JP2022001615A - Resin material and multilayer print circuit board - Google Patents

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悠子 川原
Yuko Kawahara
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Abstract

To provide a resin material which can 1) improve storage stability, 2) be cured well, and 3) make a dielectric loss tangent of a cured product smaller.SOLUTION: A resin material according to the present invention comprises: a first curable compound having a group represented by the following formula (1) and a curing agent, where a glass transition temperature of the first curable compound is less than 75°C. In the formula (1), R1 represents an alkyl group and R2 represents a hydrogen atom or an alkyl group.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、硬化性化合物と硬化促進剤とを含む樹脂材料に関する。また、本発明は、上記樹脂材料を用いた多層プリント配線板に関する。 The present invention relates to a resin material containing a curable compound and a curing accelerator. The present invention also relates to a multilayer printed wiring board using the above resin material.

従来、半導体装置、積層板及びプリント配線板等の電子部品を得るために、様々な樹脂材料が用いられている。例えば、多層プリント配線板では、内部の層間を絶縁するための絶縁層を形成したり、表層部分に位置する絶縁層を形成したりするために、樹脂材料が用いられている。上記絶縁層の表面には、一般に金属である配線が積層される。また、上記絶縁層を形成するために、上記樹脂材料がフィルム化された樹脂フィルムが用いられることがある。上記樹脂材料及び上記樹脂フィルムは、ビルドアップフィルムを含む多層プリント配線板用の絶縁材料等として用いられている。 Conventionally, various resin materials have been used to obtain electronic components such as semiconductor devices, laminated boards and printed wiring boards. For example, in a multilayer printed wiring board, a resin material is used to form an insulating layer for insulating the internal layers and to form an insulating layer located on a surface layer portion. Wiring, which is generally metal, is laminated on the surface of the insulating layer. Further, in order to form the insulating layer, a resin film obtained by forming the resin material into a film may be used. The resin material and the resin film are used as an insulating material for a multilayer printed wiring board including a build-up film.

下記の特許文献1には、エポキシ樹脂(A)と、イミダゾール化合物(b1)及びカルボン酸無水物(b2)の塩(B)とを含有する樹脂組成物が開示されている。特許文献1には、この樹脂組成物の硬化物を、多層プリント配線板等の絶縁層として用いることができることが記載されている。 Patent Document 1 below discloses a resin composition containing an epoxy resin (A) and a salt (B) of an imidazole compound (b1) and a carboxylic acid anhydride (b2). Patent Document 1 describes that a cured product of this resin composition can be used as an insulating layer for a multilayer printed wiring board or the like.

特開2018−62570号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2018-62570

ガラス転移温度が比較的低い化合物と、硬化促進剤とを含む樹脂材料では、樹脂材料の保存時に硬化反応が進行することがある。樹脂材料の保存安定性を高めるために、反応性の小さい硬化性官能基を有する化合物を用いることが考えられる。しかしながら、反応性の小さい硬化性官能基を有する化合物を単に用いた場合には、樹脂材料を良好に硬化させることができなかったり、樹脂材料の硬化物の誘電正接が大きくなったりする。 In a resin material containing a compound having a relatively low glass transition temperature and a curing accelerator, a curing reaction may proceed during storage of the resin material. In order to improve the storage stability of the resin material, it is conceivable to use a compound having a curable functional group having low reactivity. However, when a compound having a curable functional group having a small reactivity is simply used, the resin material cannot be cured satisfactorily, or the dielectric loss tangent of the cured product of the resin material becomes large.

ガラス転移温度が比較的低い化合物と、硬化促進剤とを含む樹脂材料において、保存安定性を高め、硬化性を高め、かつ硬化物の誘電正接を小さくすることは困難である。 In a resin material containing a compound having a relatively low glass transition temperature and a curing accelerator, it is difficult to improve storage stability, improve curability, and reduce the dielectric loss tangent of the cured product.

本発明の目的は、1)保存安定性を高めることができ、2)良好に硬化させることができ、3)硬化物の誘電正接を小さくすることができる樹脂材料を提供することである。また、本発明は、上記樹脂材料を用いた多層プリント配線板を提供することも目的とする。 An object of the present invention is to provide a resin material capable of 1) enhancing storage stability, 2) being able to be cured satisfactorily, and 3) being able to reduce the dielectric loss tangent of the cured product. It is also an object of the present invention to provide a multilayer printed wiring board using the above resin material.

本発明の広い局面によれば、下記式(1)で表される基を有する第1の硬化性化合物と、硬化促進剤とを含み、前記第1の硬化性化合物のガラス転移温度が、75℃未満である、樹脂材料が提供される。 According to a broad aspect of the present invention, the first curable compound having a group represented by the following formula (1) and a curing accelerator are contained, and the glass transition temperature of the first curable compound is 75. Resin materials that are below ° C are provided.

Figure 2022001615
Figure 2022001615

前記式(1)中、Rは、アルキル基を表し、Rは、水素原子又はアルキル基を表す。 In the formula (1), R 1 represents an alkyl group and R 2 represents a hydrogen atom or an alkyl group.

本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記第1の硬化性化合物が、前記式(1)で表される基を2個以上有する。 In a specific aspect of the resin material according to the present invention, the first curable compound has two or more groups represented by the formula (1).

本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記第1の硬化性化合物が、ダイマージアミンに由来する骨格を有する。 In certain aspects of the resin material according to the invention, the first curable compound has a skeleton derived from dimerdiamine.

本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記第1の硬化性化合物が、下記式(11)で表される化合物である。 In a specific aspect of the resin material according to the present invention, the first curable compound is a compound represented by the following formula (11).

Figure 2022001615
Figure 2022001615

前記式(11)中、Rは、炭素数6以上10以下の直鎖状の炭化水素基を表し、Rは、炭素数6以上10以下の直鎖状の炭化水素基を表し、Rは、炭素数6以上10以下の直鎖状の炭化水素基を表し、Rは、炭素数6以上10以下の直鎖状の炭化水素基を表す。前記式(11)中、RとRとRとRとの炭素数の合計は30である。 In the formula (11), R 1 represents a linear hydrocarbon group having 6 or more and 10 or less carbon atoms, and R 2 represents a linear hydrocarbon group having 6 or more and 10 or less carbon atoms. 3 represents a straight-chain hydrocarbon group having 6 to 10 carbon atoms, R 4 represents a straight-chain hydrocarbon group having 6 to 10 carbon atoms. In the above formula (11), the total number of carbon atoms of R 1 , R 2 , R 3 and R 4 is 30.

本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記硬化促進剤が、アニオン性硬化促進剤である。 In certain aspects of the resin material according to the present invention, the curing accelerator is an anionic curing accelerator.

本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記アニオン性硬化促進剤が、ジメチルアミノピリジンである。 In certain aspects of the resin material according to the present invention, the anionic curing accelerator is dimethylaminopyridine.

本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記硬化促進剤が、ラジカル性硬化促進剤である。 In certain aspects of the resin material according to the present invention, the curing accelerator is a radical curing accelerator.

本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記樹脂材料は、熱硬化性化合物をさらに含み、前記熱硬化性化合物が、ビスマレイミド化合物を含み、前記ビスマレイミド化合物のガラス転移温度が、75℃以上である。 In certain aspects of the resin material according to the invention, the resin material further comprises a thermosetting compound, the thermosetting compound comprises a bismaleimide compound, and the bismaleimide compound has a glass transition temperature of 75. It is above ℃.

本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記ビスマレイミド化合物が、イミド結合を有する構造単位を、繰り返し構造単位として有する。 In certain aspects of the resin material according to the present invention, the bismaleimide compound has a structural unit having an imide bond as a repeating structural unit.

本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記熱硬化性化合物が、ビスマレイミド化合物以外の熱硬化性化合物をさらに含む。 In certain aspects of the resin material according to the present invention, the thermosetting compound further comprises a thermosetting compound other than the bismaleimide compound.

本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記熱硬化性化合物が、ビニル化合物又はエポキシ化合物を含む。 In certain aspects of the resin material according to the invention, the thermosetting compound comprises a vinyl compound or an epoxy compound.

本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記樹脂材料は、硬化剤を含み、前記硬化剤が、フェノール化合物と活性エステル化合物とを含む。 In certain aspects of the resin material according to the invention, the resin material comprises a curing agent, wherein the curing agent comprises a phenol compound and an active ester compound.

本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記樹脂材料は、充填材を含む。 In certain aspects of the resin material according to the invention, the resin material comprises a filler.

本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記充填材が、絶縁性充填材である。 In certain aspects of the resin material according to the present invention, the filler is an insulating filler.

本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記樹脂材料は、樹脂フィルムである。 In certain aspects of the resin material according to the present invention, the resin material is a resin film.

本発明に係る樹脂材料は、多層プリント配線板において、絶縁層を形成するために好適に用いられる。 The resin material according to the present invention is suitably used for forming an insulating layer in a multilayer printed wiring board.

本発明の広い局面によれば、回路基板と、前記回路基板の表面上に配置された複数の絶縁層と、複数の前記絶縁層間に配置された金属層とを備え、複数の前記絶縁層の内の少なくとも1層が、上述した樹脂材料の硬化物である、多層プリント配線板が提供される。 According to a broad aspect of the present invention, a circuit board, a plurality of insulating layers arranged on the surface of the circuit board, and a metal layer arranged between the plurality of insulating layers are provided, and the plurality of insulating layers are provided. A multilayer printed wiring board is provided in which at least one of the layers is a cured product of the resin material described above.

本発明に係る樹脂材料は、上記式(1)で表される基を有する第1の硬化性化合物と、硬化促進剤とを含み、上記第1の硬化性化合物のガラス転移温度が、75℃未満である。本発明に係る樹脂材料では、上記の構成が備えられているので、1)保存安定性を高めることができ、2)良好に硬化させることができ、3)硬化物の誘電正接を小さくすることができる。 The resin material according to the present invention contains a first curable compound having a group represented by the above formula (1) and a curing accelerator, and the glass transition temperature of the first curable compound is 75 ° C. Is less than. Since the resin material according to the present invention has the above-mentioned structure, 1) storage stability can be improved, 2) good curing can be performed, and 3) the dielectric loss tangent of the cured product can be reduced. Can be done.

図1は、本発明の一実施形態に係る樹脂材料を用いた多層プリント配線板を模式的に示す断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view schematically showing a multilayer printed wiring board using a resin material according to an embodiment of the present invention.

以下、本発明を詳細に説明する。 Hereinafter, the present invention will be described in detail.

本発明に係る樹脂材料は、下記式(1)で表される基を有する第1の硬化性化合物と、硬化促進剤とを含む。上記第1の硬化性化合物のガラス転移温度は、75℃未満である。 The resin material according to the present invention contains a first curable compound having a group represented by the following formula (1) and a curing accelerator. The glass transition temperature of the first curable compound is less than 75 ° C.

Figure 2022001615
Figure 2022001615

上記式(1)中、Rは、アルキル基を表し、Rは、水素原子又はアルキル基を表す。 In the above formula (1), R 1 represents an alkyl group, and R 2 represents a hydrogen atom or an alkyl group.

本発明に係る樹脂材料では、上記の構成が備えられているので、1)保存安定性を高めることができ、2)良好に硬化させることができ、3)硬化物の誘電正接を小さくすることができる。本発明に係る樹脂材料では、ガラス転移温度が比較的小さい第1の硬化性化合物と硬化促進剤とを用いているにもかかわらず、上記の1)−3)の効果を全て発揮することができる。 Since the resin material according to the present invention has the above-mentioned structure, 1) storage stability can be improved, 2) good curing can be performed, and 3) the dielectric loss tangent of the cured product can be reduced. Can be done. In the resin material according to the present invention, all the effects of 1) -3) above can be exhibited even though the first curable compound having a relatively small glass transition temperature and the curing accelerator are used. can.

また、本発明に係る樹脂材料では、基板等の凹凸表面に対する樹脂材料の埋め込み性を高めることができる。さらに、本発明に係る樹脂材料では、エッチング後の表面粗度を小さくすることができる。 Further, the resin material according to the present invention can enhance the embedding property of the resin material in the uneven surface of a substrate or the like. Further, in the resin material according to the present invention, the surface roughness after etching can be reduced.

本発明に係る樹脂材料は、樹脂組成物であってもよく、樹脂フィルムであってもよい。上記樹脂組成物は、流動性を有する。上記樹脂組成物は、ペースト状であってもよい。上記ペースト状には液状が含まれる。取扱性に優れることから、本発明に係る樹脂材料は、樹脂フィルムであることが好ましい。 The resin material according to the present invention may be a resin composition or a resin film. The resin composition has fluidity. The resin composition may be in the form of a paste. The paste form contains a liquid. The resin material according to the present invention is preferably a resin film because of its excellent handleability.

本発明に係る樹脂材料は、熱硬化性材料であることが好ましい。上記樹脂材料が樹脂フィルムである場合には、該樹脂フィルムは、熱硬化性樹脂フィルムであることが好ましい。 The resin material according to the present invention is preferably a thermosetting material. When the resin material is a resin film, the resin film is preferably a thermosetting resin film.

以下、本発明に係る樹脂材料に用いられる各成分の詳細、及び本発明に係る樹脂材料の用途などを説明する。 Hereinafter, the details of each component used in the resin material according to the present invention, the use of the resin material according to the present invention, and the like will be described.

[第1の硬化性化合物]
本発明に係る樹脂材料は、下記式(1)で表される基を有する第1の硬化性化合物を含む。下記式(1)で表される基は、上記第1の硬化性化合物において、末端に存在する。下記式(1)中、右端部は、他の基との結合部位である。上記第1の硬化性化合物は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[First curable compound]
The resin material according to the present invention contains a first curable compound having a group represented by the following formula (1). The group represented by the following formula (1) is present at the terminal in the first curable compound. In the following formula (1), the right end is a binding site with another group. As the first curable compound, only one kind may be used, or two or more kinds may be used in combination.

Figure 2022001615
Figure 2022001615

上記式(1)中、Rは、アルキル基を表し、Rは、水素原子又はアルキル基を表す。上記式(1)中、Rは、水素原子であってもよく、アルキル基であってもよい。また、上記式(1)中、Rがアルキル基である場合に、Rのアルキル基とRのアルキル基とは同一のアルキル基であってもよく、異なるアルキル基であってもよい。 In the above formula (1), R 1 represents an alkyl group, and R 2 represents a hydrogen atom or an alkyl group. In the above formula (1), R 2 may be a hydrogen atom or an alkyl group. Further, in the above formula (1), when R 2 is an alkyl group, the alkyl group of R 1 and the alkyl group of R 2 may be the same alkyl group or different alkyl groups. ..

本発明の効果をより一層効果的に発揮する観点から、上記式(1)中、Rのアルキル基の炭素数は、特に限定されないが、好ましくは12以下、より好ましくは8以下、さらに好ましくは6以下である。 From the viewpoint of exhibiting the effects of the invention more effectively, in formula (1), the carbon number of the alkyl group of R 1 is not particularly limited, but is preferably 12 or less, more preferably 8 or less, more preferably Is 6 or less.

本発明の効果をより一層効果的に発揮する観点から、上記式(1)中、Rのアルキル基の炭素数は、特に限定されないが、好ましくは12以下、より好ましくは8以下、さらに好ましくは6以下である。 From the viewpoint of exhibiting the effects of the invention more effectively, in formula (1), the carbon number of the alkyl group of R 2 is not particularly limited, but is preferably 12 or less, more preferably 8 or less, more preferably Is 6 or less.

本発明の効果をより一層効果的に発揮する観点から、上記式(1)中、Rは、メチル基又はエチル基であることが好ましく、メチル基であることがより好ましい。 From the viewpoint of exerting the effect of the present invention even more effectively, in the above formula (1), R 1 is preferably a methyl group or an ethyl group, and more preferably a methyl group.

本発明の効果をより一層効果的に発揮する観点から、上記式(1)中、Rは、水素原子、メチル基又はエチル基であることが好ましく、水素原子又はメチル基であることがより好ましく、水素原子であることがさらに好ましい。 From the viewpoint of exerting the effect of the present invention even more effectively, in the above formula (1), R 2 is preferably a hydrogen atom, a methyl group or an ethyl group, and more preferably a hydrogen atom or a methyl group. It is preferably a hydrogen atom, more preferably a hydrogen atom.

上記第1の硬化性化合物は、上記式(1)で表される基を1個のみ有していてもよく、2個有していてもよく、2個以上有していてもよく、3個有していてもよく、3個以上有していてもよい。 The first curable compound may have only one group represented by the above formula (1), may have two groups, or may have two or more groups. It may have three or more.

本発明の効果をより一層効果的に発揮する観点から、上記第1の硬化性化合物は、上記式(1)で表される基を、2個有することが好ましく、2個以上有することがより好ましい。 From the viewpoint of more effectively exerting the effect of the present invention, the first curable compound preferably has two groups represented by the above formula (1), and more preferably has two or more groups. preferable.

上記第1の硬化性化合物において、上記式(1)で表される基の官能基当量は、好ましくは100g/mol以上、より好ましくは140g/mol以上であり、好ましくは600g/mol以下、より好ましくは500g/mol以下である。 In the first curable compound, the functional group equivalent of the group represented by the above formula (1) is preferably 100 g / mol or more, more preferably 140 g / mol or more, and preferably 600 g / mol or less. It is preferably 500 g / mol or less.

上記第1の硬化性化合物は、ダイマージアミンに由来する骨格を有することが好ましい。この場合には、樹脂材料の硬化物の誘電正接をより一層低くすることができ、また、樹脂材料(樹脂フィルム)の柔軟性及び伸び特性を高めることができる。さらに、高周波での誘電正接及び高温での誘電正接を低くすることができる。 The first curable compound preferably has a skeleton derived from dimerdiamine. In this case, the dielectric loss tangent of the cured product of the resin material can be further lowered, and the flexibility and elongation characteristics of the resin material (resin film) can be enhanced. Further, the dielectric loss tangent at high frequency and the dielectric loss tangent at high temperature can be lowered.

本発明の効果をより一層効果的に発揮する観点から、上記第1の硬化性化合物は、下記式(11)で表される化合物を含むことが好ましく、下記式(11)で表される化合物であることがより好ましい。本発明の効果をより一層効果的に発揮する観点から、ダイマージアミンに由来する骨格を有する第1の硬化性化合物は、下記式(11)で表される化合物を含むことが好ましく、下記式(11)で表される化合物であることがより好ましい。なお、下記式(11)で表される第1の硬化性化合物は、上記式(1)で表される基を2個有し、該式(1)中のRがメチル基であり、Rが水素原子である。 From the viewpoint of more effectively exerting the effects of the present invention, the first curable compound preferably contains a compound represented by the following formula (11), and the compound represented by the following formula (11). Is more preferable. From the viewpoint of exerting the effect of the present invention even more effectively, the first curable compound having a skeleton derived from dimerdiamine preferably contains a compound represented by the following formula (11), and the following formula ( It is more preferable that the compound is represented by 11). The first curable compounds represented by the following formula (11) has two groups represented by the above formula (1), R 1 in formula (1) is a methyl group, R 2 is a hydrogen atom.

Figure 2022001615
Figure 2022001615

上記式(11)中、Rは、炭素数6以上10以下の直鎖状の炭化水素基を表し、Rは、炭素数6以上10以下の直鎖状の炭化水素基を表し、Rは、炭素数6以上10以下の直鎖状の炭化水素基を表し、Rは、炭素数6以上10以下の直鎖状の炭化水素基を表す。上記式(11)中、RとRとRとRとの炭素数の合計は30である。すなわち、上記式(11)中、ダイマージアミンに由来する骨格は、炭素数36である。上記式(11)中、Rは、二重結合を有する炭化水素基であってもよく、二重結合を有さない炭化水素基であってもよい。上記式(11)中、Rは、二重結合を有する炭化水素基であってもよく、二重結合を有さない炭化水素基であってもよい。上記式(11)中、Rは、二重結合を有する炭化水素基であってもよく、二重結合を有さない炭化水素基であってもよい。上記式(11)中、Rは、二重結合を有する炭化水素基であってもよく、二重結合を有さない炭化水素基であってもよい。 In the above formula (11), R 1 represents a linear hydrocarbon group having 6 or more and 10 or less carbon atoms, and R 2 represents a linear hydrocarbon group having 6 or more and 10 or less carbon atoms. 3 represents a straight-chain hydrocarbon group having 6 to 10 carbon atoms, R 4 represents a straight-chain hydrocarbon group having 6 to 10 carbon atoms. In the above formula (11), the total number of carbon atoms of R 1 , R 2 , R 3 and R 4 is 30. That is, in the above formula (11), the skeleton derived from dimer diamine has 36 carbon atoms. In the above formula (11), R 1 may be a hydrocarbon group having a double bond or may be a hydrocarbon group having no double bond. In the above formula (11), R 2 may be a hydrocarbon group having a double bond or may be a hydrocarbon group having no double bond. In the above formula (11), R 3 may be a hydrocarbon group having a double bond or may be a hydrocarbon group having no double bond. In the formula (11), R 4 may be a hydrocarbon group having a double bond or a hydrocarbon group having no double bonds.

