JP2019169744A5 - - Google Patents
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Description
本発明の一観点によれば、光電変換部をそれぞれが含む複数の画素を有する固体撮像装置であって、前記光電変換部は、信号電荷を蓄積する第1導電型の第1の半導体領域と、前記第1の半導体領域の下部に設けられた第2導電型の第2の半導体領域と、前記第2の半導体領域の下部に設けられた第3の半導体領域と、を有し、前記第1の半導体領域は、第1の端部と、平面視において前記第1の端部に対向する第2の端部とを備え、前記第1の半導体領域と前記第3の半導体領域との間で前記信号電荷の移動が行われる電気的経路を有し、前記電気的経路は、前記第1の端部の一部から前記第2の端部の一部に渡って延在し、かつ前記第1の端部の前記一部及び前記第2の端部の前記一部のそれぞれを越えて延在している固体撮像装置が提供される。
Claims (13)
- 光電変換部をそれぞれが含む複数の画素を有する固体撮像装置であって、
前記光電変換部は、信号電荷を蓄積する第1導電型の第1の半導体領域と、前記第1の半導体領域の下部に設けられた第2導電型の第2の半導体領域と、前記第2の半導体領域の下部に設けられた第3の半導体領域と、を有し、
前記第1の半導体領域は、第1の端部と、平面視において前記第1の端部に対向する第2の端部とを備え、
前記第1の半導体領域と前記第3の半導体領域との間で前記信号電荷の移動が行われる電気的経路を有し、
前記電気的経路は、前記第1の端部の一部から前記第2の端部の一部に渡って延在し、かつ前記第1の端部の前記一部及び前記第2の端部の前記一部のそれぞれを越えて延在している
ことを特徴とする固体撮像装置。 - 前記電気的経路は、平面視において前記第1の半導体領域を横断するように配置されている
ことを特徴とする請求項1記載の固体撮像装置。 - 前記電気的経路は、平面視において前記第2の半導体領域により囲まれている
ことを特徴とする請求項1又は2記載の固体撮像装置。 - 前記光電変換部は、前記第1の半導体領域に対して前記第2の半導体領域とは反対側に、前記第2導電型の第4の半導体領域を更に有する
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の固体撮像装置。 - 前記光電変換部は、前記第1の半導体領域と前記第4の半導体領域との間に設けられ、平面視において少なくとも一部が前記電気的経路と重なる前記第2導電型の第5の半導体領域を更に有する
ことを特徴とする請求項4記載の固体撮像装置。 - 前記光電変換部は、平面視において前記第2の半導体領域が設けられた領域と同じ領域の、前記第1の半導体領域と前記第2の半導体領域との間の深さに設けられた前記第1導電型の第6の半導体領域を更に有する
ことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の固体撮像装置。 - 前記複数の画素の各々は、電荷保持部を更に含み、
前記光電変換部から前記電荷保持部に電荷を転送する転送トランジスタを更に有し、
前記電気的経路は、平面視において前記転送トランジスタのゲート電極と重ならない
ことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の固体撮像装置。 - 前記電気的経路は、平面視において、前記第1の半導体領域の中央部分を通って延在する
ことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の固体撮像装置。 - 前記第3の半導体領域の下部に設けられた前記第2導電型の第7の半導体領域と、前記第7の半導体領域の下部に設けられた前記第1導電型の第8の半導体領域と、を更に有し、
前記光電変換部は、前記第7の半導体領域によって前記第8の半導体領域から電気的に分離されている
ことを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の固体撮像装置。 - 前記第2の半導体領域は、平面視において前記第1の半導体領域と重なる第1の領域及び第2の領域を有し、前記第1の領域と前記第2の領域が前記第1の端部の前記一部から前記第2の端部の前記一部に渡って、前記電気的経路によって離間している
ことを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載の固体撮像装置。 - 前記第3の半導体領域は、前記第1の領域及び前記第2の領域の下部から前記電気的経路に渡って延在している
ことを特徴とする請求項10記載の固体撮像装置。 - 請求項1乃至11のいずれか1項に記載の固体撮像装置と、
前記固体撮像装置の前記画素から出力される信号を処理する信号処理部と
を有することを特徴とする撮像システム。 - 移動体であって、
請求項1乃至11のいずれか1項に記載の固体撮像装置と、
前記固体撮像装置からの信号に基づく視差画像から、対象物までの距離情報を取得する距離情報取得手段と、
前記距離情報に基づいて前記移動体を制御する制御手段と
を有することを特徴とする移動体。
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