JP3249056B2

JP3249056B2 - ウエハ処理装置システム

Info

Publication number: JP3249056B2
Application number: JP29860296A
Authority: JP
Inventors: 清隆千葉
Original assignee: Tokyo Seimitsu Co Ltd
Current assignee: Tokyo Seimitsu Co Ltd
Priority date: 1996-11-11
Filing date: 1996-11-11
Publication date: 2002-01-21
Anticipated expiration: 2016-11-11
Also published as: JPH10144761A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハの測
定やダイシング等の処理を行うウエハ処理装置とその使
用方法に関し、特にウエハ処理装置を組み合わせて、１
つのウエハカセットに収納されて１つのウエハ処理装置
に供給された複数のウエハを、複数のウエハ処理装置で
並行して処理することができるウエハ処理装置システ
ム、及びそこで使用するウエハ処理装置とウエハ処理装
置の使用方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体ウエハを処理する装置が各種使用
されている。例えば、ウエハ上に形成された多数のチッ
プが正常に動作するか検査する時には、プローバと呼ば
れる装置にウエハをセットし、触針（ニードル）をチッ
プの電極パッドに接触させた上で、ＩＣテスタから所定
のニードルに電気信号を印加し、他のニードルに出力さ
れた電気信号を検出する。また、このようにして検査さ
れたウエハは、ダイシング装置で切り離される。本発明
は、ウエハを処理する装置であればどのような装置にも
適用可能であるが、ここでは、検査の際に使用するプロ
ーバとテスタを組み合わせたウエハ検査装置を例として
説明する。

【０００３】図１は、もっとも一般的なウエハ検査装置
の従来例の概略構成を示す図である。図１において、参
照番号１０はプローバを、１００は検査対象であるウエ
ハを示し、ウエハ１００はウエハカセット１０１に複数
枚収容されて供給され、検査終了後再びウエハカセット
１０１に戻されて回収される。１１は搬送アーム１２の
駆動部であり、搬送アーム１２を伸縮させたり、回転さ
せる機構を有する。一般に、この機構１１と搬送アーム
１２を合わせてローダと呼んでいる。また、搬送アーム
１２の先端部は、載置されたウエハ１００を吸着して固
定できるようになっている。１３は載置されたウエハカ
セット１０１を上下移動させる移動機構である。１４は
検査中にウエハを保持するステージであり、移動機構に
より３次元方向に移動可能であり、同様にウエハを吸着
する機構が設けられている。１５はプローブカードであ
り、チップの電極パッドに合わせて配列されたニードル
１６が設けられており、上面にニードル１６に接続され
る電極が設けられている。１７はテスタであり、検査時
には回転軸１８の回りを回転してプローブカードの電極
に接触する。

【０００４】検査を行う時には、アーム駆動部１１を駆
動して搬送アーム１２がウエハカセット１０１内に収容
されたウエハ１００の下まで移動する。この状態で移動
機構１３によりウエハカセット１０１が下方に移動する
とウエハ１００が搬送アーム１２上に載置されることに
なる。この状態でウエハ１００を吸着し、搬送アーム１
２を引出した後、回転してステージ１４上にウエハを移
動させる。ステージ１４からは、後述するように、突出
ピンが上方に出てきてウエハ１００を載せた状態になる
ので、搬送アーム１２を戻し、その後突出ピンを下方に
戻せばウエハがステージ１４上に載置されることになる
ので吸着する。この状態又はプローブカード１５の下に
移動した状態で、図示していない画像システムにより精
密に位置決めされ、プローブカード１５の下ある状態か
ら上方へ移動してニードル１６とチップの電極パッドが
接触する。そしてテスタ１７を測定位置に回転させてテ
スタがチップの電極パッドに接続された状態にして検査
を行う。すべてのチップが検査された後には、上記と逆
の経路を通って検査済みのウエハはウエハカセット１０
１に戻される。移動機構１３によりウエハカセット１０
１を移動させて次のウエハを検査し、すべてのウエハの
検査が終了し、ウエハカセット１０１にすべてのウエハ
が戻された時点でウエハカセット１０１が回収される。
なお、ウエハカセット１０１は複数セット可能なものも
ある。