上記式(11)で表される化合物は、原料の1つとしてダイマージアミンを用いることにより好適に作製可能である。しかしながら、例えば、ダイマージアミンは天然物のため、ダイマージアミンの構造は一義的には定まらない。そのため、上記式(11)中、R、R、R、及びRはそれぞれ、二重結合を有する直鎖状の炭化水素基であってもよく、二重結合を有さない直鎖状の炭化水素基であってもよい。 The compound represented by the above formula (11) can be suitably produced by using dimerdiamine as one of the raw materials. However, for example, since dimer diamine is a natural product, the structure of diamine diamine is not uniquely determined. Therefore, in the above formula (11), R 1 , R 2 , R 3 , and R 4 may each be a linear hydrocarbon group having a double bond, and may be a direct hydrocarbon group having no double bond. It may be a chain hydrocarbon group.

本発明の効果をより一層効果的に発揮する観点から、上記第1の硬化性化合物は、下記式(12)で表される化合物を含むことが好ましい。上記式(11)で表される化合物は、下記式(12)で表される化合物を含むことが好ましい。下記式(12)で表される化合物は、ダイマージアミンに由来する骨格を有する。下記式(12)で表される化合物は、上記式(11)中のR、R、R、及びRがそれぞれ二重結合を有さない構造を有する。 From the viewpoint of exerting the effects of the present invention even more effectively, the first curable compound preferably contains a compound represented by the following formula (12). The compound represented by the above formula (11) preferably contains a compound represented by the following formula (12). The compound represented by the following formula (12) has a skeleton derived from dimerdiamine. The compound represented by the following formula (12) has a structure in which R 1 , R 2 , R 3 and R 4 in the above formula (11) do not have a double bond, respectively.

Figure 2022001615
Figure 2022001615

上記第1の硬化性化合物のガラス転移温度(Tg)は75℃未満である。上記第1の硬化性化合物のガラス転移温度(Tg)は、好ましくは50℃以下、より好ましくは40℃以下、さらに好ましくは30℃以下である。上記第1の硬化性化合物のガラス転移温度(Tg)が上記上限以下であると、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができる。 The glass transition temperature (Tg) of the first curable compound is less than 75 ° C. The glass transition temperature (Tg) of the first curable compound is preferably 50 ° C. or lower, more preferably 40 ° C. or lower, still more preferably 30 ° C. or lower. When the glass transition temperature (Tg) of the first curable compound is not more than the above upper limit, the effect of the present invention can be exhibited even more effectively.

上記第1の硬化性化合物のガラス転移温度(Tg)は、示差走査熱量測定におけるリバースヒートフローの変曲点から測定することができる。 The glass transition temperature (Tg) of the first curable compound can be measured from the inflection point of the reverse heat flow in the differential scanning calorimetry.

上記第1の硬化性化合物の分子量は、好ましくは600以上、より好ましくは700以上であり、好ましくは2000以下、より好ましくは1000以下、さらに好ましくは900以下である。上記第1の硬化性化合物の分子量が上記下限以上及び上記上限以下であると、上記第1の硬化性化合物の反応性が高くなり、上記樹脂材料をより一層良好に硬化させることができ、かつ、硬化物の誘電正接をより一層小さくすることができる。また、樹脂材料の溶融粘度を低くすることができるため、基板等の凹凸表面に対する樹脂材料の埋め込み性を高めることができる。さらに、樹脂材料が無機充填材を50重量%以上で含む樹脂フィルムである場合に、該樹脂フィルムの表面の均一性を高めることができる。 The molecular weight of the first curable compound is preferably 600 or more, more preferably 700 or more, preferably 2000 or less, more preferably 1000 or less, still more preferably 900 or less. When the molecular weight of the first curable compound is not less than the lower limit and not more than the upper limit, the reactivity of the first curable compound becomes high, and the resin material can be cured more satisfactorily. , The dielectric loss tangent of the cured product can be further reduced. Further, since the melt viscosity of the resin material can be lowered, the embedding property of the resin material in the uneven surface of the substrate or the like can be improved. Further, when the resin material is a resin film containing an inorganic filler in an amount of 50% by weight or more, the uniformity of the surface of the resin film can be improved.

上記第1の硬化性化合物の分子量は、上記第1の硬化性化合物が重合体ではない場合、及び上記第1の硬化性化合物の構造式が特定できる場合は、当該構造式から算出できる分子量を意味する。また、上記第1の硬化性化合物の分子量は、上記第1の硬化性化合物が重合体である場合は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により測定されたポリスチレン換算での重量平均分子量を示す。 The molecular weight of the first curable compound is a molecular weight that can be calculated from the structural formula when the first curable compound is not a polymer and when the structural formula of the first curable compound can be specified. means. Further, the molecular weight of the first curable compound indicates the weight average molecular weight in terms of polystyrene measured by gel permeation chromatography (GPC) when the first curable compound is a polymer.

上記第1の硬化性化合物が上記ダイマージアミンに由来する骨格を有する場合に、上記ダイマージアミンに由来する骨格部分の分子量の、上記第1の硬化性化合物の分子量に対する比(ダイマージアミンに由来する骨格部分の分子量/第1の硬化性化合物の分子量)を比(X)とする。上記比(X)は、好ましくは0.5以上、より好ましく0.6以上であり、好ましくは0.9以下、より好ましくは0.8以下である。 When the first curable compound has a skeleton derived from the dimer diamine, the ratio of the molecular weight of the skeleton portion derived from the dimer diamine to the molecular weight of the first curable compound (skeleton derived from the diamine diamine). The molecular weight of the portion / the molecular weight of the first curable compound) is defined as the ratio (X). The ratio (X) is preferably 0.5 or more, more preferably 0.6 or more, preferably 0.9 or less, and more preferably 0.8 or less.

上記樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、上記第1の硬化性化合物の含有量は、好ましくは0.1重量%以上、より好ましくは1重量%以上であり、好ましくは10重量%以下、より好ましくは5重量%以下である。上記第1の硬化性化合物の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができる。また、上記第1の硬化性化合物の含有量が上記下限以上であると、エッチング後の表面粗度をより一層小さくすることができ、メッキピール強度を高めることができる。 The content of the first curable compound is preferably 0.1% by weight or more, more preferably 1% by weight or more, and preferably 10% by weight in 100% by weight of the component excluding the solvent in the resin material. Below, it is more preferably 5% by weight or less. When the content of the first curable compound is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the effect of the present invention can be exhibited even more effectively. Further, when the content of the first curable compound is at least the above lower limit, the surface roughness after etching can be further reduced, and the plating peel strength can be increased.

上記樹脂材料中の充填材及び溶剤を除く成分100重量%中、上記第1の硬化性化合物の含有量は、好ましくは1重量%以上、より好ましくは2重量%以上、さらに好ましくは4重量%以上であり、好ましくは30重量%以下、より好ましくは20重量%以下、さらに好ましくは10重量%以下である。上記第1の硬化性化合物の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができる。また、上記第1の硬化性化合物の含有量が上記下限以上であると、エッチング後の表面粗度をより一層小さくすることができ、メッキピール強度を高めることができる。さらに、樹脂材料(樹脂フィルム)の伸び特性を高めることができ、かつ、硬化物の熱寸法安定性を高めることができる。 The content of the first curable compound is preferably 1% by weight or more, more preferably 2% by weight or more, still more preferably 4% by weight in 100% by weight of the components excluding the filler and the solvent in the resin material. The above is preferably 30% by weight or less, more preferably 20% by weight or less, still more preferably 10% by weight or less. When the content of the first curable compound is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the effect of the present invention can be exhibited even more effectively. Further, when the content of the first curable compound is at least the above lower limit, the surface roughness after etching can be further reduced, and the plating peel strength can be increased. Further, the elongation characteristics of the resin material (resin film) can be enhanced, and the thermal dimensional stability of the cured product can be enhanced.

上記第1の硬化性化合物は、例えば、無水シトラコン酸とダイマージアミンとを、酸触媒下で脱水縮合反応させることにより、合成することができる。 The first curable compound can be synthesized, for example, by subjecting citraconic anhydride and dimerdiamine to a dehydration condensation reaction under an acid catalyst.

上記ダイマージアミンとしては、例えば、バーサミン551(商品名、BASFジャパン社製、3,4−ビス(1−アミノヘプチル)−6−ヘキシル−5−(1−オクテニル)シクロヘキセン)、バーサミン552(商品名、コグニクスジャパン社製、バーサミン551の水添物)、並びにPRIAMINE1075、及びPRIAMINE1074(商品名、いずれもクローダジャパン社製)等が挙げられる。 Examples of the dimer diamine include Versamine 551 (trade name, manufactured by BASF Japan, 3,4-bis (1-aminoheptyl) -6-hexyl-5- (1-octenyl) cyclohexene), and Versamine 552 (trade name). , Cognix Japan Co., Ltd., hydrogenated Versamine 551), and PRIAMINE 1075, PRIAMINE 1074 (trade name, both manufactured by Croda Japan Co., Ltd.) and the like.

上記酸触媒としては、amberlyst 36ドライ(商品名、DuPont社製)等が挙げられる。 Examples of the acid catalyst include amberlyst 36 dry (trade name, manufactured by DuPont) and the like.

[熱硬化性化合物]
上記樹脂材料は、熱硬化性化合物を含むことが好ましい。上記樹脂材料は、上記第1の硬化性化合物と、該第1の硬化性化合物とは異なる化合物として、熱硬化性化合物を含むことが好ましい。上記樹脂材料では、上記第1の硬化性化合物が第1の熱硬化性化合物であり、第1の熱硬化性化合物とは異なる化合物として、熱硬化性化合物(第2の熱硬化性化合物)を含むことが好ましい。上記熱硬化性化合物は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[Thermosetting compound]
The resin material preferably contains a thermosetting compound. The resin material preferably contains the first curable compound and a thermosetting compound as a compound different from the first curable compound. In the resin material, the first curable compound is the first thermosetting compound, and a thermosetting compound (second thermosetting compound) is used as a compound different from the first thermosetting compound. It is preferable to include it. Only one type of the thermosetting compound may be used, or two or more types may be used in combination.

上記熱硬化性化合物としては、ビスマレイミド化合物、エポキシ化合物及びビニル化合物等が挙げられる。上記熱硬化性化合物は、ビスマレイミド化合物を含むことが好ましく、ビスマレイミド化合物と、ビスマレイミド化合物以外の熱硬化性化合物とを含むことがより好ましく、ビスマレイミド化合物と、エポキシ化合物及びビニル化合物とを含むことがさらに好ましい。 Examples of the thermosetting compound include bismaleimide compounds, epoxy compounds and vinyl compounds. The thermosetting compound preferably contains a bismaleimide compound, more preferably contains a bismaleimide compound and a thermosetting compound other than the bismaleimide compound, and contains a bismaleimide compound, an epoxy compound and a vinyl compound. It is more preferable to include it.

<ビスマレイミド化合物>
上記樹脂材料は、ビスマレイミド化合物を含むことが好ましい。上記樹脂材料がビスマレイミド化合物を含むことにより、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができる。上記ビスマレイミド化合物は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
<Bismaleimide compound>
The resin material preferably contains a bismaleimide compound. When the resin material contains a bismaleimide compound, the effect of the present invention can be exhibited even more effectively. Only one kind of the above-mentioned bismaleimide compound may be used, or two or more kinds may be used in combination.

上記ビスマレイミド化合物は、脂肪族ビスマレイミド化合物であってもよく、芳香族ビスマレイミド化合物であってもよい。 The bismaleimide compound may be an aliphatic bismaleimide compound or an aromatic bismaleimide compound.

上記ビスマレイミド化合物は、イミド結合を有する構造単位を有することが好ましい。上記ビスマレイミド化合物は、イミド結合を有する構造単位を、繰り返し構造単位として有することがより好ましい。この場合には、樹脂材料の硬化物の誘電正接をより一層低くし、かつ該硬化物の熱寸法安定性を高めることができる。 The bismaleimide compound preferably has a structural unit having an imide bond. It is more preferable that the bismaleimide compound has a structural unit having an imide bond as a repeating structural unit. In this case, the dielectric loss tangent of the cured product of the resin material can be further lowered, and the thermal dimensional stability of the cured product can be improved.

上記ビスマレイミド化合物は、ダイマージアミンに由来する骨格を有していてもよく、有していなくてもよい。 The bismaleimide compound may or may not have a skeleton derived from dimerdiamine.

上記ビスマレイミド化合物のガラス転移温度は、好ましくは75℃以上、より好ましくは80℃以上、さらに好ましくは85℃以上であり、好ましくは200℃以下、より好ましくは170℃以下、さらに好ましくは150℃以下、特に好ましくは120℃以下である。上記ビスマレイミド化合物のガラス転移温度が上記下限以上及び上記上限以下であると、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができる。 The glass transition temperature of the bismaleimide compound is preferably 75 ° C. or higher, more preferably 80 ° C. or higher, still more preferably 85 ° C. or higher, preferably 200 ° C. or lower, more preferably 170 ° C. or lower, still more preferably 150 ° C. or higher. Below, it is particularly preferably 120 ° C. or lower. When the glass transition temperature of the bismaleimide compound is equal to or higher than the lower limit and lower than the upper limit, the effect of the present invention can be more effectively exhibited.

上記ビスマレイミド化合物の分子量は、好ましくは500以上、より好ましくは1000以上、さらに好ましくは3000以上、特に好ましくは3500以上であり、好ましくは30000以下、より好ましくは20000以下、さらに好ましくは15000以下、特に好ましくは5500以下である。上記ビスマレイミド化合物の分子量が、上記下限以上及び上記上限以下であると、上記樹脂材料の溶融粘度を低くすることができる。また、硬化物のガラス転移温度を高めることができ、かつ、硬化物の熱寸法安定性を高めることができる。 The molecular weight of the bismaleimide compound is preferably 500 or more, more preferably 1000 or more, still more preferably 3000 or more, particularly preferably 3500 or more, preferably 30,000 or less, more preferably 20,000 or less, still more preferably 15,000 or less. Particularly preferably, it is 5500 or less. When the molecular weight of the bismaleimide compound is at least the above lower limit and at least the above upper limit, the melt viscosity of the resin material can be lowered. Further, the glass transition temperature of the cured product can be increased, and the thermal dimensional stability of the cured product can be improved.

上記ビスマレイミド化合物の分子量は、上記ビスマレイミド化合物が重合体ではない場合、及び上記ビスマレイミド化合物の構造式が特定できる場合は、当該構造式から算出できる分子量を意味する。また、上記ビスマレイミド化合物の分子量は、上記ビスマレイミド化合物が重合体である場合は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により測定されたポリスチレン換算での重量平均分子量を示す。 The molecular weight of the bismaleimide compound means a molecular weight that can be calculated from the structural formula when the bismaleimide compound is not a polymer and when the structural formula of the bismaleimide compound can be specified. Further, the molecular weight of the bismaleimide compound indicates the weight average molecular weight in terms of polystyrene measured by gel permeation chromatography (GPC) when the bismaleimide compound is a polymer.

上記芳香族ビスマレイミド化合物の市販品としては、例えば、大和化成工業社製「BMI−4000」及び「BMI−5100」、並びに日本化薬社製「MIR−3000」が挙げられる。 Examples of commercially available products of the aromatic bismaleimide compound include "BMI-4000" and "BMI-5100" manufactured by Daiwa Kasei Kogyo Co., Ltd. and "MIR-3000" manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.

上記樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、上記ビスマレイミド化合物の含有量は、好ましくは0.5重量%以上、より好ましくは1重量%以上であり、好ましくは25重量%以下、より好ましくは15重量%以下である。上記ビスマレイミド化合物の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化物の誘電正接をより一層低くすることができ、また、硬化物の熱寸法安定性を高めることができる。 The content of the bismaleimide compound is preferably 0.5% by weight or more, more preferably 1% by weight or more, and preferably 25% by weight or less, based on 100% by weight of the component excluding the solvent in the resin material. It is preferably 15% by weight or less. When the content of the bismaleimide compound is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the dielectric loss tangent of the cured product can be further lowered, and the thermal dimensional stability of the cured product can be enhanced.

上記樹脂材料中の充填材及び溶剤を除く成分100重量%中、上記ビスマレイミド化合物の含有量は、好ましくは2.5重量%以上、より好ましくは5重量%以上、さらに好ましくは7.5重量%以上であり、好ましくは70重量%以下、より好ましくは50重量%以下である。上記ビスマレイミド化合物の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化物の誘電正接をより一層低くすることができ、また、硬化物の熱寸法安定性を高めることができる。 The content of the bismaleimide compound is preferably 2.5% by weight or more, more preferably 5% by weight or more, still more preferably 7.5% by weight in 100% by weight of the components excluding the filler and the solvent in the resin material. % Or more, preferably 70% by weight or less, and more preferably 50% by weight or less. When the content of the bismaleimide compound is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the dielectric loss tangent of the cured product can be further lowered, and the thermal dimensional stability of the cured product can be enhanced.

<エポキシ化合物>
上記樹脂材料は、エポキシ化合物を含むことが好ましい。上記エポキシ化合物として、従来公知のエポキシ化合物を使用可能である。上記エポキシ化合物は、少なくとも1個のエポキシ基を有する有機化合物である。上記エポキシ化合物は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
<Epoxy compound>
The resin material preferably contains an epoxy compound. As the epoxy compound, a conventionally known epoxy compound can be used. The epoxy compound is an organic compound having at least one epoxy group. Only one kind of the epoxy compound may be used, or two or more kinds may be used in combination.

上記エポキシ化合物としては、ビスフェノールA型エポキシ化合物、ビスフェノールF型エポキシ化合物、ビスフェノールS型エポキシ化合物、フェノールノボラック型エポキシ化合物、ビフェニル型エポキシ化合物、ビフェニルノボラック型エポキシ化合物、ビフェノール型エポキシ化合物、ナフタレン型エポキシ化合物、フルオレン型エポキシ化合物、フェノールアラルキル型エポキシ化合物、ナフトールアラルキル型エポキシ化合物、ジシクロペンタジエン型エポキシ化合物、アントラセン型エポキシ化合物、アダマンタン骨格を有するエポキシ化合物、トリシクロデカン骨格を有するエポキシ化合物、ナフチレンエーテル型エポキシ化合物、及びトリアジン核を骨格に有するエポキシ化合物等が挙げられる。 Examples of the epoxy compound include bisphenol A type epoxy compound, bisphenol F type epoxy compound, bisphenol S type epoxy compound, phenol novolac type epoxy compound, biphenyl type epoxy compound, biphenyl novolac type epoxy compound, biphenol type epoxy compound, and naphthalene type epoxy compound. , Fluolene type epoxy compound, phenol aralkyl type epoxy compound, naphthol aralkyl type epoxy compound, dicyclopentadiene type epoxy compound, anthracene type epoxy compound, adamantan skeleton epoxy compound, tricyclodecane skeleton epoxy compound, naphthylene ether type Examples thereof include epoxy compounds and epoxy compounds having a triazine nucleus as a skeleton.

上記エポキシ化合物は、グリシジルエーテル化合物であってもよい。上記グリシジルエーテル化合物とは、グリシジルエーテル基を少なくとも1個有する化合物である。 The epoxy compound may be a glycidyl ether compound. The glycidyl ether compound is a compound having at least one glycidyl ether group.

