなり、かつより一層良好な硬化物が得られる。 The content of the curing accelerator is not particularly limited. The content of the curing accelerator is preferably 0.01% by weight or more, more preferably 0.05% by weight or more, and preferably 5% by weight in 100% by weight of the components excluding the inorganic filler and the solvent in the resin material. Hereinafter, it is more preferably 3% by weight or less. When the content of the curing accelerator is at least the above lower limit and at least the above upper limit, the resin material is efficiently cured. If the content of the curing accelerator is in a more preferable range, the storage stability of the resin material becomes even higher, and a better cured product can be obtained.

[熱可塑性樹脂]
上記樹脂材料は、熱可塑性樹脂を含むことが好ましい。上記熱可塑性樹脂としては、ポリビニルアセタール樹脂、ポリイミド樹脂及びフェノキシ樹脂等が挙げられる。上記熱可塑性樹脂は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[Thermoplastic resin]
The resin material preferably contains a thermoplastic resin. Examples of the thermoplastic resin include polyvinyl acetal resin, polyimide resin, and phenoxy resin. Only one type of the above-mentioned thermoplastic resin may be used, or two or more types may be used in combination.

硬化環境によらず、誘電正接を効果的に低くし、かつ、金属配線の密着性を効果的に高める観点からは、上記熱可塑性樹脂は、フェノキシ樹脂であることが好ましい。フェノキシ樹脂の使用により、樹脂フィルムの回路基板の穴又は凹凸に対する埋め込み性の悪化及び無機充填材の不均一化が抑えられる。また、フェノキシ樹脂の使用により、溶融粘度を調整可能であるために無機充填材の分散性が良好になり、かつ硬化過程で、意図しない領域に樹脂組成物又はBステージ化物が濡れ拡がり難くなる。 The thermoplastic resin is preferably a phenoxy resin from the viewpoint of effectively lowering the dielectric loss tangent and effectively improving the adhesion of the metal wiring regardless of the curing environment. The use of the phenoxy resin suppresses deterioration of the embedding property of the resin film in the holes or irregularities of the circuit board and non-uniformity of the inorganic filler. Further, by using the phenoxy resin, the melt viscosity can be adjusted, so that the dispersibility of the inorganic filler is improved, and the resin composition or the B-staged product is less likely to wet and spread in an unintended region during the curing process.

上記樹脂材料に含まれているフェノキシ樹脂は特に限定されない。上記フェノキシ樹脂として、従来公知のフェノキシ樹脂を使用可能である。上記フェノキシ樹脂は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。 The phenoxy resin contained in the resin material is not particularly limited. As the phenoxy resin, a conventionally known phenoxy resin can be used. Only one type of the phenoxy resin may be used, or two or more types may be used in combination.

上記フェノキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールA型の骨格、ビスフェノールF型の骨格、ビスフェノールS型の骨格、ビフェニル骨格、ノボラック骨格、ナフタレン骨格及びイミド骨格などの骨格を有するフェノキシ樹脂等が挙げられる。 Examples of the phenoxy resin include phenoxy resins having skeletons such as bisphenol A type skeleton, bisphenol F type skeleton, bisphenol S type skeleton, biphenyl skeleton, novolak skeleton, naphthalene skeleton and imide skeleton.

上記フェノキシ樹脂の市販品としては、例えば、新日鐵住金化学社製の「YP50」、「YP55」及び「YP70」、並びに三菱化学社製の「1256B40」、「4250」、「4256H40」、「4275」、「YX6954BH30」及び「YX8100BH30」等が挙げられる。 Examples of commercially available phenoxy resins include "YP50", "YP55" and "YP70" manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Corporation, and "1256B40", "4250", "4256H40" and "4256H40" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation. 4275 ”,“ YX6954BH30 ”,“ YX8100BH30 ”and the like.

ハンドリング性、低粗度でのメッキピール強度及び絶縁層と金属層との密着性を高める観点から、上記熱可塑性樹脂は、ポリイミド樹脂(ポリイミド化合物)であることが好ましい。 The thermoplastic resin is preferably a polyimide resin (polyimide compound) from the viewpoint of improving handleability, plating peel strength at low roughness, and adhesion between the insulating layer and the metal layer.

溶解性を良好にする観点からは、上記ポリイミド化合物は、テトラカルボン酸二無水物とダイマージアミンとを反応させる方法によって得られたポリイミド化合物であることが好ましい。 From the viewpoint of improving the solubility, the polyimide compound is preferably a polyimide compound obtained by a method of reacting a tetracarboxylic dianhydride with a dimer diamine.

上記テトラカルボン酸二無水物としては、上述したテトラカルボン酸二無水物が挙げられる。 Examples of the tetracarboxylic dianhydride include the above-mentioned tetracarboxylic dianhydride.

上記ダイマージアミンの市販品としては、上述した市販品が挙げられる。 Examples of the commercially available product of the dimer diamine include the above-mentioned commercially available products.

なお、上記ポリイミド化合物は末端に、酸無水物構造、マレイミド構造、シトラコンイミド構造を有していてもよい。この場合には、上記ポリイミド化合物とエポキシ樹脂とを反応させることができる。上記ポリイミド化合物とエポキシ樹脂とを反応させることにより、硬化物の熱寸法安定性を高めることができる。 The polyimide compound may have an acid anhydride structure, a maleimide structure, or a citraconimide structure at the terminal. In this case, the polyimide compound can be reacted with the epoxy resin. By reacting the polyimide compound with the epoxy resin, the thermal dimensional stability of the cured product can be improved.

保存安定性により一層優れた樹脂材料を得る観点からは、上記熱可塑性樹脂、上記ポリイミド樹脂及び上記フェノキシ樹脂の重量平均分子量は、好ましくは5000以上、より好ましくは10000以上、好ましくは100000以下、より好ましくは50000以下である。 From the viewpoint of obtaining a resin material having more excellent storage stability, the weight average molecular weights of the thermoplastic resin, the polyimide resin and the phenoxy resin are preferably 5000 or more, more preferably 10000 or more, preferably 100,000 or less. It is preferably 50,000 or less.

上記熱可塑性樹脂、上記ポリイミド樹脂及び上記フェノキシ樹脂の上記重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により測定されたポリスチレン換算での重量平均分子量を示す。 The weight average molecular weights of the thermoplastic resin, the polyimide resin, and the phenoxy resin indicate the polystyrene-equivalent weight average molecular weights measured by gel permeation chromatography (GPC).

上記熱可塑性樹脂、上記ポリイミド樹脂及び上記フェノキシ樹脂の含有量は特に限定されない。樹脂材料中の上記無機充填材及び上記溶剤を除く成分100重量%中、上記熱可塑性樹脂の含有量(熱可塑性樹脂がポリイミド樹脂又はフェノキシ樹脂である場合には、ポリイミド樹脂又はフェノキシ樹脂の含有量)は、好ましくは1重量%以上、より好ましくは2重量%以上、好ましくは30重量%以下、より好ましくは20重量%以下である。上記熱可塑性樹脂の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、樹脂材料の回路基板の穴又は凹凸に対する埋め込み性が良好になる。上記熱可塑性樹脂の含有量が上記下限以上であると、樹脂フィルムの形成がより一層容易になり、より一層良好な絶縁層が得られる。上記熱可塑性樹脂の含有量が上記上限以下であると、硬化物の熱膨張率がより一層低くなる。上記熱可塑性樹脂の含有量が上記上限以下であると、硬化物の表面の表面粗さがより一層小さくなり、硬化物と金属層との接着強度がより一層高くなる。 The contents of the thermoplastic resin, the polyimide resin, and the phenoxy resin are not particularly limited. The content of the thermoplastic resin in 100% by weight of the component excluding the inorganic filler and the solvent in the resin material (when the thermoplastic resin is a polyimide resin or a phenoxy resin, the content of the polyimide resin or the phenoxy resin). ) Is preferably 1% by weight or more, more preferably 2% by weight or more, preferably 30% by weight or less, and more preferably 20% by weight or less. When the content of the thermoplastic resin is at least the above lower limit and at least the above upper limit, the embedding property of the resin material in the holes or irregularities of the circuit board is improved. When the content of the thermoplastic resin is at least the above lower limit, the formation of the resin film becomes easier and a better insulating layer can be obtained. When the content of the thermoplastic resin is not more than the above upper limit, the coefficient of thermal expansion of the cured product becomes even lower. When the content of the thermoplastic resin is not more than the above upper limit, the surface roughness of the surface of the cured product is further reduced, and the adhesive strength between the cured product and the metal layer is further increased.

[溶剤]
上記樹脂材料は、溶剤を含まないか又は含む。上記溶剤の使用により、樹脂材料の粘度を好適な範囲に制御でき、樹脂材料の塗工性を高めることができる。また、上記溶剤は、上記無機充填材を含むスラリーを得るために用いられてもよい。上記溶剤は1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[solvent]
The resin material does not contain or contains a solvent. By using the above solvent, the viscosity of the resin material can be controlled in a suitable range, and the coatability of the resin material can be improved. Further, the solvent may be used to obtain a slurry containing the inorganic filler. Only one type of the solvent may be used, or two or more types may be used in combination.

上記溶剤としては、アセトン、メタノール、エタノール、ブタノール、2−プロパノール、2−メトキシエタノール、2−エトキシエタノール、1−メトキシ−2−プロパノール、2−アセトキシ−1−メトキシプロパン、トルエン、キシレン、メチルエチルケトン、N,N−ジメチルホルムアミド、メチルイソブチルケトン、N−メチル−ピロリドン、n−ヘキサン、シクロヘキサン、シクロヘキサノン及び混合物であるナフサ等が挙げられる。 Examples of the solvent include acetone, methanol, ethanol, butanol, 2-propanol, 2-methoxyethanol, 2-ethoxyethanol, 1-methoxy-2-propanol, 2-acetoxy-1-methoxypropane, toluene, xylene, and methyl ethyl ketone. Examples thereof include N, N-dimethylformamide, methyl isobutyl ketone, N-methyl-pyrrolidone, n-hexane, cyclohexane, cyclohexanone and naphtha as a mixture.

上記溶剤の多くは、上記樹脂組成物をフィルム状に成形するときに、除去されることが好ましい。従って、上記溶剤の沸点は好ましくは200℃以下、より好ましくは180℃以下である。上記樹脂組成物中の上記溶剤の含有量は特に限定されない。上記樹脂組成物の塗工性などを考慮して、上記溶剤の含有量は適宜変更可能である。 Most of the solvent is preferably removed when the resin composition is formed into a film. Therefore, the boiling point of the solvent is preferably 200 ° C. or lower, more preferably 180 ° C. or lower. The content of the solvent in the resin composition is not particularly limited. The content of the solvent can be appropriately changed in consideration of the coatability of the resin composition and the like.

上記樹脂材料がBステージフィルムである場合には、上記Bステージフィルム100重量%中、上記溶剤の含有量は、好ましくは1重量%以上、より好ましくは2重量%以上、好ましくは10重量%以下、より好ましくは5重量%以下である。 When the resin material is a B stage film, the content of the solvent in 100% by weight of the B stage film is preferably 1% by weight or more, more preferably 2% by weight or more, and preferably 10% by weight or less. , More preferably 5% by weight or less.

[他の成分]
耐衝撃性、耐熱性、樹脂の相溶性及び作業性等の改善を目的として、上記樹脂材料は、レベリング剤、難燃剤、カップリング剤、着色剤、酸化防止剤、紫外線劣化防止剤、消泡剤、増粘剤、揺変性付与剤及びエポキシ化合物以外の他の熱硬化性樹脂等を含んでいてもよい。
[Other ingredients]
For the purpose of improving impact resistance, heat resistance, resin compatibility, workability, etc., the above resin materials are leveling agents, flame retardants, coupling agents, colorants, antioxidants, ultraviolet deterioration inhibitors, defoamers. It may contain an agent, a thickener, a rock denaturing agent, a thermosetting resin other than an epoxy compound, and the like.