【０００５】図１に示すように、従来のプローバは、１
個のテスタに対して、１個のステージと１個の搬送アー
ムを備え、セットされたウエハカセット１０１内のウエ
ハをすべてそのプローバで処理する構成が一般的であ
る。また、ローダがウエハカセット１０１からウエハを
取り出す時及びウエハを戻す時には、移動機構１３がウ
エハカセット１０１を移動させ、ステージも上下方向に
移動可能でローダとの間でウエハを受け渡す時にはステ
ージが上下方向に移動する。従って、ローダには上下方
法の移動機構は設けられていないのが一般的である。

【０００６】半導体ウエハの製造工程ではロット単位で
生産が行われる。あるロットのウエハは同一のウエハカ
セットに収容されて各プローバに供給されるのが一般的
である。そのため、多数のプローバを稼働させた検査工
程では、異なるロットのウエハの検査が並行して行われ
ることになる。ここで、製造工程の管理の問題から、あ
るロットを優先的に処理することが必要になる場合があ
る。このような処理を行うためには、そのロットのウエ
ハを複数のウエハカセットに分散し、それらを複数のプ
ローバに供給して並行して検査することになるが、この
ような作業は煩雑で生産性の面からは好ましくない。

【０００７】特公平５−３７４９６号公報は、複数の処
理部分とステージの組みを有し、ローダを共通化して、
１個のウエハカセットに収容した複数のウエハを処理部
分とステージの各組みに分配して処理する構成を開示し
ている。図２は、このような構成のウエハ検査装置を示
す図であり１個のウエハカセット１０１から共通のロー
ダ２１でウエハを取り出し、２個のステージ２４と２
４’に分配する。なお、テスタ部分は省略してあるが、
両側に２個設けられている。このような構成であれば、
ウエハカセット内の複数のウエハは並行して処理される
ことになるので、ウエハカセット内のウエハ、すなわ
ち、１つのロットのウエハは短時間に処理できるように
なる。しかも、ローダは共通化されているので、設置面
積も小さくなるという利点がある。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】図２に示した構成のウ
エハ処理装置は、ローダを共通化しているため、ローダ
が故障すると２台分の処理装置が使用できなくなり、故
障の影響が大きくなるという問題がある。プローバでは
このローダ部分での故障が多いのが現状であり、これが
大きな問題になっている。

【０００９】また、図２に示した装置は、ローダ部分は
共通化しているがその他の部分は２台分の装置であり、
装置全体の大きさが非常に大きくなる。そのため、据え
付けや移動が困難で、設置時の自由度が制限されるとい
う問題がある。更に、図２に示した装置は、上記の目的
のためには適しているが、逆にいえば個別の処理装置と
して使用できず、汎用性に欠けるという問題があった。
例えば、一方のテスタのプログラムを変更して別々の検
査装置として使用するといったことはできなかった。

【００１０】本発明は、１つのロットのウエハが短時間
に処理でき、且つたとえ一方のローダが故障してもロー
ダ部分以外は有効に使用でき、小型で個別の装置として
も使用できるようにすることを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】図３は、本発明のウエハ
処理装置システムの基本構成を示す図である。本発明で
は、図示のように、個別に使用できる複数のウエハ処理
装置（図では２台）３０ａと３０ｂの組み合わせてシス
テムを構築し、１個のウエハカセットのウエハを複数の
ウエハ処理装置で並行して処理できるようにする。この
ようなシステムを実現するには、複数のウエハ処理装置
の位置関係を固定する手段５１と、異なる装置のローダ
を連携して制御できるようにするための制御部３８ａと
３８ｂ間の通信手段３９とが必要である。そして、本発
明では、ステージを隣接する他のウエハ処理装置のウエ
ハ搬送部がウエハを搬送できる範囲に移動可能とし、ウ
エハカセットがセットされないウエハ処理装置の制御手
段は、ウエハの受け渡しの間、当該ウエハ処理装置のウ
エハ搬送部をステージから離れた位置に退避させる。

