JP2019160937A - 位置補正方法、検査装置及びプローブカード - Google Patents
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Abstract
Description
本実施形態に係る検査装置の一例について説明する。図1は、本実施形態に係る検査装置の一例を示す概略図である。
本実施形態に係る検査装置1のプローブカード233に設けられるプローブ234の構成例について説明する。プローブカード233は、例えば表面に位置補正のための複数のプローブが設けられた治具プローブカードであってよい。治具プローブカードを用いた位置補正により得られた補正結果は、例えば製品検査用に用いられる検査用プローブカードを使用する際にオフセット値として使用される。また、プローブカードは、検査用プローブカードであってもよい。
図2は、第1構成例に係るプローブ234の配置を示す図である。図2では、プローブカード233の中心がウエハWの中心Oと一致している状態を示し、説明の便宜上、プローブカード233の図示を省略している。また、ウエハWの大きさに対して、電極パッドとプローブとをかなり大きく描いている。図2では、各領域の境界線を破線で示している。
図3は、第2構成例に係るプローブ234の配置を示す図である。図3では、ウエハWの中心とプローブカード233の中心とが一致している状態を示し、説明の便宜上、プローブカード233の図示を省略している。また、ウエハWの大きさに対して、電極パッドとプローブとをかなり大きく描いている。図3では、各領域の境界線を破線で示している。
図4は、第3構成例に係るプローブ234の配置を示す図である。図4では、ウエハWの中心とプローブカード233の中心とが一致している状態を示し、説明の便宜上、プローブカード233の図示を省略している。また、ウエハWの大きさに対して、電極パッドとプローブとをかなり大きく描いている。図4では、各領域の境界線を破線で示している。
本実施形態に係る検査装置1において、カンチレバー型のプローブ234を有するプローブカード233と、電極パッドPを有するウエハWとの相対位置を補正する方法(以下「位置補正方法」という。)の一例について説明する。本実施形態に係る位置補正方法は、例えば製品ウエハを検査室200に収容して製品ウエハに形成された半導体デバイスの電気的特性の検査を行う前に、治具プローブカードを用いて実施される。また、治具プローブカードを用いて実施される位置補正方法により算出される補正結果は、製品検査用に用いられる検査用プローブカードを使用する際にオフセット値として使用される。
本実施形態に係る位置補正方法の効果を確認した実施例について説明する。実施例では、まず前述した図4に示されるように配置されたプローブを有する治具プローブカードを用いてコンタクト位置の補正を行った。続いて、製品ウエハの各電極パッドを検査用プローブカードの各プローブにそれぞれコンタクトさせて、製品ウエハの各電極パッドに約3000個の針跡を形成し、各電極パッドの中心位置に対する各針跡の重心位置のずれ量を測定した。また、実施例では、制御装置300が上部カメラ241により撮像された針跡の画像を解析して針跡の重心位置を算出した。
200 検査室
233 プローブカード
234 プローブ
300 制御装置
M 針跡
P 電極パッド
W ウエハ
Claims (8)
- カンチレバー型のプローブを有するプローブカードと、電極パッドを有する被検査体との相対位置を補正する方法であって、
前記プローブカードの中心を挟んで対向する第1領域及び第2領域のそれぞれに、前記第1領域、前記プローブカードの中心、及び前記第2領域を通る第1方向を長手方向とするプローブが配置されており、
前記第1方向と垂直な第2方向において前記プローブカードの中心を挟んで対向する第3領域及び第4領域のそれぞれに、前記第2方向を長手方向とするプローブが配置されており、
前記第1領域、前記第2領域、前記第3領域、及び前記第4領域にそれぞれ配置された前記プローブを前記電極パッドに接触させたときの前記電極パッドに形成される針跡に基づいて、前記プローブカードと前記被検査体との相対位置を補正する、
位置補正方法。 - 前記第1領域に配置された前記プローブのスクラブ方向と前記第2領域に配置された前記プローブのスクラブ方向が同一方向であり、
前記第3領域に配置された前記プローブのスクラブ方向と前記第4領域に配置された前記プローブのスクラブ方向が同一方向である、
請求項1に記載の位置補正方法。 - 前記第1領域に配置された前記プローブのスクラブ方向と前記第2領域に配置された前記プローブのスクラブ方向が逆方向であり、
前記第3領域に配置された前記プローブのスクラブ方向と前記第4領域に配置された前記プローブのスクラブ方向が逆方向である、
請求項1に記載の位置補正方法。 - 前記プローブカードと前記被検査体との相対位置を補正する際、前記針跡を撮像手段により撮像し、前記撮像された前記針跡の画像から前記針跡の重心位置を算出し、前記重心位置に基づいて、前記プローブカードと前記被検査体との相対位置を補正する、
請求項1乃至3のいずれか一項に記載の位置補正方法。 - 前記第1領域、前記第2領域、前記第3領域、及び前記第4領域のそれぞれに、スクラブ方向が互いに異なる複数のプローブが配置されている、
請求項1に記載の位置補正方法。 - 前記プローブカードは、表面に位置補正のための複数のプローブが設けられた治具プローブカードであり、
当該位置補正方法により得られた前記補正の結果は、製品検査用に用いられる検査用プローブカードを使用する際にオフセット値として使用される、
請求項1乃至5のいずれか一項に記載の位置補正方法。 - 被検査体の電極パッドにカンチレバー型のプローブを接触させて被検査体の電気的特性を検査する検査装置であって、
前記プローブが配置されたプローブカードと、
前記プローブカードと前記被検査体との相対位置を補正する制御装置と、
を有し、
前記プローブカードには、前記プローブカードの中心を挟んで対向する第1領域及び第2領域のそれぞれに、前記第1領域、前記プローブカードの中心、及び前記第2領域を通る第1方向を長手方向とするプローブが配置されており、かつ、前記第1方向と垂直な第2方向において前記プローブカードの中心を挟んで対向する第3領域及び第4領域のそれぞれに、前記第2方向を長手方向とするプローブが配置されており、
前記制御装置は、前記第1領域、前記第2領域、前記第3領域、及び前記第4領域にそれぞれ配置された前記プローブを前記電極パッドに接触させたときの前記電極パッドに形成される針跡に基づいて、前記プローブカードと前記被検査体との相対位置を補正する、
検査装置。 - 被検査体の電極パッドにカンチレバー型のプローブを接触させて被検査体の電気的特性を検査する検査装置に用いられるプローブカードであって、
当該プローブカードの中心を挟んで対向する第1領域及び第2領域のそれぞれに配置され、前記第1領域、当該プローブカードの中心、及び前記第2領域を通る第1方向を長手方向とするプローブと、
前記第1方向と垂直な第2方向において当該プローブカードの中心を挟んで対向する第3領域及び第4領域のそれぞれに配置され、前記第2方向を長手方向とするプローブと、
を有する、
プローブカード。
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