上記カップリング剤としては、シランカップリング剤、チタンカップリング剤及びアルミニウムカップリング剤等が挙げられる。上記シランカップリング剤としては、ビニルシラン、アミノシラン、イミダゾールシラン及びエポキシシラン等が挙げられる。 Examples of the coupling agent include a silane coupling agent, a titanium coupling agent, an aluminum coupling agent, and the like. Examples of the silane coupling agent include vinylsilane, aminosilane, imidazolesilane, and epoxysilane.

上記他の熱硬化性樹脂としては、ポリフェニレンエーテル樹脂、ジビニルベンジルエーテル樹脂、ポリアリレート樹脂、ジアリルフタレート樹脂、ポリイミド樹脂、ベンゾオキサジン樹脂、ベンゾオキサゾール樹脂、ビスマレイミド樹脂及びアクリレート樹脂等が挙げられる。 Examples of the other thermosetting resin include polyphenylene ether resin, divinylbenzyl ether resin, polyarylate resin, diallylphthalate resin, polyimide resin, benzoxazine resin, benzoxazole resin, bismaleimide resin and acrylate resin.

(樹脂フィルム)
上述した樹脂組成物をフィルム状に成形することにより樹脂フィルム(Bステージ化物/Bステージフィルム)が得られる。上記樹脂材料は、樹脂フィルムであることが好ましい。樹脂フィルムは、Bステージフィルムであることが好ましい。
(Resin film)
A resin film (B-staged product / B-stage film) can be obtained by molding the above-mentioned resin composition into a film. The resin material is preferably a resin film. The resin film is preferably a B stage film.

樹脂組成物をフィルム状に成形して、樹脂フィルムを得る方法としては、以下の方法が挙げられる。押出機を用いて、樹脂組成物を溶融混練し、押出した後、Tダイ又はサーキュラーダイ等により、フィルム状に成形する押出成形法。溶剤を含む樹脂組成物をキャスティングしてフィルム状に成形するキャスティング成形法。従来公知のその他のフィルム成形法。薄型化に対応可能であることから、押出成形法又はキャスティング成形法が好ましい。フィルムにはシートが含まれる。 Examples of a method for obtaining a resin film by molding the resin composition into a film form include the following methods. An extrusion molding method in which a resin composition is melt-kneaded using an extruder, extruded, and then molded into a film by a T-die, a circular die, or the like. A casting molding method in which a resin composition containing a solvent is cast and molded into a film. Other conventionally known film forming methods. An extrusion molding method or a casting molding method is preferable because it can be made thinner. The film includes a sheet.

樹脂組成物をフィルム状に成形し、熱による硬化が進行し過ぎない程度に、例えば50℃〜150℃で1分間〜10分間加熱乾燥させることにより、Bステージフィルムである樹脂フィルムを得ることができる。 A resin film as a B-stage film can be obtained by molding the resin composition into a film and heating and drying it at 50 ° C. to 150 ° C. for 1 minute to 10 minutes to the extent that curing by heat does not proceed too much. it can.

上述のような乾燥工程により得ることができるフィルム状の樹脂組成物をBステージフィルムと称する。上記Bステージフィルムは、半硬化状態にある。半硬化物は、完全に硬化しておらず、硬化がさらに進行され得る。 The film-like resin composition that can be obtained by the drying step as described above is referred to as a B stage film. The B stage film is in a semi-cured state. The semi-cured product is not completely cured and can be further cured.

上記樹脂フィルムは、プリプレグでなくてもよい。上記樹脂フィルムがプリプレグではない場合には、ガラスクロス等に沿ってマイグレーションが生じなくなる。また、樹脂フィルムをラミネート又はプレキュアする際に、表面にガラスクロスに起因する凹凸が生じなくなる。上記樹脂フィルムは、金属箔又は基材と、該金属箔又は基材の表面に積層された樹脂フィルムとを備える積層フィルムの形態で用いることができる。上記金属箔は銅箔であることが好ましい。 The resin film does not have to be a prepreg. When the resin film is not a prepreg, migration does not occur along the glass cloth or the like. Further, when the resin film is laminated or pre-cured, unevenness due to the glass cloth does not occur on the surface. The resin film can be used in the form of a laminated film including a metal foil or a base material and a resin film laminated on the surface of the metal foil or the base material. The metal foil is preferably a copper foil.

上記積層フィルムの上記基材としては、ポリエチレンテレフタレートフィルム及びポリブチレンテレフタレートフィルム等のポリエステル樹脂フィルム、ポリエチレンフィルム及びポリプロピレンフィルム等のオレフィン樹脂フィルム、並びにポリイミド樹脂フィルム等が挙げられる。上記基材の表面は、必要に応じて、離型処理されていてもよい。 Examples of the base material of the laminated film include polyester resin films such as polyethylene terephthalate film and polybutylene terephthalate film, olefin resin films such as polyethylene film and polypropylene film, and polyimide resin films. The surface of the base material may be subjected to a mold release treatment, if necessary.

樹脂フィルムの硬化度をより一層均一に制御する観点からは、上記樹脂フィルムの厚さは、好ましくは5μm以上であり、好ましくは200μm以下である。上記樹脂フィルムを回路の絶縁層として用いる場合、上記樹脂フィルムにより形成された絶縁層の厚さは、回路を形成する導体層(金属層)の厚さ以上であることが好ましい。上記絶縁層の厚さは、好ましくは5μm以上であり、好ましくは200μm以下である。 From the viewpoint of controlling the degree of curing of the resin film more uniformly, the thickness of the resin film is preferably 5 μm or more, preferably 200 μm or less. When the resin film is used as the insulating layer of the circuit, the thickness of the insulating layer formed by the resin film is preferably equal to or larger than the thickness of the conductor layer (metal layer) forming the circuit. The thickness of the insulating layer is preferably 5 μm or more, and preferably 200 μm or less.

硬化物の熱寸法安定性をより一層高める観点、絶縁層と金属層との密着性をより一層高める観点から、上記樹脂材料又は上記樹脂フィルムのガラス転移温度は、好ましくは150℃以上、より好ましくは170℃以上である。 From the viewpoint of further enhancing the thermal dimensional stability of the cured product and further enhancing the adhesion between the insulating layer and the metal layer, the glass transition temperature of the resin material or the resin film is preferably 150 ° C. or higher, more preferably. Is 170 ° C. or higher.

上記ガラス転移温度は、以下のようにして測定される。 The glass transition temperature is measured as follows.

上記樹脂材料が樹脂フィルムでない場合には、フィルム状に成形して樹脂フィルムを得る。上記樹脂フィルムをプレス成形して測定対象物を得る。得られた測定対象物を、粘弾性測定装置(例えば、TAINSTRUMENTS社製「ARES−G2」)を用いて測定を行い、得られた測定結果の損失正接のピーク温度をガラス転移温度Tgとする。なお、上記測定は、治具として、直径8mmのパラレルプレートを用いて、3℃/分の降温速度で100℃から−10℃まで温度を低下させる条件、並びに周波数1Hz及び歪1%の条件で測定を行う。 When the resin material is not a resin film, it is molded into a film to obtain a resin film. The resin film is press-molded to obtain an object to be measured. The obtained measurement object is measured using a viscoelasticity measuring device (for example, "ARES-G2" manufactured by TAINSTRUMENTS), and the peak temperature of the loss tangent of the obtained measurement result is defined as the glass transition temperature Tg. In the above measurement, a parallel plate having a diameter of 8 mm was used as a jig, and the temperature was lowered from 100 ° C. to -10 ° C. at a temperature lowering rate of 3 ° C./min, and the frequency was 1 Hz and the strain was 1%. Make a measurement.

(半導体装置、プリント配線板、銅張積層板及び多層プリント配線板)
上記樹脂材料は、半導体装置において半導体チップを埋め込むモールド樹脂を形成するために好適に用いられる。
(Semiconductor devices, printed wiring boards, copper-clad laminates and multilayer printed wiring boards)
The resin material is suitably used for forming a mold resin for embedding a semiconductor chip in a semiconductor device.

上記樹脂材料は、プリント配線板において絶縁層を形成するために好適に用いられる。 The resin material is suitably used for forming an insulating layer in a printed wiring board.

上記プリント配線板は、例えば、上記樹脂材料を加熱加圧成形することにより得られる。 The printed wiring board can be obtained, for example, by heat-press molding the resin material.

上記樹脂フィルムに対して、片面又は両面に金属層を表面に有する積層対象部材を積層できる。金属層を表面に有する積層対象部材と、上記金属層の表面上に積層された樹脂フィルムとを備え、上記樹脂フィルムが、上述した樹脂材料である、積層構造体を好適に得ることができる。上記樹脂フィルムと上記金属層を表面に有する積層対象部材とを積層する方法は特に限定されず、公知の方法を用いることができる。例えば、平行平板プレス機又はロールラミネーター等の装置を用いて、加熱しながら又は加熱せずに加圧しながら、上記樹脂フィルムを、金属層を表面に有する積層対象部材に積層可能である。 A member to be laminated having a metal layer on one side or both sides can be laminated on the resin film. A laminated structure comprising a member to be laminated having a metal layer on its surface and a resin film laminated on the surface of the metal layer, and the resin film being the resin material described above can be preferably obtained. The method of laminating the resin film and the member to be laminated having the metal layer on the surface is not particularly limited, and a known method can be used. For example, using a device such as a parallel flat plate press or a roll laminator, the resin film can be laminated on a member to be laminated having a metal layer on the surface while pressurizing with or without heating.

上記金属層の材料は銅であることが好ましい。 The material of the metal layer is preferably copper.

上記金属層を表面に有する積層対象部材は、銅箔等の金属箔であってもよい。 The member to be laminated having the metal layer on the surface may be a metal foil such as a copper foil.

上記樹脂材料は、銅張積層板を得るために好適に用いられる。上記銅張積層板の一例として、銅箔と、該銅箔の一方の表面に積層された樹脂フィルムとを備える銅張積層板が挙げられる。 The resin material is preferably used to obtain a copper-clad laminate. An example of the copper-clad laminate is a copper-clad laminate comprising a copper foil and a resin film laminated on one surface of the copper foil.

上記銅張積層板の上記銅箔の厚さは特に限定されない。上記銅箔の厚さは、1μm〜50μmの範囲内であることが好ましい。また、上記樹脂材料の硬化物と銅箔との接着強度を高めるために、上記銅箔は微細な凹凸を表面に有することが好ましい。凹凸の形成方法は特に限定されない。上記凹凸の形成方法としては、公知の薬液を用いた処理による形成方法等が挙げられる。 The thickness of the copper foil of the copper-clad laminate is not particularly limited. The thickness of the copper foil is preferably in the range of 1 μm to 50 μm. Further, in order to increase the adhesive strength between the cured product of the resin material and the copper foil, it is preferable that the copper foil has fine irregularities on the surface. The method of forming the unevenness is not particularly limited. Examples of the method for forming the unevenness include a method for forming the unevenness by a treatment using a known chemical solution.

上記樹脂材料は、多層基板を得るために好適に用いられる。 The resin material is preferably used to obtain a multilayer substrate.

上記多層基板の一例として、回路基板と、該回路基板上に積層された絶縁層とを備える多層基板が挙げられる。この多層基板の絶縁層が、上記樹脂材料により形成されている。また、多層基板の絶縁層が、積層フィルムを用いて、上記積層フィルムの上記樹脂フィルムにより形成されていてもよい。上記絶縁層は、回路基板の回路が設けられた表面上に積層されていることが好ましい。上記絶縁層の一部は、上記回路間に埋め込まれていることが好ましい。 An example of the multilayer board is a multilayer board including a circuit board and an insulating layer laminated on the circuit board. The insulating layer of this multilayer substrate is formed of the above resin material. Further, the insulating layer of the multilayer substrate may be formed of the resin film of the laminated film by using the laminated film. The insulating layer is preferably laminated on the surface of the circuit board on which the circuit is provided. It is preferable that a part of the insulating layer is embedded between the circuits.