【００１２】すなわち、本発明のウエハ処理装置システ
ムは、ウエハに対する検査等の処理が行われる間、ウエ
ハを保持するステージ３４ａ、３４ｂと、複数枚のウエ
ハが収容可能なウエハカセット１３１ａ、１３１ｂから
ウエハを取り出してステージ３４ａ、３４ｂに搬送する
ウエハ搬送部３１ａ、３１ｂと、ステージ３４ａ、３４
ｂとウエハ搬送部３１ａ、３１ｂの移動を制御する制御
手段３８ａ、３８ｂとを備えるウエハ処理装置を複数台
組み合わせて構築するウエハ処理装置システムである。
このシステムにおいては、上記目的を実現するため、組
み合わされる複数台のウエハ処理装置を、ウエハ搬送部
３１ａ、３１ｂにより他のウエハ処理装置にウエハを受
け渡せる位置関係になるように固定する位置決め手段５
１と、組み合わされる複数台のウエハ処理装置の制御手
段３８ａ、３８ｂの間で通信を行うための通信手段３９
とを備え、ステージ３４ａ、３４ｂは、隣接する他のウ
エハ処理装置のウエハ搬送部３１ａ、３１ｂがウエハを
搬送できる範囲に移動可能であり、制御手段３８ａ、３
８ｂは、組み合わされる複数台のウエハ処理装置の内に
ウエハカセット１３１ａ、１３１ｂがセットされないウ
エハ処理装置が存在する場合に、ウエハカセット１３１
ａ、１３１ｂがセットされたウエハ処理装置からウエハ
カセット１３１ａ、１３１ｂがセットされないウエハ処
理装置にウエハを搬送するように、ウエハ搬送部３１
ａ、３１ｂを制御し、ウエハカセット１３１ａ、１３１
ｂがセットされないウエハ処理装置の制御手段は、ウエ
ハの受け渡しの間、当該ウエハ処理装置のウエハ搬送部
をステージから離れた位置に退避させることを特徴とす
る。

【００１３】上記のように、本発明のウエハ処理装置シ
ステムを構成する各ウエハ処理装置は、図１に示した従
来の装置と同様の構成を有するので、個別に使用でき
る。すなわち、汎用性に富んでいる。このような汎用の
ウエハ処理装置が、位置決め手段５１により所定の位置
関係に固定されるので、ウエハの受け渡しが可能にな
る。また、個々のウエハ処理装置は、ウエハ搬送部（ロ
ーダ）を制御する制御部を備えているが、ウエハの受け
渡しを行うには、異なる装置のローダが連携して動作す
る必要がある。通信手段により異なる装置の制御部が連
携して制御動作を行うことが可能になるので、ウエハの
受け渡しが可能になる。従って、一方のウエハ処理装置
のローダが故障しても、正常に動作する他のウエハ処理
装置のローダを使用して、ローダが故障したウエハ処理
装置にウエハを供給して処理を行うことが可能になる。
図１と図２に示した従来例では、１台の装置に１個のロ
ーダがあるだけなので、ローダが故障するとその装置は
使用できなくなった。これに対して、本発明のウエハ処
理装置システムであれば、１個のローダが故障しても両
方の装置の稼働を維持することができ、その間に故障し
たローダを修理するといったことも可能で、装置の稼働
率を高くすることができる。

【００１４】本発明のウエハ処理装置システムでは、上
記のような構成により、１つの装置にセットされたウエ
ハカセットのウエハを複数のウエハ処理装置で処理する
ことが可能になるが、そのような必要がない場合には、
各ウエハ処理装置にそこで処理するウエハを収容したウ
エハカセットをセットして処理を行うようにすることも
できる。これであれば、各ウエハ処理装置を独立して使
用する従来と同じ使用方法になる。また、ウエハ処理装
置を設置する場合には、各ウエハ処理装置を設置した上
で、位置決め手段５１で固定し、通信手段３９で接続す
ればよいので、設置も容易である。

【００１５】ウエハカセット１３１ａ、１３１ｂから取
り出されたウエハは、処理後同じウエハカセットに回収
されるのが一般的であるが、供給用と回収用で別のウエ
ハカセットが使用される場合もある。ウエハ処理装置は
図３に示すような位置関係に固定されるが、このような
位置関係で配置するには、組み合わされるウエハ処理装
置は配置時の隣接面に対して対称の形状を有することが
望ましい。