硬化物の誘電正接をより一層低くし、かつ硬化物の熱寸法安定性及び難燃性を高める観点からは、上記エポキシ化合物は、芳香族骨格を有するエポキシ化合物を含むことが好ましく、ナフタレン骨格又はフェニル骨格を有するエポキシ化合物を含むことが好ましく、芳香族骨格を有するエポキシ化合物であることがより好ましい。 From the viewpoint of further lowering the dielectric adjacency of the cured product and enhancing the thermal dimensional stability and flame retardancy of the cured product, the epoxy compound preferably contains an epoxy compound having an aromatic skeleton, and has a naphthalene skeleton or a naphthalene skeleton. It is preferable to contain an epoxy compound having a phenyl skeleton, and more preferably an epoxy compound having an aromatic skeleton.

硬化物の誘電正接をより一層低くし、かつ硬化物の線膨張係数(CTE)を良好にする観点からは、上記エポキシ化合物は、25℃で液状のエポキシ化合物と、25℃で固形のエポキシ化合物とを含むことが好ましい。 From the viewpoint of further lowering the dielectric loss tangent of the cured product and improving the linear expansion coefficient (CTE) of the cured product, the epoxy compounds are a liquid epoxy compound at 25 ° C and a solid epoxy compound at 25 ° C. It is preferable to include and.

上記25℃で液状のエポキシ化合物の25℃での粘度は、1000mPa・s以下であることが好ましく、500mPa・s以下であることがより好ましい。 The viscosity of the epoxy compound liquid at 25 ° C. at 25 ° C. is preferably 1000 mPa · s or less, and more preferably 500 mPa · s or less.

上記エポキシ化合物の粘度は、例えば動的粘弾性測定装置(レオロジカ・インスツルメンツ社製「VAR−100」)等を用いて測定することができる。 The viscosity of the epoxy compound can be measured using, for example, a dynamic viscoelasticity measuring device (“VAR-100” manufactured by Leologica Instruments) or the like.

上記エポキシ化合物の分子量は1000以下であることがより好ましい。この場合には、樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、無機充填材の含有量が50重量%以上であっても、絶縁層の形成時に流動性が高い樹脂材料が得られる。このため、樹脂材料の未硬化物又はBステージ化物を回路基板上にラミネートした場合に、無機充填材を均一に存在させることができる。 The molecular weight of the epoxy compound is more preferably 1000 or less. In this case, even if the content of the inorganic filler is 50% by weight or more in 100% by weight of the component excluding the solvent in the resin material, a resin material having high fluidity at the time of forming the insulating layer can be obtained. Therefore, when the uncured resin material or the B-staged product is laminated on the circuit board, the inorganic filler can be uniformly present.

上記エポキシ化合物の分子量は、上記エポキシ化合物が重合体ではない場合、及び上記エポキシ化合物の構造式が特定できる場合は、当該構造式から算出できる分子量を意味する。また、上記エポキシ化合物が重合体である場合は、重量平均分子量を意味する。 The molecular weight of the epoxy compound means a molecular weight that can be calculated from the structural formula when the epoxy compound is not a polymer and the structural formula of the epoxy compound can be specified. When the epoxy compound is a polymer, it means a weight average molecular weight.

上記樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、上記エポキシ化合物の含有量は、好ましくは4重量%以上、より好ましくは7重量%以上であり、好ましくは20重量%以下、より好ましくは15重量%以下である。上記エポキシ化合物の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、樹脂材料の硬化物の熱寸法安定性をより一層高めることができる。 The content of the epoxy compound is preferably 4% by weight or more, more preferably 7% by weight or more, preferably 20% by weight or less, and more preferably 15 in 100% by weight of the component excluding the solvent in the resin material. It is less than% by weight. When the content of the epoxy compound is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the thermal dimensional stability of the cured product of the resin material can be further improved.

上記樹脂材料中の充填材及び溶剤を除く成分100重量%中、上記エポキシ化合物の含有量は、好ましくは15重量%以上、より好ましくは25重量%以上であり、好ましくは60重量%以下、より好ましくは50重量%以下である。上記エポキシ化合物の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、樹脂材料の硬化物の熱寸法安定性をより一層高めることができる。 The content of the epoxy compound is preferably 15% by weight or more, more preferably 25% by weight or more, and preferably 60% by weight or less, based on 100% by weight of the components excluding the filler and the solvent in the resin material. It is preferably 50% by weight or less. When the content of the epoxy compound is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the thermal dimensional stability of the cured product of the resin material can be further improved.

上記エポキシ化合物の含有量の、上記第1の硬化性化合物と後述する硬化剤との合計の含有量に対する重量比(エポキシ化合物の含有量/第1の硬化性化合物と後述する硬化剤との合計の含有量)は、好ましくは0.25以上、より好ましくは0.5以上であり、好ましくは1以下、より好ましくは0.85以下である。上記重量比が上記下限以上及び上記上限以下であると、誘電正接をより一層低くすることができる。 Weight ratio of the content of the epoxy compound to the total content of the first curable compound and the curing agent described later (content of the epoxy compound / total of the first curing compound and the curing agent described later). Content) is preferably 0.25 or more, more preferably 0.5 or more, preferably 1 or less, and more preferably 0.85 or less. When the weight ratio is equal to or higher than the lower limit and lower than the upper limit, the dielectric loss tangent can be further lowered.

<ビニル化合物>
上記樹脂材料は、ビニル化合物を含むことが好ましい。上記ビニル化合物として、従来公知のビニル化合物を使用可能である。上記ビニル化合物は、少なくとも1個のビニル基を有する有機化合物である。上記ビニル化合物は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
<Vinyl compound>
The resin material preferably contains a vinyl compound. As the vinyl compound, a conventionally known vinyl compound can be used. The vinyl compound is an organic compound having at least one vinyl group. Only one kind of the vinyl compound may be used, or two or more kinds thereof may be used in combination.

上記ビニル化合物としては、ジビニル化合物等が挙げられる。上記ジビニル化合物としては、ジビニルベンジルエーテル化合物等が挙げられる。上記ビニル化合物は、脂肪族骨格を有するジビニル化合物であってもよく、ジビニルエーテル化合物であってもよい。 Examples of the vinyl compound include divinyl compounds. Examples of the divinyl compound include a divinylbenzyl ether compound and the like. The vinyl compound may be a divinyl compound having an aliphatic skeleton, or may be a divinyl ether compound.

上記樹脂材料中の充填材及び溶剤を除く成分100重量%中、上記ビニル化合物の含有量は、好ましくは2.5重量%以上、より好ましくは5重量%以上、さらに好ましくは7.5重量%以上であり、好ましくは70重量%以下、より好ましくは50重量%以下である。上記ビニル化合物の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化物の熱寸法安定性をより一層高めることができる。 The content of the vinyl compound in 100% by weight of the components excluding the filler and the solvent in the resin material is preferably 2.5% by weight or more, more preferably 5% by weight or more, still more preferably 7.5% by weight. The above is preferably 70% by weight or less, and more preferably 50% by weight or less. When the content of the vinyl compound is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the thermal dimensional stability of the cured product can be further improved.

[充填材]
上記樹脂材料は、充填材を含むことが好ましい。
[Filler]
The resin material preferably contains a filler.

上記充填材としては、有機充填材及び無機充填材等が挙げられる。上記充填材は、絶縁性充填材であることが好ましい。上記充填材は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。 Examples of the filler include an organic filler and an inorganic filler. The filler is preferably an insulating filler. As the filler, only one kind may be used, or two or more kinds may be used in combination.

上記有機充填材としては、ベンゾオキサジン樹脂、ベンゾオキサゾール樹脂、フッ素樹脂、アクリル樹脂及びスチレン樹脂等からなる粒子状物が挙げられる。上記フッ素樹脂としては、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)等が挙げられる。上記有機充填材としてフッ素樹脂粒子を用いることにより、樹脂材料の硬化物の比誘電率をより一層低くすることができる。 Examples of the organic filler include particulate matter made of benzoxazine resin, benzoxazole resin, fluororesin, acrylic resin, styrene resin and the like. Examples of the fluororesin include polytetrafluoroethylene (PTFE) and the like. By using fluororesin particles as the organic filler, the relative permittivity of the cured product of the resin material can be further reduced.

上記無機充填材としては、シリカ、タルク、クレイ、マイカ、ハイドロタルサイト、アルミナ、酸化マグネシウム、水酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、窒化ホウ素及びダイヤモンド等が挙げられる。 Examples of the inorganic filler include silica, talcite, clay, mica, hydrotalcite, alumina, magnesium oxide, aluminum hydroxide, aluminum nitride, boron nitride and diamond.

樹脂材料の硬化物の誘電正接をより一層小さくする観点及び樹脂材料の硬化物の熱による寸法変化をより一層小さくする観点からは、上記充填材は、無機充填材であることが好ましい。 From the viewpoint of further reducing the dielectric loss tangent of the cured product of the resin material and further reducing the dimensional change due to heat of the cured product of the resin material, the filler is preferably an inorganic filler.

上記無機充填材は、アルミナ及び窒化ホウ素等の熱伝導率が10W/mK以上である無機充填材であることが好ましい。この場合には、放熱性を高めることができる。 The inorganic filler is preferably an inorganic filler having a thermal conductivity of 10 W / mK or more, such as alumina and boron nitride. In this case, heat dissipation can be improved.

凹凸表面に対する埋め込み性を高め、かつ熱寸法安定性を高める観点からは、上記無機充填材は、異方性を有する無機充填材であることが好ましい。 From the viewpoint of enhancing the embedding property in the uneven surface and enhancing the thermal dimensional stability, the inorganic filler is preferably an anisotropic filler having anisotropy.

上記無機充填材は、シリカ又はアルミナであることが好ましく、シリカであることがより好ましく、溶融シリカであることがさらに好ましい。この場合には、樹脂材料の硬化物の表面の表面粗さを小さくし、硬化物と金属層との接着強度をより一層高くし、かつ硬化物の表面により一層微細な配線を形成し、かつ硬化物により良好な絶縁信頼性を付与することができる。特に、無機充填材としてシリカを用いることにより、硬化物の熱膨張率がより一層低くなり、また、硬化物の誘電正接がより一層低くなる。また、硬化物の誘電率を良好にすることができる。シリカの形状は球状であることが好ましい。 The inorganic filler is preferably silica or alumina, more preferably silica, and even more preferably fused silica. In this case, the surface roughness of the surface of the cured product of the resin material is reduced, the adhesive strength between the cured product and the metal layer is further increased, and finer wiring is formed on the surface of the cured product. Good insulation reliability can be imparted to the cured product. In particular, by using silica as the inorganic filler, the coefficient of thermal expansion of the cured product becomes even lower, and the dielectric loss tangent of the cured product becomes even lower. In addition, the dielectric constant of the cured product can be improved. The shape of silica is preferably spherical.

熱伝導率を高め、かつ絶縁性を高める観点からは、上記無機充填材はアルミナであることが好ましい。 From the viewpoint of increasing the thermal conductivity and the insulating property, the inorganic filler is preferably alumina.

上記無機充填材は、球状であることが好ましく、球状シリカであることがより好ましい。この場合には、硬化物の表面の表面粗さが効果的に小さくなり、更に硬化物と金属層との接着強度が効果的に高くなる。上記無機充填材が球状である場合には、上記無機充填材のアスペクト比は好ましくは2以下、より好ましくは1.5以下である。 The inorganic filler is preferably spherical, more preferably spherical silica. In this case, the surface roughness of the surface of the cured product is effectively reduced, and the adhesive strength between the cured product and the metal layer is effectively increased. When the inorganic filler is spherical, the aspect ratio of the inorganic filler is preferably 2 or less, more preferably 1.5 or less.

上記無機充填材は、表面処理されていることが好ましく、カップリング剤による表面処理物であることがより好ましく、シランカップリング剤による表面処理物であることが更に好ましい。上記無機充填材が表面処理されていることにより、粗化硬化物の表面の表面粗さがより一層小さくなり、硬化物と金属層との接着強度がより一層高くなる。また、上記無機充填材が表面処理されていることにより、硬化物の表面により一層微細な配線を形成することができ、かつより一層良好な配線間絶縁信頼性及び層間絶縁信頼性を硬化物に付与することができる。 The inorganic filler is preferably surface-treated, more preferably a surface-treated product with a coupling agent, and even more preferably a surface-treated product with a silane coupling agent. By surface-treating the inorganic filler, the surface roughness of the surface of the roughened cured product is further reduced, and the adhesive strength between the cured product and the metal layer is further increased. Further, since the inorganic filler is surface-treated, finer wiring can be formed on the surface of the cured product, and even better inter-wiring insulation reliability and interlayer insulation reliability can be obtained in the cured product. Can be granted.

上記カップリング剤としては、シランカップリング剤、チタンカップリング剤及びアルミニウムカップリング剤等が挙げられる。上記シランカップリング剤としては、メタクリルシラン、アクリルシラン、アミノシラン、イミダゾールシラン、ビニルシラン、及びエポキシシラン等が挙げられる。 Examples of the coupling agent include a silane coupling agent, a titanium coupling agent, an aluminum coupling agent, and the like. Examples of the silane coupling agent include methacrylic silane, acrylic silane, aminosilane, imidazole silane, vinylsilane, and epoxysilane.

上記充填材である有機充填材の平均粒径は1μm以下であることが好ましい。上記有機充填材の平均粒径が上記上限以下であると、エッチング後の表面粗度を小さくし、かつメッキピール強度を高めることができ、また、絶縁層と金属層との密着性をより一層高めることができる。上記有機充填材の平均粒径は、50nm以上であってもよい。 The average particle size of the organic filler, which is the filler, is preferably 1 μm or less. When the average particle size of the organic filler is not more than the above upper limit, the surface roughness after etching can be reduced, the plating peel strength can be increased, and the adhesion between the insulating layer and the metal layer can be further improved. Can be enhanced. The average particle size of the organic filler may be 50 nm or more.

上記充填材である無機充填材の平均粒径は、好ましくは50nm以上、より好ましくは100nm以上、さらに好ましくは500nm以上であり、好ましくは5μm以下、より好ましくは3μm以下、さらに好ましくは1μm以下である。上記無機充填材の平均粒径が上記下限以上及び上記上限以下であると、エッチング後の表面粗度を小さくし、かつメッキピール強度を高めることができ、また、絶縁層と金属層との密着性をより一層高めることができる。 The average particle size of the inorganic filler as the filler is preferably 50 nm or more, more preferably 100 nm or more, further preferably 500 nm or more, preferably 5 μm or less, more preferably 3 μm or less, still more preferably 1 μm or less. be. When the average particle size of the inorganic filler is equal to or higher than the lower limit and lower than the upper limit, the surface roughness after etching can be reduced, the plating peel strength can be increased, and the insulating layer and the metal layer can be adhered to each other. The sex can be further enhanced.

上記充填材の平均粒径として、50%となるメディアン径(d50)の値が採用される。上記平均粒径は、レーザー回折散乱方式の粒度分布測定装置を用いて測定可能である。 As the average particle size of the filler, a value of median diameter (d50) of 50% is adopted. The average particle size can be measured by using a laser diffraction / scattering type particle size distribution measuring device.

上記樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、上記充填材の含有量は、好ましくは50重量%以上、より好ましくは55重量%以上、さらに好ましくは60重量%以上、特に好ましくは70重量%以上であり、好ましくは90重量%以下、より好ましくは85重量%以下、さらに好ましくは80重量%以下、特に好ましくは75重量%以下である。上記充填材の含有量が上記下限以上であると、誘電正接が効果的に低くなる。上記充填材の含有量が上記上限以下であると、熱寸法安定性を高め、硬化物の反りを効果的に抑えることができる。上記充填材の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化物の表面の表面粗さをより一層小さくすることができ、かつ硬化物の表面により一層微細な配線を形成することができる。 The content of the filler is preferably 50% by weight or more, more preferably 55% by weight or more, still more preferably 60% by weight or more, and particularly preferably 70% by weight in 100% by weight of the component excluding the solvent in the resin material. % Or more, preferably 90% by weight or less, more preferably 85% by weight or less, still more preferably 80% by weight or less, and particularly preferably 75% by weight or less. When the content of the filler is at least the above lower limit, the dielectric loss tangent is effectively lowered. When the content of the filler is not more than the upper limit, the thermal dimensional stability can be improved and the warp of the cured product can be effectively suppressed. When the content of the filler is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the surface roughness of the surface of the cured product can be further reduced, and finer wiring can be formed on the surface of the cured product. can.

上記樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、上記有機充填材の含有量は、好ましくは5重量%以上、より好ましくは10重量%以上、さらに好ましくは15重量%以上、特に好ましくは20重量%以上であり、好ましくは75重量%以下、より好ましくは60重量%以下、さらに好ましくは50重量%以下、特に好ましくは40重量%以下である。上記有機充填材の含有量が上記下限以上であると、誘電正接が効果的に低くなる。上記有機充填材の含有量が上記上限以下であると、熱寸法安定性を高め、硬化物の反りを効果的に抑えることができる。上記有機充填材の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化物の表面の表面粗さをより一層小さくすることができ、かつ硬化物の表面により一層微細な配線を形成することができる。 The content of the organic filler is preferably 5% by weight or more, more preferably 10% by weight or more, still more preferably 15% by weight or more, and particularly preferably 20% by weight of the component excluding the solvent in the resin material. It is 5% by weight or more, preferably 75% by weight or less, more preferably 60% by weight or less, still more preferably 50% by weight or less, and particularly preferably 40% by weight or less. When the content of the organic filler is at least the above lower limit, the dielectric loss tangent is effectively lowered. When the content of the organic filler is not more than the above upper limit, the thermal dimensional stability can be improved and the warp of the cured product can be effectively suppressed. When the content of the organic filler is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the surface roughness of the surface of the cured product can be further reduced, and finer wiring can be formed on the surface of the cured product. Can be done.

上記樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、上記無機充填材の含有量は、好ましくは50重量%以上、より好ましくは60重量%以上、さらに好ましくは65重量%以上、特に好ましくは68重量%以上であり、好ましくは90重量%以下、より好ましくは85重量%以下、さらに好ましくは80重量%以下、特に好ましくは75重量%以下である。上記無機充填材の含有量が上記下限以上であると、誘電正接が効果的に低くなる。上記無機充填材の含有量が上記上限以下であると、熱寸法安定性を高め、硬化物の反りを効果的に抑えることができる。上記無機充填材の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化物の表面の表面粗さをより一層小さくすることができ、かつ硬化物の表面により一層微細な配線を形成することができる。さらに、この無機充填材の含有量であれば、硬化物の熱膨張率を低くすることと同時に、スミア除去性を良好にすることも可能である。 The content of the inorganic filler is preferably 50% by weight or more, more preferably 60% by weight or more, still more preferably 65% by weight or more, and particularly preferably 68 in 100% by weight of the component excluding the solvent in the resin material. It is 0% by weight or more, preferably 90% by weight or less, more preferably 85% by weight or less, still more preferably 80% by weight or less, and particularly preferably 75% by weight or less. When the content of the inorganic filler is at least the above lower limit, the dielectric loss tangent is effectively lowered. When the content of the inorganic filler is not more than the above upper limit, the thermal dimensional stability can be improved and the warp of the cured product can be effectively suppressed. When the content of the inorganic filler is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the surface roughness of the surface of the cured product can be further reduced, and finer wiring can be formed on the surface of the cured product. Can be done. Further, if the content of this inorganic filler is used, it is possible to reduce the coefficient of thermal expansion of the cured product and at the same time to improve the smear removing property.

[硬化剤]
上記樹脂材料は、硬化剤を含むことが好ましい。上記硬化剤は特に限定されない。上記硬化剤として、従来公知の硬化剤を使用可能である。上記硬化剤は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[Curing agent]
The resin material preferably contains a curing agent. The above-mentioned curing agent is not particularly limited. Conventionally known curing agents can be used as the curing agent. Only one kind of the above-mentioned curing agent may be used, or two or more kinds may be used in combination.

上記硬化剤としては、フェノール化合物(フェノール硬化剤)、活性エステル化合物、シアネートエステル化合物(シアネートエステル硬化剤)、ベンゾオキサジン化合物(ベンゾオキサジン硬化剤)、カルボジイミド化合物(カルボジイミド硬化剤)、アミン化合物(アミン硬化剤)、チオール化合物(チオール硬化剤)、ホスフィン化合物、ジシアンジアミド、及び酸無水物等が挙げられる。上記硬化剤は、上記エポキシ化合物のエポキシ基と反応可能な官能基を有することが好ましい。 Examples of the curing agent include a phenol compound (phenol curing agent), an active ester compound, a cyanate ester compound (cyanate ester curing agent), a benzoxazine compound (benzoxazine curing agent), a carbodiimide compound (carbodiimide curing agent), and an amine compound (amine). Hardener), thiol compound (thiol hardener), phosphine compound, dicyandiamide, acid anhydride and the like. The curing agent preferably has a functional group capable of reacting with the epoxy group of the epoxy compound.