上記多層基板では、上記絶縁層の上記回路基板が積層された表面とは反対側の表面が粗化処理されていることが好ましい。 In the multilayer board, it is preferable that the surface of the insulating layer opposite to the surface on which the circuit board is laminated is roughened.

粗化処理方法は、従来公知の粗化処理方法を用いることができ、特に限定されない。上記絶縁層の表面は、粗化処理の前に膨潤処理されていてもよい。 As the roughening treatment method, a conventionally known roughening treatment method can be used and is not particularly limited. The surface of the insulating layer may be swelled before the roughening treatment.

また、上記多層基板は、上記絶縁層の粗化処理された表面に積層された銅めっき層をさらに備えることが好ましい。 Further, it is preferable that the multilayer substrate further includes a copper plating layer laminated on the roughened surface of the insulating layer.

また、上記多層基板の他の例として、回路基板と、該回路基板の表面上に積層された絶縁層と、該絶縁層の上記回路基板が積層された表面とは反対側の表面に積層された銅箔とを備える多層基板が挙げられる。上記絶縁層が、銅箔と該銅箔の一方の表面に積層された樹脂フィルムとを備える銅張積層板を用いて、上記樹脂フィルムを硬化させることにより形成されていることが好ましい。さらに、上記銅箔はエッチング処理されており、銅回路であることが好ましい。 Further, as another example of the multilayer board, the circuit board, the insulating layer laminated on the surface of the circuit board, and the insulating layer are laminated on the surface opposite to the surface on which the circuit board is laminated. Examples thereof include a multilayer substrate provided with a copper foil. It is preferable that the insulating layer is formed by curing the resin film using a copper-clad laminate having a copper foil and a resin film laminated on one surface of the copper foil. Further, the copper foil is etched and preferably a copper circuit.

上記多層基板の他の例として、回路基板と、該回路基板の表面上に積層された複数の絶縁層とを備える多層基板が挙げられる。上記回路基板上に配置された上記複数層の絶縁層の内の少なくとも1層が、上記樹脂材料を用いて形成される。上記多層基板は、上記樹脂フィルムを用いて形成されている上記絶縁層の少なくとも一方の表面に積層されている回路をさらに備えることが好ましい。 As another example of the multilayer board, there is a multilayer board including a circuit board and a plurality of insulating layers laminated on the surface of the circuit board. At least one of the plurality of insulating layers arranged on the circuit board is formed by using the resin material. It is preferable that the multilayer substrate further includes a circuit laminated on at least one surface of the insulating layer formed by using the resin film.

多層基板のうち多層プリント配線板においては、低い誘電正接が求められ、絶縁層による高い絶縁信頼性が求められる。本発明に係る樹脂材料では、誘電正接を低くし、かつ絶縁層と金属層との密着性及びエッチング性能を高めることによって絶縁信頼性を効果的に高めることができる。従って、本発明に係る樹脂材料は、多層プリント配線板において、絶縁層を形成するために好適に用いられる。 Among the multilayer boards, the multilayer printed wiring board is required to have low dielectric loss tangent and high insulation reliability due to the insulating layer. In the resin material according to the present invention, the insulation reliability can be effectively improved by lowering the dielectric loss tangent and improving the adhesion and etching performance between the insulating layer and the metal layer. Therefore, the resin material according to the present invention is suitably used for forming an insulating layer in a multilayer printed wiring board.

上記多層プリント配線板は、例えば、回路基板と、上記回路基板の表面上に配置された複数の絶縁層と、複数の上記絶縁層間に配置された金属層とを備える。上記絶縁層の内の少なくとも1層が、上記樹脂材料の硬化物である。 The multilayer printed wiring board includes, for example, a circuit board, a plurality of insulating layers arranged on the surface of the circuit board, and a metal layer arranged between the plurality of insulating layers. At least one of the insulating layers is a cured product of the resin material.

図1は、本発明の一実施形態に係る樹脂材料を用いた多層プリント配線板を模式的に示す断面図である。 FIG. 1 is a cross-sectional view schematically showing a multilayer printed wiring board using a resin material according to an embodiment of the present invention.

図1に示す多層プリント配線板11では、回路基板12の上面12aに、複数層の絶縁層13〜16が積層されている。絶縁層13〜16は、硬化物層である。回路基板12の上面12aの一部の領域には、金属層17が形成されている。複数層の絶縁層13〜16のうち、回路基板12側とは反対の外側の表面に位置する絶縁層16以外の絶縁層13〜15には、上面の一部の領域に金属層17が形成されている。金属層17は回路である。回路基板12と絶縁層13の間、及び積層された絶縁層13〜16の各層間に、金属層17がそれぞれ配置されている。下方の金属層17と上方の金属層17とは、図示しないビアホール接続及びスルーホール接続の内の少なくとも一方により互いに接続されている。 In the multilayer printed wiring board 11 shown in FIG. 1, a plurality of insulating layers 13 to 16 are laminated on the upper surface 12a of the circuit board 12. The insulating layers 13 to 16 are cured product layers. A metal layer 17 is formed in a part of the upper surface 12a of the circuit board 12. Of the plurality of insulating layers 13 to 16, metal layers 17 are formed in a part of the upper surface of the insulating layers 13 to 15 other than the insulating layer 16 located on the outer surface opposite to the circuit board 12 side. Has been done. The metal layer 17 is a circuit. A metal layer 17 is arranged between the circuit board 12 and the insulating layer 13 and between the layers of the laminated insulating layers 13 to 16, respectively. The lower metal layer 17 and the upper metal layer 17 are connected to each other by at least one of a via hole connection and a through hole connection (not shown).

多層プリント配線板11では、絶縁層13〜16が、上記樹脂材料の硬化物により形成されている。本実施形態では、絶縁層13〜16の表面が粗化処理されているので、絶縁層13〜16の表面に図示しない微細な孔が形成されている。また、微細な孔の内部に金属層17が至っている。また、多層プリント配線板11では、金属層17の幅方向寸法(L)と、金属層17が形成されていない部分の幅方向寸法(S)とを小さくすることができる。また、多層プリント配線板11では、図示しないビアホール接続及びスルーホール接続で接続されていない上方の金属層と下方の金属層との間に、良好な絶縁信頼性が付与されている。 In the multilayer printed wiring board 11, the insulating layers 13 to 16 are formed of a cured product of the resin material. In the present embodiment, since the surfaces of the insulating layers 13 to 16 are roughened, fine holes (not shown) are formed on the surfaces of the insulating layers 13 to 16. Further, the metal layer 17 reaches the inside of the fine pores. Further, in the multilayer printed wiring board 11, the width direction dimension (L) of the metal layer 17 and the width direction dimension (S) of the portion where the metal layer 17 is not formed can be reduced. Further, in the multilayer printed wiring board 11, good insulation reliability is imparted between the upper metal layer and the lower metal layer which are not connected by via hole connection and through hole connection (not shown).

(粗化処理及び膨潤処理)
上記樹脂材料は、粗化処理又はデスミア処理される硬化物を得るために用いられることが好ましい。上記硬化物には、更に硬化が可能な予備硬化物も含まれる。
(Roughening treatment and swelling treatment)
The resin material is preferably used to obtain a cured product to be roughened or desmeared. The cured product also includes a pre-cured product that can be further cured.

上記樹脂材料を予備硬化させることにより得られた硬化物の表面に微細な凹凸を形成するために、硬化物は粗化処理されることが好ましい。粗化処理の前に、硬化物は膨潤処理されることが好ましい。硬化物は、予備硬化の後、かつ粗化処理される前に、膨潤処理されており、さらに粗化処理の後に硬化されていることが好ましい。ただし、硬化物は、必ずしも膨潤処理されなくてもよい。 The cured product is preferably roughened in order to form fine irregularities on the surface of the cured product obtained by pre-curing the resin material. Prior to the roughening treatment, the cured product is preferably swelled. It is preferable that the cured product is swelled and further cured after the roughening treatment after the pre-curing and before the roughening treatment. However, the cured product does not necessarily have to be swelled.

上記膨潤処理の方法としては、例えば、エチレングリコールなどを主成分とする化合物の水溶液又は有機溶媒分散溶液などにより、硬化物を処理する方法が用いられる。膨潤処理に用いる膨潤液は、一般にpH調整剤などとして、アルカリを含む。膨潤液は、水酸化ナトリウムを含むことが好ましい。具体的には、例えば、上記膨潤処理は、40重量%エチレングリコール水溶液等を用いて、処理温度30℃〜85℃で1分間〜30分間、硬化物を処理することにより行なわれる。上記膨潤処理の温度は50℃〜85℃の範囲内であることが好ましい。上記膨潤処理の温度が低すぎると、膨潤処理に長時間を要し、更に硬化物と金属層との接着強度が低くなる傾向がある。 As the method of the swelling treatment, for example, a method of treating the cured product with an aqueous solution of a compound containing ethylene glycol or the like as a main component or an organic solvent dispersion solution is used. The swelling liquid used for the swelling treatment generally contains an alkali as a pH adjuster or the like. The swelling liquid preferably contains sodium hydroxide. Specifically, for example, the swelling treatment is carried out by treating the cured product at a treatment temperature of 30 ° C. to 85 ° C. for 1 minute to 30 minutes using a 40 wt% ethylene glycol aqueous solution or the like. The temperature of the swelling treatment is preferably in the range of 50 ° C. to 85 ° C. If the temperature of the swelling treatment is too low, the swelling treatment takes a long time, and the adhesive strength between the cured product and the metal layer tends to be low.

上記粗化処理には、例えば、マンガン化合物、クロム化合物又は過硫酸化合物などの化学酸化剤等が用いられる。これらの化学酸化剤は、水又は有機溶剤が添加された後、水溶液又は有機溶媒分散溶液として用いられる。粗化処理に用いられる粗化液は、一般にpH調整剤などとしてアルカリを含む。粗化液は、水酸化ナトリウムを含むことが好ましい。 For the roughening treatment, for example, a chemical oxidizing agent such as a manganese compound, a chromium compound or a persulfate compound is used. These chemical oxidizing agents are used as an aqueous solution or an organic solvent dispersion solution after water or an organic solvent is added. The roughening solution used for the roughening treatment generally contains an alkali as a pH adjuster or the like. The roughening solution preferably contains sodium hydroxide.

上記マンガン化合物としては、過マンガン酸カリウム及び過マンガン酸ナトリウム等が挙げられる。上記クロム化合物としては、重クロム酸カリウム及び無水クロム酸カリウム等が挙げられる。上記過硫酸化合物としては、過硫酸ナトリウム、過硫酸カリウム及び過硫酸アンモニウム等が挙げられる。 Examples of the manganese compound include potassium permanganate and sodium permanganate. Examples of the chromium compound include potassium dichromate and anhydrous potassium chromate. Examples of the persulfate compound include sodium persulfate, potassium persulfate, ammonium persulfate and the like.

硬化物の表面の算術平均粗さRaは好ましくは10nm以上であり、好ましくは300nm未満、より好ましくは200nm未満、更に好ましくは150nm未満である。この場合には、硬化物と金属層との接着強度が高くなり、更に絶縁層の表面により一層微細な配線が形成される。さらに、導体損失を抑えることができ、信号損失を低く抑えることができる。上記算術平均粗さRaは、JIS B0601:1994に準拠して測定される。 The arithmetic mean roughness Ra of the surface of the cured product is preferably 10 nm or more, preferably less than 300 nm, more preferably less than 200 nm, and further preferably less than 150 nm. In this case, the adhesive strength between the cured product and the metal layer is increased, and the surface of the insulating layer forms finer wiring. Further, the conductor loss can be suppressed, and the signal loss can be suppressed low. The arithmetic mean roughness Ra is measured according to JIS B0601: 1994.