【００１６】

【発明の実施の形態】図４は、本発明を適用したプロー
バとテスタで構成されるウエハ検査システムの第１参考
例の上面図であり、２台のウエハ検査装置を組み合わせ
た場合の例である。図４において、３０ａと３０ｂは組
み合わされる２台のプローバを示す。プローバ３０ａ
は、ローダ３１ａと、ステージ３４ａと、制御部３８ａ
と、ウエハ保持機構４０ａを有し、テスタ３７ａが取り
付けられている。プローバ３０ｂも同様の構成を有する
が、図示のようにプローバ３０ａと左右対称である。制
御部３８ａと３８ｂには、通信ポート４１ａと４１ｂが
設けられており、通信ケーブル３９で接続されている。
また、制御部３８ａと３８ｂは、それぞれのテスタ３７
ａと３７ｂに接続されているが、ここでは図示を省略し
てある。１３１ａと１３１ｂはウエハカセットである。
５１はプローバ３０ａと３０ｂを固定する部材であり、
これによりプローバ３０ａと３０ｂは所定の位置関係に
なる。

【００１７】プローバ３０ａと３０ｂの間のウエハの受
け渡しは、ウエハ保持機構４０ａと４０ｂを利用して行
う。図５はウエハ保持機構４０ａと４０ｂの構造を示す
図である。図５において、参照番号６１は基体６４に対
して回転可能な回転部材であり、図示していない駆動部
材により回転される。回転部材６１には、モータ６３に
より上下移動する突出ピン６２が設けられており、突出
ピン６２の上にウエハ１００が載置される。

【００１８】図４において、右側のプローバ３０ｂから
左側のプローバ３０ａにウエハを渡す場合ついて説明す
る。まず、ローダ３１ａを図４の状態に退避させた上
で、ローダ３１ｂがウエハカセット１３１ｂに収容され
たウエハの下にアームの先端を移動させ、図示していな
い上下移動機構によりウエハカセット１３１ｂが下方に
移動してウエハをアームの先端に載置する。ローダはこ
のウエハを吸着して引出し、反時計方向に回転してウエ
ハ保持機構４０ａ上にウエハを移動する。この状態で、
吸着を解除し、突出ピン４２を上方に突き出すと、ウエ
ハはローダ３１ｂから離れ、突出ピン６２上に載置され
る。ローダ３１ｂはアームを引っ込めて、回転して左側
に出ない位置に戻る。次にウエハ保持機構４０ａは所定
角度回転する。この回転は、ローダ３１ａからアームが
伸びた時に突出ピン６２に当たらないようにするため
と、ウエハの回転方向を所望の方向にするためである。
次に、ローダ３１ａが回転し、アームの先端をウエハ保
持機構４０ａの突出ピン６２の間に伸ばす。この状態で
突出ピン６２が下方に移動するとウエハはローダ３１ａ
のアームの先端に載置されるので、これを吸着する。そ
して、ローダ３１ａが回転してステージ３４ａにウエハ
を渡す。後は従来と同様である。検査の終了したウエハ
を左側のプローバ３０ａから右側のプローバ３０ｂのウ
エハカセット１３１ｂに戻す場合には、上記と逆の動作
を行う。なお、ウエハの回転方向の調整がステージで行
われ、回転しなくてもアームの先端が突出ピン６２に当
たらない場合には、ウエハ保持機構の回転機構は必要な
い。また、図４では、プローバ３０ａと３０ｂの両方に
ウエハ保持機構４０ａと４０ｂを設けたが、上記のよう
に、一方のみでもウエハの受け渡しは可能である。

【００１９】第１参考例のウエハ検査システムでは、ウ
エハカセットが一方のみにセットされ、このウエハカセ
ット内のウエハをウエハカセットのセットされていない
プローバでも並行して処理するように指示された時に、
並行して処理を行う。図６と図７は、第１参考例のウエ
ハ検査システムにおける各プローバの制御部の処理動作
を示すフローチャートである。

