JP2019161185A - プローバ - Google Patents
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Abstract
Description
図1及び図2は、第1の実施形態のプローバ10の平面概略図と側面概略図である。なお、図1では、ウエハ搬送ユニット22の構成を簡略的に記載している。
Δy=Y2−Y1 ・・・(2)
となる。
次に、第2の実施形態について説明する。以下、第1の実施形態と共通する部分については説明を省略し、本実施形態の特徴的部分を中心に説明する。
Δy=(Ya−Yb)/2 ・・・(4)
制御部58Aは、メモリ部52に記憶された位置ずれ量(すなわち、算出部54Aが算出した位置ずれ量)に基づいて受け渡し位置を補正する補正処理を行う。補正処理の具体的な処理については、第1の実施形態と同様である。
Claims (5)
- ウエハを搬送するローダ部と、
前記ローダ部が搬送した前記ウエハを受け渡し位置で受け取って保持するウエハチャックと、
前記ウエハチャックと前記ウエハとの相対的な位置関係を検出するためのセンサと、
前記センサが出力した検出信号に基づいて、前記ウエハチャックと前記ウエハとの間の位置ずれ量を算出する算出部と、
前記算出部が算出した前記位置ずれ量に基づいて、前記受け渡し位置を補正する制御部と、
を備える、プローバ。 - 前記センサはカメラであり、前記検出信号は前記カメラが撮像した画像データである、
請求項1に記載のプローバ。 - 前記センサは静電容量センサであり、前記検出信号は前記静電容量センサが検出した静電容量データである、
請求項1に記載のプローバ。 - 前記算出部は、前記ウエハチャックの中心位置と前記ウエハの中心位置との間の中心ずれ量に基づいて前記位置ずれ量を算出する、
請求項1又は2に記載のプローバ。 - 前記算出部は、前記ウエハチャックの外縁部と前記ウエハの外縁部との間の隙間量に基づいて前記位置ずれ量を算出する、
請求項1から3のいずれか1項に記載のプローバ。
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