(デスミア処理)
上記樹脂材料を予備硬化させることにより得られた硬化物に、貫通孔が形成されることがある。上記多層基板などでは、貫通孔として、ビア又はスルーホール等が形成される。例えば、ビアは、COレーザー等のレーザーの照射により形成できる。ビアの直径は特に限定されないが、60μm〜80μm程度である。上記貫通孔の形成により、ビア内の底部には、硬化物に含まれている樹脂成分に由来する樹脂の残渣であるスミアが形成されることが多い。
(Desmia processing)
Through holes may be formed in the cured product obtained by pre-curing the resin material. Vias, through holes, and the like are formed as through holes in the multilayer substrate and the like. For example, vias can be formed by irradiation with a laser such as a CO 2 laser. The diameter of the via is not particularly limited, but is about 60 μm to 80 μm. Due to the formation of the through holes, smear, which is a residue of the resin derived from the resin component contained in the cured product, is often formed at the bottom of the via.

上記スミアを除去するために、硬化物の表面は、デスミア処理されることが好ましい。デスミア処理が粗化処理を兼ねることもある。 In order to remove the smear, the surface of the cured product is preferably desmear-treated. The desmear treatment may also serve as the roughening treatment.

上記デスミア処理には、上記粗化処理と同様に、例えば、マンガン化合物、クロム化合物又は過硫酸化合物等の化学酸化剤等が用いられる。これらの化学酸化剤は、水又は有機溶剤が添加された後、水溶液又は有機溶媒分散溶液として用いられる。デスミア処理に用いられるデスミア処理液は、一般にアルカリを含む。デスミア処理液は、水酸化ナトリウムを含むことが好ましい。 In the desmear treatment, for example, a chemical oxidizing agent such as a manganese compound, a chromium compound or a persulfate compound is used in the same manner as in the roughening treatment. These chemical oxidizing agents are used as an aqueous solution or an organic solvent dispersion solution after water or an organic solvent is added. The desmear treatment liquid used for the desmear treatment generally contains an alkali. The desmear treatment solution preferably contains sodium hydroxide.

上記樹脂材料の使用により、デスミア処理された硬化物の表面の表面粗さが十分に小さくなる。 By using the above resin material, the surface roughness of the surface of the desmear-treated cured product is sufficiently reduced.

以下、実施例及び比較例を挙げることにより、本発明を具体的に説明する。本発明は、以下の実施例に限定されない。 Hereinafter, the present invention will be specifically described with reference to Examples and Comparative Examples. The present invention is not limited to the following examples.

以下の材料を用意した。 The following materials were prepared.

(化合物A)
ビスマレイミド化合物A1(下記の合成例1に従って合成)
ビスマレイミド化合物A2(下記の合成例2に従って合成)
ビスマレイミド化合物A3(下記の合成例3に従って合成)
ベンゾオキサジン化合物A1(下記の合成例4に従って合成)
(Compound A)
Bismaleimide compound A1 (synthesized according to Synthesis Example 1 below)
Bismaleimide compound A2 (synthesized according to Synthesis Example 2 below)
Bismaleimide compound A3 (synthesized according to Synthesis Example 3 below)
Benzoxazine compound A1 (synthesized according to Synthesis Example 4 below)

(合成例1)
撹拌機、分水器、温度計及び窒素ガス導入管を備えた反応容器に、テトラカルボン酸二無水物(SABICジャパン合同会社製「BisDA−1000」)135.0gと、シクロヘキサノン400gとを入れ、反応容器中の溶液を60℃まで加熱した。次いで、反応容器中に、1,3−ビスアミノメチルシクロヘキサン(三菱ガス化学社製、分子量142.25)17.5gを滴下して、反応させて、両末端が酸無水物である反応生成物を得た。次いで、反応容器中に、ダイマージアミン(クローダジャパン社製「PRIAMINE1075」)148gをゆっくり添加した後、メチルシクロヘキサン60.0gを反応容器中に添加した。ディーンスタークトラップとコンデンサーとをフラスコに取り付け、混合物を2時間還流に熱し、両末端にアミン構造を有するイミド化合物を得た。次いで、無水マレイン酸28gを添加し、得られた混合物をさらに12時間還流して、マレイミド化を行った。反応終了後、イソプロパノールを添加し、再沈殿させた後、沈殿物を回収し、乾燥させた。このようにして、ダイマージアミンに由来する骨格を有し、かつ、ダイマージアミン以外のジアミン化合物に由来する骨格を有するN−アルキルビスマレイミド化合物(重量平均分子量10000)を得た。得られたN−アルキルビスマレイミド化合物の回収率は83%であった。
(Synthesis Example 1)
135.0 g of tetracarboxylic dianhydride (“BisDA-1000” manufactured by SABIC Japan GK) and 400 g of cyclohexanone were placed in a reaction vessel equipped with a stirrer, a water divider, a thermometer and a nitrogen gas introduction tube. The solution in the reaction vessel was heated to 60 ° C. Next, 17.5 g of 1,3-bisaminomethylcyclohexane (manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Company, molecular weight 142.25) was added dropwise to the reaction vessel to cause a reaction, and the reaction product had acid anhydrides at both ends. Got Next, 148 g of dimer diamine (“PRIAMINE 1075” manufactured by Croda Japan) was slowly added to the reaction vessel, and then 60.0 g of methylcyclohexane was added to the reaction vessel. A Dean-Stark trap and a condenser were attached to the flask, and the mixture was heated to reflux for 2 hours to obtain an imide compound having an amine structure at both ends. Then, 28 g of maleic anhydride was added, and the obtained mixture was refluxed for another 12 hours to perform maleimideization. After completion of the reaction, isopropanol was added and reprecipitated, and then the precipitate was collected and dried. In this way, an N-alkylbismaleimide compound (weight average molecular weight 10000) having a skeleton derived from dimerdiamine and having a skeleton derived from a diamine compound other than diaminediamine was obtained. The recovery rate of the obtained N-alkylbismaleimide compound was 83%.

(合成例2)
撹拌機、分水器、温度計及び窒素ガス導入管を備えた反応容器に、ピロメリット酸二無水物(東京化成社製、分子量254.15)55gと、シクロヘキサノン300gとを入れ、反応容器中の溶液を60℃まで加熱した。次いで、反応容器中に、ビス(アミノメチル)ノルボルナン(東京化成工業社製、分子量154.26)26.7gをシクロヘキサノンに溶解させた溶液を滴下して、反応させて、両末端が酸無水物である反応生成物を得た。その後、イソプロパノールを入れ、両末端が酸無水物のイミド化合物を回収した。次いで、沈殿物を再度シクロヘキサノンに溶解させ、反応容器中に、ダイマージアミン(クローダジャパン社製「PRIAMINE1075」)46.0gをゆっくり添加した後、メチルシクロヘキサン45.0gを反応容器中に添加した。ディーンスタークトラップとコンデンサーとをフラスコに取り付け、混合物を2時間還流して熱し、両末端にダイマージアミン構造を有するイミド化合物を得た。次いで、無水マレイン酸8.7gを添加し、得られた混合物をさらに12時間還流して、マレイミド化を行った。次いで、反応終了後、イソプロパノールを添加し、再沈殿させた後、沈殿物を回収し、乾燥させた。このようにして、ダイマージアミンに由来する骨格を有し、かつ、ダイマージアミン以外のジアミン化合物に由来する骨格を有するビスマレイミド化合物(重量平均分子量8700)を得た。得られたビスマレイミド化合物は、主鎖の両末端にのみダイマージアミンに由来する骨格を有する。得られたビスマレイミド化合物の収率は70%であった。
(Synthesis Example 2)
55 g of pyromellitic dianhydride (manufactured by Tokyo Kasei Co., Ltd., molecular weight 254.15) and 300 g of cyclohexanone were placed in a reaction vessel equipped with a stirrer, a water divider, a thermometer and a nitrogen gas introduction tube, and the mixture was contained in the reaction vessel. The solution was heated to 60 ° C. Next, a solution prepared by dissolving 26.7 g of bis (aminomethyl) norbornane (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd., molecular weight 154.26) in cyclohexanone was added dropwise to the reaction vessel to react, and both ends were acid anhydrides. The reaction product was obtained. Then, isopropanol was added, and an imide compound having an acid anhydride at both ends was recovered. Then, the precipitate was dissolved in cyclohexanone again, 46.0 g of dimer diamine (“PRIAMINE 1075” manufactured by Claude Japan Co., Ltd.) was slowly added to the reaction vessel, and then 45.0 g of methylcyclohexane was added to the reaction vessel. A Dean-Stark trap and a condenser were attached to a flask, and the mixture was refluxed for 2 hours and heated to obtain an imide compound having a dimer diamine structure at both ends. Then, 8.7 g of maleic anhydride was added, and the obtained mixture was refluxed for another 12 hours to perform maleimideization. Then, after completion of the reaction, isopropanol was added and reprecipitated, and then the precipitate was collected and dried. In this way, a bismaleimide compound (weight average molecular weight 8700) having a skeleton derived from dimerdiamine and having a skeleton derived from a diamine compound other than diaminediamine was obtained. The obtained bismaleimide compound has a skeleton derived from dimer diamine only at both ends of the main chain. The yield of the obtained bismaleimide compound was 70%.

(合成例3)
撹拌機、分水器、温度計及び窒素ガス導入管を備えた反応容器に、ピロメリット酸二無水物(東京化成社製、分子量254.15)55gと、シクロヘキサノン300gとを入れ、反応容器中の溶液を60℃まで加熱した。次いで、反応容器中に、4,4’−メチレンビス(2−メチルシクロヘキシルアミン)(東京化成工業社製、分子量238.42)39.1gをシクロヘキサノンに溶解させた溶液を滴下して、反応させて、両末端が酸無水物である反応生成物を得た。その後、イソプロパノールを入れ、両末端が酸無水物のイミド化合物を回収した。次いで、沈殿物を再度シクロヘキサノンに溶解させ、反応容器中に、ダイマージアミン(クローダジャパン社製「PRIAMINE1075」)46.0gをゆっくり添加した後、メチルシクロヘキサン45.0gを反応容器中に添加した。ディーンスタークトラップとコンデンサーとをフラスコに取り付け、混合物を2時間還流に熱し、両末端にダイマージアミン構造を有するイミド化合物を得た。次いで、無水マレイン酸8.9gを添加し、得られた混合物をさらに12時間還流して、マレイミド化を行った。次いで、反応終了後、イソプロパノールを添加し、再沈殿させた後、沈殿物を回収し、乾燥させた。このようにして、ダイマージアミンに由来する骨格を有し、かつ、ダイマージアミン以外のジアミン化合物に由来する骨格を有するビスマレイミド化合物(重量平均分子量9800)を得た。得られたビスマレイミド化合物は、主鎖の両末端にのみダイマージアミンに由来する骨格を有する。得られたビスマレイミド化合物の収率は65%であった。
(Synthesis Example 3)
55 g of pyromellitic dianhydride (manufactured by Tokyo Kasei Co., Ltd., molecular weight 254.15) and 300 g of cyclohexanone were placed in a reaction vessel equipped with a stirrer, a water divider, a thermometer and a nitrogen gas introduction tube, and the mixture was contained in the reaction vessel. The solution was heated to 60 ° C. Next, a solution prepared by dissolving 39.1 g of 4,4'-methylenebis (2-methylcyclohexylamine) (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd., molecular weight 238.42) in cyclohexanone was added dropwise to the reaction vessel to react. , A reaction product was obtained in which both ends were acid anhydrides. Then, isopropanol was added, and an imide compound having an acid anhydride at both ends was recovered. Then, the precipitate was dissolved in cyclohexanone again, 46.0 g of dimer diamine (“PRIAMINE 1075” manufactured by Claude Japan Co., Ltd.) was slowly added to the reaction vessel, and then 45.0 g of methylcyclohexane was added to the reaction vessel. A Dean-Stark trap and a condenser were attached to a flask, and the mixture was heated to reflux for 2 hours to obtain an imide compound having a dimer diamine structure at both ends. Then, 8.9 g of maleic anhydride was added, and the obtained mixture was refluxed for another 12 hours to perform maleimideization. Then, after completion of the reaction, isopropanol was added and reprecipitated, and then the precipitate was collected and dried. In this way, a bismaleimide compound (weight average molecular weight 9800) having a skeleton derived from dimerdiamine and having a skeleton derived from a diamine compound other than diaminediamine was obtained. The obtained bismaleimide compound has a skeleton derived from dimer diamine only at both ends of the main chain. The yield of the obtained bismaleimide compound was 65%.