硬化物の誘電正接をより一層低くする観点から、上記硬化剤は、フェノール化合物、活性エステル化合物、シアネートエステル化合物、ベンゾオキサジン化合物、カルボジイミド化合物及び酸無水物の内の少なくとも1種の成分を含むことが好ましい。誘電正接をより一層低くする観点から、上記硬化剤は、フェノール化合物、活性エステル化合物、シアネートエステル化合物、ベンゾオキサジン化合物、及びカルボジイミド化合物の内の少なくとも1種の成分を含むことがより好ましく、活性エステル化合物を含むことがさらに好ましい。 From the viewpoint of further lowering the dielectric adjacency of the cured product, the curing agent contains at least one component of a phenol compound, an active ester compound, a cyanate ester compound, a benzoxazine compound, a carbodiimide compound and an acid anhydride. Is preferable. From the viewpoint of further lowering the dielectric adjacency, the curing agent more preferably contains at least one component of a phenol compound, an active ester compound, a cyanate ester compound, a benzoxazine compound, and a carbodiimide compound, and is an active ester. It is more preferable to contain a compound.

誘電正接をより一層低くする観点から、上記樹脂材料がエポキシ化合物を含む場合に、上記硬化剤は、フェノール化合物と活性エステル化合物とを含むことが好ましい。 From the viewpoint of further lowering the dielectric loss tangent, when the resin material contains an epoxy compound, the curing agent preferably contains a phenol compound and an active ester compound.

上記フェノール化合物としては、ノボラック型フェノール、ビフェノール型フェノール、ナフタレン型フェノール、ジシクロペンタジエン型フェノール、アラルキル型フェノール及びジシクロペンタジエン型フェノール等が挙げられる。 Examples of the phenol compound include novolak-type phenol, biphenol-type phenol, naphthalene-type phenol, dicyclopentadiene-type phenol, aralkyl-type phenol, and dicyclopentadiene-type phenol.

上記フェノール化合物の市販品としては、ノボラック型フェノール(DIC社製「TD−2091」)、ビフェニルノボラック型フェノール(明和化成社製「MEH−7851」)、アラルキル型フェノール化合物(明和化成社製「MEH−7800」)、並びにアミノトリアジン骨格を有するフェノール(DIC社製「LA−1356」及び「LA−3018−50P」)等が挙げられる。 Commercially available products of the above phenol compounds include novolak-type phenol (“TD-2091” manufactured by DIC), biphenyl novolac-type phenol (“MEH-7851” manufactured by Meiwa Kasei Co., Ltd.), and aralkyl-type phenol compound (“MEH” manufactured by Meiwa Kasei Co., Ltd.). -7800 "), and phenols having an aminotriazine skeleton ("LA-1356 "and" LA-3018-50P "manufactured by DIC Corporation) and the like can be mentioned.

上記活性エステル化合物とは、構造体中にエステル結合を少なくとも1つ含み、かつ、エステル結合の両側に脂肪族鎖、脂肪族環又は芳香族環が結合している化合物をいう。活性エステル化合物は、例えばカルボン酸化合物又はチオカルボン酸化合物と、ヒドロキシ化合物又はチオール化合物との縮合反応によって得られる。活性エステル化合物の例としては、下記式(3)で表される化合物が挙げられる。 The active ester compound means a compound containing at least one ester bond in the structure and having an aliphatic chain, an aliphatic ring or an aromatic ring bonded to both sides of the ester bond. The active ester compound is obtained, for example, by a condensation reaction between a carboxylic acid compound or a thiocarboxylic acid compound and a hydroxy compound or a thiol compound. Examples of the active ester compound include a compound represented by the following formula (3).

Figure 2022001615
Figure 2022001615

上記式(3)中、X1は、脂肪族鎖を含む基、脂肪族環を含む基又は芳香族環を含む基を表し、X2は、芳香族環を含む基を表す。上記芳香族環を含む基の好ましい例としては、置換基を有していてもよいベンゼン環、及び置換基を有していてもよいナフタレン環等が挙げられる。上記置換基としては、炭化水素基が挙げられる。該炭化水素基の炭素数は、好ましくは12以下、より好ましくは6以下、さらに好ましくは4以下である。 In the above formula (3), X1 represents a group containing an aliphatic chain, a group containing an aliphatic ring or a group containing an aromatic ring, and X2 represents a group containing an aromatic ring. Preferred examples of the group containing an aromatic ring include a benzene ring which may have a substituent, a naphthalene ring which may have a substituent, and the like. Examples of the substituent include a hydrocarbon group. The hydrocarbon group has preferably 12 or less carbon atoms, more preferably 6 or less carbon atoms, and even more preferably 4 or less carbon atoms.

上記式(3)中、X1及びX2の組み合わせとしては、置換基を有していてもよいベンゼン環と、置換基を有していてもよいベンゼン環との組み合わせ、置換基を有していてもよいベンゼン環と、置換基を有していてもよいナフタレン環との組み合わせが挙げられる。さらに、上記式(3)中、X1及びX2の組み合わせとしては、置換基を有していてもよいナフタレン環と、置換基を有していてもよいナフタレン環との組み合わせが挙げられる。 In the above formula (3), the combination of X1 and X2 includes a combination of a benzene ring which may have a substituent and a benzene ring which may have a substituent, and a substituent. Examples thereof include a combination of a benzene ring and a naphthalene ring which may have a substituent. Further, in the above formula (3), examples of the combination of X1 and X2 include a combination of a naphthalene ring which may have a substituent and a naphthalene ring which may have a substituent.

上記活性エステル化合物は特に限定されない。熱寸法安定性及び難燃性をより一層高める観点からは、上記活性エステル化合物は、2個以上の芳香族骨格を有する活性エステル化合物であることが好ましい。硬化物の誘電正接を低くし、かつ硬化物の熱寸法安定性を高める観点から、活性エステル化合物の主鎖骨格中にナフタレン環を有することがより好ましい。 The above active ester compound is not particularly limited. From the viewpoint of further enhancing thermal dimensional stability and flame retardancy, the active ester compound is preferably an active ester compound having two or more aromatic skeletons. From the viewpoint of lowering the dielectric loss tangent of the cured product and increasing the thermal dimensional stability of the cured product, it is more preferable to have a naphthalene ring in the main chain skeleton of the active ester compound.

上記活性エステル化合物の市販品としては、DIC社製「HPC−8000L」、「HPC−8000−65T」、「EXB−9416−70BK」、「EXB8100−65T」、「HPC−8150−62T」及び「EXB−8」等が挙げられる。 Commercially available products of the above active ester compounds include "HPC-8000L", "HPC-8000-65T", "EXB-9416-70BK", "EXB8100-65T", "HPC-8150-62T" and "HPC-8150-62T" manufactured by DIC Corporation. EXB-8 ”and the like.

上記シアネートエステル化合物としては、ノボラック型シアネートエステル樹脂、ビスフェノール型シアネートエステル樹脂、並びにこれらが一部三量化されたプレポリマー等が挙げられる。上記ノボラック型シアネートエステル樹脂としては、フェノールノボラック型シアネートエステル樹脂及びアルキルフェノール型シアネートエステル樹脂等が挙げられる。上記ビスフェノール型シアネートエステル樹脂としては、ビスフェノールA型シアネートエステル樹脂、ビスフェノールE型シアネートエステル樹脂及びテトラメチルビスフェノールF型シアネートエステル樹脂等が挙げられる。 Examples of the cyanate ester compound include a novolak type cyanate ester resin, a bisphenol type cyanate ester resin, and a prepolymer in which these are partially triquantized. Examples of the novolak type cyanate ester resin include phenol novolac type cyanate ester resin and alkylphenol type cyanate ester resin. Examples of the bisphenol type cyanate ester resin include bisphenol A type cyanate ester resin, bisphenol E type cyanate ester resin, and tetramethyl bisphenol F type cyanate ester resin.

上記シアネートエステル化合物の市販品としては、フェノールノボラック型シアネートエステル樹脂(ロンザジャパン社製「PT−30」及び「PT−60」)、並びにビスフェノール型シアネートエステル樹脂が三量化されたプレポリマー(ロンザジャパン社製「BA−230S」、「BA−3000S」、「BTP−1000S」及び「BTP−6020S」)等が挙げられる。 Commercially available products of the above cyanate ester compound include a phenol novolac type cyanate ester resin (“PT-30” and “PT-60” manufactured by Lonza Japan Co., Ltd.) and a prepolymer in which a bisphenol type cyanate ester resin is triquantized (Lonza Japan). Examples thereof include "BA-230S", "BA-3000S", "BTP-1000S" and "BTP-6020S") manufactured by the same company.

上記樹脂材料中の充填材及び溶剤を除く成分100重量%中、上記シアネートエステル化合物の含有量は、好ましくは10重量%以上、より好ましくは15重量%以上、さらに好ましくは20重量%以上であり、好ましくは85重量%以下、より好ましくは75重量%以下である。上記シアネートエステル化合物の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化物の熱寸法安定性をより一層高めることができる。 The content of the cyanate ester compound is preferably 10% by weight or more, more preferably 15% by weight or more, still more preferably 20% by weight or more in 100% by weight of the components excluding the filler and the solvent in the resin material. It is preferably 85% by weight or less, more preferably 75% by weight or less. When the content of the cyanate ester compound is at least the above lower limit and at least the above upper limit, the thermal dimensional stability of the cured product can be further enhanced.

上記ベンゾオキサジン化合物としては、P−d型ベンゾオキサジン、及びF−a型ベンゾオキサジン等が挙げられる。 Examples of the benzoxazine compound include P-d type benzoxazine and Fa type benzoxazine.

上記ベンゾオキサジン化合物の市販品としては、四国化成工業社製「P−d型」等が挙げられる。 Examples of commercially available products of the benzoxazine compound include "P-d type" manufactured by Shikoku Chemicals Corporation.

上記樹脂材料中の充填材及び溶剤を除く成分100重量%中、上記ベンゾオキサジン化合物の含有量は、好ましくは1重量%以上、より好ましくは5重量%以上、さらに好ましくは10重量%以上であり、好ましくは70重量%以下、より好ましくは60重量%以下である。上記ベンゾオキサジン化合物の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化物の熱寸法安定性をより一層高めることができる。 The content of the benzoxazine compound is preferably 1% by weight or more, more preferably 5% by weight or more, still more preferably 10% by weight or more in 100% by weight of the components excluding the filler and the solvent in the resin material. It is preferably 70% by weight or less, more preferably 60% by weight or less. When the content of the benzoxazine compound is at least the above lower limit and at least the above upper limit, the thermal dimensional stability of the cured product can be further enhanced.

上記カルボジイミド化合物は、下記式(4)で表される構造単位を有する化合物である。下記式(4)において、右端部及び左端部は、他の基との結合部位である。上記カルボジイミド化合物は1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。 The carbodiimide compound is a compound having a structural unit represented by the following formula (4). In the following formula (4), the right end portion and the left end portion are binding sites for other groups. Only one kind of the carbodiimide compound may be used, or two or more kinds thereof may be used in combination.

Figure 2022001615
Figure 2022001615

上記式(4)中、Xは、アルキレン基、アルキレン基に置換基が結合した基、シクロアルキレン基、シクロアルキレン基に置換基が結合した基、アリーレン基、又はアリーレン基に置換基が結合した基を表し、pは1〜5の整数を表す。Xが複数存在する場合、複数のXは同一であってもよく、異なっていてもよい。 In the above formula (4), X is an alkylene group, a group in which a substituent is bonded to an alkylene group, a cycloalkylene group, a group in which a substituent is bonded to a cycloalkylene group, an arylene group, or a substituent bonded to an arylene group. It represents a group and p represents an integer of 1-5. When there are a plurality of X's, the plurality of X's may be the same or different.

好適な一つの形態において、少なくとも1つのXは、アルキレン基、アルキレン基に置換基が結合した基、シクロアルキレン基、又はシクロアルキレン基に置換基が結合した基である。 In one preferred embodiment, at least one X is an alkylene group, a group having a substituent attached to an alkylene group, a cycloalkylene group, or a group having a substituent attached to a cycloalkylene group.

上記カルボジイミド化合物の市販品としては、日清紡ケミカル社製「カルボジライト V−02B」、「カルボジライト V−03」、「カルボジライト V−04K」、「カルボジライト V−07」、「カルボジライト V−09」、「カルボジライト 10M−SP」、及び「カルボジライト 10M−SP(改)」、並びに、ラインケミー社製「スタバクゾールP」、「スタバクゾールP400」、及び「ハイカジル510」等が挙げられる。 Commercially available products of the above carbodiimide compounds include "carbodilite V-02B", "carbodilite V-03", "carbodilite V-04K", "carbodilite V-07", "carbodilite V-09", and "carbodilite" manufactured by Nisshinbo Chemical Co., Ltd. Examples thereof include "10M-SP" and "Carbodilite 10M-SP (revised)", and "Stavaxol P", "Stavaxol P400" and "Hikazil 510" manufactured by Rheinchemy.

上記酸無水物としては、テトラヒドロフタル酸無水物、及びアルキルスチレン−無水マレイン酸共重合体等が挙げられる。 Examples of the acid anhydride include tetrahydrophthalic anhydride, alkylstyrene-maleic anhydride copolymer and the like.

上記酸無水物の市販品としては、新日本理化社製「リカシッド TDA−100」等が挙げられる。 Examples of the commercially available product of the acid anhydride include "Ricacid TDA-100" manufactured by Shin Nihon Rika Co., Ltd.

上記エポキシ化合物100重量部に対する上記硬化剤の含有量は、好ましくは70重量部以上、より好ましくは85重量部以上であり、好ましくは150重量部以下、より好ましくは120重量部以下である。上記硬化剤の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化性により一層優れ、熱寸法安定性をより一層高め、残存未反応成分の揮発をより一層抑制できる。 The content of the curing agent with respect to 100 parts by weight of the epoxy compound is preferably 70 parts by weight or more, more preferably 85 parts by weight or more, preferably 150 parts by weight or less, and more preferably 120 parts by weight or less. When the content of the curing agent is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the curability is further improved, the thermal dimensional stability is further enhanced, and the volatilization of the residual unreacted component can be further suppressed.

上記樹脂材料中の充填材及び溶剤を除く成分100重量%中、上記第1の硬化性化合物と上記エポキシ化合物と上記硬化剤との合計の含有量は、好ましくは30重量%以上、より好ましくは50重量%以上であり、好ましくは98重量%以下、より好ましくは95重量%以下である。上記合計の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化性により一層優れ、熱寸法安定性をより一層高めることができる。 The total content of the first curable compound, the epoxy compound, and the curing agent in 100% by weight of the components excluding the filler and the solvent in the resin material is preferably 30% by weight or more, more preferably. It is 50% by weight or more, preferably 98% by weight or less, and more preferably 95% by weight or less. When the total content is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the curability is further improved and the thermal dimensional stability can be further improved.

[硬化促進剤]
上記樹脂材料は、硬化促進剤を含む。上記硬化促進剤の使用により、硬化速度がより一層速くなる。樹脂材料を速やかに硬化させることで、硬化物における架橋構造が均一になると共に、未反応の官能基数が減り、結果的に架橋密度が高くなる。上記硬化促進剤は特に限定されず、従来公知の硬化促進剤を使用可能である。上記硬化促進剤は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[Hardening accelerator]
The resin material contains a curing accelerator. By using the above-mentioned curing accelerator, the curing rate becomes even faster. By rapidly curing the resin material, the crosslinked structure in the cured product becomes uniform, the number of unreacted functional groups decreases, and as a result, the crosslinked density increases. The curing accelerator is not particularly limited, and conventionally known curing accelerators can be used. As the curing accelerator, only one kind may be used, or two or more kinds may be used in combination.

上記硬化促進剤としては、例えば、イミダゾール化合物等のアニオン性硬化促進剤、アミン化合物等のカチオン性硬化促進剤、リン化合物及び有機金属化合物等のアニオン性及びカチオン性硬化促進剤以外の硬化促進剤、並びに過酸化物等のラジカル性硬化促進剤等が挙げられる。 Examples of the curing accelerator include anionic curing accelerators such as imidazole compounds, cationic curing accelerators such as amine compounds, and curing accelerators other than anionic and cationic curing accelerators such as phosphorus compounds and organic metal compounds. , And radical curing accelerators such as peroxides.

上記イミダゾール化合物としては、2−ウンデシルイミダゾール、2−ヘプタデシルイミダゾール、2−メチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、2−フェニル−4−メチルイミダゾール、1−ベンジル−2−メチルイミダゾール、1−ベンジル−2−フェニルイミダゾール、1,2−ジメチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−エチル−4−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−ウンデシルイミダゾール、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル−2−ウンデシルイミダゾリウムトリメリテイト、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾリウムトリメリテイト、2,4−ジアミノ−6−[2’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−ウンデシルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−エチル−4’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジンイソシアヌル酸付加物、2−フェニルイミダゾールイソシアヌル酸付加物、2−メチルイミダゾールイソシアヌル酸付加物、2−フェニル−4,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール及び2−フェニル−4−メチル−5−ジヒドロキシメチルイミダゾール等が挙げられる。 Examples of the imidazole compound include 2-undecylimidazole, 2-heptadecylimidazole, 2-methylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 2-phenyl-4-methylimidazole, and 1-benzyl-. 2-Methylimidazole, 1-benzyl-2-phenylimidazole, 1,2-dimethylimidazole, 1-cyanoethyl-2-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-ethyl-4-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-un Decylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazolium trimellitate, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazolium trimellitate, 2,4-diamino-6- [2' -Methylimidazolyl- (1')]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6- [2'-undecylimidazolyl-(1')]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino- 6- [2'-ethyl-4'-methylimidazolyl- (1')]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6- [2'-methylimidazolyl- (1')]-ethyl-s -Triazine isocyanuric acid adduct, 2-phenylimidazole isocyanuric acid adduct, 2-methylimidazole isocyanuric acid adduct, 2-phenyl-4,5-dihydroxymethylimidazole and 2-phenyl-4-methyl-5-dihydroxymethylimidazole And so on.

上記アミン化合物としては、ジエチルアミン、トリエチルアミン、ジエチレンテトラミン、トリエチレンテトラミン及び4,4−ジメチルアミノピリジン等が挙げられる。 Examples of the amine compound include diethylamine, triethylamine, diethylenetetramine, triethylenetetramine, 4,4-dimethylaminopyridine and the like.

上記硬化剤が上記活性エステル化合物を含む場合には、上記硬化促進剤はジメチルアミノピリジンを含むことが好ましい。 When the curing agent contains the active ester compound, the curing accelerator preferably contains dimethylaminopyridine.

上記リン化合物としては、トリフェニルホスフィン化合物等が挙げられる。 Examples of the phosphorus compound include triphenylphosphine compounds and the like.

上記有機金属化合物としては、ナフテン酸亜鉛、ナフテン酸コバルト、オクチル酸スズ、オクチル酸コバルト、ビスアセチルアセトナートコバルト(II)及びトリスアセチルアセトナートコバルト(III)等が挙げられる。 Examples of the organic metal compound include zinc naphthenate, cobalt naphthenate, tin octylate, cobalt octylate, bisacetylacetonate cobalt (II) and trisacetylacetonate cobalt (III).

上記過酸化物としてはジクミルペルオキシド、及びパーヘキシル25B等が挙げられる。 Examples of the peroxide include dicumyl peroxide and perhexyl 25B.

硬化温度をより一層低く抑え、硬化物の反りを効果的に抑える観点からは、上記硬化促進剤は、上記アニオン性硬化促進剤を含むことが好ましく、上記イミダゾール化合物を含むことがより好ましい。 From the viewpoint of further suppressing the curing temperature and effectively suppressing the warpage of the cured product, the curing accelerator preferably contains the anionic curing accelerator, and more preferably contains the imidazole compound.