【００２０】ステップ２０１では、ウエハカセットがセ
ットされているか検出され、セットされていない時に
は、ステップ２３１でカセットがセットされていないこ
とを他方の装置の制御部に通知する。そして、ステップ
２３２で、他方の装置にカセットがセットされていて並
行して処理するかの通知を受ける。この処理をダブル処
理と呼ぶことにする。ダブル処理でない時には、ステッ
プ２０１に戻る。ダブル処理の時には、この装置は他方
の装置からウエハを受け取って処理し、処理の終了した
ウエハを渡すことになる。この場合の処理はステップ２
４１以下に示される。

【００２１】ステップ２０１でカセットがセットされて
いることが検出された時には、ステップ２０２で他方の
装置でカセットがセットされているかの通知を受け、セ
ットされている場合にはそれぞれの装置でそれぞれのカ
セットのウエハを処理する通常の処理であるから通常処
理を行い、セットされていない場合にはこの装置から他
方の装置にウエハを渡し、処理されたウエハを受け取る
ダブル処理をすることになる。ステップ２０４では他方
の装置にダブル処理であることを通知する。ステップ２
０４では、この装置と他方の装置でウエハが検査されて
いない空の状態、すなわち、ステージにウエハがセット
されていない空の状態であることを示すレジスタをセッ
トする。

【００２２】ステップ２０５では、カセットに未検査の
ウエハが残っているかを判定する。残っていない場合に
は、ステップ２２０で、両方の装置が空の状態であるか
判定し、空であれば、ステップ２２１でこのカセットの
検査が終了したことを表示してステップ２０１に戻る。
どちらかでも検査中であれば、ステップ２０６に進む。
カセットに未検査のウエハが残っている場合もステップ
２０６に進む。

【００２３】ステップ２０６では、この装置が空の状態
で、新たにウエハが検査できるかを判定する。空の状態
であれば、他方の装置とは関係なく、ステップ２０７で
ロード処理を行って、ステップ２０８でこの装置が空で
ないことを示すようにレジスタをリセットして、ステッ
プ２０５に戻る。ステップ２０６で、この装置が空でな
いと判定された場合には、ステップ２０９で他方の装置
が空であるか判定する。空の場合には、ステップ２１６
で、他方の装置にウエハを渡すためにウエハ保持機構４
０ａと４０ｂのいずれかにウエハをロードする処理を行
い、ステップ２１７で所定の位置に戻る。このように、
ウエハ保持機構へのロード処理後に所定の位置へ戻るの
は、他方の装置のローダがこのウエハ保持機構に保持さ
れたウエハを受け取る時に、ローダ同士が当たるのを防
止するためである。ステップ２１８では、他方の装置に
ウエハ保持機構へのロード処理が終了したことを通知
し、ステップ２１９で他方の装置が空でないことを示す
ようにレジスタをリセットし、ステップ２０５に戻る。

【００２４】ステップ２０９で他方の装置も空でないと
判定された場合には、ステップ２１０で、この装置での
検査が終了して、検査済みのウエハを載置したステージ
が所定位置まで戻っているかを判定する。検査が終了し
ていれば、ステップ２１１でこのウエハの回収処理を行
い、ステップ２１２でこの装置が空であることを示すよ
うにレジスタをレジスタをセットし、ステップ２０５に
戻る。

【００２５】ステップ２１０でこの装置での検査が終了
していない時には、ステップ２１３で他方の装置での検
査が終了して、検査済のウエハがウエハ保持機構に渡さ
れたかを判定する。この情報は、他方の装置から送られ
る。他方の装置での検査が終了していない場合には、ス
テップ２０５に戻り、終了していれば、ステップ２１４
でウエハ保持機構からの回収処理を行い、ステップ２１
５で他方の装置が空であることを示すように、レジスタ
をセットして、ステップ２０５に戻る。

【００２６】以上が、ダブル処理の場合の、カセットが
セットされた側になった時の処理である。カセットがセ
ットされず、ウエハを受け取る側になった時の処理は、
ステップ２４０で、この装置が空状態であるかを示すレ
ジスタを空状態を示すようにセットし、ステップ２４１
で、空の状態であるか判定する。空であれば、ステップ
２４２でローダをリセット位置（退避位置）に移動し、
他方の装置からウエハ保持機構へのロードが終了したこ
とを示す通知を待つ。ステップ２４３で、この通知が来
たことを検出すると、ステップ２４４でウエハ保持機構
からステージへのロード処理を行い、ステップ２４５で
レジスタを空でないことを示すようにリセットし、ステ
ップ２４１に戻る。