(合成例4)
撹拌機、分水器、温度計及び窒素ガス導入管を備えた反応容器に、テトラカルボン酸二無水物(SABICジャパン合同会社製「BisDA−1000」)135.0gと、シクロヘキサノン400gとを入れ、反応容器中の溶液を60℃まで加熱した。次いで、反応容器中に、1,3−ビスアミノメチルシクロヘキサン(三菱ガス化学社製、分子量142.25)17.5gを滴下して、反応させて、両末端が酸無水物である反応生成物を得た。次いで、反応容器中に、ダイマージアミン(クローダジャパン社製「PRIAMINE1075」)148gをゆっくり添加した後、メチルシクロヘキサン60.0gを反応容器中に添加した。ディーンスタークトラップとコンデンサーとをフラスコに取り付け、混合物を2時間還流に熱し、両末端にアミン構造を有するイミド化合物を得た。次いで、フェノールとパラホルムアルデヒドを添加し、得られた混合物をさらに12時間還流して、ベンゾオキサジン化を行った。反応終了後、イソプロパノールを添加し、再沈殿させた後、沈殿物を回収し、乾燥させた。このようにして、ダイマージアミンに由来する骨格を有し、かつ、ダイマージアミン以外のジアミン化合物に由来する骨格を有するベンゾオキサジン化合物(重量平均分子量11000)を得た。得られたベンゾオキサジン化合物の収率は83%であった。
(Synthesis Example 4)
135.0 g of tetracarboxylic dianhydride (“BisDA-1000” manufactured by SABIC Japan GK) and 400 g of cyclohexanone were placed in a reaction vessel equipped with a stirrer, a water divider, a thermometer and a nitrogen gas introduction tube. The solution in the reaction vessel was heated to 60 ° C. Next, 17.5 g of 1,3-bisaminomethylcyclohexane (manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Company, molecular weight 142.25) was added dropwise to the reaction vessel to cause a reaction, and the reaction product had acid anhydrides at both ends. Got Next, 148 g of dimer diamine (“PRIAMINE 1075” manufactured by Croda Japan) was slowly added to the reaction vessel, and then 60.0 g of methylcyclohexane was added to the reaction vessel. A Dean-Stark trap and a condenser were attached to the flask, and the mixture was heated to reflux for 2 hours to obtain an imide compound having an amine structure at both ends. Phenol and paraformaldehyde were then added and the resulting mixture was refluxed for an additional 12 hours for benzoxazine formation. After completion of the reaction, isopropanol was added and reprecipitated, and then the precipitate was collected and dried. In this way, a benzoxazine compound (weight average molecular weight 11000) having a skeleton derived from dimerdiamine and having a skeleton derived from a diamine compound other than diaminediamine was obtained. The yield of the obtained benzoxazine compound was 83%.

合成例1−3で合成したビスマレイミド化合物A1,A2,A3及び合成例4で合成したベンゾオキサジン化合物A1の重量平均分子量は、以下のようにして求めた。 The weight average molecular weights of the bismaleimide compounds A1, A2 and A3 synthesized in Synthesis Example 1-3 and the benzoxazine compound A1 synthesized in Synthesis Example 4 were determined as follows.

GPC(ゲルパーミエーションクロマトグラフィー)測定:
島津製作所社製高速液体クロマトグラフシステムを使用し、テトラヒドロフラン(THF)を展開媒として、カラム温度40℃、流速1.0ml/分で測定を行った。検出器として「SPD−10A」を用い、カラムはShodex社製「KF−804L」(排除限界分子量400,000)を2本直列につないで使用した。標準ポリスチレンとして、東ソー社製「TSKスタンダードポリスチレン」を用い、重量平均分子量Mw=354,000、189,000、98,900、37,200、17,100、9,830、5,870、2,500、1,050、500の物質を使用して較正曲線を作成し、分子量の計算を行った。
GPC (Gel Permeation Chromatography) Measurement:
A high performance liquid chromatograph system manufactured by Shimadzu Corporation was used, and measurement was carried out using tetrahydrofuran (THF) as a developing medium at a column temperature of 40 ° C. and a flow rate of 1.0 ml / min. "SPD-10A" was used as a detector, and two columns of "KF-804L" (exclusion limit molecular weight: 400,000) manufactured by Shodex were connected in series. Tosoh's "TSK standard polystyrene" is used as the standard polystyrene, and the weight average molecular weight Mw = 354,000, 189,000, 98,900, 37,200, 17,100, 9,830, 5,870, 2, Calibration curves were created using 500, 1,050, and 500 materials and the molecular weight was calculated.

得られたビスマレイミド化合物A1,A2,A3及びベンゾオキサジン化合物A1において、ダイマージアミン骨格が有する脂肪族環の数A1は1であった。得られたビスマレイミド化合物A1,A2,A3及びベンゾオキサジン化合物A1におけるダイマージアミン骨格において、一方のアミノ基を構成している窒素原子と他方のアミノ基を構成している窒素原子との間に存在する炭素原子のうち、芳香族環及び脂肪族環を構成していない炭素原子の数A2は16であった。下記式(3)にダイマージアミンに由来する骨格におけるマレイミドの構造の一例を示す。なお、ダイマージアミンは天然物(混合物)であるため、用いたダイマージアミンの全てが下記式(3)の構造を有するとは限らないが、A1とA2との合計である17と、後述するB1とB2とB3との合計とを比較しても、ビスマレイミド化合物の性状上、本発明の効果に影響を及ぼさない。 In the obtained bismaleimide compounds A1, A2 and A3 and the benzoxazine compound A1, the number A1 of the aliphatic rings of the dimerdiamine skeleton was 1. In the dimerdiamine skeleton of the obtained bismaleimide compound A1, A2, A3 and benzoxazine compound A1, it exists between the nitrogen atom constituting one amino group and the nitrogen atom constituting the other amino group. The number A2 of carbon atoms not constituting the aromatic ring and the aliphatic ring was 16. The following formula (3) shows an example of the structure of maleimide in the skeleton derived from dimer diamine. Since the dimer diamine is a natural product (mixture), not all of the dimer diamines used have the structure of the following formula (3), but 17 which is the total of A1 and A2 and B1 which will be described later Even if the sum of B2 and B3 is compared, the effect of the present invention is not affected due to the properties of the bismaleimide compound.

得られたビスマレイミド化合物A1において、ダイマージアミン以外のジアミン化合物に由来する骨格が有する芳香族環の数B1は0であり、脂肪族環の数B2は1であった。得られたビスマレイミド化合物A1におけるダイマージアミン以外のジアミン化合物に由来する骨格において、一方のアミノ基を構成している窒素原子と他方のアミノ基を構成している窒素原子との間に存在する炭素原子、窒素原子及び酸素原子のうち、芳香族環及び脂肪族環を構成していない炭素原子、窒素原子及び酸素原子の数B3は2であった。下記式(4)にダイマージアミン以外のジアミン化合物に由来する骨格の一例を示す。 In the obtained bismaleimide compound A1, the number B1 of aromatic rings contained in the skeleton derived from a diamine compound other than dimerdiamine was 0, and the number B2 of aliphatic rings was 1. In the skeleton derived from a diamine compound other than dimerdiamine in the obtained bismaleimide compound A1, carbon existing between the nitrogen atom constituting one amino group and the nitrogen atom constituting the other amino group. Among the atoms, nitrogen atoms and oxygen atoms, the number B3 of carbon atoms, nitrogen atoms and oxygen atoms that do not constitute an aromatic ring and an aliphatic ring was 2. The following formula (4) shows an example of a skeleton derived from a diamine compound other than dimer diamine.

Figure 0006805338
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Figure 0006805338
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得られたビスマレイミド化合物A2において、ダイマージアミン以外のジアミン化合物に由来する骨格が有する芳香族環の数B1は0であり、脂肪族環の数B2は1であった。得られたビスマレイミド化合物A2におけるダイマージアミン以外のジアミン化合物に由来する骨格において、一方のアミノ基を構成している窒素原子と他方のアミノ基を構成している窒素原子との間に存在する炭素原子、窒素原子及び酸素原子のうち、芳香族環及び脂肪族環を構成していない炭素原子、窒素原子及び酸素原子の数B3は2であった。 In the obtained bismaleimide compound A2, the number B1 of aromatic rings possessed by the skeleton derived from a diamine compound other than dimerdiamine was 0, and the number B2 of aliphatic rings was 1. In the skeleton derived from a diamine compound other than dimerdiamine in the obtained bismaleimide compound A2, carbon existing between the nitrogen atom constituting one amino group and the nitrogen atom constituting the other amino group. Among the atoms, nitrogen atoms and oxygen atoms, the number B3 of carbon atoms, nitrogen atoms and oxygen atoms which do not constitute an aromatic ring and an aliphatic ring was 2.

得られたビスマレイミド化合物A3において、ダイマージアミン以外のジアミン化合物に由来する骨格が有する芳香族環の数B1は0であり、脂肪族環の数B2は2であった。得られたビスマレイミド化合物A3におけるダイマージアミン以外のジアミン化合物に由来する骨格において、一方のアミノ基を構成している窒素原子と他方のアミノ基を構成している窒素原子との間に存在する炭素原子、窒素原子及び酸素原子のうち、芳香族環及び脂肪族環を構成していない炭素原子、窒素原子及び酸素原子の数B3は1であった。 In the obtained bismaleimide compound A3, the number B1 of aromatic rings contained in the skeleton derived from a diamine compound other than dimerdiamine was 0, and the number B2 of aliphatic rings was 2. In the skeleton derived from a diamine compound other than dimerdiamine in the obtained bismaleimide compound A3, carbon existing between the nitrogen atom constituting one amino group and the nitrogen atom constituting the other amino group. Among the atoms, nitrogen atoms and oxygen atoms, the number B3 of carbon atoms, nitrogen atoms and oxygen atoms that do not constitute an aromatic ring and an aliphatic ring was 1.

得られたベンゾオキサジン化合物A1において、ダイマージアミン以外のジアミン化合物に由来する骨格が有する芳香族環の数B1は0であり、脂肪族環の数B2は1であった。得られたベンゾオキサジン化合物A1におけるダイマージアミン以外のジアミン化合物に由来する骨格において、一方のアミノ基を構成している窒素原子と他方のアミノ基を構成している窒素原子との間に存在する炭素原子、窒素原子及び酸素原子のうち、芳香族環及び脂肪族環を構成していない炭素原子、窒素原子及び酸素原子の数B3は2であった。 In the obtained benzoxazine compound A1, the number B1 of aromatic rings contained in the skeleton derived from a diamine compound other than dimerdiamine was 0, and the number B2 of aliphatic rings was 1. In the skeleton derived from a diamine compound other than dimerdiamine in the obtained benzoxazine compound A1, carbon existing between the nitrogen atom constituting one amino group and the nitrogen atom constituting the other amino group. Among the atoms, nitrogen atoms and oxygen atoms, the number B3 of carbon atoms, nitrogen atoms and oxygen atoms which do not constitute an aromatic ring and an aliphatic ring was 2.