過酸化物である硬化促進剤とアニオン性硬化促進剤とを併用していてもよい。特にビニル化合物とエポキシ化合物とが併用される場合に、上記の2種の硬化促進剤を用いることにより、より一層良好な硬化物が得られる場合がある。 A curing accelerator which is a peroxide and an anionic curing accelerator may be used in combination. In particular, when a vinyl compound and an epoxy compound are used in combination, a better cured product may be obtained by using the above two types of curing accelerators.

硬化温度をより一層低く抑え、硬化物の反りを効果的に抑える観点からは、上記硬化促進剤100重量%中、上記アニオン性硬化促進剤の含有量は、好ましくは20重量%以上、より好ましくは50重量%以上、さらに好ましくは70重量%以上、最も好ましくは100重量%(全量)である。したがって、上記硬化促進剤は、上記アニオン性硬化促進剤であることが最も好ましい。 From the viewpoint of further suppressing the curing temperature and effectively suppressing the warpage of the cured product, the content of the anionic curing accelerator is preferably 20% by weight or more, more preferably 20% by weight or more, based on 100% by weight of the curing accelerator. Is 50% by weight or more, more preferably 70% by weight or more, and most preferably 100% by weight (total amount). Therefore, the curing accelerator is most preferably the anionic curing accelerator.

上記熱硬化性化合物として上記ビニル化合物を用いる場合、ラジカル硬化が進行するため、上記硬化促進剤は、上記ラジカル性硬化促進剤を含むことが好ましく、ジクミルペルオキシド、又は2,5−ジメチル−2,5−ビス(t−ブチルペルオキシ)ヘキシン−3であることがさらに好ましい。樹脂材料をプレキュア後に効率的に硬化させる場合には、1分間半減期温度が170℃以上200℃以下であるラジカル性硬化促進剤がより好ましい。1分間半減期温度が170℃以上200℃以下であるラジカル性硬化促進剤の市販品としては、日油社製「パーへキシン25B」等が挙げられる。 When the vinyl compound is used as the thermosetting compound, radical curing proceeds. Therefore, the curing accelerator preferably contains the radical curing accelerator, and is preferably dicumyl peroxide or 2,5-dimethyl-2. , 5-Bis (t-butylperoxy) hexin-3 is more preferred. When the resin material is efficiently cured after pre-cure, a radical curing accelerator having a 1-minute half-life temperature of 170 ° C. or higher and 200 ° C. or lower is more preferable. Examples of commercially available products of radical curing accelerators having a 1-minute half-life temperature of 170 ° C. or higher and 200 ° C. or lower include "Perhexin 25B" manufactured by NOF CORPORATION.

上記硬化促進剤の含有量は特に限定されない。樹脂材料中の充填材及び溶剤を除く成分100重量%中、上記硬化促進剤の含有量は、好ましくは0.01重量%以上、より好ましくは0.05重量%以上であり、好ましくは5重量%以下、より好ましくは3重量%以下である。上記硬化促進剤の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、樹脂材料が効率的に硬化する。上記硬化促進剤の含有量がより好ましい範囲であれば、樹脂材料の保存安定性がより一層高くなり、かつより一層良好な硬化物が得られる。 The content of the curing accelerator is not particularly limited. The content of the curing accelerator is preferably 0.01% by weight or more, more preferably 0.05% by weight or more, and preferably 5% by weight in 100% by weight of the components excluding the filler and the solvent in the resin material. % Or less, more preferably 3% by weight or less. When the content of the curing accelerator is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the resin material is efficiently cured. When the content of the curing accelerator is in a more preferable range, the storage stability of the resin material is further improved, and a better cured product can be obtained.

[熱可塑性樹脂]
上記樹脂材料は、熱可塑性樹脂を含むことが好ましい。上記熱可塑性樹脂としては、ポリビニルアセタール樹脂、ポリイミド樹脂及びフェノキシ樹脂等が挙げられる。上記熱可塑性樹脂は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[Thermoplastic resin]
The resin material preferably contains a thermoplastic resin. Examples of the thermoplastic resin include polyvinyl acetal resin, polyimide resin, and phenoxy resin. Only one type of the above-mentioned thermoplastic resin may be used, or two or more types may be used in combination.

硬化環境によらず、誘電正接を効果的に低くし、かつ、金属配線の密着性を効果的に高める観点からは、上記熱可塑性樹脂は、フェノキシ樹脂であることが好ましい。フェノキシ樹脂の使用により、樹脂フィルムの回路基板の穴又は凹凸に対する埋め込み性の悪化及び無機充填材の不均一化が抑えられる。また、フェノキシ樹脂の使用により、溶融粘度を調整可能であるために無機充填材の分散性が良好になり、かつ硬化過程で、意図しない領域に樹脂組成物又はBステージ化物が濡れ拡がり難くなる。 The thermoplastic resin is preferably a phenoxy resin from the viewpoint of effectively lowering the dielectric loss tangent and effectively enhancing the adhesion of the metal wiring regardless of the curing environment. By using the phenoxy resin, deterioration of embedding property in holes or irregularities of the circuit board of the resin film and non-uniformity of the inorganic filler can be suppressed. Further, by using the phenoxy resin, the melt viscosity can be adjusted, so that the dispersibility of the inorganic filler is improved, and the resin composition or the B-staged product is less likely to wet and spread in an unintended region during the curing process.

上記樹脂材料に含まれているフェノキシ樹脂は特に限定されない。上記フェノキシ樹脂として、従来公知のフェノキシ樹脂を使用可能である。上記フェノキシ樹脂は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。 The phenoxy resin contained in the above resin material is not particularly limited. As the phenoxy resin, a conventionally known phenoxy resin can be used. Only one kind of the phenoxy resin may be used, or two or more kinds thereof may be used in combination.

上記フェノキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールA型の骨格、ビスフェノールF型の骨格、ビスフェノールS型の骨格、ビフェニル骨格、ノボラック骨格、ナフタレン骨格及びイミド骨格などの骨格を有するフェノキシ樹脂等が挙げられる。 Examples of the phenoxy resin include phenoxy resins having skeletons such as bisphenol A type skeleton, bisphenol F type skeleton, bisphenol S type skeleton, biphenyl skeleton, novolak skeleton, naphthalene skeleton and imide skeleton.

上記フェノキシ樹脂の市販品としては、例えば、新日鉄住金化学社製の「YP50」、「YP55」及び「YP70」、並びに三菱化学社製の「1256B40」、「4250」、「4256H40」、「4275」、「YX6954BH30」及び「YX8100BH30」等が挙げられる。 Examples of commercially available phenoxy resins include "YP50", "YP55" and "YP70" manufactured by Nippon Steel & Sumitomo Metal Corporation, and "1256B40", "4250", "4256H40" and "4275" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation. , "YX6954BH30" and "YX8100BH30" and the like.

ハンドリング性、低粗度でのメッキピール強度及び絶縁層と金属層との密着性を高める観点から、上記熱可塑性樹脂は、ポリイミド樹脂(ポリイミド化合物)であることが好ましい。 The thermoplastic resin is preferably a polyimide resin (polyimide compound) from the viewpoint of improving handleability, plating peel strength at low roughness, and adhesion between the insulating layer and the metal layer.

溶解性を良好にする観点からは、上記ポリイミド化合物は、テトラカルボン酸二無水物とダイマージアミンとを反応させる方法によって得られたポリイミド化合物であることが好ましい。 From the viewpoint of improving the solubility, the polyimide compound is preferably a polyimide compound obtained by a method of reacting a tetracarboxylic dianhydride with a dimerdiamine.

なお、上記ポリイミド化合物は末端に、酸無水物構造、マレイミド構造、シトラコンイミド構造を有していてもよい。この場合には、上記ポリイミド化合物とエポキシ化合物とを反応させることができる。上記ポリイミド化合物とエポキシ化合物とを反応させることにより、硬化物の熱寸法安定性を高めることができる。 The polyimide compound may have an acid anhydride structure, a maleimide structure, or a citraconic imide structure at the terminal. In this case, the polyimide compound and the epoxy compound can be reacted. By reacting the polyimide compound with the epoxy compound, the thermal dimensional stability of the cured product can be improved.

保存安定性により一層優れた樹脂材料を得る観点からは、上記熱可塑性樹脂、上記ポリイミド樹脂及び上記フェノキシ樹脂の重量平均分子量は、好ましくは5000以上、より好ましくは10000以上であり、好ましくは100000以下、より好ましくは50000以下である。 From the viewpoint of obtaining a resin material having more excellent storage stability, the weight average molecular weights of the thermoplastic resin, the polyimide resin and the phenoxy resin are preferably 5000 or more, more preferably 10,000 or more, and preferably 100,000 or less. , More preferably 50,000 or less.

上記熱可塑性樹脂、上記ポリイミド樹脂及び上記フェノキシ樹脂の上記重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により測定されたポリスチレン換算での重量平均分子量を示す。 The weight average molecular weight of the thermoplastic resin, the polyimide resin, and the phenoxy resin indicates the polystyrene-equivalent weight average molecular weight measured by gel permeation chromatography (GPC).

上記熱可塑性樹脂、上記ポリイミド樹脂及び上記フェノキシ樹脂の含有量は特に限定されない。樹脂材料中の上記無機充填材及び上記溶剤を除く成分100重量%中、上記熱可塑性樹脂の含有量(熱可塑性樹脂がポリイミド樹脂又はフェノキシ樹脂である場合には、ポリイミド樹脂又はフェノキシ樹脂の含有量)は、好ましくは1重量%以上、より好ましくは2重量%以上、好ましくは30重量%以下、より好ましくは20重量%以下である。上記熱可塑性樹脂の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、樹脂材料の回路基板の穴又は凹凸に対する埋め込み性が良好になる。上記熱可塑性樹脂の含有量が上記下限以上であると、樹脂フィルムの形成がより一層容易になり、より一層良好な絶縁層が得られる。上記熱可塑性樹脂の含有量が上記上限以下であると、硬化物の熱膨張率がより一層低くなる。上記熱可塑性樹脂の含有量が上記上限以下であると、硬化物の表面の表面粗さがより一層小さくなり、硬化物と金属層との接着強度がより一層高くなる。 The contents of the thermoplastic resin, the polyimide resin and the phenoxy resin are not particularly limited. The content of the thermoplastic resin in 100% by weight of the components excluding the inorganic filler and the solvent in the resin material (when the thermoplastic resin is a polyimide resin or a phenoxy resin, the content of the polyimide resin or the phenoxy resin). ) Is preferably 1% by weight or more, more preferably 2% by weight or more, preferably 30% by weight or less, and more preferably 20% by weight or less. When the content of the thermoplastic resin is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the embedding property of the resin material in the holes or irregularities of the circuit board is improved. When the content of the thermoplastic resin is at least the above lower limit, the formation of the resin film becomes easier and a better insulating layer can be obtained. When the content of the thermoplastic resin is not more than the upper limit, the coefficient of thermal expansion of the cured product is further lowered. When the content of the thermoplastic resin is not more than the above upper limit, the surface roughness of the surface of the cured product is further reduced, and the adhesive strength between the cured product and the metal layer is further increased.

[溶剤]
上記樹脂材料は、溶剤を含まないか又は含む。上記溶剤の使用により、樹脂材料の粘度を好適な範囲に制御でき、樹脂材料の塗工性を高めることができる。また、上記溶剤は、上記無機充填材を含むスラリーを得るために用いられてもよい。上記溶剤は1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[solvent]
The resin material does not contain or contains a solvent. By using the above solvent, the viscosity of the resin material can be controlled in a suitable range, and the coatability of the resin material can be improved. Further, the solvent may be used to obtain a slurry containing the inorganic filler. Only one kind of the solvent may be used, or two or more kinds may be used in combination.

上記溶剤としては、アセトン、メタノール、エタノール、ブタノール、2−プロパノール、2−メトキシエタノール、2−エトキシエタノール、1−メトキシ−2−プロパノール、2−アセトキシ−1−メトキシプロパン、トルエン、キシレン、メチルエチルケトン、N,N−ジメチルホルムアミド、メチルイソブチルケトン、N−メチル−ピロリドン、n−ヘキサン、シクロヘキサン、シクロヘキサノン及び混合物であるナフサ等が挙げられる。 Examples of the solvent include acetone, methanol, ethanol, butanol, 2-propanol, 2-methoxyethanol, 2-ethoxyethanol, 1-methoxy-2-propanol, 2-acetoxy-1-methoxypropane, toluene, xylene, and methyl ethyl ketone. Examples thereof include N, N-dimethylformamide, methyl isobutyl ketone, N-methyl-pyrrolidone, n-hexane, cyclohexane, cyclohexanone and naphtha as a mixture.

上記溶剤の多くは、上記樹脂組成物をフィルム状に成形するときに、除去されることが好ましい。従って、上記溶剤の沸点は好ましくは200℃以下、より好ましくは180℃以下である。上記樹脂組成物中の上記溶剤の含有量は特に限定されない。上記樹脂組成物の塗工性などを考慮して、上記溶剤の含有量は適宜変更可能である。 Most of the solvent is preferably removed when the resin composition is formed into a film. Therefore, the boiling point of the solvent is preferably 200 ° C. or lower, more preferably 180 ° C. or lower. The content of the solvent in the resin composition is not particularly limited. The content of the solvent can be appropriately changed in consideration of the coatability of the resin composition and the like.

上記樹脂材料がBステージフィルムである場合には、上記Bステージフィルム100重量%中、上記溶剤の含有量は、好ましくは1重量%以上、より好ましくは2重量%以上であり、好ましくは10重量%以下、より好ましくは5重量%以下である。 When the resin material is a B stage film, the content of the solvent in 100% by weight of the B stage film is preferably 1% by weight or more, more preferably 2% by weight or more, and preferably 10% by weight. % Or less, more preferably 5% by weight or less.

[他の成分]
耐衝撃性、耐熱性、樹脂の相溶性及び作業性等の改善を目的として、上記樹脂材料は、レベリング剤、難燃剤、カップリング剤、着色剤、酸化防止剤、紫外線劣化防止剤、消泡剤、増粘剤、及び揺変性付与剤等を含んでいてもよい。
[Other ingredients]
For the purpose of improving impact resistance, heat resistance, resin compatibility, workability, etc., the above resin materials include leveling agents, flame retardants, coupling agents, colorants, antioxidants, UV deterioration inhibitors, and defoamers. It may contain an agent, a thickener, a rocking denaturing agent and the like.

上記カップリング剤としては、シランカップリング剤、チタンカップリング剤及びアルミニウムカップリング剤等が挙げられる。上記シランカップリング剤としては、ビニルシラン、アミノシラン、イミダゾールシラン及びエポキシシラン等が挙げられる。 Examples of the coupling agent include a silane coupling agent, a titanium coupling agent, an aluminum coupling agent, and the like. Examples of the silane coupling agent include vinylsilane, aminosilane, imidazolesilane, and epoxysilane.

(樹脂フィルム)
上述した樹脂組成物をフィルム状に成形することにより樹脂フィルム(Bステージ化物/Bステージフィルム)が得られる。上記樹脂材料は、樹脂フィルムであることが好ましい。樹脂フィルムは、Bステージフィルムであることが好ましい。
(Resin film)
A resin film (B-staged product / B-stage film) can be obtained by molding the above-mentioned resin composition into a film. The resin material is preferably a resin film. The resin film is preferably a B stage film.

樹脂組成物をフィルム状に成形して、樹脂フィルムを得る方法としては、以下の方法が挙げられる。押出機を用いて、樹脂組成物を溶融混練し、押出した後、Tダイ又はサーキュラーダイ等により、フィルム状に成形する押出成形法。溶剤を含む樹脂組成物をキャスティングしてフィルム状に成形するキャスティング成形法。従来公知のその他のフィルム成形法。薄型化に対応可能であることから、押出成形法又はキャスティング成形法が好ましい。フィルムにはシートが含まれる。 Examples of a method for obtaining a resin film by molding the resin composition into a film form include the following methods. An extrusion molding method in which a resin composition is melt-kneaded using an extruder, extruded, and then molded into a film by a T-die, a circular die, or the like. A casting molding method in which a resin composition containing a solvent is cast and molded into a film. Other conventionally known film forming methods. The extrusion molding method or the casting molding method is preferable because it can be made thinner. The film includes a sheet.

樹脂組成物をフィルム状に成形し、熱による硬化が進行し過ぎない程度に、例えば50℃〜150℃で1分間〜10分間加熱乾燥させることにより、Bステージフィルムである樹脂フィルムを得ることができる。 A resin film as a B stage film can be obtained by molding the resin composition into a film and heating and drying it at 50 ° C. to 150 ° C. for 1 to 10 minutes to the extent that curing by heat does not proceed too much. can.

上述のような乾燥工程により得ることができるフィルム状の樹脂組成物をBステージフィルムと称する。上記Bステージフィルムは、半硬化状態にある。半硬化物は、完全に硬化しておらず、硬化がさらに進行され得る。 The film-like resin composition obtained by the drying step as described above is referred to as a B stage film. The B stage film is in a semi-cured state. The semi-cured product is not completely cured and can be further cured.

上記樹脂フィルムは、プリプレグでなくてもよい。上記樹脂フィルムがプリプレグではない場合には、ガラスクロス等に沿ってマイグレーションが生じなくなる。また、樹脂フィルムをラミネート又はプレキュアする際に、表面にガラスクロスに起因する凹凸が生じなくなる。 The resin film does not have to be a prepreg. When the resin film is not a prepreg, migration does not occur along the glass cloth or the like. Further, when the resin film is laminated or pre-cured, unevenness due to the glass cloth does not occur on the surface.

上記樹脂フィルムは、金属箔又は基材フィルムと、該金属箔又は該基材フィルムの表面に積層された樹脂フィルムとを備える積層フィルムの形態で用いることができる。上記金属箔は銅箔であることが好ましい。 The resin film can be used in the form of a laminated film including a metal foil or a base film and a resin film laminated on the surface of the metal foil or the base film. The metal foil is preferably a copper foil.

上記積層フィルムの上記基材フィルムとしては、ポリエチレンテレフタレートフィルム及びポリブチレンテレフタレートフィルム等のポリエステル樹脂フィルム、ポリエチレンフィルム及びポリプロピレンフィルム等のオレフィン樹脂フィルム、並びにポリイミド樹脂フィルム等が挙げられる。上記基材フィルムの表面は、必要に応じて、離型処理されていてもよい。 Examples of the base film of the laminated film include polyester resin films such as polyethylene terephthalate film and polybutylene terephthalate film, olefin resin films such as polyethylene film and polypropylene film, and polyimide resin films. The surface of the base film may be mold-released, if necessary.

樹脂フィルムの硬化度をより一層均一に制御する観点からは、上記樹脂フィルムの厚さは、好ましくは5μm以上であり、好ましくは200μm以下である。上記樹脂フィルムを回路の絶縁層として用いる場合、上記樹脂フィルムにより形成された絶縁層の厚さは、回路を形成する導体層(金属層)の厚さ以上であることが好ましい。上記絶縁層の厚さは、好ましくは5μm以上であり、好ましくは200μm以下である。 From the viewpoint of controlling the degree of curing of the resin film more uniformly, the thickness of the resin film is preferably 5 μm or more, preferably 200 μm or less. When the resin film is used as the insulating layer of the circuit, the thickness of the insulating layer formed by the resin film is preferably equal to or larger than the thickness of the conductor layer (metal layer) forming the circuit. The thickness of the insulating layer is preferably 5 μm or more, and preferably 200 μm or less.

(樹脂材料の他の詳細)
上記樹脂材料を190℃で90分間加熱し、樹脂材料の硬化物を得る。得られた硬化物の23℃及び周波数5.8GHzでの誘電正接(Df)は、好ましくは3.00×10−3以下、より好ましくは2.75×10−3以下、さらに好ましくは2.50×10−3以下、特に好ましくは2.30×10−3以下、最も好ましくは2.10×10−3以下である。上記誘電正接(Df)は、2.10×10−3以上であってもよく、2.30×10−3以上であってもよい。
(Other details of resin material)
The resin material is heated at 190 ° C. for 90 minutes to obtain a cured product of the resin material. The dielectric loss tangent (Df) of the obtained cured product at 23 ° C. and a frequency of 5.8 GHz is preferably 3.00 × 10 -3 or less, more preferably 2.75 × 10 -3 or less, and further preferably 2. It is 50 × 10 -3 or less, particularly preferably 2.30 × 10 -3 or less, and most preferably 2.10 × 10 -3 or less. The dielectric loss tangent (Df) may be 2.10 × 10 -3 or more, or 2.30 × 10 -3 or more.