【００２７】ステップ２４１で空状態でないと判定され
た時には、ステップ２４６で、検査が終了しているか判
定し、検査が終了するまで待機する。検査が終了する
と、ステップ２４７で回収処理をして、ウエハ保持機構
へ検査済のウエハを渡す。ステップ２４８で退避位置に
戻り、ステップ２４９でレジスタを空であることを示す
ようにセットし、ステップ２４１に戻る。

【００２８】以上説明したように、２つの装置が通信手
段で通信を行いながら連携してロード処理を行わせるこ
とにより、ウエハの受け渡しが行われる。第１参考例で
は、ウエハの受け渡しのために、ウエハ保持機構を設け
たが、装置上の配置によっては、このようなウエハ保持
機構を設けずにウエハの受け渡しが可能である。

【００２９】図８は、実施例のウエハ処理装置システム
の上面図である。図では、制御部や通信ケーブル等は省
略してあるが、図４と同様にこれらのものが備わってい
る。第１参考例と異なるのは、ステージ３４ａが他方の
ローダ３１ｂとウエハの受け渡しが可能な位置まで移動
可能なように構成した点である。同様に、ステージ３４
ｂも他方のローダ３１ａとウエハの受け渡しが可能な位
置まで移動可能である。ステージには、ローダとの間で
ウエハを受け渡すために、図５に示したような突出ピン
が設けられている。これは従来通りである。図では、ロ
ーダ３１ｂがウエハカセット１３１ｂから取り出したウ
エハを直接ステージ３４ａに渡す。従って、左側のロー
ダ３１ａは、常に退避状態に位置することになる。この
ことは、たとえローダ３１ａが故障しても、両方の装置
にカセット１３１ｂからウエハの供給が行えることを意
味する。実施例のウエハ処理装置システムでも、ウエハ
の受け渡しを行うためには、ステージが他方のローダと
連携して動作することが必要である。この動作について
は、第１参考例の説明から容易に理解できるので、ここ
では説明を省略する。

【００３０】図９は、第２参考例のウエハ処理装置シス
テムを示す図で、（１）はその上面図である。図では、
制御部や通信ケーブル等は省略してあるが、図４と同様
にこれらのものが備わっている。第１参考例及び実施例
と異なるのは、ローダ３１ａと３１ｂの間でウエハの受
け渡しが可能にした点である。ローダ間でのウエハの受
け渡しを可能にするため、ローダ３１ａと３２ａのアー
ム３２ａと３２ｂは図９の（２）に示すような形状をし
ている。また、アーム３２ａと３２ｂは、図９の（３）
に示すように、上下移動可能になっている。このような
形状により、図９の（２）に示す状態ではいずれのアー
ムもウエハを載置することができる。ウエハを受け渡す
場合には、図９の（３）に示すように、受け取る側のア
ーム３２ｂを、渡す側のアーム３２ａの下の位置に移動
させる。この時、上方からみると図９の（２）に示す状
態になっている。そして、アーム３２ｂをアーム３２ａ
を越えて上昇させると、ウエハはアーム３２ｂ上に載置
されることになり、受け渡される。

【００３１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
汎用性のある独立して使用できるウエハ処理装置を組み
合わせて、１つのロットのウエハが短時間に処理でき、
且つたとえ一方のローダが故障してもローダ部分以外は
有効に使用できるウエハ処理装置システムが容易に実現
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】従来の一般的なウエハ検査装置の基本構成を示
す図である。

【図２】１つのロットのウエハが短時間に処理できよう
にした従来のウエハ検査装置の構成を示す図である。

【図３】本発明のウエハ処理装置システムの基本構成を
示す図である。

【図４】第１参考例のウエハ処理装置システムの上面図
である。

【図５】第１参考例のウエハ保持機構の構造を示す図で
ある。

【図６】第１参考例のウエハ処理装置システムにおける
各装置の処理動作を示すフローチャートである。

【図７】第１参考例のウエハ処理装置システムにおける
各装置の処理動作を示すフローチャートである。

【図８】実施例のウエハ処理装置システムの上面図であ
る。

【図９】第２参考例のウエハ処理装置システムの上面図
である。

【符号の説明】

３１ａ、３１ｂ…ウエハ搬送部（ローダ）３４ａ、３４ｂ…ステージ３７ａ、３７ｂ…テスタ３８ａ、３８ｂ…制御手段３９…通信手段４０ａ、４０ｂ…ウエハ保持機構４１ａ、４１ｂ…通信ポート５１…位置決め手段