得られたビスマレイミド化合物A1,A2,A3及びベンゾオキサジン化合物A1の詳細を表1に示す。 Details of the obtained bismaleimide compounds A1, A2, A3 and benzoxazine compound A1 are shown in Table 1.

Figure 0006805338
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(その他)
N−アルキルビスマレイミド化合物1(Designer Molecules Inc.社製「BMI−1700」、軟化点60℃)
N−アルキルビスマレイミド化合物2(Designer Molecules Inc.社製「BMI−1500」)
N−フェニルマレイミド化合物(大和化成工業社製「BMI−4000」)
(Other)
N-alkylbismaleimide compound 1 (“BMI-1700” manufactured by Designer Moleculars Inc., softening point 60 ° C.)
N-alkylbismaleimide compound 2 (“BMI-1500” manufactured by Designer Molecules Inc.)
N-Phenylmaleimide compound ("BMI-4000" manufactured by Daiwa Kasei Kogyo Co., Ltd.)

(エポキシ化合物)
ビフェニル型エポキシ化合物(日本化薬社製「NC−3000」)
ナフタレン型エポキシ化合物(DIC社製「HP−4032D」)
レゾルシノールジグリシジルエーテル(ナガセケムテックス社製「EX−201」)
ジシクロペンタジエン型エポキシ化合物(アデカ社製「EP4088S」)
ナフトールアラルキル型エポキシ化合物(新日鐵住金化学社製「ESN−475V」)
(Epoxy compound)
Biphenyl type epoxy compound ("NC-3000" manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)
Naphthalene type epoxy compound ("HP-4032D" manufactured by DIC Corporation)
Resorcinol diglycidyl ether (“EX-201” manufactured by Nagase ChemteX Corporation)
Dicyclopentadiene type epoxy compound ("EP4088S" manufactured by ADEKA CORPORATION)
Naphthol aralkyl type epoxy compound ("ESN-475V" manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd.)

(無機充填材)
シリカ含有スラリー(シリカ75重量%:アドマテックス社製「SC4050−HOA」、平均粒径1.0μm、アミノシラン処理、シクロヘキサノン25重量%)
(Inorganic filler)
Silica-containing slurry (silica 75% by weight: "SC4050-HOA" manufactured by Admatex, average particle size 1.0 μm, aminosilane treatment, cyclohexanone 25% by weight)

(硬化剤)
成分X:
シアネートエステル化合物含有液(ロンザジャパン社製「BA−3000S」、固形分75重量%)
活性エステル化合物1含有液(DIC社製「EXB−9416−70BK」、固形分70重量%)
活性エステル化合物2含有液(DIC社製「HPC−8000L」、固形分65重量%)
活性エステル化合物3含有液(DIC社製「HPC−8150」、固形分62重量%)
フェノール化合物含有液(DIC社製「LA−1356」、固形分60重量%)
カルボジイミド化合物含有液(日清紡ケミカル社製「V−03」、固形分50重量%)
(Hardener)
Ingredient X:
Cyanate ester compound-containing liquid (Lonza Japan's "BA-3000S", solid content 75% by weight)
Liquid containing 1 active ester compound ("EXB-9416-70BK" manufactured by DIC Corporation, solid content 70% by weight)
Active ester compound 2 containing liquid (DIC Corporation "HPC-8000L", solid content 65% by weight)
Active ester compound 3 containing liquid (“HPC-8150” manufactured by DIC Corporation, solid content 62% by weight)
Phenol compound-containing liquid ("LA-1356" manufactured by DIC Corporation, solid content 60% by weight)
Carbodiimide compound-containing liquid ("V-03" manufactured by Nisshinbo Chemical Co., Ltd., solid content 50% by weight)

(硬化促進剤)
ジメチルアミノピリジン(和光純薬工業社製「DMAP」)
2−フェニル−4−メチルイミダゾール(四国化成工業社製「2P4MZ」)
2−エチル−4−メチルイミダゾール(四国化成工業社製「2E4MZ」)
ジクミルペルオキシド(東京化成工業社製)
(Curing accelerator)
Dimethylaminopyridine ("DMAP" manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.)
2-Phenyl-4-methylimidazole ("2P4MZ" manufactured by Shikoku Chemicals Corporation)
2-Ethyl-4-methylimidazole ("2E4MZ" manufactured by Shikoku Chemicals Corporation)
Dikmyl peroxide (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.)

(熱可塑性樹脂)
ポリイミド化合物(ポリイミド樹脂):
テトラカルボン酸二無水物とダイマージアミンとの反応物であるポリイミド化合物含有溶液(不揮発分26.8重量%)を以下の合成例5に従って合成した。
(Thermoplastic resin)
Polyimide compound (polyimide resin):
A polyimide compound-containing solution (nonvolatile content 26.8% by weight), which is a reaction product of tetracarboxylic dianhydride and dimer diamine, was synthesized according to the following Synthesis Example 5.

(合成例5)
撹拌機、分水器、温度計及び窒素ガス導入管を備えた反応容器に、テトラカルボン酸二無水物(SABICジャパン合同会社製「BisDA−1000」)300.0gと、シクロヘキサノン665.5gとを入れ、反応容器中の溶液を60℃まで加熱した。次いで、反応容器中に、ダイマージアミン(クローダジャパン社製「PRIAMINE1075」)89.0gと、1,3−ビスアミノメチルシクロヘキサン(三菱ガス化学社製)54.7gとを滴下した。次いで、反応容器中に、メチルシクロヘキサン121.0gと、エチレングリコールジメチルエーテル423.5gとを添加し、140℃で10時間かけてイミド化反応を行った。このようにして、ポリイミド化合物含有溶液(不揮発分26.8重量%)を得た。得られたポリイミド化合物の分子量(重量平均分子量)は20000であった。なお、酸成分/アミン成分のモル比は1.04であった。
(Synthesis Example 5)
300.0 g of tetracarboxylic dianhydride (“BisDA-1000” manufactured by SABIC Japan GK) and 665.5 g of cyclohexanone were placed in a reaction vessel equipped with a stirrer, a water divider, a thermometer and a nitrogen gas introduction tube. And the solution in the reaction vessel was heated to 60 ° C. Next, 89.0 g of dimer diamine (“PRIAMINE 1075” manufactured by Croda Japan) and 54.7 g of 1,3-bisaminomethylcyclohexane (manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Company) were added dropwise to the reaction vessel. Next, 121.0 g of methylcyclohexane and 423.5 g of ethylene glycol dimethyl ether were added to the reaction vessel, and an imidization reaction was carried out at 140 ° C. for 10 hours. In this way, a polyimide compound-containing solution (nonvolatile content 26.8% by weight) was obtained. The molecular weight (weight average molecular weight) of the obtained polyimide compound was 20000. The molar ratio of the acid component / amine component was 1.04.

合成例5で合成したポリイミド化合物の分子量は、以下のようにして求めた。 The molecular weight of the polyimide compound synthesized in Synthesis Example 5 was determined as follows.

GPC(ゲルパーミエーションクロマトグラフィー)測定:
島津製作所社製高速液体クロマトグラフシステムを使用し、テトラヒドロフラン(THF)を展開媒として、カラム温度40℃、流速1.0ml/分で測定を行った。検出器として「SPD−10A」を用い、カラムはShodex社製「KF−804L」(排除限界分子量400,000)を2本直列につないで使用した。標準ポリスチレンとして、東ソー社製「TSKスタンダードポリスチレン」を用い、重量平均分子量Mw=354,000、189,000、98,900、37,200、17,100、9,830、5,870、2,500、1,050、500の物質を使用して較正曲線を作成し、分子量の計算を行った。
GPC (Gel Permeation Chromatography) Measurement:
A high performance liquid chromatograph system manufactured by Shimadzu Corporation was used, and measurement was carried out using tetrahydrofuran (THF) as a developing medium at a column temperature of 40 ° C. and a flow rate of 1.0 ml / min. "SPD-10A" was used as a detector, and two columns of "KF-804L" (exclusion limit molecular weight: 400,000) manufactured by Shodex were connected in series. Tosoh's "TSK standard polystyrene" is used as the standard polystyrene, and the weight average molecular weight Mw = 354,000, 189,000, 98,900, 37,200, 17,100, 9,830, 5,870, 2, Calibration curves were created using 500, 1,050, and 500 materials and the molecular weight was calculated.

(実施例1〜17及び比較例1〜3)
下記の表2〜4に示す成分を下記の表2〜4に示す配合量(単位は固形分重量部)で配合し、均一な溶液となるまで常温で攪拌し、樹脂材料を得た。
(Examples 1 to 17 and Comparative Examples 1 to 3)
The components shown in Tables 2 to 4 below were blended in the blending amounts (unit: parts by weight of solid content) shown in Tables 2 to 4 below, and stirred at room temperature until a uniform solution was obtained to obtain a resin material.

樹脂フィルムの作製:
アプリケーターを用いて、離型処理されたPETフィルム(東レ社製「XG284」、厚み25μm)の離型処理面上に得られた樹脂材料を塗工した後、100℃のギアオーブン内で2分30秒間乾燥し、溶剤を揮発させた。このようにして、PETフィルム上に、厚さが40μmである樹脂フィルム(Bステージフィルム)が積層されている積層フィルム(PETフィルムと樹脂フィルムとの積層フィルム)を得た。
Preparation of resin film:
After applying the obtained resin material on the release-treated surface of the release-treated PET film (Toray Industries, Inc. "XG284", thickness 25 μm) using an applicator, 2 minutes in a gear oven at 100 ° C. It was dried for 30 seconds to volatilize the solvent. In this way, a laminated film (laminated film of PET film and resin film) in which a resin film (B stage film) having a thickness of 40 μm is laminated on the PET film was obtained.

(評価)
(1)誘電正接
得られた樹脂フィルムを幅2mm、長さ80mmの大きさに裁断して5枚を重ね合わせて、厚み200μmの積層体を得た。得られた積層体を190℃で90分間加熱して、硬化物を得た。得られた硬化物について、関東電子応用開発社製「空洞共振摂動法誘電率測定装置CP521」及びキーサイトテクノロジー社製「ネットワークアナライザーN5224A PNA」を用いて、空洞共振法で常温(23℃)にて、周波数1.0GHzにて誘電正接を測定した。
(Evaluation)
(1) Dielectric Dissipation Factor The obtained resin film was cut into a size of 2 mm in width and 80 mm in length, and five sheets were laminated to obtain a laminated body having a thickness of 200 μm. The obtained laminate was heated at 190 ° C. for 90 minutes to obtain a cured product. The obtained cured product was brought to room temperature (23 ° C) by the cavity resonance method using "Cavity Resonance Permittivity Measuring Device CP521" manufactured by Kanto Electronics Application Development Co., Ltd. and "Network Analyzer N5224A PNA" manufactured by Keysight Technology Co., Ltd. The dielectric loss tangent was measured at a frequency of 1.0 GHz.