上記硬化物の誘電正接(Df)は、より具体的には、以下のようにして測定される。 More specifically, the dielectric loss tangent (Df) of the cured product is measured as follows.

フィルム状の樹脂材料(樹脂フィルム)を190℃で90分間加熱して、樹脂材料の硬化物を得る。得られた硬化物を幅2mm、長さ80mmの大きさに裁断して10枚を重ね合わせる。関東電子応用開発社製「空洞共振摂動法誘電率測定装置CP521」及びキーサイトテクノロジー社製「ネットワークアナライザーN5224A PNA」を用いて、空洞共振法で常温(23℃)にて、周波数5.8GHzにて誘電正接を測定する。 A film-shaped resin material (resin film) is heated at 190 ° C. for 90 minutes to obtain a cured product of the resin material. The obtained cured product is cut into a size of 2 mm in width and 80 mm in length, and 10 sheets are stacked. Using the "Cavity Resonance Permittivity Measuring Device CP521" manufactured by Kanto Electronics Application Development Co., Ltd. and the "Network Analyzer N5224A PNA" manufactured by Keysight Technology Co., Ltd., the frequency is 5.8 GHz at room temperature (23 ° C) by the cavity resonance method. Measure the dielectric loss tangent.

上記樹脂材料を190℃で90分間加熱し、樹脂材料の硬化物を得る。この場合に、得られた硬化物の引っ張り荷重33mNでの25℃〜150℃までの平均線膨張係数(CTE)は、好ましくは33ppm/℃以下、より好ましくは30ppm/℃以下、さらに好ましくは27ppm/℃以下、さらに一層好ましくは26ppm/℃以下、特に好ましくは24ppm/℃以下、最も好ましくは22ppm/℃以下である。上記平均線膨張係数(CTE)は、17ppm/℃以上であってもよく、19ppm/℃以上であってもよい。 The resin material is heated at 190 ° C. for 90 minutes to obtain a cured product of the resin material. In this case, the average coefficient of linear expansion (CTE) from 25 ° C. to 150 ° C. under a tensile load of 33 mN of the obtained cured product is preferably 33 ppm / ° C. or lower, more preferably 30 ppm / ° C. or lower, still more preferably 27 ppm. It is / ° C. or lower, more preferably 26 ppm / ° C. or lower, particularly preferably 24 ppm / ° C. or lower, and most preferably 22 ppm / ° C. or lower. The average coefficient of linear expansion (CTE) may be 17 ppm / ° C. or higher, or 19 ppm / ° C. or higher.

上記硬化物の平均線膨張係数(CTE)は、より具体的には、以下のようにして測定される。 More specifically, the average coefficient of linear expansion (CTE) of the cured product is measured as follows.

フィルム状の樹脂材料(樹脂フィルム)を190℃で90分間加熱して、樹脂材料の硬化物を得る。得られた硬化物を3mm×25mm大きさに裁断する。熱機械的分析装置(例えば、エスアイアイ・ナノテクノロジー社製「EXSTAR TMA/SS6100」)を用いて、引っ張り荷重33mN及び昇温速度5℃/分の条件で、裁断された硬化物の25℃〜150℃までの平均線膨張係数(ppm/℃)を算出する。 A film-shaped resin material (resin film) is heated at 190 ° C. for 90 minutes to obtain a cured product of the resin material. The obtained cured product is cut into a size of 3 mm × 25 mm. Using a thermomechanical analyzer (for example, "EXSTAR TMA / SS6100" manufactured by SII Nanotechnology), the cured product cut from 25 ° C to 25 ° C under the conditions of a tensile load of 33 mN and a heating rate of 5 ° C / min. The average linear expansion coefficient (ppm / ° C.) up to 150 ° C. is calculated.

(半導体装置、プリント配線板、銅張積層板及び多層プリント配線板)
上記樹脂材料は、半導体装置において半導体チップを埋め込むモールド樹脂を形成するために好適に用いられる。
(Semiconductor devices, printed wiring boards, copper-clad laminated boards and multi-layer printed wiring boards)
The resin material is suitably used for forming a mold resin for embedding a semiconductor chip in a semiconductor device.

上記樹脂材料は、液晶ポリマー(LCP)の代替用途、ミリ波アンテナ用途、再配線層用途、低誘電基板用途に好適に用いられる。また、上記樹脂材料は、上記用途に限らず、配線形成用途全般として、好適に用いられる。 The resin material is suitably used for a substitute application of a liquid crystal polymer (LCP), a millimeter wave antenna application, a rewiring layer application, and a low dielectric substrate application. Further, the resin material is suitably used not only for the above applications but also for all wiring forming applications.

上記樹脂材料は、絶縁材料として好適に用いられる。上記樹脂材料は、プリント配線板において絶縁層を形成するために好適に用いられる。 The resin material is preferably used as an insulating material. The resin material is suitably used for forming an insulating layer in a printed wiring board.

上記プリント配線板は、例えば、上記樹脂材料を加熱加圧成形することにより得られる。 The printed wiring board can be obtained, for example, by heat-press molding the resin material.

上記樹脂フィルムに対して、片面又は両面に金属層を表面に有する積層対象部材を積層できる。金属層を表面に有する積層対象部材と、上記金属層の表面上に積層された樹脂フィルムとを備え、上記樹脂フィルムが、上述した樹脂材料である、積層構造体を好適に得ることができる。上記樹脂フィルムと上記金属層を表面に有する積層対象部材とを積層する方法は特に限定されず、公知の方法を用いることができる。例えば、平行平板プレス機又はロールラミネーター等の装置を用いて、加熱しながら又は加熱せずに加圧しながら、上記樹脂フィルムを、金属層を表面に有する積層対象部材に積層可能である。 A member to be laminated having a metal layer on one side or both sides can be laminated on the resin film. A laminated structure comprising a member to be laminated having a metal layer on its surface and a resin film laminated on the surface of the metal layer, wherein the resin film is the above-mentioned resin material can be suitably obtained. The method of laminating the resin film and the member to be laminated having the metal layer on the surface is not particularly limited, and a known method can be used. For example, using a device such as a parallel flat plate press or a roll laminator, the resin film can be laminated on a member to be laminated having a metal layer on the surface while applying pressure with or without heating.

上記金属層の材料は銅であることが好ましい。 The material of the metal layer is preferably copper.

上記金属層を表面に有する積層対象部材は、銅箔等の金属箔であってもよい。 The member to be laminated having the metal layer on the surface may be a metal foil such as a copper foil.

上記樹脂材料は、銅張積層板を得るために好適に用いられる。上記銅張積層板の一例として、銅箔と、該銅箔の一方の表面に積層された樹脂フィルムとを備える銅張積層板が挙げられる。 The resin material is preferably used to obtain a copper-clad laminate. An example of the copper-clad laminate is a copper-clad laminate comprising a copper foil and a resin film laminated on one surface of the copper foil.

上記銅張積層板の上記銅箔の厚さは特に限定されない。上記銅箔の厚さは、1μm〜50μmの範囲内であることが好ましい。また、上記樹脂材料の硬化物と銅箔との接着強度を高めるために、上記銅箔は微細な凹凸を表面に有することが好ましい。凹凸の形成方法は特に限定されない。上記凹凸の形成方法としては、公知の薬液を用いた処理による形成方法等が挙げられる。 The thickness of the copper foil of the copper-clad laminate is not particularly limited. The thickness of the copper foil is preferably in the range of 1 μm to 50 μm. Further, in order to increase the adhesive strength between the cured product of the resin material and the copper foil, it is preferable that the copper foil has fine irregularities on the surface. The method of forming the unevenness is not particularly limited. Examples of the method for forming the unevenness include a method for forming the unevenness by a treatment using a known chemical solution.

上記樹脂材料は、多層基板を得るために好適に用いられる。 The resin material is preferably used to obtain a multilayer substrate.

上記多層基板の一例として、回路基板と、該回路基板上に積層された絶縁層とを備える多層基板が挙げられる。この多層基板の絶縁層が、上記樹脂材料により形成されている。また、多層基板の絶縁層が、積層フィルムを用いて、上記積層フィルムの上記樹脂フィルムにより形成されていてもよい。上記絶縁層は、回路基板の回路が設けられた表面上に積層されていることが好ましい。上記絶縁層の一部は、上記回路間に埋め込まれていることが好ましい。 As an example of the multilayer board, there is a multilayer board provided with a circuit board and an insulating layer laminated on the circuit board. The insulating layer of this multilayer board is formed of the above resin material. Further, the insulating layer of the multilayer substrate may be formed of the resin film of the laminated film by using the laminated film. The insulating layer is preferably laminated on the surface on which the circuit of the circuit board is provided. It is preferable that a part of the insulating layer is embedded between the circuits.

上記多層基板では、上記絶縁層の上記回路基板が積層された表面とは反対側の表面が粗化処理されていることが好ましい。 In the multilayer board, it is preferable that the surface of the insulating layer opposite to the surface on which the circuit board is laminated is roughened.

粗化処理方法は、従来公知の粗化処理方法を用いることができ、特に限定されない。上記絶縁層の表面は、粗化処理の前に膨潤処理されていてもよい。 As the roughening treatment method, a conventionally known roughening treatment method can be used and is not particularly limited. The surface of the insulating layer may be swelled before the roughening treatment.

また、上記多層基板は、上記絶縁層の粗化処理された表面に積層された銅めっき層をさらに備えることが好ましい。 Further, it is preferable that the multilayer substrate further includes a copper plating layer laminated on the surface of the insulating layer that has been roughened.

また、上記多層基板の他の例として、回路基板と、該回路基板の表面上に積層された絶縁層と、該絶縁層の上記回路基板が積層された表面とは反対側の表面に積層された銅箔とを備える多層基板が挙げられる。上記絶縁層が、銅箔と該銅箔の一方の表面に積層された樹脂フィルムとを備える銅張積層板を用いて、上記樹脂フィルムを硬化させることにより形成されていることが好ましい。さらに、上記銅箔はエッチング処理されており、銅回路であることが好ましい。 Further, as another example of the multilayer board, the circuit board, the insulating layer laminated on the surface of the circuit board, and the insulating layer laminated on the surface opposite to the surface on which the circuit board is laminated are laminated. A multilayer substrate provided with a copper foil can be mentioned. It is preferable that the insulating layer is formed by curing the resin film using a copper-clad laminate having a copper foil and a resin film laminated on one surface of the copper foil. Further, the copper foil is etched and preferably a copper circuit.

上記多層基板の他の例として、回路基板と、該回路基板の表面上に積層された複数の絶縁層とを備える多層基板が挙げられる。上記回路基板上に配置された上記複数層の絶縁層の内の少なくとも1層が、上記樹脂材料を用いて形成される。上記多層基板は、上記樹脂フィルムを用いて形成されている上記絶縁層の少なくとも一方の表面に積層されている回路をさらに備えることが好ましい。 As another example of the multilayer board, there is a multilayer board including a circuit board and a plurality of insulating layers laminated on the surface of the circuit board. At least one of the plurality of insulating layers arranged on the circuit board is formed by using the resin material. It is preferable that the multilayer board further includes a circuit laminated on at least one surface of the insulating layer formed by using the resin film.

本発明に係る樹脂材料は、多層プリント配線板において、絶縁層を形成するために好適に用いられる。 The resin material according to the present invention is suitably used for forming an insulating layer in a multilayer printed wiring board.

上記多層プリント配線板は、例えば、回路基板と、上記回路基板の表面上に配置された複数の絶縁層と、複数の上記絶縁層間に配置された金属層とを備える。上記絶縁層の内の少なくとも1層が、上記樹脂材料の硬化物である。 The multilayer printed wiring board includes, for example, a circuit board, a plurality of insulating layers arranged on the surface of the circuit board, and a metal layer arranged between the plurality of insulating layers. At least one of the insulating layers is a cured product of the resin material.

図1は、本発明の一実施形態に係る樹脂材料を用いた多層プリント配線板を模式的に示す断面図である。 FIG. 1 is a cross-sectional view schematically showing a multilayer printed wiring board using a resin material according to an embodiment of the present invention.

図1に示す多層プリント配線板11では、回路基板12の上面12aに、複数層の絶縁層13〜16が積層されている。絶縁層13〜16は、硬化物層である。回路基板12の上面12aの一部の領域には、金属層17が形成されている。複数層の絶縁層13〜16のうち、回路基板12側とは反対の外側の表面に位置する絶縁層16以外の絶縁層13〜15には、上面の一部の領域に金属層17が形成されている。金属層17は回路である。回路基板12と絶縁層13の間、及び積層された絶縁層13〜16の各層間に、金属層17がそれぞれ配置されている。下方の金属層17と上方の金属層17とは、図示しないビアホール接続及びスルーホール接続の内の少なくとも一方により互いに接続されている。 In the multilayer printed wiring board 11 shown in FIG. 1, a plurality of insulating layers 13 to 16 are laminated on the upper surface 12a of the circuit board 12. The insulating layers 13 to 16 are cured product layers. A metal layer 17 is formed in a part of the upper surface 12a of the circuit board 12. Of the plurality of insulating layers 13 to 16, the metal layer 17 is formed in a part of the upper surface of the insulating layers 13 to 15 other than the insulating layer 16 located on the outer surface opposite to the circuit board 12 side. Has been done. The metal layer 17 is a circuit. The metal layer 17 is arranged between the circuit board 12 and the insulating layer 13 and between the layers of the laminated insulating layers 13 to 16, respectively. The lower metal layer 17 and the upper metal layer 17 are connected to each other by at least one of a via hole connection and a through hole connection (not shown).

多層プリント配線板11では、絶縁層13〜16が、上記樹脂材料の硬化物により形成されている。本実施形態では、絶縁層13〜16の表面が粗化処理されているので、絶縁層13〜16の表面に図示しない微細な孔が形成されている。また、微細な孔の内部に金属層17が至っている。また、多層プリント配線板11では、金属層17の幅方向寸法(L)と、金属層17が形成されていない部分の幅方向寸法(S)とを小さくすることができる。また、多層プリント配線板11では、図示しないビアホール接続及びスルーホール接続で接続されていない上方の金属層と下方の金属層との間に、良好な絶縁信頼性が付与されている。 In the multilayer printed wiring board 11, the insulating layers 13 to 16 are formed of the cured product of the resin material. In the present embodiment, since the surface of the insulating layers 13 to 16 is roughened, fine holes (not shown) are formed on the surface of the insulating layers 13 to 16. Further, the metal layer 17 reaches the inside of the fine pores. Further, in the multilayer printed wiring board 11, the width direction dimension (L) of the metal layer 17 and the width direction dimension (S) of the portion where the metal layer 17 is not formed can be reduced. Further, in the multilayer printed wiring board 11, good insulation reliability is imparted between the upper metal layer and the lower metal layer which are not connected by via hole connection and through hole connection (not shown).

(粗化処理及び膨潤処理)
上記樹脂材料は、粗化処理又はデスミア処理される硬化物を得るために用いられることが好ましい。上記硬化物には、さらに硬化が可能な予備硬化物も含まれる。
(Roughening treatment and swelling treatment)
The resin material is preferably used to obtain a cured product to be roughened or desmeared. The cured product also includes a pre-cured product that can be further cured.

上記樹脂材料を予備硬化させることにより得られた硬化物の表面に微細な凹凸を形成するために、硬化物は粗化処理されることが好ましい。粗化処理の前に、硬化物は膨潤処理されることが好ましい。硬化物は、予備硬化の後、かつ粗化処理される前に、膨潤処理されており、さらに粗化処理の後に硬化されていることが好ましい。ただし、硬化物は、必ずしも膨潤処理されなくてもよい。 In order to form fine irregularities on the surface of the cured product obtained by pre-curing the resin material, it is preferable that the cured product is roughened. Prior to the roughening treatment, the cured product is preferably swelled. It is preferable that the cured product is swelled and further cured after the roughening treatment after the pre-curing and before the roughening treatment. However, the cured product does not necessarily have to be swelled.

上記膨潤処理の方法としては、例えば、エチレングリコールなどを主成分とする化合物の水溶液又は有機溶媒分散溶液などにより、硬化物を処理する方法が用いられる。膨潤処理に用いる膨潤液は、一般にpH調整剤などとして、アルカリを含む。膨潤液は、水酸化ナトリウムを含むことが好ましい。具体的には、例えば、上記膨潤処理は、40重量%エチレングリコール水溶液等を用いて、処理温度30℃〜85℃で1分間〜30分間、硬化物を処理することにより行なわれる。上記膨潤処理の温度は50℃〜85℃の範囲内であることが好ましい。上記膨潤処理の温度が低すぎると、膨潤処理に長時間を要し、さらに硬化物と金属層との接着強度が低くなる傾向がある。 As the method for the swelling treatment, for example, a method for treating a cured product with an aqueous solution of a compound containing ethylene glycol or the like as a main component, an organic solvent dispersion solution, or the like is used. The swelling liquid used for the swelling treatment generally contains an alkali as a pH adjuster or the like. The swelling liquid preferably contains sodium hydroxide. Specifically, for example, the swelling treatment is carried out by treating the cured product at a treatment temperature of 30 ° C. to 85 ° C. for 1 minute to 30 minutes using a 40 wt% ethylene glycol aqueous solution or the like. The temperature of the swelling treatment is preferably in the range of 50 ° C to 85 ° C. If the temperature of the swelling treatment is too low, the swelling treatment takes a long time, and the adhesive strength between the cured product and the metal layer tends to be low.

上記粗化処理には、例えば、マンガン化合物、クロム化合物又は過硫酸化合物などの化学酸化剤等が用いられる。これらの化学酸化剤は、水又は有機溶剤が添加された後、水溶液又は有機溶媒分散溶液として用いられる。粗化処理に用いられる粗化液は、一般にpH調整剤などとしてアルカリを含む。粗化液は、水酸化ナトリウムを含むことが好ましい。 For the roughening treatment, for example, a chemical oxidizing agent such as a manganese compound, a chromium compound or a persulfate compound is used. These chemical oxidizing agents are used as an aqueous solution or an organic solvent dispersion solution after water or an organic solvent is added. The roughening liquid used for the roughening treatment generally contains an alkali as a pH adjuster or the like. The roughening liquid preferably contains sodium hydroxide.

上記マンガン化合物としては、過マンガン酸カリウム及び過マンガン酸ナトリウム等が挙げられる。上記クロム化合物としては、重クロム酸カリウム及び無水クロム酸カリウム等が挙げられる。上記過硫酸化合物としては、過硫酸ナトリウム、過硫酸カリウム及び過硫酸アンモニウム等が挙げられる。 Examples of the manganese compound include potassium permanganate and sodium permanganate. Examples of the chromium compound include potassium dichromate and anhydrous potassium chromate. Examples of the persulfate compound include sodium persulfate, potassium persulfate, ammonium persulfate and the like.

硬化物の表面の算術平均粗さRaは、好ましくは10nm以上であり、好ましくは300nm以下、より好ましくは200nm以下、さらに好ましくは150nm以下である。この場合には、硬化物と金属層との接着強度が高くなり、さらに絶縁層の表面により一層微細な配線が形成される。さらに、導体損失を抑えることができ、信号損失を低く抑えることができる。上記算術平均粗さRaは、JIS B0601:1994に準拠して測定される。 The arithmetic average roughness Ra of the surface of the cured product is preferably 10 nm or more, preferably 300 nm or less, more preferably 200 nm or less, and further preferably 150 nm or less. In this case, the adhesive strength between the cured product and the metal layer is increased, and the surface of the insulating layer forms finer wiring. Further, the conductor loss can be suppressed and the signal loss can be suppressed low. The arithmetic mean roughness Ra is measured according to JIS B0601: 1994.

(デスミア処理)
上記樹脂材料を予備硬化させることにより得られた硬化物に、貫通孔が形成されることがある。上記多層基板などでは、貫通孔として、ビア又はスルーホール等が形成される。例えば、ビアは、COレーザー等のレーザーの照射により形成できる。ビアの直径は特に限定されないが、60μm〜80μm程度である。上記貫通孔の形成により、ビア内の底部には、硬化物に含まれている樹脂成分に由来する樹脂の残渣であるスミアが形成されることが多い。
(Desmia processing)
Through holes may be formed in the cured product obtained by pre-curing the resin material. In the multilayer board or the like, vias, through holes, or the like are formed as through holes. For example, vias can be formed by irradiation with a laser such as a CO 2 laser. The diameter of the via is not particularly limited, but is about 60 μm to 80 μm. Due to the formation of the through holes, smear, which is a residue of the resin derived from the resin component contained in the cured product, is often formed at the bottom of the via.