フロントページの続き (56)参考文献特開昭60−115216（ＪＰ，Ａ) 特開平８−288191（ＪＰ，Ａ) 特開平７−231028（ＪＰ，Ａ) 特開平７−321176（ＪＰ，Ａ) 特開平８−250573（ＪＰ，Ａ) 特開平８−111449（ＪＰ，Ａ) 特表平３−500833（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H01L 21/68 H01L 21/66 H01L 21/02

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】ウエハに対する検査等の処理が行われる
間、ウエハを保持するステージ（３４ａ、３４ｂ）と、複数枚のウエハが収容可能なウエハカセット（１３１
ａ、１３１ｂ）から前記ウエハを取り出して前記ステー
ジ（３４ａ、３４ｂ）に搬送するウエハ搬送部（３１
ａ、３１ｂ）と、前記ステージ（３４ａ、３４ｂ）と前記ウエハ搬送部
（３１ａ、３１ｂ）の移動を制御する制御手段（３８
ａ、３８ｂ）とを備えるウエハ処理装置を複数台組み合
わせたウエハ処理装置システムであって、組み合わされる前記複数台のウエハ処理装置を、前記ウ
エハ搬送部（３１ａ、３１ｂ）により他のウエハ処理装
置にウエハを受け渡せる位置関係になるように固定する
位置決め手段（５１）と、組み合わされる前記複数台のウエハ処理装置の前記制御
手段（３８ａ、３８ｂ）の間で通信を行うための通信手
段（３９）とを備え、前記ステージ（３４ａ、３４ｂ）は、隣接する他のウエ
ハ処理装置のウエハ搬送部（３１ａ、３１ｂ）がウエハ
を搬送できる範囲に移動可能であり、前記制御手段（３８ａ、３８ｂ）は、組み合わされる前
記複数台のウエハ処理装置の内に前記ウエハカセット
（１３１ａ、１３１ｂ）がセットされないウエハ処理装
置が存在する場合に、前記ウエハカセット（１３１ａ、
１３１ｂ）がセットされたウエハ処理装置から前記ウエ
ハカセット（１３１ａ、１３１ｂ）がセットされないウ
エハ処理装置にウエハを搬送するように、前記ウエハ搬
送部（３１ａ、３１ｂ）を制御し、前記ウエハカセット（１３１ａ、１３１ｂ）がセットさ
れないウエハ処理装置の前記制御手段は、ウエハの受け
渡しの間、当該ウエハ処理装置のウエハ搬送部を前記ス
テージから離れた位置に退避させることを特徴とするウ
エハ処理装置システム。
【請求項２】請求項１に記載のウエハ処理装置システ
ムであって、前記ウエハカセット（１３１ａ、１３１ｂ）から取り出
されたウエハは、処理後前記ウエハカセット（１３１
ａ、１３１ｂ）に回収され、前記制御手段（３８ａ、３８ｂ）は、前記ウエハカセッ
ト（１３１ａ、１３１ｂ）がセットされないウエハ処理
装置に搬送されたウエハの処理が終了した後は、当該ウ
エハが、前記ウエハカセット（１３１ａ、１３１ｂ）が
セットされないウエハ処理装置から前記ウエハカセット
（１３１ａ、１３１ｂ）がセットされたウエハ処理装置
に搬送され、前記ウエハカセット（１３１ａ、１３１
ｂ）に回収されるように、前記ウエハ搬送部（３１ａ、
３１ｂ）を制御するウエハ処理装置システム。
【請求項３】請求項１又は２に記載のウエハ処理装置
システムであって、組み合わされる前記複数台のウエハ
処理装置は、配置時の隣接面に対して対称の形状を有す
るウエハ処理装置システム。