(2)熱寸法安定性(平均線膨張係数(CTE))
得られた厚さ40μmの樹脂フィルム(Bステージフィルム)を190℃で90分間加熱して得られた硬化物を3mm×25mmの大きさに裁断した。熱機械的分析装置(エスアイアイ・ナノテクノロジー社製「EXSTAR TMA/SS6100」)を用いて、引っ張り荷重33mN及び昇温速度5℃/分の条件で、裁断された硬化物の25℃〜150℃までの平均線膨張係数(ppm/℃)を算出した。
(2) Thermal dimensional stability (coefficient of linear expansion (CTE))
The obtained resin film (B stage film) having a thickness of 40 μm was heated at 190 ° C. for 90 minutes, and the obtained cured product was cut into a size of 3 mm × 25 mm. A cured product cut at 25 ° C to 150 ° C using a thermomechanical analyzer (“EXSTAR TMA / SS6100” manufactured by SII Nanotechnology) under the conditions of a tensile load of 33 mN and a heating rate of 5 ° C / min. The coefficient of linear expansion (ppm / ° C.) up to was calculated.

[平均線膨張係数の判定基準]
○○:平均線膨張係数が25ppm/℃以下
○:平均線膨張係数が25ppm/℃を超え30ppm/℃以下
×:平均線膨張係数が30ppm/℃を超える
[Criteria for determining the coefficient of linear expansion]
○ ○: Average coefficient of linear expansion is 25 ppm / ° C or less ○: Average coefficient of linear expansion exceeds 25 ppm / ° C and is 30 ppm / ° C or less ×: Average coefficient of linear expansion exceeds 30 ppm / ° C

(3)絶縁層と金属層との密着性(ピール強度)
ラミネート工程:
両面銅張積層板(各面の銅箔の厚み18μm、基板の厚み0.7mm、基板サイズ100mm×100mm、日立化成社製「MCL−E679FG」)を用意した。この両面銅張積層板の銅箔面の両面をメック社製「Cz8101」に浸漬して、銅箔の表面を粗化処理した。粗化処理された銅張積層板の両面に、名機製作所社製「バッチ式真空ラミネーターMVLP−500−IIA」を用いて、積層フィルムの樹脂フィルム(Bステージフィルム)側を銅張積層板上に重ねてラミネートして、積層構造体を得た。ラミネートの条件は、30秒減圧して気圧を13hPa以下とし、その後30秒間、100℃及び圧力0.4MPaでプレスする条件とした。
(3) Adhesion between the insulating layer and the metal layer (peeling strength)
Laminating process:
A double-sided copper-clad laminate (copper foil thickness 18 μm on each side, substrate thickness 0.7 mm, substrate size 100 mm × 100 mm, “MCL-E679FG” manufactured by Hitachi Kasei Co., Ltd.) was prepared. Both sides of the copper foil surface of this double-sided copper-clad laminate were immersed in "Cz8101" manufactured by MEC to roughen the surface of the copper foil. Using "Batch type vacuum laminator MVLP-500-IIA" manufactured by Meiki Co., Ltd. on both sides of the roughened copper-clad laminate, the resin film (B stage film) side of the laminate is placed on the copper-clad laminate. It was laminated on top of each other to obtain a laminated structure. The laminating conditions were such that the pressure was reduced for 30 seconds to reduce the atmospheric pressure to 13 hPa or less, and then the pressure was pressed at 100 ° C. and a pressure of 0.4 MPa for 30 seconds.

フィルム剥離工程:
得られた積層構造体において、両面のPETフィルムを剥離した。
Film peeling process:
In the obtained laminated structure, the PET films on both sides were peeled off.

銅箔貼り付け工程:
銅箔(厚み35μm、三井金属社製)のシャイニー面をCz処理(メック社製「Cz8101」)して、銅箔表面を1μm程度エッチングした。PETフィルムを剥離した上記積層構造体に、エッチング処理した銅箔を貼り合せて、銅箔付き基板を得た。得られた銅箔付き基板をギアオーブン内で190℃で90分間熱処理し、評価サンプルを得た。
Copper foil pasting process:
The shiny surface of the copper foil (thickness 35 μm, manufactured by Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd.) was subjected to Cz treatment (“Cz8101” manufactured by MEC), and the surface of the copper foil was etched by about 1 μm. An etched copper foil was bonded to the laminated structure from which the PET film had been peeled off to obtain a substrate with a copper foil. The obtained substrate with copper foil was heat-treated in a gear oven at 190 ° C. for 90 minutes to obtain an evaluation sample.

(3−1)室温環境下におけるピール強度の測定(密着性):
評価サンプルの銅箔の表面に1cm幅の短冊状の切込みを入れた。90°剥離試験機(テスター産業社製「TE−3001」)に評価サンプルをセットし、つかみ具で切込みの入った銅箔の端部をつまみあげ、銅箔を20mm剥離して剥離強度(ピール強度)を測定した。
(3-1) Measurement of peel strength in room temperature environment (adhesion):
A strip-shaped notch with a width of 1 cm was made on the surface of the copper foil of the evaluation sample. Set the evaluation sample on a 90 ° peeling tester (“TE-3001” manufactured by Tester Sangyo Co., Ltd.), pick up the end of the notched copper foil with a grasper, peel the copper foil by 20 mm, and peel strength (peel). Strength) was measured.

[室温環境下におけるピール強度の判定基準]
○○:ピール強度が0.6kgf以上
○:ピール強度が0.4kgf以上0.6kgf未満
×:ピール強度が0.4kgf未満
[Criteria for peel strength in room temperature environment]
○ ○: Peel strength is 0.6 kgf or more ○: Peel strength is 0.4 kgf or more and less than 0.6 kgf ×: Peel strength is less than 0.4 kgf

(3−2)高温(260℃)環境下におけるピール強度の測定:
評価サンプルの銅箔の表面に1cm幅の短冊状の切込みを入れた。90°剥離試験機(テスター産業社製「TE−3001」)の評価サンプルをセットする箇所に加熱ユニットを設置した後、評価サンプルをセットし、加熱ユニットを260℃に設定した。その後、つかみ具で切込みの入った銅箔の端部をつまみあげ、銅箔を20mm剥離して剥離強度(ピール強度)を測定した。
(3-2) Measurement of peel strength under high temperature (260 ° C) environment:
A strip-shaped notch with a width of 1 cm was made on the surface of the copper foil of the evaluation sample. After installing the heating unit at the place where the evaluation sample of the 90 ° peeling tester (“TE-3001” manufactured by Tester Sangyo Co., Ltd.) was set, the evaluation sample was set and the heating unit was set to 260 ° C. Then, the end portion of the notched copper foil was picked up with a gripper, the copper foil was peeled off by 20 mm, and the peel strength (peel strength) was measured.

[高温(260℃)環境下におけるピール強度の判定基準]
○○:ピール強度が0.1kgf以上
○:ピール強度が0.05kgf以上0.1kgf未満
×:ピール強度が0.05kgf未満
[Criteria for determining peel strength in a high temperature (260 ° C) environment]
○ ○: Peel strength is 0.1 kgf or more ○: Peel strength is 0.05 kgf or more and less than 0.1 kgf ×: Peel strength is less than 0.05 kgf

(4)エッチング後の表面粗度(表面粗さ)
ラミネート工程及び半硬化処理:
両面銅張積層板(CCL基板)(日立化成社製「E679FG」)を用意した。この両面銅張積層板の銅箔面の両面をメック社製「Cz8101」に浸漬して、銅箔の表面を粗化処理した。粗化処理された銅張積層板の両面に、名機製作所社製「バッチ式真空ラミネーターMVLP−500−IIA」を用いて、積層フィルムの樹脂フィルム(Bステージフィルム)側を銅張積層板上に重ねてラミネートして、積層構造体を得た。ラミネートの条件は、30秒減圧して気圧を13hPa以下とし、その後30秒間、100℃及び圧力0.4MPaでプレスする条件とした。その後、180℃で30分間加熱し、樹脂フィルムを半硬化させた。このようにして、CCL基板に樹脂フィルムの半硬化物が積層されている積層体を得た。
(4) Surface roughness after etching (surface roughness)
Laminating process and semi-hardening process:
A double-sided copper-clad laminate (CCL substrate) (“E679FG” manufactured by Hitachi Kasei Co., Ltd.) was prepared. Both sides of the copper foil surface of this double-sided copper-clad laminate were immersed in "Cz8101" manufactured by MEC to roughen the surface of the copper foil. Using "Batch type vacuum laminator MVLP-500-IIA" manufactured by Meiki Co., Ltd. on both sides of the roughened copper-clad laminate, the resin film (B stage film) side of the laminate is placed on the copper-clad laminate. It was laminated on top of each other to obtain a laminated structure. The laminating conditions were such that the pressure was reduced for 30 seconds to reduce the atmospheric pressure to 13 hPa or less, and then the pressure was pressed at 100 ° C. and a pressure of 0.4 MPa for 30 seconds. Then, the resin film was semi-cured by heating at 180 ° C. for 30 minutes. In this way, a laminated body in which a semi-cured resin film was laminated on the CCL substrate was obtained.

粗化処理:
(a)膨潤処理:
60℃の膨潤液(アトテックジャパン社製「スウェリングディップセキュリガントP」)に、得られた積層体を入れて、10分間揺動させた。その後、純水で洗浄した。
Roughening process:
(A) Swelling treatment:
The obtained laminate was placed in a swelling solution at 60 ° C. (“Swelling Dip Securigant P” manufactured by Atotech Japan) and shaken for 10 minutes. Then, it was washed with pure water.

(b)過マンガン酸塩処理(粗化処理及びデスミア処理):
70℃の過マンガン酸カリウム(アトテックジャパン社製「コンセントレートコンパクトCP」)粗化水溶液に、膨潤処理後の積層体を入れて、30分間揺動させた。次に、25℃の洗浄液(アトテックジャパン社製「リダクションセキュリガントP」)を用いて2分間処理した後、純水で洗浄を行い、評価サンプルを得た。
(B) Permanganate treatment (roughening treatment and desmear treatment):
The swelled laminate was placed in a crude aqueous solution of potassium permanganate (“Concentrate Compact CP” manufactured by Atotech Japan) at 70 ° C. and shaken for 30 minutes. Next, the mixture was treated with a cleaning solution at 25 ° C. (“Reduction Securigant P” manufactured by Atotech Japan) for 2 minutes, and then washed with pure water to obtain an evaluation sample.

表面粗さの測定:
評価サンプル(粗化処理された硬化物)の表面について、非接触3次元表面形状測定装置(Veeco社製「WYKO NT1100」)を用いて、94μm×123μmの測定領域で算術平均粗さRaを測定した。なお、上記算術平均粗さRaは、JIS B0601:1994に準拠して測定した。表面粗さを以下の基準で判定した。
Measurement of surface roughness:
Arithmetic mean roughness Ra was measured on the surface of the evaluation sample (roughened cured product) in a measurement area of 94 μm × 123 μm using a non-contact three-dimensional surface shape measuring device (“WYKO NT1100” manufactured by Veeco). did. The arithmetic mean roughness Ra was measured according to JIS B0601: 1994. The surface roughness was judged according to the following criteria.

[表面粗さの判定基準]
○○:Raが50nm未満
〇:Raが50nm以上200nm未満
×:Raが200nm以上
[Criteria for surface roughness]
○○: Ra is less than 50 nm ○: Ra is 50 nm or more and less than 200 nm ×: Ra is 200 nm or more

(5)メッキピール強度
無電解めっき処理:
(4)表面粗さの評価で得られた粗化処理された硬化物の表面を、60℃のアルカリクリーナ(アトテックジャパン社製「クリーナーセキュリガント902」)で5分間処理し、脱脂洗浄した。洗浄後、上記硬化物を25℃のプリディップ液(アトテックジャパン社製「プリディップネオガントB」)で2分間処理した。その後、上記硬化物を40℃のアクチベーター液(アトテックジャパン社製「アクチベーターネオガント834」)で5分間処理し、パラジウム触媒を付けた。次に、30℃の還元液(アトテックジャパン社製「リデューサーネオガントWA」)により、硬化物を5分間処理した。
(5) Plating peel strength Electroless plating treatment:
(4) The surface of the roughened cured product obtained by the evaluation of surface roughness was treated with an alkaline cleaner at 60 ° C. (“Cleaner Securigant 902” manufactured by Atotech Japan Co., Ltd.) for 5 minutes, and degreased and washed. After washing, the cured product was treated with a predip solution at 25 ° C. (“Predip Neogant B” manufactured by Atotech Japan) for 2 minutes. Then, the cured product was treated with an activator solution at 40 ° C. (“Activator Neogant 834” manufactured by Atotech Japan Co., Ltd.) for 5 minutes, and a palladium catalyst was attached. Next, the cured product was treated with a reducing solution at 30 ° C. (“Reducer Neogant WA” manufactured by Atotech Japan) for 5 minutes.