上記スミアを除去するために、硬化物の表面は、デスミア処理されることが好ましい。デスミア処理が粗化処理を兼ねることもある。 In order to remove the smear, it is preferable that the surface of the cured product is desmear-treated. The desmear treatment may also serve as the roughening treatment.

上記デスミア処理には、上記粗化処理と同様に、例えば、マンガン化合物、クロム化合物又は過硫酸化合物等の化学酸化剤等が用いられる。これらの化学酸化剤は、水又は有機溶剤が添加された後、水溶液又は有機溶媒分散溶液として用いられる。デスミア処理に用いられるデスミア処理液は、一般にアルカリを含む。デスミア処理液は、水酸化ナトリウムを含むことが好ましい。 In the desmear treatment, for example, a chemical oxidizing agent such as a manganese compound, a chromium compound or a persulfate compound is used in the same manner as in the roughening treatment. These chemical oxidizing agents are used as an aqueous solution or an organic solvent dispersion solution after water or an organic solvent is added. The desmear treatment liquid used for the desmear treatment generally contains an alkali. The desmear treatment liquid preferably contains sodium hydroxide.

上記樹脂材料の使用により、デスミア処理された硬化物の表面の表面粗さが十分に小さくなる。 By using the above resin material, the surface roughness of the surface of the desmear-treated cured product is sufficiently reduced.

以下、実施例及び比較例を挙げることにより、本発明を具体的に説明する。本発明は、以下の実施例に限定されない。 Hereinafter, the present invention will be specifically described with reference to Examples and Comparative Examples. The present invention is not limited to the following examples.

以下の材料を用意した。 The following materials were prepared.

(第1の硬化性化合物)
上記式(11)で表される化合物(下記の合成例1に従って合成、ガラス転移温度:50℃未満、分子量723)
(First curable compound)
Compound represented by the above formula (11) (synthesized according to Synthesis Example 1 below, glass transition temperature: less than 50 ° C., molecular weight 723)

なお、上記式(11)で表される化合物は、上記式(12)で表される化合物を少なくとも含む。 The compound represented by the above formula (11) includes at least the compound represented by the above formula (12).

<合成例1>
500mL三口フラスコに、トルエン200g、ダイマージアミン(クローダジャパン社製「Priamine 1075」)68.6gを入れ、撹拌した。次いで、上記の三口フラスコに、無水シトラコン酸(東京化成工業社製)28.9gと、不溶性の酸触媒(DuPont社製「amberlyst 36ドライ」)6.25gとを入れて、撹拌した。ディーンスターク管付き還流管をとりつけ、温度をオイルバスの130℃にし、撹拌しながら、4時間還流した。その後、空冷し、ろ過した後、酸触媒を除去した。さらに、エバポレータとエアーパージによって、溶媒及び過剰な無水シトラコン酸を除去した。
<Synthesis example 1>
Toluene (200 g) and diamine diamine ("Priamine 1075" manufactured by Croda Japan) (68.6 g) were placed in a 500 mL three-necked flask and stirred. Next, 28.9 g of anhydrous citraconic acid (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) and 6.25 g of an insoluble acid catalyst (“amberlyst 36 dry” manufactured by DuPont) were placed in the above three-necked flask and stirred. A reflux tube with a Dean-Stark tube was attached, the temperature was adjusted to 130 ° C. in an oil bath, and the mixture was refluxed for 4 hours with stirring. Then, after cooling with air and filtering, the acid catalyst was removed. In addition, the solvent and excess citraconic anhydride were removed by evaporation and air purging.

(第1の硬化性化合物に相当しない化合物)
1,3−ビス(シトラコンイミドメチル)ベンゼン(ガラス転移温度:75℃)
両末端にマレイミド基を有し、かつダイマージアミンに由来する骨格を有するマレイミド化合物(DMI社製「BMI−689」、ガラス転移温度:50℃未満、分子量695、下記式(X1)で表される構造を有する化合物を少なくとも含む)
両末端にベンゾオキサジン基を有し、かつダイマージアミンに由来する骨格を有するベンゾオキサジン化合物(下記の合成例2に従って合成、ガラス転移温度:50℃未満、分子量771、下記式(X2)で表される構造を有する化合物を少なくとも含む)
(Compound that does not correspond to the first curable compound)
1,3-bis (citraconimidemethyl) benzene (glass transition temperature: 75 ° C)
A maleimide compound having a maleimide group at both ends and having a skeleton derived from dimerdiamine (“BMI-689” manufactured by DMI, glass transition temperature: less than 50 ° C., molecular weight 695, represented by the following formula (X1)). Including at least a compound having a structure)
A benzoxazine compound having a benzoxazine group at both ends and having a skeleton derived from dimerdiamine (synthesized according to Synthesis Example 2 below, glass transition temperature: less than 50 ° C., molecular weight 771, represented by the following formula (X2)). (Including at least a compound having such a structure)

<合成例2>
250mL三口フラスコに、トルエン100gと、ダイマージアミン(クローダジャパン社製「Priamine 1075」)20.5gとを入れ、撹拌した。次いで、上記の三口フラスコに、ホルムアルデヒド液(パラホルムアルデヒド、東京化成工業社製)22.5g、フェノール14.12gを少しずつ添加し、撹拌した。ディーンスターク管付き還流管をとりつけ、温度をオイルバスの130℃にし、撹拌しながら、4時間還流した。その後、空冷し、溶媒、過剰なパラホルム及びフェノールを除去した。
<Synthesis example 2>
Toluene (100 g) and diamine diamine ("Priamine 1075" manufactured by Croda Japan Co., Ltd.) (20.5 g) were placed in a 250 mL three-necked flask and stirred. Next, 22.5 g of formaldehyde solution (paraformaldehyde, manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) and 14.12 g of phenol were added little by little to the above-mentioned three-necked flask, and the mixture was stirred. A reflux tube with a Dean-Stark tube was attached, the temperature was adjusted to 130 ° C. in an oil bath, and the mixture was refluxed for 4 hours with stirring. Then, it was air-cooled to remove the solvent, excess paraform and phenol.

Figure 2022001615
Figure 2022001615

上記式(X1)中、Rは、炭素数8の直鎖状の炭化水素基を表し、Rは、炭素数6の直鎖状の炭化水素基を表し、Rは、炭素数8の直鎖状の炭化水素基を表し、Rは、炭素数8の直鎖状の炭化水素基を表す。 In the above formula (X1), R 1 represents a linear hydrocarbon group having 8 carbon atoms, R 2 represents a linear hydrocarbon group having 6 carbon atoms, and R 3 represents 8 carbon atoms. It represents a linear hydrocarbon group, R 4 represents a straight-chain hydrocarbon group having 8 carbon atoms.

Figure 2022001615
Figure 2022001615

上記式(X2)中、Rは、炭素数8の直鎖状の炭化水素基を表し、Rは、炭素数6の直鎖状の炭化水素基を表し、Rは、炭素数8の直鎖状の炭化水素基を表し、Rは、炭素数8の直鎖状の炭化水素基を表す。 In the above formula (X2), R 1 represents a linear hydrocarbon group having 8 carbon atoms, R 2 represents a linear hydrocarbon group having 6 carbon atoms, and R 3 represents 8 carbon atoms. It represents a linear hydrocarbon group, R 4 represents a straight-chain hydrocarbon group having 8 carbon atoms.

(熱硬化性化合物(第2の熱硬化性化合物))
<ビスマレイミド化合物>
ビスマレイミド化合物1(下記の合成例3に従って合成、ガラス転移温度:80℃〜120℃)
(Thermosetting compound (second thermosetting compound))
<Bismaleimide compound>
Bismaleimide compound 1 (synthesized according to Synthesis Example 3 below, glass transition temperature: 80 ° C to 120 ° C)

<合成例3>
500mL三口フラスコに、トルエン115gと、N−メチル−2−ピロリドン(NMP)35gと、ダイマージアミン(クローダジャパン社製「Priamine 1075」)8.7gと、ノルボルナンジアミン(三井化学ファイン社製「Pro−NBDA」)10.00gとを入れ、撹拌した。次いで、上記の三口フラスコに、メタンスルホン酸(東京化成工業社製)3.0gを入れ、スリーワンモーター付き撹拌棒を用いて撹拌した。また、4,4’−ビフタル酸無水物(東京化成工業社製)7.78gと、5−(2,5−ジオキソテトラヒドロフリル)−3−メチル−3−シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸無水物(東京化成工業社製)6.99gとの混合液を得た。得られた混合液を、上記の三口フラスコに入れて撹拌した。次いで、三口フラスコの1つの口にディーンスターク管付き還流管をとりつけ、オイルバスの温度を130℃にし、撹拌しながら、4時間還流した。次いで、無水マレイン酸(東京化成工業社製)6.22gを三口フラスコに入れて、4時間還流した。還流後、有機層を3回水洗し、ビスマレイミド化合物が溶解した有機層を得た。有機層から水分を留去した後、メタノール2L中にゆっくり滴下し、再沈殿させて固形分を得た。固形分を吸引ろ過により集め、真空オーブンで乾燥させ、生成物を得た(回収率80%)。なお、上記の再沈殿は、行ってもよく、行わなくてもよい。
<Synthesis example 3>
In a 500 mL three-necked flask, 115 g of toluene, 35 g of N-methyl-2-pyrrolidone (NMP), 8.7 g of dimerdiamine ("Priamine 1075" manufactured by Croda Japan), and norbornane diamine ("Pro-" manufactured by Mitsui Kagaku Fine Co., Ltd.). NBDA ") 10.00 g was added and stirred. Next, 3.0 g of methanesulfonic acid (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) was placed in the above three-necked flask and stirred using a stirring rod equipped with a three-one motor. In addition, 7.78 g of 4,4'-biphthalic anhydride (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) and 5- (2,5-dioxotetrahydrofuryl) -3-methyl-3-cyclohexene-1,2-dicarboxylic acid. A mixed solution with 6.99 g of anhydride (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) was obtained. The obtained mixed solution was placed in the above-mentioned three-necked flask and stirred. Next, a reflux tube with a Dean-Stark tube was attached to one mouth of the three-necked flask, the temperature of the oil bath was adjusted to 130 ° C., and the mixture was refluxed for 4 hours with stirring. Then, 6.22 g of maleic anhydride (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) was placed in a three-necked flask and refluxed for 4 hours. After refluxing, the organic layer was washed with water three times to obtain an organic layer in which the bismaleimide compound was dissolved. After distilling off water from the organic layer, it was slowly added dropwise to 2 L of methanol and reprecipitated to obtain a solid content. The solids were collected by suction filtration and dried in a vacuum oven to give the product (recovery rate 80%). The above reprecipitation may or may not be performed.

ビスマレイミド化合物2(下記の合成例4に従って合成、ガラス転移温度:80℃〜120℃) Bismaleimide compound 2 (synthesized according to Synthesis Example 4 below, glass transition temperature: 80 ° C to 120 ° C)

<合成例4>
500mL三口フラスコに、トルエン115gと、N−メチル−2−ピロリドン(NMP)35gと、ダイマージアミン(クローダジャパン社製「Priamine 1075」)16.3gと、ノルボルナンジアミン(三井化学ファイン社製「Pro−NBDA」)7.81gとを入れ、撹拌した。次いで、上記の三口フラスコに、メタンスルホン酸(東京化成工業社製)3.0gを入れ、スリーワンモーター付き撹拌棒を用いて撹拌した。また、4,4’−ビフタル酸無水物(東京化成工業社製)7.78gと、ビシクロ[2.2.2]オクト−7−エン−2,3,5,6−テトラカルボン酸二無水物(東京化成工業社製)6.56gとの混合液を得た。得られた混合液を、上記の三口フラスコに入れて撹拌した。次いで、三口フラスコの1つの口にディーンスターク管付き還流管をとりつけ、オイルバスの温度を130℃にし、撹拌しながら、4時間還流した。次いで、6.22gの無水マレイン酸(東京化成工業社製)を三口フラスコに入れて、4時間還流した。還流後、有機層を3回水洗し、ビスマレイミド化合物が溶解した有機層を得た。有機層から水分を留去した後、メタノール2L中にゆっくり滴下し、再沈殿させて固形分を得た。固形分を吸引ろ過により集め、真空オーブンで乾燥させ、生成物を得た(回収率81%)。なお、上記の再沈殿は、行ってもよく、行わなくてもよい。
<Synthesis example 4>
In a 500 mL three-necked flask, 115 g of toluene, 35 g of N-methyl-2-pyrrolidone (NMP), 16.3 g of dimerdiamine ("Priamine 1075" manufactured by Croda Japan), and norbornane diamine ("Pro-" manufactured by Mitsui Kagaku Fine Co., Ltd.). NBDA ") 7.81 g was added and stirred. Next, 3.0 g of methanesulfonic acid (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) was placed in the above three-necked flask and stirred using a stirring rod equipped with a three-one motor. In addition, 7.78 g of 4,4'-biphthalic acid anhydride (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) and bicyclo [2.2.2] Oct-7-en-2,3,5,6-tetracarboxylic dianhydride. A mixed solution with 6.56 g of a product (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) was obtained. The obtained mixed solution was placed in the above-mentioned three-necked flask and stirred. Next, a reflux tube with a Dean-Stark tube was attached to one mouth of the three-necked flask, the temperature of the oil bath was adjusted to 130 ° C., and the mixture was refluxed for 4 hours with stirring. Then, 6.22 g of maleic anhydride (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) was placed in a three-necked flask and refluxed for 4 hours. After refluxing, the organic layer was washed with water three times to obtain an organic layer in which the bismaleimide compound was dissolved. After distilling off water from the organic layer, it was slowly added dropwise to 2 L of methanol and reprecipitated to obtain a solid content. The solids were collected by suction filtration and dried in a vacuum oven to give the product (recovery rate 81%). The above reprecipitation may or may not be performed.

<エポキシ化合物>
ビフェニル型エポキシ化合物(日本化薬社製「NC−3000L」)
ナフタレン型エポキシ化合物(新日鉄住金化学社製「ESN−475V」)
レゾルシノールジグリシジルエーテル(ナガセケムテックス社製「EX−201」)
多分岐脂肪族エポキシ化合物(日産化学社製「FoldiE101」)
アミド骨格を有するエポキシ化合物(日本化薬社製「WHR991S」)
アミノ基を有するエポキシ化合物(三菱化学社製「630」)
ブタジエン骨格を有するエポキシ化合物(ダイセル社製「PB3600」)
<Epoxy compound>
Biphenyl type epoxy compound ("NC-3000L" manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)
Naphthalene type epoxy compound ("ESN-475V" manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd.)
Resorcinol diglycidyl ether (“EX-201” manufactured by Nagase ChemteX Corporation)
Multi-branched aliphatic epoxy compound ("FoldiE101" manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd.)
Epoxy compound with amide skeleton ("WHR991S" manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)
Epoxy compound with amino group ("630" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation)
Epoxy compound with butadiene skeleton ("PB3600" manufactured by Daicel)

(無機充填材)
シリカ含有スラリー(シリカ75重量%:アドマテックス社製「SC4050−HOA」、平均粒径1.0μm、アミノシラン処理、シクロヘキサノン25重量%)
(Inorganic filler)
Silica-containing slurry (silica 75% by weight: "SC4050-HOA" manufactured by Admatex, average particle size 1.0 μm, aminosilane treatment, cyclohexanone 25% by weight)

(硬化剤)
活性エステル化合物1含有液(DIC社製「EXB−9416−70BK」、固形分70重量%)
活性エステル化合物2含有液(DIC社製「HPC−8000L」、固形分65重量%)
活性エステル化合物3含有液(DIC社製「HPC−8150−62T」、固形分62重量%)
活性エステル化合物4(DIC社製「EXB−8」、固形分100重量%、低分子活性エステル化合物)
フェノール化合物含有液(DIC社製「LA−1356」、固形分60重量%)
(Hardener)
Liquid containing 1 active ester compound ("EXB-9416-70BK" manufactured by DIC Corporation, solid content 70% by weight)
Active ester compound 2 containing liquid ("HPC-8000L" manufactured by DIC Corporation, solid content 65% by weight)
Active ester compound 3 containing liquid ("HPC-8150-62T" manufactured by DIC Corporation, solid content 62% by weight)
Active ester compound 4 (“EXB-8” manufactured by DIC Corporation, solid content 100% by weight, small molecule active ester compound)
Phenol compound-containing liquid ("LA-1356" manufactured by DIC Corporation, solid content 60% by weight)

(硬化促進剤)
ジメチルアミノピリジン(和光純薬工業社製「DMAP」、アニオン性硬化促進剤)
2−フェニル−4−メチルイミダゾール(四国化成工業社製「2P4MZ」、アニオン性硬化促進剤)
(Hardening accelerator)
Dimethylaminopyridine ("DMAP" manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd., anionic curing accelerator)
2-Phenyl-4-methylimidazole ("2P4MZ" manufactured by Shikoku Chemicals Corporation, anionic curing accelerator)

(熱可塑性樹脂)
ポリイミド化合物(ポリイミド樹脂、下記の合成例5に従って合成、分子量20000)
(Thermoplastic resin)
Polyimide compound (polyimide resin, synthesized according to Synthesis Example 5 below, molecular weight 20000)

<合成例5>
撹拌機、分水器、温度計及び窒素ガス導入管を備えた反応容器に、テトラカルボン酸二無水物(SABICジャパン合同会社製「BisDA−1000」)300.0gと、シクロヘキサノン665.5gとを入れ、反応容器中の溶液を60℃まで加熱した。次いで、反応容器中に、ダイマージアミン(クローダジャパン社製「PRIAMINE1075」)89.0gと、1,3−ビスアミノメチルシクロヘキサン(三菱ガス化学社製)54.7gとを滴下した。次いで、反応容器中に、メチルシクロヘキサン121.0gと、エチレングリコールジメチルエーテル423.5gとを添加し、140℃で10時間かけてイミド化反応を行った。このようにして、ポリイミド化合物含有溶液(不揮発分26.8重量%)を得た。得られたポリイミド化合物の分子量(重量平均分子量)は20000であった。なお、酸成分/アミン成分のモル比は1.04であった。
<Synthesis Example 5>
300.0 g of tetracarboxylic dianhydride (“BisDA-1000” manufactured by SABIC Japan GK) and 665.5 g of cyclohexanone were placed in a reaction vessel equipped with a stirrer, water divider, thermometer and nitrogen gas introduction tube. And the solution in the reaction vessel was heated to 60 ° C. Next, 89.0 g of dimer diamine (“PRIAMINE 1075” manufactured by Croda Japan Co., Ltd.) and 54.7 g of 1,3-bisaminomethylcyclohexane (manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc.) were added dropwise to the reaction vessel. Next, 121.0 g of methylcyclohexane and 423.5 g of ethylene glycol dimethyl ether were added to the reaction vessel, and an imidization reaction was carried out at 140 ° C. for 10 hours. In this way, a polyimide compound-containing solution (nonvolatile content 26.8% by weight) was obtained. The molecular weight (weight average molecular weight) of the obtained polyimide compound was 20000. The molar ratio of the acid component / amine component was 1.04.

(分子量の測定)
第1の硬化性化合物及びポリイミド化合物の分子量は、以下のようにして求めた。
(Measurement of molecular weight)
The molecular weights of the first curable compound and the polyimide compound were determined as follows.

GPC(ゲルパーミエーションクロマトグラフィー)測定:
島津製作所社製高速液体クロマトグラフシステムを使用し、テトラヒドロフラン(THF)を展開媒として、カラム温度40℃、流速1.0ml/分で測定を行った。検出器として「SPD−10A」を用い、カラムはShodex社製「KF−804L」(排除限界分子量400,000)を2本直列につないで使用した。標準ポリスチレンとして、東ソー社製「TSKスタンダードポリスチレン」を用い、重量平均分子量Mw=354,000、189,000、98,900、37,200、17,100、9,830、5,870、2,500、1,050、500の物質を使用して較正曲線を作成し、分子量の計算を行った。
GPC (Gel Permeation Chromatography) Measurement:
A high performance liquid chromatograph system manufactured by Shimadzu Corporation was used, and measurement was carried out using tetrahydrofuran (THF) as a developing medium at a column temperature of 40 ° C. and a flow velocity of 1.0 ml / min. "SPD-10A" was used as a detector, and two columns of "KF-804L" (exclusion limit molecular weight 400,000) manufactured by Shodex Co., Ltd. were connected in series and used. Tosoh's "TSK standard polystyrene" is used as the standard polystyrene, and the weight average molecular weight Mw = 354,000, 189,000, 98,900, 37,200, 17,100, 9,830, 5,870, 2, Calibration curves were made using 500, 1,050, and 500 materials and the molecular weight was calculated.

