JP5293034B2 - プローブ装置 - Google Patents
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Description
基板収納部から基板搬送手段により基板を取り出して検査部内の載置台に受け渡すと共に、視野が下向きの上側撮像ユニットにより基板の表面を撮像すると共に、載置台側に設けられ、視野が上向きの下側撮像ユニットによりプローブカードのプローブを撮像し、制御部により撮像結果に基づいて基板の被検査チップの電極パッドとプローブカードのプローブとが接触する座標位置を求め、電極パッドとプローブとを接触させて被検査チップの電気的特性を検査する装置において、
前記検査部は、
互いに平面方向に離間して配置された2個のプローブカードと、
前記基板搬送手段により基板が受け渡され、平面上での縦横に移動自在及び高さ方向に移動自在な2個の載置台と、
前記2個のプローブカードの配列方向に移動自在に構成され、前記2個の載置台に各々載置される基板に対して共用化された上側撮像ユニットと、を有し、
基板表面の撮像時及びプローブの撮像時の少なくとも一方における、一方の載置台の移動領域の一部と他方の載置台の移動領域の一部とが重なるように設定され、
前記制御部は、一方の載置台上の基板に対してプローブカードによる検査が行われている間に他方の載置台上の基板に対して撮像を行うように前記載置台及び撮像ユニットを制御する機能を備えたことを特徴としている。
以上本発明の実施形態について説明したが、本発明は上述の実施の形態に限定されるものではない。例えば本発明を実施するにあたっては、図14に示すようにプローブ装置本体を構成することも可能となる。図14に示すプローブ装置では、装置の中央にウェハ搬送アーム103を備えた搬送室110を配設し、搬送室110の図示Y方向の両端部にロードポート111、112を配設している。そして搬送室110の図示X方向の両端部に第1の実施形態と同構成の検査部21A、21Bを配設している。つまり図14に示すプローブ装置では、検査部21A、21Bを、搬送室110を挟んで並列に配設することによってプローブ装置本体121を構成している。このようなプローブ装置であっても、ロードポート111、112にウェハWを収納したFOUP100を載置して、検査部21A、21Bに対してウェハW1〜W4をウェハ搬送アーム103により、上述した実施形態と同様に搬送することができ、コストとフットプリントを削減することが可能となる。
3 ウェハ搬送アーム(基板搬送手段)
4A、4B、4C、4D ウェハチャック(載置台)
5 上側撮像ユニット
6A、6B プローブカード
10 搬送室
11、12 ロードポート
15 制御部
21A、21B 検査部
22a、22b 筐体
24a、24b、24c、24d テーブルユニット
35 アーム体
36 プリアライメント機構
40A、40B、40C、40D 下側撮像ユニット
41 下カメラ
43 ターゲット
51 上カメラ
52 ガイドレール
60 プローブ
100 FOUP
W ウェハ
Claims (4)
- 基板収納部から基板搬送手段により基板を取り出して検査部内の載置台に受け渡すと共に、視野が下向きの上側撮像ユニットにより基板の表面を撮像すると共に、載置台側に設けられ、視野が上向きの下側撮像ユニットによりプローブカードのプローブを撮像し、制御部により撮像結果に基づいて基板の被検査チップの電極パッドとプローブカードのプローブとが接触する座標位置を求め、電極パッドとプローブとを接触させて被検査チップの電気的特性を検査する装置において、
前記検査部は、
互いに平面方向に離間して配置された2個のプローブカードと、
前記基板搬送手段により基板が受け渡され、平面上での縦横に移動自在及び高さ方向に移動自在な2個の載置台と、
前記2個のプローブカードの配列方向に移動自在に構成され、前記2個の載置台に各々載置される基板に対して共用化された上側撮像ユニットと、を有し、
基板表面の撮像時及びプローブの撮像時の少なくとも一方における、一方の載置台の移動領域の一部と他方の載置台の移動領域の一部とが重なるように設定され、
前記制御部は、一方の載置台上の基板に対してプローブカードによる検査が行われている間に他方の載置台上の基板に対して撮像を行うように前記載置台及び撮像ユニットを制御する機能を備えたことを特徴とするプローブ装置。 - 前記検査部として、第1の検査部及び第2の検査部が設けられ、
前記制御部は、第1の検査部の一方の載置台、第2の検査部の一方の載置台、第1の検査部の他方の載置台及び第2の検査部の他方の載置台の順に基板収納部から基板を搬送するように基板搬送手段を制御する機能を備えたことを特徴とする請求項1記載のプローブ装置。 - 前記第1及び第2の検査部は、第1の検査部の2個のプローブカードと第2の検査部の2個のプローブカードとが一列になるように配置され、基板搬送手段は、これら検査部に対して共用化されていることを特徴とする請求項2に記載のプローブ装置。
- 前記検査部において、前記移動領域の一部同士が互いに重なる撮像作業を一方の載置台が行っているときには、当該検査部の他方の載置台の移動が禁止されることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一つに記載のプローブ装置。
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