次に、上記硬化物を化学銅液(アトテックジャパン社製「ベーシックプリントガントMSK−DK」、「カッパープリントガントMSK」、「スタビライザープリントガントMSK」、及び「リデューサーCu」)に入れ、無電解めっきをめっき厚さが0.5μm程度になるまで実施した。無電解めっき後に、残留している水素ガスを除去するため、120℃の温度で30分間アニール処理した。なお、無電解めっきの工程までの全ての工程は、ビーカースケールで処理液を2Lとし、硬化物を揺動させながら実施した。 Next, the cured product was placed in a chemical copper solution (Atotech Japan's "Basic Print Gantt MSK-DK", "Copper Print Gantt MSK", "Stabilizer Print Gantt MSK", and "Reducer Cu") and electroless plated. Was carried out until the plating thickness became about 0.5 μm. After electroless plating, annealing treatment was performed at a temperature of 120 ° C. for 30 minutes in order to remove residual hydrogen gas. All the steps up to the electroless plating step were carried out with a beaker scale containing 2 L of the treatment liquid and shaking the cured product.

電解めっき処理:
次に、無電解めっき処理された硬化物に、電解めっきをめっき厚さが25μmとなるまで実施した。電解銅めっきとして硫酸銅溶液(和光純薬工業社製「硫酸銅五水和物」、和光純薬工業社製「硫酸」、アトテックジャパン社製「ベーシックレベラーカパラシド HL」、アトテックジャパン社製「補正剤カパラシド GS」)を用いて、0.6A/cmの電流を流しめっき厚さが25μm程度となるまで電解めっきを実施した。銅めっき処理後、硬化物を190℃で90分間加熱し、硬化物を更に硬化させた。このようにして、銅めっき層が上面に積層された硬化物を得た。
Electroplating:
Next, electroless plating was performed on the cured product that had been electroless plated until the plating thickness became 25 μm. Copper sulfate solution for electrolytic copper plating ("Copper sulfate pentahydrate" manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd., "Sulfate" manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd., "Basic leveler capallaside HL" manufactured by Atotech Japan, "Basic leveler capallaside HL" manufactured by Atotech Japan. Using the corrective agent Capalacid GS ”), electrolytic plating was carried out by passing a current of 0.6 A / cm 2 until the plating thickness became about 25 μm. After the copper plating treatment, the cured product was heated at 190 ° C. for 90 minutes to further cure the cured product. In this way, a cured product in which the copper plating layer was laminated on the upper surface was obtained.

メッキピール強度の測定:
得られた銅めっき層が上面に積層された硬化物の銅めっき層の表面に0.5cm幅の短冊状の切込みを入れた。90°剥離試験機(テスター産業社製「TE−3001」)に銅めっき層が上面に積層された硬化物をセットし、つかみ具で切込みの入った銅めっき層の端部をつまみあげ、銅めっき層を15mm剥離して剥離強度(メッキピール強度)を測定した。
Measurement of plating peel strength:
A strip-shaped notch with a width of 0.5 cm was made on the surface of the copper plating layer of the cured product in which the obtained copper plating layer was laminated on the upper surface. Set the cured product with the copper plating layer laminated on the upper surface in a 90 ° peeling tester ("TE-3001" manufactured by Tester Sangyo Co., Ltd.), pick up the end of the notched copper plating layer with a grip, and copper. The plating layer was peeled off by 15 mm and the peeling strength (plating peel strength) was measured.

[メッキピール強度の判定基準]
○○:メッキピール強度が0.5kgf以上
〇:メッキピール強度が0.3kgf以上0.5kgf未満
×:メッキピール強度が0.3kgf未満
[Criteria for plating peel strength]
○ ○: Plating peel strength is 0.5 kgf or more 〇: Plating peel strength is 0.3 kgf or more and less than 0.5 kgf ×: Plating peel strength is less than 0.3 kgf

組成及び結果を下記の表2〜4に示す。なお、表2〜4中、各成分の含有量は、純分量(固形分重量部)で記載した。 The composition and results are shown in Tables 2-4 below. In Tables 2 to 4, the content of each component is shown in terms of net content (parts by weight of solid content).

Figure 0006805338
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Figure 0006805338
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Figure 0006805338
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11…多層プリント配線板
12…回路基板
12a…上面
13〜16…絶縁層
17…金属層
11 ... Multi-layer printed wiring board 12 ... Circuit board 12a ... Top surface 13-16 ... Insulation layer 17 ... Metal layer

Claims (16)

ダイマージアミンに由来する骨格を有し、かつ、ダイマージアミン以外のジアミン化合物に由来する骨格を有するビスマレイミド化合物及びダイマージアミンに由来する骨格を有し、かつ、ダイマージアミン以外のジアミン化合物に由来する骨格を有するベンゾオキサジン化合物の内の少なくとも一方の化合物Aと、
無機充填材(但し、導電性無機充填材を除く)とを含み、
前記ダイマージアミン以外のジアミン化合物に由来する骨格におけるアミノ基間の距離が、前記ダイマージアミンに由来する骨格におけるアミノ基間の距離よりも短く、
樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、前記無機充填材の含有量が50重量%以上90重量%以下である、樹脂材料。
A bismaleimide compound having a skeleton derived from dimerdiamine and a skeleton derived from a diamine compound other than diaminediamine, and a skeleton having a skeleton derived from dimerdiamine and derived from a diamine compound other than diaminediamine. At least one of the benzoxazine compounds having compound A and
Including inorganic fillers (excluding conductive inorganic fillers)
The distance between amino groups in the skeleton derived from a diamine compound other than the dimer diamine is shorter than the distance between amino groups in the skeleton derived from the dimer diamine.
A resin material in which the content of the inorganic filler is 50% by weight or more and 90% by weight or less in 100% by weight of the components excluding the solvent in the resin material.
前記化合物Aが、主鎖の両末端に前記ダイマージアミンに由来する骨格を有する、請求項に記載の樹脂材料。 The resin material according to claim 1 , wherein the compound A has a skeleton derived from the dimer diamine at both ends of the main chain. 前記化合物Aが、主鎖の両末端にのみ前記ダイマージアミンに由来する骨格を有する、請求項1又は2に記載の樹脂材料。 The resin material according to claim 1 or 2 , wherein the compound A has a skeleton derived from the dimer diamine only at both ends of the main chain. 前記化合物Aの分子量が20000未満である、請求項1〜のいずれか1項に記載の樹脂材料。 The resin material according to any one of claims 1 to 3 , wherein the compound A has a molecular weight of less than 20000. 前記無機充填材の平均粒径が1μm以下である、請求項1〜のいずれか1項に記載の樹脂材料。 The resin material according to any one of claims 1 to 4 , wherein the average particle size of the inorganic filler is 1 μm or less. 前記無機充填材がシリカである、請求項1〜のいずれか1項に記載の樹脂材料。 The resin material according to any one of claims 1 to 5 , wherein the inorganic filler is silica. ダイマージアミンに由来する骨格を有さないマレイミド化合物を含む、請求項1〜のいずれか1項に記載の樹脂材料。 The resin material according to any one of claims 1 to 6 , which contains a maleimide compound having no skeleton derived from a dimer diamine. 前記化合物Aが、前記ダイマージアミンに由来する骨格を有し、かつ、ダイマージアミン以外のジアミン化合物に由来する骨格を有するビスマレイミド化合物を含み、
前記ダイマージアミンに由来する骨格を有し、かつ、ダイマージアミン以外のジアミン化合物に由来する骨格を有するビスマレイミド化合物が、主鎖の両末端にのみダイマージアミンに由来する骨格を有する第1のビスマレイミド化合物と、主鎖の両末端以外の骨格内にダイマージアミンに由来する骨格を有し、かつイミド骨格を2個以上有する第2のビスマレイミド化合物とを含む、請求項1〜のいずれか1項に記載の樹脂材料。
The compound A contains a bismaleimide compound having a skeleton derived from the dimer diamine and having a skeleton derived from a diamine compound other than dimer diamine.
A first bismaleimide compound having a skeleton derived from the diamine diamine and having a skeleton derived from a diamine compound other than the diamine diamine has a skeleton derived from the diamine diamine only at both ends of the main chain. Any 1 of claims 1 to 7 , which comprises a compound and a second bismaleimide compound having a skeleton derived from diamine diamine in a skeleton other than both ends of the main chain and having two or more imide skeletons. The resin material described in the section.
エポキシ化合物と、
フェノール化合物、シアネートエステル化合物、酸無水物、活性エステル化合物、カルボジイミド化合物、及びダイマージアミンに由来する骨格を有さないベンゾオキサジン化合物の内の少なくとも1種の成分を含む硬化剤とを含む、請求項1〜のいずれか1項に記載の樹脂材料。
Epoxy compounds and
A claim comprising a phenol compound, a cyanate ester compound, an acid anhydride, an active ester compound, a carbodiimide compound, and a curing agent containing at least one component of a skeletonless benzoxazine compound derived from dimerdiamine. The resin material according to any one of 1 to 8 .
硬化促進剤を含み、
前記硬化促進剤がアニオン性硬化促進剤を含む、請求項1〜のいずれか1項に記載の樹脂材料。
Contains a curing accelerator,
The resin material according to any one of claims 1 to 9 , wherein the curing accelerator contains an anionic curing accelerator.
前記アニオン性硬化促進剤が、イミダゾール化合物である、請求項10に記載の樹脂材料。 The resin material according to claim 10 , wherein the anionic curing accelerator is an imidazole compound. 前記硬化促進剤100重量%中、前記アニオン性硬化促進剤の含有量が20重量%以上である、請求項10又は11に記載の樹脂材料。 The resin material according to claim 10 or 11 , wherein the content of the anionic curing accelerator is 20% by weight or more in 100% by weight of the curing accelerator. 樹脂フィルムである、請求項1〜12のいずれか1項に記載の樹脂材料。 The resin material according to any one of claims 1 to 12 , which is a resin film. 金属層を表面に有する積層対象部材と、前記金属層の表面上に積層された樹脂フィルムとを備え、
前記樹脂フィルムが、請求項1〜13のいずれか1項に記載の樹脂材料である、積層構造体。
A member to be laminated having a metal layer on its surface and a resin film laminated on the surface of the metal layer are provided.
A laminated structure in which the resin film is the resin material according to any one of claims 1 to 13 .
前記金属層の材料が銅である、請求項14に記載の積層構造体。 The laminated structure according to claim 14 , wherein the material of the metal layer is copper. 回路基板と、
前記回路基板の表面上に配置された複数の絶縁層と、
複数の前記絶縁層間に配置された金属層とを備え、
複数の前記絶縁層の内の少なくとも1層が、請求項1〜13のいずれか1項に記載の樹脂材料の硬化物である、多層プリント配線板。
With the circuit board
A plurality of insulating layers arranged on the surface of the circuit board,
With a plurality of metal layers arranged between the insulating layers,
A multilayer printed wiring board in which at least one of the plurality of insulating layers is a cured product of the resin material according to any one of claims 1 to 13 .
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