(実施例1,2及び比較例1〜4)
下記の表1,2に示す成分を下記の表1,2に示す配合量(単位は固形分重量部)で配合し、均一な溶液となるまで常温で撹拌し、樹脂材料を得た。
(Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 to 4)
The components shown in Tables 1 and 2 below were blended in the blending amounts (unit: parts by weight of solid content) shown in Tables 1 and 2 below, and stirred at room temperature until a uniform solution was obtained to obtain a resin material.

樹脂フィルムの作製:
アプリケーターを用いて、離型処理されたPETフィルム(東レ社製「XG284」、厚み25μm)の離型処理面上に得られた樹脂材料を塗工した後、100℃のギヤオーブン内で2分30秒間乾燥し、溶剤を揮発させた。このようにして、PETフィルム上に、厚さが40μmである樹脂フィルム(Bステージフィルム)が積層されている積層フィルム(PETフィルムと樹脂フィルムとの積層フィルム)を得た。
Preparation of resin film:
After applying the obtained resin material on the release-treated surface of the release-treated PET film (Toray Industries, Inc. "XG284", thickness 25 μm) using an applicator, 2 minutes in a gear oven at 100 ° C. It was dried for 30 seconds to volatilize the solvent. In this way, a laminated film (laminated film of PET film and resin film) in which a resin film (B stage film) having a thickness of 40 μm is laminated on the PET film was obtained.

(評価)
(1)保存安定性
得られた樹脂フィルム(Bステージフィルム)を常温で3日間静置した。静置前後のBステージフィルムの溶融粘度を測定した。静置前のBステージフィルムの100℃における溶融粘度の最小値(最低溶融粘度)と静置後のBステージフィルムの100℃における溶融粘度の最小値(最低溶融粘度)とから、溶融粘度の上昇割合を求めた。保存安定性を下記の基準で判定した。なお、溶融粘度は、Rheometer装置(TAインスツルメント社製「AR2000」)を用い、60℃〜180℃の範囲で昇温速度5℃/分、歪み20%、周波数1Hzの条件で、大気下で測定した。
(evaluation)
(1) Storage stability The obtained resin film (B stage film) was allowed to stand at room temperature for 3 days. The melt viscosity of the B stage film before and after standing was measured. The melt viscosity increases from the minimum value of the melt viscosity of the B stage film before standing at 100 ° C (minimum melt viscosity) and the minimum value of the melt viscosity of the B stage film after standing at 100 ° C (minimum melt viscosity). The ratio was calculated. Storage stability was judged according to the following criteria. The melt viscosity was determined by using a rheometer device (“AR2000” manufactured by TA Instruments) under the conditions of a temperature rise rate of 5 ° C./min, strain of 20%, and frequency of 1 Hz in the range of 60 ° C to 180 ° C. Measured at.

[保存安定性の判定基準]
○:溶融粘度の上昇割合が25%未満
×:溶融粘度の上昇割合が25%以上
[Criteria for storage stability]
◯: The rate of increase in melt viscosity is less than 25% ×: The rate of increase in melt viscosity is 25% or more

(2)硬化性能
得られた樹脂フィルム(Bステージフィルム)の硬化に伴う発熱ピークを、示差走査熱量測定装置(TA・インスツルメント社製「Q2000」)を用いて評価した。専用アルミパンに樹脂フィルム8mgを取り、専用治具を用いて蓋をした。この専用アルミパンと空のアルミパン(リファレンス)とを加熱ユニット内に設置し、昇温速度3℃/分で−30℃から250℃まで窒素雰囲気下で加熱を行い、リバースヒートフロー及びノンリバースヒートフローの観測を行った。ノンリバースヒートフローにおいて観測される発熱ピークにより、硬化温度を確認した。硬化性能を下記の基準で判定した。
(2) Curing performance The exothermic peak associated with curing of the obtained resin film (B stage film) was evaluated using a differential scanning calorimetry device (“Q2000” manufactured by TA Instrument Co., Ltd.). 8 mg of the resin film was taken on a special aluminum pan and covered with a special jig. This dedicated aluminum pan and an empty aluminum pan (reference) are installed in the heating unit and heated from -30 ° C to 250 ° C at a heating rate of 3 ° C / min under a nitrogen atmosphere, and reverse heat flow and non-reverse. The heat flow was observed. The curing temperature was confirmed by the exothermic peak observed in the non-reverse heat flow. The curing performance was judged according to the following criteria.

[硬化性能の判定基準]
○:200℃以下に全ての発熱ピークを有する
×:200℃よりも高い温度に少なくとも一つの発熱ピークを有する(200℃よりも高い温度に発熱ピークを有し、かつ200℃以下にも発熱ピークを有するものを含む)
[Criteria for curing performance]
◯: All exothermic peaks at 200 ° C. or lower ×: At least one exothermic peak at a temperature higher than 200 ° C. (an exothermic peak at a temperature higher than 200 ° C. and an exothermic peak at 200 ° C. or lower Including those with)

(3)誘電正接(Df)
得られた樹脂フィルムを190℃で90分間加熱して、硬化物を得た。得られた硬化物を幅2mm、長さ80mmの大きさに裁断して10枚を重ね合わせて、関東電子応用開発社製「空洞共振摂動法誘電率測定装置CP521」及びキーサイトテクノロジー社製「ネットワークアナライザーN5224A PNA」を用いて、空洞共振法で常温(23℃)にて、周波数5.8GHzにて誘電正接を測定した。
(3) Dissipation factor (Df)
The obtained resin film was heated at 190 ° C. for 90 minutes to obtain a cured product. The obtained cured product was cut into a size of 2 mm in width and 80 mm in length, and 10 sheets were stacked. Using a network analyzer N5224A PNA, the dielectric loss tangent was measured at room temperature (23 ° C.) and at a frequency of 5.8 GHz by the cavity resonance method.

[誘電正接の判定基準]
○○:誘電正接が2.10×10−3以下
○:誘電正接が2.10×10−3を超え2.30×10−3以下
×:誘電正接が2.30×10−3を超える
[Criteria for determining dielectric loss tangent]
○ ○: Dissipation factor is 2.10 × 10 -3 or less ○: Dissipation factor exceeds 2.10 × 10 -3 2.30 × 10 -3 or less ×: Dissipation factor exceeds 2.30 × 10 -3

(4)凹凸表面に対する埋め込み性
100mm角の銅張積層板(厚さ400μmのガラスエポキシ基板と厚さ25μmの銅箔との積層体)の銅箔のみをエッチングして、直径100μm及び深さ25μmの窪み(開口部)を、基板の中心30mm角のエリアに対して直線上にかつ隣接する穴の中心の間隔が900μmになるように開けた。このようにして、計900穴の窪みを持つ評価基板を準備した。
(4) Embedding property in uneven surface Only the copper foil of a 100 mm square copper-clad laminate (a laminate of a glass epoxy board with a thickness of 400 μm and a copper foil with a thickness of 25 μm) is etched to have a diameter of 100 μm and a depth of 25 μm. The recess (opening) was made so that the distance between the centers of the holes linearly and adjacent to the area of 30 mm square at the center of the substrate was 900 μm. In this way, an evaluation board having a recess of 900 holes in total was prepared.

得られた積層フィルムの樹脂フィルム側を評価基板上に重ねて、名機製作所社製「バッチ式真空ラミネーターMVLP−500−IIA」を用い、ラミネート圧0.4MPaで20秒、プレス圧力0.8MPaで20秒、ラミネート及びプレスの温度85℃で加熱加圧した。常温で冷却した後、PETフィルムを剥離した。このようにして、評価基板上に樹脂フィルムが積層された評価サンプルを得た。 The resin film side of the obtained laminated film is laminated on the evaluation substrate, and a "batch type vacuum laminator MVLP-500-IIA" manufactured by Meiki Seisakusho Co., Ltd. is used, the laminating pressure is 0.4 MPa for 20 seconds, and the pressing pressure is 0.8 MPa. The laminate and press were heated and pressurized at a temperature of 85 ° C. for 20 seconds. After cooling at room temperature, the PET film was peeled off. In this way, an evaluation sample in which a resin film was laminated on the evaluation substrate was obtained.

得られた評価サンプルについて光学顕微鏡を用いて、窪みの中のボイドを観察した。ボイドが観察された窪みの数の割合を評価することによって、凹凸表面に対する埋め込み性を下記の基準で判定した。 Voids in the depressions were observed in the obtained evaluation sample using an optical microscope. By evaluating the ratio of the number of dents in which voids were observed, the embedding property in the uneven surface was determined according to the following criteria.

[凹凸表面に対する埋め込み性の判定基準]
○:ボイドが観察された窪みの数の割合0%
△:ボイドが観察された窪みの数の割合0%を超え5%未満
×:ボイドが観察された窪みの数の割合5%以上
[Criteria for embedding on uneven surfaces]
◯: Percentage of the number of depressions in which voids were observed 0%
Δ: Percentage of the number of depressions in which voids were observed More than 0% and less than 5% ×: Percentage of the number of depressions in which voids were observed 5% or more

(5)エッチング後の表面粗度(表面粗さ)
ラミネート工程及び半硬化処理:
両面銅張積層板(CCL基板)(日立化成社製「E679FG」)を用意した。この両面銅張積層板の銅箔面の両面をメック社製「Cz8101」に浸漬して、銅箔の表面を粗化処理した。粗化処理された銅張積層板の両面に、名機製作所社製「バッチ式真空ラミネーターMVLP−500−IIA」を用いて、積層フィルムの樹脂フィルム(Bステージフィルム)側を銅張積層板上に重ねてラミネートして、積層構造体を得た。ラミネートの条件は、30秒減圧して気圧を13hPa以下とし、その後30秒間、100℃及び圧力0.4MPaでプレスする条件とした。その後、180℃で30分間加熱し、樹脂フィルムを半硬化させた。このようにして、CCL基板に樹脂フィルムの半硬化物が積層されている積層体を得た。
(5) Surface roughness after etching (surface roughness)
Laminating process and semi-hardening process:
A double-sided copper-clad laminate (CCL substrate) (“E679FG” manufactured by Hitachi Kasei Co., Ltd.) was prepared. Both sides of the copper foil surface of this double-sided copper-clad laminate were immersed in "Cz8101" manufactured by MEC to roughen the surface of the copper foil. Using "Batch type vacuum laminator MVLP-500-IIA" manufactured by Meiki Seisakusho Co., Ltd. on both sides of the roughened copper-clad laminate, the resin film (B stage film) side of the laminate film is placed on the copper-clad laminate. A laminated structure was obtained by laminating on top of each other. The laminating conditions were such that the pressure was reduced for 30 seconds to reduce the atmospheric pressure to 13 hPa or less, and then the press was performed at 100 ° C. and a pressure of 0.4 MPa for 30 seconds. Then, the resin film was semi-cured by heating at 180 ° C. for 30 minutes. In this way, a laminated body in which a semi-cured product of a resin film was laminated on a CCL substrate was obtained.

粗化処理:
(a)膨潤処理:
60℃の膨潤液(アトテックジャパン社製「スウェリングディップセキュリガントP」)に、得られた積層体を入れて、10分間揺動させた。その後、純水で洗浄した。
Roughening process:
(A) Swelling treatment:
The obtained laminate was placed in a swelling solution at 60 ° C. (“Swelling Dip Securigant P” manufactured by Atotech Japan) and shaken for 10 minutes. Then, it was washed with pure water.

(b)過マンガン酸塩処理(粗化処理及びデスミア処理):
80℃の過マンガン酸カリウム(アトテックジャパン社製「コンセントレートコンパクトCP」)粗化水溶液に、膨潤処理後の積層体を入れて、30分間揺動させた。次に、25℃の洗浄液(アトテックジャパン社製「リダクションセキュリガントP」)を用いて2分間処理した後、純水で洗浄を行い、評価サンプルを得た。
(B) Permanganate treatment (roughening treatment and desmear treatment):
The swelling-treated laminate was placed in a crude aqueous solution of potassium permanganate (“Concentrate Compact CP” manufactured by Atotech Japan) at 80 ° C. and shaken for 30 minutes. Next, it was treated with a cleaning solution at 25 ° C. (“Reduction Securigant P” manufactured by Atotech Japan) for 2 minutes, and then washed with pure water to obtain an evaluation sample.

表面粗さの測定:
評価サンプル(粗化処理された硬化物)の表面において、94μm×123μmの領域を任意に10箇所選択した。この10箇所の各領域について、非接触3次元表面形状測定装置(Veeco社製「WYKO NT1100」)を用いて、算術平均粗さRaを測定した。測定された10箇所の算術平均粗さRaの平均値から、エッチング後の表面粗度を下記の基準で判定した。なお、上記算術平均粗さRaは、JIS B0601:1994に準拠して測定した。
Measurement of surface roughness:
On the surface of the evaluation sample (roughened cured product), 10 regions of 94 μm × 123 μm were arbitrarily selected. Arithmetic mean roughness Ra was measured for each of these 10 regions using a non-contact three-dimensional surface shape measuring device (“WYKO NT1100” manufactured by Veeco). From the average value of the measured arithmetic mean roughness Ra at 10 points, the surface roughness after etching was determined according to the following criteria. The arithmetic mean roughness Ra was measured according to JIS B0601: 1994.

[エッチング後の表面粗度の判定基準]
○○:算術平均粗さRaの平均値が50nm未満
○:算術平均粗さRaの平均値が50nm以上120nm未満
×:算術平均粗さRaの平均値が120nm以上
[Criteria for determining surface roughness after etching]
○ ○: The average value of the arithmetic average roughness Ra is less than 50 nm ○: The average value of the arithmetic average roughness Ra is 50 nm or more and less than 120 nm ×: The average value of the arithmetic average roughness Ra is 120 nm or more

組成及び結果を下記の表1,2に示す。 The composition and results are shown in Tables 1 and 2 below.

Figure 2022001615
Figure 2022001615

Figure 2022001615
Figure 2022001615

11…多層プリント配線板
12…回路基板
12a…上面
13〜16…絶縁層
17…金属層
11 ... Multi-layer printed wiring board 12 ... Circuit board 12a ... Top surface 13-16 ... Insulation layer 17 ... Metal layer

Claims (17)

下記式(1)で表される基を有する第1の硬化性化合物と、
硬化促進剤とを含み、
前記第1の硬化性化合物のガラス転移温度が、75℃未満である、樹脂材料。
Figure 2022001615
前記式(1)中、Rは、アルキル基を表し、Rは、水素原子又はアルキル基を表す。
The first curable compound having a group represented by the following formula (1) and
Contains curing accelerators
A resin material having a glass transition temperature of the first curable compound of less than 75 ° C.
Figure 2022001615
In the formula (1), R 1 represents an alkyl group and R 2 represents a hydrogen atom or an alkyl group.
前記第1の硬化性化合物が、前記式(1)で表される基を2個以上有する、請求項1に記載の樹脂材料。 The resin material according to claim 1, wherein the first curable compound has two or more groups represented by the formula (1). 前記第1の硬化性化合物が、ダイマージアミンに由来する骨格を有する、請求項1又は2に記載の樹脂材料。 The resin material according to claim 1 or 2, wherein the first curable compound has a skeleton derived from dimerdiamine. 前記第1の硬化性化合物が、下記式(11)で表される化合物である、請求項1〜3のいずれか1項に記載の樹脂材料。
Figure 2022001615
前記式(11)中、Rは、炭素数6以上10以下の直鎖状の炭化水素基を表し、Rは、炭素数6以上10以下の直鎖状の炭化水素基を表し、Rは、炭素数6以上10以下の直鎖状の炭化水素基を表し、Rは、炭素数6以上10以下の直鎖状の炭化水素基を表す。前記式(11)中、RとRとRとRとの炭素数の合計は30である。
The resin material according to any one of claims 1 to 3, wherein the first curable compound is a compound represented by the following formula (11).
Figure 2022001615
In the formula (11), R 1 represents a linear hydrocarbon group having 6 or more and 10 or less carbon atoms, and R 2 represents a linear hydrocarbon group having 6 or more and 10 or less carbon atoms. 3 represents a straight-chain hydrocarbon group having 6 to 10 carbon atoms, R 4 represents a straight-chain hydrocarbon group having 6 to 10 carbon atoms. In the above formula (11), the total number of carbon atoms of R 1 , R 2 , R 3 and R 4 is 30.
前記硬化促進剤が、アニオン性硬化促進剤である、請求項1〜4のいずれか1項に記載の樹脂材料。 The resin material according to any one of claims 1 to 4, wherein the curing accelerator is an anionic curing accelerator. 前記アニオン性硬化促進剤が、ジメチルアミノピリジンである、請求項5に記載の樹脂材料。 The resin material according to claim 5, wherein the anionic curing accelerator is dimethylaminopyridine. 前記硬化促進剤が、ラジカル性硬化促進剤である、請求項1〜4のいずれか1項に記載の樹脂材料。 The resin material according to any one of claims 1 to 4, wherein the curing accelerator is a radical curing accelerator. 熱硬化性化合物をさらに含み、
前記熱硬化性化合物が、ビスマレイミド化合物を含み、
前記ビスマレイミド化合物のガラス転移温度が、75℃以上である、請求項1〜7のいずれか1項に記載の樹脂材料。
Further containing a thermosetting compound,
The thermosetting compound contains a bismaleimide compound and contains.
The resin material according to any one of claims 1 to 7, wherein the glass transition temperature of the bismaleimide compound is 75 ° C. or higher.
前記ビスマレイミド化合物が、イミド結合を有する構造単位を、繰り返し構造単位として有する、請求項8に記載の樹脂材料。 The resin material according to claim 8, wherein the bismaleimide compound has a structural unit having an imide bond as a repeating structural unit. 前記熱硬化性化合物が、ビスマレイミド化合物以外の熱硬化性化合物をさらに含む、請求項8又は9に記載の樹脂材料。 The resin material according to claim 8 or 9, wherein the thermosetting compound further contains a thermosetting compound other than the bismaleimide compound. 前記熱硬化性化合物が、ビニル化合物又はエポキシ化合物を含む、請求項8〜10のいずれか1項に記載の樹脂材料。 The resin material according to any one of claims 8 to 10, wherein the thermosetting compound contains a vinyl compound or an epoxy compound. 硬化剤を含み、
前記硬化剤が、フェノール化合物と活性エステル化合物とを含む、請求項1〜11のいずれか1項に記載の樹脂材料。
Contains hardener,
The resin material according to any one of claims 1 to 11, wherein the curing agent contains a phenol compound and an active ester compound.
充填材を含む、請求項1〜12のいずれか1項に記載の樹脂材料。 The resin material according to any one of claims 1 to 12, which comprises a filler. 前記充填材が、絶縁性充填材である、請求項13に記載の樹脂材料。 The resin material according to claim 13, wherein the filler is an insulating filler. 樹脂フィルムである、請求項1〜14のいずれか1項に記載の樹脂材料。 The resin material according to any one of claims 1 to 14, which is a resin film. 多層プリント配線板において、絶縁層を形成するために用いられる、請求項1〜15のいずれか1項に記載の樹脂材料。 The resin material according to any one of claims 1 to 15, which is used for forming an insulating layer in a multilayer printed wiring board. 回路基板と、
前記回路基板の表面上に配置された複数の絶縁層と、
複数の前記絶縁層間に配置された金属層とを備え、
複数の前記絶縁層の内の少なくとも1層が、請求項1〜16のいずれか1項に記載の樹脂材料の硬化物である、多層プリント配線板。
With the circuit board
A plurality of insulating layers arranged on the surface of the circuit board,
With a metal layer arranged between the plurality of insulating layers,
A multilayer printed wiring board in which at least one of the plurality of insulating layers is a cured product of the resin material according to any one of claims 1 to 16.
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